Pfeiffer QMG 800 HiQuad Neo Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
QMG 800 HIQUAD® NEO
Système de spectromètre de masse quadripole
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau système
de spectromètre de masse est conçu pour vous donner entière satisfaction pour votre
application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. Le nom
Pfeiffer Vacuum représente une technique du vide de haute qualité, se décline en une
gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client
irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude
d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité
personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l’utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse [email protected].
Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel de l’utilisateur décrit l’ensemble des modèles et variantes de votre produit.
Veuillez noter qu’il est possible que votre produit ne dispose pas de toutes les
caractéristiques d’équipement décrites dans ce document. Pfeiffer Vacuum adapte en
permanence et sans avis préalable ses produits afin qu’ils soient à la fine pointe de la
technologie. Veuillez prendre en compte qu’il y avoir des divergences entre le manuel de
l’utilisateur en ligne et la manuel de l’utilisateur imprimé fourni avec votre produit.
En outre, Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité ou obligation pour tout dommage
résultant de l’utilisation du produit en contradiction avec son utilisation conforme à l’usage
prévu ou en cas d’utilisation explicitement définie comme étant une mauvaise utilisation
prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/70
Table des matières
Table des matières
1
Au sujet de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Étiquettes sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque de commerce
7
7
7
7
7
8
8
8
8
8
9
2
Sécurité
2.1 Information générale sur la sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Utilisation conforme à l’usage prévu
2.5 Utilisations non conformes prévisibles
2.6 Responsabilité et garantie
2.7 Conditions opérateur
2.8 Qualification personnelle
2.8.1 Garantissez la qualification du personnel
2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
2.9 Conditions opérateur
10
10
10
13
13
14
14
14
14
15
15
15
16
3
Description du produit
3.1 Réalisation du système
3.2 Appareil de commande QMS 800
3.2.1 Châssis système SC 800
3.2.2 Carte contrôleur quadripole QC 800
3.2.3 Alimentation source d’ions IS 816
3.2.4 Alimentation haute tension HT 801
3.2.5 Module entrée/sortie IO 820
3.3 Générateur HF QMH 800-x
3.4 Analyseur QMA 4x0
3.5 Pré-amplificateur électromètre EP 822
3.6 Raccordements
3.6.1 Connecteur I/O ANALOGIQUE vers IO 820
3.6.2 Connecteur I/O NUMÉRIQUE vers IO 820
3.6.3 Connecteurs pour la jauge de pression totale sur IO 820
3.6.4 Connexions sur QC 800
3.6.5 Connexions sur IS 816
3.6.6 Connexions sur HT 801
3.6.7 Connexions sur EP 822
3.7 Câblage du système
3.7.1 Câblage de base pour le type de service Faraday
3.7.2 Câblage pour le mode de fonctionnement 90° SEM
3.8 Identification du produit
3.9 Étendue de la livraison
17
17
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18
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19
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19
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20
20
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21
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27
30
30
30
31
32
32
32
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
34
34
34
5
Installation
35
3/70
Table des matières
5.1
5.2
5.3
5.4
5.5
5.6
5.7
4/70
Installation de tout le système QMG 800
Installation du châssis système
5.2.1 Installation du châssis système en tant que tiroir 19’’
5.2.2 Installation du châssis système en tant qu’unité de bureau
Installation ou remplacement des modules enfichables dans le châssis
système
Installation du pré-amplificateur électromètre EP 822 sur l’analyseur
Installation du générateur HF QMH 800-x
Installation de l’analyseur QMA 4x0
Raccordement du module d’entrée / de sortie IO 820
5.7.1 Câble pour la connexion E/S ANALOGIQUE
5.7.2 Câble pour la connexion E/S NUMÉRIQUE
36
36
37
37
38
38
39
39
39
39
40
6
Mise en service
6.1 Installation de PV MassSpec
6.2 Activation du système
6.3 Système de mise en service avec PV MassSpec
6.4 Utilisation de l’outil de recherche PV MassSpec
41
41
42
42
45
7
Fonctionnement
47
8
Mise hors service
48
9
Maintenance
9.1 Nettoyage de l’appareil de commande et du châssis système
9.2 Nettoyage du ventilateur
9.3 Changement du fusible secteur
49
49
50
51
10
Anomalies
52
11
Expédition
53
12
Recyclage et mise au rebut
12.1 Informations générales sur la mise au rebut
12.2 Élimination du système du spectromètre de masse
54
54
54
13
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
55
14
Informations de commande
14.1 Commande de pièces
14.2 Pièces de rechange et accessoires
14.3 Câbles et prises court-circuit
14.4 Composants du système
57
57
57
58
58
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1 Appareil de commande QMS 800
15.1.1Châssis système SC 800
15.1.2Contrôleur quadripole QC 800
15.1.3Alimentation source d’ions IS 816
15.1.4Alimentation haute tension HT 801
15.1.5Module entrée/sortie IO 820
15.2 Générateur HF QMH 800-x
15.3 Analyseur QMA 4x0
15.4 Pré-amplificateur électromètre EP 822
59
59
59
60
62
63
63
64
64
64
Déclaration de conformité UE
66
Déclaration de conformité UE
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Déclaration de Conformité UK
68
Déclaration de Conformité UK
69
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
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Tab. 9:
Tab. 10:
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Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
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Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Tab. 27:
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Tab. 30:
Tab. 31:
Tab. 32:
Tab. 33:
Tab. 34:
Tab. 35:
Tab. 36:
Documents applicables
Abréviations utilisées
Affectation des broches CTRL
Code de gamme du détecteur
Affectation des broches I/O AUX
Électrodes
Câblage de base pour le type de service Faraday
Câblage pour le mode de fonctionnement 90° SEM
Anomalies
Pièces de rechange et accessoires pour QMS 800
Pièces de rechange pour QMA 4x0
Composants du système
Limites d’utilisation du QMS 800
Fiche technique, SC 800
Fiche technique, QC 800
Modes de fonctionnement et paramètres QC 800
Modes de fonctionnement débit-masse QC 800
Résolution échelle de masse QC 800
Vitesses de mesure QC 800
Types de détecteur QC 800
Gammes et résolution de mesure QC 800
Filtre analogique QC 800
Filtre numérique QC 800
Fiche technique, IS 816
Alimentation filament IS 816
Émission IS 816
Fiche technique, HT 801
Partie haute tension, HT 801
Interfaces analogiques IO 820
Interfaces logiques IO 820
Interface RS-485 IO 820
Connecteur pour la jauge de pression totale IO 820
Types QMH et QMA
Fiche technique, EP 822
Données amplificateur EP 822
Décalage EP 822
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65
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Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
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Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
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Fig. 26:
Fig. 27:
Fig. 28:
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Fig. 30:
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Fig. 37:
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Fig. 42:
Fig. 43:
Fig. 44:
Fig. 45:
Fig. 46:
Fig. 47:
Fig. 48:
6/70
Exemple de configuration du QMG 800
Appareil de commande QMS 800
Châssis système SC 800
Faces avant et arrière du SC 800
Carte contrôleur quadripole QC 800
Alimentation source d’ions IS 816
Alimentation haute tension HT 801
Module entrée/sortie IO 820
Générateur HF QMH 800-x
Analyseur QMA 4x0
Pré-amplificateur électromètre EP 822
Schéma de raccordement IO ANALOGIQUE
Affectation des broches I/O ANALOG
Schéma de raccordement des entrées numériques
Schéma de raccordement des sorties numériques
Affectation des broches I/O NUMÉRIQUE
Affectation de la broche SERIAL GAUGE pour la jauge DigiLine
Affectation de la broche TP GAUGE pour la jauge ActiveLine
Connexions sur QC 800
Affectation des broches CTRL
Affectation de la broche LAN 2
Connexions sur IS 816
Affectation des broches I/O AUX
Affectation des broches QMA
Potentiels ions sur IONREF pos. max. (+150 V), polarité positive
Potentiels ions sur IONREF nég. max. (-150 V), polarité négative
Connexions sur HT 801
Connexions sur EP 822
Câblage de base pour le type de service Faraday
Câblage pour le mode de fonctionnement 90° SEM
Insérer les pieds plastique dans les alésages
Enfoncer les goupilles de serrage
Positions standard des modules enfichables dans le châssis
Raccourci sur le bureau
Démarrage du logiciel PV MassSpec
Ajout de QMG 800 via la configuration du matériel
Ajout de QMG 800 via l’OPC
Saisie de l’adresse IP
Confirmation de l’adresse IP
Fin de la mise en service
Écran principal avec QMG 800 connecté
Modification de l’adresse IP de l’appareil avec l'outil de recherche PV
MassSpec
Saisie de l’adresse IP, du masque de sous-réseau et de la passerelle
Nettoyage du ventilateur
Vue du panneau arrière du SC 800
Dimensions SC 800
Constante de temps de filtrage QC 800
Dimensions EP 822
17
18
18
18
19
19
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65
Au sujet de ce manuel
1 Au sujet de ce manuel
IMPORTANT
À lire attentivement avant utilisation.
Gardez le manuel pour pouvoir le consulter ultérieurement.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l’état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n’apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Manuel de l’utilisateur « générateur haute fréquence » QMH 800-x
BG 6016
Instructions de communication « Spectromètre de masse quadripole »
QMG 800
BG 6017
Manuel de l'utilisateur pour analyseur QMA 4x0
BG 6018
Documentation du logiciel PV MassSpec
Un composant du logiciel
Déclaration de conformité
Un composant de ces instructions
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes :
Référence
Désignation
PT Q25 112 xxx
QMG 800 HiQuad Neo
SEM 217 et EP 822 inclus
PT Q25 121 xxx
PT Q25 132 xxx
PT Q25 312 xxx
PT 168 011
Module entrée/sortie IO 820
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d’apporter des modifications techniques sans préavis.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
1.2
Groupe cible
Ce manuel de l’utilisateur cible toutes les personnes effectuant les activités suivantes sur le produit :
●
●
●
●
●
●
Transport
Configuration (installation)
Utilisation et fonctionnement
Mise hors service
Maintenance et nettoyage
Stockage ou mise au rebut
Seules les personnes avec les qualifications techniques appropriées (personnel expert) ou ayant reçu
la formation pertinente de Pfeiffer Vacuum sont autorisées à effectuer le travail décrit dans ce document.
7/70
Au sujet de ce manuel
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.3
Étiquettes sur le produit
Ce paragraphe décrit toutes les étiquettes sur le produit ainsi que leur signification.
Plaque signalétique
Exemple d’appareil de commande
QMS 800 : Les plaques signalétiques
des composants du système HiQuad
Neo se trouvent sur les composants
respectifs.
SC 800
D-35614 Asslar
Mod.
P/N
S/N
Input
1.3.4
8/70
QMS 800
PT Mxx xxx
Made in United States 2024/03
xxxxxxxxx
100 ... 240 V AC 500 W
Abréviations
Abréviation
Explication
CA
Courant alternatif
AI
Entrée analogique
AO
Sortie analogique
API
Interface de programmation d'application
AUX
Auxiliaire
CD
Dynode de transformation (type de service)
CTRL
Contrôle
CC
Courant continu
DI
Entrée numérique
DIP
Double paquet en ligne
Au sujet de ce manuel
Abréviation
Explication
DO
Sortie numérique
ECL
Logique couplée émetteur
ELM
Sortie filtre LPF
CEM
Compatibilité électromagnétique
ESD
Décharge électrostatique
EP
Pré-amplificateur électromètre
EXT
Externe
FA
Axe de terrain
FB
Bus de terrain
FIR
Réponse à impulsion finie
FS
Échelle max.
GND
Masse
HF
Haute fréquence
HV
Haute tension
IO, I/O
Entrée/sortie
IS
Alimentation en ions
MID
Détection ions multiple
MSL
Niveau moyen de la mer
OPC-UPA
Protocole de communication (Open Platform Communications - Unified Architecture)
PZ
Pozidriv
QC
Contrôleur quadripole
QMA
Analyseur de spectromètre de masse quadripôle
QMH
Générateur de haute fréquence de spectromètre de masse quadripôle
QMS
Appareil de commande spectromètre de masse quadripole
SC
Châssis système
SEM
Multiplicateur d’électrons secondaire
SEM
Multiplicateur d’électrons secondaire
HP
Inclinaison horizontale
PT
Pression totale
TTL
Logique transistor-transistor
USB
Bus universel en série
Tab. 2:
1.4
Abréviations utilisées
Justificatif de marque de commerce
● HiQuad® est une marque déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH.
9/70
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Information générale sur la sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger immédiat
Indique un danger imminent causant la mort ou de graves blessures s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
AVERTISSEMENT
Danger potentiel
Indique un danger pouvant causer la mort ou de graves blessures s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
ATTENTION
Danger potentiel
Indique un danger pouvant causer des blessures bénignes s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
AVIS
Risque de dommages matériels
Est utilisé pour signaler des actions qui ne sont pas associées à des blessures.
► Instructions pour éviter les dommages matériels
Les notes, les conseils ou les exemples correspondent à des remarques importantes sur le
produit ou sur ce document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques pendant l’installation
DANGER
Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur
Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de
l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dangereux au toucher. La tension électrique représente un danger mortel.
► Protégez les pièces installées, les unités raccordées et les lignes contre les connexions galvaniques, les éclats ou le flux porteur de charge.
► Assurez-vous que l’enceinte à vide, le QMA et l’appareillage complet ont toujours une connexion
correcte à la terre protectrice.
► Fournissez une protection supplémentaire si l’utilisateur risque de toucher l’analyseur quand le
système de vide est ouvert.
► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés.
► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système
(par exemple, en utilisant un contact de porte).
10/70
Sécurité
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et le câble d’extension sont conformes aux exigences de
double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes
IEC 61010 et IEC 60950.
► Utilisez seulement un câble d’alimentation à 3 broches et un câble d’extension disposant d’une
mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne connectez le connecteur de réseau que dans une prise disposant d’un contact de mise à la
terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours raccorder le câble de
secteur avant tous les autres.
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez seulement la jauge à des appareils dont la mise à la terre a été effectuée professionnellement.
► Prenez des mesures préventives supplémentaires côté système si des procédés dans le système de vide (comme des éclats) peuvent entraîner des tensions dangereuses sur les raccordements d'appareils.
► Sécurisez la ligne sur la jauge.
Risques pendant le fonctionnement
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
11/70
Sécurité
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments
sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en
service du dispositif.
► Déconnectez toujours l’unité avant d’ouvrir l’alimentation électrique.
► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier).
► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux.
► Protégez le dispositif contre l’humidité.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et la sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux avis pour une livraison en toute sécurité.
12/70
Sécurité
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Utilisation conforme à l’usage prévu
Le système de spectromètre de masse quadripole QMG 800 HiQuad est utilisé pour l’analyse de gaz
dans la gamme de vide élevé. Le module d'entrée / de sortie IO 820 est un module d'entrée et de sortie
numérique et analogique pour l’appareil de commande QMS 800 du spectromètre de masse QMG 800
HiQuad Neo.
13/70
Sécurité
Utilisation du produit conformément à son usage prévu
► L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur.
► Activez seulement le QMS 800 avec le câble QMA correctement connecté.
► Se conformer aux limites d’utilisation.
► Observer la fiche technique.
2.5
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
●
●
●
●
●
●
2.6
Utilisation en dehors des limites prescrites dans la fiche technique
Utilisation pour des mesures déterminant la sécurité de personnes ou de grandes valeurs
Utilisation avec des substances corrosives ou explosives
Utilisation en extérieur
Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société qui exploite le produit ou une partie
tierce :
● ignore ce document
● n’utilise pas le produit pour l’usage prévu
● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante
● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit
correspondante
L’opérateur est responsable du gaz de procédé employé.
2.7
Conditions opérateur
Travail respectueux des normes de sécurité
1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique.
2. Le produit doit être utilisé selon l’usage pour lequel il a été conçu, conformément au mode d’emploi, dans le respect des consignes de sécurité, et en restant conscient des dangers qu’il implique.
3. Observez les recommandations suivantes et surveillez l’observation des recommandations suivantes :
– Utilisation conforme à l’usage prévu
– Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents
– Normes et directives applicables au niveau local, national et international
– Directives et régulations supplémentaires relatives au produit
4. Utiliser exclusivement des pièces d’origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum.
5. Conserver le mode d’emploi accessible sur le lieu d’installation du produit.
6. Garantir la qualification du personnel.
2.8
Qualification personnelle
L’utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l’expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Formez le personnel technique sur le produit.
2. Ne laissez le personnel à former opérer avec et sur le produit que sous la supervision d’un personnel qualifié.
14/70
Sécurité
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, assurez-vous que le personnel engagé a lu et compris ce manuel de l’utilisateur et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la
sécurité, à l’entretien et à la réparation.
2.8.1
Garantissez la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l’installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialiste des travaux électrotechniques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d’ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l’installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l’ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir reçu explicitement l’autorisation d’utilisation afin de
mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les dispositifs, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes avec la formation qui convient peuvent effectuer toutes les opérations relatives au
transport, à l’entreposage, à l’utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces
personnes sont capables d’exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.8.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum offre des formations avancées pour les maintenances niveaux 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance niveau 3
─ Client avec formation à l’entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.8.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contactez le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
15/70
Sécurité
2.9
Conditions opérateur
Analyse des documents et données concernés
1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la
société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements.
2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur.
3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents.
4. Se conformer aux limites d’utilisation.
5. Observer la fiche technique.
6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center.
– Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum.
16/70
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Réalisation du système
Le QMG 800 comprend les composants suivants :
●
●
●
●
Appareil de commande QMS 800 avec 4 pieds plastique1)
Générateur HF QMH 800-x
Analyseur QMA 4x0
Pré-amplificateur électromètre EP 822
Le schéma de bloc suivant montre la réalisation du système basique QMG 800 et les désignations des
modules individuels. De nombreuses configurations sont possibles en fonction de l’application.
1
2
4
3
5
6
QMA 4x0
EP 822
EP 822
7
8
QMH 800-x
9
QMS 800
Ion Supply
QC 800
IS 816
13
12
HV 801
14
IO 820
A/C
16
15
11
10
17
Fig. 1:
1
2
3
4
5
6
7
8
9
1)
18
Exemple de configuration du QMG 800
Analyseur QMA 4x0
Source d’ions
Filtre de masse
Unité de déviation 90°
SEM 217
Pré-amplificateur électromètre EP 822 (2)
Pré-amplificateur électromètre EP 822 (1)
Générateur HF QMH 800-x
Appareil de commande QMS 800
10
11
12
13
14
15
16
17
18
Carte contrôleur quadripole QC 800
Alimentation source d’ions IS 816
Alimentation haute tension HT 801
Module entrée/sortie IO 820
Bloc d’alimentation électrique
Alimentation (AC)
Entrées et sorties numériques et analogiques
Connexion au PC (Ethernet)
PC
pour utilisation en tant qu’unité de bureau
17/70
Description du produit
3.2
Appareil de commande QMS 800
L’appareil de commande QMS 800 comprend le châssis système SC 800 et la carte contrôleur quadripole QC 800. Les modules enfichables sont montés dans le châssis système, selon la configuration. Le
QMS 800 n’a pas d’éléments de contrôle manuel propres.
Fig. 2:
3.2.1
Appareil de commande QMS 800
Châssis système SC 800
Le châssis système SC 800 contient le bloc d’alimentation électrique, le bus système interne et la ventilation de l’unité. Il fournit les bornes femelles des modules enfichables QC 800, IS 816, HV 801 et
IO 820.
Fig. 3:
Châssis système SC 800
6
1
5
2
4
3
Fig. 4:
Faces avant et arrière du SC 800
1 Capot de ventilateur
2 Connecteur de réseau unité
3 Porte-fusibles
3.2.2
4
5
6
Bornes femelles du module
Interrupteur secteur « Puissance »
DEL « DC »
Carte contrôleur quadripole QC 800
La carte contrôleur quadripole QC 800 contient :
● Contrôleur système QMG 800 et les interfaces LAN/USB de raccordement au PC
● Contrôle de l’étage HF
● Traitement du signal de mesure
18/70
Description du produit
Fig. 5:
3.2.3
Carte contrôleur quadripole QC 800
Alimentation source d’ions IS 816
L’alimentation source d’ions IS 816 fournit à la source d’ions la tension de fonctionnement requise et a
les propriétés suivantes :
●
●
●
●
Potentiels programmables, résistants aux courts-circuits
Polarité réversible pour ions négatifs et positifs
Fonctionnement normal/fonctionnement dégazage
Appropriée pour tous les types de source d’ions de l’analyseur QMA 4x0
Fig. 6:
3.2.4
Alimentation source d’ions IS 816
Alimentation haute tension HT 801
L’alimentation haute tension HT 801 alimente le SEM 217 de l’analyseur QMA 4x0 avec une haute tension requise pour la détection des ions positifs.
Fig. 7:
3.2.5
Alimentation haute tension HT 801
Module entrée/sortie IO 820
Le module d'entrée / de sortie IO 820 est un module d'entrée et de sortie numérique et analogique pour
le contrôleur QMS 800. Il fournit des entrées et des sorties logiques programmables et une option de
connexion pour une jauge de pression totale ActiveLine ou DigiLine.
19/70
Description du produit
Fig. 8:
3.3
Module entrée/sortie IO 820
1 Poignée
5
2 Connecteur <SERIAL GAUGE> pour la jauge de
pression totale DigiLine
3 Raccord <DIGITAL IO>
4 Raccord <ANALOG IO>
6
Raccord <TP GAUGE> pour la jauge de
pression totale ActiveLine
Panneau avant
7
Platine
Générateur HF QMH 800-x
Le générateur QMH 800-x HF produit une tension à haute fréquence, requise pour la séparation des
masses. Le QMH 800-x se rapporte toujours à tous les types, sauf spécification contraire.
Fig. 9:
3.4
Générateur HF QMH 800-x
Analyseur QMA 4x0
L’analyseur QMA 4x0 est constitué d’une source d’ions, d’un filtre quadripolaire, d’un collecteur d’ions
et d’un boîtier. Le QMA 4x0 se rapporte toujours à tous les types, sauf spécification contraire. Un collecteur d'ions, l’analyseur QMA 4x0 à un décalage axial SEM 217 à 90° avec un collecteur Faraday intégré
Fig. 10:
3.5
Analyseur QMA 4x0
Pré-amplificateur électromètre EP 822
Le pré-amplificateur électromètre EP 822 amplifie le courant d’ions très faible ou les signaux de courant
d’électrons de l’analyseur QMA 4x0 à des niveaux de tension appropriés pour un traitement ultérieur.
Le pré-amplificateur électromètre EP 822 est monté directement sur l’analyseur QMA 4x0 pour minimiser les interférences liées à l’application.
20/70
Description du produit
Propriétés du pré-amplificateur électromètre EP 822
●
●
●
●
Compact
Sensibilité minimum aux vibrations, faible bruit, faible divergence
Montage simple sur l’analyseur QMA 4x0
Réponse rapide et restauration en cas de surmodulation
Fig. 11:
Pré-amplificateur électromètre EP 822
3.6
Raccordements
3.6.1
Connecteur I/O ANALOGIQUE vers IO 820
IO 820
Channel 1
1 nF
–
1
+
9
1 nF
–
Channel 2
2
+
10
–
Channel 3
3
+
11
–
Channel 4
4
+
12
–
Channel 5
5
+
13
Analog Inputs
Channel 1
22 Ω
22 Ω
6
10 nF
Channel 2
7
Channel 3
14
Channel 4
15
Analog Outputs
10 Ω
AGND
8
Screen
ChGND
Fig. 12:
Schéma de raccordement IO ANALOGIQUE
21/70
Description du produit
1
→
15
→
8
9
Fig. 13:
1
2
3
4
5
6
7
8
3.6.2
Affectation des broches I/O ANALOG
Entrée analogique, canal 1 (-)
Entrée analogique, canal 2 (-)
Entrée analogique, canal 3 (-)
Entrée analogique, canal 4 (-)
Entrée analogique, canal 5 (-)
Sortie analogique, canal 1
Sortie analogique, canal 2
Masse de référence des sorties analogiques
9
10
11
12
13
14
15
Entrée analogique, canal 1 (+)
Entrée analogique, canal 2 (+)
Entrée analogique, canal 3 (+)
Entrée analogique, canal 4 (+)
Entrée analogique, canal 5 (+)
Sortie analogique, canal 3
Sortie analogique, canal 4
Connecteur I/O NUMÉRIQUE vers IO 820
IO 820
1K2
24
+24 V
Channel 1
1)
11
2)
Channel 2
12
Channel 3
13
Channel 4
25
+
100 Ω
23
Screen
GND
Fig. 14:
22/70
ChGND
Schéma de raccordement des entrées numériques
–
Description du produit
10
Optocoupler isolated
Optocoupler isolated
IO 820
Channel11
Channel
1
Channel22
Channel
2
Channel33
Channel
3
Channel44
Channel
4
Channel55
Channel
5
Channel
Channel66
6
Channel77
Channel
7
Channel88
Channel
8
RL
+
-
3)
22
Channel99
Channel
14
Channel1010
Channel
15
Channel1111
Channel
16
Channel12
Channel
12
17
Channel1313
Channel
18
Channel
Channel1414
19
Channel1515
Channel
20
Channel16
16
Channel
21
+
DO_V
–
9
Screen
Screen
ChGND
Fig. 15:
Schéma de raccordement des sorties numériques
23/70
Description du produit
1
→
13
14
→
25
Fig. 16:
1
2
3
4
5
6
7
8
9
3.6.3
Affectation des broches I/O NUMÉRIQUE
Sortie numérique, canal 1 2)
Sortie numérique, canal 2
Sortie numérique, canal 3
Sortie numérique, canal 4
Sortie numérique, canal 5
Sortie numérique, canal 6
Sortie numérique, canal 7
Sortie numérique, canal 8
Masse des sorties numériques 1 à 16 (DO_0V)
14
15
16
17
18
19
20
21
22
10 Alimentation électrique des sorties numériques
1 à 8 (DO_V+, externe)
11 Entrée numérique, canal 1 3)4)
12 Entrée numérique, canal 2
13 Entrée numérique, canal 3
23
24
25
Sortie numérique, canal 9
Sortie numérique, canal 10
Sortie numérique, canal 11
Sortie numérique, canal 12
Sortie numérique, canal 13
Sortie numérique, canal 14
Sortie numérique, canal 15
Sortie numérique, canal 16
Alimentation électrique des sorties numériques 9 à 16 (DO_V+, externe)
Masse de référence des entrées logiques
(0 V)
+24 V pour entrée numérique
Entrée numérique, canal 4
Connecteurs pour la jauge de pression totale sur IO 820
Raccordement des jauges
IO 820 dispose d'un raccord pour chaque jauge ActiveLine ou DigiLine. La jauge DigiLine
est prioritaire si elle est raccordée. Il n’est pas possible de raccorder plusieurs jauges.
Changement d’émetteur
Quand il est activé, le module I/O IO 820 détecte automatiquement le type d’émetteur.
● Après le remplacement, désactivez le connecteur de l’appareil de commande
QMS 800 pendant 10 secondes, puis réactivez-le.
1
5
2
4
3
Fig. 17:
Affectation de la broche SERIAL GAUGE pour la jauge DigiLine
1 RS-485 D+
2 +24 V CC
3 GND
2)
24/70
4
5
RS-485 Dnon raccordé
La charge RL peut être un relais, une électrovanne ou un témoin lumineux.
3)
Commande de l’entrée avec contact sans potentiel
4)
Commande de l’entrée avec tension externe (sortie PLC, par exemple)
Description du produit
3
2
4
6
1
Fig. 18:
5
Affectation de la broche TP GAUGE pour la jauge ActiveLine
1 Identification
2 Masse (GND)
3 Entrée de signal (signal de mesure 0 – +10 V DC)
3.6.4
4
5
6
Masse analogique (signal de mesure -)
Blindage
Alimentation électrique (+24 V DC)
4
5
Connecteur CP (non utilisé)
Connexion QMH (D-Sub, 25 broches,
douilles)
Connexions sur QC 800
5
4
3
2
1
Fig. 19:
Connexions sur QC 800
1 Connecteur LAN 2 (prise RJ-45, 8 broches)
2 Connexion CTRL (HD-D-Sub, 26 broches)
3 Connecteur LAN 1 (pour usage interne seulement)
9
1
18
10
26
19
Fig. 20:
Affectation des broches CTRL
Broche
Mot de signalisation
Type de signal
Description
1
GND
GND
via 100 Ω sur GND
10
GND
GND
26
GND
GND
2
RUN IN
Entrée TTL
Entrée de démarrage de cycle de mesure externe, faible
correction, pull-up interne 5,6 kΩ sur +5 V
14
SYNC IN
Entrée TTL
Réservé aux applications futures, faible correction, pullup interne 5,6 kΩ sur +5 V
15
IN 0
Entrée TTL
Pull-up interne 5,6 kΩ sur +5 V (utilisable seulement si le
cavalier J2 est enfiché)
3
IN 1
Entrée TTL
Pull-up interne 5,6 kΩ sur +5 V (utilisable seulement si le
cavalier J4 est enfiché)
25/70
Description du produit
Broche
Mot de signalisation
Type de signal
Description
16
IN 2
Entrée TTL
Pull-up interne 5,6 kΩ sur +5 V
23
OUT 0
Sortie TTL
11
OUT 1
Sortie TTL
25
SYNC OUT+
Sortie TTL
Le bord positif marque le démarrage de la mesure, déclencher pour l’oscilloscope
13
SYNC OUT-
GND
Signal de référence SYNC OUT+, via 200 Ω sur GND
4
EXT IN 1+
Entrée analogique
Raccord du signal de mesure externe, différentiel, max.
±10 V, avec filtre LPF/amplificateur
17
EXT IN 1-
Entrée analogique
5
EXT IN 2+
Entrée analogique
18
EXT IN 2-
Entrée analogique
6
ELM OUT+
Sortie analogique
Sortie filtre LPF/amplificateur, ±10 V, max 0.1 mA, via
200 Ω
19
ELM OUT-
GND
Signal de référence ELM OUT+, via 200 Ω sur GND
7
AO MON 0+
Sortie analogique
Sortie librement applicable 5), ± 10 V, 12 bit, max.
0,1 mA, via 200 Ω
20
AO MON 0-
GND
Signal de référence AO MON 0+, via 200 Ω sur GND
8
AO MON 1+
Sortie analogique
Sortie librement applicable 6), ± 10 V, 12 bit, max.
0,1 mA, via 200 Ω
21
AO MON 1-
GND
Signal de référence AO MON 1+ via 200 Ω sur GND
9
SCO+
Sortie analogique
Sortie numéro de masse, 0 à +10 V, 16 bit, max. 0,1 mA,
via 200 Ω
22
SCO-
GND
Signal de référence SCO+, via 200 Ω sur GND
12
EP OUT+
Sortie analogique
Signal électromètre, max. 0,1 mA, via 200 Ω
24
EP OUT-
GND
Signal de référence EP OUT+, via 200 Ω sur GND
Tab. 3:
Affectation des broches CTRL
Raccord du signal de mesure externe, différentiel, max.
±10 V, en option avec ou sans filtre LPF/amplificateur
Gamme du détecteur (A)
Tension de sortie (V)
-5
8
-6
7
1 × 10
-7
6
1 × 10-8
5
1 × 10
-9
4
1 × 10-10
3
-11
2
-12
1
1 × 10
1 × 10
1 × 10
1 × 10
Dans le type de service avec compteur d’ions, la tension de sortie est de 0 V.
Tab. 4:
Code de gamme du détecteur
Configurations possibles du signal d’intensité :
● Linéaire (± 10 V / décade)
● Logarithmique (±10 V FS, 1–10 décades)
26/70
5)
En mode écran de contrôle, réservée au code de gamme du détecteur
6)
En mode écran de contrôle, réservée au signal d’intensité
Description du produit
RJ-45
1
8
green yellow
Fig. 21:
Affectation de la broche LAN 2
1 Données de transmission (TD+)
2 Données de transmission (TD-)
3 Données de réception (RD+)
3.6.5
4, 5, 7, 8
6
Non utilisé
Données de réception (RD-)
Connexions sur IS 816
2
1
Fig. 22:
Connexions sur IS 816
1 Connexion I/O AUX pour protection filament
5
1
9
6
2
Connexion de l’analyseur QMA
Fig. 23:
Affectation des broches I/O AUX
Broche
Mot de signalisation
Type de signal
Description
1
EXT PROT
Entrée logique
24 V
Entrée de protection filament
Si la protection externe est activée, maintenez la broche à l’aide d’un contact sans potentiel sur GND (résistance de rappel interne 5,6 kΩ sur +24 V), sinon
l’émission sera désactivée.
2
GND
GND
3
DI RES 1
Entrée TTL
4
DI RES 3
Entrée TTL
5
DO RES 1
Sortie TTL
6
DO RES 2
Sortie TTL
7
DO RES 3
Sortie TTL
8
DO RES 4
Sortie TTL
9
n.c.
-
Tab. 5:
Affectation des broches I/O AUX
Réservée à des applications futures.
27/70
Description du produit
9
10
16
11
8
7
15
12
6
1
14
13
5
2
3
Fig. 24:
1
2
3
4
5
6
7
8
4
Affectation des broches QMA
QMA GND
SPEC SRC RET 7)
V6, déviation interne
V3, mise au point
V9, Wehnelt
V5, évacuation
Filament +
Filament - / cathode
9
10
11
12
13
14
15
16
Filament commun
V4, axe de terrain
V0, Ref GND
Écran
V8, réserve
V1, Ion Ref
SPEC SRC ON 8)
V7, déviation externe
Connexion QMA (potentiels)
Câble QMA
Activez seulement le QMS 800 avec le câble QMA correctement connecté.
Source de tension externe
Vous devez limiter la source de tension externe pour V0 de façon fiable à ≤2 mA.
V6
V7
V8
-450V.........................................................0..................+300V
-450V.........................................................0..................+300V
-450V.........................................................0..................+300V
V9
V5
-450V.........................................................0..................+300V
-60V.......0
QMA-GND
V2
V4
-150V.............0...+60V
V0
Fig. 25:
28/70
-125V.........0
0.............+150
V1
V3
-150V.............0...+60V
● V1 se rapportant à V0
● V2 à V8 se rapportant à V1
● V9 se rapportant à V2
IONREF (V1)
Potentiels ions sur IONREF pos. max. (+150 V), polarité positive
7)
Signal de référence pour SPEC SRC ON
8)
+24 V si activé, max. 200 mA
V7
V8
-300V....................0........................................................+450V
-300V....................0........................................................+450V
-60V....0............+150V
V6
-300V....................0........................................................+450V
V2
V5
-300V....................0........................................................+450V
V4
-60V....0............+150V
V1
V3
-60V.......0
QMA-GND
-125V.........0
V0
-150..............0
Description du produit
IONREF (V1)
V9
Fig. 26:
Potentiels ions sur IONREF nég. max. (-150 V), polarité négative
Désignation des
électrodes
Domaine,
gamme
V0
10)
Courant
nominal
Résolution
Offset
Erreur
de gain
Potentiel
de dégazage 9)
V1
IONREF
-150 –
+150 V
± 2,5 mA
20 mV
± 120 mV
1,6 %
+550 V
V2
CATH
0 – -125 V
-10 mA
10 mV
± 60 mV
1,6 %
+7 V
V3
MISE AU
POINT
± 3 mA
20 mV
± 120 mV
1,6 %
0V
V4
AXE F
± 3 mA
20 mV
± 120 mV
1,6 %
0V
V5
EXTRACTION
±100 μA
58,82 mV
± 240 mV
1,6 %
0V
V6
DEF-I
11)
±100 μA
58,82 mV
± 240 mV
1,6 %
0V
V7
DEF-O
12)
±100 μA
58,82 mV
± 240 mV
1,6 %
0V
V8
RES
±100 μA
58,82 mV
± 240 mV
1,6 %
0V
V9
WEHNELT
-500 μA
3,92 mV
± 30 mV
1,6 %
0V
Tab. 6:
0 – -60 V
Électrodes
9)
Se rapportant à V0
10)
Normalement, V0 dans l’analyseur est raccordé à QMA GND (GND système). Pour des applications spéciales, vous pouvez régler V0 sur max ±200 V sur QMA GND.
11)
Dans le type de service Faraday, V6 et V7 sont raccordés sur QMA GND.
12)
Dans le type de service Faraday, V6 et V7 sont raccordés sur QMA GND.
29/70
Description du produit
3.6.6
Connexions sur HT 801
1
Fig. 27:
Connexions sur HT 801
1 Connexion haute tension HT-
3.6.7
Connexions sur EP 822
Avec EP 422
Vous pouvez utiliser un EP 422 avec un connecteur à loquet de verrouillage. Contactez
Pfeiffer Vacuum Service.
1
2
Fig. 28:
Connexions sur EP 822
1 Connexion de l’analyseur
QMA
3.7
2
Câble de raccordement au générateur HF QMH (monté en permanence)
Câblage du système
Le câblage du système dépend du type de service.
30/70
Description du produit
3.7.1
Câblage de base pour le type de service Faraday
QC 800
IS 816
QMH
QMA
QMH 800-x
3
LAN 2 1)
1)
EP 1
FARAD
EP 2
SEM
2
4
1
RF+
RF FA
5
6
RF A
RF B
7
EP
FA
IS
QMA
Fig. 29:
Câblage de base pour le type de service Faraday
Position
Câble
Longueur (m)
Référence
1
Connexion IS 816 – QMA 4x0
1,5
3
10
PT 168 511 -T
PT 168 512 -T
PT 168 513 -T
2
Connexion QC 800 – QMH 800-x
1,5
3
10
PT 168 531 -T
PT 168 532 -T
PT 168 533 -T
3
Connexion LAN 2 QC 800 – QMH 800-x
1,5
3
10
PT 168 541 -T
PT 168 542 -T
PT 168 543 -T
4
Connexion EP 822 (1) – QMH 800-x
0,85
- (monté sur EP 822)
5 13)
Connexion HF QMH 800-x – QMA 4x0
0,7
PT 168 560 -T
Connexion FA QMH 800-x – QMA 4x0
0,7
BG541962 -T
6 14)
7
Tab. 7:
Câblage de base pour le type de service Faraday
13)
Câbles croisés 5 et 6 si nécessaire conformément au rapport de test.
14)
Câbles croisés 5 et 6 si nécessaire conformément au rapport de test.
31/70
Description du produit
3.7.2
Câblage pour le mode de fonctionnement 90° SEM
HV 801
HV -
QMH 800-x
12
EP 2
SEM
RF A
RF B
8
EP
FA
7
IS
QMA
EP
HV+
HV -
SEM 217
3.8
11
Fig. 30:
Câblage pour le mode de fonctionnement 90° SEM
Position
Câble/prise court-circuit
Longueur (m)
Référence
7
Connexion EP 822 (2) – QMH 800-x
0,85
- (monté sur EP 822)
8
Connexion HT HV 801 – QMA 4x0 (HV–)
1,5
3
10
PT 168 521 -T
PT 168 522 -T
PT 168 523 -T
11
Prise court-circuit HT (type SHV)
-
12
Prise court-circuit EP (type TNC)
-
Tab. 8:
Câblage pour le mode de fonctionnement 90° SEM
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
3.9
Étendue de la livraison
● QMG 800 HiQuad (composants individuels, selon la configuration)
● Manuel de l’utilisateur
32/70
Description du produit
Déballage et vérification du produit
1. Déballez le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Contrôlez qu’aucune pièce n’a été endommagée.
33/70
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transport en toute sécurité du produit
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez l’obturateur de protection existant et les protections pour le transport seulement juste
avant l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un stockage incorrect
Un stockage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un stockage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d’origine.
Stockage en toute sécurité du produit
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température de stockage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
34/70
Installation
5 Installation
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments
sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en
service du dispositif.
► Déconnectez toujours l’unité avant d’ouvrir l’alimentation électrique.
► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier).
► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux.
► Protégez le dispositif contre l’humidité.
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et le câble d’extension sont conformes aux exigences de
double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes
IEC 61010 et IEC 60950.
► Utilisez seulement un câble d’alimentation à 3 broches et un câble d’extension disposant d’une
mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne connectez le connecteur de réseau que dans une prise disposant d’un contact de mise à la
terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours raccorder le câble de
secteur avant tous les autres.
AVIS
Défaillance liée à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à
toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
35/70
Installation
5.1
Installation de tout le système QMG 800
DANGER
Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur
Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de
l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dangereux au toucher. La tension électrique représente un danger mortel.
► Protégez les pièces installées, les unités raccordées et les lignes contre les connexions galvaniques, les éclats ou le flux porteur de charge.
► Assurez-vous que l’enceinte à vide, le QMA et l’appareillage complet ont toujours une connexion
correcte à la terre protectrice.
► Fournissez une protection supplémentaire si l’utilisateur risque de toucher l’analyseur quand le
système de vide est ouvert.
► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés.
► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système
(par exemple, en utilisant un contact de porte).
AVIS
Endommagement de l'analyseur causé par des tensions et des champs magnétiques externes
N’exposez jamais le système d'électrodes de l'analyseur à des tensions externes dangereuses en
cas de contact, provenant de connexions galvaniques, d'un contact, d’un éclat, de faisceau d'électrons ou d'ions, etc. Si des sources dangereuses de ce type existent dans l’enceinte à vide, vous devez fournir des mesures protectrices qui éliminent en toute sécurité ces influences. Des tensions externes, même faibles, sur l'analyseur vont endommager l'électronique et entraîner des résultats de
mesure inexacts.
► Prenez des mesures protectrices efficaces contre les tensions externes (par exemple, meilleure
disposition, blindage, prise de terre, etc.).
► Ne montez pas l’analyseur à côté de champs magnétiques de > 0,2 mT.
► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés.
► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système
(par exemple, en utilisant un contact de porte).
► Observez les standards applicables au système de vide.
Condition préalable
● Interrupteur secteur du QMS 800 réglé sur OFF
Installation de tout le système
1. Montez les groupes périphériques comme l’analyseur, l’étage HF, etc. conformément aux spécifications dans les manuels de l’utilisateur correspondants.
2. Mettez à la terre tous les équipements concernés à un seul point conformément à la réglementation.
– La seule exception est le PC raccordé.
3. Il est recommandé d’utilise un distributeur secteur unique.
5.2
Installation du châssis système
AVIS
Dégâts causés par surchauffe
La température ambiante ne doit pas excéder la température de service admissible de l’unité.
► Assurez-vous que la circulation de l’air n’est pas obstruée lors de l’installation de l’unité.
► Contrôlez et nettoyez régulièrement les filtres à air installés, le cas échéant.
36/70
Installation
AVIS
Annulation du niveau de protection de l’armoire de commande
En tant qu’unité intégrée, l’appareil peut remettre en cause le niveau de protection requis (contre les
particules étrangères et l’eau) des armoires de commande conformément à la norme CEI 60204-1,
par exemple.
► Prendre les mesures adéquates pour rétablir le niveau de protection requis.
5.2.1
Installation du châssis système en tant que tiroir 19’’
Procédure
1. Insérez l’unité dans l’armoire de commande conformément à la spécification DIN 41 494.
2. Fixez l’unité à l’aide des vis correspondantes.
3. Serrez toujours toutes les vis et les dispositifs destinés à soulager la tension pour assurer un contact fiable et éviter une déconnexion imprévue des connecteurs.
5.2.2
Installation du châssis système en tant qu’unité de bureau
Outils requis
● Tournevis
Équipement nécessaire
● 4 pieds plastique
Fig. 31:
Insérer les pieds plastique dans les alésages
Fig. 32:
Enfoncer les goupilles de serrage
Procédure
1. Retournez l’unité.
2. Insérez les pieds plastique dans les alésages du socle.
3. Avec le manche d’un tournevis, poussez à fond les goupilles d’arrêt qui dépassent dans les pieds
plastique.
4. Retournez à nouveau l’unité.
37/70
Installation
5.3 Installation ou remplacement des modules enfichables dans le châssis système
AVIS
Détérioration de l’unité à cause d’une décharge électrostatique
Une décharge électrostatique endommage les composants électroniques. Si cet avertissement n’est
pas respecté, les défauts qui en résultent ne sont pas pris en charge par la garantie.
► Les opérations sur les stations de travail à protection CEM doivent être effectuées conformément
aux méthodes appropriées.
► Lorsque l’unité est ouverte, prenez les mesures de précaution appropriées contre les charges
électrostatiques.
► Stockez toujours les unités électroniques et les composants dans des emballages antistatiques.
► Observez la norme EN 61340, 5-1 et 5-2, « Protection des appareils électroniques contre les
phénomènes électrostatiques ».
Outils requis
● Tournevis de type « PZ », taille 1
Équipement nécessaire
● Plaques borgnes (4TE, 8TE), selon la configuration
1
Fig. 33:
2
3
4 5 6
7
8
9
10
11
Positions standard des modules enfichables dans le châssis
1
QC 800
2, 4, 7, 8, 9, 10 Plaque borgne
3
IS 816
5
6
11
HV 801
IO 820
SC 800
Procédure
► Rendez étanche les bornes femelles avec des plaques borgnes appropriées pour assurer la sécurité et la ventilation.
► Serrez fermement toutes les vis de fixation pour assurer un bon maintien et un bon contact.
5.4
Installation du pré-amplificateur électromètre EP 822 sur l’analyseur
Stabilité du signal de l’EP 822
Pour une stabilité optimale du signal, protégez l’EP 822 contre les vibrations, les variations
de température, les hautes températures, l’humidité et des champs magnétiques alternant
considérablement.
Procédure
1. Fixez l’EP 822 au connecteur correspondant sur le QMA.
2. Positionnez l’EP 822 pour qu’il ne touche pas les connecteurs environnants.
3. Serrez les écrous moletés.
4. Connectez le câble de contrôle au connecteur EP1 (Faraday) ou EP2 (SEM) sur le QMH 800-x.
5. Verrouillez le connecteur.
38/70
Installation
5.5
Installation du générateur HF QMH 800-x
Vous trouverez des informations sur l’installation du générateur QMH 800-x dans le manuel de l’utilisateur du QMH 800-x.
5.6
Installation de l’analyseur QMA 4x0
Vous trouverez des informations sur l’installation et le montage de l’analyseur QMA 4x0 dans le manuel
de l’utilisateur correspondant pour le QMA 4x0.
5.7
Raccordement du module d’entrée / de sortie IO 820
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez seulement la jauge à des appareils dont la mise à la terre a été effectuée professionnellement.
► Prenez des mesures préventives supplémentaires côté système si des procédés dans le système de vide (comme des éclats) peuvent entraîner des tensions dangereuses sur les raccordements d'appareils.
► Sécurisez la ligne sur la jauge.
AVIS
Détérioration de l’unité à cause d’une décharge électrostatique
Une décharge électrostatique endommage les composants électroniques. Si cet avertissement n’est
pas respecté, les défauts qui en résultent ne sont pas pris en charge par la garantie.
► Les opérations sur les stations de travail à protection CEM doivent être effectuées conformément
aux méthodes appropriées.
► Lorsque l’unité est ouverte, prenez les mesures de précaution appropriées contre les charges
électrostatiques.
► Stockez toujours les unités électroniques et les composants dans des emballages antistatiques.
► Observez la norme EN 61340, 5-1 et 5-2, « Protection des appareils électroniques contre les
phénomènes électrostatiques ».
Pfeiffer Vacuum installe des options départ d’usine si vous les avez commandées avec le système global. Une installation subséquente est possible.
5.7.1
Câble pour la connexion E/S ANALOGIQUE
Type de câble
Le nombre de fils dépend des fonctions utilisées.
Câble blindé
Utilisez un câble blindé (CEM, influences externes parasites). Raccordez le blindage au
boîtier de raccordement. Laissez le blindage ouvert à l'autre extrémité ou reliez-le à la terre
pour éviter que des courants d'égalisation nuisibles ne se produisent.
Recommandation : Pour les entrées analogiques (+) et (-), utilisez des paires de fils torsadés.
Procédure
1. Ouvrez la prise D-Sub.
2. Préparez les extrémités du câble et soudez-les ou sertissez-les dans la prise de câble conformément au schéma de raccordement.
3. Installez la prise de câble.
39/70
Installation
4. Préparez l'autre extrémité du câble comme il convient pour l'application et assemblez-la.
5. Insérez la prise de câble sur le module I/O et fixez la prise avec les vis appropriées.
5.7.2
Câble pour la connexion E/S NUMÉRIQUE
Type de câble
Le nombre de fils dépend des fonctions utilisées.
Câble blindé
Utilisez un câble blindé (CEM, influences externes parasites). Raccordez le blindage au
boîtier de raccordement. Laissez le blindage ouvert à l'autre extrémité ou reliez-le à la terre
pour éviter que des courants d'égalisation nuisibles ne se produisent.
Procédure
1. Ouvrez la prise D-Sub.
2. Préparez les extrémités du câble et soudez-les ou sertissez-les dans la prise de câble conformément au schéma de raccordement.
3. Installez la prise de câble.
4. Préparez l'autre extrémité du câble comme il convient pour l'application et assemblez-la.
5. Insérez la prise de câble sur le module I/O et fixez la prise avec les vis appropriées.
40/70
Mise en service
6 Mise en service
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments
sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en
service du dispositif.
► Déconnectez toujours l’unité avant d’ouvrir l’alimentation électrique.
► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier).
► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux.
► Protégez le dispositif contre l’humidité.
Câble QMA
Activez seulement le QMS 800 avec le câble QMA correctement connecté.
Paramètres d’usine
Pfeiffer Vacuum configure de façon optimale les systèmes complets à l’usine. Vous ne devez donc pas effectuer de changements sans une bonne raison.
Transmission de données
Si la DEL jaune de la connexion Ethernet reste éteinte, un problème est apparu pendant la
transmission des données. Contrôlez le câble et les composants dans le chemin de connexion, ainsi que la configuration correcte du PC (logiciel, état du pare-feu, etc.).
6.1
Installation de PV MassSpec
Données d’accès
Scannez le code QR ou cliquez ici pour télécharger la dernière version du logiciel
PV MassSpec. Mot de passe : PrismaPro.
Fig. 34:
Raccourci sur le bureau
Procédure
1. Ouvrez la table des menus dans le Cloud Pfeiffer Vacuum.
2. Téléchargez le logiciel.
3. Démarrez l’installation du logiciel en double-cliquant sur «
PVMassSpec_Installer.exe ».
41/70
Mise en service
4. Si nécessaire, accusez réception de l’invite de commande de compte d'utilisateur en cliquant sur
« Oui ».
5. Continuez l'installation à l’aide de l’assistant.
6. Acceptez la licence en cliquant sur « Oui ».
7. Entrez votre nom et le nom de votre entreprise dans la fenêtre des informations client.
8. Confirmez les entrées avec « Suivant ».
– Le logiciel effectue et termine l’installation, stocke les données du programme sur le disque C
dans le nouveau dossier « Pfeiffer Vacuum ».
À la fin de l’installation, un lien PV MassSpec est créé sur votre bureau.
6.2
Activation du système
Conditions préalables
●
●
●
●
●
●
●
●
●
Interrupteur secteur du QMS 800 réglé sur OFF
Tous les composants du système ont été installés selon le manuel de l’utilisateur
Les conditions de vide et du système ont été testées et remplies
Les composants du système ont été raccordés avec des câbles selon le manuel de l’utilisateur
La connexion LAN au PC a été établie (directement ou via un réseau)
L’alimentation du QMS 800 a été établie
Le PC est prêt pour l’utilisation et a été préparé selon la documentation du logiciel
Les limites d’utilisation ont été observées
Le manuel de l’utilisateur pertinent des autres composants du système a été observé
Procédure
1. Réglez l’interrupteur secteur sur la face avant du QMS 800 sur ON (I).
– La DEL « DC » s’allume et le QMS 800 est prêt pour l’utilisation.
2. Activez le PC.
3. Continuez la mise en service dans PV MassSpec.
6.3
Système de mise en service avec PV MassSpec
Conditions préalables
● La connexion LAN au PC a été établie (directement ou via un réseau) avec une adresse IP statique
● Connexion Ethernet établie entre le PC et QMS 800
● Logiciel PV MassSpec installé
● Le PC est prêt pour l’utilisation et a été préparé selon la documentation du logiciel
Fig. 35:
Démarrage du logiciel PV MassSpec
Démarrage du logiciel PV MassSpec
► Démarrez le logiciel PV MassSpec.
– La DEL jaune de la connexion Ethernet du QC 800 s’allume par intermittence pour indiquer
que des données sont échangées.
– Lors du premier démarrage de PV MassSpec, le QMG 800 n'est pas encore affiché.
42/70
Mise en service
Fig. 36:
Ajout de QMG 800 via la configuration du matériel
Ajout de QMG 800 via la configuration du matériel
► Cliquez sur « Configuration » et « Raccords (capteurs) ».
Fig. 37:
Ajout de QMG 800 via l’OPC
Ajout de QMG 800 via l’OPC
1. Dans Raccords, sélectionnez « OPC-UA ».
2. Cliquez sur « Modifier ».
3. Confirmez en cliquant sur « Oui » dans la fenêtre pop-up « Continuer ? ».
43/70
Mise en service
Fig. 38:
Saisie de l’adresse IP
Saisie de l’adresse IP
1. Cliquez sur « Ajouter » dans la fenêtre « Connexions OPC ».
2. Saisissez l’adresse IP de l’appareil pour « Ajouter un serveur OPC ».
– Modèle: opc.tcp://<IP address>/QMG800
– Par défaut : 192.168.1.100
3. Cliquez sur « Sélectionner ».
Fig. 39:
Confirmation de l’adresse IP
Confirmation de l’adresse IP
1. Appuyez sur « OK » pour confirmer l’adresse IP saisie.
2. Appuyez sur « OK » pour confirmer le message « OPC-UA Requires Browsing for Tags ».
44/70
Mise en service
Fig. 40:
Fin de la mise en service
Fin de la mise en service
1. Cliquer sur « Fermer ».
– Un symbole bleu clair indique qu’une connexion valide est active.
PV MassSpec revient sur l’écran principal avec QMG 800 raccordé.
Fig. 41:
6.4
Écran principal avec QMG 800 connecté
Utilisation de l’outil de recherche PV MassSpec
Vous pouvez utiliser le programme pour visualiser ou modifier les données importantes de QMG 800.
Conditions préalables
● La connexion LAN au PC a été établie (directement ou via un réseau) avec une adresse IP statique
● Connexion Ethernet établie entre le PC et QMS 800
● Logiciel PV MassSpec installé
● Le PC est prêt pour l’utilisation et a été préparé selon la documentation du logiciel
Démarrage du logiciel de recherche PV MassSpec
► Démarrez le logiciel de recherche PV MassSpec (touche Windows -> Pfeiffer Vacuum -> PV Mass
Spec Search).
– Le programme recherche automatiquement tous les spectromètres de masse Pfeiffer Vacuum.
45/70
Mise en service
Fig. 42:
Modification de l’adresse IP de l’appareil avec l'outil de recherche PV MassSpec
Fig. 43:
Saisie de l’adresse IP, du masque de sous-réseau et de la passerelle
Modification de l’adresse IP, du masque de sous-réseau et de la passerelle de l'appareil
1. Clic de droit sur QMG 800.
2. Cliquez sur « Changement d’adresse IP ».
3. Saisissez les données souhaitées: adresse IP, masque de sous-réseau et passerelle.
– Conservez le réglage « DHCP off ».
4. Cliquez sur « OK » pour confirmer les modifications.
5. Redémarrez physiquement l’appareil pour appliquer l’adresse IP.
46/70
Fonctionnement
7 Fonctionnement
QMG 800 fonctionne avec le logiciel PV MassSpec. Vous trouverez des informations sur le logiciel
PV MassSpec dans la documentation jointe au logiciel.
Utilisation du QMG 800 avec PV MassSpec
► Utilisez PV MassSpec pour
– Régler des paramètres de l’unité
– Optimiser les paramètres de l’unité
– Effectuer des mesures
– Sauvegarder et évaluer les données de mesure
47/70
Mise hors service
8 Mise hors service
Perte de données
Une coupure prématurée de l'alimentation peut entraîner une perte de données.
● Après la déconnexion, attendez au moins 1 minute avant de couper la tension du secteur.
Désactivation du système
1. Désactivez le SEM et, si nécessaire, le filament.
2. Quittez la connexion entre le QMG 800 HiQuad Neo et le PC dans PV MassSpec.
3. Réglez l’interrupteur secteur sur la face avant du QMS 800 sur OFF (0).
La DEL « DC » s’éteint et le QMS 800 est désactivé.
48/70
Maintenance
9 Maintenance
Demande de garantie
Le fait d’ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou d’endommager/de supprimer le
sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure n’est pas couvert par la garantie.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Nettoyage dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
9.1
Nettoyage de l’appareil de commande et du châssis système
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
49/70
Maintenance
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d’humidité
La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité.
► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau.
► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Dommages causés par des détergents inappropriés
L’usage d’agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► N’utilisez pas de solvants qui endommageraient sa surface.
► N’utilisez pas d’agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Conditions préalables
● L’appareil est mis hors circuit
● Le connecteur de réseau est retiré
Consommables requis
● Agent nettoyant ordinaire (détergent ménager doux, par exemple).
● Chiffon doux et propre
Nettoyage externe de l’appareil
1. Utilisez un chiffon doux humide pour nettoyer les surfaces.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
9.2
Nettoyage du ventilateur
Intervalle de nettoyage
Définissez l'intervalle de nettoyage par des inspection visuelles et en fonction du dégagement de poussière sur site.
Instrument nécessaire
● Aspirateur
1
2
Fig. 44:
45°
Nettoyage du ventilateur
1 Rainure de dégagement
2
Tôle de couvercle
Procédure
1. Nettoyez le ventilateur dès qu’un dépôt est clairement visible et avant que la circulation de l’air
tombe sous le niveau requis.
2. Saisissez le couvercle de filtre au niveau de la rainure de dégagement prévue à cet effet et pivotez le couvercle de filtre sur environ 45°.
3. Utilisez un aspirateur pour éliminer la poussière.
50/70
Maintenance
9.3
Changement du fusible secteur
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments
sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en
service du dispositif.
► Déconnectez toujours l’unité avant d’ouvrir l’alimentation électrique.
► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier).
► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux.
► Protégez le dispositif contre l’humidité.
Appareil défectueux
Un fusible défectueux indique généralement un problème dans l'appareil ou le système.
● Si après le remplacement, le fusible neuf grille également, contacter le centre Pfeiffer Vacuum Service le plus proche.
Pièce de rechange requise
● Fusible secteur
1
Fig. 45:
Vue du panneau arrière du SC 800
1 Support pour le fusible secteur
Procédure
1. Arrêtez l’unité.
2. Déconnectez le câble de secteur.
3. Ouvrez le support du fusible secteur.
4. Remplacez le fusible secteur défectueux.
5. Raccordez le support pour le fusible secteur.
6. Branchez le câble de secteur.
51/70
Anomalies
10
Anomalies
Erreur
Cause possible
Action corrective
La DEL « DC » sur la face avant de l’unité reste
éteinte quand la tension secteur est appliquée et
que l’interrupteur secteur est activé.
Fusible secteur défectueux
● Remplacez le fusible
secteur.
Tab. 9:
52/70
Anomalies
Expédition
11
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et la sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux avis pour une livraison en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédition en sécurité du produit
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
53/70
Recyclage et mise au rebut
12
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
12.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
12.2
Élimination du système du spectromètre de masse
Les systèmes de spectromètre de masse Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez
recycler.
1. Démontez les éléments du boîtier.
2. Démontez tous les composants individuels.
3. Démontez les composants électroniques.
4. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
5. Séparez les composants en matériaux recyclables.
6. Recyclez les composants non contaminés.
7. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
54/70
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
13
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
55/70
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
56/70
Informations de commande
14
Informations de commande
14.1 Commande de pièces
Commande de pièces détachées, d’accessoires ou de composants optionnels
► Toujours préciser les informations suivantes pour commander des pièces détachées, des accessoires ou des composants optionnels :
● Tous les détails de la plaque signalétique
● Description et référence de commande correspondant à la liste des pièces
14.2
Pièces de rechange et accessoires
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits.
● Les informations et les options de commande pour les accessoires Équipements
d’analyse sont disponibles en ligne.
Description
Référence
QC 800
PT 168 000
SC 800
PT 168 008
IS 816
PT 168 001
HV 801
PT 168 004
IO 820
PT 168 011
Élément filtrant pour QMS 800
BN846231-T
Tab. 10:
Pièces de rechange et accessoires pour QMS 800
Description
Référence
Source d’ions axiale
Unité à filament avec filaments chauffés en tungstène (5 éléments)
PT 168 111
Unité à filament avec filament iridium, recouvert Y2O3
PT 168 112
Source d’ions avec filament chauffé en tungstène
PT 168 211
Source d’ions avec filament iridium, recouvert Y2O3
PT 168 212
Source d’ions croisés
Unité à filament avec filaments chauffés en tungstène (2 éléments)
PT 168 121
Unité à filament avec filament iridium, recouvert Y2O3 (2 éléments)
PT 168 122
Source d’ions avec filament chauffé en tungstène
PT 168 221
Source d’ions avec filament iridium, recouvert Y2O3
PT 168 222
Source d’ions avec filament chauffé en tungstène et aimants
PT 168 231
Source d’ions avec filament iridium, recouvert Y2O3 et aimants
PT 168 232
Source d’ions croisés (étanche au gaz)
Unité à filament avec filaments chauffés en tungstène (2 éléments)
PT 168 121
Unité à filament avec filament iridium, recouvert Y2O3 (2 éléments)
PT 168 122
Source d’ions avec filament chauffé en tungstène
PT 168 241
Source d’ions avec filament iridium, recouvert Y2O3
PT 168 242
Source d’ions avec filament chauffé en tungstène et aimants
PT 168 251
Source d’ions avec filament iridium, recouvert Y2O3 et aimants
PT 168 252
Source d’ions à grille
57/70
Informations de commande
Description
Référence
Unité à filament avec filaments chauffés en tungstène (2 éléments)
PT 168 161
Source d’ions avec filament chauffé en tungstène
PT 168 261
Tab. 11:
14.3
Pièces de rechange pour QMA 4x0
Câbles et prises court-circuit
(voir chapitre « Câblage du système », page 30)
14.4
Composants du système
Description
Référence
EP 822
PT 168 500
QMH 800-3, 1 – 300 u
PT M22 001
QMH 800-5, 1 – 512 u
PT M22 000
QMS 800 avec SC 800 et QC 800
PT 168 010
QMS 800 avec SC 800, QC 800 et IO 820
PT 168 020
Tab. 12:
58/70
Composants du système
Caractéristiques techniques et dimensions
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1
Appareil de commande QMS 800
Modules QMS
L’information s’applique à tous les modules QMS 800, sauf spécification contraire.
Paramètre
Valeur
Température (stockage)
-40 – +65 °C
Température (fonctionnement)
+5 – +40 °C
Humidité relative
≤ 80 % – +31 °C, diminution linéaire à 50 % à +40 °C
Usage
À l’intérieur
Altitude
≤ 2000 m au-dessus du niveau de la mer
Degré de protection
IP30
Catégorie de surtension
II
Degré de pollution
2
Tab. 13:
15.1.1
Limites d’utilisation du QMS 800
Châssis système SC 800
Paramètre
Valeur
Tension secteur
100 – 240 V AC, 50 – 60 Hz
Puissance absorbée
≤500 W
Alimentation
Prise unité avec porte-fusible secteur intégré à l’arrière de l’unité
Fusible secteur
Fusible 6,3 AT HBC, 5 × 20 mm
Câble de secteur
spécifique au pays d’utilisation
Poids
7,5 kg (sans modules enfichables)
Bornes femelles
18 (par 4 DUs)
Tab. 14:
Fiche technique, SC 800
59/70
Caractéristiques techniques et dimensions
Fig. 46:
Dimensions SC 800
Dimensions en mm
15.1.2
Contrôleur quadripole QC 800
Interface de programmation d'application (API)
Vous avez besoin des modes de fonctionnement débit-masse, de la résolution échelle de
masse, des vitesses de mesure et des types de détecteur lors de l’utilisation de l’API. Lors
de l’utilisation de PV MassSpec, les points ne peuvent pas être modifiés dans le composant. Observez les instructions de communication BG6017.
Paramètre
Valeur
Convient à
Châssis système SC 800
Bornes femelles requises
2
Quantité par système
1
Bornes femelles
Bornes femelles nº 1 et 2 (tout à gauche dans le châssis système
SC 800)
Poids
0,4 kg
Tab. 15:
Paramètre
Valeur
Nombre de canaux de mesure
128
Modes de fonctionnement
Canal MONO/MULTI
Cycles de mesure
1 – 10 000 ou RÉPÉTITION
Temps de changement de canal
100 – 200 μs (avec une PAUSE min. dans le cycle)
Tab. 16:
60/70
Fiche technique, QC 800
Modes de fonctionnement et paramètres QC 800
Mass MODE
Méthode de mesure
SCAN-N
Balayage analogique, normal
SCAN-F
Balayage analogique avec filtre FIR pour la valeur mesurée
STAIR
Graphique à barres de balayage
Caractéristiques techniques et dimensions
Mass MODE
Méthode de mesure
SAMPLE
Masse unique et MID
PEAK-L
Recherche de crête avec critères de niveau
PEAK-F
Recherche de crête avec filtre FIR
ADJUST-C
Recherche grossière
ADJUST-F
Recherche fine
Tab. 17:
Modes de fonctionnement débit-masse QC 800
Scan SPEED
PAS par masse
Gamme FIX
Gamme AUTO
125 μs/u
8/u
---
250 μs/u
16/u
---
0,5 – 1 ms/u
32/u
---
2 – 20 ms/u
64/u
32/u
50 ms/u – 60 s/u
64/u
64/u
Tab. 18:
Résolution échelle de masse QC 800
Mass MODE
EP 822 ou entrées externes
Gamme FIX
Gamme AUTO
SAMPLE
125 μs – 60 s
0,5 ms – 60 s
STAIR
125 μs/u – 60 s/u
2 ms/u – 60 s/u
SCAN
125 μs/u – 60 s/u
5 ms/u – 60 s/u
PEAK
125 μs/u – 60 s/u
5 ms/u – 60 s/u
Tab. 19:
Vitesses de mesure QC 800
Detect TYPE
Type de détecteur
FARAD
Collecteur Faraday, EP 822
SEM
SEV (construction configurable), EP 822
EXTERN 1
Entrée analogique externe du QC 800 (EXT IN 1)
EXTERN 2
Entrée analogique externe du QC 800 (EXT IN 2)
A-INPUT (1–n)
Signaux analogiques via IO 820 (canaux analogiques 1 – n)
Tab. 20:
Types de détecteur QC 800
Type de détecteur
Gammes de mesure
FARAD, SEM
10
EXTERNE
GAIN 1 : ±10,240 V
GAIN 10 : ±1,024 V
Tab. 21:
-12
-5
– 10 A fsd
Modes de fonctionnement
Résolution
Gammes FIX et AUTO
16 bit 15) (par gamme)
Gamme FIX
16 bit 16)
Gammes et résolution de mesure QC 800
15)
à augmentation supplémentaire via détermination valeur moyenne
16)
à augmentation supplémentaire via détermination valeur moyenne
61/70
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Valeur
Type de filtre
LPF, à deux étages, efficace pour entrées pré-amplificateur et externes
Constantes de temps de filtrage
peuvent être sélectionnées automatiquement ou par 9 étages :
5, 18, 85, 400 μs ; 1,7, 8, 40, 180, 800 ms
Réponse par pas
τ63 : Constante de temps de filtrage
Temps d’établissement à ± 1 ‰ : ts ≈ 4 x τ63
Tab. 22:
Filtre analogique QC 800
τ63
ts
Fig. 47:
Paramètre
Valeur
NORMAL (N)
LPF (valeur moyenne)
FIR (F)
Réponse à impulsion finie
Tab. 23:
15.1.3
Filtre numérique QC 800
Alimentation source d’ions IS 816
Paramètre
Valeur
Convient à
Châssis système SC 800
Bornes femelles requises
4
Quantité par système
max. 2
Borne femelle
(voir chapitre « Installation ou remplacement des modules enfichables
dans le châssis système », page 38)
Poids
1 kg
Tab. 24:
Fiche technique, IS 816
Paramètre
Valeur
Tension
0 – +10 V
Courant
max. 5 A
Puissance
max. 50 W
Modes de fonctionnement
Fil 1, Fil 2
Protection filament
0–5A
Tab. 25:
Alimentation filament IS 816
Paramètre
Valeur
Normal
0 – 10 mA
Dégazage
0 – 20 mA
Tab. 26:
62/70
Constante de temps de filtrage QC 800
Émission IS 816
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1.4
Alimentation haute tension HT 801
Paramètre
Valeur
Convient à
Châssis système SC 800
Bornes femelles requises
1
Quantité par système
max. 4
Borne femelle
(voir chapitre « Installation ou remplacement des modules enfichables
dans le châssis système », page 38)
Poids
0,3 kg
Tab. 27:
Paramètre
Valeur
Tension SEM HT-
-30 – -3500 V (typ. ondulation 10 mV)
Résolution
219 mV
Charge
≥ 15 MΩ
Limitation du courant
≤ 1 mA
Résistance interne
≈0 Ω
Temps de réglage
0,3 s (0,1 %, activation, RL = 15 MΩ)
Séparation du potentiel (entre châssis et QMA GND)
≤ 0,5 V
Tab. 28:
15.1.5
Fiche technique, HT 801
Partie haute tension, HT 801
Module entrée/sortie IO 820
E/S ANALOGIQUE
Quantité
Configuration
Tension d’entrée / de
sortie
Résolution numérique
Entrée
5
Différentiel
± 10 V DC
14 bit
sortie
4
À une seule extrémité
0 – +10 V DC
14 bit
Tab. 29:
Interfaces analogiques IO 820
E/S numérique
Quantité
Tension/courant
Alimentation en courant
Entrée
4
24 V DC ±20%, typiquement 2 mA
Interne ou externe
sortie
16
24 V DC ±20%, max 3 A pour un groupe
de 8 sorties
Externe
Tab. 30:
Interfaces logiques IO 820
Paramètre
Valeur
Protocole
ASCII, adressage (RS-485), protocole Pfeiffer Vacuum
Format de données
Trafic de données unidirectionnel, longueur des mots de données
8 bits, 1 bit d’arrêt, pas de bit de parité
Vitesse de transmission en
bauds
9600
Raccordement
Connecteur M12 Binder, 5 broches, codé A
Tab. 31:
Interface RS-485 IO 820
Raccordement des jauges
IO 820 dispose d'un raccord pour chaque jauge ActiveLine ou DigiLine. La jauge DigiLine
est prioritaire si elle est raccordée. Il n’est pas possible de raccorder plusieurs jauges.
63/70
Caractéristiques techniques et dimensions
Jauge
Interface
Conn.
Dégazage
PKR 2x1/36x
Analogique
<TP GAUGE>, 6 broches
non
PBR 360
Analogique
<TP GAUGE>, 6 broches
oui
TPR 2xx
Analogique
<TP GAUGE>, 6 broches
non
HPT 200
RS485
<SERIAL GAUGE>
oui
PPT 200
RS485
<SERIAL GAUGE>
non
RPT 20x
RS485
<SERIAL GAUGE>
non
MPT 200
RS485
<SERIAL GAUGE>
non
Tab. 32:
15.2
Connecteur pour la jauge de pression totale IO 820
Générateur HF QMH 800-x
Vous trouverez la fiche technique du QMH 800-x dans le manuel de l’utilisateur correspondant.
Type QMH
Domaine de masse [u]
Type QMA
Diamètre de tige [mm]
QMH 800-3
300
QMA 430
8
QMH 800-5
512
QMA 400
8
Tab. 33:
Types QMH et QMA
15.3 Analyseur QMA 4x0
Vous trouverez la fiche technique du QMA 4x0 dans le manuel de l’utilisateur correspondant.
15.4
Pré-amplificateur électromètre EP 822
Paramètre
Valeur
Lieu de mise en place
vissé directement sur l’analyseur QMA
Interfaces vers
QMH, QMA
Connexion (entrée)
Type de prise coaxiale TNC
Connexion (sortie)
Prise D-Sub, 9 broches, à broches
Tension d’entrée
± 16 V (± 0,2 V, ondulation ≤ 10 mV)
(par QMS 800)
Courant d’entrée
± 10 mA
(par QMS 800)
Quantité par système
max. 2
Température d’accumulation
-40 – +70 °C
Température de service
0 – +50 °C
Poids
0,15 kg
Tab. 34:
64/70
Fiche technique, EP 822
22.3
Caractéristiques techniques et dimensions
18
72
10
50
Fig. 48:
850
20
Dimensions EP 822
Dimensions en mm
Paramètre
Valeur
Courant d’entrée
± 10 mA
Impédance d’entrée
100 kΩ
Tension de sortie
-10 – +10 V
Courant de sortie
≤ 2 mA
Déviation
Décalage doublé par 10 °C d’augmentation de température
Bruit
typiquement 2 × 10-13 App non filtré
Tab. 35:
Données amplificateur EP 822
Gamme de mesure
Sensibilité
Tolérance à 25 °C
Temps de montée de
10 à 90 %
Décalage à 25 °C
± 10-5 A
10-6 A/V
± 1%
50 μs
± 0,5 mV
-7
-8
10 A/V
± 1%
90 μs
± 0,5 mV
-9
-10
A/V
± 2%
1,9 ms
± 2 mV
-12
A/V
± 2%
2,6 ms
-50 – +150 mV
± 10 A
± 10 A
-11
± 10
A
Tab. 36:
10
10
Décalage EP 822
65/70
Déclaration de conformité UE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Système de spectromètre de masse quadripole
QMG 800 HiQuad® Neo
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Basse tension 2014/35/UE
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Standards harmonisés et standards et spécifications nationaux appliqués :
IEC 61010-1:2010/ AMD1:2016 3e édition
EN 61326-1:2020
EN 55011:2016/A11:2020
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2024-04-04
Déclaration de conformité UE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Module d’entrée / de sortie
IO 820
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Basse tension 2014/35/UE
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Standards harmonisés et standards et spécifications nationaux appliqués :
IEC 61010-1:2010/ AMD1:2016 3e édition
EN 61326-1:2020
EN 55011:2016/A11:2020
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2024-11-12
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Système de spectromètre de masse quadripole
QMG 800 HiQuad® Neo
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards et spécifications appliqués :
IEC 61010-1:2010/ AMD1:2016 3e édition
EN 61326-1:2020
EN 55011:2016/A11:2020
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2024-04-04
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Module d’entrée / de sortie
IO 820
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards et spécifications appliqués :
IEC 61010-1:2010/ AMD1:2016 3e édition
EN 61326-1:2020
EN 55011:2016/A11:2020
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2024-04-08
*BG6013*
ed. A - Date 2503 - P/N:BG6013BFR
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