Pfeiffer IKR 270 Manuel utilisateur

Sécurité
Explication des signes
Personnel qualifié
Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant été
formés en conséquence par le détenteur du produit.
Ins tructions d'utilis ation
BG 5115 BFR / B (20120-02)
Traduction du manuel de l'utilisateur
Jauge compacte à cathode froide avec joint métallique
AVERTISSEMENT
Indications concernant la prévention de dégradations de
l'environnement et d'importants dégâts matériels.
Caractéristiques techniques
Principe de mesure
Raccordement au vide
Attention
Composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
DANGER
Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature.
IKR 270
Connecteur FCC
Installation
Attention
Zone sensible à la pollution
Si le produit ou des parties du produit sont touchés avec les mains nues le taux de dégazage
est augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches
et utiliser des outils propres.
Gamme de mesure (air, N2)
Précision
1×10-9 … 1×10-3 hPa
hors de cette gamme
Affectation des Contacts
Broche 1 Alimentation
Broche 2 Masse alimentation
Broche 3 Sortie de signal (mesure)
Broche 4 Identification
Broche 5 Masse signal
case
boîtier de connecteur
Broches 6, 7, 8: pas connecté
8 pôles
FCC68
connecteur
Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des
disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs.
Validité
Ce document est valable pour les produits avec les numéros
de référence :
Connecteur Hirschmann
PT R21 251 (Bride DN 40 CF-F version courte)
PT R21 261 (Bride DN 40 CF-F version longue)
Connecteur FCC
PT T14 358 002 (Bride DN 40 CF-F version courte)
PT T14 858 002 (Bride DN 40 CF-F version longue)
Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique.
Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications
techniques sans préavis.
A propos de ce document
Le présent document décrit l'installation et le fonctionnement des jauges compactes à cathode froide susmentionnées. Pour de plus amples informations, veuillez
consulter le manuel de l'utilisateur distinct  [1].
Utilisation prévue
Les jauges compactes à cathode froide décrites dans ce
document servent à la mesure du vide dans la gamme des
pressions de 5×10-11 ... 1×10-2 hPa.
La jauge avec connecteur Hirschmann peut être utilisée avec
un instrument de mesure du vide Pfeiffer Vacuum pour
jauges compactes ou avec un instrument de mesure spécifique au client.
La jauge avec connecteur FCC peut être utilisée avec un
instrument de mesure spécifique au client.
Principe de fonctionnement
Les jauges fonctionnent avec un circuit de mesure à ionisation à cathode froide (selon le principe du magnétron inverse).
La relation entre la pression et le signal de mesure est logarithmique sur toute la gamme de mesure.
• Les raccords à vide CF satisfont à ces exigences.
Remarque
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes aux gaz utilisés.
Considérer les réactions possibles entre les matériaux du
produit et (→ Caractéristiques techniques) les gaz de procédés.
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions appropriées concernant toute intervention.
Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document.
• Se renseigner avant le début de l'intervention sur une
éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés.
DANGER
Champs magnétiques
Les champs magnétiques puissants peuvent
perturber ou gêner le fonctionnement des appareils électroniques, p. ex. des stimulateurs cardiaques.
Observer une distance de sécurité de ≥10 cm
entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ou empêcher toute perturbation émanant de champs
magnétiques puissants en installant des blindages adéquats.
Fonctionnement
Amorçage électrique
L'hélium peut provoquer des amorçages électriques à l'intérieur de l'électronique du produit et
détruire l'électronique.
Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre le
produit hors circuit et démonter l'unité électronique.
La position d'installation n'est pas imposée, mais pour empêcher que les particules et condensats n'entrent dans la
chambre de mesure, il est préférable d'installer la jauge horizontalement ou debout.
En cas d'utilisation de raccords de vide CF, il peut s'avérer
avantageux de temporairement enlever l'unité magnétique
(→  [1]).
L'encombrement requis est indiqué sur le plan coté (→ Caractéristiques techniques).
Tension d'alimentation disponible.
Tension d'alimentation indisponible.
Attention
Mettez la jauge uniquement en circuit en présence de pressions <10-2 mbar afin d'éviter tout
encrassement excessif.
Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum
équipés d'au moins deux raccords pour jauges,
la jauge à cathode froide peut par exemple être
pilotée par une jauge Pirani.
Dépendance du type de gaz
Raccordement électrique
Assurez-vous que la jauge soit raccordée à la chambre à
vide (→ Section précédente).
Si vous ne disposez pas d'un câble de raccordement, confectionnez en un selon le schéma en bas :
Si vous utilisez la jauge avec un appareil de mesure Pfeiffer
Vacuum pour jauges compactes, vous pouvez y enter un
facteur de conversion pour corriger la valeur de mesure actuelle (→  de l'appareil de mesure correspondant).
Connecteur Hirschmann
Délai d'amorçage
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une
tierce personne
L'allumage constitue un processus statistique pouvant être
fortement influencé dès la présence d'infimes dépôts sur les
surfaces intérieures.
• modifie ce produit d'une façon quelconque
• utilise le produit avec des accessoires non répertoriés
dans la documentation du produit correspondante.
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés
incombe au détenteur.
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure,
ainsi que les pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la
garantie.
Affectation des Contacts
Broche 1 Identification
Broche 2 Sortie de signal (mesure)
Broche 3 Masse signal
Broche 4 Alimentation
Broche 5 Masse alimentation
Broche 6 Blindage
Impédance de sortie
Impédance chargée minimale
2×10 Ω
1.96 V … 8.6 V
logarithmique, 0.8 V/décade
<0.5 V sans alimentation
10 kΩ, résistant aux courtscircuits
en fonction de la pression
<10 ms
≈1 s
Ajustement de la jauge
Prise secteur côté
soudures
+ 5 °C … +55 °C
250 °C 2) dans la gamme
d'étuvage conformément au
plan coté
250 °C 2) (sans électronique)
250 °C 2) dans la gamme
d'étuvage conformément au
plan coté
≤80% à température jusqu'à
+31 °C, diminuant à 50% à
+40 °C
en espaces clos, altitude
max. 3000 m
IP 40
Humidité relative
Utilisation
Protection
2)
- 40 °C … +65 °C
Un éventuel blindage magnétique (accessoire) doit être démonté.
Dimensions [mm]
Connecteur Hirschmann
Résistance 7.15 kΩ contre la
terre d'alimentation
Alimentation
Le signal de mesure dépend du type de gaz. La valeur mesurée correspond à l'air, à l'oxygène (O2), au monoxyde de
carbone (CO) et à l'azote (N2). Pour d'autres gaz, la pression
peut être déterminée par une conversion (→ "Caractéristiques techniques").
Communiquer les indications concernant la sécurité aux
autres utilisateurs.
• n'observe pas les indications figurant dans ce document
≈ 0 V … ≈ +10.5 V
Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose
entre les broches 2 et 3 (Connecteur Hirschmann), ou 3 et 5
(Connecteur FCC), du signal de mesure (rapport signal de
mesure–pression → "Caractéristiques techniques").
À la mise en circuit de la jauge, le système de cathode froide
s'active avec temporisation. Celle-ci augmente à des pressions plus basses et celle de jauges dégazées propres atteint
les valeurs typiques suivantes à :
10-7 hPa ≈ 0.1 minute
10-8 hPa ≈ 1 minute
10-9 hPa ≈ 5 minutes
10-10 hPa ≈ 20 minutes
5×10-11 hPa ≈ 30 minutes
• utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation
prévue
Signal de sortie (mesure)
Gamme de mesure
Relation tension – pression
Signal d'erreur
Temps de réponse
p > 10-6 mbar
p = 10-8 mbar
Le voyant vert sur la jauge indique l'état de service
AVERTISSEMENT
Indications concernant la sécurité
≈ ±5 %
Identification de la jauge
La jauge doit être connectée directement à la
chambre à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010 :
Etuvage
versions courtes
version longue
≈ ±30 %
jusqu'au facteur 2
Répétabilité
1×10-9 … 1×10-3 hPa
DANGER
Attention
Système de mesure à ionisation à cathode froide (selon le
principe du magnétron inverse)
5×10-11 … 1×10-2 hPa
Températures admissibles
Stockage
Service
toutes les versions
version longue
DANGER
La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant
aux exigences pour les basses tensions mises à
la masse et à une source à puissance limitée
(LPS) de la classe 2. Il faudra protéger la ligne
vers la jauge 1).
Tension à la jauge
Classe 2 / LPS
14.5 … 30.0 V=
(ondulation max. 1 Vpp)
≤2 W
≤1 AT
Puissance absorbée
Fusible 1)
Raccordement électrique
PT R21 xxx
PT T14 xxx xxx
Câble jauge
PT R21 xxx
PT T14 xxx xxx
Longueur du câble
PT R21 xxx
PT T14 xxx xxx
Connecteur compact Hirschmann, type GO 6, 6 pôles,
broches de contact
FCC68 douille, 8 pôles
5 pôles, blindé
5 pôles, blindé
100 m (0.25 mm² conducteur)
150 m (0.34 mm² conducteur)
500 m (1.0 mm² conducteur)
50 m (0.14 mm² conducteur)
Tension de service
(dans la chambre de mesure)
Courant de service
(dans la chambre de mesure)
Conception de la terre
Raccord à vide – masse
alimentation
Masse alimentation – masse
signal
Matériaux au contact du vide
Isolation de traversée
Joints internes
Raccord à vide
La jauge est étalonnée en usine et immédiatement opérationnelle. Un ajustement ultérieur n'est pas possible.
Anode
Dispositifs d'allumage
Volume interne
Pression
1)
Connecteur FCC
≤3.3 kV
≤100 µA
Poids
950 g (Bride DN 40 CF-F version courte)
1100 g (Bride DN 40 CF-F version longue)
→ Figure 1
reliés par 10 kΩ (différence
max. de tension
pour sécurité
±50 V
pour précision ±10 V)
conduites séparément; avec
les câbles de grande longueur (≥10 m), nous recommandons une mesure différentielle
céramique (Al2O3)
Ag
acier inoxydable
(1.4306 / AISI 304L)
Mo
acier inoxydable
(1.4310 / AISI 301)
≈ 20 cm³
≤10 bar (absolue)
limitée aux gaz inertes et aux
températures <100 °C
Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum
pour jauges compactes satisfont à cette exigence.
bg5115bf r / a
Source : Allemand BG 5115 BDE / A
(2020-02)
Rapport signal de sortie – pression
Pression p
1E+00
Pa
1E–01
hPa
Torr
1E–02
1E–06
1E–07
overrange
1E–05
underrange
1E–04
sensor error
1E–03
1E–09
1E–10
1E–11
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5
Signal de sortie U [V]
⇔
1.25×U-d
p = 10
U
p
c
d
[V]
[V]
[V]
[V]
[hPa]
[µbar]
[Torr]
[mTorr]
10.2
7.8
10.3
7.9
12.75
9.75
12.875
9.875
U
p
c
d
[V]
[V]
[V]
[micron]
[Pa]
[kPa]
7.9
8.6
11.0
9.875
10.75
13.75
Recyclage
Déclaration UE de conformité
Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum, déclarons les directives suivantes pour le produit
suivant:
DANGER
AVERTISSEMENT
Composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants
contaminés.
Transport de produits contaminés
Les produits contaminés (par des substances
radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Les produits qui nous sont envoyés seront dans
la mesure du possible exempts de substances
nocives. Observer les prescriptions de transport
des pays et entreprises de transport concernés.
Inclure une "Déclaration de contamination" remplie *).
• 2014/30/CE, L 96/79, 29.3.2014
(CEM: Directive relative à la compatibilité électromagnétique)
• 2011/65/UE, L 174/88, 1.7.2011
(Directive relative à la limitation de l'utilisation
de certaines substances dangereuses dans les
équipements électriques et électroniques)
Produit
AVERTISSEMENT
*) Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com
Substances polluantes
Certains produits ou leurs éléments (composants
mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent
polluer l'environnement.
Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale.
IKR 270
Normes
Normes harmonisées, normes internationales et nationales
ainsi que spécifications :
• EN 61000-6-2:2005 (Compatibilité électromagnétique :
Tri des composants
Après le démontage du produit, trier ses composants selon
les critères suivants :
-11
5×10 hPa < p
< 1×10-2 hPa
valable
pour
gamme
Si la jauge est utilisée à des pressions élevées ou dans des
conditions contaminatrices, elle doit régulièrement être nettoyée.
Retour du produit
En absence de confirmation univoque que le produit est
"exempt de substances nocives", le produit est décontaminé
aux frais du client.
En absence d'une "Déclaration de contamination" dûment
remplie, le produit est renvoyé à l'expéditeur à ses frais.
où :
U signal de sortie
p
pression
c, d constante
(en fonction de l'unité
de pression)
→  [1]
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure,
ainsi que les pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la
garantie.
1E–08
U = c + 0.8×log10 p
Maintenance, résolution des problèmes
3.75×10-11 Torr < p
< 7.5×10-3 Torr
• Composants contaminés
Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale,
les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer.
• Composants non contaminés
Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les
récupérer.
5×10-9 Pa < p < 1 Pa
immunité)
• EN 61000-6-3:2007 +A1:2011 (Compatibilité électromagnétique : émission)
• EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire)
• EN 61326-1:2013 (exigences CEM pour les équipements de
mesure et de commande)
Fabricant / Signature
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Aßlar
Aßlar, 25. octobre 2018
Dépendance du type de gaz
Pression indiquée (jauge ajustée pour l'air)
p (hPa)
Xe Kr
2
Table de conversion des unités de
pression
Luft / Air
O2
CO
Ar N2 H2
4
10-3
8
6
mbar
4
2
bar
Pa
hPa
kPa
-3
Dr. Ulrich von Hülsen
Président
Torr
mm HG
1
1×10
100
1
0.1
0.75
mbar
1×103
1
1×105 1×103 100
750
bar
-5
-3
0.01
1×10
1
0.01 1×10 7.5×10-3
Pa
1
1×10-3
100
1
0.1
0.75
hPa
10
0.01
1×103
10
1
7.5
kPa
Torr
-3
1.332 1.332×10 133.32 1.3332 0.1332 1
mm HG
10-4
8
6
4
2
10-5
8
6
4
2
1 Pa = 1 N/m2
10-6
8
6
4
2
10-7
10-7
2
4
6
10-6
2
4
6
10-5
2
4
6
10-4
2
4
6 10-3
2
4
6 10-2
peff (hPa)
-5
Plage d'affichage inférieure à 10 hPa
Dans la gamme au-dessous de 10-5 hPa l'indication est linéaire. Pour d'autres gaz que l'air, la pression peut être déterminée par une simple conversion :
Informations complémentaires
 [1]
www.pfeiffer-vacuum.com
Manuel de l'utilisateur IKR 270
BG 5008 BDE (allemand)
BG 5008 BEN (anglais)
BG 5008 BFR (français)
peff = C × pression affichée
où :
Type de gaz
C
Air (N2, O2, CO)
Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He
1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9
Berliner Straße 43
D–35614 Asslar
Deutschland
Tel +49 (0) 6441 802-0
Fax +49 (0) 6441 802-1202
[email protected]
www.pfeiffer-vacuum.com
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