Pfeiffer HPT 200 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
HPT 200
Jauge Pirani numérique/Bayard Alpert
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a
été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception
rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de
techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits
de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience
pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à
une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse [email protected].
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téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/56
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque de commerce
7
7
7
7
7
8
8
8
8
9
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations non conformes prévisibles
10
10
10
12
13
13
13
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.1.1 Mode de fonctionnement de la jauge
3.1.2 Systèmes de mesure
3.1.3 Gamme de mesure
3.1.4 Système de mesure Bayard-Alpert
3.1.5 Système de mesure Pirani
3.2 Identification du produit
3.3 Étendue de la livraison
15
15
15
15
15
16
16
17
17
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
18
18
18
5
Installation
5.1 Raccord à vide
5.2 Création de la connexion « RS-485 »
19
19
20
6
Interfaces
6.1 Interface RS-485
6.2 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
6.2.1 Cadre télégramme
6.2.2 Description du télégramme
6.2.3 Télégramme exemple 1
6.2.4 Télégramme exemple 2
6.2.5 Types de données
23
23
23
23
24
24
24
24
7
Ensemble de paramètres
7.1 Généralités
7.2 Aperçu des paramètres de la jauge HPT
7.3 Instructions de réglage
7.4 Requêtes d’état
7.5 Valeurs de pression et facteurs de correction
26
26
26
27
27
28
8
Fonctionnement
8.1 Sélection des gammes de commutation
8.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
29
30
31
3/56
Table des matières
8.3
8.4
8.5
8.6
4/56
Activation/désactivation du filament HIMS
Lecture et réglage du relais et des points de commutation
Exécution du dégazage
Étuvage de la jauge
32
33
33
34
9
Démontage
35
10
Maintenance
10.1 Nettoyage des composants
10.2 Calibration de la jauge
10.3 Remplacement du système de mesure
37
37
38
39
11
Anomalies
41
12
Expédition
42
13
Recyclage et mise au rebut
13.1 Informations générales sur la mise au rebut
13.2 Mise au rebut des jauges
43
43
43
14
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
44
15
Pièces de rechange
46
16
Accessoires
16.1 Informations sur l’accessoire
16.2 Commande d’accessoires
47
47
47
17
Caractéristiques techniques et dimensions
17.1 Généralités
17.2 Fiche technique
17.3 Dimensions
49
49
49
51
Déclaration de conformité CE
53
Déclaration de Conformité UK
54
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Documents applicables
Variantes
Abréviations utilisées
Conditions ambiantes autorisées
Caractéristiques de l’interface RS-485
Explication et signification des paramètres
Aperçu des paramètres de la jauge HPT
Jeu de paramètres | Instructions de réglage
Jeu de paramètres | Requêtes d’état
Ensemble de paramètres | Valeurs de pression et facteurs de correction
Affichage du mode de travail via la LED « état appareil »
Facteur de correction pour le fonctionnement avec Pirani uniquement
Facteurs de correction pour HIMS
Conditions d’activation/de désactivation, à l’aide de la gamme de commutation trans_HIGH
Anomalies
Pièces de rechange
Accessoires
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Valeurs de mesure et de pression
Données électriques
Interface RS-485
Brides de raccordement et poids
Conditions ambiantes
Températures
Substances en contact avec le fluide
7
7
9
13
23
26
26
27
27
28
29
31
32
32
41
46
48
49
49
49
49
50
50
50
50
50
5/56
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
6/56
Structure de la jauge HPT
Configuration de mesure
Conception du système de mesure Bayard-Alpert
Raccord à vide
Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant les câbles de raccordement et les accessoires
Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant OmniControl
Affectation des raccordements du connecteur RS-485
Exemples de lecture des valeurs de pression actuelles via [P:740]
Sélection des gammes de commutation
Courbe de mesure en cas de fonctionnement avec jauge Pirani uniquement
et avec facteurs de correction
Remplacement du système de mesure
HPT 200 avec DN 25 ISO-KF
HPT 200 avec DN 40 ISO-KF
HPT 200 avec DN 40 CF-F
15
15
16
20
21
21
23
29
30
31
39
51
51
52
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Manuel de l’utilisateur de « l’appareil de commande » OmniControl
PT 0670
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes :
Référence
Désignation
PT R39 140
HPT 200, DN 25 ISO-KF
PT R39 150
HPT 200, DN 40 ISO-KF
PT R39 350
HPT 200, DN 40 ISO-CF-F
Tab. 2:
Variantes
La référence de pièce est disponible sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d’apporter des modifications techniques sans préavis.
Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les graphiques sans légende reflètent le produit équipé d’un raccord à vide DN 40 ISO-KF. Ils s’appliquent cependant aussi aux autres raccords à vide.
Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
7/56
A propos de ce manuel
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles.
Remarque
Conseil
Portez des gants de laboratoire
Contrôlez visuellement
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
Plaque signalétique
La plaque signalétique se trouve à l’arrière de l’appareil.
D-35614 Asslar
Mod. HPT 200
P/N
PT R39 xxx
S/N
12345678
Range 5.0x10 -10 - 1000 hPa
Input 24 V DC 9 W
Made in Germany 2023/01
8/56
A propos de ce manuel
1.3.4
Abréviations
Abréviation
Explication
AR
Analogique/Relais
ATM
Atmosphère
BA
Bayard-Alpert
C
Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air
Sensibilité du système de mesure Bayard-Alpert pour l’azote
EC
Collecteur d’électrons
F
Filament chauffé
FKM
Caoutchouc fluoré
HIMS
Système de mesure d’ionisation à cathode chaude
HV
Vide élevé
IC
Collecteur d’ions
DEL
Diode électroluminescente
LPS
Source de puissance limitée
MSL
Niveau moyen de la mer
p
Pression
P
Pirani
PE
Terre de protection (conducteur de protection)
TBTP
Très basse tension de protection
U
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
Tab. 3:
1.4
Abréviations utilisées
Justificatif de marque de commerce
● Binder® est une marque déposée de Franz Binder GmbH + Co. Elektrische Bauelemente KG.
9/56
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
10/56
Sécurité
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
Risques pendant le fonctionnement
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
11/56
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
12/56
Sécurité
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Paramètre
Valeur
Pression d’air
800 à 1060 hPa
Humidité relative de l’air
À des températures atteignant +30 °C, 80 % max.
À des températures atteignant +40 °C, 50 % max.
sans condensation
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
2 000 m NN
Degré de protection
IP54
Tab. 4:
2.5
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme
La jauge HPT 200 est utilisée pour la mesure du vide de l’air, des gaz et des jauges en dehors de leurs
limites d’explosion, dans la gamme de 5 × 10-10 à 1000 hPa.
Utilisation du produit conformément à son usage prévu
► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client.
► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur.
► Observez les limites d’utilisation indiquées dans la fiche technique.
► Observer la fiche technique.
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
Une utilisation du produit non spécifiée par Pfeiffer Vacuum affecte la protection fournie par le produit.
13/56
Sécurité
● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation
● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée
● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives
● Utilisation en extérieur
● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
14/56
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
3
RS485
2
device status
1
RS485 15
3
adr 13
5
11
7
9
1
Fig. 1:
Structure de la jauge HPT
1 Commutateur sélectif de l’adresse RS-485
2 LED d’état de la jauge
3.1.1
3
Raccord « RS-485 »
Mode de fonctionnement de la jauge
Le système de mesure Pirani est toujours activé. Le signal de mesure Pirani sert à activer et désactiver
le HIMS, protégeant ainsi le HIMS contre une contamination excessive ou une brûlure. Vous pouvez
sélectionner 3 seuils différents d’activation/désactivation. Si la pression mesurée est supérieure au seuil
d’activation, le HIMS reste désactivé et la valeur de mesure Pirani apparaît en tant que signal de sortie.
La jauge active le HIMS contrôlé par le système de mesure Pirani seulement quand la valeur descend
en dessous du seuil d’activation pon. La cathode froide est prête pour l’utilisation après quelques secondes de temps de démarrage. La DEL « État appareil » est allumée en continu et la valeur mesurée sur
la cathode chaude est présente à la sortie. Si la pression dépasse le seuil de désactivation poff, la jauge
désactive le HIMS et la DEL « État appareil » s’éteint. La valeur mesurée Pirani apparaît à nouveau à la
sortie.
3.1.2
Systèmes de mesure
La jauge a deux systèmes de mesure :
● Système de mesure Pirani (zone de contrôle)
● Système de mesure d’ionisation à cathode chaude (HIMS) selon Bayard-Alpert (BA)
3.1.3
Gamme de mesure
La jauge couvre la gamme de mesure de 5 × 10-10 à 1000 hPa.
La jauge a une caractéristique continue sur tout le domaine. Le signal de mesure dépend de la pression
sur tout le domaine selon une échelle logarithmique. Dans un domaine de chevauchement défini, la jauge émet un signal mixte des deux systèmes de mesure. Au-dessus de ce, la jauge émet seulement le
signal Pirani, en dessous, seulement le signal de la cathode chaude. La jauge applique la configuration
de mesure optimale pour le domaine de pression respectif.
er
P low
P on P of
Hot cathode
5 × 10
-10
Fig. 2:
hPa
f
Pirani
P
r
pe
up
1000 hPa
Configuration de mesure
15/56
Description du produit
Le point de commutation Pon correspond au point auquel le HIMS se met en marche lorsque la pression
diminue. Le point de commutation Poff correspond au point auquel le HIMS est désactivé lorsque la
pression augmente. La zone de transition entre Pupper et Plower est la plage de pression dans laquelle la
jauge utilise proportionnellement à la fois le système de mesure Pirani et le HIMS pour déterminer la
pression. La proportion de Pirani diminue lorsque la pression diminue. Dans la position de commutation
« dure », la commutation entre Pirani et HIMS est immédiate, sans transition.
3.1.4
Système de mesure Bayard-Alpert
Le système d'électrodes selon Bayard-Alpert est conçu pour une limite de rayons X basse. Les électrons émis par le filament (F1 ou F2) ionisent un nombre de molécules proportionnel à la pression dans
la chambre de mesure. Le collecteur d’ions (IC) acquière le courant d’ions I+ ainsi généré et l’injecte
dans l’amplificateur de l’électromètre dans le système électronique de la jauge. Le courant d’ions dépend du courant d’émission Ie, du type de gaz et de la pression de gaz p selon la relation suivante :
I+ = Ie × p × C
Le facteur C désigne la sensibilité de la jauge. Déterminé pour l'azote (N2), il est pris en compte pour le
signal de sortie qui dépend logarithmiquement de la pression. La limite de mesure basse est de
5 × 10-10 hPa. Afin de couvrir de manière significative toute la plage de 5 × 10-10 à 1 × 10-2 hPa, le courant d'émission et l'amplification du signal sont adaptés au domaine de pression. Dans le domaine des
hautes pressions, on utilise des courants d'émission faibles, tandis que dans la gamme des basses
pressions, on utilise des courants d'émission élevés. Après la commutation, la valeur de la pression
reste inchangée pendant une courte période, jusqu'à ce que la nouvelle condition se soit stabilisée.
La jauge est munie de deux filaments. En cas de défaillance du premier filament, une permutation automatique vers le second filament se produit.
IC EC
F
F!
EC
F
F!
IC
VFIL
Fig. 3:
VAN
Conception du système de mesure Bayard-Alpert
F1 und F2 Filaments 1 et 2 (cathodes chaudes)
IC
Collecteur d’ions (collecteur)
EC
Collecteur d’électrons (grille d’anode)
3.1.5
VFIL
VAN
Tension de référence du filament
Tension sur l’anode
Système de mesure Pirani
La conductivité de chaleur des gaz dépend de la pression dans certaines limites. Ce phénomène physique est utilisé dans un manomètre à vide à conduction thermique Pirani pour mesurer la pression. Un
circuit de pontage à calibrage automatique est utilisé comme circuit de mesure. Un fil fin en tungstène
est l’élément de mesure réel. Avec un circuit de commande approprié, la résistance du fil et donc sa
température sont maintenues constantes. La puissance électrique alimentant le fil est une mesure de la
chaleur dissipée dans le gaz par la conduction de la chaleur et donc une mesure pour la pression de
gaz. Lorsque la pression augmente, la convection et d'autres effets viennent toujours plus se superposer à la dissipation de chaleur. En d’autres termes, dans la plage >100 hPa, le système de mesure Pirani ne permet plus d'effectuer des mesures de pression précises.
16/56
Description du produit
3.2
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
3.3
Étendue de la livraison
● Jauge
● Manuel de l’utilisateur
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballer le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée.
17/56
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transporter le produit en toute sécurité
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant
l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Stocker le produit en toute sécurité
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température d’entreposage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
18/56
Installation
5 Installation
5.1
Raccord à vide
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Conditions ambiantes appropriées
● Température de fonctionnement dans la plage permissible
● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles)
19/56
Installation
1
2
5
3
4
Fig. 4:
Raccord à vide
1 Joint avec anneau de centrage
2 Jauge
3 Obturateur de protection
4
5
Joint avec anneau de centrage et filtre
Pièce de serrage
Recommandations
1. Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le
fonctionnement. Ces vibrations entraînent des déviations dans les valeurs mesurées.
2. Vérifiez que le bouton et l’interrupteur de la gamme d'activation et de désactivation de la jauge
sont facilement accessibles une fois qu’ils ont été montés.
3. Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le
bas).
– Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure.
4. Utilisez un joint métallique comme joint de bride de vide ; les joints en plastique (comme le FKM)
peuvent déjà dégrader la précision de la mesure dans la gamme de pression de 10-6 hPa en raison de l’émission de gaz.
5. Enlevez temporairement l’unité électronique de la jauge lorsque l’installation est seulement possible après le démontage de l’unité électronique.
– Ceci facilitera l’assemblage du raccord à bride CF.
Procédure
1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr.
2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum.
5.2
Création de la connexion « RS-485 »
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
20/56
Installation
AVIS
Dommages matériels liés à la mise à la masse des composants électroniques
La déconnexion ou la connexion du connecteur mâle-femelle « RS-485 » quand l’alimentation de tension est commutée va entraîner la destruction des composants électroniques.
► Coupez toujours l’alimentation de tension avant de connecter ou de déconnecter le connecteur
d’alimentation électrique « RS-485 ».
► Couper le bloc d’alimentation.
► Après avoir désactivé l’unité de courant, attendez la dispersion complète de la charge résiduelle
avant de déconnecter ou de connecter le connecteur mâle-femelle.
L’interface désignée « RS-485 » est utilisée pour la connexion d’une unité de courant externe (TPS),
d’un appareil de commande ou d’un PC.
Outils nécessaires
● Tournevis à encoche
1
4
3
2
1
2
2
1
Fig. 5:
5
2
Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant les câbles de raccordement et
les accessoires
1 Câble d’alimentation de l’unité de courant
2 Connecteur en Y pour RS-485
3 Câble d’interface M12
4
5
Convertisseur USB/RS-485
PC
2
3
1
2
Fig. 6:
1
1
2
1
Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant OmniControl
1 Connecteur en Y pour RS-485
2 Câble d’interface M12
3
Appareil de commande OmniControl
Configurez l’adresse RS-485
1. Retirez le connecteur en caoutchouc du commutateur d’adresse RS-485.
2. Configurez l’adresse RS-485 avec le commutateur d’adresse RS-485 de la jauge.
3. Remettez en place le connecteur en caoutchouc sur le commutateur d’adresse RS-485.
21/56
Installation
Assurer le degré de protection de la jauge
► Après avoir réglé l’adresse RS-485, replacez le bouchon en caoutchouc sur le sélecteur d’adresse RS-485 pour établir le degré de protection spécifié.
Interconnexion via la connexion RS-485
1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485.
2. Veillez à ce que tous les appareils raccordés au bus disposent d’une adresse RS-485 différente.
3. Raccordez au bus tous les appareils avec RS-485 D+ et RS-485 D-.
Raccorder des unités de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum ou un PC
► Utilisez un câble de raccordement de la gamme des accessoires DigiLine.
► Ne connectez qu’un seul contrôleur de commande externe à l’interface RS-485 à la fois.
► Si nécessaire, raccordez un PC via le convertisseur USB/RS-485.
22/56
Interfaces
6 Interfaces
6.1
Interface RS-485
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
La jauge communique via l’interface « RS-485 ». La jauge contient les adresses 1 à 16.
Désignation
Valeur
Interface série
RS-485
Vitesse de transmission en baud
9600 Baud
Longueur de mot
8 bit
Parité
aucune (pas de parité)
Bits d’arrêt
1
Tab. 5:
5
1
4
Caractéristiques de l’interface RS-485
2
3
Fig. 7:
Affectation des raccordements du connecteur RS-485
1 RS-485 D+
2 +24 V DC
3 GND
4
5
RS-485 Dnon raccordé
6.2
Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
6.2.1
Cadre télégramme
Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vacuum contient uniquement des caractères ASCII [32;
127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un host
(par ex. un
PC) envoie un télégramme, auquel un device
(par ex. unité de commande électronique ou jauge)
va répondre.
a2
a1
a0
*
0
n2
n1
n0
l1
l0
dn
…
d0
c2
c1
c0
CR
a2 – a0
Adresse de l’unité pour device
● Adresse individuelle de l’unité ["001";"016"]
*
Action selon la description du télégramme
n2 – n0
Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum
I1 – I0
Longueur de données dn à d0
dn – d0
Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Types de données », page 24).
c2 – c0
Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) modulo 256
CR
Retour à la ligne (ASCII 13)
23/56
Interfaces
6.2.2
Description du télégramme
Interrogation des données
-->
?
a2
n2
n1
a1
a0
0
0
Instruction de réglage
a2
a1
a0
1
-->
!
n2
n1
0
n0
0
2
=
l1
l0
dn
…
n0
Réponse des données / instruction de réglage comprise
a2
a1
a0
1
0
Message d’erreur
a2
a1
a0
1
0
n2
NO_DEF
_RANGE
_LOGIC
6.2.3
?
c2
c1
c0
cR
d0
c2
c1
c0
cR
c2
c1
c0
cR
c1
c0
cR
-->
n2
n1
n0
l1
l0
dn
…
d0
0
6
N
O
_
D
E
F
_
R
A
N
G
E
_
L
O
G
I
C
-->
n1
n0
c2
Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus
Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée
Erreur d'accès logique
Télégramme exemple 1
Rechercher la valeur de pression
Pression mesurée actuelle (paramètre [P:740], adresse du dispositif device : « 001 »)
-->
?
ASCII
0
0
1
0
0
7
4
0
0
2
=
?
1
0
6
cR
48
48
49
48
48
55
52
48
48
50
61
63
49
48
54
13
Réponse aux données : pression mesurée 1 × 10+3 hPa en exposant 1E+3
Pression mesurée actuelle (paramètre [P:740], adresse du dispositif device : « 001 »)
-->
0
0
1
1
0
7
4
0
0
6
1
0
0
0
2
3
0
2
5
cR
ASCII
48
48
49
49
48
55
52
48
48
54
49
48
48
48
50
51
48
50
53
13
c0
cR
6.2.4
Télégramme exemple 2
Instruction incorrecte
Instruction incorrecte (paramètre [P:888], adresse d'appareil device : « 005 »
-->
!
ASCII
0
0
5
1
0
8
8
8
0
3
1
3
0
48
48
53
49
48
56
56
56
48
51
49
51
48
c2
c1
13
Instruction inconnue
Instruction incorrecte (paramètre [P:888], adresse d'appareil device : « 005 »
-->
0
0
5
1
0
8
8
8
0
6
N
O
_
D
E
F
ASCII
48
48
53
49
48
56
56
56
48
54
78
79
95
68
69
70
6.2.5
24/56
c2
c1
c0
cR
13
Types de données
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
0
boolean_old
Valeur logique (faux / vrai)
06
000000 est équivalent à faux
111111 est équivalent à vrai
1
u_integer
Nombre entier positif
06
000000 à 999999
Interfaces
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
2
u_real
Nombre à point fixe positif
06
001571 correspond à 15.71
4
string
Chaîne de 6 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
06
TC_110, TM_700
6
boolean_new
Valeur logique (faux / vrai)
01
0 est équivalent à faux
1 est équivalent à vrai
7
u_short_int
Nombre entier positif
03
000 à 999
10
u_expo_new
Nombre exponentiel positif. Les
deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de
20.
06
100023 est équivalent à
1,0 · 103
100000 est équivalent à
1,0 · 10-20
11
string16
Chaîne de 16 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
16
BrezelBier&Wurst
12
string8
Chaîne de 8 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
08
Exemple
25/56
Ensemble de paramètres
7 Ensemble de paramètres
7.1
Généralités
Toutes les variables pertinentes pour la fonction sont stockées comme des paramètres dans la jauge.
Chaque paramètre a un nombre à trois chiffres et une description. Le paramètre est accessible via les
appareils de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum ou via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum.
Réglages usine
La jauge est pré-programmée en usine. La jauge est prête à fonctionner en toute sécurité sans configuration supplémentaire.
#
Nombre à trois chiffres du paramètre
Description
Brève description des paramètres
Fonctions
Description de la fonction des paramètres
Type de donnée
Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum
Type d’accès
R (lecture) : Accès en lecture ; W (écriture) : Accès en écriture
Unité
Unité physique de la variable décrite
min./max.
Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur
par défaut
Réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la jauge)
Le paramètre peut être enregistré dans la mémoire non volatile de la jauge
Tab. 6:
7.2
26/56
Explication et signification des paramètres
Aperçu des paramètres de la jauge HPT
#
Description
022
Sélection filament
040
Dégazage
041
HIMS marche/arrêt
049
Gammes de commutation
303
Code d’erreur actuel
312
Version du logiciel
349
Nom de l’appareil
354
Hardware version
355
Numéro de série
388
Référence de commande
730
Point de commutation de pression 1 1)
732
Point de commutation de pression 2 2)
740
Valeur de pression [hPa]
741
Point d’ajustage de pression
742
Facteur de correction (Pirani)
743
Facteur de correction (Bayard-Alpert)
Tab. 7:
Aperçu des paramètres de la jauge HPT
1)
Version AR uniquement
2)
Version AR uniquement
Ensemble de paramètres
7.3
Instructions de réglage
#
Description
Fonctions
Type de
donnée
Type
d’accès
022
Sélection filament
000 = auto
001= filament 1
002= filament 2
7
040
Dégazage
0 = arrêt
1 = marche
041
HIMS marche/
arrêt
049
Gammes de commutation
min.
max.
par défaut
RW
0
2
0
6
RW
0
1
0
0 = arrêt
1 = contrôlé par le capteur Pirani
6
RW
0
1
1
0 = interrupteur
1 = trans_LO
2 = trans_HIGH
7
RW
0
2
2
min.
max.
Tab. 8:
Jeu de paramètres | Instructions de réglage
7.4
Requêtes d’état
#
Description
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
303
Code d’erreur
000000 = Pas d’erreur
Wrn001 = Filament 1 défectueux en mode « auto »
Err001 = Capteur défectueux
Err002 = Mémoire défectueuse
Err003= Filament 1 défectueux
Err004= Filament 2 défectueux
Err005 = Deux filaments défectueux
4
R
312
Version du firmware de la jauge
Exemple de la première version du firmware : 010100
4
R
349
Nom de l’appareil
HPT200
4
R
354
Hardware version
Exemple de la première version hardware : 010100
4
R
355
Numéro de série
Exemple : 42501199
11
R
388
Référence de
commande
Exemple : PT R39 140
11
R
Tab. 9:
Unité
Unité
par
défaut
Jeu de paramètres | Requêtes d’état
27/56
Ensemble de paramètres
7.5
Valeurs de pression et facteurs de correction
#
Description
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
Unité
min.
max.
730
Point de commutation de
pression 1
Lire et régler la valeur de pression
pour le point de
commutation 1
10
RW
hPa
500010
(5×10-10 hPA)
100023
(1000 hPa)
732
Point de commutation de
pression 2
Lire et régler la valeur de pression
pour le point de
commutation 2
10
RW
hPa
500010
(5×10-10 hPA)
100023
(1000 hPa)
740
Valeur de pression
Lire et régler la valeur de la pression
actuelle (pendant le
calibrage)
10
RW
(peut
être
écrit
sous
condition)
hPa
741
Point d’ajustage
de pression
000= calibrage HV
001= calibrage ATM
7
W
000
001
742
Facteur de correction (Pirani)
Lecture et réglage
des facteurs de correction
2
RW
000020
000800
000100
743
Facteur de correction (BayardAlpert)
Lecture et réglage
des facteurs de correction
2
RW
000020
000800
000100
3)
4)
Tab. 10:
28/56
par défaut
Ensemble de paramètres | Valeurs de pression et facteurs de correction
3)
Version AR uniquement
4)
Version AR uniquement
Fonctionnement
8 Fonctionnement
Dès que la tension d’alimentation a été établie, le signal de mesure est disponible sur la connexion
électrique.
DEL
Signification
Désactivée
Pas d’alimentation électrique
Allumée en vert
Tension d’alimentation OK, mode de mesure, valeurs de pression valides,
capteur pour le domaine de basse pression actif
Vert clignotant (1 Hz)
Capteur pour le domaine de haute pression actif
Allumée en jaune
Fonction appareil OK, mais, à cause d’opérations internes (par ex. dégazage), des valeurs de mesure non valides apparaissent temporairement
Gamme de mesure dépassée vers le haut/non atteint
Après basculement automatique sur le filament 2
Allumée en rouge
Erreur de logiciel ou de jauge
Allumée pendant 1 s
vert, jaune et rouge
Test des LED après la mise en service ou la réinitialisation
Rouge/vert clignotant (1
Hz)
Mise à jour du logiciel en cours
Tab. 11:
Affichage du mode de travail via la LED « état appareil »
Recommandations
► Respectez la période de stabilisation minimum de 10 minutes.
► Laissez la jauge toujours activée, quelle que soit la pression appliquée.
Lire la valeur de pression actuelle [P:740]
Les valeurs de pression sont transférées dans le format « aaaabb ». La chaîne « aaaa » est la mantisse
d’un nombre exponentiel et « bb » est l’exposant avec un décalage de 20. « aaaa » est comprise entre
« 1000 » (pour 1.000) et « 9999 » (pour 9.999). Les différents caractères de la chaîne sont les chiffres
« 0 »(ASCII 48) à « 9 »(ASCII 57).
En fonction de la jauge et de sa précision, le nombre de chiffres significatifs dans la mantisse peut varier.
► Lisez la valeur de pression actuelle via le paramètre [P:740].
[P:740]
327022
3270 22
1042 23
Offset 20
[hPa]
Fig. 8:
3.270 × 10
750015
104223
2
7500 15
Offset 20
1.042 × 10
3
Offset 20
7.500 × 10
-5
Exemples de lecture des valeurs de pression actuelles via [P:740]
Sélection du filament [P:022]
1. Sélectionnez le filament via le paramètre [P:022].
● 000 = auto
─ La jauge fonctionne avec le filament 1 jusqu’au moment où celui-ci devient défectueux,
puis elle bascule sur le filament 2. En cas de basculement sur le filament 2, la DEL « état
appareil » s’allume en jaune comme avertissement.
● 001= filament 1
─ La jauge fonctionne avec le filament 1 jusqu’au moment où celui-ci devient défectueux.
La DEL « état appareil » s’allume en rouge pour signaler un défaut.
● 002= filament 2
─ La jauge fonctionne avec le filament 2 jusqu’au moment où celui-ci devient défectueux.
La DEL « état appareil » s’allume en rouge pour signaler un défaut.
29/56
Fonctionnement
Lire le code d’erreur [P:303]
► Lisez le code d’erreur via le paramètre [P:303].
● 000000 = Pas d’erreur
● Wrn001 = Filament 1 défectueux en mode « auto »
● Err001 = Capteur défectueux
● Err002 = Mémoire défectueuse
● Err003= Filament 1 défectueux
● Err004= Filament 2 défectueux
● Err005 = Deux filaments défectueux
Lire la version du firmware [P:312]
► Lisez la version du firmware via le paramètre [P:312].
● Exemple de la première version du firmware : 010100
Lire le nom de l’appareil [P:349]
► Lisez le nom de l’appareil via le paramètre [P:349].
Lecture de la version hardware [P:354]
► Lisez la version hardware via le paramètre [P:354].
Lecture du numéro de série [P:355]
► Lisez le numéro de série via le paramètre [P:355].
Lecture de la référence [P:388]
► Lisez la référence via le paramètre [P:388].
8.1
Sélection des gammes de commutation
La jauge permet d’adapter la gamme de commutation en choisissant le capteur Pirani ou le HIMS comme fonction de l’application. Cette fonctionnalité permet d’éviter :
● que le point de consigne ne se retrouve dans la plage de commutation lorsque la régulation de la
pression a lieu
● que dans le cas des applications de déposition, la cathode chaude (BA) ne soit allumée et contaminée prématurément.
-3
-3
1
2×
trans_HIGH
0
Hot cathode
Pirani
-3
5 × 10-10 hPa
5×
-3
×1
1.0
trans_LO
-3
10 1 0
8× 9×
0
1000 hPa
10
-3
-3
10 10
3× 4×
Hot cathode
Pirani
-3
5 × 10-10 hPa
×
2.0
10
1000 hPa
-4
-4
0
× 1 × 10
0
.
6
4
switch
Hot cathode
5 × 10-10 hPa
Fig. 9:
Pirani
1000 hPa
Sélection des gammes de commutation
Procédure
► Sélectionnez la gamme de commutation conformément au mode d’emploi de l’appareil d’affichage
et de commande.
► Réglez le paramètre [P:049] sur « 0 » (interrupteur) pour commuter directement sur 4 × 10-4 hPa.
► Réglez le paramètre [P:049] sur « 1 » (trans_LO) pour un raccord continu entre la mesure de
pression Pirani et Bayard-Alpert.
► Réglez le paramètre [P:049] sur « 2 » (trans_HI) pour un raccord continu entre la mesure de pression Pirani et Bayard-Alpert (sortie-usine).
30/56
Fonctionnement
8.2
Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
Le signal de mesure dépend du type de gaz.
Domaine de pression > 10-4 hPa (fonctionnement Pirani seulement)
1E3
p [hPa]
1E2
1E1
1E0
1E-1
H2
He
1E-2
N2
Ar
1E-3
Kr
1E-4
1E-4
1E-3
1E-2
1E-1
1E0
1E1
1E2
1E3
peff [hPa]
Fig. 10:
Courbe de mesure en cas de fonctionnement avec jauge Pirani uniquement et avec
facteurs de correction
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Azote (N2)
1,0
Air
1,0
Hydrogène (H2)
0,58
Hélium (He)
1,02
Argon (Ar)
1,59
Dioxyde de carbone (CO2)
0,89
Tétra fluorométhane (CF4, R14)
0,95
Tab. 12:
Facteur de correction pour le fonctionnement avec Pirani uniquement
Domaine de pression < 10-3 hPa (gamme d’ionisation)
Dans le domaine de pression < 10-3 hPa, l’affichage est linéaire.
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Hélium (He)
5,93
Hydrogène (H2)
2,39
31/56
Fonctionnement
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Argon (Ar)
0,80
Dioxyde de carbone (CO2)
0,74
Propane (C3H8)
0,32
Néon (Ne)
3,50
Krypton (Kr)
0,60
Xénon (Xe)
0,41
Dichlorodifluorométhane (CCl2F2, R12)
0,28
Tétra fluorométhane (CF4, R14)
0,57
Tab. 13:
Facteurs de correction pour HIMS
Utilisation des facteurs de correction
Lecture et réglage du facteur de correction Pirani [P:742]
► Lisez le facteur de correction actuel via le paramètre [P:742].
► Via le paramètre [P:742], réglez le facteur de correction sur une valeur comprise entre 0,2 et 8,0 avec 2 décimales.
– Exemple : Facteur de correction 0,20 = 000020
– Exemple : Facteur de correction 1,00 = 000100
– Exemple : Facteur de correction 8,00 = 000800
Lecture et réglage du facteur de correction Bayard-Alpert [P:743]
► Lisez le facteur de correction actuel via le paramètre [P:743].
► Via le paramètre [P:743], réglez le facteur de correction sur une valeur comprise entre 0,2 et 8,0 avec 2 décimales.
– Exemple : Facteur de correction 0,20 = 000020
– Exemple : Facteur de correction 1,00 = 000100
– Exemple : Facteur de correction 8,00 = 000800
Calcul de la pression de gaz autres que l’air
► Calculez la pression efficace avec la formule suivante :
Peff = C × p
● Peff = Pression efficace
● C = Facteur de correction
● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l’air)
8.3
Activation/désactivation du filament HIMS
La jauge permet d’activer ou de désactiver le HIMS en fonction du procédé. Au moment de la mise
sous tension, le paramètre [P:041] est préréglé sur « 1 », c'est-à-dire que la jauge fonctionne normalement. La jauge n’enregistrera les modifications de ce paramètre que temporairement, jusqu’à la mise
hors tension. Les modifications d’état de ce paramètre sont possibles à tout moment pendant le fonctionnement.
Dispositif optionnel requis
● Appareil de commande et d’affichage
Capteur
[P:041]
Pression Pirani (PP)
Effet sur le HIMS
Activé
« 1 » (Marche)
-
Aucune
Désactivée
« 1 » (Marche)
≥ 9 × 10-3 hPa
Désactivée
« 0 » (Arrêt)
≥ 9 × 10 hPa
Filament OFF sur PP <8 × 10-3 hPa
Activé
« 0 » (Arrêt)
-
Filament OFF
Désactivée
« 1 » (Marche)
Tab. 14:
32/56
-3
-3
≥ 8 × 10 hPa
Filament ON sur PP <8 × 10-3 hPa
Filament ON et démarrage du timer de mise
sous tension
Conditions d’activation/de désactivation, à l’aide de la gamme de commutation
trans_HIGH
Fonctionnement
L’affichage Pirani dure jusqu’à l’expiration du timer de mise sous tension. Si la quantité de refoulement
« ur » s’affiche comme valeur Pirani avant la commande « Marche », la quantité de refoulement
1 × 10-4 hPa mbar durera pendant la durée de fonctionnement du timer. Il est possible que la valeur
« ur » soit interprétée comme un dépassement vers le bas BA pendant la durée de fonctionnement du
timer. La quantité de refoulement de la valeur de combinaison depuis les capteurs Pirani et HIMS aura
lieu lorsque la durée de fonctionnement du timer sera écoulée. Les commandes de réglage du paramètre [P:041] pendant le dégazage déclenchent le message d’erreur « _LOGIC » en réponse.
Commutation du HIMS avec affichage et appareil de commande marche/arrêt
► Activez ou désactivez le HIMS comme décrit dans le manuel de l’utilisateur de l’affichage et de
l’appareil de commande.
Activation/désactivation du HIMS [P:041]
► Réglez le paramètre [P:041] sur « 1 » pour activer le HIMS.
► Réglez le paramètre [P:041] sur « 0 » pour désactiver le HIMS.
8.4
Lecture et réglage du relais et des points de commutation
Les versions relais analogique (AR) des jauges DigiLine sont caractérisées par 2 contacts relais contrôlés par la pression et pouvant être configurés via l’interface RS-485 à l’aide d’un contrôleur externe. Le
format des données est identique à celui du paramètre [P:740].
Lire les points de commutation via RS-485
1. Lisez la valeur de pression pour le point de commutation 1 via le paramètre [P:730].
2. Lisez la valeur de pression pour le point de commutation 2 via le paramètre [P:732].
Régler les points de commutation via RS-485
1. Utilisez le paramètre [P:730] pour régler la valeur de la pression pour le point de commutation 1.
2. Utilisez le paramètre [P:732] pour régler la valeur de la pression pour le point de commutation 2.
8.5
Exécution du dégazage
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure n’est pas couvert par la garantie.
Pendant le process étuvé, la jauge continue à fournir des valeurs de mesure, cependant elles auront
une valeur de tolérance légèrement plus élevée que pendant le fonctionnement normal.
La contamination de la jauge dépend des éléments suivants :
● Pression dans la chambre de vide
● Type de fluide de procédé
● Toute contamination existante ou nouvellement accumulée et de sa pression partielle (par exemple, vapeurs, particules de procédé, etc.)
● Courant de mesure
● Temps de fonctionnement
La valeur de mesure peut être instable du fait des dépôts sur le HIMS. Le procédé de dégazage cause
l’échauffement de la grille de collecte des électrons jusqu’à environ 800 °C par chauffage ohmique, nettoyant ainsi l’élément de mesure. Le procédé de dégazage dure environ 3 minutes, mais il peut être
interrompu à tout moment.
Condition préalable
● Pression dans le système à vide < 2 × 10-6 hPa
Dispositif optionnel requis
● Appareil de commande et d’affichage
Fonction d’activation/désactivation avec affichage et appareil de commande
► Activez ou désactivez la fonction de dégazage comme décrit dans le manuel de l’utilisateur de
l’affichage et de l’appareil de commande.
Fonction d’activation/désactivation dégazage via interface [P:040]
► Réglez le paramètre [P:040] sur « 1 » pour activer la fonction de dégazage.
► Réglez le paramètre [P:040] sur « 0 » pour désactiver prématurément la fonction de dégazage.
33/56
Fonctionnement
8.6
Étuvage de la jauge
AVIS
Dommage dû à une température d’étuvage excessive
Si la jauge est installée verticalement (bride vers le bas), l’augmentation de la chaleur pendant l’étuvage va endommager l’unité électronique.
► Retirez l’unité électronique du système de mesure avant l'étuvage à une température > 60 °C.
► Dégazez la bride uniquement.
Condition préalable
● Unité électronique retirée
Procédure
1. Étuvez la jauge jusqu’à max. 180 °C au niveau de la bride.
2. Laissez refroidir la jauge.
3. Installez l’unité électronique.
4. Calibrez la jauge.
34/56
Démontage
9 Démontage
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010.
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
► En cas de raccord à tube 1/2", agissez de façon appropriée pour satisfaire les exigences.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Système de vide mis à l’air à la pression atmosphérique
● Tension d’alimentation mise hors circuit
35/56
Démontage
Démontage de la jauge
1. Déconnectez le câble de mesure de la jauge.
2. Démontez la jauge du système de vide.
3. Mettez l’obturateur de protection sur la bride de connexion.
36/56
Maintenance
10
Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Demande de garantie
Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
D'autres conditions climatiques, un fonctionnement prolongé, des températures extrêmes, une orientation de montage différente, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du
point zéro dans le système de mesure Pirani. Un décalage du zéro va nécessiter un nouveau calibrage
ou un nettoyage.
10.1
Nettoyage des composants
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
37/56
Maintenance
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d’humidité
La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité.
► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau.
► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface.
► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Produits consommables requis
● Alcool industriel
● Chiffon (doux, non pelucheux)
Nettoyage externe de l’appareil
1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
10.2 Calibration de la jauge
Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge en usine sur les valeurs par défaut. Vous pouvez calibrer le système
de mesure Pirani vous-même, si nécessaire. La jauge détecte automatiquement le point de calibrage
(ATM ou HV) applicable.
Le calibrage HV est exécuté automatiquement si les conditions suivantes sont applicables simultanément :
● La valeur mesurée du HIMS est <5 × 10-5 hPa.
● La valeur mesurée par le capteur Pirani reste constante pendant plus d'une minute et ne s'écarte
que légèrement de la dernière valeur calibrée.
Préparation du calibrage
1. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation
normale.
2. Vérifiez l'absence de toute contamination du filtre.
3. Remplacez le filtre s’il est très contaminé ou endommagé.
4. Mettez la jauge en fonctionnement.
Calibrage avec l’appareil d’affichage et de commande
► Calibrez la jauge conformément au mode d’emploi de l’appareil d’affichage et de commande.
Calibrage HV
1. Mettez la jauge en marche.
2. Évacuez le système de vide jusqu’à ce que la pression soit << 1× 10-5 hPa.
3. Attendez au moins 10 minutes.
38/56
Maintenance
4. Via le paramètre [P:741], réglez le point d’ajustage de la pression sur « 000 » pour la basse pression.
5. Via le paramètre [P:740], réglez le point d’ajustage de la pression sur « 000000 » pour la basse
pression.
– Ceci équivaut à p < 1 ×10-5 (inférieur à la gamme).
Calibration ATM
1. Mettez la jauge en marche.
2. Laissez la jauge fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes.
3. Via le paramètre [P:741], réglez le point d’ajustage de la pression sur « 001 » pour la haute pression.
4. Via le paramètre [P:740], réglez la valeur de pression sur la pression atmosphérique.
– Exemple : 1000 hPa = [P:740] avec la valeur « 100023 »
10.3 Remplacement du système de mesure
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Système de mesure sévèrement contaminé,
● Système de mesure visiblement endommagé ou
● Jauge défectueuse (p. ex. rupture de filament)
Pièce de rechange requise
● Système de mesure de remplacement
4
5
3
1 2
Fig. 11:
Remplacement du système de mesure
1 Écrous moletés
2 Bagues d’étanchéité
3 Système de mesure
4
5
Joint
Unité électronique
39/56
Maintenance
Procédure
1. Retirez la jauge du système de vide.
2. Enlevez l’unité électronique du système de mesure défectueux.
3. Installez l’unité électronique sur le nouveau système de mesure.
4. Raccordez la jauge au système de vide.
5. Établissez le raccordement électrique.
6. Calibrez le nouveau système de mesure.
40/56
Anomalies
11
Anomalies
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure n’est pas couvert par la garantie.
Anomalie
Cause possible
Action corrective
Erreur de communication : Jauge
Pas d’alimentation électrique
Raccordez un câble de données
ou une unité de courant.
Mauvaise adresse RS-485
définie
Réglez correctement le sélecteur
d’adresse RS-485.
Jauge défectueuse
Remplacez la jauge.
Dégazage important du
capteur
Activez la fonction de dégazage.
Jauge défectueuse
Remplacez la jauge.
Valeur mesurée dans le vide élevé excessive
Tab. 15:
Anomalies
41/56
Expédition
12
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédier le produit en toute sécurité
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
42/56
Recyclage et mise au rebut
13
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
13.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
13.2
Mise au rebut des jauges
Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Démantelez l’unité électronique.
2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
3. Séparez les composants en matériaux recyclables.
4. Recyclez les composants non contaminés.
5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
43/56
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
14
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
44/56
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
45/56
Pièces de rechange
15
Pièces de rechange
Commande de pièces de rechange
► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la
plaque signalétique.
► Installez uniquement des pièces détachées d'origine.
Référence
Désignation
Système de mesure de remplacement
PT R39 14x A
HPT 200, DN 25 ISO-KF
PT 120 239 -T
PT R39 15x
HPT 200, DN 40 ISO-KF
PT 120 217 -T
PT R39 15x A
PT R39 35x
PT 120 237 -T
HPT 200, DN 40 ISO-CF-F
PT R39 35x A
Tab. 16:
46/56
Pièces de rechange
PT 120 218 -T
PT 120 238 -T
Accessoires
16
Accessoires
Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires DigiLine.
16.1 Informations sur l’accessoire
Unités de courant
Unités de courant pour montage mural ou sur rail standard pour alimenter les jauges DigiLine
Appareil de commande OmniControl
Appareil de commande universel pour tous les produits avec le protocole RS-485 Pfeiffer Vacuum. Il
alimente jusqu’à deux transmetteurs et est équipé d’un affichage pour afficher la pression de jusqu’à 16
canaux de mesure.
Logiciel DokuStar Plus
Logiciel d’évaluation pour la représentation et pour la sauvegarde des données pour un maximum de
16 jauges DigiLine
Accessoires pour RS-485
Câbles et éléments de fixation pour la création d’un bus de terrain RS-485
Câble d’interface et d’alimentation
Câble de différentes longueurs, pour la connexion à une unité d’alimentation Pfeiffer Vacuum ou à un
PC
Joints avec anneau de centrage et filtre
Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre
toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination
16.2
Commande d’accessoires
Variantes OmniControl
Pour les autres variantes OmniControl, reportez-vous au site Web Pfeiffer Vacuum.
Numéro de commande
Champ de sélection
PT 348 105 -T
Résistance de borne de connexion pour RS-485
PM 061 270 -X
Accouplement M12 pour RS-485
PT 348 132 -T
Séparateur de puissance pour RS-485
P 4723 010
Raccord en Y M12 pour RS-485
PT 348 133 -T
Adaptateur RS-485, M12,à 4 broches – Prise D-sub à 9 broches, 0,2 m
PT 348 106 -T
Connecteur M12 m à 4 broches avec étriers à vis pour DigiLine RS-485,
pour câbles spécifiques au client
PM 061 207 -T
Convertisseur USB RS-485
PT 348 163 -T
Réseau d'alimentation DigiLine, M12, 4 broches pour TPS, 3 m
PT 348 223 -T
Câble de connexion, RS-485, M12/D-sub 9 broches, 3 m
PM 061 283 -T
Câble d’interface, M12 m droit/M12 m droit, 3 m
PF 117 225 -T
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,02 mm,
FKM/acier inoxydable, DN 25 ISO-KF
PF 117 240 -T
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,02 mm,
FKM/acier inoxydable, DN 40 ISO-KF
PT 120 036 -T
Anneau de centrage avec filtre fin, grandeur de pores 0 004 mm, FKM/acier
inoxydable, DN 25 ISO-KF
PT 120 037 -T
Anneau de centrage avec filtre fin, grandeur de pores 0 004 mm, FKM/acier
inoxydable, DN 40 ISO-KF
PT 882 501
Logiciel DokuStar Plus, 16 canaux
47/56
Accessoires
Numéro de commande
Champ de sélection
PM 061 340 -T
TPS 110, unité de courant pour installation murale/sur rail standard
PM 061 344 -T
TPS 111, unité de courant 19", unité enfichable 3HU
PE D50 000 0
OmniControl 200, unité châssis avec unité de courant intégrée
PE E50 000 0
OmniControl 200, unité de table avec unité de courant intégrée
Tab. 17:
48/56
Accessoires
Caractéristiques techniques et dimensions
17
Caractéristiques techniques et dimensions
17.1
Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
100
1
0,1
0,75
1 · 10
1,000
100
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
Pa
0,01
hPa
-3
5
-5
1 Pa = 1 N/m
Tab. 18:
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
592
7,5
10
3
Pa m /s
sccm
1
3
atm cm /s
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
Torr l/s
Tab. 19:
750
-3
-3
-2
1,27 · 10
1.67 · 10-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
17.2 Fiche technique
Paramètre
Valeur
Gamme de mesure (air, O2, CO, N2)
5 × 10-10 – 1000 hPa
Pression maximum (absolue)
4000 hPa
Principe de mesure
Amenée de chaleur selon Pirani et Bayard-Alpert
Nombre de filaments chauffés
2
Matière du filament
Iridium, revêtement Y2O3
Cycle de mesure
10 ms
Précision (N2)
1 × 10-8 – 1 hPa
± 10% de la valeur mesurée
20 à 1000 hPa
± 30% de la valeur mesurée
1 × 10-8 – 1 × 10-2 hPa
± 5% de la valeur mesurée
Répétabilité
-2
1 × 10 – 10 hPa
Calibrage de la jauge
Tab. 20:
± 2% de la valeur mesurée
via interface RS-485
Valeurs de mesure et de pression
Paramètre
Valeur
Tension d’alimentation
24 V DC
Puissance absorbée
9W
Raccordement (électrique)
Connecteur M12 Binder, 5 broches, codé A
Longueur de câble
≤100 m
Tab. 21:
Données électriques
49/56
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Valeur
Protocole
ASCII, adressage (RS-485), protocole Pfeiffer Vacuum
Format de données
Trafic de données bidirectionnel, longueur des mots de données 8
bits, 1 bit d’arrêt, pas de bit de parité
Vitesse de transmission en baud
9600
Raccordement
Connecteur M12 Binder, 5 broches, codé A
Tab. 22:
Interface RS-485
Paramètre
Poids
Tab. 23:
475 g
DN 40 ISO-KF
475 g
DN 40 CF-F
670 g
Brides de raccordement et poids
Paramètre
Valeur
Pression d’air
800 à 1060 hPa
Humidité relative de l’air
À des températures atteignant +30 °C, 80 % max.
À des températures atteignant +40 °C, 50 % max.
sans condensation
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
2 000 m MSL
Degré de protection
IP54
Tab. 24:
Conditions ambiantes
Paramètre
Valeur
Fonctionnement
+5 – +60 °C
Étuvage (raccord à vide)
180 °C
Stockage
-40 – +65 °C
Tab. 25:
Températures
Paramètre
Valeur
Matériaux
Acier inoxydable
Tungstène
Nickel
Céramique
Verre
Tab. 26:
50/56
Valeur
DN 25 ISO-KF
Substances en contact avec le fluide
Caractéristiques techniques et dimensions
50.5
24
Ø
40
145
17.3 Dimensions
66
Fig. 12:
45
HPT 200 avec DN 25 ISO-KF
Ø
55
141
Dimensions en mm
66
Fig. 13:
45
HPT 200 avec DN 40 ISO-KF
Dimensions en mm
51/56
145
Caractéristiques techniques et dimensions
Ø 70
66
Fig. 14:
HPT 200 avec DN 40 CF-F
Dimensions en mm
52/56
45
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge Pirani numérique/Bayard Alpert
HPT 200
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN IEC 61326-1:2022
DIN EN IEC 63000:2019
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-01-20
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge Pirani numérique/Bayard Alpert
HPT 200
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications appliquées
EN IEC 61326-1:2021
EN IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-01-20
55/56
*PG0024*
ed. D - Date 2306 - P/N:PG0024BFR
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