Connecteur électrique Sécurité Explication des signes DANGER Caractéristiques techniques Gamme de mesure (air, N2) cathode chaude Pirani (gamme de contrôle) Répétabilité Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature. AVERTISSEMENT INSTRUCTIONS D'UTILISATION BG 5132 BFR / B (2017-02) Traduction du manuel de l'utilisateur IMR 265 Compact Process Ion Gauge Indications concernant la prévention de dégradations de l'environnement et d'importants dégâts matériels. Attention Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs. Qualification du personnel Personnel qualifié Validité Ce document est valable pour les produits avec les numéros de référence PT R26 500 (bride DN 25 ISO-KF) PT R26 501 (bride DN 40 ISO-KF) PT R26 502 (bride DN 16 CF-F) PT R26 503 (bride DN 40 CF-F) PT R26 504 (bride DN 16 ISO-KF) PT R26 505 (tube ¾ ") Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique. Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans préavis. A propos de ce document Le présent document décrit l'installation et le fonctionnement des produits susmentionnés. Pour de plus amples informations, consultez le manuel de l'utilisateur distinct [1]. Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit. Indications concernant la sécurité 10-5 … 10-1 hPa 10-1 … 100 hPa Emission de la cathode chaude Seuil de commutation (sélectionnable par étages) Courant d'émission augmentant conti-nuellement de 1 hPa à 5×10–2 hPa Tension de l'anode Signal de sortie (mesure) Gamme de tension Gamme de mesure cathode chaude Pirani Overrange cathode chaude Underrange cathode chaude Overrange Pirani Underrange Pirani Relation tension – pression cathode chaude Pirani Signaux d'erreur 0.3 V 0.5 V • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes aux gaz utilisés. Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit et les gaz des procédés. Considérer des réactions possibles des gaz des procédés à la chaleur générée par le produit (p. ex. explosions). Identification de la jauge (Pin 1, Umax = 4.25 V) • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées concernant toute intervention. Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document. Ajustement Pirani vide élevé Impédance chargée minimale Les jauges IMR 265 servent à la mesure du vide des gaz dans la gamme des pressions de 2×10-6 … 1 hPa. La mesure dans la gamme ≈ 1 hPa … 1000 hPa (gamme de contrôle) sert à l'indication de la tendance. Elles ne doivent pas être employées pour la mesure de gaz facilement inflammables ou combustibles mélangés à un oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique) dans les limites explosives. La jauge IMR 265 fait partie de la famille des jauges compactes Pfeiffer Vacuum et peut être utilisée avec l'appareil de mesure et de commande de la pression totale MaxiGauge™ TPG 256 A ou avec un instrument d'évaluation du client. ATM (touche <ATM>) Communiquer les indications concernant la sécurité aux autres utilisateurs. cathode chaude Principe de fonctionnement Le signal de mesure est émis comme logarithme de la pression. Un manomètre à ionisation à cathode chaude est employé. Il est piloté au moyen d'un manomètre Pirani intégré (gamme de contrôle). La cathode chaude est uniquement activée audessous du seuil de commutation de 5×10–2 hPa (afin d'éviter un claquage). En présence de hautes pressions, le signal Pirani est disponible. Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une tierce personne 2×10 … 1 hPa 1×10-2 … 1000 hPa (après 10 min. de stabilisation) 2 % mesure ≈ 30 % mesure 1 hPa 5×10–1 hPa 2×10–1 hPa 1×10–1 hPa 5×10–2 hPa (réglage d'usine) 4 µA 130 µA 180 V Matériaux au contact du vide Boîtier, fixations, blindages Passages Isolateur Cathode Support de cathode Elément Pirani Volume interne Pression max. 0 … 10.2 V 1.5 V … 7.5 V 8.5 V … 9.75 V 7.5 V < U < 8 V 0.5 V < U < 1.5 V 9.75 V < U < 10.2 V 8 V < U < 8.5 V logarithmique, 1.00 V / décade 0.25 V / décade → [1] cathode chaude Pirani/électronique mal montée Températures admissibles Stockage Service Etuvage Humidité relative Moyenne annuelle pendant 60 jours Utilisation Protection Dimensions [mm] • utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit correspondante. 8 6 4 100 acier inoxydable 10-1 La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur. Tension à la jauge Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (filament), sont exclues de la garantie. Consommation de courant Standard Démarrage de l'émission (200 ms) Puissance absorbée Fusible à insérer1) Tension sur le dispositif d'alimentation avec un câble de longueur maximale 2 8 6 4 NiFe nickelé verre iridium, oxyde yttrique molybdène, platine tungstène, cuivre ≈ 20 cm3 500 kPa (absolue), (limitée aux gaz inertes et aux températures < 100 °C) –20 °C … +70 °C 0 °C … +50 °C 150 °C dans la zone d'étuvage (unité électronique démontée) DN 40 CF-F 2 4 6 810–2 2 4 6 810–1 2 4 6 8100 2 DN 16 CF-F Poids ≈ 280 g ≈ 285 g ≈ 315 g ≈ 310 g ≈ 550 g ≈ 270 g (bride DN 16 ISO-KF) (bride DN 25 ISO-KF) (bride DN 40 ISO-KF) (bride DN 16 CF-F) (bride DN 40 CF-F) (tube ¾ ") 2) MaxiGauge™ satisfait à ces exigences. La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur du câble de mesure. 4 6 8102 peff (hPa) Installation Raccordement au vide DANGER Pression p [hPa] DANGER : surpression dans le système à vide > 100 kPa Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque il règne une surpression dans le système à vide, des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Des gaz peuvent également échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé. Ne pas ouvrir les éléments de serrage lorsqu'il règne une surpression dans le système à vide. Utiliser des éléments de serrage convenables pour la surpression. 1E+02 1E+01 1E+00 1E–01 1E–02 1E–03 Gamme de mesure cathode chaude : ⇔ U = c1 + log10 p p = 104(U-c2) Tube ¾" DN 16 KF ⇔ U = c2 + 0.25 log10 p U p c1 c2 [V] [V] [V] [V] [V] [V] [V] [hPa] [µbar] [Torr] [mTorr] [micron] [Pa] [kPa] 7.5 4.5 7.625 4.625 4.625 5.5 8.5 9 8.25 9.031 8.281 8.281 8.5 9.25 où p pression U signal de mesure c1, c2 constante (en fonction de l'unité de pression) valable pour gamme cathode chaude : 1.50 V ≤ U ≤ 7.50 V Pirani : 8.50 V ≤ U ≤ 9.75 V Dépendance du type de gaz DANGER DANGER : surpression dans le système à vide > 250 kPa Les anneaux d'étanchéité en élastomère (p. ex. joints toriques) des raccords à brides ne peuvent pas résister à de telles pressions. Des gaz peuvent donc s'échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé. Utiliser des anneaux d'étanchéité pourvus d'un anneau de centrage extérieur. DANGER DANGER : protection pasr mise à la masse Les produits mal raccordés à la masse présentent un danger mortel en cas de panne. La jauge doit être connectée directement à la chambre à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010 : • Les brides CF satisfont à ces exigences. • Pour les brides KF il faudra utiliser un anneau de serrage conducteur. • Avec le tube ¾ ", satisfaire à cette exigence en prenant les mesures qui s'imposent. Gamme ionisation à cathode chaude DN 25 KF Pour d'autres gaz que l'air, la pression dans la gamme de mesure p < 10-1 hPa peut être déterminée par une simple conversion : peff = C × pression affichée DN 40 KF où type de gaz C (moyenne) air (N2, O2) Xe Kr Ar H2 Ne He 1.0 0.4 0.5 0.8 2.4 4.1 5.9 Attention Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. INFICON GmbH 1) 4 6 8101 2 Rapport signal de mesure – pression 1E+03 ≤ 65 % (pas de condensation) ≤ 85 % (pas de condensation) en salle, altitude jusqu'à 2000 m IP 30 Vapeur d'eau 10-2 10–3 2 p = 10U-c1 2) ≤ 16 W ≤ 1.25 A (lente) 21 … 30 VDC (ondulation max. 1 Vpp) Xe 8 6 4 Signal de mesure U[V] 20 … 30 VDC (ondulation max. 1 Vpp) ≤ 0.5 A ≤ 1.4 A CO2 Ar Freon 12 Kr 2 → "Raccordement électrique" Air O2 CO N2 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.2 La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant aux exigences pour les basses tensions mises à la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers la jauge.1) • modifie ce produit d'une façon quelconque Ne Gamme d'indication au-dessus de 10-2 hPa) 101 1E–06 DANGER • utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue 2 ≤ 35 m (ø 0.25 mm²) ≤ 50 m (ø0.34 mm²) ≤ 100 m (ø 1.0 mm²) 1E–05 Résistance 15.2 kΩ contre masse alimentation compensation automatique par le circuit de mesure à cathode chaude dans la gamme 1 … 3×10-3 hPa ajustement par touche <ATM> (appuyer ≥ 5 s) à pression atmosphérique réglage de la valeur de calibrage à l'aide du commutateur à 16 positions conformément à l'inscription sur le capteur H2 He 8 6 4 1E–04 Alimentation • n'observe pas les indications figurant dans ce document 102 10 kΩ, protégée contre courts-circuits Marques MaxiGauge™ Conception de la masse p (hPa) Gamme de mesure Pirani : • Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés. Utilisation prévue -6 Couple de serrage Câble Longueur du câble Gamme Pirani connecteur compact Hirschmann, type GO 6, 6 pôles, mâle ≤0.2 Nm 5 pôles plus blindage bg5132bf r / b Source : Allemand BG 5132 BDE / B (2017-02) Dans la gamme de pression supérieure, la valeur de mesure Pirani est émise, dans la gamme inférieure, c'est la valeur de la cathode chaude. Attention Attention : zone sensible à la pollution Si le produit ou des composants du produit sont touchés à mains nues le taux de dégazage est augmenté. Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils propres. Cathode chaude HP Pirani 2 × 10-6 hPa 1000 hPa Réglage de la valeur de calibrage de la cathode chaude La jauge est étalonnée en usine et une valeur de calibrage comprise dans la gamme entre 0 et F y est imprimée. Cette valeur doit être réglée à l'aide du commutateur <Cal adj> afin d'adapter l'électronique au capteur. Lors de la première mise en service de la jauge et après un remplacement du capteur, contrôler le réglage de la valeur de calibrage et l'ajuster le cas échéant. Maintenance, réparation En cas d'un encrassement sévère ou d'un défaut, le capteur peut être remplacé (→ [1]). Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (filament), sont exclues de la garantie. 5 × 10-2 hPa ... 1 hPa seuil (point) de commutation réglable La position de montage n'est pas imposée, mais pour empêcher que les particules et condensats n'entrent dans la chambre de mesure, il est préférable d'installer la jauge horizontalement ou debout. Réglage du seuil de commutation Retirer le protecteur et raccorder la jauge au système à vide. Garder le protecteur. Raccordement électrique Vérifier que la jauge est correctement raccordée (→ "Raccordement au vide"). AVERTISSEMENT : transport de produits contaminés Les produits qui nous sont envoyés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives (p. ex. radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques). Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Inclure une déclaration de contamination remplie.*) *) Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com. + – En absence de confirmation univoque que le produit est "exempt de substances nocives", le produit est décontaminé aux frais du client. + – Si vous envoyez le produit à notre S.A.V. en vue de sa maintenance, utilisez un emballage étanche, résistant aux chocs. 2 Figure 1 Affectation des contacts 3 1 Broche 1 Identification (U ≤ 4.25 V) Broche 2 Sortie du signal (mesure) Broche 3 Masse signal GND Broche 4 Alimentation 6 Broche 5 Masse alimentation GND 4 5 Prise Broche 6 Blindage côté soudures DANGER Seuil de commutation 0 ou 1 2 ou 3 4 ou 5 6 ou 7 8 ou 9 1 hPa 5×10-1 hPa 2×10-1 hPa 1×10-1 hPa 5×10-2 hPa (réglage d'usine) Brancher la jauge à l'appareil de mesure. Fixer la prise sur la jauge avec la vis (couple de DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. serrage ≤0.2 Nm).. Ajustement de la jauge Fonctionnement Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose entre les broches 2 et 3 du signal de mesure (rapport signal de mesure – pression → "Caractéristiques techniques"). Le temps de stabilisation est ≈ 10 min. Maintenir la jauge en fonctionnement permanent, indépendamment de la pression. Dépendance du type de gaz La valeur de mesure dépend de la nature du gaz. Elle correspond à l'air sec, au nitrogène (N2), à l'oxygène (O2) et au monoxyde de carbone (CO). Pour d'autres gaz, procéder à la conversion (→ "Caractéristiques techniques"). Si vous utilisez la jauge avec l'appareil de mesure et de commande MaxiGauge™, vous pouvez y entrer le facteur de correction correspondant (→ [2]). La jauge est étalonnée en usine. L'utilisation de la jauge dans un climat différent ou une autre position de montage, son vieillissement, des impuretés ou l'échange du capteur peuvent provoquer une dérive de la courbe caractéristique et un ajustage peut devenir nécessaire. Seul le système Pirani peut être ajusté. Ajustement vide élevé Pirani : Lors de chaque mise en circuit de la jauge, le circuit de mesure Pirani est automatiquement compensé par le circuit de mesure à cathode chaude (lorsque la pression est pour la première fois comprise dans la gamme p = 1 … 3×10-3 hPa). Ajustement atmosphérique Pirani : Laisser la jauge en service pendant ≈ 10 minutes à pression atmosphérique. Si la jauge était auparavant au mode de ionisation à cathode chaude, il faut la laisser refroidir pendant ≈ 30 minutes (température de jauge = température ambiante). Insérer une goupille dans l'ouverture <ATM> et appuyer sur la touche pendant ≥ 5 secondes. Attention Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. Attention Attention : zone sensible à la pollution Si le produit ou des composants du produit sont touchés à mains nues le taux de dégazage est augmenté. Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils propres. Remettre le système à vide à la pression atmosphérique et mettre la jauge hors circuit. Dévisser la vis de fixation et débrancher le câble de mesure. Gamme de mesure La jauge IMR 265 recouvre la gamme de mesure 5×10-10 hPa … 1000 hPa. bar Pa hPa kPa 1 1×103 0.01 1 10 1×10-3 1 1×10-5 1×10-3 0.01 100 1×105 1 100 1×103 1 0.1 0.75 1×103 100 750 0.01 1×10-3 7.5×10-3 1 0.1 0.75 10 1 7.5 1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332 Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum, déclarons que le produit ci-après est conforme à la directive relative à la compatibilité électromagnétique 2014/30/UE et de la directive relative à la limitation de l’utilisation de certaines substances dangereuses dans les équipements électriques et électroniques 2011/65/UE. Torr mm HG 1 1 Pa = 1 N/m2 Produit IMR 265 Informations supplémentaires [1] [2] www.pfeiffer-vacuum.com Manuel de l'utilisateur IMR 265 BG 5172 BDE (allemand) BG 5172 BEN (anglais) BG 5172 BFR (français) Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne www.pfeiffer-vacuum.com Manuel de l'utilisateur TPG 256 A MaxiGauge™ BG 5186 BDE (allemand) BG 5186 BEN (anglais) BG 5186 BFR (français) Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne Normes Normes harmonisées, normes internationales et nationales ainsi que spécifications : • EN 61000-6-2:2005 (Compatibilité électromagnétique : immunité) • EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (Compatibilité électromagnétique : émission) • EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire) • EN 61326-1:2013 (Exigences relatives à la compatibilité électromagnétique pour matériel électrique de mesure, de commande et de laboratoire) Fabricant / Signature Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar 7 mars 2016 Démontage Position du commutateur (<P ↔ HP>) mbar Déclaration UE de conformité AVERTISSEMENT Il faut sélectionner le seuil de commutation avant de mettre la jauge en circuit parce que la position du commutateur est uniquement pris en compte lors de l'activation de la jauge. compatible, confectionnez en un selon le schéma suivant. mbar bar Pa hPa kPa Torr mm HG Retour du produit La jauge IMR 265 comporte cinq seuils de commutation sélectionnables. Cela permet d'éviter que la gamme de commutation ne se situe dans la gamme de la pression de travail. Le seuil de commutation est réglé en usine à 5×10-2 hPa. La commutation s'effectue à l'aide du commutateur <P ↔ HP>. Comme la tendance à l'encrassement du système à cathode chaude diminue avec la pression, il est recommandé de sélectionner un seuil de commutation le plus faible possible. Si vous ne disposez pas d'un câble de mesure Table de conversion des unités de pression Recyclage Dr. Ulrich von Hülsen Président DANGER DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : substances polluantes Les composants électriques doivent être triés en vue de recyclage. Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : • Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. • Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. Démonter la jauge du système à vide et remettre le protecteur en place. • L'élément Pirani surveille constamment la pression. • La cathode chaude (commandée par l'élément Pirani) ne s'amorce que lorsque la pression tombe au-dessous du seuil de commutation. Après quelques secondes de fonctionnement, la cathode chaude est prête au service. Cela est indiqué par la lampe <EMI ON>. • Lorsque la pression monte au-dessus du seuil de commutation, la cathode chaude est désactivée et la lampe <EMI ON> s'éteint. Berliner Straße 43 D–35614 Asslar Allemagne Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-1202 [email protected] www.pfeiffer-vacuum.com ">
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