Tension à la jauge Caractéristiques techniques MaxiGauge™ FullRange® INFICON GmbH Pfeiffer Vacuum GmbH Sécurité Explication des signes DANGER INSTRUCTIONS D'UTILISATION BG 5131 BFR / B (2017-02) Traduction du manuel de l'utilisateur Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature. Gamme de mesure (air, N2) 5×10-10 … 1000 hPa Gamme de transition cathode chaude – Pirani "high" (réglage d'usine) "low" Précision (10-8 ... 10-2 hPa) 5.5×10–3 … 2.0×10–2 hPa 2.0×10–3 … 8.0×10–3 hPa ≈ 15% mesure (après 5 min. de stabilisation) Répétabilité (10-8 ... 10-2 hPa) ≈ 5% mesure (après 5 min. de stabilisation) Emission de la cathode chaude Pression d'activation "high" Pression de désactivation "high" Pression d'activation "low" Pression de désactivation "low" Courant d'émission (pression diminuante) 7.2×10-6 hPa < p < 2.4×10-2 hPa p ≤ 7.2×10-6 hPa AVERTISSEMENT Indications concernant la prévention de dégradations de l'environnement et d'importants dégâts matériels. PBR 260 Jauge FullRange® BA, modèle compact Attention Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs. Commutation du courant d'émission 25 µA 5 mA (pression diminuante) 5 mA 25 µA (pression augmentante) Identification du produit Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous. Qualification du personnel Personnel qualifié Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar Typ: No: F-No: V W Validité Ce document est valable pour les produits avec les numéros de référence PT R27 000 (DN 25 ISO-KF) PT R27 001 (DN 40 ISO-KF) PT R27 002 (DN 40 CF-R) Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique. Les illustrations sans indication particulière se réfèrent aux jauges avec le raccord à vide DN 25 ISO-KF et sont applicables aux autres raccords à vide par analogie. Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans préavis. Toutes dimensions en mm. Utilisation prévue ® Les jauges FullRange BA PBR 260 servent à la mesure du vide des gaz dans la gamme des pressions de 5×10-10 … 1000 hPa. Elles ne doivent pas être employées pour la mesure de gaz facilement inflammables ou combustibles mélangés à un oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique) dans les limites explosives. La jauge PBR 260 fait partie de la famille des jauges compactes Pfeiffer Vacuum et peut être utilisée avec l'appareil de mesure et de commande de la pression totale MaxiGauge™ ou avec un instrument d'évaluation du client. Principe de fonctionnement Dans toute la gamme de mesure, la jauge PBR 260 a une courbe caractéristique continue et le signal de mesure est émis comme logarithme de la pression. Ceci s'obtient par l'intégration d'un système de mesure par ionisation à cathode chaude selon Bayard-Alpert et d'un système Pirani dans la même jauge. Dans une gamme définie où les deux systèmes de mesure se recouvrent, un signal mixte est émis. Au-dessus de cette gamme, seul le signal Pirani est émis, au-dessous, seul le signal du système d'ionisation à cathode chaude est émis. Le signal Pirani est utilisé pour activer/désactiver le système d'ionisation à cathode chaude et donc pour le protéger contre claquage et encrassement. On peut choisir entre deux seuils d'activation/désactivation. Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit. • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes aux gaz utilisés. Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit (→ "Caractéristiques techniques") et les gaz des procédés. Considérer des réactions possibles des gaz des procédés à la chaleur générée par le produit (p. ex. explosions). Relation tension – pression Signaux d'erreur 0.3 V 0.5 V Dépassement vers le bas Dépassement vers le haut • Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés. Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une tierce personne 3.2×10-2 hPa (réglage d'usine) 9.9×10-3 hPa Conception de la masse 25 µA 5 mA -6 7.2×10 hPa 3.2×10-5 hPa 0 … 10.2 V 0.774 V … 10 V (5×10-10 hPa … 1000 hPa) logarithmique, 0.75 V / décade → [1] cathode chaude électronique mal montée Identification de la jauge (Umax = 4.25 V) Résistance 17.2 kΩ contre masse alimentation ATM (touche <ATM>) • modifie ce produit d'une façon quelconque Compensation du point zéro (touche <ATM>) • utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit correspondante. Cathode chaude La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur. 102 2 101 ≤ 1.4 A Matériaux au contact du vide Boîtier, fixations, blindages Passages Isolateur Cathode Support de cathode Elément Pirani Volume interne DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-R Pression connecteur compact Hirschmann, type GO 6, 6 pôles, mâle ≤ 0.2 Nm 5 pôles plus blindage Humidité relative Moyenne annuelle pendant 60 jours Utilisation Protection 8 6 4 2 Poids Vapeur d'eau 10-2 10–3 2 285 g (bride DN 25 ISO-KF) 315 g (bride DN 40 ISO-KF) 550 g (bride DN 40 CF-R) 4 6 810–2 2 4 6 810–1 2 4 6 8100 2 Rapport signal de mesure – pression Installation Pression p [hPa] Raccordement au vide 1E+03 underrange 1E+01 1E–01 1E–03 200 kPa (absolue) 1E–07 4 6 8102 peff (hPa) DANGER : surpression dans le système à vide > 100 kPa Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque il règne une surpression dans le système à vide, des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Des gaz peuvent également échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé. Utiliser des éléments de serrage convenables pour la surpression (p. ex. anneau de serrage muni d'un collier de fixation). 1E+00 1E–02 4 6 8101 2 DANGER 1E+02 1E–04 1E–05 1E–06 overrange 1E–09 1E–10 0.0 1.0 2.0 3.0 4.0 5.0 6.0 7.0 8.0 9.0 10.0 DANGER Signal de mesure U[V] p = 10(U-7.75)/0.75+c ≤ 65% (pas de condensation) ≤ 85% (pas de condensation) en salle, altitude jusqu'à 2000 m IP 30 Dimensions [mm] U p c [V] [V] [V] [hPa] [Pa] [Torr] 0 2 -0.125 où p pression U signal de mesure c constante (en fonction de l'unité de pression) valable pour gamme 0.774 V ≤ U ≤ 10.000 V Gamme ionisation à cathode chaude Pour d'autres gaz que l'air, la pression dans la gamme de mesure p < 10-3 hPa peut être déterminée par une simple conversion : peff = C × pression affichée où DANGER : protection par mise à la masse Les produits mal raccordés à la masse présentent un danger mortel en cas de panne. La jauge doit être connectée directement à la chambre à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010 : • Les brides CF satisfont à ces exigences. • Pour les brides KF il faudra utiliser un anneau de serrage conducteur. Attention Dépendance du type de gaz ajustement automatique par cathode chaude à 1 … 3×10-3 hPa ajustement par touche <ATM> (appuyer ≥ 5 s) à pression atmosphérique ajustement par touche <ATM> (appuyer ≥ 2 s) à ≤ 1×10-4 hPa ajustée en usine, aucun ajustement nécessaire Freon 12 Kr Xe 2 ≤ 24 cm3 ≤ 24 cm3 ≤ 25 cm3 –20 … +70 °C 0 … +50 °C 150 °C (sans électronique ou avec extension) CO2 Ar 10-1 1E–08 Températures admissibles Stockage Service Etuvage Air O2 CO N2 8 6 4 1E+04 acier inoxydable NiFe nickelé verre iridium, oxyde yttrique molybdène tungstène, cuivre Gamme d'indication au-dessus de 10-2 hPa) 100 (∅ 0.25 mm²) (∅ 0.34 mm²) (∅ 1.0 mm²) → Figure 1 Ne 2 21 … 28 VDC (ondulation max. 2 Vpp) Alimentation type de gaz C (moyenne) air, O2, CO, N2 Xe Kr Ar H2 Ne He 1.0 0.4 0.5 0.8 2.4 4.1 5.9 Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. Attention Attention : zone sensible à la pollution Si le produit ou des composants du produit sont touchés à mains nues, le taux de dégazage est augmenté. Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils propres. Monter la jauge de sorte qu’elle ne vibre pas. La position de montage n'est pas imposée mais les particules ne doivent pas pénétrer dans la chambre de mesure. Veiller à ce que la jauge installée soit accessible pour un ajustement ultérieur. Retirer le protecteur et raccorder la jauge à système à vide. DANGER DN 40 KF La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant aux exigences pour les basses tensions mises à la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers la jauge.1) Garder le protecteur. 2) 1) 8 6 4 ≤ 16 W ≤ 1.25 A (lente) 35 m 50 m 100 m H2 He 8 6 4 DN 25 KF Ajustement Pirani vide élevé p (hPa) ≤ 0.5 A ≤ 0.8 A 0.5 V < U < 0.774 V Impédance chargée minimale • utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue Couple de serrage Câble Longueur du câble 1.3×10-2 hPa 10 V < U ≤ 10.2 V (signal de mesure limité à 10.2 V par le logiciel) 10 kΩ • n'observe pas les indications figurant dans ce document Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (filament), sont exclues de la garantie. 2.4×10-2 hPa (réglage d'usine) 0 V / 24 V, niveau API haut = dégazage actif Durée ≤ 3 minutes, après, désactivation automatique Pendant le dégazage, PBR 260 continue à fournir des résultats de mesure mais les tolérances peuvent être plus grandes que pendant le fonctionnement normal. • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées concernant toute intervention. Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document. Communiquer les indications concernant la sécurité aux autres utilisateurs. Connecteur électrique Signal de commande Signal de sortie (mesure) Gamme de tension Gamme de mesure Gamme Pirani DN 40 CF-R Dégazage (seulement à p < 7.2×10-6 hPa) Courant ≈ 16 mA / ≈ 4.0 W Indications concernant la sécurité Consommation de courant Standard Dégazage Démarrage de l'émission (200 ms) Puissance absorbée Fusible à insérer 1) Tension sur le dispositif d'alimentation avec un câble de longueur maximale 2) 20 … 28 VDC (ondulation max. 2 Vpp) Sensor error Marques MaxiGaugeTM satisfait à ces exigences. La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur du câble de mesure. bg5131bf r / b Source : Allemand BG 5131 BDE / B (2017-02) Raccordement électrique Sélection de la gamme d'activation/de désactivation Condition préalable : Jauge raccordée au système à vide. Mettre la commande hors circuit avant de réaliser ou de couper une connexion vers le produit. Si vous ne disposez pas d'un câble de raccordement, confectionnez en un selon le schéma suivant. La jauge PBR 260 à deux gammes d'activation/de désactivation sélectionnables par l'utilisateur avec leurs gammes de transition. Ainsi, on peut éviter que la pression de travail soit située dans la gamme d'activation/de désactivation. On sélectionne entre les gammes "high" (réglage d'usine) et "low" moyennant le commutateur <P ↔ BA> . Sélectionnez de préférence la position "low" car la contamination du système à cathode chaude est plus faible à une pression basse. + – 2 Figure 1 Affectation des contacts 3 1 Broche 1 a) Dégazage b) Identification (U ≤4.25 V) Broche 2 Sortie du signal (mesure) Broche 3 Masse signal GND 6 Broche 4 Alimentation 4 5 Broche 5 Masse alimentation GND Prise Broche 6 Blindage côté soudures Fixer la prise du câble de raccordement sur la jauge high avec la vis (couple de serrage ≤ 0.2 Nm). Brancher la jauge à l'appareil de mesure. low high 5.5 × 2.0 low 2. Gamme de mesure • L'élément Pirani surveille constamment la pression. • La cathode chaude (commandée par l'élément Pirani) ne s'amorce que lorsque la pression tombe au-dessous du seuil d'activation (pactivation). Après quelques secondes de fonctionnement, la cathode chaude est prête au service. Cela est indiqué par la lampe <EMI ON>. • Lorsque la pression monte au-dessus du seuil de désactivation (pdésactivation), la cathode chaude est désactivée et la lampe <EMI ON> s'éteint. Dans la gamme de pression supérieure, la valeur de mesure Pirani est émise, dans la gamme inférieure, c'est la valeur de la cathode chaude. Dans la gamme où les deux systèmes de mesures se recouvrent (pinférieure … psupérieure), un signal mixte est émis : Cathode chaude 5 × 10-10 hPa appuyer sur la touche pendant 2 secondes. × 10 La jauge est étalonnée en usine. L'utilisation de la jauge dans un climat différent ou une autre position de montage, son vieillissement, des impuretés ou l'échange du capteur peuvent provoquer une dérive de la courbe caractéristique et un ajustage peut devenir nécessaire. Seul le système Pirani peut être ajusté. Le système à cathode chaude est étalonné en usine. L'élément Pirani est ajusté automatiquement par le système à cathode chaude à une pression p ≈ 2×10-3 hPa. Ajustement atmosphérique Laisser la jauge en service pendant ≈ 10 minutes à pression atmosphérique. Si la jauge était auparavant au mode de ionisation à cathode chaude, il faut la laisser refroidir pendant ≈ 30 minutes (température de jauge = température ambiante). Insérer une goupille dans l'ouverture <ATM> et appuyer sur la touche pendant ≥ 5 secondes. p on p off bar Pa hPa kPa 1 1×103 0.01 1 10 1×10-3 1 1×10-5 1×10-3 0.01 100 1×105 1 100 1×103 1 0.1 0.75 1×103 100 750 0.01 1×10-3 7.5×10-3 1 0.1 0.75 10 1 7.5 1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332 Déclaration UE de conformité Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum, déclarons que le produit ci-après est conforme à la directive relative à la compatibilité électromagnétique 2014/30/UE et de la directive relative à la limitation de l’utilisation de certaines substances dangereuses dans les équipements électriques et électroniques 2011/65/UE. Torr mm HG 1 Produits PBR 260 Retour du produit AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : transport de produits contaminés Les produits qui nous sont envoyés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives (p. ex. radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques). Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Inclure une déclaration de contamination remplie.*) *) Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com. En absence de confirmation univoque que le produit est "exempt de substances nocives", le produit est décontaminé aux frais du client. Si vous envoyez le produit à notre S.A.V. en vue de sa maintenance, utilisez un emballage étanche, résistant aux chocs. Informations supplémentaires [1] [2] www.pfeiffer-vacuum.com Manuel de l'utilisateur Jauge FullRange® BA, modèle compact PBR 260 BG 5171 BDE (allemand) BG 5171 BEN (anglais) BG 5171 BFR (français) Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Allemagne www.pfeiffer-vacuum.com Manuel de l'utilisateur MaxiGauge™ TPG 256 A BG 5186 BDE (allemand) BG 5186 BEN (anglais) BG 5186 BFR (français) Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Allemagne Normes Normes harmonisées, normes internationales et nationales ainsi que spécifications : • EN 61000-6-2:2005 (Compatibilité électromagnétique : immunité) • EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (Compatibilité électromagnétique : émission) • EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire) • EN 61326-1:2013 (Exigences relatives à la compatibilité électromagnétique pour matériel électrique de mesure, de commande et de laboratoire) Fabricant / Signature Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar 7 mars 2016 Dr. Ulrich von Hülsen Président DANGER Démontage 1000 hPa Ajustement de la jauge La contamination des électrodes du système d'ionisation à cathode chaude peut entraîner des instabilités des valeurs de mesure. Dans ce cas, nous recommandons de procéder à l'étuvage (dégazage) de l'anode à une pression de 7.2×10-6 hPa (courant d'émission 5 mA). L'étuvage se démarre, selon la configuration utilisée, à l'aide de l'appareil de mesure et de commande MaxiGauge™, d'un commutateur manuel ou automatiquement par la commande du système (p. ex. API). PBR 260 désactive l'étuvage automatiquement après 3 minutes s'il n'a pas été terminé auparavant. Le dégazage est amorcé par la commutation du signal de commande (broche 1) de OFF (0 V) à ON (24 V). Il est terminé par la commutation du signal de commande de ON (24 V) à OFF (0 V) ou automatiquement après 3 minutes. Pour un dégazage répété, le signal de commande doit d'abord commuter de ON (24 V) à OFF (0 V) et ensuite redémarrer le dégazage en commutant à ON (24 V). Pour éviter des états indéfinis, nous recommandons de remettre le signal du dégazage à OFF (0 V) par la commande du système après chaque étuvage de 3 minutes. Pendant le dégazage, la grille du collecteur d'électrons est chauffée à ≈ 700 °C par bombardement d'électrons. mbar bar Pa hPa kPa Torr mm HG mbar 1 Pa = 1 N/m2 Dégazage DANGER DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Attention Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. Attention Attention : zone sensible à la pollution Si le produit ou des composants du produit sont touchés à mains nues, le taux de dégazage est augmenté. Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils propres. e ur re ieu ér p sup Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (filament), sont exclues de la garantie. Insérer une goupille dans l'ouverture <ATM> et La procédure de compensation dure 2 minutes et se déroule automatiquement. Table de conversion des unités de pression → [1] Recyclage Ajustement vide élevé La jauge PBR 260 recouvre la gamme de mesure 5×10-10 mbar … 1000 hPa. -4 Maintenance, résolution de problèmes pendant environ 10 minutes. -2 Pirani -3 8.0 Si vous utilisez la jauge avec appareil de mesure et de commande MaxiGauge™, vous pouvez y entrer le facteur de correction correspondant (→ [2]). Laisser la jauge en service à une pression ≤ 1×10 hPa 10 10 × × 9.9 1.3 Cathode chaude Dépendance du type de gaz 1000 hPa 10 -3 -3 10 5 × 10-10 hPa ie ér 0 0 ×1 ×1 2.4 3.2 0 -2 0× -2 Pirani 5 × 10-10 hPa Le temps de stabilisation est environ 10 min. Maintenez la jauge en fonctionnement permanent, indépendamment de la pression. p inf ×1 -2 -3 Cathode chaude Fonctionnement La valeur de mesure dépend de la nature du gaz. Elle correspond à l'air sec, à l'oxygène (O2), au monoxyde de carbone (CO) et à l'azote (N2). Pour d'autres gaz, procéder à la conversion (→ "Caractéristiques techniques"). Pour cette compensation, nous recommandons également d'employer la touche pour la compensation de l'atmosphère. Attention Il faut sélectionner la gamme d'activation/de désactivation avant de mettre la jauge en circuit parce que la position du commutateur est uniquement prise en compte lors de l'activation de la jauge. + – Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose entre les broches 2 et 3 du signal de mesure qui est émis comme logarithme de la pression dans toute la gamme de mesure (rapport signal de mesure – pression → "Caractéristiques techniques"). • dans le cadre des activités de maintenance habituelles en vue de l'assurance qualité. DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : substances polluantes Les composants électriques doivent être triés en vue de recyclage. Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : • Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. • Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. Remettre le système à vide à la pression Pirani atmosphérique. 1000 hPa Compensation du point zéro : Une compensation du point zéro est recommandée • après un remplacement du capteur Mettre la jauge hors circuit. Débrancher le câble de raccordement. Démonter la jauge du système à vide et mettre le protecteur en place. Berliner Straße 43 D–35614 Asslar Allemagne Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-1202 [email protected] www.pfeiffer-vacuum.com ">
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