MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original PBR 360 Jauge Pirani/Bayard-Alpert Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/50 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque de commerce 7 7 7 7 7 8 8 8 8 9 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Utilisation conforme 2.5 Utilisations non conformes prévisibles 2.6 Responsabilité et garantie 10 10 10 12 13 13 13 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.1.1 Systèmes de mesure 3.1.2 Mode de fonctionnement de la jauge 3.1.3 Gamme de mesure 3.1.4 Système de mesure Bayard-Alpert 3.1.5 Système de mesure Pirani 3.2 Identification du produit 3.3 Étendue de la livraison 15 15 15 15 15 16 16 17 17 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 18 18 18 5 Installation 5.1 Raccord à vide 5.2 Unité électronique 5.3 Raccordement électrique 19 19 20 22 6 Fonctionnement 6.1 Surveillance des conditions de fonctionnement 6.2 Sélection de la plage d’activation et de désactivation 6.3 Conversion du signal de mesure et de la pression 6.4 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction 6.5 Exécution du dégazage 6.6 Étuvage de la jauge 24 24 24 26 27 28 29 7 Démontage 30 8 Maintenance 8.1 Nettoyage des composants 8.2 Calibration de la jauge 8.3 Remplacement du système de mesure 32 32 33 35 9 Anomalies 36 10 Expédition 37 3/50 Table des matières 4/50 11 Recyclage et mise au rebut 11.1 Informations générales sur la mise au rebut 11.2 Mise au rebut des jauges 38 38 38 12 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 39 13 Pièces de rechange 41 14 Accessoires 14.1 Informations sur l’accessoire 14.2 Commande d’accessoires 42 42 42 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités 15.2 Fiche technique 15.3 Dimensions 43 43 43 46 Déclaration de conformité CE 48 Déclaration de Conformité UK 49 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Documents applicables Variantes Abréviations utilisées Affichage de l’état Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression Tableau de conversion Facteur de correction pour le fonctionnement avec Pirani uniquement Facteurs de correction pour HIMS Affichage de l’état Dépannage Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Valeurs de mesure et de pression Calibration Dégazage Données électriques Volume interne et poids Conditions ambiantes Températures Substances en contact avec la substance à pomper 7 7 9 24 26 27 28 28 34 36 43 43 43 44 44 44 45 45 45 45 5/50 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: Fig. 15: Fig. 16: 6/50 Construction de l’émetteur Configuration de mesure Conception du système de mesure Bayard-Alpert Raccord à vide Unité électronique Schéma de raccordement Câble de mesure et prise de câble Hirschmann Sélection de la plage d’activation et de désactivation Relation entre le signal de mesure et la pression Courbe de mesure pour le fonctionnement en Pirani uniquement et en cas d’utilisation des facteurs de correction Retrait de la jauge Calibration de la jauge Remplacement du système de mesure Dimensions de DN 25 ISO-KF Dimensions de DN 40 ISO-KF Dimensions de DN 40 CF-R 15 16 16 20 21 22 23 25 26 27 31 34 35 46 46 47 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Manuel de l’utilisateur de « Appareil de commande » OmniControl PT 0670 Manuel de l’utilisateur « Appareil de commande et de mesure de la pression totale » TPG 366 BG 5501 Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes : Référence Désignation PT R27 010 PBR 360, DN 25 ISO-KF PT R27 011 PBR 360, DN 40 ISO-KF PT R27 012 PBR 360, DN 40 CF-R Tab. 2: Variantes Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les graphiques sans légende reflètent le produit équipé d’un raccord à vide DN 25 ISO-KF. Ils s'appliquent cependant aussi aux autres raccords à vide. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire. 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. 7/50 A propos de ce manuel Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles. Remarque Conseil Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. D-35614 Asslar Mod. PBR 360 P/N PT R27 01x S/N 12345678 Range 5.0x10 -10 - 1000 hPa Input 20...30 V DC 9.0 W Made in Germany 2022/11 8/50 Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve à l’arrière de l’appareil. A propos de ce manuel 1.3.4 Abréviations Abréviation Explication ATM Atmosphère BA Bayard-Alpert c Constante de conversion du signal de mesure et de la pression C Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air Sensibilité du système de mesure Bayard-Alpert à l’azote EC Collecteur d’électrons EMI Émission F Filament chauffé FPM Caoutchouc polymère fluoré HIMS Système de mesure d’ionisation à cathode chaude HV Vide élevé IC Collecteur d’ions DEL Diode électroluminescente LPS Source de puissance limitée MSL Niveau moyen de la mer p Pression P Pirani TBTP Très basse tension de protection PLC Contrôleur logique programmable U Signal de mesure [V] (tension de sortie) Tab. 3: 1.4 Abréviations utilisées Justificatif de marque de commerce ● FullRange® est une marque déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH. ● Hirschmann® est une marque déposée de Hirschmann Electronics GmbH. 9/50 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit aux enceintes à vide mises à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordements CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et de serrage à couche conductrice pour les raccordements KF. 10/50 Sécurité DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. Risques pendant le fonctionnement DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. 11/50 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. 12/50 Sécurité Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 2.4 Utilisation conforme La jauge FullRange est utilisée pour mesurer le vide de gaz dans le domaine 5 × 10-10 à 1000 hPa. Utilisation du produit conformément à son usage prévu ► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client. ► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur. ► Observez les limites d’utilisation indiquées dans la fiche technique. ► Observer la fiche technique. 2.5 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation ● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée ● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives ● Utilisation en extérieur ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 2.6 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu ● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante ● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit correspondante 13/50 Sécurité L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé. 14/50 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction 1 emi on P BA 3 Fig. 1: high low hard adj 2 Construction de l’émetteur 1 DEL « emi on » (émission/cathode chaude) 3 2 Bouton « aju » de point de calibrage zéro et atmosphérique 3.1.1 Interrupteur pour le point de commutation entre Pirani et la cathode chaude Systèmes de mesure La jauge a deux systèmes de mesure : ● Système de mesure Pirani (zone de contrôle) ● Système de mesure d’ionisation à cathode chaude (HIMS) selon Bayard-Alpert (BA) 3.1.2 Mode de fonctionnement de la jauge Le signal de mesure Pirani est toujours activé. Il sert à activer et désactiver le HIMS, le protégeant ainsi contre une contamination excessive ou une brûlure. Vous pouvez choisir entre 3 configurations différentes d’activation/désactivation. Si la pression mesurée est supérieure au seuil d’activation pon, le HIMS reste désactivé et la valeur de mesure Pirani apparaît en tant que signal de sortie. La jauge active le HIMS contrôlé par le système de mesure Pirani seulement quand la valeur descend en dessous du seuil d’activation pon. La cathode chaude est prête pour le fonctionnement après quelques secondes de temps de démarrage. La DEL « emi on » reste allumée continuellement et la valeur mesurée sur la cathode chaude est présente à la sortie. Si la pression dépasse le seuil de désactivation poff, la jauge désactive le HIMS et la DEL « emi on » s’éteint. La valeur mesurée Pirani apparaît à nouveau à la sortie. 3.1.3 Gamme de mesure La jauge couvre la gamme de mesure de 5 × 10-10 à 1000 hPa. La jauge a une caractéristique continue sur tout le domaine. Le signal de mesure dépend de la pression sur tout le domaine selon une échelle logarithmique. Dans un domaine de chevauchement défini, la jauge émet un signal mixte des deux systèmes de mesure. Au-dessus de ce, la jauge émet seulement le signal Pirani, en dessous, seulement le signal de la cathode chaude. La jauge applique la configuration de mesure optimale pour le domaine de pression respectif. 15/50 Description du produit er P low P on P of Hot cathode 5 × 10 -10 Pirani hPa Fig. 2: f P r pe up 1000 hPa Configuration de mesure Le point de commutation Pon correspond au point auquel le HIMS se met en marche lorsque la pression diminue. Le point de commutation Poff correspond au point auquel le HIMS est désactivé lorsque la pression augmente. La zone de transition entre Pupper et Plower est la plage de pression dans laquelle la jauge utilise proportionnellement à la fois le système de mesure Pirani et le HIMS pour déterminer la pression. La proportion de Pirani diminue lorsque la pression diminue. Dans la position de commutation « dure », la commutation entre Pirani et HIMS est immédiate, sans transition. 3.1.4 Système de mesure Bayard-Alpert Le système d'électrodes selon Bayard-Alpert est conçu pour une limite de rayons X basse. Les électrons émis par le filament (F1 ou F2) ionisent un nombre de molécules proportionnel à la pression dans la chambre de mesure. Le collecteur d’ions (IC) acquière le courant d’ions I+ ainsi généré et l’injecte dans l’amplificateur de l’électromètre dans le système électronique de la jauge. Le courant d’ions dépend du courant d’émission Ie, du type de gaz et de la pression de gaz p selon la relation suivante : I+ = Ie × p × C Le facteur C désigne la sensibilité de la jauge. Déterminé pour l'azote (N2), il est pris en compte pour le signal de sortie qui dépend logarithmiquement de la pression. La limite de mesure basse est de 5 × 10-10 hPa. Afin de couvrir de manière significative toute la plage de 5 × 10-10 à 1 × 10-2 hPa, le courant d'émission et l'amplification du signal sont adaptés au domaine de pression. Dans le domaine des hautes pressions, on utilise des courants d'émission faibles, tandis que dans la gamme des basses pressions, on utilise des courants d'émission élevés. Après la commutation, la valeur de la pression reste inchangée pendant une courte période, jusqu'à ce que la nouvelle condition se soit stabilisée. La jauge est munie de deux filaments. En cas de défaillance du premier filament, une permutation automatique vers le second filament se produit. IC EC F F! EC F F! IC VFIL Fig. 3: VAN Conception du système de mesure Bayard-Alpert F1 und F2 Filaments 1 et 2 (cathodes chaudes) IC Collecteur d’ions (collecteur) EC Collecteur d’électrons (grille d’anode) 3.1.5 VFIL VAN Tension de référence du filament Tension sur l’anode Système de mesure Pirani La conductivité de chaleur des gaz dépend de la pression dans certaines limites. Ce phénomène physique est utilisé dans un manomètre à vide à conduction thermique Pirani pour mesurer la pression. Un circuit de pontage à calibrage automatique est utilisé comme circuit de mesure. Un fil fin en tungstène est l’élément de mesure réel. Avec un circuit de commande approprié, la résistance du fil et donc sa 16/50 Description du produit température sont maintenues constantes. La puissance électrique alimentant le fil est une mesure de la chaleur dissipée dans le gaz par la conduction de la chaleur et donc une mesure pour la pression de gaz. Lorsque la pression augmente, la convection et d'autres effets viennent toujours plus se superposer à la dissipation de chaleur. En d’autres termes, dans la plage >100 hPa, le système de mesure Pirani ne permet plus d'effectuer des mesures de pression précises. 3.2 Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. 3.3 Étendue de la livraison ● Jauge ● Manuel de l’utilisateur Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée. 17/50 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transporter le produit en toute sécurité ► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant l’installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Stocker le produit en toute sécurité ► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine. ► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenez la température d’entreposage admissible. ► Évitez les fortes variations de températures ambiantes. ► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air. ► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles). 18/50 Installation 5 Installation 5.1 Raccord à vide DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit aux enceintes à vide mises à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordements CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et de serrage à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Conditions préalables ● Conditions ambiantes appropriées ● Température de fonctionnement dans la plage permissible ● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles) 19/50 Installation 1 2 5 3 4 Fig. 4: Raccord à vide 1 Joint avec anneau de centrage 2 Jauge 3 Obturateur de protection 4 5 Joint avec anneau de centrage et filtre Pièce de serrage Recommandations 1. Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le fonctionnement. Ces vibrations entraînent des déviations dans les valeurs mesurées. 2. Vérifiez que le bouton et l’interrupteur de la gamme d'activation et de désactivation de la jauge sont facilement accessibles une fois qu’ils ont été montés. 3. Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le bas). – Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure. 4. Utilisez un joint métallique comme joint de bride de vide ; les joints en plastique (comme le FKM) peuvent déjà dégrader la précision de la mesure dans la gamme de pression de 10-6 hPa en raison de l’émission de gaz. 5. Enlevez temporairement l’unité électronique de la jauge lorsque l’installation est seulement possible après le démontage de l’unité électronique. – Ceci facilitera l’assemblage du raccord à bride CF. Procédure 1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr. 2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum. 5.2 Unité électronique DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit aux enceintes à vide mises à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordements CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et de serrage à couche conductrice pour les raccordements KF. 20/50 Installation AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Enlevez l’unité électronique pour faciliter l’installation et l’étuvage de la jauge. 4 5 3 1 2 Fig. 5: Unité électronique 1 Écrous moletés 2 Bagues d’étanchéité 3 Système de mesure 4 5 Joint Unité électronique Dépose de l'unité électronique 1. Desserrez les écrous moletés de l'unité électronique. 2. Enlevez l’unité électronique sans aucun mouvement de pivotement du système de mesure. Installation de l’unité électronique 1. Montez avec précaution l’unité électronique sur le système de mesure. 2. Notez la disposition des broches et de la rainure. 3. Poussez l’unité électronique jusqu’à la butée. 4. Fixez les écrous moletés sur l'unité électronique. 21/50 Installation 5.3 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. AVIS Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va endommager la jauge. ► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 5) à la terre de l’unité d'alimentation. ► Raccordez toujours le blindage (broche 6) à la terre de l’unité d'alimentation. Outils nécessaires ● Tournevis cruciforme ● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm) Équipement nécessaire ● Câble de mesure pour appareil de commande et de mesure de la pression totale Pfeiffer Vacuum disponible dans les accessoires ActiveLine ● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client ● Prise de câble Hirschmann Raccordement électrique 1. Raccordez le câble de mesure à la jauge. 2. Resserrez la vis d'arrêt sur la prise de câble Hirschmann. – Couple de serrage : ≤ 0,2 Nm 3. Raccordez la jauge à un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou à un appareil d'évaluation fournie par le client. Fig. 6: Schéma de raccordement 1 Dégazage Identification (U ≤ 4,25 V) 2 Signal de mesure 3 Signal masse 22/50 4 Alimentation 5 6 Masse de l’alimentation (GND) Blindage Installation 3 2 1 6 4 Fig. 7: 5 Câble de mesure et prise de câble Hirschmann Fabrication du câble de mesure Pour de plus amples informations sur le type de câble de mesure et les coupes transversales de raccordement, voir la fiche technique. 1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure. 2. Utilisez un câble avec un blindage tressé. 3. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection pour le bloc d’alimentation. 4. Utilisez une entrée de mesure différentielle avec prise de terre séparée et terre l’alimentation. 5. Assemblez la prise de câble Hirschmann. Assemblage de la prise de câble Hirschmann 1. Préparez la prise de câble Hirschmann conformément au diagramme « Câble de mesure et prise de câble Hirschmann ». 2. Soudez le câble de raccordement comme indiqué sur le schéma de raccordement. 3. Assemblez la prise de câble Hirschmann. 23/50 Fonctionnement 6 Fonctionnement Après l’activation de la tension d’alimentation, la jauge est prête pour l’utilisation. Recommandations ► Respectez la période de stabilisation minimum de 10 minutes. ► Observez la relation entre le signal de mesure et la pression. ► La jauge doit toujours rester enclenchée, quelle que soit la pression. Précision de mesure La précision de mesure est réduite dans la plage >1 hPa et <1 × 10-8 hPa. 6.1 Surveillance des conditions de fonctionnement DEL « emi on » Signification Désactivée ● Tension d’alimentation désactivée ● Composants électroniques défaillants Allumée en vert ● Fonctionnement normal ● HIMS on Clignote lentement en vert ● Fonctionnement normal ● HIMS off Allumée en rouge ● Erreur ● Capteur ou composants électroniques défaillants ● Erreur de mesure Clignote lentement en rouge ● Dégazage activé ● La fonction de dégazage est activée, la mesure est possible, mais avec une faible précision Allumé en orange ● Avertissement HIMS ● Filament 2 activé, filament 1 défaillant Tab. 4: 6.2 Affichage de l’état Sélection de la plage d’activation et de désactivation La jauge offre la possibilité d'adapter la plage de commutation entre le capteur Pirani et le capteur BA en fonction de l'application. Cette fonctionnalité permet d’éviter : ● que le point de consigne ne se retrouve dans la plage de commutation lorsque la régulation de la pression a lieu ● que dans le cas des applications de revêtement, la cathode chaude (BA) ne soit allumée et contaminée prématurément. Au départ usine, l’interrupteur du point de commutation est réglé sur « haut ». Outils nécessaires ● Tournevis 24/50 Fonctionnement -2 -3 high low hard 5 Hot cathode Pirani -2 5 × 10-10 hPa × 1.0 -3 -3 emi on P BA high low hard adj high low hard Hot cathode 1000 hPa -3 Pirani -3 × 2.0 -4 10 1000 hPa -4 0 0 ×1 2×1 5. 4.0 Hot cathode 5 × 10-10 hPa Fig. 8: 10 0 0 0 ×1 ×1 ×1 1.0 2.6 3.0 5 × 10-10 hPa high low hard -2 0 0 ×1 ×1 1.3 1.5 0 ×1 Pirani 1000 hPa Sélection de la plage d’activation et de désactivation Procédure 1. Sélectionnez la plage d’activation et de désactivation avant d’activer la jauge. 2. Commutez la plage d’activation et de désactivation en utilisant l'interrupteur de point de commutation. 3. Sélectionnez les positions « haut » (départ usine), « bas », ou « dure ». 4. Recommandation : Sélectionnez « bas » si possible pour réduire la tendance de contamination du HIMS. – La tendance de contamination du HIMS est réduite quand la pression chute. 25/50 Fonctionnement 6.3 Conversion du signal de mesure et de la pression p [hPa] 1E+04 1E+03 1E+02 underrange 1E+01 1E+00 Sensor error 1E–01 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 1E–06 overrange 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 0.0 1.0 2.0 3.0 4.0 5.0 6.0 7.0 8.0 9.0 10.0 U [V] Fig. 9: Relation entre le signal de mesure et la pression p Pression Signal de mesure [V] (tension de sortie) Signal de mesure (U) Pression (p) Constante (c) 1) [V] [hPa] 0 [Torr] -0,125 [Pa] 2 Tab. 5: Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression Signal de mesure (U) Pression (p) [V] [hPa] [Torr] [Pa] < 0,5 Erreur de capteur > 0,5 à < 0,774 Plage dépassée vers le bas 0,774 5 × 10-10 3,75 × 10-10 5 × 10-8 1,00 1 × 10-9 7,5 × 10-10 1 × 10-7 1,75 1 × 10 -8 7,5 × 10 -9 1 × 10-6 2,5 1 × 10-7 7,5 × 10-8 1 × 10-5 -6 -7 3,25 1 × 10 7,5 × 10 1 × 10-4 4,00 1 × 10-5 7,5 × 10-6 1 × 10-3 4,75 1 × 10-4 7,5 × 10-5 1 × 10-2 5,50 1 × 10 -3 7,5 × 10 -4 1 × 10-1 6,25 1 × 10-2 7,5 × 10-3 1 × 100 7,00 -1 -2 1 × 101 1) 26/50 U En fonction de l’unité de pression 1 × 10 7,5 × 10 Fonctionnement Signal de mesure (U) Pression (p) [V] [hPa] [Torr] [Pa] 7,75 1 × 10 0 7,5 × 10 -1 1 × 102 8,50 1 × 101 7,5 × 100 1 × 103 9,25 1 × 10 2 7,5 × 10 1 1 × 104 10,00 1 × 103 7,5 × 102 1 × 105 > 10,0 Plage dépassée vers le haut Tab. 6: Tableau de conversion Conversion du signal de mesure et de la pression ► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression. ► Conversion du signal de mesure en pression : p = 10(U - 7,75) / 0,75 + c ► Conversion de la pression en signal de mesure : U = 0,75 × (log p-c) + 7,75 6.4 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction Le signal de mesure dépend du type de gaz. Les caractéristiques ( (voir page 26)) s’appliquent pour l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO). Domaine de pression > 10-4 hPa (fonctionnement Pirani seulement) p [hPa] 1E3 1E2 1E1 1E0 1E-1 H2 He 1E-2 N2 Ar 1E-3 Kr 1E-4 1E-4 1E-3 1E-2 1E-1 1E0 1E1 1E2 1E3 peff [hPa] Fig. 10: Courbe de mesure pour le fonctionnement en Pirani uniquement et en cas d’utilisation des facteurs de correction Type de gaz Facteur de correction (C) Azote (N2) 1,0 Air 1,0 Hydrogène (H2) 0,58 27/50 Fonctionnement Type de gaz Facteur de correction (C) Hélium (He) 1,02 Argon (Ar) 1,59 Dioxyde de carbone (CO2) 0,89 Tétra fluorométhane (CF4, R14) 0,95 Tab. 7: Facteur de correction pour le fonctionnement avec Pirani uniquement Domaine de pression < 10-3 hPa (gamme d’ionisation) Dans le domaine de pression < 10-3 hPa, l’affichage est linéaire. Mélanges de gaz et de vapeurs Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole. Type de gaz Facteur de correction (C) Hélium (He) 5,93 Hydrogène (H2) 2,39 Argon (Ar) 0,80 Dioxyde de carbone (CO2) 0,74 Propane (C3H8) 0,32 Néon (Ne) 3,50 Krypton (Kr) 0,60 Xénon (Xe) 0,41 Dichlorodifluorométhane (CCl2F2, R12) 0,28 Tétra fluorométhane (CF4, R14) 0,57 Tab. 8: Facteurs de correction pour HIMS Utilisation des facteurs de correction Saisie du facteur de correction dans l’appareil de commande et de mesure de pression totale ► Saisissez le facteur de correction pour corriger la valeur mesurée qui est affichée. Calcul de la pression de gaz autres que l’air ► Calculez la pression efficace avec la formule suivante : Peff = C × p ● Peff = Pression efficace ● C = Facteur de correction ● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l’air) 6.5 Exécution du dégazage Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. Pendant le process étuvé, la jauge continue à fournir des valeurs de mesure, cependant elles auront une valeur de tolérance légèrement plus élevée que pendant le fonctionnement normal. La contamination de la jauge dépend des éléments suivants : ● Pression dans la chambre de vide ● Type de fluide de procédé ● Toute contamination existante ou nouvellement accumulée et de sa pression partielle (par exemple, vapeurs, particules de procédé, etc.) 28/50 Fonctionnement ● Courant de mesure ● Temps de fonctionnement La valeur de mesure peut être instable du fait des dépôts sur le HIMS. Le procédé de dégazage cause l’échauffement de la grille de collecte des électrons jusqu’à 800 °C du fait du chauffage ohmique, nettoyant ainsi l’élément de mesure. Instruments optionnels nécessaires ● Appareil de commande et de mesure de pression totale ● Ou commande de fonctionnement (par exemple, PLC) Activation de la fonction de dégazage à l'aide d'un appareil de mesure de la pression totale et de commande ou d’un contrôleur de système 1. Démarrez le process étuvé à anode, à une pression <2 × 10-6 hPa. – Il est possible de lancer la fonction de dégazage à partir d’une pression de <1 × 10-5 hPa. Toutefois, pour protéger le filament et le capteur, nous recommandons une pression de <2 × 10-6 hPa. 2. Commutez le signal de contrôle de OFF (0 V) sur ON (24 V) pour démarrer le process étuvé. 3. Commutez le signal de contrôle de ON (24 V) sur OFF (0 V) pour terminer le process étuvé. – La jauge termine automatiquement le process étuvé après trois minutes si vous ne le terminez pas en premier. 4. Recommandation : Réglez le signal de contrôle à nouveau sur OFF à chaque fois après trois minutes d’étuvage en utilisant la commande de fonctionnement pour établir un état de fonctionnement clair. 5. Commutez le signal de contrôle à nouveau de OFF (0 V) sur ON (24 V) pour répéter le process étuvé. 6.6 Étuvage de la jauge AVIS Dommage dû à une température d’étuvage excessive Si la jauge est installée verticalement (bride vers le bas), l’augmentation de la chaleur pendant l’étuvage va endommager l’unité électronique. ► Retirez l’unité électronique du système de mesure avant l'étuvage à une température > 60 °C. ► Dégazez la bride uniquement. Condition préalable ● Unité électronique retirée Procédure 1. Étuvez la jauge jusqu’à max. 180 °C au niveau de la bride. 2. Laissez refroidir la jauge. 3. Installez l’unité électronique. 4. Calibrez la jauge. 29/50 Démontage 7 Démontage DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit aux enceintes à vide mises à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordements CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et de serrage à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Conditions préalables ● Système à vide ventilé à la pression atmosphérique ● Tension d’alimentation désactivée Outils nécessaires ● Tournevis cruciforme 30/50 Démontage 1 2 3 Fig. 11: Retrait de la jauge 1 Câble de mesure 2 Pièce de serrage 3 Obturateur de protection Retrait de la jauge 1. Desserrez la vis d’arrêt sur la prise de câble Hirschmann de la jauge. 2. Déconnectez le câble de mesure de la jauge. 3. Recommandation : Enlevez temporairement l’unité électronique du point de mesure si le démontage est seulement possible avec l'unité électronique démontée. – Ceci facilitera le démontage du raccord à bride CF. 4. Retirez la jauge du système de vide. 5. Placez l’obturateur de protection sur la bride de raccordement. 31/50 Maintenance 8 Maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Demande de garantie Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. Commencer par lire intégralement les sections Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à travailler. D'autres conditions climatiques, un fonctionnement prolongé, des températures extrêmes, une orientation de montage différente, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du point zéro dans le système de mesure Pirani. Un décalage du zéro va nécessiter un nouveau calibrage ou un nettoyage. 8.1 Nettoyage des composants DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. 32/50 Maintenance AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. AVIS Dégâts causés par la pénétration d’humidité La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité. ► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau. ► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface. ► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Vous ne pouvez pas nettoyer le système de mesure. Si les valeurs mesurées sont instables, le système de mesure est probablement sévèrement contaminé. La contamination survient sous forme de contamination visible ou de décoloration du système de mesure. Consommables requis ● Alcool industriel ● Chiffon (doux, non pelucheux) Nettoyage externe de l’appareil 1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe. 2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage. Contrôle de la contamination des composants 1. Contrôlez la contamination du système de mesure. 2. Remplacez le système de mesure si le système de mesure est sévèrement contaminé. Nettoyage du système d’électrode ► Étuvez (dégazez) l’anode pour enlever tous les petits dépôts du système d’électrode. 8.2 Calibration de la jauge Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge en usine sur les valeurs par défaut. Vous pouvez calibrer le système de mesure Pirani vous-même, si nécessaire. La jauge détecte automatiquement le point de calibrage (ATM ou HV) applicable. Le calibrage HV intervient automatiquement dans les conditions suivantes, présentes simultanément : ● La valeur mesurée par le capteur BA est <1 × 10-5 hPa. ● La valeur mesurée par le capteur Pirani reste constante pendant plus d'une minute et ne s'écarte que légèrement de la dernière valeur calibrée. Outils nécessaires ● Goupille (<2,5 mm, 50 mm de longueur) (ou un trombone ouvert et plié) 33/50 Maintenance Fig. 12: Calibration de la jauge DEL « emi on » Signification Clignote lentement en vert ● Calibrage réussi (clignote en vert pendant 1 s) Allumée en rouge ● Erreur de calibrage (s’allume en rouge pendant 3 s) Tab. 9: Affichage de l’état Préparation du calibrage 1. Exécution du calibrage point zéro ● Après le remplacement du système de mesure ● Dans le cadre des activités de maintenance normales pour l’assurance sur la qualité. 2. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation normale. Calibration ATM 1. Laissez refroidir la jauge à température ambiante pendant environ 30 minutes si vous avez auparavant fait fonctionner la jauge dans la zone d’ionisation. 2. Mettez la jauge en marche. 3. Retirez le bouchon d’étanchéité du bouton « aju ». 4. Laissez la jauge fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes. 5. Appuyez pendant 2 secondes sur le bouton « aju » en utilisant un stylet. 6. Mettez en place le bouchon d’étanchéité sur le bouton « aju ». Calibration point zéro 1. Retirez le bouchon d’étanchéité du bouton « aju ». 2. Mettez la jauge en marche. 3. Faites fonctionner la jauge pendant au moins 10 minutes à ≤ 5 × 10-5 hPa. 4. Appuyez pendant 2 secondes sur le bouton « aju » en utilisant un stylet. – Le calibrage prend deux minutes et fonctionne automatiquement. 5. Mettez en place le bouchon d’étanchéité sur le bouton « aju ». 34/50 Maintenance 8.3 Remplacement du système de mesure AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Conditions préalables ● Système de mesure sévèrement contaminé, ● Système de mesure visiblement endommagé ou ● Jauge défectueuse (p. ex. rupture de filament) Pièce de rechange requise ● Système de mesure de remplacement 4 5 3 1 2 Fig. 13: Remplacement du système de mesure 1 Écrous moletés 2 Bagues d’étanchéité 3 Système de mesure 4 5 Joint Unité électronique Procédure 1. Retirez la jauge du système de vide. 2. Enlevez l’unité électronique du système de mesure défectueux. 3. Installez l’unité électronique sur le nouveau système de mesure. 4. Raccordez la jauge au système de vide. 5. Établissez le raccordement électrique. 6. Calibrez le nouveau système de mesure. 35/50 Anomalies 9 Anomalies Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. Rectification des dysfonctionnements (Reset) En cas de dysfonctionnement, Pfeiffer Vacuum recommande de débrancher la tension d'alimentation et de la rebrancher après 5 secondes. Anomalie Cause possible Action corrective Signal de mesure continu env. 0 V Pas d’alimentation ● Contrôlez le raccordement pour la mesure. ● Établissez la tension d’alimentation. Câble de mesure défectueux ou mal raccordé ● Vérifiez le câble de mesure. Jauge dans un état non défini ● Désactivez la jauge, attendez 5 secondes puis réactivez-la (reset). Erreur de capteur (système de mesure défectueux) ● Remplacez le système de mesure. Unité électronique pas raccordée correctement au système de mesure ● Contrôlez le raccordement. Pas de commutation sur les mesures BA à basse pression Point zéro Pirani hors tolérance ● Exécutez le calibrage point zéro. Valeur mesurée dans le vide élevé excessive Dégazage important du capteur ● Activez la fonction de dégazage. ● Remplacez le système de mesure. Signal de mesure d’environ 0,5 V Tab. 10: 36/50 Dépannage Expédition 10 Expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 37/50 Recyclage et mise au rebut 11 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 11.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 11.2 Mise au rebut des jauges Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démantelez l’unité électronique. 2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 3. Séparez les composants en matériaux recyclables. 4. Recyclez les composants non contaminés. 5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 38/50 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 12 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 39/50 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 40/50 Pièces de rechange 13 Pièces de rechange Description Référence de commande Système de mesure, DN 25 ISO-KF PT 120 239 -T Système de mesure, DN 40 ISO-KF PT 120 237 -T Système de mesure, DN 40 CF-R PT 120 241 -T 41/50 Accessoires 14 Accessoires Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires ActiveLine. 14.1 Informations sur l’accessoire Câble de mesure Câble de mesure de différentes longueurs pour le raccordement à un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum Boîtier de contacteurs Douille de câble pour la fabrication du câble de raccordement spécifique pour l’application Joints avec anneau de centrage et filtre Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination 2) 14.2 Commande d’accessoires 42/50 Description Référence de commande Câble de mesure, 3 m PT 448 250 -T Câble de mesure, 6 m PT 448 251 -T Câble de mesure, 10 m 3) PT 448 252 -T Connecteur-bouchon, 6 pôles B4707283MA Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,02 mm, FKM/acier inoxydable, DN 25 ISO-KF PF 117 225 -T Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,02 mm, FKM/acier inoxydable, DN 40 ISO-KF PF 117 240 -T 2) L'utilisation d'un filtre risque de fausser le signal de pression et de se traduire par un temps de réponse plus long. 3) Autres longueurs de câbles disponibles jusqu’à 100 m. Caractéristiques techniques et dimensions 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 100 1 0,1 0,75 1 · 10 1,000 100 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 · 10-3 133,32 1,33 0,133 1 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 Pa 0,01 hPa -3 5 -5 1 Pa = 1 N/m Tab. 11: 750 -3 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 592 7,5 10 3 Pa m /s sccm 1 Torr l/s 3 atm cm /s Tab. 12: 9,87 1.69 · 10 1.69 · 10 1 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 -3 -2 1,27 · 10 1.67 · 10-2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 15.2 Fiche technique Paramètre Valeur Gamme de mesure (air, N2) 5 × 10-10 – 1 000 hPa Plage de transition (cathode chaude – Pirani) Pression de démarrage (émission) Pression de désactivation (émission) Haut (départ usine) 5 × 10–3 – 1 × 10-2 hPa Bas 1 × 10–3 – 2 × 10-3 hPa Dur Commutation directe Haut (départ usine) 1,3 × 10-2 hPa Bas 2,6 × 10-3 hPa Dur 4,0 × 10-4 hPa Haut (départ usine) 1,5 × 10-2 hPa Bas 3,0 × 10-3 hPa Dur Précision 5,2 × 10-4 hPa 1 × 10 – 10 hPa ±10% de la valeur mesurée 10 à 1000 hPa ±30% de la valeur mesurée -8 Répétabilité -2 ±5% de la valeur mesurée 1 × 10 – 10 hPa ±2% de la valeur mesurée -8 1 × 10 – 1 × 10 hPa -2 Pression maximum (absolue) ≤ 400 kPa, limité aux gaz inertes et aux températures < 50 °C Principe de mesure Amenée de chaleur selon Pirani et Bayard-Alpert Nombre de filaments chauffés 2 Matière du filament Iridium, revêtement Y2O3 Temps de réponse 50 ms Tab. 13: Valeurs de mesure et de pression 43/50 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Pirani HV Calibrage automatique par le circuit de mesure à cathode chaude dans la gamme de <1 × 10–5 hPa ATM Calibrer en appuyant sur le bouton à la pression atmosphérique Calibration point zéro Calibrer en appuyant sur le bouton à une pression ≤ 5 × 10-5 hPa Tab. 14: Calibration Paramètre Valeur Signal d’entrée de commande 0 V/24 V, niveau PLC, haut actif Durée 4) 3 minutes max., puis arrêt normal automatique Tab. 15: Dégazage Paramètre Signal de sortie (signal de mesure) Identification de la jauge Valeur Gamme de tension 0 – 10,2 V Gamme de mesure 0,774 – 10 V (5 × 10-10 hPa – 1000 hPa) Signaux d’erreur <0,5 V = erreur de capteur / montage incorrect de l'unité électronique Rapport tension-pression 0,75 V/décade, logarithmique Plage dépassée vers le bas 0,5 V < U < 0,774 V Plage dépassée vers le haut 10 V < U ≤ 10,2 V Impédance de charge (charge minimum) 10 kΩ, résistant aux courts-circuits Résistance (broche 1, Umax = 4,25 V) 17,2 kΩ contre la masse d’alimentation Courant d’émission 5) 10 µA, 100 µA, 1 mA, 2 mA Tension d’alimentation à la jauge 20 – 30 V DC Puissance absorbée ≤9W Raccordement (électrique) Hirschmann GO 6 UM (6 broches, broches) Câble de mesure (recommandé) 5 broches, blindage inclus Longueur de câble avec la coupe transversale du conducteur recommandée ≤35 m (0.25 mm2 / conducteur) >35 m – 50 m (0.34 mm2 / conducteur) >50 m – 100 m (1.0 mm2 / conducteur) Concept de mise à la terre Tab. 16: (voir chapitre « Raccordement électrique », page 22) Raccordement de vide et masse d’alimentation Raccordement galvanique Masse du signal et masse d’alimentation Routage séparément ; la consommation de courant est tellement élevée que seule la mesure différentielle est autorisée. Données électriques Paramètre Volume interne 44/50 Valeur DN 25 ISO-KF ≤ 17 cm3 DN 40 ISO-KF ≤ 25 cm3 DN 40 CF-R ≤ 29 cm3 4) Pendant le process étuvé, la jauge continue à fournir des valeurs de mesure, cependant elles auront une valeur de tolérance légèrement plus élevée que pendant le fonctionnement normal. 5) En fonction du domaine de pression Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Poids Tab. 17: Valeur DN 25 ISO-KF 470 g DN 40 ISO-KF 470 g DN 40 CF-R 685 g Volume interne et poids Paramètre Valeur Humidité relative de l’air À des températures atteignant +30 °C, 80 % max. À des températures atteignant +40 °C, 50 % max. sans condensation Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2 000 m NN Degré de protection IP40 Tab. 18: Conditions ambiantes Paramètre Valeur Fonctionnement 5 – +60 °C Température d'étuvage, max. sur la bride 6) 180 °C Stockage -40 – +65 °C Tab. 19: Températures Matériaux Acier inoxydable, tungstène, iridium, oxyde d’yttrium, nickel, verre, platine Tab. 20: 6) Substances en contact avec la substance à pomper Alimentation en tension coupée 45/50 Caractéristiques techniques et dimensions 15.3 Dimensions 45 142 66 40 Fig. 14: Dimensions de DN 25 ISO-KF Dimensions en mm 45 137 66 55 Fig. 15: Dimensions de DN 40 ISO-KF Dimensions en mm 46/50 Caractéristiques techniques et dimensions 45 141 66 70 Fig. 16: Dimensions de DN 40 CF-R Dimensions en mm 47/50 Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge Pirani/Bayard-Alpert PBR 360 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN IEC 61326-1:2022 DIN EN IEC 63000:2019 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-01-16 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge Pirani/Bayard-Alpert PBR 360 Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Normes et spécifications appliquées EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-01-16 *PG0043* ed. A - Date 2305 - P/N:PG0043BFR ">
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