Pfeiffer IKR 261 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
Traduction du manuel de l'utilisateur
IKR 261
BG 5153 BFR / D (2017-07
Jauge compacte à cathode froide avec joint métallique
Identification du produit
Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit sont nécessaires pour
toutes communications à Pfeiffer Vacuum.
Validité
Ce document est valable pour les produits avec les numéros de référence
PT R26 250
(DN 25 ISO-KF, Version courte)
PT R26 251
(DN 40 CF-F, Version courte)
(DN 40 CF-F, Version longue)
PT R26 252
Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique
Nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans préavis.
Utilisation prévue
La jauge à cathode froide IKR 261 permet la mesure du vide de gaz sur une plage
-9
-2
de pression de 2×10 … 1×10 hPa.
La jauge peut être exploitée avec un appareil de mesure et de commande
Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes ou avec un instrument d'évaluation du
client.
Principe de fonctionnement
Le signal de mesure varie de manière logarithmique avec la pression sur toute la
plage de mesure.
Un circuit de mesure à ionisation à cathode froide (suivant le principe du
magnétron inverti) est utilisé.
2
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(2017-07)
IKR 261
Sommaire
Identification du produit
Validité
Utilisation prévue
Principe de fonctionnement
2
2
2
2
1 Sécurité
1.1 Explication des signes
1.2 Qualification du personnel
1.3 Indications concernant la sécurité
1.4 Responsabilité et garantie
4
4
4
4
5
2 Caractéristiques techniques
6
3 Installation
3.1 Raccordement au vide
3.1.1 Démontage de l'unité magnétique (uniquement pour les brides CF
3.2 Raccordement électrique
3.2.1 Utilisation avec appareil de mesure Pfeiffer Vacuum
3.2.2 Utilisation avec d'autres appareils d'évaluation
9
9
10
11
11
11
4 Fonctionnement
13
5 Maintenance
5.1 Nettoyage des tubes de mesure / Montage des pièces de rechange
5.1.1 Démontage
5.1.2 Nettoyage de la jauge
5.1.3 Assemblage de la jauge
5.1.4 Ajustage des tubes de mesure
5.2 Comportement en présence d'un défaut
14
14
15
17
18
21
21
6 Démontage
22
7 Retour du produit
23
8 Accessoires
23
9 Pièces de rechange
24
10
24
Recyclage
Annexe
A: Table de conversion des unités de pression
B: Rapport signal de mesure – pression
C: Dépendance du type de gaz
25
25
25
26
Certification ETL
27
Pour des références aux pages de ce document, le signe (→  XY) est utilisé, pour
des références à d'autres documents, le signe (→  [Z]).
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3
1 Sécurité
1.1 Explication des signes
DANGER
Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature.
AVERTISSEMENT
Indications concernant la prévention de dégradations de l'environnement et
d'importants dégâts matériels.
Attention
Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect
des instructions peut provoquer des disfonctionnements ou des dégâts matériels
mineurs.
1.2 Qualification du
personnel
Personnel qualifié
Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des
personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire
ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit.
1.3 Indications concernant
la sécurité
•
Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes
aux gaz utilisés.
Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit (→  7) et les
gaz des procédés.
Considérer des réactions possibles des gaz de procédés à la chaleur générée
par le produit.
•
Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées
concernant toute intervention. Tenir également compte des dispositions de
précaution figurant dans ce document.
•
Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination.
Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à
la manipulation d'éléments contaminés.
DANGER
DANGER : champs magnétiques
Les champs magnétiques puissants peuvent perturber ou gêner le
fonctionnement des appareils électroniques, p. ex. des stimulateurs
cardiaques.
Observer une distance de sécurité supérieure ou égale à 10 cm entre
le stimulateur cardiaque et l'aimant ou éviter toute perturbation
émanant de champs magnétiques puissants en installant des
blindages adéquats.
Communiquer les indications concernant la sécurité aux autres utilisateurs.
4
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1.4 Responsabilité et
garantie
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et
non avenue si le détenteur ou une tierce personne
•
n'observe pas les indications figurant dans ce document
•
utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue
•
modifie ce produit d'une façon quelconque
•
utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation
du produit correspondante.
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur.
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces
d'usure (p. ex. filament), sont exclues de la garantie.
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2 Caractéristiques techniques
Températures admissibles
Stockage
Service
Toutes les versions
Version longue
Etuvage
Versions courtes
Version longue
Humidité relative
Utilisation
-40 °C ... +65 °C
+ 5 °C ... +55 °C
250 °C dans la zone de chauffage
conformément au dessin coté (sans
blindage magnétique)
+250 °C (sans unité électronique, ni
blindage magnétique)
250 °C dans la zone de chauffage
conformément au dessin coté (sans
blindage magnétique)
≤ 80% à température jusqu'à +31 °C,
diminuant à 50% à +40 °C
en salle, altitude max. 2000 m
Gamme de mesure (air, N2)
Précision
2×10-9 ... 1×10-2 hPa
Reproductibilité
≈ ± 5 % mesure dans la gamme
-8
-3
1×10 ... ... 1×10 hPa
Dépendance du type de gaz
→ Annexe C
Compensation
Le tube de mesure est ajusté à l’usine
et sans entretien.
Protection
Pression max. (absolue)
IP 40
1000 kPa limitée aux gaz inertes et aux
températures < 100 °C
≈ ± 30% mesure dans la gamme
1×10-8 ... 1×10-3 hPa
Alimentation
DANGER
La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils
de mesure répondant aux exigences pour les basses tensions mises à
la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers la jauge.1)
Tension à la jauge
15,0 ... 30,0 V= (ondulation 1 Vpp)
Puissance absorbée
≤2W
1)
≤ 1 Alerte
Fusible
La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée
proportionnellement à la longueur du câble de mesure.
Tension d'alimentation à longueur
max. du câble
16,0 ... 30,0 V= (ondulation 1 Vpp)
Raccordement électrique
Couple de serrage
Câble jauge
Longueur max. du câble
1)
6
connecteur compact Hirschmann, type
GO 60 UM 6 pôles, mâle
≤ 0.2 Nm
5 pôles, blindé
100 m (conducteurs 0,25 mm²)
150 m (conducteurs 0,34 mm²)
500 m (conducteurs 1,0 mm²)
Les instruments de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes satisfont à cette
exigence.
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Tension de service
(dans la chambre de mesure)
Courant de service
(dans la chambre de mesure)
Signal de sortie (mesure)
Gamme de mesure
Relation tension – pression
Signaux d'erreur
Impédance de sortie
Impédance chargée minimale
Temps de réponse
-6
p > 10 hPa
-8
p = 10 hPa
2×10 Ω
10 kΩ, résistant aux courts-circuits
en fonction de la pression
<10 ms
≈ 1s
Conception de la terre
→ Figure 2
Matériaux au contact du vide
Isolation de traversée
Joints internes
Bride
Chambre de mesure
Anode
Dispositif d'allumage
Volume interne
IKR 261
≈ 0 V ... ≈ +10,5 V
logarithmique, 1 V / décade
(→ Annexe B)
<0,5 V (sans alimentation)
Résistance 5,1 kΩ contre terre
alimentation → Figure 2
Masse alimentation – masse signal
(2017-07)
≤ 500 µA
Identification de la jauge
Raccord à vide – masse
alimentation
BG 5153 BFR / D
≤ 3,3 kV
reliés par 10 kΩ (différence max. de
tension
pour sécurité
±50 V
pour précision
±10 V)
conduites séparément; avec les câbles
de grande longueur (≥10 m) nous
recommandons une mesure différentielle
céramique (Al2O3)
Ag
acier inoxydable
(1.4306 / AISI 304L)
acier inoxydable
(1.4306 / AISI 304L)
Mo
acier inoxydable l (1.4310/AISI 301)
≈ 20 cm³
7
Dimensions [mm]
Poids
8
700 g (DN 40 ISO-KF Version courte)
Version courte)
950 g (DN 40 CF-F
1100 g (DN 40 CF-F
Version longue)
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3 Installation
3.1 Raccordement au vide
Attention
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du
composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées
pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels.
La position d'installation n'est pas imposée, veiller cependant à ce que les
particules ne puissent pas pénétrer dans la chambre de mesure (→  13).
L'encombrement requis est indiqué sur le plan coté (→  8).
Procédure à suivre
 Retirer le protecteur.
Garder le protecteur en vue
de travaux de maintenance.
 Raccorder la jauge au système à vide.
En cas d'utilisation de brides CF, il peut
être avantageux d'enlever
momentanément l'unité magnétique
(→ section 3.1.1).
DANGER
DANGER : surpression dans le système à vide > 250 kPa
Les anneaux d'étanchéité en élastomère (p. ex. joints toriques)
des raccords à brides KF ne peuvent pas résister à de telles
pressions. Des gaz peuvent donc s'échapper et avoir des effets
nuisibles pour la santé.
Utiliser des anneaux d'étanchéité pourvus d'un anneau de
centrage extérieur.
DANGER
DANGER : surpression dans le système à vide > 100 kPa
Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque il règne une
surpression dans le système à vide, des composants peuvent
être projetés et causer des blessures. Des gaz peuvent
également s'échapper et avoir des effets nuisibles pour la
santé.
Utiliser des éléments de serrage convenables pour la
surpression.
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9
DANGER
La jauge doit être connectée directement à la chambre à vide
mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences
d'une connexion de protection selon la norme EN 61010 :
• Les raccords à vide CF satisfont à ces exigences.
•
Pour les brides KF il faudra utiliser un collier de serrage
conducteur
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : amorçage électrique
L'hélium peut provoquer des amorçages électriques à l'intérieur
de l'électronique du produit et détruire l'électronique.
Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre hors service le
produit et démonter l'unité électronique.
3.1.1 Démontage de l'unité
magnétique (uniquement
pour les brides CF
Outillage requis
Procédure à suivre
•
Clé pour vis à six pans creux de 1.5
•
Clé à fourche de 7
 Retirer la vis sans tête (1) sur le côté de l'unité électronique (2)
(→ Figure 1).
 Retirer l’unité électronique (2).
 Dévisser la vis hexagonale (3) de l'unité magnétique (4) puis retirer l'unité
magnétique.
Attention
En raison de l'exposition à la force magnétique et de la tendance à se coincer, la séparation de l'unité magnétique et de la
chambre de mesure (7) n'est pas facile.
 Raccorder la jauge au système à vide.
 Mettre en place l'unité magnétique puis la fixer à l'aide de la vis hexagonale
(3).
 Mettre en place avec précaution l'unité électronique (2).
 Enfoncer à fond l'unité électronique puis la fixer à l'aide de la vis sans tête
(1).
10
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2
3
4
2
7
1
3
4
1
7
Figure 1
3.2.1 Utilisation avec appareil
de mesure
Pfeiffer Vacuum
Pour l'utilisation de la jauge avec
un appareil de mesure et de
commande Pfeiffer Vacuum pour
jauges compactes, un câble de
raccordement compatible est
requis (→  23).
•
3.2.2 Utilisation avec d'autres
appareils d'évaluation
Procédure à suivre
Fixer la prise du câble de
raccordement sur la jauge
avec la vis (couple de
serrage ≤ 0.2 Nm).
VACUUM
Raccordement
électrique
Compact
Cold Cathode
Gauge
3.2
Avec les câbles de longueur inférieure ou égale à 10 m (avec une section de
2
conducteur de 0.34 mm ), le signal de mesure peut directement être mesuré, sans
perte de précision, entre la sortie positive du signal (broche 2) et la masse
alimentation (broche 5). Avec les câbles de longueur supérieure, il est
recommandé de réaliser une mesure différentielle entre la sortie du signal et la
masse signal (broche 3) (avec un câble de longueur maximal admissible, le signal
de mode commun s'élève à ≈ 1.0 V suite à une chute de tension par le biais du
conducteur de la masse alimentation).
la prise de
 Préparer
raccordement (numéro de
référence →  23).
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 Souder le câble de raccordement dans la prise selon le schéma suivant.
10
10
5.1 k
2
V
3
–
1
4
+
–
5
10k
+
6
Figure 2:
Affectation des contacts
Broche 1 Identification
Broche 2 Sortie du signal
(mesure)
Broche 3 Masse signal
Broche 4 Alimentation
Broche 5 Masse
alimentation
Broche 6 Blindage
3
2
4
5
1
6
Prise côté soudures
AVERTISSEMENT
La masse alimentation (broche 5) ainsi que le blindage
(broche 6) du dispositif d'alimentation doivent impérativement
être reliés à la terre.
Un raccordement incorrect, une polarité incorrecte ou une
tension d'alimentation non autorisée peuvent endommager la
jauge.
 Assembler la prise de raccordement.
 Emboîter la prise.
VACUUM
12
Compact
Cold Cathode
Gauge
Fixer la prise sur la jauge à l'aide
de la vis (couple de serrage
≤ 0.2 Nm).
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4 Fonctionnement
Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose entre les broches 2 et 3
du signal de mesure qui est émis comme logarithme de la pression dans toute la
gamme de mesure (rapport entre le signal de et la pression → Annexe B).
La lampe verte du tube de mesure
indique l’état de fonctionnement :
Tension d’alimentation existante.
Tension d’alimentation inexistante.
Attention
Ne mettez en circuit les tubes de mesure qu’avec une pression
-2
<10 hPa pour éviter un encrassement excessif.
Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum pour tubes de mesure
compacts avec deux raccords de tubes de mesure au minimum, le
tube de mesure à cathode froide peut par exemple être commandé
par un tube de mesure Pirani.
Dépendance du type de gaz
La valeur de mesure dépend de la nature du gaz. Elle correspond à l'air sec, à
l'oxygène (O2), au monoxyde de carbone (CO), et à l'azote (N2). Pour d'autres gaz,
procéder à la conversion (→ Annexe C).
Avec les instruments de mesure Pfeiffer Vacuum, cela peut être réalisé en
saisissant le facteur de correction correspondant (→  de l'instrument de mesure
correspondant).
Délai d'amorçage
À la mise en circuit de la jauge, le système de cathode froide s'active avec
temporisation. Celle-ci augmente à des pressions plus basses et celle de jauges
dégazées propres atteint les valeurs typiques suivantes à :
-7
10 hPa ≈ 0.1 Minute
-8
10 hPa ≈ 1 Minute
2×10-9 hPa ≈ 5 Minutes
L'allumage constitue un processus statistique pouvant être fortement influencé dès
la présence d'infimes dépôts sur les surfaces intérieures.
Encrassement
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces
d'usure (p. ex. garniture), sont exclues de la garantie.
L'encrassement de la jauge dépend du type de gaz des procédés, le cas échéant
des impuretés existantes ou de la formation de nouvelles impuretés et de leur
pression partielle. Une exploitation constante dans la gamme comprise entre
10-4 hPa et 10-2 hPa peut provoquer un encrassement important et de courtes
durées de vie et intervalles de maintenance. En présence de basses pressions
constantes (p < 1×10-6 hPa), il est possible d'atteindre des durées de vie > 1 an
jusqu'à ce qu'un nettoyage s'impose (nettoyage de la jauge →  17).
Un encrassement de la jauge provoque en général des écarts des valeurs
mesurées :
•
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-3
Dans la gamme de basse pression (p < 1×10 hPa), l'affichage de la pression
est en général trop faible (encrassement du système de cathode froide). Un
encrassement important provoque des instabilités (décollement de couches à
l'intérieur de la chambre de mesure). En cas d'encrassement par les couches
isolantes, cela peut même provoquer une extinction complète de la décharge
gazeuse.
13
Le degré d'encrassement peut, dans une certaine mesure, être influencé :
•
Au moyen de mesures de protection géométriques (tôles de protection,
raccords coudés) pour les particules à diffusion rectiligne.
•
En installant la bride de la jauge à un emplacement où la pression partielle de
l'encrassement est minimale.
En présence de vapeurs dégagées par le plasma (p. ex. du système de cathode
froide), faire preuve d'une grande prudence. En cas de besoin, éteindre la jauge
jusqu'à ce que les vapeurs aient disparu.
5 Maintenance
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces
d'usure (p. ex. garniture), sont exclues de la garantie.
DANGER
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés.
5.1 Nettoyage des tubes de
mesure /
Montage des pièces de
rechange
Outillage requis / Matériel
14
DANGER
DANGER : nettoyant
Les nettoyants peuvent provoquer des dommages de santé et
environnementaux. Observer les règles applicables et respecter les
mesures de protection relatives à la manipulation et à l’élimination des
nettoyants. Tenir compte des réactions possibles avec les matériaux
du produit (→  8).
•
Clé pour vis à six pans creux de 1.5
•
Clé pour vis à six pans creux de 3.0
•
Clé à fourche de 7
•
Pince pour circlip
•
Chiffon de polissage (grain 400) ou Scotch-Brite
•
Pincette
•
Alcool industriel
•
Outil de montage pour dispositif d'allumage (→  24)
•
Dispositif d'allumage (→  24)
•
Garniture métallique (11) pour exécution anode (→  24)
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5.1.1 Démontage
2
3
4
7
1
Figure 3a
7
11
12
10a
10
9a
9
8a
8
6
5
Figure 3b
Procédure version courte
 Démonter le tube de mesure (→  22).
 Dévisser la vis sans tête (1) sur le côté de l'unité électronique (2)
(→ Figure 3aa).
 Retirer l'unité électronique.
Attention
Le capot de l'unité électronique n'est pas amovible.
 Dévisser la vis hexagonale (3) de l’unité magnétique (4) puis également
retirer l'unité magnétique (4).
Attention
En raison de l'exposition à la force magnétique et de la tendance à se coincer, la séparation de l'unité magnétique et de la
chambre de mesure (7) n'est pas facile.
 Retirer le circlip (5) et l'embout polaire (6) de la chambre de mesure.
 Retirer 4 vis à six pans creux I (8) avec les rondelles de sécurité (8a) du dos
de la chambre de mesure.
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15
 Retirer peu à peu et avec le soin nécessaire le membre de pression (9), la
rondelle (9a) l’anode complète (10) et la garniture métallique (11) avec la
bague de centrage (12).
Vous pouvez maintenant nettoyer ou remplacer les pièces.
Procédure version longue
2
3
4
1
7
Figure 4a
18
19
20
17
14
15
16
13
7
Figures 4b
7
11
12
10a
10
9a
9
8a
8
6
5
Figures 4c
16
BG 5153 BFR / D
(2017-07)
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 Démonter le tube de mesure (→  22).
 Retirer la vis sans tête (1) sur le côté de l'unité électronique (2)
(→ Figure 4a).
 Retirer l'unité électronique.
Attention
Le capot de l'unité électronique n'est pas amovible.
 Dévisser la vis hexagonale (3) de l’unité magnétique (4), puis également
retirer l'unité magnétique.
Attention
En raison de l'exposition à la force magnétique et de la tendance à se coincer, la séparation de l'unité magnétique et de la
chambre de mesure (7) n'est pas facile.
 Retirer le circlip (5) et l'embout polaire (6) de la chambre de mesure.
 Retirer 2 vis à six pans creux (20) avec les freins de vis (19) de la rallonge.
 Retirer l’un après l’autre et avec le soin nécessaire le membre de pression
(18), l’isolateur (17) et la rallonge de l’anode (13).
 Retirer 2 vis à six pans creux (16) avec les freins de vis (15) et le tube
 Retirer 4 vis à six pans creux I (8) avec les rondelles de sécurité (8a) du dos
de la chambre de mesure.
 Retirer l’un après l’autre et avec le soin nécessaire le membre de pression
(9), la rondelle (9a), l’anode complète (10) et la garniture métallique (11)
avec la bague de centrage (12).
Vous pouvez maintenant nettoyer ou remplacer les pièces.
5.1.2 Nettoyage de la jauge
Les dysfonctionnements des tubes de mesure dus à l’encrassement sont exclus de
la garantie.
Procédure à suivre
 Polir les parois intérieures de la chambre de mesure et l'embout polaire à
l'aide d'un chiffon de polissage.
Attention
Polir les parois intérieures de la chambre de mesure et l'embout
polaire à l'aide d'un chiffon de polissage.
 Rincer la chambre de mesure et l'embout polaire avec de l'alcool industriel.
 Sécher ces deux éléments.
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Nettoyer ou remplacer l'anode:
 Démonter l'ancien dispositif d'allumage (10a) par exemple à l'aide d'une
pincette (→ Figure 3a).
 Polir la broche de l'anode à l'aide du chiffon de polissage.
Attention
Ne pas plier l'anode. Ne pas traiter la céramique à l'aide d'un
dispositif mécanique.
 Rincer l'anode avec de l'alcool industriel.
 Sécher l'anode.
 Insérer le nouveau dispositif d'allumage (10a) dans l'outil de montage.
Anode
avec précaution l'anode (nettoyée ou
 Enfoncer
la nouvelle anode) en la centrant parallèlement
Dispositif
à l'axe de l'outil dans le dispositif d'allumage
puis l'insérer de ≈ 15 mm. Le positionnement
définitif doit uniquement être réalisé après le
montage de l'anode.
d'allumage
Outil
5.1.3 Assemblage de la jauge
Procédure version courte
 Insérer une nouvelle garniture métallique (11) avec la bague de centrage
(12) dans la chambre de mesure. La surface d’étanchéité, la garniture et la
céramique doivent être propres (→ Figure 3b).
 Insérer précautionneusement l’anode (10) avec le dispositif d’allumage
(10a) dans la chambre de mesure.
 Placer la rondelle (9a) et le membre de pression (9) sur la chambre de
mesure et serrer régulièrement jusqu’à la butée avec les 4 vis (8) avec les
rondelles de sécurité (8a).
 Positionnement du dispositif d’allumage (10a): emboîter l’outil de montage
pour le dispositif d’allumage sur la broche de l’anode et pousser jusqu’à la
butée.
 Souffler les particules de la chambre de mesure avec de l’azote sèche (en
tenant la chambre de mesure avec la bride vers le bas).
 Insérer l'embout polaire (6) jusqu'à la butée mécanique dans la chambre de
mesure.
 Mettre en place le circlip (5) sur l'embout polaire.
Attention
Réaliser un contrôle visuel afin de s'assurer que la broche de
l'anode soit centrée par rapport au trou de l'embout polaire
(excentricité admissible ≤ 0 5 mm).
18
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 Si possible, réaliser un test d'étanchéité (taux de fuite < 10 hPa l/s).
–9
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : amorçage électrique
L'hélium peut provoquer des amorçages électriques à l'intérieur
de l'électronique du produit et détruire l'électronique.
Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre hors service le
produit et démonter l'unité électronique.
 Mettre en place l'unité magnétique (4) puis la fixer à l'aide de la vis (3).
 Placer l'unité électronique (2) puis la fixer à l'aide de la vis sans tête (1).
DANGER
L'absence de raccordement à la terre lorsque la vis sans tête
(1) n'est pas en place ou mal serrée provoque des tensions
dangereuses en cas de contact et alors peut endommager les
composants électroniques.
Procédure version longue
 Insérer une nouvelle garniture métallique (11) avec la bague de centrage
(12) dans la chambre de mesure. La surface d’étanchéité, la garniture et la
céramique doivent être propres (→ Figure 4c).
 Insérer précautionneusement l’anode (10) avec le dispositif d’allumage
(10a) dans la chambre de mesure.
 Placer la rondelle (9a) et le membre de pression (9) sur la chambre de
mesure et serrer régulièrement jusqu’à la butée avec les 4 vis (8) avec les
rondelles de sécurité (8a).
 Positionnement du dispositif d’allumage (10a): emboîter l’outil de montage
pour le dispositif d’allumage sur la broche de l’anode et pousser jusqu’à la
butée.
 Souffler les particules de la chambre de mesure avec de l’azote sèche (en
tenant la chambre de mesure avec la bride vers le bas).
 Insérer l'embout polaire (6) jusqu'à la butée mécanique dans la chambre de
mesure.
 Mettre en place le circlip (5) sur l'embout polaire.
Attention
Réaliser un contrôle visuel afin de s'assurer que la broche de
l'anode soit centrée par rapport au trou de l'embout polaire
(excentricité admissible ≤ 0.5 mm).
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IKR 261
19
 Si possible, réaliser un test d'étanchéité (taux de fuite < 10 hPa l/s).
–9
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : amorçage électrique
L'hélium peut provoquer des amorçages électriques à l'intérieur
de l'électronique du produit et détruire l'électronique.
Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre hors service le
produit et démonter l'unité électronique.
 Poser la chambre de mesure complète sur une table avec la bride vers le
bas et emboîter avec précaution le rallonge (13) sur la broche de l‘anode
(→ Figure 5).
 Emboutir avec précaution le tube (14) et visser avec les 2 vis (16) et les
freins à vis (15).
Enrouler l’isolateur (17) de la manière illustrée sur la rallonge (13) et visser
le membre de pression (18) avec 2 vis (20) et les freins de vis (19).
Attention
L’intérieur du tube et l’isolateur doivent être entièrement propre
et sans peluches.
Placer l'unité magnétique (4) (et la bloquer avec la vis à six pans creux (3).
Placer l'unité électronique (2) puis la fixer à l'aide de la vis sans tête (1).
DANGER
L'absence de raccordement à la terre lorsque la vis sans tête
(1) n'est pas en place ou mal serrée provoque des tensions
dangereuses en cas de contact et alors peut endommager les
composants électroniques.
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20
19
18
17
14
16
15
13
7
Figure 5
5.1.4 Ajustage des tubes de
mesure
Les tubes de mesure sont ajustés à l’usine et sont sans entretien. En cas de
défaut, les remplacer entièrement (→  24).
5.2 Comportement en
présence d'un défaut
Défaut
Signal de mesure
constamment < 0.5 V et
lampe verte non allumée
Signal de mesure
constamment < 0.5 V et
Cause possible
Pas d’alimentation.
Solution
Mettre en circuit
l'alimentation.
Alimentation trop faible.
Augmenter la tension
d’alimentation (→  6).
Unité électronique
défectueuse.
Pression dans chambre de
Signal de mesure
-9
constamment dans la zone vide <2×10 hPa.
Remplacer l’unité
électronique (→  6).
–
0.5 … 1.8 V (underrange).
Décharge de gaz non
allumée.
Signal de mesure instable.
Jauge encrassée.
Attendre l’allumage de la
décharge de gaz
(≈5 minutes pour une
pression de 10-9 hPa).
Nettoyer la jauge
(→  17).
lampe verte allumée.
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(2017-07)
IKR 261
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6 Démontage
DANGER
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle
contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés.
Attention
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du
composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées
pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels.
Procédure à suivre
 Mettre la jauge hors circuit.
VACUUM
Compact
Cold Cathode
Gauge
le câble de
 Détacher
raccordement.
la jauge du système à
 Démonter
vide.
le raccord à vide à
 Recouvrir
l'aide du protecteur.
22
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(2017-07)
IKR 261
7 Retour du produit
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : transport de produits contaminés
Les produits qui nous sont envoyés seront dans la mesure du possible
exempts de substances nocives (radioactives, toxiques, caustiques ou
microbiologiques). Observer les prescriptions de transport des pays et
entreprises de transport concernés. Inclure une déclaration de
contamination remplie.
*)
Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com
En absence de confirmation univoque que le produit est « exempt de substances
nocives », le produit est décontaminé aux frais du client.
Sans déclaration de contamination remplie, les produits envoyés seront retournés
avec les frais à charge.
8 Accessoires
Numéro de référence
Câble de raccordement pour utilisation
avec appareil de mesure
Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes
3m
6m
10 m
Prise de raccordement, Hirschmann
GO 6 WF, à 6 pôles, coudée, douilles
Blindage magnétique
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PT 448 250 -T
PT 448 251 -T
PT 448 252 -T
B 4707 283 MA
PT 443 155 -X
23
9 Pièces de rechange
Les commandes de pièces de rechange doivent toujours comprendre :
• indication du type de produit
• numéro de fabrication figurant sur la plaque signalétique
• repère, description et numéro de référence selon la liste des pièces de rechange
Les pièces suivantes peuvent être commandées sous forme de kits de pièces de
rechange :
Rep
ère
2
3
4
7
Numéro de
référence
10a
11
12
9a
Kit de maintenance comprenant :
3× Dispositif d'allumage
1× Joint
HNV 100 (9×1,6)
1× Anneau de centrage
1× Rondelle
BN 846 241 -T
10
10a
11
12
9a
Kit de réparation comprenant :
1× Anode complète
3× Dispositif d'allumage
1× Joint
HNV 100 (9×1,6)
1× Anneau de centrage
1× Rondelle
BN 846 240 -T
10a
Kit de dispositifs d'allumage comprenant :
10× Dispositif d'allumage
BN 845 995 -T
Outil de montage pour dispositif d'allumage
BG 510 600
Unité électronique IKR 261
PT 120 160 -T
Système de mesure complet
Bride DN 40 ISO-KF
Bride DN 40 ISO-KF
Bride DN 40 CF-F
BN 846 465 -T
BN 846 466 -T
BN 846 467 -T
Jauge de rechange
(renvoyer la jauge défectueuse)
Bride DN 40 ISO-KF,
Version courte
Bride DN 40 CF-F,
Version courte
Bride DN 40 CF-F,
Version longue
PT R25 750 -A
PT R25 751 -A
PT R25 761 -A
1
7
5
Description
11
12
6
10a
10
9a
9
8a
8
2
10 Recyclage
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : substances polluantes
Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou
électriques, fluides etc.) peuvent polluer l'environnement.
Prendre contact avec le point de service après-vente Pfeiffer Vacuum
le plus près pour une élimination conforme.
24
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(2017-07)
IKR 261
Annexe
A:
Table de conversion des
unités de pression
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
1
1×103
0.01
1
10
1×10-3
1
1×10-5
1×10-3
0.01
100
1×105
1
100
1×103
1
1×103
0.01
1
10
0.1
100
1×10-3
0.1
1
Torr
mm HG
0.75
750
7.5×10-3
0.75
7.5
1.332
1.332×10
133.32
1.3332
0.1332
1
-3
1 Pa = 1 N/m2
B:
Rapport signal de
mesure – pression
Formules de conversion
p = 10U-c
Noter
Courbe de conversion
U = c + log10 p
⇔
p
U
c
[hPa]
[V]
10,5
[µbar]
[V]
7,5
[Torr]
[V]
10,625
[mTorr]
[V]
[micron]
[V]
7,625
7,625
[Pa]
[V]
8,5
[kPa]
[V]
11,5
p
pression
U signal de mesure
c, d constante (en fonction
de l'unité de pression)
valable pour
-9
-2
2×10 hPa < p < 1×10 hPa
-9
-3
1,5×10 Torr < p < 7,5×10 Torr
-7
2×10 Pa < p < 1 Pa
Pression p
1E+00
Pa
1E–01
1E–03
Torr
1E–05
1E–06
overrange
1E–04
underrange
hPa
sensor error
1E–02
1E–07
1E–08
1E–09
1E–10
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5
Signal de mesure U [V]
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25
Tableau de conversion
Signal de
mesure U [V]
< 0.5
0.5 … 1.8
1.8
2.5
3.5
4.5
5.5
6.5
7.5
8.5
8.5 ... 10.5
C:
Dépendance du type de
gaz
Pression p
[Torr]
[hPa]
[Pa]
Erreur du capteur (sensor error)
Sous-dépassement de la gamme de mesure (underrange)
-9
1.5×10-9
2.0×10-7
2.0×10
-8
-9
-6
1.0×10
7.5×10
1.0×10
-7
-8
-5
1.0×10
7.5×10
1.0×10
-6
-7
1.0×10
7.5×10
1.0×10-4
-5
-6
-3
1.0×10
7.5×10
1.0×10
-4
-5
-2
1.0×10
7.5×10
1.0×10
-3
-4
1.0×10
7.5×10
0.1
1.0×10-2
7.5×10-3
1.0
Dépassement de la gamme de mesure (overrange)
Pression affichée
(jauge ajustée pour l'air sec))
p (hPa)
4
Xe Kr
2
Ar
Air
O2
CO
N2 H2
10-3
8
6
4
2
10-4
8
6
4
2
10-5
8
6
4
2
10
-6
8
6
4
2
10-7
10-7
2
4
6 10-6
2
4
6 10-5
2
4
6 10-4
2
4
6 10-3
2
4
6 10-2
peff (hPa)
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Gamme d'indication < 10-5 hPa
Dans la gamme au-dessous de 10-5 hPa l'indication est linéaire. Pour d'autres gaz
que l'air, la pression peut être déterminée par une simple conversion:
peff = K × pression affichée
où
Type de gaz
C
Air (N2, O2, CO)
Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He
1,0
0,4
0,5
0,8
2,4
4,1
5,9
Les facteurs de conversion indiqués sont des valeurs moyennes.
Attention
On rencontre souvent des mélanges de gaz et de vapeurs. Un
enregistrement précis est alors uniquement possible à l'aide
d'instruments de mesure à pression partielle, p. ex. avec un
spectromètre de masse quadripolaire.
Certification ETL
RECOGNIZED
COMPONENT
ETL LISTED
The product IKR 261
•
conforms to the UL Standard UL 61010-1
•
is certified to the CAN/CSA Standard C22.2 No. 61010-1
3103457
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T +49 6441 802-0
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Pfeiffer Vacuum SAS ; France
T +33 (0) 4 50 65 77 77
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