MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original HIPACE Unité de surveillance de gaz d'étanchéité Cher Client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvel accessoire Pfeiffer Vacuum vous donnera entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. En capitalisant sur notre expertise, nous avons développé une multitude de compétences qui contribuent à la sécurité et à l’efficacité de mise en œuvre de nos produits. Nous sommes convaincus que notre produit sera à la hauteur de vos attentes : une solution efficace et fonctionnelle pour votre application, sans perturber votre activité. Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Pour toute question ou suggestion, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/22 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Public visé 1.2 Conventions 1.2.1 Instructions dans le texte 1.2.2 Abréviations 1.2.3 Autocollants sur le produit 6 6 6 6 6 6 6 7 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Mesures de sécurité 2.3 Utilisation conforme 2.4 Utilisations non conformes prévisibles 2.5 Qualification personnelle 8 8 8 9 9 9 3 Description du produit 3.1 Description fonctionnelle 3.2 Étendue de la livraison 10 10 10 4 Installation 11 5 Fonctionnement 13 6 Recyclage et mise au rebut 14 7 Dysfonctionnements 7.1 Codes d’erreur 15 15 8 Accessoires 16 9 Caractéristiques techniques et dimensions 9.1 Généralités 9.2 Fiche technique 9.3 Dimensions 17 17 17 18 Déclaration de conformité CE 19 Déclaration de Conformité UK 20 3/22 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: 4/22 Documents applicables Abréviations utilisées dans ce document Autocollants sur le produit Réglages des paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique Accessoires Tableau de conversion : unités de débit de gaz Fiche technique de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation 6 7 7 13 15 16 17 17 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Position de l’autocollant sur le produit Structure de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation Exemple : raccordement d'une unité de surveillance de gaz d'étanchéité sur HiPace 2300 Exemple : raccordement de l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité sur un TC Exemple : raccordement du gaz inerte sur l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité Aperçu des accessoires Dimensions unité de surveillance de gaz de pressurisation 7 10 11 12 12 16 18 5/22 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Public visé Ce manuel de l’utilisateur est destiné aux personnes qui ● installent, ● utilisent. Les actions présentées dans ce document s’adressent uniquement aux personnes ayant suivi une formation technique convenable (niveau expert) ou une formation équivalente de Pfeiffer Vacuum. 1.2 Conventions 1.2.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.2.2 6/22 Abréviations DN Diamètre nominal comme désignation de grandeur ISO Bride : Raccord conforme aux normes ISO 1609 et 2861 DEL Diode électroluminescente M8 Connecteur à filetage M8 M12 Connecteur à filetage M12 A propos de ce manuel TC Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de pompe turbomoléculaire) TCP Unité de commande électronique externe de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) avec alimentation en courant TM Unité de commande électronique de pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) et contrôleur de palier magnétique WAF largeur sur pans Tab. 2: 1.2.3 Abréviations utilisées dans ce document Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique (exemple) La plaque signalétique se situe sur le boîtier Sealing gas monitoring unit PM 016 911 AU Made in Germany 2023/05 Sceau de garantie Le produit est scellé, départ d’usine. L’endommagement ou le retrait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie caduque. warranty seal Tab. 3: Autocollants sur le produit 1 Fig. 1: 2 Position de l’autocollant sur le produit 1 Sceau de garantie 2 Plaque signalétique 7/22 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Mesures de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). 8/22 Sécurité ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► N’effectuez pas de modification ou de conversion arbitraire de l’unité. 2.3 Utilisation conforme ► Utilisez l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité uniquement pour l’admission pilotable de gaz inertes vers un système de gaz inerte sur les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum compatibles. ► L'unité de surveillance de gaz d'étanchéité doit uniquement être utilisée pour l'alimentation en air sec ou en azote. 2.4 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● Raccordement sur des pompes et des unités non conçues dans ce but selon leur manuel de l’utilisateur ● Raccordement sur des unités avec des pièces nues sous tension ● Utilisation de la pompe à vide dans des atmosphères potentiellement explosives ● Utilisation d'accessoires ou de pièces détachées non répertoriés dans ce manuel de l’utilisateur 2.5 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 9/22 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Description fonctionnelle La purge de gaz neutre sert à protéger la pompe à vide dans les procédés poussiéreux ou à débit de gaz excessif. La purge de gaz neutre empêche la pénétration de substances dommageables dans l’espace du moteur et du palier. L'alimentation normalement mise en œuvre sans contrôle via la vanne de e gaz de pressurisation, ou, en option, via l'étranglement de gaz de pressurisation. L'unité de surveillance de gaz de pressurisation assure une alimentation permanente et constante en gaz de pressurisation. Le contrôle et la surveillance sont intégrés dans l'unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire. L'affichage et l'évaluation peuvent être effectués à l'aide d'un appareil de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum. 1 4 2 3 Fig. 2: Structure de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation 1 Raccordement électrique M12 2 Sortie de gaz, DN 10 ISO-KF 3.2 3 4 Admission de gaz, filetage 1/8" Enveloppe protectrice Étendue de la livraison ● Unité de surveillance du gaz de pressurisation ● Manuel de l’utilisateur 10/22 Installation 4 Installation AVIS Risque de dégâts causés par des gaz pompés non filtrés La pénétration de gaz non filtrés à l’admission d’une pompe à vide peut provoquer une contamination particulaire. Il existe un risque de détérioration, voire de destruction de composants de la pompe à vide. ► Installer des filtres convenables de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum en amont de l’admission de gaz avant d’utiliser l’air ambiant ou tout autre gaz non purifié. Préconisation d’utilisation ● Pfeiffer Vacuum recommande d’utiliser le gaz d'étanchéité à au moins 50 % du débit maximal de gaz de la pompe à vide. ● La pression d'entrée admissible du gaz d'étanchéité est de 1 500 hPa absolue. Les instructions d'installation se rapportent à l'application la plus courante, le raccordement d'une vanne de gaz d'étanchéité sur une pompe turbomoléculaire avec une vitesse de pompage de > 1.200 l/s. Le raccordement et la configuration sur d'autres pompes turbomoléculaires est sensiblement identique. Conditions préalables ● Pompe turbomoléculaire à l'arrêt et ventilée 1 2 7 6 Fig. 3: 1 2 3 4 4 5 3 Exemple : raccordement d'une unité de surveillance de gaz d'étanchéité sur HiPace 2300 Fiche de connexion du câble de commande Unité de surveillance du gaz d'étanchéité Anneau de centrage Circlip 5 6 7 Bride mâle filetée Vanne de gaz d'étanchéité Pompe turbomoléculaire Installation de l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité 1. Raccordez le côté sortie de gaz sur les composants à bride sur la vanne de gaz d'étanchéité. – Le cas échéant, utilisez un étranglement de gaz d'étanchéité au lieu d'une vanne de gaz d'étanchéité. 11/22 Installation 1 2 5 3 4 Fig. 4: Exemple : raccordement de l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité sur un TC 1 Fiche de connexion du câble de commande 4 2 Unité de surveillance du gaz d'étanchéité 3 Câble de raccordement pour le raccordement d’accessoires TC 5 Distributeur Y pour le raccordement d'accessoires Raccordements d'accessoires Raccordement de l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité 1. Raccordez la ligne de commande de la vanne de gaz d'étanchéité sur une prise de raccordement quelconque de l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité. 2. Serrez l'écrou à chapeau. 3. Assemblez la deuxième prise de raccordement sur l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité et une connexion pour accessoires libre sur le TC à l'aide d'un câble de raccordement. – Utilisez un distributeur Y en cas d'affectations multiples. 1 N 2 Fig. 5: Exemple : raccordement du gaz inerte sur l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité 1 Côté admission de gaz de l'unité de surveillance du gaz d'étanchéité 2 Conduite de gaz d'étanchéité Procédure 1. Assurez l'alimentation en gaz d'étanchéité (p. ex. N2). 2. Si nécessaire, utilisez un adaptateur de raccordement de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum (hors fourniture). 3. Raccordez la conduite de gaz d'étanchéité sur le côté admission(filetage 1/8 po). 4. Raccordez un filtre à particules sur l'admission lors de l'utilisation d'air ambiant comme gaz d'étanchéité. 12/22 Fonctionnement 5 Fonctionnement Les réglages et variables fonctionnelles importants sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre a un nombre à trois chiffres et une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par paramètres sont assurés par les appareils de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum, ou en externe via RS-485 utilisant le protocole Pfeiffer Vacuum. La configuration de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation dépend de l'affectation initiale de l'unité de commande électronique d'une pompe turbomoléculaire. Les pompes standards sont déjà préconfigurées en usine. Les adaptations effectuées par le client sur des versions spéciales peuvent différer de la configuration standard. Paramètre Nom Désignation Réglage [P:050] SealingGas Gaz de pressurisation 0 = Arrêt 1 = Marche [P:035] CfgAccA1 Raccordement des accessoires A1 13 = surveillance de la purge de gaz neutre [P:036] CfgAccB1 Raccordement des accessoires B1 [P:037] CfgAccA2 Raccordement des accessoires A2 [P:038] CfgAccB2 Raccordement des accessoires B2 [P:791] SlgWrnThrs Seuil d’avertissement du débit de gaz de pressurisation 5 - 200 sccm [P:337] SealGasFlw Débit purge de gaz neutre Demande d'état uniquement Tab. 4: Réglages des paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe turbo­ moléculaire Configuration de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation 1. Référez-vous au manuel de l'utilisateur de la pompe à vide correspondante pour plus de détails sur le débit. 2. Vérifiez que la présélection de consignes et les instructions de réglages sont appropriées au procédé. 3. Configurez la sortie d’accessoire pour le gaz de pressurisation via les interfaces de l'unité de commande électronique. 4. Contactez Pfeiffer Vacuum pour toutes questions sur le réglage des paramètres. L'unité de surveillance de gaz de pressurisation raccordée est prête pour l'utilisation dès que l'alimentation en tension de service est active sur l'unité de commande électronique. Ajustage du gaz de pressurisation Pfeiffer Vacuum recommande un réglage de la quantité de gaz de pressurisation analogue au débit prescrit de la vanne de gaz de pressurisation ou de l'étranglement de gaz de pressurisation. Ajuster le gaz de pressurisation 1. Réglez le débit en sccm avec le paramètre [P:791]. 2. Sélectionnez le débit actuel de gaz de pressurisation pendant le fonctionnement avec le paramètre [P:337]. 13/22 Recyclage et mise au rebut 6 Recyclage et mise au rebut Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Acier inoxydable – Aluminium – Matière synthétique – Composants électroniques ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) 14/22 Dysfonctionnements 7 Dysfonctionnements 7.1 Codes d’erreur Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours l’arrêt des appareils périphériques connectés. Les avertissements (* Warning F –––– *) sont uniquement affichés et n’entraînent pas de mise hors tension des composants. Traitement des messages d’anomalie 1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. 2. Éliminez la cause de l’anomalie. 3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009]. – Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d’écran sur les appareils de commande Pfeiffer Vacuum. Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Wrn021 Signal de verrouillage invalide ● Le signal de la surveillance du signal de verrouillage se trouve en-dehors de la plage valide ● Pas de raccordement électrique de l'unité de surveillance de purge de gaz neutre Ce message apparaît 5 secondes après l'événement ● Vérifiez la configuration des raccordements d'accessoires ● Contrôlez le raccordement électrique ● Vérifiez le débit de la purge de gaz neutre ● Vérifiez la pression de la purge de gaz neutre Wrn034 Débit inadéquat de la purge de gaz neutre ● Le signal de la surveillance de la purge de gaz neutre est valide, mais en-dessous du seuil réglé selon [P:791] Ce message apparaît env. 1 minute après l'événement ● Vérifiez le débit de la purge de gaz neutre ● Vérifiez la configuration des paramètres et ajustez si nécessaire Tab. 5: Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique 15/22 Accessoires 8 Accessoires 1 2 3 4 11 5 10 9 8 7 6 Fig. 6: Aperçu des accessoires N° d’arti­ cle Position Description Référence de com­ mande 1 Côté sortie Anneau de centrage, aluminium EN AW-6061, DN 10 ISO-KF 112ZRG010 2 Côté sortie Anneau de serrage, pour joint élastomère, DN 10–16 ISO-KF PF 100 316 -T 3 Côté sortie Étranglement de gaz de balayage pour HiPace 30/60/80 PM Z01 316 Étranglement de purge de gaz neutre pour HiPace 300 PM Z01 317 Étranglement de purge de gaz neutre pour HiPace 400/700/800 P aussi bien que HiPace 1200– 2300 PM Z01 318 Étranglement de purge de gaz neutre pour HiPace 1200–2300 PM Z01 319 Étranglement de purge de gaz neutre pour HiPace 1200 – 2300, 52,5 ±7,5 sccm PM Z01 325 4 Côté sortie Bride à filetage de tuyauterie, DN 16 ISO-KF, G 1/8" PM 016 780 -T 5 Côté sortie Vanne de purge de gaz neutre, blindée pour HiPace 300 avec TC 400 et TM 700, TCP 350 PM Z01 312 Vanne de purge de gaz neutre, blindée pour version HiPace 400/700/800 P avec TC 400 et HiPace 1200-2300 avec TC 1200 PM Z01 313 Vanne de gaz de balayage, blindée pour HiPace 1200–2300 avec TC 1200 PM Z01 314 Raccord rapide pour tube 6 mm, G 1/8" PM 016 781 -T 6 Raccord rapide pour tube 8 mm, G 1/8" PM 016 782 -T 7 Embout droit pour tuyau 9 mm, G 1/8" PM 016 783 -T 8 TTV 001, sécheur PM Z00 121 9 Bride à filetage de tuyauterie, DN 16 ISO-KF, G 1/8" PM 016 780 -T 10 Filtre d'admission Sur demande 11 Vanne de remise à l'air, blindée, 24 V CC, G 1/8" pour le raccordement à TC 400/1200 et TM 700 PM Z01 291 Tab. 6: 16/22 Côté admission Accessoires Caractéristiques techniques et dimensions 9 Caractéristiques techniques et dimensions 9.1 Généralités mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s mbar l/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 Pa m3/s 10 1 592 7,5 sccm Torr l/s 3 atm cm /s Tab. 7: 9.2 9,87 1.69 · 10 1.69 · 10 1 1,27 · 10 1.67 · 10-2 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 -3 -2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz Fiche technique Débit de gaz Le débit de gaz augmente en fonction de la pression d’admission. Désignation du type Unité de surveillance du gaz de pressurisation Numéro de commande PM 016 911 AU Bride de raccordement (entrée) G 1/8" Bride de raccordement (sortie) DN 10 ISO- KF/filetage 1/8" Gamme de mesure 5 – 200 sccm Précision ±3 sccm Tensions d’entrée 24 V CC Puissance absorbée 0,5 W Unité de commande électronique TC 400, TC 1200, TM 700 Interfaces I/O RS-485 Type de refroidissement Convection Température de fonctionnement max. 60 °C Type de protection IP54 Poids 345 g Tab. 8: Fiche technique de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation 17/22 Caractéristiques techniques et dimensions Dimensions 52.5 40 15.5 56.5 DN 10 ISO-KF 9.3 72.3 40.9 G 1 /8 " 81.5 Fig. 7: Dimensions unité de surveillance de gaz de pressurisation Dimensions en mm 18/22 54.9 Déclaration de conformité CE Déclaration pour produit(s) du type : Unité de surveillance de gaz d'étanchéité Pompes turbomoléculaires HiPace Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen­ nes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN 61000-3-2 : 2019 DIN EN 61000-3-3 : 2020 DIN EN 61326-1 : 2018 DIN VDE 0580 : 2011 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Aßlar, 2020-05-05 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Unité de surveillance du gaz de pressurisation Pompes turbomoléculaires HiPace Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dange­ reuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Normes et spécifications appliquées: EN IEC 61000-3-2: 2019 EN IEC 61000-3-3: 2013 EN IEC 61326-1: 2021 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-05-15 21/22 Notizen / Notes: *PT0817* A - Date 2306 - P/N:PT0817BFR ">
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