Sécurité Explication des signes Personnel qualifié Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant été formés en conséquence par le détenteur du produit. Ins tructions d'utilis ation BG 5115 BFR / B (20120-02) Traduction du manuel de l'utilisateur Jauge compacte à cathode froide avec joint métallique AVERTISSEMENT Indications concernant la prévention de dégradations de l'environnement et d'importants dégâts matériels. Caractéristiques techniques Principe de mesure Raccordement au vide Attention Composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. DANGER Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature. IKR 270 Connecteur FCC Installation Attention Zone sensible à la pollution Si le produit ou des parties du produit sont touchés avec les mains nues le taux de dégazage est augmenté. Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils propres. Gamme de mesure (air, N2) Précision 1×10-9 … 1×10-3 hPa hors de cette gamme Affectation des Contacts Broche 1 Alimentation Broche 2 Masse alimentation Broche 3 Sortie de signal (mesure) Broche 4 Identification Broche 5 Masse signal case boîtier de connecteur Broches 6, 7, 8: pas connecté 8 pôles FCC68 connecteur Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs. Validité Ce document est valable pour les produits avec les numéros de référence : Connecteur Hirschmann PT R21 251 (Bride DN 40 CF-F version courte) PT R21 261 (Bride DN 40 CF-F version longue) Connecteur FCC PT T14 358 002 (Bride DN 40 CF-F version courte) PT T14 858 002 (Bride DN 40 CF-F version longue) Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique. Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans préavis. A propos de ce document Le présent document décrit l'installation et le fonctionnement des jauges compactes à cathode froide susmentionnées. Pour de plus amples informations, veuillez consulter le manuel de l'utilisateur distinct [1]. Utilisation prévue Les jauges compactes à cathode froide décrites dans ce document servent à la mesure du vide dans la gamme des pressions de 5×10-11 ... 1×10-2 hPa. La jauge avec connecteur Hirschmann peut être utilisée avec un instrument de mesure du vide Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes ou avec un instrument de mesure spécifique au client. La jauge avec connecteur FCC peut être utilisée avec un instrument de mesure spécifique au client. Principe de fonctionnement Les jauges fonctionnent avec un circuit de mesure à ionisation à cathode froide (selon le principe du magnétron inverse). La relation entre la pression et le signal de mesure est logarithmique sur toute la gamme de mesure. • Les raccords à vide CF satisfont à ces exigences. Remarque • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes aux gaz utilisés. Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit et (→ Caractéristiques techniques) les gaz de procédés. • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées concernant toute intervention. Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document. • Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés. DANGER Champs magnétiques Les champs magnétiques puissants peuvent perturber ou gêner le fonctionnement des appareils électroniques, p. ex. des stimulateurs cardiaques. Observer une distance de sécurité de ≥10 cm entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ou empêcher toute perturbation émanant de champs magnétiques puissants en installant des blindages adéquats. Fonctionnement Amorçage électrique L'hélium peut provoquer des amorçages électriques à l'intérieur de l'électronique du produit et détruire l'électronique. Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre le produit hors circuit et démonter l'unité électronique. La position d'installation n'est pas imposée, mais pour empêcher que les particules et condensats n'entrent dans la chambre de mesure, il est préférable d'installer la jauge horizontalement ou debout. En cas d'utilisation de raccords de vide CF, il peut s'avérer avantageux de temporairement enlever l'unité magnétique (→ [1]). L'encombrement requis est indiqué sur le plan coté (→ Caractéristiques techniques). Tension d'alimentation disponible. Tension d'alimentation indisponible. Attention Mettez la jauge uniquement en circuit en présence de pressions <10-2 mbar afin d'éviter tout encrassement excessif. Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum équipés d'au moins deux raccords pour jauges, la jauge à cathode froide peut par exemple être pilotée par une jauge Pirani. Dépendance du type de gaz Raccordement électrique Assurez-vous que la jauge soit raccordée à la chambre à vide (→ Section précédente). Si vous ne disposez pas d'un câble de raccordement, confectionnez en un selon le schéma en bas : Si vous utilisez la jauge avec un appareil de mesure Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes, vous pouvez y enter un facteur de conversion pour corriger la valeur de mesure actuelle (→ de l'appareil de mesure correspondant). Connecteur Hirschmann Délai d'amorçage Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une tierce personne L'allumage constitue un processus statistique pouvant être fortement influencé dès la présence d'infimes dépôts sur les surfaces intérieures. • modifie ce produit d'une façon quelconque • utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit correspondante. La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur. Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la garantie. Affectation des Contacts Broche 1 Identification Broche 2 Sortie de signal (mesure) Broche 3 Masse signal Broche 4 Alimentation Broche 5 Masse alimentation Broche 6 Blindage Impédance de sortie Impédance chargée minimale 2×10 Ω 1.96 V … 8.6 V logarithmique, 0.8 V/décade <0.5 V sans alimentation 10 kΩ, résistant aux courtscircuits en fonction de la pression <10 ms ≈1 s Ajustement de la jauge Prise secteur côté soudures + 5 °C … +55 °C 250 °C 2) dans la gamme d'étuvage conformément au plan coté 250 °C 2) (sans électronique) 250 °C 2) dans la gamme d'étuvage conformément au plan coté ≤80% à température jusqu'à +31 °C, diminuant à 50% à +40 °C en espaces clos, altitude max. 3000 m IP 40 Humidité relative Utilisation Protection 2) - 40 °C … +65 °C Un éventuel blindage magnétique (accessoire) doit être démonté. Dimensions [mm] Connecteur Hirschmann Résistance 7.15 kΩ contre la terre d'alimentation Alimentation Le signal de mesure dépend du type de gaz. La valeur mesurée correspond à l'air, à l'oxygène (O2), au monoxyde de carbone (CO) et à l'azote (N2). Pour d'autres gaz, la pression peut être déterminée par une conversion (→ "Caractéristiques techniques"). Communiquer les indications concernant la sécurité aux autres utilisateurs. • n'observe pas les indications figurant dans ce document ≈ 0 V … ≈ +10.5 V Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose entre les broches 2 et 3 (Connecteur Hirschmann), ou 3 et 5 (Connecteur FCC), du signal de mesure (rapport signal de mesure–pression → "Caractéristiques techniques"). À la mise en circuit de la jauge, le système de cathode froide s'active avec temporisation. Celle-ci augmente à des pressions plus basses et celle de jauges dégazées propres atteint les valeurs typiques suivantes à : 10-7 hPa ≈ 0.1 minute 10-8 hPa ≈ 1 minute 10-9 hPa ≈ 5 minutes 10-10 hPa ≈ 20 minutes 5×10-11 hPa ≈ 30 minutes • utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue Signal de sortie (mesure) Gamme de mesure Relation tension – pression Signal d'erreur Temps de réponse p > 10-6 mbar p = 10-8 mbar Le voyant vert sur la jauge indique l'état de service AVERTISSEMENT Indications concernant la sécurité ≈ ±5 % Identification de la jauge La jauge doit être connectée directement à la chambre à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010 : Etuvage versions courtes version longue ≈ ±30 % jusqu'au facteur 2 Répétabilité 1×10-9 … 1×10-3 hPa DANGER Attention Système de mesure à ionisation à cathode froide (selon le principe du magnétron inverse) 5×10-11 … 1×10-2 hPa Températures admissibles Stockage Service toutes les versions version longue DANGER La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant aux exigences pour les basses tensions mises à la masse et à une source à puissance limitée (LPS) de la classe 2. Il faudra protéger la ligne vers la jauge 1). Tension à la jauge Classe 2 / LPS 14.5 … 30.0 V= (ondulation max. 1 Vpp) ≤2 W ≤1 AT Puissance absorbée Fusible 1) Raccordement électrique PT R21 xxx PT T14 xxx xxx Câble jauge PT R21 xxx PT T14 xxx xxx Longueur du câble PT R21 xxx PT T14 xxx xxx Connecteur compact Hirschmann, type GO 6, 6 pôles, broches de contact FCC68 douille, 8 pôles 5 pôles, blindé 5 pôles, blindé 100 m (0.25 mm² conducteur) 150 m (0.34 mm² conducteur) 500 m (1.0 mm² conducteur) 50 m (0.14 mm² conducteur) Tension de service (dans la chambre de mesure) Courant de service (dans la chambre de mesure) Conception de la terre Raccord à vide – masse alimentation Masse alimentation – masse signal Matériaux au contact du vide Isolation de traversée Joints internes Raccord à vide La jauge est étalonnée en usine et immédiatement opérationnelle. Un ajustement ultérieur n'est pas possible. Anode Dispositifs d'allumage Volume interne Pression 1) Connecteur FCC ≤3.3 kV ≤100 µA Poids 950 g (Bride DN 40 CF-F version courte) 1100 g (Bride DN 40 CF-F version longue) → Figure 1 reliés par 10 kΩ (différence max. de tension pour sécurité ±50 V pour précision ±10 V) conduites séparément; avec les câbles de grande longueur (≥10 m), nous recommandons une mesure différentielle céramique (Al2O3) Ag acier inoxydable (1.4306 / AISI 304L) Mo acier inoxydable (1.4310 / AISI 301) ≈ 20 cm³ ≤10 bar (absolue) limitée aux gaz inertes et aux températures <100 °C Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes satisfont à cette exigence. bg5115bf r / a Source : Allemand BG 5115 BDE / A (2020-02) Rapport signal de sortie – pression Pression p 1E+00 Pa 1E–01 hPa Torr 1E–02 1E–06 1E–07 overrange 1E–05 underrange 1E–04 sensor error 1E–03 1E–09 1E–10 1E–11 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5 Signal de sortie U [V] ⇔ 1.25×U-d p = 10 U p c d [V] [V] [V] [V] [hPa] [µbar] [Torr] [mTorr] 10.2 7.8 10.3 7.9 12.75 9.75 12.875 9.875 U p c d [V] [V] [V] [micron] [Pa] [kPa] 7.9 8.6 11.0 9.875 10.75 13.75 Recyclage Déclaration UE de conformité Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum, déclarons les directives suivantes pour le produit suivant: DANGER AVERTISSEMENT Composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Transport de produits contaminés Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Les produits qui nous sont envoyés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Inclure une "Déclaration de contamination" remplie *). • 2014/30/CE, L 96/79, 29.3.2014 (CEM: Directive relative à la compatibilité électromagnétique) • 2011/65/UE, L 174/88, 1.7.2011 (Directive relative à la limitation de l'utilisation de certaines substances dangereuses dans les équipements électriques et électroniques) Produit AVERTISSEMENT *) Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com Substances polluantes Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l'environnement. Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. IKR 270 Normes Normes harmonisées, normes internationales et nationales ainsi que spécifications : • EN 61000-6-2:2005 (Compatibilité électromagnétique : Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : -11 5×10 hPa < p < 1×10-2 hPa valable pour gamme Si la jauge est utilisée à des pressions élevées ou dans des conditions contaminatrices, elle doit régulièrement être nettoyée. Retour du produit En absence de confirmation univoque que le produit est "exempt de substances nocives", le produit est décontaminé aux frais du client. En absence d'une "Déclaration de contamination" dûment remplie, le produit est renvoyé à l'expéditeur à ses frais. où : U signal de sortie p pression c, d constante (en fonction de l'unité de pression) → [1] Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la garantie. 1E–08 U = c + 0.8×log10 p Maintenance, résolution des problèmes 3.75×10-11 Torr < p < 7.5×10-3 Torr • Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. • Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. 5×10-9 Pa < p < 1 Pa immunité) • EN 61000-6-3:2007 +A1:2011 (Compatibilité électromagnétique : émission) • EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire) • EN 61326-1:2013 (exigences CEM pour les équipements de mesure et de commande) Fabricant / Signature Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Aßlar Aßlar, 25. octobre 2018 Dépendance du type de gaz Pression indiquée (jauge ajustée pour l'air) p (hPa) Xe Kr 2 Table de conversion des unités de pression Luft / Air O2 CO Ar N2 H2 4 10-3 8 6 mbar 4 2 bar Pa hPa kPa -3 Dr. Ulrich von Hülsen Président Torr mm HG 1 1×10 100 1 0.1 0.75 mbar 1×103 1 1×105 1×103 100 750 bar -5 -3 0.01 1×10 1 0.01 1×10 7.5×10-3 Pa 1 1×10-3 100 1 0.1 0.75 hPa 10 0.01 1×103 10 1 7.5 kPa Torr -3 1.332 1.332×10 133.32 1.3332 0.1332 1 mm HG 10-4 8 6 4 2 10-5 8 6 4 2 1 Pa = 1 N/m2 10-6 8 6 4 2 10-7 10-7 2 4 6 10-6 2 4 6 10-5 2 4 6 10-4 2 4 6 10-3 2 4 6 10-2 peff (hPa) -5 Plage d'affichage inférieure à 10 hPa Dans la gamme au-dessous de 10-5 hPa l'indication est linéaire. Pour d'autres gaz que l'air, la pression peut être déterminée par une simple conversion : Informations complémentaires [1] www.pfeiffer-vacuum.com Manuel de l'utilisateur IKR 270 BG 5008 BDE (allemand) BG 5008 BEN (anglais) BG 5008 BFR (français) peff = C × pression affichée où : Type de gaz C Air (N2, O2, CO) Xe Kr Ar H2 Ne He 1.0 0.4 0.5 0.8 2.4 4.1 5.9 Berliner Straße 43 D–35614 Asslar Deutschland Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-1202 [email protected] www.pfeiffer-vacuum.com ">
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