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05/06/01 11:08 Page 1 EUROTHERM 2704 COUVER2704VideFRA Régulateur Manuel Additif Traitement du vide FRA Supplément traitement du vide A. SUPPLÉMENT 1 RÉGULATEUR TRAITEMENT DU VIDE.............................................................................. 2 a.1. a.2. a.2.1. a.3. a.3.1. a.3.2. a.3.3. a.3.4. a.3.5. a.3.6. a.3.7. a.4. a.5. a.6. a.6.1. a.7. a.7.1. a.7.2. a.7.3. a.7.4. a.7.5. a.7.6. a.7.7. a.7.8. a.8. a.8.1. a.8.2. a.8.3. a.9. a.9.1. a.9.2. INTRODUCTION............................................................................. 2 QU'EST CE QU'UN REGULATEUR DE TRAITEMENT DE VIDE?2 Exemple d'une chambre de vide..................................................... 3 FONCTIONNALITES DU REGULATEUR DE TRAITEMENT DU .. VIDE ................................................................................................ 4 Consignes ....................................................................................... 4 Jauge de vide primaire.................................................................... 5 Jauge de vide secondaire ............................................................... 5 Linéarisation de la jauge ................................................................. 5 Temporisation de la pompe Root.................................................... 5 Détection de fuite ............................................................................ 5 Commutation des jauges ................................................................ 6 CABLAGE ...................................................................................... 7 MISE SOUS TENSION ................................................................... 8 FONCTIONNEMENT ...................................................................... 9 Accès aux paramètres de traitement du vide.................................. 9 TABLES DES PARAMETRES ..................................................... 10 Paramètres vide secondaire ......................................................... 10 Paramètres vide primaire .............................................................. 11 Paramètres de vide annexe .......................................................... 11 Paramètres de commutation des jauges ...................................... 12 Paramètres de consigne ............................................................... 12 Paramètres de contrôle de la pompe............................................ 13 Paramètres de détection de fuite .................................................. 13 Paramètres d'affichage du vide..................................................... 14 NIVEAU DE CONFIGURATION ................................................... 15 Configuration de la page Sommaire du vide comme page d'accueil ........................................................................................ 15 Personnalisation de la page sommaire du vide ............................ 16 Bloc fonction Traitement du vide................................................... 17 EXEMPLES DE CABLAGE DE REGULATEUR DE ...................... TRAITEMENTDU VIDE ................................................................ 18 Régulation d'une température simple et du vide........................... 18 Mise à l'échelle de la lecture du vide dans d'autres unités ........... 20 Manuel supplément Traitement du vide - HA 027186 - Indice 1.0 - 06/01 a-1 Supplément Traitement du vide a. Supplément 1 Régulateur Traitement du vide a.1. INTRODUCTION Le but de cet additif est de décrire l'utilisation et la configuration du régulateur 2704 équipé du bloc fonction "traitement du vide". Cet additif doit être utilisé en complément du manuel Utilisateur HA 026502FRA et du Manuel Configuration HA026933FRA. Cela suppose également que l'utilisateur est familiarisé avec la mesure et la production du vide. a.2. QU'EST CE QU'UN REGULATEUR DE TRAITEMENT DE VIDE? Le régulateur 2704 de traitement de vide est conçu pour un nombre varié d'applications comprenant : • Fours de fonderie et de moulage • Fours de recuit et de cintrage • Fours de brasage/CVD • Séchoir par congélation • Fours de diffusion /MBE • Autoclaves Il peut être utilisé pour le contrôle du vide seulement et peut être fourni pour utilisation avec une jauge de vide ou avec 3 jauges. Le bloc fonction "Vide" peut être utilisé en même temps qu'une autre boucle de régulation (une boucle de température, par exemple) au sein d'un même appareil. Les entrées et sorties analogiques et logiques sont disponibles dans le régulateur en tant qu'entrées et sorties fixes et sur les modules embrochables comme décrits dans les manuels cités ci-dessus. Note: • Pour la mesure de température utiliser l'entrée standard PV (Bornes V- à VH) ou le module d'entrée mesure PV (HA 026359) • Pour la mesure du vide utiliser l'entrée standard PV , le module d'entrée mesure PV ou le module d'entrée analogique ( HA026686). • Les entrées/sorties analogiques et logiques peuvent être réalisées en utilisant d'autres modules embrochables ou une unité d'extension d'entrées/sortie "2000 I/O". a-2 Régulateur 2704 Supplément Traitement du vide a.2.1. Exemple d'une chambre de vide La figure a-1 montre la représentation schématique d'un four sous vide ou d'un sécheur par le gel utilisant une pompe Root et une pompe à diffusion pour réaliser les différents niveaux de vide requis. La pompe Root est utilisée pour réaliser le premier niveau de vide aux alentours de 10-2 mBar. A ce point la pompe à diffusion s'enclenche pour retirer l'air jusqu'à 10-5 mBar environ. Les vannes utilisées en même temps que les pompes sont aussi commandées par le régulateur 2704. Quand le vide atteint le niveau voulu, il est alors possible de démarrer un profil de température. Il existe d'autres variantes à ce système, par exemple une pompe cryogénique qui peut être utilisée à la place de la pompe à diffusion avec les modifications appropriées en ce qui concerne les conduits de tuyauterie et les vannes. Le régulateur de traitement de vide 2704 est conçu pour une installation possèdant jusqu'à 3 jauges de mesures. Ce sont en général des jauges de vide primaire telles que Pirani ou des jauges de vide secondaire telles que Penning ou Inverted Magnetron. Il est en général nécessaire de couper l'alimentation de la jauge de niveau de vide le plus élevé quand le vide se situe en dessous de sa plage de travail. Jauge primaire Vanne d'isolation vide secondaire Vanne d'extraction primaire Isolation thermique Enveloppe froide Jauge annexe Vanne annexe Thermocouple Plateforme de charge Vanne d'admission d'air Pompe Root Pompe à diffusion Eléments chauffants Jauge de Chambre (Vide secondaire ) Jauge de Chambre (Vide primaire) Figure a-1: Représentation d'une chambre à vide Régulateur 2704 a-3 Supplément Traitement du vide a.3. FONCTIONNALITES DU REGULATEUR DE TRAITEMENT DU VIDE Le régulateur 2704 de traitement du vide fournit des sorties tout ou rien au système de traitement du vide, mais utilisé en même temps avec la boucle de régulation PID existante, il offre la possibilité de réguler la température au sein d'une chambre ou d'un four . Il dispose des caractéristiques suivantes : 1. Commutation de la jauge de vide 2. Jauge de vide secondaire mise sous tension que lorsqu'un niveau de vide adéquate est atteint. 3. Mesure de pression de la chambre de vide primaire et sortie de la consigne 4. Entrées de l'état des jauges 5. Détection de fuite 6. Temporisation pour la pompe Root 7. Calibration de la jauge a.3.1. Consignes Six sorties de consignes sont fournies. Elles peuvent être utilisées pour commuter des jauges de vide ou des dispositifs externes ou pour réinitialiser des conditions internes telles que le signal d'attente du programme de température. Chaque point de consigne peut être configuré avec une valeur "on" et "off". Les 2 valeurs sont utilisées pour créer un hystérésis de commutation sur la sortie consigne. Exemple:1. Si On SP< Off SP Sortie = Vraie si entrée < On SP Sortie = Fausse si entrée > Off SP 2. Si On SP > Off SP Sortie = Vraie si entrée > On SP Sortie = Fausse si entrée < Off SP La figure a-2 montre le premier cas. La consigne On SP est un vide plus poussé que Off SP, ou en d'autres termes la sortie est à On quand le vide est plus élevé que la consigne SP On. Les valeurs de vide sont données à titre d'exemple uniquement. Sonde Off SP exemple 1x10-2 Sens d'augmentation du vide Sonde On SP e.g. 1x10-3 SP On SP Off Figure a-2: Etat de la sortie consigne quand On SP < Off SP A chaque point de consigne est associé un texte Utilisateur. Il est affiché dans la boîte de message "consigne de vide", montrée en figure a-5. Si plus d'une sortie consigne est à "On", la boîte de messages fera défiler les messages. a-4 Régulateur 2704 Supplément Traitement du vide a.3.2. Jauge de vide primaire Le bloc fonction accepte une entrée venant d'une jauge de vide primaire, typiquement utilisée pour mesurer le vide compris entre 101 et 10-4 mBar. Une entrée logique d'état de la jauge est aussi fournie. Quand la jauge est en mauvais état, ou lorsque sa mesure est erronée, la sortie "défaut" du bloc fonction s'enclenche et un message de rupture capteur est affiché. a.3.3. Jauge de vide secondaire Le bloc fonction accepte une entrée venant d'une jauge de vide secondaire, typiquement utilisée pour mesurer le vide compris entre 10-2 et 10-9 mBar. Une validation de sonde est fournie sous la forme de 2 seuils et d'une sortie logique qui fonctionne de la même manière que la consigne décrite au §a.3.1 Quand la sonde est en mauvais état ou que la mesure de la sonde est erronée, la sortie "défaut" du bloc fonction s'enclenche et un message de rupture capteur est affiché. En supposant qu'un emplacement de module soit disponible, le module alimentation transmetteur peut être utilisé pour alimenter la jauge. La jauge doit bien évidemment respecter les spécification du module données en annexe C des manuels Utilisateur et de Configuration du régulateur 2704. a.3.4. Linéarisation de la jauge Elle utilise la capacité de linéarisation des entrées analogiques décrites au chapitre 11 du manuel de Configuration du régulateur 2704.En utilisant le logiciel de configuration iTools. Trois courbes de linéarisation peuvent être chargées pour chaque type de sonde. La courbe qui sera chargée doit correspondre au gaz atmosphérique utilisé. Si d'autres courbes spécifiques sont nécessaires, contactez votre agence la plus proche pour lui donner les caractéristiques détaillées de votre jauge. a.3.5. Temporisation de la pompe Root Au départ la pompe Root fonctionne pour maintenir la chambre à un niveau inférieur au niveau initial nécessaire au démarrage de la pompe secondaire. Si le niveau de vide n'est pas atteint en un temps prédéfini (les 2 paramètres sont réglables par l'utilisateur), le dépassement du temps prévu déclenche une alarme. Ce contrôle de la pompe Root peut être configurée de telle sorte que la mesure de vide utilisée puisse provenir soit la jauge de vide primaire ou la jauge annexe. Quand la pompe Root a démarré, l'indication PUMP TOUT (Figure a-5) clignote et continue de clignoter jusqu'à ce que la temporisation soit terminée. Si à la fin de la temporisation le niveau de vide requis n'est pas atteint, le message reste en permanence. a.3.6. Détection de fuite Les fuites des chambres de vides sont classées typiquement en deux catégories : fuites virtuelles et fuites réelles. Une fuite virtuelle est une baisse du vide causée par un dégazage de la pièce de travail et du matériel de la chambre, des joints…etc. Aussi, afin qu'une fuite puisse être détectée, la réduction du vide doit être surveillée sur une période de temps durant laquelle la pompe est arrêtée. S'il existe bien une fuite réelle, le vide continuera de baisser, alors qu'avec une fuite virtuelle le vide semblera diminuer à une vitesse constante mais ensuite se stabilisera. Régulateur 2704 a-5 Supplément Traitement du vide La détection de fuite fournit une mesure de la vitesse de variation de vide en unité de vide par minute; elle est comparée à une vitesse de fuite acceptable après une période de temporisation Si la vitesse de fuite n'est pas acceptable, un défaut de fuite sera indiqué en utilisant le paramètre état de fuite Quand la mesure est effectuée, le message LEAK DET (Figure a-5) clignote sur la page sommaire. a.3.7. Commutation des jauges La commutation des jauges permet à la mesure du vide de passer d'une jauge à l'autre de manière contrôlée. Le bloc de commutation décrit au chapitre 11 du manuel de configuration 2704 réalise cette fonction. La figure 3-a donne un exemple de la manière dont les sorties jauges, ont un rapport avec les réglages de commutation. Les valeurs de vides sont données pour l'exemple seulement. 1.00E+1 Consigne de validation de la jauge 1.00E-2 1.00E-3 Zone de fonctionnement de la jauge primaire Zone de commutation Sens d'augmenta tion du vide 1.00E-5 Zone de fonctionnement de la jauge secondaire Commutation vide primaire Commutation vide secondaire 1.00E-8 Figure a-3 : Commutation de jauge Les zones de fonctionnement de chacune des jauges doivent être choisies de façon à garantir la mesure de la jauge. La zone de commutation doit être sélectionnée de telle sorte que les 2 lectures soient valides en même temps et que l'erreur soit minimale. La jauge secondaire doit être validée avant le réglage du point le plus bas de commutation. La validation de la jauge consiste en une paire de valeurs seuils 'jauge on' et 'jauge off '. Elles doivent être choisies pour donner un hystérésis suffisant pour que la sortie jauge ait une action décisive on/off. Les deux jauges lisent en dehors de la zone de commutation bien que la sortie ait commutée sur l'autre jauge. La région de la jauge est généralement très non linéaire et a un fort degré d'erreur. Cette zone de fonctionnement est sélectionnée seulement si la jauge en cours passe en rupture capteur. Les valeurs de vide minimum et maximum sont définies sur l'étendue totale de fonctionnement des 2 jauges et déterminent l'étendue totale de la chambre de vide. a-6 Régulateur 2704 Supplément Traitement du vide a.4. CABLAGE Le câblage du régulateur de traitement de vide dépend du nombre et du type des modules installés. La figure a-4 montre le câblage d'un régulateur ayant la configuration suivante : • Entrée Mesure fixe affectée à une entrée thermocouple • Module Entrée mesure à l'emplacement 3 affecté à l'entrée vide secondaire • Module Entrée mesure à l'emplacement 4 affecté à l'entrée jauge vide annexe • Module Entrée mesure à l'emplacement 6 affecté à l'entrée vide primaire • La consigne SP 1 enclenche la pompe Root par l'intermédiaire de la sortie logique 1 • Le relais AA contrôle l'alimentation externe de la jauge secondaire • Le module 1 est utilisé comme une sortie analogique pour piloter un gradateur de puissance pour la régulation de température. Avant d'aller plus loin, veuillez lire l'annexe B " information sur la sécurité et la compatibilité électromagnétique" que l'on trouve dans les manuels utilisateur et de configuration du régulateur 2704. Pompe à diffusion* Jauge annexe Gradateur de puissance DO1 =SP 1 Pompe Root * * Ces connexions peuvent être faites via un automate b DC 4A 1A D1 4B D2 4C D3 4D D4 5A 1B Module 1 1C analogique = 1D demande de 2A température D5 D6 D7 L HB N HC HD D8 HE E1 5B 2B 5C 2C JA AA 5D 2D JB AB 6A HF E2 3A JC AC V1 6B 3B JD B V+ 6C 3C JE BB V- 6D 3D JF BC VH Alimentation Module 5 relais = Diff pompe on/off HA Jauge vide primaire Jauge vide secondaire Relais AA = Consigne 6 pour commuter l'alimentation sur la jauge de vide secondaire on/off Alimentation Figure a-4: Exemple de câblage Régulateur 2704 a-7 Supplément Traitement du vide a.5. MISE SOUS TENSION Installer et câbler le régulateur selon les types de modules présents et la configuration du régulateur puis mettre sous tension. Une séquence rapide d'auto-tests prend place durant laquelle l'identification du régulateur est affichée en même temps que son numéro de version soft. Pour un régulateur de traitement de vide, le numéro de version soft doit être supérieur à 3.0. Barre d'état Unités mBAR Barregraphe de vide Sens d'augmentation du vide SP1 à SP6 montre l'état des 6 consignes ERR = défaut chambre Deuxième afficheur (si configuré) GON = Jauge vide secondaire on Boîte de message consigne PUMP TOUT = Alarme de temporisation de la pompe LEAK DET = Alarme de détection de fuite La touche de sélection de la boucle valide l'affichage des autres boucles (voir manuel d'installation d'utilisation) Figure a-5 Vue Opérateur Cet afficheur est configurable par l'utilisateur. Les points suivants peuvent différer sur votre régulateur. Vide de la chambre Texte de la chambre Deuxième afficheur Résolution Temporisation de la pompe Détection de fuite a-8 Sortie commutation ou sorties vide primaire Sélectionné à partir d'un texte utilisateur Seulement montré si une deuxième fonction est configurée par exemple régulation de température Le point décimal peut être sélectionné en fonction des besoins Seulement visible si configurée, (Vacuum Select ≠ None, Tableau a.7.6.) Seulement visible si configurée, (Vacuum Select ≠ None, Tableau a.7.7.) Régulateur 2704 Supplément Traitement du vide a.6. FONCTIONNEMENT Sur un nouvel appareil, le régulateur de vide peut seulement fonctionner au niveau 3. Pour entrer au niveau 3, voir chapitre 4 du manuel d'installation et d'utilisation ou de configuration du régulateur 2704. Toutefois il est possible de mettre en niveau 1 les paramètres très souvent utilisés. Si cela a été fait le principe de l'opération au niveau 1 est le même que celui décrit ci-dessous. Pour mettre les paramètres en niveau 1, se référer au chapitre 5 du manuel de configuration du 2704. a.6.1. Accès aux paramètres de traitement du vide Les paramètres de traitement du vide sont regroupés sur une page principale exactement de la même manière que les autres paramètres. Action 1. Affichage qui doit apparaître Remarques Depuis n'importe quel affichage, appuyer sur autant de fois que nécessaire pour afficher le menu des têtes de chapitres 2. Appuyer sur ou pour sélectionner ‘VIDE’ 3. Appuyer sur pour afficher les sous-pages Les paramètres sont regroupés par thème dans des sous-listes 4. Appuyer sur ou pour scruter la liste des sous pages et sélectionner celle désirée. 5. Appuyer sur pour afficher la liste des paramètres 6. Appuyer sur ou pour scruter la liste des paramètres associés au thème choisi 7. Appuyer sur ou pour aller au paramètre voulu 8. Appuyer sur pour souligner le paramètre voulu 9. Appuyer sur ou pour changer sa valeur Régulateur 2704 Jauge vide secondaire Jauge vide primaire Jauge annexe Commutation jauge Consigne Contrôle de pompe Détection de fuite Affichage Ces paramètres sont listés en paragraphe a.7. Modification d'une valeur de paramètre a-9 Supplément Traitement du vide a.7. TABLES DES PARAMETRES Les tables suivantes listent tous les paramètres qui sont disponibles à tous les niveaux (niveau configuration inclus). Ils sont accessibles en utilisant la procédure décrite dans le paragraphe précédent. a.7.1. Paramètres vide secondaire Numéro de table: a.7.1. Nom du paramètre Jauge Src Jauge Val Status Src Status Val Valid. Vide Src Dévalidé à (Jauge Off) Validé à (Jauge On) Etat Jauge Jauge Nom a-10 Ces paramètres permettent de régler et de configurer les paramètres de la jauge de vide secondaire. Voir aussi § a.3.3. Description du paramètre Source à partir de laquelle la jauge de vide secondaire est câblée Valeur lue par la jauge de vide secondaire Source à partir de laquelle l'état de la jauge est câblée Condition de l'état Valeur High Vacuum ou utiliser une dénomination personnalisée Défaut d'accès Config Adresse Modbus Etendue d'affichage du vide Adresse Modbus Correct Incorrect Niveau Néant 3 Lecture seule Config Néant 3 Lecture seulement 3 Choix de la Jauge servant de référence pour autoriser la mise en service de la jauge secondaire Valeur à partir de laquelle la jauge de vide secondaire est commutée à l'état off Valeur à partir de laquelle la jauge de vide secondaire est commutée à l'état on Sortie consigne de la jauge de vide secondaire Adresse Modbus Validée Invalidée Invalidée Nom défini par l'utilisateur pour la jauge de vide secondaire Usr 01 to 50 Texte par défaut Etendue d'échelle du vide 3 Etendue d'échelle du vide 3 3 Lecture seulement Config Régulateur 2704 Supplément Traitement du vide a.7.2. Paramètres vide primaire Numéro de table: a.7.2. Nom du paramètre Jauge Src Jauge Val Status Src Status Val Jauge Nom Ces paramètres vous permettent de régler et configurer les paramètres de la jauge de vide primaire. Voir aussi § a.3.2. Description du paramètre Source à partir de laquelle la jauge de vide primaire est câblée Valeur lue par la jauge de vide primaire Valeur Vide Primaire ou utiliser une dénomination personnalisée Défaut Adresse Modbus Etendue d'échelle du vide primaire Source à partir de laquelle l'état de la jauge est câblé Condition de l'état Adresse Modbus Correct Incorrect Néant Un nom défini par l'utilisateur pour la jauge de vide secondaire Usr 01 to 50 Texte par défaut Niveau d'accès Config 3 lecture seulement Config 3 lecture seulement 3 a.7.3. Paramètres de vide annexe Numéro de table: a.7.3. Nom du paramètre Jauge Src Jauge Val Status Src Status Val Jauge Name Régulateur 2704 Ces paramètres permettent de régler et configurer les paramètres de la jauge annexe Description du paramètre Source à partir de laquelle la jauge annexe est câblée Valeur lue par la jauge annexe Valeur Vide Annexe ou utiliser une dénomination personnalisée Défaut Adresse Modbus Etendue d'échelle du vide Source à partir de laquelle l'état de la jauge est câblé Condition de l'état Adresse Modbus Correct Incorrect Néant Un nom défini par l'utilisateur pour la jauge annexe Usr 01 to 50 Texte par défaut Niveau d'accès Config 3 lecture seulement Config 3 lecture seulement 3 a-11 Supplément Traitement du vide a.7.4. Paramètres de commutation des jauges Numéro de table: a.7.4. Nom du paramètre Active Jauge Description du paramètre Indique active sélectionnée Min Vide Max Vide Commut. Vide Bas Affichage haut Affichage bas Commutation Voir Figure au de la du a3 point haut Commutation Voir Figure au de la du a3 point bas Validation de la commutation de la jauge Vide en cours de la chambre Commut. Vide H- aut Valid. Commutat-ion Vide Enceinte Op Status Changt Jauges ou utiliser une dénomination personnalisée Ces paramètres vous permettent de régler et configurer les paramètres de la jauge de vide primaire. Voir aussi § a.3.7. Etat de la jauge Valeur Défaut High Vac Low Vac Both Etendue D'affichage Du vide Niveau d'accès 3 Lecture seulement 3 3 3 3 Off On Etendue d'affichage du vide Correct Incorrect Off 3 3 Lecture seulement 3 Lecture seulement a.7.5. Paramètres de consigne Numéro de table: a.7.5. Ces paramètres vous permettent de régler et configurer les 6 consignes. Voir aussi § a.3.1. Nom du paramètre Sel Consigne 1 Description du paramètre Sélectionne la source de la valeur du vide pour la consigne SP1 Consigne 1 Off Valeur de commutation de la sortie à off Valeur de commutation de la sortie à on Valeur actuelle de la sortie consigne 1 Nom de la consigne 1 Consigne 1 On Consigne 1 Out Consigne 1 Str Valeur None Low Vac High Vac Backing Vac Chamber Vac Etendue d'affichage du vide Off On Usr 01 to 50 Consigne ou utiliser une dénomination personnalisée Défaut Néant Niveau d'accès 3 3 3 Texte par défaut 3 Lecture seulement Config Les paramètres ci-dessus sont répétés pour les consignes 2 à 6 a-12 Régulateur 2704 Supplément Traitement du vide a.7.6. Paramètres de contrôle de la pompe Numéro de table: a.7.6. Ces paramètres vous permettent de régler et configurer les paramètres pompe tels que la temporisation. Voir aussi § a.3.5 Nom du paramètre Sel. Jauge Src Description du paramètre Sélection de la Jauge de vide prise en référence pour le contrôle de la pompe Pompe On Src Sélectionne la source qui commute la pompe à on Pour commuter la pompe à on Réglage de la temporisation de la pompe Temps restant Val Pompe On TimeOut Pomp R Tps Restant Cons Pompe R Status Pompe R Réglage du niveau de vide à atteindre avant de déclencher l'alarme Etat du contrôle de Temporisation de la pompe Contrôle de pompe Valeur Défaut Sans Vide Primaire Vide Fin (Secd) Vide Annexe Vide Enceinte Adresse Modbus No Yes 0:00:00.0 Néant 0:00:00.0 Etendue du vide Niveau d'accès 3 Config No 3 0:00:0 0.0 1 1 Lecture seulement 1 0.000 E+0 Correct Incorrect 3 a.7.7. Paramètres de détection de fuite Numéro de table: a.7.7. Ces paramètres vous permettent de régler et configurer les critères de sélection de fuite. Voir aussi § a.3.6. Nom de paramètre Select Jauge Description de paramètre Sélection de la source du vide Vitesse Vide Status Fuite Vitesse de variation du vide Niveau Max tolérable de vitesse de fuite Commutation de la pompe à off durant la détection de fuite Détection de fuite Test Fuite Src Source du test de fuite Tst Fuite Départ Démarrage du test de fuite Tst Fuite Durée Réglage du temps de test de fuite Temps de fuite restant Seuil Evol.Max Pompe Off Tps Restant Régulateur 2704 Valeur Détection de fuite Défaut Sans Vide Primaire Vide Fin (Secd) Vide Annexe Vide Enceinte Etendue d'affichage du vide None Off On Off Off On Adresse Modbus No Yes 0:00:00.0 0:00:00.0 0.00E+0 0.00E+0 Niveau d'accès Config 3 Lecture seulement 3 3 Lecture seulement 3 Lecture seulement Config No 3 0:00:00. 0 3 3 Lecture seulement a-13 Supplément Traitement du vide a.7.8. Paramètres d'affichage du vide Numéro de table Ces paramètres permettent de régler l'affichage général du vide. Voir aussi a.5. Affichage a.7.8. Nom du paramètre Aff. 2ème Mes 2ème Mes. ème 2 Mes Src 2ème Mes Nom Résolution Description du paramètre Valeur Configuration du 2ème afficheur Valeur en cours de la 2ème mesure affichée Configuration de la source de la valeur apparaissant sur le 2ème afficheur Configuration d'un nom défini par l'utilisateur pour le 2ème afficheur Configuration de la résolution de l'affichage Oui Non Etendue d'affichage Adresse Modbus Unité Configuration des unités du vide Défaut Enceinte Défaut de la chambre déterminé par OU cablé de l'état de chaque jauge Vide actuel de la chambre Vide Enceinte Vide Graph Lo Point pour misse à l'échelle du graphe Vide Graph Hi Point bas pour mise à l'échelle du graphe Enceinte Nom Nom défini par l'utilisateur pour la chambre Usr 01 à 50 Défaut Niveau d'accès Config 3 Config Texte par défaut Config XXXXX XXXX.X XXX.XX XX.XXX X.XXXX SCI = 0.00E+0 mbar mmHg psi bar Correct Incorrect Config Etendue d'affichage du vide Etendue d'affichage du vide Etendue d'affichage du vide Usr 01 à 50 3 Lecture seulement Config 3 Lecture seulement 3 Lecture seulement 3 Lecture seulement Texte par défaut Config Note:- le texte en italique est le texte par défaut qui peut être changé par l'utilisateur. a-14 Régulateur 2704 Supplément traitement du vide a.8. NIVEAU DE CONFIGURATION En mode configuration, vous pouvez choisir la manière dont vous voulez que votre régulateur fonctionne, le format d'affichage opérateur, le nom de l'enceinte de vide en utilisation et les noms des jauges. Les paramètres disponibles ont déjà été données dans les tables précédentes. Ce paragraphe inclut quelques exemples de configuration d'un régulateur de traitement du vide. a.8.1. Configuration de la page Sommaire du vide comme page d'accueil La page sommaire du vide , montrée en figure a-5, peut être configurée pour être la première page à la mise sous tension du régulateur ou lorsque l'on entre un nouveau niveau d'accès à partir du mode configuration. Action 1. Affichage qui doit apparaître Remarques Depuis cette vue, appuyer autant de fois que sur nécessaire pour accéder au menu des têtes de chapitres. 2. Appuyer sur ou pour sélectionner ‘INSTRUMENT’ 3. Appuyer sur pour sélectionner les sous chapitres 4. Appuyer sur ou pour atteindre ‘Affichage’ 5. pour Appuyer sur entrer la liste des paramètres affichage /Appareil (‘INSTRUMENT/Affichage’) 6. Appuyer sur ou pour atteindre la page d'accueil( ‘Home Page’) ou ('Page de Repos') 7. Appuyer sur pour souligner le paramètre 8. Appuyer sur ou pour sélectionner ‘Vacuum’ Note: Le bloc "vide" peut être validé ou invalidé dans le menu INSTRUMENT/Options. S'il est invalidé, aucun des paramètres de vide n'apparaît. Manuel supplément Traitement du vide - HA 027186 - Indice 1.0 - 06/01 a-15 Supplément Traitement du vide a.8.2. Personnalisation de la page sommaire du vide La page sommaire du vide peut être personnalisée en utilisant les paramètres listés au tableau a.7.8. Action 1. Affichage qui doit apparaître Remarques Sélectionnez la page affichage du vide VIDE/Affichage comme décrit au § a.6.1. 2. Appuyer sur pour entrer dans la liste des paramètres. 3. pour Appuyer sur sélectionner ‘Aff.2ème Mes’ 4. Appuyer sur ou pour choisir ‘Oui’ ou ‘Non’ 5. Appuyer sur pour afficher ‘2ème Mes Src’ 6. Appuyer sur ou pour choisir la source de la seconde valeur. 7. Appuyer sur atteindre ‘Unité’ 8. Sélection de la 2ème Mesure Si 'Yes' est sélectionné la vue Opérateur affichera le second affichage, comme monté en figura a-5 Sélection de la source du 2ème affichage ou pour Sélection des unités du vide ou Appuyer sur pour sélectionner les unités qui seront affichées sur le barregraphe d'état. La valeur qui sera affichée sur la page sommaire du vide provient de l'entrée PV. Dans les exemples donnés dans ce manuel, il s'agit de la température de la chambre. Note: Dans la version soft actuelle de l'appareil, il n'y a pas de mise à l'échelle des unités. Voir § a.9.2. pour une explication de la procédure à suivre pour réaliser cela. Les unités qui peuvent être sélectionnées sont : mmHg, psi, bar, mbar, D'autres paramètres peuvent être personnalisés dans l'affichage du sommaire : Un nom pour le 2ème affichage, choisi par l'utilisateur L'affichage de la résolution des valeurs Un nom de l'enceinte, personnalisé par l'utilisateur a-16 Régulateur 2704 Supplément Traitement du vide a.8.3. Bloc fonction Traitement du vide Une description des blocs fonction est donnée au chapitre 2 du manuel de configuration du régulateur 2704. Le bloc fonction du traitement du vide est donné ci-dessous en figure a-6 et permet à l'utilisateur d'effectuer le câblage soft vers d'autres dispositifs à l'intérieur du régulateur afin de réaliser une stratégie de contrôle indépendante. Bloc "Vide" Jge Secnd Src Pomp OFF Status Src Valid Vide Src Consigne 1 Out Jge Prim Src Status Src Jge Annxe Src Status Src Consigne 6 Out Pomp R Status 2ème Mes Src Enceinte Défaut Pompe On Src OP Status Tst Fuite Src Figure a-6 Bloc fonction "Vide" Régulateur 2704 a-17 Supplément Traitement du vide a.9. EXEMPLES DE CABLAGE DE REGULATEUR DE TRAITEMENTDU VIDE Le bloc fonction du vide peut être câblé de manière interne par soft pour contrôler des applications spécifiques. Le câblage soft est décrit en chap. 3 du manuel de configuration. a.9.1. Régulation d'une température simple et du vide L'exemple suivant est donné pour montrer le principe de câblage entre les blocs fonction. Il n'est pas nécessairement conçu pour être une solution complète à une application. Le bloc fonction du vide a des entrées reliées à 3 jauges de vide. Le nombre de sorties disponibles est tel que défini dans les tables de paramètres. Cet exemple montre le câblage à partir de 3 des sorties consignes et d'une sortie logique destinée à désactiver la pompe. Cet exemple correspond au schéma de câblage physique, figure a-4. Le principe de câblage des autres sorties est le même. Un bloc de régulation PID est utilisé pour le contrôle de la température ; il reçoit une consigne venant d'un bloc fonction programme. La sortie du bloc PID contrôle en général une sortie analogique qui pilote une unité de puissance à thyristors. D'autres exemples de câblage de blocs PID sont données dans le manuel de configuration . Module 6A Sorties logiques Bloc "Vide" Jge Prim Src Consigne 1 Out Mod6A Val Status Src 04948 Module 3A Mod3A Val 04468 Jge Secnd Src Status Src Consigne 5 Out Sortie relais AA Jge Annxe Src Consigne 6 Out Wire Src Status Src Pomp R Status Valid Vide Src 2ème Mes Src Module 4A Mod4A Val 04628 Wire Src DO1 Consigne 2 Out 06657 Consigne 3 Out 06677 Consigne 4 Out Pumpe On Src Tst Fuite Src Enceinte Défaut 06707 Sortie Module 5A Wire Src OP Status Pompe OFF 06773 Bloc programmateur PV1 Src PSP1 Reset Src WaitA Src PSP1 Les nombres en italiques sont les adresses Modbus à partir desquelles le câblage est effectué. Bloc contrôle boucle 1 Prog Setpoint PSP1 Reset Src 06773 CH1 OP Sortie Module 1A Wire Src CH2 OP 00013 Figure a-7: Exemple de câblage de contrôle vide/température a-18 Régulateur 2704 Supplément Traitement du vide a.9.1.1. Mise en oeuvre 1. Dans la page VIDE/VIDE Primaire (Tableau a.7.2) Régler ’Jauge Src’ = 04948: Mod6A.Val Cela connecte la jauge de vide primaire, connectée à l'entrée du module 3 à la source de la jauge de vide primaire. 2. Dans la page VIDE/VIDE Secondaire (Tableau a.7.1) Régler ’Jauge Src’ = 04468: Mod3A.Val Cela connecte la jauge de vide secondaire, connectée à l'entrée du module 6 à la source de de la jauge de vide secondaire. 3. Dans la page VIDE/VIDE Annexe (Table a.7.3) Régler ’Jauge Src’ = 04628: Mod4A.Val Cela connecte la jauge de vide annexe, connectée à l'entrée du module 4 à la source de la jauge de vide secondaire. 4. Dans la page E/E STANDARD/Dig IO 1 (Voir manuel de configuration, Tableau 17.5.1) Régler ’Channel Type’ = On/Off régler ‘Wire Src’ = 06657 Cela configure Dig IO1 en sortie digitale et la connecte à la sortie consigne 1. 5. Dans la page STANDARD IO/AA Relais (Voir manuel de configuration, Tableau 17.4.1) Régler ’Channel Type’ = On/Off régler ‘Wire Src’ = 06707 Cela configure le relais AA en sortie on/off et le connecte à sa sortie consigne 6. 6. Dans la page MODULE IO/Module 5A (Voir manuel de configuration, Tableau 18.4.2) Régler ’Channel Type’ = On/Off régler ‘Wire Src’ = 06773 Cela configure le module 5 relais en sortie on/off et le connecte à la sortie désactivation de la pompe. 7. Dans la page LP1 Config/Options (Voir manuel de configuration , Tableau 9.9.1) Régler ’Prog Setpoint’ = PSP1 régler ‘Wire Src’ = 06773 Connecter PSP1 pour qu'il devienne la consigne programme de la boucle 1. 8. Dans la page MODULE E/S/Module 1A (Voir manuel de configuration, Tableau 18.4.1) Régler ’Type de Voie’ = Volts (or mA) régler ‘Wire Src’ = 00013:L1.Ch1.OP Cela configure le module 1 de sortie analogique en sortie Volts ou mA et le connecte à la sortie PID de la boucle 1. 9. Dans la page PROGRAM EDIT/Cablage Page (Tableau a.7.2) Régler ‘WaitA Src’ = 06677 Cela connecte la sortie de la consigne 3 à l'entée Wait A du bloc programmateur. Régulateur 2704 a-19 Supplément Traitement du vide a.9.2. Mise à l'échelle de la lecture du vide dans d'autres unités Les unités de vide dans la version soft couverte par ce supplément sont en mBar seulement. Pour mettre à l'échelle dans d'autres unités, il faut utiliser les opérateurs analogiques décrits au chapitre 14 du manuel de configuration du régulateur 2704. Dans un système à 2 jauges, il est nécessaire de mettre à l'échelle les 2 jauges de manière indépendante. Dans un système à une seule jauge, la jauge de vide primaire est prise comme référence. L'exemple suivant montre un système à 2 jauges, dont le câblage est identique à celui décrit au § a.9.1. La conversion des unités se fera de mBar à mmHg, où 1mmHg = 1.333mbar 04948 Module 6A * User Value 1 set to 1.333 Opérateur analogique 1 (divise) Commu tation jauge Vide chambre 06178 Opérateur analogique 2 (divise) * Valeur utilisateur 1 réglée à 1.333 Jauge Vide secondaire 09220 04468 Module 3A 06158 09220 Jauge Vide primaire Jauge simple Les nombres en italique sont les adresses Modbus à partir des quelles le câblage est effectué. * Les valeurs Utilisateurs séparées peuvent être remplacées en réglant la mise à l'échelle de l'entrée à la valeur appropriée (0,75 dans l'exemple) Figure a-8 Mise à l'échelle de unités dans un système à 2 jauges a-20 Régulateur 2704 Supplément Traitement du vide a.9.2.1. Mise en oeuvre 1. A la page VAR. INTERNES/Val Var 1* (Chapitre 13 du manuel de configuration 2704) * ou bien utiliser n'importe quelle valeur utilisateur non utilisée. Régler ’Résolution’ = X.XXXX régler ’Valeur’ = 1.333 (Il peut être > 1.333) 2. Régler ’Input 2 Src’ = 09220: UVal1.Val La touche LOOP copiera cette valeur à partir de la procédure de copie précédente. Régler ‘Input 1 Src’ = 04948: Mod6A.Val Régler ‘Opération’ = Divide Ceci a pour effet de diviser le signal de la jauge haut naive par 1.333 pour le convertir en mmHg. Régler ‘Opération’ = Divide régler ’Input 1 Src’ = 04468: Mod3A.Val set ’Input 2 Src’ = 09220: Uval1.Val Ceci a pour effet de diviser le signal de la jauge bas niveau par 1.333 pour le convertir en mmHg. Régler ’Jauge Src’ = 06158 AnOp1.OP Ceci a pour effet de connecter la mesure (PV) de la jauge secondaire à partir de la sortie opérateur analogique 1. A la page OPER ANALOGIQUES/An 1* (Chapitre 13 du manuel de configuration 2704) * Ou bien utiliser n'importe quelle valeur analogique opérateur non utilisée. 3. A la page OPER ANALOGIQUES /An 2* (Chapitre 13 du manuel de configuration 2704) * Ou bien utiliser n'importe quelle valeur analogique opérateur non utilisée. Copier l'adresse Modbus de ce paramètre en appuyant sur MAN 4. A la page VIDE/VIDE Secondaire (Tableau a.7.1.) 5. A la pageVIDE/ VIDE Primaire (Tableau a.7.2.) Régler ’Jauge Src’ = 06178 AnOp2.OP Ceci a pour effet de connecter la mesure (PV) de la jauge primaire à partir de la sortie opérateur analogique 2. 6. A la page VIDE/Affichage (Tableau a.7.8.) Régler ‘Unité’ = mmHg Ceci a pour effet de configurer les unités données sur le bandeau en mmHg. Le texte écrit en italique peut être personnalisé par l'opérateur. Régulateur 2704 a-21 EUROTHERM AUTOMATION S.A. SIÈGE SOCIAL ET USINE 6, chemin des joncs BP 55 - 69574 Dardilly cedex - France Tél. : 04 78 66 45 00 Fax : 04 78 35 24 90 Site Internet : www.eurotherm.tm.fr AGENCES : Aix en Provence Tél. : 04 42 39 70 31 Nantes Tél. : 02 40 30 31 33 Colmar Tél. : 03 89 23 52 20 Paris Tél. : 01 69 18 50 60 Lille Tél. : 03 20 96 96 39 Toulouse Tél. : 05 34 60 69 40 BUREAUX : Bordeaux Clermont-Ferrand Dijon Grenoble Metz Normandie Orléans Lyon Tél. : 04 78 66 45 11 Tél. : 04 78 66 45 12 UNE OFFRE GLOBALE POUR LE CONTROLE DE VOS PROCEDES En tant que spécialiste et fabricant d'équipements de contrôle et de régulation de procédés, nous vous proposons une gamme étendue de matériels complémentaires • • • • • Capteurs , Convertisseurs, Indicateurs Régulateurs Programmateurs, Entrées/Sorties déportées Contacteurs statiques, Gradateurs de puissance Superviseurs, Systèmes de Contrôle Commande Centrales d'acquisition, Enregistreurs graphiques ou papier DES STAGES DE FORMATION POUR OPTIMISER L'UTILISATION DE VOS EQUIPEMENTS EUROTHERM AUTOMATION est enregistré organisme de formation. 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Faraday Close Durrington WorthingWest Sussex BN13 3PL Tél.(+44 1903) 695888 Fax(+44 1903) 695666 AUTRICHE Eurotherm GmbH Geiereckstrasse 18/1 1110 Wien Tél. (+43 1) 798 7601 Fax (+43 1) 798 7605 HOLLANDE Eurotherm B.V. 2404CH Alphen aan den Rijn Tél. (+31 172) 411 752 Fax (+31 172) 417 260 BELGIQUE Eurotherm B.V. Herentalsebaan 71-75 B-2100 Deurne Antwerpen Tél. (+32 3) 322 3870 Fax (+32 3) 321 7363 HONG-KONG Eurotherm Limited Unit D 18/F Gee Chang Hong Centre 65 Wong Chuk Hang Road Tél. (+852) 2873 3826 Fax (+852) 2873 4887 CORÉE Eurotherm Korea Limited Suite #903 Daejoo Building 132-19 Chungdam-Dong Kangnam-Ku Séoul 135-100 Tél. (+82 2) 543 8507 Fax (+82 2) 545 9758 INDE Eurotherm India Limited 152 Developed Plots Estate Perungudi Madras 600 096 Tél. (+9144) 4961129 Fax (+9144) 4961831 DANEMARK Eurotherm A/S Finsensvej 86 DK-2000 Frederiksberg Tél. (+45 31) 871 622 Fax (+45 31) 872 124 ESPAGNE Eurotherm España SA Calle la Granja 74 28100 Alcobendas Madrid Tél. (+34 1) 6616001 Fax (+34 1) 6619093 IRLANDE Eurotherm Ireland Limited IDA Industrial Estate Monread Road Naas Co Kildare Tél. (+353 45) 879937 Fax (+353 45) 875123 JAPON Densei Lambda KK Eurotherm Product Dpt Aroma Square Building 5F Po Box 40 5-37-1 Kamata, Ohta-Ku Tokyo 144-8721 Tél. (+81 3) 57 1406 20 Fax (+81 3) 57 1406 21 NORVÈGE Eurotherm A/S Vollsvein 13D 1366 Lysaker Postboks 227 NO - 1326 Lysaker Tél. (+47 67) 592170 Fax (+47 66) 118301 SUÈDE Eurotherm AB Lundavagen 143 S-212 24 Malmo Tél. (+46 40) 384500 Fax (+46 40) 384545 SUISSE Eurotherm Produkte AG Schwerzistrasse 20 8807 Freienbach Tél. (+41 55) 4154400 Fax (+41 55) 4154415 U.S.A Eurotherm Controls Inc. 741-F Miller DriveSE Suite F Leesburg, VA 20175-8993 Tél. (+1703) 443 0000 Fax (+1703) 669 1300 ITALIE Eurotherm SpA Via XXIV Maggio 22070 Guanzate Tél. (+39 31) 975111 Fax (+39 31) 977512 © Copyright Eurotherm Automation Tous droits réservés. 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