Pfeiffer SPM 220 Mode d'emploi

Traduction du mode d‘emploi
Sputter Process Monitor
SPM 220
DA0101BFR (2011_11)
Manuel de l‘utilisateur
FR
Table des matières
1
1.1
1.2
2
2.1
2.2
2.3
2.4
2.5
3
3.1
3.2
4
4.1
4.2
4.3
4.4
5
5.1
5.3
5.5
5.7
5.9
5.11
5.12
6
6.1
7
7.1
7.2
8
8.1
8.2
8.3
8.4
8.5
8.6
8.7
9
9.1
9.2
10
10.1
10.2
10.3
A propos de ce mode d'emploi . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Equipement de protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Usage conforme à la destination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Usage non conforme à la destination du matériel . . . . . . . . . . . . . . 9
Directives . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Transport et stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Identification du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Domaine d'application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Vue d'ensemble du système . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Fiche technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
SPM 220 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
QME 220 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Module d'entrée/sortie IO 220 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Base Rack Unit (BRU 220) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Valve Control Unit (VCU 220) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Affectation des connecteurs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Systèmes d'admission de gaz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
SVV 040 PM, à commande électropneumatique . . . . . . . . . . . . . . 30
Mise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Mise en service QME . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Mise en service SPM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Opération . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
Eléments d'affichage et de commande de la BRU 220 . . . . . . . . . 41
SPM 220 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
Commande de vanne . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
Mesure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
Pompe à diaphragme en mode intermittent . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
Conditionnement du système à vide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
Mise hors circuit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
Entretien / Service après-vente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
QME . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
Changer le réservoir du fluide d'exploitation HiPace 80 . . . . . . . . . 46
Accessoires et pièces de rechange . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
Accessoires et pièces de rechange du PrismaPlus™ . . . . . . . . . . 47
Accessoires et pièces de rechange de la HiPace 80 . . . . . . . . . . . 47
Câble de raccordement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
3
10.4
11
11.1
11.2
12
13
13.1
14
14.1
14.2
4
Accessoires du SPM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
Mise hors service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
Immobilisation prolongée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
Remise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
Elimination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
Dysfonctionnements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
Dépannage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
Annexe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
Schémas fonctionnels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
Bibliographie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
A propos de ce mode d'emploi
1
A propos de ce mode d'emploi
1.1 Validité
Ce mode d'emploi s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le
fonctionnement du produit désigné et comporte des informations essentielles
garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives
européennes en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce mode d'emploi
correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est
valide dans la mesure où le client n'a apporté aucune modification au produit.
Ce document est valable pour les produits dont la référence est :
PT M5x 3xx et PT M5x 4xx
La référence se trouve sur la plaque signalétique.
Les modes d'emploi actuels sont également disponibles sur Internet à l'adresse
www.pfeiffer-vacuum.de.
Autres documents
concernés
SPM 220
Mode d'emploi
Déclaration de conformité
Mode d'emploi des accessoires (spécifique à la commande)
Jointe à ce mode d'emploi
Voir le chapitre intitulé
Accessoires*
*également disponible sur Internet à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.de
1.2 Conventions
Consignes de
sécurité
Les consignes de sécurité figurant dans les modes d'emploi de Pfeiffer Vacuum sont le
résultat d'évaluations des risques et d'analyses des dangers réalisées ; elles s'orientent
sur les standards de certification internationaux selon UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S1,
ISO 3864 et DIN 4844. Dans le présent document, les niveaux de danger et consignes
informatives suivants ont été pris en compte :
DANGER
Danger direct et imminent
Pouvant provoquer la mort ou des blessures graves.
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Pouvant provoquer des blessures ou des dommages matériels considérables.
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Pouvant provoquer des blessures ou des dommages matériels.
REMARQUE
Obligation ou consigne
Invitation à accomplir une action, ou information sur des propriétés dont le non-respect
peut occasionner des dommages au produit.
5
A propos de ce mode d'emploi
Définitions des
pictogrammes
Interdiction d'une action ou activité ayant un lien avec la
source de dangers, et dont le non-respect peut provoquer
des accidents lourds de conséquences.
Avertissement en présence du danger matérialisé par le
symbole.
Obligation d'accomplir une action ou activité pendant le
maniement d'une source de dangers, obligation dont le nonrespect peut provoquer des accidents lourds de
conséquences.
Information importante sur le produit, sur le maniement du
produit ou sur une partie de la documentation, à laquelle il
faut accorder une attention particulière.
Instruction dans
le texte
 Instruction de travail : à cet endroit vous devez accomplir une opération.
Abréviations utilisées
BRU
SPM
IO
VCU
MVP
Symboles utilisés
Base Rack Unit (unité de commande du
système)
Sputter Process Monitor (contrôleur du
processus de pulvérisation)
Input Output (entrée-sortie)
Valve Control Unit (appareil de commande de
vanne)
MembranVakuumPumpe (pompe à vide à
diaphragme)
Le symbole  [X] est utilisé pour les renvois vers d'autres documents énumérés
dans la bibliographie.
Marque du produit
PrismaPlus™
QUADERA™
6
Pfeiffer Vacuum GmbH
INFICON AG
Sécurité
2
Sécurité
2.1 Consignes de sécurité
REMARQUE
Obligation d'information
Toute personne intervenant dans l'installation, l'exploitation ou l'entretien de l'appareil
doit lire et respecter les passages relatifs à la sécurité de ce mode d'emploi.
 L'exploitant est tenu d'attirer l'attention de tout opérateur sur les risques inhérents à
la pompe à vide, au fluide pompé ou à l'installation dans son ensemble.
REMARQUE
Installation et exploitation des accessoires
Pfeiffer Vacuum Il est possible d'équiper les appareils avec toute une série
d'accessoires adaptés. L'installation, l'exploitation et l'entretien des appareils de
raccordement sont décrits en détails dans les modes d'emploi accompagnant les
différents composants.
 Informations sur les numéros de commande des composants : voir le chapitre
« Accessoires et pièces de rechange », page 47.
 Utilisez uniquement des accessoires d'origine.
• Utilisez exclusivement des pièces de rechange d'origine (voir le chapitre
10. Accessoires et pièces de rechange ; page 47)
• N'exposez aucune partie du corps au vide.
• Respectez les prescriptions de sécurité et de prévention des accidents.
• Vérifiez régulièrement que toutes les mesures préventives ont été respectées.
• Ne soumettez l'installation à aucune conversion ou modification arbitraire.
DANGER
Risque dû aux champs magnétiques forts
A l'intérieur du tube de mesure du vide PKR se trouve un aimant puissant. Les champs
magnétiques peuvent perturber par exemple les stimulateurs cardiaques ou altérer leur
fonctionnement.
 Maintenez une marge de sécurité d'au moins 10 cm entre le stimulateur cardiaque et
l'aimant !
 Assurez-vous que l'autocollant d'avertissement sur le tube de mesure du vide n'est
pas recouvert lors du montage.
2.2 Equipement de protection
Dans certaines situations, le port d'un équipement de protection individuelle est
nécessaire. Les exploitants ou les employeurs se doivent de mettre à disposition du
personnel opérateur un équipement approprié.
7
Sécurité
DANGER
Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques lors des
travaux d'entretien ou d'installation
Les pompes à vide, les composants et les fluides d'exploitation peuvent être
contaminés, en fonction du processus, par des substances toxiques, réactives ou
radioactives.
 Portez un équipement de protection approprié lors des travaux de maintenance et
d'entretien ou lors de la réinstallation de l'installation.
ATTENTION
Risque de blessure au contact de surfaces brûlantes
Pendant le dégazage et l'utilisation d'un chauffage d'enceinte, l'enceinte et les pièces
métalliques juxtaposées peuvent chauffer fortement.
 Pendant le dégazage et l'utilisation d'un chauffage d'enceinte, ne touchez pas
l'appareil.
 Laissez refroidir la pompe avant d'effectuer des travaux de maintenance et
d'entretien.
 Le cas échéant, portez des gants protecteurs conformément à la norme EN 420.
AVERTISSEMENT
Niveau de bruit très élevé
Dans une zone restreinte située à proximité de la pompe à vide, le niveau des émissions
sonores peut s'avérer très élevé.
 Prévoyez une protection anti-bruit
 Portez des protections auditives
2.3 Usage conforme à la destination
Le Sputter Process Monitor SPM 220 est une unité de spectrométrie de masse pompée
de façon différentielle. Il sert à mesurer les contaminations les plus faibles lors des
processus de pulvérisation avec des pressions de processus inférieures à 2x10-2 mbar.
Le domaine de pression réel dépend des écrans intégrés.
REMARQUE
Conformité CE
La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par
l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires !
• Respectez impérativement les prescriptions d'installation, de mise en service,
d'exploitation et d'entretien.
• Il est interdit d'utiliser, sans le consentement de Pfeiffer Vacuum, d'autres accessoires
que ceux indiqués dans ce mode d'emploi.
8
Transport et stockage
2.4 Usage non conforme à la destination du matériel
En cas d'usage non conforme à la destination de l'appareil, tout recours en
responsabilité et en garantie sera rejeté. Est réputée non conforme toute utilisation à des
fins qui dévient de celles précitées, dont notamment :
•
•
•
•
Le fonctionnement dans des zones menacées par des explosions ;
l'analyse de gaz inflammables ;
l'utilisation de fluides d'exploitation non spécifiés par Pfeiffer Vacuum ;
le raccordement à des pompes et appareils qui, selon le contenu de leur mode
d'emploi, ne sont pas prévus à cette fin ;
• le raccordement à des appareils présentant des pièces électroconductrices
susceptibles d'être touchées ;
• l'utilisation des appareils dans des zones radioactives.
2.5 Directives
3
QME/QMA
EN 61010-1:2001
EN 611326-1: 1997+ A1:1998+ A2:2001+A3:2003
BRU
Directive Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1A)
Directive CEM 2004/108/CE
Directive relative au matériel électrique 2006/95/CE
Transport et stockage
3.1 Transport
 Réutilisez le conteneur de transport du SPM 220. Il faut transporter ou expédier
l'appareil dans son emballage d'origine.
 Il ne faut retirer les couvercles de protection du côté vide élevé et du côté vide primaire
qu'au moment du raccordement.
 Conservez les couvercles de protection d'origine.
 Transportez toujours l'appareil à la verticale.
3.2 Stockage
 Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine.
 Obturez les autres orifices avec les couvercles de protection correspondants.
 Ne stockez le système que dans des locaux fermés, à une température comprise
entre +5 °C et +40 °C.
 Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive : enfermez le système dans un
sac en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet d'agent de
séchage.
9
Description du produit
4
Description du produit
PrismaPlus
QMA 200
QME 220
Enceinte avec PKR 251 Système d'admission BRU 220
MVP 020
HiPace80
VCU 220
DCU002
TPG261
Sélection des systèmes d'admission et des options pour le SPM 220
Désignation
Système
d'admission
sans
Vanne de sécurité
SVV 040 PM
Bride de
DN 40 CF-F
raccordement
DN 40 CF-F
1-100 amu
1-100 amu
1-200 amu
Système de HiPace80
MVP 020-3
pompage
oui
Enceinte
oui
PKR 251
oui
BRU 220
non
VCU 220
1-200 amu
HiPace80
MVP 020-3
oui
oui
oui
oui
Mesure de
la pression
totale
TPG 261 (option)
TPG 261 (option)
Commande du TurboViewer
groupe de
DCU 002 (option)
pompage
TurboViewer
DCU 002 (option)
PrismaPlus
Mode
d'emploi
SPM 220
271691 BD
BG 5214 BN
PT 0278 BN
PK 0208 BN
BG 5119 BN
DA 0100 BN
DA 0100 BN
BG 5195 BN
PT 0250 BN
4.1 Identification du produit
Caractéristiques du
produit
10
Pour identifier le produit de manière sûre lors de toute communication avec
Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la
plaque signalétique :
Description du produit
Livraison
Numéro de
commande
PrismaPlus
c
PT M5x xcd
QME 220 M
QMA 200 M
Enceinte avec PKR 251
HiPace80
MVP020
Unité de commande du système Base
Rack Unit BRU 220
Système
sans
d'admission
SVV 040 PM
Appareil de commande de vanne Valve
Control Unit VCU 220
TPG 261
Options
DCU002
Système de
pompage
d
6
•
•
•
•
•
7
•
•
•
•
•
0+4
•
•
•
•
•
1+5
•
•
•
•
•
2+6
•
•
•
•
•
3+7
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
4.2 Fonction
Sputter Process Monitor SPM 220, une unité de spectrométrie de masse quadripolaire
avec système d'admission de turbopompe et de gaz pour l'analyse de gaz non
inflammables dans un domaine de pression compris entre 10-7 mbar et 10-2.
L'opération du système peut s'effectuer manuellement via la BRU 220 et le logiciel
Quadera, ainsi qu'avec une commande supérieure du système via les entrées
correspondantes.
4.3 Domaine d'application
Le SPM 220 doit être installé et exploité dans les conditions ambiantes suivantes :
DANGER
EX
Risque d'explosion
Le SPM 220 n'est pas prévu pour une utilisation dans des zones menacées par des
explosions.
 Mettez immédiatement le SPM 220 hors circuit en cas d'atmosphère explosive.
Utilisation
en intérieur
Altitude max.
2000 m au-dessus du niveau de la mer
Type de protection
IP 30
Températures
– Stockage/Transport +5 °C...+40 °C
– Exploitation
0 °C...+40 °C
Humidité relative
max. 80 % jusqu'à 31 °C,
diminution linéaire à 50 % à 40 °C
11
Description du produit
4.4 Vue d'ensemble du système
Electronique des
quadripôles QME 220
avec raccordement
à 90°
Avec domaine de masse selon l'option :
PT M51 xxx
1-100 amu
PT M52 xxx
1-200 amu
Analyseur QMA 200
avec tube
manométrique dans
enceinte du SPM 220
Avec source d'ions selon l'option :
PT M5x 3xx
PT M5x 4xx
Source d'ions SPM, filament Y
Source d'ions SPM, filament W
Base Rack Unit
BRU 220
(La figure illustre un appareil équipé de toutes les options supplémentaires ; voir la
section Composants supplémentaires, page 16 et pages suivantes.)
12
Description du produit
Câble d'alimentation
Jeu de câbles de
raccordement
Câble standard (fourni dans toutes les options)
Câble
Réf. (3 m)
Réf. (10 m)
Marquage du
câble
Câble d'interface M12
PM 061 283-T
PM 061 285-T
DCU
Câble de raccordement BRU/TC
PM 061 512-T
PM 061 514-T
Turbo Pump
Câble de raccordement BRU/MVP
PM 061 441-T
PM 061 443 T
MVP
Câble adaptateur MVP (0,5 m)
PM 061 433-X
MVP I/O
Câble adaptateur PKR (0,6 m)
PT 448 249-T
Gauge
Câble d'alimentation
P 4564 309 Zx
---
Câble de raccordement BRU/QME
PT 165 060-T
PT 165 061-T
PrismaPlus
Câble prolongateur M8
PM 061 783-T
PM 061 785-T
Switch Point, MVP I/
O, Valves 24V DC
Connecteur de verrouillage BRU/User
PT 165 050
User
13
Description du produit
Composants en option du jeu de câbles :
Réf. (3 m)
Réf. (10 m)
Marquage du
câble
Option
Câble
PT M5x x7x
Câble de raccordement VCU/PP
PT 165 070-T
Digital I/O
PT M5x x7x
Câble de raccordement VCU/
SVV
PT 165 073-T
Valves
PT M5x xx6
PT M5x xx7
Câble d'interface M12
-
PM 061 285-T
DCU
PT M5x xx1
PT M5x xx3
Câble de raccordement TPG/
VCU
PT 165 062-T
-
Valves 24 VDC
PT M5x xx5
PT M5x xx7
Câble de raccordement TPG/
VCU
-
PT 165 063-T
TPG
PT M5x x7x
Connecteur de verrouillage
VCU/External
PT 165 051
External
Logiciel Quadera
 [1]
Convertisseur USB et
logiciel TurboViewer
Uniquement pour la variante sans DCU 002 [14]
Système de pompage
Se composant de :
Pompe turbomoléculaire HiPace 80 avec vanne de remise à l'air [6] ,
refroidissement par air, en option avec vannes de gaz de balayage.
14
Description du produit
Pompe à diaphragme MVP 020 [5]
Vanne d'entrée
SVV 040, à commande électropneumatique - pour l'option PT5x x7x
VCU 220 - uniquement pour l'option PT M5x x7x
15
Description du produit
Composants
supplémentaires
Appareil d'affichage et de commande DCU 002 intégré dans la BRU
(PM 061 348 -T) [7]
Tube de mesure de la pression totale de la série « ActiveLine »  [9]
TPG 261 intégré dans la BRU 220.
Un tube de mesure de la pression totale de la série ActiveLine avec câble de
raccordement doit être fourni séparément en fonction du domaine de pression
de travail. [13]
VACUUM
16
Description du produit
Option Chauffage
Chauffage se composant d'un contrôleur et d'une chemise chauffante (Pfeiffer Vacuum
GmbH ; PT 165 000-T [230 V] ou PT165 001-T [115 V])
17
Fiche technique
5
Fiche technique
5.1 SPM 220
SPM
220
amu
1...100
1...200
– Hydrogène
ppb
<3000
<6000
– Vapeur d'eau
ppb
<500
<500
– Azote
ppb
<100
<100
– Oxygène
ppb
<100
<100
– Gaz carbonique
ppb
<100
<100
Domaine de masse
Limite de détection (Argon)
Température de fonctionnement,
analyseur
°C
0...+150 °C
Température de dégazage, analyseur
sans QME
°C
+200 °C max.
QMA 220 M
Analyseur
deux filaments en iridium recouverts
d'oxyde d'yttrium pour PT M5x 3xx
Matériau du filament
Système de barres : matériau/
diamètre/longueur
Détecteur
Electronique du spectromètre de
masse
Logiciel
deux filaments de tungstène pour
PT M5x 4xx
mm
acier inoxydable/6/100
C-SEM/Faraday
QME 220 M
Quadera + extension SPM
Turbopompe
HiPace 80
Pompe à diaphragme
MVP 020-3
Tube de mesure de la pression totale
PKR 251
Commande du système
BRU 220
Interfaces :
– Connexion système/PC
– Sorties analogiques, sélection
libre
4x 0...+10 V
– Entrées analogiques, sélection
libre
5x -10...+10 V
– Sorties numériques, sélection libre
13x 24 VCC
– Sortie numérique,
Ready
– Entrées numériques1, sélection
libre
Tableau 5.1 : Fiche technique du SPM 220
18
Ethernet
contact, 60 VCC/30 W
jusqu'à 4x24 VCC
Fiche technique
SPM
220
24 VCC, verrouillages pour système,
vannes et chauffage
– Entrées numériques,
définies
au choix2
Position montée
Poids (unité d'analyse avec TMP, PKR
et PrismaPlus, sans système
d'admission)
kg
11,8
Tableau 5.1 : Fiche technique du SPM 220
Interface de vanne
Mise en action
Air comprimé
bar
Raccordement d'air
comprimé
Diamètre des écrans
mm
Pression de processus, max. mbar
Commande de vanne
Poids
Bride de raccordement
kg
sans
SVV 040 PM
-
électropneumatique
-
5...7
-
1/8" filet de vis
intérieure
0.03***/0.1/0.3
0.03***/0.1/0.3
1x10-2
1x10-2
-
VCU 220
-
2.5
DN 40 CF-F
DN 40 CF-F
Tableau 5.2 : Fiche technique de l'interface de vanne
1
selon la configuration
2
REMARQUE
Nous recommandons de supporter l'ensemble du système sous la HiPace 80 ou le
VCU 220 (selon l'option).
Autres spécifications relatives à la QME/au QMA 220 [2]
19
Fiche technique
5.3 QME 220
QME 220
Système de mesure
– Canaux de mesure
128
– Modes de mesure
Scan analog, Scan Bargraph, MID, MCD
– Cycles de mesure
Monocanal/Multicanaux 1...9999 cycles ou Repeat
– Vitesse de mesure
– Scan analog+Bargraph Peak
20 ms/u...60 ms/u
– Scan Bargraph Stair
2 ms/u...60 s/60 u
– MID-dwell
2 ms...60 s
– Amplificateur d'électromètre
1x10-5...1x10-12 A (f.s.), fix et autorange
– Filtre de signal
Filtre FIR
Alimentation en courant
24 VCC/2,0 A, SP220
Interfaces
– Fonctionnement, opération
Ethernet
– Extension
Module d'entrée/sortie IO 220
Entrées/sorties
– Analogiques
voir IO 220 [2]
– Numériques
voir IO 220 [2]
Poids
Tableau 5.4 : Fiche technique de la QME 220
20
2,2 kg
Fiche technique
5.5 Module d'entrée/sortie IO 220
IO 220
Entrées analogiques
– Raccordement (« Analog I/O »)
X7, connecteur D-Sub 15 pôles
– Nombre de canaux
5
– Configuration d'entrée
différentielle
– Plage de tension d'entrée
nominale ±10 V, max. ±14 V à la terre
– Résistance d'entrée
50 kOhm
– Résolution
14 Bit
Sorties analogiques
– Raccordement
X7, connecteur D-Sub 15 pôles
– Nombre de canaux
4
– Configuration de sortie
Single ended
– Plage de tension de sortie
0...+10 V
– Courant de sortie
<100 μA
– Résistance de sortie
200 Ohm
– Masse de référence
supérieure à 33 Ohm à la terre (GND) (Imax=50 mA)
– Résolution
12 Bit
Entrées analogiques
– Raccordement (« DIGITAL I/O ») X2, connecteur D-Sub 25 pôles
– Nombre de canaux
3...4 selon l'option* + protection ext.**
– Tension d'entrée
<+5 V (low)
nominale +24 V (high), max. +28 V
– Courant d'entrée
1,9 mA
– Tension d'alimentation pour
contacts sans potentiel
+24 V sup. à 1,2 kOhm (Imax 10 mA)
– Masse de référence pour
alimentation externe
supérieure à 100 Ohm à la terre (GND) (Imax 50 mA)
PROTECTION EXTERNE
– Caractéristiques électriques
identiques aux entrées analogiques
– Fonction
fonction de commande dépendant du mode
EXT_PROT**
Sorties numériques
– Raccordement (« DIGITAL I/O ») X2, connecteur D-Sub 25 pôles
– Nombre de canaux
16/13 selon l'option*
– Tension de sortie
nominale +24 V, max. +28 V
– Tension de saturation (low)
≤ +0,9 V
– Courant de sortie (Sink)
Les 16 canaux sont tous utilisés : ≤60 mA/canal
4 canaux utilisés : ≤250 mA/canal***
Raccordement des tubes de mesure
(analogique)
occupé par PKR 251  [2]
Tableau 5.6 : Fiche technique du module IO 220
21
Fiche technique
*
Le nombre réel de sorties/d'entrées numériques dépend du système d'admission
de gaz utilisé. En cas d'opération manuelle, les 16 sorties numériques sont
toutes disponibles ; en cas d'opération électropneumatique, ce nombre est de 13
(les sorties numériques 14-16 sont utilisées pour la commande). En cas
d'opération manuelle, toutes les entrées numériques sont disponibles. Avec
l'option PT M5x x7x, les entrées numériques 3/4 sont disponibles. Veuillez
également tenir compte de la section « VCU 220 », page 25
**
Tableau de fonction Entrée EXT-PROT [2]
***
Les 16 canaux sont répartis en deux groupes :
Groupe A : numéro impair de canal 1...15
Groupe B : numéro pair de canal 2...16
Pour des raisons thermiques, les canaux utilisés doivent être répartis de
manière égale dans les deux groupes, c'est-à-dire 2 canaux du groupe A et
2 canaux du groupe B  [2]
5.7 Base Rack Unit (BRU 220)
BRU
Tension d'entrée
115...260 V CA
Fréquence secteur
50/60 Hz
Consommation de courant
5A
Tension de sortie
24 (±2 %) V CC
Courant de sortie max.
12,5 A
Poids
5,5 kg
Raccordements
User
Switch Point
Valves 24 V DC
Heater
Diaphragm Pump
Turbo Pump
PrismaPlus
Main
Tableau 5.8 : Fiche technique de la BRU
5.9 Valve Control Unit (VCU 220)
VCU
Tension de sortie
24 V CC
Courant d'entrée
max. 1 A
Poids
0,7 kg
Raccordements
External
Valves
Prisma Plus
Digital I/O
24 V CC
Tableau 5.10 : Fiche technique du VCU
22
Fiche technique
5.11 Dimensions
SPM 220
* uniquement pour les options avec commande de vanne électropneumatique
BRU
5.12 Affectation des connecteurs
IO 220 Digital I/O
VACUUM
VACUUM
X2
23
Fiche technique
REMARQUE
Pour l'option PT M5x x7x, cette sortie n'est pas disponible. Veuillez tenir compte de la
section « VCU 220 », page 25
Pour l'option PT M5x x6x, la sortie « X2 » peut être utilisée sans restriction. L'affectation
des broches du PrismaPlus™ doit être utilisée  [2] .
QME 220/IO 220
autres E/S
Des informations concernant les autres entrées et sorties se trouvent dans le mode
d'emploi du PrismaPlus™  [2] .
QMA
12
1
2
3
11
13
10
4
9
5
8
7
6
Broche Description
1
Reserve
2
Extr.
3
Focus
4
HV-
5
Filament 1
6
Filament 2
7
Anode
8
RF -
9
GND
10
GND
11
RF +
12
Filament Common
13
EP
DANGER
Eléments électroconducteurs.
Danger de mort par électrocution
 Le raccordement électrique est une opération réservée à des électriciens
spécialisés, formés et autorisés en conséquence.
 Veillez à ce que le système soit suffisamment relié à la terre.
24
Fiche technique
VCU 220
1
13
14
25
Le port « Digital I/O » dispose, à quelques exceptions près, de toutes les entrées et
sorties du port « X2 » du module IO 220. Ainsi, les canaux d'E/S du module IO 220 sont
librement disponibles, de façon limitée.
ATTENTION
Destruction du système d'admission de gaz
Si les sorties numériques DO1-DO3 sont utilisées, à la différence des indications du
PrismaPlus™  [2] , aucun câblage externe de la broche « DO-V+ » (broche 10)
vers +24 V n'existe. Ce câblage est déjà réalisé par le VCU 220 en interne !
 Connectez des appareils/consommateurs entre la/les sortie(s) numérique(s)
souhaitée(s) et « DO_0V » (broche 9).
 Le courant maximal de toutes les sorties numériques ne doit pas dépasser 900 mA !
25
Fiche technique
Broche Description
D-Sub 25 pôles
1
Sortie numérique, canal 1
2
Sortie numérique, canal 2
3
Sortie numérique, canal 3
4
Sortie numérique, canal 4
5
Sortie numérique, canal 5
6
Sortie numérique, canal 6
7
Sortie numérique, canal 7
8
Sortie numérique, canal 8
9
Masse pour sorties numériques (DO_0V)
10
non disponible
11
Entrée numérique, canal 1
12
Entrée numérique, canal 2
13
Entrée numérique, canal 3
14
Sortie numérique, canal 9
15
Sortie numérique, canal 10
16
Sortie numérique, canal 11
17
Sortie numérique, canal 12
18
Sortie numérique, canal 13
19
GND
20
GND
21
GND
22
+24 V pour entrées numériques
23
Masse (0 V) pour entrées numériques
24
Entrée numérique, canal 4 (non disponible avec
l'option PT M5x x7x)
25
non disponible
8
1
15
9
Pour l'intégration du SPM 220 dans des concepts de commande existants
(p. ex. commande programmable), l'entrée de commande « External » est disponible.
A l'aide de circuits à relais ou à collecteur ouvert, les broches de l'entrée peuvent être
pontées pour activer ou désactiver les vannes correspondantes. Le pontage s'effectue
entre 24 V CC et la broche correspondante.
26
Fiche technique
Broche Description
1
GND
2
GND
3
GND
4
GND
5
GND
6
V1
7
V2
8
V3
9
GND
10
GND
11
GND
12
GND
13
24 V CC
14
24 V CC
15
24 V CC
D-Sub 15 pôles
REMARQUE
Si vous n'utilisez aucune commande externe, le connecteur « External » fourni doit être
inséré dans la douille correspondante du Valve Control Unit.
Ce connecteur Sub-D dispose de ponts internes pour libérer la commande de vanne.
Sinon, les vannes ne s'ouvrent pas.
27
Fiche technique
Broche Description
1
V1
2
V2
3
V3
4
GND
5
GND
6
GND
7
GND
8
GND
9
GND
5
1
9
6
D-Sub 9 pôles
BRU 220
Vue arrière de la BRU 220
L'unité de commande du système (Base Rack Unit) offre la possibilité d'intégrer le SPM
220 dans une commande existante (p. ex. une commande programmable). Le
raccordement s'effectue au niveau du connecteur D-Sub « User ». Le verrouillage du
chauffage, de l'appareil et de vanne peut être actionné. Grâce au pontage des broches
sur cette entrée, les verrouillages de l'installation complète, de la commande de vanne
ainsi que de la chemise chauffante peuvent être réalisés (voir le chapitre « Représentation
schématique de la BRU », page 51). L'activation d'un verrouillage s'effectue grâce à un
pontage simple entre la broche correspondante et « User » avec 24 V CC.
28
Fiche technique
En plus de la possibilité de verrouillage externe, le signal de statut « Ready » est
disponible au niveau du connecteur « User ». Des connexions à des affichages externes
peuvent alors être réalisées. Les deux contacts du signal « Ready » sont reliés via un
relais interne si 80 % du régime nominal de la turbopompe HiPace 80 sont atteints (voir
le chapitre « Représentation schématique de la BRU », page 51).
La tension maximale pour les appareils d'affichage externe qui peuvent être activés via
le signal « Ready » est de 60 V, le courant maximal ne doit pas dépasser 1 A.
5
User
9
6
Broche Description
1
Ready
2
Ready
3
24 V CC
4
24 V CC
5
24 V CC
6
GND
7
Verrouillage de vanne
8
Verrouillage de l'appareil
9
Verrouillage du chauffage
1
D-Sub 9 pôles
REMARQUE
Pour mettre en service le SPM 220, tous les verrouillages doivent être activés. Si vous
utilisez le SPM 220 sans appareil/commande externe, insérez le connecteur « User »
fourni dans la douille correspondante. Ce connecteur Sub-D dispose de ponts internes
pour les trois verrouillages.
29
Systèmes d'admission de gaz
6
Systèmes d'admission de gaz
Le SPM 220 peut être fourni en option avec une vanne de sécurité à commande
électropneumatique de type SVV 040 PM.
PT M5x x6x
PT M5x x7x
aucun système d'admission
SVV 040 PM
6.1 SVV 040 PM, à commande électropneumatique
Fonction
L'interface de vanne se compose d'1 vanne.
Avec la vanne de sécurité SVV 040 PM, le SPM 220 peut être séparé de la chambre de
processus en cas de défaut ou de remontée de pression trop importante. Ainsi, le
spectromètre de masse et le système de pompage sont protégés efficacement.
p<10-5 mbar
Prozesskammer
PrismaPlusTM
SVV 040
HiPace 80
MVP 020
Commande de vanne
La vanne V1 (SVV 040 PM) est commandée par le Valve Control Unit. La commande est
effectuée par le PrismaPlus™. Le logiciel Quadera ouvre et ferme la vanne en activant
les sorties numériques correspondantes.
Occupation des sorties : (voir également la section "IO 220 Digital I/O », page 23 ou
"VCU 220 », page 25)
DO 16
V1
Le réglage des sorties numériques dans le logiciel Quadera peut être effectué au choix
via le projet de mesure « IO220.qmt » ( [1]) ou l'extension Quadera fournie
« HPA_SPM_Valve_Control ».
Des informations sur l'installation de l'extension se trouvent dans le fichier
« Readme.txt » sur le CD d'installation de l'extension fourni.
30
Systèmes d'admission de gaz
Pour exécuter l'extension, lancez le Add-In Manager ( [1]) et sélectionnez
« HPA_SPM_Valve_Control ».
Fig. : Gestionnaire d'extension (Add-In Manager) du logiciel Quadera (l'illustration est fonction de
l'extension installée)
Une fois lancé, une fenêtre s'ouvre pour demander de choisir entre une opération
manuelle ou externe.
Fig. : Fenêtre de sélection d'opération manuelle/externe
Si vous sélectionnez « External », les relais du VCU commutent toutes les vannes
sur une commande externe via le connecteur multiple « External ». (voir "VCU 220 »,
page 25)
Si vous sélectionnez « Manual (using GUI) », la vanne peut être ouverte ou fermée
uniquement dans la fenêtre suivante via les boutons de commande correspondants.
Fig. : Opération manuelle des vannes
L'extension surveille en interne la pression totale dans l'enceinte du SPM et ferme la
vanne V1 à une pression >1x10-4 mbar.
31
Systèmes d'admission de gaz
L'extension reste active en arrière-plan également si la fenêtre relative à la commande
de vanne est fermée. Pour afficher à nouveau la fenêtre de commande, lancez la macro
« Show_Valve_Control »
Fig. : Gestion macro dans logiciel Quadera
Informations relatives au lancement de macros : [1]
32
Mise en service
7
Mise en service
DANGER
Produit endommagé
La mise en service d'un produit endommagé peut représenter un risque pour la vie.
 En cas de dommages visibles, sécurisez le produit contre un fonctionnement
involontaire.
REMARQUE
Attention : composants pour le vide
L'encrassement et les dommages altèrent le fonctionnement des composants pour
le vide.
 Lors de la manipulation de composants pour le vide, respectez les réglementations
en matière de propreté et de protection contre les dommages.
7.1 Mise en service QME
DANGER
Des tensions dangereuses allant jusqu'à 330 VCC sont appliquées au niveau du
système d'électrodes du QMA 200 pendant le fonctionnement.
D'autres pièces incorporées dans la chambre à vide (p. ex. tubes de mesure) peuvent
ainsi être éventuellement alimentées dans des conditions défavorables. Si ce type de
pièces représente un danger d'électrocution (tenir également compte des conduites et
des appareils raccordés !), elles doivent être disposées et protégées de sorte
d'empêcher tout contact, tout éclat et tout flux de porteurs de charge.
S'il est possible de toucher le QMA 200 en cas d'installation de vide ouverte, une
protection supplémentaire doit être prévue, p. ex. :
• Protection mécanique contre le contact.
• Séparation forcée de la tension secteur du câble « PrismaPlus » à l'ouverture de
l'installation.
DANGER
Risque de dommages électroniques et de résultats de mesure erronés.
Le système d'électrodes de la QME ne doit pas être alimenté avec des tensions
extérieures (dues à un contact, des éclats, au plasma, aux faisceaux d'ions ou
d'électrons, etc.).
 Prenez les mesures préventives appropriées, comme p. ex. une meilleure
disposition, un blindage, une mise à la terre, etc.
DANGER
Tensions dangereuses représentant un danger d'électrocution
Les tensions au niveau du QMA représentent un risque pour la vie.
 La bride de l'analyseur doit être vissée avec les 6 vis électroconductrices à l'appareil
à vide mis à la terre conformément aux instructions.
33
Mise en service
AVERTISSEMENT
Si la bride de montage n'est pas mise à la terre, la bride de la QME (vis de mise à la
terre M4) doit être reliée à la terre au moyen d'une ligne de mise à la terre séparée.
 Pour cette ligne de mise à la terre, utilisez les torons en cuivre jaune-vert ou
dénudés :
• 2,5 mm2 si protection mécanique (selon DIN VDE 1120 T540)
• 4,0 mm2 sans protection.
AVERTISSEMENT
Risque d'encrassement du filament
En cas de fuite ou d'installation incorrecte du QMA, des dépôts peuvent apparaître sur
l'analyseur en raison des gaz entrants.
 La QME doit être correctement installée conformément à la technique de vide, c'està-dire que les gaz à détecter doivent avoir un accès libre à l'analyseur.
Installation
mécanique
DANGER
Tensions dangereuses représentant un danger d'électrocution
La mise à a terre de la QME s'effectue exclusivement au moyen de la bride du QMA
 Le QMA doit être fixé uniquement sur une QME correctement installée.
 Desserrez les deux vis de la pièce en plastique noire du QMA à l'aide d'une clé mâle
coudée pour vis à six pans creux de 4 mm jusqu'à ce que la pièce mobile présente
un jeu de 2...3 mm.
 Insérez la QME avec précaution jusqu'au repère rainuré sur le QMA déjà monté.
Veillez au positionnement correct au niveau de la QME à l'aide de la languette de
mise à la terre et de l'écrou-guide sur le QMA. Pour ce faire, ne forcez pas trop sur
les éléments.
 Serrez correctement les deux vis à six pans creux. Ces vis servent à fixer
mécaniquement la QME et à assurer la sécurité électrique grâce au contact à
la terre.
34
Mise en service
Raccordement
électrique
DANGER
Attention : tension secteur
Des produits dont la mise à la terre n'est pas effectuée de manière appropriée peuvent
représenter un risque pour la vie en cas de dysfonctionnement.
 Raccordez et mettez à la terre le produit conformément aux prescriptions locales !
AVERTISSEMENT
Toutes les connexions électriques doivent être soulagées de tension.
 Posez le câble de commande à une distance suffisante des sources de
dérangement.
REMARQUE
Pour des raisons de compatibilité électromagnétique, un point de mise à la terre central
unique est expressément recommandé pour tous les appareils couplés (groupe de
pompage, SPM , ordinateur, instruments d'enregistrement, etc.). Une prise multiple ou
mieux, un distributeur d'électricité commun avec interrupteur secteur, peut facilement
satisfaire à cette recommandation.
Raccorder le PC
 Ouvrez la boîte du logiciel fourni Quadera.
 Sortez le câble fourni.
 Etablissez la connexion entre le PrismaPlus et le PC.
PC
Installer le logiciel
 Allumez l'ordinateur et installez le logiciel Quadera fourni.
7.2 Mise en service SPM
Installation
mécanique
Le SPM est prévu pour un montage direct à une bride CF40. Veuillez vous assurer
qu'aucune force mécanique n'agit sur l'appareil, à l'exception de son propre poids.
Veillez à une pose correcte de tous les câbles et conduites.
35
Mise en service
REMARQUE
Nous recommandons de supporter l'ensemble du système sous la HiPace 80 ou le
VCU 220 (selon l'option).
Veillez à un positionnement sûr de l'appareil.
Pour l'option avec vanne à commande électropneumatique, de l'air comprimé est
nécessaire. Un raccord fileté 1/8" est disponible sur cette vanne pour la connexion avec
le système à air comprimé. Etablissez cette connexion avant la mise en service.
Lors de l'installation de la BRU, veillez à une bonne visibilité et accessibilité des
éléments de commande.
Raccordement
électrique
DANGER
Attention : tension secteur !
Des produits dont la mise à la terre n'est pas effectuée de manière appropriée peuvent
représenter un risque pour la vie en cas de dysfonctionnement.
Accédez dans l'installation uniquement si l'alimentation électrique est débranchée.
 Raccordez et mettez à la terre le produit conformément aux prescriptions locales !
AVERTISSEMENT
Toutes les connexions électriques doivent être soulagées de tension.
 Posez le câble de commande à l'écart des sources de perturbation.
Connectez tous les connecteurs de la BRU, du PrismaPlus™, du contrôleur de la
turbopompe HiPace 80 ainsi que de la pompe à diaphragme MVP 020, en fonction des
inscriptions sur les câbles fournis. Reliez la BRU 220 à la tension secteur seulement à
la fin, avec l'appareil mis hors tension (connecteur « Main ), à l'aide du câble pour
appareils froids fourni.
Procédez comme suit :
• Reliez la sortie « Valves 24V DC » de la BRU avec l'entrée « 24V DC » de
l'appareil de commande de vanne du SPM . Utilisez le câble portant l'inscription
« Valves 24V DC ».
36
Mise en service
• Reliez la sortie « PrismaPlus » de la BRU à l'entrée 24 V du PrismaPlus™. Utilisez le
câble portant l'inscription « PrismaPlus ».
• Reliez la sortie « Diaphragm Pump » de la BRU à l'entrée secteur de la MVP. Utilisez
le câble portant l'inscription « MVP ».
• Reliez la sortie « Turbo Pump » de la BRU à la commande de turbopompe avec le
connecteur D-Sub 15 pôles. Utilisez le câble portant l'inscription « Turbo Pump ».
• Reliez la sortie « A2 » de l'unité de commande de la turbopompe à l'entrée de contrôle
de la MVP. Utilisez le câble portant l'inscription « MVP I/O ».
37
Mise en service
• Reliez la sortie « DO1 » du contrôleur de la turbopompe sur la face supérieure du
connecteur D-Sub à l'entrée « Switch Point » de la BRU. Utilisez le câble portant
l'inscription « Switch Point ».
• Reliez la prise « Digital I/O » du PrismaPlus™ à l'entrée « PrismaPlus » du VCU.
Utilisez le câble portant l'inscription « Digital I/O ».
• Reliez le tube de mesure au PrismaPlus™. Utilisez le câble portant l'inscription
« Gauge ».
• Reliez la sortie « Valves » de l'appareil de commande de vanne à la vanne V1 pour le
PT M5x x7x (SVV 040, électropneumatique)
38
Mise en service
• Reliez le connecteur A1 au ventilateur sur le côté de la turbopompe. Utilisez le câble
portant l'inscription « Fan ».
• Reliez la vanne de ventilation sur le côté de la turbopompe avec le connecteur « B1 ».
Celui-ci se trouve sur les contrôleurs des turbopompes. Utilisez le câble
« venting valve ».
• Reliez la vanne de gaz de balayage sur le côté de la turbopompe avec le connecteur
« B2 ». Celui-ci se trouve sur les contrôleurs des turbopompes. Utilisez le câble
« venting valve ».
•
Si vous utilisez le SPM 220 sans appareil/commande externe, insérez le connecteur
« User » fourni dans la douille correspondante de l'unité de commande du système
(Base Rack Unit).
39
Mise en service
• Si vous utilisez l'appareil de commande de vanne (Valve Control Unit) sans
commande externe, insérez le connecteur « External » fourni dans la douille
correspondante de l'appareil de commande de vanne (Valve Control Unit).
• Pour les options avec chauffage, reliez-les avec la sortie « Heater » de la BRU.
Raccordez également l'alimentation en courant de la chemise chauffante à l'appareil
de commande.
40
Opération
8
Opération
AVERTISSEMENT
Respectez en permanence les valeurs limites et les conditions d'environnement
indiquées dans les fiches techniques !
DANGER
Attention : tension secteur !
En cas de défaut, l'ensemble de l'appareil peut être sous tension.
 Le connecteur de réseau doit être inséré uniquement dans une prise avec contact de
protection.
 Utilisez uniquement un câble d'alimentation à trois pôles adapté avec raccordement
approprié à la terre de protection. L'effet de la protection ne doit pas être annulé par
un câble prolongateur sans conducteur de protection.
8.1 Eléments d'affichage et de commande de la BRU 220
2
3
4
5
1
6
Pos. Description
1
Interrupteur Marche/Arrêt pour l'ensemble du système
2
Indication de la tension d'alimentation 24 VCC pour les pompes
et le PrismaPlus™ : prêt
3
Etat du PrismaPlus™ : allumé si l'interrupteur est positionné sur
ON et la turbopompe sur Vitesse finale
4
Interrupteur Marche/Arrêt du PrismaPlus™
5
Etat du chauffage : allumé si l'interrupteur est positionné sur ON
et la turbopompe sur Vitesse finale
6
Interrupteur Marche/Arrêt du chauffage
8.2 SPM 220
 Insérez le connecteur de réseau
 Le SPM 220 est mis en circuit par l'interrupteur principal sur la face avant de l'unité de
commande du système.
La pompe à diaphragme démarre automatiquement et évacue les enceintes. La
turbopompe démarre aussi automatiquement.
41
Opération
Dès que 80 % du régime nominal sont atteints, le relais K1 est activé (cf. Représentation
schématique de la BRU, page 51). Le PrismaPlus™ et le chauffage peuvent être mis en
circuit à partir de ce moment. Les interrupteurs correspondants se trouvent sur la face
avant de l'unité de commande du système.
Les affichages à LED de chaque interrupteur signalent l'état de sortie actuel de l'appareil
correspondant.
En option :
Si vous ne souhaitez pas que la turbopompe démarre automatiquement, dès que l'unité
de commande du système est mise en circuit, vous pouvez effectuer ce réglage
directement sur la turbopompe. Pour ce faire, reliez la pompe à un ordinateur à l'aide du
câble adaptateur RS485-USB fourni. Utilisez le logiciel TurboViewer pour pouvoir
effectuer d'importantes modifications au niveau de la pompe. Veuillez consulter le mode
d'emploi du logiciel TurboViewer pour d'autres informations.
Avec l'option « DCU », tous les réglages de la turbopompe peuvent également être
effectués au niveau de la façade du DCU intégré dans la BRU 220. [7]
8.3 Commande de vanne
Pour la variante du SPM 220 avec vanne de sécurité électropneumatique, la vanne est
commandée par le biais d'une sortie numérique du PrismaPlus et le VCU 220. Dans ce
cas, l'opération s'effectue à l'aide du logiciel Quadera. Depuis l'interface du programme,
la commande de la vanne peut en outre être réglée sur « commande externe ». Ainsi,
l'appareil peut être intégré dans une commande supérieure (p. ex. commande
programmable). Pour l'option TPG, la commande peut être réalisée en mode externe via
le câble
de commande 15 pôles fourni (réf. PT 165 062-T) par le biais du TPG. Dans ce cas, les
valeurs seuils pour l'ouverture/la fermeture de la vanne V1 peuvent être réglées
directement sur le TPG.  [13]
8.4 Mesure
La mesure est effectuée avec le PrismaPlus™ via le logiciel Quadera. Pour plus
d'informations, veuillez lire les instructions d'utilisation du logiciel Quadera fourni. [1]
8.5 Pompe à diaphragme en mode intermittent
Pour augmenter les périodes d'immobilisation des diaphragmes, il est possible
d'exploiter la pompe à diaphragme en mode intermittent avec l'entrée fermée durant les
périodes où aucune mesure n'est effectuée. Pour ce faire, la turbopompe active et
désactive automatiquement la pompe à diaphragme grâce à son électronique TC 110
RS. Pendant une mesure, la pompe à diaphragme doit fonctionner en continu.
Pour activer le mode intermittent, le paramètre 025 - OpMode BKP - doit être réglé sur
'1' via le logiciel TurboViewer.
8.6 Conditionnement du système à vide
Lors du dégazage de l'enceinte (avec chemise chauffante en option), le support du
système peut réduire fortement, et ainsi améliorer la sensibilité de détection pour les gaz
condensables. Pendant le dégazage, le C-SEM doit être mis hors circuit et le système
d'admission fermé. La source d'ions doit rester en service avec un faible courant
d'émission (< 0,3 mA). En cas de charge de gaz faible, la pompe à diaphragme peut
fonctionner pendant le dégazage en mode intermittent (voir 8.5 "Pompe à diaphragme
en mode intermittent").
42
Opération
8.7 Mise hors circuit
 Si cela n'a pas encore été réalisé, désactivez le filament du PrismaPlus via le logiciel
Quadera. Séparez la connexion vers l'appareil et fermez le logiciel Quadera [1]
 Mettez hors circuit le chauffage et le PrismaPlus™ avec les interrupteurs
correspondants sur la face avant de l'unité de commande du système.
 Mettez l'appareil hors circuit à l'aide de l'interrupteur principal. Pour préserver les
filaments, nous recommandons de mettre l'appareil hors circuit 15 minutes après la
mise hors circuit du PrismaPlus™.
 Si les vannes ne sont pas encore fermées, fermez-les à ce moment.
Après la mise hors circuit au niveau de l'interrupteur principal, la turbopompe s'arrête
automatiquement.
Dès que la vitesse de rotation chute en dessous de 50 %, la vanne de ventilation
s'ouvre automatiquement et démarre le processus de ventilation.*
*
Ce réglage est celui réglé à la livraison. En cas de modification des réglages de la
turbopompe via le logiciel TurboViewer ou le DCU, le comportement de la ventilation
automatique peut changer. ( [6] ; [7] ; [12])
43
Entretien / Service après-vente
9
Entretien / Service après-vente
Pfeiffer Vacuum vous propose un service après-vente haut de gamme.
• Changement de fluide d'exploitation et remplacement des paliers sur place, grâce à
notre SAV de terrain (FieldService)
• Maintenance / Réparation dans un ServiceCenter ou ServicePoint proche de chez vous
• Remplacement rapide par des produits de rechange à l'état neuf
• Conseils sur la solution la plus avantageuse et la plus rapide
Informations détaillées, adresses et formulaires à l'adresse suivante : www.pfeiffervacuum.de (Service).
Maintenance et réparation au ServiceCenter Pfeiffer Vacuum
Pour le bon déroulement et la rapidité du processus, veuillez vous conformer à la
procédure suivante :
 Téléchargez la demande de service-après-vente ainsi que la déclaration de
contamination.1)
 Remplissez la demande de service après-vente et envoyez-la par fax ou courrier
électronique à l'adresse de votre service après-vente Pfeiffer Vacuum.
 Joignez à l'envoi la confirmation de la demande de service après-vente de
Pfeiffer Vacuum.
 Remplissez la déclaration sur la contamination et joignez-la obligatoirement à l'envoi.
 Démontez tous les accessoires.
 Laissez la commande électronique d'entraînement sur la pompe.
 Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine.
 Envoyez la pompe / l'appareil de préférence dans son emballage d'origine.
Envoi de pompes / appareils contaminés
Les appareils contaminés (microbiologiquement, substances explosives ou
radioactives) sont systématiquement refusés. Les « substances toxiques » sont les
substances et composés chimiques visés dans la version actuellement en vigueur de
l'Ordonnance sur les matières dangereuses. Pfeiffer Vacuum réalise systématiquement
une décontamination aux frais du client sur les pompes contaminées ou en l'absence de
déclaration sur la contamination.
 Neutralisez la pompe en la rinçant avec de l'azote ou de l'air sec.
 Obturez toutes les ouvertures pour les rendre étanches à l'air.
 Conditionnez la pompe / l'appareil sous une feuille de protection adaptée et scellée.
 Renvoyez la pompe / l'appareil uniquement dans un conteneur de transport approprié
et robuste, en respectant les conditions de transport applicables.
Unités de remplacement
Les unités de remplacement livrées se trouvent toujours sur les paramètres de travail
standard réglés en usine. Si votre application fonctionne avec des réglages
personnalisés, vous serez amené à régler à nouveau ces unités.
Commandes de service après-vente
Toutes les commandes de service après-vente sont exécutées exclusivement selon nos
conditions de réparation, applicables aux appareils et composants sous vide.
1)
44
Formulaires sous www.pfeiffer-vacuum.com
Entretien / Service après-vente
9.1 QME
La filtre à poussières au niveau de l'admission d'air doit être nettoyé dès qu'une couche
nettement visible s'est accumulée. Utilisez un aspirateur pour éliminer la poussière du
filtre. Pour ce nettoyage, la QME peut rester sur le QMA.
Pour le nettoyage extérieur, un chiffon légèrement humide suffit normalement. N'utilisez
aucun détergent agressif ou abrasif.
Nettoyage
AVERTISSEMENT
Défaut possible de la sécurité de fonctionnement
En cas d'encrassement, le fonctionnement de l'installation complète ne peut plus être
garanti dans certaines conditions.
 N'omettez pas le nettoyage, même si l'intégration de l'appareil rend difficile la
constatation de l'encrassement.
REMARQUE
Pour le nettoyage du boîtier, utilisez exclusivement un chiffon légèrement humide !
Aucun fluide ne doit pénétrer dans le produit. Avant la remise en service, laissez sécher
complètement le boîtier.
Remplacement du
baffle filtrant
Remplacez le baffle filtrant s'il s'est décomposé ou si vous ne parvenez pas à le nettoyer
en suivant les instructions ci-dessus.
 Procédez comme décrit dans le mode d'emploi du PrismaPlus™.  [2]
Adaptation du
générateur HF
« TUNE »
Lors de la première mise en service, en cas de changement d'analyseur (en particulier
de Faraday à Channeltron) ou en cas d'affichage du message d'erreur correspondant
sur l'écran, le circuit HF doit être réajusté.
Le réajustement correct améliore la précision sur tout le domaine de masse. Par
conséquent, un contrôle annuel est recommandé.
 Procédez comme décrit dans le mode d'emploi du PrismaPlus™. [2]
Optimiser la
sensibilité des
sources d'ions
Lors de la première mise en service ou après un remplacement de cathode, la sensibilité
de la source d'ions doit être optimisée :
 Sélectionnez la fonction correspondante dans le logiciel QUADERA :
 [1]
 Suivez les instructions du logiciel.
 Enregistrez les données.
Remplacer la QME / le
QMA
Si la QME ou le QMA doit être remplacé, procédez comme lors de l'installation initiale.
 Procédez comme décrit dans le mode d'emploi du PrismaPlus™. [2]
45
Entretien / Service après-vente
9.2 Changer le réservoir du fluide d'exploitation HiPace 80
AVERTISSEMENT
Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour
la santé
Le réservoir du fluide d'exploitation et certaines parties de la pompe peuvent contenir
des substances toxiques provenant des fluides pompés
 Éliminez les réservoirs du fluide d'exploitation en respectant la législation en vigueur.
Fiches de données de sécurité sur demande ou à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.de
 Prenez des précautions de sécurité correspondantes pour empêcher de créer des
risques sanitaires ou de polluer l'environnement en cas de contamination.
 Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance.
Démontez le QMA. Pour ce faire, procédez comme décrit au chapitre 5.1. Installation
mécanique , page 35.
 Desserrez les 4 vis du VCU 220 et enlevez le cache latéral
 Retirez la base du VCU 220 en tirant vers l'arrière
 Desserrez les 4 vis à six pans creux qui fixent la plaque de recouvrement du VCU 220
et la turbopompe HiPace 80 et enlevez la plaque de recouvrement.
 Procédez ensuite comme décrit dans  [6] .
46
Accessoires et pièces de rechange
10 Accessoires et pièces de rechange
10.1 Accessoires et pièces de rechange du PrismaPlus™
 [2]
10.2 Accessoires et pièces de rechange de la HiPace 80
 [6]
10.3 Câble de raccordement
Pos.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
Désignation
Longu
eur
Câble d'interface M12
3m
Câble de raccordement BRU/TC
3m
Câble de raccordement BRU/MVP
3m
Câble adaptateur MVP
0,5 m
Câble adaptateur PKR
0,5 m
Connecteur de verrouillage BRU/User Câble de raccordement BRU/QME
3m
Câble prolongateur M8
3m
Connecteur de verrouillage VCU/
External
Câble de raccordement VCU/PP
Câble d'interface M12
10 m
Câble de raccordement TPS/TC
10 m
Câble de raccordement TPS/MVP
10 m
Flexible de liaison pour MVP
1m
Câble prolongateur BRU/QME
10 m
Câble prolongateur M8
10 m
Câble de raccordement VCU/HPI
Câble de raccordement VCU/DZS
Câble de raccordement TPG/VCU
3m
Câble de raccordement TPG/VCU
10 m
Référence
PM 061-283-T
PM 061 512-T
PM 061 441-T
PM 061 433-X
PT 448 249-T
PT 165 050
PT 165 060-T
PT 061 783-T
PT 165 051
PT165 070-T
PM 061 285-T
PM 061 514-T
PM 061 443-T
P 0988 088
PT 165 061-T
PM 061 785-T
PT 165 073-T
PT 165 072-T
PT 165 062-T
PT 165 063-T
10.4 Accessoires du SPM
Pos.
Désignation
1
2
3
4
5
6
7
8
Vanne de gaz de balayage pour HiPace 80
Programmation VSTA spécifique au client
Chemise chauffante vers enceinte [230 V]
Chemise chauffante vers enceinte [115 V]
DCU 002
Convertisseur USB/RS485
TurboViewer
TPG 261, appareil d'affichage et de commande pour un
tube de mesure ActiveLine
TPG 262, appareil d'affichage et de commande pour deux
tubes de mesure ActiveLine
9
Référence
PM Z01 310
sur demande
PT 165 000-T
PT 165 001-T
PM 061 348-T
PM 061 207-T
PM 061 740
PT G28 030
PT G28 280
47
Mise hors service
11 Mise hors service
11.1 Immobilisation prolongée
AVERTISSEMENT
Contamination de pièces et de fluides d'exploitation par les fluides pompés !
Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la
santé.
 Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité
correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses.
 Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance.
Si le système doit être immobilisé pour une durée supérieure à 1 an :
 Le cas échéant, démontez le SPM 220 de l'installation.
 Enlevez la turbopompe de l'enceinte.
 Remettez à l'air les enceintes avec l'analyseur monté et le tube de mesure à l'aide
d'un gaz de protection sec et obturez avec une bride d'obturation.
 Changez le réservoir du fluide d'exploitation de la turbopompe.
 Ne stockez le système que dans des locaux fermés, à une température comprise
entre +5 °C et +40 °C.
 Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive : enfermez le système dans un
sac en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet d'agent de
séchage.
11.2 Remise en service
ATTENTION
Remise en service
Sur un matériel ne servant pas, le fluide d'exploitation de la turbopompe est utilisable
4 ans maximum. Avant la remise en service consécutive à une immobilisation de 4 ans
ou plus, effectuez les travaux suivants :
 Changez le réservoir du fluide d'exploitation.
 Faites remplacer les paliers.
 Tenez compte des consignes de maintenance puis prévenez le SAV Pfeiffer Vacuum.
 Vérifiez l'encrassement et l'humidité de l'ensemble du système.
 Nettoyez les surfaces extérieures de l'ensemble du système avec un chiffon non
pelucheux, additionné d'un peu d'alcool industriel.
 Le cas échéant, confiez le nettoyage complet de la turbopompe au SAV Pfeiffer
Vacuum.
 Enlevez toutes les brides d'obturation.
 Installation et mise en service conformément au mode d'emploi.
48
Elimination
12 Elimination
DANGER
Attention : pièces contaminées
Les pièces contaminées peuvent présenter des risques sanitaires.
Avant d'effectuer les travaux, informez-vous sur une contamination éventuelle. En cas
de manipulation de pièces contaminées, respectez les prescriptions applicables et les
mesures préventives correspondantes.
ATTENTION
Attention : substances dangereuses pour l'environnement
Les composants électroniques doivent être éliminés selon une procédure spéciale.
Eliminez les substances dangereuses pour l'environnement conformément aux
prescriptions locales.
ATTENTION
Attention : substances dangereuses pour l'environnement
Dans certaines conditions, les produits, le fluide d'exploitation, etc. doivent être éliminés
selon une procédure spéciale.
Eliminez les substances dangereuses pour l'environnement conformément aux
prescriptions locales.
Tri des composants
Après le démontage du produit, les composants doivent être triés selon les catégories
suivantes pour l'élimination :
Composants contaminés
Composants non
contaminés
Les composants contaminés (radioactifs, toxiques,
caustiques, microbiologiques, etc.) doivent être
décontaminés conformément aux prescriptions nationales,
triés en fonction de leur nature (type de matériau) et
éliminés.
Ces composants doivent être triés selon leur nature (type de
matériau) et déposés au recyclage.
13 Dysfonctionnements
Si des dysfonctionnements se produisent au niveau du SPM 220, vous trouverez dans
le tableau suivant des causes possibles et des instructions pour y remédier.
13.1 Dépannage
Problème
Cause possible
Dépannage
Sur l'appareil mis en circuit, la LED 24 VCC ne s'allume
pas ; aucune fonction possible
Alimentation en courant
interrompue
Contrôlez le câble d'alimentation
Le fusible d'appareil de la Contrôlez le fusible et remplacez-le
BRU 220 s'est déclenché
Tension de
fonctionnement
incorrecte
Appliquez une tension de fonctionnement
correcte
Tenez compte de la plaque signalétique
Bloc d'alimentation
TPS 311 défectueux
Remplacez le bloc d'alimentation,
informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
49
Dysfonctionnements
Problème
Cause possible
Dépannage
Le système de pompage ne démarre pas
Le groupe de pompage
n'est pas mis en circuit
Mettez le groupe de pompage en circuit à
l'aide du logiciel TurboViewer ou du DCU 002
La contre-fiche « User » Contrôlez la contre-fiche
au niveau de la BRU 220 Contrôlez le câblage
n'est pas insérée ou
câblée correctement
Câblage défectueux
Le système de pompage n'atteint pas sa vitesse finale ou Vanne d'entrée ouverte
sa pression finale
Présence de condensat
dans la pompe primaire
Impossible de mettre le PrismaPlus™ en circuit (la
LED d'état reste éteinte)
Les vannes électropneumatiques ne se mettent pas en
circuit
Contrôlez le câble de raccordement, voir la
section 7.2 "Mise en service SPM"
Fermez la vanne d'entrée
Ouvrez la soupape à lest d'air au niveau de la
MVP 020-3
Soupape à lest d'air
ouverte
Fermez la soupape à lest d'air au niveau de la
MVP 020-3
Fuites
Contrôlez le système à la recherche de fuites
La turbopompe n'a pas
encore atteint sa vitesse
finale
Patientez pendant la montée en régime
Le système de pompage
n'atteint pas sa pression
finale
Voir la description du problème « Le système
de pompage n'atteint pas sa vitesse finale ou
sa pression finale »
Réglages incorrects dans Contrôlez les réglages dans le programme
le programme
« Valve Control »
« Valve Control »
La contre-fiche « User » Contrôlez la contre-fiche
au niveau de la BRU 220 Contrôlez le câblage
n'est pas insérée ou
câblée correctement
Mauvais réglage du point Réglez correctement le point de commutation
de commutation au
niveau de l'appareil de
commande de la pression
totale TPG 26x
Impossible de mettre le chauffage en circuit (la LED
d'état reste éteinte)
Air comprimé absent ou
trop faible
Contrôlez l'alimentation en air comprimé
La turbopompe n'a pas
encore atteint sa vitesse
finale
Patientez pendant la montée en régime
Le système de pompage
n'atteint pas sa vitesse
finale
Voir la description du problème « Le système
de pompage n'atteint pas sa vitesse finale ou
sa pression finale »
L'élimination des dysfonctionnements des composants individuels est régie par les consignes du mode
d'emploi correspondant.
En cas de questions, contactez le SAV Pfeiffer Vacuum.
50
Annexe
14 Annexe
14.1 Schémas fonctionnels
Représentation
schématique de
la BRU
S1
V1 open/close >
V2 open/close >
PE
Heater
(Option)
K4
Switch heater
on/off
K1
TPS 311
K4
24 VDC out
< 100-240 VAC, switched
Switch on/off
PrismaPlus
24 VDC
K1
24V Prisma+ switched
GND
S2
24 V Valves, switched
Valves
24 VDC
K3
Turbo rotation switching point
Switchpoint
S3
Prisma
Plus
Main
Heater
100-240 VAC
TPG 26x
(Option)
TPG/relay
Gate valve open/close >
Switch Main
on/off
Heater
K2
K1
Global interlock
PE
Valve interlock
Ready
DCU 002
(Option)
K1
RS485
RS485
User
K3
24 VDC turbo, switched
GND
GND
Turbo
K2
+24 VDC
24 VDC MVP
GND
V3 open/close
V1 open/close
GND
Valves
GND
Digital I/O
V2 open/close
Représentation
schématique du VCU
MVP
PE
PE
*
DO 1-13
*
*
*
PrismaPlus
DI1-4*+ external protection
K5
K5
V1 open/close (DO16)
K6
K6
V2 open/close (DO15)
K7
K7
V3 open/close (DO14)
24 VDC for DI+DO
24 VDC in
V2 open/close
V1 open/close
Gate valve open/close
24 V Valves, switched
GND
GND
External
*dependining on option DI1/DI2/DI3 may by connected to V1/V2/V3
24 VDC
GND
signals
51
Annexe
14.2 Bibliographie
 [1] www.pfeiffer-vacuum.com
Quadera Help (contient le CD-R)
Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne
 [2] www.pfeiffer-vacuum.com
Mode d'emploi
Spectromètre de masse compact PrismaPlus QMG220
BG5214BFR
Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne
 [3] www.pfeiffer-vacuum.com
Instructions pour la communication
Prisma™ QMS 200
BG5215BFR
Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne
 [4] www.pfeiffer-vacuum.com
Informations complémentaires pour les turbopompes avec TC 600 et TC 750
Commande électronique d'entraînement TC 600/TC750
PT0204BFR
Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne
 [5] www.pfeiffer-vacuum.com
Mode d'emploi
Pompe à diaphragme MVP 020
PK0217BFR
Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne
 [6] www.pfeiffer-vacuum.com
Mode d'emploi
HiPace 80
PT0208BFR
Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne
 [7] www.pfeiffer-vacuum.com
Mode d'emploi
Appareil d'affichage et de commande DCU 002/110/180/310/400
PT0250BFR
Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne
 [8] www.pfeiffer-vacuum.com
Mode d'emploi
Vanne de remise à l'air TSF 012
PT0228BFR
Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne
52
Annexe
 [9] www.pfeiffer-vacuum.com
Mode d'emploi
Tube de mesure compact PKR 251
BG5155BFR
http://www.pfeiffer-vacuum.de/produkte/messgeraete/activeline/container.action
 [10] www.pfeiffer-vacuum.de
Mode d'emploi
Vanne de régulation entièrement métallique UDV 040
BP5003BFR
Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne
 [11] www.vatvalve.com
Mode d'emploi
Palette Mini UHV
Vanne RGA
250986DA
VAT Vakuumventile AG CH-9469 Haag, Suisse
 [12] www.vatvalve.com
Mode d'emploi
Vanne RGA line of sight
Tournée de 90°
Gamme 010, DN 40
250987DA
VAT Vakuumventile AG CH-9469 Haag, Suisse
 [13] www.pfeiffer-vacuum.com
Mode d'emploi
Tube unique TPG 261
Appareil de mesure et de commande monocanal
BG5195 BFR
Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne
 [14] www.pfeiffer-vacuum.com
Convertisseur USB/RS485
PM 061 207-T
Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne
53
Déclaration sur la contamination des appareils sous vide
et de leurs composants
Téléchargement du formulaire sous www.pfeiffer-vacuum.com
1
Déclaration de conformité
selon la directive CE :
• Directive Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A)
• Directive CEM 2004/108/CE
• Directive relative au matériel électrique 2006/95/CE
Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous est conforme à
l'ensemble des dispositions applicables de la directive européenne sur les machines
2006/42/CE.
Le produit mentionné ci-dessous est en outre conforme à l'ensemble des dispositions
applicables de la directive européenne 2004/108/CE concernant la compatibilité
électromagnétique.
Par ailleurs, le produit est conforme, dans des limites de tension définies, à l'ensemble
des dispositions applicables de la directive européenne 2006/95/CE relative au matériel
électrique.
Le représentant autorisé pour la constitution du dossier technique est M. Dr Falk
Braunschweig, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar.
Sputter Process Monitor
SPM 220
Directives appliquées, normes harmonisées et normes et spécifications nationales
appliquées :
EN ISO 12100-1
EN ISO 12100-2
EN1012-2
EN61010-1
EN 61326-1
Signatures :
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(M. Bender)
Directeur
(Dr M. Wiemer)
Directeur
CE/2011
Leading. Dependable.
Customer Friendly
Pfeiffer Vacuum stands for innovative and custom
vacuum solutions worldwide. For German engineering art,
competent advice and reliable services.
Ever since the invention of the turbopump, we´ve
been setting standards in our industry. And this claim
to leadership will continue to drive us in the future.
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Headquarters
Tel.: +49 (0) 6441 802-0
[email protected]
www.pfeiffer-vacuum.com
">