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GEMÜ C53 iComLine Vanne de régulation à commande motorisée Caractéristiques • Vanne de régulation pour applications ultra-pures dans l'industrie des semi-conducteurs • Actionneur linéaire haute résolution avec moteur pas à pas • Vanne à clapet à membrane reposant sur la série iComLine • Technologie éprouvée à membrane conique • Toutes les pièces en contact avec le fluide sont en PFA ou en PTFE • 1 million de cycles de commutation de régulation caractéristiques • Production en salle blanche (version HP), conforme à SEMI F 57 Description La vanne à clapet à membrane 2/2 voies GEMÜ C53 iComLine a été conçue pour les applications de régulation précises et complexes nécessaires à la fabrication des semi-conducteurs. Le principe d'étanchéité de la vanne repose sur la technologie PD (Plug Design) éprouvée de GEMÜ, c'est-à-dire que l'actionneur et le fluide sont séparés au moyen d'un clapet de régulation en PTFE. Le contour du clapet de régulation, la course de l'actionneur et les tailles de raccord peuvent être adaptés aux besoins spécifiques du client. De ce fait, la GEMÜ C53 iComLine répond à la quasi-totalité des exigences de l'industrie high-tech des semi-conducteurs en matière de régulation et de débit. Grâce à la combinaison d'un moteur pas à pas précis et de matériaux de corps ultra-purs, elle peut notamment être utilisée dans chaque usine de fabrication de semi-conducteurs pour les process de lithographie, de polissage mécanochimique et de gravure, tout comme pour les applications du domaine analytique. Détails techniques • • • • • • • • • • • • Température du fluide : 10 à 150 °C Température ambiante: 0 à 40 °C Pression de service : 0 à 6 bars Tailles du raccord: 1/4'' à 3/4'' Formes de corps : Corps à passage en ligne Types de raccordement : Flare l PrimeLock® l Super 300 Type Pillar® Matériaux du corps : PFA l PTFE TFM™ Matériau d'étanchéité: PTFE TFM™ Tension d'alimentation : 24 V DC Signaux d'entrée: 0 - 10 V l 4 - 20 mA Vitesse de positionnement : max. 2 mm/s Indice de protection : IP65 Données techniques en fonction de la configuration respective Informations complémentaires Webcode: GW-C53 Description du produit Description du produit 4 1 2 3 N° Désignation Matériaux 1 Actionneur Composants externes de l'actionneur en PVDF 2 PD de régulation PTFE TFM™ 3 Corps de vanne PFA, PTFE 4 Connexion électrique PPS Configurations possibles Taille du raccord Type de raccord Flare (codes 73, 75 77), PrimeLock (code PL) Flare (codes 73, 75 77), PrimeLock (code PL) Super 300 Pillar (code 79) Matériau du corps de vanne GEMÜ C53 PFA (code 30) PTFE (code 26) PTFE (code 26) 1/4“ - X X 3/8“ - X X 1/2“ X - X 3/4“ X - X 2 / 12 www.gemu-group.com Données pour la commande Données pour la commande Les données pour la commande offrent un aperçu des configurations standard. Contrôler la configuration possible avant de passer commande. Autres configurations sur demande. Codes de commande 1 Type Code Vanne à clapet en plastique, électrique 6 Matériau d'étanchéité C53 2 Taille du raccord PTFE Code 1/4", code international : 4 4 3/8", code international : 6 6 1/2", code international : 8 8 3/4", code international : 12 12 3 Forme du corps Corps de vanne 2 voies 24 V DC Raccord flare avec écrou d'accouplement CPFA 73 Raccord flare avec écrou d'accouplement PVDF 75 Raccord flare avec écrou d'accouplement PFA 77 Raccord Pillar type Super 300 79 Raccord PrimeLock PL 5 Matériau du corps de vanne PTFE modifié, polytétrafluorure d'éthylène 26 PFA, alcane alkoxyperfluoré 30 S1 Positionneur 0-10 V Position d'erreur Close V1 Code Taille d'actionneur 2 Diamètre du siège 9,55 mm 10 Clapet de régulation 2A Code 1 m³/h - prop. mod. R3234 1 m³/h - linéaire R3235 11 Version High Purity Code Code Positionneur 4-20 mA Position d'erreur Close 9 Type d'actionneur Code Code C1 8 Module de régulation D 4 Type de raccordement 5 7 Tension/Fréquence Code Code High Purity Code HP Exemple de référence Option de commande Code Description 1 Type C53 Vanne à clapet en plastique, électrique 2 Taille du raccord 12 3/4", code international : 12 3 Forme du corps D Corps de vanne 2 voies 4 Type de raccordement 75 Raccord flare avec écrou d'accouplement PVDF 5 Matériau du corps de vanne 30 PFA, alcane alkoxyperfluoré 6 Matériau d'étanchéité 5 PTFE 7 Tension/Fréquence C1 24 V DC 8 Module de régulation S1 Positionneur 4-20 mA Position d'erreur Close 9 Type d'actionneur 2A Taille d'actionneur 2 Diamètre du siège 9,55 mm 10 Clapet de régulation R3235 1 m³/h - linéaire 11 Version High Purity HP High Purity www.gemu-group.com 3 / 12 GEMÜ C53 Données techniques Données techniques Fluide Fluide de service : Convient pour les fluides neutres ou agressifs, sous la forme liquide ou gazeuse respectant les propriétés physiques et chimiques des matériaux du corps et de la membrane. Température Température du fluide : 10 — 150 °C Tenir compte du diagramme pression-température Température ambiante : 0 — 40 °C Température de stockage : -10 — 40 °C Pression Pression de service : 0 à 6 bar Température [°F] Plage d'utilisation autorisée Pression [PSI] Pression [bar] sur demande du client Température [°C] GEMÜ C53 4 / 12 www.gemu-group.com Données techniques Valeurs du Kv : Type proportionnel, clapet de régulation code R3234 Course en % 1/4‘‘ 3/8‘‘ 1/2‘‘ 3/4‘‘ 0,0 0,0 0,0 0,0 0,0 12,5 2,0 2,1 2,1 2,1 25,0 2,1 2,3 2,3 2,3 50,0 3,0 4,0 4,0 4,0 75,0 3,9 7,3 7,5 7,5 100,0 4,3 11,4 12,8 12,8 Valeur Kv en l/min Valeurs Kv en l/min Course Type linéaire, clapet de régulation code R3235 Course en % 1/4‘‘ 3/8‘‘ 1/2‘‘ 3/4‘‘ 0,0 0,0 0,0 0,0 0,0 12,5 2,2 2,3 2,3 2,3 25,0 2,9 3,7 3,7 3,7 50,0 4,0 6,5 7,4 7,4 75,0 4,2 9,8 11,1 11,1 100,0 4,3 13,0 14,8 14,8 Valeur Kv en l/min Valeurs Kv en l/min Course Autres courbes de valeurs Kv sur demande Vide : www.gemu-group.com 400 mbar absolus 5 / 12 GEMÜ C53 Données techniques Conformité du produit Directive Machines : 2006/42/UE Directive CEM : 2014/30/UE Immunité aux perturbations : DIN EN 61000-6-2 Émission d'interférences : DIN EN 61000-6-4 Données mécaniques Protection : IP 65 selon EN 60529 Poids : Taille du raccord Poids 1/4'‘ 660 g 3/8‘‘ 660 g 1/2'‘ 600 g 3/4'‘ 600 g Temps de marche et durée de vie Durée de vie : Fonctions d'ouverture/fermeture - Au moins 1 000 000 de cycles de commutation à température ambiante et avec temps de marche admissible. Fonction de régulation - Classe C selon EN 15714-2 (≙ 1 800 000 démarrages). Temps de marche : 60 % du temps de marche Données électriques Tension d'alimentation Tension : 24 V DC ± 10 % Puissance : ≤ 24 W (24 V DC) Protection en cas d’inversion de polarité : oui Signaux d'entrée analogiques Signal de consigne sous forme de signal de courant, module de régulation code S1 Signal d'entrée : 4 - 20 mA Type d'entrée : passive Résistance d'entrée : 50 Ω Précision de régulation : ±1 % Signal de consigne sous forme de signal de tension, module de régulation code V1 Signal d'entrée : 0 - 10 V Type d'entrée : passive Résistance d'entrée : 110 KΩ Précision de régulation : ±1 % GEMÜ C53 6 / 12 www.gemu-group.com Données techniques Signaux d'entrée digitaux Fonction : Initialisation du régulateur Tension : 24 V DC Niveau logique « 1 » : >15 V DC Niveau logique « 0 » : ≤ 5 V DC Signaux de sortie analogiques Signal de mesure sous forme de signal de courant, module de régulation code S1 Signal de sortie : 4 - 20 mA Type de sortie : active Résistance : 100 – 650 Ω Résistance aux courtscircuits : oui Signal de mesure sous forme de signal de tension, module de régulation code V1 Signal de sortie : 0 - 10 V Type de sortie : active Résistance aux courtscircuits : oui Comportement en cas d'erreur Fonctionnement : En cas d'erreur, la vanne se place en position d'erreur. Remarques : La position d'erreur peut uniquement être gagnée lorsque la tension d'alimentation est intégralement disponible. Ce comportement ne correspond pas à une position de sécurité. Pour assurer le fonctionnement en cas de panne de courant, la vanne doit être utilisée avec un module d'alimentation électrique de secours GEMÜ 1571 (voir accessoires). Position d'erreur : www.gemu-group.com Fermée 7 / 12 GEMÜ C53 Dimensions Dimensions Taille du raccord Type d'actionneur 1/4" 3/8" 1/2" 3/4" 2A 2A 2A 2A A1 A5 Flare Raccord 131,0 146,0 50,0 71,0 50,0 16,0 111,0 71,0 49,0 6,0 12,0 PrimeLock 131,0 146,0 50,0 71,0 50,0 16,0 109,0 71,0 49,0 6,0 12,0 Pillar 131,0 146,0 50,0 71,0 50,0 16,0 88,0 71,0 49,0 6,0 12,0 Flare 131,0 146,0 50,0 71,0 50,0 16,0 117,8 71,0 49,0 6,0 12,0 PrimeLock 131,0 146,0 50,0 71,0 50,0 16,0 113,0 71,0 49,0 6,0 12,0 Pillar 131,0 146,0 50,0 71,0 50,0 16,0 100,0 71,0 49,0 6,0 12,0 Flare 131,0 146,0 50,0 71,0 50,0 16,0 121,6 31,0 63,5 6,0 12,0 PrimeLock 131,0 146,0 50,0 71,0 50,0 16,0 120,0 31,0 63,5 6,0 12,0 Pillar 131,0 146,0 50,0 71,0 50,0 16,0 108,0 71,0 49,0 6,0 12,0 Flare 131,0 146,0 50,0 71,0 50,0 16,0 128,0 31,0 63,5 6,0 12,0 PrimeLock 131,0 146,0 50,0 71,0 50,0 16,0 128,0 31,0 63,5 6,0 12,0 Pillar 131,0 146,0 50,0 71,0 50,0 16,0 108,0 71,0 49,0 6,0 12,0 ■B B1 E H2 L N1 N2 ØN3 N4 Dimensions en mm GEMÜ C53 8 / 12 www.gemu-group.com Connexion électrique Connexion électrique Position des connecteurs X1 Connexion électrique Connexion X1 2 3 5 1 4 Prise encastrable M12 5 pôles. Code A Broche Nom du signal 1 24 V tension d'alimentation 2 I+/U+, entrée du signal de consigne 3 masse 4 I+/U+, sortie du signal de recopie 5 Entrée digitale 1 www.gemu-group.com 9 / 12 GEMÜ C53 Caractéristiques de la vanne Caractéristiques de la vanne Pression d'éclatement à température ambiante Vanne C53 Composant Corps de vanne Conditions d'essai Maintenir une pression d'eau définie pendant 10 min, si OK augmenter la pression de l'eau jusqu'à ce que des fuites soient détectées. Critères prescrits Pas de fuites vers l'extérieur. Pression d'éclatement = 5,8 x P max. (35,0 bar) Durée de vie à température ambiante Vanne Composant Conditions d'essai Critères prescrits C53 Vanne Vannes actionnées à température ambiante, pression du fluide 6 bar, eau, course complète Pas de fuites vers l'extérieur ni par le siège jusqu'à 1 million de cycles de commutation* C53 Vanne Vannes actionnées à température ambiante, pression du fluide 6 bar, eau, 20 % de la course de régulation Pas de fuites vers l'extérieur ni par le siège jusqu'à 1 million de cycles de commutation* Essai avec huile chaude Vanne C53 Composant Vanne Conditions d'essai Critères prescrits Vannes actionnées à une température d'huile Pas de fuites vers l'extérieur ni chaude de 150 °C, par le siège pendant 300 000 cycles de commupression du fluide 2 bar, course complète, ferme- tation* sur 2 semaines ture étanche Essai avec eau chaude Vanne C53 Composant Vanne Conditions d'essai Vannes actionnées à une température d'eau chaude de 90 °C, pression du fluide 2,1 bar, course complète, fermeture étanche Critères prescrits Pas de fuites vers l'extérieur ni par le siège pendant 200 000 cycles de commutation*sur 2 semaines Essai avec variation de température Vanne C53 Composant Vanne Conditions d'essai Critères prescrits Vannes non actionnées soumises à un change- Contrôle de l'indice de protection IP 65 réussi, ment de température de -15 °C / +70 °C, pas de pénétration d'humidité décelable dans pas de fluide, pas de pression, durée de cycle de l'actionneur 4 heures Essai avec dépression Vanne C53 Composant Vanne Conditions d'essai Fermée pendant 2 semaines Critères prescrits Ouverture complète de la vanne à -930 mbar (relatifs) Contrôle du régulateur Vanne C53 Composant Conditions d'essai Actionneur Test de modulation avec 10 % de la course et de régulation 20 % de la force, à température ambiante Critères prescrits 1,8 million de démarrages * Tous les tests finaux ont été effectués avec une pression d'essai à température ambiante. Étanchéité du siège : PSx1,1 =(6,6 bar). Étanchéité vers l'extérieur : PSx1,5 =(9 bar). GEMÜ C53 10 / 12 www.gemu-group.com Accessoires Accessoires GEMÜ 1219 Connecteur femelle / connecteur mâle M12 Pour GEMÜ 1219, il s'agit d'un connecteur (connecteur femelle / connecteur mâle) M12, 5 pôles. Forme du connecteur droite et/ou coudée à 90°. Longueur de câble définie ou à câbler librement avec raccord fileté. Différents matériaux disponibles pour la bague filetée. Informations pour la commande Description Longueur 5 pôles, coudé 5 pôles, droit Matériau Numéro d'article À câbler PA 88208750 2 m de câble PA / PUR 88221316 5 m de câble PA / PUR 88279160 2 m de câble PA / PTFE 88708098 5 m de câble PA / PTFE 88708099 10 m de câble PA / PVC 88708102 À câbler PA 88208749 2 m de câble PA / PUR 88353742 5 m de câble PA / PUR 88440263 2 m de câble PA / PTFE 88708100 5 m de câble PA / PTFE 88708101 GEMÜ 1571 Module d'alimentation électrique de secours Le module d'alimentation électrique de secours capacitif GEMÜ 1571 est conçu pour les vannes équipées d'actionneurs motorisés tels que GEMÜ eSyStep et eSyDrive. En cas de panne de tension d'alimentation, le produit fournit une alimentation électrique ininterrompue afin que la vanne puisse être mise en position de sécurité. Le module d'alimentation électrique de secours a une capacité de 1700Ws. La tension d'entrée et de sortie est 24 V. Informations pour la commande GEMÜ 1571 Module d'alimentation électrique de secours Tension d'entrée Tension de sortie Capacité Numéro d'article 24 V 24 V 1700 Ws 88660398 GEMÜ 1573 Alimentation à découpage L'alimentation à découpage GEMÜ 1573 convertit des tensions d'entrée non stabilisées de 100 à 240 V AC en une tension continue constante. Elle peut être utilisée comme accessoire pour les vannes ayant un actionneur motorisé telles que GEMÜ eSyStep et eSyDrive et pour d'autres appareils ayant une tension d'alimentation de 24V DC. Différentes puissances, différents courants de sortie ainsi qu'un modèle 48V DC pour actionneurs ServoDrive sont disponibles. Informations pour la commande Description Tension d'entrée Tension de sortie Courant de sortie Numéro d'article Bloc d'alimentation 24 V, 5 A 100 - 240 V AC 24 V DC 5A 88660400 Bloc d'alimentation 24 V, 10 A 100 - 240 V AC 24 V DC 10 A 88660401 www.gemu-group.com 11 / 12 GEMÜ C53 Sujet à modification | 02.2021 | 88716072 GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG Fritz-Müller-Straße 6-8 D-74653 Ingelfingen-Criesbach Tel. +49 (0)7940 123-0 · [email protected] www.gemu-group.com