Pfeiffer TCP 1200, Electronic drive unit Mode d'emploi
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MANUEL DE L’UTILISATEUR FR Traduction du manuel de l‘utilisateur TCP 1200 PT 0454 BFR/B (1603) Commande électronique d’entraînement Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1 1.2 2 Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.2.1 Consignes de sécurité. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.2.2 Pictogrammes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.2.3 Instruction dans le texte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.2.4 Abréviations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 2.1 2.2 2.3 3 Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 Conformité d’utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 Non conformité d’utilisation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 3.1 3.2 3.3 3.4 Identification du produit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 3.1.1 Caractéristiques du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 3.1.2 Batterie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 3.1.3 Contenu de la livraison . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Domaine d'application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 3.3.1 Refroidissement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Panneau de raccordement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 4 Schéma de raccordement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 5 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 5.1 5.2 5.3 5.4 6 Montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 5.1.1 Installation en rack . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 Raccord « pompe externe » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 Mise à la terre . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14 Branchement au secteur. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15 Raccord « remote » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16 6.1 6.2 7 Affectation des connecteurs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16 Utilisation avec la connexion « remote » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16 6.2.1 Sortie +24 V CC*/ broche 1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16 6.2.2 Entrées . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17 6.2.3 Sorties . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18 6.2.4 Contacts à relais (inversible) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18 6.2.5 RS-485 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19 Raccord « RS-485 » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20 7.1 7.2 7.3 8 Raccordement du dispositif de mesure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 9 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 9.1 9.2 9.3 2 Connexions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20 Raccorder les appareils d’affichage et de commande ou un PC . . . . . . . 20 Configuration en réseau via le port RS-485 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 9.1.1 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 Vue d'ensemble des paramètres . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 9.2.1 Explication. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 9.2.2 Utilisation avec DCU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 9.2.3 Ordres de réglage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24 9.2.4 Demandes d'état . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 9.2.5 Valeurs de consigne prédéfinies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 Configurer raccords . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 Table des matières 10 9.3.1 Raccordement accessoires. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 9.3.2 Sorties numériques et relais au niveau de « remote » . . . . . . . . . 27 9.3.3 Entrées numériques sur « remote » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28 9.3.4 Sortie analogique sur « remote » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28 9.3.5 Entrée analogique sur « remote ». . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28 9.3.6 Commande via interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28 9.4 Travail avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum. . . . . . . . . . . . . . . . . . 29 9.4.1 Réglages en usine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29 9.4.2 Vérifier réglages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29 9.4.3 Exploitation en fonction du type de gaz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 9.4.4 Valeur prédéfinie puissance absorbée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 9.4.5 Temps d'accélération. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 9.4.6 Réglez le point de commutation de la vitesse de rotation . . . . . . . 31 9.4.7 Mode Réglage de la vitesse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32 9.4.8 Standby . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 9.4.9 Valeurs prédéfinies de vitesse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 9.4.10 Mode d'exploitation pompe primaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 9.4.11 Exploitation avec périphérique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34 9.4.12 Modes de remise à l’air . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34 9.4.13 Surveillance de la charge thermique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 9.5 Mise en marche / mise hors circuit de la pompe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 9.5.1 Mise en circuit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 9.5.2 Arrêt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37 10.1 Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37 10.2 Affichage LC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37 10.3 Fonctions des touches . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38 10.4 Description des symboles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38 10.5 Mise en circuit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39 10.5.1 Autodiagnostic. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39 10.6 Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39 10.6.1 Sélection des paramètres . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39 10.6.2 Réglage des paramètres. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39 10.7 Mesure de la pression. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 10.7.1 Affichage des jauges. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 10.7.2 Affichage de la valeur réelle de la pression . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 10.8 Arrêt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 11 Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41 11.1 Cadre de télégramme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41 11.2 Télégrammes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41 11.2.1 Exemple 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41 11.2.2 Exemple 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42 11.3 Types de données utilisées. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42 12 Dysfonctionnements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43 12.1 Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43 12.2 Affichage du mode d’utilisation par les diodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43 12.3 Codes d'erreur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44 13 Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46 14 Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47 Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48 3 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité Ce manuel de l’utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l’utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. Les manuels de l’utilisateur valides sont également disponibles sur Internet sur www.pfeiffer-vacuum.com. 1.2 Conventions 1.2.1 Consignes de sécurité Les consignes de sécurité des manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum sont le résultat d'évaluations et d'analyses de risques et sont inspirées des normes de certification UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO 3864 et DIN 4844. Le présent document détaille les niveaux de danger et informations suivants : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant la mort ou des blessures graves. AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent pouvant entraîner la mort ou des blessures graves. ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent pouvant entraîner des blessures légères. AVIS Injonction ou indication Invitation à procéder à une action ou information au sujet de points dont le non-respect peut conduire à la détérioration du produit. 4 A propos de ce manuel 1.2.2 Pictogrammes Interdiction d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de cette interdiction peut générer des accidents graves Avertissement contre le danger représenté par le symbole. Obligation d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de cette obligation peut générer des accidents graves. Informations importantes concernant le produit ou le présent document 1.2.3 Instruction dans le texte Instruction de travail : vous devez exécuter une opération à cet endroit. 1.2.4 Abréviations TCP : Commande électronique d'entraînement de la pompe turbomoléculaire, externe avec d’alimentation DCU : Display Control Unit HPU : Handheld Programming Unit DI / DO: Entrée numérique / Sortie numérique AI / AO: Entrée analogique / Sortie analogique [P:000]: Paramètres de la commande électronique d'entraînement avec numéro 5 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes de sécurité Obligation d'information Toute personne intervenant dans l'installation ou l'exploitation de l'appareil doit lire et respecter les passages relatifs à la sécurité de cette notice d'instructions. L'exploitant est tenu d'attirer l'attention de tout opérateur sur les risques inhérents à l'appareil ou à l'ensemble de l'installation. AVERTISSEMENT Risque lié à une installation électrique non conforme La sécurité du fonctionnement après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant. Ne procédez à aucune transformation ou modification du produit de votre propre initiative. Assurez une intégration correcte dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité. Pour toute demande spécifique, contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger en cas d'absence de dispositif de sectionnement La pompe et la commande électronique d'entraînement ne sont pas équipées d'un dispositif de sectionnement. L'installation d'un dispositif de sectionnement selon SEMI-S2 est à la charge de l'exploitant. Prévoir un disjoncteur ayant un pouvoir de coupure d'au moins 10 000 A. AVERTISSEMENT Risque d'électrocution En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension. Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour pouvoir défaire le branchement à tout moment. ● Respectez toutes les prescriptions de sécurité et de prévention des risques. ● Une jonction sûre avec le fil de terre (PE) doit toujours être assurée (classe de protection I). ● Vérifiez régulièrement que toutes les mesures de précaution sont respectées. ● Avant toute opération, débranchez l'appareil et toutes les installations qui y sont reliées du secteur. ● Pendant le fonctionnement, ne pas desserrer ou retirer les connecteurs. ● L'appareil présente le type de protection IP 20. En cas d'incorporation dans des environnements exigeant d'autres types de protection, il faudra prendre des mesures correspondantes. ● Les conduites et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces chaudes (> 70 °C). ● Ne débranchez la pompe de la commande électronique qu'après l'arrêt complet de la pompe et avoir coupé la tension d'alimentation. 6 Sécurité 2.2 Conformité d’utilisation AVIS Conformité CE La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires ! Après incorporation dans une installation et avant la mise en service, l'exploitant s’engage à vérifier la conformité de l'ensemble du système dans l'esprit des directives UE en vigueur, et de la réévaluer en conséquence. ● La commande électronique d'entraînement externe TCP 1200 sert exclusivement au fonctionnement des pompes turbo Pfeiffer Vacuum de la série HiPace® : – HiPace 1200 avec TCP 1200 – HiPace 1500 avec TCP 1200 – HiPace 1800 avec TCP 1200 – HiPace 2300 avec TCP 1200 ● La commande électronique d'entraînement externe TCP 1200 sert à l'alimentation, à la commande et à la surveillance d'une pompe turbomoléculaire et d'appareils périphériques raccordés. Faites fonctionner la pompe uniquement avec une commande électronique d'entraînement correspondante. L'utilisation d'une commande électronique autre que celle prévue à cet effet n'est pas autorisée. 2.3 Non conformité d’utilisation En cas d'usage non conforme, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté. Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui diffèrent de celles précitées, dont notamment : ● le raccordement à des pompes ou appareils qui, selon le contenu de leur manuel de l’utilisateur, ne sont pas prévus à cette fin ● le raccordement à des appareils non isolés électriquement ● le raccordement à des alimentations qui ne répondent pas aux dispositions de la norme CEI 61010 ou CEI 60950 ● l’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants warranty seal Sceau de fermeture Le corps de produit est scellé en usine. Tout dommage ou arrachement d’un sceau de fermeture conduit à la perte de la garantie. N'ouvrez pas le produit durant la période de garantie ! Si les applications nécessitent des intervalles d'entretien plus courts que la période de garantie, contacter le service après-vente Pfeiffer Vacuum. 7 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Identification du produit 3.1.1 Caractéristiques du produit ● La commande électronique d'entraînement externe TCP 1200 sert à l'alimentation, à la commande et à la surveillance d'une pompe turbomoléculaire et d'appareils périphériques raccordés. Désignation TCP 1200 Panneau de raccordement Pompe turbo HiPace, aproprié pour TCP Branchement au secteur: fréquence (intervalle) Branchement au secteur: tension (intervalle) Consommation de courant maximale Puissance absorbée maximale Branchement au secteur: protection interne Pouvoir de coupure (AIC)* * Ampere interrupting capacity Standard (RS485) 1200, 1500, 1800, 2300 50/60 Hz 200-240 (± 10%) V AC 6,1 A 1150 VA 10 A, fusible à action retardée 1500 A Pour identifier correctement le produit lors de toute communication avec Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la plaque signalétique. Mod.: TCP 1200 Ser.-No.:79500005 Mod.-No.: PM C01 870 Input: ~ 200-240V±10% 6A, 50 - 60 Hz, 1500AIC Output: 0 - 400V 5A, 0 - 630 Hz Weight: 9kg Made in Germany 2013/11 Fig. 1: 3.1.2 Exemple de plaque signalétique Batterie La commande électronique d'entraînement est équipée d'une pile pour l'alimentation électrique continue de l'horloge système. ● Type : pile bouton au lithium, 3 V, CR1225 ou CR2032 Mettre les piles usagées au rebut conformément aux dispositions locales en vigueur. Ne pas jeter avec les ordures ménagères. 3.1.3 Contenu de la livraison ● TCP 1200, commande électronique d'entraînement externe dans un chassis de 19" ● Manuel de l’utilisateur 8 Description du produit 3.2 Fonction 1 2 5 3 4 6 8 pump2. output 24 V DC mains input 200-240 V AC +/- 10% pump1. output 0-400 V DC RS485 in 24 V DC accessory A in 24 V DC gauge 24 V DC 11 Fig. 2: 1 2 3 4 10 9 7 Vue de face et de dos de la TCP 1200 Boîtier de montage 19" Ventilateur de boîtier Témoin de fonctionnement Appareil d'affichage et de commande « DCU 002 » 5 6 7 8 3.3 Domaine d'application 3.3.1 Refroidissement Raccord « pump1.output » Raccord de commande « pump2.output » Panneau de raccordement Alimentation « mains input » 9 10 11 Raccord interne « RS-485 in » Raccord interne « accessory A in » Raccord pour tubes manométriques Le ventilateur de boîtier intégré est relié au raccord pour accessoires « accessory A in » par un câble de raccordement. Les paramètres de réglage appropriés ont été préconfigurés et sont bloqués pour empêcher toute modification. La déconnexion du câble de raccordement entraînera un message d'erreur. Les commandes électroniques d’entraînement TCP 1200 de Pfeiffer Vacuum doivent être installées et utilisées dans les conditions ambiantes suivantes. Lieu de mise en place Type de protection admissible Classification des protections Température Humidité relative Pression de l’air : Hauteur d'implantation : Degré d'encrassement Catégorie de surtension à l'abri des intempéries (dans des locaux) IP 20 I de +5 °C à +40 °C 80% max. avec T 31 °C, 50% max. avec T 40 °C 750 hPa - 1060 hPa 2000 m maxi. 2 II 9 Description du produit Remarques relatives aux conditions ambiantes Les températures ambiantes autorisées indiquées sont applicables au fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à la pression de vide primaire maximale autorisée ou au débit de gaz maximal autorisé, en fonction du type de refroidissement. La pompe turbomoléculaire dispose d’une sécurité intrinsèque de sa température. ● Si la pression de vide primaire ou le débit de gaz est réduit, la pompe turbomoléculaire peut également être utilisée à des températures ambiantes superieures. ● En cas de dépassement de la température de fonctionnement maximale autorisée de la pompe turbomoléculaire, la commande électronique d’entraînement réduit d’abord la puissance et se met ensuite hors circuit si nécessaire. 3.4 Panneau de raccordement 9 10.1 11 12 9.1 PV.can RS485 B A DC in accessory remote 13 10 Fig. 3: 9 9.1 10 10.1 Panneau de raccordement « standard » pour la TCP 1200 Raccord interne « RS-485 in », affecté Raccord « RS485 », affecté Raccord interne « accessory A in » Raccord « accessory A », affecté 11 13 12 Raccord « accessory B », libre Raccord « remote » Raccord de service « PV.can » AVIS Charge de contact des raccords pour accessoires La somme des charges de contact des raccords pour accessoires libres A1, B1 et B2 sur le panneau de raccordement de la TCP 1200 ne doit pas dépasser 250 mA. Respecter une charge individuelle des appareils raccordés Imax = 200 mA. RS-485 Connecteur M12 avec verrouillage à vis. Occupé pour le branchement de l'appareil d'affichage et de commande intégré DCU 002. Disponible pour le branchement via la prise RS-485 d'autres appareils, par ex. ordinateur. L'utilisation d'un répartiteur Y permet le couplage à un système de bus. accessory A Connecteur M12 avec verrouillage à vis. Affecté au raccordement d'un accessoire interne. Accessory A1 est disponible directement au niveau de la pompe via le raccord de commande « pump.2 output ». Accessory A2 est affecté au refroidissement par air interne. accessory B Connecteur M12 avec verrouillage à vis pour le raccordement d'accessoires Pfeiffer Vacuum. L'utilisation d'un répartiteur Y permet un double branchement. PV.can Connecteur M12 avec verrouillage à vis et LED pour raccordement d'une mesure de pression intégrée et pour les besoins de maintenance par Pfeiffer Vacuum. 10 Description du produit remote Connecteur femelle Sub-D High Density à 26 pôles pour le raccordement et la configuration d'une télécommande. 11 Schéma de raccordement 4 Schéma de raccordement mains input 200-240V AC +/-10% 3 2 2 3 1 1 L 1 1 Motor U N 2 2 Motor V n.c. 3 3 Motor W PE pump.2 output 0-400V DC 4 n.c. 5 5 5 n.c. 2 4 4 3 2 1 3 1 PE internal Fan 1 Sensor 3+ n.c. 2 Sensor 3- 2 ACC A2 3 Sensor 2+ 3 24V DC** 4 Sensor 1+ 4 ACC A1 5 Sensor 1- FE 6 Sensor 2- 7 ACC A1 8 24V DC** 1 RS 485 D+ 2 +24V DC* RS485 in 24V DC 3 3 GND* 4 4 RS 485 D- 1 accessory A in 24V DC 5 3 pump.2 output 24V DC 1 1 8 8 2 5 4 DCU 1 to panel accessory A gauge 24V DC 3 4 2 1 6 5 Gauge-ID 1 -Ub 2 Signal 3 -Ub 4 FE 5 +Ub 6 Fig. 4: 12 Schéma de raccordement et affection de la TCP 1200 2 1 3 4 2 1 to panel RS 485 Installation 5 Installation 5.1 Montage AVIS Garantir une convection libre Un montage incorrect peut causer des dommages dus à une surchauffe ou entraîner un risque d'incendie. Respectez 50 mm distance minimale entre les ouvertures de refroidissement et les composants voisins ou les limitations. Installez l'appareil debout. 5.1.1 Installation en rack Le boîtier de la commande électronique d'entraînement TCP 1200 se compose d'un support pour groupe de composants de 19" permettant le montage dans une armoire de rack. Insérer l'appareil horizontalement dans les rails de guidage d'un rack 19"/3HE et fixer la platine avec quatre vis de fixation. En cas d'installation dans un boîtier fermé, veiller à ce que la circulation d'air soit suffisante. Ne pas gêner le courant d'air interne de l'appareil ni l'évacuation. Respecter les conditions environnementales admissibles dans l'armoire de rack (regardez à la p. 9, chap. 3.3) . 5.2 Raccord « pompe externe » Le raccordement externe d'une pompe turbomoléculaire Pfeiffer Vacuum à la commande électronique d'entraînement TCP 1200 peut être effectué avec des câbles de raccordement blindés de différentes longueurs du programme d'accessoires Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Risque d'électrocution Le système est hors tension uniquement avec la prise secteur débranchée. Avant tous travaux, désactivez l'interrupteur principal et débranchez le connecteur de réseau. Sécurisez contre le réenclenchement non intentionnel. Assurez-vous de l'arrêt complet de la pompe (f < 1). ATTENTION Risque de trébucher ! Risque de trébuchement lors de travaux dans la zone d'installation. Disposez les câbles d'alimentation de façon à ce que vous ne puissiez pas trébucher. Les fiches et les connecteurs indiquent clairement le câble utilisé pour la commande et le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire. ● Connecteurs HAN-Q5 et RJ45 pour le raccordement à la TCP 1200 ● Prises HAN-Q5 et M12 pour le raccordement à la pompe turbomoléculaire 13 Installation 5 13.2 6 13.1 13.3 Fig. 5: 5 6 Raccordement de la pompe turbomoléculaire à la commande électronique d'entraînement TCP 1200 Raccord « pump1. output » 13.1 Raccord « pompe » Raccord de commande « pump2.output » 13.2 Raccord de commande « pompe » 13.3 Câble de raccordement TCP - pompe Installez le câble de raccordement entre la commande électronique d’entraînement et la pompe turbomoléculaire. Sécurisez l'étrier de verrouillage, enclenchez les connecteurs et serrez les raccords à vis. 5.3 Mise à la terre AVERTISSEMENT Risque d'électrocution En cas de défaut, les pièces reliées au réseau peuvent être sous tension. Avant d'établir l'alimentation, raccorder la pompe à la terre (PE) selon les règlements locaux. Raccorder un câble de terre adapté, à la charge du client. Respecter la section minimale de le raccordement au réseau. M4 Fig. 6: 14 Établissement du raccordement à la terre Installation 5.4 Branchement au secteur AVERTISSEMENT Risque lié à une installation électrique non conforme La sécurité du fonctionnement après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant. Ne procédez à aucune transformation ou modification du produit de votre propre initiative. Assurez une intégration correcte dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité. Pour toute demande spécifique, contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger en cas d'absence de dispositif de sectionnement La pompe et la commande électronique d'entraînement ne sont pas équipées d'un dispositif de sectionnement. L'installation d'un dispositif de sectionnement selon SEMI-S2 est à la charge de l'exploitant. Prévoir un disjoncteur ayant un pouvoir de coupure d'au moins 10 000 A. AVERTISSEMENT Risque d'électrocution En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension. Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour pouvoir défaire le branchement à tout moment. 1 2 PE 3 Fig. 7: 1 2 3 PE Phase L fil neutre pas connexe fil de protection Affectation de la fiche de secteur Commandez le câble de raccordement séparément (voir « Accessoires »). Branchez le câble de raccordement dans le branchement sur le secteur AC in. Fixez le câble de raccordement à l'aide de l'étrier de maintien. 15 Raccord « remote » 6 Raccord « remote » 9 1 18 10 26 19 Une commande à distance est possible via le raccord Sub-D 26 pôles portant la désignation « remote » sur la commande électronique d'entraînement. Les fonctions individuelles utilisables sont représentées par le « niveau API ». Débranchez le connecteur de commande à distance de la TCP 1200 et raccordez une télécommande. L'affectation des broches du connecteur de branchement doit se conformer au tableau. Utilisez des connecteurs et câbles blindés. Les indications suivantes représentent les configurations d’usine. Ils peuvent être configurés par le jeu de paramètre Pfeiffer Vacuum. 6.1 Affectation des connecteurs Broche Fonction Déscription configuration d’usine 1 2 3 4 5 6 7 Tension de référence pour toutes les entrées/sorties numériques Autorisation de la remise à l'air, ouverte: off ; V+: on Moteur d'entraînement, ouvert: off ; V+: on ouvert: off ; V+: on et acquittement de dérangement Vitesse de rotation en mode Stand-by ; ouverte: off ; V+: on Chauffage, ouvert: off ; V+: on Valeur prédéfinie en mode d'exploitation à régime variable, 2-10 V CC correspond à 20-100% de la vitesse nominale Point de commutation de la vitesse de rotation atteint; GND: non ; V+: oui (Imax = 50 mA/24 V) GND: Erreur ; V+: aucune erreur (Imax = 50 mA/24 V) Purge de gaz neutre, ouvert: off ; V+: on Valeur prédéfinie en mode d'exploitation à régime variable ; GND 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 Sortie +24 V CC* (V+) DI1 Pompe à moteur DI Groupe de pompage DI Standby DI DI2 AI+ mode d'exploitation à régime variable DO1 DO2 DI3 AI- mode d'exploitation à régime variable GND AO1 Vitesse réelle ; 0-10 V CC correspond à 0-100% ; RL > 10 kΩ Acquittement de dérange- Acquittement de dérangement: Impulsion V+ (min. 500 ms) ment DI Priorité mode distant DI Utilisation via interface « remote » ; ouverte: off ; V+: en service et prioritaire sur les autres entrées numériques Relais 1 Liaison avec la broche 16, lorsque le relais 1 est inactif Relais 1 Point de commutation de la vitesse de rotation atteint ; contact de relais 1 (Umax = 50 V CC, Imax = 1 A) Relais 1 Liaison avec la broche 16, lorsque le relais 1 est actif Relais 2 Liaison avec la broche 19, lorsque le relais 2 est inactif Relais 2 Aucune erreur; contact de relais 2 (Umax = 50 V CC, Imax = 1 A) Relais 2 Liaison avec la broche 19, lorsque le relais 2 est actif Relais 3 Liaison avec la broche 22, lorsque le relais 3 est inactif Relais 3 Avertissement; contact de relais 3 (Umax = 50 V CC, Imax = 1 A) DO Priorité à la télécom- GND: off ; V+: Priorité à la télécommande active mande RS-485 D+ D’après la spécification et le protocole Pfeiffer Vacuum RS-485 DD’après la spécification et le protocole Pfeiffer Vacuum Masse (GND*) Masse de référence pour toutes les entrées numériques et toutes les sorties 6.2 Utilisation avec la connexion « remote » 6.2.1 Sortie +24 V CC*/ broche 1 Les entrées 2 - 6, ainsi que les raccords aux broches 10, 13, 14, s'activent lorsqu'on les relie avec du +24 V CC à la broche 1 (active high). À titre d'alternative, la commande peut s'effectuer via un API externe. Les fonctions sont activées par « Niveau API High » et désactivées par « Niveau API Low ». ● Niveau API High : +13 V à +33 V 16 Raccord « remote » ● Niveau API Low : -33 V à +7 V ● Ri: 7 kΩ ● Imax < 210 mA (avec RS-485, si disponible) 6.2.2 Entrées Les entrées numériques sur le raccord « remote » servent à la commutation de différentes fonctions de la commande électronique d'entraînement. Les entrées DI1 - DI2 sont affectées de fonctions dès le départ usine. Celles-ci sont configurables via l'interface RS-485 et le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum. DI1 (Autorisation de la remise à l'air) / broche 2 V+ : Autoriser la remise à l'air (remise à l'air selon mode de remise à l'air) ouvert : Remise à l'air bloquée (pas de remise à l'air) DI Pompe à moteur / broche 3 Lorsque la broche 4 (groupe de pompage) est activée et que le contrôle automatique s'est terminé avec succès, la pompe turbomoléculaire est mis en service. Pendant le service, il est possible d'éteindre et de rallumer la pompe turbomoléculaire si le groupe de pompage est demeuré sous tension. Ce faisant, la pompe turbomoléculaire n'est pas remise à l'air. V+ : Moteur de la pompe turbomoléculaire allumé ouvert : Moteur de la pompe turbomoléculaire éteint DI groupe de pompage / broche 4 Les composants du groupe de pompage raccordés sont commandés (p. ex. pompe primaire, vanne de remise à l'air, refroidissement à l'air) et en cas d'activation simultanée de la broche 3 (moteur), la pompe turbomoléculaire est mise en service. Les messages d'erreur présents le cas échéant sont acquittés une fois la cause éliminée. V+ : Acquittement de dérangement et groupe de pompage on ouvert : Groupe de pompage arrêt DI Standby / broche 5 Le mode Standby est le mode de la pompe turbomoléculaire avec une vitesse de rotation prédéfinie du rotor < vitesse nominale. Le réglage usine et l'exploitation recommandée représentent 66,7 % de la vitesse nominale. V+ : Standby activé ouvert : Standby off, fonctionnement à la vitesse nominale DI2 (chauffage) / broche 6 V+ : Chauffage en marche ouvert : Chauffage éteint DI3 (purge de gaz neutre) / broche 10 V+ : Vanne de la purge de gaz neutre est ouvert ouvert : Vanne de la purge de gaz neutre est fermée DI Acquittement de dérangement / broche 13 V+ : Acquittez les messages d'erreur présents une fois la cause éliminée par une impulsion d'une durée de 500 ms. ouvert : Inactif 17 Raccord « remote » Priorité mode distant DI / broche 14 V+ : Le raccord « remote » a priorité de commande sur toutes les autres entrées numériques. ouvert : Priorité mode distant inactif AI Mode d'exploitation à régime variable / broche 7 et broche 11 L'entrée analogique sert à la valeur prédéfinie de vitesse de la pompe turbomoléculaire. Un signal d'entrée de 2 à 10 V entre AI+ (broche 7) et AI- (broche 11) correspond à l'une des vitesse dans une plage de 20 à 100% de la vitesse nominale. En cas d'entrée ouverte ou de signaux inférieurs à 2 V, la pompe est accélérée jusqu'à sa vitesse nominale. f(%) 100 20 10 U(V) 2 6.2.3 Sorties Les sorties numériques sur le raccord « remote » tolèrent une charge maximale de 24 V / 50 mA par sortie. Toutes les sorties sont configurables par le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum via l'interface RS-485 (déscription relatif à la configuration par défaut). DO1 (point de commutation de la vitesse de rotation atteint) / broche 8 Active high après avoir atteint le point de commutation de la vitesse. Le point de commutation de la vitesse 1 est réglé en usine à 80% de la vitesse nominale. Il peut être utilisé par ex. pour un message « Pompe prête à fonctionner ». DO2 (aucun défaut) / broche 9 Lorsque l'alimentation en tension est établie, la sortie numérique DO2 émet durablement 24 V CC, ce qui signifie « aucun défaut ». Active low en cas de défaut (message de défaut groupé). DO Priorité à la télécommande active / broche 23 Active high : Le raccord « remote » a la priorité sur tous les autres appareils de commande (p.ex. RS-485) raccordés le cas échéant. En mode active low le raccord « remote » est ignoré. AO1 sortie analogique 0-10 V CC / broche 12 La sortie analogique permet de piquer une tension proportionnelle à la vitesse (0-10 V CC correspondant à 0 - 100% x fnominale) (charge R ≥ 10 kΩ). A la sortie analogique et via DCU, HPU ou un PC, il est possible d'attribuer des fonctions supplémentaires (intensité/puissance au choix). 6.2.4 Contacts à relais (inversible) Relais 1 / broche 15, broche 16 et broche 17 Le contact entre la broche 16 et la broche 15 est fermé, lorsque le point de commutation de la vitesse de rotation est dépassé; Le relais 1 est inactif. Le contact entre la broche 16 et la broche 17 est fermé, lorsque le point de commutation de la vitesse de rotation est atteint; Le relais 1 est actif. Relais 2 / broche 18, broche 19 et broche 20 Le contact entre la broche 19 et la broche 18 est fermé en cas d'erreur existante; Le relais 2 est inactif. Le contact entre la broche 19 et la broche 20 est fermé en cas de fonctionnement sans défaut; Le relais 2 est actif. 18 Raccord « remote » Relais 3 / broche 21 et broche 22 Le contact entre la broche 21 et la broche 22 est fermé en cas d'avertissements inactifs; Le relais 3 est inactif. Le contact entre la broche 21 et la broche 22 est ouvert en cas de message d'avertissement existant; Le relais 3 est actif. 6.2.5 RS-485 Via la broche 24 et la broche 25 sur le raccord « remote » de la commande électronique d'entraînement, il est possible de relier respectivement un appareil d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum (DCU ou HPU) ou un PC externe. Les liaisons devront être établies conformément aux caractéristiques techniques de l'interface RS-485. 19 Raccord « RS-485 » 7 Raccord « RS-485 » 7.1 Connexions Le raccordement « RS-485 » à la commande électronique d’entraînement est occupée par l'appareil d'affichage et de commande DCU 002 intégré. Le raccordement externe d'une « Handheld programming unit » (HPU) Pfeiffer Vacuum ou d'un ordinateur est possible. Par isolation galvanique, l'interface est isolée de façon sûre de la tension d'alimentation maximale possible de la commande électronique d'entraînement. En interne, les liaisons électriques sont opto-découplées. 1 4 7.2 5 2 3 Désignation Valeur Interface série Vitesse de transmission Longueur d'un mot de données Parité Bits de départ Bits d'arrêt RS-485 9600 bauds 8 bits aucune (no parity) 1 1..2 Broche Affectation 1 2 3 4 5 RS-485 : D+ Sortie +24 V 210 mA de charge possible (avec broche 1 de « Remote ») GND RS-485 : Dpas raccordé Raccorder les appareils d’affichage et de commande ou un PC Sur l'interface RS-485, il est possible de raccorder respectivement un appareil de commande externe. Le raccordement d'une interface USB (PC) est possible via le convertisseur USB/RS485. La séparation de la connexion interne « RS485 » vers « RS485in » désactive le DCU 002 intégré et le connecteur « Gauge » avec lequel il est raccordé. USB/RS485-converter DCU 002 RS485 Fig. 8: 20 HPU 001 Possibilités de raccordement au choix à l’interface RS-485 Raccord « RS-485 » 7.3 Configuration en réseau via le port RS-485 USB/RS485-converter M12 TC TC USB/RS485-converter D+ D- USB PC RS 485 ATTENTION Risque d'électrocution Les mesures d'isolation du système de bus n'ont été conçues que pour l'emploi de basses tensions de sécurité. Au système de bus, ne raccordez que des appareils appropriés. Les liaisons devront être établies conformément aux caractéristiques techniques de l'interface RS-485. Raccordez tous les appareils au bus à l'aide de RS-485 D+ et RS-485 D-. ● L'adresse de groupe de la commande électronique d'entraînement est 963. ● Tous les appareils connectés au bus doivent avoir des adresses d'interface RS-485 différentes [P:797]. 21 Raccordement du dispositif de mesure 8 Raccordement du dispositif de mesure Il est possible via la prise de raccordement portant la désignation « Gauge » d'exploiter un appareil de mesure de pression Pfeiffer Vacuum de la série ActiveLine. Mesure de pression avec la TCP 1200 La mesure de pression via la commande électronique d'entraînement TCP 1200 est directement liée à l'appareil d'affichage et de commande DCU incorporé. Ainsi, l'alimentation du connecteur « Gauge » dépend de l'utilisation du DCU. Garantir la connexion entre « RS-485in » et « RS485 ». ● Types de tubes manométriques utilisables – APR 250/260 – CMR 3xx – PKR 2xx – PCR 280 22 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum 9 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum 9.1 Généralités Toutes les grandeurs physiques intéressant le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire sont fixées dans la commande électronique d'entraînement sous forme de paramètres. Chaque paramètre possède un numéro de trois chiffres et une désignation. Les paramètres peuvent être utilisés, via les appareils d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou via RS-485, avec le protocole Pfeiffer Vacuum. Paramètres supplémentaires dans l'appareil de commande Pour commander des composants externes raccordés (p. ex. des dispositifs de mesure de la pression du vide), des paramètres supplémentaires sont fixés dans les appareils d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum correspondants. Veuillez respecter le manuel de l’utulisateur adéquat. 9.1.1 Conventions Les paramètres sont imprimés en gras sous forme de numéros à trois chiffres entre crochets. Le cas échéant, la désignation est indiquée en plus. Exemple: [P:312] Version logicielle 9.2 Vue d'ensemble des paramètres 9.2.1 Explication # Affichage Désignation Fonctions Type de données Type d'accès Unité min / max default 9.2.2 Numéro à trois chiffres du paramètre Affichage à l'écran de la désignation du paramètre * signifie le cas échéant une représentation sous forme de symbole Brève description du paramètre Description fonctionnelle du paramètre Type de formatage du paramètre pour l'utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum R : accès en lecture, W : accès en écriture Unité physique de la caractéristique décrite Valeurs limites autorisées pour la saisie d'une valeur Préréglage en usine (en partie spécifique à la pompe) Le paramètre ne peut pas être enregistré de manière volatile dans la commande électronique d'entraînement et peut être utilisé après réenclenchement de l'alimentation électrique. Utilisation avec DCU Le jeu de paramètres et l'appareil d'affichage et de commande de Pfeiffer Vacuum Les appareils d'affichage et de commande de Pfeiffer Vacuum DCU affichent un jeu de paramètres de base en usine. En outre, le DCU contient les paramètres, qu’ils ne sont pas inscrit dans la commande électronique d’entraînement. # Affichage 340 Pressure 350 Ctr Name Désignation 794 Param set Valeur réelle de pression (ActiveLine) Modèle de l’appareil d’affichage et de commande Version logicielle de l’appareil de commande et d’affichage Jeu paramètres 795 Servicelin Insérer la ligne de service 351 Ctr Software Fonctions 0 = Jeu de paramètres de base 1 = Jeu de paramètres avancé Type de données Type d’accès Paramètre [P:794] = 1 (Affichage des toutes paramètres disponibles). Unité 7 4 R R hPa 4 R 7 RW 7 RW min 1E-10 1E3 0 max default i 1 0 795 23 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum Affichage Désignation Fonctions 001 Heating Chauffage 002 Standby Standby 004 RUTimeCtrl Surveillance du temps d'accélération 009 ErrorAckn 010 PumpgStatn Acquittement de dérangement Groupe de pompage 012 EnableVent Autorisation de remise à l'air 013 Brake Frein 017 CfgSpdSwPt Configuration point de commutation de la vitesse de rotation 019 Cfg DO2 Configuration de la sortie DO2 023 MotorPump Pompe avec moteur 024 Cfg DO1 Configuration sortie DO1 025 OpMode BKP Mode d'exploitation pompe primaire 026 SpdSetMode Mode réglage de la vitesse 027 GasMode Mode gaz 028 Cfg Remote Configuration raccord remote 030 VentMode Mode de remise à l'air 035 Cfg Acc A1 Configuration du raccord accessoires A1 036 Cfg Acc B1 Configuration du raccord accessoires B1 7 0 = fonctionnement permanent 1 = mode intermittent 2 = enclenchement retardé 0 = off 7 1 = on 7 0 = gaz lourds 1 = gaz légers 2 = hélium 0 = standard 7 4 = Relais inversé 7 0 = remise à l'air retardée 1 = pas de remise à l'air 2 = remise à l'air directe 0 = ventilateur (fonctionnement perma- 7 nent) 1 = vanne de remise à l'air, fermée hors tension 2 = chauffage 3 = pompe primaire 4 = ventilateur (à température contrôlée) 5 = purge de gaz neutre 6 = toujours 0 7 = toujours 1 8 = remise à l'air sur coupure de courant 12 = deuxième vanne de remise à l'air Options, voir [P:035] 7 038 Cfg Acc B2 Configuration du raccord accessoires B2 Options, voir [P:035] 24 0 = off 0 1 = on 0 = off 0 1 = on 0 = off 0 1 = on 1 = acquittement de dérangement 0 0 = off 0 1 = on et acquittement de dérangement 0 = non 0 1 = oui 0 = off 0 1 = on 0 = point de commutation de la vitesse de 7 rotation 1 1 = point de commutation de la vitesse de rotation 1 & 2 0 = point de commutation de la vitesse de 7 rotation atteint 1 = aucun défaut 2 = défaut 3 = avertissement 4 = défaut et/ou avertissement 5 = vitesse de rotation de consigne atteinte 6 = pompe en marche 7 = pompe en accélération 8 = pompe en décélération 9 = toujours 0 10 = toujours 1 11 = priorité à la commande à distance active 12 = chauffage 13 = pompe primaire 14 = purge de gaz neutre 15 = groupe de pompage 16 = pompe en rotation 17 = pompe à l'arrêt 19 = valeur descendue sous le point de commutation de la pression 1 20 = valeur descendue sous le point de commutation de la pression 2 21 = vanne de vide primaire, décélération 0 = off 0 1 = on Options, voir [P:019] 7 7 Unité min maxi default RW 0 1 0 x RW 0 1 0 x RW 0 1 1 x W RW 1 0 1 1 0 x RW 0 1 0 x RW 0 1 0 x RW 0 1 0 x RW 0 21 1 x RW 0 1 0 x RW 0 20 0 x RW 0 2 0 x RW 0 1 0 x RW 0 2 0 x RW 0 4 0 x RW 0 2 0 x RW 0 12 5 x RW 0 12 1 x RW 0 12 2 x Type # Ordres de réglage Type de 9.2.3 Affichage Désignation Fonctions Unité min maxi default Type # Type de Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum RW 0 3 2 x Configuration du relais 1 7 0 = arrêt 1 = marche 2 = marche, lorsque le point de commutation de la vitesse de rotation est atteint 3 = marche, lorsque la valeur est descendue sous le point de commutation de la pression Options, voir [P:019] 7 RW 0 21 0 x 046 Cfg Rel R2 Configuration du relais 2 Options, voir [P:019] 7 RW 0 21 1 x 047 Cfg Rel R3 Configuration du relais 3 Options, voir [P:019] 7 RW 0 21 3 x 050 SealingGas Purge de gaz neutre RW 0 1 0 x 055 Cfg AO1 Configuration de la sortie AO1 RW 0 8 0 x 057 Cfg AI1 Configuration entrée AI1 RW 0 1 0 x 060 CtrlViaInt Commande via interface RW 1 255 1 x 061 IntSelLckd Sélection d'interfaces verrouillée RW 0 1 0 x 062 Cfg DI1 Configuration entrée DI1 0 = off 0 1 = on 7 0 = vitesse réelle 1 = puissance 2 = courant 3 = toujours 0 V 4 = toujours 10 V 5 = suit AI1 6 = valeur de pression 1 7 = valeur de pression 2 8 = pilotage vide primaire 0 = éteinte 7 1 = valeur prédéfinie en mode d'exploitation à régime variable 7 1 = mode distant 2 = RS-485 4 = PV.can 8 = bus de terrain 16 = E74 255 = Déverrouiller la sélection d'interfaces 0 = off 0 1 = on 7 Réglage [P:063/064] RW 0 7 1 x RW 0 7 2 x RW 0 7 3 x 041 Press1HVen Activation du capteur de vide élevé intégrée (IKT uniquement) 045 Cfg Rel R1 063 Cfg DI2 Configuration entrée DI2 064 Cfg DI3 Configuration entrée DI3 7 Demandes d'état Affichage Désignation 300 RemotePrio Priorité à la télécommande 301 OpFluidDef Manque de fluide d'exploitation 302 SpdSwPtAtt 305 OvTempPump Point de commutation de la vitesse de rotation atteint Code défaut Surchauffe commande électronique d'entraînement Température excessive de la pompe 306 SetSpdAtt Vitesse de consigne atteinte 307 PumpAccel Pompe accélère 308 309 310 311 Vitesse de consigne (Hz) Vitesse réelle (Hz) Courant d'entraînement Heures de fonctionnement pompe 303 Error code 304 OvTempElec SetRotSpd ActualSpd DrvCurrent OpHrsPump Fonctions 0 = non 1 = oui 0 = non 1 = oui 0 = non 1 = oui 0 = non 1 = oui 0 = non 1 = oui 0 = non 1 = oui 0 = non 1 = oui Unité min maxi Type # Options, voir [P:062] Réglage [P:062/063] Type de 9.2.4 0 = désactivé 1 = autorisation de remise à l'air 2 = chauffage 3 = purge de gaz neutre 4 = surveillance du temps d'accélération 5 = mode d'exploitation à régime variable 7 = activation du capteur de vide élevé Options, voir [P:062] 7 Réglage [P:062/064] 0 R 0 1 0 R 0 1 0 R 0 1 4 0 R R 0 1 0 R 0 1 0 R 0 1 0 R 0 1 1 1 2 1 R R R R 0 0 0 0 999999 999999 9999.99 65535 Hz Hz A h default x 25 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum 313 DrvVoltage 314 OpHrsElec Nominal Spd DrvPower PumpCycles TempPwrStg TempElec AccelDecel ElecName 354 HW Version 360 361 362 363 364 365 366 367 368 369 397 398 399 ErrHist1 ErrHist2 ErrHist3 ErrHist4 ErrHist5 ErrHist6 ErrHist7 ErrHist8 ErrHist9 ErrHist10 SetRotSpd ActualSpd NominalSpd 9.2.5 # Affichage 708 PwrSVal 710 Swoff BKP 711 SwOn BKP StdbySVal SpdSwPt2 VentSpd VentTime PrsSwPt 1 PrsSwPt 2 PrsSn1Name Pressure 1 PrsCorrPi 1 PrsSn2Name Pressure 2 PrsCorrPi 2 NomSpdConf RS485Adr Désignation Fonctions 4 R 2 1 R R V h 0 0 9999.99 65535 1 1 1 1 1 1 4 R R R R R R R Hz W 0 0 0 0 0 0 999999 999999 65535 999999 999999 999999 4 R 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 1 1 1 R R R R R R R R R R R R R °C °C rpm/s default x x x x x x x x x x x x rpm rpm rpm 0 0 0 999999 999999 999999 Unité min maxi default 1 50 50 120 97 100 12 80 65 x x x Valeur de consigne temps d'accélération Point de commutation de vitesse de rotation 1 Valeur prédéfinie en mode d'exploitation à régime variable Valeur prédéfinie puissance absorbée 1 1 2 RW min RW % RW % 7 RW % 10 100 Seuil d'interruption pompe primaire en mode intermittent Seuil d'allumage pompe primaire en mode intermittent Valeur prédéfinie vitesse en mode Standby Point de commutation de vitesse de rotation 2 Vitesse de remise à l'air remise à l'air retardée Temps de remise à l'air remise à l'air retardée Point de commutation de la pression 1 Point de commutation de la pression 2 Nom du capteur 1 Valeur de pression 1 Facteur de correction 1 Nom du capteur 2 Valeur de pression 2 Facteur de correction 2 Confirmation vitesse nominale Adresse d'appareil RS-485 1 RW W 0 1000 1001 0 x 1 RW W 0 1000 0 x 2 RW % 1 RW % 7 RW % 1 RW s 10 RW hPa 10 RW hPa 4 R 10 RW hPa 2 RW 4 R 10 RW hPa 2 RW 1 RW Hz 1 RW 20 5 40 6 100 97 98 3600 66.7 20 50 3600 x x x x x x 1. en fonction du type de pompe 9.3 min maxi Valeurs de consigne prédéfinies 700 RUTimeSVal 701 SpdSwPt1 707 SpdSVal 717 719 720 721 730 732 739 740 742 749 750 752 777 797 Version logicielle de la commande électronique d'entraînement Tension d'entraînement Heures de fonctionnement commande électronique d'entraînement Vitesse nominale (Hz) Puissance d'entraînement Cycles de pompe Amplificateur température Commande électronique température Accélération / temporisation Désignation commande électronique d'entraînement Version matérielle commande électronique d'entraînement Historique code erreur, emplacement 1 Historique code erreur, emplacement 2 Historique code erreur, emplacement 3 Historique code erreur, emplacement 4 Historique code erreur, emplacement 5 Historique code erreur, emplacement 6 Historique code erreur, emplacement 7 Historique code erreur, emplacement 8 Historique code erreur, emplacement 9 Historique code erreur, emplacement 10 Vitesse de consigne (1/min) Vitesse réelle (1/min) Vitesse nominale (1/min) Unité Type 315 316 319 324 326 336 349 Fonctions Type 312 Fw version Désignation Type de Affichage Type de # x x x 0 1 1500 255 0 1 x x x x Configurer raccords La commande électronique est préconfigurée en usine. Ainsi, la pompe turbomoléculaire est immédiatement prête à fonctionner avec les fonctions les plus nécessaires. En cas d'exigences individuelles, la plupart des raccords de la commande électronique d'entraînement peuvent être configurés avec le jeu de paramètres. 9.3.1 Raccordement accessoires Configuration via paramètre [P:035], [P:036] ou [P:038]. 26 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum Option Description 0 = ventilateur (fonctionnement permanent) 1 = vanne de remise à l'air, fermée sans courant 2 = chauffage Commande via paramètre groupe de pompage Commande via paramètre autorisation de remise à l'air. En utilisant une vanne de remise à l’air fermée sans courant Commande via paramètres chauffage et point de commutation de la vitesse de rotation atteint 3 = pompe primaire Commande via paramètres groupe de pompage et mode d'exploitation pompe primaire 4 = ventilateur (à température Commande via paramètres groupe de pompage et valeurs seuils de contrôlée) température 5 = gaz de purge Commande via paramètres groupe de pompage et gaz de purge 6 = toujours 0 GND pour la commande d'un appareil externe 7 = toujours 1 +24 V CC pour la commande d'un appareil externe 8 = vanne de remise à l'air en cas Commande via paramètre autorisation de remise à l'air. En utilisant de panne de courant une vanne de remise à l’air en cas de panne de courant 9 = TMS chauffage* Pour la commande d'un TMS 10 = TMS refroidissement* Pour la commande d’alimentation d’eau de refroidissement d’un TMS * Seulement en cas d’usage d’une pompe avec « Temperature-Management-System TMS » 9.3.2 Sorties numériques et relais au niveau de « remote » Configuration via paramètre [P:019] et [P:024], ou [P:045], [P:046], [P:047] et [P:028]. ● Dans la description « actif » signifié : – Pour tous les sorties numériques : V+ active high – Pour tous les relais : Changement de contact conformement à réglage [P:028] Option Description 0 = point de commutation de la vitesse de rotation atteint 1 = aucun défaut 2 = défaut 3 = avertissement 4 = défaut et/ou avertissement 5 = vitesse de rotation de consigne atteinte 6 = pompe en marche actif lorsque le point de commutation est atteint actif en cas de fonctionnement sans défaut actif lorsqu'un message d'erreur est actif actif lorsqu'un message d'avertissement est actif actif lorsqu'un défaut et/ou avertissement est actif actif lorsque le point de commutation de la vitesse de rotation de consigne est atteint actif lorsque le groupe de pompage est en marche, moteur en marche et aucun défaut 7 = pompe en accélération actif lorsque le groupe de pompage est en marche, vitesse de rotation réelle < vitesse de rotation de consigne 8 = pompe en décélération actif lorsque le groupe de pompage est en marche, vitesse de rotation réelle > vitesse de rotation de consigne Groupe de pompage arrêté, vitesse de rotation > 3 Hz 9 = toujours 0 GND (masse) pour la commande d'un appareil externe 10 = toujours 1 +24 Vcc pour la commande d'un appareil externe 11 = priorité à la commande à distance actif lorsque la priorité à la commande à distance est active active 12 = chauffage Commande correspondant au paramètre [P:001] 13 = pompe primaire Commande correspondant au paramètre [P:010] et [P:025] 14 = purge de gaz neutre Commande correspondant au paramètre [P:050] 15 = groupe de pompage Commande correspondant au paramètre [P:010] 16 = pompe en rotation actif lorsque vitesse de rotation > 1 Hz 17 = pompe à l'arrêt actif lorsque vitesse de rotation < 2 Hz 18 = TMS stabilisé* actif lorsque la température de consigne de TMS est stabilisée 19 = valeur descendue sous le point de Commande correspondant au paramètre [P:730] ([P:740] < commutation de la pression 1 [P:730]) 20 = valeur descendue sous le point de Commande correspondant au paramètre [P:732] ([P:750] < commutation de la pression 2 [P:732]) 21 = vanne de vide primaire, décéléra- +24 Vcc retardée après mise en marche du groupe de pomtion page 27 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum * Uniquement en cas d'utilisation de pompes avec système de gestion de la température TMS 9.3.3 Entrées numériques sur « remote » Configuration via paramètre [P:062], [P:063] ou [P:064]. Option Description 0 = désactivé Raccord hors service 1 = autorisation de remise à l'air Commande correspondant au paramètre [P:012] 2 = chauffage Commande correspondant au paramètre [P:001] 3 = purge de gaz neutre Commande correspondant au paramètre [P:050] 4 = surveillance du temps d'accéléra- Commande correspondant au paramètre [P:004] tion 5 = mode d'exploitation à régime va- Commande correspondant au paramètre [P:026] riable 7 = activation du capteur de vide éle- Commande correspondant au paramètre [P:041] (uniquement 0 vé ou 1) 9.3.4 Sortie analogique sur « remote » Configuration via paramètre [P:055]. Option Description 0 = vitesse de rotation 1 = puissance 2 = courant 3 = toujours 0 V 4 = toujours 10 V 5 = suit AI1 6 = valeur de pression 1 Signal de vitesse de rotation ; 0-10 Vcc = 0-100 % x fnominal Signal de puissance ; 0-10 Vcc = 0-100 % x Pmax Signal de courant ; 0-10 Vcc = 0-100 % x Imax toujours GND Valeur prédéfinie de 10 Vcc durable suit l'entrée analogique 1 Signal de valeur de pression ; 0 V : défaut 1 V : sous-passement 1,5 à 8,5 V : p (hPa) = 10(U-5,5 V) 9 V : dépassement Signal de vide primaire ; pilotage par Pfeiffer Vacuum Groupes de pompage turbo 7 = valeur de pression 2 8 = pilotage vide primaire 9.3.5 Entrée analogique sur « remote » Configuration via paramètre [P:057]. Option Description 0 = éteinte Raccord hors service 1 = valeur prédéfinie en mode d'exploi- Mode d'exploitation à régime variable via broche 7 (0 - 10 V) et tation à régime variable broche 11 (GND) 9.3.6 Commande via interface Configuration via paramètres [P:060] et [P:061]. 28 Option [P:060] Description 1 = mode distant 2 = RS-485 4 = PV.can 8 = bus de terrain 16 = E74 Commande via raccord « remote » Commande via raccord « RS-485 » Uniquement à des fins de maintenance Commande via bus de terrain Commande via raccord « E74 » Option [P:061] Description 0 = off 1 = on Sélection d'interfaces via [P:060] réglable Sélection d'interfaces verrouillée Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum 9.4 Travail avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum 9.4.1 Réglages en usine La commande électronique d'entraînement est préprogrammée en usine. Ainsi, le fonctionnement parfait et sécurisé de la pompe turbomoléculaire sans configuration supplémentaire est garantit. 9.4.2 Vérifier réglages Avant le fonctionnement avec les paramètres valeurs de consigne prédéfinies et ordres de réglage, vérifiez s'ils sont adaptés au procédé de pompage. Retirer le cas échéant le connecteur de commande à distance de la commande électronique d'entraînement. 29 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum 9.4.3 Exploitation en fonction du type de gaz En présence d'une charge de gaz et d'une vitesse de rotation élevée, le rotor est fortement échauffé par le frottement. Pour éviter toute surchauffe, des courbes caractéristique de régime et de puissance ont été implémentée dans la commande électronique. Elle permet d'exploiter la pompe à chaque vitesse de rotation avec la charge de gaz maximale autorisée, sans risque d'endommagement. La puissance absorbée maximale dépend du type de gaz. Pour exploiter pleinement la capacité de puissance de la pompe pour chaque type de gaz, trois paramètres de courbe sont disponibles. AVIS Risque de détruire la pompe En cas de mauvais mode Gaz sélectionné, le pompage des gaz avec masses moléculaires plus haute peut provoquer la destruction de la pompe. Veillez à ce que le mode Gaz soit correctement réglé. Avant d'utiliser des gaz présentant des masses molaires plus importantes (> 80), contactez Pfeiffer Vacuum. ● Mode Gaz « 0 » pour les gaz présentant une masse molaire >39 , par ex. l'Argon. ● Mode Gaz « 1 » pour les gaz présentant une masse molaire 39. ● Mode Gaz « 2 » pour hélium. ● Courbes de puissance conformément aux caractéristiques techniques de la pompe turbomoléculaire. Vérifiez et réglez mode gaz [P:027]. Pmax B F Accélération D [P:708] Puissance E A C-D = Mode gaz "0" A-B = Mode gaz "1" E-F = Mode gaz "2" Vitesse Fig. 9: C fN Principe des courbes de puissance en exploitation en fonction du type de gaz ; ex. Mode gaz = 0 La pompe turbomoléculaire s'active avec une puissance absorbée maximale. Lorsque la vitesse nominale ou de consigne est atteinte, une commutation automatique sur la courbe de puissance du mode gaz sélectionné s'effectue. Une charge de gaz croissante est tout d'abord compensée par une augmentation de la puissance absorbée, afin de maintenir la vitesse constante. Toutefois, une friction de gaz croissante résulte en un échauffement plus important de la pompe turbomoléculaire. En cas de dépassement de la puissance maximale en fonction du type de gaz, la vitesse de la pompe turbomoléculaire diminue jusqu'à ce qu'un équilibre s'établisse entre la puissance admissible et la friction du gaz. Pour éviter des variations de vitesse, Pfeiffer Vacuum recommande une fréquence légèrement inférieure en mode Réglage de la vitesse. 9.4.4 Valeur prédéfinie puissance absorbée Régler le paramètre [P:708] sur la valeur souhaitée en %. En cas de réglage de la valeur prédéfinie de puissance absorbée en dessous de 100 %, le temps d'accélération se prolonge. Afin d'éviter des messages d'erreur, le paramètre [P:700] RUTimeSVal doit être adapté de manière adéquate. 30 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum 9.4.5 Temps d'accélération Le temps d'accélération de la pompe turbomoléculaire est surveillé au niveau du temps en usine. Des temps d'accélération prolongés peuvent indiquer diverses causes, p. ex.: ● Des charges de gaz trop élevées ● Fuites dans le système ● Valeur de consigne temps d'accélération trop basse Le cas échéant, éliminez les causes externes et conditionnées par les applications. Avec le paramètre [P:700], adaptez le temps d'accélération. 9.4.6 Réglez le point de commutation de la vitesse de rotation Le point de commutation de la vitesse de rotation peut être utilisé pour le message « Pompe prête à fonctionner pour le processus ». Le dépassement ou le franchissement par défaut du point actif de commutation de la vitesse de rotation active ou désactive un signal au niveau de la sortie préconfigurée de la commande électronique d'entraînement et le paramètre de statut [P:302]. Point de commutation de vitesse de rotation 1 Régler le paramètre [P:701] sur la valeur souhaitée en %. Paramètre [P:017] = 0 L'émission de signaux et le paramètre de statut [P:302] s'orientent sur la valeur réglée pour le point de commutation de la vitesse de rotation 1 [P:701]. f(%) [P:017] = 0 [P:701] t [P:010] [P:302] 1 t 0 1 0 t Process Fig. 10: Exemple pour Configuration du point de commutation de la vitesse de rotation 1 active Point de commutation de la vitesse de rotation 1 & 2 Régler le paramètre [P:701] sur la valeur souhaitée en %. Régler le paramètre [P:719] sur la valeur souhaitée en %. Paramètre [P:017] = 1 Lorsque le groupe de pompage [P:010] est enclenché, le point de commutation de la vitesse de rotation 1 fait office d'émetteur de signaux. Lorsque le groupe de pompage est éteint, l'émission de signaux et les demandes d'état s'orientent sur le point de commutation de la vitesse de rotation 2. L'émission de signaux est soumise à l'hystérésis entre les deux points de commutation. 31 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum f(%) [P:017] = 1 [P:701] [P:719] t [P:010] [P:302] 1 t 0 1 0 t Process Fig. 11: Exemple pour Configuration point de commutation de la vitesse de rotation 1+2 active ; [P:701] > [P:719] f(%) [P:017] = 1 [P:719] [P:701] t [P:010] [P:302] 1 t 0 1 0 t Process Fig. 12: Exemple pour Configuration point de commutation de la vitesse de rotation 1+2 active ; [P:701] < [P:719] 9.4.7 Mode Réglage de la vitesse Le mode d'exploitation à régime variable sert à la réduction de la vitesse et par conséquent de la puissance d'aspiration de la pompe turbomoléculaire. La capacité d'aspiration de la pompe turbomoléculaire varie proportionnellement à la vitesse. En Mode d'exploitation à régime variable, le mode Standby est inopérant. La vitesse de consigne est réglée via la valeur prédéfinie dans le Mode d'exploitation à régime variable [P:707]. Le point de commutation de la vitesse de rotation varie avec la vitesse de consigne. Le dépassement ou le franchissement par défaut de la valeur prédéfinie dans le Mode d'exploitation à régime variable active ou désactive le signal de statut [P:306] SetSpdAtt. Régler le paramètre [P:707] sur la valeur souhaitée en %. Paramètre [P:026] = 1 Demande d'état du paramètre [P:308]/[P:397]. Plage de vitesse admissible de la pompe turbomoléculaire Paramètres dans le mode d’exploitation à regime variable ou en mode Standby sont assignés à la plage de vitesse permis de la pompe turbomoléculaire respectifs. Franchissement de la valeur minimale permis entraîne à l’avertissement Wrn100. La commande électronique d’entraînement règle la vitesse de consigne automatiquement sur la prochaine valeur valide. Observez la plage de vitesse admissible (voir chapitre Caractéristiques techniques de le manuel de l’utilisateur pour que la pompe turbomoléculaire). 32 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum 9.4.8 Standby Pfeiffer Vacuum recommande le mode Standby de la pompe turbomoléculaire lors de pauses de processus ou d'exploitation. Lorsque le mode Standby est activé, la commande électronique d'entraînement réduit la vitesse de la pompe turbomoléculaire. En Mode d'exploitation à régime variable, le mode Standby est inopérant. Le réglage en usine pour Standby représente 66,7 % de la vitesse nominale. Le dépassement ou le franchissement par défaut de la valeur prédéfinie dans Standby active ou désactive le signal de statut [P:306] SetSpdAtt. Régler le paramètre [P:717] sur la valeur souhaitée en %. Paramètre [P:026] = 0 Paramètre [P:002] = 1 Demande d'état du paramètre [P:308]/[P:397]. 9.4.9 Valeurs prédéfinies de vitesse La vitesse nominale caractéristique d'une pompe turbomoléculaire est réglée en usine dans la commande électronique d'entraînement. Après un remplacement de la commande électronique d'entraînement, ou un changement pour un autre type de pompe, il faut valider la valeur de consigne prédéfinie de la vitesse nominale. Cette procédure fait partie intégrante du système de sécurité redondant permettant d’éviter les survitesses. HiPace Confirmation vitesse nominale [P:777] 1200 / 1500 1800 / 2300 630 Hz 525 Hz Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe. Après avoir atteint la vitesse nominale, la pompe turbomoléculaire fonctionne à vide sans admission de charges de gaz supplémentaires. En fonction des exigences du procédé ou de l'application, la vitesse nominale peut être réduite en mode d'exploitation à régime variable ou en mode Standby. 9.4.10 Mode d'exploitation pompe primaire L'exploitation d'une pompe primaire raccordée via la commande électronique d'entraînement dépend du type de pompe primaire. Mode d'exploitation [P:025] pompe primaire recommandée « 0 » Fonctionnement permanent « 1 » Mode intermittent « 2 » Enclenchement retardé toutes les pompes primaires uniquement les pompes à membrane toutes les pompes primaires Régler le paramètre [P:025] sur la valeur souhaitée. Fonctionnement permanent La commande électronique d'entraînement envoie, simultanément avec « Groupe de pompage on », un signal au raccord accessoires configuré pour l'enclenchement de la pompe primaire. Ce signal peut aussi être utilisé pour la commande d'une vanne de sécurité de vide primaire. Mode intermittent (uniquement pompes à membrane) Le mode intermittent peut allonger la durée de vie des membranes d'une pompe à membrane raccordée. Le mode intermittent requiert soit une pompe à membrane à relais semi-conducteur intégré, soit une boîte à relais interconnectée à un relais semi-conducteur. En fonction de la puissance absorbée, la pompe primaire est enclenchée ou éteinte. La puissance absorbée permet d'obtenir un rapport pour la pression de vide primaire fournie. Les seuils d'interruption et d'enclenchement de la pompe primaire sont réglables. Des fluctuations de la puissance absorbée des pompes primaires à vide et différentes pressions de vide primaire des pompes primaires requièrent le réglage individuel du mode intermittent. 33 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande le mode intermittent entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et une vanne de dosage sont requis pour le réglage des seuils de commutation. Enclenchez le système sous vide avec la fonction « groupe de pompage » et attendez le temps d'accélération. Créez une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide d'une admission de gaz via une vanne de dosage. Lisez et notez le paramètre [P:316]. Réglez le seuil de commutation de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement déterminée pour une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide du paramètre [P:711]. Réduisez la pression de vide primaire à 5 hPa. Lisez et notez le paramètre [P:316]. Réglez le seuil d'interruption de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement déterminée pour une pression de vide primaire de 5 hPa à l'aide du paramètre [P:710]. Enclenchement temporisé Un enclenchement simultané de la pompe turbomoléculaire et de la pompe primaire peut conduire à des flux de gaz indésirables. En fonction des exigences du processus ou de l'application, la pompe primaire peut être enclenchée avec du retard. Le retard à l'enclenchement dépend de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire et il est fixé à 6 Hz dans la commande électronique d'entraînement. Le signal peut également être utilisé pour la commutation d'une vanne de sécurité de vide primaire. 9.4.11 Exploitation avec périphérique Selon la configuration, plusieurs appareils accessoires peuvent être raccordés à la pompe turbomoléculaire et être commandés via les paramètres de la commande électronique d'entraînement. Chauffage Enclenchez ou éteignez le chauffage à l'aide du paramètre [P:001]. L'activation du chauffage du boîtier raccordé dépend du point de commutation de la vitesse de rotation 1 (réglage en usine 80 % x fNominal). Vanne de la purge de gaz neutre Enclenchez ou éteignez une vanne de la purge de gaz neutre via la sortie préconfigurée, à l'aide du paramètre [P:050]. 9.4.12 Modes de remise à l’air La remise à l'air de la pompe turbomoléculaire est possible après l'interruption de la fonction « Groupe de pompage ». L'émission de signaux au niveau des sorties configurées s'effectue avec une temporisation fixée à 6 s. Trois modes d'exploitation peuvent être sélectionnés pour l'exploitation avec vanne de remise à l'air raccordée. Déclenchez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:012]. Sélectionnez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:030]. Remise à l'air retardée Le début et le temps de remise à l'air après « Groupe de pompage off » peuvent être configurés et dépendent de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire. Paramètre [P:030] = 0 Réglez la vitesse de remise à l'air en % de la vitesse nominale à l'aide du paramètre [P:720]. 34 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum Réglez la vitesse de remise à l'air en s à l'aide du paramètre [P:721]. En cas de franchissement par défaut de la vitesse de remise à l'air, la vanne de remise à l'air s'ouvre pour le temps de remise à l'air réglé. En cas de panne secteur, la remise à l'air s'effectue après franchissement par défaut de la vitesse de remise à l'air réglée. La durée de remise à l'air dépend dans ce cas de l'énergie disponible fournie par le rotor en mouvement. Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt. 35 Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum Aucune remise à l'air Aucune remise à l'air n'a lieu dans ce mode d'exploitation. Paramètre [P:030] = 1 Remise à l'air directe Le début et le temps de remise à l'air ne sont pas configurables. La remise à l'air débute avec une temporisation de 6 s après « Groupe de pompage off ». Lors d'un nouvel enclenchement de la fonction Groupe de pompage, la vanne de remise à l'air se ferme automatiquement. En cas de panne secteur, la remise à l'air s'effectue après franchissement par défaut d'une vitesse de rotation fixe et propre à chaque type. Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt. Paramètre [P:030] = 2 9.4.13 Surveillance de la charge thermique Les signaux émis par les détecteurs de température permettent d'amener la pompe à un état sûr en cas de franchissement par défaut des valeurs seuils. En fonction du type de pompe, les valeurs seuils de température pour les avertissements et les messages d'erreur sont invariablement enregistrées dans la commande électronique d'entraînement . Différentes demandes d'état sont prévues dans le jeu de paramètres à des fins d'information. 9.5 Mise en marche / mise hors circuit de la pompe 9.5.1 Mise en circuit La fonction « Groupe de pompage » regroupe l'exploitation de la pompe turbomoléculaire et la commande de tous les appareils accessoires (p. ex. pompe primaire). Paramètre [P:023] = 1 Paramètre [P:010] = 1 Les messages d'erreurs existants (et éliminés) ont été acquittés. Après un contrôle automatique réussi avec succès, la commande électronique d'entraînement met en service le moteur de la pompe turbomoléculaire et tous les appareils accessoires raccordés en fonction de leur configuration. En cas de groupe de pompage activé, le moteur de la pompe turbomoléculaire peut être allumée ou éteinte via la fonction [P:023]. 9.5.2 Arrêt Paramètre [P:010] = 0 La commande électronique d'entraînement met la pompe turbomoléculaire hors circuit et active les options d'accessoires préréglées (p. ex. remise à l'air « marche », pompe primaire « arrêt »). 36 Utilisation 10 Utilisation 10.1 Fonction DCU 1 2 3 4 Fig. 13: Platine frontale du DCU 1 2 Affichage LC, allumé Symbole d'état 3 4 LED d'« affichage du mode de travail » Touches de commande 10.2 Affichage LC 721: Venting time ---> 3600 s 795 1 2 3 4 5 L'affichage LC à quatre lignes permet de visualiser les fonctions du DCU. Les fonctions suivantes sont assignées : – Ligne 1 : numéro et nom du paramètre sélectionné (par ex. : 721: Vent time). – Ligne 2 : valeurs correspondant aux paramètres sélectionnés. La flèche –––► permet d'afficher le mode Édition. – Ligne 3 avec deux fonctions : – Fonction 1 : Les messages actuels relatifs au fonctionnement et à l'utilisation apparaissent. – Fonction 2 : Représentation d'un deuxième paramètre souhaité sous la forme [Numéro de paramètre: Valeur]. La fonction de cette ligne est paramétrable à partir du paramètre [P:795] Servicelin dans la ligne 1. « Servicelin » permet d'accéder à tous les paramètres. Les messages d'erreur apparaissent indépendamment de la fonction sélectionnée. – Ligne 4 : Représentation de l'état actuel de l'appareil par le biais de flèches qui renvoient aux symboles au-dessous. 37 Utilisation – Ligne 5 : Symbole (voir ci-dessous) 10.3 Fonctions des touches 4 touches à faible course (touches) forment l'interface utilisateur du DCU. Touche Application / Exemple Explication Reset (Acquittement de dérangement) permet d'acquitter les dérangements survenus (LED rouge allumée) [309]: ActualSpd [308]: SetRotSpd Faire défiler les paramètres précédents Revient sur le paramètre précédent [310]: DrvCurrent [311]: OpHrsPump Faire défiler les paramètres suivants Revient sur le paramètre précédent [001]: Heating –––► off Modifier la valeur (mode Édition) Accès à la valeur affichée, si possible (La flèche –––► apparaît) Valider la valeur (Mode Sélection de paramètres) Valider la valeur modifiée (« change confirmed » apparaît) Groupe de pompage MARCHE / ARRÊT allume ou éteint le groupe de pompage, correspond au paramètre [010] : « PumpgStatn » simultanément [001]: Heating on [010]: PumpgStatn on / off 10.4 Description des symboles Symbole Description Flèche Explication Pompe accélère = [P:307] - NON OUI Présélection chauffage = [P:001] - aucune présélection Présélection chauffage, point de commutation non atteint Chauffage en marche, point de commutation atteint Standby = [P:002] - ARRÊT MARCHE Appareil télécommandé = [P:300] - NON OUI Point de commutation atteint = [P:302] - NON OUI Température supérieure à la normale aucune température supérieure à la normale Température supérieure à la normale de la pompe turbomoléculaire = [P:305] Température supérieure à la normale de la commande électronique turbo = [P:304] Température supérieure à la normale de la pompe turbomoléculaire et de la commande électronique turbo Vitesse de rotation limite atteinte = [P:306] 38 - NON OUI Utilisation 10.5 Mise en circuit Branchez le câble de raccordement sur le secteur. Démarrer la pompe à l'aide de la touche « Groupe de pompage MARCHE/ARRÊT » La touche « Groupe de pompage » commande exclusivement le paramètre [P:010]. Selon leur configuration, tous les composants raccordés à la commande électronique d'entraînement sont activés ou désactivés. Veiller à ce que le paramètre [P:023] soit également actionné pendant l'accélération de la pompe turbomoléculaire. 10.5.1 Autodiagnostic Après son démarrage, le DCU exécute un autodiagnostic ainsi qu'un contrôle de l'appareil raccordé. L'autodiagnostic dure environ 20 s et apparaît à l'écran sous la forme d'une barre de progression. ● Test de l'affichage LC : tous les caractères de l'écran LC apparaissent en noir pendant un bref instant. ● Test des LED : les LED rouges et vertes sont allumées pendant l'autodiagnostic. ● Test matériel du DCU ● Test de la connexion avec la commande électronique de la pompe : la conformité de la connexion et l'identité de la commande électronique de la pompe sont vérifiées. ● Vérification des paramètres : chargement des informations relatives aux paramètres d'exploitation. ● Identification des appareils connectés : Affichage du libellé de la commande électronique d'entraînement. ● Dans la mesure où aucune erreur n'est survenue, le DCU est prêt à fonctionner. ● La LED verte clignote. Si nécessaire, réinitialiser les messages d'erreur avec à l'aide de la touche . 10.6 Utilisation Toutes les grandeurs physiques intéressant le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire sont fixées dans la commande électronique d'entraînement sous forme de paramètres. Chaque paramètre possède un numéro de trois chiffres et une désignation. Les paramètres peuvent être utilisés, via les appareils d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou via RS-485, avec le protocole Pfeiffer Vacuum. La valeur d'un paramètre est toujours lisible. Les paramètres modifiables sont les instructions de réglage et les présélections de consigne (voir à ce sujet le manuel de l’utilisateur de la commande électronique d'entraînement correspondante). 10.6.1 Sélection des paramètres Sélectionner le numéro de paramètre à l'aide des touches (retour) ou cédent). – Défilement rapide en maintenant chaque touche enfoncée. (pré- ● Le paramètre sélectionné apparaît sur la ligne 1 et la valeur correspondante, sur la ligne 2. 10.6.2 Réglage des paramètres Sélection des paramètres. Appuyer simultanément sur les touches et . ● Le mode Édition est actif pour le paramètre sélectionné. ● Une flèche ( –––►) apparaît au début de la deuxième ligne sur l'écran LCD. 39 Utilisation Diminuer ou augmenter la valeur à l'aide des touches tions. Appuyer simultanément sur les touches et , ou modifier les op- . ● Lorsque la ligne 3 est vide (voir P:795), « change confirmed » apparaît ● Le paramètre est configuré. ● Le mode Édition se termine pour le paramètre. La flèche ( –––►) s'éteint. L'appareil quitte le mode Édition ( –––►) automatiquement dans les conditions cidessous, sans adopter les valeurs modifiées : ● interruption de saisie ou aucune manipulation des touches pendant 10s. ● lorsqu'une erreur survient. ● La touche « Groupe de pompage MARCHE/ARRÊT » a été actionnée. ● Lorsque la ligne 3 est vide, « data not changed » apparaît. 10.7 Mesure de la pression Le raccordement et l'utilisation d'une jauge HT permettent de mesurer la pression dans le système sous vide via le TCP. Mesure de la pression à l'aide du DCU Une mesure exacte de la pression est impossible avec le DCU. Ceci se remarque particulièrement lors de mesures effectuées avec les jauges linéaires dans la plage de pression inférieure. Utilisation d'un appareil de mesure adapté. 10.7.1 Affichage des jauges Paramètre [P:794] = 1 (affichage du jeu de paramètres élargi) Sélectionner ou saisir le paramètre [P:738] Type de jauge. Les jauges présentant les mêmes résistances types sont uniquement reconnues en tant que groupe (par ex. CMR ?). La saisie manuelle du type de jauge qui convient est ensuite possible via le paramètre [P:738], le cas échéant. Exemple d'affichage Signification TPR 2xx CMR ? noGaug Jauge TPR 280 raccordée Jauge du groupe CMR raccordée, type précis pas encore réglé aucun jauge de pression n'est raccordé 10.7.2 Affichage de la valeur réelle de la pression Paramètre [P:794] = 1 (affichage du jeu de paramètres élargi) Sélectionner le paramètre [P:340] Pression. Exemple d'affichage Signification –––––– mbar < 5E-4mbar aucun appareil de mesure de pression raccordé valeur passée sous la plage de mesure (en fonction de l'appareil utilisé) plage de mesure dépassée (en fonction de l'appareil utilisé) valeur de mesure de pression valide type d'appareil pas encore identifié ; voir [P:340] erreur dans la jauge > 1E3mbar 6.3E-9mbar id fam mbar Error 10.8 Arrêt Appuyer sur la touche 40 sur la platine frontale du DCU. Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 » 11 Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 » 11.1 Cadre de télégramme Le cadre de télégramme du protocole Pfeiffer Vacuum contient uniquement des signes de code ASCII [32; 127], à l'exception du signe de fin de télégramme CR. En principe, un maître (p.ex. un PC) envoie un télégramme, auquel répondre un esclave (p. ex. la commande électronique d'entraînement ou jauge). a2 a1 a2 - a0 a0 * 0 n2 n1 n0 l1 l0 dn ... d0 c2 c1 c0 C R Adresse d'appareil esclave – Adresse unique de l'appareil [« 001 » ; « 255 »] – Adresse de groupe « 9xx » pour tous les appareils identiques (aucune réponse) – Adresse globale « 000 » pour tous les appareils sur le bus (aucune réponse) Action (regardez à la p. 41, chap. 11.2) Numéro de paramètres Pfeiffer Vacuum Longueur des données dn ... d0 Données sous forme de type de données respectif (regardez à la p. 42, chap. 11.3) Total de contrôle (total des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) modulo 256 Carriage return (ASCII 13) * n2 - n0 l1 - l0 dn - d0 c2 - c0 CR 11.2 Télégrammes Demande de données ? a2 a1 a0 0 0 n2 n1 n0 0 2 = ? c2 c1 c0 C n2 n1 n0 l1 l0 dn ... d0 c2 c1 c0 C R Control command ! a2 a1 a0 1 0 R Réponse de données / ordre de réglage compris a2 a1 a0 1 0 n2 n1 n0 l1 l0 dn ... d0 c2 c1 c0 C 0 6 N O _ D E F c2 c1 c0 C _ R A N G E _ L O G I C R Message d'erreur a2 a1 a0 1 0 NO_DEF _RANGE _LOGIC n2 n1 n0 R Le numéro de paramètre n2 - n0 n'existe pas Données dn - d0 en dehors de la plage autorisée erreur d'accès logique 11.2.1 Exemple 1 Demande de données Vitesse réelle (paramètre [P:309], adresse d'appareil esclave : « 123 ») ? 1 2 3 0 0 3 0 9 0 2 = ? 1 1 2 C ASCII 49 50 51 48 48 51 48 57 48 50 61 63 49 49 50 13 R Réponse de données : 633 Hz Vitesse réelle (paramètre [P:309], adresse d'appareil esclave : « 123 ») 1 2 3 1 0 3 0 9 0 6 0 0 0 6 3 3 0 3 7 C ASCII 49 50 51 49 48 51 48 57 48 54 48 48 48 54 51 51 48 51 55 13 R 41 Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 » 11.2.2 Exemple 2 Ordre de réglage Enclenchez groupe de pompe (paramètre [P:010], adresse d'appareil esclave : « 042 ») ! 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 C ASCII 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 R Ordre de réglage compris Enclenchez groupe de pompe (paramètre [P:010], adresse d'appareil esclave : « 042 ») 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 C ASCII 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 Type de données Description Longueur l1 - l0 Exemple 0 - boolean_old 1 - u_integer 2 - u_real 4 - string 6 - boolean_new 7 - u_short_int 10 - u_expo_new 11 - string valeur logique (faux / vrai) nombre entier positif nombre à virgule fixe positif chaîne des charactères valeur logique (faux / vrai) nombre entier positif nombre exponentielle positif chaîne des charactères 06 06 06 06 01 03 06 16 R 11.3 Types de données utilisées 42 000000 / 111111 000000 à 999999 001571 correspond à 15,71 TC_400 0/1 000 à 999 100023 correspond à 1,0 · 103 BrezelBier&Wurst Dysfonctionnements 12 Dysfonctionnements 12.1 Généralités Des dysfonctionnements au niveau de la pompe turbomoléculaire et de la commande électronique d'entraînement entraînent toujours un message d'avertissement ou d'erreur. Dans les deux cas, un code d'erreur est émis via la commande électronique d'entraînement. En général, les messages de service sont affichés via les DEL sur la commande électronique d'entraînement. La pompe turbomoléculaire et les appareils raccordés s'éteignent en raison de défauts survenus. Le mode de remise à l'air sélectionné est à nouveau validé automatiquement après une temporisation prédéfinie. AVERTISSEMENT Démarrage automatique après une panne secteur ou de dépannage Après une panne secteur ou en cas de défauts entraînant un arrêt de la pompe ou de l'installation, la fonction « Groupe de pompage » de la commande électronique d'entraînement reste active. Une fois le courant revenu ou acquittement du dysfonctionnement, la pompe turbomoléculaire s'active automatiquement. Le cas échéant, éteindre la fonction « Groupe de pompage ». Prendre les mesures de sécurité adaptées contre toute intervention dans la bride de vide élevé lorsque la pompe turbomoléculaire est active. 12.2 Affichage du mode d’utilisation par les diodes La DEL rouge (état de défaut) et la DEL verte (état d'exploitation) situées sur la platine frontale de DCU peuvent prendre les états suivants : DEL Symbole État de la DEL Verte éteinte allumée, clignotante allumée, clignotante inverse allumée, fixe Rouge Indication allumée, clignotante éteinte allumée, clignotante allumée, fixe Signification Hors tension « Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation ≤ 60 min-1 « Groupe de pompage MARCHE », vitesse de rotation de consigne non atteinte « Groupe de pompage MARCHE », vitesse de rotation de consigne atteinte « Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation > 60 min-1 Aucun défaut, aucun avertissement Avertissement Défaut L'affichage unicolore sur la platine frontale de TCP 1200 montre les états de fonctionnement de la commande électronique. Affichage Activité Signification aucun – alimentation en tension insuffisante 10 % active, 1 Hz – aucun défaut, – Groupe de pompage « ARRÊT » – La pompe est immobile 50 % active, 1 Hz – aucun défaut, – Groupe de pompage « ARRÊT » – La pompe tourne 90 % active, 1 Hz – aucun défaut, – Groupe de pompage « MARCHE » – Vitesse de consigne non atteinte Arrêt Flash Clignotant Flash inverse 43 Dysfonctionnements Affichage Activité Signification 100 % active – aucun défaut, – Groupe de pompage « MARCHE » – Vitesse de consigne atteinte 50% active, 10 Hz – Défaut Fixe Clignotement intermittent 12.3 Codes d'erreur Les erreurs (** Error –––– **) entraînent toujours la mise hors tension des appareils périphériques connectés. Corriger l'erreur et réinitialiser à l'aide de la touche . Les avertissements (* Warning –––– *) s'affichent seulement et n'entraînent pas la mise hors tension des composants. Code Problème défaut Err001 Err002 Err006 Err007 Err008 Err010 Err021 Err043 Err044 Err045 Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Surtension – Tension d’entrée secteur inadéquate Vérifiez la tension d’entrée secteur Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Adaptez le temps d’accélération aux condiDéfaut temps d’accélération – Temps d’accélération réglé trop bas tions du processus – Fuite de gaz dans le récipient en raison d’un défaut d’étanchéité ou de vannes Vérifiez l’étanchéité et la fermeture des vannes du récipient ouvertes – Point de commutation de la vitesse de Adaptez le point de commutation de la vitesse de rotation rotation franchi par défaut après démarrage du temps d’accélération – Vitesse réelle < 70 Hz (10 min. après "Groupe de pomage ON") Manque de fluide d’exploitation – Manque de fluide d’exploitation Vérifiez fluide d’exploitation Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Liaison commande électronique d’entraî- – Liaison à la pompe défectueuse Vérifiez les liaisons Acquittement uniquement pour une vitesse nement - pompe défectueuse f=0 Erreur interne à l’appareil Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 La commande électronique d’entraîne Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum ment ne reconnaît pas la pompe Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Erreur de configuration interne Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Température excessive du contrôleur – Refroidissement insuffisant Améliorez le refroidissement Vérifiez les conditions d’utilisation électronique Surchauffe moteur – Refroidissement insuffisant Améliorez le refroidissement Vérifiez les conditions d’utilisation Surchauffe partie inférieure de pompe Erreur d’initialisation interne Err091 Défaut interne à l’appareil Err092 Panneau de raccordement inconnu Err093 Évaluation de température moteur défectueuse Évaluation de température commande électronique défectueuse Défaut de communication interne Err098 44 Dépannage Survitesse Err046 Err094 Causes possibles Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Dysfonctionnements Code Problème défaut Causes possibles Err107 Défaut groupé étage final Err108 Mesure de la vitesse défectueuse Err109 Logiciel non validé Err110 Évaluation fluide d’exploitation défectueuse Err111 Défaut de communication pompe du fluide d’exploitation Err112 Défaut groupé pompe du fluide d’exploitation Err113 Température du rotor invalide Err114 Évaluation de témpérature étage final défectueuse Surchauffe étage final – Refroidissement insuffisant Err118 Err170 Fonction défectueuse du ventilateur de boîtier Err777 Vitesse nominale non confirmée Wrn001 TMS- temps de chauffage a expiré Wrn003 TMS- circuit de chauffage de détecteur de température Wrn007 Sous-tension / panne secteur Wrn018 Conflit de priorité Wrn076 Température commande électronique élévée Wrn100 Vitesse élevée à la valeur minimale Wrn118 Température étage final élevée Wrn168 Grand retard – Mesure non calibrée Dépannage Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Acquittement uniquement pour une vitesse f=0 Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum Améliorez le refroidissement Vérifiez les conditions d’utilisation – Alimentation du ventilateur n’est pas Vérifiez la connexion à ACC A et réalisez disponible Informez le service après-vente de Pfeiffer – Le câble n’est pas connecté à ACC A Vacuum – Vitesse nominale non confirmée après Confirmer la vitesse nominale avec [P:777] remplacement de la commande élec- Acquittement uniquement pour une vitesse tronique d’ entraînement f=0 – Relais temporisé interne pour sur Vérifiez les conditions d’utilisation veillance de chauffage à expiré – TMS température dehors de la plage Vérifiez les conditions d’utilisation compris entre +5 °C et 85 °C Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum – Panne de secteur Vérifiez l’alimentation secteur – Groupe de pompage activé avec Activez le groupe de pompage via E74 [P:010] alors que l’entrée E74 « start/ Désactiver [P:010] stop » est désactivée (ouverte) – Refroidissement insuffisant Améliorez le refroidissement Vérifiez les conditions d’utilisation – Les normes admissibles pour le mode Contrôler [P:707] ou [P:717] d’expoitation à regime variable ou en Voir les données techniques de la pompe mode Standby incorrecte turbo pour la plage de vitesse valide – Refroidissement insuffisant Améliorez le refroidissement Vérifiez les conditions d’utilisation – Taux de remontée en pression trop éle- Vérifiez et adaptez un débit de remise à l’air vée; débit de remise à l’air spécifique à la pompe 45 Accessoires 13 Accessoires Désignation TCP 1200 Câble de secteur avec fiche à contact de protection, VII-HAN 3A, 230 P 4564 309 HA V CA, 3 m Câble de secteur 208 V CA avec fiche UL, NEMA-HAN 3A, 3 m P 4564 309 HB Adaptateur de commande à distance pour RS-485 PM 061 649 -X 46 Dimensions 14 Dimensions 303.6 38 56.5 132.5 482.7 465.7 298.5 ~ 351 435.8 482.7 Fig. 14: TCP 1200 47 Déclaration de conformité Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous répond à toutes les dispositions applicables des directives CE suivantes : ● Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE ● Basse tension 2014/35/UE TCP 1200 Normes harmonisées et normes nationales appliquées : DIN EN 61000-3-2 : 2008 DIN EN 61000-3-3 : 2006 DIN EN 61010-1 : 2010 DIN EN 61326-1 : 2006 DIN EN 62061 : 2005 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Dr. Ulrich von Hülsen) Directeur 2016-03-15 Notizen / Notes: Notizen / Notes: Notizen / Notes: UN SEUL FOURNISSEUR DE SOLUTIONS DE VIDE Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service. UNE LARGE GAMME DE PRODUITS Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de produits. UN SAVOIR FAIRE THÉORIQUE ET PRATIQUE Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation ! Nous vous assistons pour concevoir vos installations, grâce à un service de proximité de première qualité dans le monde entier. Êtes-vous à la recherche d'une solution de vide dédiée à vos besoins ? Contactez-nous : Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters T +49 6441 802-0 [email protected] Pfeiffer Vacuum SAS, France T +33 (0) 4 50 65 77 77 [email protected] www.pfeiffer-vacuum.com ">
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