Caractéristiques techniques Explication des signes Principe de mesure Indications concernant la prévention de dégradations de l'environnement et d'importants dégâts matériels. TPR 280, TPR 281 BG 5178 BFR / D (2024-10) Compact Pirani Gauge Manuel de l'utilisateur Attention Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs. Qualification du personnel Personnel qualifié Identification du produit Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous. Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant été formés en conséquence par le détenteur du produit. Indications concernant la sécurité • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes aux gaz utilisés. Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit et les gaz de procédés. Considérer des réactions possibles des gaz de procédés à la chaleur générée par le produit (p. ex. explosions). Répétabilité avec air 1×10-3 … 100 hPa Validité Ce document est valable pour les produits avec le numéro de référence: TPR 280 TPR 281 (W filament) (Ni filament) PT R26 950 B PT R21 950 B (DN 16 ISO-KF) PT R26 951 B PT R21 951 B (DN 16 CF-R) PT R26 960 B PT R21 960 B (DN 16 ISO-KF, tube long) PT R26 961 B PT R21 961 B (DN 16 CF-R, tube long) Le numéro de référence (P/N) figure sur la plaque signalétique. Les illustrations sans indication particulière se réfèrent aux jauges avec le raccord à vide DN 16 ISO-KF et sont applicables aux autres raccords à vide par analogie. Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans préavis. Toutes dimensions en mm. Utilisation prévue Les Compact Pirani Gauge TPR 280 et TPR 281 servent à la mesure du vide des gaz dans la gamme des pressions de 1×10-4 … 1000 hPa. Il est interdit de les employer pour la mesure de gaz facilement inflammables ou combustibles mélangés à un oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique) dans les limites explosives. Elles peuvent être exploitées avec un instrument de mesure Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes ou avec un instrument d’évaluation du client. 2% de la mesure Signal de sortie (mesure) Gamme de tension VDC Gamme de mesure VDC Relation tension– pression Signal d'erreur V Rupture de filament 0 … +9.0 +1.5 … +8.5 logarithmique 1.0 V/décade 0 … +0.5 +0.1 Impédance de sortie Ω 2×4.7 Impédance chargée minimale Temps de réponse kΩ 10, protégée contre courts-circuits 80 ms Identification de la jauge Ajustement • n'observe pas les indications figurant dans ce document • utilise ce produit de manière non conforme à l’utilisation prévue Températures admissibles Service Raccord à vide DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R °C +5 … +60 °C °C 80 2) en cas d'installation 80 2) en position horizontale 110 –20 … +65 Filament Stockage °C °C Humidité relative % ≤80 à températures ≤+31 °C, diminuant à 50 à +40 °C espaces clos, hauteur max. 2000 m NN indifférente 2 IP40 Utilisation Position de montage Degré de pollution Protection Dimensions Puissance absorbée Fusible à insérer 1) W AT (lente) Raccordement électrique Couple de serrage Câble jauge Longueur du câble La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur. Conception de la terre Les pannes du produit dues à des impuretes ou à l’usure, et aussi des pièces d'usure (p. ex. filaments), sont exclues de la garantie. Raccord à vide– masse signal Masse alimentation– masse signal Matériaux au contact du vide Filament PT R26 xxx PT R21 xxx 1) Nm +14 … +30 ≤1 <500 (courant max. de mise en service) ≤1 1 prise d'appareil Hirschmann type GO 6, 6 pôles ≤0.2 5 pôles plus blindage ≤150 m (5×0.25 mm2) ≤200 m (5×0.34 mm2) p c U p c [hPa] [µbar] [Torr] [mTorr] 5.5 2.5 5.625 2.625 [V] [V] [V] [micron] [Pa] [kPa] 2.625 3.5 6.5 où p pression U signal de mesure c constante (en fonction de l'unité de pression) Pression indiquée (jauge ajustée pour l'air) p (hPa) 102 H2 8 6 Ne He 4 2 Air O2 CO N2 CO2 Ar 2 Xe 2 10–1 8 6 4 2 10–2 Vapeur d'eau 8 6 33 4 4 6 10–2 2 4 6 10–1 2 4 6 100 2 4 6 101 2 4 6 102 peff (hPa) DN 16 CF-R Facteurs de conversion pour la gamme des pressions inférieure à 1 hPa peff = C × pression indiquée Type de Facteur de gaz conversion C DN 16 ISO-KF tube long DN 16 CF-R tube long He Ne Ar Kr Xe 0.8 1.4 1.7 2.4 3.0 Type de gaz Facteur de conversion C H2 air, O2, CO, N2 CO2 vapeur d'eau fréon 12 0.5 1.0 0.9 0.5 0.7 80 100 130 140 DANGER DANGER: Risque d'empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. reliés par 1 MΩ (différence de tension <15 V) conduit séparément, pour mesure différentielle DIN 1.4301, DIN 1.4305, DIN 1.4435, verre, Ni, NiFe Attention Attention: composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. Attention Installation Raccordement au vide Rapport signal de mesure–pression • Pour les brides KF il faudra utiliser un collier de serrage conducteur. Attention: zone sensible à la pollution Si le produit ou des parties du produit sont touchés avec les mains nues le taux de dégazage est augmenté. Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils propres. Poids PT R26 950, PT R21 950 g PT R26 951, PT R21 951 g PT R26 960, PT R21 960 g PT R26 961, PT R21 961 g DANGER • Les raccords à vide CF satisfont à ces exigences. 2 10–3 10–3 2 DN 16 ISO-KF DANGER: surpression dans le système à vide >250 kPa Les anneaux d'étanchéité en élastomère (p. ex. joints toriques) des brides KF ne peuvent pas résister à de telles pressions. Des gaz peuvent donc s’échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé. Utiliser des joints toriques pourvus d'un anneau de centrage extérieur. DANGER: mise à la masse Les produits incorrectement mis à la masse peuvent être extrêmement dangereux en cas d'un défaut. La jauge doit être connectée directement à l'enceinte à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010: 4 22.5 DANGER: surpression dans le système à vide >100 kPa Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque il règne une surpression dans le système à vide, des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Des gaz peuvent également s’échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé. Ne pas ouvrir les éléments de serrage lorsque il règne une surpression dans le système à vide. Utiliser des éléments de serrage convenables pour la surpression. Freon 12 Kr 100 16 DANGER DANGER Dépendance du type de gaz 8 6 20.5 → "Raccordement électrique" La position d'installation n'est pas imposée, mais pour éviter que les particules et condensats entrent dans le système de mesure, il est préférable de l'installer horizontalement ou debout. L'utilisation d'un joint avec anneau de centrage et filtre peut être nécessaire. Si l'ajustement de la jauge montée est désirable, il faut assurer que le commutateur soit accessible pour la manipulation avec une goupille (→ "Ajustement de la jauge"). • Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. • Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. W Ni Les contrôleurs Pfeiffer Vacuum satisfont à ces exigences. U [V] [V] [V] [V] 101 mm La jauge ne peut être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant aux exigences pour les basses tensions mis à la terre (PELV). Il faudra protéger la ligne vers la jauge 1). VDC Vpp mA 1×10-4 hPa <p< 1000 hPa 1.33×10-4 Torr <p< 750 Torr 1×10-2 Pa <p< 1×105 Pa 8 6 DANGER Tension d'alimentation à la jauge ripple Courant absorbé U = c + log10 p ⇔ 4 un commutateur pour ajustement ATM et HV • utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit correspondante. • modifie ce produit d’une façon quelconque valable pour gamme 1000, seulement pour gaz kPa (abs.) inertes Pression admissible absolue résistance 3.0 kΩ contre la masse alimentation (tension à la pin 1 ≤5 V) Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une tierce personne ≈10 ≈10 Alimentation • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées concernant toute intervention. Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document. • Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés. Communiquer les indications concernant la sécurité aux autres utilisateurs. ±100% de la mesure ±50% de la mesure ±15% de la mesure ±10% de la mesure ±50% de la mesure 1% de la mesure p = 10(U-c) 115 AVERTISSEMENT ±100% de la mesure ±50% de la mesure ±15% de la mesure ±10% de la mesure ±50% de la mesure ≈1.5 ≈1.5 116 Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature. Gamme de mesure (air, O2, CO, N2) Précision (N2) TPR 280 1×10-4 … 5×10-4 hPa 5×10-4 … 1×10-3 hPa 1×10-3 … 2×10-3 hPa 2×10-3… 100 hPa 100 … 1000 hPa Précision (N2) TPR 281 1×10-4 … 5×10-4 hPa 5×10-4 … 1×10-3 hPa 1×10-3 … 1×10-2 hPa 1×10-2… 100 hPa 100 … 1000 hPa Résolution PT R26 950, cm3 PT R21 950 cm3 PT R26 951, PT R21 951 PT R26 960, PT R21 960 cm3 PT R26 961, PT R21 961 cm3 14 DANGER conductance thermique selon Pirani 1×10-4 … 1000 hPa Volume interne 69 Sécurité 16 PERFECTION 15 A PASSION FOR • Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. 2) Tube long: 250 °C. Source: Allemand BG 5178 BDE / D (2024-10) Retirer le protecteur et installer la jauge sur l'équipement. Fonctionnement Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose entre les broches 2 et 3 du signal de mesure (rapport signal de mesure–pression → "Caractéristiques techniques"). Joint avec anneau de centrage Élément de serrage Démontage Le temps de stabilisation est au moins de 10 minutes. Maintenez la jauge en fonctionnement permanent, indépendamment de la pression. ou Protecteur Dépendance du type de gaz Joint avec anneau de centrage et filtre Le signal de mesure dépend de la nature du gaz. La valeur de mesure correspond à l'air , O2, CO et N2. Pour d'autres gaz, procéder à la conversion (→ "Caractéristiques techniques"). Si la jauge est exploitée avec un instrument de mesure Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes, il est alors possible de saisir un facteur de calibrage pour la correction de la valeur mesurée affichée (→ de l’instrument de mesure correspondant). Garder le protecteur. Raccordement électrique Assurez-vous que la jauge est correctement raccordée (→ "Raccordement au vide"). Si un câble de mesure n'est pas disponible, veuillez en fabriquer un selon le schéma suivant. Si vous utilisez la jauge avec un contrôleur PfeifferVacuum, vous pouvez y enter un facteur de conversion pour corriger la valeur de mesure actuelle (→ du contrôleur correspondant). Ajustement de la jauge La jauge est étalonnée en usine. Son vieillissement et des impuretés peuvent provoquer une dérive du zéro. Contrôler le zéro à intervalles réguliers et l'ajuster si nécessaire. Procéder à l'ajustement du zéro aux conditions d'ambiance régnant pendant le service normal de la jauge et dans sa position d'utilisation habituelle. La jauge est ajustée à des valeurs par défaut, mais elle peut aussi être ajustée à d'autres valeurs de pression. Cela suppose qu'on connaisse les valeurs de pression exactes (mesure de référence). Si vous utilisez un joint avec anneau de centrage et filtre, vérifiez leur propreté et remplacez-les si nécessaire (→ "Démontage"). Maintenance, Réparation En cas d'un encrassement sévère ou d'un défaut, le capteur peut être remplacé. DANGER DANGER: composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. 4.7 4.7 Ident 1M Affectation des contacts Pin 1 Identification Pin 2 Sortie du signal (mesure) Pin 3 Masse signal Pin 4 Alimentation Pin 5 Masse alimentation Pin 6 Blindage + – + – 3 2 4 5 1 6 Nous, Pfeiffer Vacuum, confirmons par la présente que les produits suivants sont conformes aux directives européennes et réglementations britanniques suivantes : • 2014/30/EU, Der. L 96/79, 29.3.2014 DANGER: composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Pfeiffer Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si des travaux de réparation sont effectués par le détenteur ou des tiers. Attention (Directive CEM ; Directive compatibilité électromagnétique) • 2011/65/EU, Der. L 174/88, 1.7.2011 (Directive RoHS ; Directive relative à la restriction de l'utilisation de certaines substances dangereuses dans les équipements électriques et électroniques) • S.I. 2016/1091, 11.2016 AVERTISSEMENT DANGER: composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. Les commandes de pièces de rechange doivent toujours comprendre: • toutes les indications figurant sur la plaque signalétique • description et numéro de référence selon la liste des pièces de rechange Attention DANGER: zone sensible à la pollution Si le produit ou des parties du produit sont touchés avec les mains nues le taux de dégazage est augmenté. Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils propres. W capteur pour jauge Numéro de référence Ni capteur pour jauge Numéro de référence PT R26 950 PT R26 951 PT R26 960 PT R26 961 PT 120 133-T PT 120 135-T PT 120 134-T PT 120 136-T PT R21 950 PT R21 951 PT R21 960 PT R21 961 PT 120 141-T PT 120 143-T PT 120 142-T PT 120 144-T Mettre la jauge hors tension. • Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. TPR 280 TPR 281 Normes Normes harmonisées, normes internationales et nationales ainsi que spécifications : • EN 61000-6-2:2005 (CEM: immunité) • EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (CEM: émission) • EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 • EN 61326-1:2013; groupe 1, classe B (exigences CEM pour les équipements de mesure et de commande) Dévisser la vis de blocage et débrancher le câble AVERTISSEMENT jauge. AVERTISSEMENT: transport de produits contaminés Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Les produits qui nous sont envoyés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Inclure une déclaration de contamination rempli *). Pour l'ajustement ATM (pression atmosphérique) *) Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com En absence de confirmation univoque que le produit est "exempt de substances nocives", le produit est décontaminé aux frais du client. En absence d'une déclaration de contamination dûment rempli, le produit est renvoyé à l'expéditeur à ses frais. ATM HV (Ordonnance sur la restriction de l'utilisation de certaines substances dangereuses dans les appareils électriques et électroniques 2012) (Règles de sécurité pour appareils électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire) Transport du produit Retirer la jauge de l'équipement. • S.I. 2012/3032, 12.2012 Produits Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants: • Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. Remettre la jauge à la pression atmosphérique. (Ordonnance sur la compatibilité électromagnétique 2016) AVERTISSEMENT: substances polluantes Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l'environnement. Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Pièces de rechange tionnement à la pression atmosphérique pendant 10 minutes au moins. appuyer sur le commutateur avec une goupille (max. ø1.1 mm): La jauge est ajustée à 1000 hPa (8.50 VDC) par défaut. Si vous appuyez sur le commutateur pendant >5 s la pression augmente vers 1200 hPa (ou si vous appuyez encore une fois, elle diminue vers 500 hPa), jusqu'à ce que vous lâchiez le commutateur ou que la limite de la gamme d'ajustement soit atteinte. Déclaration de conformité UE et UKCA DANGER Les pannes du produit dues à des impuretes ou à l’usure, et aussi des pièces d'usure (p. ex. filaments), sont exclues de la garantie. Mettre la jauge en service et la maintenir en fonc2 3 1 4 5 6 Recyclage Table de conversion des unités de pression mbar bar Pa hPa kPa Torr mm HG mbar bar Pa hPa kPa 1 1×103 0.01 1 10 1×10-3 1 1×10-5 1×10-3 0.01 100 1×105 1 100 1×103 1 0.1 0.75 1×103 100 750 0.01 1×10-3 7.5×10-3 1 0.1 0.75 10 1 7.5 1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332 Torr mm HG Fabricant / Signature Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Aßlar 20 novembre 2023 Daniel Sälzer Président 1 1 Pa = 1 N/m2 Prise secteur côté soudures Fixer la prise secteur du câble jauge sur la jauge avec max. ø1.1 mm Protecteur la vis de blocage (couple de serrage ≤0.2 Nm). Amenez la jauge à une pression << 10 hPa (recom-4 mandée) ou à une pression dans la gamme 10-4 … 10-2 hPa, et attendez au moins 2 minutes. Pour l'ajustement HV (vide poussé) appuyer sur le Brancher le câble jauge à l'appareil de mesure. commutateur avec une goupille: La jauge est ajustée à 1×10-4 hPa (1.50 VDC) par défaut. Si vous appuyez sur le commutateur >5 s, la pression augmente vers 1×10-2 hPa, jusqu'à ce que vous lâchiez le commutateur ou que la gamme d'ajustement soit atteinte. Berliner Straße 43 D–35614 Aßlar Deutschland Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-1202 [email protected] www.pfeiffer-vacuum.com ">
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