MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction du manuel de l'utilisateur IMR 265 BG 5172 BFR / B (2017-02) Compact Process Ion Gauge Identification du produit Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous. Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar Typ: No: F-No: V W Validité Ce document est valable pour les produits avec les numéros de référence PT R26 500 (bride DN 25 ISO-KF) PT R26 501 (bride DN 40 ISO-KF) PT R26 502 (bride DN 16 CF-F) PT R26 503 (bride DN 40 CF-F) PT R26 504 (bride DN 16 ISO-KF) PT R26 505 (tube 3/4") Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique. Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans préavis. Utilisation prévue Les jauges IMR 265 servent à la mesure du vide des gaz dans la gamme des pressions de 2×10-6 … 1000 hPa. La mesure dans la gamme ≈ 1 hPa … 1000 hPa (gamme de contrôle) sert à l'indication de la tendance. Elles ne doivent pas être employées pour la mesure de gaz facilement inflammables ou combustibles mélangés à un oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique) dans les limites explosives. La jauge IMR 265 fait partie de la famille des jauges compactes Pfeiffer Vacuum et peut être utilisée avec un appareil de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes ou avec un instrument d'évaluation du client. Principe de fonctionnement Le signal de mesure est émis comme logarithme de la pression. Un manomètre à ionisation à cathode chaude est employé. Il est piloté au moyen d'un manomètre Pirani intégré (gamme de contrôle). La cathode chaude est uniquement activée au-dessous du seuil de commutation de 5×10–2 hPa (afin d'éviter un claquage). En présence de hautes pressions, le signal Pirani est disponible. 2 BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR 265 Sommaire Identification du produit Validité Utilisation prévue Principe de fonctionnement 2 2 2 2 1 Sécurité 1.1 Explication des signes 1.2 Qualification du personnel 1.3 Indications concernant la sécurité 1.4 Responsabilité et garantie 4 4 4 4 4 2 Caractéristiques techniques 5 3 Installation 3.1 Raccordement au vide 3.1.1 Démontage / montage de l'unité électronique 3.2 Raccordement électrique 3.2.1 Utilisation avec appareil de mesure et de commande pour jauges compactes 3.2.2 Utilisation avec d'autres instruments d'évaluation 9 9 11 12 4 Fonctionnement 4.1 Principe de mesure, comportement de la mesure 4.2 Principe de fonctionnement de la jauge 14 14 17 5 Maintenance 5.1 Maintenance 5.2 Ajustement de la jauge 5.3 Réglage de la valeur de calibrage de la cathode chaude 5.4 Nettoyage de la jauge 5.5 Remplacement du baffle 5.6 Remplacement du capteur 5.7 Comportement en présence d'un défaut 18 18 18 19 19 20 21 21 6 Démontage 22 7 Retour du produit 23 8 Options 23 9 Pièces de rechange 24 10 24 Recyclage Annexe A: Table de conversion des unités de pression B: Rapport signal de mesure – pression C: Dépendance du type de gaz 12 12 25 25 25 26 Pour des références aux pages de ce document, le signe (→ XY) est utilisé, pour des références à d'autres documents le signe (→ [Z]). BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR265.mdu 3 1 Sécurité 1.1 Explication des signes DANGER Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature. AVERTISSEMENT Indications concernant la prévention de dégradations de l'environnement et d'importants dégâts matériels. Attention Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs. 1.2 Qualification du personnel Personnel qualifié Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit. 1.3 Indications concernant la sécurité • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes aux gaz utilisés. Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit (→ 5) et les gaz des procédés. • Considérer des réactions possibles des gaz des procédés à la chaleur générée par le produit. • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées concernant toute intervention. Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document. • Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés. Communiquer les indications concernant la sécurité aux autres utilisateurs. 1.4 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une tierce personne • n'observe pas les indications figurant dans ce document • utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue • • modifie ce produit d'une façon quelconque utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit correspondante. La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur. Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. filament), sont exclues de la garantie. 4 BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR 265 2 Caractéristiques techniques Mesure Gamme de mesure (air, N2) cathode chaude Pirani (gamme de contrôle) Répétabilité 10-5 … 10-1 hPa -1 10 … 100 hPa Dépendance du type de gaz Émissions Seuil de commutation (sélectionnable par étages) Courant d'émission augmentant continuellement de 1 hPa –6 à 2×10 hPa Tension de l'anode Signal de sortie Gamme de tension Gamme de mesure cathode chaude Pirani Overrange cathode chaude Underrange cathode chaude Overrange Pirani Underrange Pirani Relation tension – pression cathode chaude Pirani Signaux d'erreur 0.3 V 0.5 V -6 2×10 … 1 hPa 1×10-2 … 1000 hPa (après 10 minutes de stabilisation) 2 % mesure ≈ 30 % mesure → Annexe C 1 hPa –1 5×10 hPa 2×10–1 hPa –1 1×10 hPa 5×10–2 hPa (réglage d'usine) 4 µA 130 µA 180 V 0 … 10.2 V 1.5 … 7.5 V 8.5 … 9.75 V 7.5 V < U < 8.0 V 0.5 V < U < 1.5 V 9.75 V < U < 10.2 V 8.0 V < U < 8.5 V (→ Annexe B) logarithmique, 1.00 V / décade 0.25 V / décade → 21 • cathode chaude • Pirani/électronique mal montée Impédance chargée minimale 10 kΩ, protégée contre courts-circuits Identification de la jauge Résistance (broche 1, Umax = 4.25 V) 15.2 kΩ contre masse alimentation Ajustement Pirani vide élevé ATM (touche <ATM>) cathode chaude BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR265.mdu compensation automatique par le circuit de mesure à cathode chaude dans la gamme 1 … 3×10-3 hPa ajustement par touche <ATM> (appuyer ≥ 5 s) à pression atmosphérique réglage de la valeur de calibrage à l'aide du commutateur à 16 positions conformément à l'inscription sur le capteur 5 Alimentation DANGER La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations, appareils de mesure ou systèmes de réglage et de commande répondant aux exigences pour les basses tensions mises à la masse (PELV). Il ) faudra protéger la ligne vers la jauge.1 Tension à la jauge Consommation de courant Standard Démarrage de l'émission (200 ms) Puissance absorbée 1) Fusible à insérer Tension sur le dispositif d'alimentation avec un câble de longueur maximale Câble de mesure Connecteur électrique Couple de serrage Câble Longueur du câble Conception de la masse Masse alimentation bride à vide Masse signal – masse alimentation Vide Matériaux au contact du vide Boîtier, fixations, blindages Passages Isolateur Cathode Support de cathode Elément Pirani Volume interne DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-R Pression max. 6 20 … 30 VDC2) ondulation max. 1 Vpp ≤ 0.5 A ≤ 1.4 A ≤ 16 W ≤ 1.25 A (lente) 21 … 30 V ondulation max. 1 Vpp connecteur compact Hirschmann, type GO 6, 6 pôles, mâle ≤ 0.2 Nm 5 pôles plus blindage ≤ 35 m (conducteurs 0.25 mm²) ≤ 50 m (conducteurs 0.34 mm²) ≤ 100 m (conducteurs 1.0 mm²) liaison galvanique à acheminement distinct ; en raison de la consommation de courant élevée, seule une mesure différentielle est autorisée acier inoxydable NiFe nickelé verre iridium, oxyde yttrique molybdène, platine tungstène, cuivre 3 ≤ 24 cm ≤ 24 cm3 ≤ 34 cm3 500 kPa (absolue), (limitée aux gaz inertes et aux températures < 100 °C) 1) Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes satisfont à ces exigences. 2) La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur du câble de mesure. BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR 265 Environnement Températures admissibles Stockage Service Etuvage Humidité relative Moyenne annuelle pendant 60 jours Utilisation Protection Dimensions –20 … 70 °C 0 … 50 °C + 50 °C (avec électronique) + 80 °C (sur la bride, avec électronique) +150 °C (électronique démontée) ≤ 65% (pas de condensation) ≤ 85% (pas de condensation) en salle, altitude jusqu'à 2000 m IP 30 Bride DN 16 ISO-KF et tube 3/4" Dimensions [mm] Tube 3/4" DN 16 KF Poids BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR265.mdu ≈ 285 g 7 Bride DN 25 ISO-KF et DN 40 ISO-KF Dimensions [mm] DN 25 KF DN 40 KF Poids g ≈ 315 g Bride DN 16 CF-F et DN 40 CF-F Dimensions [mm] DN 16 CF-F DN 40 CF-F Poids 8 ≈ 300 … 550 g BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR 265 3 Installation 3.1 Raccordement au vide DANGER DANGER : surpression dans le système à vide > 100 kPa Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque il règne une surpression dans le système à vide, des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Des gaz peuvent également échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé. Ne pas ouvrir les éléments de serrage lorsque il règne une surpression dans le système à vide. Utiliser des éléments de serrage convenables pour la surpression. DANGER DANGER : protection par mise à la masse Les produits mal raccordés à la masse présentent un danger mortel en cas de panne. La jauge doit être connectée directement à la chambre à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010 : • Les brides CF satisfont à ces exigences. • Pour les brides KF il faudra utiliser un anneau de serrage conducteur. • Avec le tube ¾ ", satisfaire à cette exigence en prenant les mesures qui s'imposent. Attention Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR265.mdu • Dans la mesure du possible, installer la jauge à l'abri des vibrations. • La position de montage n'est pas imposée, veiller cependant à ce que les particules ne puissent pas pénétrer dans la chambre de mesure. • L'encombrement requis est indiqué sur le plan coté (→ 7). • Si le bridage est uniquement possible sans l'unité électronique, démonter l'unité électronique (→ 11). • Le capteur peut être étuvé à des températures à concurrence de 150 °C. À partir d'une température de 50 °C, l'unité électronique doit être démontée (→ 11). 9 Procédure à suivre Retirer le protecteur. Remarque : Conserver le protecteur et le remettre en place après chaque démontage. Raccorder la jauge au système à vide. Installer la jauge de façon qu'un ajustage soit possible après le montage (→ 16, 18, 19). 10 BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR 265 3.1.1 Démontage / montage de l'unité électronique Outillage / matériel requis • Démontage a) Détacher avec précaution la vis sans tête à six pans creux (1) sur le côté de l'unité électronique (2) (danger de perte de la vis). Clé pour vis à six pans creux de 2.5 1 2 b) Retirer l'unité électronique sans la tourner. Montage a) Installer l'unité électronique sur le capteur (3) (tenir compte de la disposition des broches du connecteur et de la rainure (4)). 4 3 b) Enfoncer à fond l'unité électronique puis la bloquer à l'aide de la vis sans tête à six pans creux (1). BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR265.mdu 11 3.2 Raccordement électrique 3.2.1 Utilisation avec appareil de mesure et de commande pour jauges compactes 3.2.2 Utilisation avec d'autres instruments d'évaluation Procédure à suivre Pour l'utilisation avec un appareil de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes, un câble de mesure compatible est requis (→ 23). • Raccorder la prise à la jauge puis le fixer à l'aide de la vis (couple de serrage ≤0.2 Nm). • Raccorder puis bloquer l'autre extrémité du câble à l'appareil de mesure et de commande. La jauge peut également être utilisée avec d'autres appareils d'évaluation. En tel cas, vous devez vous-même confectionner le câble de mesure (prise de raccordement → 23). En raison de la consommation de courant élevée, seules les mesures différentielles entre la sortie du signal (broche 2) et la masse signal (broche 3) sont autorisées. la prise de Préparer raccordement (numéro de référence → 23) Préparer le câble. Souder le câble de mesure dans la prise selon le schéma. Degas 15.2 k Affectation des contacts Broche 1 Identification (U ≤ 4.25 V) Broche 2 Sortie du signal (mesure) Broche 3 Masse signal GND Broche 4 Alimentation Broche 5 Masse alimentation GND Broche 6 Blindage 12 2 3 1 4 5 6 + – Degas + – 3 2 4 5 Prise côté soudures 1 6 BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR 265 AVERTISSEMENT La masse alimentation (broche 5) ainsi que le blindage (broche 6) du dispositif d'alimentation doivent impérativement être reliés à la masse. Un raccordement incorrect, une polarité incorrecte ou une tension d'alimentation non autorisée peuvent endommager la jauge. Assembler la prise de raccordement. l'autre extrémité du câble en fonction du raccordement de Équiper l'instrument d'évaluation. la prise de Emboîter raccordement. Fixer la prise sur la jauge avec la vis (couple de serrage ≤0.2 Nm). Raccorder l'autre extrémité du câble à l'appareil d'évaluation. BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR265.mdu 13 4 Fonctionnement Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose entre les broches 2 et 3 du signal de mesure qui est émis comme logarithme de la pression dans toute la gamme de mesure (rapport entre le signal de et la pression → Annexe B). Le temps de stabilisation est ≈ 10 minutes. Maintenez la jauge en fonctionnement permanent, indépendamment de la pression. 4.1 Principe de mesure, comportement de la mesure La jauge IMR 265 abrite deux systèmes de mesure distincts (cathode chaude à haute pression (HP) et Pirani). Cathode chaude à haute pression (HP) Les électrodes du système de mesure à cathode chaude HP qui sont disposées comme indiqué en figure 1 garantissent une bonne sensibilité et linéarité ainsi qu'une bonne stabilité, même à haute pression. Le principe de mesure de ce système de mesure repose sur l'ionisation gazeuse. Les électrons émis par la cathode chaude (F) ionisent un nombre de molécules proportionnel à la pression à l'intérieur de la chambre de mesure. Le collecteur d'ions (IC) enregistre le courant ionique I+ ainsi généré et l'achemine vers l'amplificateur de l'électromètre de l'instrument de mesure. Le courant ionique dépend du courant d'émission Ie, du type de gaz et de la pression de gaz p selon le rapport suivant : I+ = Ie × p × C Le facteur C correspond à la sensibilité de la jauge. Il est généralement indiqué pour N2. La limite de mesure inférieure se situe aux alentours de 2×10-6 hPa. Afin que toute la gamme comprise entre 2×10-6 hPa et 1 hPa puisse être couverte de manière utile, le courant d'émission est constamment augmenté de 4 µA avec 1 hPa à 130 µA avec 2×10-6 hPa (aucune transitoire en cas de commutation du courant d'émission). IC EC F Figure 1 Configuration du système de mesure HP F Cathode chaude (filament) IC Collecteur d'ions (collecteur) EC Collecteur d'électrons (grille de l'anode) 14 IC EC F BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR 265 Pirani (gamme de contrôle) Entre certaines limites, la conductibilité thermique des gaz dépend de la pression. Cet effet physique est exploité pour la mesure de la pression dans le vacuomètre à conductibilité thermique selon Pirani. Un circuit en pont à compensation automatique est employé comme circuit de mesure. Un fil fin en tungstène est employé comme élément de mesure. Un circuit de réglage compatible permet de maintenir la résistance du fil et ainsi sa température à un niveau constant. La puissance électrique établie sur le fil est alors une grandeur pour la conductibilité thermique et ainsi pour la pression du gaz. Le principe de base du circuit en pont à compensation automatique est indiqué sur la figure 2. UB + – IMR 265 Figure 2 La tension du pont UB est une grandeur pour la pression du gaz et son traitement ultérieur est électronique (linéarisation, numérisation). Gamme de mesure, seuil de commutation La jauge IMR 265 couvre la gamme de mesure comprise entre 2×10-6 et 1000 hPa. Cathode chaude HP 2 × 10 hPa Pirani 1000 hPa -6 5 × 10-2 hPa ... 1 hPa seuil (point) de commutation réglable • L'élément Pirani surveille constamment la pression. • La cathode chaude (pilotée par l'élément Pirani) ne s'amorce qu'en présence de pressions < 1 … 5×10-2 hPa (réglage à l'aide du commutateur). Si la pression mesurée est supérieure au seuil de commutation (réglable à l'aide du commutateur dans la gamme 1 … 5×10-2 hPa), la cathode chaude reste éteinte et la valeur mesurée Pirani est affichée comme signal de sortie (→ Annexe B). Lorsque la valeur mesurée Pirani est inférieure au seuil de commutation, la cathode chaude est activée, le voyant vert s'allume. Après le chauffage, la valeur mesurée pour la cathode chaude est émise. Lorsque la pression augmente au-delà du seuil de commutation défini, la cathode chaude est désactivée. La valeur mesurée Pirani est alors à nouveau disponible sur la sortie. BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR265.mdu 15 Sélection du seuil de commutation La jauge IMR 265 comporte cinq seuils de commutation sélectionnables. Cela permet d'éviter que la gamme de commutation ne soit situe dans la gamme de la pression de travail. Le seuil de commutation est réglé en usine à 5×10-2 hPa. La commutation s'effectue à l'aide du commutateur <P ↔ HP>. Sélectionner de préférence un seuil de commutation le plus faible possible car la tendance à l'encrassement du système à cathode chaude est plus faible à une pression basse. Vorsicht Sélectionner le seuil de commutation avant de mettre la jauge en circuit parce que la position du commutateur est uniquement prise en compte lors de l'activation de la jauge. 16 Position du commutateur Seuil de commutation 0; 1 2; 3 4; 5 6; 7 8; 9 1 hPa –1 5×10 hPa 2×10–1 hPa –1 1×10 hPa –2 5×10 hPa (réglage d'usine) Précision de mesure La jauge a été ajustée en usine. Un nouvel ajustement peut s'avérer nécessaire en cas d'utilisation en présence de conditions climatiques divergentes, de températures extrêmes, d'encrassement ou de vieillissement (→ 18). -1 La précision de mesure est réduite dans la gamme supérieure à 1×10 hPa et -5 inférieure à 1×10 hPa. Dépendance du type de gaz La valeur de mesure dépend de la nature du gaz. La relation entre le signal de mesure et la pression (→ Annexe B) s'applique à l'azote (N2), à l'oxygène (O2), à l'air sec et au monoxyde de carbone (CO). Pour d'autres gaz, procéder à la conversion (→ Annexe C). Si vous utilisez la jauge avec un appareil de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum, vous pouvez y entrer le facteur de correction correspondant (→ de l'appareil de mesure correspondant). BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR 265 Encrassement Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. filament), sont exclues de la garantie. La jauge IMR 265 est conçue de manière à ce que l'encrassement dû aux processus soit réduit au minimum. Le baffle ainsi que la structure intérieure fermée du système de mesure contribuent à cet effet. L'autochauffage du système de mesure permet de réduire l'encrassement provoqué par les produits issus des procédés industriels. La jauge IMR 265 est réglée en usine de manière à ce que la cathode chaude soit -2 activée à ≈ 5×10 hPa. La jauge peut également être activée de manière externe en activant la tension d'alimentation. Le pilotage Pirani reste alors garanti. En présence d'un encrassement important, le système de mesure doit être remplacé (→ 21). 4.2 Principe de fonctionnement de la jauge BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR265.mdu Les courants de mesure des capteurs (cathode chaude HP et Pirani) sont convertis par un convertisseur de courant / fréquence en une fréquence qui varie en fonction de la valeur mesurée. Un microcontrôleur génère une valeur numérique comme référence pour la pression mesurée à partir de ce signal de fréquence. Cette valeur est disponible sous forme de signal de mesure analogique 0 … 10.2 V sur la sortie (broche 2 / broche 3), la gamme de mesure de pression valide étant comprise entre 1.5 et 7.5 V (cathode chaude HP) ou entre 8.5 et 9.75 V (Pirani). Outre la conversion des signaux de mesure, le microcontrôleur se charge de la surveillance des émissions et du calcul de la pression à partir des valeurs mesurées. 17 5 Maintenance 5.1 Maintenance DANGER DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manutention de composants contaminés. 5.2 Ajustement de la jauge La jauge est étalonnée en usine. L'utilisation de la jauge dans un climat différent ou une autre position de montage, son vieillissement, des impuretés ou l'échange du capteur (→ 21) peuvent provoquer une dérive de la courbe caractéristique et un ajustage peut devenir nécessaire. Un ajustage est nécessaire lorsque • la tension de sortie est < 9.75 V (affichage de la pression < 1000 hPa) à pression atmosphérique • durant à la remise à la pression atmosphérique, la tension de sortie atteint 9.75 V 1) (affichage de la pression < 1000 hPa) avant la pression mesurée atteigne la pression atmosphérique. 1) La tension de sortie est limitée à 10.2 V par le logiciel. Les étapes suivantes sont prévues : Ajustage vide élevé Pirani • Ajustage vide élevé Pirani • Ajustage atmosphériqe Pirani Lors de chaque mise en circuit de la jauge, le circuit de mesure Pirani est automatiquement compensé par le circuit de mesure à cathode chaude (lorsque la -3 pression est pour la première fois comprise dans la gamme p = 1 … 3×10 hPa). Ajustement atmosphérique Pirani Outillage requis • Procédure à suivre Laisser la jauge en circuit pendant ≈ 10 minutes à pression atmosphérique. Goupille ≈ ø 1.3 × 50 mm (p. ex. un trombone déplié) Si la jauge était auparavant au mode d'ionisation à cathode chaude, il faut la laisser refroidir pendant ≈ 30 minutes (température de jauge = température ambiante). 18 BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR 265 Insérer la goupille dans l'ouverture <ATM> et appuyer sur la touche pendant ≥ 5 secondes. 5.3 Réglage de la valeur de calibrage de la cathode chaude La jauge est étalonnée en usine et une valeur de calibrage comprise dans la gamme entre 0 et F y est imprimée. Cette valeur doit être réglée à l'aide du commutateur <Cal adj> afin d'adapter l'électronique au capteur. Lors de la première mise en service de la jauge et après un remplacement du capteur, contrôler le réglage de la valeur de calibrage et l'ajuster le cas échéant. 5.4 Nettoyage de la jauge Le capteur ne peut pas être nettoyé (exception faite du baffle) et doit être remplacé en présence d'un encrassement important (→ 21). Lorsque les valeurs mesurées ne sont pas stables, cela implique un encrassement du capteur. Il y a un encrassement lorsque des impuretés sont visibles ou que le capteur change de couleur. Un chiffon humecté suffit en général pour un nettoyage externe. Les détergents agressifs et les récurants ne conviennent pas pour ce nettoyage. Attention S'assurer qu'aucun liquide ne pénètre dans le matériel. Laisser sécher celui-ci complètement avant de le remettre en circuit. BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR265.mdu 19 5.5 Remplacement du baffle En présence d'un encrassement important, le baffle peut être remplacé. Attention Attention : zone sensible à la pollution Si le produit ou des composants du produit sont touchés à mains nues le taux de dégazage est augmenté. Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils propres. Pièces / outillage requis Procédure à suivre • Baffle neuf (→ 23) • Tournevis n° 1 • Goupille (p. ex. crayon) a) Démonter avec précaution le baffle à l'aide du tournevis. b) Déposer avec précaution le baffle neuf sur l'entrée du capteur. c) Enfoncer avec précaution le baffle au centre à l'aide de la goupille jusqu'à ce qu'il s'enclenche. 20 BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR 265 5.6 Remplacement du capteur Remplacement requis lorsque • le capteur est fortement encrassé • le capteur est défectueux, p. ex. lorsque le filament incandescent est cassé. Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. filament), sont exclues de la garantie. Outillage / matériel requis Procédure à suivre • Clé pour vis à six pans creux de 2.5 • Capteur de rechange (→ 24) a) Démonter la jauge (→ 22). b) Démonter l'unité électronique du capteur défectueux puis la monter sur le nouveau capteur (→ 11). c) Monter la jauge (→ 9). d) Régler la valeur de calibrage pour la cathode chaude (→ 19). e) Mettre la jauge en circuit. f) Compenser la jauge (→ 18). 5.7 Comportement en présence d'un défaut Défaut Cause possible Solution Aucun signal de mesure Absence d'alimentation Mettre en circuit l'alimentation Câble de mesure défectueux ou mal branché Contrôler le câble de mesure Jauge dans un état indéfini Mettre la jauge hors circuit puis la remettre en circuit (réinitialisation) Signal de mesure 0.3 V Erreur de la cathode chaude (capteur défectueux) Remplacer le capteur (→ 21) Signal de mesure 0.5 V Erreur Pirani (capteur défectueux) Remplacer le capteur (→ 21) L'unité électronique n'est Contrôler le raccordement pas correctement installée sur le capteur En présence d'une erreur, il est recommandé de d'abord couper la tension de service puis de la rétablir après 5 secondes. BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR265.mdu 21 6 Démontage DANGER DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Attention Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. Procédure à suivre Remettre le système à vide à la pression atmosphérique. Mettre la jauge hors circuit. Détacher le câble de mesure. Démonter la jauge de la chambre à vide. 22 BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR 265 Mettre le protecteur en place. 7 Retour du produit l AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : transport de produits contaminés Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Les produits qui nous sont envoyés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Inclure une *) déclaration de contamination remplie. *) Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com. En absence de confirmation univoque que le produit est "exempt de substances nocives", le produit est décontaminé aux frais du client. En absence d'un "Questionnaire de sécurité" dûment rempli, le produit est renvoyé à l'expéditeur à ses frais. 8 Options Numéro de référence Câble de mesure pour appareil de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes 3m 6m 10 m Prise de raccordement, Hirschmann GO 6 WF, à 6 pôles, coudée, douilles Baffle BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR265.mdu PT 448 250–T PT 448 251–T PT 448 252–T B 4707 283 MA PT 120 125–T 23 9 Pièces de rechange Les commandes de pièces de rechange doivent toujours comprendre • toutes les indications figurant sur la plaque signalétique • description et numéro de référence selon la liste des pièces de rechange Numéro de référence Capteur IMR 265, bride DN 25 ISO-KF PT 120 111–T (clé pour vis à six pans fournie) Capteur IMR 265, bride DN 40 ISO-KF PT 120 112–T (clé pour vis à six pans fournie) Capteur IMR 265, bride DN 16 CF-F PT 120 113–T (clé pour vis à six pans fournie) Capteur IMR 265, bride DN 40 CF-F PT 120 114–T (clé pour vis à six pans fournie) Capteur IMR 265, bride DN 16 ISO-KF PT 120 115–T (clé pour vis à six pans fournie) Capteur IMR 265, tube 3/4" PT 120 116–T (clé pour vis à six pans fournie) Unité électronique IMR 265 PT 120 110–T (clé pour vis à six pans fournie) 10 Recyclage DANGER DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : substances polluantes Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l'environnement. Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Tri des composants 24 Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR 265 Annexe A: Table de conversion des unités de pression mbar bar Pa hPa kPa Torr mm HG mbar bar Pa hPa kPa 1 1×103 0.01 1 10 1×10-3 1 1×10-5 1×10-3 0.01 100 1×105 1 100 1×103 1 1×103 0.01 1 10 0.1 100 1×10-3 0.1 1 Torr mm HG 0.75 750 7.5×10-3 0.75 7.5 1.332 1.332×10 133.32 1.3332 0.1332 1 -3 1 Pa = 1 N/m2 B: Rapport signal de mesure – pression Formules de conversion Gamme de mesure cathode chaude : p = 10U-c1 ⇔ U = c1 + log10 p Gamme de mesure Pirani : 4(U-c2) ⇔ p = 10 U p c1 c2 U p c1 c2 [V] [hPa] 7.5 9 [V] [micron] 4.625 8.281 [V] [µbar] 4.5 8.25 [V] [Pa] 5.5 8.5 [V] [Torr] 7.625 9.031 [V] [kPa] 8.5 9.25 [V] [mTorr] 4.625 8.281 où p pression U signal de mesure c1, c2 constante (en fonction de l'unité de pression) Courbe de conversion U = c2 + 0.25 log10 p valable pour gamme cathode chaude : 1.50 V ≤ U ≤ 7.50 V Pirani : 8.50 V ≤ U ≤ 9.75 V Pression p [hPa] 1E+03 1E+02 overrange 1E+01 1E+00 1E–01 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 1E–06 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.2 Signal de mesure U[V] BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR265.mdu 25 Signal de mesure U [V] [Pa] 0 … 0.5 Erreur du capteur (sensor error) 0.5 … 1.5 Sous-dépassement de la gamme de mesure (underrange) 1.5 2.5 3.5 4.5 5.5 6.5 7.5 7.5 … 8.0 Système Piran 8.0 … 8.5 8.5 8.75 9.0 9.25 9.5 9.75 9.75 … 10.2 C: Pression p [Torr] [hPa] Système d'ionisation à cathode chaude HP Tableau de conversion -6 7.5×10-7 7.5×10-6 -5 7.5×10 -4 7.5×10 -3 7.5×10 7.5×10-2 7.5×10-1 1.0×10 1.0×10-5 -4 1.0×10 -3 1.0×10 -2 1.0×10 1.0×10-1 1 1.0×10-4 1.0×10-3 -2 1.0×10 -1 1.0×10 1 10 100 Dépassement de la gamme de mesure (overrange) Sous-dépassement de la gamme de mesure (underrange) -2 -3 7.5×10 7.5×10-2 7.5×10-1 7.5 75 750 1.0×10 -1 1.0×10 1 10 100 1000 1 10 100 1000 10000 100000 Dépassement de la gamme de mesure (overrange) Dépendance du type de gaz Au-dessous de 10-1 hPa, gamme de mesure cathode chaude HP Pour les gaz autres que l'air, la pression peut être déterminée au moyen d'une conversion simple : peff = C × pression affichée où type de gaz C (moyenne) Air (N2, O2) Xe Kr Ar H2 Ne He 1.0 0.4 0.5 0.8 2.4 4.1 5.9 Les facteurs de conversion indiqués sont des valeurs moyennes. Au-dessus de 10–2 hPa, gamme de mesure Pirani 26 BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR 265 p (hPa) 102 H2 He 8 6 4 Ne Air N2 O2 CO 2 CO2 Ar Gamme d'indication au-dessus de 10-2 hPa) 101 8 6 4 Freon 12 Kr 2 Xe 100 8 6 4 2 10–1 8 6 4 Vapeur d'eau 2 10 –2 10–3 2 4 6 810–2 2 4 6 810–1 2 4 6 8 100 2 4 6 8 101 2 4 6 8 102 peff (hPa) Attention On rencontre souvent des mélanges de gaz et de vapeurs. Un enregistrement précis est alors uniquement possible à l'aide d'instruments de mesure à pression partielle. BG 5172 BFR / B (2017-02) IMR265.mdu 27 UN SEUL FOURNISSEUR DE SOLUTIONS DE VIDE Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service. UNE LARGE GAMME DE PRODUITS Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de produits. UN SAVOIR FAIRE THEORIQUE ET PRATIQUE Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation ! Nous vous assistons pour concevoir vos installations, grâce à un service de proximité de première qualité dans le monde entier. Êtes-vous à la recherche d'une solution de vide dédiée à vos besoins ? Contactez-nous : Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters ● Germany T +49 6441 802-0 [email protected] Pfeiffer Vacuum SAS ; France T +33 (0) 4 50 65 77 77 [email protected] www.pfeiffer-vacuum.com bg5172bf r / b ">
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