E7 4 43 MANUEL DE L’UTILISATEUR FR Traduction du manuel de l‘utilisateur TC 400 E74 PT 0302 BFR/E (1711) Unité de commande électronique Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 1.1 1.2 2 Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 2.1 2.2 2.3 3 Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 Conformité d’utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 Non conformité d’utilisation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 3.1 3.2 3.3 3.4 Identification du produit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 Domaine d'application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 Description générale des connexions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 4 Schéma de raccordement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 5 Raccord "E74" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 5.1 6 Raccord « RS-485 » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 6.1 6.2 6.3 7 Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 Vue d'ensemble des paramètres . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 Configurer raccords . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16 Travail avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum. . . . . . . . . . . . . . . . . . 17 Mise en marche / mise hors circuit de la pompe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 8.1 8.2 8.3 9 Connexions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 Raccorder les appareils d’affichage et de commande ou un PC . . . . . . . 11 Configuration en réseau via le port RS-485 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 7.1 7.2 7.3 7.4 7.5 8 Affectation des connecteurs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 Cadre de télégramme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 Télégrammes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 Types de données utilisées. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24 Dysfonctionnements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 9.1 9.2 9.3 Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 Affichage du mode d’utilisation par les diodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 Codes d'erreur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28 2 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité Ce manuel de l’utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l’utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. Les manuels de l’utilisateur valides sont également disponibles sur Internet sur www.pfeiffer-vacuum.com. 1.2 Conventions Consignes de sécurité Les consignes de sécurité des manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum sont le résultat d'évaluations et d'analyses de risques et sont inspirées des normes de certification UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO 3864 et DIN 4844. Le présent document détaille les niveaux de danger et informations suivants : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant la mort ou des blessures graves. AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent pouvant entraîner la mort ou des blessures graves. ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent pouvant entraîner des blessures légères. AVIS Injonction ou indication Invitation à procéder à une action ou information au sujet de points dont le non-respect peut conduire à la détérioration du produit. 3 A propos de ce manuel Pictogrammes Interdiction d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de cette interdiction peut générer des accidents graves Avertissement contre le danger représenté par le symbole. Obligation d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de cette obligation peut générer des accidents graves. Informations importantes concernant le produit ou le présent document Instruction dans le texte Instruction de travail : vous devez exécuter une opération à cet endroit. Abréviations DCU : Display Control Unit HPU : Handheld Programming Unit TC : Commande électronique d'entraînement de la pompe turbomoléculaire TPS : Bloc d'alimentation DI / DO: Entrée numérique / Sortie numérique AI / AO: Entrée analogique / Sortie analogique f: Vitesse de rotation (dérivée de la fréquence en Hz) [P:000]: Paramètres de la commande électronique d'entraînement avec numéro 4 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes de sécurité Obligation d'information Toute personne intervenant dans l'installation ou l'exploitation de l'appareil doit lire et respecter les passages relatifs à la sécurité de cette notice d'instructions. L'exploitant est tenu d'attirer l'attention de tout opérateur sur les risques inhérents à l'appareil ou à l'ensemble de l'installation. AVERTISSEMENT Risque lié à une installation électrique non conforme La sécurité du fonctionnement après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant. Ne procédez à aucune transformation ou modification du produit de votre propre initiative. Assurez une intégration correcte dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité. Pour toute demande spécifique, contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Risque d'électrocution En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension. Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour pouvoir défaire le branchement à tout moment. ● Alimentation électrique : L'alimentation électrique de la pompe turbomoléculaire doit répondre aux exigences de double isolation entre la tension d'entrée du secteur et la tension de fonctionnement selon CEI 61010 et CEI 60950. Pfeiffer Vacuum recommande à cet effet d'utiliser des blocs d’alimentation électrique et accessoires d'origine. Dans ce cas uniquement, Pfeiffer Vacuum peut garantir la confomité aux exigences des directives européennes et nord-américaines. ● Respectez toutes les prescriptions de sécurité et de prévention des risques. ● Un raccord avec le conducteur de protection (PE) est recommandé (classe de protection III). ● Vérifiez régulièrement que toutes les mesures de précaution sont respectées. ● Avant toute opération, débranchez l'appareil et toutes les installations qui y sont reliées du secteur. ● Pendant le fonctionnement, ne pas desserrer ou retirer les connecteurs. ● L'appareil présente le type de protection IP 54. En cas d'incorporation dans des environnements exigeant d'autres types de protection, il faudra prendre des mesures correspondantes. ● Les conduites et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces chaudes (> 70 °C). ● Ne débranchez la pompe de la commande électronique qu'après l'arrêt complet de la pompe et avoir coupé la tension d'alimentation. 5 Sécurité 2.2 Conformité d’utilisation AVIS Conformité CE La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires ! Après incorporation dans une installation et avant la mise en service, l'exploitant s’engage à vérifier la conformité de l'ensemble du système dans l'esprit des directives UE en vigueur, et de la réévaluer en conséquence. ● La commande électronique d'entraînement TC 400 E74 sert à l'exploitation des pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum et de leurs accessoires. 2.3 Non conformité d’utilisation En cas d'usage non conforme, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté. Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui diffèrent de celles précitées, dont notamment : ● l'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce manuel ● l’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants warranty seal Sceau de fermeture Le corps de produit est scellé en usine. Tout dommage ou arrachement d’un sceau de fermeture conduit à la perte de la garantie. N'ouvrez pas le produit durant la période de garantie ! Si les applications nécessitent des intervalles d'entretien plus courts que la période de garantie, contacter le service après-vente Pfeiffer Vacuum. 6 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Identification du produit Ce produit a été testé conformément aux exigences de la directive CAN/CSA-C22.2 No. 61010-1, deuxième edition, y compris l’amendement 1 ou une version ultérieure de la norme même avec le même degré d’exigences d’essai. Le cas échéant regardez les informations sur des certifications supplémentaires sur le cachet du produit ou : ● www.tuvdotcom.com ● TUVdotCOM-ID 0000021320 Caractéristiques du produit La commande électronique d'entraînement de type TC 400 E74 fait partie intégrante de la pompe turbomoléculaire. Elle sert à l'entraînement, à la surveillance, ainsi qu'à la commande de la pompe dans son ensemble. Désignation TC 400 Tension de raccordement TC Panneau de raccordement Pompe turbomoléculaire HiPace 24 V CC ±10 % Standard (RS-485) 300, 400, 700, 800 48 V CC ±10 % Standard (RS-485) 300, 400, 700, 800 Pour identifier correctement le produit lors de toute communication avec Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la plaque signalétique. Mod.: M.-No.: TC 400 PM C01 800 A Ser.-No.: 12345678 Input: Output: 24 V / 48 V ±10% 15 A 0 - 48 V 12 A 0 - 1000 Hz 2017/08 Made in Germany Fig. 1: 3.2 Exemple de plaque signalétique Domaine d'application Les commandes électroniques d’entraînement TC 400 E74 de Pfeiffer Vacuum doivent être installées et utilisées dans les conditions ambiantes suivantes. Lieu de mise en place Type de protection admissible Classification des protections Température Humidité relative Pression de l’air Hauteur d'implantation Degré d'encrassement Catégorie de surtension à l'abri des intempéries (dans des locaux) IP 54 III de +5 °C à +40 °C (à +35 °C avec refroidissement à l’air) 80% max. avec T ≤ 31 °C, à 50% max. avec T ≤ 40 °C 750 hPa - 1060 hPa 5000 m maxi. 2 II 7 Description du produit 3.3 Fonction b d e a PV.can RS485 B A DC in accessory E74 i Fig. 2: a b d 3.4 Panneau de raccordement pour commande électronique d'entraînement TC 400 E74 Port «DC in» Port «accessory A+B» Port de service «PV.can» e i Port "RS485" Port "E74" Description générale des connexions DC in1 Fiche de carter avec verrouillage à baïonette pour l'alimentation en tension entre les blocs d'alimentation Pfeiffer Vacuum et la commande électronique d'entraînement. accessory Connecteur femelle M12 avec verrouillage à vis pour le raccordement d'accessoires Pfeiffer Vacuum. L'utilisation d'un répartiteur en Y permet la double affectation d'un raccord. PV.can Connecteur M12 avec verrouillage à vis et LED pour raccordement d'une mesure de pression intégrée et pour les besoins de maintenance par Pfeiffer Vacuum. E74 Connecteur femelle Sub-D à 26 pôles pour le raccordement et la configuration d'une télécommande en référence à SEMI E74. RS-485 Prise M12 avec verrouillage à vis pour le raccordement d'appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou d'un PC. L'utilisation d'un répartiteur en Y permet le raccordement dans un système de bus. Prise mobile de connecteur à l'arrière de la commande électronique d'entraînement pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire. 1. «DC in» et «accessory» sont décrits dans le manuel de l’utilisateur de la pompe. 8 Schéma de raccordement n.c. 2 Accessory B2 3 24 V DC** 4 Accessory B1 5 FE 1 1 CAN-H AO1 (-) 2 2 24 V DC*** acceleration status (+) 3 3 GND*** normal status (+) 4 4 CAN-L deceleration status (+) 5 5 FE alarm staus (+) 6 remote / local status (+) 7 1 RS 485 D + ~ alarm status (+) 8 2 24 V DC* out start / stop (-) 9 3 GND* AO1 (+) 10 4 RS 485 D - 5 n.c. A + UB (+24 / +48 VDC ± 10 %) B GND C FE 2 24 V DC** 3 Accessory A1 4 FE 5 start / stop (+) acceleration status (-) 11 normal status (-) 12 deceleration status (-) 13 alarm staus (-) 14 remote / local status (-) 15 (+) (-) 4 ... 27 V DC Fig. 3: 2 3 1 4 5 PV.can 3 2 4 3 1 2 B 1 A (+) 1 (-) 9 (+) Pin 3 ... 8 (-) Pin 11 ... 15 or 9 Imax = 100 mA (+) Pin 3 ... 8 (-) Pin 11 ... 15 RS485 5 Accessory A2 accessory B 1 1 1 DC in 4 n.c. Contact load for accessories: -20 0 mA max., each connection -450 mA max., all connections in sum accessory A Schéma de raccordement E74 4 C 4 ... 27 V DC or Schéma de raccordement et affection de la TC 400 E74 9 Raccord "E74" 5 Raccord "E74" 8 1 15 9 Le raccord « E74 » sur la TC 400 E74 doté d'une prise de raccordement à 15 pôles comprend, outre les signaux définis dans la norme SEMI E74-0301, un signal d'alarme inversé et une sortie analogique . Input signal Output signal signal (+) signal (+) signal (-) signal (-) Les lignes de signaux « alarm status (+) » et « ~alarm status (+) » sont rassemblées pour former le signal "« alarm status (-) ». 5.1 Affectation des connecteurs Broche Affectation 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 start/stop (+) AO1 (-) acceleration status (+) normal status (+) deceleration status (+) alarm status (+) remote/local status (+) ~alarm status (+) start/stop (-) AO1 (+) acceleration status (-) normal status (-) deceleration status (-) alarm status (-) remote/local status (-) Description du signal Signal Broche (+) Broche (- Fonction à la fermeture ) Fonction à l'ouverture start / stop 1 – Annuler la priorité E74 (commande possible via d'autres interfaces) – Groupe de pompage ARRÊT (voir [P:010]) 9 – Définir la priorité E74 – Acquittement de dérangement – Moteur MARCHE (voir [P:023]) – Groupe de pompage MARCHE (voir [P:010]) Signal Broche (+) Broche (- Signification si fermée ) Signification si ouverte acceleration status normal status deceleration status alarm status remote / local status ~alarm status 3 4 5 6 7 8 Pompe n'accélère pas Point de commutation non atteint Pompe non retardée Défaut Appareil non télécommandé Aucun défaut AO1 sortie analogique 0-10 V CC / broche 2, 10 10 11 12 13 14 15 14 Pompe accélère Point de commutation atteint Pompe retardée Aucun défaut Appareil télécommandé Défaut La sortie analogique permet de piquer une tension proportionnelle à la vitesse (0-10 V CC correspondant à 0 - 100% x fnominale) (charge R ≥ 10 kΩ). A la sortie analogique et via DCU, HPU ou un PC, il est possible d'attribuer des fonctions supplémentaires (intensité/puissance au choix). Raccord « RS-485 » 6 Raccord « RS-485 » 6.1 Connexions Le port comportant la désignation « RS-485 » et situé contre la commande électronique d'entraînement permet de raccorder un appareil d'affichage et de commande (DCU ou HPU) ou un ordinateur externe. Par isolation galvanique, l'interface est séparée de façon sûre de la tension d'alimentation maximale possible de la commande électronique d'entraînement. En interne, les liaisons électriques sont opto-découplées. 1 4 6.2 5 2 3 Désignation Valeur Interface série Vitesse de transmission Longueur d'un mot de données Parité Bits de départ Bits d'arrêt RS-485 9600 bauds 8 bits aucune (no parity) 1 1 Broche Affectation 1 2 3 4 5 RS-485 : D+ Sortie +24 V 210 mA de charge possible (avec broche 1 de « Remote ») GND RS-485 : Dpas raccordé Raccorder les appareils d’affichage et de commande ou un PC Utilisez le câble de raccordement compris dans la livraison de l'appareil de commande ou issu de la gamme des accessoires. Sur l'interface RS-485, il est possible de raccorder respectivement un appareil de commande externe. Le raccordement d'une interface USB (PC) est possible via le convertisseur USB/RS485. USB/RS-485-converter DCU 310 / 400 TC 400 / TM 700 DCU 002 RS-485 Fig. 4: HPU 001 Possibilités de raccordement au choix à l’interface RS-485 11 Raccord « RS-485 » 6.3 Configuration en réseau via le port RS-485 USB/RS-485-converter M12 TC/TM D+ TC/TM USB/RS-485-converter D- USB PC RS 485 RJ45 TC 600 / 750 ATTENTION Risque d'électrocution Les mesures d'isolation du système de bus n'ont été conçues que pour l'emploi de basses tensions de sécurité. Au système de bus, ne raccordez que des appareils appropriés. Les liaisons devront être établies conformément aux caractéristiques techniques de l'interface RS-485. Raccordez tous les appareils au bus à l'aide de RS-485 D+ et RS-485 D-. ● L'adresse de groupe de la commande électronique d'entraînement est 962. ● Tous les appareils connectés au bus doivent avoir des adresses d'interface RS-485 différentes [P:797]. 12 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum 7 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum 7.1 Généralités Toutes les grandeurs physiques intéressant le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire sont fixées dans la commande électronique d'entraînement sous forme de paramètres. Chaque paramètre possède un numéro de trois chiffres et une désignation. Les paramètres peuvent être utilisés, via les appareils d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou via RS-485, avec le protocole Pfeiffer Vacuum. Paramètres supplémentaires dans l'appareil de commande Pour commander des composants externes raccordés (p. ex. des dispositifs de mesure de la pression du vide), des paramètres supplémentaires sont fixés dans les appareils d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum correspondants. Veuillez respecter le manuel de l’utulisateur adéquat. Les paramètres sont imprimés en gras sous forme de numéros à trois chiffres entre crochets. Le cas échéant, la désignation est indiquée en plus. Conventions Exemple: [P:312] Version logicielle 7.2 Vue d'ensemble des paramètres Explication # Affichage Désignation Fonctions Type de données Type d'accès Unité min / max default Numéro à trois chiffres du paramètre Affichage à l'écran de la désignation du paramètre * signifie le cas échéant une représentation sous forme de symbole Brève description du paramètre Description fonctionnelle du paramètre Type de formatage du paramètre pour l'utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum R : accès en lecture, W : accès en écriture Unité physique de la caractéristique décrite Valeurs limites autorisées pour la saisie d'une valeur Préréglage en usine (en partie spécifique à la pompe) Le paramètre ne peut pas être enregistré de manière volatile dans la commande électronique d'entraînement et peut être utilisé après réenclenchement de l'alimentation électrique. Utilisation avec DCU Le jeu de paramètres et l'appareil d'affichage et de commande de Pfeiffer Vacuum Les appareils d'affichage et de commande de Pfeiffer Vacuum DCU affichent un jeu de paramètres de base en usine. En outre, le DCU contient les paramètres, qu’ils ne sont pas inscrit dans la commande électronique d’entraînement. Paramètre [P:794] = 1 (Affichage des toutes paramètres disponibles). Désignation Fonctions Type Affichage Type de # 340 Pressure Valeur réelle de pression (ActiveLine) 7 R 350 Ctr Name 4 R 4 R 738 Gaugetype 794 Param set Modèle de l’appareil d’affichage et de commande Version logicielle de l’appareil de commande et d’affichage Type de jauge de pression Jeu paramètres 4 7 RW RW 795 Servicelin Insérer la ligne de service 7 RW 351 Ctr Software 0 = Jeu de paramètres de base 1 = Jeu de paramètres avancé Unité min maxi hPa 1E10 1E3 0 1 default 0 795 13 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum Affichage Désignation Fonctions min maxi default RW 0 1 0 x RW 0 1 0 x RW 0 1 1 x W RW 1 0 1 1 0 x RW 0 1 0 x RW 0 1 0 x RW 0 1 0 x RW 0 2 0 x RW 0 1 0 x RW 0 2 0 x RW 0 2 0 x RW 0 12 0 x RW 0 12 1 x Unité Type # Type de Ordres de réglage 001 Heating Chauffage 002 Standby Standby 004 RUTimeCtrl Surveillance du temps d'accélération 009 ErrorAckn 010 PumpgStatn Acquittement de dérangement Groupe de pompage 012 EnableVent Autorisation de remise à l'air 017 CfgSpdSwPt Configuration point de commutation de la vitesse de rotation 019 Cfg DO2 023 MotorPump Configuration sortie DO2 Pompe avec moteur 024 Cfg DO1 025 OpMode BKP Configuration sortie DO1 Mode d'exploitation pompe primaire 026 SpdSetMode Mode réglage de la vitesse 027 GasMode Mode gaz 030 VentMode Mode de remise à l'air 035 Cfg Acc A1 Configuration du raccord accessoires A1 036 Cfg Acc B1 Configuration du raccord accessoires B1 0 = off 0 1 = on 0 = off 0 1 = on 0 = off 0 1 = on 1 = acquittement de dérangement 0 0 = off 0 1 = on et acquittement de dérangement 0 = non 0 1 = oui 0 = point de commutation de la vitesse de 7 rotation 1 1 = point de commutation de la vitesse de rotation 1 & 2 sans fonction 0 = off 0 1 = on pas de fonction 7 0 = fonctionnement permanent 1 = mode intermittent 2 = enclenchement retardé 0 = off 7 1 = on 7 0 = gaz lourds 1 = gaz légers 2 = hélium 7 0 = remise à l'air retardée 1 = pas de remise à l'air 2 = remise à l'air directe 0 = ventilateur (fonctionnement perma- 7 nent) 1 = vanne de remise à l'air, fermée hors tension 2 = chauffage 3 = pompe primaire 4 = ventilateur (à température contrôlée) 5 = purge de gaz neutre 6 = toujours 0 7 = toujours 1 8 = remise à l'air sur coupure de courant 12 = deuxième vanne de remise à l'air Options, voir [P:035] 7 037 Cfg Acc A2 Configuration du raccord accessoires A2 Options, voir [P:035] 7 RW 0 12 3 x 038 Cfg Acc B2 Configuration du raccord accessoires B2 Options, voir [P:035] 7 RW 0 12 2 x 045 046 047 050 Configuration relais 1 Configuration relais 2 Configuration relais 3 Gaz de balayage pas de fonction pas de fonction pas de fonction 0 = arrêt 1 = marche 0 = vitesse réelle 1 = puissance 2 = courant 3 = toujours 0 V 4 = toujours 10 V 5 = suit AI1 6 = valeur de pression 1 7 = valeur de pression 2 8 = pilotage vide primaire pas de fonction 1 = mode distant 2 = RS-485 4 = PV.can 8 = bus de terrain 16 = E74 255 = déverrouiller la sélection d'interface 0 = off 1 = on pas de fonction pas de fonction pas de fonction 0 RW 0 1 0 x 7 RW 0 8 0 x 7 RW 1 255 2 x 0 RW 0 1 0 x Cfg Rel R1 Cfg Rel R2 Cfg Rel R3 SealingGas 055 Cfg AO1 Configuration de la sortie AO1 057 Cfg AI1 060 CtrlViaInt Configuration entrée AI1 Commande via interface 061 IntSelLckd Sélection d'interfaces verrouillée 062 Cfg DI1 063 Cfg DI2 064 Cfg DI3 Configuration entrée DI1 Configuration entrée DI2 Configuration entrée DI3 14 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum Demandes d'état Désignation 300 RemotePrio Priorité à la télécommande 302 SpdSwPtAtt 303 304 Error code OvTempElec 305 OvTempPump Point de commutation de la vitesse de rotation atteint Code défaut Surchauffe commande électronique d'entraînement Température excessive de la pompe 306 SetSpdAtt Vitesse de consigne atteinte 307 PumpAccel Pompe accélère 308 309 310 311 312 SetRotSpd ActualSpd DrvCurrent OpHrsPump Fw version 313 314 DrvVoltage OpHrsElec 315 316 319 324 326 330 336 342 346 349 Nominal Spd DrvPower PumpCycles TempPwrStg TempElec TempPmpBot AccelDecel TempBearng TempMotor ElecName 354 HW Version 360 361 362 363 364 365 366 367 368 369 384 397 398 399 ErrHist1 ErrHist2 ErrHist3 ErrHist4 ErrHist5 ErrHist6 ErrHist7 ErrHist8 ErrHist9 ErrHist10 TempRotor SetRotSpd ActualSpd NominalSpd Vitesse de consigne (Hz) Vitesse réelle (Hz) Courant d'entraînement Heures de fonctionnement pompe Version logicielle de la commande électronique d'entraînement Tension d'entraînement Heures de fonctionnement commande électronique d'entraînement Vitesse nominale (Hz) Puissance d'entraînement Cycles de pompe Amplificateur température Commande électronique température Température partie inférieure de pompe Accélération / temporisation Température palier Température moteur Désignation commande électronique d'entraînement Version matérielle commande électronique d'entraînement Historique code erreur, emplacement 1 Historique code erreur, emplacement 2 Historique code erreur, emplacement 3 Historique code erreur, emplacement 4 Historique code erreur, emplacement 5 Historique code erreur, emplacement 6 Historique code erreur, emplacement 7 Historique code erreur, emplacement 8 Historique code erreur, emplacement 9 Historique code erreur, emplacement 10 Température rotor Vitesse de consigne (1/min) Vitesse réelle (1/min) Vitesse nominale (1/min) 0 = non 1 = oui 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 0 R 0 1 4 0 R R 0 1 0 R 0 1 0 R 0 1 0 R 0 1 1 1 2 1 4 R R R R R Hz Hz A h 0 0 0 0 999999 999999 9999.99 65535 x 2 1 R R V h 0 0 9999.99 65535 x 1 1 1 1 1 1 1 1 1 4 R R R R R R R R R R Hz W 0 0 0 0 0 0 0 0 0 999999 999999 65535 999999 999999 999999 999999 999999 999999 4 R 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 1 1 1 1 R R R R R R R R R R R R R R 0 = non 1 = oui 0 = non 1 = oui 0 = non 1 = oui 0 = non 1 = oui Unité °C °C °C rpm/s °C °C min maxi default Fonctions Type Affichage Type de # x x x x x x x x x x x °C rpm rpm rpm 0 0 0 0 999999 999999 999999 999999 Unité min maxi default 1 50 20 120 97 100 8 80 65 x x x Valeurs de consigne prédéfinies Affichage Désignation 700 701 707 RUTimeSVal SpdSwPt1 SpdSVal Valeur de consigne temps d'accélération Point de commutation de vitesse de rotation 1 Valeur prédéfinie en mode d'exploitation à régime variable Valeur prédéfinie puissance absorbée 1 RW min 1 RW % 2 RW % 7 RW % 10 100 Seuil d'interruption pompe primaire en mode intermittent Seuil d'allumage pompe primaire en mode intermittent Valeur prédéfinie vitesse en mode Standby Point de commutation de vitesse de rotation 2 Vitesse de remise à l'air remise à l'air retardée Temps de remise à l'air remise à l'air retardée Confirmation vitesse nominale Adresse d'appareil RS-485 1 RW W 0 1000 1001 0 x 1 RW W 0 1000 0 x 2 1 7 1 1 1 20 5 40 6 0 1 100 97 98 3600 1500 255 66.7 20 50 3600 0 1 x x x x x x 708 PwrSVal 710 Swoff BKP 711 SwOn BKP 717 719 720 721 777 797 StdbySVal SpdSwPt2 VentSpd VentTime NomSpdConf RS485Adr 1. en fonction du type de pompe Fonctions Type de Type # RW % RW % RW % RW s RW Hz RW x 15 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum 7.3 Configurer raccords La commande électronique est préconfigurée en usine. Ainsi, la pompe turbomoléculaire est immédiatement prête à fonctionner avec les fonctions les plus nécessaires. En cas d'exigences individuelles, la plupart des raccords de la commande électronique d'entraînement peuvent être configurés avec le jeu de paramètres. Raccordement accessoires Configuration via paramètre [P:035], [P:036], [P:037] ou [P:038]. Option Description 0 = ventilateur (fonctionnement continu) 1 = vanne de remise à l’air, fermée sans courant Commande via paramètres Groupe de pompage Commande via paramètres Validation remise à l’air. En cas d’utilisation d’une vanne de remise à l’air fermée sans courant Commande via paramètres Chauffage et Point de commutation de la vitesse de rotation atteint Commande via paramètres Groupe de pompage et Mode de fonctionnement pompe préliminaire Commande via paramètres Groupe de pompage et Valeurs seuil de température Commande via paramètres Groupe de pompage et Gaz de protection GND pour la commande d’un dispositif externe +24 VDC pour la commande d’un dispositif externe Commande via paramètres Validation remise à l’air. En cas d’utilisation d’une vanne de remise à l’air en cas de panne de courant Commande via paramètres Validation remise à l’air et Dépassement négatif de 50 % de la vitesse nominale. En cas d’utilisation d’une vanne de remise à l’air fermée sans courant. Commande via paramètres Groupe de pompage et Gaz de protection 2 = chauffage 3 = pompe préliminaire 4 = ventilateur (à température contrôlée) 5 = gaz de protection 6 = toujours 0 7 = toujours 1 8 = vanne de remise à l’air en cas de panne de courant 12 = deuxième vanne de remise à l’air 13 = surveillance gaz de protection Sortie analogique sur « E74 » Configuration via paramètre [P:055]. Option Description 0 = vitesse de rotation 1 = puissance 2 = courant 3 = toujours 0 V 4 = toujours 10 V 5 = suit AI1 6 = valeur de pression 1 Signal de vitesse de rotation ; 0-10 V CC = 0-100 % x fnominal Signal de puissance ; 0-10 V CC = 0-100 % x Pmax Signal de courant ; 0-10 V CC = 0-100 % x Imax toujours GND Valeur prédéfinie de 10 V CC durable suit l'entrée analogique 1 Signal de valeur de pression ; 0 V : défaut 1 V : sous-passement 1,5 - 8,5 V pour capteur RPT p (hPa) = 10(U-5,5 V) 1,5 - 8,5 V pour capteur IKT p (hPa) = 10(U-10,5 V) 9 V : dépassement Signal de vide primaire ; pilotage par Pfeiffer Vacuum Groupes de pompage turbo 7 = valeur de pression 2 8 = pilotage vide primaire 16 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum 7.4 Travail avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum Réglages en usine La commande électronique d'entraînement est préprogrammée en usine. Ainsi, le fonctionnement parfait et sécurisé de la pompe turbomoléculaire sans configuration supplémentaire est garantit. Vérifier réglages Avant le fonctionnement avec les paramètres valeurs de consigne prédéfinies et ordres de réglage, vérifiez s'ils sont adaptés au procédé de pompage. Retirer le cas échéant le connecteur de commande à distance de la commande électronique d'entraînement. Exploitation en fonction du type de gaz En présence d'une charge de gaz et d'une vitesse de rotation élevée, le rotor est fortement échauffé par le frottement. Pour éviter toute surchauffe, des courbes caractéristique de régime et de puissance ont été implémentée dans la commande électronique. Elle permet d'exploiter la pompe à chaque vitesse de rotation avec la charge de gaz maximale autorisée, sans risque d'endommagement. La puissance absorbée maximale dépend du type de gaz. Pour exploiter pleinement la capacité de puissance de la pompe pour chaque type de gaz, trois paramètres de courbe sont disponibles. AVIS Risque de détruire la pompe En cas de mauvais mode Gaz sélectionné, le pompage des gaz avec masses moléculaires plus haute peut provoquer la destruction de la pompe. Veillez à ce que le mode Gaz soit correctement réglé. Avant d'utiliser des gaz présentant des masses molaires plus importantes (> 80), contactez Pfeiffer Vacuum. ● Mode Gaz « 0 » pour les gaz présentant une masse molaire >39 , par ex. l'Argon. ● Mode Gaz « 1 » pour les gaz présentant une masse molaire 39. ● Mode Gaz « 2 » pour hélium. ● Courbes de puissance conformément aux caractéristiques techniques de la pompe turbomoléculaire. Vérifiez et réglez mode gaz [P:027]. Pmax B F Accélération D [P:708] Puissance E A C-D = Mode gaz "0" A-B = Mode gaz "1" E-F = Mode gaz "2" Vitesse Fig. 5: C fN Principe des courbes de puissance en exploitation en fonction du type de gaz ; ex. Mode gaz = 0 La pompe turbomoléculaire s'active avec une puissance absorbée maximale. Lorsque la vitesse nominale ou de consigne est atteinte, une commutation automatique sur la courbe de puissance du mode gaz sélectionné s'effectue. Une charge de gaz croissante est tout d'abord compensée par une augmentation de la puissance absorbée, afin de maintenir la vitesse constante. Toutefois, une friction de gaz croissante résulte en un échauffement plus important de la pompe turbomoléculaire. En cas de dépassement de 17 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum la puissance maximale en fonction du type de gaz, la vitesse de la pompe turbomoléculaire diminue jusqu'à ce qu'un équilibre s'établisse entre la puissance admissible et la friction du gaz. Pour éviter des variations de vitesse, Pfeiffer Vacuum recommande une fréquence légèrement inférieure en mode Réglage de la vitesse. Valeur prédéfinie puissance absorbée Temps d'accélération Régler le paramètre [P:708] sur la valeur souhaitée en %. En cas de réglage de la valeur prédéfinie de puissance absorbée en dessous de 100 %, le temps d'accélération se prolonge. Afin d'éviter des messages d'erreur, le paramètre [P:700] RUTimeSVal doit être adapté de manière adéquate. Le temps d'accélération de la pompe turbomoléculaire est surveillé au niveau du temps en usine. Des temps d'accélération prolongés peuvent indiquer diverses causes, p. ex.: ● Des charges de gaz trop élevées ● Fuites dans le système ● Valeur de consigne temps d'accélération trop basse Le cas échéant, éliminez les causes externes et conditionnées par les applications. Avec le paramètre [P:700], adaptez le temps d'accélération. Réglez le point de commutation de la vitesse de rotation Le point de commutation de la vitesse de rotation peut être utilisé pour le message « Pompe prête à fonctionner pour le processus ». Le dépassement ou le franchissement par défaut du point actif de commutation de la vitesse de rotation active ou désactive un signal au niveau de la sortie préconfigurée de la commande électronique d'entraînement et le paramètre de statut [P:302]. Point de commutation de vitesse de rotation 1 Régler le paramètre [P:701] sur la valeur souhaitée en %. Paramètre [P:017] = 0 L'émission de signaux et le paramètre de statut [P:302] s'orientent sur la valeur réglée pour le point de commutation de la vitesse de rotation 1 [P:701]. f(%) [P:017] = 0 [P:701] t [P:010] [P:302] Fig. 6: 1 t 0 1 0 t Process Exemple pour Configuration du point de commutation de la vitesse de rotation 1 active Point de commutation de la vitesse de rotation 1 & 2 Régler le paramètre [P:701] sur la valeur souhaitée en %. Régler le paramètre [P:719] sur la valeur souhaitée en %. Paramètre [P:017] = 1 18 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum Lorsque le groupe de pompage [P:010] est enclenché, le point de commutation de la vitesse de rotation 1 fait office d'émetteur de signaux. Lorsque le groupe de pompage est éteint, l'émission de signaux et les demandes d'état s'orientent sur le point de commutation de la vitesse de rotation 2. L'émission de signaux est soumise à l'hystérésis entre les deux points de commutation. f(%) [P:017] = 1 [P:701] [P:719] t [P:010] [P:302] Fig. 7: 1 t 0 1 0 t Process Exemple pour Configuration point de commutation de la vitesse de rotation 1+2 active ; [P:701] > [P:719] f(%) [P:017] = 1 [P:719] [P:701] t [P:010] [P:302] Fig. 8: Mode Réglage de la vitesse 1 t 0 1 0 t Process Exemple pour Configuration point de commutation de la vitesse de rotation 1+2 active ; [P:701] < [P:719] Le mode d'exploitation à régime variable sert à la réduction de la vitesse et par conséquent de la puissance d'aspiration de la pompe turbomoléculaire. La capacité d'aspiration de la pompe turbomoléculaire varie proportionnellement à la vitesse. En Mode d'exploitation à régime variable, le mode Standby est inopérant. La vitesse de consigne est réglée via la valeur prédéfinie dans le Mode d'exploitation à régime variable [P:707]. Le point de commutation de la vitesse de rotation varie avec la vitesse de consigne. Le dépassement ou le franchissement par défaut de la valeur prédéfinie dans le Mode d'exploitation à régime variable active ou désactive le signal de statut [P:306] SetSpdAtt. Régler le paramètre [P:707] sur la valeur souhaitée en %. Paramètre [P:026] = 1 Demande d'état du paramètre [P:308]/[P:397]. Plage de vitesse admissible de la pompe turbomoléculaire Paramètres dans le mode d’exploitation à regime variable ou en mode Standby sont assignés à la plage de vitesse permis de la pompe turbomoléculaire respectifs. Franchissement de la valeur minimale permis entraîne à l’avertissement Wrn100. La commande électronique d’entraînement règle la vitesse de consigne automatiquement sur la prochaine valeur valide. Observez la plage de vitesse admissible (voir chapitre Caractéristiques techniques de le manuel de l’utilisateur pour que la pompe turbomoléculaire). 19 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum Standby Pfeiffer Vacuum recommande le mode Standby de la pompe turbomoléculaire lors de pauses de processus ou d'exploitation. Lorsque le mode Standby est activé, la commande électronique d'entraînement réduit la vitesse de la pompe turbomoléculaire. En Mode d'exploitation à régime variable, le mode Standby est inopérant. Le réglage en usine pour Standby représente 66,7 % de la vitesse nominale. Le dépassement ou le franchissement par défaut de la valeur prédéfinie dans Standby active ou désactive le signal de statut [P:306] SetSpdAtt. Régler le paramètre [P:717] sur la valeur souhaitée en %. Paramètre [P:002] = 1 Demande d'état du paramètre [P:308]/[P:397]. Valeurs prédéfinies de vitesse La vitesse nominale caractéristique d'une pompe turbomoléculaire est réglée en usine dans la commande électronique d'entraînement. Après un remplacement de la commande électronique d'entraînement, ou un changement pour un autre type de pompe, il faut valider la valeur de consigne prédéfinie de la vitesse nominale. Cette procédure fait partie intégrante du système de sécurité redondant permettant d’éviter les survitesses. HiPace Confirmation vitesse nominale [P:777] 300 400 / 700 / 800 1000 Hz 820 Hz Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe. Après avoir atteint la vitesse nominale, la pompe turbomoléculaire fonctionne à vide sans admission de charges de gaz supplémentaires. En fonction des exigences du procédé ou de l'application, la vitesse nominale peut être réduite en mode d'exploitation à régime variable ou en mode Standby. Mode d'exploitation pompe primaire L'exploitation d'une pompe primaire raccordée via la commande électronique d'entraînement dépend du type de pompe primaire. Mode d'exploitation [P:025] pompe primaire recommandée « 0 » Fonctionnement permanent « 1 » Mode intermittent « 2 » Enclenchement retardé toutes les pompes primaires uniquement les pompes à membrane toutes les pompes primaires Régler le paramètre [P:025] sur la valeur souhaitée. Fonctionnement permanent La commande électronique d'entraînement envoie, simultanément avec « Groupe de pompage on », un signal au raccord accessoires configuré pour l'enclenchement de la pompe primaire. Ce signal peut aussi être utilisé pour la commande d'une vanne de sécurité de vide primaire. Mode intermittent (uniquement pompes à membrane) Le mode intermittent peut allonger la durée de vie des membranes d'une pompe à membrane raccordée. Le mode intermittent requiert soit une pompe à membrane à relais semi-conducteur intégré, soit une boîte à relais interconnectée à un relais semi-conducteur. En fonction de la puissance absorbée, la pompe primaire est enclenchée ou éteinte. La puissance absorbée permet d'obtenir un rapport pour la pression de vide primaire fournie. Les seuils d'interruption et d'enclenchement de la pompe primaire sont réglables. Des fluctuations de la puissance absorbée des pompes primaires à vide et différentes pressions de vide primaire des pompes primaires requièrent le réglage individuel du mode intermittent. Pfeiffer Vacuum recommande le mode intermittent entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et une vanne de dosage sont requis pour le réglage des seuils de commutation. Enclenchez le système sous vide avec la fonction « groupe de pompage » et attendez le temps d'accélération. 20 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum Créez une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide d'une admission de gaz via une vanne de dosage. Lisez et notez le paramètre [P:316]. Réglez le seuil de commutation de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement déterminée pour une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide du paramètre [P:711]. Réduisez la pression de vide primaire à 5 hPa. Lisez et notez le paramètre [P:316]. Réglez le seuil d'interruption de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement déterminée pour une pression de vide primaire de 5 hPa à l'aide du paramètre [P:710]. Enclenchement temporisé Un enclenchement simultané de la pompe turbomoléculaire et de la pompe primaire peut conduire à des flux de gaz indésirables. En fonction des exigences du processus ou de l'application, la pompe primaire peut être enclenchée avec du retard. Le retard à l'enclenchement dépend de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire et il est fixé à 6 Hz dans la commande électronique d'entraînement. Le signal peut également être utilisé pour la commutation d'une vanne de sécurité de vide primaire. Exploitation avec périphérique Selon la configuration, plusieurs appareils accessoires peuvent être raccordés à la pompe turbomoléculaire et être commandés via les paramètres de la commande électronique d'entraînement. Chauffage Enclenchez ou éteignez le chauffage à l'aide du paramètre [P:001]. L'activation du chauffage du boîtier raccordé dépend du point de commutation de la vitesse de rotation 1 (réglage en usine 80 % x fNominal). Ventilateur Deux options dans la configuration des raccords permettent le fonctionnement permanent ou l'enclenchement et l'interruption à température contrôlée d'un refroidissement à l'air raccordé (regardez à la p. 16, chap. 7.3) . Les valeurs seuils sont fixées de manière propre à chaque type dans la commande électronique d'entraînement. Vanne de la purge de gaz neutre Enclenchez ou éteignez une vanne de la purge de gaz neutre via la sortie préconfigurée, à l'aide du paramètre [P:050]. Modes de remise à l’air La remise à l'air de la pompe turbomoléculaire est possible après l'interruption de la fonction « Groupe de pompage ». L'émission de signaux au niveau des sorties configurées s'effectue avec une temporisation fixée à 6 s. Trois modes d'exploitation peuvent être sélectionnés pour l'exploitation avec vanne de remise à l'air raccordée. Déclenchez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:012]. Sélectionnez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:030]. Remise à l'air retardée Le début et le temps de remise à l'air après « Groupe de pompage off » peuvent être configurés et dépendent de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire. Paramètre [P:030] = 0 Réglez la vitesse de remise à l'air en % de la vitesse nominale à l'aide du paramètre [P:720]. 21 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum Réglez la vitesse de remise à l'air en s à l'aide du paramètre [P:721]. En cas de franchissement par défaut de la vitesse de remise à l'air, la vanne de remise à l'air s'ouvre pour le temps de remise à l'air réglé. En cas de panne secteur, la remise à l'air s'effectue après franchissement par défaut de la vitesse de remise à l'air réglée. La durée de remise à l'air dépend dans ce cas de l'énergie disponible fournie par le rotor en mouvement. Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt. Aucune remise à l'air Aucune remise à l'air n'a lieu dans ce mode d'exploitation. Paramètre [P:030] = 1 Remise à l'air directe Le début et le temps de remise à l'air ne sont pas configurables. La remise à l'air débute avec une temporisation de 6 s après « Groupe de pompage off ». Lors d'un nouvel enclenchement de la fonction Groupe de pompage, la vanne de remise à l'air se ferme automatiquement. En cas de panne secteur, la remise à l'air s'effectue après franchissement par défaut d'une vitesse de rotation fixe et propre à chaque type. Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt. Paramètre [P:030] = 2 Surveillance de la charge thermique 7.5 Les signaux émis par les détecteurs de température permettent d'amener la pompe à un état sûr en cas de franchissement par défaut des valeurs seuils. En fonction du type de pompe, les valeurs seuils de température pour les avertissements et les messages d'erreur sont invariablement enregistrées dans la commande électronique d'entraînement . Différentes demandes d'état sont prévues dans le jeu de paramètres à des fins d'information. Mise en marche / mise hors circuit de la pompe Mise en circuit La fonction « Groupe de pompage » regroupe l'exploitation de la pompe turbomoléculaire et la commande de tous les appareils accessoires (p. ex. pompe primaire). Activez l'alimentation électrique par l'interrupteur S1 situé contre le bloc d'alimentation. Paramètre [P:023] = 1 Paramètre [P:010] = 1 Les messages d'erreurs existants (et éliminés) ont été acquittés. Après un contrôle automatique réussi avec succès, la commande électronique d'entraînement met en service le moteur de la pompe turbomoléculaire et tous les appareils accessoires raccordés en fonction de leur configuration. En cas de groupe de pompage activé, le moteur de la pompe turbomoléculaire peut être allumée ou éteinte via la fonction [P:023]. Arrêt Paramètre [P:010] = 0 La commande électronique d'entraînement met la pompe turbomoléculaire hors circuit et active les options d'accessoires préréglées (p. ex. remise à l'air « marche », pompe primaire « arrêt »). Attendez l’arrêt complet de la pompe. Déconnectez l'alimentation électrique par l'interrupteur S1 situé contre le bloc d'alimentation. 22 Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 » 8 Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 » 8.1 Cadre de télégramme Le cadre de télégramme du protocole Pfeiffer Vacuum contient uniquement des signes de code ASCII [32; 127], à l'exception du signe de fin de télégramme CR. En principe, un maître (p.ex. un PC) envoie un télégramme, auquel répondre un esclave (p. ex. la commande électronique d'entraînement ou jauge). a2 a1 a2 - a0 * 0 n2 n1 n0 l1 l0 dn ... d0 c2 c1 c0 C R Adresse d'appareil esclave – Adresse unique de l'appareil [« 001 » ; « 255 »] – Adresse de groupe « 9xx » pour tous les appareils identiques (aucune réponse) – Adresse globale « 000 » pour tous les appareils sur le bus (aucune réponse) Action (regardez à la p. 23, chap. 8.2) Numéro de paramètres Pfeiffer Vacuum Longueur des données dn ... d0 Données sous forme de type de données respectif (regardez à la p. 24, chap. 8.3) Total de contrôle (total des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) modulo 256 Carriage return (ASCII 13) * n2 - n0 l1 - l0 dn - d0 c2 - c0 CR 8.2 a0 Télégrammes Demande de données ? a2 a1 a0 0 0 n2 n1 n0 0 2 = ? c2 c1 c0 C n2 n1 n0 l1 l0 dn ... d0 c2 c1 c0 C R Control command ! a2 a1 a0 1 0 R Réponse de données / ordre de réglage compris a2 a1 a0 1 0 n2 n1 n0 l1 l0 dn ... d0 c2 c1 c0 C 0 6 N O _ D E F c2 c1 c0 C _ R A N G E _ L O G I C R Message d'erreur a2 a1 a0 1 0 NO_DEF _RANGE _LOGIC Exemple 1 n2 n1 n0 R Le numéro de paramètre n2 - n0 n'existe pas Données dn - d0 en dehors de la plage autorisée erreur d'accès logique Demande de données Vitesse réelle (paramètre [P:309], adresse d'appareil esclave : « 123 ») ? 1 2 3 0 0 3 0 9 0 2 = ? 1 1 2 C ASCII 49 50 51 48 48 51 48 57 48 50 61 63 49 49 50 13 R Réponse de données : 633 Hz Vitesse réelle (paramètre [P:309], adresse d'appareil esclave : « 123 ») 1 2 3 1 0 3 0 9 0 6 0 0 0 6 3 3 0 3 7 C ASCII 49 50 51 49 48 51 48 57 48 54 48 48 48 54 51 51 48 51 55 13 R 23 Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 » Exemple 2 Ordre de réglage Enclenchez groupe de pompe (paramètre [P:010], adresse d'appareil esclave : « 042 ») ! 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 C ASCII 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 R Ordre de réglage compris Enclenchez groupe de pompe (paramètre [P:010], adresse d'appareil esclave : « 042 ») 8.3 24 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 C ASCII 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 R Types de données utilisées Datentyp Beschreibung Länge l1 - l0 Beispiel 0 1 2 4 7 10 11 falsch / wahr pos. ganze Zahl pos. Festkommazahl Zeichenkette pos. ganze Zahl Exponentialwert Zeichenkette 06 06 06 06 03 06 16 000000 / 111111 000000 bis 999999 001571 entspricht 15,71 TC_400 000 bis 999 100023 entspricht 1,0 · 103 BrezelBier&Wurst Dysfonctionnements 9 Dysfonctionnements 9.1 Généralités Des dysfonctionnements au niveau de la pompe turbomoléculaire et de la commande électronique d'entraînement entraînent toujours un message d'avertissement ou d'erreur. Dans les deux cas, un code d'erreur est émis via la commande électronique d'entraînement. En général, les messages de service sont affichés via les DEL sur la commande électronique d'entraînement. La pompe turbomoléculaire et les appareils raccordés s'éteignent en raison de défauts survenus. Le mode de remise à l'air sélectionné est à nouveau validé automatiquement après une temporisation prédéfinie. AVERTISSEMENT Démarrage automatique après une panne secteur ou de dépannage Après une panne secteur ou en cas de défauts entraînant un arrêt de la pompe ou de l'installation, la fonction « Groupe de pompage » de la commande électronique d'entraînement reste active. Une fois le courant revenu ou acquittement du dysfonctionnement, la pompe turbomoléculaire s'active automatiquement. Le cas échéant, éteindre la fonction « Groupe de pompage ». Prendre les mesures de sécurité adaptées contre toute intervention dans la bride de vide élevé lorsque la pompe turbomoléculaire est active. 9.2 Affichage du mode d’utilisation par les diodes Les diodes sur la platine frontale de la commande électronique d’entraînement indiquent des états de service de base de la pompe turbomoléculaire. Seules la DCU et la HPU permettent un affichage différencié entre les erreurs et les avertissements. DEL Symbole État de la DEL Verte éteinte allumée, clignotante allumée, clignotante inverse allumée, fixe Jaune Rouge Fig. 9: 9.3 Codes d'erreur Code d'erreur Problème Err001 Survitesse Err002 Surtension Indication Signification allumée, clignotante éteinte allumée, fixe Hors tension « Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation ≤ 60 min-1 « Groupe de pompage MARCHE », vitesse de rotation de consigne non atteinte « Groupe de pompage MARCHE », vitesse de rotation de consigne atteinte « Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation > 60 min-1 Aucun avertissement Avertissement éteinte allumée, fixe Aucun défaut Défaut Comportement et signification des DEL sur la commande électronique d'entraînement Causes possibles – Unité de courant utilisée inadéquate Dépannage Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Vérifier le type d'unité de courant Vérifier la tension de l'unité de courant 25 Dysfonctionnements Code d'erreur Problème Err006 Adapter le temps d'accélération aux condi– Temps d'accélération réglé trop bas tions du processus – Fuite de gaz dans le récipient en raison d'un défaut d'étanchéité ou de vannes Vérifier l'étanchéité et la fermeture des vannes du récipient ouvertes – Passage en dessous du point de com- Adapter le point de commutation de la vitesse de rotation mutation de la vitesse de rotation après écoulement du temps d'accélération Manque de fluide d'exploitation – Manque de fluide d'exploitation Vérifier le fluide d'exploitation Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Liaison commande électronique d'entraî- – Liaison à la pompe défectueuse Vérifier les liaisons Acquittement uniquement pour une vitesse nement - pompe défectueuse f=0 Défaut interne à l'appareil Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 La commande électronique d'entraîne Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum ment ne reconnaît pas la pompe Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Erreur de configuration interne Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Température excessive commande élec- – Refroidissement insuffisant Améliorer le refroidissement Vérifier les conditions d'utilisation tronique Err007 Err008 Err010 Err021 Err043 Err044 Causes possibles Erreur de temps d'accélération Err045 Température excessive moteur Err046 Erreur d'initialisation interne Err091 Défaut interne à l'appareil Err092 Panneau de raccordement inconnu Err093 Err098 Évaluation de température moteur défectueuse Évaluation de température commande électronique défectueuse Erreur de communication interne Err107 Erreur générale étage final Err108 Mesure de la vitesse défectueuse Err109 Logiciel non validé Err110 Évaluation fluide d'exploitation défectueuse Err111 Défaut de communication pompe de fluide d'exploitation Err112 Erreur générale pompe de fluide d'exploitation Err114 Err118 Évaluation de température étage final défectueuse Température excessive partie inférieure – Refroidissement insuffisant de pompe Température excessive étage final – Refroidissement insuffisant Err119 Température excessive palier Err094 Err117 26 Dépannage – Refroidissement insuffisant Améliorer le refroidissement Vérifier les conditions d'utilisation Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum – Refroidissement insuffisant Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Améliorer le refroidissement Vérifier les conditions d'utilisation Améliorer le refroidissement Vérifier les conditions d'utilisation Améliorer le refroidissement Vérifier les conditions d'utilisation Dysfonctionnements Code d'erreur Problème Causes possibles Err143 Température excessive pompe de fluide – Refroidissement insuffisant d'exploitation Dépannage Améliorer le refroidissement Vérifier les conditions d'utilisation Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Err777 Vitesse nominale non confirmée – Vitesse nominale non confirmée après Confirmer la vitesse nominale avec [P:777] remplacement de la commande élec- Acquittement uniquement pour une vitesse tronique d'entraînement f=0 Wrn001 Temps de mise en température TMS ex- – Temporisation interne de surveillance Vérifier les conditions d'utilisation de mise en température expirée piré Wrn003 Capteur de température de circuit de chauffage TMS Wrn007 Sous-tension/panne secteur Wrn018 Conflit de priorité Wrn021 Signal de gaz de balayage non valide Wrn034 Débit de gaz de balayage bas Wrn045 Température moteur élevée Wrn076 Température commande électronique élevée Wrn097 Information pompe non valide Wrn098 Information pompe incomplète Wrn100 Régime relevé à la valeur minimale – Température TMS hors plage admissible entre +5 et 85 °C Vérifier les conditions d'utilisation Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum – Panne secteur Vérifier l'alimentation sur secteur – Groupe de pompage activé avec Activer le groupe de pompage via E74 [P:010] alors que l'entrée E74 « start/ Désactiver [P:010] stop » est désactivée (ouverte) – Signal de la surveillance du gaz de ba- Vérifier les raccordements de la surlayage hors de la plage valide veillance du gaz de balayage Vérifier les options de paramètres des sorties accessoires – Signal de la surveillance du gaz de ba- Vérifier et améliorer l'alimentation en gaz layage valide mais inférieur au seuil de balayage programmé [P:791] Vérifier les conditions d'utilisation – Refroidissement insuffisant Améliorer le refroidissement Vérifier les conditions d'utilisation – Refroidissement insuffisant Améliorer le refroidissement Vérifier les conditions d'utilisation – Données de la pompe erronées – Liaison à la pompe défectueuse Réglage usine via acquittement Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum – Valeurs prédéfinies admissibles pour Vérifier [P:707] ou [P:717] le fonctionnement à régime variable ou Voir la plage de régime valide dans les caen stand-by incorrectes ractéristiques techniques de la pompe turbomoléculaire Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Wrn115 Évaluation de température partie inférieure de pompe défectueuse Wrn116 Évaluation de température palier défectueuse Wrn117 Température partie inférieure de pompe – Refroidissement insuffisant élevée Wrn118 Température étage final élevée – Refroidissement insuffisant Wrn119 Température palier élevée – Refroidissement insuffisant Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Améliorer le refroidissement Vérifier les conditions d'utilisation Améliorer le refroidissement Vérifier les conditions d'utilisation Améliorer le refroidissement Vérifier les conditions d'utilisation Améliorer le refroidissement Vérifier les conditions d'utilisation Wrn143 Température pompe de fluide d'exploita- – Refroidissement insuffisant tion élevée Wrn168 Grand retard – Vitesse de montée en pression trop Vérifier et adapter un débit de remise à l'air élevée ; débit de remise à l'air trop élespécifique à la pompe vé 27 Déclaration de conformité Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous répond à toutes les dispositions applicables des directives CE suivantes : ● Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE ● Basse tension 2014/35/UE ● Limitation de l'utilisation de certaines substances dangereuses 2011/65/UE TC 400 E74 Normes harmonisées et normes nationales appliquées : DIN EN 61000-3-2 : 2014 DIN EN 61000-3-3 : 2013 DIN EN 61010-1 : 2010 DIN EN 61326-1 : 2013 DIN EN 62061 : 2013 Semi F47-0200 Semi S2-0706 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Dr. Ulrich von Hülsen) Directeur Asslar, 2017-11-01 Notizen / Notes: Notizen / Notes: Notizen / Notes: UN SEUL FOURNISSEUR DE SOLUTIONS DE VIDE Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service. UNE LARGE GAMME DE PRODUITS Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de produits. UN SAVOIR FAIRE THÉORIQUE ET PRATIQUE Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation ! Nous vous assistons pour concevoir vos installations, grâce à un service de proximité de première qualité dans le monde entier. Êtes-vous à la recherche d'une solution de vide dédiée à vos besoins ? Contactez-nous : Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters T +49 6441 802-0 [email protected] Pfeiffer Vacuum SAS, France T +33 (0) 4 50 65 77 77 [email protected] www.pfeiffer-vacuum.com ">
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