MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original QMH 800-X Générateur de haute fréquence pour QMG 800 HiQuad® Neo Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau générateur de haute fréquence a été conçu pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. Le nom Pfeiffer Vacuum représente une technique du vide de haute qualité, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l’utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel de l’utilisateur décrit l’ensemble des modèles et variantes de votre produit. Veuillez noter qu’il est possible que votre produit ne dispose pas de toutes les caractéristiques d’équipement décrites dans ce document. Pfeiffer Vacuum adapte en permanence et sans avis préalable ses produits afin qu’ils soient à la fine pointe de la technologie. Veuillez prendre en compte qu’il y avoir des divergences entre le manuel de l’utilisateur en ligne et la manuel de l’utilisateur imprimé fourni avec votre produit. En outre, Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité ou obligation pour tout dommage résultant de l’utilisation du produit en contradiction avec son utilisation conforme à l’usage prévu ou en cas d’utilisation explicitement définie comme étant une mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/50 Table des matières Table des matières 1 Au sujet de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Étiquettes sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque de commerce 7 7 7 7 7 8 8 8 8 9 9 2 Sécurité 2.1 Information générale sur la sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme à l’usage prévu 2.6 Utilisations non conformes prévisibles 2.7 Responsabilité et garantie 2.8 Conditions opérateur 2.9 Qualification personnelle 2.9.1 Garantissez la qualification du personnel 2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 2.10 Conditions opérateur 10 10 10 12 13 13 14 14 14 14 14 15 15 15 3 Description du produit 3.1 Réalisation, construction 3.2 Description fonctionnelle 3.3 Raccordements 3.3.1 Connexion QC à l'appareil de commande QC 800 3.3.2 Raccordements FA et RF+ / RF- à l'analyseur QMA 3.3.3 Connexion EP au pré-amplificateur de l'électromètre EP 822 3.3.4 Connexion LAN à l’appareil de commande QC 800 3.4 Identification du produit 3.5 Étendue de la livraison 17 17 17 18 18 19 20 21 21 21 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 22 22 22 5 Installation 5.1 Installation du générateur HF 5.1.1 Respect des conditions ambiantes 5.1.2 Respect de l’orientation de montage 5.1.3 Installation d'un générateur de haute fréquence avec support sur QMA 5.2 Établir une connexion électrique par connecteur mâle/femelle 5.2.1 Établissement d’un raccord de terre 5.2.2 Raccordement du câble de commande 5.2.3 Raccordement des câbles coaxiaux HF 5.2.4 Raccordement du câble d'axe de champ 5.2.5 Raccordement des pré-amplificateurs d’électromètre 23 23 23 24 24 Mettre en service 6.1 Temps d'attente 28 28 6 25 25 26 26 26 26 3/50 Table des matières 6.2 4/50 Contrôle du réglage 28 7 Fonctionnement 7.1 Mesure de spectres 7.2 Calibrage de l'échelle de masse (MASS CALIBRATION LOW/HIGH) 7.3 Temps d'attente 30 30 30 30 8 Maintenance 8.1 Maintenance du produit 8.2 Nettoyer l’appareil 31 31 32 9 Anomalies 34 10 Expédition 37 11 Recyclage et mise au rebut 11.1 Informations générales sur la mise au rebut 11.2 Élimination du système du spectromètre de masse 38 38 38 12 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 39 13 Informations de commande 13.1 Commande de pièces 13.2 Commande de PDR et accessoires 41 41 41 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Fiche technique 14.2 Données électriques 14.3 Données de travail avec l'analyseur quadrupolaire 14.4 Dimensions 42 42 42 43 44 15 Annexe 15.1 Comportement comme fonction de temps 15.1.1Réponse par pas 15.1.2Balayages de masse rapides 15.2 Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM 15.2.1Position apparente du pic et largeur de ligne 15.2.2Position apparente du pic et forme du pic 15.2.3Définition du nombre de masse et de la largeur de ligne 15.2.4Écarts par rapport à M et ΔM 45 45 45 45 46 Déclaration de conformité UE 48 Déclaration de Conformité UK 49 46 46 46 47 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Documents applicables Abréviations utilisées Conditions ambiantes autorisées Affectation des broches du raccordement QC Fonctions Codage Affectation des broches du raccordement FA Affectation des broches des raccordements RF+ and RF Affectation des broches du raccordement EP État de la connexion Ethernet Affichages sur l’affichage LED Anomalies Pièces de rechange Accessoires Fiche technique Conditions ambiantes Données électriques Types QMH et QMA Données de travail avec l'analyseur quadrupolaire Délais d'attente pour l'engagement du QMH Retard échelle de masse 7 9 13 19 19 19 20 20 20 21 28 36 41 41 42 42 43 43 44 45 45 5/50 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: Fig. 15: 6/50 Réalisation, construction Affectation des broches du raccordement QC Affectation des broches du raccordement FA Affectation des broches du raccordement EP Raccordement « Ethernet » (LAN) Installation d'un générateur de haute fréquence avec support sur QMA Positions d’installation possibles Affichage LED « RÉGLAGE » Points finaux OPC UA Non-linéarité de M et ΔM Dimensions Le sommet du pic se déplace avec ΔM Le sommet du pic se déplace avec la forme du pic Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM 1 = pic mesuré | 2 = pic de référence ΔM = 1 u 17 18 19 20 21 24 25 28 29 44 44 46 46 47 47 Au sujet de ce manuel 1 Au sujet de ce manuel IMPORTANT À lire attentivement avant utilisation. Gardez le manuel pour pouvoir le consulter ultérieurement. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l’état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n’apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Manuel de l’utilisateur QMG 800 HiQuad Neo BG 6013 Manuel de l’utilisateur pour pré-amplificateur électromètre EP 822 Manuel de l’utilisateur pour module entrée/sortie IO 820 Manuel de l'utilisateur pour analyseur QMA 4x0 BG 6018 Documentation du logiciel PV MassSpec Un composant du logiciel Déclaration de conformité Un composant de ces instructions Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes : Référence Désignation PT M22 001 QMH 800-3 PT M22 000 QMH 800-5 Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire. 1.2 Groupe cible Ce manuel de l’utilisateur cible toutes les personnes effectuant les activités suivantes sur le produit : ● ● ● ● ● ● Transport Configuration (installation) Utilisation et fonctionnement Mise hors service Maintenance et nettoyage Stockage ou mise au rebut Seules les personnes avec les qualifications techniques appropriées (personnel expert) ou ayant reçu la formation pertinente de Pfeiffer Vacuum sont autorisées à effectuer le travail décrit dans ce document. 7/50 Au sujet de ce manuel 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. Remarque Conseil 1.3.3 Étiquettes sur le produit Ce paragraphe décrit toutes les étiquettes sur le produit ainsi que leur signification. Plaque signalétique La plaque signalétique est située sur le côté de l’unité. D-35614 Asslar Mod. P/N S/N Input 8/50 QMH 800-x PT Mxx xxx xxxxxxxxx 24 V DC 110 W Made in United States 2024/04 Au sujet de ce manuel 1.3.4 Abréviations Abréviation Explication ARM Machine RISC évoluée (processeur principal) ESD Décharge électrostatique FA Axes de champ FPGA Matrice prédiffusée programmable par l’utilisateur HF Haute fréquence QMA Analyseur de spectromètre de masse quadripôle QMH Générateur de haute fréquence de spectromètre de masse quadripôle RF Fréquence radio (haute fréquence) RISC Ordinateur à jeu d’instructions réduit SEM Multiplicateur d’électrons secondaire SOM Module sur système Tab. 2: 1.4 Abréviations utilisées Justificatif de marque de commerce ● HiQuad® est une marque déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH. 9/50 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Information générale sur la sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger immédiat Indique un danger imminent causant la mort ou de graves blessures s’il est ignoré. ► Instructions pour éviter la situation dangereuse AVERTISSEMENT Danger potentiel Indique un danger pouvant causer la mort ou de graves blessures s’il est ignoré. ► Instructions pour éviter la situation dangereuse ATTENTION Danger potentiel Indique un danger pouvant causer des blessures bénignes s’il est ignoré. ► Instructions pour éviter la situation dangereuse AVIS Risque de dommages matériels Est utilisé pour signaler des actions qui ne sont pas associées à des blessures. ► Instructions pour éviter les dommages matériels Les notes, les conseils ou les exemples correspondent à des remarques importantes sur le produit ou sur ce document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. 10/50 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc électrique potentiellement mortel. ► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension. ► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur. ► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique. ► Veillez à ce que le câble d’alimentation et le câble d’extension sont conformes aux exigences de double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes IEC 61010 et IEC 60950. ► Utilisez seulement un câble d’alimentation à 3 broches et un câble d’extension disposant d’une mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre). ► Ne connectez le connecteur de réseau que dans une prise disposant d’un contact de mise à la terre. ► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours raccorder le câble de secteur avant tous les autres. Risques pendant le fonctionnement DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en service du dispositif. ► Déconnectez toujours l’unité avant d’ouvrir l’alimentation électrique. ► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié. ► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique. – Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier). ► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée. ► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération. ► N’ouvrez jamais une unité de courant externe. ► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux. ► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux. ► Protégez le dispositif contre l’humidité. 11/50 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et la sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux avis pour une livraison en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. 12/50 Sécurité Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 2.4 Limites d’utilisation du produit Paramètre Valeur Lieu de mise en place Résistant aux intempéries (espace intérieur) Degré de protection IP 20 Classe de protection I Altitude d’installation 2000 m max. Degré de pollution 2 Température d’accumulation -20 – +60 °C Température de service +5 – +40 °C Température de câble (HF/FA) Max. 200 °C Humidité relative Max. 80% à des températures jusqu’à +31 °C. Diminution linéaire à 50 % à +40 °C. Tab. 3: 2.5 Conditions ambiantes autorisées Utilisation conforme à l’usage prévu Le générateur de haute fréquence QMH 800-x est un composant du système de spectromètre de masse quadripole Pfeiffer Vacuum QMG 800 HiQuad Neo et génère les tensions HF et DC requises pour le système de tige de l’analyseur quadrupolaire QMA. Le générateur de haute fréquence est exclusivement destiné à être utilisé comme unité d’alimentation pour un analyseur quadrupolaire QMA 4xx Pfeiffer Vacuum. Utilisation du produit conformément à son usage prévu ► L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur. ► Se conformer aux limites d’utilisation. ► Observer la fiche technique. 13/50 Sécurité 2.6 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● ● ● ● ● ● 2.7 Utilisation en dehors des limites prescrites dans la fiche technique Utilisation pour des mesures déterminant la sécurité de personnes ou de grandes valeurs Utilisation avec des substances corrosives ou explosives Utilisation en extérieur Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société qui exploite le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ● n’utilise pas le produit pour l’usage prévu ● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante ● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit correspondante L’opérateur est responsable du gaz de procédé employé. 2.8 Conditions opérateur Travail respectueux des normes de sécurité 1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique. 2. Le produit doit être utilisé selon l’usage pour lequel il a été conçu, conformément au mode d’emploi, dans le respect des consignes de sécurité, et en restant conscient des dangers qu’il implique. 3. Observez les recommandations suivantes et surveillez l’observation des recommandations suivantes : – Utilisation conforme à l’usage prévu – Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents – Normes et directives applicables au niveau local, national et international – Directives et régulations supplémentaires relatives au produit 4. Utiliser exclusivement des pièces d’origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum. 5. Conserver le mode d’emploi accessible sur le lieu d’installation du produit. 6. Garantir la qualification du personnel. 2.9 Qualification personnelle L’utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l’expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Formez le personnel technique sur le produit. 2. Ne laissez le personnel à former opérer avec et sur le produit que sous la supervision d’un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, assurez-vous que le personnel engagé a lu et compris ce manuel de l’utilisateur et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l’entretien et à la réparation. 2.9.1 Garantissez la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l’installation mécani- 14/50 Sécurité que, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialiste des travaux électrotechniques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d’ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l’installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l’ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir reçu explicitement l’autorisation d’utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les dispositifs, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes avec la formation qui convient peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l’entreposage, à l’utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d’exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum offre des formations avancées pour les maintenances niveaux 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance niveau 3 ─ Client avec formation à l’entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contactez le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 2.10 Conditions opérateur Analyse des documents et données concernés 1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements. 2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur. 3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents. 4. Se conformer aux limites d’utilisation. 15/50 Sécurité 5. Observer la fiche technique. 6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center. – Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum. 16/50 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Réalisation, construction 1 5 7 Fig. 1: 3.2 2 6 4 3 Réalisation, construction 1 Raccordement pour l’appareil de commande QMS 2 Raccordement pour l’appareil de commande LAN 2 5 6 3 Raccordement pour pré-amplificateur de l'électromètre « EP1 (faraday) » 4 Raccordement pour pré-amplificateur de l'électromètre « EP2 (sem) » 7 Affichage LED « RÉGLAGE » Raccordement pour tension d'axe de champ « FA » Raccordements pour câbles coaxiaux HF RF+ et RF- Description fonctionnelle Câblage du système du QMG 800 HiQuad Neo Pour de plus amples informations sur le câblage du système, référez-vous au manuel de l’utilisateur du QMG 800 HiQuad Neo. Le générateur de haute fréquence QMH génère les tensions nécessaires au fonctionnement d'un filtre de masse quadripolaire : ● Composant HF avec fréquence stabilisée par quartz ● Composant DC superposé Le générateur de haute fréquence QMH a trois composants principaux : ● Carte de commande ● Platine HF ● Platine DC La carte de commande (SOM) est un processeur ARM combiné à un FPGA. Le processeur ARM fonctionne sous Linux et établit une connexion Ethernet au QMS 800. Les balayages de masse du QMH 800 sont contrôlés par le signal de balayage 0–10,14 V pour le QMS 800. Le calibrage de masse est enregistré dans une table de réglage numérique à points multiples enregistrée dans le QMH 800. Les circuits HF de haute qualité assurent une basse consommation de courant. Un four à température constante maintient les influences de la température à un niveau bas. Le QMH doit être raccordé à une charge HF adaptée avec précision. Pour ce faire, il faut raccorder l'analyseur à l'aide des câbles HF fournis dont la capacité est définie avec précision. Les tolérances de fabrication peuvent être compensées. Pendant le fonctionnement et la réglage, l'état d'adaptation est contrôlé et signalé à l’aide de LED. Le QMH est protégé contre la surchauffe et la destruction résultant d'une charge HF mal adaptée, d'un court-circuit ou d'un fonctionnement à vide. Le potentiel de l'axe de champ est fourni en externe. Les raccordements EP1 (Faraday) et EP2 (SEM) sont utilisées pour raccorder deux pré-amplificateurs d'électromètre EP 822. L'appareil de commande QMS fournit les signaux d'alimentation et de commande, et contient les composants électroniques traitant les signaux de l'électromètre. Avec l'appareil de commande QMS, les fonctions suivantes du QMH peuvent être utilisées : ● Nombre de masse M (amplitude HF) ● Largeur de pic ΔM 17/50 Description du produit ● ● ● ● Spectre intégral (désactivé en DC) RF OFF Plage de l'électromètre Signal de l'électromètre 1 ou 2 L'instrument signale l'état de disponibilité opérationnelle ou d'erreur à l'appareil de contrôle QMS. 3.3 Raccordements 3.3.1 Connexion QC à l'appareil de commande QC 800 Interfaces sur QC 800 Pour de plus amples informations sur les interfaces sur le QC 800, référez-vous au manuel de l’utilisateur de QMG 800 HiQuad Neo. 18/50 1 → 13 14 → 25 Fig. 2: Affectation des broches du raccordement QC Broche Mot de signalisation Direction du signal Niveau Impédance 1,2,14 -24 V IN Voir « Fiche technique » 3,15,16 +24 V Alimentation / alimentation électrique 4,6,17,19 0 V 1) GND 10 Ω (voir Châssis) 5 SCAN + 2) 0 – +10,24 V 100 kΩ 18 SCAN - 3) 0V 7 EP + 4) 20 EP - 5) 8 RESOL + 6) 21 RESOL - 7) 9 RESERVE 1 H IN 10 RF OK L OUT 2,2 kΩ 11 MODE 1 H IN 100 kΩ vers le bas 23 MODE 2 H 12 GAMME 1 H 24 GAMME 0 H 13 EP 2 H OUT 0V 47 Ω 0 – ±16 V IN 0 – +10,24 V 100 kΩ 0V CMOS numérique 8) 100 kΩ 1) La ligne 0 V doit être à ±0,5 Vp max. par rapport à la GND du châssis. 2) Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP± 3) Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP± 4) Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP± 5) Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP± 6) Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP± 7) Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP± 8) Niveau numérique CMOS : L : 0 – +0,75 V DC | H : +11.0 – +12.7 V DC Description du produit Broche Mot de signalisation Direction du signal Niveau Impédance 22 BLINDAGE --- GND 33 Ω (voir Châssis) 25 RESERVE 2 H IN CMOS numérique 9) 100 kΩ vers le bas Tab. 4: Affectation des broches du raccordement QC Directions des signaux ● IN = QMH est récepteur ● OUT = QMH est émetteur Mot de signalisation Niveau Fonction de QMH SCAN± 0 – +10,24 V MASSE = (SCAN/10,24 V) x Mmax RESOL± 0 – +10,24 V ΔM = ΔMmin + (RESOL/10,24 V) x ΔMmax EP± 0 – ±16 V Signal de sortie du pré-amplificateur de l'électromètre (EP) Tab. 5: Fonctions Mot de signalisation GAMME – H EP 2 H MODE – H RF OK L Tab. 6: 3.3.2 ...1... ...0... Gamme de mesure de l'électromètre : L L 10-5 A L H 10-7 A H L 10-11 A H H 10-9 A L EP1, faraday H EP2, sem ...2... ...1... Mode de fonctionnement : L L VEILLE, non utilisé L H INTEGRAL (DC OFF) H L SPECTRE (DC ON) H H RF OFF L QMH est OK H QMH n'est pas OK Codage Raccordements FA et RF+ / RF- à l'analyseur QMA Tension d'axe de champ Pour de plus amples informations sur la tension d'axe de champ, référez-vous au manuel de l'utilisateur de l'analyseur QMA. 1 2 Fig. 3: 9) Affectation des broches du raccordement FA Niveau numérique CMOS : L : 0 – +0,75 V DC | H : +11.0 – +12.7 V DC 19/50 Description du produit Broche Mot de signalisation Direction du signal Niveau Impédance 1 FA IN Max. ±500 V / 2 mAmax 9 MΩ 2 non attribué --- --- --- Carter GND IN GND, blindage --- Tab. 7: Affectation des broches du raccordement FA Mot de signalisation Direction du signal Niveau et charge RF+ et RF- OUT Charge adaptée Carter OUT GND, blindage Connecteur : coaxial, SHV Tab. 8: Affectation des broches des raccordements RF+ and RF Directions des signaux ● IN = QMH est récepteur ● OUT = QMH est émetteur 3.3.3 Connexion EP au pré-amplificateur de l'électromètre EP 822 Interfaces sur EP 822 Pour de plus amples informations sur les interfaces sur l’EP 822, référez-vous au manuel de l’utilisateur de QMG 800 HiQuad Neo. 5 1 9 6 Fig. 4: Affectation des broches du raccordement EP Broche Mot de signalisation Direction du signal Niveau 1 EP GND IN 0V 2 +16 V OUT +16 V ±0,2 V/27 mAmax 3 0 V EP OUT EP GND 4 -16 V OUT -16 V ±0,2 V/12 mAmax 5 EXP 5 L OUT Numérique 1) 6 EP OUT IN 0 – ±16 V 7 BLINDAGE --- GND du châssis 8 EXP 7 L OUT Numérique 9 EXP 9 L OUT Numérique Tab. 9: Affectation des broches du raccordement EP Directions des signaux ● IN = QMH est récepteur ● OUT = QMH est émetteur Niveau numérique ● ● ● ● 20/50 L : 0 – +0.75 V DC H : +16,5 – +17,0 V DC avec rappel externe >5 kΩ contre +16 V Les niveaux sont relatifs à 0 V EP. A l'exception de EP OUT et EP GND, les deux connecteurs sont raccordés en parallèle. Description du produit 3.3.4 Connexion LAN à l’appareil de commande QC 800 Interfaces sur QC 800 Pour de plus amples informations sur les interfaces sur le QC 800, référez-vous au manuel de l’utilisateur de QMG 800 HiQuad Neo. La connexion entre le QMH 800-x et le QC 800 est établie via le câble Ethernet fourni dans l’étendue de la livraison. L’état de l’interface est détecté par les deux LED dans la douille RJ-45. RJ-45 1 8 green yellow Fig. 5: Raccordement « Ethernet » (LAN) 1 Données de transmission (TD+) 2 Données de transmission (TD-) 3 Données de réception (RD+) Données de réception (RD-) Non utilisé LED Statut Signification Verte (lien) allumée La connexion du matériel existe éteinte Pas de connexion du matériel allumée (clignotement) Transmission de données en cours éteinte Aucune transmission de données/pas de connexion Jaune (activité) Tab. 10: 3.4 6 4, 5, 7, 8 État de la connexion Ethernet Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. 3.5 Étendue de la livraison ● Générateur de haute fréquence QMH ● Câble de raccordement pour QMS 800/QC 800 Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 3. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée. 21/50 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transport en toute sécurité du produit ► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirez l’obturateur de protection existant et les protections pour le transport seulement juste avant l’installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un stockage incorrect Un stockage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un stockage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d’origine. Stockage en toute sécurité du produit ► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine. ► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenez la température de stockage admissible. ► Évitez les fortes variations de températures ambiantes. ► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air. ► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles). 22/50 Installation 5 Installation DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en service du dispositif. ► Déconnectez toujours l’unité avant d’ouvrir l’alimentation électrique. ► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié. ► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique. – Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier). ► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée. ► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération. ► N’ouvrez jamais une unité de courant externe. ► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux. ► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux. ► Protégez le dispositif contre l’humidité. DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc électrique potentiellement mortel. ► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension. ► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur. ► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique. ► Veillez à ce que le câble d’alimentation et le câble d’extension sont conformes aux exigences de double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes IEC 61010 et IEC 60950. ► Utilisez seulement un câble d’alimentation à 3 broches et un câble d’extension disposant d’une mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre). ► Ne connectez le connecteur de réseau que dans une prise disposant d’un contact de mise à la terre. ► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours raccorder le câble de secteur avant tous les autres. 5.1 Installation du générateur HF Composants du système Ce document décrit uniquement l'installation du générateur de haute fréquence. Tenez également compte des documents de l'appareil de commande QMS et des autres composants du système. 5.1.1 Respect des conditions ambiantes Recommandations ► Évitez de faire fonctionner l'appareil s'il est exposé à une forte humidité, à une atmosphère poussiéreuse, à des vibrations mécaniques et à des fluctuations extrêmes de la température ambiante. ► Veillez à ce que l'air ambiant de l'appareil s’échauffe jusqu'à max. 50 °C pendant le fonctionnement (mesuré à une distance de 30 cm). ► Pour obtenir la meilleure précision de mesure, évitez les fluctuations de température. ► Assurez une circulation d’air adéquate. 23/50 Installation ► Prenez les mesures appropriées pour garantir la circulation de l'air si vous installez l'appareil dans un carter supplémentaire. ► Si des tuyaux flexible d'eau ou d’agent de refroidissement cheminent à proximité de l'appareil, protégez-le contre les gouttes et les éclaboussures. 5.1.2 Respect de l’orientation de montage Distance admissible par rapport à QMA Une distance approx. de 0,5 m est possible (longueur de câble 0,7 m). Recommandations ► Sélectionnez la position d’installation en vérifiant que le réglage LED et les affichages d’état sont clairement visibles sur la face avant. – Il est possible d'installer l’appareil sur la bride en utilisant le support fourni avec le QMA. ► Montez le QMH horizontalement ou avec une déclivité de 30° à un emplacement où il y a le moins de vibrations possible. 5.1.3 Installation d'un générateur de haute fréquence avec support sur QMA 1 3 2 4 5 6 7 24/50 Fig. 6: Installation d'un générateur de haute fréquence avec support sur QMA 1 2 3 4 5 6 7 8 Analyseur QMA Générateur de haute fréquence QMH Support Boulons M4 Disque de freinage Support Face avant du QMH Circlip Installation Fig. 7: Positions d’installation possibles Procédure 1. Placez l'appareil sur une surface appropriée et pratique pour travailler dessus. 2. Fixez l’appareil sur le support. 3. Fixer l'appareil avec le support sur le QMA. 5.2 Établir une connexion électrique par connecteur mâle/femelle 5.2.1 Établissement d’un raccord de terre AVIS Défaillance des branchements électriques causée par des influences perturbatrices externes Pour des raisons de compatibilité électromagnétique (CEM) (effets d'interférence externe), nous recommandons fortement un point de prise de terre central pour tous les appareils accouplés ensemble (par exemple, le groupe de pompage, l’unité de commande, le PC, l’enregistreur, etc.). Une prise multiple, ou mieux, un distributeur de puissance avec un interrupteur secteur remplit la fonction de façon simple. Sauf : pour les ordinateurs installés éloignés les uns des autres ou dans un environnement fortement perturbé. ► Utilisez une prise multiple ou un distributeur de puissance avec un interrupteur secteur. ► Acheminez séparément le câble de commande par rapport à la source d'interférence. Tension max. admissible La tension max. admissible entre le QMH et l’enveloppe de l’appareil de commande (SC) est de 0,5 Vpic. Lorsque le générateur HF est installé sur une bride QMA correctement mise à la terre à l’aide du support, le carter du générateur HF est mis à la terre en toute sécurité. 25/50 Installation 5.2.2 Raccordement du câble de commande Procédure ► Assurez-vous toujours que l'appareil de commande a été désactivé avant de raccorder ou de débrancher le câble de commande QC. ► Utilisez un câble de la longueur requise correspondante. 5.2.3 Raccordement des câbles coaxiaux HF AVIS Endommagement de l'analyseur causé par des tensions et des champs magnétiques externes N’exposez jamais le système d'électrodes de l'analyseur à des tensions externes dangereuses en cas de contact, provenant de connexions galvaniques, d'un contact, d’un éclat, de faisceau d'électrons ou d'ions, etc. Si des sources dangereuses de ce type existent dans l’enceinte à vide, vous devez fournir des mesures protectrices qui éliminent en toute sécurité ces influences. Des tensions externes, même faibles, sur l'analyseur vont endommager l'électronique et entraîner des résultats de mesure inexacts. ► Prenez des mesures protectrices efficaces contre les tensions externes (par exemple, meilleure disposition, blindage, prise de terre, etc.). ► Ne montez pas l’analyseur à côté de champs magnétiques de > 0,2 mT. ► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés. ► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système (par exemple, en utilisant un contact de porte). ► Observez les standards applicables au système de vide. Procédure ► À l’aide des deux câbles coaxiaux HF de 0,7 M fournis, raccordez les douilles RF+ et RF- du QMH aux douilles RF A et RF B du QMA. ► Si nécessaire, reportez-vous au journal de test pour ce qui concerne la polarité. – Les tests d’usine sont effectués avec une polarité normale pour optimiser la forme du pic. L’inversion de la polarité est autorisée bien que cela puisse nécessiter un réajustement de la HF (non recommandé). ► Utilisez uniquement les câbles fournis par Pfeiffer Vacuum, avec la longueur et la capacité spécifiées. ► Raccordez le connecteur adapté à un tuyau flexible en téflon au QMA, afin de s'assurer que l'étuvage y est possible. ► Ne pliez jamais les câbles. ► Si les câbles sont trop courts, utilisez une méthode de montage différente. 5.2.4 Raccordement du câble d'axe de champ Les points suivants s'appliquent au raccordement d'une alimentation externe d'axe de champ : ● La tension admissible par rapport au potentiel du châssis est de ±500 V DC max. ● Le potentiel effectif de l'axe de champ correspond à 99,9% de la tension fournie. ● L'alimentation FA externe doit être limitée en courant à 2 mA, pour des raisons de sécurité. Procédure ► Raccordez les douilles FA sur QMH et QMA avec les câbles fournis. – Ainsi, vous fournissez la tension d'axe de champ depuis l'appareil de commande via le câble de la source d'ions. Le réglage de la tension FA se situe dans le journal de test de l'ensemble du système. ► Si vous n'utilisez pas le câble fourni : Utilisez un câble blindé dont le blindage est placé sur le carter. 5.2.5 Raccordement des pré-amplificateurs d’électromètre Les deux pré-amplificateurs d’électromètre peuvent être raccordés simultanément. 26/50 Installation Procédure ► Pour mesure avec coupe de Faraday (ions positifs) : Raccordez le pré-amplificateur de l'électromètre qui correspond à l'appareil de commande QMS à EP1 (Faraday). ► Pour mesure un signal SEM (électrons) : Raccordez le pré-amplificateur de l'électromètre qui correspond à l'appareil de commande QMS à EP2 (SEM). 27/50 Mettre en service 6 Mettre en service Conditions préalables ● Toutes les connexions électriques établies ● Toutes les conditions initiales de l’ensemble du système remplies (par ex. vide adéquat) 6.1 Temps d'attente Pas de fonctionnement avec des masses plus élevées pendant le temps d'attente Pendant le temps d'attente, ne faites pas fonctionner le QMH avec des masses plus élevées (PREMIÈRE MASSE + LARGEUR DE BALAYAGE ≤0,5 Mmax), car cela pourrait nuire au fonctionnement de l'appareil de commande en raison de la charge élevée sur l'alimentation électrique. Au terme du temps d’attente d’env. 10 minutes, la LED « TEMP» s’allume sur la face avant du QMH. Si la LED « DÉFAILLANCE» ne clignote pas, l’instrument remet à zéro le signal d’erreur transmis à l’appareil de commande. 6.2 Contrôle du réglage Fig. 8: Affichage LED « RÉGLAGE » LED Signification RÉSULTAT OPTIMAL La LED s’allume pour indiquer que le générateur a été réglé avec précision. DÉFAILLANCE La LED clignote lorsque le déréglage dépasse la valeur admissible ou lorsqu’il y a une erreur (p. ex., câble HF non raccordé). L'appareil envoie cet état à l'appareil de commande comme signal d'erreur. La LED est allumée en continu si la HF a été désactivée via l’appareil de commande (RF OFF). TEMP Four RF chauffé au point de consigne de fonctionnement (PRÊT) PUISSANCE Niveau de puissance actuel (l’intensité augmente avec l’augmentation de la plage de balayage de masse) RÉGLAGE Déviation dans la résonance à droite et à gauche de la résonance idéale Tab. 11: Affichages sur l’affichage LED Tandis que le système balaie le domaine de masse supérieur et inférieur à 250 u, il est normal que les LED « RÉGLAGE » s’allument au-dessus et en dessous de RÉSULTAT OPTIMAL. L’état disponible est disponible via les points finaux OPC UA. 28/50 Mettre en service Fig. 9: Points finaux OPC UA Contrôle du réglage 1. Lors de la mise en service initiale, contrôlez le réglage. – La qualité du réglage est affichée par les LED « RÉGLAGE ». 2. Réglez un nombre de masse fixe (pas de balayage) d’env. ≤ ½ Mmax. 3. Si « RÉSULTAT OPTIMAL » ne s’allume pas : Contactez Pfeiffer Vacuum Service. 29/50 Fonctionnement 7 Fonctionnement 7.1 Mesure de spectres Informations sur le PV MassSpec Pour des informations détaillées, reportez-vous à la section « Aide » du logiciel. 7.2 Calibrage de l'échelle de masse (MASS CALIBRATION LOW/HIGH) Un nouveau calibrage peut s'avérer nécessaire en raison du vieillissement ou après le remplacement du QMA. Informations sur le PV MassSpec Pour des informations détaillées, reportez-vous à la section « Aide » du logiciel. 7.3 Temps d'attente Après écoulement d'un temps de préchauffage d'approx. 20 minutes à partir du démarrage du QMH froid et du temps de préchauffage du QMA (EMISSION ON), les résultats de mesure sont conformes aux valeurs calibrées (M et DM). Selon les exigences de précision, le temps de préchauffage est de 0,5 à 5 heures. En cas de changements de pas dans le nombre de masse, il faut plusieurs ms (selon la taille et la direction du pas et le type de QMH) jusqu'à ce que les valeurs HF et DC se stabilisent dans le nouvel état. Les appareils de commande de Pfeiffer Vacuum tiennent compte de ce phénomène dans le logiciel intégré. Recommandations ► Si nécessaire, optimisez manuellement le temps d'attente à l'aide du paramètre « PAUSE ». 30/50 Maintenance 8 Maintenance Demande de garantie Le fait d’ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou d’endommager/de supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. Commencer par lire intégralement les sections Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à travailler. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Nettoyage dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. 8.1 Maintenance du produit AVIS Détérioration de l’unité à cause d’une décharge électrostatique Une décharge électrostatique endommage les composants électroniques. Si cet avertissement n’est pas respecté, les défauts qui en résultent ne sont pas pris en charge par la garantie. ► Les opérations sur les stations de travail à protection CEM doivent être effectuées conformément aux méthodes appropriées. ► Lorsque l’unité est ouverte, prenez les mesures de précaution appropriées contre les charges électrostatiques. ► Stockez toujours les unités électroniques et les composants dans des emballages antistatiques. ► Observez la norme EN 61340, 5-1 et 5-2, « Protection des appareils électroniques contre les phénomènes électrostatiques ». AVIS Dommage sur composants électroniques lié à une réparation incorrecte Pfeiffer Vacuum a accordé très précisément les platines de l'appareil avec les autres groupes d'assemblage. Un calibrage correct peut uniquement être effectué en usine. ► Ne remplacez jamais les platines ou d'autres composants lors de réparations sur l'appareil. Dans des conditions normales de fonctionnement, le générateur HF ne nécessite pas de maintenance. Il se peut que l'échelle de masse et la résolution doivent parfois être recalibrées, si l'analyse des valeurs de mesure indique que cela est nécessaire. Les LED « Défaut » ou « meilleur résultat » indiquent quand il est nécessaire de reconfigurer l’ « ajustage ». 31/50 Maintenance Remédier aux fortes pertes HF par séchage ► Il est possible de remédier aux pertes élevées de HF (symptôme F4) causées par un stockage dans une humidité élevée par un séchage à max. 70 °C ou par un fonctionnement sur une période prolongée jusqu’à saturation maximale possible. 8.2 Nettoyer l’appareil DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. AVIS Dégâts causés par la pénétration d’humidité La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité. ► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau. ► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum. AVIS Risque de mauvais ajustage ou d'autres dommages Si des procédures incorrectes sont suivies lors de l'ouverture de l'appareil et du nettoyage de son intérieur, des dommages peuvent en résulter. ► Ne pliez pas ou ne déplacez pas les petits câbles, composants, etc. ► Vérifiez les exigences en matière d'air comprimé. AVIS Dommages causés par des détergents inappropriés L’usage d’agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► N’utilisez pas de solvants qui endommageraient sa surface. ► N’utilisez pas d’agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Conditions préalables ● L’appareil est mis hors circuit ● Le connecteur de réseau est retiré 32/50 Maintenance Consommables requis ● Agent nettoyant ordinaire (détergent ménager doux, par exemple). ● Chiffon doux et propre ● Air comprimé sec, exempt d’huile et exempt de particules (surpression < 2 bars) Nettoyage des pièces de carter 1. Utilisez un chiffon doux humide pour nettoyer l’extérieur de l’habillage. 2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage. 3. Éliminez les couches de poussière à l’intérieur en les soufflant prudemment à l’air comprimé. 33/50 Anomalies 9 Anomalies DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en service du dispositif. ► Déconnectez toujours l’unité avant d’ouvrir l’alimentation électrique. ► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié. ► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique. – Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier). ► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée. ► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération. ► N’ouvrez jamais une unité de courant externe. ► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux. ► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux. ► Protégez le dispositif contre l’humidité. Vous trouverez ci-dessous des dysfonctionnements typiques pouvant survenir à la suite d'erreurs de la part de l'opérateur, lors de la mise en service initiale ou après une période de fonctionnement prolongée, ainsi que leurs causes et remèdes possibles. Symptôme d'erreur Causes possibles et localisation Remède F1 Charge HF inexistante ou incorrecte au niveau des douilles RF+ et RF- ● Connectez l'analyseur QMA avec les câbles coaxiaux HF fournis (RF+ et RF-). ● Ajustez le générateur HF QMH. Charge HF supérieure ou inférieure aux données ● Contrôlez la combinaison générateur HF QMH et analyseur QMA utilisés (dans le manuel de l'utilisateur du QMG 800) Défaut dans la charge HF ● Contrôlez que le câble coaxial HF et les lignes HF de l'analyseur QMA ne présentent pas d'interruptions ou de courts-circuits. ● Mesurez les valeurs de capacité (conducteur interne RF A, RF B). Défaut dans le circuit HF du générateur HF ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Court-circuit dans le circuit de charge HF ● Débranchez le câble coaxial HF au niveau des raccords RF+ et RF et contrôlez que les câbles ne présentent pas de court-circuit. ● Contrôlez les connexions HF de l'analyseur QMA. ● Débranchez tous les câbles et contrôlez l'isolation du châssis au niveau des douilles RF+ et RF. Si < 9 MΩ : Contactez Pfeiffer Vacuum Service. (voir symptôme F11) F2 34/50 « DÉFAILLANCE » clignote en continu. « RF ERREUR » apparaît à partir d'approx. 5% de Mmax « DÉFAILLANCE » clignote en continu. « IS ERR #1 » apparaît. Anomalies Symptôme d'erreur Causes possibles et localisation Remède F3 Le générateur HF de QMH n'est pas réglé. ● Ajustez le générateur HF QMH. Décharges Corona en raison d'une pression trop élevée dans l'analyseur QMA ● Purgez l’enceinte à vide. ● Réduisez la pression dans l’enceinte à vide. Décharges Corona en raison d'un câble coaxial HF ou d’une ligne HF défectueuse dans l'analyseur QMA ● Procédez à une inspection visuelle. Décharges Corona en raison de la poussière dans le générateur HF QMH ● Soufflez délicatement le générateur HF QMH à l'air comprimé. Défaut dans le générateur QMH HF ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Consommation de courant trop élevée en raison de pertes de HF excessives dans le circuit de charge HF ● Contrôlez le câble de raccordement HF. ● Contrôlez la combinaison générateur HF QMH et analyseur QMA utilisés (dans le manuel de l'utilisateur du QMG 800) ● Faites fonctionner le générateur QMH HF dans un environnement sec. ● Faites fonctionner le générateur QMH HF pendant une longue période avec de petites masses, de sorte que la chaleur de l'appareil fasse évaporer l'humidité. Défaut dans le générateur QMH HF ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Éclats individuels dans le circuit de charge HF (voir symptôme F3). ● (Comme le symptôme d'erreur F3) Consommation de courant proche du seuil admissible (voir symptôme F3). ● (Comme le symptôme d'erreur F3) F4 F5 « DÉFAILLANCE » clignote uniquement pour des masses élevées. « RF ERREUR » apparaît. « DÉFAILLANCE » clignote pour les masses les plus élevées, bien que « RÉGLAGE » soit OK pour les masses plus petites, p. ex. « RÉSULTAT OPTIMAL » est allumée. « DÉFAILLANCE » clignote occasionnellement avec une masse élevée. F6 « DÉFAILLANCE » est allumée en continu. Pas d’erreur Le générateur HF est à l'arrêt. L’appareil de commande transmet RF OFF, par ex. pour DEGAS. F7 « RÉSULTAT OPTIMAL » s’est éteinte. « DÉFAILLANCE » ne clignote pas. Pas d’erreur L'état de l'ajustage peut changer légèrement. F8 Tous les indicateurs du générateur HF QMH sont éteints. Le câble QC n'est pas raccordé ou l'appareil de commande QMS est désactivé. ● Raccordez le câble QC. ● Activez l'appareil de commande QMS. Le fusible F1 du générateur QMH HF est défectueux. 1. Désactivez l'appareil de commande QMS et débranchez tous les câbles. 2. Dévissez et retirez le capot gauche (avec fenêtre d'affichage). 3. Sur la carte de platine de liaison, vérifiez les fusibles F1 et F2. 4. Si les fusibles sont défectueux, il est possible qu'il y ait des défauts supplémentaires dans le générateur QMH HF. Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Le générateur QMH HF n'a été mis en marche que récemment. ● Attendez que « prêt » se mette à briller. F9 « PRÊT » n’est pas allumée. « DÉFAILLANCE » ne clignote pas. « RF ERREUR » apparaît. 35/50 Anomalies Symptôme d'erreur Causes possibles et localisation Remède F10 « PRÊT » n’est pas allumée, bien que la période d’attente se soit écoulée. « DÉFAILLANCE » clignote en continu, même lorsque vous effectuez un réglage. « RÉSULTAT OPTIMAL » est allumée. Les pics ne correspondent pas aux attentes. Le fusible F2 est défectueux (voir symptôme d'erreur F8). ● Contrôlez la tension secteur de l'appareil de commande QMS. ● Contrôlez les tensions d'alimentation sur le câble QC. ─ Affectation des broches ─ Valeurs : +24 V/-24 V (±0,5 V) F11 « DÉFAILLANCE » ne clignote pas. « ERREUR SOURCE D’IONS » apparaît. Les sources d'ions et/ou les tensions d’axes de champ ne correspondent pas au point de consigne Lorsqu'il y a un message d'erreur, il peut être réinitialisé comme suit : ● Débranchez le câble FA et vérifiez l'absence de court-circuit. ● Débranchez le câble IS et vérifiez l'absence de court-circuit. F12 Pics pour les masses plus élevées trop larges ou trop étroits, bien que « RÉSOLUTION » ΔM = 1 u soit configurée sur l’appareil de commande. La commande pour « résolution grossière » a été ajustée. ● Réglez la résolution. F13 Pics pour les plus petites masses trop étroits ou non visibles, bien que « RÉSOLUTION » ΔM = 1 u soit configurée sur l’appareil de commande. La commande pour « faible résolution » n'est pas sur le réglage pour ΔM = 1 u. ● Réglez la résolution pour les petites masses. F14 Pics irréguliers, forme irrégulière La tension de l'axe de champ n'est pas raccordée au connecteur FA . ● Raccordez le câble de l'axe de champ au générateur HF QMH et à l'analyseur QMA. La valeur de la tension d'axe de champ est trop élevée. ● Contrôlez et corrigez les réglages. La polarité du câble coaxial HF au niveau des douilles RF+ et RF- n'est pas correcte. ● Contrôlez et corrigez la polarité du câble coaxial HF. Câble FA interrompu. ● Contrôlez la continuité du câble FA (affectation des broches). ● Débranchez les câbles FA et QC. a. Risol à la broche 1 de la douille FA > 9 MΩ contre le châssis. b. En cas de court-circuit : voir F2 et F11. F15 Signal de mesure présent, mais pas de pics résolus Appareil de commande réglé sur le mode de fonctionnement INTEGRAL. ● Réglez les modes de fonctionnement. Observez le manuel de l’utilisateur du HiQuad Neo QMG 800. F16 Valeur de mesure manquante, bien que tous les paramètres aient été configurés correctement. Le pré-amplificateur de l'électromètre EP n'est pas raccordé ou est raccordé sur un mauvais connecteur (EP1, EP2). ● Contrôlez la connexion du pré-amplificateur de l'électromètre EP. Erreur dans le câblage de l’analyseur QMA. ● Contrôlez le raccordement de l’analyseur. Observez le manuel de l’utilisateur du HiQuad Neo QMG 800. Tab. 12: 36/50 Anomalies Expédition 10 Expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et la sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux avis pour une livraison en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédition en sécurité du produit ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 37/50 Recyclage et mise au rebut 11 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 11.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 11.2 Élimination du système du spectromètre de masse Les systèmes de spectromètre de masse Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démontez les éléments du boîtier. 2. Démontez tous les composants individuels. 3. Démontez les composants électroniques. 4. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 5. Séparez les composants en matériaux recyclables. 6. Recyclez les composants non contaminés. 7. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 38/50 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 12 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 39/50 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 40/50 Informations de commande 13 Informations de commande 13.1 Commande de pièces Commande de pièces détachées, d’accessoires ou de composants optionnels ► Toujours préciser les informations suivantes pour commander des pièces détachées, des accessoires ou des composants optionnels : ● Tous les détails de la plaque signalétique ● Description et référence de commande correspondant à la liste des pièces 13.2 Commande de PDR et accessoires Description Référence Remarque Câble coaxial HF PT 168 560 -T 0,7 m, 3,5 kV Câble d'axe de champ PT 168 550 -T 0,7 m, 500 V Description Référence Remarque Câble QMH-QC (24 V) PT 168 531 -T 1,5 m de long PT 168 532 -T 3 m de long PT 168 533 -T 10 m de long PT 168 534 -T 15 m de long PT 168 541 -T 1,5 m de long PT 168 542 -T 3 m de long PT 168 543 -T 10 m de long PT 168 544 -T 15 m de long Tab. 13: Pièces de rechange Câble QMH-QC (Ethernet) Tab. 14: Accessoires 41/50 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Fiche technique Paramètre Valeur Dimensions 235 × 193 × 340 mm Carter 10) (l × H × P) (approx.) Longueurs de câble Câble de commande (QC) 1, 5 m, 3 m ou 10 m Prolongateur de câble de commande Longueurs telles que requises (voir chapitre « Commande de PDR et accessoires », page 41) Câble coaxial HF 0,7 m Câble d'axe de champ Poids (câble incl.) Sans emballage 4,5 kg Avec emballage 6,8 kg Orientation de montage Déclivité horizontale max. ±30° Tab. 15: Fiche technique Paramètre Valeur Lieu de mise en place Résistant aux intempéries (espace intérieur) Degré de protection IP 20 Classe de protection I Altitude d’installation 2000 m max. Degré de pollution 2 Température d’accumulation -20 – +60 °C Température de service +5 – +40 °C ±0,01 u/°C à 10 – 40 °C Température de câble (HF/FA) Max. 200 °C Humidité relative Max. 80% à des températures jusqu’à +31 °C. Diminution linéaire à 50 % à +40 °C. Tab. 16: 14.2 Conditions ambiantes Données électriques Paramètre Valeur Fréquence 2,25 MHz Amplitudes HF (RF+, RF-) 1,5–2 350 Vp Tension DC (spectre) 0,5–394 ± V DC Tension d’alimentation +24 ±0,5 V DC / -24 ±0,5 V DC Consommation de courant (désajustage max. admissible) ● Four froid ≤ 2,5 A ● Four chaud ≤2,3 A ● Si RF OFF ≤0,9 A Perte de puissance interne ● Four chaud, désajustage max. admissible 10) 42/50 ≤100 W Un espace supplémentaire est nécessaire pour les câbles. Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Températures ● Température de la surface du carter supérieure à la normale 11) Typique 30 °C, max. 35 °C Temps d'auto-échauffement ● Point de commutation du thermostat de protection contre les surcharges Env. 100 °C Approx. 15 minutes (systèmes de refroidissement) Approx. 60 minutes (carter) Tension d'axe de champ (FA) Max. admissible ±500 V avec une limitation du courant à ±2 mA max. Raccordements du pré-amplificateur de l'électromètre Alimentation intégrée, sélection de la plage et sélection du signal à distance Protection des sorties HF Contre les désajustages inadmissibles, ainsi que le fonctionnement à vide et les courts-circuits Tension de sortie en fonctionnement à vide Potentiel d’axe de champ + HF 50 Vp max. Fusibles (voir chapitre « Commande de PDR et accessoires », page 41) Affectation des broches et signaux (voir chapitre « Raccordements », page 18) Tab. 17: 14.3 Données électriques Données de travail avec l'analyseur quadrupolaire Type QMH Domaine de masse [u] Type QMA Diamètre de tige [mm] QMH 800-3 300 QMA 430 8 QMH 800-5 512 QMA 400 8 Tab. 18: Types QMH et QMA Les grandeurs d'erreur se rapportent aux valeurs de tension des composants HF et CC ; elles ont été converties en unités de masse pour une meilleure compréhension. La dérive de démarrage des analyseurs (ÉMISSION réglée sur « MARCHE » pour l’analyseur froid) de dM = environ -0,02%/h pendant 4 à 5 h, ainsi que d’autres influences de l’analyseur n’ont pas été prises en compte dans les valeurs d’erreur spécifiées dM et dΔM. La puissance HF appliquée réchauffe le QMA - cet effet est le rapport carré du nombre de masse et ne joue donc un rôle que dans le tiers supérieur de l'échelle de masse. L'effet est approx. le même que celui de l'échauffement à l’aide de la source d'ions. Paramètre QMH 800-x Type d'analyseur QMA (voir table « Types QMH et QMA », page 43)12) Système à tiges (voir table « Types QMH et QMA », page 43) Domaine de masse Mmin – Mmax 13) 0,5 à 512 u Domaine de réglage de la résolution ● Largeur de pic constant ΔM10, télécommandée avec le signal RESOLUTION 0,3 à 7 u ● Une résolution constante ΔM/M peut être réglée : résolution grossière 0à2% (ΔM > 0,3 u) Période d'attente après un saut d'étape dans le point de consigne (voir chapitre « Réponse par pas », page 45) Tailles d'erreur dM et dΔM à Mmax 14) 11) Température supérieure à la normale = augmentation par rapport à la température ambiante 12) Avec le QMA 800-3, les informations ne s’appliquent que jusqu’à une masse de 300 u. 13) Cela permet d'afficher les pics complets jusqu'à Mmax - 1. 43/50 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre QMH 800-x ● Dérive par pas, Mmin -> Mmax environ 0,05 u ● Dérive à long terme, par 100 h environ 0,03 u ● Dérive à court terme, par 1 h environ 0,01 u ● Dérive de température (environnement, 10 à 40 °C) par °C environ 0,01 u ● Impact mécanique, dérive par 10 G environ 0,02 u Tab. 19: Données de travail avec l'analyseur quadrupolaire +0.1 dM, dΔM [%Mmax] dM #1 #2 +0.05 12 5u 0 20 30 40 50 60 70 80 90 100% M [% Mmax] M #1 -0.05 dΔM -0.1 Fig. 10: 14.4 Non-linéarité de M et ΔM10 Dimensions Fig. 11: Dimensions Dimensions en mm 14) 44/50 Sans erreurs de calibrage, erreurs de stabilité, non-linéarité du signal de commande, mesuré avec QMA 400 ou QMA 410 (méthode de mesure : (voir chapitre « Annexe », page 45)). Annexe 15 Annexe 15.1 Comportement comme fonction de temps 15.1.1 Réponse par pas Si le nombre de masse passe de M1 à M2, il faut attendre que le nouvel état soit stable. Il faut masquer le signal de mesure dans la zone de transition, car il n'a aucun rapport avec la valeur de mesure du nouveau nombre de masse. La période d'attente nécessaire dépend de M1 et M2, de la direction de la réponse en as, du type de QMH et de la précision de mesure requise. Pfeiffer Vacuum recommande d'expérimenter pour optimiser les périodes d'attente, en particulier pour les vitesses de mesure rapides. C'est le seul moyen de trouver le meilleur compromis entre vitesse et précision de mesure. Les valeurs indicatives suivantes s’appliquent pour la résolution unitaire (ΔM10 = 1 u), jusqu’à ce que le signal du détecteur ait atteint 98 % de la valeur finale. Elles ne concernent que le comportement du QMH. Les délais des systèmes de détection d'ions n'ont pas été pris en compte. Le temps d'attente tw pour que le QMH s'enclenche est calculé comme suit : tw = t1 + t2 × |M2 – M1| [ms] Pour les petits pas de masse (M2 - M1 < 0,5 u), la formule ci-dessus ne s’applique plus - il y a un retard td résultant du taux de variation fini des signaux HF et DC. De petits pas continus (M2 - M1 < 0,1 u) ont le même effet qu’une rampe linéaire pour un signal de balayage. Générateur HF QMH 800 ML 5u Type de pas M1 > M2 M2 > M1 t1 2 ms 2 ms t2 0,01 ms 0,02 ms t1 4 ms 4 ms t2 0,5 ms 1 ms td 0,15 ms M1 et/ou M2 ≥ ML M1 et M2 < ML M2 - M1 < 0,5 u [ms/u] Tab. 20: 15.1.2 Délais d'attente pour l'engagement du QMH Balayages de masse rapides Pendant les balayages de masse rapides avec une fonction de rampe linéaire, l'échelle de masse est en retard sur le signal d'entrée (dM) et un écart de largeur de pic (dΔM) se produit. Pour la vitesse de balayage la plus rapide de 0,5 ms/u et le balayage vers le haut (M1 < M2), ce qui suit s'applique : Générateur HF QMH 800 dM0.5 [u] 0,2 dΔM0.5 [u] 0,15 Tab. 21: Retard échelle de masse En cas de balayage vers le bas, les deux signes sont négatifs. Pour un balayage lent, ce qui suit s'applique : ● dM = dM0,5 × 0,5 / VITESSE [ms/u], et ● dΔM = dΔM0,5 × 0,5 / VITESSE [ms/u] 45/50 Annexe 15.2 Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM La position du maximum di pic sur l'échelle de masse est souvent utilisée pour définir le nombre de masse d'un pic. Cependant, cette méthode est sujette à erreurs. Pour de plus amples informations concernant l'échelle de masse et la largeur de pic, une définition de la méthode de mesure correspondante est nécessaire. 15.2.1 Position apparente du pic et largeur de ligne La position apparente de la masse dépend de la largeur de ligne ΔM (c'est-à-dire de la résolution). Ce décalage des maxima de pic avec la largeur de ligne est un phénomène naturel du spectromètre de masse quadripôle. C’est pour cela que la position du sommet du pic sur l'échelle de masse n'est pas un indicateur précis du nombre de masse. ∆M = 2 u ∆M = 1u ∆ M = 0.2 u M [u] Fig. 12: 15.2.2 Le sommet du pic se déplace avec ΔM Position apparente du pic et forme du pic La position apparente du pic varie en fonction de la forme du pic. Des différentes formes de pic peuvent apparaître sur différentes positions de l'échelle de masse, même si tous les autres paramètres restent constants. La forme du pic varie également en fonction du domaine de masse, du filtre quadripolaire individuel ou de la source d'ions. M [u] Fig. 13: 15.2.3 Le sommet du pic se déplace avec la forme du pic Définition du nombre de masse et de la largeur de ligne Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM : ● La largeur de ligne ΔM10 = 1 u est mesurée à 10 % de la hauteur du pic. ● Le nombre de masse se situe au milieu de la ligne ΔM10. ● Le milieu de cette ligne de 10 % est utilisé comme valeur indicative pour le nombre de masse M. 46/50 Annexe 100% 0.5 u 10% 0.5 u M [u] 0% M Fig. 14: 15.2.4 Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM Écarts par rapport à M et ΔM Les diagrammes montrent comment les écarts par rapport aux valeurs indicatives peuvent être déterminés. Ici, dM est l'écart par rapport au point de consigne de la position de la masse M et dΔM est l'écart par rapport au point de consigne de la largeur de ligne ΔM. 140% 1 100% 2 ∆ M + d∆ M ∆M=1 14% 10% 0% M [u] M Fig. 15: M + dM 1 = pic mesuré | 2 = pic de référence ΔM10 = 1 u 47/50 Déclaration de conformité UE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Générateur de haute fréquence QMH 800-3 QMH 800-5 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Basse tension 2014/35/UE Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses, 2011/65/UE (article 2, numéro 4 d, e, et j) Standards harmonisés et standards et spécifications nationaux appliqués : DIN EN 61010-1:2011-07 DIN EN 61326-1:2013-07 DIN EN 55011:2009 + A1:2010 (Classe A) Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2024-04-24 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Générateur de haute fréquence QMH 800-3 QMH 800-5 Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Standards et spécifications appliqués : EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 EN IEC 61326-1:2021 EN 55011:2016 + A1:2017 + A11:2020 + A2:2021 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2024-04-24 *BG6016* ed. A - Date 2503 - P/N:BG6016BFR ">
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