MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original CCR 351∣352∣353 Jauge capacitive Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/36 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque de commerce 7 7 7 7 7 8 8 8 8 8 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations non conformes prévisibles 2.7 Responsabilité et garantie 2.8 Conditions propriétaire 2.9 Qualification personnelle 2.9.1 Garantir la qualification du personnel 2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 2.10 Conditions opérateur 10 10 10 12 13 13 13 13 13 14 14 14 15 15 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.2 Identification du produit 3.3 Fournitures 16 16 16 16 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 17 17 17 5 Installation 5.1 Raccord à vide 5.2 Raccordement électrique 18 18 19 6 Fonctionnement 21 7 Démontage 22 8 Maintenance 8.1 Nettoyage des composants 8.2 Calibration de la jauge 23 23 24 9 Expédition 26 10 Recyclage et mise au rebut 10.1 Informations générales sur la mise au rebut 10.2 Mise au rebut des jauges 27 27 27 11 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 28 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités 30 30 3/36 Table des matières 4/36 12.2 Fiche technique 12.3 Dimensions 30 32 Déclaration de conformité CE 33 Déclaration de Conformité UK 34 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Documents applicables Variantes Abréviations utilisées Conditions ambiantes autorisées Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression Pression limite recommandée pour le calibrage du point zéro Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Valeurs de mesure et de pression Données électriques Volume interne et poids Conditions ambiantes Températures Substances en contact avec le fluide 7 7 9 13 21 24 30 30 30 31 31 31 32 32 5/36 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: 6/36 Schéma de raccordement Relation entre le signal de mesure et la pression Calibration point zéro avec le bouton Dimensions 19 21 25 32 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes : Référence Type Raccordement Gamme de mesure min/max. PT R27 559 CCR 351 4 VCO, filet extérieur 1 × 10-1 Torr/1000 Torr (FS) PT R27 569 CCR 352 1 × 10-2 Torr/100 Torr (FS) PT R27 579 CCR 353 1 × 10-3 Torr/10 Torr (FS) Tab. 2: Variantes Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire. 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 7/36 A propos de ce manuel 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles. Remarque Conseil Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique La plaque signalétique est située sur le côté de l’unité. D-35614 Asslar Mod. P/N S/N Input 1.3.4 8/36 CCR 35x PT R27 5x9 3103457 Made in Liechtenstein 2023/10 xxxxxxxxx xx...xx V DC x W Abréviations Abréviation Explication CA Courant alternatif (CA) ATM Atmosphère c Constante de conversion du signal de mesure et de la pression DC Courant continu A propos de ce manuel Abréviation Explication CEM Compatibilité électromagnétique FKM Caoutchouc fluoré FS Gamme de mesure max. (échelle max.) GND Masse HV Vide élevé LPS Source de puissance limitée MSL Niveau moyen de la mer p Pression PE Terre de protection (conducteur de protection) TBTP Très basse tension de protection U Signal de mesure [V] (tension de sortie) VCO Marque déposée de Swagelok Company Tab. 3: 1.4 Abréviations utilisées Justificatif de marque de commerce ● VCO® est une marque déposée de Swagelok Company. 9/36 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. 10/36 Sécurité DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. – Les raccordements VCO remplissent cette exigence. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. ► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. ► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. ► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxi­ ques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. 11/36 Sécurité Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxi­ ques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 12/36 Sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit Paramètre Valeur Humidité relative de l’air À des températures atteignant +31 °C, 80 % max. À des températures atteignant +40 °C, 50 % max. Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 4000 m MSL Degré de pollution 2 Degré de protection IP40 Tab. 4: 2.5 Conditions ambiantes autorisées Utilisation conforme La jauge est utilisée pour la mesure du vide des gaz dans sa gamme de mesure définie. Utilisation du produit conformément à son usage prévu ► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client. ► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur. ► Observez les limites d’utilisation indiquées dans la fiche technique. ► Observer la fiche technique. 2.6 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation ● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée ● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives ● Utilisation en extérieur ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 2.7 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu ● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante ● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit correspondante L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé. 2.8 Conditions propriétaire Travailler en toute sécurité 1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique. 2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers qu'il implique. 13/36 Sécurité 3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies : – Utilisation conforme – Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents – Normes et directives applicables au niveau local, national et international – Directives et régulations supplémentaires relatives au produit 4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum. 5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit. 6. Garantir la qualification du personnel. 2.9 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 2.9.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : 14/36 Sécurité ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 2.10 Conditions opérateur Analyse des documents et données concernés 1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements. 2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur. 3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents. 4. Se conformer aux limites d’utilisation. 5. Observer la fiche technique. 6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center. – Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum. 15/36 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction La jauge comporte un élément de mesure de la capacité avec diaphragme en céramique. La pression entraîne une déflexion du diaphragme en céramique. La jauge interprète cette déviation du diaphragme comme une variation de capacité. Les éléments électroniques convertissent la variation de capacité en signal de sortie (DC). Le signal de sortie évolue linéairement en fonction de la pression à mesurer. La pression de sortie est indépendante du type de gaz à mesurer. 3.2 Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. 3.3 Fournitures Pièces incluses dans la livraison : ● ● ● ● Point de mesure (dans un emballage en salle blanche) Stylet (Ø 1,1 mm) Certificat d’étalonnage Manuel de l’utilisateur Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée. 16/36 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transporter le produit en toute sécurité ► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant l’installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Stocker le produit en toute sécurité ► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine. ► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenez la température d’entreposage admissible. ► Évitez les fortes variations de températures ambiantes. ► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air. ► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles). 17/36 Installation 5 Installation 5.1 Raccord à vide DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. – Les raccordements VCO remplissent cette exigence. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. ► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. ► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. ► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. AVIS Dégâts causés par les vibrations Les vibrations et les impacts détruisent le capteur céramique qui est sensible aux chocs. ► Manipulez la jauge avec précaution. ► Évitez les vibrations et les impacts. ► Ne faites pas tomber la jauge. Conditions préalables ● Conditions ambiantes appropriées ● Température de fonctionnement dans la plage permissible ● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles) 18/36 Installation Recommandations ► Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le fonctionnement. Ces vibrations entraînent des déviations dans les valeurs mesurées. ► Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le bas). – Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure. ► Une fois le bouton de la jauge monté, vérifiez qu’il soit aisément accessible avec le stylet. Procédure 1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr. 2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum. Raccordement électrique DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. Outil nécessaire ● Clé dynamométrique (≤ 0,4 Nm) Équipement nécessaire ● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client 7 Ident Messsignal Remote Zero Adjust 1 8 10W 4 100K 680nF 9 16 V 5.2 case Fig. 1: 1 2, 3 4 5, 6 Schéma de raccordement Signal de mesure non raccordé Alimentation non raccordé 7 8 9 case Identification ou réglage zéro à distance Signal masse Masse de l’alimentation (GND) Enveloppe de connecteur 19/36 Installation Fabrication du câble de mesure Pour de plus amples informations sur le type de câble de mesure et les coupes transversales de raccordement, voir la fiche technique. 1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure. 2. Utilisez un câble avec un blindage tressé et un boîtier métallique de raccordement. 3. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection pour le bloc d’alimentation. 4. Utilisez une entrée de mesure différentielle avec prise de terre séparée et terre l’alimentation. 5. Vérifiez que la différence de potentiel pour la protection anti-surtension entre la prise de terre d'alimentation et le boîtier est ≤ 16 V. 6. Installez la prise de câble D-sub. Raccordement électrique 1. Raccordez le câble de mesure à la jauge. 2. Serrez la vis d’arrêt sur la prise de câble D-sub. – Couple de serrage : ≤ 0,4 Nm 3. Raccordez la jauge à un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou à un appareil d'évaluation fournie par le client. 20/36 Fonctionnement 6 Fonctionnement Après l’activation de la tension d’alimentation, la jauge est prête pour l’utilisation. Le signal de mesure ne dépend pas du type de gaz. Recommandations ► Lors de la première mise en service, effectuez la calibration point zéro. ► Autorisez toujours un temps de démarrage d’au moins 1 minute pour les mesures générales de la pression au sein des spécifications. p 1.1×FS 1.0×FS 0.9×FS 0.8×FS 0.7×FS 0.6×FS 0.5×FS 0.4×FS 0.3×FS 0.2×FS 0.1×FS 0.0×FS 0 0.5 1 1.5 2 2.5 3 3.5 4 4.5 5 U [V] Fig. 2: Relation entre le signal de mesure et la pression p Pression U [V] Signal de mesure (tension de sortie) Signal de mesure (U) Pression (p) Constante (c) 1) [V] [Torr] 1,00 [hPa] 1 013.25/760 = 1,3332 [mbar] [Pa] Tab. 5: 101 325/760 = 133,3224 Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression Conversion du signal de mesure et de la pression ► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression. ► Conversion du signal de mesure en pression : p = (U/5 V) × c (FS) ► Conversion de la pression en signal de mesure : U = (p × 5 V)/(c (FS) Exemple : Jauge avec 10 Torr FS et signal de mesure de 3 V p = (3 V/5 V) × 10 Torr = 0,6 × 10 Torr = 6 Torr 1) Source : Guide NPL (National Physical Laboratory) de la mesure de la pression et du vide ISBN 0904457x/ 1998 21/36 Démontage 7 Démontage DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. – Les raccordements VCO remplissent cette exigence. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxi­ ques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. AVIS Dégâts causés par les vibrations Les vibrations et les impacts détruisent le capteur céramique qui est sensible aux chocs. ► Manipulez la jauge avec précaution. ► Évitez les vibrations et les impacts. ► Ne faites pas tomber la jauge. Conditions préalables ● Système à vide ventilé à la pression atmosphérique ● Tension d’alimentation désactivée Retrait de la jauge 1. Déconnectez le câble de mesure de la jauge. 2. Retirez la jauge du système de vide. 3. Montez l’obturateur de protection sur le connecteur. 22/36 Maintenance 8 Maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxi­ ques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Demande de garantie Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. Commencer par lire intégralement les sections Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à travailler. La jauge est sans entretien dans des conditions de fonctionnement propres. Le fonctionnement de longue durée ou une contamination peuvent entraîner un décalage du zéro. Un décalage du zéro nécessite un nouveau calibrage. 8.1 Nettoyage des composants DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. 23/36 Maintenance AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. AVIS Dégâts causés par la pénétration d’humidité La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité. ► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau. ► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface. ► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Produits consommables requis ● Alcool industriel ● Chiffon (doux, non pelucheux) Nettoyage externe de l’appareil 1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe. 2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage. 8.2 Calibration de la jauge Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge au départ usine, en position debout à la verticale. FS Pression limite recommandée 1000 Torr < 5 × 10-2 torr < 7 × 10-2 hPa 100 Torr < 5 × 10-3 torr < 7 × 10-3 hPa 10 Torr < 5 × 10-4 torr < 7 × 10-4 hPa Tab. 6: Pression limite recommandée pour le calibrage du point zéro Fonctionnement avec un appareil de mesure Lorsque vous utilisez la jauge avec un appareil de mesure, il vous faut exécuter un réglage du zéro sur l’appareil de mesure, pour l’ensemble du système de mesure : Commencez par calibrer la jauge, puis l’appareil de mesure. Calibrage du point zéro en cas de pression limite excessive Le calibrage du point zéro en cas de pression limite excessive (> 25% de FS) signifie que vous n’atteindrez pas le zéro. 24/36 Maintenance Outils nécessaires ● Stylet (max. Ø 1,1 mm) Fig. 3: Calibration point zéro avec le bouton Préparation du calibrage 1. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation normale. 2. Vérifiez l'absence de toute contamination du filtre. 3. Remplacez le filtre s’il est très contaminé ou endommagé. 4. Mettez la jauge en fonctionnement. Calibration point zéro 1. Dans la mesure du possible, mettez la jauge en service dans l'orientation de montage subséquente. 2. Purgez la jauge jusqu’à la pression limite recommandée. 3. Faites fonctionner la jauge jusqu’à ce que la valeur mesurée soit stable. 4. En utilisant un stylet, pressez brièvement le bouton. Alternativement : Appliquez brièvement la tension d’alimentation sur la broche 7. – La calibration point zéro est réalisée automatiquement (durée ≤ 8 secondes). À l’issue du calibrage du point zéro, la jauge revient automatiquement en mode de mesure. 25/36 Expédition 9 Expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 26/36 Recyclage et mise au rebut 10 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxi­ ques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 10.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 10.2 Mise au rebut des jauges Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démantelez l’unité électronique. 2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 3. Séparez les composants en matériaux recyclables. 4. Recyclez les composants non contaminés. 5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 27/36 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 11 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Va­ cuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de sui­ vre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 28/36 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 29/36 Caractéristiques techniques et dimensions 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 100 1 0,1 0,75 1 · 10 1,000 100 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 · 10-3 133,32 1,33 0,133 1 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 Pa 0,01 hPa -3 5 -5 1 Pa = 1 N/m Tab. 7: 750 -3 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 592 7,5 10 3 Pa m /s sccm 1 Torr l/s 3 atm cm /s Tab. 8: 9,87 1.69 · 10 1.69 · 10 1 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 -3 -2 1,27 · 10 1.67 · 10-2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 12.2 Fiche technique Paramètre Gamme de mesure Pression maximum (absolue) CCR 351 1 × 10-1 Torr/1000 Torr (FS) CCR 352 1 × 10-2 Torr/100 Torr (FS) CCR 353 1 × 10-3 Torr/10 Torr (FS) ≥500 Torr/mbar (FS) 400 kPa 50 – 200 Torr/mbar (FS) 300 kPa 10 – 30 Torr/mbar (FS) 200 kPa Pression de rupture (absolue) 600 kPa Dépendance du type de gaz Aucune Précision 2) ≤0,5 % de la valeur mesurée Influence de la température sur le point zéro 0,02% FS/ °C Influence de la température sur la gamme 0,02 % de la valeur mesurée/ °C Résolution 0,05% FS Calibrage de la jauge Bouton pour le calibrage du point zéro Entrée numérique pour calibration point zéro avec un contact de commutation externe (ajustement zéro à distance) Tab. 9: 2) 30/36 Valeur Valeurs de mesure et de pression Non-linéarité, hystérésis, précision répétable dans la plage calibrée à une température ambiante de 25 °C sans influence de la température après 2 heures de fonctionnement. Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Signal de sortie analogique (signal de mesure) Valeur Gamme de tension -0,2-+5,12 V Gamme de mesure 0-+5 V Rapport tension-pression Linéaire Impédance de sortie 10 Ω ( résistant aux courtscircuits) Impédance de la charge >10 kΩ Identification Résistance RIdent Résistance 13,2 kΩ contre la terre d'alimentation Temps de réponse Tension d’alimentation 100 ms Sur la jauge +12 – +32 V DC 3) Ondulation ≤50 mVpp Consommation de courant <20 mA Puissance absorbée ≤0,3 W Point de commutation externe 30 V DC/<5 mA DC Pulsion, impulsion >1 s – <5 s Fusible (à raccorder en série) 4) 1,25 AT (lent), remise à zéro automatique (Polyfuse) Raccordement (électrique) D-sub (9 broches, broches) Câble de mesure 9 broches, blindage inclus Longueur de câble 5) ≤100 m (0.14 mm2 / conducteur) Concept de mise à la terre Tab. 10: Raccord vide et signal de masse Raccordé via 100 MΩ (différence de tension < 16 V) Terre d'alimentation et masse signal acheminement séparé pour la mesure du différentiel(10 Ω) Données électriques Paramètre Valeur Volume interne ≤6,1 cm3 Poids 159 g Tab. 11: Volume interne et poids Paramètre Valeur Humidité relative de l’air À des températures atteignant +31 °C, 80 % max. À des températures atteignant +40 °C, 50 % max. Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 4000 m MSL Degré de pollution 2 Degré de protection IP40 Tab. 12: Conditions ambiantes Paramètre Valeur Fonctionnement 0 – +70 °C Domaine de température compensé +10 – +50 °C 3) La jauge est protégée contre toute inversion de polarité de la tension d’alimentation. 4) Les unités de commande et de mesure Pfeiffer Vacuum sont conformes à cette exigence. 5) Des coupes transversales de conducteur plus grandes sont nécessaires pour les câbles plus longs. 31/36 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Étuvage (non opérationnel) ≤ 110 °C sur bride Stockage -20 – +85 °C Tab. 13: Paramètre Valeur Bride, tube Acier inoxydable AISI 316L Capteur, passage Céramique oxyde d’aluminium (Al2O3 ≥ 99,5%) Tab. 14: 12.3 Températures Substances en contact avec le fluide Dimensions 39.15 37.7 124.5 84 28.3 4 VCO External Thread Fig. 4: Dimensions Dimensions en mm 32/36 Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge capacitive CCR 351 CCR 352 CCR 353 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen­ nes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN IEC 61000-6-2:2019 DIN EN IEC 61000-6-3:2022 DIN EN 61010-1:2020 DIN EN IEC 61326-1:2022 DIN EN IEC 63000:2019 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-04-17 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge capacitive CCR 351 CCR 352 CCR 353 Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dange­ reuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Standards et spécifications appliqués : EN IEC 61000-6-2:2019 EN IEC 61000-6-3:2021 EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-04-17 35/36 *BG5140* ed. A - Date 2310 - P/N:BG5140BFR ">
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