MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction de l’original PTR 91 BG 5041 BFR/B (2017-11) FullRange® Transmitter Identification du produit Les données indiquées sur la plaque signalétique sont nécessaires pour tous les échanges avec Pfeiffer Vacuum et doivent pour cette raison être notées. Validité Le présent document concerne les produits avec les références articles suivantes (DN 25 ISO-KF) PT T03 148 310 PT T03 158 310 (DN 40 ISO-KF) (DN 40 CF-F) PT T03 358 310 Les références articles (numéros) sont indiquées sur la plaque signalétique. Les figures ne portant pas d'inscription correspondent à la jauge avec un raccord de vide DN 25 ISO-KF. Elles s’appliquent par analogie également à d’autres jauges. Sous réserve de modifications techniques sans notification préalable. 2 BG 5041 BFR/B (2016-07) Utilisation conforme Les jauges PTR 91 FullRange® permettent de mesurer le vide dans un domaine de pression de 1×10-9 … 1 000 mbar. Il est interdit de les utiliser pour mesurer des gaz facilement inflammables ou combustibles en mélange avec un agent oxydant (par ex. oxygène atmosphérique) dans les limites d’explosivité. Elles peuvent être exploitées avec un appareil de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum pour jauges ou avec un appareil d’évaluation propre au client. Fonction La jauge contient deux systèmes de mesure individuels (système de mesure Pirani et système de mesure à cathode froide selon le principe du magnétron inverse). Leurs signaux sont reliés de manière à mettre un signal de sortie à disposition. Sur toute la gamme de mesure, le signal de mesure dépend logarithmiquement de la pression. Livraison 1× jauge 1× palpeur 1× manuel de l’utilisateur en français 1× manuel de l’utilisateur en anglais Marque FullRange® BG 5041 BFR/B Pfeiffer Vacuum GmbH (2016-07)11 3 Table des matières Identification du produit Validité Utilisation conforme Fonction Livraison Marque 2 2 3 3 3 3 1 Sécurité 1.1 Symboles utilisés 1.2 Qualification du personnel 1.3 Mentions fondamentales de sécurité 1.4 Responsabilité et garantie 6 6 6 7 7 2 Fiche technique 2.1 Rapport entre signal de sortie et pression 2.2 Dépendance de la nature du gaz PTR 91 8 12 13 3 Montage 3.1 Raccord de vide 3.2 Raccordement électrique 16 16 20 4 Fonctionnement 4.1 Affichage d’état 4.2 Mise en service de la jauge 4.3 Dépendance de la nature du gaz 4.4 Retard d'amorçage 4.5 Encrassement 22 22 23 24 24 25 5 26 Démontage 6 Entretien, remise en état 28 6.1 Ajustage de la jauge 28 6.2 Maintenance de la jauge, montage de pièces de rechange 30 6.2.1 Diagnostic des erreurs sur la chambre de mesure 31 6.2.2 Remplacement de la chambre d’ionisation et de l’aide à l'amorçage 33 6.2.3 Remplacement de la chambre de mesure 35 4 BG 5041 BFR/B (2016-07) 6.3 Élimination des erreurs 38 7 Renvoi du produit 40 8 Élimination du produit 41 9 Options 42 10 Accessoires 42 11 Pièces de rechange 11.1 Aide à l'amorçage 11.2 Chambre d’ionisation 11.3 Chambre de mesure complète (capteur de rechange) 43 43 43 44 Certificat ETL 45 Certificat de conformité UE 46 Le symbole ( XY) est utilisé pour renvoyer à des pages au sein du texte. BG 5041 BFR/B (2016-07)11 5 1 Sécurité 1.1 Symboles utilisés Indications pour la prévention de dommages corporels de tout genre. Indications pour la prévention d’importants dégâts matériels et dommages environnementaux. Indications pour le maniement ou l’utilisation. Le non-respect peut entraîner des défauts ou dégâts matériels mineurs. Incitation à consulter la notice d’utilisation (impression sur plaque signalétique) Remarque <…> 1.2 Inscription Qualification du personnel Seules les personnes possédant la formation technique appropriée et les connaissances nécessaires ou les personnes ayant obtenu une initiation correspondante de l’utilisateur ont le droit d’exécuter les travaux décrits dans le présent document. 6 BG 5041 BFR/B (2016-07) 1.3 Mentions fondamentales de sécurité Respectez les dispositions en vigueur et tenez compte des mesures préventives lors du maniement des fluides de processus utilisés. Tenez compte des éventuelles réactions entre les matériaux et les fluides de processus. Tenez compte des éventuelles réactions des fluides de processus suite au propre échauffement du produit. Tous les travaux doivent uniquement être effectués dans le respect des dispositions en vigueur et des mesures préventives. Veuillez également tenir compte des mentions de sécurité indiquées dans le présent document. Avant de commencer à travailler, veuillez-vous informer sur la possibilité d’une contamination. Respectez les dispositions en vigueur et tenez compte des mesures préventives lors du maniement de pièces contaminées. Transmettez les mentions de sécurité à tous les autres utilisateurs. 1.4 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si l’utilisateur ou une tierce personne ne tient pas compte du présent document utilise le produit de manière non conforme effectue tout type d’intervention (transformation, modifications etc.) sur le produit utilise le produit avec des accessoires ne figurant pas dans les documentations correspondantes du produit. La responsabilité liée aux fluides de processus utilisés est du ressort de l’utilisateur. Les éventuels dysfonctionnements de la jauge dus à l’encrassement ou à l’usure, ainsi que les pièces d’usure (par ex. chambre d’ionisation, aide à l'amorçage, filament chauffé Pirani), sont exclus de la garantie. BG 5041 BFR/B (2016-07)11 7 2 Fiche technique Gamme de mesure (air, N2) Précision (N2) 1×10-8 … 100 mbar 100 … 1 000 mbar Répétabilité (N2) 1×10-8 … 100 mbar Dépendance de la nature du gaz 30% de la valeur mesurée 50% de la valeur mesurée 5% de la valeur mesurée 13 Gamme de tension (sortie analogique) Gamme de mesure Rapport entre signal de mesure et pression Signal d’erreur 0 … +10,5 V Impédance de sortie 2 × 4,7 , protection contre les courts-circuits Impédance de charge ≥10 k, protection contre les courts-circuits selon la pression <100 ms 1 s Temps de réponse indicielle >1×10-6 mbar 1×10-6 … 1×10-8 mbar Identification des jauges Signal d’état (sortie numérique) Capacité de charge Haute tension est activée (ON) Haute tension est désactivée (OFF) 8 1×10-9 … 1 000 mbar +1,397 … +8,6 V (dc) 0,6 V/décade, logarithmique +9,5 … +10,5 V (dc) 85 k contre la masse d’alimentation 100 mA +14,5 … +30 V (dc) (selon la tension d’alimentation) 0 V (dc) BG 5041 BFR/B (2016-07) Alimentation La jauge doit uniquement être raccordée à des appareils d’alimentation et de mesure correspondant aux exigences de la basse tension de protection mise à la terre (PELV) et d’une source d’énergie à puissance limitée (LPS) de catégorie 2. La conduite vers la jauge doit être protégée. 1) Tension d’alimentation sur la jauge 2) Ripple Puissance absorbée Fusible à monter en amont 1) Catégorie 2 / LPS +14,5 … +30 V (dc) ≤1 Vpp ≤2 W ≤1 AT Haute tension dans la chambre de mesure Tension d'amorçage ≤4,5 kV Tension de fonctionnement ≤3,3 kV Courant dans la chambre de Courant fort mesure Raccordement électrique Câble de mesure Longueur de câble FCC 68, à 8 pôles à 8 pôles, blindé ≤50 m (0,14 mm2/brin) Concept de mise à la terre "Raccordement électrique" relié via 10 k (différence de potentiel ≤16 V) à conduite séparée ; nous recommandons une mesure différentielle Raccord de vide – masse du signal Masse d’alimentation – masse du signal 1) 2) Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum répondent à cette exigence. La tension minimale de l'unité secteur doit être augmentée proportionnellement à la longueur de la conduite. BG 5041 BFR/B (2016-07)11 9 Matériaux exposés au vide Raccord de vide Chambre de mesure Filament chauffé Pirani Exécution Isolation Anneau Anode Broche Chambre d’ionisation Aide à l'amorçage Volume intérieur DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F Pression maximale (absolue) Pression de rupture (absolue) Températures admissibles Fonctionnement Filament chauffé Pirani Dégazage Stockage Humidité relative pendant 30 jours par an 1×10-8 … 1×10-2 mbar 1×10-7 … 1×10-2 mbar Position de montage Utilisation Type de protection 3) 10 Acier inoxydable (1.4435) Acier inoxydable (1.4435) W Verre, céramique (Al2O3) Acier inoxydable (1.4435) Molybdène Alliage Ni Acier inoxydable (1.4301, 1.4016) Acier inoxydable (1.4310) 3 19,9 cm 3 20,9 cm 3 25,2 cm 10 bar, limité aux gaz inertes <55 °C >13 bar +5 °C … +55 °C 120 °C ≤150 °C 3) –40 °C … +70 °C ≤70% (sans condensation) ≤95% (sans condensation) quelconque uniquement à l’intérieur, hauteur max. de 6 000 m audessus du niveau de la mer IP 40 Sans unité électronique. BG 5041 BFR/B (2016-07) Dimensions [mm] Poids DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F BG 5041 BFR/B (2016-07)11 <280 g <320 g <570 g 11 2.1 Rapport entre signal de sortie et pression p = 10 1,667U d - Valide dans la gamme c d avec 12 p U c,d U = c + 0,6 log p 1×10-9 mbar < p < 1 000 mbar 7,5×10-10 Torr < p < 750 Torr 1×10-7 Pa < p < 1×105 Pa mbar Pa Torr 6 798 11,33 5 598 9,333 6 873 11,46 Pression Signal de mesure Constante (selon l’unité de pression) BG 5041 BFR/B (2016-07) 2.2 Dépendance de la nature du gaz PTR 91 Gamme de mesure entre 102 et 10-2 mbar (fonctionnement Pirani uniquement) Pression affichée (jauge adaptée pour air) BG 5041 BFR/B (2016-07)11 13 Gamme de mesure entre 10-6 et 0,1 mbar Pression affichée (jauge adaptée pour air) 14 BG 5041 BFR/B (2016-07) Gamme de mesure inférieure à 10-5 mbar Dans la gamme inférieure à 10-5 mbar, l’affichage est linéaire. Pour les gaz autres que l’air, la pression peut être déterminée par une simple conversion : peff = K × pression affichée Avec : Nature du gaz K Air (N2, O2, CO) Xe Kr Ar H2 Ne He 1.0 0.4 0.5 0.8 2.4 4.1 5.9 Les facteurs de conversion indiqués sont des valeurs moyennes. Il s’agit cependant souvent de mélanges à base de gaz et de vapeurs. Dans de tels cas, il n'est possible d'avoir une mesure précise qu'avec des appareils de mesure à pression partielle, par ex. avec un spectromètre de masse quadripole. BG 5041 BFR/B (2016-07)11 15 3 Montage 3.1 Raccord de vide DANGER : surpression dans le système de vide >1 bar Risque de blessures suite à la projection de pièces et d’atteintes à la santé suite à l’échappement de fluide de processus si les éléments de serrage sont ouverts alors que le système de vide est en surpression. Ne pas ouvrir les éléments de serrage tant que le système de vide est en surpression. Utiliser des éléments de serrage appropriés pour la surpression. DANGER : surpression dans le système de vide >2,5 bar Sur les raccords KF, les joints élastomères (par ex. joints toriques) ne peuvent plus résister à la pression. Cela peut porter atteinte à la santé suite à l’échappement de fluide de processus. Utiliser des joints toriques avec un anneau de centrage extérieur. 16 BG 5041 BFR/B (2016-07) DANGER : mise à la terre Une mise à la terre incorrecte des produits peut avoir des conséquences mortelles en cas de dysfonctionnement. La jauge doit être reliée galvaniquement à l’enceinte à vide mise à la terre. La liaison doit répondre aux exigences d’une jonction de protection selon la norme EN 61010 : Les raccords CF répondent à cette exigence. Un anneau de serrage conducteur d’électricité doit être utilisé pour les raccords KF. Attention : composants sous vide Les saletés et les dégâts influencent le fonctionnement des composants sous vide. Pour le maniement de composants sous vide, respecter les règles relatives à la propreté et à la protection contre les dommages. Attention : domaine sensible à l’encrassement Le contact du produit ou des pièces à mains nues augmente le taux de désorption. Porter des gants propres et non pelucheux et utiliser des outils propres. BG 5041 BFR/B (2016-07)11 17 Monter la jauge sans vibration dans la mesure du possible. Les vibrations sur la jauge occasionnent de manière générale des différences pour les valeurs mesurées. La position de montage peut être librement choisie. Il est toutefois recommandé de choisir une position horizontale à verticale afin d’empêcher toute pénétration de condensats et de particules dans la chambre de mesure. Dans le cas d’applications potentiellement polluantes et afin de protéger le système de mesure contre l’encrassement, il est recommandé de monter un joint avec un anneau de centrage et un filtre (options 42). Retirer le capuchon protecteur et raccorder le produit au système de vide. Conserver le capuchon protecteur. 18 BG 5041 BFR/B (2016-07) Pour le montage sur des brides CF, il peut s’avérer avantageux de retirer provisoirement l’unité électronique. Conserver le capuchon protecteur. AVERTISSEMENT : décharge électrique L’hélium peut entraîner des décharges électriques dans le système électronique du produit et le détruire. Toujours mettre le produit hors service et retirer l’unité électronique avant d’effectuer un test d’étanchéité. BG 5041 BFR/B (2016-07)11 19 3.2 Raccordement électrique La jauge doit être raccordée correctement à l’appareil de vide ( 16). La jauge doit uniquement être raccordée à des appareils d’alimentation et de mesure correspondant aux exigences de la basse tension de protection mise à la terre (PELV) et d’une source d’énergie à puissance limitée (LPS) de catégorie 2. La conduite vers la jauge doit être protégée. 4) Les boucles de masse, différences de potentiel ou la compatibilité électromagnétique peuvent influencer le signal de mesure. Respectez les instructions de montage indiquées ci-dessous pour obtenir une qualité optimale du signal : Utiliser des câbles avec tresse de blindage et boîtier métallique de connecteur. Relier la masse d’alimentation directement à l’unité de courant avec terre de protection. Utiliser une entrée de mesure différentielle (masse du signal et masse d’alimentation séparées). Différence de potentiel entre masse d’alimentation et boîtier ≤18 V (protection contre la surtension). 4) 20 Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum répondent à cette exigence. BG 5041 BFR/B (2016-07) En cas d’absence de câble de mesure, fabriquer un câble de mesure selon le schéma suivant. Raccorder le câble de mesure. Raccordement électrique Broche 1 Alimentation (14,5 … 30 V (dc)) Broche 2 Masse d’alimentation GND Broche 3 Sortie de signal (signal de mesure) Broche 4 Identification de jauge Broche 5 Masse du signal Broche 6 Signal d’état Les broches 7 et 8 ne sont pas affectées. BG 5041 BFR/B (2016-07)11 FCC 68 à 8 pôles 21 4 Fonctionnement 4.1 Affichage d’état LED <ST> <HV-ST> Signification Éteinte Éteinte Pas de tension d’alimentation Allumée en vert Éteinte Tension d’alimentation = ok, Pirani activé, cathode froide désactivée Allumée en jaune Clignote en vert Tension d’alimentation = ok, pression dans le domaine de la cathode froide, cathode froide pas amorcée Allumée en vert Allumée en vert Cathode froide amorcée Allumée en rouge Éteinte Erreur du système de mesure Clignote en rouge Éteinte Erreur EEPROM Allumée en jaune Éteinte Gamme de mesure dépassée Allumée en jaune Allumée en vert Gamme de mesure pas atteinte Élimination des erreurs ( 39). 22 BG 5041 BFR/B (2016-07) 4.2 Mise en service de la jauge Le signal de mesure est disponible à la sortie de signal après avoir appliqué la tension d’alimentation ( 21). Un temps de stabilisation de 10 minutes doit être respecté. La jauge peut toujours rester en marche, indépendamment de la pression appliquée. Principe de mesure, comportement de mesure La jauge contient deux systèmes de mesure individuels (système de mesure Pirani et système de mesure à cathode froide selon le principe du magnétron inverse). Leurs signaux sont reliés de manière à mettre un signal de sortie à disposition. La configuration optimale pour le domaine de pression respectif est utilisée : Le circuit de mesure Pirani est toujours activé Le circuit de mesure à cathode froide commandé par le circuit de mesure Pirani est uniquement activé à partir de pressions p < 1×10-2 mbar Tant que le circuit de mesure à cathode froide n'est pas allumé, la sortie de signal fournit la simple valeur Pirani mesurée (si p < 5×10-4 mbar : affichage "Pirani-Underrange"). BG 5041 BFR/B (2016-07)11 23 4.3 Dépendance de la nature du gaz Le signal de mesure dépend de la nature du gaz. La valeur mesurée est valide pour air sec, O2, CO et N2. Pour tout autre gaz, il doit être converti ( 13). Dans les cas où la jauge est utilisée avec un appareil de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum, il est possible d’entrer un facteur de calibrage pour corriger la valeur mesurée affichée ( de l’appareil respectif). 4.4 Retard d'amorçage Les systèmes de mesure à cathode froide ont un retard d'amorçage à la mise en marche. Ce retard augmente pour les pressions basses et contribue typiquement à une jauge propre et dégazée : 1×10-5 … 1×10-2 mbar 1×10-7 … 1×10-5 mbar 5×10-9 … 1×10-7 mbar <5×10-9 mbar < 1 <20 < 2 <20 seconde secondes minutes minutes L'amorçage est un processus statistique risquant d’être fortement influencé rien que par de faibles dépôts sur les surfaces intérieures. Tant que le circuit de mesure à cathode froide n’est pas allumé, la sortie de signal fournit la simple valeur Pirani mesurée. La sortie d’état (= 0 V) signale un fonctionnement Pirani uniquement. Si la haute tension est activée à une pression p < 3×10-9 mbar, la jauge ne peut pas reconnaître si le système de mesure à cathode froide est allumé. La jauge fixée par bride doit toujours rester en service, indépendamment du domaine de pression. Le retard d'amorçage du circuit de mesure à cathode froide est de la sorte négligeable (<1 seconde) et les effets de stabilisation thermique sont minimisés. 24 BG 5041 BFR/B (2016-07) 4.5 Encrassement Les éventuels dysfonctionnements de la jauge dus à l’encrassement ou à l’usure, ainsi que les pièces d’usure (par ex. chambre d’ionisation, aide à l'amorçage, filament chauffé Pirani), sont exclus de la garantie. L’encrassement de la jauge dépend du type des fluides de processus, d’éventuels encrassements existants ou nouveaux et de leur pression partielle. Un fonctionnement en continu dans la plage de 10-4 mbar … 10-2 mbar peut conduire à un fort encrassement et à de courtes durées de vie. Un encrassement de la jauge conduit de manière générale à des différences pour les valeurs mesurées : Dans la plage des hautes pressions (1×10-3 mbar … 0,1 mbar), il en résulte une pression affichée trop élevée (encrassement de l’élément Pirani). Nouveau réglage du système de mesure Pirani 28. Dans la plage des basses pressions (p < 1×10-3 mbar), la pression affichée est en conséquence trop faible (encrassement du système à cathode froide). De forts encrassements entraînement également l’apparition d’instabilités (détachement de couches dans la chambre de mesure). En cas d’encrassement par couches isolantes, une extinction complète de la décharge de gaz est même possible (affichage "Underrange"). Le degré de l’encrassement peut dans une certaine mesure être influencé : Par des mesures préventives géométriques (par ex. tôles de blindage, coudes) pour des particules se propageant en ligne droite. En choisissant précisément la position de la bride des jauges à un endroit où la pression partielle de l’encrassement est minimale. Une attention particulière est requise pour les vapeurs se séparant dans le plasma (par ex. du système de mesure à cathode froide). Si nécessaire, mettre la jauge hors marche ou bien la cloisonner au moyen d’une vanne en présence de vapeurs. BG 5041 BFR/B (2016-07)11 25 5 Démontage DANGER : pièces contaminées Les pièces contaminées présentent des risques pour la santé et pour l’environnement. Avant de commencer à travailler, veuillez-vous informer sur la possibilité d’une contamination. Respecter les dispositions en vigueur et tenir compte des mesures préventives lors du maniement de pièces contaminées. Attention : composants sous vide Les saletés et les dégâts influencent le fonctionnement des composants sous vide. Pour le maniement de composants sous vide, respecter les règles relatives à la propreté et à la protection contre les dommages. Attention : domaine sensible à l’encrassement Le contact du produit ou des pièces à mains nues augmente le taux de désorption. Porter des gants propres et non pelucheux et utiliser des outils propres. Ventiler le système de vide. Mettre la jauge hors service et retirer le câble de mesure. 26 BG 5041 BFR/B (2016-07) Démonter la jauge du système de vide et mettre le capuchon protecteur en place. Pour le démontage des brides CF, il peut s’avérer avantageux de retirer provisoirement l’unité électronique ( 19). BG 5041 BFR/B (2016-07)11 27 6 Entretien, remise en état Les éventuels dysfonctionnements de la jauge dus à l’encrassement ou à l’usure, ainsi que les pièces d’usure (par ex. chambre d’ionisation, aide à l'amorçage, filament chauffé Pirani), sont exclus de la garantie. Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si l’utilisateur ou une tierce personne effectue lui-même/elle-même des travaux de remise en état. 6.1 Ajustage de la jauge Le circuit de mesure à cathode froide dominant pour la plage de basses pressions (<1×10-3 mbar) est réglé par défaut à une valeur fixe. L'ajustage HV du circuit de mesure Pirani est effectué automatiquement pendant le fonctionnement à des pressions <1×10-5 mbar. La nouvelle valeur du point zéro est enregistrée toutes les 15 minutes à titre de protection contre les pannes de courant. L'ajustage influence à peine le domaine de pression entre environ 10-2 mbar et 102 mbar. Un fonctionnement à long terme, une application dans d’autres conditions climatiques, des températures extrêmes, un vieillissement ou un encrassement peuvent entraîner un décalage du zéro dans le circuit de mesure ; un ajustage manuel ou un nettoyage périodiques sont alors nécessaires. Un ajustage HV manuel est nécessaire ( , ) si la jauge n’émet plus de pressions <10-2 mbar. Effectuer l'ajustage dans des conditions ambiantes constantes et une position de montage identique à celle utilisée normalement avec la jauge. Contrôler le degré d’encrassement du joint, avec anneau de centrage et filtre, éventuellement mis en place ; le remplacer si nécessaire ( "Démontage"). 28 BG 5041 BFR/B (2016-07) Mettre la jauge en service et l’exploiter au moins 10 minutes à pression atmosphérique. Pour l'ajustage ATM, appuyer brièvement sur le bouton <ADJ> avec un crayon (ø max. 1,1 mm) : le capteur Pirani se règle à 1 000 mbar (durée 5 s). L'ajustage a été effectué avec succès si la pression de 1 000 mbar est émise à la sortie du signal de mesure. Dans le cas contraire, répéter l'ajustage. Évacuer le système de vide à p <10 mbar, puis attendre -5 au moins 2 minutes. Pour l'ajustage HV, appuyer brièvement sur le bouton <ADJ> avec un crayon (durée de l'ajustage 5 s). L'ajustage a été effectué avec succès si une pression <1×10-5 mbar est émise à la sortie du signal de mesure. Dans le cas contraire, répéter l'ajustage. BG 5041 BFR/B (2016-07)11 29 6.2 Maintenance de la jauge, montage de pièces de rechange En cas de fort encrassement ou de défaut (par ex. rupture du filament chauffé Pirani), remplacer la chambre de mesure complète (pièces de rechange 43). DANGER : pièces contaminées Les pièces contaminées présentent des risques pour la santé et pour l’environnement. Avant de commencer à travailler, veuillez-vous informer sur la possibilité d’une contamination. Respecter les dispositions en vigueur et tenir compte des mesures préventives lors du maniement de pièces contaminées. Attention : composants sous vide Les saletés et les dégâts influencent le fonctionnement des composants sous vide. Pour le maniement de composants sous vide, respecter les règles relatives à la propreté et à la protection contre les dommages. Attention : domaine sensible à l’encrassement Le contact du produit ou des pièces à mains nues augmente le taux de désorption. Porter des gants propres et non pelucheux et utiliser des outils propres. 30 BG 5041 BFR/B (2016-07) DANGER : produits de nettoyage Les produits de nettoyage présentent des risques pour la santé et pour l’environnement. Respecter les dispositions en vigueur et tenir compte des mesures préventives pour le maniement et l’élimination des produits de nettoyage. Tenir compte des éventuelles réactions avec les matériaux du produit ( 10). Condition Jauge démontée. 6.2.1 Diagnostic des erreurs sur la chambre de mesure Si le défaut est supposé être dans la chambre de mesure proprement dite, un diagnostic approximatif est au moins possible avec un ohmmètre. Outils / matériel nécessaires Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, taille 2 Pince pour circlip Ohmmètre BG 5041 BFR/B (2016-07)11 31 Desserrer la vis sans tête (4) et retirer la chambre de mesure complète (3) de l’unité électronique (5). Retirer le circlip (1) et la chambre d’ionisation (2) de la chambre de mesure (3). Contrôler le degré d’encrassement de la chambre d’ionisation et de mesure : Seule la chambre d’ionisation est encrassée : remplacer la chambre d’ionisation ( 33) Chambre de mesure fortement encrassée : remplacer la chambre de mesure complète ( 35). 32 BG 5041 BFR/B (2016-07) Au moyen d’un ohmmètre, effectuer les mesures suivantes sur les broches de contact de la chambre de mesure. Cause probable Mesure entre broches 1+4 39,5 … 40,5 Ω (à 20 °C) Valeurs audelà de la plage Rupture du filament Pirani 1+2 1 000 … 1 100 Ω (à 20 °C) Valeurs audelà de la plage Rupture de la sonde de température Pirani 5 + chambre de mesure ∞ <<∞ Encrassement, court-circuit cathode froide Ces erreurs nécessitent le remplacement de la chambre de mesure complète ( 35). Nous recommandons d’effectuer un test de fuites (taux de fuite <1×10-9 mbar l/s). 6.2.2 Remplacement de la chambre d’ionisation et de l’aide à l'amorçage Condition Diagnostic des erreurs effectué sur la chambre de mesure ( 31). BG 5041 BFR/B (2016-07)11 33 En cas d’encrassement, retirer l’aide à l'amorçage en utilisant l’outil de démontage (accessoires 42). Nous recommandons de polir les parois intérieures de la chambre de mesure jusqu’à la rainure du circlip en utilisant une toile de polissage. Usinage uniquement concentrique de la surface d’étanchéité Ne pas déformer l’anode Placer une nouvelle aide à l'amorçage dans l’outil de montage et la pousser sur l’anode (pièces de rechange 43). Pousser une nouvelle chambre d’ionisation (2) dans la chambre de mesure (3), jusqu’à la butée mécanique et monter le circlip (1) (pièces de rechange 43). 34 BG 5041 BFR/B (2016-07) Nous recommandons d’effectuer un test de fuites (taux de fuite <1×10-9 mbar l/s). Pousser prudemment la chambre de mesure complète jusqu’à la butée mécanique dans l’unité électronique (5). Broches alignées en ligne droite. Bloquer la chambre de mesure (3) avec la vis sans tête (4). 6.2.3 Remplacement de la chambre de mesure Condition Diagnostic des erreurs effectué sur la chambre de mesure ( 31). BG 5041 BFR/B (2016-07)11 35 Ajuster la valeur d’étalonnage du capteur de rechange sur l’interrupteur <CAL> de l’unité électronique (5). Pousser prudemment la chambre de mesure complète jusqu’à la butée mécanique dans l’unité électronique (5). Broches alignées en ligne droite. 36 BG 5041 BFR/B (2016-07) Bloquer la chambre de mesure (3) avec la vis sans tête (4). Procéder à l'ajustage ATM et HV manuel du circuit de mesure Pirani ( 28). Nous recommandons d’effectuer un test de fuites (taux de fuite <1×10-9 mbar l/s) et un test de fonctionnement sur le détecteur de fuites. AVERTISSEMENT : décharge électrique L’hélium peut entraîner des décharges électriques dans le système électronique du produit et le détruire. Toujours mettre le produit hors service et retirer l’unité électronique avant d’effectuer un test d’étanchéité. BG 5041 BFR/B (2016-07)11 37 6.3 Élimination des erreurs En cas d'erreur, nous recommandons de désactiver la tension d’alimentation et de la réactiver après 5 s. 38 BG 5041 BFR/B (2016-07) BG 5041 BFR/B (2016-07)11 39 Éteinte Éteinte Éteinte Allumée en vert Allumée en rouge Clignote en rouge Tension à la sortie du signal en permanence >5,6 V. Tension à la sortie du signal en permanence >9,5 V. Allumée en vert Clignote en vert Tension à la sortie du signal Allumée en ne descend pas à une valeur jaune <4,82 V. Signal en permanence à env. Allumée en 5×10-4 mbar. vert Allumée en vert Allumée en vert Signal de mesure instable. Éteinte Chambre de mesure fortement encrassée. Mettre la jauge hors marche et la remettre en marche après 5 s. Erreur EEPROM. Remplacer la chambre de mesure complète ( 35). Remplacer la jauge. Remplacer la chambre de mesure complète ( 35). Effectuer un ajustage HV manuel ( 29). Attendre l'amorçage de la décharge de gaz (5 minutes pour une pression de 10-9 mbar). 9 Activer l’alimentation. Élimination Pirani défectueux. Décalage du zéro Pirani. Décharge de gaz pas allumée. Jauge encrassée. Pas d’alimentation. LED Cause probable <HV-ST> Éteinte LED <ST> Pas de tension à la sortie du signal. Défaut 7 Renvoi du produit AVERTISSEMENT : envoi de produits contaminés Les produits contaminés (par ex. de type radioactif, toxique, corrosif ou micro-biologique) présentent des risques pour la santé et pour l’environnement. Les produits envoyés doivent dans la mesure du possible être exempts de substances nocives. Tenir compte des consignes d’expédition des pays et transporteurs impliqués. Joindre la déclaration de contamination *) remplie. *) Formulaire disponible sous le lien www.pfeiffer-vacuum.de Les produits n’étant pas déclarés de manière univoque comme étant "exempts de substances nocives" sont décontaminés contre rémunération. Si des produits sont envoyés sans la déclaration de contamination remplie, ils sont retournés contre rémunération. 40 BG 5041 BFR/B (2016-07) 8 Élimination du produit DANGER : pièces contaminées Les pièces contaminées présentent des risques pour la santé et pour l’environnement. Avant de commencer à travailler, veuillez-vous informer sur la possibilité d’une contamination. Respecter les dispositions en vigueur et tenir compte des mesures préventives lors du maniement de pièces contaminées. AVERTISSEMENT : substances dangereuses pour l’environnement Des produits ou des parties du produit (composants mécaniques et électriques, fluides d’exploitation etc.) présentent des risques pour l’environnement. Éliminer les substances dangereuses pour l’environnement conformément aux dispositions locales. Répartition des composants Après le désassemblage du produit, les composants doivent, pour leur élimination, être répartis dans les catégories suivantes : Composants contaminés Les composants contaminés (radioactifs, toxiques, caustiques, micro-biologiques, etc.) doivent être décontaminés conformément aux dispositions spécifiques aux différents pays ainsi que séparés et éliminés en fonction du type de matériau. Composants non contaminés Ces composants doivent être séparés en fonction du type de matériau et doivent être amenés au recyclage. BG 5041 BFR/B (2016-07) 41 9 Options Numéro de commande 10 Joint avec anneau de centrage et filtre fin 4 µm, DN 25 ISO-KF (acier inoxydable/FPM) PT 120 036 -T Joint avec anneau de centrage et filtre fin 20 µm, DN 25 ISO-KF (acier inoxydable/FPM) PF 117 225 -T Accessoires Outil de montage / démontage pour aide à l'amorçage Câble de mesure FCC 68, 3 m 42 Numéro de commande PT 120 316 -T PT 448 450 -T BG 5041 BFR/B (2016-07) 11 Pièces de rechange Toujours commander les pièces de rechange avec : toutes les indications conformément à la plaque signalétique Position, description et numéro de commande conformément à la liste de pièces de rechange 11.1 Aide à l'amorçage Aide à l'amorçage (10 pièces) 11.2 Numéro de commande BN 845 995 -T Chambre d’ionisation Numéro de commande Chambre d’ionisation Acier inoxydable BG 5041 BFR/B (2016-07) PT 120 312 -T 43 11.3 Chambre de mesure complète (capteur de rechange) La chambre de mesure complète est prémontée. PTR 91 Numéro de commande 44 PT T03 148 310 PT T03 158 310 DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF PT 120 302 -T PT 120 306 -T PT T03 358 310 DN 40 CF-F PT 120 310 -T BG 5041 BFR/B (2016-07) Certificat ETL RECOGNIZED COMPONENT ETL LISTED The product PTR 91 conforms to the UL Standard UL 61010-1 is certified to the CAN/CSA Standard C22.2 No. 61010-1-12 3103457 BG 5041 BFR/B (2016-07) 45 Certificat de conformité UE Par la présente nous, Pfeiffer Vacuum, déclarons que le produit ci-dessous est conforme à la directive CEM 2014/30/UE et à la directive RoHS 2011/65/UE. Jauge FullRange® PTR 91 Normes Normes harmonisées et nationales/internationales ainsi que spécifications : EN 61000-6-2:2005 (CEM Immunité) EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (CEM Émission de parasites) EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour dispositifs électriques de mesure et de commande) EN 61326-1:2013 (Exigences CEM pour dispositifs électriques de mesure et de commande) Fabricant / signatures Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar mardi 12 avril 2016 Dr. Ulrich von Hülsen Directeur général 46 BG 5041 BFR/B (2016-07) Notes BG 5041 BFR/B (2016-07) 47 SOLUTIONS DE VIDE AUPRÈS D’UN SEUL FOURNISSEUR Pfeiffer Vacuum est synonyme, dans le monde entier, de solutions de vide individuelles et innovantes, de perfection technologique, de conseils compétents et de service fiable. GAMME COMPLÈTE DE PRODUITS Du simple composant au système complexe : Nous sommes le seul fournisseur de technique du vide à offrir une gamme complète de produits. COMPÉTENCE EN THÉORIE ET PRATIQUE Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation ! Nous vous assistons dans la planification de votre installation et offrons, dans le monde entier, un excellent service sur site. Vous recherchez une parfaite solution de vide ? N’hésitez pas à nous contacter : www.pfeiffer-vacuum.de bg5041bde/ b Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters Tél. : +49 6441 802-0 [email protected] ">
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