MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction du manuel de l'utilisateur PBR 260 BG 5171 BFR / B (2017-02) Jauge FullRange® BA, modèle compact Identification du produit Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous. Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar Typ: No: F-No: V W Validité Ce document est valable pour les produits avec les numéros de référence PT R27 000 (bride DN 25 ISO-KF) PT R27 001 (bride DN 40 ISO-KF) PT R27 002 (bride DN 40 CF-R) Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique. Les illustrations sans indication particulière se réfèrent aux jauges avec le raccord à vide DN 25 ISO-KF et sont applicables aux autres raccords à vide par analogie. Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans préavis. Toutes dimensions en mm. Utilisation prévue Les jauges FullRange® BA PBR 260 servent à la mesure du vide des gaz dans la -10 gamme des pressions de 5×10 … 1000 hPa. Elles ne doivent pas être employées pour la mesure de gaz facilement inflammables ou combustibles mélangés à un oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique) dans les limites explosives. La jauge PBR 260 fait partie de la famille des jauges compactes Pfeiffer Vacuum et peut être utilisée avec l'appareil de mesure et de commande à vide MaxiGauge™ TPG 256 A ou avec un instrument d'évaluation du client. Principe de fonctionnement Dans toute la gamme de mesure, la jauge PBR 260 a une courbe caractéristique continue et le signal de mesure est émis comme logarithme de la pression. Ceci s'obtient par l'intégration d'un système de mesure par ionisation à cathode chaude selon Bayard-Alpert et d'un système Pirani dans la même jauge. Dans une gamme définie où les deux systèmes de mesure se recouvrent, un signal mixte est émis. Au-dessus de cette gamme, seul le signal Pirani est émis, au-dessous, seul le signal du système d'ionisation à cathode chaude est émis. Le signal Pirani est utilisé pour activer / désactiver le système d'ionisation à cathode chaude et donc pour le protéger contre claquage et encrassement. On peut choisir entre deux seuils d'activation / de désactivation. Marques de commerce MaxiGauge™ ® FullRange 2 INFICON GmbH Pfeiffer Vacuum GmbH BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 Sommaire Identification du produit Validité Utilisation prévue Principe de fonctionnement Marques de commerce 2 2 2 2 2 1 Sécurité 1.1 Explication des signes 1.2 Qualification du personnel 1.3 Indications concernant la sécurité 1.4 Responsabilité et garantie 4 4 4 4 4 2 Caractéristiques techniques 5 3 Installation 3.1 Raccordement au vide 3.1.1 Démontage / montage de l'unité électronique 3.1.2 Montage de l'extension 3.2 Raccordement électrique 3.2.1 Utilisation avec appareil de mesure MaxiGauge™ 3.2.2 Utilisation avec d'autres instruments d'évaluation 9 9 11 12 13 13 13 4 Fonctionnement 4.1 Principe de mesure, comportement de la mesure 4.2 Principe de fonctionnement de la jauge 4.3 Dégazage 15 15 18 18 5 Maintenance 5.1 Maintenance 5.2 Ajustement de la jauge 5.3 Nettoyage de la jauge 5.4 Montage du baffle 5.5 Remplacement du baffle 5.6 Remplacement du capteur 5.7 Comportement en présence d'un défaut 19 19 19 20 20 22 23 23 6 Démontage 24 7 Retour du produit 26 8 Options 26 9 Pièces de rechange 26 10 27 Recyclage Annexe A: Table de conversion des unités de pression B: Rapport signal de mesure – pression C: Dépendance du type de gaz 28 28 28 29 Pour des références aux pages de ce document, le signe (→ XY) est utilisé, pour des références à d'autres documents le signe (→ [Z]). BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR260.mdu 3 1 Sécurité 1.1 Explication des signes DANGER Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature. AVERTISSEMENT Indications concernant la prévention de dégradations de l'environnement et d'importants dégâts matériels. Attention Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs. 1.2 Qualification du personnel Personnel qualifié Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit. 1.3 Indications concernant la sécurité • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes aux gaz utilisés. Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit (→ 5) et les gaz des procédés. • Considérer des réactions possibles des gaz des procédés à la chaleur générée par le produit. • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées concernant toute intervention. Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document. • Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés. Communiquer les indications concernant la sécurité aux autres utilisateurs. 1.4 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une tierce personne • n'observe pas les indications figurant dans ce document • utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue • • modifie ce produit d'une façon quelconque utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit correspondante. La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur. Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. filament), sont exclues de la garantie. 4 BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 2 Caractéristiques techniques Mesure Emission Gamme de mesure (air, N2) Gamme de transition cathode chaude – Pirani "high" (réglage d'usine) "low" Précision -8 -2 (10 … 10 hPa) Répétabilité -8 -2 (10 … 10 hPa) Dépendance du type de gaz 5×10-10 … 1000 hPa Pression d'activation "high" (réglage d'usine) Pression de désactivation "high" (réglage d'usine) Pression d'activation "low" Pression de désactivation "low" Courant d'émission (pression diminuante) 7.2×10-6 hPa < p < 2.4×10-2 hPa p ≤ 7.2×10-6 hPa Commutation du courant d'émission 25 µA 5 mA (pression diminuante) 5 mA 25 µA (pression augmentante) 2.4×10-2 hPa Dégazage (seulement à p < 7.2×10-6 hPa) Courant Signal de sortie Gamme de tension Gamme de mesure (2017-02) PBR260.mdu ≈ 5 % mesure (après 5 minutes de stabilisation) → Annexe C -2 3.2×10 hPa 9.9×10-3 hPa 1.3×10-2 hPa 25 µA 5 mA -6 7.2×10 hPa 3.2×10-5 hPa ≈ 16 mA / ≈ 4.0 W 0 V / 24 V, niveau API haut = dégazage actif Durée ≤ 3 minutes, après, désactivation automatique Pendant le dégazage, PBR 260 continue à fournir des résultats de mesure mais les tolérances peuvent être plus grandes que pendant le fonctionnement normal. 0.5 V BG 5171 BFR / B ≈ 15 % mesure (après 5 minutes de stabilisation) Signal de commande Relation tension – pression Signaux d'erreur 0.3 V Identification de la jauge 5.5×10–3 … 2.0×10–2 hPa 2.0×10–3 … 8.0×10–3 hPa 0 … 10.2 V 0.774 V … 10 V -10 (5×10 hPa … 1000 hPa) logarithmique, 0.75 V / décade → 23 • erreur cathode chaude • erreur Pirani Dépassement vers le bas Dépassement vers le haut • électronique mal montée 0.5 V < U < 0.774 V 10 V < U ≤ 10.2 V (signal de mesure limité à 10.2 V par le logiciel) Impédance chargée minimale 10 kΩ Résistance (broche 1, Umax = 4.25 V) 17.2 kΩ contre masse alimentation 5 Ajustement Pirani vide élevé ATM (touche <ATM>) Compensation du point zéro (touche <ATM>) Cathode chaude Alimentation ajustement automatique par cathode chaude dans la gamme 1 … 3×10-3 hPa ajustement par touche <ATM> (appuyer ≥ 5 s) à pression atmosphérique ajustement par touche <ATM> (appuyer -4 ≥ 2 secondes) à ≤1×10 hPa ajustée en usine, aucun ajustement nécessaire DANGER La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant aux exigences pour les basses tensions mises à la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers la jauge. 1) Tension à la jauge Consommation de courant Standard Dégazage Démarrage de l'émission (< 200 ms) Puissance absorbée 1) Fusible à insérer Tension sur le dispositif d'alimentation avec un câble de longueur maximale Câble de mesure Connecteur électrique Couple de serrage Câble Longueur du câble Conception de la masse Masse alimentation – bride à vide Masse signal – masse alimentation Vide Matériaux au contact du vide Boîtier, fixations, blindages Passages Isolateur Cathode Support de cathode Elément Pirani Volume interne DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-R Pression maximale 6 20 … 30 V 2) ondulation ≤ 2 Vpp ≤ 0.5 A ≤ 0.8 A ≤ 1.4 A ≤ 16 W ≤ 1.25 A (lente) 21 … 30 V ondulation ≤ 2 Vpp connecteur compact Hirschmann, type GO 6, 6 pôles, mâle ≤ 0.2 Nm 5 pôles plus blindage 35 m (conducteurs 0.25 mm²) 50 m (conducteurs 0.34 mm²) 100 m (conducteurs 1.0 mm²) liaison galvanique à acheminement distinct ; en raison de la consommation de courant élevée, seule une mesure différentielle est autorisée acier inoxydable NiFe nickelé verre iridium, oxyde yttrique molybdène tungstène, cuivre 3 ≤ 24 cm ≤ 24 cm3 ≤ 34 cm3 200 kPa (absolue) 1) MaxiGaugeTM satisfait à ces exigences. 2) La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur du câble de mesure. BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 Environnement Températures admissibles Stockage Service Etuvage -20 °C … 70 °C 0 °C … 50 °C +150 °C (sans électronique ou avec extension) → 26) Humidité relative Moyenne annuelle pendant 60 jours Utilisation Protection Dimensions ≤ 65 % (pas de condensation) ≤ 85 % (pas de condensation) en salle, altitude jusqu'à 2000 m IP 30 Bride DN 25 ISO-KF Dimensions [mm] DN 25 KF Poids 285 g Bride DN 40 ISO-KF Dimensions [mm] DN 40 KF Poids BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR260.mdu 315 g 7 Bride DN 40 CF-R Dimensions [mm] DN 63 CF-R Poids 8 550 g BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 3 Installation 3.1 Raccordement au vide DANGER DANGER : surpression dans le système à vide > 100 kPa Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque il règne une surpression dans le système à vide, des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Des gaz peuvent également s'échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé. Ne pas ouvrir les éléments de serrage lorsque il règne une surpression dans le système à vide. Utiliser des éléments de serrage convenables pour la surpression (p. ex. anneau de serrage muni d'un collier de fixation). DANGER DANGER : protection par mise à la masse Les produits mal raccordés à la masse présentent un danger mortel en cas de panne. La jauge doit être connectée directement à la chambre à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010 : • Les brides CF satisfont à ces exigences. • Pour les brides KF il faudra utiliser un anneau de serrage conducteur. Attention Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR260.mdu • Monter la jauge de sorte qu'elle ne vibre pas. • La position de montage n'est pas imposée mais les particules et les condensats ne doivent pas pénétrer dans la chambre de mesure. • Veiller à ne pas dépasser la température de service admissible (→ Caractéristiques techniques). • Le capteur peut être étuvé à des températures à concurrence de 150 °C. À partir d'une température de 50 °C, l'unité électronique doit être démontée (→ 11) ou une extension (option → 26) doit être installée (→ 12). • L'encombrement requis est indiqué sur le plan coté (→ 7). • Si le bridage est uniquement possible sans l'unité électronique, démonter l'unité électronique (→ 11). • Il est recommandé d'employer un joint métallique (anneau d'étanchéité Ultra → 26) comme garniture d'étanchéité à bride sous vide étant donné que les joints en matières synthétiques (Vitilan, fluoroélastomères) peuvent déjà -6 fausser la précision de mesure dans la gamme 10 hPa en raison de dégagements gazeux. • La jauge est fournie par défaut avec grille montée. Pour les applications potentiellement polluantes et pour la protection des électrodes contre la lumière et les particules rapides, nous recommandons l'installation du baffle (→ 26) disponible en option (→ 22). 9 Procédure à suivre Retirer le protecteur. Garder le protecteur en vue de travaux de maintenance. Raccorder la jauge au système à vide. Veiller à ce que la jauge installée soit accessible pour un ajustement ultérieur (→ 17, 19). 10 BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 3.1.1 Démontage / montage de l'unité électronique Outillage requis • Démontage a) Détacher avec précaution la vis sans tête à six pans creux (1) sur le côté de l'unité électronique (2) (danger de perte de la vis). Clé pour vis à six pans creux de 2.5 1 2 b) Retirer l'unité électronique sans la tourner. Montage a) Monter l'unité électronique sur le capteur (3) (tenir compte de la disposition des broches du connecteur et de la rainure (4)). 4 3 b) Enfoncer à fond l'unité électronique puis la bloquer avec la vis sans tête à six pans creux (1). BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR260.mdu 11 3.1.2 Montage de l'extension L'extension disponible en option (→ 26) permet d'étuver le capteur à des températures à concurrence de 150 °C (uniquement à p < 10-2 hPa car le capteur Pirani fournit des mesures imprécises sous l'effet de la température plus élevée). Attention Attention : chaleur montante Lorsque la jauge est installée à la verticale vers le haut, la chaleur montante peut endommager l'unité électronique, même lorsque l'extension est installée. Installer la jauge à l'horizontale. Zone d'étuvage 123 VACUUM Compact FullRangeTM BA Gauge Zone d'étuvage Procédure à suivre a) Démonter l'unité électronique (2) (→ 11). b) Enfoncer à fond le capteur (3) dans l'extension (6) (tenir compte de la disposition des broches du connecteur et de la rainure (4). c) Bloquer le capteur à l'aide des vis sans tête à six pans creux (7). 4a 3 2 4 6 1 7 d) Glisser à fond l'unité électronique (2) sur l'extension (tenir compte de la disposition des broches du connecteur et de la rainure (4a)). e) Bloquer l'unité électronique (2) à l'aide de la vis sans tête à six pans creux (1). 12 BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 3.2 Raccordement électrique 3.2.1 Utilisation avec appareil de mesure MaxiGauge™ 3.2.2 Utilisation avec d'autres instruments d'évaluation Procédure à suivre Pour l'utilisation avec l'appareil de mesure et de commande MaxiGauge™, un câble de raccordement compatible est requis (→ 26). • Raccorder la prise du câble de raccordement à la jauge puis le fixer avec la vis (couple de serrage ≤ 0.2 Nm). • Raccorder puis fixer l'autre extrémité du câble à l'appareil de mesure et de commande. La jauge peut également être utilisée avec d'autres instruments d'évaluation. En tel cas, vous devez vous-même confectionner le câble de raccordement (prise de raccordement → 26). En raison de la consommation de courant élevée, seules les mesures différentielles entre la sortie du signal (broche 2) et la masse du signal (broche 3) sont autorisées. la prise de Préparer raccordement (numéro de référence → 26 Préparer le câble. Souder le câble de raccordement dans la prise selon le schéma. Degas 17.2 k 2 3 1 4 5 6 Figure 1: Affectation des contacts Broche 1 a) Dégazage b) Identification (U ≤ 4.25 V) Broche 2 Sortie du signal (mesure) Broche 3 Masse signal GND Broche 4 Alimentation Broche 5 Masse alimentation GND Broche 6 Blindage BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR260.mdu + – Degas + – 3 2 1 6 5 Prise côté soudures 4 13 AVERTISSEMENT La masse alimentation (broche 5) ainsi que le blindage (broche 6) du dispositif d'alimentation doivent impérativement être reliés à la masse. Un raccordement incorrect, une polarité incorrecte ou une tension d'alimentation non autorisée peuvent endommager la jauge. Assembler la prise de raccordement. l'autre extrémité du câble en fonction du raccordement de Équiper l'instrument d'évaluation. la prise de raccordement. Emboîter Fixer la prise sur la jauge avec la vis (couple de serrage ≤ 0.2 Nm). Raccorder l'autre extrémité du câble à l'instrument d'évaluation. 14 BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 4 Fonctionnement Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose entre les broches 2 et 3 du signal de mesure qui est émis comme logarithme de la pression dans toute la gamme de mesure (rapport entre le signal de et la pression → Annexe B). Le temps de stabilisation est environ 10 minutes. Maintenir la jauge en fonctionnement permanent, indépendamment de la pression. 4.1 Principe de mesure, comportement de la mesure Bayard-Alpert La jauge PBR 260 abrite deux systèmes de mesure distincts (cathode chaude selon Bayard-Alpert (BA) et Pirani). Le système de mesure BA est équipé d'un système d'électrodes selon BayardAlpert, qui a été conçu de manière à réduire la limite du rayonnement X. Le principe de mesure de ce système de mesure repose sur l'ionisation gazeuse. Les électrons émis par la cathode chaude (F) ionisent un nombre de molécules proportionnel à la pression à l'intérieur de la chambre de mesure. Le collecteur d'ions (IC) enregistre le courant ionique I+ ainsi généré et l'achemine vers l'amplificateur de l'électromètre de l'instrument de mesure. Le courant ionique dépend du courant d'émission Ie, du type de gaz et de la pression de gaz p selon le rapport suivant : I+ = Ie × p × C Le facteur C correspond à la sensibilité de la jauge. Il est généralement indiqué pour N2. La limite de mesure inférieure se situe aux alentours de 5×10-10 hPa (pour jauges à joint métallique). -10 -2 Afin que toute la gamme comprise entre 5×10 hPa et 10 hPa puisse être couverte de manière utile, on emploie un faible courant d'émission dans la gamme de haute pression (vide poussé) et un courant d'émission élevé dans la gamme de basse pression (vide très poussé). En cas de chute de pression, la commutation du courant d'émission est réalisée à environ 7.2×10-6 hPa, en cas d'augmentation de -5 pression, à environ 3.2×10 hPa. Lors de la commutation, la jauge PBR 260 peut brièvement (< 2 s) diverger de la précision spécifiée. IC EC F Figure 1 Structure du système de mesure BA F Cathode chaude (filament) IC Collecteur d'ions (collecteur) EC Collecteur d'électrons (grille de l'anode) BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR260.mdu (Dégazage 2.5V) (Dégazage 250V) EC F IC 15 Pirani Entre certaines limites, la conductibilité thermique des gaz dépend de la pression. Cet effet physique est exploité pour la mesure de la pression dans le vacuomètre à conductibilité thermique selon Pirani. Un circuit en pont à compensation automatique est employé comme circuit de mesure (→ figure 2). Un fil fin en tungstène est employé comme élément de mesure. Un circuit de réglage compatible permet de maintenir la résistance du fil et ainsi sa température à un niveau constant. La puissance électrique établie sur le fil est alors une grandeur pour la conductibilité thermique et ainsi pour la pression du gaz. Le principe de base du circuit en pont à compensation automatique est indiqué sur la figure 2. UP – + PBR 260 Figure 2 La tension du pont UP est une grandeur pour la pression du gaz et son traitement ultérieur est électronique (linéarisation, numérisation). Gamme de mesure La jauge PBR 260 recouvre la gamme de mesure 5×10-10 hPa … 1000 hPa. • L'élément Pirani surveille constamment la pression. • La cathode chaude (pilotée par l'élément Pirani) ne s'amorce que lorsque la pression tombe au-dessous du seuil d'activation (pactivation). Après quelques secondes de fonctionnement, la cathode chaude est prête au service. Cela est indiqué par la lampe <EMI ON>. • Lorsque la pression monte au-dessus du seuil de désactivation (pdésactivation), la cathode chaude est désactivée et la lampe <EMI ON> s'éteint. Dans la gamme de pression supérieure, la valeur de mesure Pirani est émise, dans la gamme inférieure, c'est la valeur de la cathode chaude. Dans la gamme où les deux systèmes de mesures se recouvrent (pinférieure … psupérieure), un signal mixte est émis (→ figure 3). rie p infé Cathode chaude 5 × 10 -10 hPa e ur p on p off e ur r ie é p p su Pirani 1000 hPa Figure 3 16 BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 Sélection de la gamme d'activation / de désactivation La jauge PBR 260 à deux gammes d'activation / de désactivation sélectionnables par l'utilisateur avec leurs gammes de transition. Cela permet d'éviter que la pression de travail ne soit située dans la gamme d'activation / de désactivation. On sélectionne entre les gammes "high" (réglage d'usine) et "low" moyennant le commutateur <P ↔ BA> . Sélectionner de préférence la position "low" car la tendance à l'encrassement du système à cathode chaude est plus faible à une pression basse. Attention Il faut sélectionner la gamme d'activation / de désactivation avant de mettre la jauge en circuit parce que la position du commutateur est uniquement prise en compte lors de l'activation de la jauge. high low high 5. 1 5× -2 -3 Cathode chaude Pirani 5 × 10-10 hPa 2. low 2. 1 0× -3 8. BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR260.mdu 1000 hPa 0 -3 -2 Pirani 5 × 10-10 hPa Gammes de transition 1 0× -2 0 0 ×13×1 9 . . 9 1 0 Cathode chaude Seuils d'activation / de désactivation de la cathode chaude -2 0 0 ×12×1 4 . . 2 3 0 1 0× -3 0 1000 hPa Position du commutateur pactivation [hPa] pdésactivation [hPa] high 2.4×10–2 3.2×10–2 low 9.9×10–3 1.33×10–2 Position du commutateur pinférieure [hPa] psupérieure [hPa] high 5.5×10–3 2.0×10–2 low –3 8.0×10–3 2.0×10 17 Précision de mesure La jauge a été ajustée en usine. Un nouvel ajustement peut s'avérer nécessaire en cas d'utilisation en présence de conditions climatiques divergentes, de températures extrêmes, d'encrassement ou de vieillissement (→ 19). La précision de mesure est réduite dans la gamme supérieure à 1×10-2 hPa et inférieure à 1×10-8 hPa. Dépendance du type de gaz La valeur de mesure dépend de la nature du gaz. La relation entre le signal de mesure et la pression (→ Annexe B) s'applique à l'azote (N2), à l'oxygène (O2), à l'air sec et au monoxyde de carbone (CO). Pour d'autres gaz, procéder à la conversion (→ Annexe C). Si vous utilisez la jauge avec l'appareil de mesure et de commande MaxiGauge™, vous pouvez y entrer le facteur de correction correspondant (→ MaxiGauge™ TPG 256 A). 4.2 Principe de fonctionnement de la jauge Les courants de mesure des capteurs (Bayard-Alpert et Pirani) sont convertis par un convertisseur de courant / fréquence en une fréquence qui varie en fonction de la valeur mesurée. Un microcontrôleur génère une valeur numérique comme référence pour la pression mesurée à partir de ce signal de fréquence. Cette valeur est disponible sous forme de signal de mesure analogique 0 … 10.2 V sur la sortie (broche 2 / broche 3), la gamme de mesure de pression valide étant comprise entre 0.774 V et 10.00 V (pression atmosphérique). Le signal de sortie est limité par le logiciel à 10.20 V. Outre la conversion des signaux de mesure, le microcontrôleur se charge de la surveillance des émissions et du calcul de la pression totale à partir des valeurs mesurées. 4.3 Dégazage Encrassement Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. filament), sont exclues de la garantie. La contamination des électrodes du système d'ionisation à cathode chaude peut entraîner des instabilités des valeurs de mesure. Dans ce cas, nous recommandons de procéder à l'étuvage (dégazage) de l'anode -6 à une pression de 7.2×10 hPa (courant d'émission 5 mA). L'étuvage se démarre, selon la configuration utilisée, à l'aide de l'appareil de mesure et de commande MaxiGauge™, d'un commutateur manuel ou automatiquement par la commande du système (p. ex. API). PBR 260 désactive l'étuvage automatiquement après 3 minutes s'il n'a pas été terminé auparavant. Le dégazage est amorcé par la commutation du signal de commande (broche 1) de OFF (0 V) à ON (24 V). Il est terminé par la commutation du signal de commande de ON (24 V) à OFF (0 V) ou automatiquement après 3 minutes. Pour un dégazage répété, le signal de commande doit d'abord commuter de ON (24 V) à OFF (0 V) et ensuite redémarrer le dégazage en commutant à ON (24 V). Pour éviter des états indéfinis, nous recommandons de remettre le signal du dégazage à OFF (0 V) par la commande du système après chaque étuvage de 3 minutes. Pendant le dégazage, la grille du collecteur d'électrons est chauffée à ≈ 700 °C par bombardement d'électrons. 18 BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 5 Maintenance 5.1 Maintenance DANGER DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. 5.2 Ajustement de la jauge La jauge est étalonnée en usine. L'utilisation de la jauge dans un climat différent ou une autre position de montage, son vieillissement, des impuretés (→ 18) ou l'échange du capteur (→ 23) peuvent provoquer une dérive de la courbe caractéristique et un ajustage peut devenir nécessaire. Seul le système Pirani peut être ajusté. Ajustement vide élevé Lors de chaque mise en circuit de la jauge, le circuit de mesure Pirani est automatiquement compensé par le circuit de mesure à cathode chaude (lorsque la pression est pour la première fois comprise dans la gamme p = 1 … 3×10-3 hPa). Ajustement atmosphérique Outillage requis Procédure à suivre • Goupille ø ≈ 1.3 × 50 mm (p. ex. un trombone déplié) Laisser la jauge en circuit pendant ≈ 10 minutes à pression atmosphérique. Si la jauge était auparavant au mode d'ionisation à cathode chaude, il faut la laisser refroidir pendant ≈ 30 minutes (température de jauge = température ambiante). Insérer la goupille dans l'ouverture <ATM> et appuyer sur la touche pendant ≥ 5 secondes. BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR260.mdu 19 Compensation du point zéro Outillage requis Procédure à suivre Une compensation du point zéro est recommandée • après un remplacement du capteur • dans le cadre des activités de maintenance habituelles en vue de l'assurance qualité. • Goupille ø ≈ 1.3 × 50 mm (p. ex. un trombone déplié) Cette compensation se fait également par la touche pour l'ajustement atmosphérique (→ plus haut). Laisser la jauge en circuit pendant ≈ 10 minutes à une pression ≤ 1×10-4 hPa. Insérer la goupille dans l'ouverture <ATM> et appuyer sur la touche pendant 2 secondes. La procédure de compensation dure 2 minutes et se déroule automatiquement. 5.3 Nettoyage de la jauge Les petits dépôts sur le système d'électrodes peuvent être éliminés par étuvage de l'anode (dégazage → 18). En présence d'un encrassement important, le baffle peut être remplacé (→ 22). Le capteur ne peut sinon pas être nettoyé et doit être remplacé en présence d'un encrassement important (→ 23). Un chiffon humecté suffit en général pour un nettoyage externe. Les détergents agressifs et les récurants ne conviennent pas pour ce nettoyage. Attention S'assurer qu'aucun liquide ne pénètre dans le matériel. Laisser sécher celui-ci complètement avant de le remettre en circuit. 5.4 Montage du baffle Durant les procédés très salissants et lorsque les électrodes de mesure doivent être protégées contre la lumière et les particules rapides, il est recommandé de remplacer la grille installée en usine par le baffle disponible en option (→ 26). Attention Attention : zone sensible à la pollution Si le produit ou des composants du produit sont touchés à mains nues le taux de dégazage est augmenté. Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils propres. Pièces / outillage requis 20 • Baffle neuf (→ 26) • Pince à bouts pointus • Goupille (p. ex. crayon) BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 Procédure à suivre a) Enlever avec précaution la grille à l'aide de la pince à bouts pointus. b) Déposer avec précaution le baffle sur l'entrée du capteur. c) Enfoncer avec précaution le baffle au centre à l'aide d'une goupille jusqu'à ce qu'il s'enclenche. BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR260.mdu 21 5.5 Remplacement du baffle En présence d'un encrassement important, le baffle peut être remplacé. Attention Attention : zone sensible à la pollution Si le produit ou des composants du produit sont touchés à mains nues le taux de dégazage est augmenté. Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils propres. Pièces / outillage requis Procédure à suivre • Baffle neuf (→ 26) • Tournevis n° 1 • Goupille (p. ex. crayon) a) Démonter avec précaution le baffle à l'aide du tournevis. b) Déposer avec précaution le baffle neuf sur l'entrée du capteur. c) Enfoncer avec précaution le baffle au centre à l'aide de la goupille jusqu'à ce qu'il s'enclenche. 22 BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 5.6 Remplacement du capteur Remplacement requis lorsque • le capteur est fortement encrassé • le capteur est défectueux, p. ex. parce que le filament incandescent est cassé. Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que pièces d'usure (p. ex. filament), sont exclues de la garantie. Outillage / matériel requis Procédure à suivre • Clé pour vis à six pans creux de 2.5 • Capteur de rechange (→ 26) a) Démonter la jauge (→ 24). b) Démonter l'unité électronique du capteur défectueux puis la monter sur le nouveau capteur (→ 11). c) Monter la jauge (→ 9) d) Ajuster la jauge (→ 19). 5.7 Comportement en présence d'un défaut Défaut Cause possible Solution Aucun signal de mesure Absence d'alimentation Mettre l'alimentation en circuit Câble de raccordement défectueux ou mal branché Contrôler le câble de raccordement Jauge dans un état indéfini Mettre la jauge hors circuit puis la remettre en circuit (réinitialisation) Signal de mesure 0.3 V Erreur de la cathode chaude (capteur défectueux) Remplacer le capteur (→ 23) Signal de mesure 0.5 V Erreur Pirani (capteur défectueux) Remplacer le capteur (→ 23) L'unité électronique n'est Contrôler le raccordement pas correctement installée sur le capteur Pas de commutation sur mesure BA en présence de faibles pressions Point zéro Pirani hors tolérance Procéder à la compensation du point zéro (→ 20) En présence d'une erreur, il est recommandé de d'abord couper la tension de service puis de la rétablir après 5 secondes. BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR260.mdu 23 6 Démontage DANGER DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Attention Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. Procédure à suivre Remettre le système à vide à la pression atmosphérique. Mettre la jauge hors circuit. Détacher le câble de mesure. Démonter la jauge de la chambre à vide. 24 BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 Mettre le protecteur en place. BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR260.mdu 25 7 Retour du produit AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : transport de produits contaminés Les produits qui nous sont envoyés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives (p. ex. radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques). Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Inclure une déclaration de contamination remplie *). *) Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com. En absence de confirmation univoque que le produit est "exempt de substances nocives", le produit est décontaminé aux frais du client. Si vous envoyez le produit à notre S.A.V. en vue de sa maintenance, utilisez un emballage étanche, résistant aux chocs. 8 Options Numéro de référence Câble de raccordement pour utilisation avec appareil de mesure et de commande MaxiGauge™ 3m 6m 10 m Prise de raccordement, Hirschmann GO 6 WF, à 6 pôles, coudée, douilles PT 448 250-T PT 448 251-T PT 448 252-T B 4707 283 MA Extension, 100 mm PT 590 300-T Baffle PT 120 125-T 9 Pièces de rechange Les commandes de pièces de rechange doivent toujours comprendre • toutes les indications figurant sur la plaque signalétique • Description et numéro de référence selon la liste des pièces de rechange Numéro de référence Capteur PBR 260, bride DN 25 ISO-KF PT 120 121-T (clé pour vis à six pans fournie) Capteur PBR 260, bride DN 40 ISO-KF PT 120 122-T (clé pour vis à six pans fournie) Capteur PBR 260, bride DN 40 CF-R PT 120 123-T (clé pour vis à six pans fournie) Unité électronique PBR 260 PT 120 120-T (clé pour vis à six pans fournie) 26 BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 10 Recyclage DANGER DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : substances polluantes Les composants électriques doivent être triés en vue de recyclage. Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Tri des composants BG 5171 BFR / B Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. (2017-02) PBR260.mdu 27 Annexe A: Table de conversion des unités de pression mbar bar Pa hPa kPa Torr mm HG mbar bar Pa hPa kPa 1 1×103 0.01 1 10 1×10-3 1 1×10-5 1×10-3 0.01 100 1×105 1 100 1×103 1 1×103 0.01 1 10 0.1 100 1×10-3 0.1 1 Torr mm HG 0.75 750 7.5×10-3 0.75 7.5 1.332 1.332×10 133.32 1.3332 0.1332 1 -3 1 Pa = 1 N/m2 B: Rapport signal de mesure – pression p = 10(U-7.75)/0.75+c Formules de conversion Courbe de conversion U = 0.75×(logp-c)+7.75 U p c [V] [hPa] 0 [V] [Pa] 2 [V] [Torr] -0.125 Pression p [hPa] 1E+04 1E+03 1E+02 underrange 1E+01 1E+00 1E–02 1E–03 1E–04 Sensor error 1E–01 1E–05 1E–06 overrange 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 0.0 1.0 2.0 3.0 4.0 5.0 6.0 7.0 8.0 9.0 10.0 Signal de mesure U[V] 28 BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 Tableau de conversion Signal de mesure U [V] < 0.5 > 0.50 … < 0.774 0.774 1.00 1.75 2.5 3.25 4.00 4.75 5.50 6.25 7.00 7.75 8.50 9.25 10.00 > 10.00 … 10.20 V C: Pression p [Torr] [hPa] [Pa] Erreur du capteur (sensor error) Sous-dépassement de la gamme de mesure (underrange) 5×10-10 3.75×10-10 5×10-8 -9 -10 1×10 7.5×10 1×10-7 1×10-8 7.5×10-9 1×10-6 -7 -8 1×10 7.5×10 1×10-5 -6 -7 1×10 7.5×10 1×10-4 1×10-5 7.5×10-6 1×10-3 -4 -5 1×10 7.5×10 1×10-2 -3 -4 1×10 7.5×10 1×10-1 1×10-2 7.5×10-3 1×100 -1 -2 1×10 7.5×10 1×101 0 -1 1×10 7.5×10 1×102 1×101 7.5×100 1×103 2 1 1×10 7.5×10 1×104 3 2 1×10 7.5×10 1×105 Dépassement de la gamme de mesure (overrange) Dépendance du type de gaz Au-dessous de 10-3 hPa (gamme d'ionisation) Pour les gaz autres que l'air, la pression peut être déterminée au moyen d'une conversion simple : peff = C × pression affichée où type de gaz C air (N2, O2) Xe Kr Ar H2 Ne He 1.0 0.4 0.5 0.8 2.4 4.1 5.9 Les facteurs de conversion indiqués sont des valeurs moyennes. BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR260.mdu 29 Au-dessus de 10–2 hPa (gamme Pirani) p (hPa) 102 H2 He 8 6 4 Ne Air N2 O2 CO 2 CO2 Ar Gamme d'indication au-dessus de 10-2 hPa) 101 8 6 4 Freon 12 Kr 2 Xe 100 8 6 4 2 10–1 8 6 4 2 Vapeur d'eau 10–2 10–3 2 4 6 810–2 2 4 6 810–1 2 4 6 8 100 2 4 6 8 101 2 4 6 8 102 peff (hPa) Attention On rencontre souvent des mélanges de gaz et de vapeurs. Un enregistrement précis est alors uniquement possible à l'aide d'instruments de mesure à pression partielle. 30 BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR 260 Notes BG 5171 BFR / B (2017-02) PBR260.mdu 31 UN SEUL FOURNISSEUR DE SOLUTIONS DE VIDE Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service. UNE LARGE GAMME DE PRODUITS Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de produits. UN SAVOIR FAIRE THEORIQUE ET PRATIQUE Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation ! Nous vous assistons pour concevoir vos installations, grâce à un service de proximité de première qualité dans le monde entier. Êtes-vous à la recherche d'une solution de vide dédiée à vos besoins ? Contactez-nous : Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters ● Germany T +49 6441 802-0 [email protected] Pfeiffer Vacuum SAS ; France T +33 (0) 4 50 65 77 77 [email protected] www.pfeiffer-vacuum.com bg5171bf r / b ">
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