Pfeiffer QMG 250 PrismaPro - Compact Mass Spectrometer Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
PRISMAPRO® QMG 250
Spectromètre de masse compact
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir choisi un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau spectromètre
de masse devrait vous aider dans votre application individuelle avec des performances
optimales et sans dysfonctionnement. Le nom Pfeiffer Vacuum représente une technique du
vide de haute qualité, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande
qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue,
nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une
implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l’utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
courriel à l’adresse [email protected].
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Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
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document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
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contenues dans ce document.
2/92
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque du produit
8
8
8
8
9
10
10
10
10
11
12
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Précautions de sécurité
2.4 Utilisation conforme
2.5 Utilisations non conformes prévisibles
2.6 Responsabilité et garantie
2.7 Conditions propriétaire
2.8 Qualification personnelle
2.8.1 Garantir la qualification du personnel
2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
2.9 Conditions opérateur
13
13
13
16
17
17
17
17
18
18
18
19
19
3
Description du produit
3.1 Fournitures
3.2 Vue d’ensemble du système
3.2.1 Structure du système
3.2.2 Analyseur QMA 250
3.2.3 Unité électronique QME 250
3.2.4 Logiciel PV MassSpec
3.3 Interfaces
3.3.1 ALIMENTATION ÉLECTRIQUE
3.3.2 Ethernet (LAN)
3.3.3 AUX I/O
3.3.4 EXT I/O
3.3.5 TP GAUGE
3.3.6 USB
3.4 Identification du produit
3.5 Principe de fonctionnement
20
20
20
20
22
23
24
24
24
25
25
26
28
28
28
29
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
30
30
30
5
Installation
5.1 Installation de PrismaPro
5.2 Installation de l’analyseur
5.3 Assembler l’unité électronique
5.4 Établir une connexion électrique par connecteur mâle/femelle
5.4.1 Établissement de la connexion Ethernet
5.4.2 Raccordement de l’alimentation en courant
5.5 Raccordement des jauges
5.6 Établissement d’une connexion au réseau
31
31
32
35
36
36
36
36
37
3/92
Table des matières
5.7
5.8
37
38
39
39
39
39
40
40
6
Mise en service
6.1 Mise en service de l’appareil
6.2 Mettre sous tension d’appareil
42
42
42
7
Utilisation
7.1 Utilisation de PrismaPro Web UI
7.2 Utiliser PV MassSpec
44
44
44
8
Mise hors service
45
9
Maintenance
9.1 Exécution du travail de maintenance
9.2 Rapport de test
9.3 Entretien de l’analyseur QMA 250
9.3.1 Inspecter visuellement l’analyseur QMA 250
9.3.2 Étuvage de l’analyseur
9.4 Remplacer l’unité filament
9.4.1 Remplacement du filament chauffé de la source d’ions ouverte
9.4.2 Remplacement de l’unité à filament chauffé de la source d’ions croisés
9.4.3 Remplacement de l’unité à filament chauffé de la source d’ions à
grille
9.4.4 Remplacement de l’unité à filament chauffé de la source d’ions
étanche au gaz
9.5 Calibrage du rapport haute fréquence et masse
9.5.1 Calibrage d'usine
9.5.2 Atteindre une température de fonctionnement stable pour PrismaPro
9.5.3 Sélection du mélange de gaz pour le calibrage des masses
9.5.4 Réglage de la haute fréquence pour les deux polarités
9.5.5 Effectuer le calibrage des masses (AJUSTAGE)
9.5.6 Calibrage avec un mélange de gaz de test
9.5.7 Calibrage avec des gaz de procédé
9.5.8 Calibrage de la détection de fuites d’hélium
46
46
47
47
48
50
51
51
53
Dysfonctionnements
10.1 Dépanner
10.1.1Résolution des erreurs de communication et système
10.1.2Résolution des erreurs matérielles
10.1.3Résolution des erreurs de mesure et de fonctionnement
10.1.4Interrogation des messages d’erreur du logiciel à partir de
PV MassSpec
10.2 Contacts sur QMA 250 et QME 250
10.3 Contrôle de l’analyseur QMA 250
63
63
63
64
67
69
11
Expédition
71
12
Recyclage et mise au rebut
12.1 Informations générales sur la mise au rebut
12.2 Élimination d’un spectromètre de masse compact
72
72
72
13
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
73
10
4/92
5.6.1 Adresses IP
5.6.2 Sous-réseaux
5.6.3 Changement de l’adresse IP PrismaPro
5.6.4 Modification de l’adresse IP de l’ordinateur hôte
Connexion du PrismaPro
5.7.1 Connexion de chaque PrismaPro individuel
5.7.2 Raccordement de plusieurs appareils PrismaPro
Installation de PV MassSpec
55
56
58
59
59
59
59
61
61
61
61
69
70
Table des matières
14
Informations de commande
14.1 Commande de pièces
14.2 Pièces détachées de maintenance niveau 1
14.2.1Unité électronique QME 250
14.2.2Analyseur QMA 250
14.2.3Unités filaments
14.3 Pièces de rechange et lots de petites pièces
14.3.1Pièces de rechange
14.3.2Lot de petites pièces PT 163 544 pour source d’ions ouverte
14.3.3Lot de petites pièces PT 163 543 pour source d’ions croisés
14.3.4Lot de petites pièces PT 163 534 pour source d’ions à grille
14.3.5Lot de petites pièces PT 163 550 pour source d’ions étanche au
gaz
75
75
75
75
75
76
76
76
77
77
77
78
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1 Généralités
15.2 Fiche technique PrismaPro QMG 250 F
15.3 Fiche technique PrismaPro QMG 250 M
15.4 Dimensions
15.4.1QMG 250 avec source d’ions ouverte
15.4.2QMG 250 avec source d’ions croisés
15.4.3QMG 250 avec source d’ions à grille
15.4.4QMG 250 avec source d’ions étanche au gaz
79
79
79
81
82
83
85
86
87
Certification NRTL
88
Déclaration de conformité CE
89
Déclaration de Conformité UK
90
5/92
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Tab. 27:
Tab. 28:
Tab. 29:
Tab. 30:
Tab. 31:
6/92
Documents applicables
QMG 250 PrismaPro
Analyseur QMA 250
Unité électronique QME 250
Abréviations employées
Sources d’ions pour analyseur QMA 250 M
Éléments de la face avant
État de la connexion Ethernet
Couples de serrage requis
Jauges
Exemples de sous-réseaux
Connexions du filament avec la source d’ions
Températures d'étuvage maximum
Calibrage de masse
Erreurs de communication et du système
Erreurs liées au matériel
Erreurs de mesure et de fonctionnement
Messages d’erreur du logiciel PV MassSpec
Mesures de contrôle de l’analyseur
Unité électronique QME 250
Analyseur QMA 250
Unités à filaments chauffés
Pièces de rechange
Lot de petites pièces PT 163 544 pour source d'ions à ouverture
Lot de petites pièces PT 163 543 pour source d'ions croisés
Lot de petites pièces PT 163 534 pour source d'ions à grille
Lot de petites pièces PT 163 550 pour source d’ions étanche au gaz
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Fiche technique PrismaPro QMG 250 F
Fiche technique PrismaPro QMG 250 M
8
8
9
9
12
23
24
25
32
37
38
49
50
59
64
67
69
69
70
75
76
76
77
77
77
77
78
79
79
80
82
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
Fig. 17:
Fig. 18:
Fig. 19:
Fig. 20:
Fig. 21:
Fig. 22:
Fig. 23:
Fig. 24:
Fig. 25:
Fig. 26:
Fig. 27:
Fig. 28:
Fig. 29:
Fig. 30:
Fig. 31:
Fig. 32:
Fig. 33:
Fig. 34:
Fig. 35:
Fig. 36:
Fig. 37:
Fig. 38:
Fig. 39:
Fig. 40:
Fig. 41:
Fig. 42:
Position des autocollants sur le produit
Composants principaux du PrismaPro
Vue d’ensemble du système
Analyseurs avec protection pour le transport
Composants de l’analyseur QMA 250 avec source d’ions ouverte
Face avant du QME 250 : côté gauche standard, côté droit avec IO 250
PV MassSpec
Vue du connecteur de réseau
Connexion Ethernet
AUX I/O, prise Sub-D à 15 broches
EXT I/O, prise Sub-D HD à 62 broches
Exemple de connexion : Sortie numérique EXT I/O
Exemple de connexion : entrée numérique AUX I/O et EXT I/O
TP GAUGE, prise amphénol 6 broches C 091 A
Principe du système de spectromètre de masse quadripole
Fixation et mise à la terre de l’analyseur
Auxiliaire d’assemblage et protection pour le transport
Raccourci sur le bureau
Extrait d’un exemple de rapport de test
Source d’ions avec source d’ions à ouverture comme exemple
Connexions du filament et de la source d’ions avec les étriers de fixation
Connexions haute fréquence du filtre de masse quadripolaire
Démontage de l’unité à filament chauffé de la source d’ions ouverte
Insertion de l’unité à filament chauffé de la source d’ions ouverte
Unité à filament chauffé de la source d’ions croisés
Ressort de support sur analyseur avec source d’ions croisés
Unité à filament chauffé de la source d’ions à grille
Démontage de l’unité à filament chauffé de la source d’ions étanche au gaz
Insertion de l’unité à filament chauffé de la source d’ions étanche au gaz
Message d'alerte avec invite de sécurité
Nouvelle polarité inverse/haute fréquence
Contacts sur QMA 250 et QME 250
Dimensions QMG 250 F / SI ouverte / QME 250 rectiligne
Dimensions QMG 250 F / SI ouverte / QME 250 90°
Dimensions QMG 250 M / SI ouverte / QME 250 rectiligne
Dimensions QMG 250 M / SI ouverte / QME 250 90°
Dimensions QMG 250 M / SI croisés / QME 250 rectiligne
Dimensions QMG 250 M / SI croisés / QME 250 90°
Dimensions QMG 250 M / SI à grille / QME 250 rectiligne
Dimensions QMG 250 M / SI à grille / QME 250 90°
Dimensions QMG 250 M / SI étanche au gaz / QME 250 rectiligne
Dimensions QMG 250 M / SI étanche au gaz / QME 250 90°
11
21
22
22
23
24
24
25
25
25
26
27
28
28
29
34
34
40
47
48
49
49
52
52
54
54
55
57
58
60
60
69
83
83
84
84
85
85
86
86
87
87
7/92
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Manuel de l’utilisateur QMG 250 « PrismaPro Web UI »
BG 6002
Guide de démarrage rapide QMG 250 « PrismaPro »
BG 6003
Documentation du logiciel PV MassSpec
Partie du logiciel
Déclaration de conformité
Partie de ces instructions
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document est applicable à tous les produits avec les références des pièces suivantes :
Référence de pièce
Désignation
PT M15 ...
PrismaPro QMG 250 (Faraday)
PT M16 ...
PrismaPro QMG 250 (multiplicateur d'électrons/Faraday)
Tab. 2:
QMG 250 PrismaPro
Référence
Description abrégée
Domaine de
masse [u]
Détecteur
Source d’ions
Filament
chauffé
Câblage
PT M25 411
QMA 250 F1
1 à 100
Faraday
ouvert
W
Nickel
PT M25 412
PT M25 413
Ir-Y2O3
QMA 250 M1
Faraday/EM
W
PT M25 414
PT M25 415
Ir-Y2O3
CB
PT M25 416
W
Ir-Y2O3
PT M25 419
Grille
W
PT M25 417
Étanche au gaz
W
PT M25 418
8/92
Ir-Y2O3
Cuivre, plaqué argent
Nickel
A propos de ce manuel
Référence
Description abrégée
Domaine de
masse [u]
Détecteur
Source d’ions
Filament
chauffé
Câblage
PT M25 421
QMA 250 F2
1 à 200
Faraday
ouvert
W
Nickel
PT M25 422
PT M25 423
Ir-Y2O3
QMA 250 M2
Faraday/EM
W
PT M25 424
Ir-Y2O3
PT M25 425
CB
PT M25 426
W
Ir-Y2O3
PT M25 429
Grille
W
PT M25 427
Étanche au gaz
W
PT M25 428
PT M25 431
Nickel
Ir-Y2O3
QMA 250 F3
1 à 300
Faraday
ouvert
PT M25 432
PT M25 433
Cuivre, plaqué argent
W
Nickel
Ir-Y2O3
QMA 250 M3
Faraday/EM
W
PT M25 434
Ir-Y2O3
PT M25 435
CB
PT M25 436
W
Ir-Y2O3
PT M25 439
Grille
W
PT M25 437
Étanche au gaz
W
PT M25 438
Cuivre, plaqué argent
Nickel
Ir-Y2O3
Tab. 3:
Analyseur QMA 250
Référence de pièce
Description abrégée
Domaine de masse
[u]
Entrée/sortie
Version
PT M28 641
QME 250 M1
1-100
QME 250 M2
1-200
Standard
(sans IO 250)
droit
PT M28 642
PT M28 643
QME 250 M3
1-300
PT M28 651
QME 250 M1
1-100
PT M28 652
QME 250 M2
1-200
PT M28 653
QME 250 M3
1-300
PT M28 661
QME 250 M1
1-100
PT M28 662
QME 250 M2
1-200
PT M28 663
QME 250 M3
1-300
PT M28 671
QME 250 M1
1-100
PT M28 672
QME 250 M2
1-200
PT M28 673
QME 250 M3
1-300
Tab. 4:
étendu
(avec IO 250)
Standard
(sans IO 250)
angulaire, 90°
étendu
(avec IO 250)
Unité électronique QME 250
Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
9/92
A propos de ce manuel
● de la maintenance et du nettoyage,
● du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles.
Remarque
Conseil
Portez des gants de laboratoire
Contrôlez visuellement
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification.
Plaque signalétique (exemple)
Plaque signalétique pour PrismaPro
D-35614 Asslar
Mod. QMG 250
P/N
PT M16 312 210
S/N
4452....
Input 24 V DC 1.25 A 30 W
Made in United States 2020/02
10/92
A propos de ce manuel
1 2 3
3
Fig. 1:
Position des autocollants sur le produit
1 Plaque signalétique pour système QMG 250 entier
2 Plaque signalétique pour unité électronique QME 250
1.3.4
3
Plaque signalétique pour analyseur
QMA 250
Abréviations
Abréviation
Explication
AI
Entrée analogique
AO
Sortie analogique
BHCS
Vis bouton
C/B
Croisement (type de source d'ions)
DEC
Régleur d'émission numérique
DHCP
Protocole de communication pour l'attribution de la configuration du réseau (Dynamic
Host Communication Protocol)
DI
Entrée numérique
DO
Sortie numérique
DSP
Traitement de signal numérique
EE
Énergie d’électrons
EM
Multiplicateur d'électrons
ESD
Décharge électrostatique
FC
Seau de Faraday
FC-5311
Mélange d’isomères perfluoro (tétradéecahydrophénantrène) pour le calibrage de
masse dans le domaine de masse jusqu’à 624 u.
GND
Masse
HD
Haute densité, avec connexions Sub-D à faible espacement de broches
HF
Haute fréquence
HV
Haute tension
IP
Protocole internet
IQ
Source d’ions
Ir-Y2O3
Iridium recouvert d’oxyde d’yttrium (Y2O3) (Ir)
LAN
Réseau local
M
Filetage ISO métrique
MAC
Adresse du matériel d’un adaptateur réseau fournissant un identifiant univoque pour
l'appareil dans un réseau d’ordinateurs (commande accès médias)
ME
Unité de quantité
MSL
Niveau moyen de la mer
11/92
A propos de ce manuel
Abréviation
Explication
PP
Pression partielle
PV
Pfeiffer Vacuum
RF
Fréquence radio
RGA
Analyse de gaz résiduels
TCP/IP
Famille de protocoles internet (protocole de commande de transmission/protocole internet)
TP
Pression totale
UHV
Ultra vide
UTP
Paire torsadée non blindée (de fils dans un câble)
W
Tungstène
Web UI
Interface utilisateur via connexion web
Tab. 5:
1.4
Abréviations employées
Justificatif de marque du produit
● PrismaPro ® est une marque du produit déposée par Pfeiffer Vacuum GmbH.
● Windows® est une marque du produit de Microsoft Corporation.
12/92
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’unité électronique QME
Vous devez seulement raccorder l’unité électronique à un analyseur QMA correctement installé (prise de terre). La conduite d’alimentation 24 V de l’alimentation en courant SP ne sera connectée que
si la connexion de l’analyseur QMA n’est pas vissée à bloc sur l’unité électronique QME. Seul du personnel qualifié peut ouvrir l’unité électronique QME.
Aucun composant de l’unité électronique QME ne nécessite d’entretien par l’utilisateur.
► Installez l’analyseur QMA correctement avant d’installer l’unité électronique QME.
► Établissez une connexion de terre correcte entre les composants.
► L’unité électronique QME ne peut être ouverte que par du personnel de maintenance qualifié.
► N’utilisez jamais l’unité électronique QME quand elle est ouverte.
13/92
Sécurité
DANGER
Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur
Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de
l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dangereux au toucher. La tension électrique représente un danger mortel.
► Protégez les pièces installées, les unités raccordées et les lignes contre les connexions galvaniques, les éclats ou le flux porteur de charge.
► Assurez-vous que l’enceinte à vide, le QMA et l’appareillage complet ont toujours une connexion
correcte à la terre protectrice.
► Fournissez une protection supplémentaire si l’utilisateur risque de toucher l’analyseur quand le
système de vide est ouvert.
► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés.
► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système
(par exemple, en utilisant un contact de porte).
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments
sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en
service du dispositif.
► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier).
► N’ouvrez jamais le dispositif lorsqu’il est connecté à une alimentation en courant.
► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux.
► Protégez le dispositif contre l’humidité.
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double
isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010
et CEI 60950.
► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre
correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres.
14/92
Sécurité
Risques pendant le fonctionnement
ATTENTION
Risques sanitaires et environnementaux dus aux de gaz de procédé utilisés
Les gaz utilisés (gaz de procédé) constituent un risque sanitaire et environnemental.
► Contrôler l'étanchéité des branchements avant de laisser le gaz de procédé pénétrer dans le
système.
► Veiller à ce que le système des gaz d'échappement soit compatible avec les gaz injectés.
► Tenir compte des interactions potentielles entre les matériaux et les gaz de procédé.
► Respecter les directives en vigueur lors de la manipulation de gaz utilisés.
► Respecter les mesures de protection.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments
sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en
service du dispositif.
► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier).
► N’ouvrez jamais le dispositif lorsqu’il est connecté à une alimentation en courant.
► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux.
► Protégez le dispositif contre l’humidité.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque de brûlures pendant l'étuvage
Pendant et immédiatement après l'étuvage, la chemise chauffante et les surfaces métalliques à côté
de la chemise chauffante sont extrêmement chaudes. Les surfaces métalliques peuvent atteindre
des températures supérieures à 100 °C. Vous allez vous brûler si vous ne portez pas d'équipement
de protection individuel approprié.
► Lors de l'étuvage, portez toujours l'équipement de protection individuel (par exemple, des gants
protecteurs).
► Ne touchez jamais les surfaces sans porter de gants protecteurs, pendant ou immédiatement
après l'étuvage.
15/92
Sécurité
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Précautions de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Aspects liés à la sécurité
●
●
●
●
●
Une utilisation conforme va garantir une protection du personnel par l’appareil.
Il n’y a pas de risques électriques liés à l'appareil tant que l’appareil est utilisé de façon conforme.
Dans l’état actuel des connaissances, l’appareil ne génère pas de radiations dangereuses.
L'analyseur ne contient pas de substances nocives.
L’utilisation de l’analyseur dans des applications avec des substances de procédé toxiques va entraîner un dépôt des substances toxiques à la surface de l’analyseur.
● Des précautions de sécurité appropriées doivent être observées par le personnel de maintenant
quand il travaille avec des analyseurs contaminés.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
16/92
Sécurité
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Utilisation conforme
Le spectromètre de masse compact est utilisé pour l’analyse de pressions partielles. Les applications
typiques sont la mesure, la surveillance et le contrôle de procédé dans les systèmes de vide.
Utilisation du produit conformément à son usage prévu
► L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur.
► Se conformer aux limites d’utilisation.
► Observer la fiche technique.
2.5
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
●
●
●
●
●
●
2.6
Utilisation en dehors des limites prescrites dans la fiche technique
Utilisation pour des mesures déterminant la sécurité de personnes ou de grandes valeurs
Utilisation avec des substances corrosives ou explosives
Utilisation en extérieur
Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie
tierce :
● ignore ce document
● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu
● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante
● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit
correspondante
L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé.
2.7
Conditions propriétaire
Travailler en toute sécurité
1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique.
2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au
mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers
qu'il implique.
3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies :
– Utilisation conforme
– Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents
– Normes et directives applicables au niveau local, national et international
– Directives et régulations supplémentaires relatives au produit
4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum.
5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit.
6. Garantir la qualification du personnel.
17/92
Sécurité
2.8
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.8.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.8.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
18/92
Sécurité
2.8.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
2.9
Conditions opérateur
Analyse des documents et données concernés
1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la
société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements.
2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur.
3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents.
4. Se conformer aux limites d’utilisation.
5. Observer la fiche technique.
6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center.
– Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum.
19/92
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fournitures
Pièces incluses dans la livraison :
● QMG 250 PrismaPro
─ Analyseur QMA 250 avec protection pour le transport et pièce intermédiaire (variante EM uniquement)
─ Unité électronique QME 250
─ Unité d'alimentation SP 250
─ Joint cuivre DN 40 CF
● Matériel d’installation et petites pièces
─ Lot d’ensemble analyseur (écrou de fixation, joint torique, 6× boulons six pans avec écrous
(M6) et disques de freinage)
─ Clé à douille pour le remplacement des filaments
─ Outil de montage pour analyseur QMA 250
● Connecteurs multiples et câbles
─ Câble Ethernet (câble de mise à jour UTP, rouge, longueur 3 m, connexion croisée)
─ Prise Sub D (15 broches, mâle, avec carter et dispositif de soulagement de tension)
─ Prise Sub D HD 1) (62 broches, mâle, avec carter et dispositif de soulagement de tension)
─ Bouchon de câble 2) (Amphénol, 6 broches, mâle, pour connexion du tube de mesure)
● Documentation
─ Manuel de l’utilisateur (multilingue)
─ Guide de démarrage rapide (multilingue)
● Divers
─ Rapport de test (accessible sur l’appareil)
─ Web UI (accessible sur l’appareil)
─ Logiciel PV MassSpec (téléchargeable via PV Cloud)
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballer le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée.
3.2
Vue d’ensemble du système
3.2.1
Structure du système
Le PrismaPro comprend 4 composants principaux :
●
●
●
●
20/92
Analyseur
Unité électronique
Unité de courant SP 250 avec câble de secteur
Logiciel PV MassSpec
1)
Uniquement en relation avec le module optionnel IO 250 I/O
2)
Uniquement en relation avec le module optionnel IO 250 I/O
Description du produit
1
2
8
3
9
4
6
7
5
Fig. 2:
Composants principaux du PrismaPro
1 Analyseur QMA 250 F (avec seau de Faraday)
2 Écrou de fixation
6
7
3 Unité électronique QME 250 (construction droite)
4 Boîtier de connexion
8
5 Unité électronique QME 250 (construction angulaire)
9
Logiciel PV MassSpec
Unité de courant SP 250 avec câble de secteur
Analyseur QMA 250 M (avec EM)
Pièce intermédiaire (seulement sur la version
EM)
L’utilisation du module optionnel IO 250 I/O permet d’utiliser des interfaces additionnelles. L’unité électronique QME 250 est disponible avec l’IO 250 déjà installé. Pfeiffer Vacuum peut, cependant, aussi reconditionner l’unité électronique QME 250 avec un IO 250.
PrismaPro Web UI
Vous trouverez des informations détaillées sur l’utilisation du PrismaPro Web UI dans le
manuel de l’utilisateur correspondant.
Le PrismaPro peut fonctionner via l’interface utilisateur Web UI ou avec le logiciel extrêmement complet
PV MassSpec. Les données de mesure et l’évaluation des résultats de mesure ne peuvent être stockées qu’avec le logiciel PV MassSpec. Pour le fonctionnement de PV MassSpec, un PC avec le système d’exploitation Windows (Windows 7 ou supérieur) est nécessaire.
21/92
Description du produit
5
3
2
1
QME 250 IO 250
4
QMA 250
SP 250
DI AI DO AO
7
6
8
Fig. 3:
3.2.2
Vue d’ensemble du système
1 Source d’ions
2 Filtre quadripolaire
3 Détecteur Faraday
5
6
7
4 Multiplicateur d’électrons secondaire
(EM)
8
Connexion au PC (Ethernet) avec PV MassSpec
Jauges
Entrées et sorties additionnelles (analogiques/numériques)
Tension d’alimentation
Analyseur QMA 250
L’analyseur est composé des composants suivants :
● Source d’ions
● Filtre quadripolaire
● Détecteur d’ions
Il existe 2 variantes de détecteur d’ions :
● Analyseur QMA 250 F avec seau de Faraday
● Analyseur QMA 250 M en combinaison avec le seau de Faraday et un multiplicateur d’électrons
secondaire (EM) et une pièce intermédiaire DN 40 CF-F (longueur 116 mm)
5
2
Fig. 4:
4
3
1
Analyseurs avec protection pour le transport
1 Analyseur QMA 250 F
2 Protection pour le transport
3 Analyseur QMA 250 M
4
5
Pièce intermédiaire
Protection pour le transport
Le multiplicateur d’électrons secondaire (EM) est un amplificateur de courant fonctionnant dans des
conditions de vide élevé. Les analyseurs avec EM sont utilisés pour l’analyse de gaz résiduel et de trace à une pression totale très faible et des applications dans lesquelles une vitesse élevée de mesure
est nécessaire.
22/92
Description du produit
Les analyseurs avec détecteur Faraday fournissent une analyse de gaz résiduels dans un domaine de
pression totale > 10-7 hPa.
Pfeiffer Vacuum fournit seulement la version à source d’ions ouverte pour l’analyseur QMA 250 F avec
seau de Faraday. L’analyseur QMA 250 M est disponible en option avec une source d’ions ouverte, une
source d’ions croisés, une source d’ions à grille ou une source d’ions étanche au gaz (fermée).
Type
Description
Source d’ions ouverte
Source d’ions standard avec la sensibilité maximum
Source d’ions croisés
Source d’ions pour applications de faisceau moléculaire
Source d’ions à grille
Source d’ions pour l’analyse de gaz résiduelle dans l’UHV
(< 10-8 hPa)
Source d’ions étanche au
gaz
Source d’ions pour analyses de gaz quantitatives
Tab. 6:
1
Sources d’ions pour analyseur QMA 250 M
2 3 4 5
6
7
8
9
10
11
19
18 17
16
15
14 13
12
Fig. 5:
Composants de l’analyseur QMA 250 avec source d’ions ouverte
1
Unité à filament chauffé de la source d’ions
11
2
Source d’ions
12
3
Vis de fixation (3×) de la source d’ions
13
4
14
5
Écrou et vis de réglage pour l’alignement
et la sécurisation du système à tige quadripolaire dans le tube d’enveloppe
Vis (2×) du filtre quadripolaire
6
Tube d’enveloppe
16
7
Connexion HF pour système à tige quadripole
8 Vis de fixation (2×) de la bride de connexion dans le tube d’enveloppe
9 Connexion HF pour système à tige quadripole
10 Passage
3.2.3
15
Vis de fixation (2×) du multiplicateur d’électrons
dans le tube d’enveloppe
Vis de fixation et rondelle d’arrêt (3×) de l’analyseur au niveau du passage
Vis de fixation (2×) des connexions HF du système à tige quadripole
Vis (2×) du filtre quadripolaire
17
Isolateurs en céramique du câblage de la source d’ions
Isolateurs en céramique du câblage des filaments chauffés 3)
Connexions de la source d’ions (3×)
18
Connexions de l’unité à filament chauffé (3×)
19
Contacts sur l’analyseur (voir page 69)
Unité électronique QME 250
L’unité électronique est située sur l’analyseur et communique avec l’ordinateur de pilotage.
3)
Les isolateurs en céramique du câblage des filaments chauffés sont plus longs que les isolateurs en céramique du câblage de la source d’ions.
23/92
Description du produit
Fig. 6:
Désignation
Explication
Prise <AUX I/O>
Interface I/O (standard)
Prise <LAN>
Connexion Ethernet (PC)
Prise <24 V = 30 W>
Prise de raccordement pour SP 250
Prise <USB>
Connexion USB pour IO 250
Prise <EXT I/O>
Interface I/O (étendue) pour IO 250
Prise <TP GAUGE>
Raccordement pour la mesure pour IO 250
LED <STAT>
État marche/arrêt de l’émission
LED <POWER>
Alimentation électrique marche/arrêt
Tab. 7:
3.2.4
Face avant du QME 250 : côté gauche standard, côté droit avec IO 250
Éléments de la face avant
Logiciel PV MassSpec
Le système de spectromètre de masse PrismaPro peut être configuré et exploité avec le logiciel
PV MassSpec. Le logiciel permet d'afficher, d'évaluer, de comparer et de sauvegarder les données de
mesure.
Fig. 7:
PV MassSpec
3.3
Interfaces
3.3.1
ALIMENTATION ÉLECTRIQUE
La connexion <24V = 30W> comprend un connecteur réseau verrouillable à 4 broches qui est isolé en
interne de la mise à la terre secteur.
24/92
Description du produit
2
1
4
3
Fig. 8:
Vue du connecteur de réseau
1 V2 V-
3.3.2
3
4
V+
V+
Ethernet (LAN)
La connexion <LAN> comprend une prise RJ-45 à 8 broches.
RJ-45
1
8
green yellow
Fig. 9:
Connexion Ethernet
1 Transmission de données (TD+)
2 Transmission de données (TD-)
3 Réception de données (RD+)
4, 5, 7, 8
6
LED
État
Signification
Verte (lien)
allumée
Connexion de l'équipement présente
éteinte
Connexion de l'équipement absente
allumée (clignotement)
Transmission de données en cours
éteinte
Aucune transmission de données/absence de connexion
Jaune (activité)
Tab. 8:
État de la connexion Ethernet
AUX I/O
La connexion <AUX I/O> comprend une prise Sub-D à 15 broches. L’unité électronique QME 250 PrismaPro prend en charge les fonctions I/O via la connexion <AUX I/O> sur la plaque frontale.
15
Fig. 10:
1
2
3
7
8
9
1
→
8
→
3.3.3
Non utilisé
Réception de données (RD-)
9
AUX I/O, prise Sub-D à 15 broches
Relais (COM)
Relais (NO)
Relais (NC)
0 V (GND pour sortie 24 V)
+ 24 V (sortie, max. 1 A)
Entrée analogique 1 (+)
10
13
14
15
4, 5, 6, 11, 12
Entrée analogique 1 (-)
Entrée numérique 1 (pré-réglage : Émission OFF)
Entrée numérique 0 (pré-réglage : Émission ON)
GND
non attribué
Types de contacts
● COM : Contact à permutation (commun)
● NC : Contact de repos
● NO : Contact de travail
25/92
Description du produit
Relais
L’état de la sortie relais est actif (fermé) quand l’émission est activée.
● Émission ON : broche 1 + broche 2 connectées = relais fermé.
● Émission OFF : broche 1 + broche 2 non connectées = relais ouvert.
● Charge de contact : 24 V (DC) à 0,5 A
Le pré-réglage de la sortie relais détermine l’état de l’émission. Vous pouvez attribuer d’autres fonctions de commutation au relais via le logiciel PV MassSpec.
Entrée analogique
L’entrée analogique (broches 9 et 10) est différente et traite les entrées entre 0 et +10 V. PV MassSpec
prend en charge l’entrée analogique.
Entrées numériques
Les entrées DI 0 et DI 1 (broches 13 et 14) sont réglées par défaut pour la télécommande de l’état
d’émission. Vous pouvez utiliser les entrées numériques via le logiciel PV MassSpec pour d’autres
fonctions.
● Émission ON : broche 14 + broche 15 connectées.
● Émission OFF : broche 13 + broche 15 connectées.
Utilisation des entrées numériques pour contrôler les émissions
La commande de l’émission via les entrées numériques prend le pas sur tous les verrouillages logiciels et matériels.
Dans ce cas, un interverrouillage est nécessaire pour éviter l’activation de l’émission quand
la pression de fonctionnement du PrismaPro est trop élevée.
3.3.4
EXT I/O
La connexion <EXT I/O> comprend une prise Sub-D HD à 62 broches. L’unité électronique QME 250
PrismaPro prend en charge les fonctions I/O étendues via la connexion <EXT I/O> sur la face avant
avec l’IO 250 installé.
21
1
42
22
62
43
Fig. 11:
1
2
3
4
5
7
8
9
10
12
14
16
18
22
23
24
25
26
27
28
29
31
26/92
EXT I/O, prise Sub-D HD à 62 broches
Entrée numérique 13
Entrée numérique 14
Entrée numérique 15
Entrée numérique 16
Entrée numérique 17
Sortie numérique 2
Sortie numérique 3
Sortie numérique 4
Sortie numérique 5
Sortie analogique 3
Sortie analogique 2
Sortie analogique 1
Sortie analogique 0
Entrée analogique 2 (+)
Entrée analogique 2 (-)
Entrée analogique 3 (+)
Entrée analogique 3 (-)
Entrée analogique 4 (+)
Entrée analogique 4 (-)
Entrée analogique 5 (+)
Entrée analogique 5 (-)
Sortie numérique 8
32
33
34
35
36
37
38
21, 39, 40, 60
20, 41, 42, 62
43
44
45
46
47
48
49
50
51
52
6, 19, 30, 53, 54, 61
11, 13, 15, 17, 55, 56, 57, 58, 59
Sortie numérique 9
Sortie numérique 10
Sortie numérique 11
Sortie analogique 4
Sortie analogique 5
Sortie analogique 6
Sortie analogique 7
+24 V 4)
0 V 5)
Entrée analogique 6 (+)
Entrée analogique 6 (-)
Entrée analogique 7 (+)
Entrée analogique 7 (-)
Entrée analogique 8 (+)
Entrée analogique 8 (-)
Entrée analogique 9 (+)
Entrée analogique 9 (-)
Sortie numérique 6
Sortie numérique 7
GND_Signal
Terre analogique
4)
* La tension d’alimentation 24 V est disponible sur les broches +24 V/0 V pour la commutation des entrées et
des sorties numériques. Ensemble, le courant maximum pouvant passer est de 1 A.
5)
* La tension d’alimentation 24 V est disponible sur les broches +24 V/0 V pour la commutation des entrées et
des sorties numériques. Ensemble, le courant maximum pouvant passer est de 1 A.
Description du produit
Sortie analogique
● 8 canaux de sorties analogiques 16 bit (sortie analogique 0 à 7)
● Gamme de tension : 0 à 10 V
Entrées analogiques
● 8 canaux d’entrées analogiques 16 bit (sortie analogique 2 à 9)
● Gamme de tension : +/- 10 V
Sorties numériques
● 10 canaux de sorties numériques (sortie numérique 2 à 11), collecteur ouvert
Fig. 12:
Exemple de connexion : Sortie numérique EXT I/O
Entrées numériques
● 5 canaux de sorties numériques (sorties numériques 13 à 17), faible activité
27/92
Description du produit
Fig. 13:
3.3.5
Exemple de connexion : entrée numérique AUX I/O et EXT I/O
TP GAUGE
La connexion <TP GAUGE> comprend une prise amphénol 6 broches C 091 A pour la connexion des
jauges Pfeiffer Vacuum ActiveLine ou DigiLine avec l’option de relais analogique Analog Relay (AR),
par exemple comme protection du spectromètre de masse contre les augmentations imprévues de
pression.
3
2
4
6
1
Fig. 14:
5
TP GAUGE, prise amphénol 6 broches C 091 A
1 Identification
2 Masse (GND)
3 Entrée de signal (signal de mesure 0 à +10 V CC)
3.3.6
4
5
6
Masse analogique (signal de mesure -)
Protection, blindage
Alimentation électrique (+24 V CC)
USB
L’utilisation de la connexion mini USB <USB> est réservée au personnel de maintenance Pfeiffer Vacuum, pour la maintenance.
3.4
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
28/92
Description du produit
3.5
Principe de fonctionnement
Le spectromètre de masse compact PrismaPro est un système de spectromètre de masse quadripole
pour l’analyse de gaz qualitative et quantitative dans une gamme de vide élevé et d’ultra vide pour la
détection de fuites et l’identification de contaminations.
Une source d’ions à faisceau d’électrons ionise les particules de gaz neutre. Un champ quadripolaire
électrique à haute fréquence sépare les ions générés les uns des autres conformément au rapport entre la masse et la charge. La détection des ions filtrés est effectuée à l’aide d’un seau de Faraday ou
d’un multiplicateur d’électrons secondaire (EM). Ce faisant, le flux d’ions détecté est proportionnel à la
pression partielle des composants de gaz respectifs. Le système de spectromètre de masse quadripole
est un instrument de mesure relative nécessitant un calibrage avec des gaz de calibrage correspondants afin d’obtenir une analyse de gaz quantitative précise. L’électronique du système de spectromètre
de masse quadripole génère et contrôle les tensions directes, haute et HF nécessaires pour les sources
d’ions, le filtre quadripolaire et le détecteur.
Le système de spectromètre de masse quadripole permet la configuration et le fonctionnement via l’interface utilisateur basée sur le web (web UI) ou à l’aide du logiciel quadripole PV MassSpec.
PV MassSpec permet l’évaluation, le stockage et la comparaison des données de mesure.
A
B
C
1
3
2
U + V · cos ω · t
Fig. 15:
Principe du système de spectromètre de masse quadripole
A Formation d’ions dans la source d’ions à partir de l’ionisation par impact des électrons
1 Optique des ions
2 Zone de formation
3 Filament chauffé
B Séparation des ions selon le rapport entre la masse et la charge
C Détection des ions dans le détecteur d’ions
29/92
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transporter le produit en toute sécurité
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant
l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Stocker le produit en toute sécurité
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température d’entreposage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
30/92
Installation
5 Installation
5.1
Installation de PrismaPro
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments
sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en
service du dispositif.
► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier).
► N’ouvrez jamais le dispositif lorsqu’il est connecté à une alimentation en courant.
► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux.
► Protégez le dispositif contre l’humidité.
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double
isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010
et CEI 60950.
► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre
correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres.
AVIS
Défaillance liée à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à
toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
31/92
Installation
AVIS
Dommages matériels causés par des conditions spatiales inadéquates
En cas de conditions spatiales inadéquates, des courts-circuits entre l'analyseur et le mur vont causer des dommages matériels.
► Respectez les conditions spatiales requises pour le PrismaPro.
► Installez toujours l’analyseur dans des brides ou des tubes d’un diamètre interne ≥ 37 mm, et
> 39 mm quand c’est possible.
► Observez la profondeur d’installation de l’analyseur.
► Observez le rayon de courbure du câble.
► Le câble ne doit pas avoir de nœuds.
Accès aisé
Lors de l'installation, vérifiez que l’unité est aisément accessible pour faciliter l’installation
subséquente et les travaux de maintenance.
Outils nécessaires
● Jeu de douilles
● Cié à douille PT 163 508 pour écrous M 1.6
● Clé dynamométrique
Filetage
Couple de serrage
M 1.6
0,15 Nm
M 2.0
0,40 Nm
M 2.5
0,85 Nm
Tab. 9:
Couples de serrage requis
Procédure
1. Serrez toutes les vis et les écrous au couple de serrage nécessaire.
2. Installez l’analyseur.
3. Installez l’unité électronique.
4. Raccordez le câble de communication.
5. Raccordez l’alimentation électrique.
5.2
Installation de l’analyseur
DANGER
Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur
Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de
l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dangereux au toucher. La tension électrique représente un danger mortel.
► Protégez les pièces installées, les unités raccordées et les lignes contre les connexions galvaniques, les éclats ou le flux porteur de charge.
► Assurez-vous que l’enceinte à vide, le QMA et l’appareillage complet ont toujours une connexion
correcte à la terre protectrice.
► Fournissez une protection supplémentaire si l’utilisateur risque de toucher l’analyseur quand le
système de vide est ouvert.
► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés.
► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système
(par exemple, en utilisant un contact de porte).
32/92
Installation
AVIS
Endommagement de l'analyseur causé par des tensions et des champs magnétiques externes
N’exposez jamais le système d'électrodes de l'analyseur à des tensions externes dangereuses en
cas de contact, provenant de connexions galvaniques, d'un contact, d’un éclat, de faisceau d'électrons ou d'ions, etc. Si des sources dangereuses de ce type existent dans l’enceinte à vide, vous devez fournir des mesures protectrices qui éliminent en toute sécurité ces influences. Des tensions externes, même faibles, sur l'analyseur vont endommager l'électronique et entraîner des résultats de
mesure inexacts.
► Prenez des mesures protectrices efficaces contre les tensions externes (par exemple, meilleure
disposition, blindage, prise de terre, etc.).
► Ne montez pas l’analyseur à côté de champs magnétiques de > 0,2 mT.
► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés.
► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système
(par exemple, en utilisant un contact de porte).
► Observez les standards applicables au système de vide.
AVIS
Dysfonctionnement causé par une installation incorrecte
Vous devez installer correctement l’analyseur QMA en termes de technique du vide, afin que les gaz
à tester puissent accéder sans encombre à l’analyseur. C’est la seule façon de déterminer correctement la composition du gaz dans l’enceinte à vide. Quand des matières se sont vaporisées ou des
revêtements de vide se sont déposés dans l’enceinte à vide, vous devez protéger l'analyseur contre
la séparation de ces matières sur ses surfaces, à l’aide d’un écran ou d’un baffle.
► Installez toujours de façon correcte.
► Vérifiez que l’échange de gaz entre l'analyseur et l’enceinte à vide n’est pas gêné.
► Installez un écran ou un baffle pour éviter la formation d’un revêtement de vide de l'analyseur.
► L’analyseur doit être inclus dans la zone d'étuvage si vous chauffez le système.
– Vous pouvez aussi monter l'analyseur avec un chauffage séparé.
Positionnement horizontal de l’analyseur
L'analyseur est approprié pour une installation dans une position arbitraire sur le système
de vide. Pfeiffer Vacuum recommande une position de montage à l’horizontale. Ceci offre
les avantages suivants :
● Protection optimale de l'unité électronique contre la chute d’articles
● Installation plus aisée
● Accès aisé à la face avant de l’unité électronique
Outils requis
● 2 clés à fourche, WAF 10
Équipement nécessaire
● 1 joint cuivre (490DFL040-ID39-S-S5)
● Fils de cuivre dénudés ou jaune-vert avec une surface de section de 2,5 mm2 ou 4,0 mm2
33/92
Installation
1
2
Fig. 16:
3
Fixation et mise à la terre de l’analyseur
1 Marquage de la connexion de terre avec le symbole de prise de terre
2 Connexion de mise à la terre (M4)
QMA 250 F
3
Position des têtes de vis
QMA 250 M
1
2
3
Fig. 17:
Auxiliaire d’assemblage et protection pour le transport
1 Protection pour le transport
2 Analyseur
3
Outillage d’installation
Procédure
1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage fourni.
2. Avec précaution, retirez la protection pour le transport.
3. Stockez la protection pour le transport dans un endroit sûr pour une utilisation ultérieure.
4. Sécurisez l'analyseur avec un nouveau joint cuivre de façon à assurer la conductivité électrique
sur l’enceinte à vide (bride CF DN 40) pour garantir la mise à la terre de l’analyseur comme prescrit.
5. Fixez les vis avec les têtes de vis sur le même côté que l’unité électronique pour éviter les détériorations entre l’écrou de fixation noir et les matières d'installation de l’analyseur.
34/92
Installation
6. Pour un système de vide sans mise à la terre : préparez un connecteur de mise à la terre à
partir d’un fil de cuivre dénudé ou jaune-vert (2,5 mm2 si mécaniquement protégé 4,0 mm2 si non
protégé).
7. Raccordez la connexion de mise à la terre marquée spécifiquement (M4) à la terre de fonction à
l’aide d’un conducteur de mise à la terre séparé.
5.3
Assembler l’unité électronique
DANGER
Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’unité électronique QME
Vous devez seulement raccorder l’unité électronique à un analyseur QMA correctement installé (prise de terre). La conduite d’alimentation 24 V de l’alimentation en courant SP ne sera connectée que
si la connexion de l’analyseur QMA n’est pas vissée à bloc sur l’unité électronique QME. Seul du personnel qualifié peut ouvrir l’unité électronique QME.
Aucun composant de l’unité électronique QME ne nécessite d’entretien par l’utilisateur.
► Installez l’analyseur QMA correctement avant d’installer l’unité électronique QME.
► Établissez une connexion de terre correcte entre les composants.
► L’unité électronique QME ne peut être ouverte que par du personnel de maintenance qualifié.
► N’utilisez jamais l’unité électronique QME quand elle est ouverte.
AVIS
Dommage causé par la surchauffe de l’unité électronique QME
La température ambiante ne doit pas excéder la température de service admissible du dispositif. La
meilleure performance est atteinte quand l’unité électronique QME n’est pas à côté de sources de
chaleur où elle est exposée à de fortes variations de température.
► Veiller à ce que l’air puisse circuler sans entrave.
► Assurez-vous que le ventilateur est installé sur la face avant et qu’il est activé pendant le fonctionnement.
► Assurez-vous que l’air puisse entrer par les ouvertures sur la face avant de la QME et sortir sans
obstruction par l’arrière du dispositif.
► Observez les températures de fonctionnement admissibles.
AVIS
Dommages liés à la torsion des contacts
Vous risquez de plier les contacts si vous appliquez une force exagérée lors du montage du boîtier
électronique angulaire. Cela endommagerait et déformerait les contacts.
► Appliquez une force seulement sur le boîtier de connexion angulaire de l’unité électronique.
Condition préalable
● Analyseur QMA 250 installé correctement sur l’enceinte à vide.
Équipement nécessaire
● Kit d’installation de l’analyseur avec écrous de fixation et joint torique
Procédure
1. Faites glisser l’écrou de fixation sur l’extrémité de l’analyseur.
2. Placez le joint torique sur l’extrémité de l’analyseur.
3. Roulez le joint torique vers le bas de l’analyseur jusqu’à ce qu’il repose dans la rainure.
4. Avec précaution, insérez l’unité électronique jusqu’à la marque entaillée sur l’analyseur installé
précédemment.
5. Vérifiez que la languette de mise à la terre et la rainure de guidage sont bien positionnées.
6. Assurez-vous que l’unité électronique est montée correctement.
7. Serrez manuellement l’écrou de fixation sur l’unité électronique.
L’écrou de serrage comprime le joint torique et assure un bon serrage de l’unité électronique sur le boîtier de l’analyseur.
35/92
Installation
5.4
Établir une connexion électrique par connecteur mâle/femelle
5.4.1
Établissement de la connexion Ethernet
Le PrismaPro n'a pas de commandes propres. Un PC (ordinateur de pilotage) ou un réseau est requis
pour le fonctionnement. 2 LED dans la prise RJ-45 indiquent l'état de l’interface.
Raccordement du câble Ethernet
► Raccordez le câble Ethernet fourni à l’unité électronique QME 250 et au PC.
5.4.2
Raccordement de l’alimentation en courant
AVIS
Dommages dûs au débranchement ou au raccordement du câble d’alimentation électrique
sous tension
Débrancher ou brancher le câble d’alimentation électrique quand il est sous tension sur l’unité électronique QME va endommager celle-ci.
► Avant de débrancher le câble d’alimentation électrique, vérifiez qu’il n’est pas sous tension.
► Avant de brancher le câble d’alimentation électrique, vérifiez qu’il n’est pas sous tension.
AVIS
Défaillance des branchements électriques causée par des influences perturbatrices externes
Pour des raisons de compatibilité électromagnétique (CEM) (effets d'interférence externe), nous recommandons fortement un point de prise de terre central pour tous les appareils accouplés ensemble (par exemple, le groupe de pompage, l’unité de commande, le PC, l’enregistreur, etc.). Une prise
multiple, ou mieux, un distributeur de puissance avec un interrupteur secteur remplit la fonction de
façon simple.
Sauf : pour les ordinateurs installés éloignés les uns des autres ou dans un environnement fortement
perturbé.
► Utilisez une prise multiple ou un distributeur de puissance avec un interrupteur secteur.
► Acheminez séparément le câble de commande par rapport à la source d'interférence.
AVIS
Dommage causé par une charge mécanique des connexions électriques
Des charges mécaniques, des mouvements violents, etc. entraînent des contraintes et des dommages sur les connexions électriques.
► Vérifiez que les connexions électriques ne sont pas soumises à des contraintes.
Conditions préalables
● Conditions ambiantes appropriées
● Une ventilation adéquate est garantie
● Tension secteur 100 à 240 V (AC) / 50 à 60 Hz / 80 W max.
Procédure
1. Coulissez en arrière le blocage sur le connecteur de câble 24 V de l'alimentation en courant.
2. Raccordez le câble à la prise 24 V sur l’unité électronique QME 250.
3. Libérez le blocage pour engager le connecteur sur l’unité électronique QME 250.
4. Raccordez le câble de secteur d'alimentation en courant sur l’unité de courant.
5. Connectez le connecteur AC du câble de secteur dans une prise adéquate.
6. Vérifiez que la LED <POWER> s'allume sur la face avant.
7. Contrôlez le raccordement de puissance si la LED <POWER> ne s'allume pas.
5.5
Raccordement des jauges
Condition préalable
● IO 250 installé
36/92
Installation
Type de jauge
Conn.
Dégazage
<TP GAUGE>
non
Pfeiffer Vacuum ActiveLine
PCR 280
PKR 251 / PKR 261 / PKR 360 / PKR 361
non
PBR 260 / PBR 360
oui
TPR 270 / TPR 271 / TPR 280 / TPR 281
non
Pfeiffer Vacuum DigiLine
HPT 200 AR
<TP GAUGE>
non
PPT 200 AR
non
RPT 200 AR
non
MPT 200 AR
non
Tab. 10:
Jauges
Raccordement des jauges
► Raccordez la jauge sur le raccordement <TP GAUGE> du PrismaPro.
– L’unité électronique détecte le type de jauge automatiquement quand elle est activée.
► Après le remplacement d’une jauge, déconnectez le connecteur de l’alimentation électrique de
l’unité électronique pendant 10 secondes, puis reconnectez-le.
– L’unité électronique lit le nouveau type de jauge.
Mise en circuit et hors circuit de la jauge dans PV MassSpec
La mise hors circuit de la jauge a un effet positif sur la mesure dans certaines applications. Par défaut,
la jauge est mise en circuit dans PV MassSpec.
1. Démarrez le logiciel PV MassSpec.
2. Dans la fenêtre « Principal », sélectionnez : Configuration > Capteur : Configuration du matériel
3. Commutez la jauge dans « Matériel » : Manomètre Externe ON ou OFF (Oui/Non).
– Cette sélection est conservée au redémarrage du PrismaPro.
4. Remettez en circuit une jauge hors circuit dans « Matériel » : Manomètre Externe On.
5.6
Établissement d’une connexion au réseau
Le PrismaPro utilise Ethernet comme méthode de communication standard et a une adresse IP et une
adresse MAC.
● Adresses IP
Un réseau utilise des adresses IP comme moyen d’identification des unités individuelles. Les
adresses IP sont uniques dans un réseau mais ne sont pas universelles ce qui signifie qu’un seul
appareil dans un réseau peut disposer d'une certaine adresse IP, mais deux appareils dans un
réseau séparé peuvent avoir la même adresse IP.
● Adresses MAC
Les adresses MAC sont une autre identification unique pour chaque appareil. Les adresses MAC
sont singulières.
PV MassSpec utilise des adresses IP pour localiser et identifier les systèmes PrismaPro dans un réseau. Vous pouvez trouver des informations sur certaines variables de réseau affectant la connexion
PrismaPro dans les sections suivantes.
5.6.1
Adresses IP
AVIS
Conflit des adresses IP lors de l’utilisation de plusieurs appareils PrismaPro
Pfeiffer Vacuum fournit à chaque appareil PrismaPro la même adresse IP par défaut. La connexion
simultanée de plusieurs PrismaPro avec une adresse IP identique entraîne des conflits d'adresse IP
dans le réseau.
1. Changez les adresses IP des appareils PrismaPro connectés.
2. Raccordez les appareils PrismaPro à un réseau.
37/92
Installation
Utilisation des adresses IP
Pfeiffer Vacuum recommande l'utilisation d’adresses IP statiques.
Réservez un bloc d'adresses IP statiques et vérifiez que ces adresses IP réservées sont
interdites sur le serveur DHCP (hôte). Cela évitera tout conflit avec des doublons d'adresses IP.
Si vous connectez le PrismaPro à un réseau local existant, une adresse IP statique est nécessaire pour chaque PrismaPro installé. Consultez votre administrateur réseau pour qu’il
attribue les différentes adresses IP.
Les adresses IP statiques protègent contre la perte de données.
Le logiciel PV MassSpec utilise l’adresse IP du PrismaPro pour identifier chaque PrismaPro connecté. L’adresse IP du PrismaPro ne doit pas changer pendant le fonctionnement.
Avec DHCP, l’hôte peut générer une nouvelle adresse IP à chaque connexion et reconnexion du PrismaPro. DHCP peut également modifier automatiquement l’adresse IP en cas
de conflit d’adresse IP sur le réseau. Si l'adresse du PrismaPro change de façon aléatoire
pendant l’acquisition de données, PV MassSpec ne sera pas automatiquement reconnecté
au PrismaPro, car PV MassSpec ne prend pas en charge la nouvelle adresse IP qui a été
attribuée. Il en résulte une rupture de communication et de données.
Les adresses IP statiques changent seulement si l’adresse IP est modifiée manuellement,
ce qui contribue à protéger le PrismaPro contre toute perte de communication et de données.
Adresse IP standard du PrismaPro
● Préfixe réseau : 192.168.x.xxx
● Adresse IP : 192.168.1.100
Le PrismaPro utilise des adresses IP IPv4. Les adresses IP IPv4 sont composées de 32 bit en notation
décimale pointée. Elles sont constituées de quatre numéros décimaux, séparés chacun de 0 à 255 par
des points, par exemple : 192.168.1.100. Chaque numéro représente un octet. En principe, les adresses IP contiennent un préfixe réseau et un protocole hôte.
Réglage des adresses IP
► Recommandation : Utilisez des adresses IP statiques.
– Vous pouvez régler et modifier manuellement les adresses IP statiques.
► N’utilisez pas d’adresses IP dynamiques.
– Un hôte (DHCP) règle automatiquement ces adresses IP.
► Une alternative au changement d’adresse IP du dispositif consiste à modifier l’adresse IP de l’ordinateur de pilotage, afin de permettre la communication entre l’ordinateur de pilotage et le dispositif.
5.6.2
Sous-réseaux
Masque de sous-réseau standard du PrismaPro
● Masque de sous-réseau : 255.255.0.0
Un sous-réseau est une sous-division logique visuelle d’un réseau IP. Le fait de diviser un réseau IP en
plusieurs sous-réseaux est désigné par sous-réseautage. Le sous-réseautage définit la partie de
l’adresse IP qui est utilisée comme préfixe de réseau pour toutes les adresses IP au sein d’un sousréseau. Cette opération est effectuée par le masque de sous-réseau.
Exemple 1
Exemple 2
Exemple 3
Adresse IP
192.168.1.104
192.168.1.105
192.168.1.150
Masque de sous-réseau
255.255.255.0
255.255.0.0
255 255 255 192
Préfixe réseau
192.168.1.0
192.168.0.0
192.168.1.128
Protocole hôte
0.0.0.104
0.0.1.105
0.0.0.22
Tab. 11:
Exemples de sous-réseaux
Le masque de sous-réseau définit quel octet doit être utilisé par l’adresse IP comme préfixe réseau.
Pour que 2 appareils réseaux puissent communiquer, ils doivent être situés dans le même sous-réseau.
38/92
Installation
Cela implique que non seulement, ils doivent être connectés au même réseau internet, mais également
qu’ils doivent avoir le même préfixe réseau. Quand 2 appareils sont identifiés par 2 préfixes réseau différents, cela signifie qu'ils sont localisés sur des sous-réseaux différents.
5.6.3
Changement de l’adresse IP PrismaPro
Manuel de l’utilisateur pour Web UI et PV MassSpec
Les informations sur le fonctionnement de PrismaPro via Web UI et PV MassSpec sont disponibles dans le manuel de l'utilisateur séparé pour Web UI et dans la documentation du
logiciel PV MassSpec.
Procédure
► Changez l’adresse IP du dispositif en utilisant Web UI.
► Changez l’adresse IP du dispositif à l’aide de PV MassSpec Search.
5.6.4
Modification de l’adresse IP de l’ordinateur hôte
Droits d’administrateur
Les étapes suivantes sont valables pour le système d’exploitation Windows 7. Toute modification de l’adresse IP de l’ordinateur hôte nécessite des droits d’administrateur. Contactez
votre administrateur système le cas échéant.
Adresse IP par défaut 192.168.1.100
Par défaut, l'adresse IP de l’unité est 192.168.1.100. Vous ne pouvez pas l’utiliser ici.
Rétablissement de la valeur par défaut de l’adresse IP
Effectuez toutes les étapes depuis le début et remplacez à nouveau les propriétés IPv4 par
les valeurs standards pour régler l’adresse IP sur la valeur standard.
Procédure
1. Dans la barre des tâches, cliquez sur Démarrer.
2. Cliquez sur Panneau de contrôle.
3. Dans « Réseau et Internet », cliquez sur État du réseau et tâches.
4. Cliquez sur Modifier les réglages de l’adaptateur.
5. Cliquez sur le bouton droit de la souris sur la connexion existante (p. ex. RÉSEAU LOCAL).
6. Sélectionnez Propriétés.
7. Sélectionnez Internet Protocol Version 4 (TCP/IPv4).
8. Sélectionnez Propriétés.
9. Dans le menu Propriétés, sous la rubrique Utiliser l'adresse IP suivante, entrez l’adresse IP
192.168.1.xxx et le masque de sous-réseau 255.255.0.0.
– « xxx » ne doit pas correspondre à 100 dans l’adresse IP.
10. Confirmez les entrées avec OK pour valider l’adresse IP sélectionnée manuellement.
11. Quittez toutes les fenêtres Panneau de contrôle ouvertes.
5.7
Connexion du PrismaPro
5.7.1
Connexion de chaque PrismaPro individuel
Installation d’un PrismaPro unique dans un réseau privé
► Changez seulement l’adresse IP du PrismaPro si l’ordinateur de pilotage utilisé a un préfixe réseau différent de celui du PrismaPro.
► Changez l'adresse IP de l’ordinateur de pilotage si l’ordinateur de pilotage n’a pas le même préfixe de réseau et le même masque de sous-réseau que le PrismaPro.
39/92
Installation
Connexion d’un PrismaPro unique directement à l’ordinateur de pilotage
► Changez seulement l’adresse IP du PrismaPro si l’ordinateur de pilotage utilisé a un préfixe réseau différent de celui du PrismaPro.
► Changez l'adresse IP de l’ordinateur de pilotage si l’ordinateur de pilotage n’a pas le même préfixe de réseau et le même masque de sous-réseau que le PrismaPro.
Installation d’un PrismaPro unique dans un réseau local existant
► Changez l’adresse IP standard du PrismaPro si celle-ci est incompatible avec le réseau.
5.7.2
Raccordement de plusieurs appareils PrismaPro
AVIS
Conflit des adresses IP lors de l’utilisation de plusieurs appareils PrismaPro
Pfeiffer Vacuum fournit à chaque appareil PrismaPro la même adresse IP par défaut. La connexion
simultanée de plusieurs PrismaPro avec une adresse IP identique entraîne des conflits d'adresse IP
dans le réseau.
1. Changez les adresses IP des appareils PrismaPro connectés.
2. Raccordez les appareils PrismaPro à un réseau.
Conflits avec les réseaux locaux
Les routeurs peuvent causer des conflits avec les réseaux locaux quand le routeur tente de
régler les adresses IP de tous les appareils connectés au réseau.
Les appareils PrismaPro sont connectés au réseau et nécessitent des adresses IP individuelles. Les
adresses IP sont attribuées par un administrateur du réseau.
Connexion de plusieurs appareils PrismaPro à l’ordinateur de pilotage
1. Configurez un réseau local privé pour connecter plusieurs PrismaPro à un seul ordinateur de pilotage.
2. Changez les adresses IP de tous les PrismaPro manuellement.
3. Installez les PrismaPro sur un routeur ou un commutateur Ethernet.
4. Connectez le routeur ou le commutateur Ethernet à l’ordinateur de pilotage via le port RÉSEAU
LOCAL du routeur/commutateur Ethernet.
Installation de plusieurs PrismaPro dans un réseau local existant
1. Utilisez un commutateur Ethernet plutôt qu’un routeur pour installer plusieurs PrismaPro dans un
réseau local existant.
2. Connectez tous les PrismaPro au commutateur Ethernet.
3. Connectez le commutateur Ethernet au réseau local.
5.8
Installation de PV MassSpec
Données d’accès
Scannez le code QR ou cliquez ici pour télécharger la dernière version du logiciel
PV MassSpec. Mot de passe : PrismaPro.
Fig. 18:
40/92
Raccourci sur le bureau
Installation
Procédure
1. Ouvrez la table des menus dans le Cloud Pfeiffer Vacuum.
2. Téléchargez le logiciel.
3. Démarrez l’installation du logiciel en double-cliquant sur «
PVMassSpec_Installer.exe ».
4. Si nécessaire, accusez réception de l’invite de commande de compte d'utilisateur en cliquant sur
« Oui ».
5. Continuez l'installation à l’aide de l’assistant.
6. Acceptez la licence en cliquant sur « Oui ».
7. Entrez votre nom et le nom de votre entreprise dans la fenêtre des informations client.
8. Confirmez les entrées avec « Suivant ».
– Le logiciel effectue et termine l’installation, stocke les données du programme sur le disque C
dans le nouveau dossier « Pfeiffer Vacuum ».
À la fin de l’installation, un lien PV MassSpec est créé sur votre bureau.
41/92
Mise en service
6 Mise en service
6.1
Mise en service de l’appareil
Paramètres d’usine
Pfeiffer Vacuum configure de façon optimale les systèmes complets à l’usine. Vous ne devez donc pas effectuer de changements sans une bonne raison.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
Composants du système correctement installés
Conditions pertinentes remplies pour le vide ou le système
Fiche technique respectée
Connecteur de réseau retiré
Vide requis disponible
─ < 10-4 hPa pour QMA 250 F
─ < 10-5 hPa pour QMA 250 M
Procédure
1. Raccordez le câblage des composants du système.
2. Établissez une connexion LAN avec le PC (directe ou via un réseau).
3. Configurez le PC selon les instructions dans la documentation du logiciel.
4. Consultez le manuel de l'utilisateur correspondante pour les autres composants du système.
6.2
Mettre sous tension d’appareil
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments
sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en
service du dispositif.
► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier).
► N’ouvrez jamais le dispositif lorsqu’il est connecté à une alimentation en courant.
► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux.
► Protégez le dispositif contre l’humidité.
PrismaPro Web UI n’autorise pas de stockage de données
PrismaPro Web UI est un outil de surveillance et de diagnostic à distance, conçu pour la
surveillance des données et des diagnostics simples du vide. Le stockage ou l’affichage de
données dans un graphique de tendance est impossible avec PrismaPro Web UI.
Utilisezun programme logiciel complet comme PV MassSpec pour stocker des données, le
mode crête sélectionné ou des graphiques de tendance.
Activer ou désactiver le QME sur le connecteur de réseau seulement
Activez ou désactivez le QME en insérant ou en débranchant le connecteur de réseau seulement. Le connecteur 24 V doit toujours rester branché.
42/92
Mise en service
Transmission de données
Si la DEL jaune de la connexion Ethernet reste éteinte, un problème est apparu pendant la
transmission des données. Contrôlez le câble et les composants dans le chemin de connexion, ainsi que la configuration correcte du PC (logiciel, état du pare-feu, etc.).
Procédure
Comme alternative au fonctionnement avec le logiciel PV MassSpec, vous pouvez aussi piloter PrismaPro via Web UI. Web UI permet d’effectuer des mesures simples ainsi qu’une détection de fuites. De
plus, vous pouvez aussi ajuster et régler différents paramètres de l’appareil.
1. Insérez le connecteur de réseau de l’unité de courant SP 250.
– La LED <POWER>
sur la face avant de l'unité électronique s'allume et le PrismaPro
QMG 250 est prêt pour l’utilisation.
2. Activez le PC.
3. Démarrez le logiciel PV MassSpec.
– La LED jaune de la connexion Ethernet du QME 250 s'allume par intermittence pour indiquer
que des données sont échangées.
4. Continuez la mise en service dans PV MassSpec.
43/92
Utilisation
7 Utilisation
7.1
Utilisation de PrismaPro Web UI
Vous trouverez des informations détaillées sur l’utilisation de PrismaPro Web UI dans le manuel de l'utilisateur correspondant.
7.2
Utiliser PV MassSpec
Vous trouverez des informations détaillées sur l’utilisation de PV MassSpec dans le fichier d’aide du logiciel et dans ce mode d’emploi.
44/92
Mise hors service
8 Mise hors service
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments
sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en
service du dispositif.
► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier).
► N’ouvrez jamais le dispositif lorsqu’il est connecté à une alimentation en courant.
► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux.
► Protégez le dispositif contre l’humidité.
AVIS
Défaillance liée à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à
toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Activer ou désactiver le QME sur le connecteur de réseau seulement
Activez ou désactivez le QME en insérant ou en débranchant le connecteur de réseau seulement. Le connecteur 24 V doit toujours rester branché.
Condition préalable
● PrismaPro refroidi à la température ambiante
Mise hors service du PrismaPro
1. Déconnectez l’alimentation électrique.
– La LED <POWER>
sur la platine de l’unité électronique est éteinte.
2. Déconnectez le câblage des composants du système.
3. Déconnectez le câble de communication.
4. Quittez le logiciel PV MassSpec.
5. Déconnectez l’unité de commande électronique de l’analyseur.
6. Retirez l’analyseur du système de vide.
7. Montez la protection pour le transport sur l’analyseur.
45/92
Maintenance
9 Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Demande de garantie
Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure n’est pas couvert par la garantie.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
9.1
Exécution du travail de maintenance
Entretien de l’analyseur QMA 250
L’analyseur vieillit en fonctionnant normalement et ne nécessite par de maintenance préventive ou régulière.
► Contrôlez visuellement l’analyseur.
► Éliminez les dysfonctionnements et les défauts qui résultent d’une source d'ions contaminée ou
d’un analyseur contaminé à l’aide de la fonction d'étuvage de la source d'ions ou par étuvage de
l’analyseur.
► Vérifiez si vous obtenez de meilleurs résultats avec les réglages du rapport de test avant d’effectuer une maintenance de grande ampleur.
– Une sensibilité inappropriée, des dysfonctionnements et des défauts peuvent aussi résulter
d'un réglage incorrect des paramètres de la source d'ions.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Entretien de l’unité électronique QME 250
L’unité électronique QME 250 ne nécessite normalement pas de maintenance ou de réparations.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
46/92
Maintenance
9.2
Rapport de test
Le rapport de test énumère les paramètres de la source d’ions qui ont obtenu de bons résultats pendant
l’inspection finale à l’usine.
Fig. 19:
Extrait d’un exemple de rapport de test
Visualiser le rapport de test
1. Ouvrez votre navigateur web.
2. Dans la barre d'adresse, entrez : http://<IP ADDRESS>//testreport.pdf
– À la place de <IP ADDRESS>, entrez l’adresse IP du PrismaPro.
Le fichier PDF du rapport de test va s’ouvrir.
9.3
Entretien de l’analyseur QMA 250
AVIS
Endommagement des filaments à cause d’une manutention incorrecte
Les filaments sont des unités pré-assemblées extrêmement sensibles. Les filaments sont aisément
endommagés en cas de manutention incorrecte.
► Seul du personnel qualifié doit être autorisé à remplacer les filaments.
► Ne touchez jamais un filament, même avec des gants.
► Ne pliez jamais l’unité filament.
► N’inclinez jamais l’unité filament, car cela déformerait le compartiment de formation.
47/92
Maintenance
AVIS
Défaillance liée à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à
toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Inspection visuelle avant le remplacement de l’unité filament
Inspectez et évaluez la source d'ions complète avant le remplacement de l’unité filament.
Pfeiffer Vacuum recommande de remplacer toute la source d'ions en cas de dommages,
de dépôts significatifs, d’encrassement ou de signes de contamination (p. ex., décoloration).
9.3.1
Inspecter visuellement l’analyseur QMA 250
Condition préalable
● PrismaPro désactivé
1
1
5
1
4
2
4
3
Fig. 20:
6)
48/92
Source d’ions avec source d’ions à ouverture comme exemple
1 Connexions de l’unité filament (3×)
4
2 Cage de déflecteur
3 Isolateurs en céramique du câblage des filaments et du câblage
de la source d’ions 6)
5
Connexions de la source
d’ions (3×)
Cage de l’anode (interne)
Les isolateurs en céramique du câblage des filaments sont plus longs que les isolateurs en céramique du câblage de la source d’ions.
Maintenance
1
2
6
Fig. 21:
5
4
3
Connexions du filament et de la source d’ions avec les étriers de fixation
1 Contrefiche en U
2 Vis
3 Contrefiche non parallèle à la contrefiche en U
4
5
6
Connexion bien montée
Contrefiche parallèle à la contrefiche en U
Connexion mal montée
Bonne connexion
Mauvaise connexion
● Fil dans le coin de la contrefiche en U
● Contrefiche en U non parallèle à la contrefiche
● Fil trop près de la vis
● Contrefiche en U parallèle à la contrefiche. Ceci pourrait entraîner une mauvaise connexion et une augmentation de la
résistance. Le fil peut se desserrer à cause des cycles de
température, causant ainsi une connexion intermittente.
Tab. 12:
Connexions du filament avec la source d’ions
1
1
2
2
Fig. 22:
Connexions haute fréquence du filtre de masse quadripolaire
1 Vis du filtre de masse quadripolaire
2
Connexions haute fréquence
Procédure
1. Inspectez la fixation sécurisée des étriers des connexions du filament (court-circuit).
2. Inspectez les zones oxydées des connexions du filament.
3. Inspectez la fixation sécurisée des étriers des connexions de la source d'ions (court-circuit).
4. Inspectez les zones oxydées des connexions de la source d'ions.
5. Inspectez les dommages sur les isolateurs en céramique des connexions du filament et de la
source d’ions.
– Les isolateurs en céramique isolent les câbles du tube d’enveloppe de l’analyseur.
6. Contrôlez la déformation ou la contamination de la cage de l’anode.
– La contamination peut ne pas être immédiatement évidente et peut seulement être identifiée
en cas de mauvaise performance.
49/92
Maintenance
7. Contrôlez la déformation ou la contamination des connexions de la cage du déflecteur.
– La contamination peut ne pas être immédiatement évidente et peut seulement être identifiée
en cas de mauvaise performance.
8. Contrôlez que le filtre de masse quadripolaire est connecté correctement.
9. Contrôlez que les hautes fréquences sont connectées correctement.
9.3.2
Étuvage de l’analyseur
AVERTISSEMENT
Risque de brûlures pendant l'étuvage
Pendant et immédiatement après l'étuvage, la chemise chauffante et les surfaces métalliques à côté
de la chemise chauffante sont extrêmement chaudes. Les surfaces métalliques peuvent atteindre
des températures supérieures à 100 °C. Vous allez vous brûler si vous ne portez pas d'équipement
de protection individuel approprié.
► Lors de l'étuvage, portez toujours l'équipement de protection individuel (par exemple, des gants
protecteurs).
► Ne touchez jamais les surfaces sans porter de gants protecteurs, pendant ou immédiatement
après l'étuvage.
AVIS
Endommagement de l’unité électronique (QME) causé par l'étuvage
Des températures trop élevées endommagent l’unité électronique.
► Démontez l’unité électronique de l’analyseur (Q&R) avant l'étuvage à une température > 200 °C.
AVIS
Endommagement du multiplicateur d'électrons (EM) causé par des températures excessives
L'activation du multiplicateur d'électrons à des températures élevées va entraîner des dommages
permanents.
► N'activez pas le multiplicateur d'électrons quand la température de l’analyseur > 150 °C.
Conditions préalables
● Système de vide avec chauffage pour l'étuvage de l’analyseur
● Température pouvant être atteinte avec le chauffage > 120 °C.
● Vide élevé > 1 × 10-5 hPa
Type de détecteur
Faraday
Combinaison EM/Faraday
Tab. 13:
En fonctionnement
QME retiré
200 °C
300 °C
Mode EM
150 °C
300 °C
Mode Faraday
200 °C
300 °C
Températures d'étuvage maximum
Étuvage de l’analyseur
1. Essayez de restaurer les performances normales en étuvant l’analyseur sous vide élevé pendant
plusieurs heures, idéalement pendant toute la nuit.
2. Vérifiez les filaments et la source d'ions si le résultat désiré n’est pas obtenu par étuvage de l’analyseur.
3. Contactez Pfeiffer Vacuum Service si vous ne pouvez pas éliminer le problème de cette façon.
50/92
Maintenance
9.4
Remplacer l’unité filament
Inspection visuelle avant le remplacement de l’unité filament
Inspectez et évaluez la source d'ions complète avant le remplacement de l’unité filament.
Pfeiffer Vacuum recommande de remplacer toute la source d'ions en cas de dommages,
de dépôts significatifs, d’encrassement ou de signes de contamination (p. ex., décoloration).
AVIS
Défaillance liée à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à
toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
AVIS
Endommagement des filaments à cause d’une manutention incorrecte
Les filaments sont des unités pré-assemblées extrêmement sensibles. Les filaments sont aisément
endommagés en cas de manutention incorrecte.
► Seul du personnel qualifié doit être autorisé à remplacer les filaments.
► Ne touchez jamais un filament, même avec des gants.
► Ne pliez jamais l’unité filament.
► N’inclinez jamais l’unité filament, car cela déformerait le compartiment de formation.
9.4.1
Remplacement du filament chauffé de la source d’ions ouverte
AVIS
Endommagement de l’anode du filament de la source d'ions à ouverture causé par le mouvement horizontal
Un mouvement horizontal excessif va endommager l'anode.
► Placez l'unité filament sur la source d'ions avec précaution et soin.
► Vérifiez que l’anode et le contre-alésage sont alignés.
Condition préalable
● PrismaPro désactivé
Outils requis
●
●
●
●
Clé à douille, WAF 3,2
Tournevis plat, 3 mm
Clé dynamométrique
Pince plate
Aides requises
● Auxiliaire de montage pour l’analyseur
Pièces de rechange requises
● Unité à filament chauffé pour source d’ions à ouverture avec filaments chauffés en tungstène ou
filaments chauffés iridium recouverts Y2O3
● Si nécessaire, lot de pièces PT 163 544 pour le remplacement des vis, écrous ou étriers
51/92
Maintenance
Logiciel requis
● PV MassSpec
Rondelle ressort sur unité filament
La rondelle ressort sur l’unité filament assure un contact flexible entre la cage du déflecteur
et la masse (GND) du QMA. La rondelle ressort doit toucher la vis de fixation sans que les
deux parties soient boulonnées ensemble.
6
1
4
7
2
5
3
Fig. 23:
8
Démontage de l’unité à filament chauffé de la source d’ions ouverte
1 Écrou (3×)
(M1.6, à encoche, acier inoxydable, plaquée or)
2 Disques de blocage (3×)
3 Contrefiche (3×)
4 Vis (3×)
(M1.6× 4, tête plate)
5
6
7
8
Étrier (3×)
(M1.6, pour filament chauffé)
Unité à filaments chauffés
Rondelle-ressort
Vis de fixation
Démontage de l'unité à filaments
1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage.
2. Retirez les écrous et les disques de serrage des contrefiches.
3. Tenez les étriers avec la pince plate.
4. Desserrez les vis des étriers sans trop dévisser les vis.
– La pince arrière va tomber si les vis sont trop desserrées.
5. Avec précaution, tirez sur les connexions du filament pour les enlever de l’unité filament.
6. Avec précaution, tirez sur l’unité filament pour l’enlever de la source d'ions.
1
3
6
4
2
Fig. 24:
52/92
7
8
9
5
Insertion de l’unité à filament chauffé de la source d’ions ouverte
1 Unité à filaments chauffés
6
2 Contre-alésage
7
3 Écrou (3×)
(M1.6, à encoche, acier inoxydable, plaquée or)
4 Disques de blocage (3×)
5 Contrefiche (3×)
8
Vis (3×)
(M1.6× 4, tête plate)
Étrier (3×)
(M1.6, pour filament chauffé)
Rondelle-ressort
9
Vis de fixation
Maintenance
Installation de l’unité filament
1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage.
2. Avec précaution, retirez l’unité filament du verrou de transport.
3. Montez la nouvelle unité filament sur les anneaux d’écartement afin que l’anode de l’unité filament
soit alignée avec le contre-alésage.
4. Sécurisez l’unité filament sur les anneaux d’écartement à l’aide d’écrous et de disques de serrage
neufs.
5. Serrez les écrous.
– Couple de serrage : 0,15 Nm
6. Insérez les connexions des filaments dans les contrefiches.
7. Serrez les vis.
– Couple de serrage : 0,15 Nm
8. Assurez-vous du bon contact de la rondelle ressort avec la vis de fixation.
– Ne boulonnez pas la rondelle ressort avec la vis de fixation.
9. Mesurez la résistance de chaque filament.
Réglage sur 0 (zéro) des paramètres dans le logiciel d’exploitation
1. Démarrez le logiciel PV MassSpec.
2. Dans la fenêtre « Principal », sélectionnez : Configuration > Capteur : Configuration du matériel
3. Réglez le temps de fonctionnement sur 0 (zéro) en utilisant la case à cocher « Régler le temps de
vie sur 0 heure ».
4. Entrez le temps désiré jusqu’à la prochaine maintenance dans le champ « Nombre d’heures avant
que la maintenance doive être effectuée ».
– Une fois que le temps configuré s’est écoulé, une alarme de rappel est émise toutes les
8 heures.
– Entrez la période de temps max. de 277,777 heures pour éviter l’alarme.
9.4.2
Remplacement de l’unité à filament chauffé de la source d’ions croisés
Renouveler les filaments des deux supports de filaments
Pfeiffer Vacuum recommande de toujours renouveler les filaments des deux supports de
filaments.
Condition préalable
● PrismaPro désactivé
Outils requis
●
●
●
●
Clé à douille, WAF 3,2
Tournevis plat, 3 mm
Clé dynamométrique
Pince plate
Aides requises
● Auxiliaire de montage pour l’analyseur
Pièces de rechange requises
● Unité à filament chauffé pour source d’ions croisés avec filaments chauffés en tungstène ou filaments chauffés iridium recouverts Y2O3
● Si nécessaire, lot de pièces PT 163 543 pour le remplacement des vis, écrous ou étriers
Logiciel requis
● PV MassSpec
53/92
Maintenance
11
1
2
3
4
5
6
10
9
8
7
Fig. 25:
Unité à filament chauffé de la source d’ions croisés
1 Étrier (4×)
2 Écrou (4×)
(rectangulaire)
3 Vis (4×)
(M1.6×5, à encoche, acier inoxydable, plaquée or)
4 Support de filament chauffé avec filament chauffé (2×)
5 Zone de formation
6 Ouvertures latérales de la zone de formation
7
8
Axe fileté (2×)
Plaque Wehnelt (2x)
9
Filament chauffé (2×)
10
11
Isolateur en céramique (2×)
Écrou (2×)
(M1.6, hexagonal, acier inoxydable)
1
Fig. 26:
Ressort de support sur analyseur avec source d’ions croisés
1 Ressort de support
Démontage de l'unité à filaments
1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage.
2. Enlevez le ressort du crochet.
3. Tenez les étriers avec la pince plate.
4. Desserrez les vis et les écrous des étriers sans trop dévisser les vis.
– La pince arrière va tomber si les vis sont trop desserrées.
5. Avec précaution, retirez les connexions à filament du support de filament.
6. Desserrez et retirez les écrous.
7. Avec précaution, tirez sur les deux supports de filaments et les isolateurs en céramique pour les
enlever de la source d'ions.
Installation de l’unité filament
1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage.
2. Retirez avec précaution le nouveau support de filaments de l’emballage de transport.
3. Placez le nouveau support de filaments sur les boulons de la source d’ions.
4. Insérez les isolateurs en céramique, le côté avec l’épaulement orienté en bas vers le support de
filaments, dans le trou de montage.
5. Serrez les écrous.
– Couple de serrage : 0,15 Nm
6. Assurez-vous que les plaques Wehnelt et les filaments sont positionnés correctement.
– Quand ils sont correctement installés, les plaques Wehnelt et les filaments sont parallèles et
à la même hauteur que les ouvertures latérales de la zone de formation.
7. Insérez les connexions des filaments dans les contrefiches.
54/92
Maintenance
8. Tenez les étriers avec la pince plate.
9. Serrez les vis et les écrous.
– Couple de serrage : 0,15 Nm
10. Sécurisez le ressort du crochet.
11. Mesurez la résistance de chaque filament.
Réglage sur 0 (zéro) des paramètres dans le logiciel d’exploitation
1. Démarrez le logiciel PV MassSpec.
2. Dans la fenêtre « Principal », sélectionnez : Configuration > Capteur : Configuration du matériel
3. Réglez le temps de fonctionnement sur 0 (zéro) en utilisant la case à cocher « Régler le temps de
vie sur 0 heure ».
4. Entrez le temps désiré jusqu’à la prochaine maintenance dans le champ « Nombre d’heures avant
que la maintenance doive être effectuée ».
– Une fois que le temps configuré s’est écoulé, une alarme de rappel est émise toutes les
8 heures.
– Entrez la période de temps max. de 277,777 heures pour éviter l’alarme.
9.4.3
Remplacement de l’unité à filament chauffé de la source d’ions à grille
Condition préalable
● PrismaPro désactivé
Outils requis
●
●
●
●
Clé à douille, WAF 3,2
Tournevis plat, 3 mm
Clé dynamométrique
Pince plate
Aides requises
● Auxiliaire de montage pour l’analyseur
Pièces de rechange requises
● Unité à filament chauffé pour source d’ions à grille avec filaments chauffés en tungstène
● Si nécessaire, lot de pièces PT 163 534 pour le remplacement des vis, écrous ou étriers
Logiciel requis
● PV MassSpec
4
5
1
2
3
Fig. 27:
6
7
8
10
9
11
Unité à filament chauffé de la source d’ions à grille
1 Unité à filaments chauffés
2 Raccordement de l’unité à filament chauffé (3×)
3 Vis (3×)
(M1.6, tête plate)
4 Écrou (3×)
(M1.6, hexagonal, acier inoxydable)
5 Circlip (3×)
6 Rondelles (3×)
7
8
9
Capot (3×)
Isolateur en céramique (3×)
Axe fileté (3×)
10
Anneau-support
11
Vis de l’anneau-support (3×)
Démontage de l'unité à filaments
1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage.
2. Avec la pince plate, tenez le support des connexions de l’unité filament.
3. Desserrez les vis sur l’unité filament.
4. Avec précaution, retirez la source d'ions du système à tige quadripolaire.
55/92
Maintenance
5. Desserrez les écrous.
6. Retirez les écrous, les circlips, les disques, les capots et les isolateurs en céramique.
7. Avec précaution, tirez sur l’unité filament pour l’enlever de la source d'ions.
Installation de l’unité filament
1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage.
2. Retirez avec précaution le nouvel anneau de support de l’emballage de transport.
3. Placez la nouvelle unité filament sur les boulons de la source d’ions.
4. Installez les isolateurs en céramique, les capots, les disques de serrage et les circlips.
5. Serrez les écrous.
– Couple de serrage : 0,15 Nm
6. Desserrez les boulons de l’anneau de support et retirez l'anneau de support.
7. Avec précaution, installez la source d'ions sur le système à tige quadripolaire.
8. Introduisez les vis par les œillets du câblage.
9. Avec la pince plate, tenez les connexions de l'unité filament.
10. Serrez les vis dans les connecteurs de l’unité filament.
– Couple de serrage : 0,15 Nm
11. Mesurez la résistance de chaque filament.
Réglage sur 0 (zéro) des paramètres dans le logiciel d’exploitation
1. Démarrez le logiciel PV MassSpec.
2. Dans la fenêtre « Principal », sélectionnez : Configuration > Capteur : Configuration du matériel
3. Réglez le temps de fonctionnement sur 0 (zéro) en utilisant la case à cocher « Régler le temps de
vie sur 0 heure ».
4. Entrez le temps désiré jusqu’à la prochaine maintenance dans le champ « Nombre d’heures avant
que la maintenance doive être effectuée ».
– Une fois que le temps configuré s’est écoulé, une alarme de rappel est émise toutes les
8 heures.
– Entrez la période de temps max. de 277,777 heures pour éviter l’alarme.
9.4.4
Remplacement de l’unité à filament chauffé de la source d’ions étanche au gaz
AVIS
Dommage sur l’anode du filament chauffé de la source d’ions étanche au gaz lié au mouvement horizontal
Un mouvement horizontal excessif va endommager l’anode.
► Placez l’unité à filament chauffé sur la source d’ions avec précaution et soin.
► Vérifiez que l’anode et le contre-alésage sont alignés.
Condition préalable
● PrismaPro désactivé
Outils requis
●
●
●
●
Clé à douille, WAF 3,2
Tournevis plat, 3 mm
Clé dynamométrique
Pince plate
Aides requises
● Auxiliaire de montage pour l’analyseur
Pièces de rechange requises
● Unité à filament chauffé pour source d’ions étanche au gaz avec filaments chauffés en tungstène
ou filaments chauffés iridium recouverts Y2O3
● Si nécessaire, PT 163 551 pour remplacer le joint céramique et le ressort
● Si nécessaire, lot de pièces PT 163 550 pour le remplacement des vis, écrous ou étriers
Logiciel requis
● PV MassSpec
56/92
Maintenance
Rondelle ressort sur unité filament
La rondelle ressort sur l’unité filament assure un contact flexible entre la cage du déflecteur
et la masse (GND) du QMA. La rondelle ressort doit toucher la vis de fixation sans que les
deux parties soient boulonnées ensemble.
1
7
2
5
8
3
6
4
Fig. 28:
9
Démontage de l’unité à filament chauffé de la source d’ions étanche au gaz
1 Joint céramique avec ressort
6
2 Écrou (3×)
(M1.6, à encoche, acier inoxydable, plaquée or)
3 Disques de blocage (3×)
4 Contrefiche (3×)
5 Vis (3×)
(M1.6× 4, tête plate)
7
Étrier (3×)
(M1.6, pour filament chauffé)
Unité à filaments chauffés
8
9
Rondelle-ressort
Vis de fixation
Démontage de l’unité à filament chauffé
1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage.
2. Tirez avec précaution le joint céramique vers le haut et tournez le joint céramique dans le sens
horaire jusqu’à ce que le ressort se détache du capteur.
3. Retirez les écrous et les rondelles des contrefiches.
4. Tenez les étriers avec la pince plate.
5. Desserrez les vis des étriers sans trop dévisser les vis.
– La pince arrière va tomber si les vis sont trop desserrées.
6. Avec précaution, tirez sur les connexions du filament chauffé pour les enlever de l’unité à filament
chauffé.
7. Avec précaution, tirez sur l’unité à filament chauffé pour l’enlever de la source d’ions.
57/92
Maintenance
1
2
4
7
5
8
3
6
9
10
Fig. 29:
Insertion de l’unité à filament chauffé de la source d’ions étanche au gaz
1 Joint céramique avec ressort
2 Unité à filaments chauffés
6
7
3 Contre-alésage
8
4 Écrou (3×)
(M1.6, à encoche, acier inoxydable, plaquée or)
5 Disques de blocage (3×)
9
Contrefiche (3×)
Vis (3×)
(M1.6× 4, tête plate)
Étrier (3×)
(M1.6, pour filament chauffé)
Rondelle-ressort
10
Vis de fixation
Installation de l’unité à filament chauffé
1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage.
2. Avec précaution, retirez l’unité à filament chauffé du blocage de transport.
3. Montez la nouvelle unité à filament chauffé sur les anneaux d’écartement afin que l’anode de
l’unité à filament chauffé soit alignée avec le contre-alésage.
4. Sécurisez l’unité à filament chauffé sur les anneaux d’écartement à l’aide de nouveaux écrous et
disques de blocage.
5. Serrez les écrous.
– Couple de serrage : 0,15 Nm
6. Insérez les raccordements de filament chauffé dans les pinces de serrage.
7. Serrez les vis.
– Couple de serrage : 0,15 Nm
8. Assurez-vous du bon contact entre la rondelle ressort et la vis de fixation.
– Ne boulonnez pas la rondelle ressort ensemble avec la vis de fixation.
9. Installez le ressort.
10. Tournez avec précaution le joint céramique dans le sens horaire jusqu’à ce que le ressort siège
correctement sur le capteur.
11. Mesurez la résistance de chaque filament chauffé.
Réglage sur 0 (zéro) des paramètres dans le logiciel d’exploitation
1. Démarrez le logiciel PV MassSpec.
2. Dans la fenêtre « Principal », sélectionnez : Configuration > Capteur : Configuration du matériel
3. Réglez le temps de fonctionnement sur 0 (zéro) en utilisant la case à cocher « Régler le temps de
vie sur 0 heure ».
4. Entrez le temps désiré jusqu’à la prochaine maintenance dans le champ « Nombre d’heures avant
que la maintenance doive être effectuée ».
– Une fois que le temps configuré s’est écoulé, une alarme de rappel est émise toutes les
8 heures.
– Entrez la période de temps max. de 277,777 heures pour éviter l’alarme.
9.5
Calibrage du rapport haute fréquence et masse
Pfeiffer Vacuum calibre le rapport HF/DC d’un PrismaPro de façon à ce qu'une seule masse puisse
passer le filtre de masse quadripolaire à un rapport HF/DC donné. Le rapport HF/DC de chaque masse
sélectionné est précisément déterminé par le calibrage fin.
58/92
Maintenance
Copie de sauvegarde du fichier de configuration du matériel
Avant d’effectuer les réglages, créez une copie de sauvegarde du fichier de configuration
du matériel pour l'analyseur sur l’ordinateur de test en utilisant la configuration du matériel
PV MassSpec. Si nécessaire, la copie de sauvegarde permet de restaurer les réglages
d’origine.
9.5.1
Calibrage d'usine
À l’usine, Pfeiffer Vacuum aligne le PrismaPro sur différentes masses de son domaine de masse.
9.5.2
Masse
[u]
Gaz utilisé
1
H
2
H
4
He
28
N
86
Kr
Tolérance de
position de
masse [u]
100 u
±0,05
0,5 ±0,15
0,5 ±0,15
0,5 ±0,15
0,9 ±0,05
0,9 ±0,05
0,9 ±0,05
134
Xe
293
FC-5311
Tab. 14:
Calibrage de masse
200 u
300 u
Largeur maximale à 10 % de la hauteur maximale
(résolution)
-
Atteindre une température de fonctionnement stable pour PrismaPro
Conditions préalables
●
●
●
●
●
●
Dispositif de chauffage à l’arrêt
EM7) désactivé
Émission activée
Paramètre de balayage : 0 – Max. u
Paramètre de stabilisation : 32 ms
Paramètre ppAMU :
─ 10 (QMA avec domaine de masse jusqu’à 100 u)
─ 5 (QMA avec domaine de masse jusqu’à 200 u)
─ 1 (QMA avec domaine de masse jusqu’à 300 u)
Logiciel requis
● Web UI
Procédure
► Laissez le PrismaPro fonctionner pendant au moins 1 heure avant d’effectuer les réglages ou les
calibrages.
9.5.3
Sélection du mélange de gaz pour le calibrage des masses
Procédure
1. Utilisez plusieurs mélanges de gaz pour le calibrage de masse en fonction des exigences de domaine de masse et de précision.
2. Pour le calibrage, définissez au moins 3 masses, une respectivement dans le domaine de masse
inférieur, médian et supérieur.
– Si vous déterminez plus de 3 masses, la qualité du calibrage sera accrue.
9.5.4
Réglage de la haute fréquence pour les deux polarités
À la mise en service initiale du PrismaPro, après le changement de l'analyseur ou de l’unité électronique, ou en cas de vieillissement ou de changement des conditions d’installation, l'étage HF du PrismaPro doit être réajusté. La fonction « Remise à zéro de la fréquence RF » effectue automatiquement le
7)
pour QMA 250 M seulement
59/92
Maintenance
balayage de la gamme de haute fréquence et syntonise la gamme des hautes fréquences sur la haute
fréquence optimale pour l’analyseur. Le logiciel effectue l’ajustage HF pendant la période spécifique
avant de retourner dans le mode normal. Pendant l'ajustage HF, le logiciel ne nécessite pas de données. Une alerte HF « Information matériel : alerte matériel = carte RF » peut s'afficher. Ceci est normal
avant le réglage HF.
Perte de puissance de l’étage HF
Si l'appareil génère une perte excessive de puissance liée à un mauvais ajustage de l’étage HF, vous ne pourrez pas activer l’émission. L'étage HF est pré-ajusté avec un balayage
en continu sur tout le domaine de masse de 0 u à u max. pendant le temps de démarrage.
L’ajustage HF final s’effectue ensuite après le temps de démarrage.
Fig. 30:
Message d'alerte avec invite de sécurité
Fig. 31:
Nouvelle polarité inverse/haute fréquence
Condition préalable
● PrismaPro est à une température de fonctionnement stable
Logiciel requis
● PV MassSpec
Procédure
1. Démarrez PV MassSpec.
2. Dans la fenêtre « Principal », sélectionner : Configuration > Sonde : Configuration du matériel
3. Réglez la polarité sur « Normal ».
4. Dans le menu, sélectionner : Maintenance > Maintenance de la sonde > Remettre à zéro la fréquence RF
– Si l'analyseur n'a pas été actif pendant au moins 15 minutes, un message d'alerte apparaît
avec une invite de sécurité.
5. Confirmez l’invite de sécurité avec « Oui ».
6. Cliquez sur « Réglage RF ».
7. Dans la fenêtre « Principal », sélectionner : Configuration > Sonde : Configuration du matériel
– La nouvelle valeur de la haute fréquence apparaît, mais n’a pas encore été sauvegardée.
8. Cliquez sur « OK » pour sauvegarder la nouvelle valeur de la haute fréquence pour la polarité de
réglage dans le fichier de configuration du matériel de l’analyseur.
– Si vous ne sauvegardez pas la haute fréquence, l'alerte HF « Information matériel : alerte matériel = carte RF » apparaît toujours quand vous désactivez et réactivez l’unité électronique.
9. Répétez cette procédure pour la polarité « Inverse », car, dans le cas contraire, vous utiliseriez
l'analyseur avec 2 fréquences différentes.
10. Remettez à zéro les positions de masse et la résolution pour les deux polarités après la sauvegarde de la haute fréquence.
Quand l'ajustage est terminé, l'état dans la fenêtre « Principal » indique « STOPPÉ ».
60/92
Maintenance
9.5.5
Effectuer le calibrage des masses (AJUSTAGE)
Un calibrage des masses du PrismaPro peut s'avérer nécessaire après une période indéterminée ou
pour certaines tâches de mesure.
Exécuter la fonction « Ajustage » dans PV MassSpec
1. Ouvrez le menu « Maintenance ».
2. Sélectionnez le PrismaPro désiré.
3. Dans le menu « Maintenance », cliquez sur « Ajuster ».
Ajouter ou supprimer des masses dans ou à partir du tableau de calibrage
Pfeiffer Vacuum a préréglé les masses 1, 2, 4, 28, et 86 dans les réglages par défaut.
► Ajustez les masses du mélange de gaz avec lequel vous voulez réaliser un calibrage de masse
en ajoutant et en supprimant des masses.
► Ne supprimez pas les masses 1 et 2.
9.5.6
Calibrage avec un mélange de gaz de test
Le mélange idéal inclut les masses du calibrage d’usine pour le domaine de masse correspondant du
PrismaPro à calibrer.
Procédure
► S’il y a lieu, utilisez un mélange de gaz de test fourni par un fournisseur de gaz.
9.5.7
Calibrage avec des gaz de procédé
Utiliser le gaz de procédé pour le calibrage de masse
1. S’il y a lieu, utilisez le gaz de procédé à analyser pour le calibrage de masse.
2. Définissez les masses typiques importantes pour l’analyse du procédé pour le calibrage.
Calibrage avec une faible masse
1. Ne calibrez pas les masses 1 u et 2u (H) si le procédé ne contient pas d’hydrogène.
2. Ne supprimez pas l’hydrogène du tableau de calibrage.
3. Calibrez la masse 4 u (He) si vous utilisez le PrismaPro pour le test des fuites.
4. Pulvérisez de l’hélium dans une fuite que vous avez créée.
– Ceci fournit le calibrage pour la faible masse requise.
Calibrage avec une masse moyenne
► Si possible, utilisez de l’azote (N) ou une autre masse dans ce domaine, par exemple de l’eau
(H2O), oxygène (O), etc. comme masse moyenne.
Calibrage avec une masse plus élevée
1. Calibrez avec de l'argon (Ar) si le procédé ne contient pas de gaz avec des masses > 40 u.
2. Si le procédé contient des masses plus élevées, calibrez une masse entre la masse moyenne et
100 u pour les analyseurs avec un domaine de masse de 100 u.
3. Si le procédé contient des masses plus élevées, calibrez une masse entre 100 u et 200 u pour les
analyseurs avec un domaine de masse de 200 u.
4. Si le procédé contient des masses plus élevées, calibrez une masse > 200 u pour les analyseurs
avec un domaine de masse de 300 u.
9.5.8
Calibrage de la détection de fuites d’hélium
Calibrage à l’hélium
1. Fournissez l’hélium nécessaire pour le calibrage.
2. Acheminez l’hélium dans l’enceinte à vide.
3. Calibrez la masse 4 u (He) pour une détection de fuites correcte.
4. Calibrez la masse 4 u (He) si vous utilisez le PrismaPro que pour le test des fuites.
Calibrage avec des gaz souterrains ou de l’air
1. Si vous ne disposez pas de mélanges de gaz de test ou de gaz de procédé pour le calibrage des
masses, utilisez le gaz résiduel dans l’enceinte à vide ou alimentez avec de petites quantités d'air
ambiant pour effectuer le calibrage des masses.
2. Réglez le paramètre de réglage sur le réglage par défaut.
3. Supprimez toutes les masses 1, 2 et 4 u du tableau de calibrage.
4. Ajoutez les masses 28, 40 ou 44 u au tableau de calibrage.
5. Calibrez les masses que vous avez ajoutées.
61/92
Maintenance
6. Supprimez la masse 4 u du tableau de calibrage.
7. Calibrez la masse la plus élevée dans le système.
– Dans certains cas, cela peut être la masse 40 ou 44 u.
62/92
Dysfonctionnements
10
Dysfonctionnements
10.1
Dépanner
Procédure
1. Vérifiez que l’isolation est intacte sur tous les câbles et que le matériau isolant n’est pas endommagé.
2. Contrôlez les symptômes sur la carte des défauts pour voir si le problème figure dans la liste et
comment il peut être rectifié.
3. Contrôlez les points suivants pour rectifier les problèmes de communication.
– Le câble Ethernet est connecté au PrismaPro et à l’ordinateur de pilotage (soit directement ou
via le routeur/commutateur Ethernet).
– L’adresse IP du PrismaPro a le même préfixe réseau que l’ordinateur de pilotage.
– Le port 80 est ouvert sur l’ordinateur de pilotage.
– Il n’y a pas de conflit d'adresse IP entre le PrismaPro et un autre appareil réseau.
4. Contrôlez les messages spécifiques de l’erreur PV MassSpec dans le fichier d'aide du logiciel.
5. Contactez Pfeiffer Vacuum Service si vous ne pouvez pas éliminer le problème existant.
10.1.1
Résolution des erreurs de communication et système
Symptômes/messages de dysfonctionnement
Causes possibles
Action corrective
La LED <POWER> ne s'allume
pas.
Pas d'alimentation en courant externe (24 V)
● Vérifiez que la tension secteur sur l’entrée
de l’unité de courant externe SP 250 est
entre 100 et 240 V (AC).
● Vérifiez que la tension de sortie de l’unité
de courant externe SP 250 est entre 20 et
30 V (DC).
● Remplacez l’unité de courant externe SP
250.
Erreur dans l’unité électronique
(QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
La LED <STAT> ne s'allume pas.
Émission désactivée
-
Filament défectueux
● Contrôlez le filament.
Pas de connexion entre le QME et
l’analyseur
● Contrôlez la connexion entre le QME et
l’analyseur.
● Vérifiez que les contacts sont rectilignes et
ne sont ni courbés ni endommagés.
Conditions de vide non remplies
● Contrôlez les conditions de vide.
● Vérifier que la pression est inférieure à la
pression de fonctionnement maximum :
< 5 × 10-4 hPa.
Émission empêchée par le verrouillage
● Contrôlez les conditions de verrouillage
pour l’émission.
Erreur dans l’unité électronique
(QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
La LED < STAT > clignote.
Erreur dans l’unité électronique
(QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
La LED jaune sur la connexion
<LAN> n’est pas allumée/ne clignote pas.
Câble Ethernet manquant ou incorrect
● Contrôlez la connexion PC.
● Contrôlez les connexions du commutateur
Ethernet (s’il y lieu).
Câble Ethernet défectueux
● Remplacez le câble Ethernet.
Prise Ethernet défectueuse sur
l’unité électronique (QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Le logiciel PV MassSpec n’est pas
configuré correctement
● Contrôlez les réglages dans PV MassSpec.
Le logiciel PV MassSpec ne fonctionne pas correctement.
● Réinstallez PV MassSpec.
63/92
Dysfonctionnements
Symptômes/messages de dysfonctionnement
Causes possibles
Action corrective
Pas de communication avec l’ordinateur de pilotage
L'adresse IP du PrismaPro n’est
pas compatible avec le réseau
● Changez l’adresse IP du PrismaPro.
La connexion (port 80) de communication PrismaPro n’est pas ouverte sur l’ordinateur de pilotage
● Ouvrez le port 80 sur l’ordinateur de pilotage.
● Changez le port de communication du
PrismaPro.
Connexion du câble défectueuse
● Vérifiez que tous les câbles sont connectés aux connexions correctes.
La carte Ethernet de l’ordinateur
de pilotage est défectueuse
● Remplacez la carte Ethernet de l’ordinateur de pilotage.
L’interface Ethernet de l’unité électronique (QME) est défectueuse
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Réponse DSP incorrecte détectée
● Désactivez l’unité électronique (QME) pour
la remettre à zéro.
Erreur dans l’unité électronique
(QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Réponse DEC incorrecte détectée
● Désactivez l’unité électronique (QME) pour
la remettre à zéro.
Erreur dans l’unité électronique
(QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Erreur dans l’unité électronique
(QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Erreur de communication (DSP)
(erreur de communication DSP)
Erreur de communication (DEC)
(erreur de communication DEC)
Erreur DDS
Tab. 15:
10.1.2
Erreurs de communication et du système
Résolution des erreurs matérielles
Symptômes/messages de dysfonctionnement
Causes possibles
Action corrective
Erreur d'émission au démarrage à
chaud/froid
Il est impossible de démarrer/maintenir le courant d'émission spécifié
(erreur d'émission)
Vide insuffisant
● Vérifier que la pression est inférieure à la pression
de fonctionnement maximum : < 5 × 10-4 hPa.
Filament défectueux de
l’analyseur (ouvert ou
court-circuité)
● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de
l’analyseur.
● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée.
● Remplacez l’unité filament, la source d'ions ou
l’analyseur.
Fixation incorrecte de
l’unité électronique
(QME) sur l’analyseur
● Vérifiez que l’unité électronique (QME) a été complètement poussée sur l’analyseur.
● Vérifiez que les contacts sont rectilignes et ne
sont ni courbés ni endommagés.
Tension de fonctionnement incorrecte de l’analyseur
● Contrôlez que tous les réglages sont corrects.
● Utilisez le réglage du rapport de test comme orientation.
Erreur dans l’unité électronique (QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Analyseur défectueux,
anode court-circuitée
● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de
l’analyseur.
● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée.
● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un
diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de
préférence > 39 mm.
● Remplacez l’analyseur.
Erreur dans l’unité électronique (QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Erreur de tension sur l’anode
Il est impossible de démarrer/maintenir la tension spécifiée sur l’anode
(erreur sur l’anode)
64/92
Dysfonctionnements
Symptômes/messages de dysfonctionnement
Causes possibles
Action corrective
Erreur de tension de cathode
Il est impossible de démarrer/maintenir la tension de cathode spécifiée
(Erreur EE/cathode)
Analyseur défectueux, filament court-circuité
● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de
l’analyseur.
● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un
diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de
préférence > 39 mm.
● Réparez ou remplacez l’analyseur.
Erreur dans l’unité électronique (QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Ajustage incorrect de
l’unité électronique
(QME) sur l’analyseur
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Analyseur défectueux,
connexions HF ouvertes
ou court-circuitées
● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des connexions HF.
● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un
diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de
préférence > 39 mm.
● Remplacez l’analyseur.
Erreur dans l’unité électronique (QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Erreur de multiplicateur d'électrons
secondaire
Il est impossible de démarrer/maintenir la tension EM spécifiée
(erreur de multiplicateur d'électrons)
Analyseur défectueux,
multiplicateur d'électrons
court-circuité
● Contrôlez les courts-circuits des connexions de
l'analyseur.
● Contrôlez le contact HV du multiplicateur d'électrons HV sur le passage de l'analyseur.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Erreur dans l’unité électronique (QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Température de l’unité électronique
(QME)
Température ambiante
du PrismaPro > 50 °C
● Contrôlez les conditions ambiantes.
● Vérifiez que l'appareil est correctement installé.
● Vérifiez qu’il n’y a pas de source de chaleur à
proximité.
● Vérifiez que le ventilateur installé est en marche.
● Contrôler la configuration du matériel : ventilateur
activé/désactivé.
Erreur dans l’unité électronique (QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Pression totale trop haute
● Réduisez la pression.
Plaque de pression totale court-circuitée ou contaminée
● Remplacez la source d’ions.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Source d’ions contaminée
● Remplacez la source d’ions.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Courant trop haut
(< -1 × 10-6 A ou
> 1 × 10-6 A)
●
●
●
●
●
Erreur dans l’unité électronique (QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Mauvais calibrage/erreur
survenue pendant le calibrage
● Recalibrez l'appareil (ajustage).
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Position maximum et/ou
résolution hors de la
gamme admissible
● Recalibrez l'appareil (ajustage).
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Filtre quadripolaire contaminé
● Étuvez l’analyseur.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Filtre quadripolaire défectueux ou endommagé
● Étuvez l’analyseur.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Erreur dans l’unité électronique (QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Erreur de haute fréquence
(erreur RF)
Surpression
(Erreur de pression totale)
Erreur d'électromètre
(erreur d'électromètre)
Erreur de filtre quadripolaire
(erreur de filtre quadripolaire)
Réduisez la pression.
Réduisez la tension EM.
Contrôlez le passage de l’analyseur.
Remplacez l’analyseur.
Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
65/92
Dysfonctionnements
Symptômes/messages de dysfonctionnement
Causes possibles
Action corrective
Erreur de la source d’ions
(erreur de la source d'ions)
Réglages erronés de la
source d'ions
● Chargez les réglages du rapport de test.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Source d’ions contaminée
● Remplacez l’unité filament.
● Remplacez la source d’ions.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
La tension du multiplicateur d'électrons est réglée trop haut
● Réduisez la tension EM.
Détecteur ne fonctionnant pas correctement
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Vide insuffisant
● Vérifier que la pression est inférieure à la pression
de fonctionnement maximum : < 5 × 10-4 hPa.
Filament de l’analyseur
défectueux (cassé ou
court-circuité)
● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de
l’analyseur.
● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée.
● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un
diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de
préférence > 39 mm.
● Remplacez l’unité filament, la source d'ions ou
l’analyseur.
Mauvais contact du câblage
● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de
l’analyseur.
● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée.
● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un
diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de
préférence > 39 mm.
● Remplacez l’unité filament, la source d'ions ou
l’analyseur.
Vide insuffisant
● Vérifier que la pression est inférieure à la pression
de fonctionnement maximum : < 5 × 10-4 hPa.
Filament de l’analyseur
défectueux (cassé ou
court-circuité)
● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de
l’analyseur.
● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée.
● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un
diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de
préférence > 39 mm.
● Remplacez l’unité filament, la source d'ions ou
l’analyseur.
Mauvais contact du câblage
● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de
l’analyseur.
● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée.
● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un
diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de
préférence > 39 mm.
● Remplacez l’unité filament, la source d'ions ou
l’analyseur.
Erreur de détecteur
(erreur de détecteur)
Erreur de potentiel du filament
Tension trop haute du filament (filament ouvert)
Tension trop basse du filament (filament court-circuité)
(erreur de potentiel du filament)
Erreur de courant du filament
Courant du filament trop haut (filament court-circuité)
Courant du filament trop bas (filament
ouvert)
(erreur de courant du filament)
66/92
Dysfonctionnements
Symptômes/messages de dysfonctionnement
Causes possibles
Action corrective
Erreur de mise au point
Il est impossible de démarrer/maintenir la tension de mise au point.
(erreur de mise au point)
Court-circuit de la plaque de mise au point
● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de
l’analyseur.
● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée.
● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un
diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de
préférence > 39 mm.
● Remplacez l’IS 250.
Tension de mise au
point hors de la gamme
prévue
● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de
l’analyseur.
● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée.
● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un
diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de
préférence > 39 mm.
● Remplacez l’IS 250.
Erreur dans l’unité électronique (QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Défaillance de l’alimentation électrique interne
Tab. 16:
10.1.3
Erreurs liées au matériel
Résolution des erreurs de mesure et de fonctionnement
Symptômes/messages de dysfonctionnement
Causes possibles
Action corrective
Erreur de détection maximum
(erreur de détection maximum)
Pas de maximum pour la masse
cible
● Chargez les réglages du rapport de test.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Maximum pour la masse cible
trop étroit/large
● Chargez les réglages du rapport de test.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Maximum hors de détection
● Chargez les réglages du rapport de test.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Gamme de masse cible (p. ex.,
décalage maximum > +/- 0,40 u
de la valeur nominale)
● Chargez les réglages du rapport de test.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Émission désactivée
● Activez l'émission.
le multiplicateur d'électrons est
activé bien que le mode Faraday
soit sélectionné
● Mettez le EM hors circuit.
Pression ou signal trop bas pour
le détecteur Faraday
● Activez l’EM.
Tension du multiplicateur d'électrons trop basse
● Augmentez la tension EM.
Pas de sensibilité, analyseur contaminé
● Consultez l’erreur de mesure et de fonctionnement « Basse sensibilité ».
Fixation incorrecte de l’unité électronique (QME) sur l’analyseur
● Vérifiez que l’unité électronique (QME) a été
complètement poussée sur l’analyseur.
● Vérifiez que les contacts sont rectilignes et
ne sont ni courbés ni endommagés.
Calibrage de masse erroné
● Définissez de nouvelles positions de masse
et une nouvelle résolution (ajustage).
Erreur de haute fréquence
● Consultez l’erreur de matériel « Erreur HF ».
Erreur de filtre quadripolaire
● Consultez l’erreur de matériel « Erreur de filtre quadripolaire ».
EM défectueux
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Erreur dans l’unité électronique
(QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Erreur de communication DSP
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Pas de spectre
(Pas de spectre)
67/92
Dysfonctionnements
Symptômes/messages de dysfonctionnement
Causes possibles
Action corrective
Basse sensibilité
(Basse sensibilité)
Analyseur contaminé
● Dégazez la source d’ions.
● Étuvez l’analyseur.
● Remplacez l’unité filament et/ou la source
d'ions.
● Remplacez l’analyseur.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Calibrage de masse (résolution)
erroné
● Recalibrez l'appareil (ajustage).
● Augmentez la largeur du maximum.
Les paramètres de travail de
l’analyseur sont réglés incorrectement
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Filtre quadripolaire défectueux ou
contaminé
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Source d'ions ou analyseur aimanté
● Rectifiez la cause des champs magnétiques.
Source d’ions ou analyseur à
proximité immédiate de champs
magnétiques
● Rectifiez la cause des champs magnétiques.
Mesure de pression totale incorrecte avec les jauges externes
● Vérifiez que le calibrage de la sensibilité de
la jauge utilisée est correct.
Pression du système trop basse
● Augmentez la pression d'échantillon, si possible.
Erreur dans l’unité électronique
(QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Gain trop bas du multiplicateur
d'électrons
● Étuvez l’analyseur.
● Remplacez l’analyseur.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Analyseur contaminé
● Dégazez la source d’ions.
● Étuvez l’analyseur.
● Remplacez l’unité filament et/ou la source
d'ions.
● Remplacez l’analyseur.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Pression du système trop haute
● Vérifier que la pression est inférieure à la
pression de fonctionnement maximum :
< 5 × 10-4 hPa.
Paramètres erronés de la source
d'ions.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Filtre quadripolaire défectueux ou
contaminé
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Source d'ions ou analyseur aimanté
● Rectifiez la cause des champs magnétiques.
Source d’ions ou analyseur à
proximité immédiate de champs
magnétiques
● Rectifiez la cause des champs magnétiques.
Calibrage de masse nécessaire
● Effectuez le calibrage de masse.
Erreur dans l’unité électronique
(QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Mauvaise forme du maximum
(Mauvaise forme du maximum)
68/92
Dysfonctionnements
Symptômes/messages de dysfonctionnement
Causes possibles
Action corrective
Niveau de bruit élevé
(Niveau de bruit élevé)
Mise à la terre du système
● Vérifiez que le système de vide est mis à la
masse.
Vitesse de balayage trop rapide
pour le réglage de l’amplification
● Augmentez le temps de stabilisation (stabilisation).
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Fixation incorrecte de l’unité électronique (QME) sur l’analyseur
● Vérifiez que l’unité électronique (QME) a été
complètement poussée sur l’analyseur.
● Vérifiez que les contacts sont rectilignes et
ne sont ni courbés ni endommagés.
Multiplicateur d'électrons défectueux ou usé
● Contrôlez le gain du multiplicateur d'électrons.
● Remplacez l’analyseur.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Erreur dans l’unité électronique
(QME)
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Basse sensibilité
● Consultez l’erreur de mesure et de fonctionnement « Basse sensibilité ».
Tab. 17:
10.1.4
Erreurs de mesure et de fonctionnement
Interrogation des messages d’erreur du logiciel à partir de PV MassSpec
Symptômes/messages de
dysfonctionnement
Causes possibles
Erreur PV MassSpec
Vous trouverez les messages d’erreur et les actions correctives dans les fichiers d'aide
de PV MassSpec.
Tab. 18:
10.2
Action corrective
Messages d’erreur du logiciel PV MassSpec
Contacts sur QMA 250 et QME 250
8
7
7
6
9
8
6
9
5
10
10
5
1
1
11
11
4
4
12
3
2
12
3
2
13
13
Fig. 32:
1
2
3
4
5
6
7
Contacts sur QMA 250 et QME 250
PP (pression partielle)
EM HV
Filament 1
Filament 2
Anode
RFGND
8
9
10
11
12
13
GND
RF+
Filament commun
Réservé
Mise au point
TP (pression totale)
69/92
Dysfonctionnements
10.3 Contrôle de l’analyseur QMA 250
AVIS
Endommagement des composants causé par le nettoyage
Ne nettoyez pas le filament ou la source d'ions, car cela endommagerait ou détruirait les composants.
► Remplacez les pièces si celles-ci sont défectueuses ou contaminées.
La source d'ions du PrismaPro a 2 filaments. En cas de filament défectueux, le PrismaPro peut encore
être utilisé avec le deuxième filament intact. L’utilisation préalable du PrismaPro peut avoir affecté la
performance du second filament.
Conditions préalables
● PrismaPro désactivé
● Analyseur QMA 250 et unité électronique QME 250 déconnectée
Accessoires requis
● Ohmmètre (< 0,2 à 30 MΩ)
Procédure
1. Mesurez la résistance de chaque filament.
– La mesure peut être effectué dans du vide.
2. Mesurez la résistance de chaque broche par rapport à la masse.
3. Mesurez la résistance de chaque broche respectivement entre elles.
4. Remplacez le filament ou la source d'ions si la résistance mesurée n’est pas dans la gamme acceptable.
Mesure
Broches
Résistance mesurée
Résultat
Filament 1
3 à 10
0,2 à 0,8 Ω
Filament intact
> 0,8 Ω
Filament défectueux
0,2 à 0,8 Ω
Filament intact
> 0,8 Ω
Filament défectueux
Source d’ions intacte
Filament 2
4 à 10
Broche sur prise de
terre
toutes les broches sur
GND (7 ou 8)
> 30 MΩ 8)
< 30 MΩ
Source d’ions défectueuse
Broche à broche
Toutes les broches en face
l’une de l’autre 9)
> 30 MΩ
Source d’ions intacte
< 30 MΩ
Source d’ions défectueuse
(voir chapitre « Contacts sur QMA 250 et QME 250 », page 69)
Tab. 19:
70/92
Mesures de contrôle de l’analyseur
8)
Bien que les mesures avec le filament installé et le blindage en céramique de l’EM peuvent être < 30 MΩ,
elles doivent être supérieures > 30 MΩ quand le filament et le blindage en céramique du multiplicateur d'électrons ont été retirés.
9)
Sauf : résistance entre le filament 1 et 2 (broche 3 et 4) et filament commun (broche 10)
Expédition
11
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédier le produit en toute sécurité
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
71/92
Recyclage et mise au rebut
12
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
12.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
12.2
Élimination d’un spectromètre de masse compact
Les spectromètres de masse compacts Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
1. Démontez les éléments du boîtier.
2. Démontez tous les composants individuels et les platines.
3. Démontez les composants électroniques.
4. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
5. Séparez les composants en matériaux recyclables.
6. Recyclez les composants non contaminés.
7. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
72/92
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
13
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
73/92
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
74/92
Informations de commande
14
Informations de commande
14.1 Commande de pièces
Commande de pièces détachées, d’accessoires ou de composants optionnels
► Toujours préciser les informations suivantes pour commander des pièces détachées, des accessoires ou des composants optionnels :
● Tous les détails de la plaque signalétique
● Description et référence de commande correspondant à la liste des pièces
14.2
Pièces détachées de maintenance niveau 1
Ajustage des composants
Des composants système défectueux comme l’unité électronique QME 250 ou l’analyseur
QMA 250 peuvent être remplacés individuellement.
Les unités électroniques ou les analyseurs remplacés doivent être calibrés avec les composants existants. Pfeiffer Vacuum recommande de contacter un Pfeiffer Vacuum Service
Center pour la réalisation de ce calibrage nécessaire.
14.2.1
Unité électronique QME 250
Référence de pièce
Description abrégée
Domaine de masse
[u]
Entrée/sortie
Version
PT M28 641
QME 250 M1
1-100
droit
PT M28 642
QME 250 M2
1-200
Standard
(sans IO 250)
PT M28 643
QME 250 M3
1-300
PT M28 651
QME 250 M1
1-100
PT M28 652
QME 250 M2
1-200
PT M28 653
QME 250 M3
1-300
PT M28 661
QME 250 M1
1-100
PT M28 662
QME 250 M2
1-200
PT M28 663
QME 250 M3
1-300
PT M28 671
QME 250 M1
1-100
PT M28 672
QME 250 M2
1-200
PT M28 673
QME 250 M3
1-300
Tab. 20:
14.2.2
étendu
(avec IO 250)
Standard
(sans IO 250)
angulaire, 90°
étendu
(avec IO 250)
Unité électronique QME 250
Analyseur QMA 250
Référence
Description abrégée
Domaine de
masse [u]
Détecteur
Source d’ions
Filament
chauffé
Câblage
PT M25 411
QMA 250 F1
1 à 100
Faraday
ouvert
W
Nickel
PT M25 412
PT M25 413
Ir-Y2O3
QMA 250 M1
Faraday/EM
W
PT M25 414
PT M25 415
Ir-Y2O3
CB
PT M25 416
W
Ir-Y2O3
PT M25 419
Grille
W
PT M25 417
Étanche au gaz
W
PT M25 418
Cuivre, plaqué argent
Nickel
Ir-Y2O3
75/92
Informations de commande
Référence
Description abrégée
Domaine de
masse [u]
Détecteur
Source d’ions
Filament
chauffé
Câblage
PT M25 421
QMA 250 F2
1 à 200
Faraday
ouvert
W
Nickel
PT M25 422
PT M25 423
Ir-Y2O3
QMA 250 M2
Faraday/EM
W
PT M25 424
Ir-Y2O3
PT M25 425
CB
PT M25 426
W
Ir-Y2O3
PT M25 429
Grille
W
PT M25 427
Étanche au gaz
W
PT M25 428
PT M25 431
QMA 250 F3
1 à 300
Faraday
ouvert
W
Nickel
Ir-Y2O3
QMA 250 M3
Faraday/EM
W
PT M25 434
Ir-Y2O3
PT M25 435
CB
PT M25 436
W
Ir-Y2O3
PT M25 439
Grille
W
PT M25 437
Étanche au gaz
W
PT M25 438
Cuivre, plaqué argent
Nickel
Ir-Y2O3
Tab. 21:
14.2.3
Nickel
Ir-Y2O3
PT M25 432
PT M25 433
Cuivre, plaqué argent
Analyseur QMA 250
Unités filaments
Référence
Type IQ
Matériau/pièce filament chauffé
PT 163 311
ouvert
W
PT 163 312
PT 163 331
Ir-Y2O3
CB
PT 163 332
W
Ir-Y2O3
PT 163 341
Grille
W
PT 163 321
Étanche au gaz
W 10)
PT 163 322
Ir-Y2O3 11)
PT 163 551
Joint céramique et ressort
Tab. 22:
Unités à filaments chauffés
14.3
Pièces de rechange et lots de petites pièces
14.3.1
Pièces de rechange
Référence
Quantité
(pièces)
Description
Usage
PT 163 501
1
Pièce intermédiaire (DN 40 CF, 116 mm de long)
QMA 250 avec EM
PT 163 502
1
Protection pour le transport (tube en plastique transparent)
QMA 250 avec Faraday
PT 163 503
1
76/92
10)
Joint céramique et ressort inclus
11)
Joint céramique et ressort inclus
QMA 250 avec EM
Informations de commande
Référence
Quantité
(pièces)
Description
Usage
PT 163 504
1
SP 250 (unité de courant externe avec câble de secteur
100 à 240 V(AC) / 24 V, 80 W (DC))
QMG 250
PT 163 508
1
Clé à douille
Unité à filaments
chauffés
PT 163 510
1
Outillage d’installation
QMA 250
PT 163 512
1
Câble de correctif UTP, rouge, longueur 3 m, connexion
croisée
QMG 250
490DFL040-ID39-S-S5
5 (paquet)
Joint cuivre (DN 40 CF, plaqué argent)
QMA 250
Tab. 23:
14.3.2
Lot de petites pièces PT 163 544 pour source d’ions ouverte
Désignation
Quantité (pièces)
Vis (M2×3, à encoche, acier inoxydable, plaquée or)
3
Rondelle d’arrêt (mortaisée, acier inoxydable)
6
Écrou (M1.6, hexagonal, acier inoxydable, plaqué or)
9
Étrier (M1.6, pour filament)
3
Vis (M1.6× 4, tête plate)
3
Étrier (M1.6, pour source d'ions)
3
Vis (M1.6×5, à encoche, acier inoxydable, plaquée or)
3
Tab. 24:
14.3.3
Lot de petites pièces PT 163 544 pour source d'ions à ouverture
Lot de petites pièces PT 163 543 pour source d’ions croisés
Désignation
Quantité (pièces)
Vis (M2×3, à encoche, acier inoxydable, plaquée or)
3
Étrier (avec filetage M1.6, en forme de U, pour la source d'ions)
4
Vis (M1.6×5, à encoche, acier inoxydable, plaquée or)
4
Isolateur en céramique
2
Écrou (M1.6, hexagonal, acier inoxydable)
2
Écrou (carré, pour la connexion)
4
Vis (M1.6x3, tête plate, acier inoxydable, pour les connexions de la source d'ions)
3
Tab. 25:
14.3.4
Pièces de rechange
Lot de petites pièces PT 163 543 pour source d'ions croisés
Lot de petites pièces PT 163 534 pour source d’ions à grille
Désignation
Quantité (pièces)
Circlip (mortaisé, acier inoxydable)
3
Disque de freinage (céramique)
3
Capot (céramique)
9
Isolateur en céramique
9
Vis (M1.6x3, tête plate, acier inoxydable)
4
Écrou (M1.6, hexagonal, acier inoxydable)
3
Vis (M2×3, à encoche, acier inoxydable, plaquée or)
3
Tab. 26:
Lot de petites pièces PT 163 534 pour source d'ions à grille
77/92
Informations de commande
14.3.5
Lot de petites pièces PT 163 550 pour source d’ions étanche au gaz
Désignation
Quantité (pièces)
Vis (M2×3, à encoche, acier inoxydable, plaquée or)
3
Rondelle d’arrêt (mortaisée, acier inoxydable)
6
Écrou (M1.6, hexagonal, acier inoxydable, plaqué or)
9
Étrier (M1.6, pour filament chauffé)
3
Vis (M1.6× 4, tête plate)
3
Étrier (M1.6, pour source d’ions)
3
Vis (M1.6×5, à encoche, acier inoxydable, plaquée or)
3
Tab. 27:
78/92
Lot de petites pièces PT 163 550 pour source d’ions étanche au gaz
Caractéristiques techniques et dimensions
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1
Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
100
1
0,1
0,75
1 · 10
1,000
100
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
Pa
0,01
hPa
-3
5
-5
1 Pa = 1 N/m
Tab. 28:
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
592
7,5
10
3
Pa m /s
sccm
1
3
atm cm /s
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
Torr l/s
Tab. 29:
750
-3
-3
-2
1,27 · 10
1.67 · 10-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
15.2 Fiche technique PrismaPro QMG 250 F
Conditions standard
Sauf indication contraire, toutes les valeurs sont mesurées après une phase de chauffage
de 30 minutes dans des conditions standard.
Paramètre
QMG 250 F1
Type de détecteur
Faraday
QMG 250 F2
QMG 250 F3
1 à 200 u
1 à 300 u
Domaine de masse
1 à 100 u
Bride de raccordement
DN 40 CF-F
Vide requis
(pression de fonctionnement max.)
< 5 × 10-4 hPa
Sensibilité croisée de
sous-sol maximum à 2 u
< 5 ppm
< 65 ppm
< 100 ppm
QME 250 (droit)
4 × 10-13 hPa
5 × 10-13 hPa
7 × 10-13 hPa
QME 250 (angulaire)
1 × 10-12 hPa
2 × 10-12 hPa
4 × 10-12 hPa
> 5 × 10-4 A/hPa
> 4 × 10-4 A/hPa
> 3 × 10-4 A/hPa
Limite de détection
Sensibilité
Source d’ions ouverte
Usage
Lieu de mise en place
Intérieur, étanche à l’eau
Conditions ambiantes
Degré de protection
IP 30
Humidité relative de l’air
≤ 98 % à la température de fonctionnement, sans condensation
Températures
79/92
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
QMG 250 F1
QMG 250 F2
Température de fonctionnement (analyseur)
≤ 200 °C
Température de fonctionnement (QME)
5 à 50 °C
Température de dégazage
(analyseur)
(QME démonté)
≤ 300 °C
Température (transport/
stockage)
-25 à +70 °C
Coefficient de température
(pendant 8 heures, après
une durée d’échauffement
de 30 minutes)
< 1 % de la hauteur de pic par °C
QMG 250 F3
Données électriques
Tension d’alimentation
(unité de courant)
100 à 240 V AC, 50/60 Hz
Tension de raccordement
(QME 250)
20 à 30 V DC, 24 V DC typiquement
Courant nominal
1,25 A max.
Interfaces
Fonctionnement, en cours
de fonctionnement
Ethernet
Connexion de commande standard (AUX I/O)
Connecteur
Sub D, 15 broches, femelle
Sortie relais
1×, contacts deux voies, max. 24 V DC, 0,5 A
Entrées analogiques
1 × 0 – +10 V, résistance de sortie 1 MΩ, résolution 12 bit
Entrées numériques
2× ; faible < +2 V ; élevé > +3 V, nominal +24 V, max. +28 V
Tension de sortie
+24 V, max. 1 A
Connexion de commande étendue (AUX I/O, en option)
Connecteur
Sub D HD, 62 broches, femelle
Sorties analogiques
8× 0 – + 10 V, résistance de sortie 100 Ω, Imax. = 10 mA, résolution 16 bit
Entrées analogiques
8× -10 – + 10 V, résistance d’entrée 50 MΩ, résolution 16 bit
Sorties numériques
10× ; collecteur ouvert, nominal +24 V, max. +28 V, 200 mA
Entrées numériques
5×, actif faible, faible < +2 V ; élevé > +3 V, ≤ +24 V
Tension de sortie
+24 V, max. 1 A (incluant le courant vers la sortie +24 V à la connexion de commande standard)
Orientation de montage
Exigences de ventilation
min. 25 mm d’espace libre autour du QME 250
Orientation de montage
Arbitraire
Poids
Analyseur QMG 250 F
0,8 kg
Unité électronique
QME 250
1,53 kg
Unité d’alimentation SP
250
0,15 kg
Substances en contact avec le fluide
Filament chauffé
Tungstène (W) ou iridium recouvert d’oxyde d’Yttrium (lr-Y2O3)
Autres substances
acier inoxydable, céramique (Al2O3), verre, or
Tab. 30:
80/92
Fiche technique PrismaPro QMG 250 F
Caractéristiques techniques et dimensions
15.3 Fiche technique PrismaPro QMG 250 M
Conditions standard
Sauf indication contraire, toutes les valeurs sont mesurées après une phase de chauffage
de 30 minutes dans des conditions standard.
Paramètre
QMG 250 M1
Type de détecteur
EM/Faraday
Domaine de masse
1 à 100 u
Bride de raccordement
DN 40 CF-F
Vide requis
(pression de fonctionnement max.)
< 5 × 10-4 hPa
Sensibilité croisée de
sous-sol maximum à 2 u
< 5 ppm
QMG 250 M2
QMG 250 M3
1 à 200 u
1 à 300 u
< 65 ppm
< 100 ppm
4,0 × 10-15 hPa
5,0 × 10-15 hPa
Limite de détection (EM)
Source d’ions ouverte
3,0 × 10-15 hPa
Source d’ions (C/B)
3,0 × 10
Source d’ions à grille
1,2 × 10-14 hPa
Source d’ions étanche au
gaz
En fonction du flux de gaz admise dans la source d’ions
-13
hPa
-13
hPa
1,0 × 10-12 hPa
3,0 × 10-14 hPa
5,3 × 10-14 hPa
6,0 × 10
Sensibilité 12)
Source d’ions à ouverture
(Faraday)
> 5 × 10-4 A/hPa
> 4 × 10-4 A/hPa
> 3 × 10-4 A/hPa
Source d’ions C/B (Faraday)
> 2 × 10-5 A/hPa
> 1 × 10-5 A/hPa
> 5 × 10-6 A/hPa
Source d’ions à grille (Faraday)
> 1 × 10-4 A/hPa
> 5 × 10-5 A/hPa
> 3 × 10-5 A/hPa
Source d’ions étanche au
gaz
En fonction du flux de gaz admise dans la source d’ions
Usage
Lieu de mise en place
Intérieur, étanche à l’eau
Conditions ambiantes
Degré de protection
IP 30
Humidité relative de l’air
≤ 98 % à la température de fonctionnement, sans condensation
Températures
Température de fonctionnement (analyseur)
≤ 150 °C
Température de fonctionnement (QME)
5 à 50 °C
Température de dégazage (analyseur)
(QME démonté)
≤ 300 °C
Température (transport/
stockage)
-25 à +70 °C
Coefficient de température
(pendant 8 heures, après
une durée d’échauffement de 30 minutes)
< 1 % de la hauteur de pic par °C
Données électriques
Tension d’alimentation
(unité de courant)
12)
100 à 240 V AC, 50/60 Hz
Des sensibilités significativement plus élevées peuvent être obtenues en mode EM en fonction de la tension
sur l’EM.
81/92
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
QMG 250 M1
QMG 250 M2
Tension de raccordement
(QME 250)
20 à 30 V DC, 24 V DC typiquement
Courant nominal
1,25 A max.
QMG 250 M3
Interfaces
Fonctionnement, en
cours de fonctionnement
Ethernet
Connexion de commande standard (AUX I/O)
Connecteur
Sub D, 15 broches, femelle
Sortie relais
1×, contacts deux voies, max. 24 V DC, 0,5 A
Entrées analogiques
1 × 0 – +10 V, résistance de sortie 1 MΩ, résolution 12 bit
Entrées numériques
2× ; faible < +2 V ; élevé > +3 V, nominal +24 V, max. +28 V
Tension de sortie
+24 V, max. 1 A
Connexion de commande étendue (AUX I/O, en option)
Connecteur
Sub D HD, 62 broches, femelle
Sorties analogiques
8× 0 – + 10 V, résistance de sortie 100 Ω, Imax. = 10 mA, résolution 16 bit
Entrées analogiques
8× -10 – + 10 V, résistance d’entrée 50 MΩ, résolution 16 bit
Sorties numériques
10× ; collecteur ouvert, nominal +24 V, max. +28 V, 200 mA
Entrées numériques
5×, actif faible, faible < +2 V ; élevé > +3 V, ≤ +24 V
Tension de sortie
+24 V, max. 1 A (incluant le courant vers la sortie +24 V à la connexion de commande standard)
Orientation de montage
Exigences de ventilation
min. 25 mm d’espace libre autour du QME 250
Orientation de montage
Arbitraire
Poids
Analyseur QMA 250 M
(avec pièce intermédiaire
montée)
1,54 kg
Unité électronique
QME 250
1,53 kg
Unité d’alimentation SP
250
0,15 kg
Substances en contact avec le fluide
Filament chauffé
Tungstène (W) ou iridium recouvert d’oxyde d’Yttrium (lr-Y2O3)
Autres substances
acier inoxydable, céramique (Al2O3), verre, or
Tab. 31:
Fiche technique PrismaPro QMG 250 M
15.4 Dimensions
Dimensions en mm
82/92
Caractéristiques techniques et dimensions
15.4.1
QMG 250 avec source d’ions ouverte
361.1
10.5
169.9
58
128
143
142
Fig. 33:
Dimensions QMG 250 F / SI ouverte / QME 250 rectiligne
260.9
217.8
10.5
300
58
128
169.9
143
142
Fig. 34:
Dimensions QMG 250 F / SI ouverte / QME 250 90°
83/92
Caractéristiques techniques et dimensions
417.1
10.5
169.9
116
58
128
83
142
Fig. 35:
Dimensions QMG 250 M / SI ouverte / QME 250 rectiligne
260.9
217.8
10.5
58
128
169.9
83
116
356
142
Fig. 36:
84/92
Dimensions QMG 250 M / SI ouverte / QME 250 90°
Caractéristiques techniques et dimensions
15.4.2
QMG 250 avec source d’ions croisés
417.1
10.5
169.9
A = Formation room orientation
83
116
58
128
A
66.5
142
Fig. 37:
Dimensions QMG 250 M / SI croisés / QME 250 rectiligne
A Orientation du compartiment de formation
260.9
217.8
10.5
58
128
169.9
356
142
A = Formation room orientation
66.5
83
116
A
Fig. 38:
Dimensions QMG 250 M / SI croisés / QME 250 90°
A Orientation du compartiment de formation
85/92
Caractéristiques techniques et dimensions
15.4.3
QMG 250 avec source d’ions à grille
423.1
10.5
169.9
116
58
128
89
142
Fig. 39:
Dimensions QMG 250 M / SI à grille / QME 250 rectiligne
260.9
217.8
10.5
58
128
169.9
89
116
362
142
Fig. 40:
86/92
Dimensions QMG 250 M / SI à grille / QME 250 90°
Caractéristiques techniques et dimensions
15.4.4
QMG 250 avec source d’ions étanche au gaz
424
10.5
169.9
116
58
128
90
142
Fig. 41:
Dimensions QMG 250 M / SI étanche au gaz / QME 250 rectiligne
260.9
217.8
10.5
58
128
169.9
90
116
363
142
Fig. 42:
Dimensions QMG 250 M / SI étanche au gaz / QME 250 90°
87/92
The product QMG 250 PrismaPro
- conforms to the UL standard
UL 61010-1:2012.
- is certified to the CAN/CSA standard
CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12.
YJBA
- conforms to the IEC standard
IEC 61010-1:2010.
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Spectromètre de masse compact
PrismaPro® QMG 250
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Basse tension 2014/35/UE
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Standards harmonisés et standards et spécifications nationaux appliqués :
DIN EN 61010-1:2020
DIN EN IEC 61326-1:2022
DIN EN 55011:2022
DIN EN IEC 63000:2019
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-01-30
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Spectromètre de masse compact
PrismaPro® QMG 250
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards harmonisés et standards et spécifications nationaux appliqués :
EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
EN IEC 61326-1:2021
EN 55011:2016 + A1:2017 + A11:2020 + A2:2021
EN IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-01-30
91/92
*BG6001*
ed. F - Date 2404 - P/N:BG6001BFR
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