Pfeiffer TC 400 DN Mode d'emploi

MANUEL DE L’UTILISATEUR
FR
Traduction du manuel de l‘utilisateur
TC 400 DN
PT 0352 BFR/D (1711)
Unité de commande électronique
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1
1.2
2
Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.1 Consignes de sécurité. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.2 Pictogrammes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.3 Instruction dans le texte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.4 Abréviations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1
2.2
2.3
2.4
3
Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Conformité d’utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Non conformité d’utilisation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Sécurité fonctionnelle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.1
3.2
3.3
3.4
Identification du produit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.1.1 Caractéristiques du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.1.2 Contenu de la livraison . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Domaine d'application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Description générale des connexions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
4
Schéma de raccordement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
5
Raccord « DeviceNet » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
5.1
5.2
6
Connexions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Configurer le raccord . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
5.2.1 Adresse d’appareillage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
5.2.2 Baud . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
5.3 Configurer l’échange de données . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5.3.1 Échange de données explicite (connexion explicite) . . . . . . . . . . 12
5.3.2 Échange de données cyclique (connexion Poll I/O) . . . . . . . . . . . 13
5.4 Opération des LED . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.4.1 NET . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.4.2 MOD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.5 Objets DeviceNet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.5.1 Identity. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.5.2 Message Router . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.5.3 DeviceNet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.5.4 Assembly. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.5.5 Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5.5.6 Register. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.5.7 Discrete Input Point. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.5.8 Discrete Output Point . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.5.9 AC/DC Drive . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.5.10 S-Device Supervisor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.5.11 S-Analog Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.5.12 Interfaces . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.5.13 Process Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5.5.14 Types de données. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5.5.15 Services . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Raccord « remote » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.1
6.2
2
Affectation des connecteurs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Utilisation avec la connexion « remote » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
6.2.1 Sortie +24 V CC*/ broche 1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
6.2.2 Entrées . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Table des matières
7
6.2.3 Sorties . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
6.2.4 Contacts à relais (inversible) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
6.2.5 RS-485 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
7.1
8
Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
7.1.1 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
7.2 Vue d'ensemble des paramètres . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
7.2.1 Explication. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
7.2.2 Utilisation avec DCU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
7.2.3 Ordres de réglage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
7.2.4 Demandes d'état . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
7.2.5 Valeurs de consigne prédéfinies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
7.3 Configurer raccords . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
7.3.1 Raccordement accessoires. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
7.3.2 Sorties numériques et relais au niveau de « remote » . . . . . . . . . 33
7.3.3 Entrées numériques sur « remote » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
7.3.4 Sortie analogique sur « remote » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
7.3.5 Entrée analogique sur « remote ». . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
7.3.6 Commande via interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
7.4 Travail avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum. . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
7.4.1 Réglages en usine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
7.4.2 Vérifier réglages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
7.4.3 Exploitation en fonction du type de gaz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
7.4.4 Valeur prédéfinie puissance absorbée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
7.4.5 Temps d'accélération. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
7.4.6 Réglez le point de commutation de la vitesse de rotation . . . . . . . 36
7.4.7 Mode Réglage de la vitesse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
7.4.8 Standby . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
7.4.9 Valeurs prédéfinies de vitesse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
7.4.10 Mode d'exploitation pompe primaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
7.4.11 Mode Stand-by de la pompe primaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
7.4.12 Exploitation avec périphérique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
7.4.13 Modes de remise à l’air . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
7.4.14 Surveillance de la charge thermique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
7.5 Mise en marche / mise hors circuit de la pompe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
7.5.1 Mise en circuit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
7.5.2 Arrêt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
8.1
8.2
8.3
9
Cadre de télégramme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
Télégrammes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
8.2.1 Exemple 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
8.2.2 Exemple 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
Types de données utilisées. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
Dysfonctionnements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
9.1
9.2
9.3
Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
Affichage du mode d’utilisation par les diodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
Codes d'erreur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
9.3.1 Utilisation avec DCU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
3
A propos de ce manuel
1
A propos de ce manuel
1.1
Validité
Ce manuel de l’utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le
fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les
informations fournies dans ce manuel de l’utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a
pas apporté de modifications au produit.
Les manuels de l’utilisateur valides sont également disponibles sur Internet sur
www.pfeiffer-vacuum.com.
1.2
Conventions
1.2.1
Consignes de sécurité
Les consignes de sécurité des manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum sont le résultat
d'évaluations et d'analyses de risques et sont inspirées des normes de certification UL,
CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO 3864 et DIN 4844. Le présent document détaille les
niveaux de danger et informations suivants :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant la mort ou des blessures graves.
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent pouvant entraîner la mort ou des blessures graves.
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent pouvant entraîner des blessures légères.
AVIS
Injonction ou indication
Invitation à procéder à une action ou information au sujet de points dont le non-respect
peut conduire à la détérioration du produit.
4
A propos de ce manuel
1.2.2
Pictogrammes
Interdiction d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de
cette interdiction peut générer des accidents graves
Avertissement contre le danger représenté par le symbole.
Obligation d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de
cette obligation peut générer des accidents graves.
Informations importantes concernant le produit ou le présent document
1.2.3
Instruction dans le texte
 Instruction de travail : vous devez exécuter une opération à cet endroit.
1.2.4
Abréviations
DCU :
Display Control Unit
HPU :
Handheld Programming Unit
TC :
Commande électronique d'entraînement de la pompe turbomoléculaire
DN:
la version DeviceNet
TPS :
Bloc d'alimentation
DI / DO:
Entrée numérique / Sortie numérique
AI / AO:
Entrée analogique / Sortie analogique
f:
Vitesse de rotation (dérivée de la fréquence en Hz)
[P:000]:
Paramètres de la commande électronique d'entraînement avec numéro
5
Sécurité
2
Sécurité
2.1
Consignes de sécurité
Obligation d'information
Toute personne intervenant dans l'installation ou l'exploitation de l'appareil doit lire et
respecter les passages relatifs à la sécurité de cette notice d'instructions.
 L'exploitant est tenu d'attirer l'attention de tout opérateur sur les risques inhérents à
l'appareil ou à l'ensemble de l'installation.
AVERTISSEMENT
Risque lié à une installation électrique non conforme
La sécurité du fonctionnement après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant.
 Ne procédez à aucune transformation ou modification du produit de votre propre initiative.
 Assurez une intégration correcte dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité.
 Pour toute demande spécifique, contacter Pfeiffer Vacuum.
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution
En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension.
 Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour
pouvoir défaire le branchement à tout moment.
● Alimentation électrique : L'alimentation électrique de la pompe turbomoléculaire
doit répondre aux exigences de double isolation entre la tension d'entrée du secteur
et la tension de fonctionnement selon CEI 61010 et CEI 60950. Pfeiffer Vacuum recommande à cet effet d'utiliser des blocs d’alimentation électrique et accessoires
d'origine. Dans ce cas uniquement, Pfeiffer Vacuum peut garantir la confomité aux
exigences des directives européennes et nord-américaines.
● Respectez toutes les prescriptions de sécurité et de prévention des risques.
● Un raccord avec le conducteur de protection (PE) est recommandé (classe de
protection III).
● Vérifiez régulièrement que toutes les mesures de précaution sont respectées.
● Avant toute opération, débranchez l'appareil et toutes les installations qui y sont reliées du secteur.
● Pendant le fonctionnement, ne pas desserrer ou retirer les connecteurs.
● L'appareil présente le type de protection IP 54. En cas d'incorporation dans des environnements exigeant d'autres types de protection, il faudra prendre des mesures correspondantes.
● Le type de protection IP 54 ne peut être atteint qu'avec des bouchons en caoutchouc
bien positionnés sur le sélecteur d'adresse.
● Les conduites et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces
chaudes (> 70 °C).
● Ne débranchez la pompe de la commande électronique qu'après l'arrêt complet de la
pompe et avoir coupé la tension d'alimentation.
6
Sécurité
2.2
Conformité d’utilisation
AVIS
Conformité CE
La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par
l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires !
 Après incorporation dans une installation et avant la mise en service, l'exploitant
s’engage à vérifier la conformité de l'ensemble du système dans l'esprit des directives UE en vigueur, et de la réévaluer en conséquence.
● La commande électronique d'entraînement TC 400 DN sert à l'exploitation des
pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum et de leurs accessoires dans un système
de bus de DeviceNet.
2.3
Non conformité d’utilisation
En cas d'usage non conforme, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté.
Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui diffèrent de celles précitées,
dont notamment :
● l'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce
manuel
● l’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants
warranty seal
Sceau de fermeture
Le corps de produit est scellé en usine. Tout dommage ou arrachement d’un sceau de
fermeture conduit à la perte de la garantie.
 N'ouvrez pas le produit durant la période de garantie !
 Si les applications nécessitent des intervalles d'entretien plus courts que la période
de garantie, contacter le service après-vente Pfeiffer Vacuum.
2.4
Sécurité fonctionnelle
L'appareil d'entraînement (commande électronique d'entraînement) TC 400 DN exécute
la fonction de sécurité « Safe Limited Speed » selon EN 61800-5-2. En cas de survitesse, la commutation du moteur de pompe est désactivée et l'entraînement est amené
dans un état sûr.
Récapitulatif des données caractéristiques à utiliser dans les applications de sécurité :
Caractéristiques conformément aux normes CEI 61508 et CEI 62061
Caractéristique
Valeur
Niveau d'intégrité de sécurité
SIL CL 2
PFH
1,1 * 10-8 / h
PFDav
1 * 10-3
Intervalle de test T
20 a
Caractéristiques conformément à EN ISO 13849-1
Caractéristique
Valeur
Niveau de rendement
PL d
Catégorie MTTFd
Cat. 3
Signal élevé
(135 a)
Degré de couverture du diagnostic
moyen DC
moyen (90 % - <99 %)
● Pendant la durée de vie prévue des appareils (allant jusqu'à 20 ans), aucun test n'est
nécessaire.
● Si l'utilisateur prévoit d'utiliser son application de sécurité conformément aux valeurs
indiquées pendant 20 ans, la commande de sécurité doit être mise hors service au
bout de 20 ans et renvoyée au fabricant. Le test ne peut pas être effectué par l'utilisateur.
7
Description du produit
3
Description du produit
3.1
Identification du produit
Ce produit a été testé conformément aux exigences de la directive CAN/CSA-C22.2 No.
61010-1, deuxième edition, y compris l’amendement 1 ou une version ultérieure de la
norme même avec le même degré d’exigences d’essai.
Le cas échéant regardez les informations sur des certifications supplémentaires sur le
cachet du produit ou :
● www.tuvdotcom.com
● TUVdotCOM-ID 0000021320
3.1.1
Caractéristiques du produit
La commande électronique d'entraînement de type TC 400 DN fait partie intégrante de
la pompe turbomoléculaire. Elle sert à l'entraînement, à la surveillance, ainsi qu'à la commande de la pompe dans son ensemble.
Désignation
TC 400 DN
Tension de raccordement TC
Panneau de raccordement
Pompe turbo HiPace
24 V CC
DeviceNet
300, 400, 700, 800
48 V CC
DeviceNet
300, 400, 700, 800
Pour identifier correctement le produit lors de toute communication avec Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la plaque
signalétique.
Mod.:
M.-No.:
TC 400
PM C01 800 A
Ser.-No.: 12345678
Input:
Output:
24 V / 48 V ±10% 15 A
0 - 48 V 12 A 0 - 1000 Hz
2017/08
Made in Germany
Fig. 1:
3.1.2
Exemple de plaque signalétique
Contenu de la livraison
● CD-ROM de raccordement du DeviceNet avec fichiers EDS
3.2
Domaine d'application
Les commandes électroniques d’entraînement TC 400 DN de Pfeiffer Vacuum doivent
être installées et utilisées dans les conditions ambiantes suivantes.
Lieu de mise en place
Type de protection admissible
Classification des protections
Température
Humidité relative
Pression de l’air
Hauteur d'implantation
Degré d'encrassement
Catégorie de surtension
8
à l'abri des intempéries (dans des locaux)
IP 54
III
de +5 °C à +40 °C (à +35 °C avec refroidissement à l’air)
80% max. avec T ≤ 31 °C, à 50% max. avec T ≤ 40 °C
750 hPa - 1060 hPa
5000 m maxi.
2
II
Description du produit
3.3
Fonction
b
g1 g g2
d
a
B
DC in
NET
PV.can
A
MOD
DeviceNet
RATE
5
accessory
remote
b
Fig. 2:
a
b
c
d
g
3.4
c
2 1
ADDRESS
4 2
4
0
6
6
P
8
LSD
MSD
P 2
0
g3 g4 g5
Panneau DeviceNet de la TC 400 DN
Raccord "DC in"
Raccord "accessory A+B"
Raccord "remote"
Raccord de service "PV.can"
Raccord "DeviceNet"
g1
g2
g3
g4
g5
DEL d’état DeviceNet
DEL d’état d’appareil
Sélecteur baud DeviceNet
Sélecteur de l’adresse DeviceNet MSD
Sélecteur de l’adresse DeviceNet LSD
Description générale des connexions
DC in1
Fiche de carter avec verrouillage à baïonette pour l'alimentation en tension entre
les blocs d'alimentation Pfeiffer Vacuum et la commande électronique d'entraînement.
accessory
Connecteur femelle M12 avec verrouillage à vis pour le raccordement d'accessoires Pfeiffer Vacuum. L'utilisation d'un répartiteur en Y permet la double affectation d'un raccord.
PV.can
Connecteur M12 avec verrouillage à vis et LED pour raccordement d'une mesure
de pression intégrée et pour les besoins de maintenance par Pfeiffer Vacuum.
remote
Connecteur femelle Sub-D High Density à 26 pôles pour le raccordement et la
configuration d'une télécommande.
DeviceNet
Connecteur M12 (sealed micro) avec verrouillage à vis et DEL pour le raccordement d’ un système de bus DeviceNet.
Prise mobile de connecteur à l'arrière de la commande électronique d'entraînement
pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire.
1. «DC in» et «accessory» sont décrits dans le manuel de l’utilisateur de la pompe.
9
Schéma de raccordement
1
1
n.c.
Accessory A2
2
2
Accessory B2
24 VDC
3
3
24 VDC
Accessory A1
4
4
Accessory B1
FE
5
5
FE
+ 24 VDC* out
1
DI1
2
DI Motor pump
3
1
DI Pumping station
4
2
DI Standby
5
3
DI2
6
4
AI+ 0-10 VDC
7
5
DO1
8
DO2
9
DI3
10
1
Drain
AI- GND
11
2
V+
AO1 / 0-10 V
12
3
V-
DI Error acknowledgement
13
4
CAN_H
DI Remote priority
14
5
CAN_L
Relay 1
15
Relay 1
16
Relay 1
17
Relay 2
18
A
+ UB (+24 / +48 V DC ± 10 %)
Relay 2
19
B
GND
C
FE
3
2
Potential free contacts
remote
19
10
1
Relay 2
20
Relay 3
21
Relay 3
22
DO Remote priority active
23
RS485 D+
24
RS485 D-
25
GND*
26
Fig. 3:
10
Contact load for accessories:
-20 0 mA max., each connection
-450 mA max., all connections in sum
3
1
4
5
All inputs and outputs
in this area are
galvanically separated
from +U B
PV.can
5
2
Schéma de raccordement et affection de la TC 400 DN
2
5
3
A
1
4
B
DeviceNet
1
DC in
4
n.c.
accessory B
Schéma de raccordement
26
18
9
accessory A
4
C
Raccord « DeviceNet »
5
Raccord « DeviceNet »
5.1
Connexions
Le raccordement de la pompe turbomoléculaire dans un système de bus DeviceNet est
possible par l'intermédiaire de la liaison (connecteur à 5 pôles, sealed micro) portant le
libellé « DeviceNet » au niveau de la commande électronique d'entraînement. Pour l'alimentation de ce raccordement, une tension d'alimentation (V+, V-) est également nécessaire pour l'alimentation de tension de la commande électronique d'entraînement. Par
isolation galvanique, l'interface est isolée de façon sûre de la tension d'alimentation
maximale possible de la commande électronique d'entraînement.
2
3
5
1
4
Broche
Affectation
1
2
3
4
5
Drain
V+, 24 V CC relatif du VVCAN_H
CAN_L
 Réaliser le câblage du DeviceNet dans le respect des spécifications applicables.
 Alimenter en tension le raccordement du DeviceNet.
5.2
Configurer le raccord
Pour enregistrer la communication du DeviceNet, l’apparail peut être configuré à l'aide
du fichier EDS correspondant.
 Régler l'adresse d'appareil sur la valeur souhaitée.
 Régler le taux de Baud sur la valeur souhaitée.
 Enfoncer les bouchons en caoutchouc sur le sélecteur d'adresse bien droit et aussi
profondément que possible pour atteindre le type de protection indiqué.
5.2.1
Adresse d’appareillage
L'adresse d'appareil DeviceNet est configurée manuellement à l'aide du commutateur
sélectif portant l'inscription « ADDRESS », ou bien via le DeviceNet.
ADDRESS
4 2
4
0
0
6
6
P
8
MSD
LSD
2
Position
Signification
00 à 63
Adresse d'appareil (codage décimal)
– MSD = chiffres des dizaines (0x-6x)
– LSD = chiffres des unités (x0-x9)
Adresse via le DeviceNet
P
Réglage manuel de l'adresse
 Régler le commutateur sélectif sur la valeur souhaitée.
– Après le réglage, l'appareil accède au bus via la nouvelle adresse.
Réglage de l'adresse via le DeviceNet
 Mettre l'appareil hors tension ou débrancher du réseau électrique.
 Régler le commutateur sélectif sur la position « P ».
– Après la mise en circuit, la dernière adresse valide est utilisée (« 63 » au moment
de la livraison).
– L'adresse est programmable via l'objet DeviceNet 3.1.1 (regardez à la p. 14, chap.
5.5) .
5.2.2
Baud
Le taux de Baud du DeviceNet est configuré manuellement à l'aide du commutateur sélectif portant l'inscription « RATE », ou bien via le DeviceNet.
11
Raccord « DeviceNet »
RATE
5
2 1
P
Position
Signification
1
2
5
P
125 kbit/s
250 kbit/s
500 kbit/s
Taux de Baud via le DeviceNet
Réglage manuel du taux de Baud
 Régler le commutateur sélectif sur la valeur souhaitée.
– La modification prend effet à la mise en circuit suivante.
Régler le taux de Baud via le DeviceNet
 Mettre l'appareil hors tension ou débrancher du réseau électrique.
 Régler le commutateur sélectif sur la position « P ».
– Après la mise en circuit, le dernier taux de Baud valide est utilisé (500 kbit/s au moment de la livraison).
– Le taux de Baud est programmable via l'objet DeviceNet 3.1.2 (regardez à la p. 14,
chap. 5.5) .
5.3
Configurer l’échange de données
En fonction du programme utilisé pour la configuration de la communication DeviceNet,
les opérations suivantes peuvent être effectuées :
 Importer le fichier EDS (voir la section Contenu de la livraison).
Données côté appareil :
 Définir le format des données d'entrée/de sortie cycliques.
– Définir les données de processus pour l'échange cyclique via les objets « Poll I/O
input data (4.0.100) » et« Poll I/O output data (4.0.101) ».
– Le format peut être modifié uniquement si la connexion Poll I/O n'est pas active.
 Déterminer le comportement en cas d'interruption de la communication cyclique DeviceNet.
– Définir par l'intermédiaire de l'objet « Idle Action (9.1.7) » quelle action doit être entreprise en cas de défaillance de l'échange cyclique de données de processus
(connexion Poll I/O).
 Définir la priorité de commande.
– Déterminer à l'aide de l'objet « Permission locked (101.0.17) » si la commande de
la commande électronique d'entraînement s'effectue exclusivement par le biais du
DeviceNet, ou si d'autres interfaces (par ex. RS-485) sont autorisées.
– Dans ce cas, l'accès lecture via d'autres interfaces n'est pas limité.
 Configuration de la pompe.
– Pour régler une configuration différente de celle disponible à la livraison, ajuster les
objets individuels à l'aide du fichier EDS (par ex. configuration des accessoires).
Données côté maître :
 Créer l'appareil dans la liste Scan du maître.
 Définir le format des données d'entrée/de sortie cycliques.
5.3.1
Échange de données explicite (connexion explicite)
Grâce à cette connexion, il est possible d'accéder à des objets DeviceNet (regardez à la
p. 14, chap. 5.5) individuels. En général, cela s'effectue à l'aide du programme de configuration approprié et du fichier EDS. Après cela, il est également défini quelles données
sont envoyées dans l'échange de données cyclique.
12
Raccord « DeviceNet »
5.3.2
Échange de données cyclique (connexion Poll I/O)
Pour l'échange de données cyclique, plusieurs objets DeviceNet sont réunis sous assemblies (4.x.3.). Pour chaque direction (données d'entrée, de sortie), un assembly est
sélectionné. Les assemblies suivants peuvent être sélectionnés :
Données d'entrée (produced data, Pompe --> API)
1:
pump status (ajustage à l'usine)
2:
pump status, speed
100: pump status, speed, current
101: pump status, speed, current, temperature
Assembly ... Byte
1
2
100
101
Signification
0
0
0
0
1
1
1
1
2
2
2
2
-
3-4
3-4
3-4
-
-
5-6
5-6
-
-
-
7-8
-
-
-
9-10
(BYTE) Exception Status (48.1.12)
– Bit 0 : Erreur générale
– Bit 1 : Erreur spécifique à l'appareil
– Bit 2 : Erreur spécifique au fabricant
Détails concernant Bit 0-2 s. Exception Detail Alarm (48.1.13)
– Bit 4 : Avertissement général
– Bit 5 : Avertissement spécifique à l'appareil
– Bit 6 : Avertissement spécifique au fabricant
Détails concernant Bit 4-6 s. Exception Detail Warning (48.1.14)
(BYTE) Speed Status (42.1.39)
– Bit 0 : La pompe est allumée, vitesse de rotation > 0
– Bit 1 : Le moteur est éteint
– Bit 2 : Vitesse de rotation en mode Stand-by
– Bit 4 : Arrêt
– Bit 5 : Accélère
– Bit 6 : Au régime nominal
– Bit 7 : Retardée
(BOOL) Pump On Status (8.1.3)
– 0: La pompe est éteinte
– 1: La pompe est allumée, vitesse de rotation > 0
(INT) Pump Speed (42.1.7)
– Vitesse actuelle en rpm/4 (par ex. une valeur de 15 000 correspond à
60 000 rpm)
(INT) IMC Current (42.1.102)
– Circuit intermédiaire à 100 mA (par ex. une valeur de 42 correspond à
4,2 A)
(INT) Bearing Temperature (49.3.6)
– Température du palier en °C/10 (par ex. une valeur de 210 correspond
à 21,0 °C)
(INT) Pump Temperature (49.101.6)
– Température de la partie inférieure en °C/10 (par ex. une valeur de 210
correspond à 21,0 °C)
Données de sortie (consumed data, API --> Pompe)
5:
pump control (ajustage à l'usine)
6:
pump/speed control
7:
pump/speed control, set speed
103: pump/speed control, set speed, vent valve cfg.
Assembly ... Byte
5
6
7
103
Signification
0
0
0
0
-
1
1
1
(BOOL) Pump On (9.1.3)
– 0: Groupe de pompage arrêt
– 1: Groupe de pompage marche
(BYTE) Speed Control (42.1.38)
– Bit 0 : Groupe de pompage marche
– Bit 1 : Moteur éteint
– Bit 2 : Standby activé
13
Raccord « DeviceNet »
Assembly ... Byte
5
6
7
103
-
-
2-3
2-3
-
-
-
4-5
5.4
Opération des LED
5.4.1
NET
(INT) Speed Target (42.1.8)
– Régime nominal en rpm/4 (par ex. une valeur de 15 000 correspond à
60 000 rpm)
(WORD) Valve Configuration (7.1.4)
– Bit 0/1 Vanne de remise à l’air : 0 - pas de remise à l’air, 1 - remise à
l’air directe, 2 - remise à l’air retardée
– Bit 2/3 Vanne de gaz de balayage : 0 - OFF 1 - déclenché
État
Signification
Action
éteint
L'appareil n'est pas disponible sur le
bus
vert clignotant
 Alimenter l'appareil en tension
 Patienter pendant le test de
l'adresse (env. 2 s)
 Établir la connexion avec le maître
au niveau du bus, aucun maître assigné
au niveau du bus, maître assigné
Expiration de la connexion avec le
 Tester la connexion avec le maître
maître
Erreur au niveau du bus ou double at-  Tester le bus
 Tester l'adresse d'appareil
tribution de l'adresse d'appareil
 Tester le taux de Baud
vert allumé
rouge clignotant
rouge allumé
5.4.2
Signification
MOD
État
Signification
Action
éteint
vert allumé
rouge clignotant
Aucune alimentation de tension
Appareil prêt pour l'utilisation
Erreur de l'appareil
 Alimenter l'appareil en tension
5.5
Objets DeviceNet
5.5.1
Identity
 Corriger l'erreur
Chemin
Nom
Type de données Service
1.0.1
1.0.2
1.0.3
Revision
Max Instance
Number of Instances
UINT
UINT
UINT
get
get
get
1.1.0
1.1.1
1.1.2
(Instance)
Vendor ID
Device Type
USINT
UINT
UINT
res, gaa
get
get
1.1.3
1.1.4
Product Code
Revision
Major Revision
Minor Revision
Status
Serial Number
Product Name
Status Code
UINT
STRUCT of
USINT
USINT
WORD
UDINT
SHORT_STRING
SHORT_STRING
get
get
Commentaire
Instance 1
1.1.5
1.1.6
1.1.7
1.1.100
5.5.2
get
get
get
get
Message Router
Cet objet ne met aucun attribut ou service à disposition.
14
527 (Pfeiffer Vacuum)
33 (Turbomolecular Vacuum
Pump Device)
4865
TC 400 DN
Raccord « DeviceNet »
5.5.3
DeviceNet
Chemin Nom
Type de données Service
3.0.1
UINT
get
Revision
Commentaire
Instance 1
3.1.0
3.1.1
(Instance)
MAC ID
USINT
all, re
get, (set)
3.1.2
Baud Rate
USINT
get, (set)
3.1.5
Allocation Information
Allocation Choice Byte
Master’s MAC ID
MAC ID Switch Changed
Baud Rate Switch Changed
MAC ID Switch Value
Baud rate Switch Value
STRUCT of
BYTE
USINT
BOOL
BOOL
USINT
USINT
get
3.1.6
3.1.7
3.1.8
3.1.9
5.5.4
set seulement dans la position de l’interrupteur « P »
set seulement dans la position de l’interrupteur « P »
get
get
get
get
Assembly
Chemin Nom
Type de données Service
4.0.1
4.0.3
4.0.100
Revision
Number of Instances
Poll I/O Input Data
UINT
UINT
USINT
get
get
get, (set)
4.0.101
Poll I/O Output Data
USINT
get, (set)
Commentaire
Instance d’assembly pour donées
d’entrée (Pompe->Master) de la
connexion Poll I/O, set seulement
quand la connexion n’est pas active
Instance d’assembly pour donées
de sortie (Master->Pompe) de la
connexion Poll I/O, set seulement
quand la connexion n’est pas active
Instance 1 (default input): pump status
4.1.3
Data
Exception Status
Speed Status
Pump on Status
ARRAY of
BYTE
BYTE
BYTE
get
48.1.12
42.1.39
8.1.3
Instance 2 (input): pump status, speed
4.2.3
Data
Exception Status
Speed Status
Pump on Status
Pump Speed
ARRAY of
BYTE
BYTE
BYTE
2 x BYTE (INT)
get
48.1.12
42.1.39
8.1.3
42.1.7
Instance 5 (default output): pump control
4.5.3
Data
Pump On
ARRAY of
BYTE
get, set
9.1.3
Instance 6 (output): pump control
4.6.3
Data
Pump on
Speed control
ARRAY of
BYTE
BYTE
get, set
9.1.3
42.1.38
Instance 7 (output): pump/speed control, set speed
4.7.3
Data
Pump On
Speed Control
Speed Target
ARRAY of
BYTE
BYTE
2 x BYTE (INT)
get, set
9.1.3
42.1.38
42.1.8
Instance 100 (input): pump status, speed, current
4.100.3 Data
ARRAY of
get
15
Raccord « DeviceNet »
Instance 100 (input): pump status, speed, current
Exception Status
Speed Status
Pump on Status
Pump Speed
IMC Current
BYTE
BYTE
BYTE
2 x BYTE (INT)
2 x BYTE (INT)
48.1.12
42.1.39
8.1.3
42.1.7
42.1.102
Instance 101 (input): pump status, speed, current, temperatures
4.101.3 Data
Exception Status
Speed Status
Pump on Status
Pump Speed
IMC Current
Bearing Temperature
Pump Temperature
ARRAY of
BYTE
BYTE
BYTE
2 x BYTE (INT)
2 x BYTE (INT)
2 x BYTE (INT)
2 x BYTE (INT)
get
48.1.12
42.1.39
8.1.3
42.1.7
42.1.102
49.3.6
49.101.6
Instance 103 (output): pump/speed control, set speed, vent valve cfg
4.103.3 Data
Pump On
Speed Control
Speed Target
Vent Valve Cfg. (1)
Vent Valve Cfg. (2)
5.5.5
ARRAY of
BYTE
BYTE
BYTE
BYTE
BYTE
get, set
9.1.3
42.1.38
42.1.8
7.1.4 (1)
7.1.4 (2)
Connection
Chemin
Nom
Type de données Service
5.0.1
Revision
UINT
get
Instance 1: Explicit connection
5.1.1
5.1.2
5.1.3
5.1.4
5.1.5
5.1.6
5.1.7
5.1.8
5.1.9
5.1.12
5.1.13
5.1.14
5.1.15
5.1.16
5.1.17
5.1.18
State
USINT
Instance Type
USINT
Transport Class Trigger BYTE
DeviceNet Produced
UINT
Connection ID
DeviceNet Consumed UINT
Connection ID
DeviceNet Initial Comm BYTE
Characteristics
UINT
Produce Connection
Size
Consumed Connection UINT
Size
Expected Package Rate UINT
Watchdog Timeout Ac- UINT
tion
Produced Connection
USINT
Path Length
Produced Connection
UINT
Path
Consumed Connection Packed EPATH
Path Length
Consumed Connection UINT
Path
Production Inhibit Time Packed EPATH
Connection Timeout
USINT
Multiplier
get
get
get
get
get
get
get
get
get, set
get, set
get
get
get
get
get
get
Instance 2: Poll I/O connection
5.2.1
5.2.2
5.2.3
16
State
USINT
Instance Type
USINT
Transport Class Trigger BYTE
get
get
get
Commentaire
Raccord « DeviceNet »
Instance 2: Poll I/O connection
5.2.4
5.2.5
5.2.6
5.2.7
5.2.8
5.2.9
5.2.12
5.2.13
5.2.14
5.2.15
5.2.16
5.2.17
5.2.18
5.5.6
DeviceNet Produced
UINT
Connection ID
DeviceNet Consumed UINT
Connection ID
DeviceNet Initial Comm BYTE
Characteristics
Produce Connection
UINT
Size
Consumed Connection UINT
Size
Expected Package Rate UINT
Watchdog Timeout Ac- UINT
tion
Produced Connection
USINT
Path Length
Produced Connection
UINT
Path
Consumed Connection Packed EPATH
Path Length
Consumed Connection UINT
Path
Production Inhibit Time Packed EPATH
Connection Timeout
USINT
Multiplier
get
get
get
get
get
get, set
get
get
get
get
get
get, set
get
Register
Chemin
Nom
Type de données Service
7.0.1
7.0.2
7.0.3
Revision
Max Instance
Number of Instances
UINT
UINT
UINT
get
get
get
Bad Flag
Direction
Size
Data
BOOL
BOOL
UINT
ARRAY of
BITS
get
get
get
get, set
Commentaire
Instance 1
7.1.1
7.1.2
7.1.3
7.1.4
Venting Frequency
Venting Time
BITS
USINT
UINT
Chemin
Nom
Type de données Service
8.0.1
8.0.2
8.0.3
Revision
Max Instance
Number of Instances
UINT
UINT
UINT
get
get
get
8.1.3
Value
BOOL
get
8.1.7
Off-On Cycles
UDINT
get
7.1.100
7.3.101
5.5.7
get, set
get, set
0
1
16
– Bit 0/1 Vanne de remise à l’air
: 0 - pas de remise à l’air, 1 remise à l’air directe, 2 - remise à l’air retardée
– Bit 2/3 Vanne de gaz de balayage : 0 - off, 1 - déclenché
0
40-98 %
6-3600 s
Discrete Input Point
Commentaire
Instance 1
– 0: Pompe = OFF
– 1: Pompe = ON et f > 0
17
Raccord « DeviceNet »
5.5.8
Discrete Output Point
Chemin Nom
Type de données Service Commentaire
9.0.1
9.0.2
9.0.3
UINT
UINT
UINT
get
get
get
Revision
Max Instance
Number of Instances
Instance 1: Pump On/Off
9.1.3
Value
BOOL
get, set
9.1.5
Fault Action
BOOL
get, set
9.1.6
9.1.7
Fault Action
Idle Action
BOOL
BOOL
get, set
get, set
9.1.8
Idle Action
BOOL
get, set
– 0: Groupe de pompage = OFF
– 1: Groupe de pompage = ON
– 0: Groupe de pompage = OFF
– 1: Maintenir l’état
0
– 0: Groupe de pompage = OFF
– 1: Maintenir l’état
0
Instance 2: TMS/Chauffage
9.2.3
Value
BOOL
get, set
9.2.5
Fault Action
BOOL
get, set
9.2.6
9.2.7
Fault Action
Idle Action
BOOL
BOOL
get, set
get, set
9.2.8
Idle Action
BOOL
get, set
– 0: TMS/Chauffage = OFF
– 1: TMS/Chauffage = déclenché
– 0: TMS/Chauffage = OFF
– 1: Maintenir l’état
0
– 0: TMS/Chauffage = OFF
– 1: Maintenir l’état
0
Instanz 3: Gaz de balayage
5.5.9
9.3.3
Value
BOOL
get, set
9.3.5
Fault Action
BOOL
get, set
9.3.6
9.3.7
Fault Action
Idle Action
BOOL
BOOL
get, set
get, set
9.3.8
Idle Action
BOOL
get, set
– 0: Gaz de balayage = OFF
– 1: Gaz de balayage = ON
– 0: Gaz de balayage = OFF
– 1: Maintenir l’état
0
– 0: Gaz de balayage = OFF
– 1: Maintenir l’état
0
AC/DC Drive
Chemin Nom
Type de données Service
42.0.1
42.0.2
42.0.3
UINT
UINT
UINT
get
get
get
Revision
Max Instance
Number of Instances
Commentaire
Instance 1
18
42.1.3
At Reference
BOOL
get
42.1.4
42.1.6
42.1.7
Net Ref
Drive Mode
Speed Actual
BOOL
USINT
INT
get
get, set
get
42.1.8
Speed Ref
INT
get, set
42.1.15
42.1.16
Power Actual
Input Voltage
INT
INT
get
get
42.1.18
Accel Time
UINT
get, set
42.1.22
42.1.27
42.1.28
Speed Scale
Voltage Scale
Time Scale
SINT
SINT
SINT
get, set
get, set
get, set
– 0: Vitesse de consigne pas atteint
– 1: Vitesse de consigne atteint
1
2
Vitesse de rotation actuelle (rpm/2
speed Scale) p.ex. 15000 lu => 60000
rpm
Vitesse de consigne (rpm/2 speed
Scale) p.ex. 7500 écrire pour 30000
rpm
Vitesse réelle (W)
Tension d’entrée (V/2 voltage Scale)
p.ex. 192 lu => 24 V
Temps d’accélération (ms/2 time
Scale) p.ex. 2813 lu => 6 min
-2
3
-7
Raccord « DeviceNet »
Instance 1
42.1.38
Speed Control
BYTE
get, set
42.1.39
Speed Status
BYTE
get
42.1.41
Max Rated Speed
INT
get
42.1.42
42.1.43
42.1.46
Max Rated Speed Scale SINT
Speed Standby
INT
Drive On Hours
DINT
get, set
get, set
get
42.1.100 Gas Mode
USINT
get, set
42.1.101 Max Power
42.1.102 IMC Current
USINT
INT
get, set
get
42.1.103 Max Rated Speed
Confirmation
INT
get, set
– Bit 0: Groupe de pompage = ON
– Bit 1: Moteur = OFF
– Bit 2: Standby = ON
– Bit 0: Pompe = ON et f > 0
– Bit 1: Moteur = OFF
– Bit 2: à vitesse standby
– Bit 4: arrêt
– Bit 5: accélère
– Bit 6: à vitesse de consigne
– Bit 7: décélère
Vitesse nominale (rpm/2 Max Rated
Speed Scale)
-2
Vitesse Standby (rpm/2 Speed Scale)
Heures de fonctionnement d’entraînement (h)
– 0: Gaz lourds
– 1: Gaz légers
– 2: Hélium
%
Courant de circuit intermédiaire (100
mA) p.ex. 123 lu => 12,3 A
Vitesse nominale (rpm/2 Max Rated
Speed Scale
)
5.5.10 S-Device Supervisor
Chemin
Nom
Type de données Service
48.0.1
48.0.2
48.0.3
Revision
Max Instance
Number of Instances
UINT
UINT
UINT
Commentaire
get
get
get
Instance 1
48.1.0
(Instance)
48.1.3
48.1.4
Device Type
SHORT_STRING
SEMI Standard ReviSHORT_STRING
sion Level
Manufacturer’s Name
SHORT_STRING
Manufacturer’s Model
SHORT_STRING
Number
Software Revision Level SHORT_STRING
Hardware Revision Le- SHORT_STRING
vel
Device Status
USINT
48.1.5
48.1.6
48.1.7
48.1.8
48.1.11
48.1.12
48.1.13
Exception Status
BYTE
Exception Detail Alarm STRUCT of
Common Exception De- USINT
tail Size
Common Exception De- BYTE
tail 0
Common Exception De- BYTE
tail 1
Device Exception Detail USINT
Device Exception 0
BYTE
Device Exception 1
BYTE
Manufacturer ExcepUSINT
tion Detail Size
res, sta,
abo, rec,
per
get
get
get
get
get
get
get
get
get
– 1: Self Testing
– 2: Idle
– 3: Self-Test Exception
– 4: Executing
– 5: Abort
– 6: Critical Fault
(regardez à la p. 12, chap. 5.3)
2
cf. ci-dessous
cf. ci-dessous
2
cf. ci-dessous
cf. ci-dessous
2
19
Raccord « DeviceNet »
Instance 1
48.1.14
48.1.15
48.1.16
48.1.23
Manufacturer ExcepBYTE
tion Detail 0
Manufacturer ExcepBYTE
tion Detail 1
Exception Detail WarSTRUCT of
ning
Common Exception De- USINT
tail Size
Common Exception De- BYTE
tail 0
Common Exception De- BYTE
tail 1
Device Exception Detail USINT
Device Exception 0
BYTE
Device Exception 1
BYTE
Manufacturer ExcepUSINT
tion Detail Size
Manufacturer ExcepBYTE
tion Detail 0
Manufacturer ExcepBYTE
tion Detail 1
Alarm Enable
BOOL
Warning Enable
BOOL
Run Hours
UDINT
cf. ci-dessous
cf. ci-dessous
get
2
cf. ci-dessous
cf. ci-dessous
2
cf. ci-dessous
cf. ci-dessous
2
s.u.
s.u.
get, set
get, set
get
Heures de fonctionnement
pompe (h)
Pour Exception Detail Alarm et Exception Detail Warning s’applicable:
Bit Common Ex. Detail 0 Common Ex. Detail 1 Device Ex. Detail 0
Device Ex. Detail 1
0
Diagnose interne
1
Microcontroller
2
EPROM
Surtempérature moteur
Surtempérature
pompe
Surtempérature palier
3
EEPROM
4
5
6
7
RAM
Réservé
Temps réel interne
Réservé
Surintensité alimentation
Réservé
Commande électronique d’entraînement
TMS
Tension de sortie alimentation
Tension d’entrée alimentation
Alimentation de tension
Survitesse
Entretien
Avertir le fabricant
Reset
Réservé
Surcharge
Temps d’accélération
Temps d’accélération
Vibration
Surtempérature commande électronique
d’entraînement
Connexion
Palier
Interlock
Réservé
Manufacturer Exception Detail correspondre au messages actuels d’erreurs resp.
d’avertissements en type de données UINT.
5.5.11 S-Analog Sensor
Chemin
Nom
Type de données Service
49.0.1
49.0.2
49.0.3
Revision
Max Instance
Number of Instances
UINT
UINT
UINT
get
get
get
Commentaire
BOOL
INT
BYTE
get
get
get
0: périmé, 1: valide
Température moteur (°C/10)
cf. ci-dessous
BOOL
INT
BYTE
get
get
get
0: périmé, 1: valide
Température paliers (°C/10)
cf. ci-dessous
get
0: périmé, 1: valide
Instance 1: Température moteur
49.1.5
49.1.6
49.1.7
Reading Valid
Value
Status
Instance 3: Température paliers
49.3.5
49.3.6
49.3.7
Reading Valid
Value
Status
Instance 4: Température élecronique
49.4.5
20
Reading Valid
BOOL
Raccord « DeviceNet »
Instance 4: Température élecronique
49.4.6
Value
INT
get
49.4.7
Status
BYTE
get
Température électronique (°C/
10)
cf. ci-dessous
Instance 100: Température dernier étage
49.100.5
49.100.6
Reading Valid
Value
BOOL
INT
get
get
49.100.7
Status
BYTE
get
0: périmé, 1: valide
Température dernier étage (°C/
10)
cf. ci-dessous
Instance 101: Température pièce inférieure
49.101.5
49.101.6
Reading Valid
Value
BOOL
INT
get
get
49.101.7
Status
BYTE
get
0: périmé, 1: valide
Température pièce inférieur (°C/
10)
cf. ci-dessous
Pour tous "Status" (49.x.7) s’applicable:
Bit
Valeur
0
2
Surtempérature (Erreur)
Température élevée (Avertissement)
Chemin
Nom
Type de données Service
101.0.1
101.0.2
101.0.3
101.0.16
101.0.17
Revision
Max Instance
Number of Instances
Current Permission
Permission Locked
UINT
UINT
UINT
BYTE
BOOL
get
get
get
get, set
get, set
USINT
get, set
1-255: RS485 Adresse
USINT
get, set
{0;4} (regardez à la p. 32, chap.
7.3)
USINT
get, set
0-5(regardez à la p. 32, chap. 7.3)
USINT
get, set
0-5(regardez à la p. 32, chap. 7.3)
USINT
get, set
0-5(regardez à la p. 32, chap. 7.3)
USINT
get, set
0-1 (regardez à la p. 32, chap. 7.3)
USINT
get, set
0-15 (regardez à la p. 32, chap.
7.3)
USINT
get, set
0-15 (regardez à la p. 32, chap.
7.3)
USINT
get, set
0-5 (regardez à la p. 32, chap. 7.3)
USINT
get, set
0-15 (regardez à la p. 32, chap.
7.3)
5.5.12 Interfaces
Commentaire
– 0: autres interfaces sont admissible pour exploitation
– 1: Exploitation seulement par
DeviceNet
Instance 2: RS485
101.2.19
Address
Instance 4: Remote
101.4.17
Configuration
Instance 6: DI1
101.6.17
Configuration
Instance 7: DI2
101.7.17
Configuration
Instance 8: DI3
101.8.17
Configuration
Instance 9: AI
101.9.17
Configuration
Instance 10: DO1
101.10.17
Configuration
Instance 11: DO2
101.11.17
Configuration
Instance 12: AO1
101.12.17
Configuration
Instance 13: Relais 1
101.13.17
Configuration
21
Raccord « DeviceNet »
Instance 14: Relais 2
101.14.17
Configuration
USINT
get, set
0-15 (regardez à la p. 32, chap.
7.3)
USINT
get, set
0-15 (regardez à la p. 32, chap.
7.3)
USINT
get, set
0-8(regardez à la p. 32, chap. 7.3)
USINT
get, set
0-8(regardez à la p. 32, chap. 7.3)
USINT
get, set
0-8(regardez à la p. 32, chap. 7.3)
USINT
get, set
0-8(regardez à la p. 32, chap. 7.3)
Instance 15: Relais 3
101.15.17
Configuration
Instance 16: Accessoires A1
101.16.17
Configuration
Instance 17: Accessoires B1
101.17.17
Configuration
Instance 18: Accessoires A2
101.18.17
Configuration
Instance 19: Accessoires B2
101.19.17
Configuration
5.5.13 Process Components
Chemin
Nom
Type de données Service
102.0.1
102.0.2
102.0.3
Revision
Max Instance
Number of Instances
UINT
UINT
UINT
get
get
get
Commentaire
Instance 1: Pompe primaire
102.1.17
Configuration
USINT
get, set
102.1.21
102.1.22
Switch-Off Threshold
Switch-On Threshold
UINT
UINT
get, set
get, set
0-2 (regardez à la p. 35, chap.
7.4)
0-1000 W
0-1000 W
Instance 7: Point de commutation de la vitesse
102.7.17
Configuration
USINT
get, set
102.7.18
Status
BOOL
get
102.7.21
Switchpoint 1
UINT
get, set
102.7.22
Switchpoint 2
UINT
get, set
0-1 (regardez à la p. 35, chap.
7.4)
– 0: Point de commutation de la
vitesse pas atteint
– 1: Point de commutation de la
vitesse atteint
50-97 % (regardez à la p. 35,
chap. 7.4)
5-97 % (regardez à la p. 35,
chap. 7.4)
5.5.14 Types de données
22
Type de données Byte
Déscription
BOOL
BYTE
DINT
INT
Packed EPATH
SHORT_STRING
1
1
4
2
6
Valeur binaire (0/1)
8 bits simples
Valeur de nombre entier signé
Valeur de nombre entier signé
SINT
UINT
1
2
UDINT
4
USINT
1
WORD
2
Example
00h: 0, 01h:1
00h, FFh
12345678h: 89h, 56h, 34h, 12h
1234h: 34h, 12h
1.2.3: 20h, 01h, 24h, 02h, 30h, 03h
Chaîne de caractères avec byte « Bilbo »: 05h, 42h, 69h, 6Ch, 62h, 6Fh
de longueur précédent
Valeur de nombre entier signé
-42: D6h
Valeur de nombre non entier si- 2468h: 68h, 24h
gné
Valeur de nombre non entier si- 10203040h: 40h, 30h, 20h, 10h
gné
Valeur de nombre non entier si- 101: 65h
gné
16 bits simples
55AAh: AAh, 55h
Raccord « DeviceNet »
5.5.15 Services
Service
DeviceNet-Service
Code
abo
all
gaa
get
per
rec
rel
res
set
sta
abort
allocate_master/slave_connection_set
get_attributes_all
get_attribute_single
perform_diagnostics
recover
release_master/slave_connection_set
reset
set_attribute_single
start
4Bh
4Bh
01h
0Eh
4Eh
4Ch
4Ch
05h
10h
06h
23
Raccord « remote »
6
Raccord « remote »
9
1
18
10
26
19
Une commande à distance est possible via le raccord Sub-D 26 pôles portant la désignation « remote » sur la commande électronique d'entraînement. Les fonctions individuelles utilisables sont représentées par le « niveau API ».
 Débranchez le connecteur de commande à distance de la TC 400 DN et raccordez
une télécommande. L'affectation des broches du connecteur de branchement doit se
conformer au tableau.
 Utilisez des connecteurs et câbles blindés.
AVIS
Risque de détruire l'appareil d'entraînement.
La déconnexion des raccords enfichables « remote » lorsque la tension d'alimentation
est activée peut entraîner la destruction de la commande électronique d'entraînement.
 Avant de débrancher le connecteur de raccordement « remote », coupez impérativement l'alimentation en tension.
 Désactiver l'unité de courant.
Les indications suivantes représentent les configurations d’usine. Ils peuvent être
configurés par le jeu de paramètre Pfeiffer Vacuum.
6.1
Affectation des connecteurs
Broche Fonction
Déscription configuration d’usine
1
2
3
4
5
6
7
Tension de référence pour toutes les entrées/sorties numériques
Autorisation de la remise à l'air, ouverte: off ; V+: on
Moteur d'entraînement, ouvert: off ; V+: on
ouvert: off ; V+: on et acquittement de dérangement
Vitesse de rotation en mode Stand-by ; ouverte: off ; V+: on
Chauffage, ouvert: off ; V+: on
Valeur prédéfinie en mode d'exploitation à régime variable, 2-10 V
CC correspond à 20-100% de la vitesse nominale
Point de commutation de la vitesse de rotation atteint;
GND: non ; V+: oui (Imax = 50 mA/24 V)
GND: Erreur ; V+: aucune erreur (Imax = 50 mA/24 V)
Purge de gaz neutre, ouvert: off ; V+: on
Valeur prédéfinie en mode d'exploitation à régime variable ; GND
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
24
Sortie +24 V CC* (V+)
DI1
Pompe à moteur DI
Groupe de pompage DI
Standby DI
DI2
AI+ mode d'exploitation à
régime variable
DO1
DO2
DI3
AI- mode d'exploitation à
régime variable GND
AO1
Vitesse réelle ; 0-10 V CC correspond à 0-100% ; RL > 10 kΩ
Acquittement de dérange- Acquittement de dérangement: Impulsion V+ (min. 500 ms)
ment DI
Priorité mode distant DI
Utilisation via interface « remote » ; ouverte: off ; V+: en service et
prioritaire sur les autres entrées numériques
Relais 1
Liaison avec la broche 16, lorsque le relais 1 est inactif
Relais 1
Point de commutation de la vitesse de rotation atteint ; contact de
relais 1 (Umax = 50 V CC, Imax = 1 A)
Relais 1
Liaison avec la broche 16, lorsque le relais 1 est actif
Relais 2
Liaison avec la broche 19, lorsque le relais 2 est inactif
Relais 2
Aucune erreur; contact de relais 2 (Umax = 50 V CC, Imax = 1 A)
Relais 2
Liaison avec la broche 19, lorsque le relais 2 est actif
Relais 3
Liaison avec la broche 22, lorsque le relais 3 est inactif
Relais 3
Avertissement; contact de relais 3 (Umax = 50 V CC, Imax = 1 A)
DO Priorité à la télécom- GND: off ; V+: Priorité à la télécommande active
mande
RS-485 D+
D’après la spécification et le protocole Pfeiffer Vacuum
RS-485 DD’après la spécification et le protocole Pfeiffer Vacuum
Masse (GND*)
Masse de référence pour toutes les entrées numériques et toutes
les sorties
Raccord « remote »
6.2
Utilisation avec la connexion « remote »
6.2.1
Sortie +24 V CC*/ broche 1
Les entrées 2 - 6, ainsi que les raccords aux broches 10, 13, 14, s'activent lorsqu'on les
relie avec du +24 V CC à la broche 1 (active high). À titre d'alternative, la commande
peut s'effectuer via un API externe. Les fonctions sont activées par « Niveau API High »
et désactivées par « Niveau API Low ».
● Niveau API High : +13 V à +33 V
● Niveau API Low : -33 V à +7 V
● Ri: 7 kΩ
● Imax < 210 mA (avec RS-485, si disponible)
6.2.2
Entrées
Les entrées numériques sur le raccord « remote » servent à la commutation de différentes fonctions de la commande électronique d'entraînement. Les entrées DI1 - DI2
sont affectées de fonctions dès le départ usine. Celles-ci sont configurables par le jeu de
paramètres Pfeiffer Vacuum via Profibus ou l'interface RS-485.
DI1 (Autorisation de la remise à l'air) / broche 2
V+ : Autoriser la remise à l'air (remise à l'air selon mode de remise à l'air)
ouvert : Remise à l'air bloquée (pas de remise à l'air)
DI Pompe à moteur / broche 3
Lorsque la broche 4 (groupe de pompage) est activée et que le contrôle automatique
s'est terminé avec succès, la pompe turbomoléculaire est mis en service. Pendant le service, il est possible d'éteindre et de rallumer la pompe turbomoléculaire si le groupe de
pompage est demeuré sous tension. Ce faisant, la pompe turbomoléculaire n'est pas remise à l'air.
V+ : Moteur de la pompe turbomoléculaire allumé
ouvert : Moteur de la pompe turbomoléculaire éteint
DI groupe de pompage / broche 4
Les composants du groupe de pompage raccordés sont commandés (p. ex. pompe primaire, vanne de remise à l'air, refroidissement à l'air) et en cas d'activation simultanée
de la broche 3 (moteur), la pompe turbomoléculaire est mise en service. Les messages
d'erreur présents le cas échéant sont acquittés une fois la cause éliminée.
V+ : Acquittement de dérangement et groupe de pompage on
ouvert : Groupe de pompage arrêt
DI Standby / broche 5
Le mode Standby est le mode de la pompe turbomoléculaire avec une vitesse de rotation
prédéfinie du rotor < vitesse nominale. Le réglage usine et l'exploitation recommandée
représentent 66,7 % de la vitesse nominale.
V+ : Standby activé
ouvert : Standby off, fonctionnement à la vitesse nominale
DI2 (chauffage) / broche 6
V+ :
Chauffage en marche
ouvert : Chauffage éteint
DI3 (purge de gaz neutre) / broche 10
V+ :
Vanne de la purge de gaz neutre est ouvert
25
Raccord « remote »
ouvert :
Vanne de la purge de gaz neutre est fermée
DI Acquittement de dérangement / broche 13
V+ : Acquittez les messages d'erreur présents une fois la cause éliminée par une impulsion d'une durée de 500 ms.
ouvert : Inactif
Priorité mode distant DI / broche 14
V+ : Le raccord « remote » a priorité de commande sur toutes les autres entrées numériques.
ouvert : Priorité mode distant inactif
AI Mode d'exploitation à régime variable / broche 7 et broche 11
L'entrée analogique sert à la valeur prédéfinie de vitesse de la pompe turbomoléculaire.
Un signal d'entrée de 2 à 10 V entre AI+ (broche 7) et GND (broche 11) correspond à
l'une des vitesse dans une plage de 20 à 100% de la vitesse nominale. En cas d'entrée
ouverte ou de signaux inférieurs à 2 V, la pompe est accélérée jusqu'à sa vitesse nominale.
f(%)
100
20
10 U(V)
2
6.2.3
Sorties
Les sorties numériques sur le raccord « remote » tolèrent une charge maximale de 24 V
/ 50 mA par sortie. Toutes les sorties sont configurables par le jeu de paramètres Pfeiffer
Vacuum via Profibus ou l'interface RS-485 (déscription relatif à la configuration par défaut).
DO1 (point de commutation de la vitesse de rotation atteint) / broche 8
Active high après avoir atteint le point de commutation de la vitesse. Le point de commutation de la vitesse 1 est réglé en usine à 80% de la vitesse nominale. Il peut être utilisé par ex. pour un message « Pompe prête à fonctionner ».
DO2 (aucun défaut) / broche 9
Lorsque l'alimentation en tension est établie, la sortie numérique DO2 émet durablement
24 V CC, ce qui signifie « aucun défaut ». Active low en cas de défaut (message de défaut groupé).
DO Priorité à la télécommande active / broche 23
Active high : Le raccord « remote » a la priorité sur tous les autres appareils de commande (p.ex. RS-485) raccordés le cas échéant. En mode active low le raccord « remote
» est ignoré.
AO1 sortie analogique 0-10 V CC / broche 12
La sortie analogique permet de piquer une tension proportionnelle à la vitesse (0-10 V
CC correspondant à 0 - 100% x fnominale) (charge R ≥ 10 kΩ). A la sortie analogique et
via DCU, HPU ou un PC, il est possible d'attribuer des fonctions supplémentaires (intensité/puissance au choix).
6.2.4
Contacts à relais (inversible)
Relais 1 / broche 15, broche 16 et broche 17
Le contact entre la broche 16 et la broche 15 est fermé, lorsque le point de commutation
de la vitesse de rotation est dépassé; Le relais 1 est inactif. Le contact entre la broche 16
et la broche 17 est fermé, lorsque le point de commutation de la vitesse de rotation est
atteint; Le relais 1 est actif.
26
Raccord « remote »
Relais 2 / broche 18, broche 19 et broche 20
Le contact entre la broche 19 et la broche 18 est fermé en cas d'erreur existante; Le relais 2 est inactif. Le contact entre la broche 19 et la broche 20 est fermé en cas de fonctionnement sans défaut; Le relais 2 est actif.
Relais 3 / broche 21 et broche 22
Le contact entre la broche 21 et la broche 22 est fermé en cas d'avertissements inactifs;
Le relais 3 est inactif. Le contact entre la broche 21 et la broche 22 est ouvert en cas de
message d'avertissement existant; Le relais 3 est actif.
6.2.5
RS-485
Via la broche 24 et la broche 25 sur le raccord « remote » de la commande électronique
d'entraînement, il est possible de relier respectivement un appareil d'affichage et de
commande Pfeiffer Vacuum (DCU ou HPU) ou un PC externe.
ATTENTION
Risque d'électrocution
Les mesures d'isolation du système de bus n'ont été conçues que pour l'emploi de
basses tensions de sécurité.
 Au système de bus, ne raccordez que des appareils appropriés.
● L'adresse de groupe de la commande électronique d'entraînement est 962.
● Tous les appareils connectés au bus doivent avoir des adresses d'interface RS-485
différentes [P:797].
 Les liaisons devront être établies conformément aux caractéristiques techniques de
l'interface RS-485.
 Raccordez tous les appareils au bus à l'aide de RS-485 D+ et RS-485 D-.
Désignation
Valeur
Interface série
Vitesse de transmission
Longueur d'un mot de données
Parité
Bits de départ
Bits d'arrêt
RS-485
9600 bauds
8 bits
aucune (no parity)
1
1
Raccorder les appareils d’affichage et de commande ou un PC
 Sur l'interface RS-485, il est possible de raccorder respectivement un appareil de
commande externe.
 Le raccordement d'une interface USB (PC) est possible via le convertisseur USB/RS485.
27
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
7
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
7.1
Généralités
Toutes les grandeurs physiques intéressant le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire sont fixées dans la commande électronique d'entraînement sous forme de paramètres. Chaque paramètre possède un numéro de trois chiffres et une désignation. Les
paramètres peuvent être utilisés, via les appareils d'affichage et de commande Pfeiffer
Vacuum ou via RS-485, avec le protocole Pfeiffer Vacuum.
Paramètres supplémentaires dans l'appareil de commande
Pour commander des composants externes raccordés (p. ex. des dispositifs de mesure
de la pression du vide), des paramètres supplémentaires sont fixés dans les appareils
d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum correspondants.
 Veuillez respecter le manuel de l’utulisateur adéquat.
7.1.1
Conventions
Les paramètres sont imprimés en gras sous forme de numéros à trois chiffres entre crochets. Le cas échéant, la désignation est indiquée en plus.
Exemple: [P:312] Version logicielle
7.2
Vue d'ensemble des paramètres
7.2.1
Explication
#
Affichage
Désignation
Fonctions
Type de données
Type d'accès
Unité
min / max
default

7.2.2
Numéro à trois chiffres du paramètre
Affichage à l'écran de la désignation du paramètre
* signifie le cas échéant une représentation sous forme de symbole
Brève description du paramètre
Description fonctionnelle du paramètre
Type de formatage du paramètre pour l'utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum
R : accès en lecture, W : accès en écriture
Unité physique de la caractéristique décrite
Valeurs limites autorisées pour la saisie d'une valeur
Préréglage en usine (en partie spécifique à la pompe)
Le paramètre ne peut pas être enregistré de manière volatile dans la commande électronique d'entraînement et peut être utilisé après réenclenchement de l'alimentation
électrique.
Utilisation avec DCU
Le jeu de paramètres et l'appareil d'affichage et de commande de Pfeiffer Vacuum
Les appareils d'affichage et de commande de Pfeiffer Vacuum DCU affichent un jeu de
paramètres de base en usine. En outre, le DCU contient les paramètres, qu’ils ne sont
pas inscrit dans la commande électronique d’entraînement.
Affichage
340 Pressure
350 Ctr Name
351 Ctr Software
738 Gaugetype
794 Param set
28
Désignation
Valeur réelle de pression (ActiveLine)
Modèle de l’appareil d’affichage et de commande
Version logicielle de l’appareil de commande et
d’affichage
Type de jauge de pression
Jeu paramètres
Fonctions
0 = Jeu de paramètres de base
1 = Jeu de paramètres avancé
Type
#
Type de
 Paramètre [P:794] = 1 (Affichage des toutes paramètres disponibles).
7
4
R
R
4
R
4
7
RW
RW
max default 
i
Unité
min
hPa
1E-10 1E3
0
1
0
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
#
Insérer la ligne de service
Unité
7
RW
max default 
i
min
795
Ordres de réglage
Affichage
Désignation
001 Heating
Chauffage
002 Standby
Standby
004 RUTimeCtrl
Surveillance du temps d'accélération
009 ErrorAckn
010 PumpgStatn
Acquittement de dérangement
Groupe de pompage
012 EnableVent
Autorisation de remise à l'air
017 CfgSpdSwPt
Configuration point de commutation de la vitesse de rotation
019 Cfg DO2
Configuration de la sortie DO2
023 MotorPump
Pompe avec moteur
024 Cfg DO1
Configuration de la sortie DO1
025 OpMode BKP
Mode d'exploitation pompe primaire
026 SpdSetMode
Mode réglage de la vitesse
027 GasMode
Mode gaz
028 Cfg Remote
Configuration raccord remote
030 VentMode
Mode de remise à l'air
Fonctions
min maxi
default 
RW
0
1
0
x
RW
0
1
0
x
RW
0
1
1
x
W
RW
1
0
1
1
0
x
RW
0
1
0
x
RW
0
1
0
x
RW
0
22
1
x
RW
0
1
0
x
RW
0
22
0
x
7
RW
0
2
0
x
7
RW
0
1
0
x
7
RW
0
2
0
x
7
RW
0
4
0
x
7
RW
0
2
0
x
0 = off
0
1 = on
0 = off
0
1 = on
0 = off
0
1 = on
1 = acquittement de dérangement
0
0 = off
0
1 = on et acquittement de dérangement
0 = non
0
1 = oui
0 = point de commutation de la vitesse de 7
rotation 1
1 = point de commutation de la vitesse de
rotation 1 & 2
0 = point de commutation de la vitesse de 7
rotation atteint
1 = aucun défaut
2 = défaut
3 = avertissement
4 = défaut et/ou avertissement
5 = vitesse de rotation de consigne atteinte
6 = pompe en marche
7 = pompe en accélération
8 = pompe en décélération
9 = toujours 0
10 = toujours 1
11 = priorité à la commande à distance
active
12 = chauffage
13 = pompe primaire
14 = gaz de balayage
15 = groupe de pompage
16 = pompe en rotation
17 = pompe à l'arrêt
19 = valeur descendue sous le point de
commutation de la pression 1
20 = valeur descendue sous le point de
commutation de la pression 2
21 = vanne de vide primaire, retardée
22 = stand-by pompe primaire
0 = off
0
1 = on
Pour les réglages, voir [P:019]
7
0 = fonctionnement permanent
1 = mode intermittent
2 = enclenchement retardé
0 = off
1 = on
0 = gaz lourds
1 = gaz légers
2 = hélium
0 = standard
4 = Relais inversé
0 = remise à l'air retardée
1 = pas de remise à l'air
2 = remise à l'air directe
Unité
Type
7.2.3
Fonctions
Type
795 Servicelin
Désignation
Type de
Affichage
Type de
#
29
Affichage
Désignation
Fonctions
Unité
min maxi
default 
Type
#
Type de
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
RW
0
13
0
x
Configuration du raccord accessoires B1
0 = ventilateur (fonctionnement perma- 7
nent)
1 = vanne de remise à l'air, fermée hors
tension
2 = chauffage
3 = pompe primaire
4 = ventilateur (à température contrôlée)
5 = gaz de balayage
6 = toujours 0
7 = toujours 1
8 = remise à l'air sur coupure de courant
9 = chauffage TMS
10 = refroidissement TMS
12 = deuxième vanne de remise à l'air
13 = surveillance du gaz de balayage
Options, voir [P:035]
7
RW
0
13
1
x
037 Cfg Acc A2
Configuration du raccord accessoires A2
Options, voir [P:035]
7
RW
0
13
3
x
038 Cfg Acc B2
Configuration du raccord accessoires B2
Options, voir [P:035]
7
RW
0
13
2
x
041 Press1HVen
Activation du capteur de vide élevé intégrée
(IKT uniquement)
RW
0
3
2
x
045 Cfg Rel R1
Configuration du relais 1
7
0 = arrêt
1 = marche
2 = marche, lorsque le point de commutation de la vitesse de rotation est atteint
3 = marche, lorsque la valeur est descendue sous le point de commutation de la
pression
Options, voir [P:019]
7
RW
0
22
0
x
046 Cfg Rel R2
Configuration du relais 2
Options, voir [P:019]
7
RW
0
22
1
x
047 Cfg Rel R3
Configuration du relais 3
Options, voir [P:019]
7
RW
0
22
3
x
050 SealingGas
Gaz de balayage
RW
0
1
0
x
055 Cfg AO1
Configuration de la sortie AO1
RW
0
8
0
x
057 Cfg AI1
Configuration entrée AI1
RW
0
1
1
x
060 CtrlViaInt
Commande via interface
RW
1
255
2
x
061 IntSelLckd
Sélection d'interfaces verrouillée
RW
0
1
0
x
062 Cfg DI1
Configuration entrée DI1
0 = arrêt
0
1 = marche
7
0 = vitesse réelle
1 = puissance
2 = courant
3 = toujours 0 V
4 = toujours 10 V
5 = suit AI1
6 = valeur de pression 1
7 = valeur de pression 2
8 = pilotage vide primaire
0 = mis à l'arrêt
7
1 = valeur prédéfinie en mode d'exploitation à régime variable
7
1 = mode distant
2 = RS-485
4 = PV.can
8 = bus de terrain
16 = E74
255 = déverrouiller la sélection d'interface
0 = off
0
1 = on
7
Réglage [P:063/064]
RW
0
7
1
x
RW
0
7
2
x
RW
0
7
3
x
035 Cfg Acc A1
Configuration du raccord accessoires A1
036 Cfg Acc B1
063 Cfg DI2
Configuration entrée DI2
064 Cfg DI3
Configuration entrée DI3
30
0 = désactivé
1 = autorisation de remise à l'air
2 = chauffage
3 = purge de gaz neutre
4 = surveillance du temps d'accélération
5 = mode d'exploitation à régime variable
7 = activation du capteur de vide élevé
Options, voir [P:062]
7
Réglage [P:062/064]
Options, voir [P:062]
Réglage [P:062/063]
7
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Demandes d'état
Affichage
Désignation
300
RemotePrio
Priorité à la télécommande
302
SpdSwPtAtt
303
304
Error code
OvTempElec
305
OvTempPump
Point de commutation de la vitesse de rotation
atteint
Code défaut
Surchauffe commande électronique d'entraînement
Température excessive de la pompe
306
SetSpdAtt
Vitesse de consigne atteinte
307
PumpAccel
Pompe accélère
308
309
310
311
312
SetRotSpd
ActualSpd
DrvCurrent
OpHrsPump
Fw version
313
314
DrvVoltage
OpHrsElec
315
316
319
324
326
330
336
337
342
346
349
Nominal Spd
DrvPower
PumpCycles
TempPwrStg
TempElec
TempPmpBot
AccelDecel
SealGasFlw
TempBearng
TempMotor
ElecName
354
HW Version
360
361
362
363
364
365
366
367
368
369
384
397
398
399
ErrHist1
ErrHist2
ErrHist3
ErrHist4
ErrHist5
ErrHist6
ErrHist7
ErrHist8
ErrHist9
ErrHist10
TempRotor
SetRotSpd
ActualSpd
NominalSpd
Vitesse de consigne (Hz)
Vitesse réelle (Hz)
Courant d'entraînement
Heures de fonctionnement pompe
Version logicielle de la commande électronique
d'entraînement
Tension d'entraînement
Heures de fonctionnement commande électronique d'entraînement
Vitesse nominale (Hz)
Puissance d'entraînement
Cycles de pompe
Amplificateur température
Commande électronique température
Température partie inférieure de pompe
Accélération / temporisation
Débit de gaz de balayage
Température palier
Température moteur
Désignation commande électronique d'entraînement
Version matérielle commande électronique
d'entraînement
Historique code erreur, emplacement 1
Historique code erreur, emplacement 2
Historique code erreur, emplacement 3
Historique code erreur, emplacement 4
Historique code erreur, emplacement 5
Historique code erreur, emplacement 6
Historique code erreur, emplacement 7
Historique code erreur, emplacement 8
Historique code erreur, emplacement 9
Historique code erreur, emplacement 10
Température rotor
Vitesse de consigne (1/min)
Vitesse réelle (1/min)
Vitesse nominale (1/min)
7.2.5
0 = non
1 = oui
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
0
R
0
1
4
0
R
R
0
1
0
R
0
1
0
R
0
1
0
R
0
1
1
1
2
1
4
R
R
R
R
R
Hz
Hz
A
h
0
0
0
0
999999
999999
9999.99
65535
x
2
1
R
R
V
h
0
0
9999.99
65535
x
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
4
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
Hz
W
0
0
0
0
0
0
0
0
0
0
999999
999999
65535
999999
999999
999999
999999
999999
999999
999999
4
R
4
4
4
4
4
4
4
4
4
4
1
1
1
1
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
0 = non
1 = oui
0 = non
1 = oui
0 = non
1 = oui
0 = non
1 = oui
Unité
°C
°C
°C
rpm/s
sccm
°C
°C
min maxi
default 
Fonctions
Type
#
Type de
7.2.4
x
x
x
x
x
x
x
x
x
x
x
°C
rpm
rpm
rpm
0
0
0
0
999999
999999
999999
999999
Unité
min maxi
default 
1
50
20
120
97
100
8
80
65
x
x
x
Valeurs de consigne prédéfinies
Affichage
Désignation
700
701
707
RUTimeSVal
SpdSwPt1
SpdSVal
Valeur de consigne temps d'accélération
Point de commutation de vitesse de rotation 1
Valeur prédéfinie en mode d'exploitation à régime variable
Valeur prédéfinie puissance absorbée
1 RW min
1 RW %
2 RW %
7 RW %
10
100
Seuil d'interruption pompe primaire en mode intermittent
Seuil d'allumage pompe primaire en mode intermittent
Valeur prédéfinie vitesse en mode Standby
Point de commutation de vitesse de rotation 2
Vitesse de remise à l'air remise à l'air retardée
Temps de remise à l'air remise à l'air retardée
Point de commutation de la pression 1
1 RW W
0
1000
1001
0
x
1 RW W
0
1000
0
x
2
1
7
1
1
0
20
5
40
6
100
97
98
3600
66.7
20
50
3600
x
x
x
x
x
708
PwrSVal
710
Swoff BKP
711
SwOn BKP
717
719
720
721
730
StdbySVal
SpdSwPt2
VentSpd
VentTime
PrsSwPt 1
Fonctions
Type de
Type
#
RW %
RW %
RW %
RW s
RW hPa
x
31
#
Affichage
Désignation
Fonctions
732
PrsSwPt 2
Point de commutation de la pression 2
739
740
PrsSn1Name
Pressure 1
Nom du capteur 1
Valeur de pression 1
742
749
750
PrsCorrPi 1
PrsSn2Name
Pressure 2
Facteur de correction 1
Nom du capteur 2
Valeur de pression 2
752
777
791
797
PrsCorrPi 2
NomSpdConf
SlgWrnThrs
RS485Adr
Facteur de correction 2
Confirmation vitesse nominale
Débit de gaz de balayage, seuil d'avertissement
Adresse d'appareil RS-485
1. en fonction du type de pompe
7.3
Type de
Type
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
1
0
4
1
0
2
4
1
0
2
1
1
1
Unité
min maxi
default 
RW hPa
x
R
RW hPa
x
RW
R
RW hPa
RW
RW Hz
RW sccm
RW
x
x
0
5
1
1500
200
255
0
15
1
x
x
x
x
Configurer raccords
La commande électronique est préconfigurée en usine. Ainsi, la pompe turbomoléculaire
est immédiatement prête à fonctionner avec les fonctions les plus nécessaires. En cas
d'exigences individuelles, la plupart des raccords de la commande électronique d'entraînement peuvent être configurés avec le jeu de paramètres.
32
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
7.3.1
Raccordement accessoires
 Configuration via paramètre [P:035], [P:036], [P:037] ou [P:038].
Option
Description
0 = ventilateur (fonctionnement continu)
1 = vanne de remise à l’air, fermée sans
courant
Commande via paramètres Groupe de pompage
Commande via paramètres Validation remise à l’air. En cas
d’utilisation d’une vanne de remise à l’air fermée sans courant
Commande via paramètres Chauffage et Point de commutation de la vitesse de rotation atteint
Commande via paramètres Groupe de pompage et Mode
de fonctionnement pompe préliminaire
Commande via paramètres Groupe de pompage et Valeurs
seuil de température
Commande via paramètres Groupe de pompage et Gaz de
protection
GND pour la commande d’un dispositif externe
+24 VDC pour la commande d’un dispositif externe
Commande via paramètres Validation remise à l’air. En cas
d’utilisation d’une vanne de remise à l’air en cas de panne
de courant
Commande via paramètres Validation remise à l’air et Dépassement négatif de 50 % de la vitesse nominale. En cas
d’utilisation d’une vanne de remise à l’air fermée sans courant.
Commande via paramètres Groupe de pompage et Gaz de
protection
2 = chauffage
3 = pompe préliminaire
4 = ventilateur (à température contrôlée)
5 = gaz de protection
6 = toujours 0
7 = toujours 1
8 = vanne de remise à l’air en cas de
panne de courant
12 = deuxième vanne de remise à l’air
13 = surveillance gaz de protection
7.3.2
Sorties numériques et relais au niveau de
« remote »
 Configuration via paramètre [P:019] et [P:024], ou [P:045], [P:046], [P:047] et
[P:028].
● Dans la description « actif » signifié :
– Pour tous les sorties numériques : V+ active high
– Pour tous les relais : Changement de contact conformement à réglage [P:028]
Option
Description
0 = point de commutation de la vitesse
de rotation atteint
1 = aucun défaut
2 = défaut
3 = avertissement
4 = défaut et/ou avertissement
5 = vitesse de rotation de consigne atteinte
6 = pompe en marche
actif lorsque le point de commutation est atteint
actif en cas de fonctionnement sans défaut
actif lorsqu'un message d'erreur est actif
actif lorsqu'un message d'avertissement est actif
actif lorsqu'un défaut et/ou avertissement est actif
actif lorsque le point de commutation de la vitesse de rotation
de consigne est atteint
actif lorsque le groupe de pompage est en marche, moteur en
marche et aucun défaut
7 = pompe en accélération
actif lorsque le groupe de pompage est en marche, vitesse de
rotation réelle < vitesse de rotation de consigne
8 = pompe en décélération
actif lorsque le groupe de pompage est en marche, vitesse de
rotation réelle > vitesse de rotation de consigne
Groupe de pompage arrêté, vitesse de rotation > 3 Hz
9 = toujours 0
GND (masse) pour la commande d'un appareil externe
10 = toujours 1
+24 Vcc pour la commande d'un appareil externe
11 = priorité à la commande à distance actif lorsque la priorité à la commande à distance est active
active
12 = chauffage
Commande correspondant au paramètre [P:001]
13 = pompe primaire
Commande correspondant au paramètre [P:010] et [P:025]
14 = gaz de balayage
Commande correspondant au paramètre [P:050]
15 = groupe de pompage
Commande correspondant au paramètre [P:010]
16 = pompe en rotation
actif lorsque vitesse de rotation > 1 Hz
17 = pompe à l'arrêt
actif lorsque vitesse de rotation < 2 Hz
33
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Option
Description
18 = TMS stabilisé*
19 = valeur descendue sous le point de
commutation de la pression 1
20 = valeur descendue sous le point de
commutation de la pression 2
21 = vanne de vide primaire, retardée
actif lorsque la température de consigne de TMS est stabilisée
Commande correspondant au paramètre [P:730] ([P:740] <
[P:730])
Commande correspondant au paramètre [P:732] ([P:750] <
[P:732])
+24 Vcc retardée après mise en marche du groupe de pompage
22 = stand-by pompe primaire
Commande de mode Stand-by de la pompe primaire
* Uniquement en cas d'utilisation de pompes avec système de gestion de la température TMS
7.3.3
Entrées numériques sur « remote »
 Configuration via paramètre [P:062], [P:063] ou [P:064].
Option
Description
0 = désactivé
Raccord hors service
1 = autorisation de remise à l'air
Commande correspondant au paramètre [P:012]
2 = chauffage
Commande correspondant au paramètre [P:001]
3 = purge de gaz neutre
Commande correspondant au paramètre [P:050]
4 = surveillance du temps d'accéléra- Commande correspondant au paramètre [P:004]
tion
5 = mode d'exploitation à régime va- Commande correspondant au paramètre [P:026]
riable
7 = activation du capteur de vide éle- Commande correspondant au paramètre [P:041] (uniquement 0
vé
ou 1)
7.3.4
Sortie analogique sur « remote »
 Configuration via paramètre [P:055].
Option
Description
0 = vitesse de rotation
1 = puissance
2 = courant
3 = toujours 0 V
4 = toujours 10 V
5 = suit AI1
6 = valeur de pression 1
Signal de vitesse de rotation ; 0-10 V CC = 0-100 % x fnominal
Signal de puissance ; 0-10 V CC = 0-100 % x Pmax
Signal de courant ; 0-10 V CC = 0-100 % x Imax
toujours GND
Valeur prédéfinie de 10 V CC durable
suit l'entrée analogique 1
Signal de valeur de pression ;
0 V : défaut
1 V : sous-passement
1,5 - 8,5 V pour capteur RPT p (hPa) = 10(U-5,5 V)
1,5 - 8,5 V pour capteur IKT p (hPa) = 10(U-10,5 V)
9 V : dépassement
Signal de vide primaire ; pilotage par Pfeiffer Vacuum
Groupes de pompage turbo
7 = valeur de pression 2
8 = pilotage vide primaire
7.3.5
Entrée analogique sur « remote »
 Configuration via paramètre [P:057].
Option
Description
0 = éteinte
Raccord hors service
1 = valeur prédéfinie en mode d'exploi- Mode d'exploitation à régime variable via broche 7 (0 - 10 V) et
tation à régime variable
broche 11 (GND)
7.3.6
Commande via interface
 Configuration via paramètres [P:060] et [P:061].
34
Option [P:060]
Description
1 = mode distant
Commande via raccord « remote »
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Option [P:060]
Description
2 = RS-485
4 = PV.can
8 = bus de terrain
16 = E74
Commande via raccord « RS-485 »
Uniquement à des fins de maintenance
Commande via bus de terrain
Commande via raccord « E74 »
Option [P:061]
Description
0 = off
1 = on
Sélection d'interfaces via [P:060] réglable
Sélection d'interfaces verrouillée
7.4
Travail avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
7.4.1
Réglages en usine
La commande électronique d'entraînement est préprogrammée en usine. Ainsi, le fonctionnement parfait et sécurisé de la pompe turbomoléculaire sans configuration supplémentaire est garantit.
7.4.2
Vérifier réglages
 Avant le fonctionnement avec les paramètres valeurs de consigne prédéfinies et
ordres de réglage, vérifiez s'ils sont adaptés au procédé de pompage.
 Retirer le cas échéant le connecteur de commande à distance de la commande électronique d'entraînement.
7.4.3
Exploitation en fonction du type de gaz
En présence d'une charge de gaz et d'une vitesse de rotation élevée, le rotor est fortement échauffé par le frottement. Pour éviter toute surchauffe, des courbes caractéristique de régime et de puissance ont été implémentée dans la commande électronique.
Elle permet d'exploiter la pompe à chaque vitesse de rotation avec la charge de gaz
maximale autorisée, sans risque d'endommagement. La puissance absorbée maximale
dépend du type de gaz. Pour exploiter pleinement la capacité de puissance de la pompe
pour chaque type de gaz, trois paramètres de courbe sont disponibles.
AVIS
Risque de détruire la pompe
En cas de mauvais mode Gaz sélectionné, le pompage des gaz avec masses moléculaires plus haute peut provoquer la destruction de la pompe.
 Veillez à ce que le mode Gaz soit correctement réglé.
 Avant d'utiliser des gaz présentant des masses molaires plus importantes (> 80),
contactez Pfeiffer Vacuum.
● Mode Gaz « 0 » pour les gaz présentant une masse molaire >39 , par ex. l'Argon.
● Mode Gaz « 1 » pour les gaz présentant une masse molaire  39.
● Mode Gaz « 2 » pour hélium.
● Courbes de puissance conformément aux caractéristiques techniques de la pompe
turbomoléculaire.
 Vérifiez et réglez mode gaz [P:027].
35
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Pmax
B
F
Accélération
D
[P:708]
Puissance
E
A
C-D = Mode gaz "0"
A-B = Mode gaz "1"
E-F = Mode gaz "2"
Vitesse
Fig. 4:
C
fN
Principe des courbes de puissance en exploitation en fonction du type de gaz ; ex. Mode
gaz = 0
La pompe turbomoléculaire s'active avec une puissance absorbée maximale. Lorsque la
vitesse nominale ou de consigne est atteinte, une commutation automatique sur la
courbe de puissance du mode gaz sélectionné s'effectue. Une charge de gaz croissante
est tout d'abord compensée par une augmentation de la puissance absorbée, afin de
maintenir la vitesse constante. Toutefois, une friction de gaz croissante résulte en un
échauffement plus important de la pompe turbomoléculaire. En cas de dépassement de
la puissance maximale en fonction du type de gaz, la vitesse de la pompe turbomoléculaire diminue jusqu'à ce qu'un équilibre s'établisse entre la puissance admissible et la
friction du gaz.
 Pour éviter des variations de vitesse, Pfeiffer Vacuum recommande une fréquence légèrement inférieure en mode Réglage de la vitesse.
7.4.4
Valeur prédéfinie puissance absorbée
 Régler le paramètre [P:708] sur la valeur souhaitée en %.
En cas de réglage de la valeur prédéfinie de puissance absorbée en dessous de 100 %,
le temps d'accélération se prolonge. Afin d'éviter des messages d'erreur, le paramètre
[P:700] RUTimeSVal doit être adapté de manière adéquate.
7.4.5
Temps d'accélération
Le temps d'accélération de la pompe turbomoléculaire est surveillé au niveau du temps
en usine. Des temps d'accélération prolongés peuvent indiquer diverses causes, p. ex.:
● Des charges de gaz trop élevées
● Fuites dans le système
● Valeur de consigne temps d'accélération trop basse
 Le cas échéant, éliminez les causes externes et conditionnées par les applications.
 Avec le paramètre [P:700], adaptez le temps d'accélération.
7.4.6
Réglez le point de commutation de la vitesse de rotation
Le point de commutation de la vitesse de rotation peut être utilisé pour le message «
Pompe prête à fonctionner pour le processus ». Le dépassement ou le franchissement
par défaut du point actif de commutation de la vitesse de rotation active ou désactive un
signal au niveau de la sortie préconfigurée de la commande électronique d'entraînement
et le paramètre de statut [P:302].
Point de commutation de vitesse de rotation 1
 Régler le paramètre [P:701] sur la valeur souhaitée en %.
 Paramètre [P:017] = 0
36
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
L'émission de signaux et le paramètre de statut [P:302] s'orientent sur la valeur réglée
pour le point de commutation de la vitesse de rotation 1 [P:701].
f(%)
[P:017] = 0
[P:701]
t
[P:010]
[P:302]
Fig. 5:
1
t
0
1
0
t
Process
Exemple pour Configuration du point de commutation de la vitesse de rotation 1 active
Point de commutation de la vitesse de rotation 1 & 2
 Régler le paramètre [P:701] sur la valeur souhaitée en %.
 Régler le paramètre [P:719] sur la valeur souhaitée en %.
 Paramètre [P:017] = 1
Lorsque le groupe de pompage [P:010] est enclenché, le point de commutation de la vitesse de rotation 1 fait office d'émetteur de signaux. Lorsque le groupe de pompage est
éteint, l'émission de signaux et les demandes d'état s'orientent sur le point de commutation de la vitesse de rotation 2. L'émission de signaux est soumise à l'hystérésis entre
les deux points de commutation.
f(%)
[P:017] = 1
[P:701]
[P:719]
t
[P:010]
[P:302]
Fig. 6:
1
t
0
1
0
t
Process
Exemple pour Configuration point de commutation de la vitesse de rotation 1+2 active ;
[P:701] > [P:719]
37
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
f(%)
[P:017] = 1
[P:719]
[P:701]
t
[P:010]
[P:302]
Fig. 7:
7.4.7
1
t
0
1
0
t
Process
Exemple pour Configuration point de commutation de la vitesse de rotation 1+2 active ;
[P:701] < [P:719]
Mode Réglage de la vitesse
Le mode d'exploitation à régime variable sert à la réduction de la vitesse et par conséquent de la puissance d'aspiration de la pompe turbomoléculaire. La capacité d'aspiration de la pompe turbomoléculaire varie proportionnellement à la vitesse. En Mode d'exploitation à régime variable, le mode Standby est inopérant. La vitesse de consigne est
réglée via la valeur prédéfinie dans le Mode d'exploitation à régime variable [P:707]. Le
point de commutation de la vitesse de rotation varie avec la vitesse de consigne. Le dépassement ou le franchissement par défaut de la valeur prédéfinie dans le Mode d'exploitation à régime variable active ou désactive le signal de statut [P:306] SetSpdAtt.
 Régler le paramètre [P:707] sur la valeur souhaitée en %.
 Paramètre [P:026] = 1
 Demande d'état du paramètre [P:308]/[P:397].
Plage de vitesse admissible de la pompe turbomoléculaire
Paramètres dans le mode d’exploitation à regime variable ou en mode Standby sont assignés à la plage de vitesse permis de la pompe turbomoléculaire respectifs. Franchissement de la valeur minimale permis entraîne à l’avertissement Wrn100. La commande électronique d’entraînement règle la vitesse de consigne automatiquement sur
la prochaine valeur valide.
 Observez la plage de vitesse admissible (voir chapitre Caractéristiques techniques
de le manuel de l’utilisateur pour que la pompe turbomoléculaire).
7.4.8
Standby
Pfeiffer Vacuum recommande le mode Standby de la pompe turbomoléculaire lors de
pauses de processus ou d'exploitation. Lorsque le mode Standby est activé, la commande électronique d'entraînement réduit la vitesse de la pompe turbomoléculaire. En
Mode d'exploitation à régime variable, le mode Standby est inopérant. Le réglage en
usine pour Standby représente 66,7 % de la vitesse nominale. Le dépassement ou le
franchissement par défaut de la valeur prédéfinie dans Standby active ou désactive le
signal de statut [P:306] SetSpdAtt.
 Régler le paramètre [P:717] sur la valeur souhaitée en %.
 Paramètre [P:026] = 0
 Paramètre [P:002] = 1
 Demande d'état du paramètre [P:308]/[P:397].
38
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
7.4.9
Valeurs prédéfinies de vitesse
La vitesse nominale caractéristique d'une pompe turbomoléculaire est réglée en usine
dans la commande électronique d'entraînement. Après un remplacement de la commande électronique d'entraînement, ou un changement pour un autre type de pompe, il
faut valider la valeur de consigne prédéfinie de la vitesse nominale. Cette procédure fait
partie intégrante du système de sécurité redondant permettant d’éviter les survitesses.
HiPace
Confirmation vitesse nominale [P:777]
300
400 / 700 / 800
1000 Hz
820 Hz
 Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe.
Après avoir atteint la vitesse nominale, la pompe turbomoléculaire fonctionne à vide
sans admission de charges de gaz supplémentaires. En fonction des exigences du procédé ou de l'application, la vitesse nominale peut être réduite en mode d'exploitation à
régime variable ou en mode Standby.
7.4.10 Mode d'exploitation pompe primaire
L'exploitation d'une pompe primaire raccordée via la commande électronique d'entraînement dépend du type de pompe primaire.
Mode de fonctionnement
[P:025]
pompe primaire recommandée
"0" Fonctionnement permanent
"1" Mode intermittent
"2" Enclenchement retardé
"3" Mode intermittent retardé
toutes les pompes primaires
uniquement les pompes à membrane
toutes les pompes primaires
uniquement les pompes à membrane
 Régler le paramètre [P:025] sur la valeur souhaitée.
Fonctionnement permanent
La commande électronique d'entraînement envoie, simultanément avec « Groupe de
pompage on », un signal au raccord accessoires configuré pour l'enclenchement de la
pompe primaire. Ce signal peut aussi être utilisé pour la commande d'une vanne de sécurité de vide primaire.
Mode intermittent (uniquement pompes à membrane)
Le mode intermittent peut allonger la durée de vie des membranes d'une pompe à membrane raccordée. Le mode intermittent requiert soit une pompe à membrane à relais
semi-conducteur intégré, soit une boîte à relais interconnectée à un relais semi-conducteur. En fonction de la puissance absorbée, la pompe primaire est enclenchée ou éteinte.
La puissance absorbée permet d'obtenir un rapport pour la pression de vide primaire
fournie. Les seuils d'interruption et d'enclenchement de la pompe primaire sont réglables. Des fluctuations de la puissance absorbée des pompes primaires à vide et différentes pressions de vide primaire des pompes primaires requièrent le réglage individuel du mode intermittent.
Pfeiffer Vacuum recommande le mode intermittent entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et
une vanne de dosage sont requis pour le réglage des seuils de commutation.
 Enclenchez le système sous vide avec la fonction « groupe de pompage » et attendez
le temps d'accélération.
 Créez une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide d'une admission de gaz via
une vanne de dosage.
 Lisez et notez le paramètre [P:316].
 Réglez le seuil de commutation de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement
déterminée pour une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide du paramètre
[P:711].
 Réduisez la pression de vide primaire à 5 hPa.
 Lisez et notez le paramètre [P:316].
39
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
 Réglez le seuil d'interruption de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement
déterminée pour une pression de vide primaire de 5 hPa à l'aide du paramètre
[P:710].
Enclenchement temporisé
Un enclenchement simultané de la pompe turbomoléculaire et de la pompe primaire peut
conduire à des flux de gaz indésirables. En fonction des exigences du processus ou de
l'application, la pompe primaire peut être enclenchée avec du retard. Le retard à l'enclenchement dépend de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire et il est fixé à
6 Hz dans la commande électronique d'entraînement.
Le signal peut également être utilisé pour la commutation d'une vanne de sécurité de
vide primaire.
Mode intermittent retardé
Les variations dans le mode intermittent peuvent induire des dépassements ou des
sous-passements des seuils de commutation programmés et donc une commutation indésirable de la pompe primaire. En fonction des exigences du processus ou de l'application, le fonctionnement intermittent peut être commuté avec un retard. Le retard de
commutation dépend d'un dépassement ou d'un sous-passement stable et durable ininterrompu des seuils de commutation saisis.
● Seuil de mise hors circuit, paramètre [P:710]
● Seuil de mise en circuit, paramètre [P:711]
● Retard 8 s.
Le signal peut également être utilisé pour la commutation d'une vanne de sécurité de
vide primaire.
7.4.11 Mode Stand-by de la pompe primaire
Les pompes primaires Pfeiffer Vacuum avec régulation de la vitesse de rotation raccordées peuvent être mises en mode Stand-by par la configuration d'une sortie numérique
[P:019] ou [P:024]. Dans ce cas, le signal du groupe de pompage n'arrête pas la pompe
primaire à la puissance absorbée correspondante de la pompe turbomoléculaire mais la
place en mode vitesse de rotation réduite.
 Assurer le raccordement de la pompe primaire par le biais d'un câble de raccordement approprié disponible dans les accessoires Pfeiffer Vacuum.
 Paramètre [P:019] ou [P:024] = 22 (mode Stand-by de la pompe primaire).
 Pour le réglage de la vitesse de rotation du mode Stand-by, voir le manuel de l'utilisateur correspondant de la pompe primaire.
7.4.12 Exploitation avec périphérique
Selon la configuration, plusieurs appareils accessoires peuvent être raccordés à la
pompe turbomoléculaire et être commandés via les paramètres de la commande électronique d'entraînement.
Chauffage
 Enclenchez ou éteignez le chauffage à l'aide du paramètre [P:001].
L'activation du chauffage du boîtier raccordé dépend du point de commutation de la vitesse de rotation 1 (réglage en usine 80 % x fNominal).
Ventilateur
Deux options dans la configuration des raccords permettent le fonctionnement permanent ou l'enclenchement et l'interruption à température contrôlée d'un refroidissement à
l'air raccordé (regardez à la p. 32, chap. 7.3) . Les valeurs seuils sont fixées de manière
propre à chaque type dans la commande électronique d'entraînement.
40
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Vanne de la purge de gaz neutre
 Enclenchez ou éteignez une vanne de la purge de gaz neutre via la sortie préconfigurée, à l'aide du paramètre [P:050].
Surveillance du gaz de balayage
 Configuration d'une sortie accessoire libre et existante [P:035], [P:036, [P:037] ou
[P:038] sur option « 13 ».
 Réglage du seuil d'avertissement [P:791] sur le débit de gaz de balayage souhaité.
 Interrogation du débit de gaz de balayage via [P:337].
7.4.13 Modes de remise à l’air
La remise à l'air de la pompe turbomoléculaire est possible après l'interruption de la fonction « Groupe de pompage ». L'émission de signaux au niveau des sorties configurées
s'effectue avec une temporisation fixée à 6 s. Trois modes d'exploitation peuvent être sélectionnés pour l'exploitation avec vanne de remise à l'air raccordée.
 Déclenchez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:012].
 Sélectionnez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:030].
Remise à l'air retardée
Le début et le temps de remise à l'air après « Groupe de pompage off » peuvent être
configurés et dépendent de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire.
 Paramètre [P:030] = 0
 Réglez la vitesse de remise à l'air en % de la vitesse nominale à l'aide du paramètre
[P:720].
 Réglez la vitesse de remise à l'air en s à l'aide du paramètre [P:721].
En cas de franchissement par défaut de la vitesse de remise à l'air, la vanne de remise
à l'air s'ouvre pour le temps de remise à l'air réglé. En cas de panne secteur, la remise
à l'air s'effectue après franchissement par défaut de la vitesse de remise à l'air réglée.
La durée de remise à l'air dépend dans ce cas de l'énergie disponible fournie par le rotor
en mouvement. Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt.
Aucune remise à l'air
Aucune remise à l'air n'a lieu dans ce mode d'exploitation.
 Paramètre [P:030] = 1
Remise à l'air directe
Le début et le temps de remise à l'air ne sont pas configurables. La remise à l'air débute
avec une temporisation de 6 s après « Groupe de pompage off ». Lors d'un nouvel enclenchement de la fonction Groupe de pompage, la vanne de remise à l'air se ferme automatiquement. En cas de panne secteur, la remise à l'air s'effectue après franchissement par défaut d'une vitesse de rotation fixe et propre à chaque type. Une fois le courant
revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt.
 Paramètre [P:030] = 2
7.4.14 Surveillance de la charge thermique
Les signaux émis par les détecteurs de température permettent d'amener la pompe à un
état sûr en cas de franchissement par défaut des valeurs seuils. En fonction du type de
pompe, les valeurs seuils de température pour les avertissements et les messages d'erreur sont invariablement enregistrées dans la commande électronique d'entraînement .
Différentes demandes d'état sont prévues dans le jeu de paramètres à des fins d'information.
41
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
7.5
Mise en marche / mise hors circuit de la pompe
7.5.1
Mise en circuit
La fonction « Groupe de pompage » regroupe l'exploitation de la pompe turbomoléculaire et la commande de tous les appareils accessoires (p. ex. pompe primaire).
 Activez l'alimentation électrique par l'interrupteur S1 situé contre le bloc d'alimentation.
 Paramètre [P:023] = 1
 Paramètre [P:010] = 1
Les messages d'erreurs existants (et éliminés) ont été acquittés. Après un contrôle automatique réussi avec succès, la commande électronique d'entraînement met en service
le moteur de la pompe turbomoléculaire et tous les appareils accessoires raccordés en
fonction de leur configuration.
En cas de groupe de pompage activé, le moteur de la pompe turbomoléculaire peut être
allumée ou éteinte via la fonction [P:023].
7.5.2
Arrêt
 Paramètre [P:010] = 0
La commande électronique d'entraînement met la pompe turbomoléculaire hors circuit
et active les options d'accessoires préréglées (p. ex. remise à l'air « marche », pompe
primaire « arrêt »).
 Attendez l’arrêt complet de la pompe.
 Déconnectez l'alimentation électrique par l'interrupteur S1 situé contre le bloc d'alimentation.
42
Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 »
8
Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 »
8.1
Cadre de télégramme
Le cadre de télégramme du protocole Pfeiffer Vacuum contient uniquement des signes
de code ASCII [32; 127], à l'exception du signe de fin de télégramme CR. En principe, un
maître (p.ex. un PC) envoie  un télégramme, auquel répondre un esclave  (p. ex. la
commande électronique d'entraînement ou jauge).
a2
a1
a2 - a0
*
0
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
c2
c1
c0
C
R
Adresse d'appareil esclave 
– Adresse unique de l'appareil [« 001 » ; « 255 »]
– Adresse de groupe « 9xx » pour tous les appareils identiques (aucune réponse)
– Adresse globale « 000 » pour tous les appareils sur le bus (aucune réponse)
Action (regardez à la p. 43, chap. 8.2)
Numéro de paramètres Pfeiffer Vacuum
Longueur des données dn ... d0
Données sous forme de type de données respectif (regardez à la p. 44, chap. 8.3)
Total de contrôle (total des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) modulo 256
Carriage return (ASCII 13)
*
n2 - n0
l1 - l0
dn - d0
c2 - c0
CR
8.2
a0
Télégrammes
Demande de données ?
a2
a1
a0
0
0
n2
n1
n0
0
2
=
?
c2
c1
c0
C
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
c2
c1
c0
C
R
Control command !
a2
a1
a0
1
0
R
Réponse de données / ordre de réglage compris 
a2
a1
a0
1
0
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
c2
c1
c0
C
0
6
N
O
_
D
E
F
c2
c1
c0
C
_
R
A
N
G
E
_
L
O
G
I
C
R
Message d'erreur 
a2
a1
a0
1
0
NO_DEF
_RANGE
_LOGIC
8.2.1
n2
n1
n0
R
Le numéro de paramètre n2 - n0 n'existe pas
Données dn - d0 en dehors de la plage autorisée
erreur d'accès logique
Exemple 1
Demande de données
Vitesse réelle (paramètre [P:309], adresse d'appareil esclave : « 123 »)
?
1
2
3
0
0
3
0
9
0
2
=
?
1
1
2
C
ASCII
49
50
51
48
48
51
48
57
48
50
61
63
49
49
50
13
R
Réponse de données : 633 Hz
Vitesse réelle (paramètre [P:309], adresse d'appareil esclave : « 123 »)

1
2
3
1
0
3
0
9
0
6
0
0
0
6
3
3
0
3
7
C
ASCII
49
50
51
49
48
51
48
57
48
54
48
48
48
54
51
51
48
51
55
13
R
43
Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 »
8.2.2
Exemple 2
Ordre de réglage
Enclenchez groupe de pompe (paramètre [P:010], adresse d'appareil esclave : « 042 »)
!
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
C
ASCII
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
R
Ordre de réglage compris
Enclenchez groupe de pompe (paramètre [P:010], adresse d'appareil esclave : « 042 »)
8.3
44

0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
C
ASCII
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
R
Types de données utilisées
Datentyp
Beschreibung
Länge l1 - l0
Beispiel
0
1
2
4
7
10
11
falsch / wahr
pos. ganze Zahl
pos. Festkommazahl
Zeichenkette
pos. ganze Zahl
Exponentialwert
Zeichenkette
06
06
06
06
03
06
16
000000 / 111111
000000 bis 999999
001571 entspricht 15,71
TC_400
000 bis 999
100023 entspricht 1,0 · 103
BrezelBier&Wurst
Dysfonctionnements
9
Dysfonctionnements
9.1
Généralités
Des dysfonctionnements au niveau de la pompe turbomoléculaire et de la commande
électronique d'entraînement entraînent toujours un message d'avertissement ou d'erreur. Dans les deux cas, un code d'erreur est émis via la commande électronique d'entraînement. En général, les messages de service sont affichés via les DEL sur la commande électronique d'entraînement. La pompe turbomoléculaire et les appareils
raccordés s'éteignent en raison de défauts survenus. Le mode de remise à l'air sélectionné est à nouveau validé automatiquement après une temporisation prédéfinie.
AVERTISSEMENT
Démarrage automatique après une panne secteur ou de dépannage
Après une panne secteur ou en cas de défauts entraînant un arrêt de la pompe ou de
l'installation, la fonction « Groupe de pompage » de la commande électronique d'entraînement reste active. Une fois le courant revenu ou acquittement du dysfonctionnement,
la pompe turbomoléculaire s'active automatiquement.
 Le cas échéant, éteindre la fonction « Groupe de pompage ».
 Prendre les mesures de sécurité adaptées contre toute intervention dans la bride de
vide élevé lorsque la pompe turbomoléculaire est active.
9.2
Affichage du mode d’utilisation par les diodes
Les diodes sur la platine frontale de la commande électronique d’entraînement indiquent
des états de service de base de la pompe turbomoléculaire. Seules la DCU et la HPU
permettent un affichage différencié entre les erreurs et les avertissements.
DEL
Symbole État de la DEL
Verte
éteinte
allumée, clignotante
allumée, clignotante inverse
allumée, fixe
Jaune
Rouge
Fig. 8:
9.3
Codes d'erreur
Code
d'erreur
Problème
Err001
Survitesse
Err002
Surtension
Indication
Signification
allumée, clignotante
éteinte
allumée, fixe
Hors tension
« Groupe de pompage ARRÊT », vitesse
de rotation ≤ 60 min-1
« Groupe de pompage MARCHE », vitesse
de rotation de consigne non atteinte
« Groupe de pompage MARCHE », vitesse
de rotation de consigne atteinte
« Groupe de pompage ARRÊT », vitesse
de rotation > 60 min-1
Aucun avertissement
Avertissement
éteinte
allumée, fixe
Aucun défaut
Défaut
Comportement et signification des DEL sur la commande électronique d'entraînement
Causes possibles
– Unité de courant utilisée inadéquate
Dépannage
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Vérifier le type d'unité de courant
 Vérifier la tension de l'unité de courant
45
Dysfonctionnements
Code
d'erreur
Problème
Err006
 Adapter le temps d'accélération aux condi– Temps d'accélération réglé trop bas
tions du processus
– Fuite de gaz dans le récipient en raison
d'un défaut d'étanchéité ou de vannes  Vérifier l'étanchéité et la fermeture des
vannes du récipient
ouvertes
– Passage en dessous du point de com-  Adapter le point de commutation de la vitesse de rotation
mutation de la vitesse de rotation
après écoulement du temps d'accélération
Manque de fluide d'exploitation
– Manque de fluide d'exploitation
 Vérifier le fluide d'exploitation
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
Liaison commande électronique d'entraî- – Liaison à la pompe défectueuse
 Vérifier les liaisons
 Acquittement uniquement pour une vitesse
nement - pompe défectueuse
f=0
Défaut interne à l'appareil
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
La commande électronique d'entraîne Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
ment ne reconnaît pas la pompe
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
Erreur de configuration interne
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
Température excessive commande élec- – Refroidissement insuffisant
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
tronique
Err007
Err008
Err010
Err021
Err043
Err044
Causes possibles
Erreur de temps d'accélération
Err045
Température excessive moteur
Err046
Erreur d'initialisation interne
Err091
Défaut interne à l'appareil
Err092
Panneau de raccordement inconnu
Err093
Err098
Évaluation de température moteur défectueuse
Évaluation de température commande
électronique défectueuse
Erreur de communication interne
Err107
Erreur générale étage final
Err108
Mesure de la vitesse défectueuse
Err109
Logiciel non validé
Err110
Évaluation fluide d'exploitation défectueuse
Err111
Défaut de communication pompe de
fluide d'exploitation
Err112
Erreur générale pompe de fluide d'exploitation
Err114
Err118
Évaluation de température étage final défectueuse
Température excessive partie inférieure – Refroidissement insuffisant
de pompe
Température excessive étage final
– Refroidissement insuffisant
Err119
Température excessive palier
Err094
Err117
46
Dépannage
– Refroidissement insuffisant
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
– Refroidissement insuffisant
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
Dysfonctionnements
Code
d'erreur
Problème
Causes possibles
Err143
Température excessive pompe de fluide – Refroidissement insuffisant
d'exploitation
Dépannage
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
Err777 Vitesse nominale non confirmée
– Vitesse nominale non confirmée après  Confirmer la vitesse nominale avec [P:777]
remplacement de la commande élec-  Acquittement uniquement pour une vitesse
tronique d'entraînement
f=0
Wrn001 Temps de mise en température TMS ex- – Temporisation interne de surveillance  Vérifier les conditions d'utilisation
de mise en température expirée
piré
Wrn003 Capteur de température de circuit de
chauffage TMS
Wrn007 Sous-tension/panne secteur
Wrn018 Conflit de priorité
Wrn021 Signal de gaz de balayage non valide
Wrn034 Débit de gaz de balayage bas
Wrn045 Température moteur élevée
Wrn076 Température commande électronique
élevée
Wrn097 Information pompe non valide
Wrn098 Information pompe incomplète
Wrn100 Régime relevé à la valeur minimale
– Température TMS hors plage admissible entre +5 et 85 °C
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
– Panne secteur
 Vérifier l'alimentation sur secteur
– Groupe de pompage activé avec
 Activer le groupe de pompage via E74
[P:010] alors que l'entrée E74 « start/  Désactiver [P:010]
stop » est désactivée (ouverte)
– Signal de la surveillance du gaz de ba-  Vérifier les raccordements de la surlayage hors de la plage valide
veillance du gaz de balayage
 Vérifier les options de paramètres des sorties accessoires
– Signal de la surveillance du gaz de ba-  Vérifier et améliorer l'alimentation en gaz
layage valide mais inférieur au seuil
de balayage
programmé [P:791]
 Vérifier les conditions d'utilisation
– Refroidissement insuffisant
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
– Refroidissement insuffisant
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
– Données de la pompe erronées
– Liaison à la pompe défectueuse
 Réglage usine via acquittement
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
– Valeurs prédéfinies admissibles pour  Vérifier [P:707] ou [P:717]
le fonctionnement à régime variable ou  Voir la plage de régime valide dans les caen stand-by incorrectes
ractéristiques techniques de la pompe turbomoléculaire
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
Wrn115 Évaluation de température partie inférieure de pompe défectueuse
Wrn116 Évaluation de température palier défectueuse
Wrn117 Température partie inférieure de pompe – Refroidissement insuffisant
élevée
Wrn118 Température étage final élevée
– Refroidissement insuffisant
Wrn119 Température palier élevée
– Refroidissement insuffisant
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
Wrn143 Température pompe de fluide d'exploita- – Refroidissement insuffisant
tion élevée
Wrn168 Grand retard
– Vitesse de montée en pression trop
 Vérifier et adapter un débit de remise à l'air
élevée ; débit de remise à l'air trop élespécifique à la pompe
vé
9.3.1
Utilisation avec DCU
Outre les messages d'avertissement et d'erreur de la commande électronique d'entraînement spécifiques à l'appareil, des messages propres à l'appareil d'affichage et de
commande raccordé peuvent apparaître.
Affichage sur le Problème
DCU
Causes possibles
Dépannage
* Warning F110 *
Mesureur de pression
** Error E040 **
Erreur du matériel
** Error E042 **
Erreur du matériel
** Error E043 **
Erreur du matériel
– Jauge défectueuse
 Redémarrage avec la jauge raccordée
– Raccordement avec la jauge débran-  Remplacer la jauge
chée en fonctionnement
 Installer correctement la jauge
– RAM externe défectueuse
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
– Somme de contrôle EPROM
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
– Erreur d'écriture E2PROM
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
47
Dysfonctionnements
Affichage sur le Problème
DCU
Causes possibles
** Error E090 **
Défaut interne à l'appareil
– RAM insuffisante
– DCU raccordé à la mauvaise commande électronique de pompe
** Error E698 **
Erreur de communication
48
Dépannage
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Raccorder la commande électronique de
pompe correcte
– Absence de réponse de la commande  Informer le service après-vente de Pfeiffer
électronique d'entraînement
Vacuum
Déclaration de conformité
Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous répond à toutes les
dispositions applicables des directives CE suivantes :
● Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
● Basse tension 2014/35/UE
● Limitation de l'utilisation de certaines substances dangereuses 2011/65/UE
TC 400 DN
Normes harmonisées et normes nationales appliquées :
DIN EN 61000-3-2 : 2014
DIN EN 61000-3-3 : 2013
DIN EN 61010-1 : 2010
DIN EN 61326-1 : 2013
DIN EN 62061 : 2013
Semi F47-0200
Semi S2-0706
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Dr. Ulrich von Hülsen)
Directeur
Asslar, 2017-11-01
Notizen / Notes:
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