Pfeiffer PBR 360 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
PBR 360
Jauge Pirani/Bayard-Alpert
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a
été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception
rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de
techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits
de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience
pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à
une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse [email protected].
Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/50
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque de commerce
7
7
7
7
7
8
8
8
8
9
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Utilisation conforme
2.5 Utilisations non conformes prévisibles
2.6 Responsabilité et garantie
10
10
10
12
13
13
13
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.1.1 Systèmes de mesure
3.1.2 Mode de fonctionnement de la jauge
3.1.3 Gamme de mesure
3.1.4 Système de mesure Bayard-Alpert
3.1.5 Système de mesure Pirani
3.2 Identification du produit
3.3 Étendue de la livraison
15
15
15
15
15
16
16
17
17
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
18
18
18
5
Installation
5.1 Raccord à vide
5.2 Unité électronique
5.3 Raccordement électrique
19
19
20
22
6
Fonctionnement
6.1 Surveillance des conditions de fonctionnement
6.2 Sélection de la plage d’activation et de désactivation
6.3 Conversion du signal de mesure et de la pression
6.4 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
6.5 Exécution du dégazage
6.6 Étuvage de la jauge
24
24
24
26
27
28
29
7
Démontage
30
8
Maintenance
8.1 Nettoyage des composants
8.2 Calibration de la jauge
8.3 Remplacement du système de mesure
32
32
33
35
9
Anomalies
36
10
Expédition
37
3/50
Table des matières
4/50
11
Recyclage et mise au rebut
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
11.2 Mise au rebut des jauges
38
38
38
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
39
13
Pièces de rechange
41
14
Accessoires
14.1 Informations sur l’accessoire
14.2 Commande d’accessoires
42
42
42
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1 Généralités
15.2 Fiche technique
15.3 Dimensions
43
43
43
46
Déclaration de conformité CE
48
Déclaration de Conformité UK
49
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Documents applicables
Variantes
Abréviations utilisées
Affichage de l’état
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
Tableau de conversion
Facteur de correction pour le fonctionnement avec Pirani uniquement
Facteurs de correction pour HIMS
Affichage de l’état
Dépannage
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Valeurs de mesure et de pression
Calibration
Dégazage
Données électriques
Volume interne et poids
Conditions ambiantes
Températures
Substances en contact avec la substance à pomper
7
7
9
24
26
27
28
28
34
36
43
43
43
44
44
44
45
45
45
45
5/50
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
6/50
Construction de l’émetteur
Configuration de mesure
Conception du système de mesure Bayard-Alpert
Raccord à vide
Unité électronique
Schéma de raccordement
Câble de mesure et prise de câble Hirschmann
Sélection de la plage d’activation et de désactivation
Relation entre le signal de mesure et la pression
Courbe de mesure pour le fonctionnement en Pirani uniquement et en cas
d’utilisation des facteurs de correction
Retrait de la jauge
Calibration de la jauge
Remplacement du système de mesure
Dimensions de DN 25 ISO-KF
Dimensions de DN 40 ISO-KF
Dimensions de DN 40 CF-R
15
16
16
20
21
22
23
25
26
27
31
34
35
46
46
47
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Manuel de l’utilisateur de « Appareil de commande » OmniControl
PT 0670
Manuel de l’utilisateur « Appareil de commande et de mesure de la
pression totale » TPG 366
BG 5501
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes :
Référence
Désignation
PT R27 010
PBR 360, DN 25 ISO-KF
PT R27 011
PBR 360, DN 40 ISO-KF
PT R27 012
PBR 360, DN 40 CF-R
Tab. 2:
Variantes
Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis.
Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les graphiques sans légende reflètent le produit équipé d’un raccord à vide DN 25 ISO-KF. Ils s'appliquent cependant aussi aux autres raccords à vide.
Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
7/50
A propos de ce manuel
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles.
Remarque
Conseil
Portez des gants de laboratoire
Contrôlez visuellement
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
D-35614 Asslar
Mod. PBR 360
P/N
PT R27 01x
S/N
12345678
Range 5.0x10 -10 - 1000 hPa
Input 20...30 V DC 9.0 W
Made in Germany 2022/11
8/50
Plaque signalétique
La plaque signalétique se trouve à l’arrière
de l’appareil.
A propos de ce manuel
1.3.4
Abréviations
Abréviation
Explication
ATM
Atmosphère
BA
Bayard-Alpert
c
Constante de conversion du signal de mesure et de la pression
C
Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air
Sensibilité du système de mesure Bayard-Alpert à l’azote
EC
Collecteur d’électrons
EMI
Émission
F
Filament chauffé
FPM
Caoutchouc polymère fluoré
HIMS
Système de mesure d’ionisation à cathode chaude
HV
Vide élevé
IC
Collecteur d’ions
DEL
Diode électroluminescente
LPS
Source de puissance limitée
MSL
Niveau moyen de la mer
p
Pression
P
Pirani
TBTP
Très basse tension de protection
PLC
Contrôleur logique programmable
U
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
Tab. 3:
1.4
Abréviations utilisées
Justificatif de marque de commerce
● FullRange® est une marque déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH.
● Hirschmann® est une marque déposée de Hirschmann Electronics GmbH.
9/50
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit aux enceintes à vide mises à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordements CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et de serrage à couche conductrice pour les raccordements
KF.
10/50
Sécurité
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
Risques pendant le fonctionnement
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
11/50
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
12/50
Sécurité
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Utilisation conforme
La jauge FullRange est utilisée pour mesurer le vide de gaz dans le domaine 5 × 10-10 à 1000 hPa.
Utilisation du produit conformément à son usage prévu
► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client.
► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur.
► Observez les limites d’utilisation indiquées dans la fiche technique.
► Observer la fiche technique.
2.5
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation
● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée
● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives
● Utilisation en extérieur
● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
2.6
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie
tierce :
● ignore ce document
● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu
● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante
● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit
correspondante
13/50
Sécurité
L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé.
14/50
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
1
emi on
P
BA
3
Fig. 1:
high
low
hard
adj
2
Construction de l’émetteur
1 DEL « emi on » (émission/cathode chaude)
3
2 Bouton « aju » de point de calibrage zéro et atmosphérique
3.1.1
Interrupteur pour le point de commutation
entre Pirani et la cathode chaude
Systèmes de mesure
La jauge a deux systèmes de mesure :
● Système de mesure Pirani (zone de contrôle)
● Système de mesure d’ionisation à cathode chaude (HIMS) selon Bayard-Alpert (BA)
3.1.2
Mode de fonctionnement de la jauge
Le signal de mesure Pirani est toujours activé. Il sert à activer et désactiver le HIMS, le protégeant ainsi
contre une contamination excessive ou une brûlure. Vous pouvez choisir entre 3 configurations différentes d’activation/désactivation. Si la pression mesurée est supérieure au seuil d’activation pon, le HIMS
reste désactivé et la valeur de mesure Pirani apparaît en tant que signal de sortie. La jauge active le
HIMS contrôlé par le système de mesure Pirani seulement quand la valeur descend en dessous du
seuil d’activation pon. La cathode chaude est prête pour le fonctionnement après quelques secondes de
temps de démarrage. La DEL « emi on » reste allumée continuellement et la valeur mesurée sur la cathode chaude est présente à la sortie. Si la pression dépasse le seuil de désactivation poff, la jauge désactive le HIMS et la DEL « emi on » s’éteint. La valeur mesurée Pirani apparaît à nouveau à la sortie.
3.1.3
Gamme de mesure
La jauge couvre la gamme de mesure de 5 × 10-10 à 1000 hPa.
La jauge a une caractéristique continue sur tout le domaine. Le signal de mesure dépend de la pression
sur tout le domaine selon une échelle logarithmique. Dans un domaine de chevauchement défini, la jauge émet un signal mixte des deux systèmes de mesure. Au-dessus de ce, la jauge émet seulement le
signal Pirani, en dessous, seulement le signal de la cathode chaude. La jauge applique la configuration
de mesure optimale pour le domaine de pression respectif.
15/50
Description du produit
er
P low
P on P of
Hot cathode
5 × 10
-10
Pirani
hPa
Fig. 2:
f
P
r
pe
up
1000 hPa
Configuration de mesure
Le point de commutation Pon correspond au point auquel le HIMS se met en marche lorsque la pression
diminue. Le point de commutation Poff correspond au point auquel le HIMS est désactivé lorsque la
pression augmente. La zone de transition entre Pupper et Plower est la plage de pression dans laquelle la
jauge utilise proportionnellement à la fois le système de mesure Pirani et le HIMS pour déterminer la
pression. La proportion de Pirani diminue lorsque la pression diminue. Dans la position de commutation
« dure », la commutation entre Pirani et HIMS est immédiate, sans transition.
3.1.4
Système de mesure Bayard-Alpert
Le système d'électrodes selon Bayard-Alpert est conçu pour une limite de rayons X basse. Les électrons émis par le filament (F1 ou F2) ionisent un nombre de molécules proportionnel à la pression dans
la chambre de mesure. Le collecteur d’ions (IC) acquière le courant d’ions I+ ainsi généré et l’injecte
dans l’amplificateur de l’électromètre dans le système électronique de la jauge. Le courant d’ions dépend du courant d’émission Ie, du type de gaz et de la pression de gaz p selon la relation suivante :
I+ = Ie × p × C
Le facteur C désigne la sensibilité de la jauge. Déterminé pour l'azote (N2), il est pris en compte pour le
signal de sortie qui dépend logarithmiquement de la pression. La limite de mesure basse est de
5 × 10-10 hPa. Afin de couvrir de manière significative toute la plage de 5 × 10-10 à 1 × 10-2 hPa, le courant d'émission et l'amplification du signal sont adaptés au domaine de pression. Dans le domaine des
hautes pressions, on utilise des courants d'émission faibles, tandis que dans la gamme des basses
pressions, on utilise des courants d'émission élevés. Après la commutation, la valeur de la pression
reste inchangée pendant une courte période, jusqu'à ce que la nouvelle condition se soit stabilisée.
La jauge est munie de deux filaments. En cas de défaillance du premier filament, une permutation automatique vers le second filament se produit.
IC EC
F
F!
EC
F
F!
IC
VFIL
Fig. 3:
VAN
Conception du système de mesure Bayard-Alpert
F1 und F2 Filaments 1 et 2 (cathodes chaudes)
IC
Collecteur d’ions (collecteur)
EC
Collecteur d’électrons (grille d’anode)
3.1.5
VFIL
VAN
Tension de référence du filament
Tension sur l’anode
Système de mesure Pirani
La conductivité de chaleur des gaz dépend de la pression dans certaines limites. Ce phénomène physique est utilisé dans un manomètre à vide à conduction thermique Pirani pour mesurer la pression. Un
circuit de pontage à calibrage automatique est utilisé comme circuit de mesure. Un fil fin en tungstène
est l’élément de mesure réel. Avec un circuit de commande approprié, la résistance du fil et donc sa
16/50
Description du produit
température sont maintenues constantes. La puissance électrique alimentant le fil est une mesure de la
chaleur dissipée dans le gaz par la conduction de la chaleur et donc une mesure pour la pression de
gaz. Lorsque la pression augmente, la convection et d'autres effets viennent toujours plus se superposer à la dissipation de chaleur. En d’autres termes, dans la plage >100 hPa, le système de mesure Pirani ne permet plus d'effectuer des mesures de pression précises.
3.2
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
3.3
Étendue de la livraison
● Jauge
● Manuel de l’utilisateur
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballer le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée.
17/50
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transporter le produit en toute sécurité
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant
l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Stocker le produit en toute sécurité
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température d’entreposage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
18/50
Installation
5 Installation
5.1
Raccord à vide
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit aux enceintes à vide mises à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordements CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et de serrage à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Conditions ambiantes appropriées
● Température de fonctionnement dans la plage permissible
● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles)
19/50
Installation
1
2
5
3
4
Fig. 4:
Raccord à vide
1 Joint avec anneau de centrage
2 Jauge
3 Obturateur de protection
4
5
Joint avec anneau de centrage et filtre
Pièce de serrage
Recommandations
1. Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le
fonctionnement. Ces vibrations entraînent des déviations dans les valeurs mesurées.
2. Vérifiez que le bouton et l’interrupteur de la gamme d'activation et de désactivation de la jauge
sont facilement accessibles une fois qu’ils ont été montés.
3. Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le
bas).
– Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure.
4. Utilisez un joint métallique comme joint de bride de vide ; les joints en plastique (comme le FKM)
peuvent déjà dégrader la précision de la mesure dans la gamme de pression de 10-6 hPa en raison de l’émission de gaz.
5. Enlevez temporairement l’unité électronique de la jauge lorsque l’installation est seulement possible après le démontage de l’unité électronique.
– Ceci facilitera l’assemblage du raccord à bride CF.
Procédure
1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr.
2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum.
5.2
Unité électronique
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit aux enceintes à vide mises à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordements CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et de serrage à couche conductrice pour les raccordements
KF.
20/50
Installation
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Enlevez l’unité électronique pour faciliter l’installation et l’étuvage de la jauge.
4
5
3
1 2
Fig. 5:
Unité électronique
1 Écrous moletés
2 Bagues d’étanchéité
3 Système de mesure
4
5
Joint
Unité électronique
Dépose de l'unité électronique
1. Desserrez les écrous moletés de l'unité électronique.
2. Enlevez l’unité électronique sans aucun mouvement de pivotement du système de mesure.
Installation de l’unité électronique
1. Montez avec précaution l’unité électronique sur le système de mesure.
2. Notez la disposition des broches et de la rainure.
3. Poussez l’unité électronique jusqu’à la butée.
4. Fixez les écrous moletés sur l'unité électronique.
21/50
Installation
5.3
Raccordement électrique
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
AVIS
Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect
Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va
endommager la jauge.
► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 5) à la terre de l’unité d'alimentation.
► Raccordez toujours le blindage (broche 6) à la terre de l’unité d'alimentation.
Outils nécessaires
● Tournevis cruciforme
● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm)
Équipement nécessaire
● Câble de mesure pour appareil de commande et de mesure de la pression totale Pfeiffer Vacuum
disponible dans les accessoires ActiveLine
● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client
● Prise de câble Hirschmann
Raccordement électrique
1. Raccordez le câble de mesure à la jauge.
2. Resserrez la vis d'arrêt sur la prise de câble Hirschmann.
– Couple de serrage : ≤ 0,2 Nm
3. Raccordez la jauge à un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum
ou à un appareil d'évaluation fournie par le client.
Fig. 6:
Schéma de raccordement
1 Dégazage
Identification (U ≤ 4,25 V)
2 Signal de mesure
3 Signal masse
22/50
4
Alimentation
5
6
Masse de l’alimentation (GND)
Blindage
Installation
3
2
1
6
4
Fig. 7:
5
Câble de mesure et prise de câble Hirschmann
Fabrication du câble de mesure
Pour de plus amples informations sur le type de câble de mesure et les coupes transversales de raccordement, voir la fiche technique.
1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits
de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure.
2. Utilisez un câble avec un blindage tressé.
3. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection pour le bloc d’alimentation.
4. Utilisez une entrée de mesure différentielle avec prise de terre séparée et terre l’alimentation.
5. Assemblez la prise de câble Hirschmann.
Assemblage de la prise de câble Hirschmann
1. Préparez la prise de câble Hirschmann conformément au diagramme « Câble de mesure et prise
de câble Hirschmann ».
2. Soudez le câble de raccordement comme indiqué sur le schéma de raccordement.
3. Assemblez la prise de câble Hirschmann.
23/50
Fonctionnement
6 Fonctionnement
Après l’activation de la tension d’alimentation, la jauge est prête pour l’utilisation.
Recommandations
► Respectez la période de stabilisation minimum de 10 minutes.
► Observez la relation entre le signal de mesure et la pression.
► La jauge doit toujours rester enclenchée, quelle que soit la pression.
Précision de mesure
La précision de mesure est réduite dans la plage >1 hPa et <1 × 10-8 hPa.
6.1
Surveillance des conditions de fonctionnement
DEL « emi on »
Signification
Désactivée
● Tension d’alimentation désactivée
● Composants électroniques défaillants
Allumée en vert
● Fonctionnement normal
● HIMS on
Clignote lentement en
vert
● Fonctionnement normal
● HIMS off
Allumée en rouge
● Erreur
● Capteur ou composants électroniques défaillants
● Erreur de mesure
Clignote lentement en
rouge
● Dégazage activé
● La fonction de dégazage est activée, la mesure est possible, mais avec une faible précision
Allumé en orange
● Avertissement HIMS
● Filament 2 activé, filament 1 défaillant
Tab. 4:
6.2
Affichage de l’état
Sélection de la plage d’activation et de désactivation
La jauge offre la possibilité d'adapter la plage de commutation entre le capteur Pirani et le capteur BA
en fonction de l'application. Cette fonctionnalité permet d’éviter :
● que le point de consigne ne se retrouve dans la plage de commutation lorsque la régulation de la
pression a lieu
● que dans le cas des applications de revêtement, la cathode chaude (BA) ne soit allumée et contaminée prématurément.
Au départ usine, l’interrupteur du point de commutation est réglé sur « haut ».
Outils nécessaires
● Tournevis
24/50
Fonctionnement
-2
-3
high
low
hard
5
Hot cathode
Pirani
-2
5 × 10-10 hPa
×
1.0
-3
-3
emi on
P
BA
high
low
hard
adj
high
low
hard
Hot cathode
1000 hPa
-3
Pirani
-3
×
2.0
-4
10
1000 hPa
-4
0
0
×1 2×1
5.
4.0
Hot cathode
5 × 10-10 hPa
Fig. 8:
10
0
0
0
×1 ×1 ×1
1.0 2.6 3.0
5 × 10-10 hPa
high
low
hard
-2
0
0
×1 ×1
1.3 1.5
0
×1
Pirani
1000 hPa
Sélection de la plage d’activation et de désactivation
Procédure
1. Sélectionnez la plage d’activation et de désactivation avant d’activer la jauge.
2. Commutez la plage d’activation et de désactivation en utilisant l'interrupteur de point de commutation.
3. Sélectionnez les positions « haut » (départ usine), « bas », ou « dure ».
4. Recommandation : Sélectionnez « bas » si possible pour réduire la tendance de contamination du
HIMS.
– La tendance de contamination du HIMS est réduite quand la pression chute.
25/50
Fonctionnement
6.3
Conversion du signal de mesure et de la pression
p [hPa]
1E+04
1E+03
1E+02
underrange
1E+01
1E+00
Sensor error
1E–01
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
1E–06
overrange
1E–07
1E–08
1E–09
1E–10
0.0
1.0
2.0
3.0
4.0
5.0
6.0
7.0
8.0
9.0
10.0
U [V]
Fig. 9:
Relation entre le signal de mesure et la pression
p Pression
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
Signal de mesure (U)
Pression (p)
Constante (c) 1)
[V]
[hPa]
0
[Torr]
-0,125
[Pa]
2
Tab. 5:
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
Signal de mesure (U)
Pression (p)
[V]
[hPa]
[Torr]
[Pa]
< 0,5
Erreur de capteur
> 0,5 à < 0,774
Plage dépassée vers le bas
0,774
5 × 10-10
3,75 × 10-10
5 × 10-8
1,00
1 × 10-9
7,5 × 10-10
1 × 10-7
1,75
1 × 10
-8
7,5 × 10
-9
1 × 10-6
2,5
1 × 10-7
7,5 × 10-8
1 × 10-5
-6
-7
3,25
1 × 10
7,5 × 10
1 × 10-4
4,00
1 × 10-5
7,5 × 10-6
1 × 10-3
4,75
1 × 10-4
7,5 × 10-5
1 × 10-2
5,50
1 × 10
-3
7,5 × 10
-4
1 × 10-1
6,25
1 × 10-2
7,5 × 10-3
1 × 100
7,00
-1
-2
1 × 101
1)
26/50
U
En fonction de l’unité de pression
1 × 10
7,5 × 10
Fonctionnement
Signal de mesure (U)
Pression (p)
[V]
[hPa]
[Torr]
[Pa]
7,75
1 × 10
0
7,5 × 10
-1
1 × 102
8,50
1 × 101
7,5 × 100
1 × 103
9,25
1 × 10
2
7,5 × 10
1
1 × 104
10,00
1 × 103
7,5 × 102
1 × 105
> 10,0
Plage dépassée vers le haut
Tab. 6:
Tableau de conversion
Conversion du signal de mesure et de la pression
► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression.
► Conversion du signal de mesure en pression :
p = 10(U - 7,75) / 0,75 + c
► Conversion de la pression en signal de mesure :
U = 0,75 × (log p-c) + 7,75
6.4
Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
Le signal de mesure dépend du type de gaz. Les caractéristiques ( (voir page 26)) s’appliquent pour
l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO).
Domaine de pression > 10-4 hPa (fonctionnement Pirani seulement)
p [hPa]
1E3
1E2
1E1
1E0
1E-1
H2
He
1E-2
N2
Ar
1E-3
Kr
1E-4
1E-4
1E-3
1E-2
1E-1
1E0
1E1
1E2
1E3
peff [hPa]
Fig. 10:
Courbe de mesure pour le fonctionnement en Pirani uniquement et en cas d’utilisation des facteurs de correction
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Azote (N2)
1,0
Air
1,0
Hydrogène (H2)
0,58
27/50
Fonctionnement
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Hélium (He)
1,02
Argon (Ar)
1,59
Dioxyde de carbone (CO2)
0,89
Tétra fluorométhane (CF4, R14)
0,95
Tab. 7:
Facteur de correction pour le fonctionnement avec Pirani uniquement
Domaine de pression < 10-3 hPa (gamme d’ionisation)
Dans le domaine de pression < 10-3 hPa, l’affichage est linéaire.
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Hélium (He)
5,93
Hydrogène (H2)
2,39
Argon (Ar)
0,80
Dioxyde de carbone (CO2)
0,74
Propane (C3H8)
0,32
Néon (Ne)
3,50
Krypton (Kr)
0,60
Xénon (Xe)
0,41
Dichlorodifluorométhane (CCl2F2, R12)
0,28
Tétra fluorométhane (CF4, R14)
0,57
Tab. 8:
Facteurs de correction pour HIMS
Utilisation des facteurs de correction
Saisie du facteur de correction dans l’appareil de commande et de mesure de pression totale
► Saisissez le facteur de correction pour corriger la valeur mesurée qui est affichée.
Calcul de la pression de gaz autres que l’air
► Calculez la pression efficace avec la formule suivante :
Peff = C × p
● Peff = Pression efficace
● C = Facteur de correction
● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l’air)
6.5
Exécution du dégazage
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure n’est pas couvert par la garantie.
Pendant le process étuvé, la jauge continue à fournir des valeurs de mesure, cependant elles auront
une valeur de tolérance légèrement plus élevée que pendant le fonctionnement normal.
La contamination de la jauge dépend des éléments suivants :
● Pression dans la chambre de vide
● Type de fluide de procédé
● Toute contamination existante ou nouvellement accumulée et de sa pression partielle (par exemple, vapeurs, particules de procédé, etc.)
28/50
Fonctionnement
● Courant de mesure
● Temps de fonctionnement
La valeur de mesure peut être instable du fait des dépôts sur le HIMS. Le procédé de dégazage cause
l’échauffement de la grille de collecte des électrons jusqu’à 800 °C du fait du chauffage ohmique, nettoyant ainsi l’élément de mesure.
Instruments optionnels nécessaires
● Appareil de commande et de mesure de pression totale
● Ou commande de fonctionnement (par exemple, PLC)
Activation de la fonction de dégazage à l'aide d'un appareil de mesure de la pression totale et de
commande ou d’un contrôleur de système
1. Démarrez le process étuvé à anode, à une pression <2 × 10-6 hPa.
– Il est possible de lancer la fonction de dégazage à partir d’une pression de <1 × 10-5 hPa.
Toutefois, pour protéger le filament et le capteur, nous recommandons une pression de
<2 × 10-6 hPa.
2. Commutez le signal de contrôle de OFF (0 V) sur ON (24 V) pour démarrer le process étuvé.
3. Commutez le signal de contrôle de ON (24 V) sur OFF (0 V) pour terminer le process étuvé.
– La jauge termine automatiquement le process étuvé après trois minutes si vous ne le terminez pas en premier.
4. Recommandation : Réglez le signal de contrôle à nouveau sur OFF à chaque fois après trois minutes d’étuvage en utilisant la commande de fonctionnement pour établir un état de fonctionnement clair.
5. Commutez le signal de contrôle à nouveau de OFF (0 V) sur ON (24 V) pour répéter le process
étuvé.
6.6
Étuvage de la jauge
AVIS
Dommage dû à une température d’étuvage excessive
Si la jauge est installée verticalement (bride vers le bas), l’augmentation de la chaleur pendant l’étuvage va endommager l’unité électronique.
► Retirez l’unité électronique du système de mesure avant l'étuvage à une température > 60 °C.
► Dégazez la bride uniquement.
Condition préalable
● Unité électronique retirée
Procédure
1. Étuvez la jauge jusqu’à max. 180 °C au niveau de la bride.
2. Laissez refroidir la jauge.
3. Installez l’unité électronique.
4. Calibrez la jauge.
29/50
Démontage
7 Démontage
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit aux enceintes à vide mises à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordements CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et de serrage à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Système à vide ventilé à la pression atmosphérique
● Tension d’alimentation désactivée
Outils nécessaires
● Tournevis cruciforme
30/50
Démontage
1
2
3
Fig. 11:
Retrait de la jauge
1 Câble de mesure
2 Pièce de serrage
3
Obturateur de protection
Retrait de la jauge
1. Desserrez la vis d’arrêt sur la prise de câble Hirschmann de la jauge.
2. Déconnectez le câble de mesure de la jauge.
3. Recommandation : Enlevez temporairement l’unité électronique du point de mesure si le démontage est seulement possible avec l'unité électronique démontée.
– Ceci facilitera le démontage du raccord à bride CF.
4. Retirez la jauge du système de vide.
5. Placez l’obturateur de protection sur la bride de raccordement.
31/50
Maintenance
8 Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Demande de garantie
Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
D'autres conditions climatiques, un fonctionnement prolongé, des températures extrêmes, une orientation de montage différente, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du
point zéro dans le système de mesure Pirani. Un décalage du zéro va nécessiter un nouveau calibrage
ou un nettoyage.
8.1
Nettoyage des composants
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
32/50
Maintenance
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d’humidité
La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité.
► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau.
► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface.
► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Vous ne pouvez pas nettoyer le système de mesure. Si les valeurs mesurées sont instables, le système
de mesure est probablement sévèrement contaminé. La contamination survient sous forme de contamination visible ou de décoloration du système de mesure.
Consommables requis
● Alcool industriel
● Chiffon (doux, non pelucheux)
Nettoyage externe de l’appareil
1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
Contrôle de la contamination des composants
1. Contrôlez la contamination du système de mesure.
2. Remplacez le système de mesure si le système de mesure est sévèrement contaminé.
Nettoyage du système d’électrode
► Étuvez (dégazez) l’anode pour enlever tous les petits dépôts du système d’électrode.
8.2
Calibration de la jauge
Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge en usine sur les valeurs par défaut. Vous pouvez calibrer le système
de mesure Pirani vous-même, si nécessaire. La jauge détecte automatiquement le point de calibrage
(ATM ou HV) applicable.
Le calibrage HV intervient automatiquement dans les conditions suivantes, présentes simultanément :
● La valeur mesurée par le capteur BA est <1 × 10-5 hPa.
● La valeur mesurée par le capteur Pirani reste constante pendant plus d'une minute et ne s'écarte
que légèrement de la dernière valeur calibrée.
Outils nécessaires
● Goupille (<2,5 mm, 50 mm de longueur)
(ou un trombone ouvert et plié)
33/50
Maintenance
Fig. 12:
Calibration de la jauge
DEL « emi on »
Signification
Clignote lentement en vert
● Calibrage réussi (clignote en vert pendant 1 s)
Allumée en rouge
● Erreur de calibrage (s’allume en rouge pendant 3 s)
Tab. 9:
Affichage de l’état
Préparation du calibrage
1. Exécution du calibrage point zéro
● Après le remplacement du système de mesure
● Dans le cadre des activités de maintenance normales pour l’assurance sur la qualité.
2. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation
normale.
Calibration ATM
1. Laissez refroidir la jauge à température ambiante pendant environ 30 minutes si vous avez auparavant fait fonctionner la jauge dans la zone d’ionisation.
2. Mettez la jauge en marche.
3. Retirez le bouchon d’étanchéité du bouton « aju ».
4. Laissez la jauge fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes.
5. Appuyez pendant 2 secondes sur le bouton « aju » en utilisant un stylet.
6. Mettez en place le bouchon d’étanchéité sur le bouton « aju ».
Calibration point zéro
1. Retirez le bouchon d’étanchéité du bouton « aju ».
2. Mettez la jauge en marche.
3. Faites fonctionner la jauge pendant au moins 10 minutes à ≤ 5 × 10-5 hPa.
4. Appuyez pendant 2 secondes sur le bouton « aju » en utilisant un stylet.
– Le calibrage prend deux minutes et fonctionne automatiquement.
5. Mettez en place le bouchon d’étanchéité sur le bouton « aju ».
34/50
Maintenance
8.3
Remplacement du système de mesure
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Système de mesure sévèrement contaminé,
● Système de mesure visiblement endommagé ou
● Jauge défectueuse (p. ex. rupture de filament)
Pièce de rechange requise
● Système de mesure de remplacement
4
5
3
1 2
Fig. 13:
Remplacement du système de mesure
1 Écrous moletés
2 Bagues d’étanchéité
3 Système de mesure
4
5
Joint
Unité électronique
Procédure
1. Retirez la jauge du système de vide.
2. Enlevez l’unité électronique du système de mesure défectueux.
3. Installez l’unité électronique sur le nouveau système de mesure.
4. Raccordez la jauge au système de vide.
5. Établissez le raccordement électrique.
6. Calibrez le nouveau système de mesure.
35/50
Anomalies
9 Anomalies
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure n’est pas couvert par la garantie.
Rectification des dysfonctionnements (Reset)
En cas de dysfonctionnement, Pfeiffer Vacuum recommande de débrancher la tension
d'alimentation et de la rebrancher après 5 secondes.
Anomalie
Cause possible
Action corrective
Signal de mesure continu
env. 0 V
Pas d’alimentation
● Contrôlez le raccordement pour la
mesure.
● Établissez la tension d’alimentation.
Câble de mesure défectueux
ou mal raccordé
● Vérifiez le câble de mesure.
Jauge dans un état non défini
● Désactivez la jauge, attendez 5
secondes puis réactivez-la (reset).
Erreur de capteur (système
de mesure défectueux)
● Remplacez le système de mesure.
Unité électronique pas raccordée correctement au système de mesure
● Contrôlez le raccordement.
Pas de commutation sur les
mesures BA à basse pression
Point zéro Pirani hors tolérance
● Exécutez le calibrage point zéro.
Valeur mesurée dans le vide élevé excessive
Dégazage important du capteur
● Activez la fonction de dégazage.
● Remplacez le système de mesure.
Signal de mesure d’environ
0,5 V
Tab. 10:
36/50
Dépannage
Expédition
10
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédier le produit en toute sécurité
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
37/50
Recyclage et mise au rebut
11
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
11.2
Mise au rebut des jauges
Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Démantelez l’unité électronique.
2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
3. Séparez les composants en matériaux recyclables.
4. Recyclez les composants non contaminés.
5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
38/50
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
39/50
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
40/50
Pièces de rechange
13
Pièces de rechange
Description
Référence de commande
Système de mesure, DN 25 ISO-KF
PT 120 239 -T
Système de mesure, DN 40 ISO-KF
PT 120 237 -T
Système de mesure, DN 40 CF-R
PT 120 241 -T
41/50
Accessoires
14
Accessoires
Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires ActiveLine.
14.1 Informations sur l’accessoire
Câble de mesure
Câble de mesure de différentes longueurs pour le raccordement à un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum
Boîtier de contacteurs
Douille de câble pour la fabrication du câble de raccordement spécifique pour l’application
Joints avec anneau de centrage et filtre
Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre
toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination 2)
14.2 Commande d’accessoires
42/50
Description
Référence de commande
Câble de mesure, 3 m
PT 448 250 -T
Câble de mesure, 6 m
PT 448 251 -T
Câble de mesure, 10 m 3)
PT 448 252 -T
Connecteur-bouchon, 6 pôles
B4707283MA
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores
0,02 mm, FKM/acier inoxydable, DN 25 ISO-KF
PF 117 225 -T
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores
0,02 mm, FKM/acier inoxydable, DN 40 ISO-KF
PF 117 240 -T
2)
L'utilisation d'un filtre risque de fausser le signal de pression et de se traduire par un temps de réponse plus
long.
3)
Autres longueurs de câbles disponibles jusqu’à 100 m.
Caractéristiques techniques et dimensions
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1
Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
100
1
0,1
0,75
1 · 10
1,000
100
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
Pa
0,01
hPa
-3
5
-5
1 Pa = 1 N/m
Tab. 11:
750
-3
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
592
7,5
10
3
Pa m /s
sccm
1
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 12:
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
-3
-2
1,27 · 10
1.67 · 10-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
15.2 Fiche technique
Paramètre
Valeur
Gamme de mesure (air, N2)
5 × 10-10 – 1 000 hPa
Plage de transition (cathode chaude –
Pirani)
Pression de démarrage
(émission)
Pression de désactivation
(émission)
Haut (départ usine)
5 × 10–3 – 1 × 10-2 hPa
Bas
1 × 10–3 – 2 × 10-3 hPa
Dur
Commutation directe
Haut (départ usine)
1,3 × 10-2 hPa
Bas
2,6 × 10-3 hPa
Dur
4,0 × 10-4 hPa
Haut (départ usine)
1,5 × 10-2 hPa
Bas
3,0 × 10-3 hPa
Dur
Précision
5,2 × 10-4 hPa
1 × 10 – 10 hPa
±10% de la valeur mesurée
10 à 1000 hPa
±30% de la valeur mesurée
-8
Répétabilité
-2
±5% de la valeur mesurée
1 × 10 – 10 hPa
±2% de la valeur mesurée
-8
1 × 10 – 1 × 10 hPa
-2
Pression maximum (absolue)
≤ 400 kPa, limité aux gaz inertes et
aux températures < 50 °C
Principe de mesure
Amenée de chaleur selon Pirani et
Bayard-Alpert
Nombre de filaments chauffés
2
Matière du filament
Iridium, revêtement Y2O3
Temps de réponse
50 ms
Tab. 13:
Valeurs de mesure et de pression
43/50
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Valeur
Pirani
HV
Calibrage automatique par le circuit de mesure à cathode chaude dans la
gamme de <1 × 10–5 hPa
ATM
Calibrer en appuyant sur le bouton à la pression atmosphérique
Calibration
point zéro
Calibrer en appuyant sur le bouton à une pression ≤ 5 × 10-5 hPa
Tab. 14:
Calibration
Paramètre
Valeur
Signal d’entrée de commande
0 V/24 V, niveau PLC, haut actif
Durée 4)
3 minutes max., puis arrêt normal automatique
Tab. 15:
Dégazage
Paramètre
Signal de sortie (signal
de mesure)
Identification de la jauge
Valeur
Gamme de tension
0 – 10,2 V
Gamme de mesure
0,774 – 10 V
(5 × 10-10 hPa – 1000 hPa)
Signaux d’erreur
<0,5 V = erreur de capteur / montage
incorrect de l'unité électronique
Rapport tension-pression
0,75 V/décade, logarithmique
Plage dépassée vers le bas
0,5 V < U < 0,774 V
Plage dépassée vers le haut
10 V < U ≤ 10,2 V
Impédance de charge (charge
minimum)
10 kΩ, résistant aux courts-circuits
Résistance (broche 1,
Umax = 4,25 V)
17,2 kΩ contre la masse d’alimentation
Courant d’émission 5)
10 µA, 100 µA, 1 mA, 2 mA
Tension d’alimentation à la jauge
20 – 30 V DC
Puissance absorbée
≤9W
Raccordement (électrique)
Hirschmann GO 6 UM (6 broches, broches)
Câble de mesure (recommandé)
5 broches, blindage inclus
Longueur de câble avec la coupe transversale du conducteur recommandée
≤35 m (0.25 mm2 / conducteur)
>35 m – 50 m (0.34 mm2 / conducteur)
>50 m – 100 m (1.0 mm2 / conducteur)
Concept de mise à la
terre
Tab. 16:
(voir chapitre « Raccordement électrique », page 22)
Raccordement de vide et masse d’alimentation
Raccordement galvanique
Masse du signal et masse d’alimentation
Routage séparément ; la consommation de courant est tellement élevée
que seule la mesure différentielle est
autorisée.
Données électriques
Paramètre
Volume interne
44/50
Valeur
DN 25 ISO-KF
≤ 17 cm3
DN 40 ISO-KF
≤ 25 cm3
DN 40 CF-R
≤ 29 cm3
4)
Pendant le process étuvé, la jauge continue à fournir des valeurs de mesure, cependant elles auront une valeur de tolérance légèrement plus élevée que pendant le fonctionnement normal.
5)
En fonction du domaine de pression
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Poids
Tab. 17:
Valeur
DN 25 ISO-KF
470 g
DN 40 ISO-KF
470 g
DN 40 CF-R
685 g
Volume interne et poids
Paramètre
Valeur
Humidité relative de l’air
À des températures atteignant +30 °C, 80 % max.
À des températures atteignant +40 °C, 50 % max.
sans condensation
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
2 000 m NN
Degré de protection
IP40
Tab. 18:
Conditions ambiantes
Paramètre
Valeur
Fonctionnement
5 – +60 °C
Température d'étuvage, max. sur la bride 6)
180 °C
Stockage
-40 – +65 °C
Tab. 19:
Températures
Matériaux
Acier inoxydable, tungstène, iridium, oxyde d’yttrium, nickel, verre, platine
Tab. 20:
6)
Substances en contact avec la substance à pomper
Alimentation en tension coupée
45/50
Caractéristiques techniques et dimensions
15.3 Dimensions
45
142
66
40
Fig. 14:
Dimensions de DN 25 ISO-KF
Dimensions en mm
45
137
66
55
Fig. 15:
Dimensions de DN 40 ISO-KF
Dimensions en mm
46/50
Caractéristiques techniques et dimensions
45
141
66
70
Fig. 16:
Dimensions de DN 40 CF-R
Dimensions en mm
47/50
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge Pirani/Bayard-Alpert
PBR 360
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN IEC 61326-1:2022
DIN EN IEC 63000:2019
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-01-16
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge Pirani/Bayard-Alpert
PBR 360
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications appliquées
EN IEC 61326-1:2021
EN IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-01-16
*PG0043*
ed. A - Date 2305 - P/N:PG0043BFR
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