Pfeiffer PKR 251 Manuel utilisateur

1
Le système de cathode froide, dominant pour la gamme
inférieure des pressions (< 1×10-3 hPa), est étalonné en
usine et ne peut pas être réajusté. Par contre, le système
Pirani peut être réajusté. La gamme des pressions entre
10-2 hPa et 102 hPa est à peine influencée par un éventuel
ajustement.
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés
incombe au détenteur.
Observer une distance de sécurité de ≥10 cm
entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ou
empêcher toute perturbation émanant de
champs magnétiques puissants en installant des
blindages adéquats.
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une
tierce personne
• n'observe pas les indications figurant dans ce document
• utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation
prévue
• modifie ce produit d'une façon quelconque
• utilise le produit avec des accessoires non répertoriés
dans la documentation du produit correspondante.
Validité
PT R26 000
PT R26 001
PT R26 002
(bride DN 25 ISO-KF)
(bride DN 40 ISO-KF)
(bride DN 40 CF-F)
Les pannes du produit dues à des impuretés, ainsi que les
pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la garantie.
Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications
techniques sans préavis.
A propos de ce document
Le présent document décrit l'installation et le fonctionnement des Jauges FullRange™ susmentionnées. Pour de
plus amples informations, veuillez consulter le manuel de
l'utilisateur distinct BG 5155 BFR sur le site web
www.pfeiffer-vacuum.com.
Utilisation prévue
Les Jauges FullRange™ PKR 251 servent à la mesure du
vide dans la gamme des pressions de 5×10-9 … 1000 hPa.
Elles ne doivent pas être employées pour la mesure de gaz
facilement inflammables ou combustibles mélangés à un
oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique) dans les limites
explosives.
Principe de fonctionnement
La jauge contient deux systèmes de mesure distincts
(système Pirani et système à cathode froide) dont les
signaux sont associés de manière à fournir un signal de
sortie homogène.
10
Installation
Raccordement au vide
10
Ident
2
V
3
–
+
–
5

6
Figure 1 :
Affectation des contacts
Broche 1
Broche 2
Broche 3
Broche 4
Broche 5
Broche 6
Identification
Sortie du signal
(mesure)
Masse signal
Alimentation
Masse
alimentation
Blindage
3
2
1
DANGER
DANGER : surpression dans le système à vide
> 100 kPa
Si des éléments de serrage sont ouverts des
composants peuvent être projetés et causer des
blessures.
Utiliser des éléments de serrage pouvant
uniquement être ouverts et fermés à l'aide d'un
outil (p. ex. anneau de serrage muni d'un collier
de serrage).
La jauge doit être connectée directement à
l'enceinte à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une
connexion de protection selon la norme
EN 61010 :
• Les raccords à vide CF satisfont à ces exigences.
• Pour les brides KF il faudra utiliser un collier
de serrage conducteur.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : amorçage électrique
L'hélium peut provoquer des amorçages
électriques à l'intérieur de l'électronique du
produit et détruire l'électronique.
Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre le
produit hors circuit et démonter l'unité électronique.
Presser le bouton-poussoir avec
une goupille (ø ≈ 3 mm).
En même temps, ajuster le
potentiomètre <HV> par un
tournevis de 1.5 mm …
-4
… à 5×10 hPa
4
ou
… à 4.2 V
6
5
Prise côté
soudures
Assurez-vous que la jauge soit raccordée à la chambre à
vide (→ Section précédente).
Si vous ne disposez pas d'un câble de raccordement,
confectionnez en un selon le schéma en haut.
Raccordez la jauge à l'appareil de mesure.
Fixez la prise du câble de raccordement sur la jauge avec la
vis (couple de serrage ≤0.2 Nm).
Ensuite, le tourner de
1/3 de tour en sens inverse
des aiguilles d'une montre.
Mettez l'appareil de mesure en circuit. Observez un temps de
stabilisation de ≈ 10 minutes. Maintenez la jauge en fonctionnement permanent, indépendamment de la pression.
Délai d'amorçage
À la mise en circuit de la jauge, le système de cathode froide
s'active avec temporisation. Celle-ci augmente à des
pressions plus basses et celle de jauges dégazées propres
atteint les valeurs typiques suivantes à :
…10-5 hPa
≈ 1 seconde
…10-7 hPa
≈ 20 secondes
5×10-9 hPa ≈ 2 minutes
L'allumage constitue un processus statistique pouvant être
fortement influencé dès la présence d'infimes dépôts sur les
surfaces intérieures.
Tant que le circuit de mesure à cathode froide n'est pas
amorcé, la sortie du signal indique la valeur de mesure Pirani
(indication "Pirani-Underrange" pour des pressions
< 5×10-4 hPa).
Protection
Pression
acier inoxydable
acier inoxydable
céramique (Al2O3), verre
FPM75
Mo
acier inoxydable
Ni, Au
W
≈ 20 cm³
ou
… à 8.6 V
la plaque signalétique dans sa position
 Ramener
initiale (elle s'encastre).
résistance 11.1 kΩ contre
masse alimentation
résistance 9.1 kΩ contre
masse alimentation
La polarité de broche 1 contre
la masse alimentation doit
toujours être positive.
Les conditions suivantes
doivent être remplies :
Mesure
avec courant constant
courant de mesure dans la
gamme 0.2 … 0.3 mA
Tension de mesure dans la
gamme 2 … 3 V
avec tension constante
Conception de la terre
Raccord à vide – masse
alimentation
→ Figure 1
reliés par 10 kΩ (différence max.
de tension
pour sécurité
±50 V
pour précision ±10 V)
conduites séparément; avec les
câbles de grande longueur
(≥ 6 m), nous recommandons une
mesure différentielle
Masse alimentation –
masse signal
Rapport signal de mesure – pression
Pression p
Pa
1E+04
p = 101.667U-d
hPa
torr
1E+00
1E–02
1E–04
1E–06
Tension à la jauge
Ajuster le potentiomètre <ATM>
par un tournevis de 1.5 mm …
p < 10-2 hPa cathode
froide pas amorcée;
service Pirani
seulement
Cathode froide et Pirani
en circuit
résistance 11.1 kΩ contre
masse alimentation
1E+02
La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant
aux exigences pour les basses tensions mises à
la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers
la jauge.1)
Tourner la plaque signalétique en sens des aiguilles
d'une montre jusqu'à la buté.
… à ×103 hPa
≈ ±30% (mesure dans la
gamme 1×10-8 … 100 hPa)
≈ ±5 % (mesure dans la
gamme 1×10-8 … 100 hPa)
IP 40
≤ 1000 kPa (absolue)
limitée aux gaz inertes et
aux températures < 55 °C
Matériaux au contact du vide
Raccord à vide
Chambre de mesure
Isolation de traversée
Joints internes
Anode
Dispositif d'allumage
Tube de mesure Pirani
Filament Pirani
Volume interne
moins 10 minutes.
• Le circuit de mesure de la cathode froide est contrôlé par
le circuit de mesure Pirani et est seulement activé à des
pressions < 1×10-2 hPa.
Le signal de mesure dépend du type de gaz. La valeur
mesurée correspond à l'air, à l'oxygène (O2), au monoxyde
de carbone (CO) et à l'azote (N2). Pour d'autres gaz, la
pression peut être déterminée par une conversion
(→ "Caractéristiques techniques").
Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum, cela peut se
réaliser en saisissant le facteur étalonnage correspondant.
Reproductibilité
5×10-9 … 1000 hPa
DANGER
• Le circuit de mesure par Pirani est toujours activé.
Dépendance du type de gaz
Gamme de mesure (air, N2)
Précision
Alimentation

Fonctionnement
Utilisation
la jauge à la pression atmosphérique en
 Remettre
admettant de l'air ou du nitrogène et attendre au

Attention
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
la plaque signalétique en sens inverse des
 Tourner
aiguilles d'une montre jusqu'à la butée.
1
4
10k
+
VACUUM
Jauge FullRange®, modèle compact, avec joint FPM
la jauge à une pression à << 10 hPa, et
 Amener
attendre au moins 10 minutes.
-4
Compact
FullRangeTM
Gauge
PKR 251
la jauge en circuit (si possible dans la position
 Mettre
dans laquelle elle sera utilisée ultérieurement).
Raccordement électrique
VACUUM
BG 5119 BFR / D (2017-07)
Traduction du manuel de l'utilisateur
DANGER : champs magnétiques
Les champs magnétiques puissants peuvent
perturber ou gêner le fonctionnement des
appareils électroniques, p. ex. des stimulateurs
cardiaques.
Compact
FullRangeTM
Gauge
INSTRUCTIONS D'UTILISATION
La position d'installation n'est pas imposée, veiller cependant
à ce que les particules ne puissent pas pénétrer dans la
chambre de mesure.
Humidité relative
–40 °C … +65 °C
+ 5 °C … +55 °C
150 °C (sans électronique et
sans blindage magnétique)
≤ 80% à températures jusqu'à
+31 °C, diminuant à 50% à
+40 °C
en espaces clos, altitude
max. 2000 m
Broche 1
sensor error
• Considérer les réactions possibles entre les matériaux du
produit et les gaz des procédés.
Températures admissibles
Stockage
Service
Etuvage
Identification de la jauge
p > 10-2 hPa service
Pirani seulement
overrange
overrange
La jauge est étalonnée en usine. En cas d'utilisation à
d'autres conditions ambiantes, de vieillissement ou
d'encrassement, un ajustement ultérieur ou un nettoyage
peut s'avérer nécessaire.
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes aux gaz utilisés.
DANGER
Caractéristiques techniques
underrange
Ajustement de la jauge
2
sensor error
Sécurité
15 … 30 V= (ondulation
≤ 1 Vpp)
≤2W
Puissance absorbée
≤ 1 A lente
Fusible1)
La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur du câble de
mesure.
Tension d'alimentation à
longueur max. du câble
16 … 30 V= (ondulation
≤ 1 Vpp)
Raccordement électrique
Câble jauge
Boîte de raccordement de
câble
Couple de serrage
Longueur du câble
Tension de service
(dans la chambre de mesure)
Courant de service
(dans la chambre de mesure)
Signal de sortie (mesure)
Gamme de mesure
Relation tension –
pression
Signaux d'erreur
Impédance de sortie
Impédance chargée minimale
Temps de réponse
p > 10-6 hPa
p = 10-8 hPa
5 pôles, blindé
Hirschmann GO 6 WF,
6 pôles, coudée, douilles
≤0.2 Nm
≤ 75 m
≤ 100 m
≤ 300 m
(∅ 0.25 mm²)
(∅ 5×0.34 mm2)
(∅ 5×1.0 mm²)
≤ 3.3 kV
1E–08
0.0 0.5
1.5
2.5
3.5
4.5
5.5
6.5
7.5
8.5
9.5
d
hPa
Pa
Torr
11.33
9.33
11.46
valable pour gamme 5×10-9 hPa < p< 1000 hPa
3.8×10-9 Torr < p< 750 Torr
5×10-7 Pa < p< 1×105 Pa
Dépendance du type de gaz
p (hPa)
102
8
6
4
H2 He Ne
2
Gamme d'indication
>10-2 hPa
101
8
6
4
Air
N2
O2
CO
CO2
Ar
Freon 12
Kr
2
Xe
≤ 500 µA
100
8
6
4
≈ 0 V … ≈ +10.5 V
10–1
8
6
4
2
logarithmique, 0.6 V/décade
Vapeur
d'eau
2
< 0.5 V sans alimentation
> 9.5 V système de mesure
Pirani défectueux (rupture de
filament)
2×10 Ω
10–2
10–3 2
4 6 810–2 2
4 6 810–1 2
4 6 8100 2
4 6 8101 2
4 6 8102
peff (hPa)
10 kΩ, résistant aux courtscircuits
en fonction de la pression
< 10 ms
≈1s
En cas d'utilisation de raccords de vide CF, il peut s'avérer
avantageux de temporairement enlever l'unité électronique
(1) et l'unité magnétique (2) (→ Manuel de l'utilisateur
BG 5155 BFR sur www.pfeiffer-vacuum.com).
1)
Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum
pour jauges compactes satisfont à cette exigence.
10.5
Signal de mesure U [V]
bg5119bf r / d
(2017-07)
p (hPa)
10–1
8
6
4
Maintenance, résolution des problèmes
Gamme d'indication
10-6 ... 10-1 hPa
2
10–2
8
6
4
Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum,
déclarons que le produit ci-après est conforme
à la directive relative à la compatibilité
électromagnétique 2014/30/UE et de la
directive relative à la limitation de l’utilisation
de certaines substances dangereuses dans
les équipements électriques et électroniques
2011/65/UE.
→ Manuel de l'utilisateur BG 5155 BFR sur
www.pfeiffer-vacuum.com.
Si la jauge est utilisée à des pressions élevées ou dans des
conditions contaminatrices, elle doit régulièrement être
nettoyée.
2
Ar
10–3
8
6
4
Air
N2
O2
CO
2
10–4
8
6
4
Les pannes du produit dues à des impuretés, ainsi que les
pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la garantie.
Produit
2
PKR 251
He
10–5
8
6
4
2
10–6
10–6 2
Déclaration UE de conformité
4 6 810–5 2
4 6 810–4 2
4 6 810–3 2
4 6 810–2 2
Normes
Recyclage
4 6 810–1
peff (hPa)
Pour l'élimination appropriée du produit, veuillez contact le
S.A.V. Pfeiffer Vacuum le plus proche.
Dans la gamme au-dessous de 10-5 hPa l'indication est
linéaire. Pour d'autres gaz que l'air, la pression peut être
déterminée par une simple conversion :
Normes harmonisées, normes internationales et nationales
ainsi que spécifications :
• EN 61000-6-2:2005 (CEM : immunité)
• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (CEM : émission)
• EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils
électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire)
peff = C × pression affichée
• EN 61326-1:2013 (exigences CEM pour les équipements de
Type de gaz
Air
(O2, CO, N2)
Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He
C (moyenne)
1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9
mesure et de commande)
Table de conversion des unités de
pression
mbar
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
1
1×103
0.01
1
10
bar
-3
1×10
1
1×10-5
1×10-3
0.01
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
100
1×105
1
100
1×103
1
0.1
0.75
1×103 100
750
0.01 1×10-3 7.5×10-3
1
0.1
0.75
10
1
7.5
1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332
Fabricant / Signatures
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar
8 avril 2016
Dr. Ulrich von Hülsen
Président
1
1 Pa = 1 N/m2
Certification ETL
RECOGNIZED
COMPONENT
ETL LISTED
The product PKR 251
• conforms to the UL Standard UL 61010-1
• is certified to the CAN/CSA Standard
C22.2 No. 61010-1
3103457
Berliner Straße 43
D–35614 Asslar
Deutschland
Tel +49 (0) 6441 802-0
Fax +49 (0) 6441 802-1202
[email protected]
www.pfeiffer-vacuum.com
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