Pfeiffer PBR 260 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
Traduction du manuel de l'utilisateur
PBR 260
BG 5171 BFR / B (2017-02)
Jauge FullRange® BA, modèle compact
Identification du produit
Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit sont nécessaires pour
toutes communications à Pfeiffer Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous.
Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar
Typ:
No:
F-No:
V
W
Validité
Ce document est valable pour les produits avec les numéros de référence
PT R27 000 (bride DN 25 ISO-KF)
PT R27 001 (bride DN 40 ISO-KF)
PT R27 002 (bride DN 40 CF-R)
Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique.
Les illustrations sans indication particulière se réfèrent aux jauges avec le raccord
à vide DN 25 ISO-KF et sont applicables aux autres raccords à vide par analogie.
Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans
préavis.
Toutes dimensions en mm.
Utilisation prévue
Les jauges FullRange® BA PBR 260 servent à la mesure du vide des gaz dans la
-10
gamme des pressions de 5×10 … 1000 hPa.
Elles ne doivent pas être employées pour la mesure de gaz facilement inflammables ou combustibles mélangés à un oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique)
dans les limites explosives.
La jauge PBR 260 fait partie de la famille des jauges compactes Pfeiffer Vacuum et
peut être utilisée avec l'appareil de mesure et de commande à vide MaxiGauge™
TPG 256 A ou avec un instrument d'évaluation du client.
Principe de fonctionnement
Dans toute la gamme de mesure, la jauge PBR 260 a une courbe caractéristique
continue et le signal de mesure est émis comme logarithme de la pression.
Ceci s'obtient par l'intégration d'un système de mesure par ionisation à cathode
chaude selon Bayard-Alpert et d'un système Pirani dans la même jauge. Dans une
gamme définie où les deux systèmes de mesure se recouvrent, un signal mixte est
émis. Au-dessus de cette gamme, seul le signal Pirani est émis, au-dessous, seul
le signal du système d'ionisation à cathode chaude est émis. Le signal Pirani est
utilisé pour activer / désactiver le système d'ionisation à cathode chaude et donc
pour le protéger contre claquage et encrassement. On peut choisir entre deux
seuils d'activation / de désactivation.
Marques de commerce
MaxiGauge™
®
FullRange
2
INFICON GmbH
Pfeiffer Vacuum GmbH
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
Sommaire
Identification du produit
Validité
Utilisation prévue
Principe de fonctionnement
Marques de commerce
2
2
2
2
2
1 Sécurité
1.1 Explication des signes
1.2 Qualification du personnel
1.3 Indications concernant la sécurité
1.4 Responsabilité et garantie
4
4
4
4
4
2 Caractéristiques techniques
5
3 Installation
3.1 Raccordement au vide
3.1.1 Démontage / montage de l'unité électronique
3.1.2 Montage de l'extension
3.2 Raccordement électrique
3.2.1 Utilisation avec appareil de mesure MaxiGauge™
3.2.2 Utilisation avec d'autres instruments d'évaluation
9
9
11
12
13
13
13
4 Fonctionnement
4.1 Principe de mesure, comportement de la mesure
4.2 Principe de fonctionnement de la jauge
4.3 Dégazage
15
15
18
18
5 Maintenance
5.1 Maintenance
5.2 Ajustement de la jauge
5.3 Nettoyage de la jauge
5.4 Montage du baffle
5.5 Remplacement du baffle
5.6 Remplacement du capteur
5.7 Comportement en présence d'un défaut
19
19
19
20
20
22
23
23
6 Démontage
24
7 Retour du produit
26
8 Options
26
9 Pièces de rechange
26
10
27
Recyclage
Annexe
A: Table de conversion des unités de pression
B: Rapport signal de mesure – pression
C: Dépendance du type de gaz
28
28
28
29
Pour des références aux pages de ce document, le signe (→  XY) est utilisé, pour
des références à d'autres documents le signe (→  [Z]).
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR260.mdu
3
1 Sécurité
1.1 Explication des signes
DANGER
Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature.
AVERTISSEMENT
Indications concernant la prévention de dégradations de l'environnement et
d'importants dégâts matériels.
Attention
Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect
des instructions peut provoquer des disfonctionnements ou des dégâts matériels
mineurs.
1.2 Qualification du
personnel
Personnel qualifié
Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des
personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire
ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit.
1.3 Indications concernant
la sécurité
•
Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes
aux gaz utilisés.
Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit (→  5) et les
gaz des procédés.
•
Considérer des réactions possibles des gaz des procédés à la chaleur générée
par le produit.
•
Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées
concernant toute intervention. Tenir également compte des dispositions de
précaution figurant dans ce document.
•
Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination.
Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à
la manipulation d'éléments contaminés.
Communiquer les indications concernant la sécurité aux autres utilisateurs.
1.4 Responsabilité et
garantie
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et
non avenue si le détenteur ou une tierce personne
•
n'observe pas les indications figurant dans ce document
•
utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue
•
•
modifie ce produit d'une façon quelconque
utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation
du produit correspondante.
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur.
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces
d'usure (p. ex. filament), sont exclues de la garantie.
4
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
2 Caractéristiques techniques
Mesure
Emission
Gamme de mesure (air, N2)
Gamme de transition cathode
chaude – Pirani
"high" (réglage d'usine)
"low"
Précision
-8
-2
(10 … 10 hPa)
Répétabilité
-8
-2
(10 … 10 hPa)
Dépendance du type de gaz
5×10-10 … 1000 hPa
Pression d'activation "high" (réglage
d'usine)
Pression de désactivation "high"
(réglage d'usine)
Pression d'activation "low"
Pression de désactivation "low"
Courant d'émission
(pression diminuante)
7.2×10-6 hPa < p < 2.4×10-2 hPa
p ≤ 7.2×10-6 hPa
Commutation du courant d'émission
25 µA  5 mA
(pression diminuante)
5 mA  25 µA
(pression augmentante)
2.4×10-2 hPa
Dégazage
(seulement à p < 7.2×10-6 hPa)
Courant
Signal de sortie
Gamme de tension
Gamme de mesure
(2017-02)
PBR260.mdu
≈ 5 % mesure
(après 5 minutes de stabilisation)
→ Annexe C
-2
3.2×10 hPa
9.9×10-3 hPa
1.3×10-2 hPa
25 µA
5 mA
-6
7.2×10 hPa
3.2×10-5 hPa
≈ 16 mA / ≈ 4.0 W
0 V / 24 V, niveau API haut = dégazage
actif
Durée
≤ 3 minutes, après, désactivation
automatique
Pendant le dégazage, PBR 260 continue à fournir des résultats de mesure mais
les tolérances peuvent être plus grandes que pendant le fonctionnement normal.
0.5 V
BG 5171 BFR / B
≈ 15 % mesure
(après 5 minutes de stabilisation)
Signal de commande
Relation tension – pression
Signaux d'erreur
0.3 V
Identification de la jauge
5.5×10–3 … 2.0×10–2 hPa
2.0×10–3 … 8.0×10–3 hPa
0 … 10.2 V
0.774 V … 10 V
-10
(5×10 hPa … 1000 hPa)
logarithmique, 0.75 V / décade
→  23
•
erreur cathode chaude
•
erreur Pirani
Dépassement vers le bas
Dépassement vers le haut
• électronique mal montée
0.5 V < U < 0.774 V
10 V < U ≤ 10.2 V
(signal de mesure limité à 10.2 V par le
logiciel)
Impédance chargée minimale
10 kΩ
Résistance (broche 1, Umax = 4.25 V)
17.2 kΩ contre masse alimentation
5
Ajustement
Pirani
vide élevé
ATM (touche <ATM>)
Compensation du point zéro (touche
<ATM>)
Cathode chaude
Alimentation
ajustement automatique par cathode
chaude
dans la gamme 1 … 3×10-3 hPa
ajustement par touche <ATM> (appuyer
≥ 5 s) à pression atmosphérique
ajustement par touche <ATM> (appuyer
-4
≥ 2 secondes) à ≤1×10 hPa
ajustée en usine, aucun ajustement
nécessaire
DANGER
La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils
de mesure répondant aux exigences pour les basses tensions mises à
la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers la jauge. 1)
Tension à la jauge
Consommation de courant
Standard
Dégazage
Démarrage de l'émission (< 200 ms)
Puissance absorbée
1)
Fusible à insérer
Tension sur le dispositif d'alimentation
avec un câble de longueur maximale
Câble de mesure
Connecteur électrique
Couple de serrage
Câble
Longueur du câble
Conception de la masse
Masse alimentation – bride à vide
Masse signal – masse alimentation
Vide
Matériaux au contact du vide
Boîtier, fixations, blindages
Passages
Isolateur
Cathode
Support de cathode
Elément Pirani
Volume interne
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-R
Pression maximale
6
20 … 30 V 2)
ondulation ≤ 2 Vpp
≤ 0.5 A
≤ 0.8 A
≤ 1.4 A
≤ 16 W
≤ 1.25 A (lente)
21 … 30 V
ondulation ≤ 2 Vpp
connecteur compact Hirschmann, type
GO 6, 6 pôles, mâle
≤ 0.2 Nm
5 pôles plus blindage
35 m (conducteurs 0.25 mm²)
50 m (conducteurs 0.34 mm²)
100 m (conducteurs 1.0 mm²)
liaison galvanique
à acheminement distinct ; en raison de
la consommation de courant élevée,
seule une mesure différentielle est
autorisée
acier inoxydable
NiFe nickelé
verre
iridium, oxyde yttrique
molybdène
tungstène, cuivre
3
≤ 24 cm
≤ 24 cm3
≤ 34 cm3
200 kPa (absolue)
1)
MaxiGaugeTM satisfait à ces exigences.
2)
La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur
du câble de mesure.
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
Environnement
Températures admissibles
Stockage
Service
Etuvage
-20 °C … 70 °C
0 °C … 50 °C
+150 °C (sans électronique ou avec
extension) →  26)
Humidité relative
Moyenne annuelle
pendant 60 jours
Utilisation
Protection
Dimensions
≤ 65 % (pas de condensation)
≤ 85 % (pas de condensation)
en salle, altitude jusqu'à 2000 m
IP 30
Bride DN 25 ISO-KF
Dimensions [mm]
DN 25 KF
Poids
285 g
Bride DN 40 ISO-KF
Dimensions [mm]
DN 40 KF
Poids
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR260.mdu
315 g
7
Bride DN 40 CF-R
Dimensions [mm]
DN 63 CF-R
Poids
8
550 g
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
3 Installation
3.1 Raccordement au vide
DANGER
DANGER : surpression dans le système à vide > 100 kPa
Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque il règne une
surpression dans le système à vide, des composants peuvent être
projetés et causer des blessures. Des gaz peuvent également
s'échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé.
Ne pas ouvrir les éléments de serrage lorsque il règne une surpression dans le système à vide. Utiliser des éléments de serrage
convenables pour la surpression (p. ex. anneau de serrage muni d'un
collier de fixation).
DANGER
DANGER : protection par mise à la masse
Les produits mal raccordés à la masse présentent un danger mortel
en cas de panne.
La jauge doit être connectée directement à la chambre à vide mise à
la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010 :
• Les brides CF satisfont à ces exigences.
•
Pour les brides KF il faudra utiliser un anneau de serrage conducteur.
Attention
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du
composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées
pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels.
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR260.mdu
•
Monter la jauge de sorte qu'elle ne vibre pas.
•
La position de montage n'est pas imposée mais les particules et les condensats
ne doivent pas pénétrer dans la chambre de mesure.
•
Veiller à ne pas dépasser la température de service admissible (→ Caractéristiques techniques).
•
Le capteur peut être étuvé à des températures à concurrence de 150 °C. À
partir d'une température de 50 °C, l'unité électronique doit être démontée
(→  11) ou une extension (option →  26) doit être installée (→  12).
•
L'encombrement requis est indiqué sur le plan coté (→  7).
•
Si le bridage est uniquement possible sans l'unité électronique, démonter l'unité
électronique (→  11).
•
Il est recommandé d'employer un joint métallique (anneau d'étanchéité Ultra
→  26) comme garniture d'étanchéité à bride sous vide étant donné que les
joints en matières synthétiques (Vitilan, fluoroélastomères) peuvent déjà
-6
fausser la précision de mesure dans la gamme 10 hPa en raison de
dégagements gazeux.
•
La jauge est fournie par défaut avec grille montée. Pour les applications
potentiellement polluantes et pour la protection des électrodes contre la lumière
et les particules rapides, nous recommandons l'installation du baffle (→  26)
disponible en option (→  22).
9
Procédure à suivre
 Retirer le protecteur.
Garder le protecteur
en vue de travaux
de maintenance.
 Raccorder la jauge au système à vide.
Veiller à ce que la jauge installée soit accessible pour un ajustement
ultérieur (→  17, 19).
10
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
3.1.1 Démontage / montage de
l'unité électronique
Outillage requis
•
Démontage
a) Détacher avec précaution la vis sans tête à six pans creux (1) sur le côté de
l'unité électronique (2) (danger de perte de la vis).
Clé pour vis à six pans creux de 2.5
1
2
b) Retirer l'unité électronique sans la tourner.
Montage
a) Monter l'unité électronique sur le capteur (3) (tenir compte de la disposition des
broches du connecteur et de la rainure (4)).
4
3
b) Enfoncer à fond l'unité électronique puis la bloquer avec la vis sans tête à six
pans creux (1).
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR260.mdu
11
3.1.2 Montage de l'extension
L'extension disponible en option (→  26) permet d'étuver le capteur à des températures à concurrence de 150 °C (uniquement à p < 10-2 hPa car le capteur Pirani
fournit des mesures imprécises sous l'effet de la température plus élevée).
Attention
Attention : chaleur montante
Lorsque la jauge est installée à la verticale vers le haut, la chaleur
montante peut endommager l'unité électronique, même lorsque
l'extension est installée.
Installer la jauge à l'horizontale.
Zone d'étuvage
123
VACUUM
Compact
FullRangeTM BA Gauge
Zone d'étuvage
Procédure à suivre
a) Démonter l'unité électronique (2) (→  11).
b) Enfoncer à fond le capteur (3) dans l'extension (6) (tenir compte de la
disposition des broches du connecteur et de la rainure (4).
c) Bloquer le capteur à l'aide des vis sans tête à six pans creux (7).
4a
3
2
4
6
1
7
d) Glisser à fond l'unité électronique (2) sur l'extension (tenir compte de la
disposition des broches du connecteur et de la rainure (4a)).
e) Bloquer l'unité électronique (2) à l'aide de la vis sans tête à six pans creux (1).
12
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
3.2 Raccordement
électrique
3.2.1 Utilisation avec appareil
de mesure MaxiGauge™
3.2.2 Utilisation avec d'autres
instruments d'évaluation
Procédure à suivre
Pour l'utilisation avec l'appareil
de mesure et de commande
MaxiGauge™, un câble de
raccordement compatible est
requis (→  26).
•
Raccorder la prise du câble
de raccordement à la jauge
puis le fixer avec la vis
(couple de serrage
≤ 0.2 Nm).
•
Raccorder puis fixer l'autre
extrémité du câble à l'appareil de mesure et de
commande.
La jauge peut également être utilisée avec d'autres instruments d'évaluation. En tel
cas, vous devez vous-même confectionner le câble de raccordement (prise de
raccordement →  26).
En raison de la consommation de courant élevée, seules les mesures différentielles entre la sortie du signal (broche 2) et la masse du signal (broche 3) sont
autorisées.
la prise de
 Préparer
raccordement (numéro
de référence →  26

Préparer le câble.
 Souder le câble de raccordement dans la prise selon le schéma.
Degas
17.2 k
2
3
1
4
5
6
Figure 1: Affectation des contacts
Broche 1 a) Dégazage
b) Identification
(U ≤ 4.25 V)
Broche 2 Sortie du signal
(mesure)
Broche 3 Masse signal GND
Broche 4 Alimentation
Broche 5 Masse alimentation GND
Broche 6 Blindage
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR260.mdu
+
–
Degas
+
–
3
2
1
6
5
Prise côté soudures
4
13
AVERTISSEMENT
La masse alimentation (broche 5) ainsi que le blindage
(broche 6) du dispositif d'alimentation doivent impérativement
être reliés à la masse.
Un raccordement incorrect, une polarité incorrecte ou une
tension d'alimentation non autorisée peuvent endommager la
jauge.
 Assembler la prise de raccordement.
l'autre extrémité du câble en fonction du raccordement de
 Équiper
l'instrument d'évaluation.
la prise de raccordement.
 Emboîter
Fixer la prise sur la jauge avec la vis
(couple de serrage ≤ 0.2 Nm).
 Raccorder l'autre extrémité du câble à l'instrument d'évaluation.
14
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
4 Fonctionnement
Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose entre les broches 2 et 3
du signal de mesure qui est émis comme logarithme de la pression dans toute la
gamme de mesure (rapport entre le signal de et la pression → Annexe B).
Le temps de stabilisation est environ 10 minutes. Maintenir la jauge en
fonctionnement permanent, indépendamment de la pression.
4.1 Principe de mesure,
comportement de la
mesure
Bayard-Alpert
La jauge PBR 260 abrite deux systèmes de mesure distincts (cathode chaude
selon Bayard-Alpert (BA) et Pirani).
Le système de mesure BA est équipé d'un système d'électrodes selon BayardAlpert, qui a été conçu de manière à réduire la limite du rayonnement X.
Le principe de mesure de ce système de mesure repose sur l'ionisation gazeuse.
Les électrons émis par la cathode chaude (F) ionisent un nombre de molécules
proportionnel à la pression à l'intérieur de la chambre de mesure. Le collecteur
d'ions (IC) enregistre le courant ionique I+ ainsi généré et l'achemine vers
l'amplificateur de l'électromètre de l'instrument de mesure. Le courant ionique
dépend du courant d'émission Ie, du type de gaz et de la pression de gaz p selon le
rapport suivant :
I+ = Ie × p × C
Le facteur C correspond à la sensibilité de la jauge. Il est généralement indiqué
pour N2.
La limite de mesure inférieure se situe aux alentours de 5×10-10 hPa (pour jauges à
joint métallique).
-10
-2
Afin que toute la gamme comprise entre 5×10 hPa et 10 hPa puisse être
couverte de manière utile, on emploie un faible courant d'émission dans la gamme
de haute pression (vide poussé) et un courant d'émission élevé dans la gamme de
basse pression (vide très poussé). En cas de chute de pression, la commutation du
courant d'émission est réalisée à environ 7.2×10-6 hPa, en cas d'augmentation de
-5
pression, à environ 3.2×10 hPa. Lors de la commutation, la jauge PBR 260 peut
brièvement (< 2 s) diverger de la précision spécifiée.
IC
EC
F
Figure 1
Structure du système de mesure BA
F
Cathode chaude (filament)
IC Collecteur d'ions
(collecteur)
EC Collecteur d'électrons
(grille de l'anode)
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR260.mdu
(Dégazage
2.5V)
(Dégazage
250V)
EC
F
IC
15
Pirani
Entre certaines limites, la conductibilité thermique des gaz dépend de la pression.
Cet effet physique est exploité pour la mesure de la pression dans le vacuomètre à
conductibilité thermique selon Pirani. Un circuit en pont à compensation automatique est employé comme circuit de mesure (→ figure 2). Un fil fin en tungstène
est employé comme élément de mesure. Un circuit de réglage compatible permet
de maintenir la résistance du fil et ainsi sa température à un niveau constant. La
puissance électrique établie sur le fil est alors une grandeur pour la conductibilité
thermique et ainsi pour la pression du gaz. Le principe de base du circuit en pont à
compensation automatique est indiqué sur la figure 2.
UP
–
+
PBR 260
Figure 2
La tension du pont UP est une grandeur pour la pression du gaz et son traitement
ultérieur est électronique (linéarisation, numérisation).
Gamme de mesure
La jauge PBR 260 recouvre la gamme de mesure 5×10-10 hPa … 1000 hPa.
• L'élément Pirani surveille constamment la pression.
• La cathode chaude (pilotée par l'élément Pirani) ne s'amorce que lorsque la
pression tombe au-dessous du seuil d'activation (pactivation). Après quelques
secondes de fonctionnement, la cathode chaude est prête au service. Cela est
indiqué par la lampe <EMI ON>.
• Lorsque la pression monte au-dessus du seuil de désactivation (pdésactivation), la
cathode chaude est désactivée et la lampe <EMI ON> s'éteint.
Dans la gamme de pression supérieure, la valeur de mesure Pirani est émise,
dans la gamme inférieure, c'est la valeur de la cathode chaude. Dans la gamme où
les deux systèmes de mesures se recouvrent (pinférieure … psupérieure), un signal mixte
est émis (→ figure 3).
rie
p infé
Cathode chaude
5 × 10
-10
hPa
e
ur
p on p off
e
ur
r ie
é
p
p su
Pirani
1000 hPa
Figure 3
16
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
Sélection de la gamme
d'activation / de désactivation
La jauge PBR 260 à deux gammes d'activation / de désactivation sélectionnables
par l'utilisateur avec leurs gammes de transition. Cela permet d'éviter que la
pression de travail ne soit située dans la gamme d'activation / de désactivation. On
sélectionne entre les gammes "high" (réglage d'usine) et "low" moyennant le
commutateur <P ↔ BA> . Sélectionner de préférence la position "low" car la
tendance à l'encrassement du système à cathode chaude est plus faible à une
pression basse.
Attention
Il faut sélectionner la gamme d'activation / de désactivation avant de
mettre la jauge en circuit parce que la position du commutateur est
uniquement prise en compte lors de l'activation de la jauge.
high
low
high
5.
1
5×
-2
-3
Cathode chaude
Pirani
5 × 10-10 hPa
2.
low
2.
1
0×
-3
8.
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR260.mdu
1000 hPa
0
-3
-2
Pirani
5 × 10-10 hPa
Gammes de transition
1
0×
-2
0
0
×13×1
9
.
.
9
1
0
Cathode chaude
Seuils d'activation / de
désactivation de la cathode
chaude
-2
0
0
×12×1
4
.
.
2
3
0
1
0×
-3
0
1000 hPa
Position du
commutateur
pactivation
[hPa]
pdésactivation
[hPa]
high
2.4×10–2
3.2×10–2
low
9.9×10–3
1.33×10–2
Position du
commutateur
pinférieure
[hPa]
psupérieure
[hPa]
high
5.5×10–3
2.0×10–2
low
–3
8.0×10–3
2.0×10
17
Précision de mesure
La jauge a été ajustée en usine. Un nouvel ajustement peut s'avérer nécessaire en
cas d'utilisation en présence de conditions climatiques divergentes, de températures extrêmes, d'encrassement ou de vieillissement (→  19).
La précision de mesure est réduite dans la gamme supérieure à 1×10-2 hPa et
inférieure à 1×10-8 hPa.
Dépendance du type de gaz
La valeur de mesure dépend de la nature du gaz. La relation entre le signal de
mesure et la pression (→ Annexe B) s'applique à l'azote (N2), à l'oxygène (O2), à
l'air sec et au monoxyde de carbone (CO). Pour d'autres gaz, procéder à la
conversion (→ Annexe C).
Si vous utilisez la jauge avec l'appareil de mesure et de commande MaxiGauge™,
vous pouvez y entrer le facteur de correction correspondant (→  MaxiGauge™
TPG 256 A).
4.2 Principe de
fonctionnement de la
jauge
Les courants de mesure des capteurs (Bayard-Alpert et Pirani) sont convertis par
un convertisseur de courant / fréquence en une fréquence qui varie en fonction de
la valeur mesurée. Un microcontrôleur génère une valeur numérique comme référence pour la pression mesurée à partir de ce signal de fréquence. Cette valeur est
disponible sous forme de signal de mesure analogique 0 … 10.2 V sur la sortie
(broche 2 / broche 3), la gamme de mesure de pression valide étant comprise
entre 0.774 V et 10.00 V (pression atmosphérique). Le signal de sortie est limité
par le logiciel à 10.20 V.
Outre la conversion des signaux de mesure, le microcontrôleur se charge de la
surveillance des émissions et du calcul de la pression totale à partir des valeurs
mesurées.
4.3 Dégazage
Encrassement
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les
pièces d'usure (p. ex. filament), sont exclues de la garantie.
La contamination des électrodes du système d'ionisation à cathode chaude peut
entraîner des instabilités des valeurs de mesure.
Dans ce cas, nous recommandons de procéder à l'étuvage (dégazage) de l'anode
-6
à une pression de 7.2×10 hPa (courant d'émission 5 mA). L'étuvage se démarre,
selon la configuration utilisée, à l'aide de l'appareil de mesure et de commande
MaxiGauge™, d'un commutateur manuel ou automatiquement par la commande
du système (p. ex. API). PBR 260 désactive l'étuvage automatiquement après
3 minutes s'il n'a pas été terminé auparavant.
Le dégazage est amorcé par la commutation du signal de commande (broche 1)
de OFF (0 V) à ON (24 V). Il est terminé par la commutation du signal de
commande de ON (24 V) à OFF (0 V) ou automatiquement après 3 minutes.
Pour un dégazage répété, le signal de commande doit d'abord commuter de ON
(24 V) à OFF (0 V) et ensuite redémarrer le dégazage en commutant à ON (24 V).
Pour éviter des états indéfinis, nous recommandons de remettre le signal du
dégazage à OFF (0 V) par la commande du système après chaque étuvage de
3 minutes.
Pendant le dégazage, la grille du collecteur d'électrons est chauffée à ≈ 700 °C par
bombardement d'électrons.
18
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
5 Maintenance
5.1 Maintenance
DANGER
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés.
5.2 Ajustement de la jauge
La jauge est étalonnée en usine. L'utilisation de la jauge dans un climat différent ou
une autre position de montage, son vieillissement, des impuretés (→  18) ou
l'échange du capteur (→  23) peuvent provoquer une dérive de la courbe caractéristique et un ajustage peut devenir nécessaire. Seul le système Pirani peut être
ajusté.
Ajustement vide élevé
Lors de chaque mise en circuit de la jauge, le circuit de mesure Pirani est automatiquement compensé par le circuit de mesure à cathode chaude (lorsque la
pression est pour la première fois comprise dans la gamme p = 1 … 3×10-3 hPa).
Ajustement atmosphérique
Outillage requis
Procédure à suivre
•
Goupille ø ≈ 1.3 × 50 mm (p. ex. un trombone déplié)
 Laisser la jauge en circuit pendant ≈ 10 minutes à pression atmosphérique.
Si la jauge était auparavant au mode d'ionisation à cathode chaude, il faut
la laisser refroidir pendant ≈ 30 minutes (température de jauge =
température ambiante).
 Insérer la goupille dans l'ouverture <ATM> et appuyer sur la touche
pendant ≥ 5 secondes.
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR260.mdu
19
Compensation du point zéro
Outillage requis
Procédure à suivre
Une compensation du point zéro est recommandée
•
après un remplacement du capteur
•
dans le cadre des activités de maintenance habituelles en vue de l'assurance
qualité.
•
Goupille ø ≈ 1.3 × 50 mm (p. ex. un trombone déplié)
Cette compensation se fait également par la touche pour l'ajustement
atmosphérique (→ plus haut).
 Laisser la jauge en circuit pendant ≈ 10 minutes à une pression
≤ 1×10-4 hPa.
 Insérer la goupille dans l'ouverture <ATM> et appuyer sur la touche
pendant 2 secondes.
La procédure de compensation dure 2 minutes et se déroule
automatiquement.
5.3 Nettoyage de la jauge
Les petits dépôts sur le système d'électrodes peuvent être éliminés par étuvage de
l'anode (dégazage →  18). En présence d'un encrassement important, le baffle
peut être remplacé (→  22). Le capteur ne peut sinon pas être nettoyé et doit être
remplacé en présence d'un encrassement important (→  23).
Un chiffon humecté suffit en général pour un nettoyage externe. Les détergents
agressifs et les récurants ne conviennent pas pour ce nettoyage.
Attention
S'assurer qu'aucun liquide ne pénètre dans le matériel. Laisser sécher
celui-ci complètement avant de le remettre en circuit.
5.4 Montage du baffle
Durant les procédés très salissants et lorsque les électrodes de mesure doivent
être protégées contre la lumière et les particules rapides, il est recommandé de
remplacer la grille installée en usine par le baffle disponible en option (→  26).
Attention
Attention : zone sensible à la pollution
Si le produit ou des composants du produit sont touchés à mains nues
le taux de dégazage est augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils
propres.
Pièces / outillage requis
20
•
Baffle neuf (→  26)
•
Pince à bouts pointus
•
Goupille (p. ex. crayon)
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
Procédure à suivre
a) Enlever avec précaution la grille à l'aide de la pince à bouts pointus.
b) Déposer avec précaution le baffle sur l'entrée du capteur.
c) Enfoncer avec précaution le baffle au centre à l'aide d'une goupille jusqu'à ce
qu'il s'enclenche.
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR260.mdu
21
5.5 Remplacement du baffle
En présence d'un encrassement important, le baffle peut être remplacé.
Attention
Attention : zone sensible à la pollution
Si le produit ou des composants du produit sont touchés à mains nues
le taux de dégazage est augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils
propres.
Pièces / outillage requis
Procédure à suivre
•
Baffle neuf (→  26)
•
Tournevis n° 1
•
Goupille (p. ex. crayon)
a) Démonter avec précaution le baffle à l'aide du tournevis.
b) Déposer avec précaution le baffle neuf sur l'entrée du capteur.
c) Enfoncer avec précaution le baffle au centre à l'aide de la goupille jusqu'à ce
qu'il s'enclenche.
22
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
5.6 Remplacement du
capteur
Remplacement requis lorsque
•
le capteur est fortement encrassé
•
le capteur est défectueux, p. ex. parce que le filament incandescent est cassé.
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que
pièces d'usure (p. ex. filament), sont exclues de la garantie.
Outillage / matériel requis
Procédure à suivre
•
Clé pour vis à six pans creux de 2.5
•
Capteur de rechange (→  26)
a) Démonter la jauge (→  24).
b) Démonter l'unité électronique du capteur défectueux puis la monter sur le
nouveau capteur (→  11).
c) Monter la jauge (→  9)
d) Ajuster la jauge (→  19).
5.7 Comportement en
présence d'un défaut
Défaut
Cause possible
Solution
Aucun signal de mesure
Absence d'alimentation
Mettre l'alimentation en
circuit
Câble de raccordement
défectueux ou mal
branché
Contrôler le câble de
raccordement
Jauge dans un état
indéfini
Mettre la jauge hors circuit
puis la remettre en circuit
(réinitialisation)
Signal de mesure 0.3 V
Erreur de la cathode
chaude
(capteur défectueux)
Remplacer le capteur
(→  23)
Signal de mesure 0.5 V
Erreur Pirani
(capteur défectueux)
Remplacer le capteur
(→  23)
L'unité électronique n'est
Contrôler le raccordement
pas correctement installée
sur le capteur
Pas de commutation sur
mesure BA en présence
de faibles pressions
Point zéro Pirani hors
tolérance
Procéder à la compensation du point zéro
(→  20)
En présence d'une erreur, il est recommandé de d'abord couper la tension
de service puis de la rétablir après 5 secondes.
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR260.mdu
23
6 Démontage
DANGER
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle
contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés.
Attention
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du
composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées
pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels.
Procédure à suivre
 Remettre le système à vide à la pression atmosphérique.
 Mettre la jauge hors circuit.
 Détacher le câble de mesure.
 Démonter la jauge de la chambre à vide.
24
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
 Mettre le protecteur en place.
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR260.mdu
25
7
Retour du produit
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : transport de produits contaminés
Les produits qui nous sont envoyés seront dans la mesure du possible
exempts de substances nocives (p. ex. radioactives, toxiques,
caustiques ou microbiologiques).
Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de
transport concernés. Inclure une déclaration de contamination
remplie *).
*)
Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com.
En absence de confirmation univoque que le produit est "exempt de substances
nocives", le produit est décontaminé aux frais du client.
Si vous envoyez le produit à notre S.A.V. en vue de sa maintenance, utilisez un
emballage étanche, résistant aux chocs.
8 Options
Numéro de référence
Câble de raccordement pour utilisation avec appareil de
mesure et de commande MaxiGauge™
3m
6m
10 m
Prise de raccordement, Hirschmann GO 6 WF, à 6 pôles,
coudée, douilles
PT 448 250-T
PT 448 251-T
PT 448 252-T
B 4707 283 MA
Extension, 100 mm
PT 590 300-T
Baffle
PT 120 125-T
9 Pièces de rechange
Les commandes de pièces de rechange doivent toujours comprendre
•
toutes les indications figurant sur la plaque signalétique
•
Description et numéro de référence selon la liste des pièces de rechange
Numéro de référence
Capteur PBR 260, bride DN 25 ISO-KF
PT 120 121-T
(clé pour vis à six pans fournie)
Capteur PBR 260, bride DN 40 ISO-KF
PT 120 122-T
(clé pour vis à six pans fournie)
Capteur PBR 260, bride DN 40 CF-R
PT 120 123-T
(clé pour vis à six pans fournie)
Unité électronique PBR 260
PT 120 120-T
(clé pour vis à six pans fournie)
26
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
10 Recyclage
DANGER
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle
contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : substances polluantes
Les composants électriques doivent être triés en vue de recyclage.
Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation
locale.
Tri des composants
BG 5171 BFR / B
Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants :
Composants contaminés
Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives,
toxiques, caustiques ou microbiologiques) conformément à la réglementation
nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer.
Composants non contaminés
Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer.
(2017-02)
PBR260.mdu
27
Annexe
A:
Table de conversion des
unités de pression
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
1
1×103
0.01
1
10
1×10-3
1
1×10-5
1×10-3
0.01
100
1×105
1
100
1×103
1
1×103
0.01
1
10
0.1
100
1×10-3
0.1
1
Torr
mm HG
0.75
750
7.5×10-3
0.75
7.5
1.332
1.332×10
133.32
1.3332
0.1332
1
-3
1 Pa = 1 N/m2
B:
Rapport signal de
mesure – pression
p = 10(U-7.75)/0.75+c
Formules de conversion
Courbe de conversion
U = 0.75×(logp-c)+7.75
U
p
c
[V]
[hPa]
0
[V]
[Pa]
2
[V]
[Torr]
-0.125
Pression p [hPa]
1E+04
1E+03
1E+02
underrange
1E+01
1E+00
1E–02
1E–03
1E–04
Sensor error
1E–01
1E–05
1E–06
overrange
1E–07
1E–08
1E–09
1E–10
0.0
1.0
2.0
3.0
4.0
5.0
6.0
7.0
8.0
9.0
10.0
Signal de mesure U[V]
28
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
Tableau de conversion
Signal de mesure U
[V]
< 0.5
> 0.50 … < 0.774
0.774
1.00
1.75
2.5
3.25
4.00
4.75
5.50
6.25
7.00
7.75
8.50
9.25
10.00
> 10.00 … 10.20 V
C:
Pression p
[Torr]
[hPa]
[Pa]
Erreur du capteur (sensor error)
Sous-dépassement de la gamme de mesure (underrange)
5×10-10
3.75×10-10
5×10-8
-9
-10
1×10
7.5×10
1×10-7
1×10-8
7.5×10-9
1×10-6
-7
-8
1×10
7.5×10
1×10-5
-6
-7
1×10
7.5×10
1×10-4
1×10-5
7.5×10-6
1×10-3
-4
-5
1×10
7.5×10
1×10-2
-3
-4
1×10
7.5×10
1×10-1
1×10-2
7.5×10-3
1×100
-1
-2
1×10
7.5×10
1×101
0
-1
1×10
7.5×10
1×102
1×101
7.5×100
1×103
2
1
1×10
7.5×10
1×104
3
2
1×10
7.5×10
1×105
Dépassement de la gamme de mesure (overrange)
Dépendance du type de
gaz
Au-dessous de 10-3 hPa
(gamme d'ionisation)
Pour les gaz autres que l'air, la pression peut être déterminée au moyen d'une
conversion simple :
peff = C × pression affichée
où
type de gaz
C
air (N2, O2)
Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He
1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9
Les facteurs de conversion indiqués sont des valeurs moyennes.
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR260.mdu
29
Au-dessus de 10–2 hPa
(gamme Pirani)
p (hPa)
102
H2 He
8
6
4
Ne
Air
N2
O2
CO
2
CO2
Ar
Gamme d'indication
au-dessus de 10-2 hPa)
101
8
6
4
Freon 12
Kr
2
Xe
100
8
6
4
2
10–1
8
6
4
2
Vapeur
d'eau
10–2
10–3 2
4 6 810–2 2
4 6 810–1 2
4 6 8 100
2
4 6 8 101
2
4 6 8 102
peff (hPa)
Attention
On rencontre souvent des mélanges de gaz et de vapeurs. Un
enregistrement précis est alors uniquement possible à l'aide d'instruments de mesure à pression partielle.
30
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR 260
Notes
BG 5171 BFR / B
(2017-02)
PBR260.mdu
31
UN SEUL FOURNISSEUR DE SOLUTIONS DE VIDE
Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes
et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service.
UNE LARGE GAMME DE PRODUITS
Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur
de solutions de vide offrant une gamme complète de produits.
UN SAVOIR FAIRE THEORIQUE ET PRATIQUE
Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation !
Nous vous assistons pour concevoir vos installations, grâce à un service de proximité
de première qualité dans le monde entier.
Êtes-vous à la recherche d'une
solution de vide dédiée à vos
besoins ?
Contactez-nous :
Pfeiffer Vacuum GmbH
Headquarters ● Germany
T +49 6441 802-0
[email protected]
Pfeiffer Vacuum SAS ; France
T +33 (0) 4 50 65 77 77
[email protected]
www.pfeiffer-vacuum.com
bg5171bf r / b
">