Pfeiffer PKR 261 Manuel utilisateur

1
Jauge FullRange™, modèle compact, entièrement en
métal
10
Ident
V
6
(bride DN 25 ISO-KF)
(bride DN 40 ISO-KF)
(bride DN 40 CF-F)
Les pannes du produit dues à des impuretés, ainsi que les
pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la garantie.
Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications
techniques sans préavis.
la jauge à la pression atmosphérique en
 Remettre
admettant de l'air ou du nitrogène et attendre au
Le présent document décrit l'installation et le fonctionnement des Jauges FullRange™ susmentionnées. Pour de
plus amples informations, veuillez consulter le manuel de
l'utilisateur distinct BG 5157 BFR sur le site web
www.pfeiffer-vacuum.com.
moins 10 minutes.
Figure 1 :
Affectation des contacts
Broche 1
Broche 2
Broche 3
Broche 4
Broche 5
Broche 6
A propos de ce document
Identification
Sortie de signal
(mesure)
Masse signal
Alimentation
Masse
alimentation
Blindage
3
4
2
1
6

Tourner la plaque signalétique en sens des aiguilles
d'une montre jusqu'à la butée.

5
Prise côté
soudures
Raccordez la jauge à l'appareil de mesure.
Fixez la prise du câble de raccordement sur la jauge avec la
vis (couple de serrage ≤ 0.2 Nm).
Installation
Protection
Pression
Ensuite, le tourner de
1/3 de tour en sens inverse
des aiguilles d'une montre.
–
+
–
• utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation
prévue
PT R26 250
PT R26 251
PT R26 252
… à 4.2 V
+
1
5
10k
Utilisation
Reproductibilité
2
3
Humidité relative
Gamme de mesure (air, N2)
Précision
4
• n'observe pas les indications figurant dans ce document
Validité
Compact
FullRangeTM
Gauge
VACUUM
10
• utilise le produit avec des accessoires non répertoriés
dans la documentation du produit correspondante.
ou
Assurez-vous que la jauge soit raccordée à la chambre à
vide (→ Section précédente).
Si vous ne disposez pas d'un câble de raccordement,
confectionnez en un selon le schéma en bas :
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une
tierce personne
• modifie ce produit d'une façon quelconque
Presser le bouton-poussoir avec
une goupille (ø ≈ 3 mm).
En même temps, ajuster le
potentiomètre <HV> par un
tournevis de 1.5 mm …
… à 5×10-4 hPa
VACUUM
BG 5122 BFR / C (2017-07)
PKR 261
Observer une distance de sécurité de ≥10 cm
entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ou
empêcher toute perturbation émanant de
champs magnétiques puissants en installant des
blindages adéquats.
Raccordement électrique
Compact
FullRangeTM
Gauge
Traduction du manuel de l'utilisateur
DANGER : champs magnétiques
Les champs magnétiques puissants peuvent
perturber ou gêner le fonctionnement des
appareils électroniques, p. ex. des stimulateurs
cardiaques.

La position d'installation n'est pas imposée, veiller cependant
à ce que les particules ne puissent pas pénétrer dans la
chambre de mesure.
Etuvage
… à ×103 hPa
Ajuster le potentiomètre <ATM>
par un tournevis de 1.5 mm …
ou
… à 8.6 V
Anode
Dispositif d'allumage
Tube de mesure Pirani
Filament Pirani
Volume interne
Utilisation prévue
Les Jauges FullRange™ PKR 261 décrites dans ce
document servent à la mesure du vide dans la gamme des
pressions de 5×10-9 … 1000 hPa.
Elles ne doivent pas être employées pour la mesure de gaz
facilement inflammables ou combustibles mélangés à un
oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique) dans les limites
explosives.
Principe de fonctionnement
La jauge contient deux systèmes de mesure distincts
(système Pirani et système à cathode froide) dont les
signaux sont associés de manière à fournir un signal de
sortie homogène.
Mettez l'appareil de mesure en circuit. Observez un temps de
stabilisation de ≈ 10 minutes. Maintenez la jauge en fonctionnement permanent, indépendamment de la pression.
• La mesure par Pirani est toujours activée.
DANGER
DANGER : surpression dans le système à vide
> 100 kPa
Si des éléments de serrage sont ouverts des
composants peuvent être projetés et causer des
blessures.
Utiliser des éléments de serrage pouvant
uniquement être ouverts et fermés à l'aide d'un
outil (p. ex. anneau de serrage muni d'un collier
de serrage).
La jauge doit être connectée directement à l'enceinte à vide mise à la masse. Le raccordement
doit répondre aux exigences d'une connexion de
protection selon la norme EN 61010 :
• Les raccords à vide CF satisfont à ces exigences.
• Pour les brides KF il faudra utiliser un collier
de serrage conducteur.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : amorçage électrique
L'hélium peut provoquer des amorçages
électriques à l'intérieur de l'électronique du
produit et détruire l'électronique.
Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre le
produit hors circuit et démonter l'unité électronique.
En cas d'utilisation de raccords de vide CF, il peut s'avérer
avantageux de temporairement enlever l'unité électronique
(1) et l'unité magnétique (2) (→  [1]).
• La mesure de la cathode froide est contrôlée par le Pirani
et est seulement activée au-dessous de 1×10-2 hPa.
Dépendance du type de gaz
Le signal de mesure dépend du type de gaz. La valeur
mesurée correspond à l'air, à l'oxygène (O2), au monoxyde
de carbone (CO) et à l'azote (N2). Pour d'autres gaz, la
pression peut être déterminée par une conversion
(→ "Caractéristiques techniques").
Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum, cela peut être
réalisé en saisissant le facteur de correction correspondant.
Délai d'amorçage
À la mise en circuit de la jauge, le système de cathode froide
s'active avec temporisation. Celle-ci augmente à des
pressions plus basses et celle de jauges dégazées propres
atteint les valeurs typiques suivantes à :
…10-5 hPa
≈ 1 seconde
…10-7 hPa
≈ 20 secondes
5×10-9 hPa
≈ 2 minutes
L'allumage constitue un processus statistique pouvant être
fortement influencé dès la présence d'infimes dépôts sur les
surfaces intérieures.
Tant que le circuit de mesure à cathode froide n'est pas
amorcé, la sortie du signal indique la valeur de mesure Pirani
(indication "Pirani-Underrange" pour des pressions inférieures à 5×10-4 hPa).
Ajustement de la jauge
La jauge est étalonnée en usine. En cas d'utilisation à
d'autres conditions ambiantes, de vieillissement ou
d'encrassement, un ajustement ultérieur ou un nettoyage
peut s'avérer nécessaire.
Le système de cathode froide, dominant pour la gamme
inférieure des pressions (< 1×10-3 hPa), est étalonné en
usine et ne peut pas être réajusté. Par contre, le système
Pirani peut être réajusté. La gamme des pressions entre
10-2 hPa et 102 hPa est à peine influencée par un éventuel
ajustement.
p < 10-2 hPa cathode
froide pas amorcée;
service Pirani
seulement
Cathode froide et Pirani
en circuit
résistance 11.1 kΩ contre
masse alimentation
Conception de la terre
Raccord à vide – masse
alimentation
Impédance de sortie
Impédance chargée minimale
Temps de réponse
p > 10-6 hPa
p = 10-8 hPa
1)
reliés par 10 kΩ (différence max.
de tension
pour sécurité
±50 V
pour précision ±10 V)
conduites séparément; avec les
câbles de grande longueur
(≥ 6 m), nous recommandons une
mesure différentielle
Rapport signal de mesure – pression
Pression p
Pa
1E+04
p = 101.667U-d
hPa
torr
1E+02
1E–06
1E–08
1.5
2.5
15 … 30 V= (ondulation
≤ 1 Vpp)
Puissance absorbée
≤2W
Fusible à insérer 1)
≤ 1 A lente
La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur du câble de
mesure.
Tension d'alimentation à
16 … 30 V= (ondulation
longueur max. du câble
≤ 1 Vpp)
Signal de sortie (mesure)
Gamme de mesure
Relation tension –
pression
Signaux d'erreur
→ Figure 1
Masse alimentation –
masse signal
0.0 0.5
Tension de service
(dans la chambre de mesure)
Courant de service
(dans la chambre de mesure)
courant de mesure dans la
gamme 0.2 … 0.3 mA
Tension de mesure dans la
gamme 2 … 3 V
avec tension constante
1E–04
La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant
aux exigences pour les basses tensions mises à
la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers
la jauge.1)
Raccordement électrique
Câble jauge
Boîte de raccordement de
câble
Couple de serrage
Longueur du câble
résistance 9.1 kΩ contre
masse alimentation
La polarité de broche 1 contre
la masse alimentation doit
toujours être positive.
Mesure
avec courant constant
1E–02
Tension à la jauge
résistance 11.1 kΩ contre
masse alimentation
Les conditions suivantes
doivent être remplies :
1E+00
≈ 20 cm³
DANGER
la plaque signalétique dans sa position
 Ramener
initiale (elle s'encastre).
Fonctionnement
acier inoxydable
acier inoxydable
céramique (Al2O3), verre
Ag, Cu, brasage tendre (Sn,
Ag)
Mo
acier inoxydable
Ni, Au
W
Alimentation
Attention
Broche 1
5×10-9 … 1000 hPa
≈ ±30% (mesure dans la
gamme 1×10-8 … 100 hPa)
≈ ±5 % (mesure dans la
gamme 1×10-8 … 100 hPa)
IP 40
≤ 10 bar (absolue)
limitée aux gaz inertes et aux
températures < 55 °C
Matériaux au contact du vide
Raccord à vide
Chambre de mesure
Isolation de traversée
Joints internes
Raccordement au vide
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
-40 °C ... +65 °C
+ 5 °C ... +55 °C (jusqu'à
150 °C sur la bride en cas de
montage horizontal ; sans
blindage magnétique)
150 °C (sans électronique et
sans blindage magnétique)
≤ 80% à températures jusqu'à
+31 °C, diminuant à 50% à
+40 °C
en espaces clos, altitude
max. 2000 m
Identification de la jauge
p > 10-2 hPa service
Pirani seulement
sensor error
la plaque signalétique en sens inverse des
 Tourner
aiguilles d'une montre jusqu'à la butée.
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés
incombe au détenteur.
INSTRUCTIONS D'UTILISATION
la jauge à une pression à << 10 hPa, et
 Amener
attendre au moins 10 minutes.
Températures admissibles
Stockage
Service
-4
• Considérer les réactions possibles entre les matériaux du
produit et les gaz des procédés.
DANGER
Caractéristiques techniques
overrange
overrange
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes aux gaz utilisés.
la jauge en circuit (si possible dans la position
 Mettre
dans laquelle elle sera utilisée ultérieurement).
underrange
Sécurité
sensor error
2
3.5
4.5
5.5
6.5
7.5
8.5
9.5
10.5
Signal de mesure U [V]
d
hPa
Pa
Torr
11.33
9.33
11.46
valable pour gamme 5×10-9 hPa < p< 1000 hPa
3.8×10-9 Torr < p< 750 Torr
5×10-7 Pa < p< 1×105 Pa
Dépendance du type de gaz
5 pôles, blindé
Hirschmann GO 6 WF,
6 pôles, coudée, douilles
≤ 0.2 Nm
≤ 75 m
≤ 100 m
≤ 300 m
p (hPa)
102
8
6
4
H2 He Ne
2
(∅ 0.25 mm2)
(∅ 0.34 mm2)
(∅ 1.0 mm2)
≤ 3.3 kV
≤ 500 µA
Air
N2
O2
CO
Gamme d'indication
>10-2 hPa
101
8
6
4
CO2
Ar
Freon 12
Kr
2
Xe
100
8
6
4
2
10–1
8
6
4
Vapeur
d'eau
≈ 0 V … ≈ +10.5 V
2
logarithmique, 0.6 V/décade
10–2
10–3 2
4 6 810–2 2
4 6 810–1 2
4 6 8100 2
4 6 8101 2
4 6 8102
peff (hPa)
< 0.5 V sans alimentation
> 9.5 V système de mesure
Pirani défectueux (rupture de
filament)
2×10 Ω
10 kΩ, résistant aux courtscircuits
en fonction de la pression
< 10 ms
≈1s
Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum
pour jauges compactes satisfont à cette exigence.
bg5122bf r / c
(2017-07)
p (hPa)
10–1
8
6
4
Maintenance, résolution des problèmes
Gamme d'indication
10-6 ... 10-1 hPa
2
10–2
8
6
4
2
10–4
8
6
4
Ar
Si la jauge est utilisée à des pressions élevées ou dans des
conditions contaminatrices, elle doit régulièrement être
nettoyée.
Air
N2
O2
CO
Les pannes du produit dues à des impuretés, ainsi que les
pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la garantie.
Produit
2
PKR 261
He
10–5
8
6
4
Normes
Recyclage
2
10–6
10–6 2
Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum,
déclarons que le produit ci-après est conforme
à la directive relative à la compatibilité
électromagnétique 2014/30/UE et de la
directive relative à la limitation de l’utilisation
de certaines substances dangereuses dans
les équipements électriques et électroniques
2011/65/UE.
→ Manuel de l'utilisateur BG 5157 BFR sur
www.pfeiffer-vacuum.com.
2
10–3
8
6
4
Déclaration UE de conformité
4 6 810–5 2
4 6 810–4 2
4 6 810–3 2
4 6 810–2 2
4 6 810–1
Pour l'élimination appropriée du produit, veuillez contact le
S.A.V. Pfeiffer Vacuum le plus proche.
peff (hPa)
Normes harmonisées, normes internationales et nationales
ainsi que spécifications :
• EN 61000-6-2:2005 (CEM : immunité)
Dans la gamme au-dessous de 10-5 hPa l'indication est
linéaire. Pour d'autres gaz que l'air, la pression peut être
déterminée par une simple conversion :
• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (CEM : émission)
• EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils
électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire)
peff = C × pression affichée
• EN 61326-1:2013 (Exigences relatives à la compatibilité
Type de gaz
Air
(O2, CO, N2)
Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He
C (moyenne)
1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9
Table de conversion des unités de
pression
électromagnétique pour matériel électrique de mesure, de
commande et de laboratoire)
Fabricant / Signatures
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
1
1×103
0.01
1
10
1×10-3
1
1×10-5
1×10-3
0.01
100
1×105
1
100
1×103
1
0.1
0.75
1×103 100
750
-3
0.01 1×10 7.5×10-3
1
0.1
0.75
10
1
7.5
1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332
1
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar
14 avril 2016
Dr. Ulrich von Hülsen
Président
1 Pa = 1 N/m2
Certification ETL
RECOGNIZED
COMPONENT
ETL LISTED
The product PKR 261
• conforms to the UL Standard UL 61010-1
• is certified to the CAN/CSA Standard
C22.2 No. 61010-1
3103457
Berliner Straße 43
D–35614 Asslar
Allemagne
Tel +49 (0) 6441 802-0
Fax +49 (0) 6441 802-1202
[email protected]
www.pfeiffer-vacuum.com
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