Pfeiffer TM 700 EC Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
TM 700 EC
Unité de commande électronique
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle unité de
commande électronique a été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre
application avec des performances maximales et sans anomalie. La marque Pfeiffer Vacuum,
synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et
variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. En capitalisant
sur notre expertise, nous avons développé une multitude de compétences qui contribuent à
la sécurité et à l’efficacité de mise en œuvre de nos produits.
Nous sommes convaincus que notre produit sera à la hauteur de vos attentes : une solution
efficace et fonctionnelle pour votre application, sans perturber votre activité.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse [email protected].
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téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/60
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.2 Documents applicables
1.3 Groupe cible
1.4 Conventions
1.4.1 Instructions dans le texte
1.4.2 Pictogrammes
1.4.3 Étiquettes sur le produit
1.4.4 Abréviations
1.5 Justificatif de marque
7
7
7
7
7
7
7
8
8
8
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisation abusive prévisible
9
9
9
10
11
11
11
3
Description du produit
3.1 Identification du produit
3.2 Caractéristiques du produit
3.3 Fonction
3.4 Volume de livraison
3.5 Raccordements
12
12
12
12
12
13
4
Installation
4.1 Schéma de raccordement
4.2 Raccord EtherCAT®
4.2.1 Identification de l’appareil
4.2.2 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
4.2.3 Données de process
4.2.4 Données de service
14
14
15
16
17
17
18
5
Interfaces
5.1 Interface RS-485
5.1.1 Options de connexion
5.1.2 Interconnexion via le raccordement RS-485
5.2 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
5.2.1 Cadre télégramme
5.2.2 Description du télégramme
5.2.3 Télégramme exemple 1
5.2.4 Télégramme exemple 2
5.2.5 Types de données
28
28
28
29
29
29
30
30
30
31
6
Ensemble de paramètres
6.1 Généralités
6.2 Instructions de commande
6.3 Demandes d’état
6.4 Réglages des valeurs de consigne
6.5 Paramètres additionnels dans l'appareil de commande
32
32
32
35
37
38
7
Utilisation
7.1 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum
7.1.1 Configuration des connexions des accessoires
7.1.2 Sélection des interfaces
39
39
39
39
3/60
Table des matières
7.2
7.3
7.4
7.5
4/60
Modes de fonctionnement
7.2.1 Fonctionnement selon le type de gaz
7.2.2 Valeur de réglage de la puissance absorbée
7.2.3 Temps d’accélération
7.2.4 Points de commutation de vitesse de rotation
7.2.5 Mode de réglage de la vitesse de rotation
7.2.6 Standby
7.2.7 Confirmation de la spécification de vitesse
7.2.8 Modes de fonctionnement de la pompe de secours
7.2.9 Mode standby de la pompe de secours
7.2.10Frein électrique
7.2.11Fonctionnement avec des accessoires
7.2.12Modes de ventilation
7.2.13Usure des paliers de sécurité
7.2.14Équilibre
Mise en marche de la pompe turbo
Mise à l’arrêt de la turbopompe
Surveillance des opérations
7.5.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
7.5.2 Surveillance de la température
40
40
41
41
41
42
43
43
44
45
45
45
46
46
46
47
47
47
47
48
8
Recyclage et mise au rebut
8.1 Informations générales sur la mise au rebut
8.2 Mise au rebut de l’unité de commande électronique
49
49
49
9
Dysfonctionnements
9.1 Généralités
9.2 Codes d’erreur
9.3 Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionnement avec des appareils de commande
50
50
50
54
10
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
55
Déclaration de conformité CE
57
Déclaration de Conformité UK
58
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Tab. 27:
Tab. 28:
Tab. 29:
Tab. 30:
Abréviations utilisées dans ce document
Conditions ambiantes autorisées
Caractéristiques des variantes d’appareil
Description du raccordement de l’unité de commande électronique
Interface EtherCAT, affectation des raccordements
Comportement et signification des LED de l’interface EtherCAT
Données de sortie du processus
Données d’entrée du processus
Exemple d'une configuration de données de processus
Types de données de service
Données administratives (informations sur l’appareil, communication)
Données d’entrée (TM 700 EC --> commande)
Données de sortie (commande -> TM 700 EC)
Données de configuration (commande -> TM 700 EC)
Caractéristiques de l’interface RS-485
Agencement de la terminaison de la borne de connexion M12 RS-485
Explication et signification des paramètres
Instructions de commande
Demandes d’état
Réglages des valeurs de consigne
Paramètres des fonctions de l'appareil de commande
Connexions des accessoires
Paramètre [P:060]
Paramètre [P:061]
Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires
Modes de fonctionnement de la pompe de secours
Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique
Messages d’erreur de l’unité de commande électronique
Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique
Messages d’avertissement et de dysfonctionnement
8
11
12
13
16
17
17
18
18
19
20
22
23
27
28
28
32
35
37
38
38
39
40
40
43
44
48
52
54
54
5/60
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
6/60
Panneau de connexion TM 700 EtherCAT
Schéma de raccordement TM 700 EC
Exemple de connexion câblée EtherCAT
Commutateur de codage hexadécimal
Options de connexion via l’interface RS-485
Interconnexion de pompes turbomoléculaires avec l’unité de commande
électronique intégrée via l’interface RS-485
Représentation schématisée des caractéristiques de puissance, exemple de
gaz lourds [P:027] = 0
Point de commutation de vitesse de rotation 1 actif
Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] > [P:719]
Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] < [P:719]
12
15
16
16
28
29
40
41
42
42
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.2
Documents applicables
TM 700 EC
Manuel de l’utilisateur
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.3
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.4
Conventions
1.4.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.4.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
7/60
A propos de ce manuel
Remarque
Conseil
1.4.3
Étiquettes sur le produit
Cette section décrit toutes les étiquettes sur le produit ainsi que leur signification.
Mod.:
M.-No.:
TM 700 EC
PM C01 854
Plaque signalétique
La plaque signalétique se trouve sur le côté de l’unité d’entraînement électronique.
Ser.-No.: 12345678
Input:
Output:
48 V ± 10% DC 8.4 A
0 - 48 V 9 A 0 - 1000 Hz
2018/01
Made in Germany
Joint de fermeture
La produit est scellé en départ d’usine. L’endommagement ou
la suppression du joint de fermeture entraîne l’annulation de la
garantie.
warranty seal
1.4.4
Abréviations
Abréviation
Signification dans ce document
AI / AO
Entrée analogique / sortie analogique
DCU
Appareil de commande et d’affichage
DI / DO
Entrée numérique / sortie numérique
EC
Interface EtherCAT®
f
Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en trs/min ou Hz)
FE
Terre fonctionnelle
HPU
Unité de programmation portable
DEL
Diode électroluminescente
P
Puissance
[P:xxx]
Paramètre de l’unité de commande électronique avec numéro
PE
Terre de protection (conducteur de protection)
t
Temps
TM
Unité de commande électronique de pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) et
contrôleur de palier magnétique
TPS
Alimentation de tension (alimentation électrique turbo)
Tab. 1:
1.5
Abréviations utilisées dans ce document
Justificatif de marque
● EtherCAT® est une marque déposée et une technologie brevetée sous licence de Beckhoff Automation GmbH, Allemagne
8/60
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur l’analyse des risques
effectuée conformément à la Directive Basse Tension 2014/35/UE. Dans la mesure du possible, toutes
les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
9/60
Sécurité
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
Risques lors du fonctionnement
AVIS
Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées
Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo.
► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique.
► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (>
80).
AVIS
Dégât matériel suite à l'usure du palier lors d’une mise à l’arrêt inappropriée
Les paliers magnétiques actifs nécessitent une alimentation électrique constante. Le moteur agit
comme un générateur et alimente l’électronique d’entraînement en cas de panne de courant. Sous
une vitesse de rotation d’env. 6500 tr/min, l’énergie cinétique du rotor n’est plus suffisante pour alimenter le palier magnétique. L'unité d’entraînement électronique se coupe. Le rotor descend en courant de manière audible dans les paliers de sécurité.
► Ne pas mettre la pompe à l’arrêt en débranchant l’alimentation électrique principale.
► Toujours utiliser la fonction de frein électrique après la mise à l’arrêt de la turbopompe.
2.3
Mesures de sécurité
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
10/60
Sécurité
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Utiliser uniquement des blocs d’alimentation électrique conformes aux directives de sécurité en vigueur.
► Respecter toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôler régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Recommandation : Établir une connexion sécurisée à un conducteur relié à la terre (PE) : classe
de protection III.
► Ne jamais débrancher les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Tenir les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Consulter la classe de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Respecter la classe de protection en veillant à bien installer les bouchons d’étanchéité existants.
► Débrancher l’unité de commande électronique uniquement une fois que tout est entièrement à
l’arrêt et lorsque l’alimentation électrique de secteur de la pompe turbomoléculaire est coupée.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Lieu de mise en place
protégé des intempéries (espace intérieur)
Pression d’air
750 hPa à 1 060 hPa
Altitude de l’installation
2000 m max.
Humidité rel. de l’air
max. 80 %, à T <31°C,
jusqu’à max. 50 % à T <40°C
Classe de protection
III
Catégorie de surtension
II
Classe de protection autorisée
IP54
Niveau de contamination
2
Température ambiante
+5°C à +40°C (avec un refroidissement d’air jusqu’à max. +35°C)
Tab. 2:
Conditions ambiantes autorisées
Remarques sur les conditions ambiantes
Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonctionnement de la
pompe turbo à la pression de secours maximum admissible ou avec un débit de gaz maximum, en fonction du type de refroidissement. La pompe est intrinsèquement sûre grâce à
la surveillance redondante de la température.
● La réduction de la pression de vide ou du débit du gaz permet le fonctionnement de la
pompe turbomoléculaire à des températures ambiantes plus élevées.
● Si la température de fonctionnement maximum admissible de la pompe turbomoléculaire est dépassée, l'unité d’entraînement électronique va d'abord réduire la vitesse
d'entraînement, puis la mettre hors circuit si nécessaire.
2.5
Utilisation conforme
● L'unité de commande électronique est uniquement utilisée pour le fonctionnement des pompes
turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum et de leurs accessoires.
2.6
Utilisation abusive prévisible
Toute utilisation abusive du produit entraîne une annulation de la garantie et des droits de réclamations.
Toute utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme abusive, en particulier :
●
●
●
●
Utilisation avec un rayonnement thermique excessivement élevé
Utilisation dans des zones à radiation ionisante
Utilisation dans des atmosphères potentiellement explosives
Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions
11/60
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit
ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320.
3.2
Caractéristiques du produit
L'unité d’entraînement électronique de type TM 700 EC est un composant fixe de la turbopompe. L’objectif de l’unité d’entraînement électronique est d’entraîner, de surveiller et de commander l’ensemble
de la pompe.
Caractéristique
TM 700 EC
Tension d’alimentation TM
48 V CC ±10 %
Panneau de connexion
EtherCAT®
Turbopompe HiPace
300 M, 400 M, 700 M, 800 M
Tab. 3:
3.3
Caractéristiques des variantes d’appareil
Fonction
1
7
Fig. 1:
1
2
3
4
3.4
4
5
6
Panneau de connexion TM 700 EtherCAT
Raccord « Accessoire B »
Branchement de service « PV.can »
Raccord « RS-485 »
Raccordement « DC in »
Volume de livraison
● TM 700 EC
● Manuel de l’utilisateur
12/60
3
2
5
6
7
Adresse d'appareil interrupteur de codage « EtherCAT »
Raccords « EtherCAT »
Raccord « Accessoire A »
Description du produit
3.5
Raccordements
Connexion
Description
DC in
Raccord à boîtier avec fermeture à baïonnette pour l’alimentation électrique entre
les blocs d’alimentation électrique Pfeiffer Vacuum et l’unité de commande électronique.
L/A
EtherCAT IN
Prise M12 (codée D) avec raccord fileté et LED L/A pour le branchement d’un câble
EtherCAT entrant.
IN
L/A
EtherCAT OUT
Prise M12 (codée D) avec raccord fileté et LED L/A pour le branchement d’un câble
EtherCAT vers l’appareil suivant.
OUT
RS-485
Prise M12 avec vis pour la connexion des panneaux de commande Pfeiffer Vacuum
ou d’un PC. L’utilisation d’un raccord en Y permet l’intégration dans un système de
bus.
Accessoire1)
Prise M12 avec vis pour la connexion des accessoires Pfeiffer Vacuum. L’utilisation
d’un raccord en Y permet la double sortie de broche d’un raccord.
PV.can
Prise M12 avec vis et LED pour la connexion d’un dispositif de mesure de pression
intégré et pour la maintenance Pfeiffer Vacuum.
Prise d’appareil à l’arrière de l’unité de commande électronique pour la connexion
d’une pompe turbomoléculaire.
Tab. 4:
1)
Description du raccordement de l’unité de commande électronique
Le raccord « accessoire » est spécifié dans le manuel de l'utilisateur de la pompe.
13/60
Installation
4 Installation
4.1
Schéma de raccordement
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
Charge de contact pour le raccordement des accessoires sur « accessoires »
1. Maintenez la charge de contact maximale de 200 mA par raccordement.
2. La somme totale de la charge de tous les raccordements ne doit pas dépasser
450 mA.
14/60
3
n.c.
A2
2
2
B2
24 V DC**
3
3
24 V DC**
A1
4
4
B1
FE
5
5
FE
Tx+
1
1
CAN-H
Rx+
2
2
24 V DC***
Tx-
3
3
GND***
Rx-
4
4
CAN-L
n.c.
5
5
FE
Tx+
1
1
RS 485 D +
Rx+
2
2
24 V DC* out
Tx-
3
3
GND*
Rx-
4
4
RS 485 D -
n.c.
5
5
n.c.
A
+ UB (+48 VDC ± 10 %)
B
GND
C
FE
2
1
2
4
1
3
2
2
3
1
4
5
PV.can
4
1
1
5
3
1
4
3
1
2
4.2
A
DC in
B
Fig. 2:
RS-485
EtherCAT OUT
EtherCAT IN
accessory A
4
n.c.
accessory B
Installation
C
Schéma de raccordement TM 700 EC
Raccord EtherCAT®
Vous pouvez utiliser les raccords « EtherCAT » (2x prises à 5 broches, M12, codées D) pour raccorder
la pompe turbomoléculaire à un système de bus EtherCAT. L'interface est séparée galvaniquement et
isolée de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique.
15/60
Installation
► IN
► IN
◄ OUT
Fig. 3:
1
Exemple de connexion câblée EtherCAT
2
L/A
4
Tab. 5:
3
Broche
Affectation
1
Tx+
2
Rx+
3
Tx-
4
Rx-
Interface EtherCAT, affectation des raccordements
Spécification EtherCAT
L’utilisation de commutateurs et de concentrateurs Ethernet n’est pas compatible.
Procéder à la connexion par câbles
1. Brancher le câble entrant de la commande vers EtherCAT IN.
2. Établir un raccordement de bus vers les autres appareils via EtherCAT OUT.
3. Utiliser le fichier ESI valide de Pfeiffer Vacuum pour la configuration.
4.2.1
Identification de l’appareil
Les appareils EtherCAT sont toujours adressés en utilisant leur position dans le bus. Aucun réglage
d’adresse conventionnel n’est nécessaire.
Identification additionnelle dans le bus
Sous certaines conditions, il peut s’avérer utile d’effectuer une identification (manuelle) additionnelle, par ex. s’il y a un risque de mélanger plusieurs appareils similaires suite à un
câblage incorrect. Différentes options de configuration sont disponibles pour cela.
Fig. 4:
Commutateur de codage hexadécimal
Identification explicite de l’appareil
Méthode recommandée car aucun programme de configuration supplémentaire n’est nécessaire.
1. Retirer le bouchon en caoutchouc des sélecteurs d’adresse.
2. Sélectionner cette identification dans la projection.
3. Régler l’ID de l’appareil sur la valeur projetée.
– 001h à FFFh en hexadécimal correspond à 1 à 4095 en décimal.
– La nouvelle valeur est transférée depuis « Tension marche / arrêt ».
16/60
Installation
4. Après le remplacement d’un appareil, utiliser l’ID de l’ancien appareil.
5. Positionner les connecteurs en caoutchouc et les enfoncer le plus possible afin de fournir le degré
de protection défini.
Alias du poste
Condition préalable : un programme de configuration approprié doit être utilisé.
1. Sélectionner cette identification dans la projection.
2. Affecter l’appareil en ligne « Alias du poste ».
– Cette nouvelle valeur s’applique après une « Réinitialisation ».
3. Répéter cette procédure après avoir remplacé un appareil.
4.2.2
Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la
turbopompe. Un affichage différencié des dysfonctionnements et des avertissements est uniquement
possible lors d’un fonctionnement avec appareil de commande.
Affichage
L/A
(vert)
Raccordement
RUN
(vert)
État EtherCAT
ERR
(rouge)
Erreur EtherCAT
Désactivée
Pas de connexion
« INIT » :
● Initialisation, pas de données de
processus ou de service
Pas d’erreur
Clignotement rapide
–
« SAFE OPERATIONAL » :
Changement
● Données d’entrée de procédé (unité d'état spontané
--> commande) valides
● Données de sortie (commande ->
unité) dans un état sécurisé
Clignotement 2x
–
–
Connexion perdue
Clignotement
–
« PRE_OPERATIONAL » :
● Données de service uniquement,
pas de données de processus
Configuration invalide
En marche de façon
permanente
Connexion à
l’appareil suivant, pas
d’activité
« OPERATIONAL » :
● Données d'entrée et de sortie de
processus valides
Bootstrap
Scintillement
Connexion active
« BOOTSTRAP »
Erreur de démarrage
Tab. 6:
4.2.3
Comportement et signification des LED de l’interface EtherCAT
Données de process
Données de sortie du processus
Les données de sortie du processus sont :
● Par défaut RxPDO (commande --> TM 700 EC, « sortie »), CoE 1600h.1 – 4 (1 octet)
Octet.Bit
CoE2)
Signification
0,0
7000.01 Marche arrêt turbo
Poste de pompage (0 : arrêt, 1 : marche)
0,1
7000.02 Alarme réinitialisation turbo
0 --> 1 : Confirmation des erreurs
0,2
7000.03 Vitesse basse turbo
Standby (0 : arrêt, 1 : marche)
0.3 – 7.
Tab. 7:
2)
Réservé
Données de sortie du processus
Hexadécimal (voir chapitre « Données de service », page 18)
17/60
Installation
Données d’entrée du processus
Les données d’entrée du processus sont :
● Par défaut TxPDO (TM 700 EC --> commande, « entrée »), CoE 1A00h.1 – 11 (7 octets)
Octet.Bit
CoE3)
Signification
0,0
6000.01 Rotation
La pompe tourne > 60 tr/min-1(0 : non, 1 : oui)
0,1
6000.02 Normal
Fonctionnement normal (0 : non, 1 : oui)
0,2
6000.03 Accélération
La pompe accélère (0 : non, 1 : oui)
0,3
6000.04 Décélération
La pompe décélère (0 : non, 1 : oui)
0,4
6000.05 À distance / local
Contrôle via EtherCAT (0 : oui, 1 : non)
0,5
6000.07 Vitesse basse turbo
Standby (0 : arrêt, 1 : marche)
0,6
6000.09 Alarme
0 : non
1 : oui
0,7
6000.0A Avertissement
0 : non
1 : oui
1. – 2.
6000.11 Vitesse turbo
0,1 % de la vitesse nominale
3. – 4.
6000.12 Courant turbo
0,1 A
5. – 6.
6000.13 Température pompe turbo
°C
Tab. 8:
Données d’entrée du processus
Compile les données de processus alternative des objets CoE
1. Toujours suivre le statut « PRÉ-OPERATIONNEL ».
2. Décrire l’objet 1601h.0 ou 1A01h.0 avec 0.
3. Décrire l’objet 1601h.1-n ou 1A01h.1-n avec les indices CoE correspondants.
4. Utiliser uniquement les objets marqués par un « P ».
5. Affecter le sous-index 1-n à une base séquentielle uniquement et sans espaces.
6. Veiller à ce que la donnée produise un nombre total d’octets (utiliser des bits pad si nécessaire) et
commencer avec les octets entiers (sauf BOOL).
7. Décrire au maximum 12 objets par PDO.
8. Décrire l’objet 1601h.0 ou 1A01h.0 avec le nombre n d’objets à utiliser.
9. Changer l’objet 1C12h.1 sur 1601h ou 1C13h.1 sur 1A01h.
10. Dans les données de processus, sélectionner l’affectation PDO correspondante 1601h ou 1A01h.
Données de sortie incluant 4 bits pad
Tab. 9:
4.2.4
Exemple d'une configuration de données de processus
Données de service
Type
Description
BOOL
Valeur binaire (oui/non)
OCTET( )
Nombre d'octet simple
3)
18/60
Données d’entrée incluant 5 bits pad
Hexadécimal (voir chapitre « Données de service », page 18)
Installation
Type
Description
STRING( )
Chaîne de caractères
USINT
Nombre entier positif, 8 bit
UINT
Nombre entier positif, 16 bit
UDINT
Nombre entier positif, 32 bit
ULINT
Nombre entier positif, 64 bit
SINT
Nombre entier, 8 bit
INT
Nombre entier, 16 bit
DINT
Nombre entier, 32 bit
REAL
Valeur flottante, précision simple
Tab. 10:
Types de données de service
Les objets CoE suivants sont disponibles pour un accès aux objets de données individuels (par ex. ,
pour la configuration) :
Données administratives (informations sur l’appareil, communication)
Idx4)
sIdx
Nom
Type
Accès5)
1000
–
Type d’appareil
UDINT
RO
1008
–
Nom de l’appareil du fabricant
STRING( )
RO
1009
–
Version du matériel du fabricant
STRING( )
RO
100A
–
Version du logiciel du fabricant
STRING( )
RO
1010
01
Enregistrer les paramètres
UDINT
RW
1011
01
Restaurer les paramètres par défaut
UDINT
RW
1018
Description
Identité de l’objet
01
ID vendeur
UDINT
RO
02
Code produit
UDINT
RO
03
Numéro révision
UDINT
RO
04
Numéro de série
UDINT
RO
10F8
–
Objet Timestamp
ULINT
RO
1600
01 - 04
Par défaut RxPDO Mapping (1 - 4)
UDINT
RO
Voir les données de processus
1601
00
Utilisateur RxPDO Mapping
USINT
RW
Voir les données de process
UDINT
RW
1A00
x
01 - 0B
Par défaut TxPDO Mapping (1 - 11)
UDINT
RO
Voir les données de processus
1A01
00
Utilisateur TxPDO Mapping
USINT
RW
Voir les données de processus
UDINT
RW
x
1C00
01 - 04
Sync Manager type de communication
USINT
RO
1C12
00
Sync Manager affectation 2 PDO
USINT
RW
UINT
RW
USINT
RW
UINT
RW
01
1C13
00
Sync Manager affectation 3 PDO
01
F000
Voir les données de processus
Profil de l’appareil semi-conducteur
4)
Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal
5)
RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process
19/60
Installation
Idx4)
sIdx
Nom
Type
Accès5)
01
Index distance
UINT
RO
02
Nombre maximum de modules
UINT
RO
F010
Description
Listes des profils de module
UDINT
RO
F9F0
01
–
Numéro de série du fabricant
STRING
RO
F9F1
01
CDP numéro de génération fonctionnel (1)
UDINT
RO
F9F2
01
SDP numéro de génération fonctionnel
UDINT
RO
F9F3
–
Nom du vendeur
STRING( )
RO
F9F4
01
Nom de l’appareil SDP semi-conducteur (1)
STRING( )
RO
F9F8
–
Fonct. mise à jour FW Num. génération (1)
UDINT
RO
Tab. 11:
Données administratives (informations sur l’appareil, communication)
Données d’entrée (TM 700 EC --> commande)
Idx6)
sIdx
2000
Accès7)
Description
01
Fabricant
STRING( )
RO
02
Nom appareil élec.
STRING( )
RO
03
Num. série élec.
STRING( )
RO
05
Version microprogramme
STRING( )
RO
08
Code état
UINT
RW P
0 : pas d’erreur
1 - 999 : Erreur 1 - 999
1001 - 1999 : Avertissement 1 999
0A
Heures fonctionnement
élec.
UDINT
RW P
h
82
Nom appareil pompe
STRING( )
RO
8A
Heures fonctionnement
pompe
UDINT
RW P
8D
Cycles pompe
UDINT
RW P
AB
Usure palier
USINT
RW P
%
BC
Déséquilibre rotor
USINT
RW P
%
h
En fonctionnement
81
Statut vitesse
USINT
RW P
0 : arrêté (< 6 tr/min)
1 : accéléré
2 : à la vitesse de rotation
3 : retardé
82
Vitesse actuelle (rel.)
SINT
RW P
%
83
Vitesse actuelle (abs.)
DINT
RW P
min-1
88
Prêt pour le processus
BOOL
RW P
Point de commutation de vitesse
de rotation atteint (0 : oui, 1 : non)
2002
20/60
Type
Identité / statut entrée
2001
4)
Nom
Puissance / température
pompe entrée
08
Température élec.
INT
RW P
°C
11
Tension
INT
RW P
0,1 V
12
Courant
INT
RW P
0,1 A
Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal
5)
RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process
6)
Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal
7)
RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process
Installation
Idx6)
sIdx
Nom
Type
Accès7)
Description
13
Puissance
INT
RW P
W
18
Température puissance
INT
RW P
°C
88
Température pompe
INT
RW P
°C
98
Température moteur
INT
RW P
°C
A8
Température palier
INT
RW P
°C
2004
Identité / statut composant entrée
52
Prs1.DeviceName
STRING( )
RO
62
Prs2.DeviceName
STRING( )
RO
2005
Fonctionnement composant entrée
51
Prs1.Status
USINT
RW P
0 : valide
1 : Non atteint
2 : Dépassé
3 : invalide
53
Prs1.Value
REAL
RW P
Valeur de pression actuelle (hPa)
Calibrer capteur
61
Prs2.Status
USINT
RW P
0 : valide
1 : Non atteint
2 : Dépassé
3 : invalide
63
Prs2.Value
REAL
RW P
Valeur de pression actuelle (hPa)
Calibrer capteur
6000
F380
Statut turbo et valeur
capteur
Fonctionnement normal depuis le
point de commutation de vitesse
de rotation (0 : non, 1 : oui)
01
Rotation
BOOL
RW P
La pompe tourne > 60 tr/min (0 :
non, 1 : oui)
02
Normal
BOOL
RW P
Fonctionnement normal depuis le
point de commutation de vitesse
de rotation (0 : non, 1 : oui)
03
Accélération
BOOL
RW P
La pompe accélère (0 : non,
1 : oui)
04
Décélération
BOOL
RW P
La pompe décélère (0 : non,
1 : oui)
05
À distance / local
BOOL
RW P
Contrôle via EtherCAT (0 : oui,
1 : non)
06
Arrêt moteur
BOOL
RW P
0 : Moteur marche, 1 : Arrêt moteur
07
Vitesse basse turbo
BOOL
RW P
Standby (0 : arrêt, 1 : marche)
09
Alarm
BOOL
RW P
0 : non
1 : oui
0A
Warning
BOOL
RW P
0 : non
1 : oui
11
Vitesse turbo
INT
RW P
0,1 % de la vitesse nominale
12
Courant turbo
INT
RW P
0,1 A
13
Température pompe turbo
INT
RW P
°C
–
Statut exception active
USINT
RW P
BIT 0/1 : Warning
Bit 2/3 : Dysfonctionnement, erreur
Bit 4-7 : réservé
6)
Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal
7)
RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process
21/60
Installation
Idx6)
sIdx
Nom
Type
Accès7)
Description
F381
01
Détails avertissement
appareil actif
UDINT
RW P
Bit 0 : perte de tension
Bit 1 : température excessive pompe
Bit 2 : vitesse excessive
Bit 3 : courant excessif pompe
Bit 4 : température excessive entraînement
Bit 5 : courant excessif entraînement
Bit 6 : tension excessive entraînement
Bit 7 : entraînement
Bit 8 : contrôleur
Bit 9 : démarrage impossible
Bit 10 : temps de démarrage
Bit 11 : temps de freinage
Bit 12 : palier
Bit 13 : capteur palier
Bit 14 : température excessive
chauffage
Bit 15 : capteur chauffage
Bit 16 : dispositif de chauffage
Bit 17 : vanne
Bit 18 : autres
Bit 19-31 : réservé
F383
01
Détails erreur appareil
actif (1)
UDINT
RW P
Voir F381.01
F390
–
Exceptions verrouillées
USINT
RW P
Voir F380
F391
01
Détails avertissement
appareil verrouillé (1)
UDINT
RW P
Voir F381.01
F393
01
Détails erreur appareil
verrouillé (1)
UDINT
RW P
Voir F381.01
F6F0
01
Horodatage local verrouillage entrée (1)
UDINT
RO
F9F5
01
Identifiant sortie (1)
USINT
RW P
F9F6
–
Temps depuis mise en
marche
UDINT
RW P
d
F9F7
–
Temps total sous puissance
UDINT
RW P
d
Tab. 12:
Données d’entrée (TM 700 EC --> commande)
Données de sortie (commande -> TM 700 EC)
Idx8)
sIdx
3005
6)
22/60
Nom
Type
Accès9)
Description
Fonctionnement composant sortie
01
Chauf. activer
BOOL
RW P
Activer le chauffage (0 : non, 1 :
oui)
11
Vnt. activer
BOOL
RW P
Activer la ventilation (0 : non, 1 :
oui)
Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal
7)
RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process
8)
Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal
9)
RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process
Installation
Idx8)
sIdx
Nom
Type
Accès9)
Description
21
Gaz pr. activer
BOOL
RW P
Activer le gaz de pressurisation (0 :
non, 1 : oui)
31
Frein activer
BOOL
RW P
51
Prs. activer
USINT
RW P
Activer capteur HT :
● 0 = arrêt
● 1 = marche
● 2 = marche, avec point de
commutation de vitesse de rotation atteint
● 3 = marche, avec point de
commutation de pression non
atteint
7000
Commande turbo
01
Marche arrêt turbo
BOOL
RW P
Poste de pompage (0 : arrêt, 1 :
marche)
02
Alarme réinitialisation
turbo
BOOL
RW P
0-->1 : Confirmation des erreurs
03
Vitesse basse turbo
BOOL
RW P
Standby (0 : arrêt, 1 : marche)
04
Arrêt moteur
BOOL
RW P
Moteur (0 : marche, 1 : arrêt)
Uniquement si la pompe est à l’arrêt et stationnaire {74h, 65h, 73h,
65h, 72h, ... 0x00}: réinitialisation
standard
... 0x66}: réinitialisation usine
FBF0
Commande réinitialisation appareil
01
commande
OCTET( )
RW
02
état
USINT
RO
03
réponse
OCTET( )
RO
FBF1
Commande réinitialisation exception
01
commande
OCTET( )
RW
02
état
USINT
RO
03
réponse
OCTET( )
RO
FBF2
{74h, 65h, 73h, 65h, 72h}
Enregistrer les paramètres de commande
01
commande
OCTET( )
RW
02
état
USINT
RO
03
réponse
OCTET( )
RO
OCTET( )
RW
FBF3
Calculer somme de contrôle commande
01
commande
RH: 81 00 00 00
WH: 01 00 00 00
Tab. 13:
02
état
USINT
RO
03
réponse
OCTET( )
RO
Données de sortie (commande -> TM 700 EC)
8)
Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal
9)
RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process
23/60
Installation
Données de configuration (commande -> TM 700 EC)
Idx10)
sIdx
4001
Type
Accès11)
Description
Cfg fonctionnement
pompe
21
Intf. Configuration
USINT
RW
0 = relais standard
1: inversé
84
Vitesse nominale
UDINT
RW
min-1
85
Gaz de processus
USINT
RW P
0 : gaz lourds
1 : gaz légers
2 : hélium
86
Cfg prêt pour le processus
USINT
RW P
0 : Point de commutation 1
1 : Point de commutation 1 et 2
87
Point de commutation
1 vitesse
USINT
RW P
% de la vitesse nominale
88
Point de commutation
2 vitesse
USINT
RW P
% de la vitesse nominale
89
Activer le minuteur de
temps d'accélération
BOOL
RW P
8A
Temps d'accélération
USINT
RW P
min
USINT
RW P
%
4002
Cfg puissance / température pompe
11
4005
24/60
Nom
Puissance max.
Cfg fonctionnement
composant
11
Vnt. Configuration
USINT
RW P
0 : ventilation retardée
1 : pas de ventilation
2 : ventilation directe
12
Vnt. Vitesse de démarrage
USINT
RW P
% de la vitesse nominale
13
Vnt. Temps d’arrêt
UINT
RW P
s
41
Bkp. Configuration
USINT
RW P
0 : Fonctionnement continu
1 : mode par intermittence
2 : mise en marche retardée
42
Bkp. Puissance de démarrage
UINT
RW P
W
43
Bkp. Puissance d’arrêt
UINT
RW P
W
55
Prs1. Facteur de correction
REAL
RW P
57
Prs1. Point de commutation
REAL
RW P
65
Prs2. Facteur de correction
REAL
RW P
67
Prs2. Point de commutation
REAL
RW P
hPa
hPa
10)
Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal
11)
RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process
Installation
Idx10)
sIdx
Nom
Type
Accès11)
Description
81
ACC A1 configuration
USINT
RW
0 : Ventilateur (mode continu)
1 : Vanne de ventilation
2 : Chauffage
3 : Pompe à vide primaire
4 : Ventilateur (à contrôle de température)
5 : Gaz de pressurisation
6 : toujours « 0 »
7 : toujours « 1 »
8 : Panne de courant unité de ventilation
9 : chauffage TMS
10 : refroidissement TMS
12 : deuxième vanne de ventilation
13 : Unité de surveillance du gaz de
pressurisation
14 : chauffage (partie inférieure thermorégulée)
91
ACC B1 configuration
USINT
RW
Voir 4005.81
A1
ACC A2 configuration
USINT
RW
Voir 4005.81
B1
ACC B2 configuration
USINT
RW
Voir 4005.81
4009
Cfg fonctionnement interface
01
DI1 Configuration
USINT
RW
0 : Désactivé
1 : Activer la ventilation
2 : Chauffage
3 : Gaz de pressurisation
4 : Surveillance de temps d'accélération
5 : Mode de réglage de la vitesse de rotation
7 : activer capteur HT
11
DI2 Configuration
USINT
RW
Voir 4009.01
21
DI3 Configuration
USINT
RW
Voir 4009.01
10)
Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal
11)
RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process
25/60
Installation
Idx10)
sIdx
Nom
Type
Accès11)
Description
41
DO1 Configuration
USINT
RW
0 : Point de commutation de la vitesse
de rotation atteint
1 : pas d’erreur
2 : Erreur
3 : Avertissement
4 : Erreur et/ou avertissement
5 : Régime nominal atteint
6 : Pompe en marche
7 : Accélération pompe
8 : Décélération pompe
9 : toujours « 0 »
10 : toujours « 1 »
11 : Priorité à distance active
12 : Chauffage
13 : Pompe à vide primaire
14 : Gaz de pressurisation
15 : Groupe de pompage
16 : Rotation pompe
17 : La pompe s’est arrêtée
19 : Point de commutation de pression
1 non atteint
20 : Point de commutation de pression
2 non atteint
21 : Vanne à vide primaire, retardée
22 : Pompe à vide primaire stand-by
51
DO2 Configuration
USINT
RW
Voir 4009.41
81
AI1 Configuration
USINT
RW
0 : à l’arrêt
1 : Par défaut dans le mode de contrôle
de la vitesse
A1
AO1 Configuration
USINT
RW
0 : Vitesse actuelle
1 : Puissance
2 : Courant
3 : toujours 0 V
4 : toujours 10 V
5 : suit AI1
6 : Valeur de pression 1
7 : Valeur de pression 2
8 : Commande vide primaire
C1
Relais1 Configuration
USINT
RW
Voir 4009.41
D1
Relais2 Configuration
USINT
RW
Voir 4009.41
E1
Relais3 Configuration
USINT
RW
Voir 4009.41
8001
26/60
Réglage des paramètres turbo
01
État sécurisé turbo
UINT
RW P
Pour INIT, PREOP, SAFEOP et interruption de communication
0 : Maintien état
1 : 7000.01-04-> 0 (pompe à l’arrêt)
2: vers le fonctionnement normal
02
Valeur de consigne vitesse basse
UINT
RW P
0,1 % de la vitesse nominale
03
Valeur de consigne vitesse normale
UINT
RW P
0,1 % de la vitesse nominale
10)
Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal
11)
RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process
Installation
Idx10)
sIdx
Nom
Type
Accès11)
Description
F3A1
01
Masque d’avertissement de l’appareil (1)
UDINT
RW P
Format, voir F381.01, événements placés dans F381.01 si le bit 1 y est réglé
en conséquence
F3A3
01
Masque d’erreur de
l’appareil (1)
UDINT
RW P
Format, voir F381.01, événements placés dans F383.01 si le bit 1 y est réglé
en conséquence
Tab. 14:
Données de configuration (commande -> TM 700 EC)
10)
Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal
11)
RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process
27/60
Interfaces
5 Interfaces
5.1
Interface RS-485
L’interface avec la désignation « RS-485 » est destinée au raccordement d’un appareil de commande
Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la
tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique. Les connexions électriques sont
découplées visuellement en interne.
Désignation
Valeur
Interface série
RS-485
Vitesse de transmission en baud
9 600 Baud
Longueur de mot
8 bit
Parité
aucune (pas de parité)
Bits de départ
1
Bits d’arrêt
1
Tab. 15:
1
5
4
Caractéristiques de l’interface RS-485
2
3
Tab. 16:
5.1.1
Broche
Affectation
1
RS-485 D+
2
Sortie +24 V, ≤ 210 mA capacité de charge
3
GND
4
RS-485 D-
5
non connectée
Agencement de la terminaison de la borne de connexion M12 RS-485
Options de connexion
1
5
2
3
4
Fig. 5:
Options de connexion via l’interface RS-485
1 Convertisseur USB/RS-485
2 PC
3 Unité de commande électronique
28/60
4
5
Appareil de commande avec unité de courant
Connexion de l’interface RS-485
Interfaces
Raccordement des appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC
Un appareil de commande externe peut être raccordé à l’interface RS-485.
1. Utilisez le câble de raccordement correspondant fourni avec l'appareil de commande ou issu du
programme d’accessoires.
2. Utilisez l’option pour connecter un PC via le transformateur USB/RS-485.
5.1.2
Interconnexion via le raccordement RS-485
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
5
6
1
4
2
TC/TM
TC/TM
USB/RS-485-converter
D+
D-
USB
PC
RS 485
3
Fig. 6:
Interconnexion de pompes turbomoléculaires avec l’unité de commande électronique
intégrée via l’interface RS-485
1 Transformateur USB/RS-485
2 PC
3 Câble d’interface M12 - RJ 45
4
5
6
Unité de commande électronique
Connecteur Y
Câble d'interface M12-M12
Connexion des appareils périphériques
L’adresse groupée de l’unité d’entraînement électronique est 964.
1. Installer les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485.
2. Veiller à ce que tous les appareils connectés au bus disposent d’une adresse RS-485 différente
[P:797].
3. Connecter tous les appareils au bus avec RS-485 D+ et RS-485 D-.
5.2
Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
5.2.1
Cadre télégramme
Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vaccum contient uniquement des caractères ASCII [32;
127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un host
(par ex. un
29/60
Interfaces
PC) envoie un télégramme, auquel un device
va répondre.
a2
a1
5.2.2
a0
*
0
n2
n1
n0
l1
(par ex. unité de commande électronique ou jauge)
l0
dn
...
c2
c1
c0
CR
a2 – a0
Adresse de l’unité pour device
● Adresse individuelle de l’unité ["001";"255"]
● Adresse groupée « 9xx » pour toutes les unités identiques (pas de réponse)
● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse)
*
Action selon la description du télégramme
n2 – n0
Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum
I1 – I0
Longueur de données dn à d0
dn – d0
Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Types de données », page 31).
c2 – c0
Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) module 256
CR
Retour à la ligne (ASCII 13)
Description du télégramme
Interrogation des données
-->
?
a2
n2
n1
a1
a0
0
0
Instruction de réglage
a2
a1
a0
1
-->
!
n2
n1
0
n0
0
2
l1
l0
dn
n0
Réponse des données / instruction de réglage comprise
a2
a1
a0
1
0
Message d’erreur
a2
d0
a1
a0
1
0
n2
NO_DEF
_RANGE
_LOGIC
5.2.3
=
?
...
c2
c1
c0
cR
d0
c2
c1
c0
cR
c2
c1
c0
cR
c1
c0
cR
-->
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
0
6
N
O
_
D
E
F
_
R
A
N
G
E
_
L
O
G
I
C
-->
n1
n0
c2
Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus
Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée
Erreur d'accès logique
Télégramme exemple 1
Demande de données
Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 »)
-->
?
ASCII
1
2
3
0
0
3
0
9
0
2
=
?
1
1
2
cR
49
50
51
48
48
51
48
57
48
50
61
63
49
49
50
13
Réponse des données : 633 Hz
Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 »)
-->
1
2
3
1
0
3
0
9
0
6
0
0
0
6
3
3
0
3
7
cR
ASCII
49
50
51
49
48
51
48
57
48
54
48
48
48
54
51
51
48
51
55
13
5.2.4
Télégramme exemple 2
Commande de contrôle
Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 »
30/60
Interfaces
-->
!
ASCII
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
cR
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
Commande de contrôle comprise
Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 »
-->
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
cR
ASCII
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
5.2.5
Types de données
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
0
boolean_old
Valeur logique (faux / vrai)
06
000000 est équivalent à faux
111111 est équivalent à vrai
1
u_integer
Nombre entier positif
06
000000 à 999999
2
u_real
Nombre à point fixe positif
06
001571 correspond à 15.71
4
string
Chaîne de 6 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
06
TC_110, TM_700
6
boolean_new
Valeur logique (faux / vrai)
01
0 est équivalent à faux
1 est équivalent à vrai
7
u_short_int
Nombre entier positif
03
000 à 999
10
u_expo_new
Nombre exponentiel positif. Les
deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de
20.
06
100023 est équivalent à
1,0 · 103
100000 est équivalent à
1,0 · 10-20
11
string16
Chaîne de 16 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
16
BrezelBier&Wurst
12
string8
Chaîne de 8 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
08
Exemple
31/60
Ensemble de paramètres
6 Ensemble de paramètres
6.1
Généralités
Des réglages et des caractéristiques propres aux fonctions importantes sont programmés en usine
sous forme de paramètres dans l’unité d’entraînement électronique. Chaque paramètre a un nombre à
trois chiffres et une description. Le paramètre est accessible via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou de manière externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum.
La pompe à vide démarre dans le mode standard avec les paramètres réglés par défaut en usine.
Sauvegarde de données non volatiles
Lors de la mise à l’arrêt ou en cas de chute de tension involontaire, les paramètres et les
heures de service sont sauvegardés dans le système électronique.
#
Nombre à trois chiffres du paramètre
Indicateur
Affichage de la description des paramètres
Description
Brève description des paramètres
Fonctions
Description de la fonction des paramètres
Type de donnée
Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum
Type d’accès
R (lecture) : accès en lecture ; W (écriture) : accès en écriture
Unité
Unité physique de la variable décrite
min./max.
Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur
par défaut
Pré-réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la pompe)
Le paramètre peut être sauvegardé de manière permanente sur l’unité de commande électronique
Tab. 17:
Explication et signification des paramètres
6.2
Instructions de commande
#
Affichage
Description
Fonctions
Type
de
données
Type
d’accès
001
Chauffage
Chauffage
0 = arrêt
1 = marche
0
002
stand-by
stand-by
0 = arrêt
1 = marche
004
RUTimeCtrl
Surveillance
temps de démarrage
009
ErrorAckn
010
min.
max.
par
défaut
RW
0
1
0
0
RW
0
1
0
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
1
Acquittement
d’un dysfonctionnement
1 = validation anomalie
0
W
1
1
PumpgStatn
Groupe de
pompage
0 = arrêt
1 = marche et validation anomalie
0
RW
0
1
0
012
EnableVent
Activer les
ventilations
0 = non
1 = oui
0
RW
0
1
0
013
Frein
Frein
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
1
32/60
Unité
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
Fonctions
Type
de
données
Type
d’accès
017
CfgSpdSwPt
Configuration
du point de
commutation
de la vitesse
de rotation
0 = Point de commutation de
la vitesse de rotation 1
1 = Points de commutation de
la vitesse de rotation 1 et 2
7
019
Cfg DO2
Configuration
sortie DO2
0 = Point de commutation de
la vitesse de rotation atteint
1 = pas d’erreur
2 = erreur
3 = avertissement
4 = erreur et/ou avertissement
5 = régime nominal atteint
6 = pompe en marche
7 = accélération pompe
8 = décélération pompe
9 = Toujours « 0 »
10 = Toujours « 1 »
11 = priorité à distance active
12 = dispositif de chauffage
13 = pompe de secours
14 = purge de gaz neutre
15 = poste de pompage
16 = rotation pompe
17 = la pompe s’est arrêtée
19 = point de commutation de
pression 1 non atteint
20 = point de commutation de
pression 2 non atteint
21 = Vanne à vide primaire,
retardée
22 = pompe à vide primaire
stand-by
023
MotorPump
Moteur de
pompe
024
Cfg DO1
025
Unité
min.
max.
par
défaut
RW
0
1
0
7
RW
0
22
1
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
1
Configuration
sortie DO1
Fonctions, voir [P:019]
7
RW
0
22
0
OpMode BKP
Mode de fonctionnement de
la pompe de
secours
0 = mode continu
1 = mode par intermittence
2 = mise en marche retardée
7
RW
0
2
0
026
SpdSetMode
Fonctionnement de l’actionneur de vitesse
0 = arrêt
1 = marche
7
RW
0
1
0
027
GasMode
Mode du gaz
0 = gaz lourds
1 = gaz légers
2 = hélium
7
RW
0
2
0
028
Cfg Remote
Configuration
à distance
0 = par défaut
4 = relais, inversé
7
RW
0
4
0
030
VentMode
Mode de ventilation
0 = ventilation temporisée
1 = ne pas ventiler
2 = ventilation directe
7
RW
0
2
2
33/60
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
Fonctions
Type
de
données
Type
d’accès
035
Cfg Acc A1
Configuration
de la connexion des accessoires A1
0 = ventilateur (fonctionnement continu)
1 = vanne de ventilation, fermée sans courant
2 = dispositif de chauffage
3 = pompe de secours
4 = ventilateur (à contrôle de
température)
5 = purge de gaz neutre
6 = Toujours « 0 »
7 = Toujours « 1 »
8 = vanne de remise à l'air en
cas de panne de courant
9 = dispositif de chauffage
TMS
10 = refroidissement TMS
12 = vanne de ventilation secondaire
13 = surveillance de la purge
de gaz neutre
14 = chauffage (partie inférieure à contrôle de température)
7
036
Cfg Acc B1
Configuration
de la connexion des accessoires B1
Fonctions, voir [P:035]
037
Cfg Acc A2
Configuration
de la connexion des accessoires A2
038
Cfg Acc B2
041
min.
max.
par
défaut
RW
0
14
0
7
RW
0
14
1
Fonctions, voir [P:035]
7
RW
0
14
3
Configuration
de la connexion des accessoires B2
Fonctions, voir [P:035]
7
RW
0
14
2
Press1HVen
Capteur HT libérée intégré
(IKT uniquement)
0 = arrêt
1 = marche
2 = marche, avec point de
commutation de vitesse de rotation atteint
3 = marche, avec point de
commutation de pression non
atteint
7
RW
0
3
2
045
Cfg Rel R1
Configuration,
relais 1
Fonctions, voir [P:019]
7
RW
0
22
0
046
Cfg Rel R2
Configuration,
relais 2
Fonctions, voir [P:019]
7
RW
0
22
1
047
Cfg Rel R3
Configuration,
relais 3
Fonctions, voir [P:019]
7
RW
0
22
3
050
SealingGas
Gaz de pressurisation
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
34/60
Unité
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
Fonctions
Type
de
données
Type
d’accès
055
Cfg AO1
Configuration
sortie AO1
0 = vitesse actuelle
1 = sortie
2 = courant
3 = toujours 0 V
4 = toujours 10 V
5 = suit AI1
6 = valeur de pression 1
7 = valeur de pression 2
8 = contrôle vide préliminaire
7
057
Cfg AI1
Configuration
entrée AI1
0 = à l’arrêt
1 = consigne dans le mode de
contrôle de vitesse
060
CtrlViaInt
Fonctionnement de l’interface
061
IntSelLckd
062
min.
max.
par
défaut
RW
0
8
0
7
RW
0
1
1
1 = à distance
2 = RS-485
4 = PV.can
8 = bus de terrain
16 = E74
255 = Déverrouiller la sélection de l’interface
7
RW
1
255
2
Sélection de
l’interface verrouillée
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
Cfg DI1
Configuration
entrée DI1
Réglage ≠ [P:063/064]
0 = désactivé
1 = activer les évents
2 = dispositif de chauffage
3 = purge de gaz neutre
4 = surveillance de temps
d'accélération
5 = mode vitesse de rotation
7 = activer capteur HT
7
RW
0
7
1
063
Cfg DI2
Configuration
entrée DI2
Fonctions, voir [P:062]
Réglage ≠ [P:062/064]
7
RW
0
7
2
064
Cfg DI3
Configuration
entrée DI3
Fonctions, voir [P:062]
Réglage ≠ [P:062/063]
7
RW
0
7
3
min.
max.
Tab. 18:
Unité
Instructions de commande
6.3
Demandes d’état
#
Affichage
Description
Fonctions
Type
de
données
Type
d’accès
300
RemotePrio
Priorité à distance
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
302
SpdSwPtAtt
Point de commutation vitesse de rotation atteint
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
303
Code d’erreur
Code d’erreur
4
R
304
OvTempElec
Température excessive électronique d’entraînement
0
R
0
1
0 = non
1 = oui
Unité
par
défaut
35/60
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
Fonctions
Type
de
données
Type
d’accès
305
OvTempPump
Température excessive pompe
0 = non
1 = oui
0
306
SetSpdAtt
Vitesse de rotation réglée atteinte
0 = non
1 = oui
307
PumpAccel
Accélération pompe
0 = non
1 = oui
308
SetRotSpd
309
min.
max.
R
0
1
0
R
0
1
0
R
0
1
Vitesse de rotation de consigne (Hz)
1
R
Hz
0
999999
ActualSpd
Vitesse actuelle de rotation
(Hz)
1
R
Hz
0
999999
310
DrvCurrent
Courant d’alimentation
2
R
A
0
9999,99
311
OpHrsPump
Heures de fonctionnement
de la pompe
1
R
h
0
65535
312
Fw version
Version logiciel électronique
d’entraînement
4
R
313
DrvVoltage
Tension entraînement
2
R
V
0
9999,99
314
OpHrsElec
Heures de service électronique d’entraînement
1
R
h
0
65535
315
Nominal Spd
Vitesse de rotation nominale
(Hz)
1
R
Hz
0
999999
316
DrvPower
Puissance d'entraînement
1
R
W
0
999999
319
PumpCycles
Cycles de pompe
1
R
0
65535
324
TempPwrStg
Température étage final
1
R
°C
0
999999
326
TempElec
Température électronique
1
R
°C
0
999999
329
BearngWear
Niveau d’usure palier de sécurité
2
R
%
0
150
330
TempPmpBot
Température partie inférieure
pompe
1
R
°C
0
999999
336
AccelDecel
Accélération / décélération
1
R
tr/min/
s
0
999999
337
SealGasFlw
Débit purge de gaz neutre
1
R
sccm
0
999999
342
TempBearng
Température des paliers
1
R
°C
0
999999
346
TempMotor
Température du moteur
1
R
°C
0
999999
349
ElecName
Désignation de l’unité de
commande électronique
4
R
354
HW Version
Version du matériel de l’électronique d’entraînement
4
R
358
RotorImbal
Déséquilibre du rotor
1
R
%
0
150
360
ErrHist1
Historique des codes d’erreur, point 1
4
R
x
361
ErrHist2
Historique des codes d’erreur, point 2
4
R
x
362
ErrHist3
Historique des codes d’erreur, point 3
4
R
x
363
ErrHist4
Historique des codes d’erreur, point 4
4
R
x
364
ErrHist5
Historique des codes d’erreur, point 5
4
R
x
365
ErrHist6
Historique des codes d’erreur, point 6
4
R
x
366
ErrHist7
Historique des codes d’erreur, point 7
4
R
x
367
ErrHist8
Historique des codes d’erreur, point 8
4
R
x
36/60
Unité
par
défaut
x
x
x
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
368
ErrHist9
369
Type
de
données
Type
d’accès
Historique des codes d’erreur, point 9
4
R
x
ErrHist10
Historique des codes d’erreur, point 10
4
R
x
397
SetRotSpd
Vitesse de rotation de consigne (tr/min)
1
R
tr/min
0
999999
398
ActualSpd
Vitesse réelle (tr/min)
1
R
tr/min
0
999999
399
NominalSpd
Vitesse de rotation nominale
(tr/min)
1
R
tr/min
0
999999
Type
de
données
Type
d’accès
Unité
min.
max.
Par défaut
Tab. 19:
Fonctions
Unité
min.
max.
par
défaut
Demandes d’état
6.4
Réglages des valeurs de consigne
#
Affichage
Description
700
RUTimeSVal
Définir la valeur du temps de démarrage
1
RW
min
1
120
8
701
SpdSwPt1
Point de commutation 1 vitesse
de rotation
1
RW
%
50
97
80
707
SpdSVal
Régler la valeur en mode de réglage de la vitesse de rotation
2
RW
%
20
100
65
708
PwrSVal
Valeur de consigne de la consommation électrique
7
RW
%
10
100
10012)
710
Swoff BKP
Seuil d’arrêt de la pompe à vide
primaire pour le fonctionnement
par intermittence
1
RW
W
0
1000
0
711
SwOn BKP
Seuil d’activation de la pompe à
vide primaire pour le fonctionnement par intermittence
1
RW
W
0
1000
0
717
StdbySVal
Régler la valeur de la vitesse de
rotation en standby
2
RW
%
20
100
66,7
719
SpdSwPt2
Point de commutation 2 vitesse
de rotation
1
RW
%
5
97
20
720
VentSpd
Vitesse de rotation de ventilation
avec une ventilation temporisée
7
RW
%
40
98
50
721
VentTime
Durée de ventilation pour une
ventilation temporisée
1
RW
d
6
3600
3600
730
PrsSwPt 1
Point de commutation de pression 1
10
RW
hPa
732
PrsSwPt 2
Point de commutation de pression 2
10
RW
hPa
739
PrsSn1Name
Nom du capteur 1
4
R
740
Pression 1
Valeur de pression 1
10
RW
742
PrsCorrPi 1
Facteur de correction 1
2
RW
749
PrsSn2Name
Nom du capteur 2
4
R
750
Pression 2
Valeur de pression 2
10
RW
752
PrsCorrPi 2
Facteur de correction 2
2
RW
12)
Fonctions
hPa
hPa
Dépend du type de pompe
37/60
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
777
NomSpdConf
791
797
Type
de
données
Type
d’accès
Unité
min.
max.
Par défaut
Confirmation de vitesse de rotation nominale
1
RW
Hz
0
1500
0
SlgWrnThrs
Seuil d’avertissement du débit
de gaz de pressurisation
1
RW
sccm
5
200
15
RS485Adr
Adresse interface RS-485
1
RW
1
255
1
Tab. 20:
6.5
Fonctions
Réglages des valeurs de consigne
Paramètres additionnels dans l'appareil de commande
Paramètres additionnels dans l'appareil de commande
L’ensemble de paramètres de base est défini, départ usine, dans l’unité de commande
électronique. Des paramètres additionnels (ensemble de paramètres étendus) sont disponibles dans les unités de commande Pfeiffer Vacuum correspondantes pour la régulation
de composants externes raccordés (comme un équipement de mesure du vide).
● Se reporter aux consignes d’utilisation correspondantes des différents composants.
● Sélectionner l’ensemble de paramètres avancés avec le paramètre [P:794] = 1.
#
Indicateur
Description
340
Pression
350
Type
de donnée
Type
d’accès
Unité
min.
max.
Valeur de pression actuelle (ActiveLine)
7
R
hPa
1·10 -10
1·10 3
Nom ctr
Type d'appareil de
commande
4
R
351
Logiciel ctr
Version du logiciel de
l'appareil de commande
4
R
738
Type de jauge
Type de manomètre
4
RW
794
Ensemble
param
Ensemble de paramètres
7
RW
0
1
795
Servicelin
Insérer ligne de service
7
RW
Tab. 21:
38/60
Fonctions
0 = ensemble
de paramètres de base
1 = ensemble
de paramètres avancés
Paramètres des fonctions de l'appareil de commande
par
défaut
0
795
Utilisation
7 Utilisation
7.1 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer
Vacuum
L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et
prête à l’emploi. Pour des impératifs particuliers, il est possible de configurer la plupart des connexions
pour l’unité de commande électronique avec l’ensemble de paramètres.
7.1.1
Configuration des connexions des accessoires
Option
Description
0 = ventilateur
Commande via les paramètres du poste de pompage
1 = vanne de ventilation, fermée sans courant
Commande via le paramètre Activer ventilation. Lors de l’utilisation
d'une vanne de ventilation, fermée sans courant
2 = dispositif de chauffage
Commande via les paramètres Points de commutation de chauffage et de vitesse atteints
3 = pompe de secours
Commande via le paramètre Poste de pompage et le mode de
fonctionnement de la pompe de secours
4 = ventilateur (à contrôle de
température)
Commande via le paramètre Poste de pompage et la valeur seuil
de température
5 = gaz de pressurisation
Commande via le paramètre Poste de pompage et le gaz de pressurisation
6 = toujours « 0 »
GND pour la commande d’un appareil externe
7 = toujours « 1 »
+24 V CC pour la commande d'un appareil externe
8 = panne de courant unité de
ventilation
Commande via le paramètre Activer ventilation. Lors d’une panne
de courant de l’unité de ventilation
9 = dispositif de chauffage
TMS13)
Commande via le boîtier de commutation TMS
10 = refroidissement TMS14)
Commande de l’alimentation en eau de refroidissement TMS
12 = vanne de ventilation secondaire
Commande via le paramètre Activer ventilation et chute au-dessous de 50% de la vitesse de rotation nominale. Lors de l’utilisation d'une vanne de ventilation, fermée sans courant.
13 = surveillance du gaz de
pressurisation
Commande via le paramètre Poste de pompage et le gaz de pressurisation
Tab. 22:
Connexions des accessoires
Procédure
► Procéder à la configuration des connexions via les paramètres [P:035], [P:036], [P:037] ou
[P:038].
7.1.2
Sélection des interfaces
L’option « Commande via interface » sert à l’affichage de l’interface actuellement active dans l’unité de
commande électronique. Les interfaces de communication obtiennent ainsi automatiquement la priorité
de commande.
Option
Description
1 = à distance
Fonctionnement via connexion « à distance »
2 = RS-485
Fonctionnement via la connexion « RS-485 »
4 = PV.can
À des fins de maintenance uniquement
13)
Uniquement lors de l’utilisation de pompes avec système de gestion de la température (TMS)
14)
Uniquement lors de l’utilisation de pompes avec système de gestion de la température (TMS)
39/60
Utilisation
Option
Description
8 = bus de terrain
Fonctionnement via bus de terrain
16 = E74
Fonctionnement via la connexion « E74 »
Tab. 23:
Paramètre [P:060]
Option
Description
0 = arrêt
La sélection de l’interface peut être définie avec [P:060].
1 = marche
Sélection de l’interface verrouillée
Tab. 24:
Paramètre [P:061]
7.2
Modes de fonctionnement
7.2.1
Fonctionnement selon le type de gaz
AVIS
Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées
Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo.
► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique.
► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (>
80).
Un débit de gaz et une vitesse de rotation élevés entraînent un important échauffement du rotor par
friction. Afin d’éviter toute surchauffe, des caractéristiques de vitesse de rotation et de puissance sont
implémentées dans l’unité de commande électronique. La caractéristique de puissance permet le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à toute vitesse de rotation avec le débit de gaz maximal autorisé sans surcharge thermique de la pompe turbomoléculaire. La consommation électrique maximale
dépend du type de gaz. 3 caractéristiques sont disponibles pour le paramétrage afin d’exploiter complètement la capacité de la pompe turbomoléculaire pour chaque type de gaz.
P
Pmax
[P:708]
D
B
F
E
A
C
fN
Fig. 7:
Représentation schématisée des caractéristiques de puissance, exemple de gaz
lourds [P:027] = 0
P
Consommation de courant
C-D
f
Vitesse de rotation
A-B
Pmax Consommation électrique
maximale
fN
Vitesse de rotation nominale
40/60
f
E-F
Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 0 »
(gaz de classe moléculaire > 39, par ex. argon)
Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 1 »
(gaz de classe moléculaire ≤ 39)
Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 2 »
(hélium)
Utilisation
Réglage du mode gaz
1. Contrôlez le mode gaz actuellement réglé avec le paramètre [P:027].
2. Réglez le paramètre [P:027] à la valeur requise.
3. Si nécessaire, réglez sur une fréquence plus basse dans le mode de réglage de la vitesse de rotation afin d’éviter les variations de vitesse de rotation.
La pompe turbomoléculaire fonctionne avec la consommation de courant maximale. Lorsque le régime
nominal et/ou réglé est atteint, l’unité de commande électronique bascule automatiquement sur la caractéristique de puissance choisie du mode gaz sélectionné. L’augmentation de la consommation de
courant compense initialement une augmentation du débit de gaz pour maintenir constante la vitesse
de rotation de la pompe turbomoléculaire. La pompe turbomoléculaire s’échauffe davantage en raison
de la friction croissante des gaz. Lorsque la puissance maximale dépendant du type de gaz est dépassée, la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire est réduite par l’unité de commande électronique jusqu’à ce qu’un équilibre admissible entre la puissance et la friction du gaz soit atteint.
7.2.2
Valeur de réglage de la puissance absorbée
Régler le paramètre [P:708]
Lorsque la consommation électrique spécifiée est inférieure à 100%, le temps de démarrage est augmenté.
1. Régler le paramètre [P:708] à la valeur requise en %.
2. Si nécessaire, ajuster le paramètre [P:700] RUTimeSVal afin d’éviter les messages d’erreur lors
du démarrage.
7.2.3
Temps d’accélération
Le temps d’accélération de la pompe turbomoléculaire est surveillé en usine. Différentes causes peuvent prolonger les temps de démarrage, par exemple :
● Débit de gaz excessif
● Fuite dans le système
● Point de consigne du temps de démarrage trop bas
Régler le paramètre [P:700]
1. Si possible, éliminer toute cause externe et associée à l’application.
2. Ajuster le temps de démarrage avec le paramètre [P:700].
7.2.4
Points de commutation de vitesse de rotation
Vous pouvez utiliser le point de commutation de vitesse de rotation pour le message « pompe turbomoléculaire opérationnelle pour le processus ». Lorsque le point de commutation de vitesse de rotation est
dépassé ou n'est pas atteint, cela active ou désactive un signal au niveau de la sortie pré-configurée
sur l’unité d’entraînement électronique et au niveau du paramètre d'état [P:302].
Point de commutation 1 vitesse de rotation
[P:017] = 0
f(%)
[P:701]
t
[P:010]
[P:302]
Fig. 8:
1
0
t
1
0
Process
t
Point de commutation de vitesse de rotation 1 actif
41/60
Utilisation
Réglage du point de commutation de vitesse de rotation 1
La sortie du signal et les paramètres d'état sont basés sur la valeur réglée pour le point de commutation
de vitesse de rotation 1 [P:701].
1. Régler le paramètre [P:701] à la valeur requise en %.
2. Régler le paramètre [P:017] sur « 0 ».
Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2
[P:017] = 1
f(%)
[P:701]
[P:719]
t
[P:010]
[P:302]
1
0
t
1
0
Fig. 9:
Process
t
Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] > [P:719]
[P:017] = 1
f(%)
[P:719]
[P:701]
t
[P:010]
[P:302]
Fig. 10:
1
0
t
1
0
Process
t
Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] < [P:719]
Réglage des points de commutation de la vitesse de rotation 1 & 2
1. Régler le paramètre [P:701] à la valeur requise en %.
2. Régler le paramètre [P:719] à la valeur requise en %.
3. Régler le paramètre [P:017] sur « 1 ».
Lorsque le poste de pompage [P:010] est mis en marche, le point de commutation de vitesse de rotation 1 est le générateur du signal. Lorsque le poste de pompage est mis à l’arrêt, la sortie du signal et la
demande du statut s’orientent vers le point de commutation de vitesse de rotation 2. La sortie du signal
est soumise à l’hystérèse entre les deux points de commutation.
7.2.5
Mode de réglage de la vitesse de rotation
Le mode de réglage de la vitesse de rotation réduit la vitesse et par conséquent la vitesse de pompage
de la pompe turbomoléculaire. La vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire varie proportionnellement à sa vitesse de rotation. Le mode standby est inactif pendant le mode de réglage de la vitesse de rotation. La valeur définie dans le mode de réglage de la vitesse de rotation [P:707] définit la vitesse de rotation. Le point de commutation de la vitesse de rotation varie avec la vitesse de rotation
réglée. Si la valeur définie n’est pas atteinte ou est dépassée pendant le mode de réglage de la vitesse
de rotation, le signal d'état [P:306] SetSpdAtt est activé ou désactivé.
42/60
Utilisation
Vitesse de rotation variable autorisée
Les valeurs dans le mode de réglage de la vitesse de rotation ou dans le mode standby
sont soumises à la plage de vitesse de rotation autorisée de la pompe à vide correspondante (caractéristiques techniques). Une chute en-dessous des valeurs minimales autorisées entraîne un message d’avertissement Wrn100. L’unité de commande électronique
ajuste la vitesse de rotation réglée sur la prochaine valeur valide.
Régler le mode de réglage de la vitesse de rotation
1. Régler le paramètre [P:707] à la valeur requise en %.
2. Régler le paramètre [P:026] sur « 1 ».
3. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]).
7.2.6
Standby
Pfeiffer Vacuum recommande le mode standby pour la pompe turbomoléculaire lors des arrêts de processus et de production. Lorsque le mode standby est actif, l’unité d’entraînement électronique réduit la
vitesse de rotation de la turbopompe. Le mode standby est inactif pendant le mode de réglage de la
vitesse de rotation. Le réglage en usine pour le mode standby est 66,7 % de la vitesse de rotation nominale. Si la valeur définie n’est pas atteinte ou est dépassée pendant le mode standby, le signal d'état
[P:306] SetSpdAtt est respectivement activé et désactivé.
Vitesse de rotation variable autorisée
Les valeurs dans le mode de réglage de la vitesse de rotation ou dans le mode standby
sont soumises à la plage de vitesse de rotation autorisée de la pompe à vide correspondante (caractéristiques techniques). Une chute en-dessous des valeurs minimales autorisées entraîne un message d’avertissement Wrn100. L’unité de commande électronique
ajuste la vitesse de rotation réglée sur la prochaine valeur valide.
Réglage des paramètres associés
1. Régler le paramètre [P:717] à la valeur requise en %.
2. Régler le paramètre [P:026] sur « 0 ».
3. Régler le paramètre [P:002] sur « 1 ».
4. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]).
7.2.7
Confirmation de la spécification de vitesse
La vitesse de rotation nominale typique d’une pompe turbomoléculaire est préréglée en usine dans
l’unité de commande électronique. Si l’unité de commande électronique est remplacée ou si un autre
type de pompe est utilisé, la présélection de consignes pour la vitesse de rotation nominale est effacée.
La confirmation manuelle de la vitesse de rotation nominale fait partie d’un système de sécurité redondant et sert de mesure de prévention contre les vitesses de rotation excessives.
HiPace
Confirmation de la vitesse de rotation nominale [P:777]
300 M
1000 Hz
400 M / 700 M / 800 M
820 Hz
Tab. 25:
Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires
Accessoires requis
● Un appareil de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum connecté.
● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de travail de l’unité de commande
électronique.
Régler le paramètre [P:777]
► Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe.
Une fois la vitesse de rotation nominale atteinte, la pompe turbomoléculaire tourne au ralenti sans débit
de gaz supplémentaire. Selon le processus ou les exigences de l’application, la vitesse de rotation nominale peut être réduite dans le mode de réglage de la vitesse de rotation ou dans le mode standby.
43/60
Utilisation
7.2.8
Modes de fonctionnement de la pompe de secours
Le fonctionnement d'une pompe de secours connectée via l’unité d’entraînement électronique dépend
du type de pompe de secours.
Mode de fonctionnement [P:025]
Pompe booster recommandée
« 0 » mode continu
Toutes les pompes à vide primaire
« 1 » mode par intermittence
Pompes à membrane uniquement
« 2 » mise en marche temporisée
Toutes les pompes à vide primaire
« 3 » mode par intermittence temporisé
Pompes à membrane uniquement
Tab. 26:
Modes de fonctionnement de la pompe de secours
Réglage du mode continu
Avec « poste de pompage marche », l’unité d’entraînement électronique envoie un signal à la connexion d’accessoire configurée pour mettre la pompe de secours en marche.
1. Régler le paramètre [P:025] sur « 0 ».
2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire.
Réglage du mode de fonctionnement par intermittence et détermination du seuil de commutation
Le mode de fonctionnement par intermittence augmente la durée de vie de la membrane d’une pompe
à membrane connectée. Soit une pompe à membrane avec relais semi-conducteur intégré, soit un boîtier de relais interconnecté avec relais semi-conducteur est requis(e) pour le mode de fonctionnement
par intermittence. L’unité de commande électronique met la pompe à vide primaire en marche ou à l’arrêt selon la consommation électrique de la pompe turbomoléculaire. Une relation avec la pression de
vide préliminaire résulte de la consommation électrique. Le mode de fonctionnement de la pompe de
secours offre des seuils de mise en marche et de mise à l’arrêt réglables. Les variations de consommation électrique des pompes turbomoléculaires au ralenti et les variations de pression de vide préliminaire des pompes à vide primaire nécessitent des réglages individuels du mode de fonctionnement par
intermittence.
Pfeiffer Vacuum recommande un fonctionnement par intermittence entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et
une vanne de dosage sont nécessaires pour régler les seuils de commutation.
1. Régler le paramètre [P:025] sur « 1 ».
2. Mettre le système de vide en marche avec le paramètre [P:010] (« poste de pompage »).
3. Attendre le démarrage.
4. Laisser le gaz circuler à travers la vanne de dosage et régler la pression de vide préliminaire sur
10 hPa.
5. Relever la puissance d’entraînement sur le paramètre [P:316] et noter la valeur.
6. Régler le seuil de mise en marche de la pompe de secours avec le paramètre [P:711] sur la puissance d’entraînement déterminée pour une pression de vide préliminaire de 10 hPa.
7. Réduire la pression du vide préliminaire à 5 hPa.
8. Relever la puissance d’entraînement sur le paramètre [P:316] et noter la valeur.
9. Régler le seuil de mise à l’arrêt de la pompe de secours avec le paramètre [P:710] sur la puissance d’entraînement déterminée pour une pression de vide préliminaire de 5 hPa.
Mise en marche temporisée
La mise en marche simultanée de la pompe de vide primaire et de la pompe turbomoléculaire peut entraîner un flux de gaz indésirable. Afin d’éviter cela, selon les exigences du processus ou de l’application, il est possible de faire fonctionner la pompe de secours avec une mise en marche temporisée. La
mise en marche temporisée dépend de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire. La mise en
marche temporisée présente une valeur fixe de 360 tr/min dans l’unité de commande électronique.
● Seuil de mise à l’arrêt, paramètre [P:710]
● Seuil de mise en marche, paramètre [P:711]
● Temporisation 8 s.
1. Régler le paramètre [P:025] sur « 2 ».
2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire.
Fonctionnement par intermittence temporisé
Des variations au cours du fonctionnement par intermittence peuvent entraîner un non-respect des
seuils de commutation, ils ne sont pas atteints ou sont dépassés. Afin d’éviter toute commutation non
44/60
Utilisation
désirée de la pompe à vide primaire, le fonctionnement par intermittence est possible en utilisant une
temporisation de la mise en marche, selon le processus ou les exigences de l’application. La temporisation dépend d’un seuil de commutation spécifié dépassé ou non atteint de manière ininterrompue.
● Seuil de mise à l’arrêt, paramètre [P:710]
● Seuil de mise en marche, paramètre [P:711]
● Temporisation 8 s.
1. Régler le paramètre [P:025] sur « 3 ».
2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire.
7.2.9
Mode standby de la pompe de secours
Lors de l’utilisation d'une pompe de secours Pfeiffer Vacuum avec commande de la vitesse de rotation,
elle peut être utilisée dans le mode standby en configurant la sortie numérique [P:019] ou [P:024]. La
consommation de courant de la pompe turbomoléculaire a une influence directe sur la vitesse de rotation de la pompe à vide primaire.
Configuration du mode de standby
1. Établir la connexion de la pompe à vide primaire à l’aide d’un câble de raccordement approprié.
2. Régler le paramètre [P:019] ou [P:024] sur « 22 » (pompe à vide primaire en mode standby).
3. Consulter la vitesse de standby correspondante dans le mode d’emploi correspondant de la pompe à vide primaire.
7.2.10
Frein électrique
Après avoir mis la pompe à l’arrêt, Pfeiffer Vacuum recommande l’utilisation de la fonction de frein électrique. Il réduit le temps de ralenti et permet le freinage contrôlé du rotor jusqu’à ce que la pompe soit
immobilisée.
Utilisation du frein électrique
► Réglez le paramètre [P:013] sur « 1 ».
7.2.11
Fonctionnement avec des accessoires
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits.
● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés sont disponibles en ligne.
● Les accessoires suivants ne sont pas inclus dans la livraison.
Configuration du chauffage
L’activation du chauffage connecté dépend du point de commutation de vitesse de rotation 1 (réglage
en usine 80% x fnominal).
► Mettre le chauffage en marche ou à l’arrêt avec le paramètre [P:001].
Configuration du ventilateur
La configuration de la connexion permet un fonctionnement continu ou la mise en marche ou à l’arrêt,
avec régulation de température, d’une unité de refroidissement d’air connectée. Les valeurs seuils sont
spécifiques au type et sont intégrées à l’unité d’entraînement électronique..
► Sélectionner le paramètre [P:035], [P:036], [P:037] ou [P:038] affecté à la sortie de l’accessoire
(voir chapitre « Configuration des connexions des accessoires », page 39).
Configuration de la vanne de purge de gaz neutre
► À l’aide du paramètre [P:050], mettre en marche ou à l’arrêt une vanne de purge de gaz neutre
connectée via la sortie pré-configurée.
Surveillance du gaz de pressurisation
1. Régler le paramètre sélectionné sur « 13 ».
2. Régler le paramètre [P:791] sur le débit de gaz de pressurisation désiré pour le seuil d'avertissement.
3. Consulter le débit de gaz de pressurisation via le paramètre [P:337].
45/60
Utilisation
7.2.12
Modes de ventilation
La fonction « poste de pompage » active le mode de ventilation de la pompe turbomoléculaire après la
mise à l’arrêt. La sortie de signal est effectuée avec une temporisation fixe.
Sélection du mode de ventilation
1. Régler le paramètre [P:012] sur « 1 ».
2. Sélectionner le mode de ventilation avec le paramètre [P:030] (3 modes possibles).
Ventilation temporisée
1. Configurer le début et la durée de ventilation après « Station de pompage désactivée » en fonction de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire.
2. Régler le paramètre [P:030] sur « 0 ».
3. Avec le paramètre [P:720], régler la vitesse de ventilation à la vitesse de rotation nominale en %.
4. Avec le paramètre [P:721], régler la vitesse de ventilation en s.
La soupape de ventilation s'ouvre pour la durée de ventilation définie. En cas de panne de courant, la
ventilation démarre lorsque la vitesse tombe sous la vitesse de ventilation de consigne. La durée de
ventilation dépend de l’énergie résiduelle fournie par le rotor en rotation. Le processus de ventilation
s’arrête lorsque la puissance est rétablie.
Pas de remise à l'air
Dans ce mode de fonctionnement, la ventilation est désactivée.
► Régler le paramètre [P:030] sur « 1 ».
Ventilation directe
La mise à l’air commence avec un retard de 6 secondes après l’arrêt du groupe de pompage. Lorsque
la fonction du groupe de pompage est réactivée, la vanne de remise à l'air se ferme automatiquement.
Après une panne de courant, la ventilation démarre après que la vitesse de rotation soit retombée audessous d’une valeur type spécifiée. Une fois la puissance rétablie, le processus de ventilation reprend.
► Réglez le paramètre [P:030] sur « 2 ».
7.2.13
Usure des paliers de sécurité
Les paliers de sécurité s’usent en fonction du niveau d’impact de l’interférence sur le rotor en marche.
Le système de capteurs sur le palier magnétique surveille en permanence l’usure actuelle des paliers
de sécurité. L’unité de commande électronique effectue la somme de l’usure et émet la valeur correspondante sous forme de pourcentage de la valeur maximale possible.
● Des messages d’avertissement appropriés correspondent à une émission de 75 % de la valeur
maximale.
● Des messages d’erreur appropriés correspondent à une émissionde 100 % de la valeur maximale.
Surveillance de l’usure des paliers de sécurité
1. Utiliser le paramètre [P:329] pour afficher le pourcentage d’usure des paliers de sécurité.
2. Mettre la pompe hors service si le stress total a atteint 100 %.
3. Contacter le service après-vente de Pfeiffer Vacuum.
7.2.14
Équilibre
Les capteurs des paliers magnétiques surveillent en permanence l’équilibre actuel du rotor. L’état de
l’équilibre est mesuré en tant que pourcentage du stress maximal possible sur le rotor et affiché sur
l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou émis sur le PC via l’interface RS-485.
● L’émission des messages d’avertissement correspondants est effectuée à partir de 75 % du déséquilibre autorisé.
● L’émission des messages d’erreur correspondants est effectuée à partir de 100 % du déséquilibré
autorisé.
Surveillance de l’équilibre
1. Le paramètre [P:358] est utilisé pour afficher l’équilibre actuel du rotor en %.
2. Mettre la pompe hors service si le déséquilibre admissible a atteint 100 %.
3. Contacter le service après-vente de Pfeiffer Vacuum.
46/60
Utilisation
7.3
Mise en marche de la pompe turbo
Le paramètre « poste de pompage » [P:010] comprend le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire avec la commande de tous les accessoires connectés (par ex. pompe à vide primaire).
Procédure
Une fois l’auto-test correctement effectué, l’unité d’entraînement électronique réinitialise les messages
d’erreurs en cours et corrigés. La turbopompe démarre et tous les accessoires connectés démarrent en
fonction de leur configuration.
1. Régler le paramètre [P:023] sur « 1 ».
– Le paramètre [P:023] met le moteur de la turbopompe en marche.
2. Régler le paramètre [P:010] sur « 1 ».
7.4
Mise à l’arrêt de la turbopompe
AVIS
Dégât matériel suite à l'usure du palier lors d’une mise à l’arrêt inappropriée
Les paliers magnétiques actifs nécessitent une alimentation électrique constante. Le moteur agit
comme un générateur et alimente l’électronique d’entraînement en cas de panne de courant. Sous
une vitesse de rotation d’env. 6500 tr/min, l’énergie cinétique du rotor n’est plus suffisante pour alimenter le palier magnétique. L'unité d’entraînement électronique se coupe. Le rotor descend en courant de manière audible dans les paliers de sécurité.
► Ne pas mettre la pompe à l’arrêt en débranchant l’alimentation électrique principale.
► Toujours utiliser la fonction de frein électrique après la mise à l’arrêt de la turbopompe.
Procédure
L’unité de commande électronique met la pompe turbomoléculaire à l’arrêt et active les options d’accessoires pré-réglés (par ex. ventilation MARCHE, pompe de secours ARRÊT).
1. Réglez le paramètre [P:010] sur « 0 ».
2. Attendre que la pompe turbomoléculaire soit complètement immobilisée.
3. Débrancher l’alimentation électrique conformément aux instructions du mode d’emploi de la pompe turbomoléculaire ou de l’unité de courant.
7.5
Surveillance des opérations
7.5.1
Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la
pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionnement avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
LED
Vert
Jaune
Symbole
État LED
Affichage
Signification
Désactivé
Sans courant
Activé, clignotant
« Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min
Activé, clignotement inverse
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite non atteinte
Activé, éclairé en continu
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite atteinte
Activé, clignotant
« Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de > 60 tr/min
Désactivé
Pas d'avertissement
Activé, éclairé en continu
Avertissement
47/60
Utilisation
LED
Rouge
Tab. 27:
7.5.2
Symbole
État LED
Affichage
Signification
Désactivé
Pas d'erreur, pas d'avertissement
Activé, éclairé en continu
Erreur, dysfonctionnement
Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique
Surveillance de la température
Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent
d’amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température
pour les messages d’avertissement et d’erreur sont mémorisés systématiquement dans l’unité de commande électronique. À titre d'information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de
paramètres.
● Afin d’éviter que la pompe turbomoléculaire ne se coupe, l'unité de commande électronique réduit
déjà la consommation de courant en cas de dépassement du seuil d’avertissement pour l’excès
de température.
─ Exemples : température moteur inadmissible, surchauffe inadmissible du corps de pompe.
● Le point de commutation de la vitesse de rotation peut ne pas être atteint en cas de réduction
supplémentaire de la puissance d’entraînement et par conséquent de la vitesse. La pompe turbomoléculaire se coupe.
● Le dépassement du seuil de température pour les messages d’erreur entraîne la coupure immédiate de la pompe turbomoléculaire.
48/60
Recyclage et mise au rebut
8 Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
8.1
Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
8.2
Mise au rebut de l’unité de commande électronique
Les composants électroniques et leurs boîtiers contiennent des matériaux devant être recyclés.
► Mettre au rebut les composants électroniques de manière sûre, conformément aux réglementations locales en vigueur.
49/60
Dysfonctionnements
9 Dysfonctionnements
9.1
Généralités
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par les pièces déplacées après une panne de courant ou un dépannage
La fonction « groupe de pompage » de l’unité de commande électronique reste active après une panne de courant ou si des erreurs, entraînant l'arrêt de la pompe à vide ou du système, surviennent.
Lorsque la puissance est rétablie ou après la confirmation d’une défaillance, la pompe à vide démarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone
de fonctionnement des pièces en rotation.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
► Les contre-fiches présentes ou les ponts doivent être enlevés de l'unité de commande électronique avant le retour du courant secteur sous peine de risque de démarrage automatique.
► Mettre la pompe à l’arrêt en utilisant la fonction « poste de pompage » (paramètre [P:010]).
Tout dysfonctionnement de la pompe turbomoléculaire et de l’unité de commande électronique entraîne
systématiquement un message d’avertissement ou d’erreur. Dans les deux cas, un code d’erreur est
émis, ce dernier peut être lu via les interfaces de l’unité de commande électronique. De manière générale, les LED sur l’unité de commande électronique indiquent les messages de fonctionnement. En présence d’une erreur, la pompe turbomoléculaire et les appareils connectés sont mis à l’arrêt. Le mode de
remise à l'air sélectionné sera déclenché après une temporisation définie.
9.2
Codes d’erreur
Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours l’arrêt des appareils périphériques connectés.
Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la coupure des composants.
Traitement des messages d’anomalie
1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
2. Éliminez la cause de l’anomalie.
3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009].
– Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d’écran sur les appareils de commande
Pfeiffer Vacuum.
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Err001
Vitesse de rotation excessive
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err002
Surtension
● Unité de courant inappropriée
● Tension d’entrée de secteur
incorrecte
● Contrôlez le type d’ensemble d’alimentation électrique
● Vérifiez la tension d’entrée de secteur
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err006
Erreur de démarrage
● Seuil de temps de démarrage réglé trop bas
● Débit de gaz dans les récipients suite à des fuites ou
vannes ouvertes
● Toujours en-dessous du
point de commutation de
contrôle de vitesse, le temps
de démarrage s’écoule
● Ajustez le temps de démarrage aux conditions du processus
● Contrôlez les fuites ou les vannes fermées
dans les chambres de vide
● Réglez le point de commutation de vitesse
de rotation
Err007
Fluide d’exploitation bas
● Fluide d’exploitation bas
● Contrôlez le fluide d’exploitation
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
50/60
Dysfonctionnements
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Err008
Unité d’entraînement
électronique - raccordement de la pompe turbomoléculaire défaillant
● Raccordement à la pompe
turbomoléculaire défaillant
● Contrôlez les raccordements
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err010
Erreur appareil interne
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err021
L'unité d’entraînement
électronique ne détecte
pas la pompe turbomoléculaire
● Version de logiciel incompatible
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err041
Défaut du moteur
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err043
Erreur de configuration
interne
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err044
Température excessive,
électronique
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err045
Température excessive,
moteur
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err046
Erreur d’initialisation interne
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err073
Surcharge du palier magnétique axial
● Taux de remontée de pression trop élevé
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err074
Surcharge du palier magnétique radial
● Taux de remontée de pression trop élevé
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err089
Rotor instable
● Impacts, vibrations
● Appareil défectueux
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err091
Erreur appareil interne
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err092
Panneau de connexion
inconnu
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err093
Évaluation de la température du moteur défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err094
Évaluation de la température de l’électronique défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err098
Erreur de communication
interne
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err106
Température élevée du
rotor
● Débit élevé du gaz
● Rayonnement thermique interdit
● Champ magnétique interdit
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err107
Erreur groupée étage final
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err108
Mesure de la vitesse de
rotation défaillante
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err109
Logiciel non publié
● Mise à jour erronée du logiciel
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err110
Évaluation du fluide d'exploitation défaillante
● Capteur du fluide d'exploitation défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err111
Erreur de communication, pompe à liquide de
refroidissement
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
51/60
Dysfonctionnements
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Err112
Erreur de groupe, pompe
à liquide de refroidissement
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err113
Évaluation de la température du rotor défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err114
Évaluation de la température de l’étage final défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err117
Température excessive,
partie inférieure de la
pompe
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err118
Température excessive,
étage final
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err119
Température excessive,
palier
● Refroidissement insuffisant
● Mode de gaz sélectionné incorrect
● Débit insuffisant du gaz de
pressurisation
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err143
Température excessive,
pompe à liquide d'exploitation
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err777
Vitesse de rotation nominale non confirmée
● Vitesse de rotation nominale
non confirmée après le remplacement de l’unité d’entraînement électronique
● Confirmez la vitesse de rotation nominale
avec [P:777]
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err800
Débordement du palier
magnétique
● Impacts, vibrations
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err802
Défaut technologique du
capteur du palier magnétique
● Valeurs de calibrage invalides
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Procédez à une procédure de calibrage
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err810
Erreur de configuration
interne
● Version de logiciel incompatible
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err815
Débordement du palier
magnétique
● Impacts, vibrations
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err890
Palier de sécurité usé
● Usure palier de sécurité
> 100%
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err891
Déséquilibre trop important du rotor
● Déséquilibre du rotor
> 100%
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Tab. 28:
Messages d’erreur de l’unité de commande électronique
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Wrn001
Temps de montée en
température TMS expiré
● Minuterie interne de surveillance
de montée en température dépassée
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Vérifiez la tension d’entrée de secteur
Wrn003
Température TMS invalide
● La température TMS n'est pas
dans la plage admissible, entre
5 °C et 85 °C
● Capteur de température TMS
défectueux
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn007
Sous-tension ou panne
de courant
● Panne de secteur
● Unité de courant insuffisamment
dimensionnée
● Contrôlez le type d’ensemble d’alimentation électrique
● Vérifiez la tension d’entrée de secteur
52/60
Dysfonctionnements
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Wrn016
Configuration invalide
des accessoires
● Configuration interdire des sorties accessoires
● Vérifiez la configuration des sorties accessoires
Wrn018
Conflit de primauté de
fonctionnement
● Groupe de pompage mis en
marche avec [P:010] alors que
l’entrée E74 « start/stop » est à
l’arrêt (ouverte)
● Mettre le poste de pompage en marche
via E74 « start/stop »
● Désactiver [P:010]
Wrn021
Signal de verrouillage invalide
● Le signal de la surveillance du
signal de verrouillage se trouve
en-dehors de la plage valide
● Contrôlez les connexions de la surveillance du gaz de pressurisation
● Contrôlez l’alimentation en gaz de
pressurisation
Wrn034
Débit de gaz de pressurisation bas
● Signal de la surveillance du gaz
de pressurisation valide mais
en-dessous du seuil réglé
[P:791]
● Contrôlez et corrigez l’alimentation en
gaz de pressurisation
Wrn045
Température élevée du
moteur
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn076
Température élevée de
l’électronique
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn089
Déséquilibre élevé
● Déséquilibre du rotor
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn097
Informations de pompe
invalides
● Erreur de communication interne
1. Arrêtez le groupe de pompage
2. Attendez que la pompe turbomoléculaire se soit complètement immobilisée
3. Déconnectez l’alimentation électrique
4. Si cela se reproduit, contactez Pfeiffer Vacuum Service
Wrn098
Informations de pompe
incomplètes
● Erreur de communication interne
1. Arrêtez le groupe de pompage
2. Attendez que la pompe turbomoléculaire se soit complètement immobilisée
3. Déconnectez l’alimentation électrique
4. Si cela se reproduit, contactez Pfeiffer Vacuum Service
Wrn100
Vitesse minimale non atteinte
● Réglages du régime nominal inférieurs à la vitesse minimale
spécifique de la pompe
● Contrôlez [P:707] ou [P:717]
● Consultez la plage de vitesse de rotation valide dans la fiche technique de la
pompe turbomoléculaire
Wrn106
Température élevée du
rotor
● Débit élevé du gaz
● Rayonnement thermique interdit
● Champ magnétique interdit
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn113
Température du rotor incorrecte
● Erreur de communication interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn115
Évaluation de la température de la partie inférieure de la pompe défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn116
Évaluation de la température du palier défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn117
Température élevée de
la partie inférieure de la
pompe
● Refroidissement insuffisant
● Mode de gaz sélectionné incorrect
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn118
Température élevée de
l’étage final
● Refroidissement insuffisant
● Mode de gaz sélectionné incorrect
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn119
Température élevée du
palier
● Refroidissement insuffisant
● Mode de gaz sélectionné incorrect
● Débit insuffisant du gaz de pressurisation
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn143
Température de pompe
à liquide d'exploitation
élevée
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
53/60
Dysfonctionnements
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Wrn168
Temporisation importante
● Taux de remontée de pression
trop élevé
● Taux de remise à l'air trop élevé
● Contrôlez le taux de remise à l’air
● Adaptez le taux de remise à l'air à la
pompe
Wrn801
Convertisseur de freinage défectueux
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn806
Résistance de freinage
défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn807
Calibrage requis
● Calibrage expiré
● Calibrez la pompe turbomoléculaire en
la démarrant depuis l’arrêt
Wrn890
Usure trop importante
du palier de sécurité
● Usure palier de sécurité > 75 %
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn891
Déséquilibre important
du rotor
● Déséquilibre du rotor > 75 %
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Tab. 29:
Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique
9.3 Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionnement avec des appareils de commande
Outre des messages d’avertissement et d’erreur spécifiques à l’appareil sur l’unité de commande électronique, des messages additionnels sont affichés sur l’appareil de commande connecté.
Indicateur
Problème
Causes possibles
Action corrective
* Warning F110
*
Manomètre
● Manomètre défaillant
● Connexion au manomètre perdue
lors du fonctionnement
● Contrôler le branchement des câbles
● Effectuer un redémarrage avec le
manomètre connecté
● Remplacer complètement le manomètre
** Error E040 **
Erreur hardware
● RAM externe défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
** Error E042 **
Erreur hardware
● Somme de contrôle EPROM incorrecte
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
** Error E043 **
Erreur hardware
● Erreur d’écriture E2PROM
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
** Error E090 **
Erreur appareil
interne
● Quantité de RAM insuffisante
● L’unité est raccordée à une unité de
commande électronique incorrecte
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Raccorder l’unité à l’unité de commande électronique correcte
** Error E698 **
Erreur de communication
● L’unité de commande électronique
ne répond pas
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Tab. 30:
54/60
Messages d’avertissement et de dysfonctionnement
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
10
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
55/60
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
56/60
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Unité de commande électronique
TM 700 EC
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Basse tension 2014/35/CE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN ISO 12100 : 2011
DIN EN 62061 : 2016
DIN EN 1012-2 : 2011
DIN ISO 21360-1 : 2016
DIN EN IEC 61000-3-2 : 2019
ISO 21360-4 : 2018
DIN EN 61000-3-3 : 2020
DIN EN IEC 63000 : 2019
DIN EN 61010-1 : 2020
Semi F47-0200
DIN EN 61326-1 : 2013
Semi S2-0706
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-11-24
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Unité de commande électronique
TM 700 EC
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications appliquées:
EN ISO 12100:2010
EN 1012-2+A1:1996
EN IEC 61000-3-2+A1:2019
EN 61000-3-3+A2:2013
EN 61010-1+A1:2017
EN IEC 61326-1:2021
EN IEC 62061:2021
ISO 21360-1:2020
ISO 21360-4:2018
IEC 63000:2018
Semi F47-0200
Semi S2-0706
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-11-24
59/60
*PT0503*
ed. C - Date 2304 - P/N:PT0503BFR
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