Eurotherm 2704 Manuel du propriétaire

05/06/01
11:08
Page 1
EUROTHERM
2704
COUVER2704VideFRA
Régulateur
Manuel Additif
Traitement du vide
FRA
Supplément traitement du vide
A.
SUPPLÉMENT 1 RÉGULATEUR TRAITEMENT DU
VIDE.............................................................................. 2
a.1.
a.2.
a.2.1.
a.3.
a.3.1.
a.3.2.
a.3.3.
a.3.4.
a.3.5.
a.3.6.
a.3.7.
a.4.
a.5.
a.6.
a.6.1.
a.7.
a.7.1.
a.7.2.
a.7.3.
a.7.4.
a.7.5.
a.7.6.
a.7.7.
a.7.8.
a.8.
a.8.1.
a.8.2.
a.8.3.
a.9.
a.9.1.
a.9.2.
INTRODUCTION............................................................................. 2
QU'EST CE QU'UN REGULATEUR DE TRAITEMENT DE VIDE?2
Exemple d'une chambre de vide..................................................... 3
FONCTIONNALITES DU REGULATEUR DE TRAITEMENT DU ..
VIDE ................................................................................................ 4
Consignes ....................................................................................... 4
Jauge de vide primaire.................................................................... 5
Jauge de vide secondaire ............................................................... 5
Linéarisation de la jauge ................................................................. 5
Temporisation de la pompe Root.................................................... 5
Détection de fuite ............................................................................ 5
Commutation des jauges ................................................................ 6
CABLAGE ...................................................................................... 7
MISE SOUS TENSION ................................................................... 8
FONCTIONNEMENT ...................................................................... 9
Accès aux paramètres de traitement du vide.................................. 9
TABLES DES PARAMETRES ..................................................... 10
Paramètres vide secondaire ......................................................... 10
Paramètres vide primaire .............................................................. 11
Paramètres de vide annexe .......................................................... 11
Paramètres de commutation des jauges ...................................... 12
Paramètres de consigne ............................................................... 12
Paramètres de contrôle de la pompe............................................ 13
Paramètres de détection de fuite .................................................. 13
Paramètres d'affichage du vide..................................................... 14
NIVEAU DE CONFIGURATION ................................................... 15
Configuration de la page Sommaire du vide comme page
d'accueil ........................................................................................ 15
Personnalisation de la page sommaire du vide ............................ 16
Bloc fonction Traitement du vide................................................... 17
EXEMPLES DE CABLAGE DE REGULATEUR DE ......................
TRAITEMENTDU VIDE ................................................................ 18
Régulation d'une température simple et du vide........................... 18
Mise à l'échelle de la lecture du vide dans d'autres unités ........... 20
Manuel supplément Traitement du vide - HA 027186 - Indice 1.0 - 06/01
a-1
Supplément Traitement du vide
a.
Supplément 1 Régulateur Traitement du
vide
a.1.
INTRODUCTION
Le but de cet additif est de décrire l'utilisation et la configuration du régulateur 2704 équipé
du bloc fonction "traitement du vide". Cet additif doit être utilisé en complément du manuel
Utilisateur HA 026502FRA et du Manuel Configuration HA026933FRA.
Cela suppose également que l'utilisateur est familiarisé avec la mesure et la production du
vide.
a.2.
QU'EST CE QU'UN REGULATEUR DE TRAITEMENT DE
VIDE?
Le régulateur 2704 de traitement de vide est conçu pour un nombre varié d'applications
comprenant :
•
Fours de fonderie et de moulage
•
Fours de recuit et de cintrage
•
Fours de brasage/CVD
•
Séchoir par congélation
•
Fours de diffusion /MBE
•
Autoclaves
Il peut être utilisé pour le contrôle du vide seulement et peut être fourni pour utilisation avec
une jauge de vide ou avec 3 jauges. Le bloc fonction "Vide" peut être utilisé en même temps
qu'une autre boucle de régulation (une boucle de température, par exemple) au sein d'un
même appareil.
Les entrées et sorties analogiques et logiques sont disponibles dans le régulateur en tant
qu'entrées et sorties fixes et sur les modules embrochables comme décrits dans les manuels
cités ci-dessus.
Note:
•
Pour la mesure de température utiliser l'entrée standard PV (Bornes V- à VH) ou le
module d'entrée mesure PV (HA 026359)
•
Pour la mesure du vide utiliser l'entrée standard PV , le module d'entrée mesure PV ou le
module d'entrée analogique ( HA026686).
•
Les entrées/sorties analogiques et logiques peuvent être réalisées en utilisant d'autres
modules embrochables ou une unité d'extension d'entrées/sortie "2000 I/O".
a-2
Régulateur 2704
Supplément Traitement du vide
a.2.1. Exemple d'une chambre de vide
La figure a-1 montre la représentation schématique d'un four sous vide ou d'un sécheur par le
gel utilisant une pompe Root et une pompe à diffusion pour réaliser les différents niveaux de
vide requis. La pompe Root est utilisée pour réaliser le premier niveau de vide aux alentours
de 10-2 mBar. A ce point la pompe à diffusion s'enclenche pour retirer l'air jusqu'à
10-5 mBar environ. Les vannes utilisées en même temps que les pompes sont aussi
commandées par le régulateur 2704. Quand le vide atteint le niveau voulu, il est alors possible
de démarrer un profil de température.
Il existe d'autres variantes à ce système, par exemple une pompe cryogénique qui peut être
utilisée à la place de la pompe à diffusion avec les modifications appropriées en ce qui
concerne les conduits de tuyauterie et les vannes.
Le régulateur de traitement de vide 2704 est conçu pour une installation possèdant jusqu'à 3
jauges de mesures. Ce sont en général des jauges de vide primaire telles que Pirani ou des
jauges de vide secondaire telles que Penning ou Inverted Magnetron. Il est en général
nécessaire de couper l'alimentation de la jauge de niveau de vide le plus élevé quand le vide
se situe en dessous de sa plage de travail.
Jauge
primaire
Vanne
d'isolation
vide
secondaire
Vanne
d'extraction
primaire
Isolation
thermique
Enveloppe
froide
Jauge
annexe
Vanne
annexe
Thermocouple
Plateforme
de charge
Vanne
d'admission
d'air
Pompe
Root
Pompe à
diffusion
Eléments
chauffants
Jauge de
Chambre
(Vide
secondaire )
Jauge de
Chambre
(Vide
primaire)
Figure a-1: Représentation d'une chambre à vide
Régulateur 2704
a-3
Supplément Traitement du vide
a.3.
FONCTIONNALITES DU REGULATEUR DE TRAITEMENT
DU VIDE
Le régulateur 2704 de traitement du vide fournit des sorties tout ou rien au système de
traitement du vide, mais utilisé en même temps avec la boucle de régulation PID existante, il
offre la possibilité de réguler la température au sein d'une chambre ou d'un four . Il dispose
des caractéristiques suivantes :
1.
Commutation de la jauge de vide
2.
Jauge de vide secondaire mise sous tension que lorsqu'un niveau de vide adéquate est
atteint.
3.
Mesure de pression de la chambre de vide primaire et sortie de la consigne
4.
Entrées de l'état des jauges
5.
Détection de fuite
6.
Temporisation pour la pompe Root
7.
Calibration de la jauge
a.3.1. Consignes
Six sorties de consignes sont fournies. Elles peuvent être utilisées pour commuter des jauges
de vide ou des dispositifs externes ou pour réinitialiser des conditions internes telles que le
signal d'attente du programme de température. Chaque point de consigne peut être configuré
avec une valeur "on" et "off". Les 2 valeurs sont utilisées pour créer un hystérésis de
commutation sur la sortie consigne.
Exemple:1. Si On SP< Off SP
Sortie = Vraie si entrée < On SP
Sortie = Fausse si entrée > Off SP
2.
Si On SP > Off SP
Sortie = Vraie si entrée > On SP
Sortie = Fausse si entrée < Off SP
La figure a-2 montre le premier cas. La consigne On SP est un vide plus poussé que Off SP,
ou en d'autres termes la sortie est à On quand le vide est plus élevé que la consigne
SP On. Les valeurs de vide sont données à titre d'exemple uniquement.
Sonde Off SP exemple 1x10-2
Sens
d'augmentation
du vide
Sonde On SP e.g. 1x10-3
SP On
SP Off
Figure a-2: Etat de la sortie consigne quand On SP < Off SP
A chaque point de consigne est associé un texte Utilisateur. Il est affiché dans la boîte de
message "consigne de vide", montrée en figure a-5. Si plus d'une sortie consigne est à "On",
la boîte de messages fera défiler les messages.
a-4
Régulateur 2704
Supplément Traitement du vide
a.3.2. Jauge de vide primaire
Le bloc fonction accepte une entrée venant d'une jauge de vide primaire, typiquement utilisée
pour mesurer le vide compris entre 101 et 10-4 mBar.
Une entrée logique d'état de la jauge est aussi fournie. Quand la jauge est en mauvais état, ou
lorsque sa mesure est erronée, la sortie "défaut" du bloc fonction s'enclenche et un message de
rupture capteur est affiché.
a.3.3. Jauge de vide secondaire
Le bloc fonction accepte une entrée venant d'une jauge de vide secondaire, typiquement
utilisée pour mesurer le vide compris entre 10-2 et 10-9 mBar.
Une validation de sonde est fournie sous la forme de 2 seuils et d'une sortie logique qui
fonctionne de la même manière que la consigne décrite au §a.3.1
Quand la sonde est en mauvais état ou que la mesure de la sonde est erronée, la sortie "défaut"
du bloc fonction s'enclenche et un message de rupture capteur est affiché.
En supposant qu'un emplacement de module soit disponible, le module alimentation
transmetteur peut être utilisé pour alimenter la jauge. La jauge doit bien évidemment respecter
les spécification du module données en annexe C des manuels Utilisateur et de Configuration
du régulateur 2704.
a.3.4. Linéarisation de la jauge
Elle utilise la capacité de linéarisation des entrées analogiques décrites au chapitre 11 du
manuel de Configuration du régulateur 2704.En utilisant le logiciel de configuration iTools.
Trois courbes de linéarisation peuvent être chargées pour chaque type de sonde. La courbe
qui sera chargée doit correspondre au gaz atmosphérique utilisé. Si d'autres courbes
spécifiques sont nécessaires, contactez votre agence la plus proche pour lui donner les
caractéristiques détaillées de votre jauge.
a.3.5. Temporisation de la pompe Root
Au départ la pompe Root fonctionne pour maintenir la chambre à un niveau inférieur au
niveau initial nécessaire au démarrage de la pompe secondaire. Si le niveau de vide n'est pas
atteint en un temps prédéfini (les 2 paramètres sont réglables par l'utilisateur), le dépassement
du temps prévu déclenche une alarme.
Ce contrôle de la pompe Root peut être configurée de telle sorte que la mesure de vide utilisée
puisse provenir soit la jauge de vide primaire ou la jauge annexe.
Quand la pompe Root a démarré, l'indication PUMP TOUT (Figure a-5) clignote et continue
de clignoter jusqu'à ce que la temporisation soit terminée. Si à la fin de la temporisation le
niveau de vide requis n'est pas atteint, le message reste en permanence.
a.3.6. Détection de fuite
Les fuites des chambres de vides sont classées typiquement en deux catégories : fuites
virtuelles et fuites réelles. Une fuite virtuelle est une baisse du vide causée par un dégazage de
la pièce de travail et du matériel de la chambre, des joints…etc. Aussi, afin qu'une fuite puisse
être détectée, la réduction du vide doit être surveillée sur une période de temps durant laquelle
la pompe est arrêtée. S'il existe bien une fuite réelle, le vide continuera de baisser, alors
qu'avec une fuite virtuelle le vide semblera diminuer à une vitesse constante mais ensuite se
stabilisera.
Régulateur 2704
a-5
Supplément Traitement du vide
La détection de fuite fournit une mesure de la vitesse de variation de vide en unité de vide par
minute; elle est comparée à une vitesse de fuite acceptable après une période de temporisation
Si la vitesse de fuite n'est pas acceptable, un défaut de fuite sera indiqué en utilisant le
paramètre état de fuite Quand la mesure est effectuée, le message LEAK DET (Figure a-5)
clignote sur la page sommaire.
a.3.7. Commutation des jauges
La commutation des jauges permet à la mesure du vide de passer d'une jauge à l'autre de
manière contrôlée. Le bloc de commutation décrit au chapitre 11 du manuel de configuration
2704 réalise cette fonction. La figure 3-a donne un exemple de la manière dont les sorties
jauges, ont un rapport avec les réglages de commutation. Les valeurs de vides sont données
pour l'exemple seulement.
1.00E+1
Consigne de
validation de la
jauge
1.00E-2
1.00E-3
Zone de
fonctionnement de la
jauge primaire
Zone de commutation
Sens
d'augmenta
tion du vide
1.00E-5
Zone de
fonctionnement de la
jauge secondaire
Commutation
vide primaire
Commutation
vide secondaire
1.00E-8
Figure a-3 : Commutation de jauge
Les zones de fonctionnement de chacune des jauges doivent être choisies de façon à garantir
la mesure de la jauge. La zone de commutation doit être sélectionnée de telle sorte que les 2
lectures soient valides en même temps et que l'erreur soit minimale. La jauge secondaire doit
être validée avant le réglage du point le plus bas de commutation.
La validation de la jauge consiste en une paire de valeurs seuils 'jauge on' et 'jauge off '. Elles
doivent être choisies pour donner un hystérésis suffisant pour que la sortie jauge ait une
action décisive on/off. Les deux jauges lisent en dehors de la zone de commutation bien que
la sortie ait commutée sur l'autre jauge. La région de la jauge est généralement très non linéaire et a un fort degré d'erreur. Cette zone de fonctionnement est sélectionnée seulement si
la jauge en cours passe en rupture capteur. Les valeurs de vide minimum et maximum sont
définies sur l'étendue totale de fonctionnement des 2 jauges et déterminent l'étendue totale de
la chambre de vide.
a-6
Régulateur 2704
Supplément Traitement du vide
a.4.
CABLAGE
Le câblage du régulateur de traitement de vide dépend du nombre et du type des modules
installés. La figure a-4 montre le câblage d'un régulateur ayant la configuration suivante :
•
Entrée Mesure fixe affectée à une entrée thermocouple
•
Module Entrée mesure à l'emplacement 3 affecté à l'entrée vide secondaire
•
Module Entrée mesure à l'emplacement 4 affecté à l'entrée jauge vide annexe
•
Module Entrée mesure à l'emplacement 6 affecté à l'entrée vide primaire
•
La consigne SP 1 enclenche la pompe Root par l'intermédiaire de la sortie logique 1
•
Le relais AA contrôle l'alimentation externe de la jauge secondaire
•
Le module 1 est utilisé comme une sortie analogique pour piloter un gradateur de
puissance pour la régulation de température.
Avant d'aller plus loin, veuillez lire l'annexe B " information sur la sécurité et la
compatibilité électromagnétique" que l'on trouve dans les manuels utilisateur et de
configuration du régulateur 2704.
Pompe à
diffusion*
Jauge
annexe
Gradateur de
puissance
DO1
=SP 1
Pompe Root *
* Ces
connexions
peuvent être
faites via un
automate
b
DC
4A
1A
D1
4B
D2
4C
D3
4D
D4
5A
1B
Module 1
1C analogique
=
1D demande de
2A température
D5
D6
D7
L
HB
N
HC
HD D8
HE E1
5B
2B
5C
2C
JA AA
5D
2D
JB AB
6A
HF E2
3A
JC
AC
V1
6B
3B
JD
B
V+
6C
3C
JE
BB
V-
6D
3D
JF
BC
VH
Alimentation
Module
5 relais
= Diff
pompe
on/off
HA
Jauge vide
primaire
Jauge vide
secondaire
Relais AA =
Consigne 6
pour commuter
l'alimentation
sur la jauge de
vide secondaire
on/off
Alimentation
Figure a-4: Exemple de câblage
Régulateur 2704
a-7
Supplément Traitement du vide
a.5.
MISE SOUS TENSION
Installer et câbler le régulateur selon les types de modules présents et la configuration du
régulateur puis mettre sous tension. Une séquence rapide d'auto-tests prend place durant
laquelle l'identification du régulateur est affichée en même temps que son numéro de version
soft. Pour un régulateur de traitement de vide, le numéro de version soft doit être supérieur à
3.0.
Barre d'état
Unités mBAR
Barregraphe de
vide
Sens d'augmentation du vide
SP1 à SP6 montre l'état des
6 consignes
ERR = défaut chambre
Deuxième
afficheur (si
configuré)
GON = Jauge vide
secondaire on
Boîte de
message
consigne
PUMP TOUT = Alarme de
temporisation de la pompe
LEAK DET = Alarme de
détection de fuite
La touche de sélection de la boucle valide
l'affichage des autres boucles (voir manuel
d'installation d'utilisation)
Figure a-5 Vue Opérateur
Cet afficheur est configurable par l'utilisateur. Les points suivants peuvent différer sur votre
régulateur.
Vide de la chambre
Texte de la chambre
Deuxième afficheur
Résolution
Temporisation de la
pompe
Détection de fuite
a-8
Sortie commutation ou sorties vide primaire
Sélectionné à partir d'un texte utilisateur
Seulement montré si une deuxième fonction est configurée par
exemple régulation de température
Le point décimal peut être sélectionné en fonction des besoins
Seulement visible si configurée, (Vacuum Select ≠ None, Tableau
a.7.6.)
Seulement visible si configurée, (Vacuum Select ≠ None, Tableau
a.7.7.)
Régulateur 2704
Supplément Traitement du vide
a.6. FONCTIONNEMENT
Sur un nouvel appareil, le régulateur de vide peut seulement fonctionner au niveau 3. Pour
entrer au niveau 3, voir chapitre 4 du manuel d'installation et d'utilisation ou de configuration
du régulateur 2704.
Toutefois il est possible de mettre en niveau 1 les paramètres très souvent utilisés. Si cela a été
fait le principe de l'opération au niveau 1 est le même que celui décrit ci-dessous. Pour mettre
les paramètres en niveau 1, se référer au chapitre 5 du manuel de configuration du 2704.
a.6.1. Accès aux paramètres de traitement du vide
Les paramètres de traitement du vide sont regroupés sur une page principale exactement de la
même manière que les autres paramètres.
Action
1.
Affichage qui doit
apparaître
Remarques
Depuis n'importe quel
affichage, appuyer sur
autant de fois que
nécessaire pour afficher le
menu des têtes de chapitres
2. Appuyer sur
ou
pour sélectionner ‘VIDE’
3. Appuyer sur
pour
afficher les sous-pages
Les paramètres sont
regroupés par thème
dans des sous-listes
4. Appuyer sur
ou
pour scruter la liste des sous
pages et sélectionner celle
désirée.
5.
Appuyer sur
pour
afficher la liste des
paramètres
6.
Appuyer sur
ou
pour scruter la liste des
paramètres associés au
thème choisi
7.
Appuyer sur
ou
pour aller au paramètre
voulu
8.
Appuyer sur
pour
souligner le paramètre
voulu
9.
Appuyer sur
ou pour
changer sa valeur
Régulateur 2704
Jauge vide secondaire
Jauge vide primaire
Jauge annexe
Commutation jauge
Consigne
Contrôle de pompe
Détection de fuite
Affichage
Ces paramètres sont
listés en paragraphe a.7.
Modification d'une valeur
de paramètre
a-9
Supplément Traitement du vide
a.7. TABLES DES PARAMETRES
Les tables suivantes listent tous les paramètres qui sont disponibles à tous les niveaux (niveau
configuration inclus).
Ils sont accessibles en utilisant la procédure décrite dans le paragraphe précédent.
a.7.1. Paramètres vide secondaire
Numéro de
table:
a.7.1.
Nom du
paramètre
Jauge Src
Jauge Val
Status Src
Status Val
Valid. Vide Src
Dévalidé à (Jauge
Off)
Validé à
(Jauge On)
Etat Jauge
Jauge Nom
a-10
Ces paramètres permettent de régler et de
configurer les paramètres de la jauge de vide
secondaire. Voir aussi § a.3.3.
Description du
paramètre
Source à partir de laquelle la
jauge de vide secondaire
est câblée
Valeur lue par la jauge de
vide secondaire
Source à partir de laquelle
l'état de la jauge est câblée
Condition de l'état
Valeur
High Vacuum
ou utiliser
une
dénomination
personnalisée
Défaut
d'accès
Config
Adresse
Modbus
Etendue
d'affichage du
vide
Adresse
Modbus
Correct
Incorrect
Niveau
Néant
3
Lecture
seule
Config
Néant
3
Lecture
seulement
3
Choix de la Jauge servant
de référence pour autoriser
la mise en service de la
jauge secondaire
Valeur à partir de laquelle la
jauge de vide secondaire
est
commutée à l'état off
Valeur à partir de laquelle la
jauge de vide secondaire
est
commutée à l'état on
Sortie consigne de la jauge
de vide secondaire
Adresse
Modbus
Validée
Invalidée
Invalidée
Nom défini par l'utilisateur
pour la jauge de vide
secondaire
Usr 01 to 50
Texte
par
défaut
Etendue
d'échelle du
vide
3
Etendue
d'échelle du
vide
3
3
Lecture
seulement
Config
Régulateur 2704
Supplément Traitement du vide
a.7.2. Paramètres vide primaire
Numéro de
table:
a.7.2.
Nom du
paramètre
Jauge Src
Jauge Val
Status Src
Status Val
Jauge Nom
Ces paramètres vous permettent de régler
et configurer les paramètres de la jauge de
vide primaire. Voir aussi § a.3.2.
Description du
paramètre
Source à partir de laquelle la
jauge de vide primaire est
câblée
Valeur lue par la jauge de
vide primaire
Valeur
Vide Primaire
ou utiliser
une
dénomination
personnalisée
Défaut
Adresse
Modbus
Etendue
d'échelle du
vide primaire
Source à partir de laquelle
l'état de la jauge est câblé
Condition de l'état
Adresse
Modbus
Correct
Incorrect
Néant
Un nom défini par l'utilisateur
pour la jauge de vide
secondaire
Usr 01 to 50
Texte
par
défaut
Niveau
d'accès
Config
3
lecture
seulement
Config
3
lecture
seulement
3
a.7.3. Paramètres de vide annexe
Numéro de
table:
a.7.3.
Nom du
paramètre
Jauge Src
Jauge Val
Status Src
Status Val
Jauge Name
Régulateur 2704
Ces paramètres permettent de régler et
configurer
les paramètres de la jauge annexe
Description du
paramètre
Source à partir de laquelle la
jauge annexe est câblée
Valeur lue par la jauge
annexe
Valeur
Vide Annexe
ou utiliser
une
dénomination
personnalisée
Défaut
Adresse
Modbus
Etendue
d'échelle du
vide
Source à partir de laquelle
l'état de la jauge est câblé
Condition de l'état
Adresse
Modbus
Correct
Incorrect
Néant
Un nom défini par l'utilisateur
pour la jauge annexe
Usr 01 to 50
Texte
par
défaut
Niveau
d'accès
Config
3
lecture
seulement
Config
3
lecture
seulement
3
a-11
Supplément Traitement du vide
a.7.4. Paramètres de commutation des jauges
Numéro de
table:
a.7.4.
Nom du
paramètre
Active Jauge
Description du
paramètre
Indique active sélectionnée
Min Vide
Max Vide
Commut. Vide Bas
Affichage haut
Affichage bas
Commutation
Voir Figure
au de la du
a3
point haut
Commutation
Voir Figure
au de la du
a3
point bas
Validation de la commutation
de la jauge
Vide en cours de la
chambre
Commut. Vide H- aut
Valid. Commutat-ion
Vide Enceinte
Op Status
Changt Jauges
ou utiliser une
dénomination
personnalisée
Ces paramètres vous permettent de régler
et configurer les paramètres de la jauge de
vide primaire. Voir aussi § a.3.7.
Etat de la jauge
Valeur
Défaut
High Vac
Low Vac
Both
Etendue
D'affichage
Du vide
Niveau
d'accès
3
Lecture
seulement
3
3
3
3
Off
On
Etendue
d'affichage du
vide
Correct
Incorrect
Off
3
3 Lecture
seulement
3 Lecture
seulement
a.7.5. Paramètres de consigne
Numéro de
table:
a.7.5.
Ces paramètres vous permettent de régler
et configurer les 6 consignes. Voir aussi §
a.3.1.
Nom du
paramètre
Sel Consigne 1
Description du
paramètre
Sélectionne la source de la
valeur du vide pour la
consigne SP1
Consigne 1 Off
Valeur de commutation de la
sortie à off
Valeur de commutation de la
sortie à on
Valeur actuelle de la sortie
consigne 1
Nom de la consigne 1
Consigne 1 On
Consigne 1 Out
Consigne 1 Str
Valeur
None
Low Vac
High Vac
Backing Vac
Chamber Vac
Etendue
d'affichage
du vide
Off
On
Usr 01 to 50
Consigne ou
utiliser une
dénomination
personnalisée
Défaut
Néant
Niveau
d'accès
3
3
3
Texte
par
défaut
3 Lecture
seulement
Config
Les paramètres ci-dessus sont répétés pour les consignes 2 à 6
a-12
Régulateur 2704
Supplément Traitement du vide
a.7.6. Paramètres de contrôle de la pompe
Numéro de
table:
a.7.6.
Ces paramètres vous permettent de régler et
configurer les paramètres pompe tels que la
temporisation. Voir aussi § a.3.5
Nom du
paramètre
Sel. Jauge Src
Description du
paramètre
Sélection de la Jauge de
vide prise en référence
pour le contrôle de la
pompe
Pompe On Src
Sélectionne la source qui
commute la pompe à on
Pour commuter la pompe
à on
Réglage de la
temporisation de la pompe
Temps restant
Val Pompe On
TimeOut Pomp R
Tps Restant
Cons Pompe R
Status Pompe R
Réglage du niveau de vide
à atteindre avant de
déclencher l'alarme
Etat du contrôle de
Temporisation de la
pompe
Contrôle de
pompe
Valeur
Défaut
Sans
Vide Primaire
Vide Fin (Secd)
Vide Annexe
Vide Enceinte
Adresse
Modbus
No
Yes
0:00:00.0
Néant
0:00:00.0
Etendue du
vide
Niveau
d'accès
3
Config
No
3
0:00:0
0.0
1
1 Lecture
seulement
1
0.000
E+0
Correct
Incorrect
3
a.7.7. Paramètres de détection de fuite
Numéro de
table:
a.7.7.
Ces paramètres vous permettent de régler et
configurer les critères de sélection de fuite. Voir
aussi § a.3.6.
Nom de
paramètre
Select Jauge
Description de
paramètre
Sélection de la source du
vide
Vitesse Vide
Status Fuite
Vitesse de variation du
vide
Niveau Max tolérable de
vitesse de fuite
Commutation de la pompe
à off durant la détection de
fuite
Détection de fuite
Test Fuite Src
Source du test de fuite
Tst Fuite Départ
Démarrage du test de fuite
Tst Fuite Durée
Réglage du temps de test
de fuite
Temps de fuite restant
Seuil Evol.Max
Pompe Off
Tps Restant
Régulateur 2704
Valeur
Détection de
fuite
Défaut
Sans
Vide Primaire
Vide Fin (Secd)
Vide Annexe
Vide Enceinte
Etendue
d'affichage du
vide
None
Off
On
Off
Off
On
Adresse
Modbus
No
Yes
0:00:00.0
0:00:00.0
0.00E+0
0.00E+0
Niveau
d'accès
Config
3 Lecture
seulement
3
3 Lecture
seulement
3 Lecture
seulement
Config
No
3
0:00:00.
0
3
3 Lecture
seulement
a-13
Supplément Traitement du vide
a.7.8. Paramètres d'affichage du vide
Numéro de
table
Ces paramètres permettent de régler l'affichage
général du vide. Voir aussi a.5.
Affichage
a.7.8.
Nom du
paramètre
Aff. 2ème Mes
2ème Mes.
ème
2
Mes Src
2ème Mes Nom
Résolution
Description du paramètre
Valeur
Configuration du 2ème
afficheur
Valeur en cours de la 2ème
mesure affichée
Configuration de la source
de la valeur apparaissant
sur le 2ème afficheur
Configuration d'un nom
défini par l'utilisateur pour le
2ème afficheur
Configuration de la
résolution de l'affichage
Oui
Non
Etendue
d'affichage
Adresse
Modbus
Unité
Configuration des unités du
vide
Défaut Enceinte
Défaut de la chambre
déterminé par OU cablé de
l'état de chaque jauge
Vide actuel de la chambre
Vide Enceinte
Vide Graph Lo
Point pour misse à l'échelle
du graphe
Vide Graph Hi
Point bas pour mise à
l'échelle du graphe
Enceinte Nom
Nom défini par l'utilisateur
pour la chambre
Usr 01 à 50
Défaut
Niveau
d'accès
Config
3
Config
Texte
par
défaut
Config
XXXXX
XXXX.X
XXX.XX
XX.XXX
X.XXXX
SCI = 0.00E+0
mbar
mmHg
psi
bar
Correct
Incorrect
Config
Etendue
d'affichage du
vide
Etendue
d'affichage du
vide
Etendue
d'affichage du
vide
Usr 01 à 50
3 Lecture
seulement
Config
3 Lecture
seulement
3 Lecture
seulement
3 Lecture
seulement
Texte
par
défaut
Config
Note:- le texte en italique est le texte par défaut qui peut être changé par l'utilisateur.
a-14
Régulateur 2704
Supplément traitement du vide
a.8. NIVEAU DE CONFIGURATION
En mode configuration, vous pouvez choisir la manière dont vous voulez que votre régulateur
fonctionne, le format d'affichage opérateur, le nom de l'enceinte de vide en utilisation et les
noms des jauges. Les paramètres disponibles ont déjà été données dans les tables précédentes.
Ce paragraphe inclut quelques exemples de configuration d'un régulateur de traitement du vide.
a.8.1. Configuration de la page Sommaire du vide comme page
d'accueil
La page sommaire du vide , montrée en figure a-5, peut être configurée pour être la première
page à la mise sous tension du régulateur ou lorsque l'on entre un nouveau niveau d'accès à
partir du mode configuration.
Action
1.
Affichage qui doit
apparaître
Remarques
Depuis cette vue, appuyer
autant de fois que
sur
nécessaire pour accéder
au menu des têtes de
chapitres.
2.
Appuyer sur
ou
pour sélectionner
‘INSTRUMENT’
3.
Appuyer sur
pour
sélectionner les sous
chapitres
4.
Appuyer sur
ou
pour atteindre ‘Affichage’
5.
pour
Appuyer sur
entrer la liste des
paramètres affichage
/Appareil
(‘INSTRUMENT/Affichage’)
6.
Appuyer sur
ou
pour atteindre la page
d'accueil( ‘Home Page’)
ou ('Page de Repos')
7.
Appuyer sur
pour
souligner le paramètre
8.
Appuyer sur
ou
pour sélectionner
‘Vacuum’
Note:
Le bloc "vide" peut être
validé ou invalidé dans le
menu
INSTRUMENT/Options.
S'il est invalidé, aucun des
paramètres de vide
n'apparaît.
Manuel supplément Traitement du vide - HA 027186 - Indice 1.0 - 06/01
a-15
Supplément Traitement du vide
a.8.2. Personnalisation de la page sommaire du vide
La page sommaire du vide peut être personnalisée en utilisant les paramètres listés au tableau a.7.8.
Action
1.
Affichage qui doit
apparaître
Remarques
Sélectionnez la page
affichage du vide
VIDE/Affichage comme
décrit au § a.6.1.
2. Appuyer sur
pour
entrer dans la liste des
paramètres.
3.
pour
Appuyer sur
sélectionner ‘Aff.2ème Mes’
4.
Appuyer sur
ou
pour choisir ‘Oui’ ou ‘Non’
5.
Appuyer sur
pour
afficher ‘2ème Mes Src’
6.
Appuyer sur
ou
pour choisir la source de la
seconde valeur.
7.
Appuyer sur
atteindre ‘Unité’
8.
Sélection de la 2ème Mesure
Si 'Yes' est sélectionné la
vue Opérateur affichera
le second affichage,
comme monté en figura
a-5
Sélection de la source
du 2ème affichage
ou pour Sélection des unités du vide
ou
Appuyer sur
pour sélectionner les unités
qui seront affichées sur le
barregraphe d'état.
La valeur qui sera
affichée sur la page
sommaire du vide provient
de l'entrée PV.
Dans les exemples
donnés dans ce manuel, il
s'agit de la température de
la chambre.
Note:
Dans la version soft
actuelle de l'appareil, il
n'y a pas de mise à
l'échelle des unités.
Voir § a.9.2. pour une
explication de la
procédure à suivre
pour réaliser cela.
Les unités qui peuvent
être sélectionnées sont :
mmHg, psi, bar, mbar,
D'autres paramètres peuvent être personnalisés dans l'affichage du sommaire :
Un nom pour le 2ème affichage, choisi par l'utilisateur
L'affichage de la résolution des valeurs
Un nom de l'enceinte, personnalisé par l'utilisateur
a-16
Régulateur 2704
Supplément Traitement du vide
a.8.3. Bloc fonction Traitement du vide
Une description des blocs fonction est donnée au chapitre 2 du manuel de configuration du
régulateur 2704. Le bloc fonction du traitement du vide est donné ci-dessous en figure a-6 et
permet à l'utilisateur d'effectuer le câblage soft vers d'autres dispositifs à l'intérieur du
régulateur afin de réaliser une stratégie de contrôle indépendante.
Bloc "Vide"
Jge Secnd Src
Pomp OFF
Status Src
Valid Vide Src
Consigne 1 Out
Jge Prim Src
Status Src
Jge Annxe Src
Status Src
Consigne 6 Out
Pomp R Status
2ème Mes Src
Enceinte Défaut
Pompe On Src
OP Status
Tst Fuite Src
Figure a-6 Bloc fonction "Vide"
Régulateur 2704
a-17
Supplément Traitement du vide
a.9.
EXEMPLES DE CABLAGE DE REGULATEUR DE
TRAITEMENTDU VIDE
Le bloc fonction du vide peut être câblé de manière interne par soft pour contrôler des
applications spécifiques. Le câblage soft est décrit en chap. 3 du manuel de configuration.
a.9.1. Régulation d'une température simple et du vide
L'exemple suivant est donné pour montrer le principe de câblage entre les blocs fonction. Il n'est pas
nécessairement conçu pour être une solution complète à une application.
Le bloc fonction du vide a des entrées reliées à 3 jauges de vide. Le nombre de sorties disponibles est tel
que défini dans les tables de paramètres. Cet exemple montre le câblage à partir de 3 des sorties consignes
et d'une sortie logique destinée à désactiver la pompe. Cet exemple correspond au schéma de câblage
physique, figure a-4. Le principe de câblage des autres sorties est le même. Un bloc de régulation PID est
utilisé pour le contrôle de la température ; il reçoit une consigne venant d'un bloc fonction programme. La
sortie du bloc PID contrôle en général une sortie analogique qui pilote une unité de puissance à
thyristors. D'autres exemples de câblage de blocs PID sont données dans le manuel de configuration .
Module 6A
Sorties logiques
Bloc "Vide"
Jge Prim Src
Consigne 1 Out
Mod6A Val
Status Src
04948
Module 3A
Mod3A Val
04468
Jge Secnd Src
Status Src
Consigne 5 Out
Sortie relais AA
Jge Annxe Src
Consigne 6 Out
Wire Src
Status Src
Pomp R Status
Valid Vide Src
2ème Mes Src
Module 4A
Mod4A Val
04628
Wire Src DO1
Consigne 2 Out 06657
Consigne 3 Out
06677
Consigne 4 Out
Pumpe On Src
Tst Fuite Src
Enceinte Défaut
06707
Sortie
Module 5A
Wire Src
OP Status
Pompe OFF
06773
Bloc programmateur
PV1 Src
PSP1 Reset Src
WaitA Src
PSP1
Les nombres en italiques sont les adresses Modbus
à partir desquelles le câblage est effectué.
Bloc contrôle boucle 1
Prog Setpoint
PSP1 Reset Src
06773
CH1 OP
Sortie Module 1A
Wire Src
CH2 OP 00013
Figure a-7: Exemple de câblage de contrôle vide/température
a-18
Régulateur 2704
Supplément Traitement du vide
a.9.1.1. Mise en oeuvre
1. Dans la page VIDE/VIDE Primaire
(Tableau a.7.2)
Régler ’Jauge Src’ = 04948: Mod6A.Val
Cela connecte la jauge de vide primaire,
connectée à l'entrée du module 3 à la source de
la jauge de vide primaire.
2. Dans la page VIDE/VIDE Secondaire
(Tableau a.7.1)
Régler ’Jauge Src’ = 04468: Mod3A.Val
Cela connecte la jauge de vide secondaire,
connectée à l'entrée du module 6 à la source de
de la jauge de vide secondaire.
3. Dans la page VIDE/VIDE Annexe
(Table a.7.3)
Régler ’Jauge Src’ = 04628: Mod4A.Val
Cela connecte la jauge de vide annexe,
connectée à l'entrée du module 4 à la source de
la jauge de vide secondaire.
4. Dans la page E/E STANDARD/Dig IO
1 (Voir manuel de configuration,
Tableau 17.5.1)
Régler ’Channel Type’ = On/Off
régler ‘Wire Src’ = 06657
Cela configure Dig IO1 en sortie digitale et la
connecte à la sortie consigne 1.
5. Dans la page STANDARD IO/AA
Relais (Voir manuel de configuration,
Tableau 17.4.1)
Régler ’Channel Type’ = On/Off
régler ‘Wire Src’ = 06707
Cela configure le relais AA en sortie on/off et
le connecte à sa sortie consigne 6.
6. Dans la page MODULE IO/Module 5A
(Voir manuel de configuration, Tableau
18.4.2)
Régler ’Channel Type’ = On/Off
régler ‘Wire Src’ = 06773
Cela configure le module 5 relais en sortie
on/off et le connecte à la sortie désactivation
de la pompe.
7. Dans la page LP1 Config/Options
(Voir manuel de configuration ,
Tableau 9.9.1)
Régler ’Prog Setpoint’ = PSP1
régler ‘Wire Src’ = 06773
Connecter PSP1 pour qu'il devienne la
consigne programme de la boucle 1.
8. Dans la page MODULE E/S/Module
1A (Voir manuel de configuration,
Tableau 18.4.1)
Régler ’Type de Voie’ = Volts (or mA)
régler ‘Wire Src’ = 00013:L1.Ch1.OP
Cela configure le module 1 de sortie
analogique en sortie Volts ou mA et le
connecte à la sortie PID de la boucle 1.
9. Dans la page PROGRAM
EDIT/Cablage Page (Tableau a.7.2)
Régler ‘WaitA Src’ = 06677
Cela connecte la sortie de la consigne 3 à
l'entée Wait A du bloc programmateur.
Régulateur 2704
a-19
Supplément Traitement du vide
a.9.2. Mise à l'échelle de la lecture du vide dans d'autres unités
Les unités de vide dans la version soft couverte par ce supplément sont en mBar seulement.
Pour mettre à l'échelle dans d'autres unités, il faut utiliser les opérateurs analogiques décrits
au chapitre 14 du manuel de configuration du régulateur 2704.
Dans un système à 2 jauges, il est nécessaire de mettre à l'échelle les 2 jauges de manière
indépendante. Dans un système à une seule jauge, la jauge de vide primaire est prise comme
référence.
L'exemple suivant montre un système à 2 jauges, dont le câblage est identique à celui décrit
au § a.9.1. La conversion des unités se fera de mBar à mmHg, où 1mmHg = 1.333mbar
04948
Module
6A
* User
Value 1 set
to 1.333
Opérateur
analogique 1
(divise)
Commu
tation
jauge
Vide
chambre
06178
Opérateur
analogique 2
(divise)
* Valeur
utilisateur
1 réglée à
1.333
Jauge
Vide
secondaire
09220
04468
Module
3A
06158
09220
Jauge
Vide
primaire
Jauge
simple
Les nombres en italique sont les
adresses Modbus à partir des quelles
le câblage est effectué.
* Les valeurs Utilisateurs séparées
peuvent être remplacées en réglant la
mise à l'échelle de l'entrée à la valeur
appropriée (0,75 dans l'exemple)
Figure a-8 Mise à l'échelle de unités dans un système à 2 jauges
a-20
Régulateur 2704
Supplément Traitement du vide
a.9.2.1. Mise en oeuvre
1.
A la page VAR. INTERNES/Val Var
1* (Chapitre 13 du manuel de
configuration 2704)
* ou bien utiliser n'importe quelle valeur
utilisateur non utilisée.
Régler ’Résolution’ = X.XXXX
régler ’Valeur’ = 1.333
(Il peut être > 1.333)
2.
Régler ’Input 2 Src’ = 09220: UVal1.Val
La touche LOOP copiera cette valeur à partir
de la procédure de copie précédente.
Régler ‘Input 1 Src’ = 04948: Mod6A.Val
Régler ‘Opération’ = Divide
Ceci a pour effet de diviser le signal de la
jauge haut naive par 1.333 pour le convertir
en mmHg.
Régler ‘Opération’ = Divide
régler ’Input 1 Src’ = 04468: Mod3A.Val
set ’Input 2 Src’ = 09220: Uval1.Val
Ceci a pour effet de diviser le signal de la
jauge bas niveau par 1.333 pour le convertir
en mmHg.
Régler ’Jauge Src’ = 06158 AnOp1.OP
Ceci a pour effet de connecter la mesure (PV)
de la jauge secondaire à partir de la sortie
opérateur analogique 1.
A la page OPER ANALOGIQUES/An
1* (Chapitre 13 du manuel de
configuration 2704)
* Ou bien utiliser n'importe quelle valeur
analogique opérateur non utilisée.
3.
A la page OPER ANALOGIQUES /An
2* (Chapitre 13 du manuel de
configuration 2704)
* Ou bien utiliser n'importe quelle valeur
analogique opérateur non utilisée.
Copier l'adresse Modbus de ce paramètre en
appuyant sur MAN
4.
A la page VIDE/VIDE Secondaire
(Tableau a.7.1.)
5.
A la pageVIDE/ VIDE Primaire
(Tableau a.7.2.)
Régler ’Jauge Src’ = 06178 AnOp2.OP
Ceci a pour effet de connecter la mesure (PV)
de la jauge primaire à partir de la sortie
opérateur analogique 2.
6.
A la page VIDE/Affichage (Tableau
a.7.8.)
Régler ‘Unité’ = mmHg
Ceci a pour effet de configurer les unités
données sur le bandeau en mmHg.
Le texte écrit en italique peut être
personnalisé par l'opérateur.
Régulateur 2704
a-21
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DANEMARK
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Manuel Additif 2704 pour le traitement du vide
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