Pfeiffer IMR 265 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
Traduction du manuel de l'utilisateur
IMR 265
BG 5172 BFR / B (2017-02)
Compact Process Ion Gauge
Identification du produit
Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit sont nécessaires pour
toutes communications à Pfeiffer Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous.
Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar
Typ:
No:
F-No:
V
W
Validité
Ce document est valable pour les produits avec les numéros de référence
PT R26 500 (bride DN 25 ISO-KF)
PT R26 501 (bride DN 40 ISO-KF)
PT R26 502 (bride DN 16 CF-F)
PT R26 503 (bride DN 40 CF-F)
PT R26 504 (bride DN 16 ISO-KF)
PT R26 505 (tube 3/4")
Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique.
Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans
préavis.
Utilisation prévue
Les jauges IMR 265 servent à la mesure du vide des gaz dans la gamme des
pressions de 2×10-6 … 1000 hPa. La mesure dans la gamme
≈ 1 hPa … 1000 hPa (gamme de contrôle) sert à l'indication de la tendance.
Elles ne doivent pas être employées pour la mesure de gaz facilement inflammables ou combustibles mélangés à un oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique)
dans les limites explosives.
La jauge IMR 265 fait partie de la famille des jauges compactes Pfeiffer Vacuum et
peut être utilisée avec un appareil de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum
pour jauges compactes ou avec un instrument d'évaluation du client.
Principe de fonctionnement
Le signal de mesure est émis comme logarithme de la pression.
Un manomètre à ionisation à cathode chaude est employé. Il est piloté au moyen
d'un manomètre Pirani intégré (gamme de contrôle). La cathode chaude est
uniquement activée au-dessous du seuil de commutation de 5×10–2 hPa (afin
d'éviter un claquage). En présence de hautes pressions, le signal Pirani est
disponible.
2
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(2017-02)
IMR 265
Sommaire
Identification du produit
Validité
Utilisation prévue
Principe de fonctionnement
2
2
2
2
1 Sécurité
1.1 Explication des signes
1.2 Qualification du personnel
1.3 Indications concernant la sécurité
1.4 Responsabilité et garantie
4
4
4
4
4
2 Caractéristiques techniques
5
3 Installation
3.1 Raccordement au vide
3.1.1 Démontage / montage de l'unité électronique
3.2 Raccordement électrique
3.2.1 Utilisation avec appareil de mesure et de commande pour jauges
compactes
3.2.2 Utilisation avec d'autres instruments d'évaluation
9
9
11
12
4 Fonctionnement
4.1 Principe de mesure, comportement de la mesure
4.2 Principe de fonctionnement de la jauge
14
14
17
5 Maintenance
5.1 Maintenance
5.2 Ajustement de la jauge
5.3 Réglage de la valeur de calibrage de la cathode chaude
5.4 Nettoyage de la jauge
5.5 Remplacement du baffle
5.6 Remplacement du capteur
5.7 Comportement en présence d'un défaut
18
18
18
19
19
20
21
21
6 Démontage
22
7 Retour du produit
23
8 Options
23
9 Pièces de rechange
24
10
24
Recyclage
Annexe
A: Table de conversion des unités de pression
B: Rapport signal de mesure – pression
C: Dépendance du type de gaz
12
12
25
25
25
26
Pour des références aux pages de ce document, le signe (→  XY) est utilisé, pour
des références à d'autres documents le signe (→  [Z]).
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IMR265.mdu
3
1 Sécurité
1.1 Explication des signes
DANGER
Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature.
AVERTISSEMENT
Indications concernant la prévention de dégradations de l'environnement et
d'importants dégâts matériels.
Attention
Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect
des instructions peut provoquer des disfonctionnements ou des dégâts matériels
mineurs.
1.2 Qualification du
personnel
Personnel qualifié
Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des
personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire
ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit.
1.3 Indications concernant
la sécurité
•
Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes
aux gaz utilisés.
Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit (→  5) et les
gaz des procédés.
•
Considérer des réactions possibles des gaz des procédés à la chaleur générée
par le produit.
•
Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées
concernant toute intervention. Tenir également compte des dispositions de
précaution figurant dans ce document.
•
Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination.
Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à
la manipulation d'éléments contaminés.
Communiquer les indications concernant la sécurité aux autres utilisateurs.
1.4 Responsabilité et
garantie
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et
non avenue si le détenteur ou une tierce personne
•
n'observe pas les indications figurant dans ce document
•
utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue
•
•
modifie ce produit d'une façon quelconque
utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation
du produit correspondante.
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur.
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces
d'usure (p. ex. filament), sont exclues de la garantie.
4
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IMR 265
2 Caractéristiques techniques
Mesure
Gamme de mesure (air, N2)
cathode chaude
Pirani (gamme de contrôle)
Répétabilité
10-5 … 10-1 hPa
-1
10 … 100 hPa
Dépendance du type de gaz
Émissions
Seuil de commutation
(sélectionnable par étages)
Courant d'émission
augmentant continuellement
de 1 hPa
–6
à 2×10 hPa
Tension de l'anode
Signal de sortie
Gamme de tension
Gamme de mesure
cathode chaude
Pirani
Overrange cathode chaude
Underrange cathode chaude
Overrange Pirani
Underrange Pirani
Relation tension – pression
cathode chaude
Pirani
Signaux d'erreur
0.3 V
0.5 V
-6
2×10 … 1 hPa
1×10-2 … 1000 hPa
(après 10 minutes de stabilisation)
2 % mesure
≈ 30 % mesure
→ Annexe C
1 hPa
–1
5×10 hPa
2×10–1 hPa
–1
1×10 hPa
5×10–2 hPa (réglage d'usine)
4 µA
130 µA
180 V
0 … 10.2 V
1.5 … 7.5 V
8.5 … 9.75 V
7.5 V < U < 8.0 V
0.5 V < U < 1.5 V
9.75 V < U < 10.2 V
8.0 V < U < 8.5 V
(→ Annexe B)
logarithmique,
1.00 V / décade
0.25 V / décade
→  21
•
cathode chaude
•
Pirani/électronique mal montée
Impédance chargée minimale
10 kΩ, protégée contre courts-circuits
Identification de la jauge
Résistance (broche 1, Umax = 4.25 V)
15.2 kΩ contre masse alimentation
Ajustement
Pirani
vide élevé
ATM (touche <ATM>)
cathode chaude
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compensation automatique par le circuit
de mesure à cathode chaude dans la
gamme 1 … 3×10-3 hPa
ajustement par touche <ATM> (appuyer
≥ 5 s) à pression atmosphérique
réglage de la valeur de calibrage à l'aide
du commutateur à 16 positions
conformément à l'inscription sur le
capteur
5
Alimentation
DANGER
La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations, appareils de
mesure ou systèmes de réglage et de commande répondant aux
exigences pour les basses tensions mises à la masse (PELV). Il
)
faudra protéger la ligne vers la jauge.1
Tension à la jauge
Consommation de courant
Standard
Démarrage de l'émission (200 ms)
Puissance absorbée
1)
Fusible à insérer
Tension sur le dispositif d'alimentation
avec un câble de longueur maximale
Câble de mesure
Connecteur électrique
Couple de serrage
Câble
Longueur du câble
Conception de la masse
Masse alimentation bride à vide
Masse signal – masse alimentation
Vide
Matériaux au contact du vide
Boîtier, fixations, blindages
Passages
Isolateur
Cathode
Support de cathode
Elément Pirani
Volume interne
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-R
Pression max.
6
20 … 30 VDC2)
ondulation max. 1 Vpp
≤ 0.5 A
≤ 1.4 A
≤ 16 W
≤ 1.25 A (lente)
21 … 30 V
ondulation max. 1 Vpp
connecteur compact Hirschmann, type
GO 6, 6 pôles, mâle
≤ 0.2 Nm
5 pôles plus blindage
≤ 35 m (conducteurs 0.25 mm²)
≤ 50 m (conducteurs 0.34 mm²)
≤ 100 m (conducteurs 1.0 mm²)
liaison galvanique
à acheminement distinct ; en raison de
la consommation de courant élevée,
seule une mesure différentielle est
autorisée
acier inoxydable
NiFe nickelé
verre
iridium, oxyde yttrique
molybdène, platine
tungstène, cuivre
3
≤ 24 cm
≤ 24 cm3
≤ 34 cm3
500 kPa (absolue), (limitée aux gaz
inertes et aux températures < 100 °C)
1)
Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes satisfont à ces
exigences.
2)
La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur
du câble de mesure.
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Environnement
Températures admissibles
Stockage
Service
Etuvage
Humidité relative
Moyenne annuelle
pendant 60 jours
Utilisation
Protection
Dimensions
–20 … 70 °C
0 … 50 °C
+ 50 °C (avec électronique)
+ 80 °C (sur la bride, avec électronique)
+150 °C (électronique démontée)
≤ 65% (pas de condensation)
≤ 85% (pas de condensation)
en salle, altitude jusqu'à 2000 m
IP 30
Bride DN 16 ISO-KF et tube 3/4"
Dimensions [mm]
Tube 3/4"
DN 16 KF
Poids
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≈ 285 g
7
Bride DN 25 ISO-KF et DN 40 ISO-KF
Dimensions [mm]
DN 25 KF
DN 40 KF
Poids
g
≈ 315 g
Bride DN 16 CF-F et DN 40 CF-F
Dimensions [mm]
DN 16 CF-F
DN 40 CF-F
Poids
8
≈ 300 … 550 g
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3 Installation
3.1 Raccordement au vide
DANGER
DANGER : surpression dans le système à vide > 100 kPa
Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque il règne une surpression dans le système à vide, des composants peuvent être
projetés et causer des blessures. Des gaz peuvent également
échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé.
Ne pas ouvrir les éléments de serrage lorsque il règne une surpression dans le système à vide. Utiliser des éléments de serrage
convenables pour la surpression.
DANGER
DANGER : protection par mise à la masse
Les produits mal raccordés à la masse présentent un danger mortel
en cas de panne.
La jauge doit être connectée directement à la chambre à vide mise à
la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010 :
• Les brides CF satisfont à ces exigences.
• Pour les brides KF il faudra utiliser un anneau de serrage conducteur.
•
Avec le tube ¾ ", satisfaire à cette exigence en prenant les
mesures qui s'imposent.
Attention
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du
composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées
pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels.
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IMR265.mdu
•
Dans la mesure du possible, installer la jauge à l'abri des vibrations.
•
La position de montage n'est pas imposée, veiller cependant à ce que les
particules ne puissent pas pénétrer dans la chambre de mesure.
•
L'encombrement requis est indiqué sur le plan coté (→  7).
•
Si le bridage est uniquement possible sans l'unité électronique, démonter l'unité
électronique (→  11).
•
Le capteur peut être étuvé à des températures à concurrence de 150 °C. À
partir d'une température de 50 °C, l'unité électronique doit être démontée
(→  11).
9
Procédure à suivre
 Retirer le protecteur.
Remarque :
Conserver le
protecteur et le
remettre en place
après chaque
démontage.
 Raccorder la jauge au système à vide.
Installer la jauge de façon qu'un ajustage soit possible après le montage
(→  16, 18, 19).
10
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3.1.1 Démontage / montage de
l'unité électronique
Outillage /
matériel requis
•
Démontage
a) Détacher avec précaution la vis sans tête à six pans creux (1) sur le côté de
l'unité électronique (2) (danger de perte de la vis).
Clé pour vis à six pans creux de 2.5
1
2
b) Retirer l'unité électronique sans la tourner.
Montage
a) Installer l'unité électronique sur le capteur (3) (tenir compte de la disposition
des broches du connecteur et de la rainure (4)).
4
3
b) Enfoncer à fond l'unité électronique puis la bloquer à l'aide de la vis sans tête à
six pans creux (1).
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IMR265.mdu
11
3.2 Raccordement
électrique
3.2.1 Utilisation avec appareil
de mesure et de
commande pour jauges
compactes
3.2.2 Utilisation avec d'autres
instruments d'évaluation
Procédure à suivre
Pour l'utilisation avec un
appareil de mesure et de
commande Pfeiffer Vacuum
pour jauges compactes, un
câble de mesure compatible est
requis (→  23).
•
Raccorder la prise à la jauge
puis le fixer à l'aide de la vis
(couple de serrage
≤0.2 Nm).
•
Raccorder puis bloquer
l'autre extrémité du câble à
l'appareil de mesure et de
commande.
La jauge peut également être utilisée avec d'autres appareils d'évaluation. En tel
cas, vous devez vous-même confectionner le câble de mesure (prise de raccordement →  23).
En raison de la consommation de courant élevée, seules les mesures différentielles entre la sortie du signal (broche 2) et la masse signal (broche 3) sont
autorisées.
la prise de
 Préparer
raccordement (numéro
de référence →  23)

Préparer le câble.
 Souder le câble de mesure dans la prise selon le schéma.
Degas
15.2 k
Affectation des contacts
Broche 1 Identification (U ≤ 4.25 V)
Broche 2 Sortie du signal (mesure)
Broche 3 Masse signal GND
Broche 4 Alimentation
Broche 5 Masse alimentation GND
Broche 6 Blindage
12
2
3
1
4
5
6
+
–
Degas
+
–
3
2
4
5
Prise côté
soudures
1
6
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IMR 265
AVERTISSEMENT
La masse alimentation (broche 5) ainsi que le blindage
(broche 6) du dispositif d'alimentation doivent impérativement
être reliés à la masse.
Un raccordement incorrect, une polarité incorrecte ou une
tension d'alimentation non autorisée peuvent endommager la
jauge.
 Assembler la prise de raccordement.
l'autre extrémité du câble en fonction du raccordement de
 Équiper
l'instrument d'évaluation.
la prise de
 Emboîter
raccordement.
Fixer la prise sur la jauge avec la
vis (couple de serrage ≤0.2 Nm).
 Raccorder l'autre extrémité du câble à l'appareil d'évaluation.
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IMR265.mdu
13
4 Fonctionnement
Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose entre les broches 2 et 3
du signal de mesure qui est émis comme logarithme de la pression dans toute la
gamme de mesure (rapport entre le signal de et la pression → Annexe B).
Le temps de stabilisation est ≈ 10 minutes. Maintenez la jauge en fonctionnement
permanent, indépendamment de la pression.
4.1 Principe de mesure,
comportement de la
mesure
La jauge IMR 265 abrite deux systèmes de mesure distincts (cathode chaude à
haute pression (HP) et Pirani).
Cathode chaude à haute
pression (HP)
Les électrodes du système de mesure à cathode chaude HP qui sont disposées
comme indiqué en figure 1 garantissent une bonne sensibilité et linéarité ainsi
qu'une bonne stabilité, même à haute pression.
Le principe de mesure de ce système de mesure repose sur l'ionisation gazeuse.
Les électrons émis par la cathode chaude (F) ionisent un nombre de molécules
proportionnel à la pression à l'intérieur de la chambre de mesure. Le collecteur
d'ions (IC) enregistre le courant ionique I+ ainsi généré et l'achemine vers l'amplificateur de l'électromètre de l'instrument de mesure. Le courant ionique dépend du
courant d'émission Ie, du type de gaz et de la pression de gaz p selon le rapport
suivant :
I+ = Ie × p × C
Le facteur C correspond à la sensibilité de la jauge. Il est généralement indiqué
pour N2.
La limite de mesure inférieure se situe aux alentours de 2×10-6 hPa.
Afin que toute la gamme comprise entre 2×10-6 hPa et 1 hPa puisse être couverte
de manière utile, le courant d'émission est constamment augmenté de 4 µA avec
1 hPa à 130 µA avec 2×10-6 hPa (aucune transitoire en cas de commutation du
courant d'émission).
IC
EC
F
Figure 1
Configuration du système
de mesure HP
F Cathode chaude (filament)
IC Collecteur d'ions
(collecteur)
EC Collecteur d'électrons
(grille de l'anode)
14
IC
EC
F
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(2017-02)
IMR 265
Pirani (gamme de contrôle)
Entre certaines limites, la conductibilité thermique des gaz dépend de la pression.
Cet effet physique est exploité pour la mesure de la pression dans le vacuomètre à
conductibilité thermique selon Pirani. Un circuit en pont à compensation automatique est employé comme circuit de mesure. Un fil fin en tungstène est employé
comme élément de mesure. Un circuit de réglage compatible permet de maintenir
la résistance du fil et ainsi sa température à un niveau constant. La puissance
électrique établie sur le fil est alors une grandeur pour la conductibilité thermique et
ainsi pour la pression du gaz. Le principe de base du circuit en pont à
compensation automatique est indiqué sur la figure 2.
UB
+
–
IMR 265
Figure 2
La tension du pont UB est une grandeur pour la pression du gaz et son traitement
ultérieur est électronique (linéarisation, numérisation).
Gamme de mesure, seuil de
commutation
La jauge IMR 265 couvre la gamme de mesure comprise entre 2×10-6 et 1000 hPa.
Cathode chaude HP
2 × 10 hPa
Pirani
1000 hPa
-6
5 × 10-2 hPa ... 1 hPa seuil
(point) de commutation réglable
•
L'élément Pirani surveille constamment la pression.
•
La cathode chaude (pilotée par l'élément Pirani) ne s'amorce qu'en présence
de pressions < 1 … 5×10-2 hPa (réglage à l'aide du commutateur).
Si la pression mesurée est supérieure au seuil de commutation (réglable à l'aide
du commutateur dans la gamme 1 … 5×10-2 hPa), la cathode chaude reste éteinte
et la valeur mesurée Pirani est affichée comme signal de sortie (→ Annexe B).
Lorsque la valeur mesurée Pirani est inférieure au seuil de commutation, la
cathode chaude est activée, le voyant vert s'allume. Après le chauffage, la valeur
mesurée pour la cathode chaude est émise. Lorsque la pression augmente au-delà
du seuil de commutation défini, la cathode chaude est désactivée. La valeur
mesurée Pirani est alors à nouveau disponible sur la sortie.
BG 5172 BFR / B
(2017-02)
IMR265.mdu
15
Sélection du seuil de
commutation
La jauge IMR 265 comporte cinq seuils de commutation sélectionnables. Cela
permet d'éviter que la gamme de commutation ne soit situe dans la gamme de la
pression de travail. Le seuil de commutation est réglé en usine à 5×10-2 hPa. La
commutation s'effectue à l'aide du commutateur <P ↔ HP>. Sélectionner de
préférence un seuil de commutation le plus faible possible car la tendance à
l'encrassement du système à cathode chaude est plus faible à une pression basse.
Vorsicht
Sélectionner le seuil de commutation avant de mettre la jauge en
circuit parce que la position du commutateur est uniquement prise en
compte lors de l'activation de la jauge.
16
Position du
commutateur
Seuil de commutation
0; 1
2; 3
4; 5
6; 7
8; 9
1 hPa
–1
5×10 hPa
2×10–1 hPa
–1
1×10 hPa
–2
5×10 hPa (réglage d'usine)
Précision de mesure
La jauge a été ajustée en usine. Un nouvel ajustement peut s'avérer nécessaire en
cas d'utilisation en présence de conditions climatiques divergentes, de températures extrêmes, d'encrassement ou de vieillissement (→  18).
-1
La précision de mesure est réduite dans la gamme supérieure à 1×10 hPa et
-5
inférieure à 1×10 hPa.
Dépendance du type de gaz
La valeur de mesure dépend de la nature du gaz. La relation entre le signal de
mesure et la pression (→ Annexe B) s'applique à l'azote (N2), à l'oxygène (O2), à
l'air sec et au monoxyde de carbone (CO). Pour d'autres gaz, procéder à la
conversion (→ Annexe C).
Si vous utilisez la jauge avec un appareil de mesure et de commande Pfeiffer
Vacuum, vous pouvez y entrer le facteur de correction correspondant (→  de
l'appareil de mesure correspondant).
BG 5172 BFR / B
(2017-02)
IMR 265
Encrassement
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les
pièces d'usure (p. ex. filament), sont exclues de la garantie.
La jauge IMR 265 est conçue de manière à ce que l'encrassement dû aux
processus soit réduit au minimum. Le baffle ainsi que la structure intérieure fermée
du système de mesure contribuent à cet effet. L'autochauffage du système de
mesure permet de réduire l'encrassement provoqué par les produits issus des
procédés industriels.
La jauge IMR 265 est réglée en usine de manière à ce que la cathode chaude soit
-2
activée à ≈ 5×10 hPa. La jauge peut également être activée de manière externe
en activant la tension d'alimentation. Le pilotage Pirani reste alors garanti.
En présence d'un encrassement important, le système de mesure doit être remplacé (→  21).
4.2 Principe de
fonctionnement de la
jauge
BG 5172 BFR / B
(2017-02)
IMR265.mdu
Les courants de mesure des capteurs (cathode chaude HP et Pirani) sont convertis
par un convertisseur de courant / fréquence en une fréquence qui varie en fonction
de la valeur mesurée. Un microcontrôleur génère une valeur numérique comme
référence pour la pression mesurée à partir de ce signal de fréquence. Cette valeur
est disponible sous forme de signal de mesure analogique 0 … 10.2 V sur la sortie
(broche 2 / broche 3), la gamme de mesure de pression valide étant comprise
entre 1.5 et 7.5 V (cathode chaude HP) ou entre 8.5 et 9.75 V (Pirani).
Outre la conversion des signaux de mesure, le microcontrôleur se charge de la
surveillance des émissions et du calcul de la pression à partir des valeurs
mesurées.
17
5 Maintenance
5.1 Maintenance
DANGER
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes à la manutention de composants contaminés.
5.2 Ajustement de la jauge
La jauge est étalonnée en usine. L'utilisation de la jauge dans un climat différent ou
une autre position de montage, son vieillissement, des impuretés ou l'échange du
capteur (→  21) peuvent provoquer une dérive de la courbe caractéristique et un
ajustage peut devenir nécessaire.
Un ajustage est nécessaire lorsque
•
la tension de sortie est < 9.75 V (affichage de la pression < 1000 hPa) à
pression atmosphérique
•
durant à la remise à la pression atmosphérique, la tension de sortie atteint
9.75 V 1) (affichage de la pression < 1000 hPa) avant la pression mesurée
atteigne la pression atmosphérique.
1)
La tension de sortie est limitée à 10.2 V par le logiciel.
Les étapes suivantes sont prévues :
Ajustage vide élevé Pirani
•
Ajustage vide élevé Pirani
•
Ajustage atmosphériqe Pirani
Lors de chaque mise en circuit de la jauge, le circuit de mesure Pirani est automatiquement compensé par le circuit de mesure à cathode chaude (lorsque la
-3
pression est pour la première fois comprise dans la gamme p = 1 … 3×10 hPa).
Ajustement atmosphérique
Pirani
Outillage requis
•
Procédure à suivre
 Laisser la jauge en circuit pendant ≈ 10 minutes à pression atmosphérique.
Goupille ≈ ø 1.3 × 50 mm (p. ex. un trombone déplié)
Si la jauge était auparavant au mode d'ionisation à cathode chaude, il faut
la laisser refroidir pendant ≈ 30 minutes (température de jauge = température ambiante).
18
BG 5172 BFR / B
(2017-02)
IMR 265
 Insérer la goupille dans l'ouverture <ATM> et appuyer sur la touche
pendant ≥ 5 secondes.
5.3 Réglage de la valeur de
calibrage de la cathode
chaude
La jauge est étalonnée en usine et une valeur de calibrage comprise dans la
gamme entre 0 et F y est imprimée. Cette valeur doit être réglée à l'aide du
commutateur <Cal adj> afin d'adapter l'électronique au capteur. Lors de la
première mise en service de la jauge et après un remplacement du capteur,
contrôler le réglage de la valeur de calibrage et l'ajuster le cas échéant.
5.4 Nettoyage de la jauge
Le capteur ne peut pas être nettoyé (exception faite du baffle) et doit être remplacé
en présence d'un encrassement important (→  21). Lorsque les valeurs mesurées
ne sont pas stables, cela implique un encrassement du capteur. Il y a un encrassement lorsque des impuretés sont visibles ou que le capteur change de couleur.
Un chiffon humecté suffit en général pour un nettoyage externe. Les détergents
agressifs et les récurants ne conviennent pas pour ce nettoyage.
Attention
S'assurer qu'aucun liquide ne pénètre dans le matériel. Laisser sécher
celui-ci complètement avant de le remettre en circuit.
BG 5172 BFR / B
(2017-02)
IMR265.mdu
19
5.5 Remplacement du baffle
En présence d'un encrassement important, le baffle peut être remplacé.
Attention
Attention : zone sensible à la pollution
Si le produit ou des composants du produit sont touchés à mains nues
le taux de dégazage est augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils
propres.
Pièces / outillage requis
Procédure à suivre
•
Baffle neuf (→  23)
•
Tournevis n° 1
•
Goupille (p. ex. crayon)
a) Démonter avec précaution le baffle à l'aide du tournevis.
b) Déposer avec précaution le baffle neuf sur l'entrée du capteur.
c) Enfoncer avec précaution le baffle au centre à l'aide de la goupille jusqu'à ce
qu'il s'enclenche.
20
BG 5172 BFR / B
(2017-02)
IMR 265
5.6 Remplacement du
capteur
Remplacement requis lorsque
•
le capteur est fortement encrassé
•
le capteur est défectueux, p. ex. lorsque le filament incandescent est cassé.
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les
pièces d'usure (p. ex. filament), sont exclues de la garantie.
Outillage / matériel requis
Procédure à suivre
•
Clé pour vis à six pans creux de 2.5
•
Capteur de rechange (→  24)
a) Démonter la jauge (→  22).
b) Démonter l'unité électronique du capteur défectueux puis la monter sur le
nouveau capteur (→  11).
c) Monter la jauge (→  9).
d) Régler la valeur de calibrage pour la cathode chaude (→  19).
e) Mettre la jauge en circuit.
f) Compenser la jauge (→  18).
5.7 Comportement en
présence d'un défaut
Défaut
Cause possible
Solution
Aucun signal de mesure
Absence d'alimentation
Mettre en circuit
l'alimentation
Câble de mesure
défectueux ou mal
branché
Contrôler le câble de
mesure
Jauge dans un état
indéfini
Mettre la jauge hors circuit
puis la remettre en circuit
(réinitialisation)
Signal de mesure 0.3 V
Erreur de la cathode
chaude
(capteur défectueux)
Remplacer le capteur
(→  21)
Signal de mesure 0.5 V
Erreur Pirani
(capteur défectueux)
Remplacer le capteur
(→  21)
L'unité électronique n'est
Contrôler le raccordement
pas correctement installée
sur le capteur
En présence d'une erreur, il est recommandé de d'abord couper la tension
de service puis de la rétablir après 5 secondes.
BG 5172 BFR / B
(2017-02)
IMR265.mdu
21
6 Démontage
DANGER
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle
contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés.
Attention
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du
composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées
pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels.
Procédure à suivre
 Remettre le système à vide à la pression atmosphérique.
 Mettre la jauge hors circuit.
 Détacher le câble de mesure.
 Démonter la jauge de la chambre à vide.
22
BG 5172 BFR / B
(2017-02)
IMR 265
 Mettre le protecteur en place.
7 Retour du produit
l
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : transport de produits contaminés
Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques,
caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Les produits qui nous sont envoyés seront dans la mesure du possible
exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Inclure une
*)
déclaration de contamination remplie.
*)
Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com.
En absence de confirmation univoque que le produit est "exempt de substances
nocives", le produit est décontaminé aux frais du client.
En absence d'un "Questionnaire de sécurité" dûment rempli, le produit est renvoyé
à l'expéditeur à ses frais.
8 Options
Numéro de référence
Câble de mesure pour appareil de mesure et de
commande Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes
3m
6m
10 m
Prise de raccordement, Hirschmann GO 6 WF, à 6 pôles,
coudée, douilles
Baffle
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(2017-02)
IMR265.mdu
PT 448 250–T
PT 448 251–T
PT 448 252–T
B 4707 283 MA
PT 120 125–T
23
9 Pièces de rechange
Les commandes de pièces de rechange doivent toujours comprendre
•
toutes les indications figurant sur la plaque signalétique
•
description et numéro de référence selon la liste des pièces de rechange
Numéro de référence
Capteur IMR 265, bride DN 25 ISO-KF
PT 120 111–T
(clé pour vis à six pans fournie)
Capteur IMR 265, bride DN 40 ISO-KF
PT 120 112–T
(clé pour vis à six pans fournie)
Capteur IMR 265, bride DN 16 CF-F
PT 120 113–T
(clé pour vis à six pans fournie)
Capteur IMR 265, bride DN 40 CF-F
PT 120 114–T
(clé pour vis à six pans fournie)
Capteur IMR 265, bride DN 16 ISO-KF
PT 120 115–T
(clé pour vis à six pans fournie)
Capteur IMR 265, tube 3/4"
PT 120 116–T
(clé pour vis à six pans fournie)
Unité électronique IMR 265
PT 120 110–T
(clé pour vis à six pans fournie)
10 Recyclage
DANGER
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle
contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : substances polluantes
Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou
électriques, fluides etc.) peuvent polluer l'environnement.
Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation
locale.
Tri des composants
24
Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants :
Composants contaminés
Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives,
toxiques, caustiques ou microbiologiques) conformément à la réglementation
nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer.
Composants non contaminés
Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer.
BG 5172 BFR / B
(2017-02)
IMR 265
Annexe
A:
Table de conversion des
unités de pression
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
1
1×103
0.01
1
10
1×10-3
1
1×10-5
1×10-3
0.01
100
1×105
1
100
1×103
1
1×103
0.01
1
10
0.1
100
1×10-3
0.1
1
Torr
mm HG
0.75
750
7.5×10-3
0.75
7.5
1.332
1.332×10
133.32
1.3332
0.1332
1
-3
1 Pa = 1 N/m2
B:
Rapport signal de
mesure – pression
Formules de conversion
Gamme de mesure cathode chaude :
p = 10U-c1
⇔
U = c1 + log10 p
Gamme de mesure Pirani :
4(U-c2)
⇔
p = 10
U
p
c1
c2
U
p
c1
c2
[V]
[hPa]
7.5
9
[V]
[micron]
4.625
8.281
[V]
[µbar]
4.5
8.25
[V]
[Pa]
5.5
8.5
[V]
[Torr]
7.625
9.031
[V]
[kPa]
8.5
9.25
[V]
[mTorr]
4.625
8.281
où
p
pression
U
signal de mesure
c1, c2 constante (en fonction
de l'unité de pression)
Courbe de conversion
U = c2 + 0.25 log10 p
valable pour gamme
cathode chaude :
1.50 V ≤ U ≤ 7.50 V
Pirani :
8.50 V ≤ U ≤ 9.75 V
Pression p [hPa]
1E+03
1E+02
overrange
1E+01
1E+00
1E–01
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
1E–06
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0
10.2
Signal de mesure U[V]
BG 5172 BFR / B
(2017-02)
IMR265.mdu
25
Signal de
mesure U
[V]
[Pa]
0 … 0.5
Erreur du capteur (sensor error)
0.5 … 1.5
Sous-dépassement de la gamme de mesure
(underrange)
1.5
2.5
3.5
4.5
5.5
6.5
7.5
7.5 … 8.0
Système Piran
8.0 … 8.5
8.5
8.75
9.0
9.25
9.5
9.75
9.75 … 10.2
C:
Pression p
[Torr]
[hPa]
Système d'ionisation
à cathode chaude HP
Tableau de conversion
-6
7.5×10-7
7.5×10-6
-5
7.5×10
-4
7.5×10
-3
7.5×10
7.5×10-2
7.5×10-1
1.0×10
1.0×10-5
-4
1.0×10
-3
1.0×10
-2
1.0×10
1.0×10-1
1
1.0×10-4
1.0×10-3
-2
1.0×10
-1
1.0×10
1
10
100
Dépassement de la gamme de mesure (overrange)
Sous-dépassement de la gamme de mesure
(underrange)
-2
-3
7.5×10
7.5×10-2
7.5×10-1
7.5
75
750
1.0×10
-1
1.0×10
1
10
100
1000
1
10
100
1000
10000
100000
Dépassement de la gamme de mesure (overrange)
Dépendance du type de
gaz
Au-dessous de 10-1 hPa,
gamme de mesure cathode
chaude HP
Pour les gaz autres que l'air, la pression peut être déterminée au moyen d'une
conversion simple :
peff = C × pression affichée
où
type de gaz
C (moyenne)
Air (N2, O2)
Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He
1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9
Les facteurs de conversion indiqués sont des valeurs moyennes.
Au-dessus de 10–2 hPa,
gamme de mesure Pirani
26
BG 5172 BFR / B
(2017-02)
IMR 265
p (hPa)
102
H2 He
8
6
4
Ne
Air
N2
O2
CO
2
CO2
Ar
Gamme d'indication
au-dessus de 10-2 hPa)
101
8
6
4
Freon 12
Kr
2
Xe
100
8
6
4
2
10–1
8
6
4
Vapeur
d'eau
2
10
–2
10–3 2
4 6 810–2 2
4 6 810–1 2
4 6 8 100
2
4 6 8 101
2
4 6 8 102
peff (hPa)
Attention
On rencontre souvent des mélanges de gaz et de vapeurs. Un enregistrement précis est alors uniquement possible à l'aide d'instruments
de mesure à pression partielle.
BG 5172 BFR / B
(2017-02)
IMR265.mdu
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