Fonctionnement
Mettez l'appareil de mesure en circuit. Le signal de mesure
est alors immédiatement disponible.
Le voyant vert sur la jauge
Tension
indique l'état de service
d'alimentation
disponible.
Tension
d'alimentation
indisponible.
Attention
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
INSTRUCTIONS D'UTILISATION
DANGER
DANGER : surpression dans le système à vide
>100 kPa
Si des éléments de serrage sont ouverts des
composants peuvent être projetés et causer des
blessures.
Utiliser des éléments de serrage pouvant
uniquement être ouverts et fermés à l'aide d'un
outil (p. ex. anneau de serrage muni d'un collier
de serrage).
La jauge doit être connectée directement à la
chambre à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une
connexion de protection selon la norme
EN 61010 :
Traduction du manuel de l'utilisateur
BG 5110 BFR / E (2017-07)
Attention
IKR 251
Jauge compacte à cathode froide avec joint FPM
Mettez la jauge uniquement en circuit en
présence de pressions <10-2 hPa afin d'éviter
tout encrassement excessif.
Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum
équipés d'au moins deux raccords pour jauges,
la jauge à cathode froide peut par exemple être
pilotée par une jauge Pirani.
PT R25 500
PT R25 501
PT R25 502
Le signal de mesure dépend du type de gaz. La valeur
mesurée correspond à l'air, à l'oxygène (O2), au monoxyde
de carbone (CO) et à l'azote (N2). Pour d'autres gaz, la
pression peut être déterminée par une conversion
(→ "Caractéristiques techniques").
Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum, cela peut être
réalisé en saisissant le facteur de calibrage correspondant.
• Pour les brides KF il faudra utiliser un collier
de serrage conducteur.
(Bride DN 25 ISO-KF)
(Bride DN 40 ISO-KF)
(Bride DN 40 CF-F)
Délai d'amorçage
Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications
techniques sans préavis.
AVERTISSEMENT : amorçage électrique
L'hélium peut provoquer des amorçages
électriques à l'intérieur de l'électronique du
produit et détruire l'électronique.
Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre le
produit hors service et démonter l'unité
électronique.
Le présent document décrit l'installation et le fonctionnement des jauges compactes à cathode froide
susmentionnées. Pour de plus amples informations,
veuillez consulter le manuel de l'utilisateur distinct [1].
Utilisation prévue
Les jauges compactes à cathode froide décrites dans ce
document servent à la mesure du vide dans la gamme des
pressions de 2×10-9 … 1×10-2 hPa.
À la mise en circuit de la jauge, le système de cathode froide
s'active avec temporisation. Celle-ci augmente à des
pressions plus basses et celle de jauges dégazées propres
atteint les valeurs typiques suivantes à :
AVERTISSEMENT
A propos de ce document
…10-7 hPa
…10-8 hPa
2×10-9 hPa
En cas d'utilisation de raccords de vide CF, il peut s'avérer
avantageux de temporairement enlever l'unité électronique
(1) et l'unité magnétique (2) (→ [1]).
1
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés
incombe au détenteur.
La position d'installation n'est pas imposée, veiller cependant
à ce que les particules ne puissent pas pénétrer dans la
chambre de mesure.
Raccordement électrique
10
10
5.1 k
2
+
V
–
3
1
4
10k
+
–
5
6
• n'observe pas les indications figurant dans ce document
• modifie ce produit d'une façon quelconque
• utilise le produit avec des accessoires non répertoriés
dans la documentation du produit correspondante.
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure,
ainsi que les pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la
garantie.
Protection
Pression
1E–01
Figure 1 :
Affectation des Contacts
Broche 1
Broche 2
Broche 3
Broche 4
Broche 5
Broche 6
Identification
Sortie de signal
(mesure)
Masse signal
Alimentation
Masse
alimentation
Blindage
Raccordez la jauge à l'appareil de mesure.
3
2
4
5
1
6
Les pannes du produit dues à des impuretés, ainsi que les
pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la garantie.
Pa
p = 10U-c
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
1E–06
hPa
Torr
1E–07
IP 40
≤1000 kPa (absolue)
limitée aux gaz inertes et aux
températures <55 °C
1E–08
1E–09
1E–10
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5
Signal de mesure U [V]
Matériaux au contact du vide
Isolation de traversée
Joints internes
Raccord à vide
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
Anode
Dispositifs d'allumage
Volume interne
céramique (Al2O3)
FPM75
c
acier inoxydable (1.4104)
acier inoxydable (1.4306)
acier inoxydable (1.4306)
Mo
acier inoxydable (1.4310)
≈20 cm³
hPa
Pa
Torr
10.5
8.5
10.625
2×10-9 hPa < p < 1×10-2 hPa
1.5×10-9 Torr < p p< 7.5×10-3 Torr
2×10-7 Pa < p < 1 Pa
valable
pour
gamme
Alimentation
Dépendance du type de gaz
DANGER
≈0.1 minute
≈1 minute
≈5 minutes
p (hPa)
La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant
aux exigences pour les basses tensions mises à
la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers
la jauge1).
4
Xe Kr
2
Ar
Air
O
CO
N2 H2 Ne He
Gamme d'indication
10-7 ... 10-2 hPa
10-3
8
6
4
2
15 … 30 V= (ondulation
≤1 Vpp)
Raccordement électrique
Connecteur compact Hirschmann, type GO 6, 6 pôles,
broches de contact
Couple de serrage
Câble jauge
Boîte de raccordement de
câble
Longueur du câble
≤0.2 Nm
5 pôles, blindé
Hirschmann GO 6 WF,
6 pôles, coudée, douilles
Tension de service
(dans la chambre de mesure)
Courant de service
(dans la chambre de mesure)
Assurez-vous que la jauge soit raccordée à la chambre à
vide (→ Section précédente).
Si vous ne disposez pas d'un câble de raccordement,
confectionnez en un selon le schéma en bas :
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une
tierce personne
• utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation
prévue
Reproductibilité
1E+00
≈±30%
(mesure dans la gamme
1×10-8 …1×10-3 hPa)
≈±5 %
(mesure dans la gamme
1×10-8 … 1×10-3 hPa)
10-4
8
6
4
2
10-5
8
6
4
2
10-6
8
6
4
2
10-7
10-7
• Considérer les réactions possibles entre les matériaux du
produit.
→ [1]
Si la jauge est utilisée à des pressions élevées ou dans des
conditions contaminatrices, elle doit régulièrement être
nettoyée.
Rapport signal de mesure – pression
2×10-9 … 1×10-2 hPa
Puissance absorbée
≤2 W
Fusible 1)
≤1 AT
La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur du câble de
mesure.
Tension d'alimentation à
16 … 30 V= (ondulation
longueur max. du câble
≤1 Vpp)
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes aux gaz utilisés.
Observer une distance de sécurité de ≥10 cm
entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ou
empêcher toute perturbation émanant de
champs magnétiques puissants en installant des
blindages adéquats.
Masse alimentation – masse
signal
Maintenance, résolution des problèmes
Pression p
Gamme de mesure (air, N2)
Précision
Tension à la jauge
Sécurité
DANGER : champs magnétiques
Les champs magnétiques puissants peuvent
perturber ou gêner le fonctionnement des
appareils électroniques, p. ex. des stimulateurs
cardiaques.
Utilisation
L'allumage constitue un processus statistique pouvant être
fortement influencé dès la présence d'infimes dépôts sur les
surfaces intérieures.
2
DANGER
Humidité relative
–40 °C … +65 °C
+ 5 °C … +55 °C
150 °C (sans électronique et
sans blindage magnétique)
≤80% à température jusqu'à
+31 °C, diminuant à 50% à
+40 °C
en espaces clos, altitude
max. 2000 m
Dépendance du type de gaz
• Les raccords à vide CF satisfont à ces exigences.
Validité
Températures admissibles
Stockage
Service
Etuvage
overrange
Raccordement au vide
Caractéristiques techniques
→ Figure 1
reliés par 10 kΩ (différence
max. de tension
pour sécurité
±50 V
pour précision ±10 V)
conduites séparément; avec
les câbles de grande
longueur (≥10 m), nous
recommandons une mesure
différentielle
underrange
Installation
Conception de la terre
Raccord à vide – masse
alimentation
sensor error
Fixez le connecteur du câble de raccordement sur la jauge
avec la vis (couple de serrage ≤0.2 Nm).
≤100 m
≤150 m
≤500 m
(5×0.25 mm²)
(5×0.34 mm2)
(5×1.0 mm²)
≤3.3 kV
2
4 6 10-6
2
4 6 10-5
2
4 6 10-4
2
4 6 10-3
4 6 10-2
2
peff (hPa)
Dans la gamme au-dessous de 10-5 hPa l'indication est
linéaire. Pour d'autres gaz que l'air, la pression peut être
déterminée par une simple conversion :
peff = C × pression affichée
Type de
gaz
Air
(N2, O2, CO)
Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He
C
(moyenne)
1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9
≤500 µA
Signal de sortie (mesure)
≈0 V … ≈+10.5 V
Gamme de mesure
Relation tension – pression logarithmique, 1 V/décade
Signal d'erreur
<0.5 V sans alimentation
Impédance de sortie
2×10 Ω
Impédance chargée minimale 10 kΩ, résistant aux courtscircuits
Temps de réponse
en fonction de la pression
-6
p > 10 hPa
<10 ms
p = 10-8 hPa
≈1 s
Identification de la jauge
Prise,
côté soudures
1)
Résistance 5.1 kΩ contre la
terre d'alimentation
Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum
pour jauges compactes satisfont à cette exigence.
bg5110bf r / e
(2017-07)
Recyclage
Déclaration UE de conformité
Pour l'élimination appropriée du produit, veuillez contact le
S.A.V. Pfeiffer Vacuum le plus proche.
Informations complémentaires
[1]
Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum, déclarons que le produit ci-après est conforme à la
directive relative à la compatibilité électromagnétique 2014/30/UE et de la directive relative
à la limitation de l’utilisation de certaines substances dangereuses dans les équipements
électriques et électroniques 2011/65/UE.
Produit
www.pfeiffer-vacuum.com
Manuel de l'utilisateur IKR 251
BG 5151 BDE (allemand)
BG 5151 BEN (anglais)
BG 5151 BFR (français)
Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar,
Allemagne
IKR 251
Normes
Normes harmonisées, normes internationales et nationales
ainsi que spécifications :
• EN 61000-6-2:2005 (Compatibilité électromagnétique :
immunité)
• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (Compatibilité électromagnétique : émission)
• EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils
électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire)
Table de conversion des unités de
pression
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
1
1×103
0.01
1
10
1×10-3
1
1×10-5
1×10-3
0.01
100
1×105
1
100
1×103
1
0.1
0.75
1×103 100
750
0.01 1×10-3 7.5×10-3
1
0.1
0.75
10
1
7.5
1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332
1
1 Pa = 1 N/m2
• EN 61326-1:2013 (exigences CEM pour les équipements de
mesure et de commande)
Fabricant / Signature
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar
7 mars 2016
Dr. Ulrich von Hülsen
Président
Certification ETL
RECOGNIZED
COMPONENT
ETL LISTED
The product IKR 251
• conforms to the UL Standard UL 61010-1
• is certified to the CAN/CSA Standard
C22.2 No. 61010-1
3103457
Berliner Straße 43
D–35614 Asslar
Allemagne
Tel +49 (0) 6441 802-0
Fax +49 (0) 6441 802-1202
[email protected]
www.pfeiffer-vacuum.com
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