MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original PKR 261 Jauge Pirani/à cathode froide Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/54 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Marques 7 7 7 7 7 8 8 8 8 9 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Utilisation conforme 2.5 Utilisations incorrectes envisageables 2.6 Responsabilité et garantie 2.7 Conditions propriétaire 2.8 Qualification personnelle 2.8.1 Garantir la qualification du personnel 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 2.9 Conditions opérateur 10 10 10 14 14 14 15 15 15 15 16 16 16 3 Transport et stockage 17 4 Description du produit 4.1 Identification du produit 4.2 Contenu de la livraison 4.3 Fonction 18 18 18 18 5 Installation 5.1 Raccordement du vide 5.2 Dépose/installation de l'unité magnétique 5.3 Raccordement électrique 19 19 20 21 6 Fonctionnement 6.1 Affichage d'état 6.2 Relation : signal de mesure et pression 6.3 Dépendance du type de gaz 6.4 Temporisation d'amorçage 6.5 Contamination 24 24 25 26 28 28 7 Démontage 30 8 Maintenance 8.1 Calibrage du jauge 8.2 Démontage du jauge 8.3 Nettoyage des composants 8.4 Assemblage du jauge 32 32 34 35 37 9 Dysfonctionnements 40 10 Expédition 41 11 Mise au rebut 42 3/54 Table des matières 4/54 12 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 43 13 Informations de commande 13.1 Commande de pièces 13.2 Pièces de rechange 13.3 Accessoires 45 45 45 46 14 Données techniques et dimensionnelles 47 15 Annexe 15.1 Unités de pression 15.2 Débits de gaz 50 50 50 Listé ETL 51 Déclaration de conformité 52 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Documents applicables Variantes Abréviations employées Modes de fonctionnement Constantes Tableau de conversion Facteurs de calibrage pour la plage de pression < 10 hPa Dysfonctionnements Valeurs de mesure et de pression Données électriques Volume interne et poids Conditions ambiantes Températures Matière contre le vide Unités de pression et leur conversion Débits de gaz et leur conversion 7 7 9 24 25 26 28 40 47 48 48 48 48 48 50 50 5/54 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: Fig. 15: Fig. 16: 6/54 Configuration de mesure Raccordement du vide Dépose/installation de l'unité magnétique (recommandation pour CF-F) Schéma des connexions Câble de mesure et prise de câble Hirschmann Diode électroluminescente (LED) Relation : signal de mesure et pression Plage de pression > 10 hPa, fonctionnement Pirani seul Plage de pression comprise entre 10 et 0,1 hPa Démontage du jauge Calibrage du jauge (HV) Calibrage du jauge (ATM) Pièces individuelles Outil de montage pour l’aide d'amorçage Pièces de rechange Dimensions 18 20 21 22 22 24 25 26 27 30 33 33 34 37 45 49 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Brèves instructions pour le « jauge à cathode froide/Pirani » PKR 261 BG 5122 Manuel de l'utilisateur « Unité de contrôle et de mesure de la pression totale » TPG 361 | TPG 362 BG 5500 Manuel de l'utilisateur « Unité de contrôle et de mesure de la pression totale » TPG 366 BG 5501 Déclaration de conformité (Partie du présent document) Tab. 1: Documents applicables Les brèves instructions du jauge font partie de la livraison. 1.1.2 Variantes Ce document est applicable à tous les produits avec les références suivantes : Référence Désignation PT R26 250 PKR 261 (DN 25 ISO-KF) PT R26 251 PKR 261 (DN 40 ISO-KF) PT R26 252 PKR 261 (DN 40 CF-F) Tab. 2: Variantes Les informations concernant un seul des appareils sont indiquées comme telles. Sauf indication contraire, les illustrations correspondent à l’appareil avec un raccord de vide DN 25 ISO-KF, tout en s'appliquant également de façon correspondante aux autres raccords de vide. La référence est disponible sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les chiffres présentés dans ce document ne sont pas à l'échelle (dimensions au mm). 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. 7/54 A propos de ce manuel Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles. Remarque Conseil Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification. 8/54 A propos de ce manuel D-35614 Asslar Mod. P/N S/N Input PKR 261 PT R26 xxx 3103457 Made in Liechtenstein 2019/04 xxxxxxxxx 15...30 V DC 2 W 10 cm 4” 1.3.4 Avertissement : champs magnétiques L'autocollant vous avertit que le champ magnétique risque de nuire au fonctionnement de stimulateurs cardiaques et indique la distance minimale par rapport au jauge que les personnes portant des implants doivent respecter. Abréviations Abréviation Explication ATM Atmosphère HV Vide élevé cpl. Unité complète MSL Niveau moyen de la mer s Secondes WAF Largeur sur pans (Width Across Flats) Tab. 3: 1.4 Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve sur la partie supérieure de l'appareil. Abréviations employées Marques ● FullRange® est une marque de Pfeiffer Vacuum GmbH. 9/54 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d'une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. Risques liés au transport AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. 10/54 Sécurité Risques pendant l’entreposage AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l'humidité, etc., provoquent des dégâts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risques liés aux champs magnétiques Le produit émet un champ magnétique perturbant le fonctionnement des appareils électriques (notamment les stimulateurs cardiaques). ► Se tenir à la distance prescrite par le fabricant des stimulateurs cardiaques. – Pfeiffer Vacuum préconise une distance de sécurité d’au moins 130 mm entre le stimulateur cardiaque et le produit. ► Éviter l'influence de champs magnétiques puissants en utilisant des écrans de protection contre les champs magnétiques. AVIS Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va endommager la jauge. ► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 5) à la terre de l’unité d'alimentation. ► Raccordez toujours le blindage (broche 6) à la terre de l’unité d'alimentation. 11/54 Sécurité Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort par électrocution En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques. ► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée. ► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement. DANGER Chocs électriques en raison de la pénétration d'humidité dans l'appareil L’humidité qui a pénétré dans l’appareil cause des blessures par électrisation. ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement sec. ► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité. ► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Service Pfeiffer Vacuum. ► Toujours déconnecter l'alimentation électrique avant de nettoyer l'appareil. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les agents nettoyants utilisés constituent des risques pour la santé. ► Respecter les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respecter les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. 12/54 Sécurité AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (par ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide poussé ou à ultra-vide, veiller à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre. ► Utiliser uniquement des outils propres. ► Lors de l’assemblage, veiller à ce que les brides de raccordement soient sans graisse. ► Retirer les capuchons de protection et les caches de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuer toutes les opérations dans un espace bien éclairé. AVIS Éclats électriques liés à l’hélium L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les détruire. ► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité. ► Déposez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité. AVIS Dégâts causés par la pénétration d'humidité La pénétration d'humidité, sous la forme de condensation ou d'égouttement, endommage l'appareil. ► Protéger l'appareil contre la pénétration de l'humidité. ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement propre et sec. ► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d'égouttement d'eau. ► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface. ► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Risques liés à l'expédition AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement par produits contaminés L'expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une expédition en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut ATTENTION Risque pour la santé en raison de substances dangereuses pour l'environnement Les produits, fluides d'exploitations, composants électriques, gaz d'étalonnage résiduels (provenant des fuites de test par exemple) ou similaire entraînent des risques pour la santé. ► Mettre au rebut les substances dangereuses pour l'environnement conformément aux réglementations locales. ► Mettre au rebut les gaz d'étalonnage et les fuites de test conformément aux réglementations locales. 13/54 Sécurité 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Respecter les consignes de sécurité fondamentales 1. Respecter les directives en vigueur lors de la manipulation de gaz et de pièces contaminées usés. 2. Respecter les mesures de protection. 3. Respecter les consignes de sécurité mentionnées dans ce document. – Toute opération ne peut être effectuée que si les directives pertinentes et les mesures de protection sont respectées. 4. Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 5. Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. 2.4 Utilisation conforme La jauge à gamme complète fournit une mesure de vide de gaz dans une plage comprise entre 5 × 10-9 et 1000 hPa. Ce jauge ne peut pas être utilisé pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives. La jauge peut fonctionner avec une unité de mesure et de contrôle de la pression totale Pfeiffer Vacuum ou une unité d'évaluation fournie par le client. Utilisation du produit conformément à son usage prévu 1. L'installation, l'utilisation et l'entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au mode d'emploi. 2. Conforme aux limites d'application. 3. Respecter les données techniques. 2.5 Utilisations incorrectes envisageables Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme abusive, en particulier : ● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d'application (données techniques) ● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives (si cette utilisation n'est pas explicitement autorisée) ● Utilisation en extérieur ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l'intérieur ou à l'extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 14/54 Sécurité 2.6 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document. ● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu. ● apporte des modifications au produit (conversions, changements, travaux de maintenance, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans le manuel de l'utilisateur correspondant. ● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans le manuel de l'utilisateur correspondant. L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé. 2.7 Conditions propriétaire Travailler en toute sécurité 1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique. 2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers qu'il implique. 3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies : – Utilisation conforme – Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents – Normes et directives applicables au niveau local, national et international – Directives et régulations supplémentaires relatives au produit 4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum. 5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit. 6. Garantir la qualification du personnel. 2.8 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 2.8.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation 15/54 Sécurité De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 2.9 Conditions opérateur Analyse des documents et données concernés 1. Lire, analyser et respecter le mode d'emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la société d'exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements. 2. L'installation, l'utilisation et l'entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l'utilisateur. 3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l'utilisateur et des documents pertinents. 4. Conforme aux limites d'application. 5. Respecter les données techniques. 6. Si ce manuel de l'utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l'utilisation ou de l'entretien du produit, contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum. – Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum. 16/54 Transport et stockage 3 Transport et stockage AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l'humidité, etc., provoquent des dégâts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Transport du produit en toute sécurité 1. Prendre en compte le poids du produit. 2. Dans la mesure du possible, toujours transporter ou expédier le produit dans son emballage d'origine. 3. Toujours utiliser un emballage compact qui protège le produit des chocs. 4. Retirer le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant l'installation. 5. Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. Stockage du produit en toute sécurité 1. Conserver le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. 2. Toujours utiliser un emballage compact qui protège le produit des chocs. 3. Dans la mesure du possible, stocker le produit dans son emballage d'origine. 4. Stocker les composants électroniques dans un emballage antistatique. 5. Maintenir la température d’entreposage admissible. 6. Éviter les fortes variations de températures ambiantes. 7. Éviter un taux d'humidité élevé dans l'air. 8. Fermer les raccords avec les bouchons de protection d'origine. 9. Protéger le produit avec les protections de transport d'origine (si disponibles). 17/54 Description du produit 4 Description du produit 4.1 Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. Enregistrement des données de la plaque signalétique 1. Relever les données sur la plaque signalétique produit. 2. Enregistrer ces données. 3. Toutes les caractéristiques de la plaque signalétique doivent toujours être disponibles. 4.2 Contenu de la livraison Pièces incluses dans la fourniture : ● Jauge ● Brèves instructions Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée. 4.3 Fonction La jauge a 2 systèmes de mesure : ● Système de mesure Pirani ● Système de mesure à cathode froide fonctionnant selon le principe de magnétron inversé Le circuit de mesure Pirani est toujours enclenché. Le circuit de mesure à cathode froide contrôlé par le circuit de mesure Pirani est seulement activé par la jauge lorsque les pressions atteignent p < 1 × 10-2 hPa. La liaison spécifique des deux systèmes de mesure garantit que les systèmes de mesure réagissent généralement comme un système de mesure normalisé pour l’utilisateur. La relation entre le signal de mesure et la pression sur toute la gamme de mesure est de type logarithmique. La jauge applique la configuration de mesure optimale pour le domaine de pression respectif : 1000 hPa 10-4 hPa Cold Cathode 5×10-9 hPa Fig. 1: 18/54 Pirani 10-2 hPa Configuration de mesure Installation 5 Installation 5.1 Raccordement du vide DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. DANGER Danger de mort par électrocution En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques. ► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée. ► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (par ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide poussé ou à ultra-vide, veiller à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre. ► Utiliser uniquement des outils propres. ► Lors de l’assemblage, veiller à ce que les brides de raccordement soient sans graisse. ► Retirer les capuchons de protection et les caches de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuer toutes les opérations dans un espace bien éclairé. AVIS Éclats électriques liés à l’hélium L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les détruire. ► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité. ► Déposez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité. 19/54 Installation 2 1 Fig. 2: Raccordement du vide 1 Capuchon de protection 2 Pièce de tensionnement Procédure 1. Vérifiez que la température de fonctionnement autorisée du jauge n’est pas dépassée vers le haut. 2. Respectez l’espace nécessaire au raccordement électrique (p. ex. rayons de courbure autorisés pour les câbles). 3. Montez la jauge en éliminant dans la mesure du possible toute exposition éventuelle aux vibrations. – Si la jauge est soumis à des vibrations, cela entraîne généralement des divergences des valeurs de mesure. 4. Vérifiez que la position montée est appropriée. 5. Recommandation : Montez la jauge avec une position de service horizontale ou verticale. – Les condensats et les particules ne pourront ainsi pas s'accumuler dans la chambre de mesure. – Vous devez installer la jauge à l’horizontale si vous voulez utiliser la température de service maximale de la bride de 150 °C. 6. Si nécessaire, montez un joint à anneau de centrage et un filtre en cas de risque de contamination pendant le fonctionnement ou comme dispositif de protection du système de mesure contre la contamination. 7. Recommandation : retirez temporairement l’unité électronique du jauge si le montage de la bride est seulement possible avec l'unité magnétique démontée. – Ceci facilitera l’installation du raccord à bride CF. 8. Assurez-vous que les deux potentiomètres du jauge sont facilement accessibles avec un tournevis, une fois le montage terminé. 9. Retirez le capuchon de protection et rangez-le dans un endroit sûr. 10. Raccordez la jauge au système de vide. 11. S’il s'était avéré nécessaire de retirer l’unité magnétique du jauge, réinstallez-la. 5.2 Dépose/installation de l'unité magnétique AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (par ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide poussé ou à ultra-vide, veiller à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre. ► Utiliser uniquement des outils propres. ► Lors de l’assemblage, veiller à ce que les brides de raccordement soient sans graisse. ► Retirer les capuchons de protection et les caches de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuer toutes les opérations dans un espace bien éclairé. La dépose de l’unité magnétique va faciliter l’installation du jauge. 20/54 Installation 4 3 2 1 5 Fig. 3: Dépose/installation de l'unité magnétique (recommandation pour CF-F) 1 Chambre de mesure 2 Vis à tête hexagonale 3 Unité magnétique 4 5 Unité électronique Vis moletée Dépose de l’unité magnétique Outillage nécessaire ● Clé Allen (1,5 WAF) ● Clé plate (WAF 7 mm) 1. Desserrez la vis moletée du côté de l'unité électronique. 2. Déposez l’unité électronique sans exercer de mouvement rotatif. 3. Desserrez la vis à tête hexagonale sur l’unité magnétique. 4. Retirez l’unité magnétique. – La séparation de l’unité magnétique et de la chambre de mesure est plus difficile en raison de l’effet de la force magnétique et de leur tendance à facilement basculer. Installation de l’unité magnétique Outillage nécessaire ● Clé Allen (1,5 WAF) ● Clé plate (WAF 7 mm) 1. Installez l’unité magnétique. – L’installation de l’unité magnétique est plus difficile en raison de l’effet de la force magnétique et de sa tendance à facilement basculer. 2. Fixez la vis à tête hexagonale sur l’unité magnétique. 3. Installez l’unité électronique avec précaution. – Le connecteur mâle de l’élément Pirani doit s’engager dans l’ouverture correspondante de l’unité électronique. 4. Poussez l’unité électronique jusqu’à la butée. 5. Fixez la vis moletée du côté de l'unité électronique. 5.3 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. 21/54 Installation AVIS Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va endommager la jauge. ► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 5) à la terre de l’unité d'alimentation. ► Raccordez toujours le blindage (broche 6) à la terre de l’unité d'alimentation. Pour le fonctionnement du jauge avec une unité de contrôle et de mesure de la pression totale Pfeiffer Vacuum, vous avez besoin d’un câble de mesure ActiveLine Accessories. Sinon, vous pouvez aussi fabriquer un câble de mesure spécifique à cet effet. Raccordement électrique Outillage nécessaire ● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm) Équipement nécessaire ● Câble de mesure (comme accessoire ou fabriqué à cet effet) 1. Raccordez le câble de mesure au point de mesure. 2. Resserrez la vis d'arrêt sur la prise de câble Hirschmann. – Couple de serrage : ≤ 0,2 Nm 10Ω 10Ω Ident 10kΩ Fig. 4: 22/54 V + – + – Schéma des connexions 1 Identification 2 Signal de mesure 3 Signal de masse Fig. 5: 2 3 1 4 5 6 4 5 6 Alimentation Masse de l’alimentation (masse) Protection, blindage 3 2 4 5 1 6 Câble de mesure et prise de câble Hirschmann Installation Fabrication d’un câble de mesure 1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure. – Utilisez un câble avec un blindage tressé et un boîtier métallique de raccordement. – Pour de plus amples informations sur le type de câble de mesure et les coupes transversales de raccordement, voir la fiche technique. – Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection pour le bloc d’alimentation. – Utilisez une entrée de mesure différentielle (signal séparé terre et terre d'alimentation). – Vérifiez que la différence de potentiel entre la terre d'alimentation et le boîtier est ≤ 6 V (protection contre les surtensions). 2. Assemblez la prise de câble Hirschmann. Assemblage de la prise de câble Hirschmann Accessoires nécessaires ● Prise de câble Hirschmann 1. Préparez la prise de câble Hirschmann conformément au diagramme « Câble de mesure et prise de câble Hirschmann ». 2. Soudez le câble de raccordement conformément au diagramme de raccordement. 3. Assemblez la prise de câble Hirschmann. 23/54 Fonctionnement 6 Fonctionnement Dès que la tension d’alimentation a été établie, le signal de mesure est disponible sur le raccordement électrique (broches 2 et 3). Fonctionnement du jauge 1. Observez la période de stabilisation de 10 minutes minimum. 2. Observez la relation entre le signal de mesure et la pression. 3. Recommandation : La jauge doit toujours rester enclenché, quelle que soit la pression. 6.1 Affichage d'état 1 Fig. 6: Diode électroluminescente (LED) 1 LED verte Pression DEL Mode de fonctionnement Identification -2 Désactivé Fonctionnement Pirani 11,1 kΩ (Pirani) -2 allumée Fonctionnement Pirani (système de mesure à cathode froide pas allumé) 11,1 kΩ (Pirani) Fonctionnement combiné 9,1 kΩ (combinaison) p > 1×10 hPa p < 1×10 hPa Tab. 4: Modes de fonctionnement La sortie d’identification montre l'état de fonctionnement correspondant du jauge. Tant que le circuit de mesure à cathode froide ne s’est pas allumé, le signal de sortie n’émet que la valeur Pirani mesurée une nouvelle fois. (if p < 5 × 10-4 hPa : affichage « Pirani underrange »). 24/54 Fonctionnement Relation : signal de mesure et pression p Pa 1E+04 1E–02 1E–04 overrange overrange 1E+00 underrange 1E+02 sensor error hPa torr sensor error 6.2 1E–06 1E–08 0.0 0.5 1.5 2.5 3.5 4.5 5.5 6.5 7.5 8.5 9.5 10.5 U [V] Fig. 7: Relation : signal de mesure et pression p Pression U Signal de mesure [V] Calcul Gamme de validité : ● 5 × 10-9 hPa < p < 1000 hPa ● 3,8 × 10-9 Torr < p < 750 Torr ● 5 × 10-7 Pa < p < 1 × 105 Pa Formule : p = 10(1,667 × U - d) ↔ U = c + 0,6 × log10 p Signal de mesure (U) Pression (p) Constante (c) 1) Constante (d) 2) [V] [hPa] 6,8 11,33 [Torr] 6,875 11,46 [micron] 5,075 8,458 [Pa] 5,6 9,333 [mbar] Tab. 5: Constantes 1) En fonction de l’unité de pression 2) En fonction de l’unité de pression 25/54 Fonctionnement Signal de mesure (U) Pression (p) [V] [hPa] < 0,5 Erreur de capteur 0,5 – 1,82 Gamme dépassée vers le bas 1,82 5,0 × 10-9 3,8 × 10-9 5,0 ×10-7 2,0 1,0 × 10-8 7,5 × 10-9 1,0 × 10-6 2,6 1,0 × 10 -7 7,5 × 10 -8 1,0 × 10-5 3,2 1,0 × 10-6 7,5 × 10-7 1,0 × 10-4 3,8 1,0 × 10 -5 7,5 × 10 -6 1,0 × 10-3 4,4 1,0 × 10-4 7,5 × 10-5 1,0 × 10-2 5,0 1,0 × 10-3 7,5 × 10-4 0,1 5,6 1,0 × 10 -2 7,5 × 10 -3 1,0 6,2 0,1 7,5 × 10-2 10 6,8 1,0 0,75 100 7,4 10 7,5 1000 8,0 100 75 1,0 × 104 8,6 1000 750 1,0 × 105 8,6 – 9,5 Gamme dépassée vers le haut 9,5 – 10,5 Erreur de capteur (Pirani défectueux) Tab. 6: 6.3 [Torr] [Pa] Tableau de conversion Dépendance du type de gaz Le signal de mesure dépend du type de gaz. Les caractéristiques s’appliquent pour l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO). Pour le fonctionnement du jauge avec une unité de contrôle et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum (TPG), vous pouvez saisir un facteur de calibrage pour l’ajustement de la valeur mesurée. Plage de pression > 10-2 hPa (fonctionnement Pirani seul) p [hPa] 102 H2 He 8 Ne 6 4 Air N2 O2 CO 2 CO2 Ar 101 8 6 4 Freon 12 Kr 2 Xe 100 8 6 4 2 10–1 8 6 4 2 Water vapor 10–2 10–3 2 4 6 810–2 2 4 6 810–1 2 4 6 8 100 2 4 6 8 101 4 6 8 102 2 peff [hPa] Fig. 8: 26/54 Plage de pression > 10-2 hPa, fonctionnement Pirani seul Fonctionnement Plage de pression comprise entre 10-6 et 0,1 hPa p [hPa] 10–1 8 6 4 2 10–2 8 6 4 2 Ar 10–3 8 6 4 2 10–4 Air N2 O2 CO 8 6 4 2 He 10–5 8 6 4 2 10–6 10–6 2 4 6 810–5 2 4 6 810–4 2 4 6 810–3 2 4 6 810–2 2 4 6 810–1 peff [hPa] Fig. 9: Plage de pression comprise entre 10-6 et 0,1 hPa Facteurs de calibrage Dans la plage de pression < 10-5 hPa, l’affichage est linéaire. Pour les gaz autres que l’air, vous pouvez déterminer la pression en appliquant une simple conversion : Calcul : Peff = C × p ● Peff Pression efficace ● C Facteur de calibrage ● p Pression affichée (Jauge calibré pour l’air) Mélange de gaz Des mélanges de gaz et de vapeurs font ici souvent leur apparition. Dans de tels cas, une mesure précise est seulement possible avec des instruments de mesure de pression partielle comme un spectromètre de masse quadrupole. Type de gaz Facteur de calibrage (C) Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone (CO), azote (N2) 1,0 Hydrogène (H2) 2,4 Hélium (He) 5,9 Les facteurs de calibrage fournis ici sont des valeurs moyennes. 27/54 Fonctionnement Type de gaz Facteur de calibrage (C) Néon (Ne) 4,1 Argon (Ar) 0,8 Krypton (Kr) 0,5 Xénon (Xe) 0,4 Les facteurs de calibrage fournis ici sont des valeurs moyennes. Tab. 7: 6.4 Facteurs de calibrage pour la plage de pression < 10-5 hPa Temporisation d'amorçage Les systèmes de mesure à cathode froide ont une temporisation d'amorçage à l'activation. Cette temporisation d'amorçage est plus longue pour les basses pressions et est typiquement dans les unités dégazées propres : ● 10-5 hPa environ 1 seconde ● 10-7 hPa environ 20 secondes ● 5 × 10-9 hPa environ 2 minutes Activation avec pression p < 3 x 10-9 hPa Lors de l’activation du point de mesure avec une pression p < 3 x 10-9 hPa, le point de mesure ne détectera pas d'amorçage du système à cathode froide. Le point de mesure affiche « Pirani underrange » (gamme Pirani dépassée vers le bas). Entretien du fonctionnement du point de mesure Si le point de mesure monté sur bride fonctionne en continu quelle que soit la gamme de pression, la temporisation d'amorçage du circuit de mesure à cathode froide est toujours négligeable (< 1 s), avec un effet minimal de stabilisation thermique. L'amorçage est un processus statique pour lequel des dépôts même minimes peuvent avoir une grande influence sur les surfaces intérieures. Tant que le circuit de mesure à cathode froide ne s’est pas allumé, seules les valeurs mesurées Pirani sont émises (affichage « Pirani underrange » gamme Pirani dépassée vers le bas pour des pressions p < 5 × 10-4 hPa). La sortie d’identification signale seulement le fonctionnement Pirani. 6.5 Contamination Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure (comme l’aide d'amorçage) n’est pas couvert par la garantie. La contamination du jauge dépend ● de la pression dans les enceintes à vide ● du type de fluide de process ● Contamination existante ou nouvellement accumulée ou sa pression partielle (p. ex. vapeurs, particules de process, etc.) ● Durée de service Le fonctionnement continu dans la plage comprise entre 10-4 hPa et 10-2 hPa peut causer une contamination grave et réduire la durée de vie et les intervalles d’entretien. Avec des basses pression constantes (p < 1 × 10-6 hPa), une durée de vie de > 1 an peut être atteinte avant qu’un nettoyage ne soit nécessaire. La contamination du jauge entraîne généralement des déviations des valeurs mesurées : ● Dans la plage des hautes pressions (1 × 10-3 hPa to 0.1 hPa), la pression affichée est trop élevée (contamination de l’élément Pirani). Le système de mesure Pirani doit être recalibré. ● Dans la plage de basses pressions (< 1 × 10-3 hPa), la pression affichée est généralement trop basse (contamination du système à cathode froide). Une contamination excessive va causer des 28/54 Fonctionnement instabilités (séparation des couches dans la chambre de mesure). Ceci peut entraîner des courtscircuits. Un étanchement complet de la décharge de gaz est aussi possible en cas de contamination résultant de couches isolées (affichage : « underrange » ou gamme dépassée vers le bas). Modification du degré de contamination Dans une certaine mesure, le niveau de contamination peut être influencé. Les vapeurs séparées dans le plasma (p. ex. à partir du système de mesure à cathode froide) nécessitent une attention particulière. 1. Implémentez des mesures préventives géométriques (tôles de protection, angles) pour les particules se propageant en ligne droite. 2. Choisissez une position de bride avec une pression partielle de contamination minimale. 3. Mettez le point de mesure hors circuit en cas de vapeurs de séparation. ou Isolez le point de mesure avec une vanne en cas de vapeurs de séparation. 29/54 Démontage 7 Démontage DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (par ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide poussé ou à ultra-vide, veiller à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre. ► Utiliser uniquement des outils propres. ► Lors de l’assemblage, veiller à ce que les brides de raccordement soient sans graisse. ► Retirer les capuchons de protection et les caches de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuer toutes les opérations dans un espace bien éclairé. 1 2 3 Fig. 10: Démontage du jauge 1 Câble de mesure 2 Pièce de tensionnement 30/54 3 Capuchon de protection Démontage Démontage du jauge 1. Décompresser le système de vide. 2. Mettez la jauge hors circuit. 3. Desserrez la vis d'arrêt sur la prise de câble Hirschmann du jauge. 4. Déconnectez le câble de mesure du jauge. 5. Recommandation : retirez temporairement l’unité magnétique du jauge si le démontage de la bride est seulement possible avec l'unité magnétique démontée. – Ceci facilitera le démontage du raccord à bride CF. 6. Déconnectez la jauge du système de vide. 7. Mettez le capuchon de protection sur la bride de connexion. 31/54 Maintenance 8 Maintenance Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Annulation de la garantie Les conditions suivantes entraînent une annulation de la garantie : ● Dégâts ou suppression du sceau de fermeture ● Ouverture de l'appareil pendant la période de garantie Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d'intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. Commencer par lire intégralement les sections Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à travailler. 8.1 Calibrage du jauge Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge à l’usine sur les valeurs standards. Le circuit de mesure à cathode froide dominant a été calibré en usine sur une valeur fixe par Pfeiffer Vacuum pour la plage de basse pression (< 1 × 10-3 hPa). Toutefois, il est possible de réajuster le circuit de mesure Pirani. Le calibrage a un effet négligeable sur la plage de pression de pression entre approximativement 10-2 hPa et 102 hPa. Préparation du calibrage 1. Le calibrage doit être effectué régulièrement. – L’utilisation dans d'autres conditions climatiques, le fonctionnement sur le long terme, des températures extrêmes, une orientation différente de montage, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du point zéro dans le circuit de mesure Pirani. Par conséquent, un calibrage ou un nettoyage devient nécessaire. 2. Le calibrage doit être réalisé dans les mêmes conditions ambiantes et avec la même orientation de montage que celles qui sont normalement utilisées pour le point de mesure. 3. Les joints avec un anneau de centrage et un filtre doivent être contrôlés à la recherche d'une contamination éventuelle. 4. Remplacez ces joints s’ils sont contaminés ou endommagés. 5. Réalisez la mise en service du point de mesure. Vous pouvez maintenant calibrer. 32/54 Maintenance VACUUM Compact FullRangeTM Gauge 1 3 Fig. 11: 2 Calibrage du jauge (HV) 1 Bouton 2 Potentiomètre « HV » 3 Plaque signalétique (pivotante) Calibrage HV Outillage nécessaire ● Tournevis (1,5 mm) ● Stylet (max. Ø 3 mm) Accessoires requis ● Appareil de commande ou voltmètre VACUUM Compact FullRangeTM Gauge 1. Activez la jauge aussi près que possible de la position de fonctionnement subséquente. 2. Évacuez le système de vide jusqu’à p << 10-4 hPa. 3. Attendez au moins 10 minutes. 4. Tournez la plaque signalétique jusqu’en butée dans le sens antihoraire. 5. Appuyez sur le bouton à l’aide d'un stylet tout en calibrant simultanément le potentiomètre « HV » avec l’appareil de commande ou le voltmètre. – Appareil de commande : 5 × 10-4 hPa – Voltmètre : 4,2 V 6. Pivotez le potentiomètre d’1/3 de tour dans le sens antihoraire. 7. Retournez la plaque signalétique dans sa position d'origine. 1 2 Fig. 12: Calibrage du jauge (ATM) 1 Potentiomètre « ATM » 2 Plaque signalétique (pivotante) Calibrage ATM Outillage nécessaire ● Tournevis (1,5 mm) ● Stylet (max. Ø 3 mm) 33/54 Maintenance Accessoires requis ● Appareil de commande ou voltmètre 1. Activez la jauge aussi près que possible de la position de fonctionnement subséquente. 2. Laissez la jauge fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes. 3. Tournez la plaque signalétique jusqu’en butée dans le sens horaire. 4. Calibrez le potentiomètre « ATM » avec l’appareil de commande ou le voltmètre. – Appareil de commande : 1 × 103 hPa – Voltmètre : 8,6 V 5. Retournez la plaque signalétique dans sa position d'origine. 8.2 Démontage du jauge AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (par ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide poussé ou à ultra-vide, veiller à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre. ► Utiliser uniquement des outils propres. ► Lors de l’assemblage, veiller à ce que les brides de raccordement soient sans graisse. ► Retirer les capuchons de protection et les caches de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuer toutes les opérations dans un espace bien éclairé. 1 18 16 17 19 20 2 15 3 5 4 14 6 13 7 10 12 Fig. 13: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 34/54 9 8 11 Pièces individuelles Unité électronique Vis moletée Rondelle de blocage (4×) Vis à tête hexagonale (4×) Élément d’isolement Vis moletée (isolement) Pièce de pression Extension d’anode Anode Aide d'amorçage 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 Anneau de centrage Joint en métal (extension d’anode) Circlip Insert de polarité Chambre de mesure Joint cuivre Raccord à vis Élément de mesure Pirani Vis à tête hexagonale Unité magnétique Maintenance Démontage du jauge Outillage nécessaire ● ● ● ● ● ● Clé Allen (1,5 WAF) Clé Allen (3,0 WAF) Clé plate (WAF 6 mm) Clé plate (WAF 7 mm) Pinces pour circlip Pinces 1. Déconnectez la jauge du système de vide. 2. Desserrez la vis moletée du côté de l'unité électronique. 3. Déposez l’unité électronique sans exercer de mouvement rotatif. – Il est impossible de retirer le capot de l’unité électronique. 4. Desserrez la vis à tête hexagonale sur l’unité magnétique. 5. Retirez l’unité magnétique. – La séparation de l’unité magnétique et de la chambre de mesure est plus difficile en raison de l’effet de la force magnétique et de leur tendance à facilement basculer. 6. Retirez le circlip et l’insert de polarité de la chambre de mesure. 7. Desserrez la vis moletée (isolement) et retirez l’élément d’isolement sans le tordre. 8. Retirez les vis à tête hexagonale et les rondelles de blocage à l’arrière de la chambre de mesure. 9. Retirez les pièces suivantes avec le plus grand soin et sans exercer de force sur l’élément de mesure Pirani ● la pièce de pression, ● l’extension d’anode, ● l’anode complète, ● le joint en métal et l’anneau de centrage. 10. Desserrez le raccord de pression de l’élément de mesure Pirani. 11. Retirez l’élément de mesure Pirani avec le joint cuivre. 8.3 Nettoyage des composants DANGER Chocs électriques en raison de la pénétration d'humidité dans l'appareil L’humidité qui a pénétré dans l’appareil cause des blessures par électrisation. ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement sec. ► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité. ► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Service Pfeiffer Vacuum. ► Toujours déconnecter l'alimentation électrique avant de nettoyer l'appareil. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les agents nettoyants utilisés constituent des risques pour la santé. ► Respecter les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respecter les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. AVIS Dégâts causés par la pénétration d'humidité La pénétration d'humidité, sous la forme de condensation ou d'égouttement, endommage l'appareil. ► Protéger l'appareil contre la pénétration de l'humidité. ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement propre et sec. ► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d'égouttement d'eau. ► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum. 35/54 Maintenance AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface. ► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Nettoyage de la chambre de mesure Pfeiffer Vacuum recommande de remplacer l'élément de mesure Pirani lors du nettoyage de la chambre de mesure. Remplacement de l’élément de mesure Pirani Pfeiffer Vacuum recommande de remplacer les éléments de mesure Pirani fortement contaminés ou défectueux. Nettoyage externe de l’appareil Produits consommables requis ● Alcool industriel ● Chiffon (doux, non pelucheux) 1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe. 2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage. Nettoyage de la chambre de mesure et de l’insert de polarité Produits consommables requis ● Chiffon de lustrage (degré 400 ou Scotch Brite) ● Alcool industriel 1. Démontez la jauge autant que nécessaire. 2. Vérifiez que tous les travaux sur les surfaces d'étanchéité sont exécutés de façon concentrique. 3. Frottez les parois internes de la chambre de mesure et l’insert de polarité avec le chiffon doux jusqu’à ce qu’ils brillent. 4. Rincez la chambre de mesure et l’insert de polarité avec de l’alcool industriel. 5. Laissez bien sécher les pièces. 6. Remontez la jauge. Nettoyage de l’anode Produits consommables requis ● Chiffon de lustrage (degré 400 ou Scotch Brite) ● Alcool industriel Outillage nécessaire ● Pinces 1. Démontez la jauge autant que nécessaire. 2. Enlevez l'ancienne aide d’amorçage avec des pinces. 3. Frottez la broche de l’anode avec un chiffon doux jusqu’à ce qu’elle brille. – Ne tordez pas l'anode. – Ne soumettez pas la céramique à un traitement mécanique. 4. Rincez l’anode avec de l’alcool industriel. 5. Laissez bien sécher l’anode. 6. Remplacez l’aide d'amorçage. 7. Remontez la jauge. Nettoyage de l’élément de mesure Pirani Produits consommables requis ● Alcool industriel Accessoires requis ● Pistolet à air chaud (< 150 °C) 36/54 Maintenance Pièces détachées requises ● Raccord à vis ● Joint cuivre 1. Démontez la jauge autant que nécessaire. 2. Retirez le raccord à vis et le joint cuivre de l'élément de mesure Pirani. 3. Remplissez le petit tube de l'élément de mesure avec de l’alcool industriel. 4. Laissez l’alcool industriel agir quelque temps. 5. Videz l’alcool industriel qui se trouve dans le petit tube. 6. Laissez bien sécher le petit tube. – Vous pouvez utiliser un pistolet à air chaud. 7. Placez un joint cuivre neuf et le raccord à vis sur l'élément de mesure Pirani. 8. Remontez la jauge. 8.4 Assemblage du jauge DANGER Danger de mort par électrocution En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques. ► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée. ► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (par ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide poussé ou à ultra-vide, veiller à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre. ► Utiliser uniquement des outils propres. ► Lors de l’assemblage, veiller à ce que les brides de raccordement soient sans graisse. ► Retirer les capuchons de protection et les caches de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuer toutes les opérations dans un espace bien éclairé. AVIS Éclats électriques liés à l’hélium L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les détruire. ► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité. ► Déposez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité. 1 2 3 Fig. 14: Outil de montage pour l’aide d'amorçage 1 Anode 2 Aide d'amorçage 3 Outil de montage 37/54 Maintenance Remplacement de l’aide d'amorçage Outillage nécessaire ● Outil de montage pour l’aide d'amorçage Pièce détachée requise ● Aide d'amorçage 1. Insérez la nouvelle aide d'amorçage dans l'outil de montage. 2. Poussez avec précaution l’anode (neuve ou nettoyée) dans l'aide d'amorçage en la centrant et parallèlement à l'axe de l’outil. 3. Insérez l’anode d’env. 15 mm. Positionnement de l'anode Le positionnement final se fera uniquement après l’installation de l’anode. Les différentes pièces sont disponibles ici : (voir chapitre « Démontage du jauge », page 34) Assemblage du jauge Outillage nécessaire ● ● ● ● ● ● ● Clé Allen (1,5 WAF) Clé Allen (3,0 WAF) Clé plate (WAF 6 mm) Clé plate (WAF 7 mm) Pinces pour circlip Outil de montage pour l’aide d'amorçage Pinces Pièces détachées requises ● Kit de réparation BN 846 242 -T Produits consommables requis ● Azote sec pour le soufflage 1. Assurez-vous que les surfaces d'étanchéité et la céramique (anode) sont bien propres. 2. Glissez le raccord à vis et le joint cuivre sur le petit tube de l’élément de mesure Pirani. 3. Insérez l'élément de mesure Pirani, raccord à vis et joint cuivre compris, dans l’alésage conique de la chambre de mesure. 4. Tout en maintenant l’élément de mesure Pirani, exercez une légère pression et serrez le raccord à vis à la main. 5. Serrez le raccord à vis d’un tour avec la clé plate. 6. Insérez le nouveau joint en métal et l'anneau de centrage en les centrant dans la chambre de mesure. 7. Insérez avec précaution l’anode, avec l'aide d’amorçage et l’extension d’anode installée, dans la chambre de mesure. 8. Installez avec précaution la pièce de pression dans la chambre de mesure et serrez les vis à tête hexagonale et les rondelles de blocage de manière uniforme jusqu’en butée. 9. Poussez avec précaution d'élément d’isolement sur la pièce de pression. 10. Bloquez l’élément d’isolement avec la vis moletée (isolement). 11. Poussez doucement la chambre de mesure avec l’anode dans l’outil de montage jusqu’en butée en la centrant parallèlement à l’axe de l’outil. – Cette opération permet de positionner l’aide d’amorçage. 12. Maintenez la chambre de mesure avec la bride orientée vers le bas et évacuez les particules encore présentes dans la chambre de mesure avec de l’azote sec. 13. Poussez l’insert de polarité dans la chambre de mesure jusqu’à la butée mécanique. 14. Insérez le circlip correctement sur l'insert de polarité. 15. Procédez à un contrôle visuel pour vous assurer que la broche de l’anode est centrée par rapport à l'alésage central de l’insert de la broche. – Excentrage maximal autorisé = 0,5 mm 16. Si possible, effectuez un test d'étanchéité. – Taux de fuite < 10-9 hPa l/s – Si nécessaire, resserrez doucement le raccord à vis. 38/54 Maintenance 17. Installez l’unité magnétique. – L’installation de l’unité magnétique est plus difficile en raison de l’effet de la force magnétique et de sa tendance à facilement basculer. 18. Fixez la vis à tête hexagonale sur l’unité magnétique. 19. Installez l’unité électronique avec précaution. – Le connecteur mâle de l’élément Pirani doit s’engager dans l’ouverture correspondante de l’unité électronique. 20. Poussez l’unité électronique jusqu’à la butée. 21. Fixez la vis moletée du côté de l'unité électronique. 22. Calibrez la jauge. 39/54 Dysfonctionnements 9 Dysfonctionnements Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure (comme l’aide d'amorçage) n’est pas couvert par la garantie. Problème Cause possible Remède Signal de mesure continu < 0,5 V « Error low » (erreur basse) Pas d'alimentation Mettez l’alimentation en circuit Signal de mesure continu> 9,5 V « Error high » (erreur haute) Élément de mesure Pirani défectueux (filament cassé) Remplacez l’élément de mesure Pirani Unité électronique non inséré complètement Assurez-vous que l’unité électronique est complètement insérée La décharge de la cathode froide ne s’est pas activée. Attendez que la décharge de gaz s’allume. (une défaillance totale est possible dans le cas d’une contamination avec les couches d’isolement.) La jauge était uniquement activé à p < 3 × 10-9 hPa. Laissez entrer un peu de gaz. Circuit de mesure Pirani non calibré, par ex. fortement contaminé Calibrez le circuit de mesure Pirani ou remplacez l’élément Pirani si le calibrage n’est plus possible Mesure de gaz lourds Conversion conformément à la dépendance au type de gaz Gaz d’échappement importants dans la chambre de mesure à cathode froide Nettoyez la chambre de mesure Jauge contaminé Nettoyez la jauge La LED verte s’allume et l’afficheur indique fonctionnement Pirani exclusif. (signal de mesure continu > 4,0 V) (« Pirani underrange ») (Gamme basse Pirani) Signal de mesure continu > 5 V ou affichage > 10-3 hPa, malgré un vide optimal Signal de mesure instable Tab. 8: 40/54 Dysfonctionnements Expédition 10 Expédition AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement par produits contaminés L'expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une expédition en toute sécurité. Expédition du produit en toute sécurité Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. 1. L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. 2. Respecter les consignes d'expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. 3. Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l'emballage. 4. Télécharger la déclaration de contamination. (Pfeiffer Vacuum Service). 5. Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 41/54 Mise au rebut 11 Mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. ATTENTION Risque pour la santé en raison de substances dangereuses pour l'environnement Les produits, fluides d'exploitations, composants électriques, gaz d'étalonnage résiduels (provenant des fuites de test par exemple) ou similaire entraînent des risques pour la santé. ► Mettre au rebut les substances dangereuses pour l'environnement conformément aux réglementations locales. ► Mettre au rebut les gaz d'étalonnage et les fuites de test conformément aux réglementations locales. Tri des composants ► Après le démontage, classer les composants selon les catégories suivantes en vue de leur mise au rebut : ● composants contaminés en contact avec les gaz de procédé ● composants non contaminés sans contact avec les gaz de procédé Mise au rebut de composants contaminés en contact avec les gaz de procédé 1. Les substances doivent être mises au rebut de manière sûre, conformément à la réglementation locale en vigueur, si les gaz de procédé utilisés ont été contaminés par voie radioactive, toxique, caustique ou microbiologique. 2. Respecter l'environnement et les consignes de sécurité de chaque pays. Mise au rebut des composants qui ne sont pas en contact avec les gaz de procédé 1. Séparer les composants selon leur nature : ● composants électroniques ● composants électriques ● piles et batteries rechargeables ● composants mécaniques 2. Recycler les composants. 3. Mettre au rebut les substances de manière sûre, conformément à la réglementation locale en vigueur. 4. Respecter l'environnement et les consignes de sécurité de chaque pays. 42/54 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 12 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 43/54 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 44/54 Informations de commande 13 Informations de commande 13.1 Commande de pièces Commande de pièces détachées, d’accessoires ou de composants optionnels ► Toujours préciser les informations suivantes pour commander des pièces détachées, des accessoires ou des composants optionnels : ● Tous les détails de la plaque signalétique ● Description et référence de commande correspondant à la liste des pièces 13.2 Pièces de rechange 1 9 8 7 4 6 Fig. 15: 1 2 3 4 5 3 2 5 Pièces de rechange Unité électronique Extension d’anode Anode, complète Aide d'amorçage Anneau de centrage 6 7 8 9 Joint (HNV 100, 9×1.6) Joint cuivre Raccord à vis Élément de mesure Pirani, avec bague en verre Description Numéro de commande Kit de maintenance Article 4 (3×), article 5 (1×), article 6 (1×) Non utilisé pour ce jauge : 1× rondelle BN 846 241 -T Kit de réparation, PKR 261, complet Article 2 (1×), article 3 (1×), article 4 (3×), article 5 (1×), article 6 (1×), article 7 (1×), article 8 (1×), article 9 (1×) BN 846 242 -T Kit de réparation, cathode froide seulement Article 3 (1×), article 4 (3×), article 5 (1×), article 6 (1×) BN 846 240 -T Kit d’aide d'amorçage Article 4 (10×) BN 845 995 -T Outil de montage pour l’aide d'amorçage BG 510 600 Élément de mesure Pirani Article 7 (1×), article 8 (1×), article 9 (1×) BN 846 228 -T 45/54 Informations de commande Description Numéro de commande Unité électronique PKR 261 Article 1 (1×) PT 120 140 -T Système de mesure, complet (DN 25 ISO-KF) BN 846 472 -T Système de mesure, complet (DN 40 ISO-KF) BN 846 473 -T Système de mesure, complet (DN 40 CF- F) BN 846 474 -T Jauge de rechange (DN 25 ISO-KF) 3) PT R26 250 -A Jauge de rechange (DN 40 ISO-KF) 4) PT R26 251 -A Jauge de rechange (DN 40 CF-F) 5) PT R26 252 -A 13.3 Accessoires Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et options de commande pour les accessoires ActiveLine sont disponibles en ligne. 46/54 Description Numéro de commande Câble de raccordement, 3 m PT 448 250 -T Câble de raccordement, 6 m PT 448 251 -T Câble de raccordement, 10 m PT 448 252 -T Prise de raccordement B 4707 283 MA Blindage magnétique PT 443 155 -X 3) Vous devez renvoyer la jauge défectueux à Pfeiffer Vacuum. 4) Vous devez renvoyer la jauge défectueux à Pfeiffer Vacuum. 5) Vous devez renvoyer la jauge défectueux à Pfeiffer Vacuum. Données techniques et dimensionnelles 14 Données techniques et dimensionnelles Paramètre Valeur Plage de mesure (air, N2) entre 5×10-9 et 1000 hPa Pression maximum (absolue) 10 000 hPa, limitée aux gaz inertes et aux températures < 55 °C Principe de mesure Pirani/cathode froide Précision environ ±30 % dans la plage comprise entre 1 × 10-8 et 100 hPa Répétabilité environ ±5 % dans la plage comprise entre 1 × 10-8 et 100 hPa Calibrage du jauge (HV) (circuit de mesure Pirani) à < 1 × 10-4 hPa (avec le bouton simultanément actionné) Calibrage du jauge (ATM) (circuit de mesure Pirani) à la pression atmosphérique Tab. 9: Valeurs de mesure et de pression Paramètre Signal de sortie (signal de mesure) Valeur Gamme de tension approx. 0 V jusqu’à approx. +10,5 V Signal d'erreur < 0,5 V (pas d'alimentation) > 9,5 V (élément de mesure Pirani défectueux, filament cassé) Rapport tension-pression logarithmique, élévation 0,6 V/décade Impédance de sortie 2 × 10 Ω Impédance de charge (charge minimum) 10 kΩ, résistant aux courts-circuits Temps de réponse en fonction de la pression p > 10 hPa approx. 10 ms p = 10-8 hPa approx. 1 s Fonctionnement Pirani seulement Résistance 11,1 kΩ contre la terre d'alimentation Fonctionnement combiné Pirani/cathode froide Résistance 9,1 kΩ contre la terre d'alimentation -6 Identification du jauge Conditions préalables : ● La polarité de la broche 1 doit toujours être positive par rapport à la terre d'alimentation. ● Mesures avec courant continu : Courant de mesure dans la gamme 0,2 à 0,3 mA ● Mesures avec tension continue : Tension de mesure dans la gamme 2à3V Tension d’alimentation sur la jauge 15,0 à 30,0 V CC sur l’unité d'alimentation avec la longueur de câble max. 6) 16,0 à 30,0 V CC Ondulation 1 Vpp max. Tension de fonctionnement (dans la chambre de mesure) ≤ 3,3 kV Courant de service (dans la chambre de mesure) ≤ 500 μA Entrée de puissance ≤2W Fusible (à raccorder en série)7) ≤ 1 AT Raccordement (électrique) Hirschmann GO 6 (6 broches) Câble de mesure 5 broches, blindage inclus Longueur de câble 75 m max. (0,25 mm2/conducteur) 100 m max. (0,34 mm2/conducteur) 300 m max. (1,0 mm2/conducteur) 6) La tension minimum de l’unité d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur de câble. 7) Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. 47/54 Données techniques et dimensionnelles Paramètre Valeur Concept de mise à la terre Tab. 10: (voir chapitre « Raccordement électrique », page 21) Raccord de vide et signal de masse Connecté avec 10 kΩ (tension différentielle max. en termes de sécurité ± 50 V, en termes de précision ± 10 V) Terre d'alimentation et signal de masse Raccordés séparément, mesure différentielle recommandée pour les longueurs de câble supérieures (≥ 6 m) Données électriques Paramètre Valeur Volume interne approx. 20 cm3 Poids 700 g (DN 25 ISO-KF) 750 g (DN 40 ISO-KF) 995 g (DN 40 CF-F) Tab. 11: Volume interne et poids Paramètre Valeur Humidité relative 80 % max. pour les températures jusqu’à +31 °C, réduction à 50 % à +40 °C Position montée Arbitraire Utilisation En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2000 m au-dessus du niveau moyen de la mer Catégorie de protection IP40 Tab. 12: Conditions ambiantes Paramètre Valeur Fonctionnement 5 à 55 °C Jusqu’à 150 °C au niveau de la bride en cas de montage horizontal, sans blindage magnétique Stockage -40 à +65 °C Fusion ≤ 150 °C 8) Tab. 13: Températures Paramètre Valeur Bride pour DN 25: Acier surfin (1.4104) pour DN 40: Acier surfin (1.4306) Chambre de mesure Acier surfin (1.4104) Douille d’isolement Céramique (Al2O3), verre Joints internes Argent (Ag), cuivre (Cu), brasage tendre (étain/argent (Sn/Ag)) Anode Molybdène (Mo) Aide d'amorçage Acier surfin (1.4310) Tube de mesure Pirani Nickel (Ni), or (Au) Filament Pirani Tungstène (W) Tab. 14: 8) 48/54 Matière contre le vide Sans unité électronique ni blindage magnétique Données techniques et dimensionnelles 122.5 DN 25 ISO-KF 18 32 15.5 57 20 ø 63.5 VACUUM Compact Full RangeTM Gauge VACUUM 32 15.5 57 20 VACUUM ø 63.5 DN 40 CF-F DN 40 ISO-KF 123 18.5 Compact Full RangeTM Gauge VACUUM 24 128.5 Fig. 16: Dimensions Dimensions en mm. 49/54 Annexe 15 Annexe 15.1 Unités de pression Unité mbar mbar 1 bar Pa hPa kPa Torr / mm Hg 100 1 0,1 1 · 10 0,75 bar 1000 1 1 · 10 1000 100 Pa 0,01 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7,5 · 10-3 hPa 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1000 10 1 7,5 Torr / mm Hg 1,33 1,33 · 10-3 133,32 1,33 0,133 1 -3 5 -5 750 -3 2 1 Pa = 1 N/m Tab. 15: 15.2 Unités de pression et leur conversion Débits de gaz Unité mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s mbar l/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 Pa m3/s 10 1 592 7,5 sccm Torr l/s 3 atm cm /s Tab. 16: 50/54 9,87 1,69 · 10 1 1,27 · 10 1,67 · 10-2 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 1,69 · 10 -2 -3 Débits de gaz et leur conversion -2 ETL LISTED The product PKR 261 - conforms to the UL standard UL 61010-1. 3103457 - is certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1. Déclaration de conformité Par la présente, nous déclarons que le produit cité ci-dessous est conforme à toutes les dispositions des directives UE suivantes : ● Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE ● Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Jauge Pirani/à cathode froide PKR 261 Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN 61000-6-2:2006-03 DIN EN 61000-6-3:2011-09 DIN EN 61010-1:2011-07 DIN EN 61326-1:2013-07 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar Allemagne (Dr Ulrich von Hülsen) Managing Director Aßlar, 2019-04-11 53/54 *BG5157* ed. D - Date 1908 - P/N:BG5157BFR ">

Lien public mis à jour
Le lien public vers votre chat a été mis à jour.