Pfeiffer TTR 91/TTR 91 S/TTR 96 S Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
TTR 91 ∣ TTR 91 S ∣ TTR 96 S
Points de mesure Pirani
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a
été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception
rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de
techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits
de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience
pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à
une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse [email protected].
Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/46
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque
7
7
7
7
7
8
8
8
8
8
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations non conformes prévisibles
2.7 Responsabilité et garantie
2.8 Conditions propriétaire
2.9 Qualification personnelle
2.9.1 Garantir la qualification du personnel
2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
2.10 Conditions opérateur
10
10
10
12
13
13
13
14
14
14
14
15
15
15
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.2 Affichage de l’état
3.3 Fonctions logiques
3.4 Identification du produit
3.5 Contenu de la livraison
16
16
16
16
17
17
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
18
18
18
5
Installation
5.1 Raccord à vide
5.2 Unité électronique
5.3 Raccordement électrique
19
19
21
22
6
Fonctionnement
6.1 Conversion du signal de mesure et de la pression
6.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
6.3 Réglage des valeurs seuil
25
25
26
27
7
Démontage
29
8
Maintenance
8.1 Nettoyage des composants
8.2 Calibrage de la jauge
8.3 Remplacement du système de mesure
31
31
32
33
9
Expédition
35
10
Recyclage et mise au rebut
36
3/46
Table des matières
4/46
10.1 Informations générales sur la mise au rebut
10.2 Mise au rebut des jauges
36
36
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
37
12
Pièces de rechange
39
13
Accessoires
13.1 Informations sur les accessoires
13.2 Commande d'accessoires
40
40
40
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1 Généralités
14.2 Fiche technique
14.3 Dimensions
41
41
41
43
Déclaration de conformité CE
44
Déclaration de Conformité UK
45
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Documents applicables
Variantes
Abréviations utilisées
Conditions ambiantes autorisées
DEL « SP1 » et « SP2 »
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa
Pièces de rechange
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Valeurs de mesure et de pression
Données électriques
Volume interne et poids
Conditions ambiantes
Températures
Substances en contact avec le fluide
7
7
9
13
16
25
27
39
41
41
41
42
42
42
42
43
5/46
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
6/46
Diodes électroluminescentes
Contacts de relais dépendants des points de commutation
Raccord à vide
Unité électronique
Schéma de raccordement
Câble de mesure FCC-68, 8 broches
Relation entre le signal de mesure et la pression
Pression affichée
Réglage des valeurs seuil
Démontage de la jauge
Calibrage de la jauge
Remplacement du système de mesure
Système de mesure
Dimensions
16
17
20
21
23
23
25
26
27
30
33
34
39
43
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Guide abrégé « Jauge Pirani » TTR 91 ∣ TTR 91 S ∣ TTR 96 S
BG 5037
CenterOne | CenterTwo | CenterThree « Unité de commande et de mesure de la pression totale »
BG 5044
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Tab. 1:
Documents applicables
Ces instructions succinctes pour la jauge sont incluses dans l’étendue de livraison.
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes :
Référence
Désignation
Fonctions logiques
PT T10 138 300
TTR 91, DN 16 ISO-KF, filament tungstène
Aucune
PT T10 138 320
TTR 91 S, DN 16 ISO-KF, filament tungstène
2
PT T10 138 321
TTR 96 S, DN 16 ISO-KF, filament nickel
2
Tab. 2:
Variantes
Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis.
Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les figures sans légende correspondent au produit avec les fonctions de commutation, toutefois elles
s’appliquent également de manière identique à ces variantes sans fonctions de commutation.
Les dimensions sont en mm, sauf avis contraire.
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
7/46
A propos de ce manuel
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles.
Remarque
Conseil
Portez des gants de laboratoire
Contrôlez visuellement
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
Plaque signalétique
La plaque signalétique se trouve à l’arrière de l’appareil.
D-35614 Asslar
Mod.
P/N
S/N
Input
1.3.4
8/46
TTR 9x
PT T10 138 3xx
xxxxxxxxx
14...30 V DC 1 W
Made in Liechtenstein 2023/09
Abréviations
Abréviation
Explication
CA
Courant alternatif (CA)
ATM
Atmosphère
A propos de ce manuel
Abréviation
Explication
c
Constante de conversion du signal de mesure et de la pression
C
Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air
CF
Bride : raccord à fermeture métallique conforme à la norme ISO 3669
DC
Courant continu
FCC
Federal Communications Commission (USA)
FKM
Caoutchouc fluoré
GND
Masse
HV
Vide élevé
KF
Petite bride
LPS
Source de puissance limitée
MSL
Niveau moyen de la mer
p
Pression
PE
Terre de protection (conducteur de protection)
TBTP
Très basse tension de protection
RJ-45
Connecteur mâle-femelle normalisé pour le câblage de télécommunication (jack normalisé)
SP
Point de commutation
WAF
Largeur sur pans
U
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
VCR
Marque déposée de Swagelok Company
Tab. 3:
1.4
Abréviations utilisées
Justificatif de marque
● CenterLine® est une marque de Pfeiffer Vacuum GmbH.
9/46
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
10/46
Sécurité
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques
Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du
capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de
mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide.
► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée.
► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide.
► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la
fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou
un test de fuite.
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
11/46
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
12/46
Sécurité
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Paramètre
Valeur
Humidité relative de l’air
À des températures atteignant +31 °C, 80 % max.
À des températures atteignant +40 °C, 50 % max.
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
2 000 m MSL
Degré de pollution
2
Degré de protection
IP40
Tab. 4:
2.5
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme
La jauge fournit une mesure du vide de gaz dans le domaine 5 × 10-4 jusqu’à 1 000 hPa.
Utilisation du produit conformément à son usage prévu
► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client.
► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur.
► Observez les limites d’utilisation indiquées dans la fiche technique.
► Observer la fiche technique.
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation
● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée
● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives
13/46
Sécurité
● Utilisation en extérieur
● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
2.7
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie
tierce :
● ignore ce document
● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu
● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante
● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit
correspondante
L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé.
2.8
Conditions propriétaire
Travailler en toute sécurité
1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique.
2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au
mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers
qu'il implique.
3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies :
– Utilisation conforme
– Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents
– Normes et directives applicables au niveau local, national et international
– Directives et régulations supplémentaires relatives au produit
4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum.
5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit.
6. Garantir la qualification du personnel.
2.9
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.9.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
14/46
Sécurité
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.9.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.9.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
2.10
Conditions opérateur
Analyse des documents et données concernés
1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la
société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements.
2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur.
3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents.
4. Se conformer aux limites d’utilisation.
5. Observer la fiche technique.
6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center.
– Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum.
15/46
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
La jauge est équipée d’un système de mesure Pirani.
La relation entre le signal de mesure et la pression sur toute la gamme de mesure est de type logarithmique.
3.2
Affichage de l’état
2
1
Fig. 1:
Diodes électroluminescentes
1 DEL « point de commutation 1 » (SP1)
DEL « point de commutation 2 » (SP2)
Aspect
Signification
Éteinte
Relais ouvert
Allumée en vert
Relais fermé
Tab. 5:
3.3
2
DEL « SP1 » et « SP2 »
Fonctions logiques
Vous pouvez régler les deux points de commutation SP1 et SP2 sur une pression entre 1 × 10-3 et
500 hPa (gamme de tension 2,67 à 9,61 V CC). Un contact de relais sans potentiel est disponible pour
chaque point de commutation.
Si la pression dans le système de vide tombe au-dessous de la valeur seuil réglée, la DEL s’allume et
le relais se ferme.
16/46
Description du produit
p
4
2
1
3
2
t
Off
On
Off
p
4
2
3
1
2
t
Off
Fig. 2:
On
Contacts de relais dépendants des points de commutation
p Pression
t Temps
1 point de réglage
3.4
Off
2
3
4
Limite, valeur seuil
Hystérèse
Valeur mesurée
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
3.5
Contenu de la livraison
Pièces incluses dans la fourniture :
● Jauge
● Stylet (Ø 1,1 mm)
● Brèves instructions
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballer le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée.
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Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transporter le produit en toute sécurité
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant
l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Stocker le produit en toute sécurité
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température d’entreposage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
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Installation
5 Installation
5.1
Raccord à vide
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques
Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du
capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de
mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide.
► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée.
► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide.
► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la
fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou
un test de fuite.
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Installation
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Conditions ambiantes appropriées
● Température de fonctionnement dans la plage permissible
● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles)
2
3
1
4
5
Fig. 3:
Raccord à vide
1 Pièce de serrage
2 Joint avec anneau de centrage
3 Unité électronique
4
5
Obturateur de protection
Joint avec anneau de centrage et filtre
Recommandations
► Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le
fonctionnement. Ces vibrations entraînent des déviations dans les valeurs mesurées.
► Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le
bas).
– Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure.
► Montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour protéger les applications et le système de mesure contre tout risque de contamination.
► Une fois l’interrupteur et le bouton du point de mesure montés, vérifiez qu’ils sont aisément accessibles avec le stylet.
► Enlevez temporairement l’unité électronique de la jauge lorsque l’installation est seulement possible après le démontage de l’unité électronique.
Procédure
1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr.
2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum.
3. Si le démontage de l’unité électronique de la jauge avait été nécessaire, assemblez à nouveau
l’unité électronique.
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Installation
5.2
Unité électronique
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Outil nécessaire
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 1,5
1
3
2
Fig. 4:
Unité électronique
1 Système de mesure
2 Vis sans tête
3
Unité électronique
Dépose de l'unité électronique
1. Dévissez la vis sans tête sur le côté de l’unité électronique.
2. Enlevez l’unité électronique sans aucun mouvement de pivotement du système de mesure.
Assemblage de l’unité électronique
1. Montez soigneusement l’unité électronique sur le système de mesure.
2. Poussez l’unité électronique jusqu’à la butée.
3. Sécurisez la vis sans tête sur le côté de l’unité électronique.
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Installation
5.3
Raccordement électrique
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
AVIS
Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect
Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va
endommager la jauge.
► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 2) à la terre de l’unité d'alimentation.
Équipement nécessaire
● Câble de mesure pour appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum de
la gamme des accessoires CenterLine
● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client
● Fiche RJ-45
Raccordement électrique
► Raccordez le câble de mesure à la jauge.
► Raccordez la jauge à un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum
ou à un appareil d'évaluation fournie par le client.
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Installation
Switching functions
<SP1> <SP2>
SP2
SP1
SP2
SP1
4.7Ω
A
4.7Ω
1MΩ
27kΩ
+
Fig. 5:
6
8
7
3
5
4
1
2
+
–
Ident
+
–
Schéma de raccordement
A Signal de mesure
1 Alimentation
2 Masse de l’alimentation (GND)
4
5
6, 8
3 Signal de mesure ou valeurs seuil SP1 et SP2
7, 8
Identification
Signal masse
Relais SP2, contact N.O.
Contact commun (com)
Relais SP1, contact N.O.
Contact commun (com)
1
↑
8
Fig. 6:
Câble de mesure FCC-68, 8 broches
Fabrication du câble de mesure
Pour de plus amples informations sur le type de câble de mesure et les coupes transversales de raccordement, voir la fiche technique.
1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits
de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure.
2. Utilisez un câble avec un blindage tressé et un boîtier métallique de raccordement.
3. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection pour le bloc d’alimentation.
4. Utilisez une entrée de mesure différentielle avec prise de terre séparée et terre l’alimentation.
5. Vérifiez que la différence de potentiel entre la terre d'alimentation et le boîtier pour la protection
contre les surtensions est ≤ 6 V.
6. Montez le connecteur RJ-45.
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Installation
Montage du connecteur RJ-45
1. Préparez le connecteur RJ-45.
2. Fixez le câble de raccordement avec les connexions serties conformément au schéma de raccordement.
3. Montez le connecteur RJ-45.
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Fonctionnement
6 Fonctionnement
Dès que la tension d’alimentation a été établie, le signal de mesure est disponible sur le raccordement
électrique entre les broches 3 et 5.
Recommandations
► Respectez la période de stabilisation minimum de 10 minutes.
► Observez la relation entre le signal de mesure et la pression.
► La jauge doit toujours rester enclenchée, quelle que soit la pression.
Conversion du signal de mesure et de la pression
p
Pa
1E+6
1E+5
1E+4
hPa
1E+1
1E+0
Underrange
1E+2
Torr
Overrange
1E+3
Sensor error
6.1
1E–1
1E–2
1E–3
1E–4
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0
10.3
U [V]
Fig. 7:
Relation entre le signal de mesure et la pression
p Pression
U
Mesure des signaux [V] (tension de sortie)
Signal de mesure (U)
Pression (p)
Constante (c) 1)
[V]
[hPa]
6,143
[mbar]
Tab. 6:
[Torr]
6,304
[micron]
2,448
[Pa]
3,572
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
Conversion du signal de mesure et de la pression
Gamme de validité
● 5 × 10-4 hPa < p < 1 000 hPa
● 3,75 × 10-4 Torr < p < 750 Torr
● 5 × 10-2 Pa < p < 1 × 105 Pa
1)
En fonction de l’unité de pression
25/46
Fonctionnement
► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression.
► Conversion du signal de mesure en pression :
p = 10((U-c)/1,286)
► Conversion de la pression en signal de mesure :
U = c + 1,286 × log10 p
6.2
Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
Le signal de mesure dépend du type de gaz. Les caractéristiques s’appliquent pour l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO).
p [hPa]
102
H2
8
6
He
Ne
Air
O2
CO
N2
4
2
CO2
101
Ar
8
6
Freon 12
Kr
4
2
Xe
100
8
6
4
2
10–1
8
6
4
2
Water vapor
10–2
8
6
4
2
10–3
10–3 2
4
6
10–2 2
4
6
10–1 2
4
6
100
2
4
6
101
2
4
6
102
peff [hPa]
Fig. 8:
Pression affichée
Dans le domaine de pression < 1 hPa, l’affichage est linéaire.
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
Type de gaz
Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2)
1,0
Hydrogène (H2)
0,5
Dioxyde de carbone (CO2)
0,9
Vapeur d’eau
0,5
Hélium (He)
0,8
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
26/46
Facteur de correction (C)
Fonctionnement
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Néon (Ne)
1,4
Argon (Ar)
1,7
Krypton (Kr)
2,4
Xénon (Xe)
3,0
Dichlorodifluorométhane (CCl2F2, R12)
0,7
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
Tab. 7:
Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa
Saisie du facteur de correction dans l’appareil de commande et de mesure de pression totale
► Saisissez le facteur de correction pour corriger la valeur mesurée qui est affichée.
Calcul de la pression de gaz autres que l’air
► Calculez la pression efficace avec la formule suivante :
Peff = C × p
● Peff = Pression efficace
● C = Facteur de correction
● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l’air)
6.3
Réglage des valeurs seuil
AVIS
Dysfonctionnement dû à l’interruption du signal de mesure
Coupez le signal de mesure en appuyant sur un bouton (SP1 ou SP2). La jauge émet alors la valeur
seuil correspondante à la place au niveau de la sortie de signal de mesure. Cela peut entraîner des
dysfonctionnements si vous contrôlez les processus avec la sortie de signal.
► Appuyez sur les boutons uniquement si vous êtes sûrs qu’aucun dysfonctionnement ne sera
causé ou que des dysfonctionnements éventuels n’entraîneront pas de dommage.
État du relais et de la DEL
L’état du relais et de la DEL reste inchangé même si vous appuyez sur le bouton.
Valeur seuil supérieure (hystérèse)
Le paramètre d'usine pour la valeur seuil supérieure est 10% plus élevé (hystérésis).
Outil nécessaire
● Stylet (max. Ø 1,1 mm)
Accessoires requis
● Voltmètre
max. Ø1.1 mm
1
Fig. 9:
Réglage des valeurs seuil
1 Stylet
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Fonctionnement
Procédure
1. Appuyez sur le bouton « SP1 » ou « SP2 » à l’aide d'un stylet et maintenez-le enfoncé.
– La jauge bascule sur le mode de fonction de commutation et affiche la valeur seuil actuelle
pendant 5 secondes au niveau de la sortie du signal de mesure. Au bout de 5 secondes, le
réglage de la valeur seuil se déplace vers la limite de réglage supérieure.
2. Maintenez le bouton « SP1 » ou « SP2 » enfoncé jusqu’à ce que la limite de réglage soit atteinte.
ou
Relâchez à nouveau le bouton « SP1 » ou « SP2 » au moment requis.
3. Appuyez sur le bouton « SP1 » ou « SP2 » avec un stylet et maintenez-le enfoncé pendant 0 à 1
seconde pour le réglage précis.
– La valeur seuil change d’une unité.
4. Appuyez sur le bouton « SP1 » ou « SP2 » avec un stylet et maintenez-le enfoncé pendant 2 à 3
secondes pour modifier la direction.
– Le réglage de la valeur seuil change de direction.
5. Relâchez à nouveau le bouton « SP1 » ou « SP2 » au moment requis.
6. Mesurez la valeur seuil actuelle au niveau de la sortie du signal de mesure avec un voltmètre.
7. Veillez à ce que le bouton « SP1 » ou « SP2 » ne soit plus actionné pendant 5 secondes.
La jauge enregistre la valeur seuil et retourne dans le mode de mesure. L'instrument de mesure connecté affiche à nouveau la valeur de pression actuelle mesurée.
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Démontage
7 Démontage
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Système de vide mis à l’air à la pression atmosphérique
● Tension d’alimentation mise hors circuit
29/46
Démontage
2a
1
3
2b
Fig. 10:
Démontage de la jauge
1 Pièce de tensionnement
2a Joint avec anneau de centrage
2b
3
Joint avec anneau de centrage et filtre
Obturateur de protection
Démontage de la jauge
1. Déconnectez le câble de mesure de la jauge.
2. Enlevez la jauge du système de vide.
3. Mettez l’obturateur de protection sur la bride de connexion.
30/46
Maintenance
8 Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Demande de garantie
Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
D'autres conditions climatiques, un fonctionnement prolongé, des températures extrêmes, une orientation de montage différente, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du
point zéro dans le système de mesure Pirani. Un décalage du zéro va nécessiter un nouveau calibrage
ou un nettoyage.
8.1
Nettoyage des composants
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
31/46
Maintenance
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d’humidité
La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité.
► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau.
► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface.
► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Produits consommables requis
● Alcool industriel
● Chiffon (doux, non pelucheux)
Nettoyage externe de l’appareil
1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
8.2
Calibrage de la jauge
Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge à l’usine sur les valeurs standards.
Réglage de la jauge sur d'autres valeurs de pression
Vous pouvez régler la jauge sur d'autres valeurs de pression. Cependant, pour cela, vous
avez besoin d’une valeur de pression précise (mesure de référence).
Outil nécessaire
● Stylet (max. Ø 1,1 mm)
32/46
Maintenance
max. ø1.1 mm
Fig. 11:
Calibrage de la jauge
Préparation du calibrage
1. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation
normale.
2. Vérifiez l'absence de toute contamination du filtre.
3. Remplacez le filtre s’il est très contaminé ou endommagé.
4. Mettez la jauge en fonctionnement.
Calibrage HV
1. Mettez la jauge en fonctionnement.
2. Évacuez le système de vide jusqu’à atteindre une pression << 10-4 hPa (recommandée) pour un
calibrage à des valeurs standards, ou à une pression entre 10-4 et 10-2 hPa pour un calibrage sur
une valeur de pression spécifique.
3. Attendez au moins 2 minutes.
4. Pour un calibrage sur des valeurs standards, appuyez sur le bouton avec un stylet.
– La jauge se calibre sur 1,2 × 10-4 hPa (standard) (1,1 V CC).
5. Pour un calibrage sur une valeur de pression spécifique, appuyez sur le bouton avec le stylet
pendant plus de 5 secondes.
– La pression de calibrage change et s'approche de la valeur 1 × 10-2 hPa jusqu’à ce que vous
relâchiez le bouton ou que la limite de réglage soit atteinte.
Calibrage ATM
1. Mettez la jauge en fonctionnement.
2. Laissez la jauge fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes.
3. Appuyez sur le bouton avec un stylet.
– La jauge se calibre sur 1 000 hPa (standard) (10 V CC).
4. Appuyez sur le bouton avec le stylet pendant plus de 5 secondes.
– La pression de calibrage change et s'approche de la valeur 1 200 hPa (ou alternativement
500 hPa) jusqu’à ce que vous relâchiez le bouton ou que la limite de réglage soit atteinte.
8.3
Remplacement du système de mesure
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Vous devrez remplacer le système de mesure en cas de :
33/46
Maintenance
● Système de mesure fortement contaminé
● Système de mesure défectueux (par exemple, filament chauffé cassé)
Outil nécessaire
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 1,5
Pièce détachée requise
● Système de mesure de remplacement
1
3
2
Fig. 12:
Remplacement du système de mesure
1 Système de mesure
2 Vis sans tête
3
Unité électronique
Remplacement du système de mesure
1. Enlevez la jauge du système de vide.
2. Enlevez l’unité électronique du système de mesure défectueux.
3. Assemblez l’unité électronique sur le nouveau système de mesure.
4. Raccordez à nouveau la jauge au système de vide.
5. Établissez le raccordement électrique.
6. Calibrez le système de mesure.
34/46
Expédition
9 Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédier le produit en toute sécurité
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
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Recyclage et mise au rebut
10
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
10.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
10.2
Mise au rebut des jauges
Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Démantelez l’unité électronique.
2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
3. Séparez les composants en matériaux recyclables.
4. Recyclez les composants non contaminés.
5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
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Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
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Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
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Pièces de rechange
12
Pièces de rechange
Commande de pièces de rechange
► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la
plaque signalétique.
► Installez uniquement des pièces détachées d'origine.
Fig. 13:
Système de mesure
W Filament chauffé en tungstène
Ni
Filament chauffé de nickel
Jauges
Filament
Numéro de commande (système de mesure de remplacement)
TTR 91
W
PT 120 133-T
Ni
PT 120 141-T
TTR 91 S
TTR 96 S
Tab. 8:
Pièces de rechange
39/46
Accessoires
13
Accessoires
Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires CenterLine.
13.1 Informations sur les accessoires
Câble de mesure
Câble de mesure de différentes longueurs pour le raccordement à une unité de mesure et de contrôle
de la pression totale Pfeiffer Vacuum
Joints avec anneau de centrage et filtre
Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre
toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination
13.2
40/46
Commande d'accessoires
Description
Numéro de commande
Câble de mesure FCC/RJ-45, pour CenterOne, CenterTwo, CenterThree,
3m
PT 448 450 -T
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores
0,02 mm, FKM/acier inoxydable, DN 16 ISO-KF
PF 117 216 -T
Anneau de centrage avec filtre fin, grandeur de pores 0 004 mm, FKM/
acier inoxydable, DN 16 ISO-KF
PT 120 132 -T
Caractéristiques techniques et dimensions
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1
Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
100
1
0,1
0,75
1 · 10
1,000
100
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
Pa
0,01
hPa
-3
5
-5
1 Pa = 1 N/m
Tab. 9:
750
-3
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
592
7,5
10
3
Pa m /s
sccm
1
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 10:
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
-3
-2
1,27 · 10
1.67 · 10-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
14.2 Fiche technique
Paramètre
Valeur
Gamme de mesure (air, O2, CO, N2)
5 × 10-4 – 1 000 hPa
Pression maximum (absolue)
≤ 1 000 kPa
Principe de mesure
Précision (N2)
Amenée de chaleur selon la Pirani
-3
± 50% de la valeur mesurée
1 × 10-3 – 100 hPa
± 15% de la valeur mesurée
100 à 1000 hPa
± 50% de la valeur mesurée
–4
5 × 10
– 1 × 10 hPa
Résolution
1 % de la valeur mesurée
Répétabilité (air)
-3
1 × 10 – 100 hPa
Calibrage de la jauge
Tab. 11:
2 % de la valeur mesurée
Bouton de calibrage ATM et HV
Valeurs de mesure et de pression
Paramètre
Signal de sortie (signal de mesure)
Valeur
Gamme de tension
0 – +10,3 V
Gamme de mesure
+1,9 – +10,0 V
Signal d'erreur
0 V – +0,5 V
+0,1 V (filament chauffé rompu)
Rapport tension-pression
1,286 V/décade, logarithmique
Impédance de sortie
2 × 4,7 Ω, résistant aux courts-circuits
Impédance de charge (charge minimum)
> 10 kΩ, résistant aux courts-circuits
Temps de réponse
80 ms
41/46
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Valeur
Identification de la jauge
27,0 kΩ contre la prise de terre d'alimentation (tension sur la broche 4 ≤ 5 V)
Tension d’alimentation
+14 – +30 V DC
Ondulation
≤ 1 Vpp
Consommation de courant
< 500 mA (courant de démarrage
max.)
Puissance absorbée
≤1W
Fusible (à raccorder en série) 2)
1 AT
Raccordement (électrique)
FCC-68/RJ-45, 8 broches
Câble de mesure
8 broches, blindage inclus
Longueur de câble
≤ 100 m (8 × 0,14 mm2/conducteur
Concept de mise à la terre
Tab. 12:
(voir chapitre « Raccordement électrique », page 22)
Raccord vide et signal de
masse
Raccordé via 1 MΩ (différence de
tension < 15 V)
Terre d'alimentation et
masse signal
Aménagement séparé ; pour la mesure du différentiel
Données électriques
Paramètre
Valeur
Volume interne
1,5 cm3 environ
Poids
80 g
Tab. 13:
Volume interne et poids
Paramètre
Valeur
Humidité relative de l’air
À des températures atteignant +31 °C, 80 % max.
À des températures atteignant +40 °C, 50 % max.
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
2 000 m MSL
Degré de pollution
2
Degré de protection
IP40
Tab. 14:
Conditions ambiantes
Paramètre
Valeur
Fonctionnement
+5 – +60 °C
Raccord à vide 3)
≤ 80 °C
Filament chauffé 4)
≤ 110 °C
Stockage
-20 – +65 °C
Tab. 15:
42/46
Sur la jauge
Températures
2)
Les unités de commande et de mesure Pfeiffer Vacuum sont conformes à cette exigence.
3)
Pour installation horizontale. La gamme de mesure, la précision et la répétabilité pour la mise sous contrainte
thermique peuvent diverger sur la fiche technique.
4)
Ne peut pas être influencé par l’opérateur
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Valeur
Matériaux
Acier surfin 1.4301/1.4305/1.4435
Verre
Ni, NiFe
Filament chauffé
Tab. 16:
Tungstène (W)
TTR 96 S
Nickel (Ni)
Substances en contact avec le fluide
65
50
Dimensions
22.2
70.4
VACUUM
33
15
14.3
TTR 91/TTR 91 S
DN 16 ISO-KF
Fig. 14:
Dimensions
Dimensions en mm
43/46
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Points de mesure Pirani
TTR 91
TTR 91 S
TTR 96 S
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN IEC 61000-6-2:2019
DIN EN IEC 61000-6-3:2022
DIN EN 61010-1:2020
DIN EN IEC 61326-1:2022
DIN EN IEC 63000:2019
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-02-23
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Points de mesure Pirani
TTR 91
TTR 91 S
TTR 96 S
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards et spécifications appliqués :
EN IEC 61000-6-2:2019
EN IEC 61000-6-3:2021
EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
EN IEC 61326-1:2021
EN IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-02-23
*BG6037*
ed. B - Date 2310 - P/N:BG6037BFR
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