MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original TM 700 EC Unité de commande électronique Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle unité de commande électronique a été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application avec des performances maximales et sans anomalie. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. En capitalisant sur notre expertise, nous avons développé une multitude de compétences qui contribuent à la sécurité et à l’efficacité de mise en œuvre de nos produits. Nous sommes convaincus que notre produit sera à la hauteur de vos attentes : une solution efficace et fonctionnelle pour votre application, sans perturber votre activité. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/60 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.2 Documents applicables 1.3 Groupe cible 1.4 Conventions 1.4.1 Instructions dans le texte 1.4.2 Pictogrammes 1.4.3 Étiquettes sur le produit 1.4.4 Abréviations 1.5 Justificatif de marque 7 7 7 7 7 7 7 8 8 8 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisation abusive prévisible 9 9 9 10 11 11 11 3 Description du produit 3.1 Identification du produit 3.2 Caractéristiques du produit 3.3 Fonction 3.4 Volume de livraison 3.5 Raccordements 12 12 12 12 12 13 4 Installation 4.1 Schéma de raccordement 4.2 Raccord EtherCAT® 4.2.1 Identification de l’appareil 4.2.2 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes 4.2.3 Données de process 4.2.4 Données de service 14 14 15 16 17 17 18 5 Interfaces 5.1 Interface RS-485 5.1.1 Options de connexion 5.1.2 Interconnexion via le raccordement RS-485 5.2 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 5.2.1 Cadre télégramme 5.2.2 Description du télégramme 5.2.3 Télégramme exemple 1 5.2.4 Télégramme exemple 2 5.2.5 Types de données 28 28 28 29 29 29 30 30 30 31 6 Ensemble de paramètres 6.1 Généralités 6.2 Instructions de commande 6.3 Demandes d’état 6.4 Réglages des valeurs de consigne 6.5 Paramètres additionnels dans l'appareil de commande 32 32 32 35 37 38 7 Utilisation 7.1 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum 7.1.1 Configuration des connexions des accessoires 7.1.2 Sélection des interfaces 39 39 39 39 3/60 Table des matières 7.2 7.3 7.4 7.5 4/60 Modes de fonctionnement 7.2.1 Fonctionnement selon le type de gaz 7.2.2 Valeur de réglage de la puissance absorbée 7.2.3 Temps d’accélération 7.2.4 Points de commutation de vitesse de rotation 7.2.5 Mode de réglage de la vitesse de rotation 7.2.6 Standby 7.2.7 Confirmation de la spécification de vitesse 7.2.8 Modes de fonctionnement de la pompe de secours 7.2.9 Mode standby de la pompe de secours 7.2.10Frein électrique 7.2.11Fonctionnement avec des accessoires 7.2.12Modes de ventilation 7.2.13Usure des paliers de sécurité 7.2.14Équilibre Mise en marche de la pompe turbo Mise à l’arrêt de la turbopompe Surveillance des opérations 7.5.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes 7.5.2 Surveillance de la température 40 40 41 41 41 42 43 43 44 45 45 45 46 46 46 47 47 47 47 48 8 Recyclage et mise au rebut 8.1 Informations générales sur la mise au rebut 8.2 Mise au rebut de l’unité de commande électronique 49 49 49 9 Dysfonctionnements 9.1 Généralités 9.2 Codes d’erreur 9.3 Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionnement avec des appareils de commande 50 50 50 54 10 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 55 Déclaration de conformité CE 57 Déclaration de Conformité UK 58 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Tab. 22: Tab. 23: Tab. 24: Tab. 25: Tab. 26: Tab. 27: Tab. 28: Tab. 29: Tab. 30: Abréviations utilisées dans ce document Conditions ambiantes autorisées Caractéristiques des variantes d’appareil Description du raccordement de l’unité de commande électronique Interface EtherCAT, affectation des raccordements Comportement et signification des LED de l’interface EtherCAT Données de sortie du processus Données d’entrée du processus Exemple d'une configuration de données de processus Types de données de service Données administratives (informations sur l’appareil, communication) Données d’entrée (TM 700 EC --> commande) Données de sortie (commande -> TM 700 EC) Données de configuration (commande -> TM 700 EC) Caractéristiques de l’interface RS-485 Agencement de la terminaison de la borne de connexion M12 RS-485 Explication et signification des paramètres Instructions de commande Demandes d’état Réglages des valeurs de consigne Paramètres des fonctions de l'appareil de commande Connexions des accessoires Paramètre [P:060] Paramètre [P:061] Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires Modes de fonctionnement de la pompe de secours Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique Messages d’erreur de l’unité de commande électronique Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique Messages d’avertissement et de dysfonctionnement 8 11 12 13 16 17 17 18 18 19 20 22 23 27 28 28 32 35 37 38 38 39 40 40 43 44 48 52 54 54 5/60 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: 6/60 Panneau de connexion TM 700 EtherCAT Schéma de raccordement TM 700 EC Exemple de connexion câblée EtherCAT Commutateur de codage hexadécimal Options de connexion via l’interface RS-485 Interconnexion de pompes turbomoléculaires avec l’unité de commande électronique intégrée via l’interface RS-485 Représentation schématisée des caractéristiques de puissance, exemple de gaz lourds [P:027] = 0 Point de commutation de vitesse de rotation 1 actif Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] > [P:719] Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] < [P:719] 12 15 16 16 28 29 40 41 42 42 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.2 Documents applicables TM 700 EC Manuel de l’utilisateur Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.3 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.4 Conventions 1.4.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.4.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. 7/60 A propos de ce manuel Remarque Conseil 1.4.3 Étiquettes sur le produit Cette section décrit toutes les étiquettes sur le produit ainsi que leur signification. Mod.: M.-No.: TM 700 EC PM C01 854 Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve sur le côté de l’unité d’entraînement électronique. Ser.-No.: 12345678 Input: Output: 48 V ± 10% DC 8.4 A 0 - 48 V 9 A 0 - 1000 Hz 2018/01 Made in Germany Joint de fermeture La produit est scellé en départ d’usine. L’endommagement ou la suppression du joint de fermeture entraîne l’annulation de la garantie. warranty seal 1.4.4 Abréviations Abréviation Signification dans ce document AI / AO Entrée analogique / sortie analogique DCU Appareil de commande et d’affichage DI / DO Entrée numérique / sortie numérique EC Interface EtherCAT® f Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en trs/min ou Hz) FE Terre fonctionnelle HPU Unité de programmation portable DEL Diode électroluminescente P Puissance [P:xxx] Paramètre de l’unité de commande électronique avec numéro PE Terre de protection (conducteur de protection) t Temps TM Unité de commande électronique de pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) et contrôleur de palier magnétique TPS Alimentation de tension (alimentation électrique turbo) Tab. 1: 1.5 Abréviations utilisées dans ce document Justificatif de marque ● EtherCAT® est une marque déposée et une technologie brevetée sous licence de Beckhoff Automation GmbH, Allemagne 8/60 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur l’analyse des risques effectuée conformément à la Directive Basse Tension 2014/35/UE. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. 9/60 Sécurité DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas d'installation inappropriée Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. Risques lors du fonctionnement AVIS Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo. ► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique. ► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (> 80). AVIS Dégât matériel suite à l'usure du palier lors d’une mise à l’arrêt inappropriée Les paliers magnétiques actifs nécessitent une alimentation électrique constante. Le moteur agit comme un générateur et alimente l’électronique d’entraînement en cas de panne de courant. Sous une vitesse de rotation d’env. 6500 tr/min, l’énergie cinétique du rotor n’est plus suffisante pour alimenter le palier magnétique. L'unité d’entraînement électronique se coupe. Le rotor descend en courant de manière audible dans les paliers de sécurité. ► Ne pas mettre la pompe à l’arrêt en débranchant l’alimentation électrique principale. ► Toujours utiliser la fonction de frein électrique après la mise à l’arrêt de la turbopompe. 2.3 Mesures de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. 10/60 Sécurité Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Utiliser uniquement des blocs d’alimentation électrique conformes aux directives de sécurité en vigueur. ► Respecter toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôler régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Recommandation : Établir une connexion sécurisée à un conducteur relié à la terre (PE) : classe de protection III. ► Ne jamais débrancher les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Tenir les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Consulter la classe de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Respecter la classe de protection en veillant à bien installer les bouchons d’étanchéité existants. ► Débrancher l’unité de commande électronique uniquement une fois que tout est entièrement à l’arrêt et lorsque l’alimentation électrique de secteur de la pompe turbomoléculaire est coupée. 2.4 Limites d’utilisation du produit Lieu de mise en place protégé des intempéries (espace intérieur) Pression d’air 750 hPa à 1 060 hPa Altitude de l’installation 2000 m max. Humidité rel. de l’air max. 80 %, à T <31°C, jusqu’à max. 50 % à T <40°C Classe de protection III Catégorie de surtension II Classe de protection autorisée IP54 Niveau de contamination 2 Température ambiante +5°C à +40°C (avec un refroidissement d’air jusqu’à max. +35°C) Tab. 2: Conditions ambiantes autorisées Remarques sur les conditions ambiantes Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonctionnement de la pompe turbo à la pression de secours maximum admissible ou avec un débit de gaz maximum, en fonction du type de refroidissement. La pompe est intrinsèquement sûre grâce à la surveillance redondante de la température. ● La réduction de la pression de vide ou du débit du gaz permet le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à des températures ambiantes plus élevées. ● Si la température de fonctionnement maximum admissible de la pompe turbomoléculaire est dépassée, l'unité d’entraînement électronique va d'abord réduire la vitesse d'entraînement, puis la mettre hors circuit si nécessaire. 2.5 Utilisation conforme ● L'unité de commande électronique est uniquement utilisée pour le fonctionnement des pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum et de leurs accessoires. 2.6 Utilisation abusive prévisible Toute utilisation abusive du produit entraîne une annulation de la garantie et des droits de réclamations. Toute utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme abusive, en particulier : ● ● ● ● Utilisation avec un rayonnement thermique excessivement élevé Utilisation dans des zones à radiation ionisante Utilisation dans des atmosphères potentiellement explosives Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions 11/60 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320. 3.2 Caractéristiques du produit L'unité d’entraînement électronique de type TM 700 EC est un composant fixe de la turbopompe. L’objectif de l’unité d’entraînement électronique est d’entraîner, de surveiller et de commander l’ensemble de la pompe. Caractéristique TM 700 EC Tension d’alimentation TM 48 V CC ±10 % Panneau de connexion EtherCAT® Turbopompe HiPace 300 M, 400 M, 700 M, 800 M Tab. 3: 3.3 Caractéristiques des variantes d’appareil Fonction 1 7 Fig. 1: 1 2 3 4 3.4 4 5 6 Panneau de connexion TM 700 EtherCAT Raccord « Accessoire B » Branchement de service « PV.can » Raccord « RS-485 » Raccordement « DC in » Volume de livraison ● TM 700 EC ● Manuel de l’utilisateur 12/60 3 2 5 6 7 Adresse d'appareil interrupteur de codage « EtherCAT » Raccords « EtherCAT » Raccord « Accessoire A » Description du produit 3.5 Raccordements Connexion Description DC in Raccord à boîtier avec fermeture à baïonnette pour l’alimentation électrique entre les blocs d’alimentation électrique Pfeiffer Vacuum et l’unité de commande électronique. L/A EtherCAT IN Prise M12 (codée D) avec raccord fileté et LED L/A pour le branchement d’un câble EtherCAT entrant. IN L/A EtherCAT OUT Prise M12 (codée D) avec raccord fileté et LED L/A pour le branchement d’un câble EtherCAT vers l’appareil suivant. OUT RS-485 Prise M12 avec vis pour la connexion des panneaux de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC. L’utilisation d’un raccord en Y permet l’intégration dans un système de bus. Accessoire1) Prise M12 avec vis pour la connexion des accessoires Pfeiffer Vacuum. L’utilisation d’un raccord en Y permet la double sortie de broche d’un raccord. PV.can Prise M12 avec vis et LED pour la connexion d’un dispositif de mesure de pression intégré et pour la maintenance Pfeiffer Vacuum. Prise d’appareil à l’arrière de l’unité de commande électronique pour la connexion d’une pompe turbomoléculaire. Tab. 4: 1) Description du raccordement de l’unité de commande électronique Le raccord « accessoire » est spécifié dans le manuel de l'utilisateur de la pompe. 13/60 Installation 4 Installation 4.1 Schéma de raccordement DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas d'installation inappropriée Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. Charge de contact pour le raccordement des accessoires sur « accessoires » 1. Maintenez la charge de contact maximale de 200 mA par raccordement. 2. La somme totale de la charge de tous les raccordements ne doit pas dépasser 450 mA. 14/60 3 n.c. A2 2 2 B2 24 V DC** 3 3 24 V DC** A1 4 4 B1 FE 5 5 FE Tx+ 1 1 CAN-H Rx+ 2 2 24 V DC*** Tx- 3 3 GND*** Rx- 4 4 CAN-L n.c. 5 5 FE Tx+ 1 1 RS 485 D + Rx+ 2 2 24 V DC* out Tx- 3 3 GND* Rx- 4 4 RS 485 D - n.c. 5 5 n.c. A + UB (+48 VDC ± 10 %) B GND C FE 2 1 2 4 1 3 2 2 3 1 4 5 PV.can 4 1 1 5 3 1 4 3 1 2 4.2 A DC in B Fig. 2: RS-485 EtherCAT OUT EtherCAT IN accessory A 4 n.c. accessory B Installation C Schéma de raccordement TM 700 EC Raccord EtherCAT® Vous pouvez utiliser les raccords « EtherCAT » (2x prises à 5 broches, M12, codées D) pour raccorder la pompe turbomoléculaire à un système de bus EtherCAT. L'interface est séparée galvaniquement et isolée de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique. 15/60 Installation ► IN ► IN ◄ OUT Fig. 3: 1 Exemple de connexion câblée EtherCAT 2 L/A 4 Tab. 5: 3 Broche Affectation 1 Tx+ 2 Rx+ 3 Tx- 4 Rx- Interface EtherCAT, affectation des raccordements Spécification EtherCAT L’utilisation de commutateurs et de concentrateurs Ethernet n’est pas compatible. Procéder à la connexion par câbles 1. Brancher le câble entrant de la commande vers EtherCAT IN. 2. Établir un raccordement de bus vers les autres appareils via EtherCAT OUT. 3. Utiliser le fichier ESI valide de Pfeiffer Vacuum pour la configuration. 4.2.1 Identification de l’appareil Les appareils EtherCAT sont toujours adressés en utilisant leur position dans le bus. Aucun réglage d’adresse conventionnel n’est nécessaire. Identification additionnelle dans le bus Sous certaines conditions, il peut s’avérer utile d’effectuer une identification (manuelle) additionnelle, par ex. s’il y a un risque de mélanger plusieurs appareils similaires suite à un câblage incorrect. Différentes options de configuration sont disponibles pour cela. Fig. 4: Commutateur de codage hexadécimal Identification explicite de l’appareil Méthode recommandée car aucun programme de configuration supplémentaire n’est nécessaire. 1. Retirer le bouchon en caoutchouc des sélecteurs d’adresse. 2. Sélectionner cette identification dans la projection. 3. Régler l’ID de l’appareil sur la valeur projetée. – 001h à FFFh en hexadécimal correspond à 1 à 4095 en décimal. – La nouvelle valeur est transférée depuis « Tension marche / arrêt ». 16/60 Installation 4. Après le remplacement d’un appareil, utiliser l’ID de l’ancien appareil. 5. Positionner les connecteurs en caoutchouc et les enfoncer le plus possible afin de fournir le degré de protection défini. Alias du poste Condition préalable : un programme de configuration approprié doit être utilisé. 1. Sélectionner cette identification dans la projection. 2. Affecter l’appareil en ligne « Alias du poste ». – Cette nouvelle valeur s’applique après une « Réinitialisation ». 3. Répéter cette procédure après avoir remplacé un appareil. 4.2.2 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la turbopompe. Un affichage différencié des dysfonctionnements et des avertissements est uniquement possible lors d’un fonctionnement avec appareil de commande. Affichage L/A (vert) Raccordement RUN (vert) État EtherCAT ERR (rouge) Erreur EtherCAT Désactivée Pas de connexion « INIT » : ● Initialisation, pas de données de processus ou de service Pas d’erreur Clignotement rapide – « SAFE OPERATIONAL » : Changement ● Données d’entrée de procédé (unité d'état spontané --> commande) valides ● Données de sortie (commande -> unité) dans un état sécurisé Clignotement 2x – – Connexion perdue Clignotement – « PRE_OPERATIONAL » : ● Données de service uniquement, pas de données de processus Configuration invalide En marche de façon permanente Connexion à l’appareil suivant, pas d’activité « OPERATIONAL » : ● Données d'entrée et de sortie de processus valides Bootstrap Scintillement Connexion active « BOOTSTRAP » Erreur de démarrage Tab. 6: 4.2.3 Comportement et signification des LED de l’interface EtherCAT Données de process Données de sortie du processus Les données de sortie du processus sont : ● Par défaut RxPDO (commande --> TM 700 EC, « sortie »), CoE 1600h.1 – 4 (1 octet) Octet.Bit CoE2) Signification 0,0 7000.01 Marche arrêt turbo Poste de pompage (0 : arrêt, 1 : marche) 0,1 7000.02 Alarme réinitialisation turbo 0 --> 1 : Confirmation des erreurs 0,2 7000.03 Vitesse basse turbo Standby (0 : arrêt, 1 : marche) 0.3 – 7. Tab. 7: 2) Réservé Données de sortie du processus Hexadécimal (voir chapitre « Données de service », page 18) 17/60 Installation Données d’entrée du processus Les données d’entrée du processus sont : ● Par défaut TxPDO (TM 700 EC --> commande, « entrée »), CoE 1A00h.1 – 11 (7 octets) Octet.Bit CoE3) Signification 0,0 6000.01 Rotation La pompe tourne > 60 tr/min-1(0 : non, 1 : oui) 0,1 6000.02 Normal Fonctionnement normal (0 : non, 1 : oui) 0,2 6000.03 Accélération La pompe accélère (0 : non, 1 : oui) 0,3 6000.04 Décélération La pompe décélère (0 : non, 1 : oui) 0,4 6000.05 À distance / local Contrôle via EtherCAT (0 : oui, 1 : non) 0,5 6000.07 Vitesse basse turbo Standby (0 : arrêt, 1 : marche) 0,6 6000.09 Alarme 0 : non 1 : oui 0,7 6000.0A Avertissement 0 : non 1 : oui 1. – 2. 6000.11 Vitesse turbo 0,1 % de la vitesse nominale 3. – 4. 6000.12 Courant turbo 0,1 A 5. – 6. 6000.13 Température pompe turbo °C Tab. 8: Données d’entrée du processus Compile les données de processus alternative des objets CoE 1. Toujours suivre le statut « PRÉ-OPERATIONNEL ». 2. Décrire l’objet 1601h.0 ou 1A01h.0 avec 0. 3. Décrire l’objet 1601h.1-n ou 1A01h.1-n avec les indices CoE correspondants. 4. Utiliser uniquement les objets marqués par un « P ». 5. Affecter le sous-index 1-n à une base séquentielle uniquement et sans espaces. 6. Veiller à ce que la donnée produise un nombre total d’octets (utiliser des bits pad si nécessaire) et commencer avec les octets entiers (sauf BOOL). 7. Décrire au maximum 12 objets par PDO. 8. Décrire l’objet 1601h.0 ou 1A01h.0 avec le nombre n d’objets à utiliser. 9. Changer l’objet 1C12h.1 sur 1601h ou 1C13h.1 sur 1A01h. 10. Dans les données de processus, sélectionner l’affectation PDO correspondante 1601h ou 1A01h. Données de sortie incluant 4 bits pad Tab. 9: 4.2.4 Exemple d'une configuration de données de processus Données de service Type Description BOOL Valeur binaire (oui/non) OCTET( ) Nombre d'octet simple 3) 18/60 Données d’entrée incluant 5 bits pad Hexadécimal (voir chapitre « Données de service », page 18) Installation Type Description STRING( ) Chaîne de caractères USINT Nombre entier positif, 8 bit UINT Nombre entier positif, 16 bit UDINT Nombre entier positif, 32 bit ULINT Nombre entier positif, 64 bit SINT Nombre entier, 8 bit INT Nombre entier, 16 bit DINT Nombre entier, 32 bit REAL Valeur flottante, précision simple Tab. 10: Types de données de service Les objets CoE suivants sont disponibles pour un accès aux objets de données individuels (par ex. , pour la configuration) : Données administratives (informations sur l’appareil, communication) Idx4) sIdx Nom Type Accès5) 1000 – Type d’appareil UDINT RO 1008 – Nom de l’appareil du fabricant STRING( ) RO 1009 – Version du matériel du fabricant STRING( ) RO 100A – Version du logiciel du fabricant STRING( ) RO 1010 01 Enregistrer les paramètres UDINT RW 1011 01 Restaurer les paramètres par défaut UDINT RW 1018 Description Identité de l’objet 01 ID vendeur UDINT RO 02 Code produit UDINT RO 03 Numéro révision UDINT RO 04 Numéro de série UDINT RO 10F8 – Objet Timestamp ULINT RO 1600 01 - 04 Par défaut RxPDO Mapping (1 - 4) UDINT RO Voir les données de processus 1601 00 Utilisateur RxPDO Mapping USINT RW Voir les données de process UDINT RW 1A00 x 01 - 0B Par défaut TxPDO Mapping (1 - 11) UDINT RO Voir les données de processus 1A01 00 Utilisateur TxPDO Mapping USINT RW Voir les données de processus UDINT RW x 1C00 01 - 04 Sync Manager type de communication USINT RO 1C12 00 Sync Manager affectation 2 PDO USINT RW UINT RW USINT RW UINT RW 01 1C13 00 Sync Manager affectation 3 PDO 01 F000 Voir les données de processus Profil de l’appareil semi-conducteur 4) Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal 5) RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process 19/60 Installation Idx4) sIdx Nom Type Accès5) 01 Index distance UINT RO 02 Nombre maximum de modules UINT RO F010 Description Listes des profils de module UDINT RO F9F0 01 – Numéro de série du fabricant STRING RO F9F1 01 CDP numéro de génération fonctionnel (1) UDINT RO F9F2 01 SDP numéro de génération fonctionnel UDINT RO F9F3 – Nom du vendeur STRING( ) RO F9F4 01 Nom de l’appareil SDP semi-conducteur (1) STRING( ) RO F9F8 – Fonct. mise à jour FW Num. génération (1) UDINT RO Tab. 11: Données administratives (informations sur l’appareil, communication) Données d’entrée (TM 700 EC --> commande) Idx6) sIdx 2000 Accès7) Description 01 Fabricant STRING( ) RO 02 Nom appareil élec. STRING( ) RO 03 Num. série élec. STRING( ) RO 05 Version microprogramme STRING( ) RO 08 Code état UINT RW P 0 : pas d’erreur 1 - 999 : Erreur 1 - 999 1001 - 1999 : Avertissement 1 999 0A Heures fonctionnement élec. UDINT RW P h 82 Nom appareil pompe STRING( ) RO 8A Heures fonctionnement pompe UDINT RW P 8D Cycles pompe UDINT RW P AB Usure palier USINT RW P % BC Déséquilibre rotor USINT RW P % h En fonctionnement 81 Statut vitesse USINT RW P 0 : arrêté (< 6 tr/min) 1 : accéléré 2 : à la vitesse de rotation 3 : retardé 82 Vitesse actuelle (rel.) SINT RW P % 83 Vitesse actuelle (abs.) DINT RW P min-1 88 Prêt pour le processus BOOL RW P Point de commutation de vitesse de rotation atteint (0 : oui, 1 : non) 2002 20/60 Type Identité / statut entrée 2001 4) Nom Puissance / température pompe entrée 08 Température élec. INT RW P °C 11 Tension INT RW P 0,1 V 12 Courant INT RW P 0,1 A Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal 5) RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process 6) Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal 7) RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process Installation Idx6) sIdx Nom Type Accès7) Description 13 Puissance INT RW P W 18 Température puissance INT RW P °C 88 Température pompe INT RW P °C 98 Température moteur INT RW P °C A8 Température palier INT RW P °C 2004 Identité / statut composant entrée 52 Prs1.DeviceName STRING( ) RO 62 Prs2.DeviceName STRING( ) RO 2005 Fonctionnement composant entrée 51 Prs1.Status USINT RW P 0 : valide 1 : Non atteint 2 : Dépassé 3 : invalide 53 Prs1.Value REAL RW P Valeur de pression actuelle (hPa) Calibrer capteur 61 Prs2.Status USINT RW P 0 : valide 1 : Non atteint 2 : Dépassé 3 : invalide 63 Prs2.Value REAL RW P Valeur de pression actuelle (hPa) Calibrer capteur 6000 F380 Statut turbo et valeur capteur Fonctionnement normal depuis le point de commutation de vitesse de rotation (0 : non, 1 : oui) 01 Rotation BOOL RW P La pompe tourne > 60 tr/min (0 : non, 1 : oui) 02 Normal BOOL RW P Fonctionnement normal depuis le point de commutation de vitesse de rotation (0 : non, 1 : oui) 03 Accélération BOOL RW P La pompe accélère (0 : non, 1 : oui) 04 Décélération BOOL RW P La pompe décélère (0 : non, 1 : oui) 05 À distance / local BOOL RW P Contrôle via EtherCAT (0 : oui, 1 : non) 06 Arrêt moteur BOOL RW P 0 : Moteur marche, 1 : Arrêt moteur 07 Vitesse basse turbo BOOL RW P Standby (0 : arrêt, 1 : marche) 09 Alarm BOOL RW P 0 : non 1 : oui 0A Warning BOOL RW P 0 : non 1 : oui 11 Vitesse turbo INT RW P 0,1 % de la vitesse nominale 12 Courant turbo INT RW P 0,1 A 13 Température pompe turbo INT RW P °C – Statut exception active USINT RW P BIT 0/1 : Warning Bit 2/3 : Dysfonctionnement, erreur Bit 4-7 : réservé 6) Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal 7) RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process 21/60 Installation Idx6) sIdx Nom Type Accès7) Description F381 01 Détails avertissement appareil actif UDINT RW P Bit 0 : perte de tension Bit 1 : température excessive pompe Bit 2 : vitesse excessive Bit 3 : courant excessif pompe Bit 4 : température excessive entraînement Bit 5 : courant excessif entraînement Bit 6 : tension excessive entraînement Bit 7 : entraînement Bit 8 : contrôleur Bit 9 : démarrage impossible Bit 10 : temps de démarrage Bit 11 : temps de freinage Bit 12 : palier Bit 13 : capteur palier Bit 14 : température excessive chauffage Bit 15 : capteur chauffage Bit 16 : dispositif de chauffage Bit 17 : vanne Bit 18 : autres Bit 19-31 : réservé F383 01 Détails erreur appareil actif (1) UDINT RW P Voir F381.01 F390 – Exceptions verrouillées USINT RW P Voir F380 F391 01 Détails avertissement appareil verrouillé (1) UDINT RW P Voir F381.01 F393 01 Détails erreur appareil verrouillé (1) UDINT RW P Voir F381.01 F6F0 01 Horodatage local verrouillage entrée (1) UDINT RO F9F5 01 Identifiant sortie (1) USINT RW P F9F6 – Temps depuis mise en marche UDINT RW P d F9F7 – Temps total sous puissance UDINT RW P d Tab. 12: Données d’entrée (TM 700 EC --> commande) Données de sortie (commande -> TM 700 EC) Idx8) sIdx 3005 6) 22/60 Nom Type Accès9) Description Fonctionnement composant sortie 01 Chauf. activer BOOL RW P Activer le chauffage (0 : non, 1 : oui) 11 Vnt. activer BOOL RW P Activer la ventilation (0 : non, 1 : oui) Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal 7) RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process 8) Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal 9) RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process Installation Idx8) sIdx Nom Type Accès9) Description 21 Gaz pr. activer BOOL RW P Activer le gaz de pressurisation (0 : non, 1 : oui) 31 Frein activer BOOL RW P 51 Prs. activer USINT RW P Activer capteur HT : ● 0 = arrêt ● 1 = marche ● 2 = marche, avec point de commutation de vitesse de rotation atteint ● 3 = marche, avec point de commutation de pression non atteint 7000 Commande turbo 01 Marche arrêt turbo BOOL RW P Poste de pompage (0 : arrêt, 1 : marche) 02 Alarme réinitialisation turbo BOOL RW P 0-->1 : Confirmation des erreurs 03 Vitesse basse turbo BOOL RW P Standby (0 : arrêt, 1 : marche) 04 Arrêt moteur BOOL RW P Moteur (0 : marche, 1 : arrêt) Uniquement si la pompe est à l’arrêt et stationnaire {74h, 65h, 73h, 65h, 72h, ... 0x00}: réinitialisation standard ... 0x66}: réinitialisation usine FBF0 Commande réinitialisation appareil 01 commande OCTET( ) RW 02 état USINT RO 03 réponse OCTET( ) RO FBF1 Commande réinitialisation exception 01 commande OCTET( ) RW 02 état USINT RO 03 réponse OCTET( ) RO FBF2 {74h, 65h, 73h, 65h, 72h} Enregistrer les paramètres de commande 01 commande OCTET( ) RW 02 état USINT RO 03 réponse OCTET( ) RO OCTET( ) RW FBF3 Calculer somme de contrôle commande 01 commande RH: 81 00 00 00 WH: 01 00 00 00 Tab. 13: 02 état USINT RO 03 réponse OCTET( ) RO Données de sortie (commande -> TM 700 EC) 8) Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal 9) RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process 23/60 Installation Données de configuration (commande -> TM 700 EC) Idx10) sIdx 4001 Type Accès11) Description Cfg fonctionnement pompe 21 Intf. Configuration USINT RW 0 = relais standard 1: inversé 84 Vitesse nominale UDINT RW min-1 85 Gaz de processus USINT RW P 0 : gaz lourds 1 : gaz légers 2 : hélium 86 Cfg prêt pour le processus USINT RW P 0 : Point de commutation 1 1 : Point de commutation 1 et 2 87 Point de commutation 1 vitesse USINT RW P % de la vitesse nominale 88 Point de commutation 2 vitesse USINT RW P % de la vitesse nominale 89 Activer le minuteur de temps d'accélération BOOL RW P 8A Temps d'accélération USINT RW P min USINT RW P % 4002 Cfg puissance / température pompe 11 4005 24/60 Nom Puissance max. Cfg fonctionnement composant 11 Vnt. Configuration USINT RW P 0 : ventilation retardée 1 : pas de ventilation 2 : ventilation directe 12 Vnt. Vitesse de démarrage USINT RW P % de la vitesse nominale 13 Vnt. Temps d’arrêt UINT RW P s 41 Bkp. Configuration USINT RW P 0 : Fonctionnement continu 1 : mode par intermittence 2 : mise en marche retardée 42 Bkp. Puissance de démarrage UINT RW P W 43 Bkp. Puissance d’arrêt UINT RW P W 55 Prs1. Facteur de correction REAL RW P 57 Prs1. Point de commutation REAL RW P 65 Prs2. Facteur de correction REAL RW P 67 Prs2. Point de commutation REAL RW P hPa hPa 10) Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal 11) RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process Installation Idx10) sIdx Nom Type Accès11) Description 81 ACC A1 configuration USINT RW 0 : Ventilateur (mode continu) 1 : Vanne de ventilation 2 : Chauffage 3 : Pompe à vide primaire 4 : Ventilateur (à contrôle de température) 5 : Gaz de pressurisation 6 : toujours « 0 » 7 : toujours « 1 » 8 : Panne de courant unité de ventilation 9 : chauffage TMS 10 : refroidissement TMS 12 : deuxième vanne de ventilation 13 : Unité de surveillance du gaz de pressurisation 14 : chauffage (partie inférieure thermorégulée) 91 ACC B1 configuration USINT RW Voir 4005.81 A1 ACC A2 configuration USINT RW Voir 4005.81 B1 ACC B2 configuration USINT RW Voir 4005.81 4009 Cfg fonctionnement interface 01 DI1 Configuration USINT RW 0 : Désactivé 1 : Activer la ventilation 2 : Chauffage 3 : Gaz de pressurisation 4 : Surveillance de temps d'accélération 5 : Mode de réglage de la vitesse de rotation 7 : activer capteur HT 11 DI2 Configuration USINT RW Voir 4009.01 21 DI3 Configuration USINT RW Voir 4009.01 10) Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal 11) RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process 25/60 Installation Idx10) sIdx Nom Type Accès11) Description 41 DO1 Configuration USINT RW 0 : Point de commutation de la vitesse de rotation atteint 1 : pas d’erreur 2 : Erreur 3 : Avertissement 4 : Erreur et/ou avertissement 5 : Régime nominal atteint 6 : Pompe en marche 7 : Accélération pompe 8 : Décélération pompe 9 : toujours « 0 » 10 : toujours « 1 » 11 : Priorité à distance active 12 : Chauffage 13 : Pompe à vide primaire 14 : Gaz de pressurisation 15 : Groupe de pompage 16 : Rotation pompe 17 : La pompe s’est arrêtée 19 : Point de commutation de pression 1 non atteint 20 : Point de commutation de pression 2 non atteint 21 : Vanne à vide primaire, retardée 22 : Pompe à vide primaire stand-by 51 DO2 Configuration USINT RW Voir 4009.41 81 AI1 Configuration USINT RW 0 : à l’arrêt 1 : Par défaut dans le mode de contrôle de la vitesse A1 AO1 Configuration USINT RW 0 : Vitesse actuelle 1 : Puissance 2 : Courant 3 : toujours 0 V 4 : toujours 10 V 5 : suit AI1 6 : Valeur de pression 1 7 : Valeur de pression 2 8 : Commande vide primaire C1 Relais1 Configuration USINT RW Voir 4009.41 D1 Relais2 Configuration USINT RW Voir 4009.41 E1 Relais3 Configuration USINT RW Voir 4009.41 8001 26/60 Réglage des paramètres turbo 01 État sécurisé turbo UINT RW P Pour INIT, PREOP, SAFEOP et interruption de communication 0 : Maintien état 1 : 7000.01-04-> 0 (pompe à l’arrêt) 2: vers le fonctionnement normal 02 Valeur de consigne vitesse basse UINT RW P 0,1 % de la vitesse nominale 03 Valeur de consigne vitesse normale UINT RW P 0,1 % de la vitesse nominale 10) Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal 11) RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process Installation Idx10) sIdx Nom Type Accès11) Description F3A1 01 Masque d’avertissement de l’appareil (1) UDINT RW P Format, voir F381.01, événements placés dans F381.01 si le bit 1 y est réglé en conséquence F3A3 01 Masque d’erreur de l’appareil (1) UDINT RW P Format, voir F381.01, événements placés dans F383.01 si le bit 1 y est réglé en conséquence Tab. 14: Données de configuration (commande -> TM 700 EC) 10) Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal 11) RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process 27/60 Interfaces 5 Interfaces 5.1 Interface RS-485 L’interface avec la désignation « RS-485 » est destinée au raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique. Les connexions électriques sont découplées visuellement en interne. Désignation Valeur Interface série RS-485 Vitesse de transmission en baud 9 600 Baud Longueur de mot 8 bit Parité aucune (pas de parité) Bits de départ 1 Bits d’arrêt 1 Tab. 15: 1 5 4 Caractéristiques de l’interface RS-485 2 3 Tab. 16: 5.1.1 Broche Affectation 1 RS-485 D+ 2 Sortie +24 V, ≤ 210 mA capacité de charge 3 GND 4 RS-485 D- 5 non connectée Agencement de la terminaison de la borne de connexion M12 RS-485 Options de connexion 1 5 2 3 4 Fig. 5: Options de connexion via l’interface RS-485 1 Convertisseur USB/RS-485 2 PC 3 Unité de commande électronique 28/60 4 5 Appareil de commande avec unité de courant Connexion de l’interface RS-485 Interfaces Raccordement des appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC Un appareil de commande externe peut être raccordé à l’interface RS-485. 1. Utilisez le câble de raccordement correspondant fourni avec l'appareil de commande ou issu du programme d’accessoires. 2. Utilisez l’option pour connecter un PC via le transformateur USB/RS-485. 5.1.2 Interconnexion via le raccordement RS-485 DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. 5 6 1 4 2 TC/TM TC/TM USB/RS-485-converter D+ D- USB PC RS 485 3 Fig. 6: Interconnexion de pompes turbomoléculaires avec l’unité de commande électronique intégrée via l’interface RS-485 1 Transformateur USB/RS-485 2 PC 3 Câble d’interface M12 - RJ 45 4 5 6 Unité de commande électronique Connecteur Y Câble d'interface M12-M12 Connexion des appareils périphériques L’adresse groupée de l’unité d’entraînement électronique est 964. 1. Installer les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485. 2. Veiller à ce que tous les appareils connectés au bus disposent d’une adresse RS-485 différente [P:797]. 3. Connecter tous les appareils au bus avec RS-485 D+ et RS-485 D-. 5.2 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 5.2.1 Cadre télégramme Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vaccum contient uniquement des caractères ASCII [32; 127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un host (par ex. un 29/60 Interfaces PC) envoie un télégramme, auquel un device va répondre. a2 a1 5.2.2 a0 * 0 n2 n1 n0 l1 (par ex. unité de commande électronique ou jauge) l0 dn ... c2 c1 c0 CR a2 – a0 Adresse de l’unité pour device ● Adresse individuelle de l’unité ["001";"255"] ● Adresse groupée « 9xx » pour toutes les unités identiques (pas de réponse) ● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse) * Action selon la description du télégramme n2 – n0 Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum I1 – I0 Longueur de données dn à d0 dn – d0 Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Types de données », page 31). c2 – c0 Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) module 256 CR Retour à la ligne (ASCII 13) Description du télégramme Interrogation des données --> ? a2 n2 n1 a1 a0 0 0 Instruction de réglage a2 a1 a0 1 --> ! n2 n1 0 n0 0 2 l1 l0 dn n0 Réponse des données / instruction de réglage comprise a2 a1 a0 1 0 Message d’erreur a2 d0 a1 a0 1 0 n2 NO_DEF _RANGE _LOGIC 5.2.3 = ? ... c2 c1 c0 cR d0 c2 c1 c0 cR c2 c1 c0 cR c1 c0 cR --> n2 n1 n0 l1 l0 dn ... d0 0 6 N O _ D E F _ R A N G E _ L O G I C --> n1 n0 c2 Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée Erreur d'accès logique Télégramme exemple 1 Demande de données Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 ») --> ? ASCII 1 2 3 0 0 3 0 9 0 2 = ? 1 1 2 cR 49 50 51 48 48 51 48 57 48 50 61 63 49 49 50 13 Réponse des données : 633 Hz Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 ») --> 1 2 3 1 0 3 0 9 0 6 0 0 0 6 3 3 0 3 7 cR ASCII 49 50 51 49 48 51 48 57 48 54 48 48 48 54 51 51 48 51 55 13 5.2.4 Télégramme exemple 2 Commande de contrôle Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 » 30/60 Interfaces --> ! ASCII 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 cR 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 Commande de contrôle comprise Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 » --> 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 cR ASCII 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 5.2.5 Types de données Nº Type de donnée Description Longueur l1 – l0 Exemple 0 boolean_old Valeur logique (faux / vrai) 06 000000 est équivalent à faux 111111 est équivalent à vrai 1 u_integer Nombre entier positif 06 000000 à 999999 2 u_real Nombre à point fixe positif 06 001571 correspond à 15.71 4 string Chaîne de 6 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 06 TC_110, TM_700 6 boolean_new Valeur logique (faux / vrai) 01 0 est équivalent à faux 1 est équivalent à vrai 7 u_short_int Nombre entier positif 03 000 à 999 10 u_expo_new Nombre exponentiel positif. Les deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de 20. 06 100023 est équivalent à 1,0 · 103 100000 est équivalent à 1,0 · 10-20 11 string16 Chaîne de 16 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 16 BrezelBier&Wurst 12 string8 Chaîne de 8 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 08 Exemple 31/60 Ensemble de paramètres 6 Ensemble de paramètres 6.1 Généralités Des réglages et des caractéristiques propres aux fonctions importantes sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité d’entraînement électronique. Chaque paramètre a un nombre à trois chiffres et une description. Le paramètre est accessible via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou de manière externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum. La pompe à vide démarre dans le mode standard avec les paramètres réglés par défaut en usine. Sauvegarde de données non volatiles Lors de la mise à l’arrêt ou en cas de chute de tension involontaire, les paramètres et les heures de service sont sauvegardés dans le système électronique. # Nombre à trois chiffres du paramètre Indicateur Affichage de la description des paramètres Description Brève description des paramètres Fonctions Description de la fonction des paramètres Type de donnée Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum Type d’accès R (lecture) : accès en lecture ; W (écriture) : accès en écriture Unité Unité physique de la variable décrite min./max. Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur par défaut Pré-réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la pompe) Le paramètre peut être sauvegardé de manière permanente sur l’unité de commande électronique Tab. 17: Explication et signification des paramètres 6.2 Instructions de commande # Affichage Description Fonctions Type de données Type d’accès 001 Chauffage Chauffage 0 = arrêt 1 = marche 0 002 stand-by stand-by 0 = arrêt 1 = marche 004 RUTimeCtrl Surveillance temps de démarrage 009 ErrorAckn 010 min. max. par défaut RW 0 1 0 0 RW 0 1 0 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 1 Acquittement d’un dysfonctionnement 1 = validation anomalie 0 W 1 1 PumpgStatn Groupe de pompage 0 = arrêt 1 = marche et validation anomalie 0 RW 0 1 0 012 EnableVent Activer les ventilations 0 = non 1 = oui 0 RW 0 1 0 013 Frein Frein 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 1 32/60 Unité Ensemble de paramètres # Affichage Description Fonctions Type de données Type d’accès 017 CfgSpdSwPt Configuration du point de commutation de la vitesse de rotation 0 = Point de commutation de la vitesse de rotation 1 1 = Points de commutation de la vitesse de rotation 1 et 2 7 019 Cfg DO2 Configuration sortie DO2 0 = Point de commutation de la vitesse de rotation atteint 1 = pas d’erreur 2 = erreur 3 = avertissement 4 = erreur et/ou avertissement 5 = régime nominal atteint 6 = pompe en marche 7 = accélération pompe 8 = décélération pompe 9 = Toujours « 0 » 10 = Toujours « 1 » 11 = priorité à distance active 12 = dispositif de chauffage 13 = pompe de secours 14 = purge de gaz neutre 15 = poste de pompage 16 = rotation pompe 17 = la pompe s’est arrêtée 19 = point de commutation de pression 1 non atteint 20 = point de commutation de pression 2 non atteint 21 = Vanne à vide primaire, retardée 22 = pompe à vide primaire stand-by 023 MotorPump Moteur de pompe 024 Cfg DO1 025 Unité min. max. par défaut RW 0 1 0 7 RW 0 22 1 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 1 Configuration sortie DO1 Fonctions, voir [P:019] 7 RW 0 22 0 OpMode BKP Mode de fonctionnement de la pompe de secours 0 = mode continu 1 = mode par intermittence 2 = mise en marche retardée 7 RW 0 2 0 026 SpdSetMode Fonctionnement de l’actionneur de vitesse 0 = arrêt 1 = marche 7 RW 0 1 0 027 GasMode Mode du gaz 0 = gaz lourds 1 = gaz légers 2 = hélium 7 RW 0 2 0 028 Cfg Remote Configuration à distance 0 = par défaut 4 = relais, inversé 7 RW 0 4 0 030 VentMode Mode de ventilation 0 = ventilation temporisée 1 = ne pas ventiler 2 = ventilation directe 7 RW 0 2 2 33/60 Ensemble de paramètres # Affichage Description Fonctions Type de données Type d’accès 035 Cfg Acc A1 Configuration de la connexion des accessoires A1 0 = ventilateur (fonctionnement continu) 1 = vanne de ventilation, fermée sans courant 2 = dispositif de chauffage 3 = pompe de secours 4 = ventilateur (à contrôle de température) 5 = purge de gaz neutre 6 = Toujours « 0 » 7 = Toujours « 1 » 8 = vanne de remise à l'air en cas de panne de courant 9 = dispositif de chauffage TMS 10 = refroidissement TMS 12 = vanne de ventilation secondaire 13 = surveillance de la purge de gaz neutre 14 = chauffage (partie inférieure à contrôle de température) 7 036 Cfg Acc B1 Configuration de la connexion des accessoires B1 Fonctions, voir [P:035] 037 Cfg Acc A2 Configuration de la connexion des accessoires A2 038 Cfg Acc B2 041 min. max. par défaut RW 0 14 0 7 RW 0 14 1 Fonctions, voir [P:035] 7 RW 0 14 3 Configuration de la connexion des accessoires B2 Fonctions, voir [P:035] 7 RW 0 14 2 Press1HVen Capteur HT libérée intégré (IKT uniquement) 0 = arrêt 1 = marche 2 = marche, avec point de commutation de vitesse de rotation atteint 3 = marche, avec point de commutation de pression non atteint 7 RW 0 3 2 045 Cfg Rel R1 Configuration, relais 1 Fonctions, voir [P:019] 7 RW 0 22 0 046 Cfg Rel R2 Configuration, relais 2 Fonctions, voir [P:019] 7 RW 0 22 1 047 Cfg Rel R3 Configuration, relais 3 Fonctions, voir [P:019] 7 RW 0 22 3 050 SealingGas Gaz de pressurisation 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 34/60 Unité Ensemble de paramètres # Affichage Description Fonctions Type de données Type d’accès 055 Cfg AO1 Configuration sortie AO1 0 = vitesse actuelle 1 = sortie 2 = courant 3 = toujours 0 V 4 = toujours 10 V 5 = suit AI1 6 = valeur de pression 1 7 = valeur de pression 2 8 = contrôle vide préliminaire 7 057 Cfg AI1 Configuration entrée AI1 0 = à l’arrêt 1 = consigne dans le mode de contrôle de vitesse 060 CtrlViaInt Fonctionnement de l’interface 061 IntSelLckd 062 min. max. par défaut RW 0 8 0 7 RW 0 1 1 1 = à distance 2 = RS-485 4 = PV.can 8 = bus de terrain 16 = E74 255 = Déverrouiller la sélection de l’interface 7 RW 1 255 2 Sélection de l’interface verrouillée 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 Cfg DI1 Configuration entrée DI1 Réglage ≠ [P:063/064] 0 = désactivé 1 = activer les évents 2 = dispositif de chauffage 3 = purge de gaz neutre 4 = surveillance de temps d'accélération 5 = mode vitesse de rotation 7 = activer capteur HT 7 RW 0 7 1 063 Cfg DI2 Configuration entrée DI2 Fonctions, voir [P:062] Réglage ≠ [P:062/064] 7 RW 0 7 2 064 Cfg DI3 Configuration entrée DI3 Fonctions, voir [P:062] Réglage ≠ [P:062/063] 7 RW 0 7 3 min. max. Tab. 18: Unité Instructions de commande 6.3 Demandes d’état # Affichage Description Fonctions Type de données Type d’accès 300 RemotePrio Priorité à distance 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 302 SpdSwPtAtt Point de commutation vitesse de rotation atteint 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 303 Code d’erreur Code d’erreur 4 R 304 OvTempElec Température excessive électronique d’entraînement 0 R 0 1 0 = non 1 = oui Unité par défaut 35/60 Ensemble de paramètres # Affichage Description Fonctions Type de données Type d’accès 305 OvTempPump Température excessive pompe 0 = non 1 = oui 0 306 SetSpdAtt Vitesse de rotation réglée atteinte 0 = non 1 = oui 307 PumpAccel Accélération pompe 0 = non 1 = oui 308 SetRotSpd 309 min. max. R 0 1 0 R 0 1 0 R 0 1 Vitesse de rotation de consigne (Hz) 1 R Hz 0 999999 ActualSpd Vitesse actuelle de rotation (Hz) 1 R Hz 0 999999 310 DrvCurrent Courant d’alimentation 2 R A 0 9999,99 311 OpHrsPump Heures de fonctionnement de la pompe 1 R h 0 65535 312 Fw version Version logiciel électronique d’entraînement 4 R 313 DrvVoltage Tension entraînement 2 R V 0 9999,99 314 OpHrsElec Heures de service électronique d’entraînement 1 R h 0 65535 315 Nominal Spd Vitesse de rotation nominale (Hz) 1 R Hz 0 999999 316 DrvPower Puissance d'entraînement 1 R W 0 999999 319 PumpCycles Cycles de pompe 1 R 0 65535 324 TempPwrStg Température étage final 1 R °C 0 999999 326 TempElec Température électronique 1 R °C 0 999999 329 BearngWear Niveau d’usure palier de sécurité 2 R % 0 150 330 TempPmpBot Température partie inférieure pompe 1 R °C 0 999999 336 AccelDecel Accélération / décélération 1 R tr/min/ s 0 999999 337 SealGasFlw Débit purge de gaz neutre 1 R sccm 0 999999 342 TempBearng Température des paliers 1 R °C 0 999999 346 TempMotor Température du moteur 1 R °C 0 999999 349 ElecName Désignation de l’unité de commande électronique 4 R 354 HW Version Version du matériel de l’électronique d’entraînement 4 R 358 RotorImbal Déséquilibre du rotor 1 R % 0 150 360 ErrHist1 Historique des codes d’erreur, point 1 4 R x 361 ErrHist2 Historique des codes d’erreur, point 2 4 R x 362 ErrHist3 Historique des codes d’erreur, point 3 4 R x 363 ErrHist4 Historique des codes d’erreur, point 4 4 R x 364 ErrHist5 Historique des codes d’erreur, point 5 4 R x 365 ErrHist6 Historique des codes d’erreur, point 6 4 R x 366 ErrHist7 Historique des codes d’erreur, point 7 4 R x 367 ErrHist8 Historique des codes d’erreur, point 8 4 R x 36/60 Unité par défaut x x x Ensemble de paramètres # Affichage Description 368 ErrHist9 369 Type de données Type d’accès Historique des codes d’erreur, point 9 4 R x ErrHist10 Historique des codes d’erreur, point 10 4 R x 397 SetRotSpd Vitesse de rotation de consigne (tr/min) 1 R tr/min 0 999999 398 ActualSpd Vitesse réelle (tr/min) 1 R tr/min 0 999999 399 NominalSpd Vitesse de rotation nominale (tr/min) 1 R tr/min 0 999999 Type de données Type d’accès Unité min. max. Par défaut Tab. 19: Fonctions Unité min. max. par défaut Demandes d’état 6.4 Réglages des valeurs de consigne # Affichage Description 700 RUTimeSVal Définir la valeur du temps de démarrage 1 RW min 1 120 8 701 SpdSwPt1 Point de commutation 1 vitesse de rotation 1 RW % 50 97 80 707 SpdSVal Régler la valeur en mode de réglage de la vitesse de rotation 2 RW % 20 100 65 708 PwrSVal Valeur de consigne de la consommation électrique 7 RW % 10 100 10012) 710 Swoff BKP Seuil d’arrêt de la pompe à vide primaire pour le fonctionnement par intermittence 1 RW W 0 1000 0 711 SwOn BKP Seuil d’activation de la pompe à vide primaire pour le fonctionnement par intermittence 1 RW W 0 1000 0 717 StdbySVal Régler la valeur de la vitesse de rotation en standby 2 RW % 20 100 66,7 719 SpdSwPt2 Point de commutation 2 vitesse de rotation 1 RW % 5 97 20 720 VentSpd Vitesse de rotation de ventilation avec une ventilation temporisée 7 RW % 40 98 50 721 VentTime Durée de ventilation pour une ventilation temporisée 1 RW d 6 3600 3600 730 PrsSwPt 1 Point de commutation de pression 1 10 RW hPa 732 PrsSwPt 2 Point de commutation de pression 2 10 RW hPa 739 PrsSn1Name Nom du capteur 1 4 R 740 Pression 1 Valeur de pression 1 10 RW 742 PrsCorrPi 1 Facteur de correction 1 2 RW 749 PrsSn2Name Nom du capteur 2 4 R 750 Pression 2 Valeur de pression 2 10 RW 752 PrsCorrPi 2 Facteur de correction 2 2 RW 12) Fonctions hPa hPa Dépend du type de pompe 37/60 Ensemble de paramètres # Affichage Description 777 NomSpdConf 791 797 Type de données Type d’accès Unité min. max. Par défaut Confirmation de vitesse de rotation nominale 1 RW Hz 0 1500 0 SlgWrnThrs Seuil d’avertissement du débit de gaz de pressurisation 1 RW sccm 5 200 15 RS485Adr Adresse interface RS-485 1 RW 1 255 1 Tab. 20: 6.5 Fonctions Réglages des valeurs de consigne Paramètres additionnels dans l'appareil de commande Paramètres additionnels dans l'appareil de commande L’ensemble de paramètres de base est défini, départ usine, dans l’unité de commande électronique. Des paramètres additionnels (ensemble de paramètres étendus) sont disponibles dans les unités de commande Pfeiffer Vacuum correspondantes pour la régulation de composants externes raccordés (comme un équipement de mesure du vide). ● Se reporter aux consignes d’utilisation correspondantes des différents composants. ● Sélectionner l’ensemble de paramètres avancés avec le paramètre [P:794] = 1. # Indicateur Description 340 Pression 350 Type de donnée Type d’accès Unité min. max. Valeur de pression actuelle (ActiveLine) 7 R hPa 1·10 -10 1·10 3 Nom ctr Type d'appareil de commande 4 R 351 Logiciel ctr Version du logiciel de l'appareil de commande 4 R 738 Type de jauge Type de manomètre 4 RW 794 Ensemble param Ensemble de paramètres 7 RW 0 1 795 Servicelin Insérer ligne de service 7 RW Tab. 21: 38/60 Fonctions 0 = ensemble de paramètres de base 1 = ensemble de paramètres avancés Paramètres des fonctions de l'appareil de commande par défaut 0 795 Utilisation 7 Utilisation 7.1 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et prête à l’emploi. Pour des impératifs particuliers, il est possible de configurer la plupart des connexions pour l’unité de commande électronique avec l’ensemble de paramètres. 7.1.1 Configuration des connexions des accessoires Option Description 0 = ventilateur Commande via les paramètres du poste de pompage 1 = vanne de ventilation, fermée sans courant Commande via le paramètre Activer ventilation. Lors de l’utilisation d'une vanne de ventilation, fermée sans courant 2 = dispositif de chauffage Commande via les paramètres Points de commutation de chauffage et de vitesse atteints 3 = pompe de secours Commande via le paramètre Poste de pompage et le mode de fonctionnement de la pompe de secours 4 = ventilateur (à contrôle de température) Commande via le paramètre Poste de pompage et la valeur seuil de température 5 = gaz de pressurisation Commande via le paramètre Poste de pompage et le gaz de pressurisation 6 = toujours « 0 » GND pour la commande d’un appareil externe 7 = toujours « 1 » +24 V CC pour la commande d'un appareil externe 8 = panne de courant unité de ventilation Commande via le paramètre Activer ventilation. Lors d’une panne de courant de l’unité de ventilation 9 = dispositif de chauffage TMS13) Commande via le boîtier de commutation TMS 10 = refroidissement TMS14) Commande de l’alimentation en eau de refroidissement TMS 12 = vanne de ventilation secondaire Commande via le paramètre Activer ventilation et chute au-dessous de 50% de la vitesse de rotation nominale. Lors de l’utilisation d'une vanne de ventilation, fermée sans courant. 13 = surveillance du gaz de pressurisation Commande via le paramètre Poste de pompage et le gaz de pressurisation Tab. 22: Connexions des accessoires Procédure ► Procéder à la configuration des connexions via les paramètres [P:035], [P:036], [P:037] ou [P:038]. 7.1.2 Sélection des interfaces L’option « Commande via interface » sert à l’affichage de l’interface actuellement active dans l’unité de commande électronique. Les interfaces de communication obtiennent ainsi automatiquement la priorité de commande. Option Description 1 = à distance Fonctionnement via connexion « à distance » 2 = RS-485 Fonctionnement via la connexion « RS-485 » 4 = PV.can À des fins de maintenance uniquement 13) Uniquement lors de l’utilisation de pompes avec système de gestion de la température (TMS) 14) Uniquement lors de l’utilisation de pompes avec système de gestion de la température (TMS) 39/60 Utilisation Option Description 8 = bus de terrain Fonctionnement via bus de terrain 16 = E74 Fonctionnement via la connexion « E74 » Tab. 23: Paramètre [P:060] Option Description 0 = arrêt La sélection de l’interface peut être définie avec [P:060]. 1 = marche Sélection de l’interface verrouillée Tab. 24: Paramètre [P:061] 7.2 Modes de fonctionnement 7.2.1 Fonctionnement selon le type de gaz AVIS Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo. ► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique. ► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (> 80). Un débit de gaz et une vitesse de rotation élevés entraînent un important échauffement du rotor par friction. Afin d’éviter toute surchauffe, des caractéristiques de vitesse de rotation et de puissance sont implémentées dans l’unité de commande électronique. La caractéristique de puissance permet le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à toute vitesse de rotation avec le débit de gaz maximal autorisé sans surcharge thermique de la pompe turbomoléculaire. La consommation électrique maximale dépend du type de gaz. 3 caractéristiques sont disponibles pour le paramétrage afin d’exploiter complètement la capacité de la pompe turbomoléculaire pour chaque type de gaz. P Pmax [P:708] D B F E A C fN Fig. 7: Représentation schématisée des caractéristiques de puissance, exemple de gaz lourds [P:027] = 0 P Consommation de courant C-D f Vitesse de rotation A-B Pmax Consommation électrique maximale fN Vitesse de rotation nominale 40/60 f E-F Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 0 » (gaz de classe moléculaire > 39, par ex. argon) Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 1 » (gaz de classe moléculaire ≤ 39) Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 2 » (hélium) Utilisation Réglage du mode gaz 1. Contrôlez le mode gaz actuellement réglé avec le paramètre [P:027]. 2. Réglez le paramètre [P:027] à la valeur requise. 3. Si nécessaire, réglez sur une fréquence plus basse dans le mode de réglage de la vitesse de rotation afin d’éviter les variations de vitesse de rotation. La pompe turbomoléculaire fonctionne avec la consommation de courant maximale. Lorsque le régime nominal et/ou réglé est atteint, l’unité de commande électronique bascule automatiquement sur la caractéristique de puissance choisie du mode gaz sélectionné. L’augmentation de la consommation de courant compense initialement une augmentation du débit de gaz pour maintenir constante la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire. La pompe turbomoléculaire s’échauffe davantage en raison de la friction croissante des gaz. Lorsque la puissance maximale dépendant du type de gaz est dépassée, la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire est réduite par l’unité de commande électronique jusqu’à ce qu’un équilibre admissible entre la puissance et la friction du gaz soit atteint. 7.2.2 Valeur de réglage de la puissance absorbée Régler le paramètre [P:708] Lorsque la consommation électrique spécifiée est inférieure à 100%, le temps de démarrage est augmenté. 1. Régler le paramètre [P:708] à la valeur requise en %. 2. Si nécessaire, ajuster le paramètre [P:700] RUTimeSVal afin d’éviter les messages d’erreur lors du démarrage. 7.2.3 Temps d’accélération Le temps d’accélération de la pompe turbomoléculaire est surveillé en usine. Différentes causes peuvent prolonger les temps de démarrage, par exemple : ● Débit de gaz excessif ● Fuite dans le système ● Point de consigne du temps de démarrage trop bas Régler le paramètre [P:700] 1. Si possible, éliminer toute cause externe et associée à l’application. 2. Ajuster le temps de démarrage avec le paramètre [P:700]. 7.2.4 Points de commutation de vitesse de rotation Vous pouvez utiliser le point de commutation de vitesse de rotation pour le message « pompe turbomoléculaire opérationnelle pour le processus ». Lorsque le point de commutation de vitesse de rotation est dépassé ou n'est pas atteint, cela active ou désactive un signal au niveau de la sortie pré-configurée sur l’unité d’entraînement électronique et au niveau du paramètre d'état [P:302]. Point de commutation 1 vitesse de rotation [P:017] = 0 f(%) [P:701] t [P:010] [P:302] Fig. 8: 1 0 t 1 0 Process t Point de commutation de vitesse de rotation 1 actif 41/60 Utilisation Réglage du point de commutation de vitesse de rotation 1 La sortie du signal et les paramètres d'état sont basés sur la valeur réglée pour le point de commutation de vitesse de rotation 1 [P:701]. 1. Régler le paramètre [P:701] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:017] sur « 0 ». Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 [P:017] = 1 f(%) [P:701] [P:719] t [P:010] [P:302] 1 0 t 1 0 Fig. 9: Process t Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] > [P:719] [P:017] = 1 f(%) [P:719] [P:701] t [P:010] [P:302] Fig. 10: 1 0 t 1 0 Process t Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] < [P:719] Réglage des points de commutation de la vitesse de rotation 1 & 2 1. Régler le paramètre [P:701] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:719] à la valeur requise en %. 3. Régler le paramètre [P:017] sur « 1 ». Lorsque le poste de pompage [P:010] est mis en marche, le point de commutation de vitesse de rotation 1 est le générateur du signal. Lorsque le poste de pompage est mis à l’arrêt, la sortie du signal et la demande du statut s’orientent vers le point de commutation de vitesse de rotation 2. La sortie du signal est soumise à l’hystérèse entre les deux points de commutation. 7.2.5 Mode de réglage de la vitesse de rotation Le mode de réglage de la vitesse de rotation réduit la vitesse et par conséquent la vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire. La vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire varie proportionnellement à sa vitesse de rotation. Le mode standby est inactif pendant le mode de réglage de la vitesse de rotation. La valeur définie dans le mode de réglage de la vitesse de rotation [P:707] définit la vitesse de rotation. Le point de commutation de la vitesse de rotation varie avec la vitesse de rotation réglée. Si la valeur définie n’est pas atteinte ou est dépassée pendant le mode de réglage de la vitesse de rotation, le signal d'état [P:306] SetSpdAtt est activé ou désactivé. 42/60 Utilisation Vitesse de rotation variable autorisée Les valeurs dans le mode de réglage de la vitesse de rotation ou dans le mode standby sont soumises à la plage de vitesse de rotation autorisée de la pompe à vide correspondante (caractéristiques techniques). Une chute en-dessous des valeurs minimales autorisées entraîne un message d’avertissement Wrn100. L’unité de commande électronique ajuste la vitesse de rotation réglée sur la prochaine valeur valide. Régler le mode de réglage de la vitesse de rotation 1. Régler le paramètre [P:707] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:026] sur « 1 ». 3. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]). 7.2.6 Standby Pfeiffer Vacuum recommande le mode standby pour la pompe turbomoléculaire lors des arrêts de processus et de production. Lorsque le mode standby est actif, l’unité d’entraînement électronique réduit la vitesse de rotation de la turbopompe. Le mode standby est inactif pendant le mode de réglage de la vitesse de rotation. Le réglage en usine pour le mode standby est 66,7 % de la vitesse de rotation nominale. Si la valeur définie n’est pas atteinte ou est dépassée pendant le mode standby, le signal d'état [P:306] SetSpdAtt est respectivement activé et désactivé. Vitesse de rotation variable autorisée Les valeurs dans le mode de réglage de la vitesse de rotation ou dans le mode standby sont soumises à la plage de vitesse de rotation autorisée de la pompe à vide correspondante (caractéristiques techniques). Une chute en-dessous des valeurs minimales autorisées entraîne un message d’avertissement Wrn100. L’unité de commande électronique ajuste la vitesse de rotation réglée sur la prochaine valeur valide. Réglage des paramètres associés 1. Régler le paramètre [P:717] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:026] sur « 0 ». 3. Régler le paramètre [P:002] sur « 1 ». 4. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]). 7.2.7 Confirmation de la spécification de vitesse La vitesse de rotation nominale typique d’une pompe turbomoléculaire est préréglée en usine dans l’unité de commande électronique. Si l’unité de commande électronique est remplacée ou si un autre type de pompe est utilisé, la présélection de consignes pour la vitesse de rotation nominale est effacée. La confirmation manuelle de la vitesse de rotation nominale fait partie d’un système de sécurité redondant et sert de mesure de prévention contre les vitesses de rotation excessives. HiPace Confirmation de la vitesse de rotation nominale [P:777] 300 M 1000 Hz 400 M / 700 M / 800 M 820 Hz Tab. 25: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires Accessoires requis ● Un appareil de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum connecté. ● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de travail de l’unité de commande électronique. Régler le paramètre [P:777] ► Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe. Une fois la vitesse de rotation nominale atteinte, la pompe turbomoléculaire tourne au ralenti sans débit de gaz supplémentaire. Selon le processus ou les exigences de l’application, la vitesse de rotation nominale peut être réduite dans le mode de réglage de la vitesse de rotation ou dans le mode standby. 43/60 Utilisation 7.2.8 Modes de fonctionnement de la pompe de secours Le fonctionnement d'une pompe de secours connectée via l’unité d’entraînement électronique dépend du type de pompe de secours. Mode de fonctionnement [P:025] Pompe booster recommandée « 0 » mode continu Toutes les pompes à vide primaire « 1 » mode par intermittence Pompes à membrane uniquement « 2 » mise en marche temporisée Toutes les pompes à vide primaire « 3 » mode par intermittence temporisé Pompes à membrane uniquement Tab. 26: Modes de fonctionnement de la pompe de secours Réglage du mode continu Avec « poste de pompage marche », l’unité d’entraînement électronique envoie un signal à la connexion d’accessoire configurée pour mettre la pompe de secours en marche. 1. Régler le paramètre [P:025] sur « 0 ». 2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire. Réglage du mode de fonctionnement par intermittence et détermination du seuil de commutation Le mode de fonctionnement par intermittence augmente la durée de vie de la membrane d’une pompe à membrane connectée. Soit une pompe à membrane avec relais semi-conducteur intégré, soit un boîtier de relais interconnecté avec relais semi-conducteur est requis(e) pour le mode de fonctionnement par intermittence. L’unité de commande électronique met la pompe à vide primaire en marche ou à l’arrêt selon la consommation électrique de la pompe turbomoléculaire. Une relation avec la pression de vide préliminaire résulte de la consommation électrique. Le mode de fonctionnement de la pompe de secours offre des seuils de mise en marche et de mise à l’arrêt réglables. Les variations de consommation électrique des pompes turbomoléculaires au ralenti et les variations de pression de vide préliminaire des pompes à vide primaire nécessitent des réglages individuels du mode de fonctionnement par intermittence. Pfeiffer Vacuum recommande un fonctionnement par intermittence entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et une vanne de dosage sont nécessaires pour régler les seuils de commutation. 1. Régler le paramètre [P:025] sur « 1 ». 2. Mettre le système de vide en marche avec le paramètre [P:010] (« poste de pompage »). 3. Attendre le démarrage. 4. Laisser le gaz circuler à travers la vanne de dosage et régler la pression de vide préliminaire sur 10 hPa. 5. Relever la puissance d’entraînement sur le paramètre [P:316] et noter la valeur. 6. Régler le seuil de mise en marche de la pompe de secours avec le paramètre [P:711] sur la puissance d’entraînement déterminée pour une pression de vide préliminaire de 10 hPa. 7. Réduire la pression du vide préliminaire à 5 hPa. 8. Relever la puissance d’entraînement sur le paramètre [P:316] et noter la valeur. 9. Régler le seuil de mise à l’arrêt de la pompe de secours avec le paramètre [P:710] sur la puissance d’entraînement déterminée pour une pression de vide préliminaire de 5 hPa. Mise en marche temporisée La mise en marche simultanée de la pompe de vide primaire et de la pompe turbomoléculaire peut entraîner un flux de gaz indésirable. Afin d’éviter cela, selon les exigences du processus ou de l’application, il est possible de faire fonctionner la pompe de secours avec une mise en marche temporisée. La mise en marche temporisée dépend de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire. La mise en marche temporisée présente une valeur fixe de 360 tr/min dans l’unité de commande électronique. ● Seuil de mise à l’arrêt, paramètre [P:710] ● Seuil de mise en marche, paramètre [P:711] ● Temporisation 8 s. 1. Régler le paramètre [P:025] sur « 2 ». 2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire. Fonctionnement par intermittence temporisé Des variations au cours du fonctionnement par intermittence peuvent entraîner un non-respect des seuils de commutation, ils ne sont pas atteints ou sont dépassés. Afin d’éviter toute commutation non 44/60 Utilisation désirée de la pompe à vide primaire, le fonctionnement par intermittence est possible en utilisant une temporisation de la mise en marche, selon le processus ou les exigences de l’application. La temporisation dépend d’un seuil de commutation spécifié dépassé ou non atteint de manière ininterrompue. ● Seuil de mise à l’arrêt, paramètre [P:710] ● Seuil de mise en marche, paramètre [P:711] ● Temporisation 8 s. 1. Régler le paramètre [P:025] sur « 3 ». 2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire. 7.2.9 Mode standby de la pompe de secours Lors de l’utilisation d'une pompe de secours Pfeiffer Vacuum avec commande de la vitesse de rotation, elle peut être utilisée dans le mode standby en configurant la sortie numérique [P:019] ou [P:024]. La consommation de courant de la pompe turbomoléculaire a une influence directe sur la vitesse de rotation de la pompe à vide primaire. Configuration du mode de standby 1. Établir la connexion de la pompe à vide primaire à l’aide d’un câble de raccordement approprié. 2. Régler le paramètre [P:019] ou [P:024] sur « 22 » (pompe à vide primaire en mode standby). 3. Consulter la vitesse de standby correspondante dans le mode d’emploi correspondant de la pompe à vide primaire. 7.2.10 Frein électrique Après avoir mis la pompe à l’arrêt, Pfeiffer Vacuum recommande l’utilisation de la fonction de frein électrique. Il réduit le temps de ralenti et permet le freinage contrôlé du rotor jusqu’à ce que la pompe soit immobilisée. Utilisation du frein électrique ► Réglez le paramètre [P:013] sur « 1 ». 7.2.11 Fonctionnement avec des accessoires Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés sont disponibles en ligne. ● Les accessoires suivants ne sont pas inclus dans la livraison. Configuration du chauffage L’activation du chauffage connecté dépend du point de commutation de vitesse de rotation 1 (réglage en usine 80% x fnominal). ► Mettre le chauffage en marche ou à l’arrêt avec le paramètre [P:001]. Configuration du ventilateur La configuration de la connexion permet un fonctionnement continu ou la mise en marche ou à l’arrêt, avec régulation de température, d’une unité de refroidissement d’air connectée. Les valeurs seuils sont spécifiques au type et sont intégrées à l’unité d’entraînement électronique.. ► Sélectionner le paramètre [P:035], [P:036], [P:037] ou [P:038] affecté à la sortie de l’accessoire (voir chapitre « Configuration des connexions des accessoires », page 39). Configuration de la vanne de purge de gaz neutre ► À l’aide du paramètre [P:050], mettre en marche ou à l’arrêt une vanne de purge de gaz neutre connectée via la sortie pré-configurée. Surveillance du gaz de pressurisation 1. Régler le paramètre sélectionné sur « 13 ». 2. Régler le paramètre [P:791] sur le débit de gaz de pressurisation désiré pour le seuil d'avertissement. 3. Consulter le débit de gaz de pressurisation via le paramètre [P:337]. 45/60 Utilisation 7.2.12 Modes de ventilation La fonction « poste de pompage » active le mode de ventilation de la pompe turbomoléculaire après la mise à l’arrêt. La sortie de signal est effectuée avec une temporisation fixe. Sélection du mode de ventilation 1. Régler le paramètre [P:012] sur « 1 ». 2. Sélectionner le mode de ventilation avec le paramètre [P:030] (3 modes possibles). Ventilation temporisée 1. Configurer le début et la durée de ventilation après « Station de pompage désactivée » en fonction de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire. 2. Régler le paramètre [P:030] sur « 0 ». 3. Avec le paramètre [P:720], régler la vitesse de ventilation à la vitesse de rotation nominale en %. 4. Avec le paramètre [P:721], régler la vitesse de ventilation en s. La soupape de ventilation s'ouvre pour la durée de ventilation définie. En cas de panne de courant, la ventilation démarre lorsque la vitesse tombe sous la vitesse de ventilation de consigne. La durée de ventilation dépend de l’énergie résiduelle fournie par le rotor en rotation. Le processus de ventilation s’arrête lorsque la puissance est rétablie. Pas de remise à l'air Dans ce mode de fonctionnement, la ventilation est désactivée. ► Régler le paramètre [P:030] sur « 1 ». Ventilation directe La mise à l’air commence avec un retard de 6 secondes après l’arrêt du groupe de pompage. Lorsque la fonction du groupe de pompage est réactivée, la vanne de remise à l'air se ferme automatiquement. Après une panne de courant, la ventilation démarre après que la vitesse de rotation soit retombée audessous d’une valeur type spécifiée. Une fois la puissance rétablie, le processus de ventilation reprend. ► Réglez le paramètre [P:030] sur « 2 ». 7.2.13 Usure des paliers de sécurité Les paliers de sécurité s’usent en fonction du niveau d’impact de l’interférence sur le rotor en marche. Le système de capteurs sur le palier magnétique surveille en permanence l’usure actuelle des paliers de sécurité. L’unité de commande électronique effectue la somme de l’usure et émet la valeur correspondante sous forme de pourcentage de la valeur maximale possible. ● Des messages d’avertissement appropriés correspondent à une émission de 75 % de la valeur maximale. ● Des messages d’erreur appropriés correspondent à une émissionde 100 % de la valeur maximale. Surveillance de l’usure des paliers de sécurité 1. Utiliser le paramètre [P:329] pour afficher le pourcentage d’usure des paliers de sécurité. 2. Mettre la pompe hors service si le stress total a atteint 100 %. 3. Contacter le service après-vente de Pfeiffer Vacuum. 7.2.14 Équilibre Les capteurs des paliers magnétiques surveillent en permanence l’équilibre actuel du rotor. L’état de l’équilibre est mesuré en tant que pourcentage du stress maximal possible sur le rotor et affiché sur l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou émis sur le PC via l’interface RS-485. ● L’émission des messages d’avertissement correspondants est effectuée à partir de 75 % du déséquilibre autorisé. ● L’émission des messages d’erreur correspondants est effectuée à partir de 100 % du déséquilibré autorisé. Surveillance de l’équilibre 1. Le paramètre [P:358] est utilisé pour afficher l’équilibre actuel du rotor en %. 2. Mettre la pompe hors service si le déséquilibre admissible a atteint 100 %. 3. Contacter le service après-vente de Pfeiffer Vacuum. 46/60 Utilisation 7.3 Mise en marche de la pompe turbo Le paramètre « poste de pompage » [P:010] comprend le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire avec la commande de tous les accessoires connectés (par ex. pompe à vide primaire). Procédure Une fois l’auto-test correctement effectué, l’unité d’entraînement électronique réinitialise les messages d’erreurs en cours et corrigés. La turbopompe démarre et tous les accessoires connectés démarrent en fonction de leur configuration. 1. Régler le paramètre [P:023] sur « 1 ». – Le paramètre [P:023] met le moteur de la turbopompe en marche. 2. Régler le paramètre [P:010] sur « 1 ». 7.4 Mise à l’arrêt de la turbopompe AVIS Dégât matériel suite à l'usure du palier lors d’une mise à l’arrêt inappropriée Les paliers magnétiques actifs nécessitent une alimentation électrique constante. Le moteur agit comme un générateur et alimente l’électronique d’entraînement en cas de panne de courant. Sous une vitesse de rotation d’env. 6500 tr/min, l’énergie cinétique du rotor n’est plus suffisante pour alimenter le palier magnétique. L'unité d’entraînement électronique se coupe. Le rotor descend en courant de manière audible dans les paliers de sécurité. ► Ne pas mettre la pompe à l’arrêt en débranchant l’alimentation électrique principale. ► Toujours utiliser la fonction de frein électrique après la mise à l’arrêt de la turbopompe. Procédure L’unité de commande électronique met la pompe turbomoléculaire à l’arrêt et active les options d’accessoires pré-réglés (par ex. ventilation MARCHE, pompe de secours ARRÊT). 1. Réglez le paramètre [P:010] sur « 0 ». 2. Attendre que la pompe turbomoléculaire soit complètement immobilisée. 3. Débrancher l’alimentation électrique conformément aux instructions du mode d’emploi de la pompe turbomoléculaire ou de l’unité de courant. 7.5 Surveillance des opérations 7.5.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionnement avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. LED Vert Jaune Symbole État LED Affichage Signification Désactivé Sans courant Activé, clignotant « Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min Activé, clignotement inverse « Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite non atteinte Activé, éclairé en continu « Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite atteinte Activé, clignotant « Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de > 60 tr/min Désactivé Pas d'avertissement Activé, éclairé en continu Avertissement 47/60 Utilisation LED Rouge Tab. 27: 7.5.2 Symbole État LED Affichage Signification Désactivé Pas d'erreur, pas d'avertissement Activé, éclairé en continu Erreur, dysfonctionnement Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique Surveillance de la température Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent d’amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température pour les messages d’avertissement et d’erreur sont mémorisés systématiquement dans l’unité de commande électronique. À titre d'information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de paramètres. ● Afin d’éviter que la pompe turbomoléculaire ne se coupe, l'unité de commande électronique réduit déjà la consommation de courant en cas de dépassement du seuil d’avertissement pour l’excès de température. ─ Exemples : température moteur inadmissible, surchauffe inadmissible du corps de pompe. ● Le point de commutation de la vitesse de rotation peut ne pas être atteint en cas de réduction supplémentaire de la puissance d’entraînement et par conséquent de la vitesse. La pompe turbomoléculaire se coupe. ● Le dépassement du seuil de température pour les messages d’erreur entraîne la coupure immédiate de la pompe turbomoléculaire. 48/60 Recyclage et mise au rebut 8 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 8.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 8.2 Mise au rebut de l’unité de commande électronique Les composants électroniques et leurs boîtiers contiennent des matériaux devant être recyclés. ► Mettre au rebut les composants électroniques de manière sûre, conformément aux réglementations locales en vigueur. 49/60 Dysfonctionnements 9 Dysfonctionnements 9.1 Généralités AVERTISSEMENT Risque de blessure par les pièces déplacées après une panne de courant ou un dépannage La fonction « groupe de pompage » de l’unité de commande électronique reste active après une panne de courant ou si des erreurs, entraînant l'arrêt de la pompe à vide ou du système, surviennent. Lorsque la puissance est rétablie ou après la confirmation d’une défaillance, la pompe à vide démarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. ► Les contre-fiches présentes ou les ponts doivent être enlevés de l'unité de commande électronique avant le retour du courant secteur sous peine de risque de démarrage automatique. ► Mettre la pompe à l’arrêt en utilisant la fonction « poste de pompage » (paramètre [P:010]). Tout dysfonctionnement de la pompe turbomoléculaire et de l’unité de commande électronique entraîne systématiquement un message d’avertissement ou d’erreur. Dans les deux cas, un code d’erreur est émis, ce dernier peut être lu via les interfaces de l’unité de commande électronique. De manière générale, les LED sur l’unité de commande électronique indiquent les messages de fonctionnement. En présence d’une erreur, la pompe turbomoléculaire et les appareils connectés sont mis à l’arrêt. Le mode de remise à l'air sélectionné sera déclenché après une temporisation définie. 9.2 Codes d’erreur Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours l’arrêt des appareils périphériques connectés. Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la coupure des composants. Traitement des messages d’anomalie 1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. 2. Éliminez la cause de l’anomalie. 3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009]. – Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d’écran sur les appareils de commande Pfeiffer Vacuum. Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Err001 Vitesse de rotation excessive ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err002 Surtension ● Unité de courant inappropriée ● Tension d’entrée de secteur incorrecte ● Contrôlez le type d’ensemble d’alimentation électrique ● Vérifiez la tension d’entrée de secteur ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err006 Erreur de démarrage ● Seuil de temps de démarrage réglé trop bas ● Débit de gaz dans les récipients suite à des fuites ou vannes ouvertes ● Toujours en-dessous du point de commutation de contrôle de vitesse, le temps de démarrage s’écoule ● Ajustez le temps de démarrage aux conditions du processus ● Contrôlez les fuites ou les vannes fermées dans les chambres de vide ● Réglez le point de commutation de vitesse de rotation Err007 Fluide d’exploitation bas ● Fluide d’exploitation bas ● Contrôlez le fluide d’exploitation ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 50/60 Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Err008 Unité d’entraînement électronique - raccordement de la pompe turbomoléculaire défaillant ● Raccordement à la pompe turbomoléculaire défaillant ● Contrôlez les raccordements ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err010 Erreur appareil interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err021 L'unité d’entraînement électronique ne détecte pas la pompe turbomoléculaire ● Version de logiciel incompatible ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err041 Défaut du moteur ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err043 Erreur de configuration interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err044 Température excessive, électronique ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err045 Température excessive, moteur ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err046 Erreur d’initialisation interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err073 Surcharge du palier magnétique axial ● Taux de remontée de pression trop élevé ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err074 Surcharge du palier magnétique radial ● Taux de remontée de pression trop élevé ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err089 Rotor instable ● Impacts, vibrations ● Appareil défectueux ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err091 Erreur appareil interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err092 Panneau de connexion inconnu ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err093 Évaluation de la température du moteur défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err094 Évaluation de la température de l’électronique défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err098 Erreur de communication interne ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err106 Température élevée du rotor ● Débit élevé du gaz ● Rayonnement thermique interdit ● Champ magnétique interdit ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err107 Erreur groupée étage final ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err108 Mesure de la vitesse de rotation défaillante ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err109 Logiciel non publié ● Mise à jour erronée du logiciel ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err110 Évaluation du fluide d'exploitation défaillante ● Capteur du fluide d'exploitation défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err111 Erreur de communication, pompe à liquide de refroidissement ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 51/60 Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Err112 Erreur de groupe, pompe à liquide de refroidissement ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err113 Évaluation de la température du rotor défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err114 Évaluation de la température de l’étage final défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err117 Température excessive, partie inférieure de la pompe ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err118 Température excessive, étage final ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err119 Température excessive, palier ● Refroidissement insuffisant ● Mode de gaz sélectionné incorrect ● Débit insuffisant du gaz de pressurisation ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err143 Température excessive, pompe à liquide d'exploitation ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err777 Vitesse de rotation nominale non confirmée ● Vitesse de rotation nominale non confirmée après le remplacement de l’unité d’entraînement électronique ● Confirmez la vitesse de rotation nominale avec [P:777] ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err800 Débordement du palier magnétique ● Impacts, vibrations ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err802 Défaut technologique du capteur du palier magnétique ● Valeurs de calibrage invalides ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Procédez à une procédure de calibrage ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err810 Erreur de configuration interne ● Version de logiciel incompatible ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err815 Débordement du palier magnétique ● Impacts, vibrations ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err890 Palier de sécurité usé ● Usure palier de sécurité > 100% ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err891 Déséquilibre trop important du rotor ● Déséquilibre du rotor > 100% ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Tab. 28: Messages d’erreur de l’unité de commande électronique Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Wrn001 Temps de montée en température TMS expiré ● Minuterie interne de surveillance de montée en température dépassée ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Vérifiez la tension d’entrée de secteur Wrn003 Température TMS invalide ● La température TMS n'est pas dans la plage admissible, entre 5 °C et 85 °C ● Capteur de température TMS défectueux ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn007 Sous-tension ou panne de courant ● Panne de secteur ● Unité de courant insuffisamment dimensionnée ● Contrôlez le type d’ensemble d’alimentation électrique ● Vérifiez la tension d’entrée de secteur 52/60 Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Wrn016 Configuration invalide des accessoires ● Configuration interdire des sorties accessoires ● Vérifiez la configuration des sorties accessoires Wrn018 Conflit de primauté de fonctionnement ● Groupe de pompage mis en marche avec [P:010] alors que l’entrée E74 « start/stop » est à l’arrêt (ouverte) ● Mettre le poste de pompage en marche via E74 « start/stop » ● Désactiver [P:010] Wrn021 Signal de verrouillage invalide ● Le signal de la surveillance du signal de verrouillage se trouve en-dehors de la plage valide ● Contrôlez les connexions de la surveillance du gaz de pressurisation ● Contrôlez l’alimentation en gaz de pressurisation Wrn034 Débit de gaz de pressurisation bas ● Signal de la surveillance du gaz de pressurisation valide mais en-dessous du seuil réglé [P:791] ● Contrôlez et corrigez l’alimentation en gaz de pressurisation Wrn045 Température élevée du moteur ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn076 Température élevée de l’électronique ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn089 Déséquilibre élevé ● Déséquilibre du rotor ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn097 Informations de pompe invalides ● Erreur de communication interne 1. Arrêtez le groupe de pompage 2. Attendez que la pompe turbomoléculaire se soit complètement immobilisée 3. Déconnectez l’alimentation électrique 4. Si cela se reproduit, contactez Pfeiffer Vacuum Service Wrn098 Informations de pompe incomplètes ● Erreur de communication interne 1. Arrêtez le groupe de pompage 2. Attendez que la pompe turbomoléculaire se soit complètement immobilisée 3. Déconnectez l’alimentation électrique 4. Si cela se reproduit, contactez Pfeiffer Vacuum Service Wrn100 Vitesse minimale non atteinte ● Réglages du régime nominal inférieurs à la vitesse minimale spécifique de la pompe ● Contrôlez [P:707] ou [P:717] ● Consultez la plage de vitesse de rotation valide dans la fiche technique de la pompe turbomoléculaire Wrn106 Température élevée du rotor ● Débit élevé du gaz ● Rayonnement thermique interdit ● Champ magnétique interdit ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn113 Température du rotor incorrecte ● Erreur de communication interne ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn115 Évaluation de la température de la partie inférieure de la pompe défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn116 Évaluation de la température du palier défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn117 Température élevée de la partie inférieure de la pompe ● Refroidissement insuffisant ● Mode de gaz sélectionné incorrect ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn118 Température élevée de l’étage final ● Refroidissement insuffisant ● Mode de gaz sélectionné incorrect ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn119 Température élevée du palier ● Refroidissement insuffisant ● Mode de gaz sélectionné incorrect ● Débit insuffisant du gaz de pressurisation ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn143 Température de pompe à liquide d'exploitation élevée ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement 53/60 Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Wrn168 Temporisation importante ● Taux de remontée de pression trop élevé ● Taux de remise à l'air trop élevé ● Contrôlez le taux de remise à l’air ● Adaptez le taux de remise à l'air à la pompe Wrn801 Convertisseur de freinage défectueux ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn806 Résistance de freinage défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn807 Calibrage requis ● Calibrage expiré ● Calibrez la pompe turbomoléculaire en la démarrant depuis l’arrêt Wrn890 Usure trop importante du palier de sécurité ● Usure palier de sécurité > 75 % ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn891 Déséquilibre important du rotor ● Déséquilibre du rotor > 75 % ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Tab. 29: Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique 9.3 Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionnement avec des appareils de commande Outre des messages d’avertissement et d’erreur spécifiques à l’appareil sur l’unité de commande électronique, des messages additionnels sont affichés sur l’appareil de commande connecté. Indicateur Problème Causes possibles Action corrective * Warning F110 * Manomètre ● Manomètre défaillant ● Connexion au manomètre perdue lors du fonctionnement ● Contrôler le branchement des câbles ● Effectuer un redémarrage avec le manomètre connecté ● Remplacer complètement le manomètre ** Error E040 ** Erreur hardware ● RAM externe défaillante ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ** Error E042 ** Erreur hardware ● Somme de contrôle EPROM incorrecte ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ** Error E043 ** Erreur hardware ● Erreur d’écriture E2PROM ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ** Error E090 ** Erreur appareil interne ● Quantité de RAM insuffisante ● L’unité est raccordée à une unité de commande électronique incorrecte ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Raccorder l’unité à l’unité de commande électronique correcte ** Error E698 ** Erreur de communication ● L’unité de commande électronique ne répond pas ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Tab. 30: 54/60 Messages d’avertissement et de dysfonctionnement Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 10 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 55/60 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 56/60 Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Unité de commande électronique TM 700 EC Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Basse tension 2014/35/CE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN ISO 12100 : 2011 DIN EN 62061 : 2016 DIN EN 1012-2 : 2011 DIN ISO 21360-1 : 2016 DIN EN IEC 61000-3-2 : 2019 ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61000-3-3 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 DIN EN 61010-1 : 2020 Semi F47-0200 DIN EN 61326-1 : 2013 Semi S2-0706 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2022-11-24 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Unité de commande électronique TM 700 EC Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Normes et spécifications appliquées: EN ISO 12100:2010 EN 1012-2+A1:1996 EN IEC 61000-3-2+A1:2019 EN 61000-3-3+A2:2013 EN 61010-1+A1:2017 EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 62061:2021 ISO 21360-1:2020 ISO 21360-4:2018 IEC 63000:2018 Semi F47-0200 Semi S2-0706 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2022-11-24 59/60 *PT0503* ed. C - Date 2304 - P/N:PT0503BFR ">
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