MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original TTR 91 ∣ TTR 91 S ∣ TTR 96 S Points de mesure Pirani Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/46 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque 7 7 7 7 7 8 8 8 8 8 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations non conformes prévisibles 2.7 Responsabilité et garantie 2.8 Conditions propriétaire 2.9 Qualification personnelle 2.9.1 Garantir la qualification du personnel 2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 2.10 Conditions opérateur 10 10 10 12 13 13 13 14 14 14 14 15 15 15 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.2 Affichage de l’état 3.3 Fonctions logiques 3.4 Identification du produit 3.5 Contenu de la livraison 16 16 16 16 17 17 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 18 18 18 5 Installation 5.1 Raccord à vide 5.2 Unité électronique 5.3 Raccordement électrique 19 19 21 22 6 Fonctionnement 6.1 Conversion du signal de mesure et de la pression 6.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction 6.3 Réglage des valeurs seuil 25 25 26 27 7 Démontage 29 8 Maintenance 8.1 Nettoyage des composants 8.2 Calibrage de la jauge 8.3 Remplacement du système de mesure 31 31 32 33 9 Expédition 35 10 Recyclage et mise au rebut 36 3/46 Table des matières 4/46 10.1 Informations générales sur la mise au rebut 10.2 Mise au rebut des jauges 36 36 11 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 37 12 Pièces de rechange 39 13 Accessoires 13.1 Informations sur les accessoires 13.2 Commande d'accessoires 40 40 40 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités 14.2 Fiche technique 14.3 Dimensions 41 41 41 43 Déclaration de conformité CE 44 Déclaration de Conformité UK 45 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Documents applicables Variantes Abréviations utilisées Conditions ambiantes autorisées DEL « SP1 » et « SP2 » Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa Pièces de rechange Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Valeurs de mesure et de pression Données électriques Volume interne et poids Conditions ambiantes Températures Substances en contact avec le fluide 7 7 9 13 16 25 27 39 41 41 41 42 42 42 42 43 5/46 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: 6/46 Diodes électroluminescentes Contacts de relais dépendants des points de commutation Raccord à vide Unité électronique Schéma de raccordement Câble de mesure FCC-68, 8 broches Relation entre le signal de mesure et la pression Pression affichée Réglage des valeurs seuil Démontage de la jauge Calibrage de la jauge Remplacement du système de mesure Système de mesure Dimensions 16 17 20 21 23 23 25 26 27 30 33 34 39 43 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Guide abrégé « Jauge Pirani » TTR 91 ∣ TTR 91 S ∣ TTR 96 S BG 5037 CenterOne | CenterTwo | CenterThree « Unité de commande et de mesure de la pression totale » BG 5044 Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Tab. 1: Documents applicables Ces instructions succinctes pour la jauge sont incluses dans l’étendue de livraison. Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes : Référence Désignation Fonctions logiques PT T10 138 300 TTR 91, DN 16 ISO-KF, filament tungstène Aucune PT T10 138 320 TTR 91 S, DN 16 ISO-KF, filament tungstène 2 PT T10 138 321 TTR 96 S, DN 16 ISO-KF, filament nickel 2 Tab. 2: Variantes Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les figures sans légende correspondent au produit avec les fonctions de commutation, toutefois elles s’appliquent également de manière identique à ces variantes sans fonctions de commutation. Les dimensions sont en mm, sauf avis contraire. 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. 7/46 A propos de ce manuel Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles. Remarque Conseil Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve à l’arrière de l’appareil. D-35614 Asslar Mod. P/N S/N Input 1.3.4 8/46 TTR 9x PT T10 138 3xx xxxxxxxxx 14...30 V DC 1 W Made in Liechtenstein 2023/09 Abréviations Abréviation Explication CA Courant alternatif (CA) ATM Atmosphère A propos de ce manuel Abréviation Explication c Constante de conversion du signal de mesure et de la pression C Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air CF Bride : raccord à fermeture métallique conforme à la norme ISO 3669 DC Courant continu FCC Federal Communications Commission (USA) FKM Caoutchouc fluoré GND Masse HV Vide élevé KF Petite bride LPS Source de puissance limitée MSL Niveau moyen de la mer p Pression PE Terre de protection (conducteur de protection) TBTP Très basse tension de protection RJ-45 Connecteur mâle-femelle normalisé pour le câblage de télécommunication (jack normalisé) SP Point de commutation WAF Largeur sur pans U Signal de mesure [V] (tension de sortie) VCR Marque déposée de Swagelok Company Tab. 3: 1.4 Abréviations utilisées Justificatif de marque ● CenterLine® est une marque de Pfeiffer Vacuum GmbH. 9/46 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. 10/46 Sécurité DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. ► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. ► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. ► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort par électrocution En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques. ► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée. ► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement. DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. 11/46 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. 12/46 Sécurité Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 2.4 Limites d’utilisation du produit Paramètre Valeur Humidité relative de l’air À des températures atteignant +31 °C, 80 % max. À des températures atteignant +40 °C, 50 % max. Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2 000 m MSL Degré de pollution 2 Degré de protection IP40 Tab. 4: 2.5 Conditions ambiantes autorisées Utilisation conforme La jauge fournit une mesure du vide de gaz dans le domaine 5 × 10-4 jusqu’à 1 000 hPa. Utilisation du produit conformément à son usage prévu ► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client. ► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur. ► Observez les limites d’utilisation indiquées dans la fiche technique. ► Observer la fiche technique. 2.6 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation ● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée ● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives 13/46 Sécurité ● Utilisation en extérieur ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 2.7 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu ● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante ● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit correspondante L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé. 2.8 Conditions propriétaire Travailler en toute sécurité 1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique. 2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers qu'il implique. 3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies : – Utilisation conforme – Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents – Normes et directives applicables au niveau local, national et international – Directives et régulations supplémentaires relatives au produit 4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum. 5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit. 6. Garantir la qualification du personnel. 2.9 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 2.9.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en 14/46 Sécurité service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 2.10 Conditions opérateur Analyse des documents et données concernés 1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements. 2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur. 3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents. 4. Se conformer aux limites d’utilisation. 5. Observer la fiche technique. 6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center. – Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum. 15/46 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction La jauge est équipée d’un système de mesure Pirani. La relation entre le signal de mesure et la pression sur toute la gamme de mesure est de type logarithmique. 3.2 Affichage de l’état 2 1 Fig. 1: Diodes électroluminescentes 1 DEL « point de commutation 1 » (SP1) DEL « point de commutation 2 » (SP2) Aspect Signification Éteinte Relais ouvert Allumée en vert Relais fermé Tab. 5: 3.3 2 DEL « SP1 » et « SP2 » Fonctions logiques Vous pouvez régler les deux points de commutation SP1 et SP2 sur une pression entre 1 × 10-3 et 500 hPa (gamme de tension 2,67 à 9,61 V CC). Un contact de relais sans potentiel est disponible pour chaque point de commutation. Si la pression dans le système de vide tombe au-dessous de la valeur seuil réglée, la DEL s’allume et le relais se ferme. 16/46 Description du produit p 4 2 1 3 2 t Off On Off p 4 2 3 1 2 t Off Fig. 2: On Contacts de relais dépendants des points de commutation p Pression t Temps 1 point de réglage 3.4 Off 2 3 4 Limite, valeur seuil Hystérèse Valeur mesurée Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. 3.5 Contenu de la livraison Pièces incluses dans la fourniture : ● Jauge ● Stylet (Ø 1,1 mm) ● Brèves instructions Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée. 17/46 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transporter le produit en toute sécurité ► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant l’installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Stocker le produit en toute sécurité ► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine. ► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenez la température d’entreposage admissible. ► Évitez les fortes variations de températures ambiantes. ► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air. ► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles). 18/46 Installation 5 Installation 5.1 Raccord à vide DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. DANGER Danger de mort par électrocution En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques. ► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée. ► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. ► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. ► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. ► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. 19/46 Installation AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Conditions préalables ● Conditions ambiantes appropriées ● Température de fonctionnement dans la plage permissible ● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles) 2 3 1 4 5 Fig. 3: Raccord à vide 1 Pièce de serrage 2 Joint avec anneau de centrage 3 Unité électronique 4 5 Obturateur de protection Joint avec anneau de centrage et filtre Recommandations ► Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le fonctionnement. Ces vibrations entraînent des déviations dans les valeurs mesurées. ► Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le bas). – Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure. ► Montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour protéger les applications et le système de mesure contre tout risque de contamination. ► Une fois l’interrupteur et le bouton du point de mesure montés, vérifiez qu’ils sont aisément accessibles avec le stylet. ► Enlevez temporairement l’unité électronique de la jauge lorsque l’installation est seulement possible après le démontage de l’unité électronique. Procédure 1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr. 2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum. 3. Si le démontage de l’unité électronique de la jauge avait été nécessaire, assemblez à nouveau l’unité électronique. 20/46 Installation 5.2 Unité électronique DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. DANGER Danger de mort par électrocution En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques. ► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée. ► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Outil nécessaire ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 1,5 1 3 2 Fig. 4: Unité électronique 1 Système de mesure 2 Vis sans tête 3 Unité électronique Dépose de l'unité électronique 1. Dévissez la vis sans tête sur le côté de l’unité électronique. 2. Enlevez l’unité électronique sans aucun mouvement de pivotement du système de mesure. Assemblage de l’unité électronique 1. Montez soigneusement l’unité électronique sur le système de mesure. 2. Poussez l’unité électronique jusqu’à la butée. 3. Sécurisez la vis sans tête sur le côté de l’unité électronique. 21/46 Installation 5.3 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. AVIS Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va endommager la jauge. ► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 2) à la terre de l’unité d'alimentation. Équipement nécessaire ● Câble de mesure pour appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum de la gamme des accessoires CenterLine ● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client ● Fiche RJ-45 Raccordement électrique ► Raccordez le câble de mesure à la jauge. ► Raccordez la jauge à un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou à un appareil d'évaluation fournie par le client. 22/46 Installation Switching functions <SP1> <SP2> SP2 SP1 SP2 SP1 4.7Ω A 4.7Ω 1MΩ 27kΩ + Fig. 5: 6 8 7 3 5 4 1 2 + – Ident + – Schéma de raccordement A Signal de mesure 1 Alimentation 2 Masse de l’alimentation (GND) 4 5 6, 8 3 Signal de mesure ou valeurs seuil SP1 et SP2 7, 8 Identification Signal masse Relais SP2, contact N.O. Contact commun (com) Relais SP1, contact N.O. Contact commun (com) 1 ↑ 8 Fig. 6: Câble de mesure FCC-68, 8 broches Fabrication du câble de mesure Pour de plus amples informations sur le type de câble de mesure et les coupes transversales de raccordement, voir la fiche technique. 1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure. 2. Utilisez un câble avec un blindage tressé et un boîtier métallique de raccordement. 3. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection pour le bloc d’alimentation. 4. Utilisez une entrée de mesure différentielle avec prise de terre séparée et terre l’alimentation. 5. Vérifiez que la différence de potentiel entre la terre d'alimentation et le boîtier pour la protection contre les surtensions est ≤ 6 V. 6. Montez le connecteur RJ-45. 23/46 Installation Montage du connecteur RJ-45 1. Préparez le connecteur RJ-45. 2. Fixez le câble de raccordement avec les connexions serties conformément au schéma de raccordement. 3. Montez le connecteur RJ-45. 24/46 Fonctionnement 6 Fonctionnement Dès que la tension d’alimentation a été établie, le signal de mesure est disponible sur le raccordement électrique entre les broches 3 et 5. Recommandations ► Respectez la période de stabilisation minimum de 10 minutes. ► Observez la relation entre le signal de mesure et la pression. ► La jauge doit toujours rester enclenchée, quelle que soit la pression. Conversion du signal de mesure et de la pression p Pa 1E+6 1E+5 1E+4 hPa 1E+1 1E+0 Underrange 1E+2 Torr Overrange 1E+3 Sensor error 6.1 1E–1 1E–2 1E–3 1E–4 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.3 U [V] Fig. 7: Relation entre le signal de mesure et la pression p Pression U Mesure des signaux [V] (tension de sortie) Signal de mesure (U) Pression (p) Constante (c) 1) [V] [hPa] 6,143 [mbar] Tab. 6: [Torr] 6,304 [micron] 2,448 [Pa] 3,572 Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression Conversion du signal de mesure et de la pression Gamme de validité ● 5 × 10-4 hPa < p < 1 000 hPa ● 3,75 × 10-4 Torr < p < 750 Torr ● 5 × 10-2 Pa < p < 1 × 105 Pa 1) En fonction de l’unité de pression 25/46 Fonctionnement ► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression. ► Conversion du signal de mesure en pression : p = 10((U-c)/1,286) ► Conversion de la pression en signal de mesure : U = c + 1,286 × log10 p 6.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction Le signal de mesure dépend du type de gaz. Les caractéristiques s’appliquent pour l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO). p [hPa] 102 H2 8 6 He Ne Air O2 CO N2 4 2 CO2 101 Ar 8 6 Freon 12 Kr 4 2 Xe 100 8 6 4 2 10–1 8 6 4 2 Water vapor 10–2 8 6 4 2 10–3 10–3 2 4 6 10–2 2 4 6 10–1 2 4 6 100 2 4 6 101 2 4 6 102 peff [hPa] Fig. 8: Pression affichée Dans le domaine de pression < 1 hPa, l’affichage est linéaire. Mélanges de gaz et de vapeurs Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole. Type de gaz Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2) 1,0 Hydrogène (H2) 0,5 Dioxyde de carbone (CO2) 0,9 Vapeur d’eau 0,5 Hélium (He) 0,8 Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes. 26/46 Facteur de correction (C) Fonctionnement Type de gaz Facteur de correction (C) Néon (Ne) 1,4 Argon (Ar) 1,7 Krypton (Kr) 2,4 Xénon (Xe) 3,0 Dichlorodifluorométhane (CCl2F2, R12) 0,7 Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes. Tab. 7: Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa Saisie du facteur de correction dans l’appareil de commande et de mesure de pression totale ► Saisissez le facteur de correction pour corriger la valeur mesurée qui est affichée. Calcul de la pression de gaz autres que l’air ► Calculez la pression efficace avec la formule suivante : Peff = C × p ● Peff = Pression efficace ● C = Facteur de correction ● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l’air) 6.3 Réglage des valeurs seuil AVIS Dysfonctionnement dû à l’interruption du signal de mesure Coupez le signal de mesure en appuyant sur un bouton (SP1 ou SP2). La jauge émet alors la valeur seuil correspondante à la place au niveau de la sortie de signal de mesure. Cela peut entraîner des dysfonctionnements si vous contrôlez les processus avec la sortie de signal. ► Appuyez sur les boutons uniquement si vous êtes sûrs qu’aucun dysfonctionnement ne sera causé ou que des dysfonctionnements éventuels n’entraîneront pas de dommage. État du relais et de la DEL L’état du relais et de la DEL reste inchangé même si vous appuyez sur le bouton. Valeur seuil supérieure (hystérèse) Le paramètre d'usine pour la valeur seuil supérieure est 10% plus élevé (hystérésis). Outil nécessaire ● Stylet (max. Ø 1,1 mm) Accessoires requis ● Voltmètre max. Ø1.1 mm 1 Fig. 9: Réglage des valeurs seuil 1 Stylet 27/46 Fonctionnement Procédure 1. Appuyez sur le bouton « SP1 » ou « SP2 » à l’aide d'un stylet et maintenez-le enfoncé. – La jauge bascule sur le mode de fonction de commutation et affiche la valeur seuil actuelle pendant 5 secondes au niveau de la sortie du signal de mesure. Au bout de 5 secondes, le réglage de la valeur seuil se déplace vers la limite de réglage supérieure. 2. Maintenez le bouton « SP1 » ou « SP2 » enfoncé jusqu’à ce que la limite de réglage soit atteinte. ou Relâchez à nouveau le bouton « SP1 » ou « SP2 » au moment requis. 3. Appuyez sur le bouton « SP1 » ou « SP2 » avec un stylet et maintenez-le enfoncé pendant 0 à 1 seconde pour le réglage précis. – La valeur seuil change d’une unité. 4. Appuyez sur le bouton « SP1 » ou « SP2 » avec un stylet et maintenez-le enfoncé pendant 2 à 3 secondes pour modifier la direction. – Le réglage de la valeur seuil change de direction. 5. Relâchez à nouveau le bouton « SP1 » ou « SP2 » au moment requis. 6. Mesurez la valeur seuil actuelle au niveau de la sortie du signal de mesure avec un voltmètre. 7. Veillez à ce que le bouton « SP1 » ou « SP2 » ne soit plus actionné pendant 5 secondes. La jauge enregistre la valeur seuil et retourne dans le mode de mesure. L'instrument de mesure connecté affiche à nouveau la valeur de pression actuelle mesurée. 28/46 Démontage 7 Démontage DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Conditions préalables ● Système de vide mis à l’air à la pression atmosphérique ● Tension d’alimentation mise hors circuit 29/46 Démontage 2a 1 3 2b Fig. 10: Démontage de la jauge 1 Pièce de tensionnement 2a Joint avec anneau de centrage 2b 3 Joint avec anneau de centrage et filtre Obturateur de protection Démontage de la jauge 1. Déconnectez le câble de mesure de la jauge. 2. Enlevez la jauge du système de vide. 3. Mettez l’obturateur de protection sur la bride de connexion. 30/46 Maintenance 8 Maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Demande de garantie Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. Commencer par lire intégralement les sections Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à travailler. D'autres conditions climatiques, un fonctionnement prolongé, des températures extrêmes, une orientation de montage différente, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du point zéro dans le système de mesure Pirani. Un décalage du zéro va nécessiter un nouveau calibrage ou un nettoyage. 8.1 Nettoyage des composants DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. 31/46 Maintenance AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. AVIS Dégâts causés par la pénétration d’humidité La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité. ► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau. ► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface. ► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Produits consommables requis ● Alcool industriel ● Chiffon (doux, non pelucheux) Nettoyage externe de l’appareil 1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe. 2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage. 8.2 Calibrage de la jauge Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge à l’usine sur les valeurs standards. Réglage de la jauge sur d'autres valeurs de pression Vous pouvez régler la jauge sur d'autres valeurs de pression. Cependant, pour cela, vous avez besoin d’une valeur de pression précise (mesure de référence). Outil nécessaire ● Stylet (max. Ø 1,1 mm) 32/46 Maintenance max. ø1.1 mm Fig. 11: Calibrage de la jauge Préparation du calibrage 1. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation normale. 2. Vérifiez l'absence de toute contamination du filtre. 3. Remplacez le filtre s’il est très contaminé ou endommagé. 4. Mettez la jauge en fonctionnement. Calibrage HV 1. Mettez la jauge en fonctionnement. 2. Évacuez le système de vide jusqu’à atteindre une pression << 10-4 hPa (recommandée) pour un calibrage à des valeurs standards, ou à une pression entre 10-4 et 10-2 hPa pour un calibrage sur une valeur de pression spécifique. 3. Attendez au moins 2 minutes. 4. Pour un calibrage sur des valeurs standards, appuyez sur le bouton avec un stylet. – La jauge se calibre sur 1,2 × 10-4 hPa (standard) (1,1 V CC). 5. Pour un calibrage sur une valeur de pression spécifique, appuyez sur le bouton avec le stylet pendant plus de 5 secondes. – La pression de calibrage change et s'approche de la valeur 1 × 10-2 hPa jusqu’à ce que vous relâchiez le bouton ou que la limite de réglage soit atteinte. Calibrage ATM 1. Mettez la jauge en fonctionnement. 2. Laissez la jauge fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes. 3. Appuyez sur le bouton avec un stylet. – La jauge se calibre sur 1 000 hPa (standard) (10 V CC). 4. Appuyez sur le bouton avec le stylet pendant plus de 5 secondes. – La pression de calibrage change et s'approche de la valeur 1 200 hPa (ou alternativement 500 hPa) jusqu’à ce que vous relâchiez le bouton ou que la limite de réglage soit atteinte. 8.3 Remplacement du système de mesure AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Vous devrez remplacer le système de mesure en cas de : 33/46 Maintenance ● Système de mesure fortement contaminé ● Système de mesure défectueux (par exemple, filament chauffé cassé) Outil nécessaire ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 1,5 Pièce détachée requise ● Système de mesure de remplacement 1 3 2 Fig. 12: Remplacement du système de mesure 1 Système de mesure 2 Vis sans tête 3 Unité électronique Remplacement du système de mesure 1. Enlevez la jauge du système de vide. 2. Enlevez l’unité électronique du système de mesure défectueux. 3. Assemblez l’unité électronique sur le nouveau système de mesure. 4. Raccordez à nouveau la jauge au système de vide. 5. Établissez le raccordement électrique. 6. Calibrez le système de mesure. 34/46 Expédition 9 Expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 35/46 Recyclage et mise au rebut 10 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 10.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 10.2 Mise au rebut des jauges Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démantelez l’unité électronique. 2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 3. Séparez les composants en matériaux recyclables. 4. Recyclez les composants non contaminés. 5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 36/46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 11 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 37/46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 38/46 Pièces de rechange 12 Pièces de rechange Commande de pièces de rechange ► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la plaque signalétique. ► Installez uniquement des pièces détachées d'origine. Fig. 13: Système de mesure W Filament chauffé en tungstène Ni Filament chauffé de nickel Jauges Filament Numéro de commande (système de mesure de remplacement) TTR 91 W PT 120 133-T Ni PT 120 141-T TTR 91 S TTR 96 S Tab. 8: Pièces de rechange 39/46 Accessoires 13 Accessoires Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires CenterLine. 13.1 Informations sur les accessoires Câble de mesure Câble de mesure de différentes longueurs pour le raccordement à une unité de mesure et de contrôle de la pression totale Pfeiffer Vacuum Joints avec anneau de centrage et filtre Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination 13.2 40/46 Commande d'accessoires Description Numéro de commande Câble de mesure FCC/RJ-45, pour CenterOne, CenterTwo, CenterThree, 3m PT 448 450 -T Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,02 mm, FKM/acier inoxydable, DN 16 ISO-KF PF 117 216 -T Anneau de centrage avec filtre fin, grandeur de pores 0 004 mm, FKM/ acier inoxydable, DN 16 ISO-KF PT 120 132 -T Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 100 1 0,1 0,75 1 · 10 1,000 100 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 · 10-3 133,32 1,33 0,133 1 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 Pa 0,01 hPa -3 5 -5 1 Pa = 1 N/m Tab. 9: 750 -3 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 592 7,5 10 3 Pa m /s sccm 1 Torr l/s 3 atm cm /s Tab. 10: 9,87 1.69 · 10 1.69 · 10 1 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 -3 -2 1,27 · 10 1.67 · 10-2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 14.2 Fiche technique Paramètre Valeur Gamme de mesure (air, O2, CO, N2) 5 × 10-4 – 1 000 hPa Pression maximum (absolue) ≤ 1 000 kPa Principe de mesure Précision (N2) Amenée de chaleur selon la Pirani -3 ± 50% de la valeur mesurée 1 × 10-3 – 100 hPa ± 15% de la valeur mesurée 100 à 1000 hPa ± 50% de la valeur mesurée –4 5 × 10 – 1 × 10 hPa Résolution 1 % de la valeur mesurée Répétabilité (air) -3 1 × 10 – 100 hPa Calibrage de la jauge Tab. 11: 2 % de la valeur mesurée Bouton de calibrage ATM et HV Valeurs de mesure et de pression Paramètre Signal de sortie (signal de mesure) Valeur Gamme de tension 0 – +10,3 V Gamme de mesure +1,9 – +10,0 V Signal d'erreur 0 V – +0,5 V +0,1 V (filament chauffé rompu) Rapport tension-pression 1,286 V/décade, logarithmique Impédance de sortie 2 × 4,7 Ω, résistant aux courts-circuits Impédance de charge (charge minimum) > 10 kΩ, résistant aux courts-circuits Temps de réponse 80 ms 41/46 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Identification de la jauge 27,0 kΩ contre la prise de terre d'alimentation (tension sur la broche 4 ≤ 5 V) Tension d’alimentation +14 – +30 V DC Ondulation ≤ 1 Vpp Consommation de courant < 500 mA (courant de démarrage max.) Puissance absorbée ≤1W Fusible (à raccorder en série) 2) 1 AT Raccordement (électrique) FCC-68/RJ-45, 8 broches Câble de mesure 8 broches, blindage inclus Longueur de câble ≤ 100 m (8 × 0,14 mm2/conducteur Concept de mise à la terre Tab. 12: (voir chapitre « Raccordement électrique », page 22) Raccord vide et signal de masse Raccordé via 1 MΩ (différence de tension < 15 V) Terre d'alimentation et masse signal Aménagement séparé ; pour la mesure du différentiel Données électriques Paramètre Valeur Volume interne 1,5 cm3 environ Poids 80 g Tab. 13: Volume interne et poids Paramètre Valeur Humidité relative de l’air À des températures atteignant +31 °C, 80 % max. À des températures atteignant +40 °C, 50 % max. Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2 000 m MSL Degré de pollution 2 Degré de protection IP40 Tab. 14: Conditions ambiantes Paramètre Valeur Fonctionnement +5 – +60 °C Raccord à vide 3) ≤ 80 °C Filament chauffé 4) ≤ 110 °C Stockage -20 – +65 °C Tab. 15: 42/46 Sur la jauge Températures 2) Les unités de commande et de mesure Pfeiffer Vacuum sont conformes à cette exigence. 3) Pour installation horizontale. La gamme de mesure, la précision et la répétabilité pour la mise sous contrainte thermique peuvent diverger sur la fiche technique. 4) Ne peut pas être influencé par l’opérateur Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Matériaux Acier surfin 1.4301/1.4305/1.4435 Verre Ni, NiFe Filament chauffé Tab. 16: Tungstène (W) TTR 96 S Nickel (Ni) Substances en contact avec le fluide 65 50 Dimensions 22.2 70.4 VACUUM 33 15 14.3 TTR 91/TTR 91 S DN 16 ISO-KF Fig. 14: Dimensions Dimensions en mm 43/46 Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Points de mesure Pirani TTR 91 TTR 91 S TTR 96 S Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN IEC 61000-6-2:2019 DIN EN IEC 61000-6-3:2022 DIN EN 61010-1:2020 DIN EN IEC 61326-1:2022 DIN EN IEC 63000:2019 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-02-23 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Points de mesure Pirani TTR 91 TTR 91 S TTR 96 S Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Standards et spécifications appliqués : EN IEC 61000-6-2:2019 EN IEC 61000-6-3:2021 EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-02-23 *BG6037* ed. B - Date 2310 - P/N:BG6037BFR ">
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