MANUEL DE L’UTILISATEUR FR Original INTERFACE ETHERCAT® Protocole de communication - Pompes turbo Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 1.1 1.2 2 Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 2.1 2.2 3 Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 Conformité d’utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 3.1 Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 4 Schéma de raccordement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 5 Connexion « EtherCAT ». . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 5.1 5.2 5.3 5.4 5.5 2 Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 Connexions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 Identification des appareils . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Opération des LED . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Données de processus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Données de service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité Ce manuel de l’utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l’utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. Les manuels de l’utilisateur valides sont également disponibles sur Internet sur www.pfeiffer-vacuum.com. Documents applicables 1.2 Documents applicables Référence Manuel de l’utilisateur ATH 2804-3204 M/MT Manuel de l’utilisateur ATH 1603-2303 M Manuel de l’utilisateur ATH 500 M/MT 121608 118414 114436 Conventions Consignes de sécurité Les consignes de sécurité des manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum sont le résultat d'évaluations et d'analyses de risques et sont inspirées des normes de certification UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S2, ISO 3864 et DIN 4844. Le présent document détaille les niveaux de danger et informations suivants : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant la mort ou des blessures graves. AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent pouvant entraîner la mort ou des blessures graves. ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent pouvant entraîner des blessures légères. AVIS Injonction ou indication Invitation à procéder à une action ou information au sujet de points dont le non-respect peut conduire à la détérioration du produit. 3 A propos de ce manuel Pictogrammes Avertissement contre le danger représenté par le symbole. Obligation d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de cette obligation peut générer des accidents graves. Informations importantes concernant le produit ou le présent document Instruction dans le texte EtherCAT® 4 Instruction de travail : vous devez exécuter une opération à cet endroit. EtherCAT® est une marque déposée et une technologie brevetée sous licence de Beckhoff Automation GmbH, Allemagne. Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes de sécurité Les risques potentiels et consignes de sécurité liés à l’utilisation de l’interface EtherCAT® intégré sur une pompe turbomoléculaire sont listés dans le chapitre Sécurité du manuel de l’utilisateur de la pompe. Prendre connaissance obligatoirement des consignes du manuel de l’utilisateur de la pompe turbomoléculaire. Obligation d'informer Toute personne chargée de l'installation, de l’utilisation ou de l'entretien du produit doit avoir lu les consignes de sécurité de ce manuel de l’utilisateur et doit les respecter. Il incombe à l'exploitant de mettre en garde l'ensemble des opérateurs contre les dangers liés au produit, aux substances pompées ou à l'installation dans sa totalité. AVERTISSEMENT Risque de perturbation électromagnétique Les performances des produits en CEM sont obtenues sous réserve que l’installation soit effectuée dans le respect des règles applicables en CEM. Utiliser des liaisons et raccordements blindés pour les interfaces dans les environnements perturbateurs. ● Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique) peut procéder à l’installation et à la maintenance décrites dans ce manuel. Nos centres de service peuvent dispenser les formations nécessaires. ● Pendant le fonctionnement, ne pas desserrer ou retirer les connecteurs. ● Les conduites et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces chaudes (> 70 °C). 2.2 Conformité d’utilisation AVIS Conformité CE La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires ! Après incorporation dans une installation et avant la mise en service, l'exploitant s’engage à vérifier la conformité de l'ensemble du système dans l'esprit des directives UE en vigueur, et de la réévaluer en conséquence. ● Le produit peut fonctionner dans un environnement industriel. 5 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction Face avant ATH 2804 M 4 5 6 SERVICE RS 232/485 AC in 200-240VAC 50/60 Hz 10A 1 2 3 Face avant ATH 500 M 4 6 5 1 1 Port EtherCAT IN 2 Port EtherCAT OUT 3 LED L/A (voir 5.3) Description générale des connexions 3 2 4 Adresse de la pompe (voir 5.2) 5 LED RUN (voir 5.3) 6 LED ERR (voir 5.3) EtherCAT IN Connecteur M12 (codé D) avec verrouillage à vis et LED L/A pour raccordement d'un câble EtherCAT entrant. EtherCAT OUT Connecteur M12 (codé D) avec verrouillage à vis et LED L/A pour raccordement d'un câble EtherCAT vers l'appareil suivant. 6 Schéma de raccordement EtherCAT IN Schéma de raccordement EtherCAT OUT 4 4 3 4 3 Fig. 1: Tx+ 1 Rx+ 2 Tx- 3 Rx- 4 n.c. 5 Tx+ 1 Rx+ 2 Tx- 3 Rx- 4 n.c. 5 1 2 1 2 Schéma de raccordement 7 Connexion « EtherCAT » 5 Connexion « EtherCAT » 5.1 Connexions 3 Broche Affectation 1 2 3 4 Tx+ Rx+ TxRx- ► IN 4 2 Fig. 2: ◄ OUT 1 ► IN Le raccordement de la pompe dans un système de bus EtherCAT est possible par l'intermédiaire de ports IN/OUT (connecteurs à 5 pôles M12 codés D). Connexion par câble EtherCAT Respecter les spécifications EtherCAT ! Raccorder le câble entrant venant de l’équipement sur EtherCATIN. Raccorder la liaison bus vers les autres appareils sur EtherCATOUT. L'utilisation de commutateurs et de passerelles Ethernet n'est pas prévue. Intégration 8 Utiliser le fichier xml ESI (fourni par le Service clients). Connexion « EtherCAT » 5.2 Identification des appareils Les appareils EtherCAT sont en principe adressés par leur position dans le bus. Le paramétrage classique des adresses n'est pas nécessaire. Commutateurs d'identifiant (hexadécimal) pour sélection de l’appareil. Régler l'identifiant d'appareil sur 0 (0 x 100, 0 x 10, 0 x 1). Faire attention à la position affectée sur le bus. Identification explicite des appareils Méthode préférentielle car aucun programme de configuration supplémentaire n'est nécessaire. Sélectionner cette identification lors de l’intégration. Régler l'identifiant des appareils sur la valeur planifiée. – 001h - FFFh en hexadécimal correspond à 1 - 4095 en décimal. – Cette valeur est valide après réinitialisation. En cas de remplacement d'un appareil, utiliser l'identifiant de l'ancien appareil. Alias de station L'utilisation d'un programme de configuration approprié est ici nécessaire. Sélectionner cette identification lors de l’intégration. Attribuer l'alias de station de l'appareil en ligne. – Cette valeur est valide après réinitialisation. En cas de remplacement d'un appareil, répéter ce processus. 5.3 Opération des LED Indication L/A (verte) RUN (verte) Connexion Statut EtherCAT Défaut EtherCAT LED éteinte Pas de connexion « INIT » : – Initialisation, pas de données de processus ou de service Aucun défaut Clignotement - Changement d'état spontané 2 clignotements - « SAFE OPERATIONAL » : – Données entrantes de processus (POMPE TURBO -> commande) valides – Données sortantes (commande -> POMPE TURBO) en état sûr - Clignotement - « PRE_OPERATIONAL » : – Données de service uniquement, pas de données de processus Configuration non valide LED allumée fixe Connexion à l'appareil suivant, pas d'activité Amorce « OPERATIONAL » : – Données entrantes et sortantes de processus valides LED vacillante Connexion active « BOOTSTRAP » 5.4 ERR (rouge) Perte de la connexion Erreur de démarrage Données de processus Données sortantes de processus ● Les données sortantes de processus sont prédéfinies comme suit : Default RxPDO (commande -> POMPE TURBO, « sortie »), CoE 1600h.1-4 (1 octet) Octet.bit CoE1 Signification 0.0 7000.01 Fonctionnement de la pompe 0 : arrêt, 1 : marche 9 Connexion « EtherCAT » Octet.bit CoE1 Signification 0.1 0.2 0.3-7. 7000.02 Acquittement des défauts 7000.03 Vitesse stand-by - 0->1 : Acquittement des défauts 0 : Vitesse normale, 1 : Vitesse stand-by réservé 1. hexadécimal, voir le chapitre Données de service Données entrantes de processus ● Les données entrantes de processus sont prédéfinies comme suit : Default TxPDO (POMPE TURBO -> commande, « entrée »), CoE 1A00h.1-11 (7 octets) Octet.bit CoE1 Signification 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 6000.01 Vitesse de la pompe > 60 min-1 6000.02 Vitesse normale 6000.03 Accélération de la pompe 6000.04 Décélération de la pompe 6000.05 Télécommande/Manuel 0.5 0.6 0.7 1.-2. 3.-4. 5.-6. 6000.07 Vitesse stand-by 6000h.09h Alarme 6000h.0Ah Alerte 6000h.11h Vitesse 6000h.12h Courant 6000h.13h Température 0 : non, 1 : oui 0 : non, 1 : oui 0 : non, 1 : oui 0 : non, 1 : oui 0 : Télécommande (EtherCAT) 1 : Manuel (HHR) 0 : non, 1 : oui 0 : non, 1 : oui 0 : non, 1 : oui 0,1 % de la vitesse nominale de rotation 0,1 A °C 1. hexadécimal, voir le chapitre Données de service Les données de processus pourront par ailleurs être compilées à partir des objets CoE. Pour cela, passer à chaque fois à l'état « PRE-OPERATIONAL ». Décrire l'objet 1601h.0 ou 1A01h.0 respectivement par 0. Décrire l'objet 1601h.1-n ou 1A01h.1-n respectivement par l'indice CoE correspondant. – Seuls les objets marqués « P » sont utilisables. – N'attribuer le sous-indice 1-n que dans l'ordre et sans trou. – Les données doivent correspondre à un nombre d'octets entier (utiliser si nécessaire des bits de remplissage) et commencer par un octet entier (sauf BOOL). – Maximum 12 objets par PDO Décrire l'objet 1601h.0 ou 1A01h.0 respectivement par le nombre n d'objets utilisés. Passer l'objet 1C12h.1 à 1601h et 1C13h.1 à 1A01h respectivement. Dans les données de processus, sélectionner l'affectation de PDO appropriée 1601h ou 1A01h respectivement. Fig. 3: 10 Exemple de données sortantes (y compris 4 bits de remplissage) Fig. 4: Exemple de données entrantes (y compris 5 bits de remplissage) Connexion « EtherCAT » 5.5 Données de service Types de données Type Description BOOL BYTE() STRING() USINT UINT UDINT ULINT SINT INT DINT REAL Valeur binaire (oui/non) Nombre d'un octet Chaîne de signes Nombre entier positif, 8 bits Nombre entier positif, 16 bits Nombre entier positif, 32 bits Nombre entier positif, 64 bits Nombre entier, 8 bits Nombre entier, 16 bits Nombre entier, 32 bits Nombre à virgule flottante, exactitude simple Pour l'accès aux objets de données individuels (p. ex. pour la configuration), les objets CoE suivants sont disponibles : Données administratives (informations sur l'appareil, communication) Idx1 sIdx Nom Type Accès2 1000 1008 1009 100A 1018 - Device Type Manufacturer Device Name Manufacturer Hardware Version Manufacturer Software Version Identity Object Vendor ID Product Code Revision Number Serial number Timestamp Object Default RxPDO Mapping (1-4) User RxPDO Mapping UDINT STRING() STRING() STRING() RO RO RO RO UDINT UDINT UDINT UDINT ULINT UDINT USINT UDINT UDINT USINT UDINT USINT USINT UINT USINT UINT RO RO RO RO RO RO RW RW RO RW RW RO RW RW RW RW UINT UINT RO RO UDINT STRING UDINT UDINT STRING() STRING() UDINT RO RO RO RO RO RO RO 01 02 03 04 01-04 00 x 01-0B 00 x 01-04 00 01 00 01 10F8 1600 1601 1A00 1A01 1C00 1C12 1C13 F000 Sync Manager Communication Type Sync Manager 2 PDO Assignment Sync Manager 3 PDO Assignment Semiconductor Device Profile Index Distance Maximum Number of Modules Module Profile Lists 01 02 F010 01 01 01 01 - F9F0 F9F1 F9F2 F9F3 F9F4 F9F8 Default TxPDO Mapping (1-11) User TxPDO Mapping Manufacturer Serial Number CDP Functional Generation Number (1) SDP Functional Generation Number Vendor Name Semiconductor SDP Device Name (1) FW Update Funct. Gen. Number (1) Description voir Données de processus voir Données de processus voir Données de processus voir Données de processus voir Données de processus voir Données de processus 1. Idx = Indice, sIdx = Sous-indice, hexadécimal 2. RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = convient pour les données de processus Données entrantes (POMPE TURBO -> commande) Idx1 sIdx Nom Type Accès2 01 Identité/Etat Fabricant STRING() RO 2000 Description 11 Connexion « EtherCAT » Idx1 sIdx Nom Type Accès2 02 03 05 08 Nom du type d’Electronique Numéro de série Electronique Version logiciel Code d’évènement STRING() STRING() STRING() UINT RO RO RO RO P 0A 82 8A UDINT STRING() UDINT RO P RO RO P 81 Temps de fonctionnement Electronique Nom du type de pompe Temps de fonctionnement Pompe Fonctionnement Etat de la vitesse de rotation USINT RO P 82 83 88 Vitesse de rotation (rel.) Vitesse de rotation (abs.) Pompe prête SINT DINT BOOL RO P RO P RO P INT INT INT INT INT RO P RO P RO P RO P RO P °C 0,1 V 0,1 A W °C BOOL BOOL RO P RO P 0 : non, 1 : oui Fonctionnement normal à partir du point de commutation de la vitesse de rotation (0 : non, 1 : oui) 0 : non, 1 : oui 0 : non, 1 : oui 0 : Télécommance (EtherCAT) 1 : Manuel (HHR) 0 : allumé, 1 : éteint 0 : non, 1 : oui 0 : non, 1 : oui 0 : non, 1 : oui 0,1 % de la vitesse nominale de rotation 0,1 A °C Bit 0/1 : alerte Bit 2/3 : alarme Bits 4-7 : réservé 2001 01 02 Capteurs pompe Température Electronique Tension Courant Puissance Température pompe Etat de la pompe Vitesse de la pompe > 60 min-1 Normal 03 04 05 Accélération Décélération Télécommande/Manuel BOOL BOOL BOOL RO P RO P RO P 06 07 09 0A 11 12 13 - Fonctionnement moteur Vitesse stand-by Alarme Alerte Vitesse Courant Température pompe Type d’évènement BOOL BOOL BOOL BOOL INT INT INT USINT RO P RO P RO P RO P RO P RO P RO P RO P 2002 08 11 12 13 88 6000 F380 12 Description 0 : aucun défaut 1-999 : alarme 1 à 999 1001-1999 : alerte 1 à 999 h h 0 : arrêt (< 60 min-1) 1 : accélération 2 : à la vitesse de rotation 3 : décélération % min-1 Point de commutation de la vitesse de rotation atteint (0 : non, 1 : oui) Connexion « EtherCAT » Idx1 sIdx Nom Type Accès2 Description F381 01 Détails de l’alerte UDINT RO P F383 F390 F391 F393 F6F0 F9F5 F9F6 F9F7 01 01 01 01 01 - Détails de l’alarme UDINT Evènement mémorisé USINT Détails de l’alerte mémorisée UDINT Détails de l’alarme mémorisée UDINT Heurocodage de l’évènement UDINT Identification de sortie USINT Temps depuis la dernière mise en marche UDINT Temps total de fonctionnement UDINT RO P RO P RO P RO P RO RW P RO P RO P Bit 0 : chute d’alimentation électrique Bit 1 : température excessive de la pompe Bit 2 : survitesse Bit 3 : pompe en surintensité Bit 4 : température excessive du variateur Bit 5 : variateur en surintensité Bit 6 : variateur en surtension Bit 7 : variateur de vitesse Bit 8 : contrôleur Bit 9 : démarrage impossible Bit 10 : temps de démarrage Bit 11 : temps de freinage Bit 12 : paliers Bit 13 : capteur de palier Bit 14 : température excessive du chauffage Bit 15 : capteur de chauffage Bit 16 : chauffage Bit 17 : vanne Bit 18 : autre Bits 19-31 : réservé Voir F381.01 Voir F380 Voir F381.01 Voir F381.01 s s 1. Idx = Indice, sIdx = Sous-indice, hexadécimal 2. RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = convient pour les données de processus Données sortantes (commande -> POMPE TURBO) Idx1 sIdx Nom Type Accès2 Description 01 11 21 31 Contrôle des accessoires Activation du chauffage Activation de la remise à l'air Activation de la purge Freinage de la pompe BOOL BOOL BOOL BOOL RW P RW P RW P RW P 0 : non, 1 : oui 0 : non, 1 : oui 0 : non, 1 : oui 0 : freinage jusqu’à 10000 mn-1 1 : freinage jusqu’à l’arrêt 01 02 03 04 Contrôle de la pompe Fonctionnement de la pompe Acquittement des défauts Vitesse stand-by Fonctionnement du moteur pompe BOOL BOOL BOOL BOOL RW P RW P RW P RW P 0 : arrêt, 1 : marche 0->1 : Acquittement des défauts 0 : Vitesse normale, 1 : Vitesse stand-by 0 : arrêt, 1 : marche 3005 7000 1. Idx = Indice, sIdx = Sous-indice, hexadécimal 2. RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = convient pour les données de processus Données de configuration (commande -> POMPE TURBO) Idx1 sIdx 4001 87 4005 02 8001 01 Nom Configuration de la pompe Vitesse stand-by Configuration des accessoires Consigne de chauffage Paramètre turbo Etat par défaut Type Accès2 Description USINT RW P % de la vitesse nominale de rotation INT RW P °C UINT RW P Avec INIT, PREOP, SAFEOP et en cas d'interruption de la communication 0 : maintenir l'état 1 : 7000.01-04-> 0 (pompe arrêtée) 2 : en fonctionnement normal 13 Connexion « EtherCAT » Idx1 sIdx Nom Type Accès2 Description F3A1 02 03 01 Vitesse stand-by Vitesse nominale Masque détail alerte (1) UINT UINT UDINT RW P RW P RW P F3A3 01 Masque détail alarme (1) UDINT RW P 0,1 % de la vitesse nominale de rotation 0,1 % de la vitesse nominale de rotation Format voir F381.01, évènements instaurés dans F381.01 quand le bit correspondant ici est 1. Format voir F381.01, évènements instaurés dans F383.01 quand le bit correspondant ici est 1. 1. Idx = Indice, sIdx = Sous-indice, hexadécimal 2. RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = convient pour les données de processus 14 UNE LARGE GAMME DE PRODUITS Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de produits. UN SAVOIR FAIRE THÉORIQUE ET PRATIQUE Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation ! Nous vous assistons pour concevoir vos installations, grâce à un service de proximité de première qualité dans le monde entier. Êtes-vous à la recherche d'une solution de vide dédiée à vos besoins ? 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