Pfeiffer Sealing Gas Monitoring Unit Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
HIPACE
Unité de surveillance de gaz d'étanchéité
Cher Client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvel accessoire
Pfeiffer Vacuum vous donnera entière satisfaction pour votre application, de par sa
conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme
de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de
produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. En capitalisant sur notre
expertise, nous avons développé une multitude de compétences qui contribuent à la sécurité
et à l’efficacité de mise en œuvre de nos produits.
Nous sommes convaincus que notre produit sera à la hauteur de vos attentes : une solution
efficace et fonctionnelle pour votre application, sans perturber votre activité.
Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois.
Pour toute question ou suggestion, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse
[email protected].
Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/22
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Public visé
1.2 Conventions
1.2.1 Instructions dans le texte
1.2.2 Abréviations
1.2.3 Autocollants sur le produit
6
6
6
6
6
6
6
7
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Mesures de sécurité
2.3 Utilisation conforme
2.4 Utilisations non conformes prévisibles
2.5 Qualification personnelle
8
8
8
9
9
9
3
Description du produit
3.1 Description fonctionnelle
3.2 Étendue de la livraison
10
10
10
4
Installation
11
5
Fonctionnement
13
6
Recyclage et mise au rebut
14
7
Dysfonctionnements
7.1 Codes d’erreur
15
15
8
Accessoires
16
9
Caractéristiques techniques et dimensions
9.1 Généralités
9.2 Fiche technique
9.3 Dimensions
17
17
17
18
Déclaration de conformité CE
19
Déclaration de Conformité UK
20
3/22
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
4/22
Documents applicables
Abréviations utilisées dans ce document
Autocollants sur le produit
Réglages des paramètres dans l’unité de commande électronique de la
pompe turbomoléculaire
Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique
Accessoires
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Fiche technique de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation
6
7
7
13
15
16
17
17
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Position de l’autocollant sur le produit
Structure de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation
Exemple : raccordement d'une unité de surveillance de gaz d'étanchéité sur
HiPace 2300
Exemple : raccordement de l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité sur
un TC
Exemple : raccordement du gaz inerte sur l'unité de surveillance de gaz
d'étanchéité
Aperçu des accessoires
Dimensions unité de surveillance de gaz de pressurisation
7
10
11
12
12
16
18
5/22
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Public visé
Ce manuel de l’utilisateur est destiné aux personnes qui
● installent,
● utilisent.
Les actions présentées dans ce document s’adressent uniquement aux personnes ayant suivi une formation technique convenable (niveau expert) ou une formation équivalente de Pfeiffer Vacuum.
1.2
Conventions
1.2.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.2.2
6/22
Abréviations
DN
Diamètre nominal comme désignation de grandeur
ISO
Bride : Raccord conforme aux normes ISO 1609 et 2861
DEL
Diode électroluminescente
M8
Connecteur à filetage M8
M12
Connecteur à filetage M12
A propos de ce manuel
TC
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de pompe turbomoléculaire)
TCP
Unité de commande électronique externe de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) avec alimentation en courant
TM
Unité de commande électronique de pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) et contrôleur de palier magnétique
WAF
largeur sur pans
Tab. 2:
1.2.3
Abréviations utilisées dans ce document
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
Plaque signalétique (exemple)
La plaque signalétique se situe sur le boîtier
Sealing gas
monitoring unit
PM 016 911 AU
Made in Germany 2023/05
Sceau de garantie
Le produit est scellé, départ d’usine. L’endommagement ou
le retrait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie caduque.
warranty seal
Tab. 3:
Autocollants sur le produit
1
Fig. 1:
2
Position de l’autocollant sur le produit
1 Sceau de garantie
2
Plaque signalétique
7/22
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Mesures de sécurité
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
8/22
Sécurité
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► N’effectuez pas de modification ou de conversion arbitraire de l’unité.
2.3
Utilisation conforme
► Utilisez l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité uniquement pour l’admission pilotable de gaz
inertes vers un système de gaz inerte sur les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum compatibles.
► L'unité de surveillance de gaz d'étanchéité doit uniquement être utilisée pour l'alimentation en air
sec ou en azote.
2.4
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
● Raccordement sur des pompes et des unités non conçues dans ce but selon leur manuel de l’utilisateur
● Raccordement sur des unités avec des pièces nues sous tension
● Utilisation de la pompe à vide dans des atmosphères potentiellement explosives
● Utilisation d'accessoires ou de pièces détachées non répertoriés dans ce manuel de l’utilisateur
2.5
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
9/22
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Description fonctionnelle
La purge de gaz neutre sert à protéger la pompe à vide dans les procédés poussiéreux ou à débit de
gaz excessif. La purge de gaz neutre empêche la pénétration de substances dommageables dans l’espace du moteur et du palier. L'alimentation normalement mise en œuvre sans contrôle via la vanne de
e gaz de pressurisation, ou, en option, via l'étranglement de gaz de pressurisation.
L'unité de surveillance de gaz de pressurisation assure une alimentation permanente et constante en
gaz de pressurisation. Le contrôle et la surveillance sont intégrés dans l'unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire. L'affichage et l'évaluation peuvent être effectués à l'aide d'un appareil de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum.
1
4
2
3
Fig. 2:
Structure de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation
1 Raccordement électrique M12
2 Sortie de gaz, DN 10 ISO-KF
3.2
3
4
Admission de gaz, filetage 1/8"
Enveloppe protectrice
Étendue de la livraison
● Unité de surveillance du gaz de pressurisation
● Manuel de l’utilisateur
10/22
Installation
4 Installation
AVIS
Risque de dégâts causés par des gaz pompés non filtrés
La pénétration de gaz non filtrés à l’admission d’une pompe à vide peut provoquer une contamination
particulaire. Il existe un risque de détérioration, voire de destruction de composants de la pompe à
vide.
► Installer des filtres convenables de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum en amont de l’admission de gaz avant d’utiliser l’air ambiant ou tout autre gaz non purifié.
Préconisation d’utilisation
● Pfeiffer Vacuum recommande d’utiliser le gaz d'étanchéité à au moins 50 % du débit
maximal de gaz de la pompe à vide.
● La pression d'entrée admissible du gaz d'étanchéité est de 1 500 hPa absolue.
Les instructions d'installation se rapportent à l'application la plus courante, le raccordement d'une vanne
de gaz d'étanchéité sur une pompe turbomoléculaire avec une vitesse de pompage de > 1.200 l/s. Le
raccordement et la configuration sur d'autres pompes turbomoléculaires est sensiblement identique.
Conditions préalables
● Pompe turbomoléculaire à l'arrêt et ventilée
1
2
7
6
Fig. 3:
1
2
3
4
4
5
3
Exemple : raccordement d'une unité de surveillance de gaz d'étanchéité sur HiPace
2300
Fiche de connexion du câble de commande
Unité de surveillance du gaz d'étanchéité
Anneau de centrage
Circlip
5
6
7
Bride mâle filetée
Vanne de gaz d'étanchéité
Pompe turbomoléculaire
Installation de l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité
1. Raccordez le côté sortie de gaz sur les composants à bride sur la vanne de gaz d'étanchéité.
– Le cas échéant, utilisez un étranglement de gaz d'étanchéité au lieu d'une vanne de gaz
d'étanchéité.
11/22
Installation
1
2
5
3
4
Fig. 4:
Exemple : raccordement de l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité sur un TC
1 Fiche de connexion du câble de commande
4
2 Unité de surveillance du gaz d'étanchéité
3 Câble de raccordement pour le raccordement d’accessoires TC
5
Distributeur Y pour le raccordement d'accessoires
Raccordements d'accessoires
Raccordement de l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité
1. Raccordez la ligne de commande de la vanne de gaz d'étanchéité sur une prise de raccordement
quelconque de l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité.
2. Serrez l'écrou à chapeau.
3. Assemblez la deuxième prise de raccordement sur l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité et
une connexion pour accessoires libre sur le TC à l'aide d'un câble de raccordement.
– Utilisez un distributeur Y en cas d'affectations multiples.
1
N
2
Fig. 5:
Exemple : raccordement du gaz inerte sur l'unité de surveillance de gaz d'étanchéité
1 Côté admission de gaz de l'unité de surveillance du gaz d'étanchéité
2
Conduite de gaz d'étanchéité
Procédure
1. Assurez l'alimentation en gaz d'étanchéité (p. ex. N2).
2. Si nécessaire, utilisez un adaptateur de raccordement de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum (hors fourniture).
3. Raccordez la conduite de gaz d'étanchéité sur le côté admission(filetage 1/8 po).
4. Raccordez un filtre à particules sur l'admission lors de l'utilisation d'air ambiant comme gaz d'étanchéité.
12/22
Fonctionnement
5 Fonctionnement
Les réglages et variables fonctionnelles importants sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre a un nombre à trois
chiffres et une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par paramètres sont assurés par les
appareils de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum, ou en externe via RS-485 utilisant le protocole
Pfeiffer Vacuum.
La configuration de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation dépend de l'affectation initiale de
l'unité de commande électronique d'une pompe turbomoléculaire. Les pompes standards sont déjà préconfigurées en usine. Les adaptations effectuées par le client sur des versions spéciales peuvent différer de la configuration standard.
Paramètre
Nom
Désignation
Réglage
[P:050]
SealingGas
Gaz de pressurisation
0 = Arrêt
1 = Marche
[P:035]
CfgAccA1
Raccordement des accessoires
A1
13 = surveillance de la purge de gaz
neutre
[P:036]
CfgAccB1
Raccordement des accessoires
B1
[P:037]
CfgAccA2
Raccordement des accessoires
A2
[P:038]
CfgAccB2
Raccordement des accessoires
B2
[P:791]
SlgWrnThrs
Seuil d’avertissement du débit de
gaz de pressurisation
5 - 200 sccm
[P:337]
SealGasFlw
Débit purge de gaz neutre
Demande d'état uniquement
Tab. 4:
Réglages des paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe turbo­
moléculaire
Configuration de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation
1. Référez-vous au manuel de l'utilisateur de la pompe à vide correspondante pour plus de détails
sur le débit.
2. Vérifiez que la présélection de consignes et les instructions de réglages sont appropriées au procédé.
3. Configurez la sortie d’accessoire pour le gaz de pressurisation via les interfaces de l'unité de commande électronique.
4. Contactez Pfeiffer Vacuum pour toutes questions sur le réglage des paramètres.
L'unité de surveillance de gaz de pressurisation raccordée est prête pour l'utilisation dès que l'alimentation en tension de service est active sur l'unité de commande électronique.
Ajustage du gaz de pressurisation
Pfeiffer Vacuum recommande un réglage de la quantité de gaz de pressurisation analogue
au débit prescrit de la vanne de gaz de pressurisation ou de l'étranglement de gaz de pressurisation.
Ajuster le gaz de pressurisation
1. Réglez le débit en sccm avec le paramètre [P:791].
2. Sélectionnez le débit actuel de gaz de pressurisation pendant le fonctionnement avec le paramètre [P:337].
13/22
Recyclage et mise au rebut
6 Recyclage et mise au rebut
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Acier inoxydable
– Aluminium
– Matière synthétique
– Composants électroniques
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
14/22
Dysfonctionnements
7 Dysfonctionnements
7.1
Codes d’erreur
Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours l’arrêt des appareils périphériques connectés.
Les avertissements (* Warning F –––– *) sont uniquement affichés et n’entraînent pas de mise hors tension des composants.
Traitement des messages d’anomalie
1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
2. Éliminez la cause de l’anomalie.
3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009].
– Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d’écran sur les appareils de commande
Pfeiffer Vacuum.
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Wrn021
Signal de
verrouillage
invalide
● Le signal de la surveillance du signal de verrouillage se trouve en-dehors de la plage
valide
● Pas de raccordement électrique de l'unité de
surveillance de purge de gaz neutre
Ce message apparaît 5 secondes après l'événement
● Vérifiez la configuration des raccordements d'accessoires
● Contrôlez le raccordement électrique
● Vérifiez le débit de la purge de gaz
neutre
● Vérifiez la pression de la purge de
gaz neutre
Wrn034
Débit inadéquat de la
purge de gaz
neutre
● Le signal de la surveillance de la purge de
gaz neutre est valide, mais en-dessous du
seuil réglé selon [P:791]
Ce message apparaît env. 1 minute après l'événement
● Vérifiez le débit de la purge de gaz
neutre
● Vérifiez la configuration des paramètres et ajustez si nécessaire
Tab. 5:
Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique
15/22
Accessoires
8 Accessoires
1
2
3
4
11
5
10
9
8
7
6
Fig. 6:
Aperçu des accessoires
N°
d’arti­
cle
Position
Description
Référence de com­
mande
1
Côté sortie
Anneau de centrage, aluminium EN AW-6061,
DN 10 ISO-KF
112ZRG010
2
Côté sortie
Anneau de serrage, pour joint élastomère, DN
10–16 ISO-KF
PF 100 316 -T
3
Côté sortie
Étranglement de gaz de balayage pour HiPace
30/60/80
PM Z01 316
Étranglement de purge de gaz neutre pour HiPace 300
PM Z01 317
Étranglement de purge de gaz neutre pour HiPace 400/700/800 P aussi bien que HiPace 1200–
2300
PM Z01 318
Étranglement de purge de gaz neutre pour HiPace 1200–2300
PM Z01 319
Étranglement de purge de gaz neutre pour HiPace 1200 – 2300, 52,5 ±7,5 sccm
PM Z01 325
4
Côté sortie
Bride à filetage de tuyauterie, DN 16 ISO-KF, G
1/8"
PM 016 780 -T
5
Côté sortie
Vanne de purge de gaz neutre, blindée pour HiPace 300 avec TC 400 et TM 700, TCP 350
PM Z01 312
Vanne de purge de gaz neutre, blindée pour version HiPace 400/700/800 P avec TC 400 et HiPace 1200-2300 avec TC 1200
PM Z01 313
Vanne de gaz de balayage, blindée pour HiPace
1200–2300 avec TC 1200
PM Z01 314
Raccord rapide pour tube 6 mm, G 1/8"
PM 016 781 -T
6
Raccord rapide pour tube 8 mm, G 1/8"
PM 016 782 -T
7
Embout droit pour tuyau 9 mm, G 1/8"
PM 016 783 -T
8
TTV 001, sécheur
PM Z00 121
9
Bride à filetage de tuyauterie, DN 16 ISO-KF, G
1/8"
PM 016 780 -T
10
Filtre d'admission
Sur demande
11
Vanne de remise à l'air, blindée, 24 V CC, G 1/8"
pour le raccordement à TC 400/1200 et TM 700
PM Z01 291
Tab. 6:
16/22
Côté admission
Accessoires
Caractéristiques techniques et dimensions
9 Caractéristiques techniques et dimensions
9.1
Généralités
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
mbar l/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m3/s
10
1
592
7,5
sccm
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 7:
9.2
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,27 · 10
1.67 · 10-2
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
-3
-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Fiche technique
Débit de gaz
Le débit de gaz augmente en fonction de la pression d’admission.
Désignation du type
Unité de surveillance du gaz de pressurisation
Numéro de commande
PM 016 911 AU
Bride de raccordement (entrée)
G 1/8"
Bride de raccordement (sortie)
DN 10 ISO- KF/filetage 1/8"
Gamme de mesure
5 – 200 sccm
Précision
±3 sccm
Tensions d’entrée
24 V CC
Puissance absorbée
0,5 W
Unité de commande électronique
TC 400, TC 1200, TM 700
Interfaces I/O
RS-485
Type de refroidissement
Convection
Température de fonctionnement max.
60 °C
Type de protection
IP54
Poids
345 g
Tab. 8:
Fiche technique de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation
17/22
Caractéristiques techniques et dimensions
Dimensions
52.5
40
15.5
56.5
DN 10 ISO-KF
9.3
72.3
40.9
G 1 /8 "
81.5
Fig. 7:
Dimensions unité de surveillance de gaz de pressurisation
Dimensions en mm
18/22
54.9
Déclaration de conformité CE
Déclaration pour produit(s) du type :
Unité de surveillance de gaz d'étanchéité
Pompes turbomoléculaires HiPace
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen­
nes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN 61000-3-2 : 2019
DIN EN 61000-3-3 : 2020
DIN EN 61326-1 : 2018
DIN VDE 0580 : 2011
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Aßlar, 2020-05-05
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Unité de surveillance du gaz de pressurisation
Pompes turbomoléculaires HiPace
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dange­
reuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications appliquées:
EN IEC 61000-3-2: 2019
EN IEC 61000-3-3: 2013
EN IEC 61326-1: 2021
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-05-15
21/22
Notizen / Notes:
*PT0817*
A - Date 2306 - P/N:PT0817BFR
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