Pfeiffer IMR 265 Manuel utilisateur

Connecteur électrique
Sécurité
Explication des signes
DANGER
Caractéristiques techniques
Gamme de mesure (air, N2)
cathode chaude
Pirani (gamme de
contrôle)
Répétabilité
Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature.
AVERTISSEMENT
INSTRUCTIONS D'UTILISATION
BG 5132 BFR / B (2017-02)
Traduction du manuel de l'utilisateur
IMR 265
Compact Process Ion Gauge
Indications concernant la prévention de dégradations de
l'environnement et d'importants dégâts matériels.
Attention
Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des
disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs.
Qualification du personnel
Personnel qualifié
Validité
Ce document est valable pour les produits avec les numéros
de référence
PT R26 500
(bride DN 25 ISO-KF)
PT R26 501
(bride DN 40 ISO-KF)
PT R26 502
(bride DN 16 CF-F)
PT R26 503
(bride DN 40 CF-F)
PT R26 504
(bride DN 16 ISO-KF)
PT R26 505
(tube ¾ ")
Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique.
Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications
techniques sans préavis.
A propos de ce document
Le présent document décrit l'installation et le fonctionnement des produits susmentionnés.
Pour de plus amples informations, consultez le manuel de
l'utilisateur distinct  [1].
Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être
effectués que par des personnes ayant une formation
technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant
été formées en conséquence par le détenteur du produit.
Indications concernant la sécurité
10-5 … 10-1 hPa
10-1 … 100 hPa
Emission de la cathode
chaude
Seuil de commutation
(sélectionnable par
étages)
Courant d'émission augmentant conti-nuellement
de
1 hPa
à
5×10–2 hPa
Tension de l'anode
Signal de sortie (mesure)
Gamme de tension
Gamme de mesure
cathode chaude
Pirani
Overrange cathode
chaude
Underrange cathode
chaude
Overrange Pirani
Underrange Pirani
Relation tension – pression
cathode chaude
Pirani
Signaux d'erreur
0.3 V
0.5 V
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes aux gaz utilisés.
Considérer les réactions possibles entre les matériaux du
produit et les gaz des procédés.
Considérer des réactions possibles des gaz des procédés
à la chaleur générée par le produit (p. ex. explosions).
Identification de la jauge
(Pin 1, Umax = 4.25 V)
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées concernant toute intervention. Tenir
également compte des dispositions de précaution figurant
dans ce document.
Ajustement
Pirani
vide élevé
Impédance chargée minimale
Les jauges IMR 265 servent à la mesure du vide des gaz
dans la gamme des pressions de 2×10-6 … 1 hPa. La mesure
dans la gamme ≈ 1 hPa … 1000 hPa (gamme de contrôle)
sert à l'indication de la tendance.
Elles ne doivent pas être employées pour la mesure de gaz
facilement inflammables ou combustibles mélangés à un
oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique) dans les limites
explosives.
La jauge IMR 265 fait partie de la famille des jauges
compactes Pfeiffer Vacuum et peut être utilisée avec
l'appareil de mesure et de commande de la pression totale
MaxiGauge™ TPG 256 A ou avec un instrument d'évaluation
du client.
ATM (touche <ATM>)
Communiquer les indications concernant la sécurité aux
autres utilisateurs.
cathode chaude
Principe de fonctionnement
Le signal de mesure est émis comme logarithme de la
pression.
Un manomètre à ionisation à cathode chaude est employé. Il
est piloté au moyen d'un manomètre Pirani intégré (gamme
de contrôle). La cathode chaude est uniquement activée audessous du seuil de commutation de 5×10–2 hPa (afin d'éviter
un claquage). En présence de hautes pressions, le signal
Pirani est disponible.
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une
tierce personne
2×10 … 1 hPa
1×10-2 … 1000 hPa
(après 10 min. de
stabilisation)
2 % mesure
≈ 30 % mesure
1 hPa
5×10–1 hPa
2×10–1 hPa
1×10–1 hPa
5×10–2 hPa (réglage d'usine)
4 µA
130 µA
180 V
Matériaux au contact du vide
Boîtier, fixations,
blindages
Passages
Isolateur
Cathode
Support de cathode
Elément Pirani
Volume interne
Pression max.
0 … 10.2 V
1.5 V … 7.5 V
8.5 V … 9.75 V
7.5 V < U < 8 V
0.5 V < U < 1.5 V
9.75 V < U < 10.2 V
8 V < U < 8.5 V
logarithmique,
1.00 V / décade
0.25 V / décade
→  [1]
cathode chaude
Pirani/électronique mal
montée
Températures admissibles
Stockage
Service
Etuvage
Humidité relative
Moyenne annuelle
pendant 60 jours
Utilisation
Protection
Dimensions [mm]
• utilise le produit avec des accessoires non répertoriés
dans la documentation du produit correspondante.
8
6
4
100
acier inoxydable
10-1
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés
incombe au détenteur.
Tension à la jauge
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure,
ainsi que les pièces d'usure (filament), sont exclues de la
garantie.
Consommation de courant
Standard
Démarrage de l'émission
(200 ms)
Puissance absorbée
Fusible à insérer1)
Tension sur le dispositif
d'alimentation avec un câble
de longueur maximale
2
8
6
4
NiFe nickelé
verre
iridium, oxyde yttrique
molybdène, platine
tungstène, cuivre
≈ 20 cm3
500 kPa (absolue), (limitée
aux gaz inertes et aux températures < 100 °C)
–20 °C … +70 °C
0 °C … +50 °C
150 °C dans la zone
d'étuvage (unité électronique
démontée)
DN 40 CF-F
2
4 6 810–2 2
4 6 810–1 2
4 6 8100 2
DN 16 CF-F
Poids
≈ 280 g
≈ 285 g
≈ 315 g
≈ 310 g
≈ 550 g
≈ 270 g
(bride DN 16 ISO-KF)
(bride DN 25 ISO-KF)
(bride DN 40 ISO-KF)
(bride DN 16 CF-F)
(bride DN 40 CF-F)
(tube ¾ ")
2)
MaxiGauge™ satisfait à ces exigences.
La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être
augmentée proportionnellement à la longueur du câble de
mesure.
4 6 8102
peff (hPa)
Installation
Raccordement au vide
DANGER
Pression p [hPa]
DANGER : surpression dans le système à vide
> 100 kPa
Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque
il règne une surpression dans le système à vide,
des composants peuvent être projetés et causer
des blessures. Des gaz peuvent également
échapper et avoir des effets nuisibles pour la
santé.
Ne pas ouvrir les éléments de serrage lorsqu'il
règne une surpression dans le système à vide.
Utiliser des éléments de serrage convenables
pour la surpression.
1E+02
1E+01
1E+00
1E–01
1E–02
1E–03
Gamme de mesure cathode chaude :
⇔
U = c1 + log10 p
p = 104(U-c2)
Tube ¾"
DN 16 KF
⇔
U = c2 + 0.25 log10 p
U
p
c1
c2
[V]
[V]
[V]
[V]
[V]
[V]
[V]
[hPa]
[µbar]
[Torr]
[mTorr]
[micron]
[Pa]
[kPa]
7.5
4.5
7.625
4.625
4.625
5.5
8.5
9
8.25
9.031
8.281
8.281
8.5
9.25
où
p
pression
U
signal de mesure
c1, c2 constante (en fonction
de l'unité de pression)
valable pour gamme
cathode chaude :
1.50 V ≤ U ≤ 7.50 V
Pirani :
8.50 V ≤ U ≤ 9.75 V
Dépendance du type de gaz
DANGER
DANGER : surpression dans le système à vide
> 250 kPa
Les anneaux d'étanchéité en élastomère (p. ex.
joints toriques) des raccords à brides ne peuvent
pas résister à de telles pressions. Des gaz
peuvent donc s'échapper et avoir des effets
nuisibles pour la santé.
Utiliser des anneaux d'étanchéité pourvus d'un
anneau de centrage extérieur.
DANGER
DANGER : protection pasr mise à la masse
Les produits mal raccordés à la masse
présentent un danger mortel en cas de panne.
La jauge doit être connectée directement à la
chambre à vide mise à la masse. Le
raccordement doit répondre aux exigences d'une
connexion de protection selon la norme
EN 61010 :
• Les brides CF satisfont à ces exigences.
• Pour les brides KF il faudra utiliser un anneau
de serrage conducteur.
• Avec le tube ¾ ", satisfaire à cette exigence en
prenant les mesures qui s'imposent.
Gamme ionisation à cathode chaude
DN 25 KF
Pour d'autres gaz que l'air, la pression dans la gamme de
mesure p < 10-1 hPa peut être déterminée par une simple
conversion :
peff = C × pression affichée
DN 40 KF
où
type de gaz
C (moyenne)
air (N2, O2)
Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He
1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9
Attention
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
INFICON GmbH
1)
4 6 8101 2
Rapport signal de mesure – pression
1E+03
≤ 65 % (pas de condensation)
≤ 85 % (pas de condensation)
en salle, altitude jusqu'à
2000 m
IP 30
Vapeur
d'eau
10-2
10–3 2
p = 10U-c1
2)
≤ 16 W
≤ 1.25 A (lente)
21 … 30 VDC
(ondulation max. 1 Vpp)
Xe
8
6
4
Signal de mesure U[V]
20 … 30 VDC
(ondulation max. 1 Vpp)
≤ 0.5 A
≤ 1.4 A
CO2
Ar
Freon 12
Kr
2
→ "Raccordement électrique"
Air
O2
CO
N2
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0
10.2
La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant
aux exigences pour les basses tensions mises à
la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers
la jauge.1)
• modifie ce produit d'une façon quelconque
Ne
Gamme d'indication
au-dessus de 10-2 hPa)
101
1E–06
DANGER
• utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation
prévue
2
≤ 35 m (ø 0.25 mm²)
≤ 50 m (ø0.34 mm²)
≤ 100 m (ø 1.0 mm²)
1E–05
Résistance 15.2 kΩ contre
masse alimentation
compensation automatique
par le circuit de mesure à
cathode chaude dans la
gamme 1 … 3×10-3 hPa
ajustement par touche
<ATM> (appuyer ≥ 5 s) à
pression atmosphérique
réglage de la valeur de
calibrage à l'aide du
commutateur à 16 positions
conformément à l'inscription
sur le capteur
H2 He
8
6
4
1E–04
Alimentation
• n'observe pas les indications figurant dans ce document
102
10 kΩ, protégée contre
courts-circuits
Marques
MaxiGauge™
Conception de la masse
p (hPa)
Gamme de mesure Pirani :
• Se renseigner avant le début de l'intervention sur une
éventuelle contamination. Observer les prescriptions
essentielles et prendre les précautions afférentes à la
manipulation d'éléments contaminés.
Utilisation prévue
-6
Couple de serrage
Câble
Longueur du câble
Gamme Pirani
connecteur compact Hirschmann, type GO 6, 6 pôles,
mâle
≤0.2 Nm
5 pôles plus blindage
bg5132bf r / b
Source : Allemand BG 5132 BDE / B (2017-02)
Dans la gamme de pression supérieure, la valeur de mesure
Pirani est émise, dans la gamme inférieure, c'est la valeur de
la cathode chaude.
Attention
Attention : zone sensible à la pollution
Si le produit ou des composants du produit sont
touchés à mains nues le taux de dégazage est
augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches
et utiliser des outils propres.
Cathode chaude HP
Pirani
2 × 10-6 hPa
1000 hPa
Réglage de la valeur de calibrage de la
cathode chaude
La jauge est étalonnée en usine et une valeur de calibrage
comprise dans la gamme entre 0 et F y est imprimée. Cette
valeur doit être réglée à l'aide du commutateur <Cal adj> afin
d'adapter l'électronique au capteur. Lors de la première mise
en service de la jauge et après un remplacement du capteur,
contrôler le réglage de la valeur de calibrage et l'ajuster le
cas échéant.
Maintenance, réparation
En cas d'un encrassement sévère ou d'un défaut, le capteur
peut être remplacé (→  [1]).
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à
l'usure, ainsi que les pièces d'usure (filament), sont
exclues de la garantie.
5 × 10-2 hPa ... 1 hPa seuil
(point) de commutation réglable
La position de montage n'est pas imposée, mais
pour empêcher que les particules et condensats
n'entrent dans la chambre de mesure, il est
préférable d'installer la jauge horizontalement ou
debout.
Réglage du seuil de commutation
Retirer le protecteur et raccorder la jauge au système à vide.
Garder le protecteur.
Raccordement électrique
Vérifier que la jauge est correctement raccordée
(→ "Raccordement au vide").
AVERTISSEMENT : transport de produits
contaminés
Les produits qui nous sont envoyés seront dans
la mesure du possible exempts de substances
nocives (p. ex. radioactives, toxiques, caustiques
ou microbiologiques).
Observer les prescriptions de transport des pays
et entreprises de transport concernés. Inclure
une déclaration de contamination remplie.*)
*)
Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com.
+
–
En absence de confirmation univoque que le produit est
"exempt de substances nocives", le produit est décontaminé
aux frais du client.
+
–
Si vous envoyez le produit à notre S.A.V. en vue de sa
maintenance, utilisez un emballage étanche, résistant aux
chocs.
2
Figure 1 Affectation des contacts
3
1
Broche 1 Identification (U ≤ 4.25 V)
Broche 2 Sortie du signal (mesure)
Broche 3 Masse signal GND
Broche 4 Alimentation
6
Broche 5 Masse alimentation GND 4
5
Prise
Broche 6 Blindage
côté soudures
DANGER
Seuil de commutation
0 ou 1
2 ou 3
4 ou 5
6 ou 7
8 ou 9
1 hPa
5×10-1 hPa
2×10-1 hPa
1×10-1 hPa
5×10-2 hPa (réglage d'usine)
 Brancher la jauge à l'appareil de mesure.
 Fixer la prise sur la jauge avec la vis (couple de
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes à la manipulation de
composants contaminés.
serrage ≤0.2 Nm)..
Ajustement de la jauge
Fonctionnement
Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose
entre les broches 2 et 3 du signal de mesure (rapport signal
de mesure – pression → "Caractéristiques techniques").
Le temps de stabilisation est ≈ 10 min. Maintenir la jauge en
fonctionnement permanent, indépendamment de la pression.
Dépendance du type de gaz
La valeur de mesure dépend de la nature du gaz. Elle
correspond à l'air sec, au nitrogène (N2), à l'oxygène (O2) et
au monoxyde de carbone (CO). Pour d'autres gaz, procéder
à la conversion (→ "Caractéristiques techniques").
Si vous utilisez la jauge avec l'appareil de mesure et de
commande MaxiGauge™, vous pouvez y entrer le facteur de
correction correspondant (→  [2]).
La jauge est étalonnée en usine. L'utilisation de la jauge dans
un climat différent ou une autre position de montage, son
vieillissement, des impuretés ou l'échange du capteur peuvent provoquer une dérive de la courbe caractéristique et un
ajustage peut devenir nécessaire. Seul le système Pirani
peut être ajusté.
Ajustement vide élevé Pirani :
Lors de chaque mise en circuit de la jauge, le circuit de
mesure Pirani est automatiquement compensé par le circuit
de mesure à cathode chaude (lorsque la pression est pour la
première fois comprise dans la gamme p = 1 … 3×10-3 hPa).
Ajustement atmosphérique Pirani :
Laisser la jauge en service pendant ≈ 10 minutes à
 pression
atmosphérique. Si la jauge était auparavant
au mode de ionisation à cathode chaude, il faut la
laisser refroidir pendant ≈ 30 minutes (température de
jauge = température ambiante).

Insérer une goupille dans l'ouverture <ATM> et appuyer sur la touche pendant ≥ 5 secondes.
Attention
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
Attention
Attention : zone sensible à la pollution
Si le produit ou des composants du produit sont
touchés à mains nues le taux de dégazage est
augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches
et utiliser des outils propres.
 Remettre le système à vide à la pression
atmosphérique et mettre la jauge hors circuit.
 Dévisser la vis de fixation et débrancher le câble de
mesure.
Gamme de mesure
La jauge IMR 265 recouvre la gamme de mesure
5×10-10 hPa … 1000 hPa.
bar
Pa
hPa
kPa
1
1×103
0.01
1
10
1×10-3
1
1×10-5
1×10-3
0.01
100
1×105
1
100
1×103
1
0.1
0.75
1×103 100
750
0.01 1×10-3 7.5×10-3
1
0.1
0.75
10
1
7.5
1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332
Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum,
déclarons que le produit ci-après est conforme
à la directive relative à la compatibilité
électromagnétique 2014/30/UE et de la
directive relative à la limitation de l’utilisation
de certaines substances dangereuses dans
les équipements électriques et électroniques
2011/65/UE.
Torr
mm HG
1
1 Pa = 1 N/m2
Produit
IMR 265
Informations supplémentaires
 [1]
 [2]
www.pfeiffer-vacuum.com
Manuel de l'utilisateur IMR 265
BG 5172 BDE (allemand)
BG 5172 BEN (anglais)
BG 5172 BFR (français)
Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne
www.pfeiffer-vacuum.com
Manuel de l'utilisateur TPG 256 A
MaxiGauge™
BG 5186 BDE (allemand)
BG 5186 BEN (anglais)
BG 5186 BFR (français)
Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne
Normes
Normes harmonisées, normes internationales et nationales
ainsi que spécifications :
• EN 61000-6-2:2005 (Compatibilité électromagnétique :
immunité)
• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (Compatibilité électromagnétique : émission)
• EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils
électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire)
• EN 61326-1:2013 (Exigences relatives à la compatibilité
électromagnétique pour matériel électrique de mesure, de
commande et de laboratoire)
Fabricant / Signature
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar
7 mars 2016
Démontage
Position du commutateur
(<P ↔ HP>)
mbar
Déclaration UE de conformité
AVERTISSEMENT
Il faut sélectionner le seuil de commutation avant de
mettre la jauge en circuit parce que la position du
commutateur est uniquement pris en compte lors de
l'activation de la jauge.
compatible, confectionnez en un selon le schéma
suivant.
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
Retour du produit
La jauge IMR 265 comporte cinq seuils de commutation
sélectionnables. Cela permet d'éviter que la gamme de
commutation ne se situe dans la gamme de la pression de
travail. Le seuil de commutation est réglé en usine à
5×10-2 hPa. La commutation s'effectue à l'aide du
commutateur <P ↔ HP>. Comme la tendance à
l'encrassement du système à cathode chaude diminue avec
la pression, il est recommandé de sélectionner un seuil de
commutation le plus faible possible.
 Si vous ne disposez pas d'un câble de mesure
Table de conversion des unités de
pression
Recyclage
Dr. Ulrich von Hülsen
Président
DANGER
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes à la manipulation de
composants contaminés.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : substances polluantes
Les composants électriques doivent être triés en
vue de recyclage.
Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale.
Tri des composants
Après le démontage du produit, trier ses composants selon
les critères suivants :
• Composants contaminés
Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les
trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer.
• Composants non contaminés
Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les
récupérer.
 Démonter la jauge du système à vide et remettre le
protecteur en place.
• L'élément Pirani surveille constamment la pression.
• La cathode chaude (commandée par l'élément Pirani) ne
s'amorce que lorsque la pression tombe au-dessous du
seuil de commutation. Après quelques secondes de
fonctionnement, la cathode chaude est prête au service.
Cela est indiqué par la lampe <EMI ON>.
• Lorsque la pression monte au-dessus du seuil de
commutation, la cathode chaude est désactivée et la
lampe <EMI ON> s'éteint.
Berliner Straße 43
D–35614 Asslar
Allemagne
Tel +49 (0) 6441 802-0
Fax +49 (0) 6441 802-1202
[email protected]
www.pfeiffer-vacuum.com
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