Traduction du mode d‘emploi Sputter Process Monitor SPM 220 DA0101BFR (2011_11) Manuel de l‘utilisateur FR Table des matières 1 1.1 1.2 2 2.1 2.2 2.3 2.4 2.5 3 3.1 3.2 4 4.1 4.2 4.3 4.4 5 5.1 5.3 5.5 5.7 5.9 5.11 5.12 6 6.1 7 7.1 7.2 8 8.1 8.2 8.3 8.4 8.5 8.6 8.7 9 9.1 9.2 10 10.1 10.2 10.3 A propos de ce mode d'emploi . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 Equipement de protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 Usage conforme à la destination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 Usage non conforme à la destination du matériel . . . . . . . . . . . . . . 9 Directives . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Transport et stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 Identification du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 Domaine d'application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 Vue d'ensemble du système . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 Fiche technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18 SPM 220 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18 QME 220 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20 Module d'entrée/sortie IO 220 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 Base Rack Unit (BRU 220) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 Valve Control Unit (VCU 220) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 Affectation des connecteurs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 Systèmes d'admission de gaz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 SVV 040 PM, à commande électropneumatique . . . . . . . . . . . . . . 30 Mise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 Mise en service QME . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 Mise en service SPM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35 Opération . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41 Eléments d'affichage et de commande de la BRU 220 . . . . . . . . . 41 SPM 220 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41 Commande de vanne . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42 Mesure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42 Pompe à diaphragme en mode intermittent . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42 Conditionnement du système à vide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42 Mise hors circuit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43 Entretien / Service après-vente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44 QME . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45 Changer le réservoir du fluide d'exploitation HiPace 80 . . . . . . . . . 46 Accessoires et pièces de rechange . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47 Accessoires et pièces de rechange du PrismaPlus™ . . . . . . . . . . 47 Accessoires et pièces de rechange de la HiPace 80 . . . . . . . . . . . 47 Câble de raccordement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47 3 10.4 11 11.1 11.2 12 13 13.1 14 14.1 14.2 4 Accessoires du SPM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47 Mise hors service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48 Immobilisation prolongée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48 Remise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48 Elimination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49 Dysfonctionnements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49 Dépannage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49 Annexe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51 Schémas fonctionnels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51 Bibliographie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52 A propos de ce mode d'emploi 1 A propos de ce mode d'emploi 1.1 Validité Ce mode d'emploi s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le fonctionnement du produit désigné et comporte des informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce mode d'emploi correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a apporté aucune modification au produit. Ce document est valable pour les produits dont la référence est : PT M5x 3xx et PT M5x 4xx La référence se trouve sur la plaque signalétique. Les modes d'emploi actuels sont également disponibles sur Internet à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.de. Autres documents concernés SPM 220 Mode d'emploi Déclaration de conformité Mode d'emploi des accessoires (spécifique à la commande) Jointe à ce mode d'emploi Voir le chapitre intitulé Accessoires* *également disponible sur Internet à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.de 1.2 Conventions Consignes de sécurité Les consignes de sécurité figurant dans les modes d'emploi de Pfeiffer Vacuum sont le résultat d'évaluations des risques et d'analyses des dangers réalisées ; elles s'orientent sur les standards de certification internationaux selon UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO 3864 et DIN 4844. Dans le présent document, les niveaux de danger et consignes informatives suivants ont été pris en compte : DANGER Danger direct et imminent Pouvant provoquer la mort ou des blessures graves. AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Pouvant provoquer des blessures ou des dommages matériels considérables. ATTENTION Danger potentiellement imminent Pouvant provoquer des blessures ou des dommages matériels. REMARQUE Obligation ou consigne Invitation à accomplir une action, ou information sur des propriétés dont le non-respect peut occasionner des dommages au produit. 5 A propos de ce mode d'emploi Définitions des pictogrammes Interdiction d'une action ou activité ayant un lien avec la source de dangers, et dont le non-respect peut provoquer des accidents lourds de conséquences. Avertissement en présence du danger matérialisé par le symbole. Obligation d'accomplir une action ou activité pendant le maniement d'une source de dangers, obligation dont le nonrespect peut provoquer des accidents lourds de conséquences. Information importante sur le produit, sur le maniement du produit ou sur une partie de la documentation, à laquelle il faut accorder une attention particulière. Instruction dans le texte Instruction de travail : à cet endroit vous devez accomplir une opération. Abréviations utilisées BRU SPM IO VCU MVP Symboles utilisés Base Rack Unit (unité de commande du système) Sputter Process Monitor (contrôleur du processus de pulvérisation) Input Output (entrée-sortie) Valve Control Unit (appareil de commande de vanne) MembranVakuumPumpe (pompe à vide à diaphragme) Le symbole [X] est utilisé pour les renvois vers d'autres documents énumérés dans la bibliographie. Marque du produit PrismaPlus™ QUADERA™ 6 Pfeiffer Vacuum GmbH INFICON AG Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes de sécurité REMARQUE Obligation d'information Toute personne intervenant dans l'installation, l'exploitation ou l'entretien de l'appareil doit lire et respecter les passages relatifs à la sécurité de ce mode d'emploi. L'exploitant est tenu d'attirer l'attention de tout opérateur sur les risques inhérents à la pompe à vide, au fluide pompé ou à l'installation dans son ensemble. REMARQUE Installation et exploitation des accessoires Pfeiffer Vacuum Il est possible d'équiper les appareils avec toute une série d'accessoires adaptés. L'installation, l'exploitation et l'entretien des appareils de raccordement sont décrits en détails dans les modes d'emploi accompagnant les différents composants. Informations sur les numéros de commande des composants : voir le chapitre « Accessoires et pièces de rechange », page 47. Utilisez uniquement des accessoires d'origine. • Utilisez exclusivement des pièces de rechange d'origine (voir le chapitre 10. Accessoires et pièces de rechange ; page 47) • N'exposez aucune partie du corps au vide. • Respectez les prescriptions de sécurité et de prévention des accidents. • Vérifiez régulièrement que toutes les mesures préventives ont été respectées. • Ne soumettez l'installation à aucune conversion ou modification arbitraire. DANGER Risque dû aux champs magnétiques forts A l'intérieur du tube de mesure du vide PKR se trouve un aimant puissant. Les champs magnétiques peuvent perturber par exemple les stimulateurs cardiaques ou altérer leur fonctionnement. Maintenez une marge de sécurité d'au moins 10 cm entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ! Assurez-vous que l'autocollant d'avertissement sur le tube de mesure du vide n'est pas recouvert lors du montage. 2.2 Equipement de protection Dans certaines situations, le port d'un équipement de protection individuelle est nécessaire. Les exploitants ou les employeurs se doivent de mettre à disposition du personnel opérateur un équipement approprié. 7 Sécurité DANGER Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques lors des travaux d'entretien ou d'installation Les pompes à vide, les composants et les fluides d'exploitation peuvent être contaminés, en fonction du processus, par des substances toxiques, réactives ou radioactives. Portez un équipement de protection approprié lors des travaux de maintenance et d'entretien ou lors de la réinstallation de l'installation. ATTENTION Risque de blessure au contact de surfaces brûlantes Pendant le dégazage et l'utilisation d'un chauffage d'enceinte, l'enceinte et les pièces métalliques juxtaposées peuvent chauffer fortement. Pendant le dégazage et l'utilisation d'un chauffage d'enceinte, ne touchez pas l'appareil. Laissez refroidir la pompe avant d'effectuer des travaux de maintenance et d'entretien. Le cas échéant, portez des gants protecteurs conformément à la norme EN 420. AVERTISSEMENT Niveau de bruit très élevé Dans une zone restreinte située à proximité de la pompe à vide, le niveau des émissions sonores peut s'avérer très élevé. Prévoyez une protection anti-bruit Portez des protections auditives 2.3 Usage conforme à la destination Le Sputter Process Monitor SPM 220 est une unité de spectrométrie de masse pompée de façon différentielle. Il sert à mesurer les contaminations les plus faibles lors des processus de pulvérisation avec des pressions de processus inférieures à 2x10-2 mbar. Le domaine de pression réel dépend des écrans intégrés. REMARQUE Conformité CE La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires ! • Respectez impérativement les prescriptions d'installation, de mise en service, d'exploitation et d'entretien. • Il est interdit d'utiliser, sans le consentement de Pfeiffer Vacuum, d'autres accessoires que ceux indiqués dans ce mode d'emploi. 8 Transport et stockage 2.4 Usage non conforme à la destination du matériel En cas d'usage non conforme à la destination de l'appareil, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté. Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui dévient de celles précitées, dont notamment : • • • • Le fonctionnement dans des zones menacées par des explosions ; l'analyse de gaz inflammables ; l'utilisation de fluides d'exploitation non spécifiés par Pfeiffer Vacuum ; le raccordement à des pompes et appareils qui, selon le contenu de leur mode d'emploi, ne sont pas prévus à cette fin ; • le raccordement à des appareils présentant des pièces électroconductrices susceptibles d'être touchées ; • l'utilisation des appareils dans des zones radioactives. 2.5 Directives 3 QME/QMA EN 61010-1:2001 EN 611326-1: 1997+ A1:1998+ A2:2001+A3:2003 BRU Directive Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1A) Directive CEM 2004/108/CE Directive relative au matériel électrique 2006/95/CE Transport et stockage 3.1 Transport Réutilisez le conteneur de transport du SPM 220. Il faut transporter ou expédier l'appareil dans son emballage d'origine. Il ne faut retirer les couvercles de protection du côté vide élevé et du côté vide primaire qu'au moment du raccordement. Conservez les couvercles de protection d'origine. Transportez toujours l'appareil à la verticale. 3.2 Stockage Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine. Obturez les autres orifices avec les couvercles de protection correspondants. Ne stockez le système que dans des locaux fermés, à une température comprise entre +5 °C et +40 °C. Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive : enfermez le système dans un sac en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet d'agent de séchage. 9 Description du produit 4 Description du produit PrismaPlus QMA 200 QME 220 Enceinte avec PKR 251 Système d'admission BRU 220 MVP 020 HiPace80 VCU 220 DCU002 TPG261 Sélection des systèmes d'admission et des options pour le SPM 220 Désignation Système d'admission sans Vanne de sécurité SVV 040 PM Bride de DN 40 CF-F raccordement DN 40 CF-F 1-100 amu 1-100 amu 1-200 amu Système de HiPace80 MVP 020-3 pompage oui Enceinte oui PKR 251 oui BRU 220 non VCU 220 1-200 amu HiPace80 MVP 020-3 oui oui oui oui Mesure de la pression totale TPG 261 (option) TPG 261 (option) Commande du TurboViewer groupe de DCU 002 (option) pompage TurboViewer DCU 002 (option) PrismaPlus Mode d'emploi SPM 220 271691 BD BG 5214 BN PT 0278 BN PK 0208 BN BG 5119 BN DA 0100 BN DA 0100 BN BG 5195 BN PT 0250 BN 4.1 Identification du produit Caractéristiques du produit 10 Pour identifier le produit de manière sûre lors de toute communication avec Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la plaque signalétique : Description du produit Livraison Numéro de commande PrismaPlus c PT M5x xcd QME 220 M QMA 200 M Enceinte avec PKR 251 HiPace80 MVP020 Unité de commande du système Base Rack Unit BRU 220 Système sans d'admission SVV 040 PM Appareil de commande de vanne Valve Control Unit VCU 220 TPG 261 Options DCU002 Système de pompage d 6 • • • • • 7 • • • • • 0+4 • • • • • 1+5 • • • • • 2+6 • • • • • 3+7 • • • • • • • • • • • • • • • • • • 4.2 Fonction Sputter Process Monitor SPM 220, une unité de spectrométrie de masse quadripolaire avec système d'admission de turbopompe et de gaz pour l'analyse de gaz non inflammables dans un domaine de pression compris entre 10-7 mbar et 10-2. L'opération du système peut s'effectuer manuellement via la BRU 220 et le logiciel Quadera, ainsi qu'avec une commande supérieure du système via les entrées correspondantes. 4.3 Domaine d'application Le SPM 220 doit être installé et exploité dans les conditions ambiantes suivantes : DANGER EX Risque d'explosion Le SPM 220 n'est pas prévu pour une utilisation dans des zones menacées par des explosions. Mettez immédiatement le SPM 220 hors circuit en cas d'atmosphère explosive. Utilisation en intérieur Altitude max. 2000 m au-dessus du niveau de la mer Type de protection IP 30 Températures – Stockage/Transport +5 °C...+40 °C – Exploitation 0 °C...+40 °C Humidité relative max. 80 % jusqu'à 31 °C, diminution linéaire à 50 % à 40 °C 11 Description du produit 4.4 Vue d'ensemble du système Electronique des quadripôles QME 220 avec raccordement à 90° Avec domaine de masse selon l'option : PT M51 xxx 1-100 amu PT M52 xxx 1-200 amu Analyseur QMA 200 avec tube manométrique dans enceinte du SPM 220 Avec source d'ions selon l'option : PT M5x 3xx PT M5x 4xx Source d'ions SPM, filament Y Source d'ions SPM, filament W Base Rack Unit BRU 220 (La figure illustre un appareil équipé de toutes les options supplémentaires ; voir la section Composants supplémentaires, page 16 et pages suivantes.) 12 Description du produit Câble d'alimentation Jeu de câbles de raccordement Câble standard (fourni dans toutes les options) Câble Réf. (3 m) Réf. (10 m) Marquage du câble Câble d'interface M12 PM 061 283-T PM 061 285-T DCU Câble de raccordement BRU/TC PM 061 512-T PM 061 514-T Turbo Pump Câble de raccordement BRU/MVP PM 061 441-T PM 061 443 T MVP Câble adaptateur MVP (0,5 m) PM 061 433-X MVP I/O Câble adaptateur PKR (0,6 m) PT 448 249-T Gauge Câble d'alimentation P 4564 309 Zx --- Câble de raccordement BRU/QME PT 165 060-T PT 165 061-T PrismaPlus Câble prolongateur M8 PM 061 783-T PM 061 785-T Switch Point, MVP I/ O, Valves 24V DC Connecteur de verrouillage BRU/User PT 165 050 User 13 Description du produit Composants en option du jeu de câbles : Réf. (3 m) Réf. (10 m) Marquage du câble Option Câble PT M5x x7x Câble de raccordement VCU/PP PT 165 070-T Digital I/O PT M5x x7x Câble de raccordement VCU/ SVV PT 165 073-T Valves PT M5x xx6 PT M5x xx7 Câble d'interface M12 - PM 061 285-T DCU PT M5x xx1 PT M5x xx3 Câble de raccordement TPG/ VCU PT 165 062-T - Valves 24 VDC PT M5x xx5 PT M5x xx7 Câble de raccordement TPG/ VCU - PT 165 063-T TPG PT M5x x7x Connecteur de verrouillage VCU/External PT 165 051 External Logiciel Quadera [1] Convertisseur USB et logiciel TurboViewer Uniquement pour la variante sans DCU 002 [14] Système de pompage Se composant de : Pompe turbomoléculaire HiPace 80 avec vanne de remise à l'air [6] , refroidissement par air, en option avec vannes de gaz de balayage. 14 Description du produit Pompe à diaphragme MVP 020 [5] Vanne d'entrée SVV 040, à commande électropneumatique - pour l'option PT5x x7x VCU 220 - uniquement pour l'option PT M5x x7x 15 Description du produit Composants supplémentaires Appareil d'affichage et de commande DCU 002 intégré dans la BRU (PM 061 348 -T) [7] Tube de mesure de la pression totale de la série « ActiveLine » [9] TPG 261 intégré dans la BRU 220. Un tube de mesure de la pression totale de la série ActiveLine avec câble de raccordement doit être fourni séparément en fonction du domaine de pression de travail. [13] VACUUM 16 Description du produit Option Chauffage Chauffage se composant d'un contrôleur et d'une chemise chauffante (Pfeiffer Vacuum GmbH ; PT 165 000-T [230 V] ou PT165 001-T [115 V]) 17 Fiche technique 5 Fiche technique 5.1 SPM 220 SPM 220 amu 1...100 1...200 – Hydrogène ppb <3000 <6000 – Vapeur d'eau ppb <500 <500 – Azote ppb <100 <100 – Oxygène ppb <100 <100 – Gaz carbonique ppb <100 <100 Domaine de masse Limite de détection (Argon) Température de fonctionnement, analyseur °C 0...+150 °C Température de dégazage, analyseur sans QME °C +200 °C max. QMA 220 M Analyseur deux filaments en iridium recouverts d'oxyde d'yttrium pour PT M5x 3xx Matériau du filament Système de barres : matériau/ diamètre/longueur Détecteur Electronique du spectromètre de masse Logiciel deux filaments de tungstène pour PT M5x 4xx mm acier inoxydable/6/100 C-SEM/Faraday QME 220 M Quadera + extension SPM Turbopompe HiPace 80 Pompe à diaphragme MVP 020-3 Tube de mesure de la pression totale PKR 251 Commande du système BRU 220 Interfaces : – Connexion système/PC – Sorties analogiques, sélection libre 4x 0...+10 V – Entrées analogiques, sélection libre 5x -10...+10 V – Sorties numériques, sélection libre 13x 24 VCC – Sortie numérique, Ready – Entrées numériques1, sélection libre Tableau 5.1 : Fiche technique du SPM 220 18 Ethernet contact, 60 VCC/30 W jusqu'à 4x24 VCC Fiche technique SPM 220 24 VCC, verrouillages pour système, vannes et chauffage – Entrées numériques, définies au choix2 Position montée Poids (unité d'analyse avec TMP, PKR et PrismaPlus, sans système d'admission) kg 11,8 Tableau 5.1 : Fiche technique du SPM 220 Interface de vanne Mise en action Air comprimé bar Raccordement d'air comprimé Diamètre des écrans mm Pression de processus, max. mbar Commande de vanne Poids Bride de raccordement kg sans SVV 040 PM - électropneumatique - 5...7 - 1/8" filet de vis intérieure 0.03***/0.1/0.3 0.03***/0.1/0.3 1x10-2 1x10-2 - VCU 220 - 2.5 DN 40 CF-F DN 40 CF-F Tableau 5.2 : Fiche technique de l'interface de vanne 1 selon la configuration 2 REMARQUE Nous recommandons de supporter l'ensemble du système sous la HiPace 80 ou le VCU 220 (selon l'option). Autres spécifications relatives à la QME/au QMA 220 [2] 19 Fiche technique 5.3 QME 220 QME 220 Système de mesure – Canaux de mesure 128 – Modes de mesure Scan analog, Scan Bargraph, MID, MCD – Cycles de mesure Monocanal/Multicanaux 1...9999 cycles ou Repeat – Vitesse de mesure – Scan analog+Bargraph Peak 20 ms/u...60 ms/u – Scan Bargraph Stair 2 ms/u...60 s/60 u – MID-dwell 2 ms...60 s – Amplificateur d'électromètre 1x10-5...1x10-12 A (f.s.), fix et autorange – Filtre de signal Filtre FIR Alimentation en courant 24 VCC/2,0 A, SP220 Interfaces – Fonctionnement, opération Ethernet – Extension Module d'entrée/sortie IO 220 Entrées/sorties – Analogiques voir IO 220 [2] – Numériques voir IO 220 [2] Poids Tableau 5.4 : Fiche technique de la QME 220 20 2,2 kg Fiche technique 5.5 Module d'entrée/sortie IO 220 IO 220 Entrées analogiques – Raccordement (« Analog I/O ») X7, connecteur D-Sub 15 pôles – Nombre de canaux 5 – Configuration d'entrée différentielle – Plage de tension d'entrée nominale ±10 V, max. ±14 V à la terre – Résistance d'entrée 50 kOhm – Résolution 14 Bit Sorties analogiques – Raccordement X7, connecteur D-Sub 15 pôles – Nombre de canaux 4 – Configuration de sortie Single ended – Plage de tension de sortie 0...+10 V – Courant de sortie <100 μA – Résistance de sortie 200 Ohm – Masse de référence supérieure à 33 Ohm à la terre (GND) (Imax=50 mA) – Résolution 12 Bit Entrées analogiques – Raccordement (« DIGITAL I/O ») X2, connecteur D-Sub 25 pôles – Nombre de canaux 3...4 selon l'option* + protection ext.** – Tension d'entrée <+5 V (low) nominale +24 V (high), max. +28 V – Courant d'entrée 1,9 mA – Tension d'alimentation pour contacts sans potentiel +24 V sup. à 1,2 kOhm (Imax 10 mA) – Masse de référence pour alimentation externe supérieure à 100 Ohm à la terre (GND) (Imax 50 mA) PROTECTION EXTERNE – Caractéristiques électriques identiques aux entrées analogiques – Fonction fonction de commande dépendant du mode EXT_PROT** Sorties numériques – Raccordement (« DIGITAL I/O ») X2, connecteur D-Sub 25 pôles – Nombre de canaux 16/13 selon l'option* – Tension de sortie nominale +24 V, max. +28 V – Tension de saturation (low) ≤ +0,9 V – Courant de sortie (Sink) Les 16 canaux sont tous utilisés : ≤60 mA/canal 4 canaux utilisés : ≤250 mA/canal*** Raccordement des tubes de mesure (analogique) occupé par PKR 251 [2] Tableau 5.6 : Fiche technique du module IO 220 21 Fiche technique * Le nombre réel de sorties/d'entrées numériques dépend du système d'admission de gaz utilisé. En cas d'opération manuelle, les 16 sorties numériques sont toutes disponibles ; en cas d'opération électropneumatique, ce nombre est de 13 (les sorties numériques 14-16 sont utilisées pour la commande). En cas d'opération manuelle, toutes les entrées numériques sont disponibles. Avec l'option PT M5x x7x, les entrées numériques 3/4 sont disponibles. Veuillez également tenir compte de la section « VCU 220 », page 25 ** Tableau de fonction Entrée EXT-PROT [2] *** Les 16 canaux sont répartis en deux groupes : Groupe A : numéro impair de canal 1...15 Groupe B : numéro pair de canal 2...16 Pour des raisons thermiques, les canaux utilisés doivent être répartis de manière égale dans les deux groupes, c'est-à-dire 2 canaux du groupe A et 2 canaux du groupe B [2] 5.7 Base Rack Unit (BRU 220) BRU Tension d'entrée 115...260 V CA Fréquence secteur 50/60 Hz Consommation de courant 5A Tension de sortie 24 (±2 %) V CC Courant de sortie max. 12,5 A Poids 5,5 kg Raccordements User Switch Point Valves 24 V DC Heater Diaphragm Pump Turbo Pump PrismaPlus Main Tableau 5.8 : Fiche technique de la BRU 5.9 Valve Control Unit (VCU 220) VCU Tension de sortie 24 V CC Courant d'entrée max. 1 A Poids 0,7 kg Raccordements External Valves Prisma Plus Digital I/O 24 V CC Tableau 5.10 : Fiche technique du VCU 22 Fiche technique 5.11 Dimensions SPM 220 * uniquement pour les options avec commande de vanne électropneumatique BRU 5.12 Affectation des connecteurs IO 220 Digital I/O VACUUM VACUUM X2 23 Fiche technique REMARQUE Pour l'option PT M5x x7x, cette sortie n'est pas disponible. Veuillez tenir compte de la section « VCU 220 », page 25 Pour l'option PT M5x x6x, la sortie « X2 » peut être utilisée sans restriction. L'affectation des broches du PrismaPlus™ doit être utilisée [2] . QME 220/IO 220 autres E/S Des informations concernant les autres entrées et sorties se trouvent dans le mode d'emploi du PrismaPlus™ [2] . QMA 12 1 2 3 11 13 10 4 9 5 8 7 6 Broche Description 1 Reserve 2 Extr. 3 Focus 4 HV- 5 Filament 1 6 Filament 2 7 Anode 8 RF - 9 GND 10 GND 11 RF + 12 Filament Common 13 EP DANGER Eléments électroconducteurs. Danger de mort par électrocution Le raccordement électrique est une opération réservée à des électriciens spécialisés, formés et autorisés en conséquence. Veillez à ce que le système soit suffisamment relié à la terre. 24 Fiche technique VCU 220 1 13 14 25 Le port « Digital I/O » dispose, à quelques exceptions près, de toutes les entrées et sorties du port « X2 » du module IO 220. Ainsi, les canaux d'E/S du module IO 220 sont librement disponibles, de façon limitée. ATTENTION Destruction du système d'admission de gaz Si les sorties numériques DO1-DO3 sont utilisées, à la différence des indications du PrismaPlus™ [2] , aucun câblage externe de la broche « DO-V+ » (broche 10) vers +24 V n'existe. Ce câblage est déjà réalisé par le VCU 220 en interne ! Connectez des appareils/consommateurs entre la/les sortie(s) numérique(s) souhaitée(s) et « DO_0V » (broche 9). Le courant maximal de toutes les sorties numériques ne doit pas dépasser 900 mA ! 25 Fiche technique Broche Description D-Sub 25 pôles 1 Sortie numérique, canal 1 2 Sortie numérique, canal 2 3 Sortie numérique, canal 3 4 Sortie numérique, canal 4 5 Sortie numérique, canal 5 6 Sortie numérique, canal 6 7 Sortie numérique, canal 7 8 Sortie numérique, canal 8 9 Masse pour sorties numériques (DO_0V) 10 non disponible 11 Entrée numérique, canal 1 12 Entrée numérique, canal 2 13 Entrée numérique, canal 3 14 Sortie numérique, canal 9 15 Sortie numérique, canal 10 16 Sortie numérique, canal 11 17 Sortie numérique, canal 12 18 Sortie numérique, canal 13 19 GND 20 GND 21 GND 22 +24 V pour entrées numériques 23 Masse (0 V) pour entrées numériques 24 Entrée numérique, canal 4 (non disponible avec l'option PT M5x x7x) 25 non disponible 8 1 15 9 Pour l'intégration du SPM 220 dans des concepts de commande existants (p. ex. commande programmable), l'entrée de commande « External » est disponible. A l'aide de circuits à relais ou à collecteur ouvert, les broches de l'entrée peuvent être pontées pour activer ou désactiver les vannes correspondantes. Le pontage s'effectue entre 24 V CC et la broche correspondante. 26 Fiche technique Broche Description 1 GND 2 GND 3 GND 4 GND 5 GND 6 V1 7 V2 8 V3 9 GND 10 GND 11 GND 12 GND 13 24 V CC 14 24 V CC 15 24 V CC D-Sub 15 pôles REMARQUE Si vous n'utilisez aucune commande externe, le connecteur « External » fourni doit être inséré dans la douille correspondante du Valve Control Unit. Ce connecteur Sub-D dispose de ponts internes pour libérer la commande de vanne. Sinon, les vannes ne s'ouvrent pas. 27 Fiche technique Broche Description 1 V1 2 V2 3 V3 4 GND 5 GND 6 GND 7 GND 8 GND 9 GND 5 1 9 6 D-Sub 9 pôles BRU 220 Vue arrière de la BRU 220 L'unité de commande du système (Base Rack Unit) offre la possibilité d'intégrer le SPM 220 dans une commande existante (p. ex. une commande programmable). Le raccordement s'effectue au niveau du connecteur D-Sub « User ». Le verrouillage du chauffage, de l'appareil et de vanne peut être actionné. Grâce au pontage des broches sur cette entrée, les verrouillages de l'installation complète, de la commande de vanne ainsi que de la chemise chauffante peuvent être réalisés (voir le chapitre « Représentation schématique de la BRU », page 51). L'activation d'un verrouillage s'effectue grâce à un pontage simple entre la broche correspondante et « User » avec 24 V CC. 28 Fiche technique En plus de la possibilité de verrouillage externe, le signal de statut « Ready » est disponible au niveau du connecteur « User ». Des connexions à des affichages externes peuvent alors être réalisées. Les deux contacts du signal « Ready » sont reliés via un relais interne si 80 % du régime nominal de la turbopompe HiPace 80 sont atteints (voir le chapitre « Représentation schématique de la BRU », page 51). La tension maximale pour les appareils d'affichage externe qui peuvent être activés via le signal « Ready » est de 60 V, le courant maximal ne doit pas dépasser 1 A. 5 User 9 6 Broche Description 1 Ready 2 Ready 3 24 V CC 4 24 V CC 5 24 V CC 6 GND 7 Verrouillage de vanne 8 Verrouillage de l'appareil 9 Verrouillage du chauffage 1 D-Sub 9 pôles REMARQUE Pour mettre en service le SPM 220, tous les verrouillages doivent être activés. Si vous utilisez le SPM 220 sans appareil/commande externe, insérez le connecteur « User » fourni dans la douille correspondante. Ce connecteur Sub-D dispose de ponts internes pour les trois verrouillages. 29 Systèmes d'admission de gaz 6 Systèmes d'admission de gaz Le SPM 220 peut être fourni en option avec une vanne de sécurité à commande électropneumatique de type SVV 040 PM. PT M5x x6x PT M5x x7x aucun système d'admission SVV 040 PM 6.1 SVV 040 PM, à commande électropneumatique Fonction L'interface de vanne se compose d'1 vanne. Avec la vanne de sécurité SVV 040 PM, le SPM 220 peut être séparé de la chambre de processus en cas de défaut ou de remontée de pression trop importante. Ainsi, le spectromètre de masse et le système de pompage sont protégés efficacement. p<10-5 mbar Prozesskammer PrismaPlusTM SVV 040 HiPace 80 MVP 020 Commande de vanne La vanne V1 (SVV 040 PM) est commandée par le Valve Control Unit. La commande est effectuée par le PrismaPlus™. Le logiciel Quadera ouvre et ferme la vanne en activant les sorties numériques correspondantes. Occupation des sorties : (voir également la section "IO 220 Digital I/O », page 23 ou "VCU 220 », page 25) DO 16 V1 Le réglage des sorties numériques dans le logiciel Quadera peut être effectué au choix via le projet de mesure « IO220.qmt » ( [1]) ou l'extension Quadera fournie « HPA_SPM_Valve_Control ». Des informations sur l'installation de l'extension se trouvent dans le fichier « Readme.txt » sur le CD d'installation de l'extension fourni. 30 Systèmes d'admission de gaz Pour exécuter l'extension, lancez le Add-In Manager ( [1]) et sélectionnez « HPA_SPM_Valve_Control ». Fig. : Gestionnaire d'extension (Add-In Manager) du logiciel Quadera (l'illustration est fonction de l'extension installée) Une fois lancé, une fenêtre s'ouvre pour demander de choisir entre une opération manuelle ou externe. Fig. : Fenêtre de sélection d'opération manuelle/externe Si vous sélectionnez « External », les relais du VCU commutent toutes les vannes sur une commande externe via le connecteur multiple « External ». (voir "VCU 220 », page 25) Si vous sélectionnez « Manual (using GUI) », la vanne peut être ouverte ou fermée uniquement dans la fenêtre suivante via les boutons de commande correspondants. Fig. : Opération manuelle des vannes L'extension surveille en interne la pression totale dans l'enceinte du SPM et ferme la vanne V1 à une pression >1x10-4 mbar. 31 Systèmes d'admission de gaz L'extension reste active en arrière-plan également si la fenêtre relative à la commande de vanne est fermée. Pour afficher à nouveau la fenêtre de commande, lancez la macro « Show_Valve_Control » Fig. : Gestion macro dans logiciel Quadera Informations relatives au lancement de macros : [1] 32 Mise en service 7 Mise en service DANGER Produit endommagé La mise en service d'un produit endommagé peut représenter un risque pour la vie. En cas de dommages visibles, sécurisez le produit contre un fonctionnement involontaire. REMARQUE Attention : composants pour le vide L'encrassement et les dommages altèrent le fonctionnement des composants pour le vide. Lors de la manipulation de composants pour le vide, respectez les réglementations en matière de propreté et de protection contre les dommages. 7.1 Mise en service QME DANGER Des tensions dangereuses allant jusqu'à 330 VCC sont appliquées au niveau du système d'électrodes du QMA 200 pendant le fonctionnement. D'autres pièces incorporées dans la chambre à vide (p. ex. tubes de mesure) peuvent ainsi être éventuellement alimentées dans des conditions défavorables. Si ce type de pièces représente un danger d'électrocution (tenir également compte des conduites et des appareils raccordés !), elles doivent être disposées et protégées de sorte d'empêcher tout contact, tout éclat et tout flux de porteurs de charge. S'il est possible de toucher le QMA 200 en cas d'installation de vide ouverte, une protection supplémentaire doit être prévue, p. ex. : • Protection mécanique contre le contact. • Séparation forcée de la tension secteur du câble « PrismaPlus » à l'ouverture de l'installation. DANGER Risque de dommages électroniques et de résultats de mesure erronés. Le système d'électrodes de la QME ne doit pas être alimenté avec des tensions extérieures (dues à un contact, des éclats, au plasma, aux faisceaux d'ions ou d'électrons, etc.). Prenez les mesures préventives appropriées, comme p. ex. une meilleure disposition, un blindage, une mise à la terre, etc. DANGER Tensions dangereuses représentant un danger d'électrocution Les tensions au niveau du QMA représentent un risque pour la vie. La bride de l'analyseur doit être vissée avec les 6 vis électroconductrices à l'appareil à vide mis à la terre conformément aux instructions. 33 Mise en service AVERTISSEMENT Si la bride de montage n'est pas mise à la terre, la bride de la QME (vis de mise à la terre M4) doit être reliée à la terre au moyen d'une ligne de mise à la terre séparée. Pour cette ligne de mise à la terre, utilisez les torons en cuivre jaune-vert ou dénudés : • 2,5 mm2 si protection mécanique (selon DIN VDE 1120 T540) • 4,0 mm2 sans protection. AVERTISSEMENT Risque d'encrassement du filament En cas de fuite ou d'installation incorrecte du QMA, des dépôts peuvent apparaître sur l'analyseur en raison des gaz entrants. La QME doit être correctement installée conformément à la technique de vide, c'està-dire que les gaz à détecter doivent avoir un accès libre à l'analyseur. Installation mécanique DANGER Tensions dangereuses représentant un danger d'électrocution La mise à a terre de la QME s'effectue exclusivement au moyen de la bride du QMA Le QMA doit être fixé uniquement sur une QME correctement installée. Desserrez les deux vis de la pièce en plastique noire du QMA à l'aide d'une clé mâle coudée pour vis à six pans creux de 4 mm jusqu'à ce que la pièce mobile présente un jeu de 2...3 mm. Insérez la QME avec précaution jusqu'au repère rainuré sur le QMA déjà monté. Veillez au positionnement correct au niveau de la QME à l'aide de la languette de mise à la terre et de l'écrou-guide sur le QMA. Pour ce faire, ne forcez pas trop sur les éléments. Serrez correctement les deux vis à six pans creux. Ces vis servent à fixer mécaniquement la QME et à assurer la sécurité électrique grâce au contact à la terre. 34 Mise en service Raccordement électrique DANGER Attention : tension secteur Des produits dont la mise à la terre n'est pas effectuée de manière appropriée peuvent représenter un risque pour la vie en cas de dysfonctionnement. Raccordez et mettez à la terre le produit conformément aux prescriptions locales ! AVERTISSEMENT Toutes les connexions électriques doivent être soulagées de tension. Posez le câble de commande à une distance suffisante des sources de dérangement. REMARQUE Pour des raisons de compatibilité électromagnétique, un point de mise à la terre central unique est expressément recommandé pour tous les appareils couplés (groupe de pompage, SPM , ordinateur, instruments d'enregistrement, etc.). Une prise multiple ou mieux, un distributeur d'électricité commun avec interrupteur secteur, peut facilement satisfaire à cette recommandation. Raccorder le PC Ouvrez la boîte du logiciel fourni Quadera. Sortez le câble fourni. Etablissez la connexion entre le PrismaPlus et le PC. PC Installer le logiciel Allumez l'ordinateur et installez le logiciel Quadera fourni. 7.2 Mise en service SPM Installation mécanique Le SPM est prévu pour un montage direct à une bride CF40. Veuillez vous assurer qu'aucune force mécanique n'agit sur l'appareil, à l'exception de son propre poids. Veillez à une pose correcte de tous les câbles et conduites. 35 Mise en service REMARQUE Nous recommandons de supporter l'ensemble du système sous la HiPace 80 ou le VCU 220 (selon l'option). Veillez à un positionnement sûr de l'appareil. Pour l'option avec vanne à commande électropneumatique, de l'air comprimé est nécessaire. Un raccord fileté 1/8" est disponible sur cette vanne pour la connexion avec le système à air comprimé. Etablissez cette connexion avant la mise en service. Lors de l'installation de la BRU, veillez à une bonne visibilité et accessibilité des éléments de commande. Raccordement électrique DANGER Attention : tension secteur ! Des produits dont la mise à la terre n'est pas effectuée de manière appropriée peuvent représenter un risque pour la vie en cas de dysfonctionnement. Accédez dans l'installation uniquement si l'alimentation électrique est débranchée. Raccordez et mettez à la terre le produit conformément aux prescriptions locales ! AVERTISSEMENT Toutes les connexions électriques doivent être soulagées de tension. Posez le câble de commande à l'écart des sources de perturbation. Connectez tous les connecteurs de la BRU, du PrismaPlus™, du contrôleur de la turbopompe HiPace 80 ainsi que de la pompe à diaphragme MVP 020, en fonction des inscriptions sur les câbles fournis. Reliez la BRU 220 à la tension secteur seulement à la fin, avec l'appareil mis hors tension (connecteur « Main ), à l'aide du câble pour appareils froids fourni. Procédez comme suit : • Reliez la sortie « Valves 24V DC » de la BRU avec l'entrée « 24V DC » de l'appareil de commande de vanne du SPM . Utilisez le câble portant l'inscription « Valves 24V DC ». 36 Mise en service • Reliez la sortie « PrismaPlus » de la BRU à l'entrée 24 V du PrismaPlus™. Utilisez le câble portant l'inscription « PrismaPlus ». • Reliez la sortie « Diaphragm Pump » de la BRU à l'entrée secteur de la MVP. Utilisez le câble portant l'inscription « MVP ». • Reliez la sortie « Turbo Pump » de la BRU à la commande de turbopompe avec le connecteur D-Sub 15 pôles. Utilisez le câble portant l'inscription « Turbo Pump ». • Reliez la sortie « A2 » de l'unité de commande de la turbopompe à l'entrée de contrôle de la MVP. Utilisez le câble portant l'inscription « MVP I/O ». 37 Mise en service • Reliez la sortie « DO1 » du contrôleur de la turbopompe sur la face supérieure du connecteur D-Sub à l'entrée « Switch Point » de la BRU. Utilisez le câble portant l'inscription « Switch Point ». • Reliez la prise « Digital I/O » du PrismaPlus™ à l'entrée « PrismaPlus » du VCU. Utilisez le câble portant l'inscription « Digital I/O ». • Reliez le tube de mesure au PrismaPlus™. Utilisez le câble portant l'inscription « Gauge ». • Reliez la sortie « Valves » de l'appareil de commande de vanne à la vanne V1 pour le PT M5x x7x (SVV 040, électropneumatique) 38 Mise en service • Reliez le connecteur A1 au ventilateur sur le côté de la turbopompe. Utilisez le câble portant l'inscription « Fan ». • Reliez la vanne de ventilation sur le côté de la turbopompe avec le connecteur « B1 ». Celui-ci se trouve sur les contrôleurs des turbopompes. Utilisez le câble « venting valve ». • Reliez la vanne de gaz de balayage sur le côté de la turbopompe avec le connecteur « B2 ». Celui-ci se trouve sur les contrôleurs des turbopompes. Utilisez le câble « venting valve ». • Si vous utilisez le SPM 220 sans appareil/commande externe, insérez le connecteur « User » fourni dans la douille correspondante de l'unité de commande du système (Base Rack Unit). 39 Mise en service • Si vous utilisez l'appareil de commande de vanne (Valve Control Unit) sans commande externe, insérez le connecteur « External » fourni dans la douille correspondante de l'appareil de commande de vanne (Valve Control Unit). • Pour les options avec chauffage, reliez-les avec la sortie « Heater » de la BRU. Raccordez également l'alimentation en courant de la chemise chauffante à l'appareil de commande. 40 Opération 8 Opération AVERTISSEMENT Respectez en permanence les valeurs limites et les conditions d'environnement indiquées dans les fiches techniques ! DANGER Attention : tension secteur ! En cas de défaut, l'ensemble de l'appareil peut être sous tension. Le connecteur de réseau doit être inséré uniquement dans une prise avec contact de protection. Utilisez uniquement un câble d'alimentation à trois pôles adapté avec raccordement approprié à la terre de protection. L'effet de la protection ne doit pas être annulé par un câble prolongateur sans conducteur de protection. 8.1 Eléments d'affichage et de commande de la BRU 220 2 3 4 5 1 6 Pos. Description 1 Interrupteur Marche/Arrêt pour l'ensemble du système 2 Indication de la tension d'alimentation 24 VCC pour les pompes et le PrismaPlus™ : prêt 3 Etat du PrismaPlus™ : allumé si l'interrupteur est positionné sur ON et la turbopompe sur Vitesse finale 4 Interrupteur Marche/Arrêt du PrismaPlus™ 5 Etat du chauffage : allumé si l'interrupteur est positionné sur ON et la turbopompe sur Vitesse finale 6 Interrupteur Marche/Arrêt du chauffage 8.2 SPM 220 Insérez le connecteur de réseau Le SPM 220 est mis en circuit par l'interrupteur principal sur la face avant de l'unité de commande du système. La pompe à diaphragme démarre automatiquement et évacue les enceintes. La turbopompe démarre aussi automatiquement. 41 Opération Dès que 80 % du régime nominal sont atteints, le relais K1 est activé (cf. Représentation schématique de la BRU, page 51). Le PrismaPlus™ et le chauffage peuvent être mis en circuit à partir de ce moment. Les interrupteurs correspondants se trouvent sur la face avant de l'unité de commande du système. Les affichages à LED de chaque interrupteur signalent l'état de sortie actuel de l'appareil correspondant. En option : Si vous ne souhaitez pas que la turbopompe démarre automatiquement, dès que l'unité de commande du système est mise en circuit, vous pouvez effectuer ce réglage directement sur la turbopompe. Pour ce faire, reliez la pompe à un ordinateur à l'aide du câble adaptateur RS485-USB fourni. Utilisez le logiciel TurboViewer pour pouvoir effectuer d'importantes modifications au niveau de la pompe. Veuillez consulter le mode d'emploi du logiciel TurboViewer pour d'autres informations. Avec l'option « DCU », tous les réglages de la turbopompe peuvent également être effectués au niveau de la façade du DCU intégré dans la BRU 220. [7] 8.3 Commande de vanne Pour la variante du SPM 220 avec vanne de sécurité électropneumatique, la vanne est commandée par le biais d'une sortie numérique du PrismaPlus et le VCU 220. Dans ce cas, l'opération s'effectue à l'aide du logiciel Quadera. Depuis l'interface du programme, la commande de la vanne peut en outre être réglée sur « commande externe ». Ainsi, l'appareil peut être intégré dans une commande supérieure (p. ex. commande programmable). Pour l'option TPG, la commande peut être réalisée en mode externe via le câble de commande 15 pôles fourni (réf. PT 165 062-T) par le biais du TPG. Dans ce cas, les valeurs seuils pour l'ouverture/la fermeture de la vanne V1 peuvent être réglées directement sur le TPG. [13] 8.4 Mesure La mesure est effectuée avec le PrismaPlus™ via le logiciel Quadera. Pour plus d'informations, veuillez lire les instructions d'utilisation du logiciel Quadera fourni. [1] 8.5 Pompe à diaphragme en mode intermittent Pour augmenter les périodes d'immobilisation des diaphragmes, il est possible d'exploiter la pompe à diaphragme en mode intermittent avec l'entrée fermée durant les périodes où aucune mesure n'est effectuée. Pour ce faire, la turbopompe active et désactive automatiquement la pompe à diaphragme grâce à son électronique TC 110 RS. Pendant une mesure, la pompe à diaphragme doit fonctionner en continu. Pour activer le mode intermittent, le paramètre 025 - OpMode BKP - doit être réglé sur '1' via le logiciel TurboViewer. 8.6 Conditionnement du système à vide Lors du dégazage de l'enceinte (avec chemise chauffante en option), le support du système peut réduire fortement, et ainsi améliorer la sensibilité de détection pour les gaz condensables. Pendant le dégazage, le C-SEM doit être mis hors circuit et le système d'admission fermé. La source d'ions doit rester en service avec un faible courant d'émission (< 0,3 mA). En cas de charge de gaz faible, la pompe à diaphragme peut fonctionner pendant le dégazage en mode intermittent (voir 8.5 "Pompe à diaphragme en mode intermittent"). 42 Opération 8.7 Mise hors circuit Si cela n'a pas encore été réalisé, désactivez le filament du PrismaPlus via le logiciel Quadera. Séparez la connexion vers l'appareil et fermez le logiciel Quadera [1] Mettez hors circuit le chauffage et le PrismaPlus™ avec les interrupteurs correspondants sur la face avant de l'unité de commande du système. Mettez l'appareil hors circuit à l'aide de l'interrupteur principal. Pour préserver les filaments, nous recommandons de mettre l'appareil hors circuit 15 minutes après la mise hors circuit du PrismaPlus™. Si les vannes ne sont pas encore fermées, fermez-les à ce moment. Après la mise hors circuit au niveau de l'interrupteur principal, la turbopompe s'arrête automatiquement. Dès que la vitesse de rotation chute en dessous de 50 %, la vanne de ventilation s'ouvre automatiquement et démarre le processus de ventilation.* * Ce réglage est celui réglé à la livraison. En cas de modification des réglages de la turbopompe via le logiciel TurboViewer ou le DCU, le comportement de la ventilation automatique peut changer. ( [6] ; [7] ; [12]) 43 Entretien / Service après-vente 9 Entretien / Service après-vente Pfeiffer Vacuum vous propose un service après-vente haut de gamme. • Changement de fluide d'exploitation et remplacement des paliers sur place, grâce à notre SAV de terrain (FieldService) • Maintenance / Réparation dans un ServiceCenter ou ServicePoint proche de chez vous • Remplacement rapide par des produits de rechange à l'état neuf • Conseils sur la solution la plus avantageuse et la plus rapide Informations détaillées, adresses et formulaires à l'adresse suivante : www.pfeiffervacuum.de (Service). Maintenance et réparation au ServiceCenter Pfeiffer Vacuum Pour le bon déroulement et la rapidité du processus, veuillez vous conformer à la procédure suivante : Téléchargez la demande de service-après-vente ainsi que la déclaration de contamination.1) Remplissez la demande de service après-vente et envoyez-la par fax ou courrier électronique à l'adresse de votre service après-vente Pfeiffer Vacuum. Joignez à l'envoi la confirmation de la demande de service après-vente de Pfeiffer Vacuum. Remplissez la déclaration sur la contamination et joignez-la obligatoirement à l'envoi. Démontez tous les accessoires. Laissez la commande électronique d'entraînement sur la pompe. Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine. Envoyez la pompe / l'appareil de préférence dans son emballage d'origine. Envoi de pompes / appareils contaminés Les appareils contaminés (microbiologiquement, substances explosives ou radioactives) sont systématiquement refusés. Les « substances toxiques » sont les substances et composés chimiques visés dans la version actuellement en vigueur de l'Ordonnance sur les matières dangereuses. Pfeiffer Vacuum réalise systématiquement une décontamination aux frais du client sur les pompes contaminées ou en l'absence de déclaration sur la contamination. Neutralisez la pompe en la rinçant avec de l'azote ou de l'air sec. Obturez toutes les ouvertures pour les rendre étanches à l'air. Conditionnez la pompe / l'appareil sous une feuille de protection adaptée et scellée. Renvoyez la pompe / l'appareil uniquement dans un conteneur de transport approprié et robuste, en respectant les conditions de transport applicables. Unités de remplacement Les unités de remplacement livrées se trouvent toujours sur les paramètres de travail standard réglés en usine. Si votre application fonctionne avec des réglages personnalisés, vous serez amené à régler à nouveau ces unités. Commandes de service après-vente Toutes les commandes de service après-vente sont exécutées exclusivement selon nos conditions de réparation, applicables aux appareils et composants sous vide. 1) 44 Formulaires sous www.pfeiffer-vacuum.com Entretien / Service après-vente 9.1 QME La filtre à poussières au niveau de l'admission d'air doit être nettoyé dès qu'une couche nettement visible s'est accumulée. Utilisez un aspirateur pour éliminer la poussière du filtre. Pour ce nettoyage, la QME peut rester sur le QMA. Pour le nettoyage extérieur, un chiffon légèrement humide suffit normalement. N'utilisez aucun détergent agressif ou abrasif. Nettoyage AVERTISSEMENT Défaut possible de la sécurité de fonctionnement En cas d'encrassement, le fonctionnement de l'installation complète ne peut plus être garanti dans certaines conditions. N'omettez pas le nettoyage, même si l'intégration de l'appareil rend difficile la constatation de l'encrassement. REMARQUE Pour le nettoyage du boîtier, utilisez exclusivement un chiffon légèrement humide ! Aucun fluide ne doit pénétrer dans le produit. Avant la remise en service, laissez sécher complètement le boîtier. Remplacement du baffle filtrant Remplacez le baffle filtrant s'il s'est décomposé ou si vous ne parvenez pas à le nettoyer en suivant les instructions ci-dessus. Procédez comme décrit dans le mode d'emploi du PrismaPlus™. [2] Adaptation du générateur HF « TUNE » Lors de la première mise en service, en cas de changement d'analyseur (en particulier de Faraday à Channeltron) ou en cas d'affichage du message d'erreur correspondant sur l'écran, le circuit HF doit être réajusté. Le réajustement correct améliore la précision sur tout le domaine de masse. Par conséquent, un contrôle annuel est recommandé. Procédez comme décrit dans le mode d'emploi du PrismaPlus™. [2] Optimiser la sensibilité des sources d'ions Lors de la première mise en service ou après un remplacement de cathode, la sensibilité de la source d'ions doit être optimisée : Sélectionnez la fonction correspondante dans le logiciel QUADERA : [1] Suivez les instructions du logiciel. Enregistrez les données. Remplacer la QME / le QMA Si la QME ou le QMA doit être remplacé, procédez comme lors de l'installation initiale. Procédez comme décrit dans le mode d'emploi du PrismaPlus™. [2] 45 Entretien / Service après-vente 9.2 Changer le réservoir du fluide d'exploitation HiPace 80 AVERTISSEMENT Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé Le réservoir du fluide d'exploitation et certaines parties de la pompe peuvent contenir des substances toxiques provenant des fluides pompés Éliminez les réservoirs du fluide d'exploitation en respectant la législation en vigueur. Fiches de données de sécurité sur demande ou à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.de Prenez des précautions de sécurité correspondantes pour empêcher de créer des risques sanitaires ou de polluer l'environnement en cas de contamination. Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance. Démontez le QMA. Pour ce faire, procédez comme décrit au chapitre 5.1. Installation mécanique , page 35. Desserrez les 4 vis du VCU 220 et enlevez le cache latéral Retirez la base du VCU 220 en tirant vers l'arrière Desserrez les 4 vis à six pans creux qui fixent la plaque de recouvrement du VCU 220 et la turbopompe HiPace 80 et enlevez la plaque de recouvrement. Procédez ensuite comme décrit dans [6] . 46 Accessoires et pièces de rechange 10 Accessoires et pièces de rechange 10.1 Accessoires et pièces de rechange du PrismaPlus™ [2] 10.2 Accessoires et pièces de rechange de la HiPace 80 [6] 10.3 Câble de raccordement Pos. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 Désignation Longu eur Câble d'interface M12 3m Câble de raccordement BRU/TC 3m Câble de raccordement BRU/MVP 3m Câble adaptateur MVP 0,5 m Câble adaptateur PKR 0,5 m Connecteur de verrouillage BRU/User Câble de raccordement BRU/QME 3m Câble prolongateur M8 3m Connecteur de verrouillage VCU/ External Câble de raccordement VCU/PP Câble d'interface M12 10 m Câble de raccordement TPS/TC 10 m Câble de raccordement TPS/MVP 10 m Flexible de liaison pour MVP 1m Câble prolongateur BRU/QME 10 m Câble prolongateur M8 10 m Câble de raccordement VCU/HPI Câble de raccordement VCU/DZS Câble de raccordement TPG/VCU 3m Câble de raccordement TPG/VCU 10 m Référence PM 061-283-T PM 061 512-T PM 061 441-T PM 061 433-X PT 448 249-T PT 165 050 PT 165 060-T PT 061 783-T PT 165 051 PT165 070-T PM 061 285-T PM 061 514-T PM 061 443-T P 0988 088 PT 165 061-T PM 061 785-T PT 165 073-T PT 165 072-T PT 165 062-T PT 165 063-T 10.4 Accessoires du SPM Pos. Désignation 1 2 3 4 5 6 7 8 Vanne de gaz de balayage pour HiPace 80 Programmation VSTA spécifique au client Chemise chauffante vers enceinte [230 V] Chemise chauffante vers enceinte [115 V] DCU 002 Convertisseur USB/RS485 TurboViewer TPG 261, appareil d'affichage et de commande pour un tube de mesure ActiveLine TPG 262, appareil d'affichage et de commande pour deux tubes de mesure ActiveLine 9 Référence PM Z01 310 sur demande PT 165 000-T PT 165 001-T PM 061 348-T PM 061 207-T PM 061 740 PT G28 030 PT G28 280 47 Mise hors service 11 Mise hors service 11.1 Immobilisation prolongée AVERTISSEMENT Contamination de pièces et de fluides d'exploitation par les fluides pompés ! Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé. Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses. Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance. Si le système doit être immobilisé pour une durée supérieure à 1 an : Le cas échéant, démontez le SPM 220 de l'installation. Enlevez la turbopompe de l'enceinte. Remettez à l'air les enceintes avec l'analyseur monté et le tube de mesure à l'aide d'un gaz de protection sec et obturez avec une bride d'obturation. Changez le réservoir du fluide d'exploitation de la turbopompe. Ne stockez le système que dans des locaux fermés, à une température comprise entre +5 °C et +40 °C. Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive : enfermez le système dans un sac en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet d'agent de séchage. 11.2 Remise en service ATTENTION Remise en service Sur un matériel ne servant pas, le fluide d'exploitation de la turbopompe est utilisable 4 ans maximum. Avant la remise en service consécutive à une immobilisation de 4 ans ou plus, effectuez les travaux suivants : Changez le réservoir du fluide d'exploitation. Faites remplacer les paliers. Tenez compte des consignes de maintenance puis prévenez le SAV Pfeiffer Vacuum. Vérifiez l'encrassement et l'humidité de l'ensemble du système. Nettoyez les surfaces extérieures de l'ensemble du système avec un chiffon non pelucheux, additionné d'un peu d'alcool industriel. Le cas échéant, confiez le nettoyage complet de la turbopompe au SAV Pfeiffer Vacuum. Enlevez toutes les brides d'obturation. Installation et mise en service conformément au mode d'emploi. 48 Elimination 12 Elimination DANGER Attention : pièces contaminées Les pièces contaminées peuvent présenter des risques sanitaires. Avant d'effectuer les travaux, informez-vous sur une contamination éventuelle. En cas de manipulation de pièces contaminées, respectez les prescriptions applicables et les mesures préventives correspondantes. ATTENTION Attention : substances dangereuses pour l'environnement Les composants électroniques doivent être éliminés selon une procédure spéciale. Eliminez les substances dangereuses pour l'environnement conformément aux prescriptions locales. ATTENTION Attention : substances dangereuses pour l'environnement Dans certaines conditions, les produits, le fluide d'exploitation, etc. doivent être éliminés selon une procédure spéciale. Eliminez les substances dangereuses pour l'environnement conformément aux prescriptions locales. Tri des composants Après le démontage du produit, les composants doivent être triés selon les catégories suivantes pour l'élimination : Composants contaminés Composants non contaminés Les composants contaminés (radioactifs, toxiques, caustiques, microbiologiques, etc.) doivent être décontaminés conformément aux prescriptions nationales, triés en fonction de leur nature (type de matériau) et éliminés. Ces composants doivent être triés selon leur nature (type de matériau) et déposés au recyclage. 13 Dysfonctionnements Si des dysfonctionnements se produisent au niveau du SPM 220, vous trouverez dans le tableau suivant des causes possibles et des instructions pour y remédier. 13.1 Dépannage Problème Cause possible Dépannage Sur l'appareil mis en circuit, la LED 24 VCC ne s'allume pas ; aucune fonction possible Alimentation en courant interrompue Contrôlez le câble d'alimentation Le fusible d'appareil de la Contrôlez le fusible et remplacez-le BRU 220 s'est déclenché Tension de fonctionnement incorrecte Appliquez une tension de fonctionnement correcte Tenez compte de la plaque signalétique Bloc d'alimentation TPS 311 défectueux Remplacez le bloc d'alimentation, informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum 49 Dysfonctionnements Problème Cause possible Dépannage Le système de pompage ne démarre pas Le groupe de pompage n'est pas mis en circuit Mettez le groupe de pompage en circuit à l'aide du logiciel TurboViewer ou du DCU 002 La contre-fiche « User » Contrôlez la contre-fiche au niveau de la BRU 220 Contrôlez le câblage n'est pas insérée ou câblée correctement Câblage défectueux Le système de pompage n'atteint pas sa vitesse finale ou Vanne d'entrée ouverte sa pression finale Présence de condensat dans la pompe primaire Impossible de mettre le PrismaPlus™ en circuit (la LED d'état reste éteinte) Les vannes électropneumatiques ne se mettent pas en circuit Contrôlez le câble de raccordement, voir la section 7.2 "Mise en service SPM" Fermez la vanne d'entrée Ouvrez la soupape à lest d'air au niveau de la MVP 020-3 Soupape à lest d'air ouverte Fermez la soupape à lest d'air au niveau de la MVP 020-3 Fuites Contrôlez le système à la recherche de fuites La turbopompe n'a pas encore atteint sa vitesse finale Patientez pendant la montée en régime Le système de pompage n'atteint pas sa pression finale Voir la description du problème « Le système de pompage n'atteint pas sa vitesse finale ou sa pression finale » Réglages incorrects dans Contrôlez les réglages dans le programme le programme « Valve Control » « Valve Control » La contre-fiche « User » Contrôlez la contre-fiche au niveau de la BRU 220 Contrôlez le câblage n'est pas insérée ou câblée correctement Mauvais réglage du point Réglez correctement le point de commutation de commutation au niveau de l'appareil de commande de la pression totale TPG 26x Impossible de mettre le chauffage en circuit (la LED d'état reste éteinte) Air comprimé absent ou trop faible Contrôlez l'alimentation en air comprimé La turbopompe n'a pas encore atteint sa vitesse finale Patientez pendant la montée en régime Le système de pompage n'atteint pas sa vitesse finale Voir la description du problème « Le système de pompage n'atteint pas sa vitesse finale ou sa pression finale » L'élimination des dysfonctionnements des composants individuels est régie par les consignes du mode d'emploi correspondant. En cas de questions, contactez le SAV Pfeiffer Vacuum. 50 Annexe 14 Annexe 14.1 Schémas fonctionnels Représentation schématique de la BRU S1 V1 open/close > V2 open/close > PE Heater (Option) K4 Switch heater on/off K1 TPS 311 K4 24 VDC out < 100-240 VAC, switched Switch on/off PrismaPlus 24 VDC K1 24V Prisma+ switched GND S2 24 V Valves, switched Valves 24 VDC K3 Turbo rotation switching point Switchpoint S3 Prisma Plus Main Heater 100-240 VAC TPG 26x (Option) TPG/relay Gate valve open/close > Switch Main on/off Heater K2 K1 Global interlock PE Valve interlock Ready DCU 002 (Option) K1 RS485 RS485 User K3 24 VDC turbo, switched GND GND Turbo K2 +24 VDC 24 VDC MVP GND V3 open/close V1 open/close GND Valves GND Digital I/O V2 open/close Représentation schématique du VCU MVP PE PE * DO 1-13 * * * PrismaPlus DI1-4*+ external protection K5 K5 V1 open/close (DO16) K6 K6 V2 open/close (DO15) K7 K7 V3 open/close (DO14) 24 VDC for DI+DO 24 VDC in V2 open/close V1 open/close Gate valve open/close 24 V Valves, switched GND GND External *dependining on option DI1/DI2/DI3 may by connected to V1/V2/V3 24 VDC GND signals 51 Annexe 14.2 Bibliographie [1] www.pfeiffer-vacuum.com Quadera Help (contient le CD-R) Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [2] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi Spectromètre de masse compact PrismaPlus QMG220 BG5214BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [3] www.pfeiffer-vacuum.com Instructions pour la communication Prisma™ QMS 200 BG5215BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [4] www.pfeiffer-vacuum.com Informations complémentaires pour les turbopompes avec TC 600 et TC 750 Commande électronique d'entraînement TC 600/TC750 PT0204BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [5] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi Pompe à diaphragme MVP 020 PK0217BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [6] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi HiPace 80 PT0208BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [7] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi Appareil d'affichage et de commande DCU 002/110/180/310/400 PT0250BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [8] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi Vanne de remise à l'air TSF 012 PT0228BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne 52 Annexe [9] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi Tube de mesure compact PKR 251 BG5155BFR http://www.pfeiffer-vacuum.de/produkte/messgeraete/activeline/container.action [10] www.pfeiffer-vacuum.de Mode d'emploi Vanne de régulation entièrement métallique UDV 040 BP5003BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [11] www.vatvalve.com Mode d'emploi Palette Mini UHV Vanne RGA 250986DA VAT Vakuumventile AG CH-9469 Haag, Suisse [12] www.vatvalve.com Mode d'emploi Vanne RGA line of sight Tournée de 90° Gamme 010, DN 40 250987DA VAT Vakuumventile AG CH-9469 Haag, Suisse [13] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi Tube unique TPG 261 Appareil de mesure et de commande monocanal BG5195 BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [14] www.pfeiffer-vacuum.com Convertisseur USB/RS485 PM 061 207-T Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne 53 Déclaration sur la contamination des appareils sous vide et de leurs composants Téléchargement du formulaire sous www.pfeiffer-vacuum.com 1 Déclaration de conformité selon la directive CE : • Directive Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) • Directive CEM 2004/108/CE • Directive relative au matériel électrique 2006/95/CE Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous est conforme à l'ensemble des dispositions applicables de la directive européenne sur les machines 2006/42/CE. Le produit mentionné ci-dessous est en outre conforme à l'ensemble des dispositions applicables de la directive européenne 2004/108/CE concernant la compatibilité électromagnétique. Par ailleurs, le produit est conforme, dans des limites de tension définies, à l'ensemble des dispositions applicables de la directive européenne 2006/95/CE relative au matériel électrique. Le représentant autorisé pour la constitution du dossier technique est M. Dr Falk Braunschweig, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Sputter Process Monitor SPM 220 Directives appliquées, normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : EN ISO 12100-1 EN ISO 12100-2 EN1012-2 EN61010-1 EN 61326-1 Signatures : Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (M. Bender) Directeur (Dr M. Wiemer) Directeur CE/2011 Leading. Dependable. Customer Friendly Pfeiffer Vacuum stands for innovative and custom vacuum solutions worldwide. For German engineering art, competent advice and reliable services. Ever since the invention of the turbopump, we´ve been setting standards in our industry. And this claim to leadership will continue to drive us in the future. You are looking for a perfect vacuum solution? Please contact us: Germany Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters Tel.: +49 (0) 6441 802-0 [email protected] www.pfeiffer-vacuum.com ">
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