Pfeiffer TPR 280/TPR 281 Manuel utilisateur

Caractéristiques techniques
Explication des signes
Principe de mesure
Indications concernant la prévention de dégradations de
l'environnement et d'importants dégâts matériels.
TPR 280, TPR 281
BG 5178 BFR / D (2024-10)
Compact Pirani Gauge
Manuel de l'utilisateur
Attention
Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des
disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs.
Qualification du personnel
Personnel qualifié
Identification du produit
Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit
sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer
Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous.
Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être
effectués que par des personnes ayant une formation
technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant
été formés en conséquence par le détenteur du produit.
Indications concernant la sécurité
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes aux gaz utilisés.
Considérer les réactions possibles entre les matériaux du
produit et les gaz de procédés.
Considérer des réactions possibles des gaz de procédés
à la chaleur générée par le produit (p. ex. explosions).
Répétabilité avec air
1×10-3 … 100 hPa
Validité
Ce document est valable pour les produits avec le numéro de
référence:
TPR 280
TPR 281
(W filament)
(Ni filament)
PT R26 950 B
PT R21 950 B (DN 16 ISO-KF)
PT R26 951 B
PT R21 951 B (DN 16 CF-R)
PT R26 960 B
PT R21 960 B (DN 16 ISO-KF, tube long)
PT R26 961 B
PT R21 961 B (DN 16 CF-R, tube long)
Le numéro de référence (P/N) figure sur la plaque signalétique.
Les illustrations sans indication particulière se réfèrent aux
jauges avec le raccord à vide DN 16 ISO-KF et sont applicables aux autres raccords à vide par analogie.
Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications
techniques sans préavis.
Toutes dimensions en mm.
Utilisation prévue
Les Compact Pirani Gauge TPR 280 et TPR 281 servent à la
mesure du vide des gaz dans la gamme des pressions de
1×10-4 … 1000 hPa.
Il est interdit de les employer pour la mesure de gaz
facilement inflammables ou combustibles mélangés à un
oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique) dans les limites
explosives.
Elles peuvent être exploitées avec un instrument de mesure
Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes ou avec un
instrument d’évaluation du client.
2% de la mesure
Signal de sortie (mesure)
Gamme de tension
VDC
Gamme de mesure
VDC
Relation tension–
pression
Signal d'erreur
V
Rupture de filament
0 … +9.0
+1.5 … +8.5
logarithmique
1.0 V/décade
0 … +0.5
+0.1
Impédance de sortie
Ω
2×4.7
Impédance chargée
minimale
Temps de réponse
kΩ
10, protégée contre
courts-circuits
80
ms
Identification de la jauge
Ajustement
• n'observe pas les indications figurant dans ce document
• utilise ce produit de manière non conforme à l’utilisation
prévue
Températures admissibles
Service
Raccord à vide
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
°C
+5 … +60
°C
°C
80 2) en cas d'installation
80 2) en position horizontale
110
–20 … +65
Filament
Stockage
°C
°C
Humidité relative
%
≤80 à températures
≤+31 °C, diminuant à 50 à
+40 °C
espaces clos, hauteur
max. 2000 m NN
indifférente
2
IP40
Utilisation
Position de montage
Degré de pollution
Protection
Dimensions
Puissance absorbée
Fusible à insérer 1)
W
AT
(lente)
Raccordement électrique
Couple de serrage
Câble jauge
Longueur du câble
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés
incombe au détenteur.
Conception de la terre
Les pannes du produit dues à des impuretes ou à l’usure, et
aussi des pièces d'usure (p. ex. filaments), sont exclues de la
garantie.
Raccord à vide–
masse signal
Masse alimentation–
masse signal
Matériaux au contact du
vide
Filament
PT R26 xxx
PT R21 xxx
1)
Nm
+14 … +30
≤1
<500
(courant max. de mise en
service)
≤1
1
prise d'appareil Hirschmann type GO 6, 6 pôles
≤0.2
5 pôles plus blindage
≤150 m (5×0.25 mm2)
≤200 m (5×0.34 mm2)
p
c
U
p
c
[hPa]
[µbar]
[Torr]
[mTorr]
5.5
2.5
5.625
2.625
[V]
[V]
[V]
[micron]
[Pa]
[kPa]
2.625
3.5
6.5
où
p pression
U signal de mesure
c constante (en fonction de l'unité de pression)
Pression indiquée (jauge ajustée pour l'air)
p (hPa)
102
H2
8
6
Ne
He
4
2
Air
O2
CO
N2
CO2
Ar
2
Xe
2
10–1
8
6
4
2
10–2
Vapeur
d'eau
8
6
33
4
4
6
10–2 2
4
6
10–1 2
4
6
100
2
4
6
101
2
4
6
102
peff (hPa)
DN 16 CF-R
Facteurs de conversion pour la gamme des pressions
inférieure à 1 hPa
peff = C × pression indiquée
Type de Facteur de
gaz
conversion C
DN 16 ISO-KF
tube long
DN 16 CF-R
tube long
He
Ne
Ar
Kr
Xe
0.8
1.4
1.7
2.4
3.0
Type de gaz
Facteur de
conversion C
H2
air, O2, CO, N2
CO2
vapeur d'eau
fréon 12
0.5
1.0
0.9
0.5
0.7
80
100
130
140
DANGER
DANGER: Risque d'empoisonnement dû au rejet
de gaz toxiques
Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau
du capteur. Dans les traitements impliquant des
fluides toxiques, il existe un risque de blessure,
voire de mort par empoisonnement à cause des
fuites de gaz en cas de surpression du système
de vide.
reliés par 1 MΩ (différence
de tension <15 V)
conduit séparément, pour
mesure différentielle
DIN 1.4301, DIN 1.4305,
DIN 1.4435, verre, Ni,
NiFe
Attention
Attention: composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
Attention
Installation
Raccordement au vide
Rapport signal de mesure–pression
• Pour les brides KF il faudra utiliser un collier
de serrage conducteur.
Attention: zone sensible à la pollution
Si le produit ou des parties du produit sont touchés avec les mains nues le taux de dégazage
est augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches
et utiliser des outils propres.
Poids
PT R26 950, PT R21 950 g
PT R26 951, PT R21 951 g
PT R26 960, PT R21 960 g
PT R26 961, PT R21 961 g
DANGER
• Les raccords à vide CF satisfont à ces
exigences.
2
10–3
10–3 2
DN 16 ISO-KF
DANGER: surpression dans le système à vide
>250 kPa
Les anneaux d'étanchéité en élastomère (p. ex.
joints toriques) des brides KF ne peuvent pas
résister à de telles pressions. Des gaz peuvent
donc s’échapper et avoir des effets nuisibles
pour la santé.
Utiliser des joints toriques pourvus d'un anneau
de centrage extérieur.
DANGER: mise à la masse
Les produits incorrectement mis à la masse
peuvent être extrêmement dangereux en cas
d'un défaut.
La jauge doit être connectée directement à l'enceinte à vide mise à la masse. Le raccordement
doit répondre aux exigences d'une connexion de
protection selon la norme EN 61010:
4
22.5
DANGER: surpression dans le système à vide
>100 kPa
Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque
il règne une surpression dans le système à vide,
des composants peuvent être projetés et causer
des blessures. Des gaz peuvent également
s’échapper et avoir des effets nuisibles pour la
santé.
Ne pas ouvrir les éléments de serrage lorsque il
règne une surpression dans le système à vide.
Utiliser des éléments de serrage convenables
pour la surpression.
Freon 12
Kr
100
16
DANGER
DANGER
Dépendance du type de gaz
8
6
20.5
→ "Raccordement
électrique"
La position d'installation n'est pas imposée, mais
pour éviter que les particules et condensats entrent
dans le système de mesure, il est préférable de
l'installer horizontalement ou debout. L'utilisation
d'un joint avec anneau de centrage et filtre peut être
nécessaire. Si l'ajustement de la jauge montée est
désirable, il faut assurer que le commutateur soit accessible pour la manipulation avec une goupille
(→ "Ajustement de la jauge").
• Prévenez la formation de toute contrainte
mécanique, chimique ou thermique élevée.
• Prévenez la formation de surpressions dans
le système de vide.
W
Ni
Les contrôleurs Pfeiffer Vacuum satisfont à ces
exigences.
U
[V]
[V]
[V]
[V]
101
mm
La jauge ne peut être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant
aux exigences pour les basses tensions mis à la
terre (PELV). Il faudra protéger la ligne vers la
jauge 1).
VDC
Vpp
mA
1×10-4 hPa <p< 1000 hPa
1.33×10-4 Torr <p< 750 Torr
1×10-2 Pa <p< 1×105 Pa
8
6
DANGER
Tension d'alimentation
à la jauge
ripple
Courant absorbé
U = c + log10 p
⇔
4
un commutateur pour ajustement ATM et HV
• utilise le produit avec des accessoires non répertoriés
dans la documentation du produit correspondante.
• modifie ce produit d’une façon quelconque
valable pour gamme
1000, seulement pour gaz
kPa
(abs.) inertes
Pression admissible
absolue
résistance 3.0 kΩ contre la
masse alimentation
(tension à la pin 1 ≤5 V)
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une
tierce personne
≈10
≈10
Alimentation
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions appropriées concernant toute intervention.
Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document.
• Se renseigner avant le début de l'intervention sur une
éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés.
Communiquer les indications concernant la sécurité aux
autres utilisateurs.
±100% de la mesure
±50% de la mesure
±15% de la mesure
±10% de la mesure
±50% de la mesure
1% de la mesure
p = 10(U-c)
115
AVERTISSEMENT
±100% de la mesure
±50% de la mesure
±15% de la mesure
±10% de la mesure
±50% de la mesure
≈1.5
≈1.5
116
Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature.
Gamme de mesure
(air, O2, CO, N2)
Précision (N2) TPR 280
1×10-4 … 5×10-4 hPa
5×10-4 … 1×10-3 hPa
1×10-3 … 2×10-3 hPa
2×10-3… 100 hPa
100 … 1000 hPa
Précision (N2) TPR 281
1×10-4 … 5×10-4 hPa
5×10-4 … 1×10-3 hPa
1×10-3 … 1×10-2 hPa
1×10-2… 100 hPa
100 … 1000 hPa
Résolution
PT R26 950,
cm3
PT R21 950
cm3
PT R26 951, PT R21 951
PT R26 960, PT R21 960 cm3
PT R26 961, PT R21 961 cm3
14
DANGER
conductance thermique selon
Pirani
1×10-4 … 1000 hPa
Volume interne
69
Sécurité
16
PERFECTION
15
A PASSION FOR
• Prenez les mesures appropriées de façon à
prévenir les risques et dommages provoqués
par la fuite de fluides de traitement, comme
une interruption d'alimentation en gaz, une
évacuation ou un test de fuite.
2)
Tube long: 250 °C.
Source: Allemand BG 5178 BDE / D (2024-10)
Retirer le protecteur et installer la jauge sur l'équipement.
Fonctionnement
Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose
entre les broches 2 et 3 du signal de mesure (rapport signal
de mesure–pression → "Caractéristiques techniques").
Joint avec anneau de
centrage
Élément de
serrage
Démontage
Le temps de stabilisation est au moins de 10 minutes. Maintenez la jauge en fonctionnement permanent, indépendamment de la pression.
ou
Protecteur
Dépendance du type de gaz
Joint avec anneau de
centrage et filtre
Le signal de mesure dépend de la nature du gaz. La valeur
de mesure correspond à l'air , O2, CO et N2. Pour d'autres
gaz, procéder à la conversion (→ "Caractéristiques techniques").
Si la jauge est exploitée avec un instrument de mesure
Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes, il est alors possible
de saisir un facteur de calibrage pour la correction de la
valeur mesurée affichée (→  de l’instrument de mesure
correspondant).
Garder le protecteur.
Raccordement électrique
Assurez-vous que la jauge est correctement raccordée (→ "Raccordement au vide").
 Si un câble de mesure n'est pas disponible, veuillez en
fabriquer un selon le schéma suivant.
Si vous utilisez la jauge avec un contrôleur PfeifferVacuum,
vous pouvez y enter un facteur de conversion pour corriger la
valeur de mesure actuelle (→  du contrôleur correspondant).
Ajustement de la jauge
La jauge est étalonnée en usine. Son vieillissement et des
impuretés peuvent provoquer une dérive du zéro. Contrôler
le zéro à intervalles réguliers et l'ajuster si nécessaire.
Procéder à l'ajustement du zéro aux conditions d'ambiance
régnant pendant le service normal de la jauge et dans sa
position d'utilisation habituelle.
La jauge est ajustée à des valeurs par défaut, mais elle peut
aussi être ajustée à d'autres valeurs de pression. Cela
suppose qu'on connaisse les valeurs de pression exactes
(mesure de référence).
 Si vous utilisez un joint avec anneau de centrage et
filtre, vérifiez leur propreté et remplacez-les si nécessaire (→ "Démontage").
Maintenance, Réparation
En cas d'un encrassement sévère ou d'un défaut, le capteur
peut être remplacé.
DANGER
DANGER: composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention
sur une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés.
4.7
4.7
Ident
1M
Affectation des contacts
Pin 1 Identification
Pin 2 Sortie du signal (mesure)
Pin 3 Masse signal
Pin 4 Alimentation
Pin 5 Masse alimentation
Pin 6 Blindage
+
–
+
–
3
2
4
5
1
6
Nous, Pfeiffer Vacuum, confirmons par la
présente que les produits suivants sont conformes aux directives européennes et réglementations britanniques suivantes :
• 2014/30/EU, Der. L 96/79, 29.3.2014
DANGER: composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention
sur une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés.
Pfeiffer Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si des travaux de
réparation sont effectués par le détenteur ou des tiers.
Attention
(Directive CEM ; Directive compatibilité électromagnétique)
• 2011/65/EU, Der. L 174/88, 1.7.2011
(Directive RoHS ; Directive relative à la restriction de l'utilisation de certaines substances
dangereuses dans les équipements électriques
et électroniques)
• S.I. 2016/1091, 11.2016
AVERTISSEMENT
DANGER: composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
Les commandes de pièces de rechange doivent toujours
comprendre:
• toutes les indications figurant sur la plaque signalétique
• description et numéro de référence selon la liste des pièces de rechange
Attention
DANGER: zone sensible à la pollution
Si le produit ou des parties du produit sont touchés avec les mains nues le taux de dégazage
est augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches
et utiliser des outils propres.
W capteur
pour jauge
Numéro de
référence
Ni capteur
pour jauge
Numéro de
référence
PT R26 950
PT R26 951
PT R26 960
PT R26 961
PT 120 133-T
PT 120 135-T
PT 120 134-T
PT 120 136-T
PT R21 950
PT R21 951
PT R21 960
PT R21 961
PT 120 141-T
PT 120 143-T
PT 120 142-T
PT 120 144-T
 Mettre la jauge hors tension.
• Composants contaminés
Décontaminer les composants contaminés (par des
substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale,
les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer.
TPR 280
TPR 281
Normes
Normes harmonisées, normes internationales et nationales
ainsi que spécifications :
• EN 61000-6-2:2005 (CEM: immunité)
• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (CEM: émission)
• EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
• EN 61326-1:2013; groupe 1, classe B (exigences CEM
pour les équipements de mesure et de commande)
 Dévisser la vis de blocage et débrancher le câble
AVERTISSEMENT
jauge.
AVERTISSEMENT: transport de produits
contaminés
Les produits contaminés (par des substances
radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Les produits qui nous sont envoyés seront dans
la mesure du possible exempts de substances
nocives. Observer les prescriptions de transport
des pays et entreprises de transport concernés.
Inclure une déclaration de contamination
rempli *).
 Pour l'ajustement ATM (pression atmosphérique)
*)
Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com
En absence de confirmation univoque que le produit est
"exempt de substances nocives", le produit est décontaminé
aux frais du client.
En absence d'une déclaration de contamination dûment
rempli, le produit est renvoyé à l'expéditeur à ses frais.
ATM
HV
(Ordonnance sur la restriction de l'utilisation de
certaines substances dangereuses dans les
appareils électriques et électroniques 2012)
(Règles de sécurité pour appareils électriques de mesurage,
de régulation et de laboratoire)
Transport du produit
 Retirer la jauge de l'équipement.
• S.I. 2012/3032, 12.2012
Produits
Tri des composants
Après le démontage du produit, trier ses composants selon
les critères suivants:
• Composants non contaminés
Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et
les récupérer.
 Remettre la jauge à la pression atmosphérique.
(Ordonnance sur la compatibilité électromagnétique 2016)
AVERTISSEMENT: substances polluantes
Certains produits ou leurs éléments
(composants mécaniques ou électriques, fluides
etc.) peuvent polluer l'environnement.
Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale.
Pièces de rechange
tionnement à la pression atmosphérique pendant
10 minutes au moins.
appuyer sur le commutateur avec une goupille (max.
ø1.1 mm): La jauge est ajustée à 1000 hPa (8.50 VDC)
par défaut. Si vous appuyez sur le commutateur
pendant >5 s la pression augmente vers 1200 hPa (ou
si vous appuyez encore une fois, elle diminue vers
500 hPa), jusqu'à ce que vous lâchiez le commutateur
ou que la limite de la gamme d'ajustement soit atteinte.
Déclaration de conformité UE et
UKCA
DANGER
Les pannes du produit dues à des impuretes ou à
l’usure, et aussi des pièces d'usure (p. ex.
filaments), sont exclues de la garantie.
 Mettre la jauge en service et la maintenir en fonc2
3
1
4
5
6
Recyclage
Table de conversion des unités de
pression
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
1
1×103
0.01
1
10
1×10-3
1
1×10-5
1×10-3
0.01
100
1×105
1
100
1×103
1
0.1
0.75
1×103 100
750
0.01 1×10-3 7.5×10-3
1
0.1
0.75
10
1
7.5
1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332
Torr
mm HG
Fabricant / Signature
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Aßlar
20 novembre 2023
Daniel Sälzer
Président
1
1 Pa = 1 N/m2
Prise secteur
côté soudures
 Fixer la prise secteur du câble jauge sur la jauge avec
max. ø1.1 mm
Protecteur
la vis de blocage (couple de serrage ≤0.2 Nm).
 Amenez la jauge à une pression << 10 hPa (recom-4
mandée) ou à une pression dans la gamme
10-4 … 10-2 hPa, et attendez au moins 2 minutes.
 Pour l'ajustement HV (vide poussé) appuyer sur le
 Brancher le câble jauge à l'appareil de mesure.
commutateur avec une goupille: La jauge est ajustée à
1×10-4 hPa (1.50 VDC) par défaut. Si vous appuyez sur
le commutateur >5 s, la pression augmente vers
1×10-2 hPa, jusqu'à ce que vous lâchiez le commutateur ou que la gamme d'ajustement soit atteinte.
Berliner Straße 43
D–35614 Aßlar
Deutschland
Tel +49 (0) 6441 802-0
Fax +49 (0) 6441 802-1202
[email protected]
www.pfeiffer-vacuum.com
">