GEMÜ C53 iComLine
Vanne de régulation à commande motorisée
Caractéristiques
• Vanne de régulation pour applications ultra-pures dans
l'industrie des semi-conducteurs
• Actionneur linéaire haute résolution avec moteur pas à pas
• Vanne à clapet à membrane reposant sur la série iComLine
• Technologie éprouvée à membrane conique
• Toutes les pièces en contact avec le fluide sont en PFA ou en
PTFE
• 1 million de cycles de commutation de régulation
caractéristiques
• Production en salle blanche (version HP), conforme à SEMI F
57
Description
La vanne à clapet à membrane 2/2 voies GEMÜ C53 iComLine a été conçue pour les applications de régulation précises et complexes nécessaires à la fabrication des semi-conducteurs. Le principe d'étanchéité de la vanne repose sur la technologie PD
(Plug Design) éprouvée de GEMÜ, c'est-à-dire que l'actionneur et le fluide sont séparés au moyen d'un clapet de régulation en
PTFE. Le contour du clapet de régulation, la course de l'actionneur et les tailles de raccord peuvent être adaptés aux besoins
spécifiques du client. De ce fait, la GEMÜ C53 iComLine répond à la quasi-totalité des exigences de l'industrie high-tech des semi-conducteurs en matière de régulation et de débit. Grâce à la combinaison d'un moteur pas à pas précis et de matériaux de
corps ultra-purs, elle peut notamment être utilisée dans chaque usine de fabrication de semi-conducteurs pour les process de lithographie, de polissage mécanochimique et de gravure, tout comme pour les applications du domaine analytique.
Détails techniques
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
Température du fluide : 10 à 150 °C
Température ambiante: 0 à 40 °C
Pression de service : 0 à 6 bars
Tailles du raccord: 1/4'' à 3/4''
Formes de corps : Corps à passage en ligne
Types de raccordement : Flare l PrimeLock® l Super 300 Type Pillar®
Matériaux du corps : PFA l PTFE TFM™
Matériau d'étanchéité: PTFE TFM™
Tension d'alimentation : 24 V DC
Signaux d'entrée: 0 - 10 V l 4 - 20 mA
Vitesse de positionnement : max. 2 mm/s
Indice de protection : IP65
Données techniques en fonction de la configuration respective
Informations
complémentaires
Webcode: GW-C53
Description du produit
Description du produit
4
1
2
3
N°
Désignation
Matériaux
1
Actionneur
Composants externes de l'actionneur en
PVDF
2
PD de régulation
PTFE TFM™
3
Corps de vanne
PFA, PTFE
4
Connexion électrique
PPS
Configurations possibles
Taille du raccord
Type de raccord
Flare (codes 73, 75 77), PrimeLock (code PL)
Flare (codes 73, 75 77), PrimeLock (code PL)
Super 300 Pillar (code 79)
Matériau du corps de vanne
GEMÜ C53
PFA (code 30)
PTFE (code 26)
PTFE (code 26)
1/4“
-
X
X
3/8“
-
X
X
1/2“
X
-
X
3/4“
X
-
X
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Données pour la commande
Données pour la commande
Les données pour la commande offrent un aperçu des configurations standard.
Contrôler la configuration possible avant de passer commande. Autres configurations sur demande.
Codes de commande
1 Type
Code
Vanne à clapet en plastique, électrique
6 Matériau d'étanchéité
C53
2 Taille du raccord
PTFE
Code
1/4", code international : 4
4
3/8", code international : 6
6
1/2", code international : 8
8
3/4", code international : 12
12
3 Forme du corps
Corps de vanne 2 voies
24 V DC
Raccord flare avec écrou d'accouplement CPFA
73
Raccord flare avec écrou d'accouplement PVDF
75
Raccord flare avec écrou d'accouplement PFA
77
Raccord Pillar type Super 300
79
Raccord PrimeLock
PL
5 Matériau du corps de vanne
PTFE modifié, polytétrafluorure d'éthylène
26
PFA, alcane alkoxyperfluoré
30
S1
Positionneur 0-10 V
Position d'erreur Close
V1
Code
Taille d'actionneur 2
Diamètre du siège 9,55 mm
10 Clapet de régulation
2A
Code
1 m³/h - prop. mod.
R3234
1 m³/h - linéaire
R3235
11 Version High Purity
Code
Code
Positionneur 4-20 mA
Position d'erreur Close
9 Type d'actionneur
Code
Code
C1
8 Module de régulation
D
4 Type de raccordement
5
7 Tension/Fréquence
Code
Code
High Purity
Code
HP
Exemple de référence
Option de commande
Code
Description
1 Type
C53
Vanne à clapet en plastique, électrique
2 Taille du raccord
12
3/4", code international : 12
3 Forme du corps
D
Corps de vanne 2 voies
4 Type de raccordement
75
Raccord flare avec écrou d'accouplement PVDF
5 Matériau du corps de vanne
30
PFA, alcane alkoxyperfluoré
6 Matériau d'étanchéité
5
PTFE
7 Tension/Fréquence
C1
24 V DC
8 Module de régulation
S1
Positionneur 4-20 mA
Position d'erreur Close
9 Type d'actionneur
2A
Taille d'actionneur 2
Diamètre du siège 9,55 mm
10 Clapet de régulation
R3235
1 m³/h - linéaire
11 Version High Purity
HP
High Purity
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GEMÜ C53
Données techniques
Données techniques
Fluide
Fluide de service :
Convient pour les fluides neutres ou agressifs, sous la forme liquide ou gazeuse respectant les propriétés physiques et chimiques des matériaux du corps et de la membrane.
Température
Température du fluide :
10 — 150 °C
Tenir compte du diagramme pression-température
Température ambiante :
0 — 40 °C
Température de stockage :
-10 — 40 °C
Pression
Pression de service :
0 à 6 bar
Température [°F]
Plage d'utilisation
autorisée
Pression [PSI]
Pression [bar]
sur demande du client
Température [°C]
GEMÜ C53
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Données techniques
Valeurs du Kv :
Type proportionnel, clapet de régulation code R3234
Course en %
1/4‘‘
3/8‘‘
1/2‘‘
3/4‘‘
0,0
0,0
0,0
0,0
0,0
12,5
2,0
2,1
2,1
2,1
25,0
2,1
2,3
2,3
2,3
50,0
3,0
4,0
4,0
4,0
75,0
3,9
7,3
7,5
7,5
100,0
4,3
11,4
12,8
12,8
Valeur Kv en l/min
Valeurs Kv en l/min
Course
Type linéaire, clapet de régulation code R3235
Course en %
1/4‘‘
3/8‘‘
1/2‘‘
3/4‘‘
0,0
0,0
0,0
0,0
0,0
12,5
2,2
2,3
2,3
2,3
25,0
2,9
3,7
3,7
3,7
50,0
4,0
6,5
7,4
7,4
75,0
4,2
9,8
11,1
11,1
100,0
4,3
13,0
14,8
14,8
Valeur Kv en l/min
Valeurs Kv en l/min
Course
Autres courbes de valeurs Kv sur demande
Vide :
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400 mbar absolus
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GEMÜ C53
Données techniques
Conformité du produit
Directive Machines :
2006/42/UE
Directive CEM :
2014/30/UE
Immunité aux perturbations :
DIN EN 61000-6-2
Émission d'interférences : DIN EN 61000-6-4
Données mécaniques
Protection :
IP 65 selon EN 60529
Poids :
Taille du raccord
Poids
1/4'‘
660 g
3/8‘‘
660 g
1/2'‘
600 g
3/4'‘
600 g
Temps de marche et durée de vie
Durée de vie :
Fonctions d'ouverture/fermeture - Au moins 1 000 000 de cycles de commutation à température
ambiante et avec temps de marche admissible.
Fonction de régulation - Classe C selon EN 15714-2 (≙ 1 800 000 démarrages).
Temps de marche :
60 % du temps de marche
Données électriques
Tension d'alimentation
Tension :
24 V DC ± 10 %
Puissance :
≤ 24 W (24 V DC)
Protection en cas d’inversion de polarité :
oui
Signaux d'entrée analogiques
Signal de consigne sous forme de signal de courant, module de régulation code S1
Signal d'entrée :
4 - 20 mA
Type d'entrée :
passive
Résistance d'entrée :
50 Ω
Précision de régulation :
±1 %
Signal de consigne sous forme de signal de tension, module de régulation code V1
Signal d'entrée :
0 - 10 V
Type d'entrée :
passive
Résistance d'entrée :
110 KΩ
Précision de régulation :
±1 %
GEMÜ C53
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Données techniques
Signaux d'entrée digitaux
Fonction :
Initialisation du régulateur
Tension :
24 V DC
Niveau logique « 1 » :
>15 V DC
Niveau logique « 0 » :
≤ 5 V DC
Signaux de sortie analogiques
Signal de mesure sous forme de signal de courant, module de régulation code S1
Signal de sortie :
4 - 20 mA
Type de sortie :
active
Résistance :
100 – 650 Ω
Résistance aux courtscircuits :
oui
Signal de mesure sous forme de signal de tension, module de régulation code V1
Signal de sortie :
0 - 10 V
Type de sortie :
active
Résistance aux courtscircuits :
oui
Comportement en cas d'erreur
Fonctionnement :
En cas d'erreur, la vanne se place en position d'erreur.
Remarques : La position d'erreur peut uniquement être gagnée lorsque la tension d'alimentation est
intégralement disponible. Ce comportement ne correspond pas à une position de sécurité. Pour assurer le fonctionnement en cas de panne de courant, la vanne doit être utilisée avec un module
d'alimentation électrique de secours GEMÜ 1571 (voir accessoires).
Position d'erreur :
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Fermée
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GEMÜ C53
Dimensions
Dimensions
Taille du raccord Type d'actionneur
1/4"
3/8"
1/2"
3/4"
2A
2A
2A
2A
A1
A5
Flare
Raccord
131,0
146,0
50,0 71,0 50,0 16,0 111,0
71,0 49,0 6,0
12,0
PrimeLock
131,0
146,0
50,0 71,0 50,0 16,0 109,0
71,0 49,0 6,0
12,0
Pillar
131,0
146,0
50,0 71,0 50,0 16,0 88,0
71,0 49,0 6,0
12,0
Flare
131,0
146,0
50,0 71,0 50,0 16,0 117,8
71,0 49,0 6,0
12,0
PrimeLock
131,0
146,0
50,0 71,0 50,0 16,0 113,0
71,0 49,0 6,0
12,0
Pillar
131,0
146,0
50,0 71,0 50,0 16,0 100,0
71,0 49,0 6,0
12,0
Flare
131,0
146,0
50,0 71,0 50,0 16,0 121,6
31,0 63,5 6,0
12,0
PrimeLock
131,0
146,0
50,0 71,0 50,0 16,0 120,0
31,0 63,5 6,0
12,0
Pillar
131,0
146,0
50,0 71,0 50,0 16,0 108,0
71,0 49,0 6,0
12,0
Flare
131,0
146,0
50,0 71,0 50,0 16,0 128,0
31,0 63,5 6,0
12,0
PrimeLock
131,0
146,0
50,0 71,0 50,0 16,0 128,0
31,0 63,5 6,0
12,0
Pillar
131,0
146,0
50,0 71,0 50,0 16,0 108,0
71,0 49,0 6,0
12,0
■B
B1
E
H2
L
N1
N2
ØN3
N4
Dimensions en mm
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Connexion électrique
Connexion électrique
Position des connecteurs
X1
Connexion électrique
Connexion X1
2
3
5
1
4
Prise encastrable M12 5 pôles. Code A
Broche
Nom du signal
1
24 V tension d'alimentation
2
I+/U+, entrée du signal de consigne
3
masse
4
I+/U+, sortie du signal de recopie
5
Entrée digitale 1
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GEMÜ C53
Caractéristiques de la vanne
Caractéristiques de la vanne
Pression d'éclatement à température ambiante
Vanne
C53
Composant
Corps de
vanne
Conditions d'essai
Maintenir une pression d'eau définie pendant
10 min,
si OK augmenter la pression de l'eau jusqu'à ce
que des fuites soient détectées.
Critères prescrits
Pas de fuites vers l'extérieur.
Pression d'éclatement = 5,8 x P max. (35,0 bar)
Durée de vie à température ambiante
Vanne
Composant
Conditions d'essai
Critères prescrits
C53
Vanne
Vannes actionnées à température ambiante,
pression du fluide 6 bar, eau, course complète
Pas de fuites vers l'extérieur
ni par le siège jusqu'à 1 million de cycles de
commutation*
C53
Vanne
Vannes actionnées à température ambiante,
pression du fluide 6 bar, eau, 20 % de la course
de régulation
Pas de fuites vers l'extérieur
ni par le siège jusqu'à 1 million de cycles de
commutation*
Essai avec huile chaude
Vanne
C53
Composant
Vanne
Conditions d'essai
Critères prescrits
Vannes actionnées à une température d'huile
Pas de fuites vers l'extérieur ni
chaude de 150 °C,
par le siège pendant 300 000 cycles de commupression du fluide 2 bar, course complète, ferme- tation* sur 2 semaines
ture étanche
Essai avec eau chaude
Vanne
C53
Composant
Vanne
Conditions d'essai
Vannes actionnées à une température d'eau
chaude de 90 °C,
pression du fluide 2,1 bar, course complète, fermeture étanche
Critères prescrits
Pas de fuites vers l'extérieur ni
par le siège pendant 200 000 cycles de commutation*sur 2 semaines
Essai avec variation de température
Vanne
C53
Composant
Vanne
Conditions d'essai
Critères prescrits
Vannes non actionnées soumises à un change- Contrôle de l'indice de protection IP 65 réussi,
ment de température de -15 °C / +70 °C,
pas de pénétration d'humidité décelable dans
pas de fluide, pas de pression, durée de cycle de l'actionneur
4 heures
Essai avec dépression
Vanne
C53
Composant
Vanne
Conditions d'essai
Fermée pendant 2 semaines
Critères prescrits
Ouverture complète de la vanne à -930 mbar (relatifs)
Contrôle du régulateur
Vanne
C53
Composant
Conditions d'essai
Actionneur
Test de modulation avec 10 % de la course et
de régulation 20 % de la force,
à température ambiante
Critères prescrits
1,8 million de démarrages
* Tous les tests finaux ont été effectués avec une pression d'essai à température ambiante.
Étanchéité du siège : PSx1,1 =(6,6 bar). Étanchéité vers l'extérieur : PSx1,5 =(9 bar).
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Accessoires
Accessoires
GEMÜ 1219
Connecteur femelle / connecteur mâle M12
Pour GEMÜ 1219, il s'agit d'un connecteur (connecteur femelle / connecteur mâle) M12, 5 pôles. Forme du
connecteur droite et/ou coudée à 90°. Longueur de câble définie ou à câbler librement avec raccord fileté.
Différents matériaux disponibles pour la bague filetée.
Informations pour la commande
Description
Longueur
5 pôles, coudé
5 pôles, droit
Matériau
Numéro d'article
À câbler
PA
88208750
2 m de câble
PA / PUR
88221316
5 m de câble
PA / PUR
88279160
2 m de câble
PA / PTFE
88708098
5 m de câble
PA / PTFE
88708099
10 m de câble
PA / PVC
88708102
À câbler
PA
88208749
2 m de câble
PA / PUR
88353742
5 m de câble
PA / PUR
88440263
2 m de câble
PA / PTFE
88708100
5 m de câble
PA / PTFE
88708101
GEMÜ 1571
Module d'alimentation électrique de secours
Le module d'alimentation électrique de secours capacitif GEMÜ 1571 est conçu pour les vannes équipées
d'actionneurs motorisés tels que GEMÜ eSyStep et eSyDrive. En cas de panne de tension d'alimentation, le
produit fournit une alimentation électrique ininterrompue afin que la vanne puisse être mise en position de
sécurité. Le module d'alimentation électrique de secours a une capacité de 1700Ws. La tension d'entrée et
de sortie est 24 V.
Informations pour la commande
GEMÜ 1571 Module d'alimentation électrique de secours
Tension d'entrée
Tension de sortie
Capacité
Numéro d'article
24 V
24 V
1700 Ws
88660398
GEMÜ 1573
Alimentation à découpage
L'alimentation à découpage GEMÜ 1573 convertit des tensions d'entrée non stabilisées de 100 à 240 V AC
en une tension continue constante. Elle peut être utilisée comme accessoire pour les vannes ayant un actionneur motorisé telles que GEMÜ eSyStep et eSyDrive et pour d'autres appareils ayant une tension d'alimentation de 24V DC. Différentes puissances, différents courants de sortie ainsi qu'un modèle 48V DC
pour actionneurs ServoDrive sont disponibles.
Informations pour la commande
Description
Tension d'entrée Tension de sortie Courant de sortie Numéro d'article
Bloc d'alimentation 24 V, 5 A 100 - 240 V AC
24 V DC
5A
88660400
Bloc d'alimentation 24 V, 10 A 100 - 240 V AC
24 V DC
10 A
88660401
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GEMÜ C53
Sujet à modification | 02.2021 | 88716072
GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG
Fritz-Müller-Straße 6-8 D-74653 Ingelfingen-Criesbach
Tel. +49 (0)7940 123-0 · [email protected]
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">
