MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original TC 1200 DN Unité de commande électronique Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe turbomoléculaire est conçue pour vous aider par ses performances, son parfait fonctionnement, sans interférer avec votre application. Le nom Pfeiffer Vacuum est synonyme de technologie du vide de haute qualité, d’une gamme étendue et complète de produits de qualité supérieure et d’un service clients qui se distingue par son excellence. Forts de cette expertise, nous avons acquis une multitude de compétences contribuant à une implémentation efficace et sécurisée de notre produit. Sachant que tout arrêt de production est pénalisant, nous espérons vous offrir une solution efficace et fiable pour le fonctionnement continu de votre application. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail [email protected]. Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de nos produits à l'adresse Download Center sur notre site internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/70 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.2 Documents applicables 1.3 Groupe cible 1.4 Conventions 1.4.1 Instructions dans le texte 1.4.2 Pictogrammes 1.4.3 Autocollants sur le produit 1.4.4 Abréviations 1.5 Justificatif de marque 7 7 7 7 7 7 7 8 8 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Précautions de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisation abusive prévisible 10 10 10 11 12 13 13 3 Description du produit 3.1 Identification du produit 3.2 Caractéristiques du produit 3.3 Fonction 3.4 Contenu de la livraison 3.5 Connexions 14 14 14 14 15 15 4 Installation 4.1 Schéma des connexions 4.2 Connexion « DeviceNet » 4.3 Raccordement « remote » 4.4 Alimentation électrique secteur 16 16 18 18 20 5 Interfaces 5.1 Interface DeviceNet 5.1.1 Objet DeviceNet « Identity » 5.1.2 Objet DeviceNet « Message routeur » 5.1.3 Objet DeviceNet « DeviceNet » 5.1.4 Objet DeviceNet « Assemblage » 5.1.5 Objet DeviceNet « Connexion » 5.1.6 Objet DeviceNet « Registre » 5.1.7 Objet DeviceNet « Point d’entrée logique » 5.1.8 Objet DeviceNet « Point de sortie logique » 5.1.9 Objet DeviceNet « Entraînement CA/CC » 5.1.10Objet DeviceNet « S-Analog Superviseur » 5.1.11Objet DeviceNet « S-Analog capteur » 5.1.12Objet DeviceNet « S-Single Stage Controller » 5.1.13Objet DeviceNet « Interfaces » 5.1.14Objet DeviceNet « Composants du processus » 5.2 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 5.2.1 Cadre télégramme 5.2.2 Description du télégramme 5.2.3 Télégramme exemple 1 5.2.4 Télégramme exemple 2 5.2.5 Types de données 21 21 21 22 22 22 24 24 25 25 26 27 31 32 32 33 33 33 34 34 34 35 6 Ensemble de paramètres 6.1 Généralités 36 36 3/70 Table des matières 6.2 6.3 6.4 6.5 7 4/70 Instructions de réglage Requêtes d’état Entrées des valeurs de référence Paramètres additionnels dans l'appareil de commande 36 39 41 42 Utilisation 7.1 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum 7.1.1 Configurer la connexion « DeviceNet » 7.1.2 Configuration de l’adresse de l’appareil 7.1.3 Réglage de la vitesse de transmission 7.1.4 Configuration de l’échange de données 7.1.5 Configuration du raccordement « remote » 7.1.6 Configuration des connexions des accessoires 7.1.7 Sélection des interfaces 7.2 Modes de fonctionnement 7.2.1 Fonctionnement selon le type de gaz 7.2.2 Valeur de réglage de la puissance absorbée 7.2.3 Temps d’accélération 7.2.4 Points de commutation de vitesse de rotation 7.2.5 Mode de réglage de la vitesse de rotation 7.2.6 Standby 7.2.7 Confirmation de la spécification de vitesse 7.2.8 Modes de fonctionnement de la pompe de secours 7.2.9 Mode standby de la pompe de secours 7.2.10Fonctionnement avec des accessoires 7.2.11Modes de ventilation 7.3 Fonctionnement via la connexion « à distance » 7.3.1 Sortie +24 V CC/broche 1 7.3.2 Entrées 7.3.3 Sorties 7.3.4 Contacts de relais (inversible) 7.3.5 RS-485 7.4 Mise en marche de la pompe turbo 7.5 Mise à l’arrêt de la pompe turbomoléculaire 7.6 Surveillance des opérations 7.6.1 Affichage LED du mode de fonctionnement 7.6.2 Surveillance de la température 43 43 8 Dysfonctionnements 8.1 Généralités 8.2 Codes d’erreur 8.3 Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionnement avec des appareils de commande 60 60 60 64 9 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 65 Déclaration de conformité CE 67 Déclaration de Conformité UK 68 43 43 43 44 46 47 48 48 48 49 49 49 51 51 51 52 53 53 54 54 54 54 56 57 57 57 58 58 58 59 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Tab. 22: Tab. 23: Tab. 24: Tab. 25: Tab. 26: Tab. 27: Tab. 28: Tab. 29: Tab. 30: Tab. 31: Tab. 32: Tab. 33: Tab. 34: Tab. 35: Tab. 36: Tab. 37: Tab. 38: Tab. 39: Tab. 40: Tab. 41: Tab. 42: Tab. 43: Tab. 44: Tab. 45: Tab. 46: Tab. 47: Tab. 48: Tab. 49: Tab. 50: Tab. 51: Tab. 52: Tab. 53: Tab. 54: Autocollants sur le produit Abréviations utilisées dans ce document Conditions ambiantes autorisées Caractéristiques de la variante d'appareil Puissance d’entraînement délivrée en fonction de la tension secteur Description de la connexion de l’unité de commande électronique Plan de connexion de la connexion M12 « DeviceNet » Plan de connexion du raccordement « remote » à 26 broches Agencement du terminal du connecteur d'alimentation électrique Type de donnée DeviceNet Services DeviceNet Objet DeviceNet « Identity » Objet DeviceNet « DeviceNet » Objet DeviceNet « Assemblage » Objet DeviceNet « Connexion » Objet DeviceNet « Registre » Objet DeviceNet « Point d’entrée logique » Objet DeviceNet « Point de sortie logique » Objet DeviceNet « Entraînement CA/CC » Objet DeviceNet « S-Analog Superviseur » Objet DeviceNet « S-Analog capteur » Objet DeviceNet « S-Single Stage Controller » Objet DeviceNet « Interfaces » Objet DeviceNet « Composants du processus » Explication et signification des paramètres Instructions de réglage Requêtes d’état Entrées des valeurs de référence Paramètres des fonctions de l'appareil de commande Données d'entrée (données produites, pompe à vide vers controller) Données de sortie (données consommées, controller vers pompe à vide) Sorties numériques et relais Entrées numériques Sortie analogique Entrée analogique Connexions des accessoires Paramètre [P:060] Paramètre [P:061] Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires Modes de fonctionnement de la pompe de secours DI1 (déclencher remise à l’air)/broche 2 DI pompe moteur/broche 3 DI Groupe de pompage/broche 4 DI standby/broche 5 DI2 (chauffage)/broche 6 Entrée numérique DI3 (gaz de pressurisation) / broche 10 DI Quittance de défaillance/broche 13 DI priorité à distance/broche 14 Interface RS-485, caractéristiques Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique Comportement et signification des LED DeviceNet NET et MOD Messages d’erreur de l’unité de commande électronique Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique Messages d’avertissement et de dysfonctionnement 8 9 12 14 14 15 18 19 20 21 21 22 22 23 24 25 25 26 27 30 31 32 33 33 36 39 41 42 42 45 46 46 47 47 47 48 48 48 52 52 55 55 55 55 55 55 56 56 57 58 59 62 64 64 5/70 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: 6/70 Panneau de connexion TC 1200 DN Diagramme et affectations du panneau de connexion Commutateur pour l’adresse de l’appareil DeviceNet Commutateur pour la vitesse de transmission de DeviceNet Représentation schématisée des caractéristiques de puissance, exemple de gaz lourds [P:027] = 0 Point de commutation de vitesse de rotation 1 actif Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] > [P:719] Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] < [P:719] Fonctionnement de l’actionneur (de vitesse) 14 17 43 43 49 50 50 50 56 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.2 Documents applicables TC 1200 DN Manuel de l’utilisateur Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.3 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.4 Conventions 1.4.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.4.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. 7/70 A propos de ce manuel Remarque Conseil 1.4.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification. Mod: TC 1200 DN Ser.-Nr.:1234567 Mod.-Nr.: PM C01 816 Input: ~ 100-120V / ~200-240V±10% 10A, 50 - 60 Hz, 1500AIC Output: 0 - 400V 5A, 0 - 630 Hz Masse: 3kg Made in Germany 2017/10 Joint de fermeture Le produit est scellé en départ d’usine. L’endommagement ou la suppression du joint de fermeture entraîne l’annulation de la garantie. warranty seal Tab. 1: 1.4.4 8/70 Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve sur le côté de l’unité d’entraînement électronique. Autocollants sur le produit Abréviations Abréviation Signification dans ce document AI / AO Entrée analogique / sortie analogique AIC Capacité d’interruption en ampère DINT Nombre entier double signé (type de données DeviceNet) DCU Display Control Unit (appareil de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum) DI / DO Entrée numérique / sortie numérique DN Version DeviceNet EDS Fiche technique électronique (paramètre de communication DeviceNet) f Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en trs/min ou Hz) HPU Unité de programmation portative. Assistance pour la commande et le suivi des paramètres de la pompe I Intensité de courant électrique INT Valeur entière (type de données DeviceNet) DEL Diode électroluminescente LSD Chiffre le moins significatif (commutateur pour l’adresse d'appareil DeviceNet) MSD Chiffre le plus significatif (commutateur pour l’adresse d'appareil DeviceNet) [P:xxx] Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous forme de nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte description Exemple : [P:312] version logicielle P Puissance électrique PE Masse de protection (terre) R Résistance électrique RS-485 Standard pour une interface physique, pour la transmission asynchrone de données en série (standard recommandé) SINT Nombre entier court signé (type de données DeviceNet) t Temps TC Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de pompe turbomoléculaire) TMS Système de gestion de la température A propos de ce manuel Abréviation Signification dans ce document U Tension électrique UDINT Valeur entière double non signée (type de données DeviceNet) UINT Valeur entière non signée (type de données DeviceNet) USINT Valeur entière courte non signée (type de données DeviceNet) Tab. 2: 1.5 Abréviations utilisées dans ce document Justificatif de marque ● DeviceNet® est un nom commercial enregistré de la société Open DeviceNet Vendor Association Inc. 9/70 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur l’analyse des risques effectuée conformément à la Directive Basse Tension 2014/35/UE. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. 10/70 Sécurité DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. AVERTISSEMENT Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. AVERTISSEMENT Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal). ► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2. ► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum. AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas d'installation inappropriée Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. Risques liés aux anomalies de fonctionnement AVERTISSEMENT Risque de blessure par les pièces déplacées après une panne de courant ou un dépannage La fonction « groupe de pompage » de l’unité de commande électronique reste active après une panne de courant ou si des erreurs, entraînant l'arrêt de la pompe à vide ou du système, surviennent. Lorsque la puissance est rétablie ou après la confirmation d’une défaillance, la pompe à vide démarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. ► Les contre-fiches présentes ou les ponts doivent être enlevés de l'unité de commande électronique avant le retour du courant secteur sous peine de risque de démarrage automatique. ► Mettre la pompe à l’arrêt en utilisant la fonction « poste de pompage » (paramètre [P:010]). 2.3 Précautions de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. 11/70 Sécurité Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Contrôler le système de sécurité pour prévenir une vitesse de rotation excessive Prévenez les anomalies. Redémarrez l’unité à partir de l’arrêt total au moins une fois par an pour vous assurer que la fonction de prévention de vitesse de rotation excessive fonctionne correctement dans le système de sécurité intégrée. 1. Arrêtez l'unité. 2. Attendez que la pompe à vide s'arrête complètement (vitesse de rotation = 0 Hz). 3. Démarrez l’unité conformément au manuel de l’utilisateur correspondant. Précautions de sécurité générales lors de la manutention du produit ► Avant d’effectuer tous les travaux sur le produit, débranchez en toute sécurité la tension secteur de toutes les installations qui y sont branchées. ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures préventives sont respectées. ► Recommandation : Établissez une connexion sécurisée à un conducteur de protection (PE) : classe de protection I. ► Ne débranchez jamais les connecteurs pendant le fonctionnement. ► Tenez les lignes et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N’effectuez pas de modification ou de conversion arbitraire de l’unité. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Respectez le degré de protection spécifiée en veillant à bien installer les bouchons d’obturation existants. ► Débranchez l’unité de commande électronique uniquement une fois que tout est entièrement à l’arrêt et lorsque le réseau d'alimentation de la pompe turbomoléculaire est interrompu. 2.4 Limites d’utilisation du produit Lieu de mise en place protégé des intempéries (espace intérieur) Pression d’air de 750 hPa à 1060 hPa Altitude d’installation 2000 m max. Humidité rel. de l’air max. 80%, à T < 31°C, jusqu’à max. 50 % à T < 40 °C Classe de protection I Catégorie de surtension II Niveau de contamination 2 Température ambiante +5 ℃ à +40 ℃ Tab. 3: Conditions ambiantes autorisées Remarques sur les conditions ambiantes Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonctionnement de la pompe turbo à la pression de secours maximum admissible ou avec un débit de gaz maximum, en fonction du type de refroidissement. La pompe est intrinsèquement sûre grâce à la surveillance redondante de la température. ● La réduction de la pression de vide ou du débit du gaz permet le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à des températures ambiantes plus élevées. ● Si la température de fonctionnement maximum admissible de la pompe turbomoléculaire est dépassée, l'unité d’entraînement électronique va d'abord réduire la vitesse d'entraînement, puis la mettre hors circuit si nécessaire. 12/70 Sécurité 2.5 Utilisation conforme ● L'unité de commande électronique est uniquement utilisée pour le fonctionnement des pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum et de leurs accessoires avec un système de bus DeviceNet. 2.6 Utilisation abusive prévisible Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme abusive, en particulier : ● Branchement à l’alimentation électrique non conforme avec les prescriptions de la norme IEC 61010 ou IEC 60950 ● Utilisation avec un rayonnement thermique excessivement élevé ● Utilisation dans des zones à radiation ionisante ● Fonctionnement dans des zones explosives ● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions 13/70 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320. 3.2 Caractéristiques du produit L’unité de commande électronique de type TC 1200 DN est un composant fixe de la pompe turbomoléculaire. Le rôle de l’unité de commande électronique est d’entraîner, de surveiller et de commander l’ensemble de la pompe turbomoléculaire. L’unité de commande électronique est équipée d’une tension d’alimentation étendue intégrée. La sortie de l’unité de commande électronique dépend de la tension secteur délivrée sur site. Caractéristique TC 1200 DN Panneau de connexion DeviceNet Pompe turbomoléculaire HiPace 1200, 1500, 1800, 2300 Alimentation électrique secteur 100 à 120 / 200 à 240 V CA (± 10 %) 50/60 Hz Appel de courant max. 10 A Consommation de courant max. 1350 VA Fusible interne (raccordement au réseau électrique) 10 A, à action retardée Taux d’interruption (AIC) 1500 A Tab. 4: Tension secteur ± 10 % Puissance d'entrée moteur de l’unité de commande électronique 100 à 120 V CA 700 à 930 W 200 à 240 V CA 1200 W Tab. 5: 3.3 Caractéristiques de la variante d'appareil Puissance d’entraînement délivrée en fonction de la tension secteur Fonction 1 2 3 4 5 6 B DC in NET PV.can A MOD DeviceNet RATE 5 } 12 Fig. 1: 1 2 3 4 5 6 14/70 accessory remote 11 2 1 ADDRESS 4 2 4 0 6 6 P 8 LSD MSD P 2 0 10 9 8 7 Panneau de connexion TC 1200 DN Raccordement « Accessoire B » Branchement de service « PV.can » Statut LED DeviceNet Connexion « DeviceNet » Statut appareil LED Raccordement au réseau électrique « AC in » 7 8 9 10 11 12 Sélecteur d’adresse DeviceNet LSD Sélecteur d’adresse DeviceNet MSD Sélecteur de vitesse de transmission DeviceNet Raccordement « remote » Raccordement « accessoires A » LED d’Affichage du mode de fonctionnement Description du produit 3.4 Contenu de la livraison ● TC 1200 DN ● CD-ROM pour la connexion de DeviceNet avec les fichiers EDS ● Manuel de l’utilisateur 3.5 Connexions Connexion Description 2 3 AC in Douille HAN 3A du boîtier pour la tension d’alimentation 1 PE accessory1) Prise M12 avec vis pour la connexion des accessoires Pfeiffer Vacuum. L'utilisation d’un distributeur Y permet la double affectation d'une connexion. PV.can Douille M12 avec coupleur fileté et LED pour les besoins du Pfeiffer Vacuum service. à distance Douille sub-D haute densité à 26 broches pour le raccordement et la configuration d’une commande à distance. DeviceNet Connecteur M12 (hermétiquement fermé, micro) avec raccord fileté et LED pour le raccordement d’un système de bus DeviceNet. Tab. 6: 1) Description de la connexion de l’unité de commande électronique Le raccordement « accessory » est décrit dans le manuel de l’utilisateur de la pompe turbomoléculaire. 15/70 Installation 4 Installation 4.1 Schéma des connexions DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas d'installation inappropriée Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. Charge de contact pour le raccordement des accessoires sur « accessoires » 1. Maintenez la charge de contact maximale de 200 mA par raccordement. 2. La somme totale de la charge de tous les raccordements ne doit pas dépasser 450 mA. 16/70 n.c. 1 Accessory A2 5 24 V DC** 2 2 Accessory B2 3 3 24 V DC** Accessory A1 4 4 Accessory B1 FE 5 5 FE + 24 V DC* out 1 DI1 2 DI Motor Pump 3 1 CAN-H DI Pump stand 4 2 24 V DC*** DI Standby 5 3 GND*** DI2 6 4 CAN-L AI+ 0-10 V DC 7 5 FE DO1 8 DO2 9 DI3 10 1 Drain AI- GND 11 2 V+ AO1 / 0-10 V DC 12 3 V- DI Error Acknldgemt. 13 4 CAN_H DI Remote Priority 14 5 CAN_L Relay 1 15 Relay 1 16 Relay 1 17 Relay 2 18 Relay 2 19 Relay 2 20 Relay 3 21 Relay 3 22 DO Remote Priority active 23 4 3 2 RS485 D+ 24 RS485 D- 25 GND* 26 Fig. 2: Potential free contacts 19 10 1 remote 2 3 1 4 5 accessory B 1 PV.can 1 2 3 5 1 4 DeviceNet n.c. 26 18 9 accessory A Installation Diagramme et affectations du panneau de connexion 17/70 Installation 4.2 Connexion « DeviceNet » La pompe turbomoléculaire peut être connectée au système de bus DeviceNet à l’aide du connecteur marqué « DeviceNet » sur l’unité de commande électronique. Une tension d'alimentation (V+ et V-) est requise pour alimenter cette connexion, en plus de la tension d’alimentation pour l’unité de commande électronique. Les connexions sont séparées galvaniquement et isolées de la tension d’alimentation maximale de l’unité d’entraînement électronique. 5 2 3 Tab. 7: 1 4 Broche Affectation 1 Drain 2 V+, 24 V CC par rapport à V- 3 V- 4 CAN_H 5 CAN_L Plan de connexion de la connexion M12 « DeviceNet » Raccordement de DeviceNet 1. Établissez la connexion DeviceNet conformément aux directives en vigueur. 2. Utilisez un câble de raccordement et des composants adaptés de la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum. 3. Mettez la connexion DeviceNet sous tension (voir chapitre « Alimentation électrique secteur », page 20). 4. Replacez les bouchons en caoutchouc et enfoncez-les le plus possible pour réaliser la classe de protection stipulée. 5. Configurez la connexion DeviceNet (voir chapitre « Configurer la connexion « DeviceNet » », page 43). 4.3 Raccordement « remote » Le raccordement sub-D à 26 broches avec la désignation « remote » offre la possibilité de faire fonctionner l'unité de commande électronique via une commande à distance. Les fonctions individuelles accessibles sont mappées avec les « niveaux API ». Les spécifications suivantes sont les réglages d'usine de l’unité de commande électronique. Elles peuvent être configurées avec le bloc de paramètres Pfeiffer Vacuum. 18/70 Installation Broche Fonction Affectation2) 1 +24 V CC* sortie (V+) Tension de référence pour toutes les entrées et les sorties numériques 2 DI1 Activer la remise à l’air ; ouvert désactivé ; V+ : activé 3 DI moteur de pompe Moteur d'entraînement ; ouvert : désactivé ; V+ : activé 4 DI Station de pompage Ouvert : désactivé ; V+ : activé et quittance de défaillance 5 DI standby Vitesse standby ; ouvert : désactivé ; V+ : activé 6 DI2 Chauffage ; ouvert : désactivé ; V+ : activé 7 AI+ opération de contrôle de vitesse Consigne dans le mode de contrôle de vitesse 2 à 10 V DC correspond à 20 à 100% de la vitesse de rotation nominale 8 DO1 Point de commutation de contrôle de vitesse atteint GND : non , V+ : oui (lmax = 50 mA/24 V) 9 DO2 GND : Défaut ; V+ : aucun défaut (Imax = 50 mA/24 V) DI3 Gaz de pressurisation ; ouvert : désactivé ; V+ : activé AI Mode de réglage de la vitesse de rotation GND Point de consigne en mode de réglage de la vitesse de rotation ; GND 12 AO1 Vitesse actuelle ; 0 à 10 V CC correspond à 0 à 100% RL > 10 kΩ 13 DI confirmation dysfonctionnement Quittance de défaillance : impulsion V+ (min. 500 ms) 14 Priorité à distance DI Opération via interface « remote » ; ouvert : désactivé ; V+ : défini et prioritaire sur les autres entrées numériques 15 Relais 1 Raccordement via la broche 16 si le relais 1 est inactif 18 9 26 1 19 10 10 11 16 Point de commutation de la vitesse de rotation atteint contact de relais 1 (tr/minmax = 50 V DC; Imax = 1 A) 17 Raccordement avec la broche 16 si le relais 1 est actif 18 Relais 2 Aucun défaut ; contact de relais 2 (tr/ minmax = 50 V CC ; Imax = 1 A) 20 Raccordement avec la broche 19 si le relais 2 est actif 21 Relais 3 22 Tab. 8: Raccordement via la broche 19 si le relais 2 est inactif 19 Raccordement via la broche 22 si le relais 3 est inactif Avertissement ; contact de relais 3 (tr/ minmax = 50 V CC ; Imax = 1 A) 23 Sortie numérique DO Priorité à distance GND : désactivé ; V+ : Priorité à distance active 24 RS-485 D+ 25 RS-485 D- en conformité avec la spécification et le protocole Pfeiffer Vacuum 26 Terre (GND) Terre de référence pour toutes les entrées et les sorties numériques Plan de connexion du raccordement « remote » à 26 broches Établissez la connexion distante 1. Retirez le connecteur de commande à distance de l’unité de commande électronique et raccordez une commande à distance. 2. Utilisez un connecteur et un câble blindés. 2) Paramètres d’usine 19/70 Installation 4.4 Alimentation électrique secteur AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas d'installation inappropriée Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. AVERTISSEMENT Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. AVERTISSEMENT Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal). ► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2. ► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum. 2 3 Broche Affectation 1 Phase L 2 Conducteur neutre 3 non connectée PE Conducteur de terre 1 PE Tab. 9: Agencement du terminal du connecteur d'alimentation électrique Raccordement de l’alimentation électrique 1. Commandez un câble d'alimentation électrique correspondant dans la gamme des accessoires Pfeiffer Vacuum. 2. Assemblez votre propre câble d'alimentation électrique en utilisant le connecteur HAN 3A livré avec le produit. 3. Branchez le câble d'alimentation électrique dans le raccordement au réseau électrique « AC in ». 4. Bloquez le câble d’alimentation électrique avec un étrier de retenue. 5. Branchez le câble d’alimentation électrique au secteur. 20/70 Interfaces 5 Interfaces 5.1 Interface DeviceNet 5.1.1 Type de données Longueur de données Description Exemple BOOL 1 bits Valeur binaire (0/1) 00h 0, 01h:1 OCTET 8 bits 8 bits individuels 00h, FFh DINT 4 octet Nombre entier avec signe 12345678h 89h, 56h, 34h, 12h INT 2 octet Nombre entier avec signe 1234h 34h, 12h EPATH en pack 6 octet - 1.2.3: 20h, 01h, 24h, 02h, 30h, 03h SHORT_STRING - Chaîne avec octet de longueur précédent « Bilbo » : 05h, 42h, 69h, 6Ch, 62h, 6Fh SINT 1 octet Nombre entier avec signe -42 : D6h UINT 2 octet Nombre entier sans signe 2468h 68h, 24h UDINT 4 octet Nombre entier sans signe 10203040h 40h, 30h, 20h, 10h USINT 1 octet Nombre entier sans signe 101 : 65h WORD 2 octet 16 bits individuels 55AAh AAh, 55h Tab. 10: Type de donnée DeviceNet service Service DeviceNet Code ann annuler 4Bh Tous allocate_master/slave_connection_set 4Bh gaa get_attributes_all 01h get get_attribute_single 0Eh per perform_diagnostics 4Eh rec restaurer 4Ch rel release_master/slave_connection_set 4Ch res reset 05h set set_attribute_single 10h sta démarrer 06h Tab. 11: Services DeviceNet Objet DeviceNet « Identity » Chemin Nom Type de données service 1.0.1 Révision UINT get 1.0.2 Occurrence max 1.0.3 Nombre d’occurrences - res, gaa Commentaires Occurrence 1 1.1.0 (occurrence) 21/70 Interfaces Chemin Nom Type de données service Commentaires 1.1.1 ID vendeur UINT get 527 (Pfeiffer Vacuum) 1.1.2 Type d’appareil 1.1.3 Code produit 1.1.4 Révision STRUCT de Révision majeure USINT 33 (dispositif de pompe à vide turbomoléculaire) 5121 Révision mineure 1.1.5 État WORD 1.1.6 série élec. UDINT 1.1.7 Nom du produit SHORT_STRING 1.1.100 Code état Tab. 12: 5.1.2 TC 1200 DN Objet DeviceNet « Identity » Objet DeviceNet « Message routeur » Cet objet ne fournit aucun attribut ni service. 5.1.3 Objet DeviceNet « DeviceNet » Chemin Nom Type de données service 3.0.1 Révision UINT get Commentaires Occurrence 1 3.1.0 (occurrence) - tout, rel 3.1.1 MAC ID USINT get, (set) 3.1.2 Vitesse de transmission 3.1.5 Information allocation STRUCT de get Octet choix allocation OCTET ID MAC maître USINT 3.1.6 ID MAC interrupteur changé BOOL 3.1.7 Vitesse de transmission interrupteur modifiée 3.1.8 ID MAC valeur interrupteur 3.1.9 Vitesse de transmission valeur interrupteur Tab. 13: 5.1.4 USINT Objet DeviceNet « DeviceNet » Objet DeviceNet « Assemblage » Chemin Nom Type de données service 4.0.1 Révision UINT get 4.0.3 Nombre d’occurrences 4.0.100 Poll E/S données d'entrée USINT get, (set) 4.0.101 Poll E/S données de sortie Occurrence 1 (entrée par défaut) : statut pompe 22/70 Réglage uniquement dans la position « P » de l’interrupteur Commentaires Instance d’assemblage pour les données d’entrée (pompe à vide vers controller) de la connexion Poll E/S, régler uniquement si la connexion est inactive Instance d’assemblage pour les données de sortie (controller vers pompe à vide) de la connexion Poll E/S, régler uniquement si la connexion est inactive Interfaces Chemin Nom Type de données service 4.1.3 Données GAMME de get Statut exception OCTET Commentaires 48.1.12 État vitesse 42.1.39 Pompe marche/arrêt BOOL 8.1.3 Occurrence 2 (entrée) : statut pompe, vitesse 4.2.3 Données GAMME de Statut exception OCTET get 48.1.12 État vitesse 42.1.39 Pompe marche/arrêt BOOL 8.1.3 Vitesse actuelle INT 42.1.7 Occurrence 5 (sortie par défaut) : commande de pompe 4.5.3 Données GAMME de Pompe marche/arrêt BOOL get, set 9.1.3 Occurrence 6 (sortie) : commande de pompe 4.6.3 Données GAMME de get, set Pompe marche/arrêt BOOL 9.1.3 Contrôle de vitesse OCTET 42.1.38 Occurrence 7 (sortie) : commande de pompe/vitesse, réglage de vitesse 4.7.3 Données GAMME de get, set Pompe marche/arrêt BOOL 9.1.3 Contrôle de vitesse OCTET 42.1.38 Vitesse ref INT 42.1.8 Occurrence 100 4.100.3 Données GAMME de Statut exception OCTET get 48.1.12 État vitesse 42.1.39 Pompe marche/arrêt BOOL 8.1.3 Vitesse actuelle INT 42.1.7 Courant IMC 42.1.102 Occurrence 101 (entrée) : statut pompe, vitesse, courant, températures 4.101.3 Données GAMME de Statut exception OCTET get 48.1.12 État vitesse 42.1.39 Pompe marche/arrêt BOOL 8.1.3 Vitesse actuelle INT 42.1.7 Courant IMC 42.1.102 Température du palier 49.3.6 Température partie inférieure pompe 49.101.6 Occurrence 103 (sortie) : commande de pompe/vitesse, réglage de vitesse, vanne de mise à l'air cfg. 4.103.3 Données GAMME de Pompe marche/arrêt BOOL 9.1.3 Contrôle de vitesse OCTET 42.1.38 Vitesse ref INT 42.1.8 Vanne de mise à l'air cfg. (1) OCTET 7.1.4 (1) Vanne de mise à l'air cfg. (2) Tab. 14: get, set 7.1.4 (2) Objet DeviceNet « Assemblage » 23/70 Interfaces 5.1.5 Objet DeviceNet « Connexion » Chemin Nom Type de données service 5.0.1 Révision UINT get USINT get Occurrence 1 : Connexion explicite 5.1.1 Statut 5.1.2 Type d'instance 5.1.3 Déclencheur classe transport OCTET 5.1.4 ID connexion produite DeviceNet UINT 5.1.5 ID connexion consommée DeviceNet 5.1.6 Caractéristiques comm initiale DeviceNet OCTET 5.1.7 Taille connexion produite UINT 5.1.8 Taille connexion consommée 5.1.9 Tarif attendu 5.1.12 Action temporisation Watchdog 5.1.13 Longueur chemin connexion produite USINT 5.1.14 Chemin connexion produite UINT 5.1.15 Longueur chemin connexion consommée EPATH en pack 5.1.16 Chemin connexion consommée UINT 5.1.17 Temps inhibition production EPATH en pack 5.1.18 Multiplicateur temporisation connexion USINT get, set get Occurrence 2 : Poll E/S connexion 5.2.1 Statut 5.2.2 Type d'instance USINT 5.2.3 Déclencheur classe transport OCTET 5.2.4 ID connexion produite DeviceNet UINT 5.2.5 ID connexion consommée DeviceNet 5.2.6 Caractéristiques comm initiale DeviceNet OCTET 5.2.7 Taille connexion produite UINT 5.2.8 Taille connexion consommée 5.2.9 Tarif attendu 5.2.12 Action temporisation Watchdog 5.2.13 Longueur chemin connexion produite USINT 5.2.14 Chemin connexion produite UINT 5.2.15 Longueur chemin connexion consommée EPATH en pack 5.2.16 Chemin connexion consommée UINT 5.2.17 Temps inhibition production EPATH en pack 5.2.18 Multiplicateur temporisation connexion USINT Tab. 15: 5.1.6 get get, set get Objet DeviceNet « Connexion » Objet DeviceNet « Registre » Chemin Nom Type de données service 7.0.1 Révision UINT get 7.0.2 Occurrence max 7.0.3 Nombre d’occurrences BOOL get UINT get Commentaires Occurrence 1 7.1.1 Marque inappropriée 7.1.2 Direction 7.1.3 Taille 24/70 0 1 16 Commentaires Interfaces Chemin Nom Type de données service 7.1.4 Données GAMME de get, set OCTET Commentaires Bit 0/1 vanne de mise à l'air : 0 - pas de ventilation 1 - ventilation directe 2 - ventilation temporisée Bit 2/3 vanne du gaz de pressurisation : 0 - arrêt 1 - déclenché 0 7.1.100 Fréquence de ventilation USINT 7.1.101 Durée de ventilation UINT Tab. 16: 5.1.7 get, set 40 – 98 % 6 – 3600 s Objet DeviceNet « Registre » Objet DeviceNet « Point d’entrée logique » Chemin Nom Type de données service 8.0.1 Révision UINT get 8.0.2 Occurrence max 8.0.3 Nombre d’occurrences get Commentaires Occurrence 1 : Pompe marche/arrêt 8.1.3 Valeur BOOL 8.1.7 Cycles marche-arrêt UDINT Tab. 17: 5.1.8 0 : Pompe à vide à l’arrêt 1 : Pompe à vide en marche et f > 0 Objet DeviceNet « Point d’entrée logique » Objet DeviceNet « Point de sortie logique » Chemin Nom Type de données service 9.0.1 Révision UINT get 9.0.2 Occurrence max 9.0.3 Nombre d’occurrences BOOL get, set Commentaires Occurrence 1 : Pompe marche/arrêt 9.1.3 Valeur 9.1.5 Action erreur 0 : Groupe de pompage à l’arrêt 1 : Maintien statut 9.1.6 9.1.7 0 : Groupe de pompage à l’arrêt 1 : Groupe de pompage en marche 0 Action ralenti 0 : Groupe de pompage à l’arrêt 1 : Maintien statut 9.1.8 0 Occurrence 2 : TMS / dispositif de chauffage 9.2.3 Valeur 9.2.5 Action erreur 9.2.6 9.2.7 9.2.8 BOOL get, set 0 : TMS / chauffage arrêt 1 : TMS / chauffage libéré 0 : TMS / chauffage arrêt 1 : Maintien statut 0 Action ralenti 0 : TMS / chauffage arrêt 1 : Maintien statut 0 25/70 Interfaces Chemin Nom Type de données service Commentaires BOOL get, set 0 : Gaz de pressurisation désactivé 1 : Gaz de pressurisation activé Occurrence 3 : Gaz de pressurisation 9.3.3 Valeur 9.3.5 Action erreur 0 : Gaz de pressurisation désactivé 1 : Maintien statut 9.3.6 9.3.7 0 Action ralenti 0 : Gaz de pressurisation désactivé 1 : Maintien statut 9.3.8 0 Occurrence 100 : Frein 9.100.3 Valeur BOOL 9.100.5 Action erreur get, set 0 : Frein désactivé 1 : Maintien statut 9.100.6 9.100.7 0 Action ralenti 0 : Frein désactivé 1 : Maintien statut 9.100.8 0 Tab. 18: 5.1.9 0 : Frein désactivé 1 : Frein libéré Objet DeviceNet « Point de sortie logique » Objet DeviceNet « Entraînement CA/CC » Chemin Nom Type de données service 42.0.1 Révision UINT get 42.0.2 Occurrence max 42.0.3 Nombre d’occurrences BOOL get Commentaires Occurrence 1 42.1.3 À la référence 42.1.4 Net Ref 42.1.6 Mode entraînement USINT get, set 2 42.1.7 Vitesse actuelle INT get Vitesse de rotation actuelle (tr/min/2échelle de vitesse) par ex. 15 000 lu -> 60 000 tr/min 42.1.8 Vitesse ref get, set Vitesse de rotation réglée (tr/min/2échelle de vitesse) par ex. 7 500 écrit pour 30 000 tr/min 42.1.15 Puissance actuelle get Puissance actuelle (W) 42.1.16 Tension d'entrée 26/70 0 : Consigne de vitesse de rotation non atteinte 1 : Vitesse de rotation réglée atteinte 1 Tension d'entrée (V/2échelle de tension) par ex. 192 lu -> 24 V Interfaces Chemin Nom Type de données service Commentaires 42.1.18 Temps accel UINT get, set Temps de démarrage (ms/2échelle de temps) par ex. 2813 lu -> 6 min 42.1.22 Échelle de vitesse SINT 42.1.27 Échelle de tension 3 42.1.28 Échelle de temps -7 42.1.38 Contrôle de vitesse 42.1.39 État vitesse 42.1.41 Vitesse nominale max INT 42.1.42 Échelle de vitesse nominale max SINT 42.1.43 Vitesse standby INT 42.1.46 Heures entraînement en marche DINT get Heures de fonctionnement de l’entraînement (h) 42.1.100 Mode du gaz USINT get, set 0 : gaz lourds 1 : gaz légers 2 : hélium 42.1.101 Puissance max 42.1.102 Courant IMC 42.1.103 42.1.104 -2 OCTET Bit 0 : Groupe de pompage en marche Bit 1 : Arrêt moteur Bit 2 : Standby activé get Bit 0 : Pompe à vide en marche et f > 0 Bit 1 : Arrêt moteur Bit 2 : À la vitesse de rotation standby Bit 4 : Arrêté Bit 5 : Accéléré Bit 6 : À la vitesse de rotation réglée Bit 7 : Retardé Vitesse de rotation nominale (tr/min/2échelle de vitesse nominale max ) get, set -2 Vitesse de rotation standby (tr/min/2échelle de vitesse) % get Courant de circuit intermédiaire (100 mA) par ex. 123 lu -> 12,3 A Confirmation vitesse nominale max get, set Vitesse de rotation nominale (tr/min/2échelle de vitesse nominale max ) rotor get Déséquilibre du rotor en % Tab. 19: INT Objet DeviceNet « Entraînement CA/CC » 5.1.10 Objet DeviceNet « S-Analog Superviseur » Chemin Nom Type de données service 48.0.1 Révision UINT get 48.0.2 Occurrence max 48.0.3 Nombre d’occurrences Commentaires Occurrence 1 48.1.0 (occurrence) res, sta, abo, rec, per 27/70 Interfaces Chemin Nom Type de données service 48.1.3 Type d’appareil SHORT_STRING get 48.1.4 Niveau de révision standard SEMI 48.1.5 Nom du fabricant 48.1.6 Numéro de modèle du fabricant 48.1.7 Niveau de révision logiciel 48.1.8 Niveau de révision matériel 48.1.11 Statut appareil USINT 1 : Contrôle automatique 2 : Ralenti 3 : Exception de contrôle automatique 4 : En cours d’exécution 5 : Annuler 6 : Erreur critique 48.1.12 Statut exception OCTET (voir chapitre « Configuration de l’échange de données », page 44) 28/70 Commentaires Interfaces Chemin Nom Type de données service 48.1.13 Exception alarme détail STRUCT de get Exception commune taille détail USINT get 2 Exception commune détail 0 OCTET get Bit 0 : Diagnostics internes Bit 1 : Micro-contrôleur Bit 2 : EPROM Bit 3 : EEPROM Bit 4 : RAM (random access memory) Bit 5 : réservé Bit 6 : Temps réel interne Bit 7 : réservé get get Bit 0 : Débordement réseau d'alimentation Bit 1 : réservé Bit 2 : Tension de sortie réseau d'alimentation Bit 3 : Tension d’entrée réseau d'alimentation Bit 4 : Maintenance Bit 5 : Notifier le fabricant Bit 6 : Reset Bit 7 : réservé Exception commune détail 1 Appareil exception détail USINT Appareil exception 0 OCTET Appareil exception 1 Commentaires 2 get Bit 0 : Unité d’entraînement Bit 1 : TMS Bit 2 : Tension d’alimentation Bit 3 : Survitesse Bit 4 : Surcharge Bit 5 : temps de démarrage Bit 6 : temps de démarrage Bit 7 : Vibration get Bit 0 : Température excessive, moteur Bit 1 : Température excessive de la pompe à vide Bit 2 : Température excessive, palier Bit 3 : Température excessive électronique d’entraînement Bit 4 : Connexion Bit 5 : palier Bit 6 : Verrouillage Bit 7 : réservé Fabricant exception détail taille USINT get 2 Fabricant exception détail 0 OCTET get Fabricant exception détail correspond à l’erreur actuelle ou au message d’avertissement au format de fichier UNIT. Fabricant exception détail 1 get 29/70 Interfaces Chemin Nom Type de données service 48.1.14 Exception détail avertissement STRUCT de get Exception commune taille détail USINT get 2 Exception commune détail 0 OCTET get Bit 0 : Diagnostics internes Bit 1 : Micro-contrôleur Bit 2 : EPROM Bit 3 : EEPROM Bit 4 : RAM (random access memory) Bit 5 : réservé Bit 6 : Temps réel interne Bit 7 : réservé get Bit 0 : Débordement réseau d'alimentation Bit 1 : réservé Bit 2 : Tension de sortie réseau d'alimentation Bit 3 : Tension d’entrée réseau d'alimentation Bit 4 : Maintenance Bit 5 : Notifier le fabricant Bit 6 : Reset Bit 7 : réservé Exception commune détail 1 Appareil exception détail USINT get 2 Appareil exception 0 OCTET get Bit 0 : Unité d’entraînement Bit 1 : TMS Bit 2 : Tension d’alimentation Bit 3 : Survitesse Bit 4 : Surcharge Bit 5 : temps de démarrage Bit 6 : temps de démarrage Bit 7 : Vibration get Bit 0 : Température excessive, moteur Bit 1 : Température excessive de la pompe à vide Bit 2 : Température excessive, palier Bit 3 : Température excessive électronique d’entraînement Bit 4 : Connexion Bit 5 : palier Bit 6 : Verrouillage Bit 7 : réservé Appareil exception 1 Fabricant exception détail taille USINT get 2 Fabricant exception détail 0 OCTET get Fabricant exception détail correspond à l’erreur actuelle ou au message d’avertissement au format de fichier UNIT. Fabricant exception détail 1 get 48.1.15 Activer alarme 48.1.16 Activer avertissement 48.1.23 Heures de fonctionnement Tab. 20: 30/70 Commentaires BOOL get, set UDINT get Heures de fonctionnement de la pompe à vide (h) Objet DeviceNet « S-Analog Superviseur » Interfaces 5.1.11 Objet DeviceNet « S-Analog capteur » Chemin Nom Type de données service 49.0.1 Révision UINT get 49.0.2 Occurrence max 49.0.3 Nombre d’occurrences Commentaires Occurrence 1 : Température du moteur 49.1.5 Lecture valide BOOL get 0 : invalide 1 : valide 49.1.6 Valeur INT Température du moteur (°C/10) 49.1.7 État OCTET Bit 0 : Température excessive (erreur) Bit 2 : température élevée (avertissement) Occurrence 3 : Température de stockage 49.3.5 Lecture valide BOOL get 0 : invalide 1 : valide 49.3.6 Valeur INT Température du palier (°C/10) 49.3.7 État OCTET Bit 0 : Température excessive (erreur) Bit 2 : température élevée (avertissement) Occurrence 4 : Température électronique 49.4.5 Lecture valide BOOL get 0 : invalide 1 : valide 49.4.6 Valeur INT Température de l’électronique (°C/10) 49.4.7 État OCTET Bit 0 : Température excessive (erreur) Bit 2 : température élevée (avertissement) Occurrence 5 : Température TMS 49.5.5 Lecture valide BOOL get 0 : invalide 1 : valide 49.5.6 Valeur INT Température TMS (°C/10) 49.5.7 État OCTET Bit 0 : Température excessive (erreur) Bit 2 : température élevée (avertissement) Occurrence 100 : Température étage final 49.100.5 Lecture valide BOOL get 0 : invalide 1 : valide 49.100.6 Valeur INT Température étage final (°C/10) 49.100.7 État OCTET Bit 0 : Température excessive (erreur) Bit 2 : température élevée (avertissement) Occurrence 101 : Température partie inférieure 49.101.5 Lecture valide BOOL get 0 : invalide 1 : valide 49.101.6 Valeur INT Température partie inférieure (°C/10) 49.101.7 État OCTET Bit 0 : Température excessive (erreur) Bit 2 : température élevée (avertissement) Occurrence 102 : Température du rotor 49.102.5 Lecture valide BOOL 49.102.6 Valeur INT Température du rotor (°C/10) 49.102.7 État OCTET Bit 0 : Température excessive (erreur) Bit 2 : température élevée (avertissement) Tab. 21: get 0 : invalide 1 : valide Objet DeviceNet « S-Analog capteur » 31/70 Interfaces 5.1.12 Objet DeviceNet « S-Single Stage Controller » Chemin Nom Type de données service 51.0.1 Révision UINT get 51.0.2 Occurrence max 51.0.3 Nombre d’occurrences Commentaires Occurrence 1 51.1.6 Point de consigne INT get, set Température nominale TMS (°C / 10) 51.1.10 État OCTET get 0 Tab. 22: 5.1.13 Objet DeviceNet « S-Single Stage Controller » Objet DeviceNet « Interfaces » Chemin Nom Type de données service 101.0.1 Révision UINT get 101.0.2 Occurrence max 101.0.3 Nombre d’occurrences 101.0.16 Permission actuelle OCTET get, set 101.0.17 Permission bloquée BOOL Commentaires 0 : permet aux autres interfaces de fonctionner 1 : fonctionnement uniquement via DeviceNet Occurrence 2 : RS485 101.2.19 Adresse USINT get, set 1 – 255: Adresse RS485 USINT get, set {0;4}, (voir chapitre « Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum », page 43) USINT get, set 0 – 5, (voir chapitre « Configuration du raccordement « remote » », page 46) USINT get, set 0 – 5, (voir chapitre « Configuration du raccordement « remote » », page 46) USINT get, set 0 – 5, (voir chapitre « Configuration du raccordement « remote » », page 46) USINT get, set 0 – 1, (voir chapitre « Configuration du raccordement « remote » », page 46) USINT get, set 0 – 18, (voir chapitre « Configuration du raccordement « remote » », page 46) USINT get, set 0 – 18, (voir chapitre « Configuration du raccordement « remote » », page 46) USINT get, set 0 – 5, (voir chapitre « Configuration du raccordement « remote » », page 46) USINT get, set 0 – 18, (voir chapitre « Configuration du raccordement « remote » », page 46) USINT get, set 0 – 18, (voir chapitre « Configuration du raccordement « remote » », page 46) Occurrence 4 : à distance 101.4.17 Configuration Occurrence 6 : DI1 101.6.17 Configuration Occurrence 7 : DI2 101.7.17 Configuration Occurrence 8 : DI3 101.8.17 Configuration Occurrence 9 : AI 101.9.17 Configuration Occurrence 10 : DO1 101.10.17 Configuration Occurrence 11 : DO2 101.11.17 Configuration Occurrence 12 : AO1 101.12.17 Configuration Occurrence 13 : Relais 1 101.13.17 Configuration Occurrence 14 : Relais 2 101.14.17 32/70 Configuration Interfaces Chemin Nom Type de données service Commentaires USINT get, set 0 – 18, (voir chapitre « Configuration du raccordement « remote » », page 46) USINT get, set 0 – 14, (voir chapitre « Configuration des connexions des accessoires », page 47) USINT get, set 0 – 14, (voir chapitre « Configuration des connexions des accessoires », page 47) USINT get, set 0 – 14, (voir chapitre « Configuration des connexions des accessoires », page 47) USINT get, set 0 – 14, (voir chapitre « Configuration des connexions des accessoires », page 47) Occurrence 15 : Relais 3 101.15.17 Configuration Occurrence 16 : Accessoires A1 101.16.17 Configuration Occurrence 17 : Accessoires B1 101.17.17 Configuration Occurrence 18 : Accessoires A2 101.18.17 Configuration Occurrence 19 : Accessoires B2 101.19.17 Configuration Tab. 23: Objet DeviceNet « Interfaces » 5.1.14 Objet DeviceNet « Composants du processus » Chemin Nom Type de données service 102.0.1 Révision UINT get 102.0.2 Occurrence max 102.0.3 Nombre d’occurrences Commentaires Occurrence 1 : Pompe à vide primaire 102.1.17 Configuration USINT 102.1.21 Seuil de désactivation UINT 102.1.22 Seuil d’activation get, set 0 –2, (voir chapitre « Modes de fonctionnement de la pompe de secours », page 52) 0 – 1000 W Occurrence 7 : Point de commutation vitesse de rotation 102.7.17 Configuration USINT get, set 0 – 1, (voir chapitre « Points de commutation de vitesse de rotation », page 49) 102.7.18 État BOOL get 0 : Point de commutation vitesse de rotation non atteint 1 : Point de commutation vitesse de rotation atteint 102.7.21 Point de commutation 1 UINT get, set 50 – 97%, (voir chapitre « Points de commutation de vitesse de rotation », page 49) 102.7.22 Point de commutation 2 Tab. 24: 5 – 97%, (voir chapitre « Points de commutation de vitesse de rotation », page 49) Objet DeviceNet « Composants du processus » 5.2 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 5.2.1 Cadre télégramme Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vaccum contient uniquement des caractères ASCII [32; 127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un host (par ex. un (par ex. unité de commande électronique ou jauge) PC) envoie un télégramme, auquel un device va répondre. a2 a1 a0 * 0 n2 n1 n0 l1 l0 dn ... d0 c2 c1 c0 CR 33/70 Interfaces 5.2.2 a2 – a0 Adresse de l’unité pour device ● Adresse individuelle de l’unité ["001";"255"] ● Adresse groupée « 9xx » pour toutes les unités identiques (pas de réponse) ● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse) * Action selon la description du télégramme n2 – n0 Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum I1 – I0 Longueur de données dn à d0 dn – d0 Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Types de données », page 35). c2 – c0 Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) module 256 CR Retour à la ligne (ASCII 13) Description du télégramme Interrogation des données --> ? a2 n2 n1 a1 a0 0 0 Instruction de réglage a2 a1 a0 1 --> ! n2 n1 0 n0 0 2 l1 l0 dn n0 Réponse des données / instruction de réglage comprise a2 a1 a0 1 0 Message d’erreur a2 a1 a0 1 0 n2 NO_DEF _RANGE _LOGIC 5.2.3 = ? ... c2 c1 c0 cR d0 c2 c1 c0 cR c2 c1 c0 cR c1 c0 cR --> n2 n1 n0 l1 l0 dn ... d0 0 6 N O _ D E F _ R A N G E _ L O G I C --> n1 n0 c2 Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée Erreur d'accès logique Télégramme exemple 1 Demande de données Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 ») --> ? ASCII 1 2 3 0 0 3 0 9 0 2 = ? 1 1 2 cR 49 50 51 48 48 51 48 57 48 50 61 63 49 49 50 13 Réponse des données : 633 Hz Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 ») --> 1 2 3 1 0 3 0 9 0 6 0 0 0 6 3 3 0 3 7 cR ASCII 49 50 51 49 48 51 48 57 48 54 48 48 48 54 51 51 48 51 55 13 5.2.4 Télégramme exemple 2 Commande de contrôle Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 » --> ASCII ! 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 cR 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 Commande de contrôle comprise Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 » 34/70 Interfaces --> 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 cR ASCII 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 5.2.5 Types de données Nº Type de donnée Description Longueur l1 – l0 Exemple 0 boolean_old Valeur logique (faux / vrai) 06 000000 est équivalent à faux 111111 est équivalent à vrai 1 u_integer Nombre entier positif 06 000000 à 999999 2 u_real Nombre à point fixe positif 06 001571 correspond à 15.71 4 string Chaîne de 6 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 06 TC_110, TM_700 6 boolean_new Valeur logique (faux / vrai) 01 0 est équivalent à faux 1 est équivalent à vrai 7 u_short_int Nombre entier positif 03 000 à 999 10 u_expo_new Nombre exponentiel positif. Les deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de 20. 06 100023 est équivalent à 1,0 · 103 100000 est équivalent à 1,0 · 10-20 11 string16 Chaîne de 16 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 16 BrezelBier&Wurst 12 string8 Chaîne de 8 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 08 Exemple 35/70 Ensemble de paramètres 6 Ensemble de paramètres 6.1 Généralités Des réglages et des caractéristiques propres aux fonctions importantes sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité d’entraînement électronique. Chaque paramètre a un nombre à trois chiffres et une description. Le paramètre est accessible via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou de manière externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum. La pompe à vide démarre dans le mode standard avec les paramètres réglés par défaut en usine. Sauvegarde de données non volatiles Lors de la mise à l’arrêt ou en cas de chute de tension involontaire, les paramètres et les heures de service sont sauvegardés dans le système électronique. # Nombre à trois chiffres du paramètre Indicateur Affichage de la description des paramètres Description Brève description des paramètres Fonctions Description de la fonction des paramètres Type de donnée Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum Type d’accès R (lecture) : accès en lecture ; W (écriture) : accès en écriture Unité Unité physique de la variable décrite min./max. Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur par défaut Pré-réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la pompe) Le paramètre peut être sauvegardé de manière permanente sur l’unité de commande électronique Tab. 25: Explication et signification des paramètres 6.2 Instructions de réglage # Affichage Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 001 Chauffage Chauffage 0 = arrêt 1 = marche 0 002 Stand-by Stand-by 0 = arrêt 1 = marche 004 RUTimeCtrl Surveillance de temps d’accélération 009 ErrorAckn 010 min. max. par défaut RW 0 1 0 0 RW 0 1 0 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 1 Acquittement d’anomalie 1 = Acquittement de défaillance 0 W 1 1 PumpgStatn Groupe de pompage 0 = arrêt 1 = marche et acquittement de défaillance 0 RW 0 1 0 012 EnableVent Activer la ventilation 0 = non 1 = oui 0 RW 0 1 0 013 Frein Frein 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 017 CfgSpdSwPt Configuration du point de commutation de la vitesse de rotation 0 = Point de commutation de la vitesse de rotation 1 1 = Points de commutation de la vitesse de rotation 1 et 2 7 RW 0 1 0 36/70 Unité Ensemble de paramètres # Affichage Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 019 Cfg DO2 Configuration sortie DO2 0 = Point de commutation de la vitesse de rotation atteint 1 = Pas d’erreur 2 = Erreur 3 = Avertissement 4 = Erreur et/ou avertissement 5 = Régime nominal atteint 6 = Pompe en marche 7 = Accélération pompe 8 = Décélération pompe 9 = Toujours « 0 » 10 = Toujours « 1 » 11 = Priorité commande à distance active 12 = Chauffage 13 = Pompe à vide primaire 14 = Purge de gaz neutre 15 = Groupe de pompage 16 = Rotation pompe 17 = la pompe s’est arrêtée 18 = TMS état stable 19 = Point de commutation de pression 1 non atteint 20 = Point de commutation de pression 2 non atteint 21 = Vanne à vide primaire, retardée 22 = Pompe à vide primaire stand-by 7 023 MotorPump Moteur de pompe 0 = arrêt 1 = marche 024 Cfg DO1 Configuration sortie DO1 025 OpMode BKP 026 Unité min. max. par défaut RW 0 22 1 0 RW 0 1 0 Réglages, voir [P:019] 7 RW 0 22 0 Mode de fonctionnement de la pompe à vide primaire 0 = mode continu 1 = mode par intermittence 2 = mise en marche retardée 7 RW 0 2 0 SpdSetMode Mode de réglage de la vitesse de rotation 0 = arrêt 1 = marche 7 RW 0 1 0 027 GasMode Mode du gaz 0 = gaz lourds 1 = gaz légers 2 = hélium 7 RW 0 2 0 028 Cfg Remote Configuration à distance 0 = par défaut 4 = relais, inversé 7 RW 0 4 0 030 VentMode Mode de ventilation 0 = ventilation temporisée 1 = pas de ventilation 2 = ventilation directe 7 RW 0 2 0 37/70 Ensemble de paramètres # Affichage Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 035 Cfg Acc A1 Configuration de la connexion des accessoires A1 0 = ventilateur (fonctionnement continu) 1 = vanne de ventilation, fermée sans courant 2 = Chauffage 3 = Pompe à vide primaire 4 = ventilateur (à contrôle de température) 5 = Purge de gaz neutre 6 = Toujours « 0 » 7 = Toujours « 1 » 8 = vanne de remise à l’air en cas de panne de courant 9 = TMS chauffage 10 = refroidissement TMS 12 = vanne de ventilation secondaire 13 = surveillance de la purge de gaz neutre 14 = chauffage (partie inférieure à contrôle de température) 7 036 Cfg Acc B1 Configuration de la connexion des accessoires B1 Pour les options, voir [P:035] 037 Cfg Acc A2 Configuration de la connexion des accessoires A2 038 Cfg Acc B2 041 min. max. par défaut RW 0 14 5 7 RW 0 14 1 Pour les options, voir [P:035] 7 RW 0 14 3 Configuration de la connexion des accessoires B2 Pour les options, voir [P:035] 7 RW 0 14 2 Press1HVen Capteur HT libérée intégré (IKT uniquement) 0 = arrêt 1 = marche 2 = marche, avec point de commutation de vitesse de rotation atteint 3 = marche, avec point de commutation de pression non atteint 7 RW 0 3 2 045 Cfg Rel R1 Configuration, relais 1 Pour les options, voir [P:019] 7 RW 0 22 0 046 Cfg Rel R2 Configuration, relais 2 Pour les options, voir [P:019] 7 RW 0 22 1 047 Cfg Rel R3 Configuration, relais 3 Pour les options, voir [P:019] 7 RW 0 22 3 050 SealingGas Gaz de pressurisation 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 38/70 Unité Ensemble de paramètres # Affichage Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 055 Cfg AO1 Configuration sortie AO1 0 = vitesse de rotation réelle 1 = sortie 2 = courant 3 = toujours 0 V 4 = toujours 10 V 5 = Suit AI1 6 = Valeur de pression 1 7 = Valeur de pression 2 8 = Commande vide préliminaire 7 057 Cfg AI1 Configuration entrée AI1 0 = Interrupteur mis sur arrêt 1 = point de consigne en mode de réglage vitesse de rotation 060 CtrlViaInt Utiliser via l’interface 061 IntSelLckd 062 min. max. par défaut RW 0 8 0 7 RW 0 1 0 1 = à distance 2 = RS-485 4 = PV.can 8 = bus de terrain 16 = E74 255 = Déverrouiller la sélection de l’interface 7 RW 0 255 1 Sélection de l’interface verrouillée 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 Cfg DI1 Configuration entrée DI1 Réglage ≠ [P:063/064] 0 = Désactivée 1 = activer la remise à l'air 2 = Chauffage 3 = Purge de gaz neutre 4 = Surveillance de temps d'accélération 5 = Mode de réglage de vitesse de rotation 7 = Activer capteur HV 7 RW 0 7 1 063 Cfg DI2 Configuration entrée DI2 Pour les options, voir [P:062] Réglage ≠ [P:062/064] 7 RW 0 5 2 064 Cfg DI3 Configuration entrée DI3 Pour les options, voir [P:062] Réglage ≠ [P:062/063] 7 RW 0 5 3 min. max. Tab. 26: Unité Instructions de réglage 6.3 Requêtes d’état # Affichage Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 300 RemotePrio Priorité à distance 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 301 OpFluidDef Fluide d’exploitation bas 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 302 SpdSwPtAtt Point de commutation de la vitesse de rotation atteint 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 303 Code d’erreur Code d’erreur 4 R Unité par défaut 39/70 Ensemble de paramètres # Affichage Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 304 OvTempElec Température excessive électronique d’entraînement 0 = non 1 = oui 0 305 OvTempPump Température excessive pompe 0 = non 1 = oui 306 SetSpdAtt Régime nominal atteint 307 PumpAccel Accélération pompe 308 SetRotSpd 309 ActualSpd 310 311 min. max. R 0 1 0 R 0 1 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 Régime nominal (Hz) 1 R Hz 0 999999 Vitesse de rotation réelle (Hz) 1 R Hz 0 999999 DrvCurrent Courant d’alimentation 2 R A 0 9999,99 OpHrsPump Heures de fonctionnement de la pompe 1 R h 0 65535 312 Fw version Version logiciel électronique d’entraînement 4 R 313 DrvVoltage Tension entraînement 2 R V 0 9999,99 314 OpHrsElec Heures de service électronique d’entraînement 1 R h 0 65535 315 Nominal Spd Vitesse de rotation nominale (Hz) 1 R Hz 0 999999 316 DrvPower Puissance d’entraînement 1 R W 0 999999 319 PumpCycles Cycles de pompe 1 R 0 65535 324 TempPwrStg Température étage final 1 R °C 0 999999 326 TempElec Température électronique 1 R °C 0 999999 330 TempPmpBot Température partie inférieure pompe 1 R °C 0 999999 331 TMSactTemp Température TMS de chauffage réelle 1 R °C 0 999999 333 TMS steady Température TMS état stable 0 R 0 1 336 AccelDecel Accélération / décélération 1 R tr/min/ s 0 999999 337 SealGasFlw Débit purge de gaz neutre 1 R sccm 0 999999 342 TempBearng Température des paliers 1 R °C 0 999999 346 TempMotor Température du moteur 1 R °C 0 999999 349 ElecName Désignation de l’unité de commande électronique 4 R 354 HW Version Version matériel, unité de commande électronique 4 R 360 ErrHist1 Historique des codes d’erreur, point 1 4 R 361 ErrHist2 Historique des codes d’erreur, point 2 4 R 362 ErrHist3 Historique des codes d’erreur, point 3 4 R 363 ErrHist4 Historique des codes d’erreur, point 4 4 R 364 ErrHist5 Historique des codes d’erreur, point 5 4 R 365 ErrHist6 Historique des codes d’erreur, point 6 4 R 40/70 0 = non 1 = oui Unité par défaut Ensemble de paramètres # Affichage Description 366 ErrHist7 367 Type de donnée Type d’accès Historique des codes d’erreur, point 7 4 R ErrHist8 Historique des codes d’erreur, point 8 4 R 368 ErrHist9 Historique des codes d’erreur, point 9 4 R 369 ErrHist10 Historique des codes d’erreur, point 10 4 R 384 TempRotor Température du rotor 1 397 SetRotSpd Vitesse de rotation de consigne (tr/min) 1 398 ActualSpd Vitesse de rotation réelle (tr/ min) 399 NominalSpd Vitesse de rotation nominale (tr/min) Tab. 27: Fonctions Unité min. max. R °C 0 999999 R tr/min 0 999999 1 R tr/min 0 999999 1 R tr/min 0 999999 par défaut Requêtes d’état 6.4 Entrées des valeurs de référence # Affichage Description 700 RUTimeSVal 701 Type de donnée Type d’accès Unité min. max. par défaut Définir la valeur du temps d’accélération 1 RW min 1 120 8 SpdSwPt1 Point de commutation 1 vitesse de rotation 1 RW % 50 97 80 704 TMSsetTemp Spécification de température TMS du chauffage 1 RW °C 30 75 40 707 SpdSVal Régler la valeur en mode de réglage de la vitesse de rotation 2 RW % 20 100 65 708 PwrSVal Valeur de consigne de la consommation électrique 7 RW % 10 100 1003) 710 Swoff BKP Seuil de désactivation de la pompe à vide primaire pour le fonctionnement par intermittence 1 RW W 0 1000 0 711 SwOn BKP Seuil d’activation de la pompe à vide primaire pour le fonctionnement par intermittence 1 RW W 0 1000 0 717 StdbySVal Valeur fixée de la vitesse de rotation en mode stand-by 2 RW % 20 100 66,7 719 SpdSwPt2 Point de commutation 2 vitesse de rotation 1 RW % 5 97 20 720 VentSpd Mise à l’air à la vitesse de rotation, mise à l’air retardée 7 RW % 40 98 50 721 VentTime Temps de remise à l’air, ventilation temporisée 1 RW s 6 3600 3600 730 PrsSwPt 1 Point de commutation de pression 1 10 RW hPa 732 PrsSwPt 2 Point de commutation de pression 2 10 RW hPa 739 PrsSn1Name Nom du capteur 1 4 R 3) Fonctions Dépend du type de pompe 41/70 Ensemble de paramètres # Affichage Description 740 Pression 1 742 Type de donnée Type d’accès Unité Valeur de pression 1 10 RW hPa PrsCorrPi 1 Facteur de correction 1 2 RW 749 PrsSn2Name Nom du capteur 2 4 R 750 Pression 2 Valeur de pression 2 10 RW 752 PrsCorrPi 2 Facteur de correction 2 2 RW 777 NomSpdConf Confirmation de la vitesse de rotation nominale 1 RW 791 SlgWrnThrs Seuil d’avertissement du débit de gaz de pressurisation 1 RW 797 RS485Adr Adresse interface RS-485 1 RW Tab. 28: 6.5 Fonctions min. max. par défaut Hz 0 1500 0 sccm 5 200 15 1 255 1 hPa Entrées des valeurs de référence Paramètres additionnels dans l'appareil de commande Paramètres additionnels dans l'appareil de commande L’ensemble de paramètres de base est défini, départ usine, dans l’unité de commande électronique. Des paramètres additionnels (ensemble de paramètres étendus) sont disponibles dans les unités de commande Pfeiffer Vacuum correspondantes pour la régulation de composants externes raccordés (comme un équipement de mesure du vide). ● Se reporter aux consignes d’utilisation correspondantes des différents composants. ● Sélectionner l’ensemble de paramètres avancés avec le paramètre [P:794] = 1. # Indicateur Description 340 Pression 350 Type de donnée Type d’accès Unité min. max. Valeur de pression actuelle (ActiveLine) 7 R hPa 1·10 -10 1·10 3 Nom ctr Type d'appareil de commande 4 R 351 Logiciel ctr Version du logiciel de l'appareil de commande 4 R 738 Type de jauge Type de manomètre 4 RW 794 Ensemble param Ensemble de paramètres 7 RW 0 1 795 Servicelin Insérer ligne de service 7 RW Tab. 29: 42/70 Fonctions 0 = ensemble de paramètres de base 1 = ensemble de paramètres avancés Paramètres des fonctions de l'appareil de commande par défaut 0 795 Utilisation 7 Utilisation 7.1 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et prête à l’emploi. Pour des impératifs particuliers, il est possible de configurer la plupart des connexions pour l’unité de commande électronique avec l’ensemble de paramètres. 7.1.1 Configurer la connexion « DeviceNet » Procédure 1. Régler une adresse d'appareil valide et unique (voir chapitre « Configuration de l’adresse de l’appareil », page 43). 2. Régler une vitesse de transmission (voir chapitre « Réglage de la vitesse de transmission », page 43). 3. Configurer l’échange de données en utilisant le fichier EDS fourni avec la pompe turbomoléculaire (voir chapitre « Configuration de l’échange de données », page 44). 7.1.2 Configuration de l’adresse de l’appareil Vous pouvez configurer manuellement l’adresse de l'appareil DeviceNet à l’aide du commutateur marqué « ADRESSE » ou via DeviceNet. ● décimale ● 00 à 63 ADDRESS 4 2 4 0 0 6 6 P 8 MSD LSD 2 Fig. 3: Commutateur pour l’adresse de l’appareil DeviceNet Zehnerstellen (MSD) 0x à 6x Einerstellen (LSD) x0 à x9 Réglage manuel de l’adresse de l’appareil ► Régler la valeur souhaitée à l’aide du commutateur. Une fois le réglage effectué, l’appareil accède au bus en utilisant la nouvelle adresse de l’appareil. Réglage de l’adresse de l’appareil via DeviceNet 1. Arrêter l'appareil ou le débrancher du secteur. 2. Régler le commutateur MSD en position « P ». 3. Programmer l’adresse de l’appareil via DeviceNet objet 3.1.1. (voir chapitre « Objet DeviceNet « DeviceNet » », page 22) Après la mise en route, l’appareil utilise la dernière adresse d'appareil valide (à la livraison : 63). 7.1.3 Réglage de la vitesse de transmission Vous pouvez régler manuellement la vitesse de transmission à l’aide du commutateur marqué « VITESSE » ou via DeviceNet. RATE P 5 2 1 Fig. 4: Commutateur pour la vitesse de transmission de DeviceNet 1 125 kBit/s 2 250 kBit/s 5 P 500 kBit/s Vitesse de transmission via DeviceNet 43/70 Utilisation Réglage manuel de la vitesse de transmission ► Régler la valeur souhaitée à l’aide du commutateur. La modification prend effet la prochaine fois que le système est allumé. Réglage de la vitesse de transmission via DeviceNet 1. Arrêter l'appareil ou le débrancher du secteur. 2. Régler le commutateur en position « P ». 3. Programmer la vitesse de transmission via DeviceNet objet 3.1.2. (voir chapitre « Objet DeviceNet « DeviceNet » », page 22) Après la mise en route, l’appareil utilise la dernière vitesse de transmission valide (à la livraison : 500 kBit/s). 7.1.4 Configuration de l’échange de données Selon le programme utilisé pour le réglage de la communication DeviceNet, vous pouvez effectuer différentes étapes : ● Fichier EDS ─ Importer le fichier EDS ● Données spécifiques à l’appareil ─ Définir le format des données d’entrée / de sortie cycliques ─ Définir le comportement du système suivant la terminaison de la communication DeviceNet cyclique ─ Définir le système de niveau plus élevé ─ Configuration de la pompe à vide ● Données spécifiques au controller ─ Régler l’appareil dans la scanlist du controller ─ Définir le format des données d’entrée / de sortie cycliques Importer le fichier EDS ► Importer le fichier EDS de la livraison de la pompe à vide. Définir le format des données d’entrée / de sortie cycliques Vous pouvez uniquement modifier le format si la connexion E/S Poll est inactive. ► Définir les données de process cycliques à échanger via les objets DeviceNet suivants : ● Données d'entrée Poll E/S (4.0.100) ● Données de sortie Poll E/S (4.0.101) ● (voir chapitre « Objet DeviceNet « Assemblage » », page 22) Définir le comportement du système suivant la terminaison de la communication DeviceNet cyclique ► Définir l’action à exécuter en cas de défaillance de l’échange cyclique des données de process (connexion Poll E/S) via les objets DeviceNet suivants : ● Action ralenti (9.1.7) ● (voir chapitre « Objet DeviceNet « Point de sortie logique » », page 25) Définir le système de niveau plus élevé Cela ne restreint pas l’accès en écriture via les autres interfaces. ► Définir si l’unité de commande électronique doit être contrôlée exclusivement via DeviceNet, ou si d’autres interfaces (par ex. RS-485) sont également autorisées via l’objet DeviceNet suivant : ● Permission bloquée (101.0.17) ● (voir chapitre « Objet DeviceNet « Interfaces » », page 32) Configuration de la pompe à vide ► Pour régler une configuration différente du statut de livraison, utiliser le fichier EDS pour régler les objets DeviceNet individuels, par ex. configuration des accessoires. Effectuer les installations spécifiques au controller 1. Régler l’appareil dans la scanlist du controller. 2. Définir le format des données d’entrée / de sortie cycliques. Échange de données explicite (connexion explicite) Vous pouvez accéder aux différents objets DeviceNet via cette connexion (voir chapitre « Interface DeviceNet », page 21). En règle générale, cela est effectué à l’aide d’un programme de configuration spé- 44/70 Utilisation cial et du fichier EDS. Le fichier EDS est également utilisé pour définir quelles données sont envoyées pendant l’échange de données cycliques. Échange de données cyclique (connexion poll E/S) Pour l’échange de données cyclique, divers objets DeviceNet sont combinés pour former les « Assemblages (4.x.3.) » (voir chapitre « Objet DeviceNet « Assemblage » », page 22). Un assemblage est sélectionné pour chaque direction (données d’entrée / de sortie). Les assemblages suivants sont disponibles pour la sélection : Données d'entrée (données produites, pompe à vide vers controller) ● ● ● ● Assemblage ... Octet 1 : statut de pompe (réglage d’usine) 2 : statut de pompe, vitesse 100 : statut de pompe, vitesse, courant 101 : statut de pompe, vitesse, courant, température Signification 1 2 100 101 0 0 0 0 (OCTET) statut d’exception (48.1.12) ● Bit 0 : Erreur générale ● Bit 1 : Erreur spécifique à l’appareil ● Bit 2 : Erreur spécifique au fabricant ● Bit 4 : Avertissement général ● Bit 5 : Avertissement spécifique à l’appareil ● Bit 6 : Avertissement spécifique au fabricant Détail pour bit 0 – 2 voir Exception alarme détail (48.1.13) Détail pour bit 4 – 6 voir Exception avertissement détail (48.1.14) (voir chapitre « Objet DeviceNet « S-Analog Superviseur » », page 27) 1 1 1 1 (OCTET) statut vitesse (42.1.39) ● Bit 0 : La pompe à vide est en marche, vitesse de rotation > 0 ● Bit 1 : Arrêt moteur ● Bit 2 : À la vitesse de rotation standby ● Bit 4 : Arrêté ● Bit 5 : Accéléré ● Bit 6 : À la vitesse de rotation réglée ● Bit 7 : Retardé 2 2 2 2 (BOOL) Statut pompe en marche (8.1.3) ● 0 : La pompe à vide est à l’arrêt ● 1 : La pompe à vide est en marche, vitesse de rotation > 0 - 3–4 3–4 3–4 (INT) Vitesse de pompe (42.1.7) ● Vitesse de rotation actuelle en tr/min/4 (par ex. la valeur 15 000 correspond à 60 000 tr/ min) - - 5–6 5–6 (INT) Courant IMC (42.1.102) ● Courant de circuit intermédiaire en 100 mA (par ex. la valeur 42 correspond à 4,2 A) - - - 7–8 (INT) Température du palier (49.3.6) ● Température du palier en °C/10 (par ex. la valeur 210 correspond à 21.0 °C) - - - 9 – 10 (INT) Température de pompe (49.101.6) ● Température de la partie inférieure en °C/10 (par ex. la valeur 210 correspond à 21.0 °C) Tab. 30: Données d'entrée (données produites, pompe à vide vers controller) Données de sortie (données consommées, controller vers pompe à vide) ● ● ● ● 5 : commande de pompe (réglage d’usine) 6 : commande de pompe / vitesse 7 : commande de pompe/vitesse, réglage de vitesse 103 : commande de pompe/vitesse, réglage de vitesse, vanne de mise à l'air cfg. 45/70 Utilisation Assemblage ... Octet Signification 5 6 7 103 0 0 0 0 (BOOL) pompe en marche (9.1.3) ● 0 : Groupe de pompage à l’arrêt ● 1 : Groupe de pompage en marche - 1 1 1 (OCTET) contrôle de vitesse (42.1.38) ● Bit 0 : Groupe de pompage en marche ● Bit 1 : Arrêt moteur ● Bit 2 : Standby activé - - 2–3 2–3 (INT) vitesse cible (42.1.8) ● Vitesse de rotation réglée en tr/min/4 (par ex. la valeur 15 000 correspond à 60 000 tr/min) - - - 4–5 (WORD) Configuration de la vanne (7.1.4) ● Bit 0/1 vanne de mise à l'air : 0 - pas de ventilation, 1 - ventilation directe, 2 - ventilation retardée ● Bit 2/3 vanne du gaz de pressurisation : 0 - désactivé, 1 - activé Tab. 31: 7.1.5 Données de sortie (données consommées, controller vers pompe à vide) Configuration du raccordement « remote » Dans la description, « active » signifie : ● pour toutes les sorties numériques : V+ active haut ● pour tous les relais : commutation du contact conformément aux réglages [P:028] Option Description 0 = point de commutateur de commande de vitesse atteint actif, une fois le point de commutation atteint 1 = Pas d’erreur actif, avec fonctionnement exempt de défaut 2 = Erreur actif, si le message d’erreur est actif 3 = Avertissement actif, si un message d’avertissement est actif 4 = Erreur et/ou avertissement actif, si une erreur et/ou un avertissement est actif 5 = Régime nominal atteint actif, une fois le point de commutation du régime nominal atteint 6 = Pompe en marche actif, si le groupe de pompage, moteur sont en marche et pas d’erreur 7 = Accélération pompe actif, si la station de pompage est en marche, la vitesse de rotation actuelle est < vitesse de rotation définie 8 = Décélération pompe actif, si la station de pompage est en marche, la vitesse de rotation actuelle est > vitesse de rotation définie, vitesse de rotation > 3 Hz 9 = toujours 0 GND pour la commande d’un appareil externe 10 = toujours 1 +24 V DC pour la commande d’un appareil externe 11 = Priorité commande à distance active actif, si la priorité à distance est active 12 = Chauffage La commande correspond au paramètre [P:001] 13 = Pompe à vide primaire La commande correspond aux paramètres [P:010] et [P:025] 14 = Purge de gaz neutre La commande correspond au paramètre [P:050] 15 = Groupe de pompage La commande correspond au paramètre [P:010] 16 = Rotation pompe actif, si vitesse de rotation > 1 Hz 17 = la pompe s’est arrêtée actif, si vitesse de rotation < 2 Hz 18 = TMS état stable 4) actif, si la température nominale TMS est stabilisée Tab. 32: 4) 46/70 Sorties numériques et relais Uniquement lors de l’utilisation de pompes avec système de gestion de la température (TMS) Utilisation Option Description 0 = Désactivée Connexion non fonctionnelle 1 = Activer les ventilations La commande correspond au paramètre [P:012] 2 = Chauffage La commande correspond au paramètre [P:001] 3 = Purge de gaz neutre La commande correspond au paramètre [P:050] 4 = Surveillance de temps d'accélération La commande correspond au paramètre [P:004] 5 = Mode vitesse de rotation La commande correspond au paramètre [P:026] Tab. 33: Entrées numériques Option Description 0 = vitesse actuelle Signal de vitesse de rotation ; 0 – 10 V CC = 0 – 100% x fNominal 1 = sortie : Signal de puissance ; 0 – 10 V CC = 0 – 100% x Pmax 2 = courant Signal de courant ; 0 – 10 V DC = 0 – 100 % x Imax 3 = toujours 0 V Toujours GND 4 = toujours 10 V Sortie de la tension 10 V DC permanente 5 = Suit AI1 Suit l'entrée analogique 1 Tab. 34: Sortie analogique Option Description 0 = Interrupteur mis sur arrêt Connexion non fonctionnelle 1 = Point de consigne dans le fonctionnement commande vitesse Fonctionnement de réglage de la vitesse de rotation via la broche 7 (0 – 10 V) et la broche 11 (GND) Tab. 35: Entrée analogique Procédure 1. Configurez les sorties numériques et les relais via les paramètres [P:019] et [P:024] ou [P:045], [P:046], [P:047] et [P:028]. 2. Configurez les entrées numériques via les paramètres [P:062], [P:063] ou [P:064]. 3. Configurez la sortie analogique via le paramètre [P:055]. 4. Configurez l’entrée analogique via le paramètre [P:057]. 7.1.6 Configuration des connexions des accessoires Option Description 0 = ventilateur Commande via les paramètres du poste de pompage 1 = vanne de remise à l’air, fermée sans courant Commande via le paramètre Activer ventilation. Lors de l’utilisation d'une vanne de ventilation, fermée sans courant 2 = dispositif de chauffage Commande via les paramètres Points de commutation de chauffage et de vitesse atteints 3 = pompe de secours Commande via le paramètre Poste de pompage et le mode de fonctionnement de la pompe de secours 4 = ventilateur (à contrôle de température) Commande via le paramètre Poste de pompage et la valeur seuil de température 5 = gaz de pressurisation Commande via le paramètre Poste de pompage et le gaz de pressurisation 6 = toujours « 0 » GND pour la commande d’un appareil externe 7 = toujours « 1 » +24 V CC pour la commande d'un appareil externe 8 = vanne de remise à l'air en cas de panne de courant Commande via le paramètre Activer ventilation. Lors d’une panne de courant de l’unité de ventilation 9 = dispositif de chauffage TMS5) Commande via le boîtier de commutation TMS 5) Uniquement pour les pompes à vide avec système de gestion de la température (TMS) 47/70 Utilisation Option Description 10 = refroidissement TMS6) Commande de l’alimentation en eau de refroidissement TMS 13 = surveillance du gaz de pressurisation Commande via le paramètre Poste de pompage et le gaz de pressurisation 14 = chauffage (partie inférieure à contrôle de température) Commande du chauffage. Commande via les paramètres de la partie inférieure du chauffage Tab. 36: Connexions des accessoires Procédure ► Réglage des raccordements via les paramètres [P:035], [P:036], [P:037] ou [P:038]. 7.1.7 Sélection des interfaces L’option « Commande via interface » sert à l’affichage de l’interface actuellement active dans l’unité de commande électronique. Les interfaces de communication obtiennent ainsi automatiquement la priorité de commande. Option Description 1 = à distance Fonctionnement via connexion « à distance » 2 = RS-485 Fonctionnement via la connexion « RS-485 » 4 = PV.can À des fins de maintenance uniquement 8 = bus de terrain Fonctionnement via bus de terrain 16 = E74 Fonctionnement via la connexion « E74 » Tab. 37: Paramètre [P:060] Option Description 0 = arrêt La sélection de l’interface peut être définie avec [P:060]. 1 = marche Sélection de l’interface verrouillée Tab. 38: Paramètre [P:061] 7.2 Modes de fonctionnement 7.2.1 Fonctionnement selon le type de gaz AVIS Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo. ► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique. ► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (> 80). Un débit de gaz et une vitesse de rotation élevés entraînent un important échauffement du rotor par friction. Afin d’éviter toute surchauffe, des caractéristiques de vitesse de rotation et de puissance sont implémentées dans l’unité de commande électronique. La caractéristique de puissance permet le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à toute vitesse de rotation avec le débit de gaz maximal autorisé sans surcharge thermique de la pompe turbomoléculaire. La consommation électrique maximale dépend du type de gaz. 3 caractéristiques sont disponibles pour le paramétrage afin d’exploiter complètement la capacité de la pompe turbomoléculaire pour chaque type de gaz. 6) 48/70 Uniquement pour les pompes à vide avec système de gestion de la température (TMS) Utilisation P Pmax [P:708] D B F E A C fN Fig. 5: f Représentation schématisée des caractéristiques de puissance, exemple de gaz lourds [P:027] = 0 P Consommation de courant C-D f Vitesse de rotation A-B Pmax Consommation électrique maximale fN Vitesse de rotation nominale E-F Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 0 » (gaz de classe moléculaire > 39, par ex. argon) Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 1 » (gaz de classe moléculaire ≤ 39) Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 2 » (hélium) Réglage du mode gaz 1. Contrôlez le mode gaz actuellement réglé avec le paramètre [P:027]. 2. Réglez le paramètre [P:027] à la valeur requise. 3. Si nécessaire, réglez sur une fréquence plus basse dans le mode de réglage de la vitesse de rotation afin d’éviter les variations de vitesse de rotation. La pompe turbomoléculaire fonctionne avec la consommation de courant maximale. Lorsque le régime nominal et/ou réglé est atteint, l’unité de commande électronique bascule automatiquement sur la caractéristique de puissance choisie du mode gaz sélectionné. L’augmentation de la consommation de courant compense initialement une augmentation du débit de gaz pour maintenir constante la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire. La pompe turbomoléculaire s’échauffe davantage en raison de la friction croissante des gaz. Lorsque la puissance maximale dépendant du type de gaz est dépassée, la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire est réduite par l’unité de commande électronique jusqu’à ce qu’un équilibre admissible entre la puissance et la friction du gaz soit atteint. 7.2.2 Valeur de réglage de la puissance absorbée Régler le paramètre [P:708] Lorsque la consommation électrique spécifiée est inférieure à 100%, le temps de démarrage est augmenté. 1. Régler le paramètre [P:708] à la valeur requise en %. 2. Si nécessaire, ajuster le paramètre [P:700] RUTimeSVal afin d’éviter les messages d’erreur lors du démarrage. 7.2.3 Temps d’accélération Le temps d’accélération de la pompe turbomoléculaire est surveillé en usine. Différentes causes peuvent prolonger les temps de démarrage, par exemple : ● Débit de gaz excessif ● Fuite dans le système ● Point de consigne du temps de démarrage trop bas Régler le paramètre [P:700] 1. Si possible, éliminer toute cause externe et associée à l’application. 2. Ajuster le temps de démarrage avec le paramètre [P:700]. 7.2.4 Points de commutation de vitesse de rotation Vous pouvez utiliser le point de commutation de vitesse de rotation pour le message « pompe turbomoléculaire opérationnelle pour le processus ». Lorsque le point de commutation de vitesse de rotation est 49/70 Utilisation dépassé ou n'est pas atteint, cela active ou désactive un signal au niveau de la sortie pré-configurée sur l’unité d’entraînement électronique et au niveau du paramètre d'état [P:302]. Point de commutation 1 vitesse de rotation [P:017] = 0 f(%) [P:701] t [P:010] [P:302] 1 0 t 1 0 Fig. 6: Process t Point de commutation de vitesse de rotation 1 actif Réglage du point de commutation de vitesse de rotation 1 La sortie du signal et les paramètres d'état sont basés sur la valeur réglée pour le point de commutation de vitesse de rotation 1 [P:701]. 1. Régler le paramètre [P:701] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:017] sur « 0 ». Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 [P:017] = 1 f(%) [P:701] [P:719] t [P:010] [P:302] 1 0 t 1 0 Fig. 7: Process t Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] > [P:719] [P:017] = 1 f(%) [P:719] [P:701] t [P:010] [P:302] Fig. 8: 50/70 1 0 t 1 0 Process t Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] < [P:719] Utilisation Réglage des points de commutation de la vitesse de rotation 1 & 2 1. Régler le paramètre [P:701] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:719] à la valeur requise en %. 3. Régler le paramètre [P:017] sur « 1 ». Lorsque le poste de pompage [P:010] est mis en marche, le point de commutation de vitesse de rotation 1 est le générateur du signal. Lorsque le poste de pompage est mis à l’arrêt, la sortie du signal et la demande du statut s’orientent vers le point de commutation de vitesse de rotation 2. La sortie du signal est soumise à l’hystérèse entre les deux points de commutation. 7.2.5 Mode de réglage de la vitesse de rotation Le mode de réglage de la vitesse de rotation réduit la vitesse et par conséquent la vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire. La vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire varie proportionnellement à sa vitesse de rotation. Le mode standby est inactif pendant le mode de réglage de la vitesse de rotation. La valeur définie dans le mode de réglage de la vitesse de rotation [P:707] définit la vitesse de rotation. Le point de commutation de la vitesse de rotation varie avec la vitesse de rotation réglée. Si la valeur définie n’est pas atteinte ou est dépassée pendant le mode de réglage de la vitesse de rotation, le signal d'état [P:306] SetSpdAtt est activé ou désactivé. Vitesse de rotation variable autorisée Les valeurs dans le mode de réglage de la vitesse de rotation ou dans le mode standby sont soumises à la plage de vitesse de rotation autorisée de la pompe à vide correspondante (caractéristiques techniques). Une chute en-dessous des valeurs minimales autorisées entraîne un message d’avertissement Wrn100. L’unité de commande électronique ajuste la vitesse de rotation réglée sur la prochaine valeur valide. Régler le mode de réglage de la vitesse de rotation 1. Régler le paramètre [P:707] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:026] sur « 1 ». 3. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]). 7.2.6 Standby Pfeiffer Vacuum recommande le mode standby pour la pompe turbomoléculaire lors des arrêts de processus et de production. Lorsque le mode standby est actif, l’unité d’entraînement électronique réduit la vitesse de rotation de la turbopompe. Le mode standby est inactif pendant le mode de réglage de la vitesse de rotation. Le réglage en usine pour le mode standby est 66,7 % de la vitesse de rotation nominale. Si la valeur définie n’est pas atteinte ou est dépassée pendant le mode standby, le signal d'état [P:306] SetSpdAtt est respectivement activé et désactivé. Vitesse de rotation variable autorisée Les valeurs dans le mode de réglage de la vitesse de rotation ou dans le mode standby sont soumises à la plage de vitesse de rotation autorisée de la pompe à vide correspondante (caractéristiques techniques). Une chute en-dessous des valeurs minimales autorisées entraîne un message d’avertissement Wrn100. L’unité de commande électronique ajuste la vitesse de rotation réglée sur la prochaine valeur valide. Réglage des paramètres associés 1. Régler le paramètre [P:717] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:026] sur « 0 ». 3. Régler le paramètre [P:002] sur « 1 ». 4. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]). 7.2.7 Confirmation de la spécification de vitesse La vitesse de rotation nominale typique d’une pompe turbomoléculaire est préréglée en usine dans l’unité de commande électronique. Si l’unité de commande électronique est remplacée ou si un autre type de pompe est utilisé, la présélection de consignes pour la vitesse de rotation nominale est effacée. La confirmation manuelle de la vitesse de rotation nominale fait partie d’un système de sécurité redondant et sert de mesure de prévention contre les vitesses de rotation excessives. 51/70 Utilisation HiPace Confirmation de la vitesse de rotation nominale [P:777] 1200/1500 630 Hz 1800/2300 525 Hz 2800 455 Hz Tab. 39: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires Accessoires requis ● Un appareil de commande Pfeiffer Vacuum raccordé. ● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de travail de l’unité de commande électronique. Réglage de confirmation de la vitesse de rotation nominale 1. Observer le manuel de l'utilisateur de l’appareil de commande. 2. Voir le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique. 3. Définir le paramètre [P:794] sur « 1 » et activer le jeu de paramètres étendu. 4. Ouvrir et éditer le paramètre [P:777]. 5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz. 7.2.8 Modes de fonctionnement de la pompe de secours Le fonctionnement d'une pompe de secours connectée via l’unité d’entraînement électronique dépend du type de pompe de secours. Mode de fonctionnement [P:025] Pompe booster recommandée « 0 » mode continu Toutes les pompes à vide primaire « 1 » mode par intermittence Pompes à membrane uniquement « 2 » mise en marche temporisée Toutes les pompes à vide primaire « 3 » mode par intermittence temporisé Pompes à membrane uniquement Tab. 40: Modes de fonctionnement de la pompe de secours Réglage du mode continu Avec « poste de pompage marche », l’unité d’entraînement électronique envoie un signal à la connexion d’accessoire configurée pour mettre la pompe de secours en marche. 1. Régler le paramètre [P:025] sur « 0 ». 2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire. Réglage du mode de fonctionnement par intermittence et détermination du seuil de commutation Le mode de fonctionnement par intermittence augmente la durée de vie de la membrane d’une pompe à membrane connectée. Soit une pompe à membrane avec relais semi-conducteur intégré, soit un boîtier de relais interconnecté avec relais semi-conducteur est requis(e) pour le mode de fonctionnement par intermittence. L’unité de commande électronique met la pompe à vide primaire en marche ou à l’arrêt selon la consommation électrique de la pompe turbomoléculaire. Une relation avec la pression de vide préliminaire résulte de la consommation électrique. Le mode de fonctionnement de la pompe de secours offre des seuils de mise en marche et de mise à l’arrêt réglables. Les variations de consommation électrique des pompes turbomoléculaires au ralenti et les variations de pression de vide préliminaire des pompes à vide primaire nécessitent des réglages individuels du mode de fonctionnement par intermittence. Pfeiffer Vacuum recommande un fonctionnement par intermittence entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et une vanne de dosage sont nécessaires pour régler les seuils de commutation. 1. Régler le paramètre [P:025] sur « 1 ». 2. Mettre le système de vide en marche avec le paramètre [P:010] (« poste de pompage »). 3. Attendre le démarrage. 4. Laisser le gaz circuler à travers la vanne de dosage et régler la pression de vide préliminaire sur 10 hPa. 5. Relever la puissance d’entraînement sur le paramètre [P:316] et noter la valeur. 6. Régler le seuil de mise en marche de la pompe de secours avec le paramètre [P:711] sur la puissance d’entraînement déterminée pour une pression de vide préliminaire de 10 hPa. 52/70 Utilisation 7. Réduire la pression du vide préliminaire à 5 hPa. 8. Relever la puissance d’entraînement sur le paramètre [P:316] et noter la valeur. 9. Régler le seuil de mise à l’arrêt de la pompe de secours avec le paramètre [P:710] sur la puissance d’entraînement déterminée pour une pression de vide préliminaire de 5 hPa. Mise en marche temporisée La mise en marche simultanée de la pompe de vide primaire et de la pompe turbomoléculaire peut entraîner un flux de gaz indésirable. Afin d’éviter cela, selon les exigences du processus ou de l’application, il est possible de faire fonctionner la pompe de secours avec une mise en marche temporisée. La mise en marche temporisée dépend de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire. La mise en marche temporisée présente une valeur fixe de 360 tr/min dans l’unité de commande électronique. ● Seuil de mise à l’arrêt, paramètre [P:710] ● Seuil de mise en marche, paramètre [P:711] ● Temporisation 8 s. 1. Régler le paramètre [P:025] sur « 2 ». 2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire. Fonctionnement par intermittence temporisé Des variations au cours du fonctionnement par intermittence peuvent entraîner un non-respect des seuils de commutation, ils ne sont pas atteints ou sont dépassés. Afin d’éviter toute commutation non désirée de la pompe à vide primaire, le fonctionnement par intermittence est possible en utilisant une temporisation de la mise en marche, selon le processus ou les exigences de l’application. La temporisation dépend d’un seuil de commutation spécifié dépassé ou non atteint de manière ininterrompue. ● Seuil de mise à l’arrêt, paramètre [P:710] ● Seuil de mise en marche, paramètre [P:711] ● Temporisation 8 s. 1. Régler le paramètre [P:025] sur « 3 ». 2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire. 7.2.9 Mode standby de la pompe de secours Lors de l’utilisation d'une pompe de secours Pfeiffer Vacuum avec commande de la vitesse de rotation, elle peut être utilisée dans le mode standby en configurant la sortie numérique [P:019] ou [P:024]. La consommation de courant de la pompe turbomoléculaire a une influence directe sur la vitesse de rotation de la pompe à vide primaire. Configuration du mode de standby 1. Établir la connexion de la pompe à vide primaire à l’aide d’un câble de raccordement approprié. 2. Régler le paramètre [P:019] ou [P:024] sur « 22 » (pompe à vide primaire en mode standby). 3. Consulter la vitesse de standby correspondante dans le mode d’emploi correspondant de la pompe à vide primaire. 7.2.10 Fonctionnement avec des accessoires Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés sont disponibles en ligne. ● Les accessoires suivants ne sont pas inclus dans la livraison. Configuration du chauffage L’activation du chauffage connecté dépend du point de commutation de vitesse de rotation 1 (réglage en usine 80% x fnominal). ► Mettre le chauffage en marche ou à l’arrêt avec le paramètre [P:001]. Configuration de la vanne de purge de gaz neutre ► À l’aide du paramètre [P:050], mettre en marche ou à l’arrêt une vanne de purge de gaz neutre connectée via la sortie pré-configurée. 53/70 Utilisation Surveillance du gaz de pressurisation 1. Régler le paramètre sélectionné sur « 13 ». 2. Régler le paramètre [P:791] sur le débit de gaz de pressurisation désiré pour le seuil d'avertissement. 3. Consulter le débit de gaz de pressurisation via le paramètre [P:337]. 7.2.11 Modes de ventilation La fonction « poste de pompage » active le mode de ventilation de la pompe turbomoléculaire après la mise à l’arrêt. La sortie de signal est effectuée avec une temporisation fixe. Sélection du mode de ventilation 1. Régler le paramètre [P:012] sur « 1 ». 2. Sélectionner le mode de ventilation avec le paramètre [P:030] (3 modes possibles). Ventilation temporisée 1. Configurer le début et la durée de ventilation après « Station de pompage désactivée » en fonction de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire. 2. Régler le paramètre [P:030] sur « 0 ». 3. Avec le paramètre [P:720], régler la vitesse de ventilation à la vitesse de rotation nominale en %. 4. Avec le paramètre [P:721], régler la vitesse de ventilation en s. La soupape de ventilation s'ouvre pour la durée de ventilation définie. En cas de panne de courant, la ventilation démarre lorsque la vitesse tombe sous la vitesse de ventilation de consigne. La durée de ventilation dépend de l’énergie résiduelle fournie par le rotor en rotation. Le processus de ventilation s’arrête lorsque la puissance est rétablie. Pas de remise à l'air Dans ce mode de fonctionnement, la ventilation est désactivée. ► Régler le paramètre [P:030] sur « 1 ». Ventilation directe La mise à l’air commence avec un retard de 6 secondes après l’arrêt du groupe de pompage. Lorsque la fonction du groupe de pompage est réactivée, la vanne de remise à l'air se ferme automatiquement. Après une panne de courant, la ventilation démarre après que la vitesse de rotation soit retombée audessous d’une valeur type spécifiée. Une fois la puissance rétablie, le processus de ventilation reprend. ► Réglez le paramètre [P:030] sur « 2 ». 7.3 Fonctionnement via la connexion « à distance » Utilisation à distance de l’unité de commande électronique via « remote » 1. Retirez la contre-fiche du raccordement « remote » de l’unité de commande électronique. 2. Raccordez la commande à distance. 3. Respectez le plan de connexion. 4. Utilisez le connecteur et le câble blindés. 7.3.1 Sortie +24 V CC/broche 1 Un raccordement de la tension +24 V CC avec la broche 1 (actif haut) active les entrées 2 à 6 ainsi que les raccordements aux broches 10, 13 et 14. Alternativement, elles peuvent être activées par un PLC externe. « Niveau haut PLC » active et « Niveau bas PLC » désactive les fonctions. ● ● ● ● 7.3.2 Niveau haut PLC : +13 V à +33 V Niveau haut PLC : -33 V à +7 V Ri : 7 kΩ Imax < 210 mA (avec RS-485, si disponible) Entrées Les entrées numériques sur le raccordement « remote » sont utilisées pour commuter les différentes fonctions de l’unité de commande électronique. Au départ de l’usine, les entrées DI1 – DI2 disposent de fonctions qui peuvent être réglées avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum configuré via DeviceNet ou l’interface RS-485. 54/70 Utilisation DI1 (déclencher remise à l’air)/broche 2 État Description V+ Déclencher remise à l’air (remise à l'air selon mode de remise à l’air) ouvert Remise à l’air bloquée (aucune remise à l’air n’a lieu) Tab. 41: DI1 (déclencher remise à l’air)/broche 2 DI pompe moteur/broche 3 Avec la broche 4 activée (groupe de pompage) et l’auto-test conclu avec succès de l’unité de commande électronique, la pompe turbomoléculaire est amorcée. En cours de fonctionnement, la pompe turbomoléculaire peut être éteinte et rallumée avec le groupe de pompage toujours actif, sans obligation de remettre la pompe turbomoléculaire à l’air. État Description V+ Moteur de pompe turbomoléculaire activé ouvert Moteur de pompe turbomoléculaire désactivé Tab. 42: DI pompe moteur/broche 3 DI Groupe de pompage/broche 4 Commande des composants connectés du groupe de pompage (p. ex. pompe à vide primaire, vanne de remise à l'air, refroidissement par air). Si la broche 3 (moteur) est activée en même temps, la pompe turbomoléculaire démarre. Tout message d’erreur en suspens est réinitialisé en éliminant la cause. État Description V+ Quittance de défaillance et groupe de pompage en marche ouvert Groupe de pompage à l’arrêt Tab. 43: DI Groupe de pompage/broche 4 DI standby/broche 5 En mode standby, la pompe turbomoléculaire fonctionne à une vitesse de rotor spécifiée < la vitesse de rotation nominale. Le réglage en usine pour le fonctionnement recommandé est 66,7 % de la vitesse de rotation nominale. État Description V+ Standby activé ouvert Standby inactif, fonctionnement à la vitesse de rotation nominale Tab. 44: DI standby/broche 5 DI2 (chauffage)/broche 6 État Description V+ Dispositif de chauffage en marche ouvert Dispositif de chauffage à l’arrêt Tab. 45: DI2 (chauffage)/broche 6 Entrée numérique DI3 (gaz de pressurisation) / broche 10 État Description V+ Vanne de gaz de pressurisation ouverte ouvert Vanne de gaz de pressurisation fermée Tab. 46: Entrée numérique DI3 (gaz de pressurisation) / broche 10 55/70 Utilisation DI Quittance de défaillance/broche 13 État Description V+ Réinitialiser les messages d’erreur en suspens lorsque la cause a été éliminée avec une impulsion d’une durée minimale de 500 ms. ouvert Inactif Tab. 47: DI Quittance de défaillance/broche 13 DI priorité à distance/broche 14 État Description V+ Le raccordement « remote » a une commande prioritaire sur toutes les autres entrées numériques. ouvert Priorité à distance inactive Tab. 48: DI priorité à distance/broche 14 AI Mode de réglage de la vitesse/broches 7 et 11 L'entrée analogique sert de point de consigne de vitesse de rotation pour la pompe turbomoléculaire. Un signal d’entrée de 2 à 10 V entre Al+ (broche 7) et Al- (broche 11) correspond à une vitesse comprise entre 20 et 100% de la vitesse de rotation nominale. Si l'entrée est ouverte ou si les signaux sont inférieurs à 2 V, la pompe turbomoléculaire accélère jusqu'à la vitesse de rotation nominale. f(%) 100 20 2 Fig. 9: 7.3.3 10 U(V) Fonctionnement de l’actionneur (de vitesse) Sorties Les sorties numériques sur la connexion « remote » présentent une limite de charge maximale de 24 V/50 mA par sortie. Toutes les sorties recensées ci-dessous sont configurables avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum via DeviceNet ou l'interface RS485 (description portant sur les réglages d’usine). DO1 (point de commutation de la vitesse de rotation atteinte)/broche 8 Actif haut : Après avoir atteint le point de commutation de la vitesse de rotation. Le point de commutation de la vitesse de rotation 1 est réglé en usine sur 80 % de la vitesse de rotation nominale. Ce dernier peut être utilisé par exemple pour un message « Pompe turbomoléculaire prête pour l’utilisation ». DO2 (pas d’erreur) / broche 9 Une fois que la tension d’alimentation a été connectée, la sortie numérique DO2 délivre en permanence 24 V CC, ce qui signifie « pas d’erreur ». Actif bas : en cas d’erreur (message d’erreur de groupe). DI Priorité à distance active/broche 23 Actif haut : Le raccordement "remote" est prioritaire par rapport à tous les autres appareils de commande raccordés avec potentiel (p. ex. RS-485). Pour actif bas, l'unité de commande électronique ignore le raccordement « remote ». AO1 sortie analogique 0 à 10 V CC / broche 12 Une tension proportionnelle à la vitesse (de 0 à 10 V CC équivaut à une valeur comprise entre 0 et 100 % × fnominale) peut être mesurée au niveau de la sortie analogique (charge R ≥ 10 kΩ). Des fonctions additionnelles (courant / puissance en option) peuvent être affectées à la sortie analogique via DCU, HPU ou PC. 56/70 Utilisation 7.3.4 Contacts de relais (inversible) Relais 1/broches 15, 16 et 17 Le contact entre les broches 16 et 15 est fermé lorsque la vitesse de rotation tombe en dessous du point de commutation ; le relais 1 est inactif. Le contact entre les broches 16 et 17 est fermé lorsque la vitesse atteint le point de commutation de la vitesse de rotation ; le relais 1 est actif. Relais 2/broches 18, 19 et 20 Le contact entre les broches 19 et 18 est fermé lorsqu'une erreur est en attente ; le relais 2 est inactif. Le contact entre les broches 19 et 20 est fermé en cas de fonctionnement sans problème ; le relais 2 est actif. Relais 3/broches 21 et 22 Le contact entre les broches 21 et 22 est fermé en cas de messages d'avertissement inactifs ; le relais 3 est inactif. Le contact entre les broches 21 et 22 est ouvert lorsque des avertissements sont en attente ; le relais 3 est actif. 7.3.5 RS-485 DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. Une unité de commande et d'affichage Pfeiffer Vacuum (DCU ou HPU) ou un ordinateur externe peut être raccordé(e) via les broches 24 et 25 du raccordement « remote » de l’unité de commande électronique. Il est possible de connecter une interface USB (PC) par l’intermédiaire du convertisseur USB/ RS-485. Désignation Valeur Interface série RS-485 Vitesse de transmission 9600 bauds Longueur de mot 8 bits Parité aucune (pas de parité) Bits de départ 1 Bits d’arrêt 1–2 Tab. 49: Interface RS-485, caractéristiques Mise en réseau en tant que bus RS-485 L’adresse groupée de l’unité de commande électronique est 962. 1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485. 2. Veillez à ce que tous les appareils connectés au bus disposent d’une adresse RS-485 différente [P:797]. 3. Connectez tous les appareils au bus avec RS-485 D+ et RS-485 D-. 7.4 Mise en marche de la pompe turbo Le paramètre « poste de pompage » [P:010] comprend le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire avec la commande de tous les accessoires connectés (par ex. pompe à vide primaire). 57/70 Utilisation Procédure Une fois l’auto-test correctement effectué, l’unité d’entraînement électronique réinitialise les messages d’erreurs en cours et corrigés. La turbopompe démarre et tous les accessoires connectés démarrent en fonction de leur configuration. 1. Régler le paramètre [P:023] sur « 1 ». – Le paramètre [P:023] met le moteur de la turbopompe en marche. 2. Régler le paramètre [P:010] sur « 1 ». 7.5 Mise à l’arrêt de la pompe turbomoléculaire Procédure L’unité de commande électronique met la pompe turbomoléculaire à l’arrêt et active les options d’accessoires pré-réglés (par ex. ventilation MARCHE, pompe de secours ARRÊT). 1. Réglez le paramètre [P:010] sur « 0 ». 2. Attendre que la pompe turbomoléculaire soit complètement immobilisée. 3. Débrancher l’alimentation électrique conformément aux instructions du mode d’emploi de la pompe turbomoléculaire ou de l’unité de courant. Déconnexion du secteur 1. Déconnectez l’unité de courant du secteur pour débrancher complètement l’alimentation en courant. Débranchement du connecteur de réseau Le débranchement du connecteur de réseau pendant le fonctionnement coupe immédiatement l’alimentation électrique de l’unité de courant et des appareils qui y sont connectés. 7.6 Surveillance des opérations 7.6.1 Affichage LED du mode de fonctionnement Les LED de l’unité de commande électronique montrent les états de fonctionnement de base de la pompe turbomoléculaire. Une erreur différenciée et un affichage d'avertissement sont possibles en cas de fonctionnement avec le panneau d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum. L’interface DeviceNet affiche son propre état de fonctionnement sous la forme d’une LED sur le connecteur de l’unité de commande électronique. LED Vert Jaune Rouge Tab. 50: 58/70 Symbole État LED Affichage Signification Désactivé Sans courant Activé, clignotant « Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min Activé, clignotement inverse « Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite non atteinte Activé, éclairé en continu « Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite atteinte Activé, clignotant « Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de > 60 tr/min Désactivé Pas d'avertissement Activé, éclairé en continu Avertissement Désactivé Pas d'erreur, pas d'avertissement Activé, éclairé en continu Erreur, dysfonctionnement Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique Utilisation État LED NET Désactivé Signification Action X Appareil pas sur le bus ● Alimenter l’appareil en tension. ● Attendre le test d’adresse (env. 2 s) Clignote en vert X Sur le bus, controller non attribué ● Établir la connexion au controller. Allumée en vert X Sur le bus, controller attribué Clignote en rouge X Connexion au controller expirée ● Contrôler la connexion au controller. Allumée en rouge X Erreur de bus ou adresse d'appareil attribuée en double ● Contrôler le bus. ● Contrôler l’adresse de l’appareil. ● Contrôler la vitesse de transmission. Affichage ● Alimenter l’appareil en tension. Désactivé X Pas de tension d’alimentation Allumée en vert X Appareil prêt au fonctionnement Clignote en rouge X Erreur d'appareil Tab. 51: 7.6.2 MOD - ● Éliminer l’erreur. Comportement et signification des LED DeviceNet NET et MOD Surveillance de la température Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent d’amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température pour les messages d’avertissement et d’erreur sont mémorisés systématiquement dans l’unité de commande électronique. À titre d'information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de paramètres. ● Afin d’éviter que la pompe turbomoléculaire ne se coupe, l'unité de commande électronique réduit déjà la consommation de courant en cas de dépassement du seuil d’avertissement pour l’excès de température. ─ Exemples : température moteur inadmissible, surchauffe inadmissible du corps de pompe. ● Le point de commutation de la vitesse de rotation peut ne pas être atteint en cas de réduction supplémentaire de la puissance d’entraînement et par conséquent de la vitesse. La pompe turbomoléculaire se coupe. ● Le dépassement du seuil de température pour les messages d’erreur entraîne la coupure immédiate de la pompe turbomoléculaire. 59/70 Dysfonctionnements 8 Dysfonctionnements 8.1 Généralités AVERTISSEMENT Risque de blessure par les pièces déplacées après une panne de courant ou un dépannage La fonction « groupe de pompage » de l’unité de commande électronique reste active après une panne de courant ou si des erreurs, entraînant l'arrêt de la pompe à vide ou du système, surviennent. Lorsque la puissance est rétablie ou après la confirmation d’une défaillance, la pompe à vide démarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. ► Les contre-fiches présentes ou les ponts doivent être enlevés de l'unité de commande électronique avant le retour du courant secteur sous peine de risque de démarrage automatique. ► Mettre la pompe à l’arrêt en utilisant la fonction « poste de pompage » (paramètre [P:010]). Tout dysfonctionnement de la pompe turbomoléculaire et de l’unité de commande électronique entraîne systématiquement un message d’avertissement ou d’erreur. Dans les deux cas, un code d’erreur est émis, ce dernier peut être lu via les interfaces de l’unité de commande électronique. De manière générale, les LED sur l’unité de commande électronique indiquent les messages de fonctionnement. En présence d’une erreur, la pompe turbomoléculaire et les appareils connectés sont mis à l’arrêt. Le mode de remise à l'air sélectionné sera déclenché après une temporisation définie. 8.2 Codes d’erreur Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours l’arrêt des appareils périphériques connectés. Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la coupure des composants. Traitement des messages d’anomalie 1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. 2. Éliminez la cause de l’anomalie. 3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009]. – Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d’écran sur les appareils de commande Pfeiffer Vacuum. Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Err001 Vitesse de rotation excessive ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err002 Surtension ● Unité de courant inappropriée ● Tension d’entrée de secteur incorrecte ● Contrôlez le type d’ensemble d’alimentation électrique ● Vérifiez la tension d’entrée de secteur ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err006 Erreur de démarrage ● Seuil de temps de démarrage réglé trop bas ● Débit de gaz dans les récipients suite à des fuites ou vannes ouvertes ● Toujours en-dessous du point de commutation de contrôle de vitesse, le temps de démarrage s’écoule ● Ajustez le temps de démarrage aux conditions du processus ● Contrôlez les fuites ou les vannes fermées dans les chambres de vide ● Réglez le point de commutation de vitesse de rotation Err007 Fluide d’exploitation bas ● Fluide d’exploitation bas ● Contrôlez le fluide d’exploitation ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 60/70 Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Err008 Unité d’entraînement électronique - raccordement de la pompe turbomoléculaire défaillant ● Raccordement à la pompe turbomoléculaire défaillant ● Contrôlez les raccordements ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err010 Erreur appareil interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err021 L'unité d’entraînement électronique ne détecte pas la pompe turbomoléculaire ● Version de logiciel incompatible ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err041 Défaut du moteur ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err043 Erreur de configuration interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err044 Température excessive, électronique ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err045 Température excessive, moteur ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err046 Erreur d’initialisation interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err073 Surcharge du palier magnétique axial ● Taux de remontée de pression trop élevé ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err074 Surcharge du palier magnétique radial ● Taux de remontée de pression trop élevé ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err089 Rotor instable ● Impacts, vibrations ● Appareil défectueux ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err091 Erreur appareil interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err092 Panneau de connexion inconnu ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err093 Évaluation de la température du moteur défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err094 Évaluation de la température de l’électronique défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err098 Erreur de communication interne ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err106 Température élevée du rotor ● Débit élevé du gaz ● Rayonnement thermique interdit ● Champ magnétique interdit ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err107 Erreur groupée étage final ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err108 Mesure de la vitesse de rotation défaillante ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err109 Logiciel non publié ● Mise à jour erronée du logiciel ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err110 Évaluation du fluide d'exploitation défaillante ● Capteur du fluide d'exploitation défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err111 Erreur de communication, pompe à liquide de refroidissement ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 61/70 Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Err112 Erreur de groupe, pompe à liquide de refroidissement ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err113 Évaluation de la température du rotor défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err114 Évaluation de la température de l’étage final défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err117 Température excessive, partie inférieure de la pompe ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err118 Température excessive, étage final ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err119 Température excessive, palier ● Refroidissement insuffisant ● Mode de gaz sélectionné incorrect ● Débit insuffisant du gaz de pressurisation ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err143 Température excessive, pompe à liquide d'exploitation ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err777 Vitesse de rotation nominale non confirmée ● Vitesse de rotation nominale non confirmée après le remplacement de l’unité d’entraînement électronique ● Confirmez la vitesse de rotation nominale avec [P:777] ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err800 Débordement du palier magnétique ● Impacts, vibrations ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err802 Défaut technologique du capteur du palier magnétique ● Valeurs de calibrage invalides ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Procédez à une procédure de calibrage ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err810 Erreur de configuration interne ● Version de logiciel incompatible ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err815 Débordement du palier magnétique ● Impacts, vibrations ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err890 Palier de sécurité usé ● Usure palier de sécurité > 100% ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err891 Déséquilibre trop important du rotor ● Déséquilibre du rotor > 100% ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Tab. 52: Messages d’erreur de l’unité de commande électronique Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Wrn001 Temps de montée en température TMS expiré ● Minuterie interne de surveillance de montée en température dépassée ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Vérifiez la tension d’entrée de secteur Wrn003 Température TMS invalide ● La température TMS n'est pas dans la plage admissible, entre 5 °C et 85 °C ● Capteur de température TMS défectueux ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn007 Sous-tension ou panne de courant ● Panne de secteur ● Unité de courant insuffisamment dimensionnée ● Contrôlez le type d’ensemble d’alimentation électrique ● Vérifiez la tension d’entrée de secteur 62/70 Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Wrn016 Configuration invalide des accessoires ● Configuration interdire des sorties accessoires ● Vérifiez la configuration des sorties accessoires Wrn018 Conflit de primauté de fonctionnement ● Groupe de pompage mis en marche avec [P:010] alors que l’entrée E74 « start/stop » est à l’arrêt (ouverte) ● Mettre le poste de pompage en marche via E74 « start/stop » ● Désactiver [P:010] Wrn021 Signal de verrouillage invalide ● Le signal de la surveillance du signal de verrouillage se trouve en-dehors de la plage valide ● Contrôlez les connexions de la surveillance du gaz de pressurisation ● Contrôlez l’alimentation en gaz de pressurisation Wrn034 Débit de gaz de pressurisation bas ● Signal de la surveillance du gaz de pressurisation valide mais en-dessous du seuil réglé [P:791] ● Contrôlez et corrigez l’alimentation en gaz de pressurisation Wrn045 Température élevée du moteur ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn076 Température élevée de l’électronique ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn089 Déséquilibre élevé ● Déséquilibre du rotor ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn097 Informations de pompe invalides ● Erreur de communication interne 1. Arrêtez le groupe de pompage 2. Attendez que la pompe turbomoléculaire se soit complètement immobilisée 3. Déconnectez l’alimentation électrique 4. Si cela se reproduit, contactez Pfeiffer Vacuum Service Wrn098 Informations de pompe incomplètes ● Erreur de communication interne 1. Arrêtez le groupe de pompage 2. Attendez que la pompe turbomoléculaire se soit complètement immobilisée 3. Déconnectez l’alimentation électrique 4. Si cela se reproduit, contactez Pfeiffer Vacuum Service Wrn100 Vitesse minimale non atteinte ● Réglages du régime nominal inférieurs à la vitesse minimale spécifique de la pompe ● Contrôlez [P:707] ou [P:717] ● Consultez la plage de vitesse de rotation valide dans la fiche technique de la pompe turbomoléculaire Wrn106 Température élevée du rotor ● Débit élevé du gaz ● Rayonnement thermique interdit ● Champ magnétique interdit ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn113 Température du rotor incorrecte ● Erreur de communication interne ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn115 Évaluation de la température de la partie inférieure de la pompe défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn116 Évaluation de la température du palier défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn117 Température élevée de la partie inférieure de la pompe ● Refroidissement insuffisant ● Mode de gaz sélectionné incorrect ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn118 Température élevée de l’étage final ● Refroidissement insuffisant ● Mode de gaz sélectionné incorrect ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn119 Température élevée du palier ● Refroidissement insuffisant ● Mode de gaz sélectionné incorrect ● Débit insuffisant du gaz de pressurisation ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn143 Température de pompe à liquide d'exploitation élevée ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement 63/70 Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Wrn168 Temporisation importante ● Taux de remontée de pression trop élevé ● Taux de remise à l'air trop élevé ● Contrôlez le taux de remise à l’air ● Adaptez le taux de remise à l'air à la pompe Wrn801 Convertisseur de freinage défectueux ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn806 Résistance de freinage défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn807 Calibrage requis ● Calibrage expiré ● Calibrez la pompe turbomoléculaire en la démarrant depuis l’arrêt Wrn890 Usure trop importante du palier de sécurité ● Usure palier de sécurité > 75 % ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn891 Déséquilibre important du rotor ● Déséquilibre du rotor > 75 % ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Tab. 53: Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique 8.3 Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionnement avec des appareils de commande Outre des messages d’avertissement et d’erreur spécifiques à l’appareil sur l’unité de commande électronique, des messages additionnels sont affichés sur l’appareil de commande connecté. Indicateur Problème Causes possibles Action corrective * Warning F110 * Manomètre ● Manomètre défaillant ● Connexion au manomètre perdue lors du fonctionnement ● Contrôler le branchement des câbles ● Effectuer un redémarrage avec le manomètre connecté ● Remplacer complètement le manomètre ** Error E040 ** Erreur hardware ● RAM externe défaillante ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ** Error E042 ** Erreur hardware ● Somme de contrôle EPROM incorrecte ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ** Error E043 ** Erreur hardware ● Erreur d’écriture E2PROM ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ** Error E090 ** Erreur appareil interne ● Quantité de RAM insuffisante ● L’unité est raccordée à une unité de commande électronique incorrecte ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Raccorder l’unité à l’unité de commande électronique correcte ** Error E698 ** Erreur de communication ● L’unité de commande électronique ne répond pas ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Tab. 54: 64/70 Messages d’avertissement et de dysfonctionnement Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 9 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 65/70 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 66/70 Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Unité de commande électronique TC 1200 DN Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Basse tension 2014/35/CE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN ISO 12100 : 2011 DIN EN 62061 : 2016 DIN EN 1012-2 : 2011 DIN ISO 21360-1 : 2016 DIN EN IEC 61000-3-2 : 2019 ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61000-3-3 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 DIN EN 61010-1 : 2020 Semi F47-0200 DIN EN 61326-1 : 2013 Semi S2-0706 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Geschäftsführer Asslar, 2022-11-24 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Unité de commande électronique TC 1200 DN Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Normes et spécifications appliquées: EN ISO 12100:2010 EN 1012-2+A1:1996 EN IEC 61000-3-2+A1:2019 EN 61000-3-3+A2:2013 EN 61010-1+A1:2017 EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 62061:2021 ISO 21360-1:2020 ISO 21360-4:2018 IEC 63000:2018 Semi F47-0200 Semi S2-0706 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2022-11-24 69/70 *PT0353* ed. C - Date 2304 - P/N:PT0353BFR ">
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