Pfeiffer IKR 070 Manuel utilisateur

A PASSION FOR
PERFECTION
Sécurité
Caractéristiques techniques
Explication des signes
Personnel qualifié
Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être
effectués que par des personnes ayant une formation
technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant
été formés en conséquence par le détenteur du produit.
DANGER
IKR 070
Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature.
Températures admissibles
Stockage
–40 °C … +250 °C
(sans câble)
+5 °C … +80 °C
(avec câble normal)
+5 °C … +250 °C
(avec câble à haute
résistance thermique)
≤80% à température jusqu'à
+31 °C, diminuant à 50% à
+40 °C
en espaces clos, altitude
max. 2000 m
Service
Humidité relative
Utilisation
Gamme de mesure (air, N2)
Dépendance du type de gaz
1×10-11 … 5×10-3 hPa
Protection
Surpression
IP 40
≤900 kPa (absolue)
limitée aux gaz inertes et aux
températures <55 °C
→ Annexe
Jauge à cathode froide avec joint métallique
AVERTISSEMENT
BG 5033 BFR / A (2013-11)
Manuel de l'utilisateur
Indications concernant la prévention de dégradations de
l'environnement et d'importants dégâts matériels.
Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des
disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs.
Remarque
Raccordement électrique
Fiche
Type
Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar
Indications concernant la sécurité
Typ:
No:
F-No:
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes aux gaz utilisés.
• Considérer les réactions possibles entre les matériaux du
produit (→ Caractéristiques techniques) et les gaz de
procédés.
• Considérer des réactions possibles des gaz de procédés à
la chaleur générée par le produit (p. ex. explosions).
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions appropriées concernant toute intervention.
Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document.
• Se renseigner avant le début de l'intervention sur une
éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés.
Validité
Ce document est valable pour les produits avec les numéros
de référence :
PT R20 501 (DN 40 ISO-KF)
PT R20 502 (DN 40 CF-F)
Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique.
Utilisation prévue
Les jauges à cathode froide servent à la mesure du vide dans
la gamme des pressions de 1×10-11 … 5×10-3 hPa.
Elles doivent être exploitées avec un appareil de mesure et
de commande TPG 300 de la société Pfeiffer Vacuum.
Tension de service
(dans la chambre de
mesure)
Courant de service
(dans la chambre de
mesure)
Observer une distance de sécurité de ≥10 cm
entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ou
empêcher toute perturbation émanant de
champs magnétiques puissants en installant des
blindages adéquats.
Longueur du câble entre la
jauge et l'appareil de mesure
La relation entre la pression et le signal de mesure est
logarithmique sur toute la gamme de mesure.
Les jauges fonctionnent avec un circuit de mesure à
ionisation à cathode froide (selon le principe du magnétron
inverse).
Avec les raccords de vide KF à bagues d'étanchéité en
élastomère (p. ex. joints toriques) et en présence d'une
surpression >250 kPa, la bague d'étanchéité doit être
équipée d'un anneau de centrage externe.
En présence de surpressions supérieures à 100 kPa,
employer un élément de serrage pouvant uniquement être
ouvert et fermé à l'aide d'un outil (p. ex. anneau de
serrage muni d'un collier de serrage).
Si la jauge IKR 070 peut entrer en contact avec des
particules chargées (plasma, faisceau ionique, etc.),
assurez-vous qu'elle soit raccordée au moyen d'une
liaison galvanique à la chambre à vide mise à la terre. En
tel cas, employez toujours des anneaux de centrage et
des éléments de serrage métalliques conducteurs.
• modifie ce produit d'une façon quelconque
• utilise le produit avec des accessoires non répertoriés
dans la documentation du produit correspondante.
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés
incombe au détenteur.
Les pannes du produit dues à des impuretés sont exclues de
la garantie.
Après leur mise en marche, les jauges à cathode froide
présentent un retard à l'allumage. Ce dernier augmente en
présence de basses pressions et s'élève à :
1×10-7 hPa ≈ 0.1 minute
1×10-8 hPa ≈ 1 minute
1×10-9 hPa ≈ 5 minutes
1×10-10 hPa ≈ 20 minutes
1×10-11 hPa ≈ 90 minutes
• Clé pour vis à six pans creux de 3
Les pannes du produit dues à des impuretés sont exclues de
la garantie.
• Clé à fourche de 7
Les jauges à cathode froide sont sensibles à l'encrassement.
Le degré d'encrassement et ainsi la précision de mesure
dépendent des facteurs suivants :
• Chiffon de polissage (grain 400) ou Scotch-Brite
• de la pression à l'intérieur de la chambre à vide
• Alcool industriel
• des impuretés contenues dans la chambre à vide
(vapeurs, particules des processus industriels, etc.)
Activez la jauge uniquement en présence de
pressions <10-2 hPa afin d'éviter un encrassement
trop important.
Si la jauge est souvent exploitée dans la gamme de
pression comprise entre 3×10-5 hPa et 1×10-2 hPa,
employez des cartes de mesure avec lesquelles le
courant de mesure est limité au maximum à 100 µA
(→ Manuel de l'utilisateur des cartes de mesure pour
l'appareil TPG 300).
Du point de vue de la technique de mesure, un encrassement
se traduit généralement par une indication de pressions trop
basses. En présence d'un encrassement important, le
système devient instable. Des couches peuvent se décoller
de la chambre de mesure et provoquer un court-circuit.
En fonction des conditions d'utilisation, les intervalles de
nettoyage peuvent varier entre quelques jours et plusieurs
années.
Chambre
à vide
• Outil de montage pour dispositif d'allumage
• Clé pour vis à six pans creux de 1.5
 Dévisser la vis à tête hexagonale (3) de l'unité
magnétique (4) puis retirer l'unité magnétique.
En raison de l'exposition à la force magnétique
et de la tendance à se coincer, la séparation
de l'unité magnétique et de la chambre de
mesure (7) n'est pas facile.
 Raccorder la jauge au système de vide.
 Mettre en place l'unité magnétique puis la bloquer à
• Jauge démontée
Marche à suivre
 Dévisser la vis à tête hexagonale (3) de l'unité
magnétique (4) puis retirer l'unité magnétique.
En raison de l'exposition à la force magnétique
et de la tendance à se coincer, la séparation
de l'unité magnétique et de la chambre de
mesure (7) n'est pas facile.
Pour des raisons liées aux tolérances,
réinstaller la même unité magnétique en cas
de nouveau montage.
 Retirer le circlip (5) et l'embout polaire (6) de la
 Dévisser avec précaution la fiche triaxiale (2).
Desserrer 2 vis à six pans creux (1), y compris les
rondelles d'arrêt (1a), puis retirer la pièce en plastique
(2a).
Démontage
• Clé à fourche de 7
(→ Figure 1, page suivante)
Condition préalable
chambre de mesure (7).
DANGER
Marche à suivre
600 g (DN 40 ISO-KF)
850 g (DN 40 CF-F)
• Pincette
(→ Figure 1, page suivante)
Outillage requis
Poids
• Pince pour circlip
Démontage de la jauge
Pour des raisons liées aux tolérances, réinstaller la
même unité magnétique en cas de nouveau
montage.
DN 40 ISO-KF
Outillage requis
Encrassement
• de la durée de service
Dimensions [mm]
ø63.5
Nettoyage de la jauge / montage
de pièces de rechange
• du courant de mesure
7
≈20 cm³
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes à la manipulation de
composants contaminés.
Retard à l'allumage
4
acier inoxydable (1.4306)
acier inoxydable (1.4306)
céramique (Al2O3)
Ag
Mo
acier inoxydable (1.4310)
DANGER
La valeur mesurée dépend du type de gaz. L'affichage
s'applique à l'air sec, à l'azote (N2), à l'oxygène (O2) et au
monoxyde de carbone (CO). Pour d'autres types de gaz,
procéder à la conversion ou au réglage du facteur de
conversion sur l'appareil de mesure Pfeiffer Vacuum
(→ Annexe).
(Uniquement pour le raccord de vide CF)
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants
contaminés.
 Retirer les 4 vis à six pans creux (8), y compris les
rondelles d'arrêt (8a), au dos de la chambre de mesure
(7).
 Retirer successivement avec la diligence requise
l'élément de serrage (9), la rondelle (10b), l'anode
complète (10), le joint métallique (11) et l'anneau de
centrage (12).
Les pièces peuvent maintenant être nettoyées ou remplacées
séparément.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et la
prévention des dommages éventuels.
l'aide de la vis à tête hexagonale (3).
Marche à suivre
• n'observe pas les indications figurant dans ce document
• utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation
prévue
Dépendance du type de gaz
Démontage de l'unité magnétique
3
Matériaux au contact du vide
Raccordement au vide
Chambre de mesure
Isolation de traversée
Joints internes
Anode
Dispositifs d'allumage
Volume interne
Communiquer les indications concernant la sécurité aux
autres utilisateurs.
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une
tierce personne
DANGER
≤500 m
Size 7
Responsabilité et garantie
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et la
prévention des dommages éventuels.
La position de montage n'est pas imposée mais les particules
ne doivent pas pénétrer dans la chambre de mesure (espace
nécessaire → Caractéristiques techniques).
Triaxiale
Câble triaxial
DN 40 CF-F
Principe de fonctionnement
Les pannes du produit dues à des impuretés sont exclues de
la garantie.
≤700 µA
DANGER
DANGER : champs magnétiques
Les champs magnétiques puissants peuvent
perturber ou gêner le fonctionnement des
appareils électroniques, p. ex. des stimulateurs
cardiaques.
Raccordement au vide
≤3.3 kV
109.5
Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit
sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer
Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous.
Maintenance
Après l'application de la tension la jauge est prête à
fonctionner.
En cas d'utilisation de raccords de vide CF, il peut s'avérer
avantageux de temporairement enlever l'unité magnétique
(→ Section suivante).
115
Identification du produit
Fonctionnement
109 rad
Résistance au rayonnement
Attention
Installation
Raccordement électrique
• Raccorder la jauge à la chambre à vide mise à la terre.
• Raccorder la jauge à l'appareil de mesure Pfeiffer Vacuum
(→ Manuel de l'utilisateur de la carte de mesure
employée).
 Mettre la jauge hors circuit.
 Détacher le câble de raccordement.
 Démonter la jauge de la chambre à vide.
Recouvrez le raccord de vide à l'aide du couvercle
de protection correspondant.
bg5033bf r / a
Source : Allemand BG 5033 BDE / A (2013-11)
(2013-11)
 Mettre en place la pièce en plastique (2a), puis serrer à
Nettoyage
Marche à suivre
DANGER
En cas d'utilisation de produits de nettoyage, observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions
appropriées concernant leur manipulation et élimination.
fond les deux vis à six pans creux (1) y inclus rondelles
d'arrêt (1a). Visser la fiche triaxiale (2) dedans avec
précaution.
Dépannage
Défaut
Cause possible
Solution
 Mettre en place l'unité magnétique (4) puis la bloquer à
Les valeurs de
pression indiquées
par la jauge sont
trop basses
Jauge
encrassée
Nettoyer
la jauge
l'aide de la vis (3).
Retour du produit
AVERTISSEMENT : transport de produits
contaminés
Les produits contaminés (par des substances
radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Les produits qui nous sont envoyés seront dans
la mesure du possible exempts de substances
nocives. Observer les prescriptions de transport
des pays et entreprises de transport concernés.
Inclure le "Questionnaire de sécurité" rempli *).
1a
 Polir les parois intérieures de la chambre de mesure et
l'embout polaire à l'aide d'un chiffon de polissage.
2a
4
3
2
1
Pièces de rechange
2b
Attention
Uniquement traiter la surface d'étanchéité de
manière concentrique.
• description et numéro de référence selon la liste des pièces de rechange
7
de l'alcool industriel.
Nettoyer ou remplacer l'anode (10) :
5
6
8a
10a
9
10
exemple à l'aide d'une pincette.
polissage.
Attention
Ne pas plier l'anode.
Ne pas traiter la céramique à l'aide d'un moyen
mécanique.
 Rincer l'anode avec de l'alcool industriel.
 Sécher l'anode.
 Insérer le nouveau dispositif d'allumage (10a) dans
Repère
→ Figure 1
10b
 Démonter l'ancien dispositif d'allumage (10a) par
 Polir la broche de l'anode à l'aide du chiffon de
8
12
7
11
Kit de maintenance
Joint, HNV100 9×1.6
Anneau de centrage
Dispositif d'allumage
Rondelle
Kit de réparation
Anode complète
Rondelle
Joint, HNV100 9×1.6
Anneau de centrage
Dispositif d'allumage
No de
référence
nouvelle) en la centrant parallèlement à l'axe de l'outil
dans le dispositif d'allumage puis l'insérer de ≈15 mm.
Le positionnement définitif doit uniquement être réalisé
après le montage de l'anode.
Assemblage de la jauge
Pression indiquée (jauge ajustée pour l'air)
Xe Kr
2
10–3
8
6
4
2
10–4
2
AVERTISSEMENT
10–5
)
* Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com
AVERTISSEMENT : substances polluantes
Certains produits ou leurs éléments (composants
mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent
polluer l'environnement.
Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale.
En absence de confirmation univoque que le produit est
"exempt de substances nocives", le produit est décontaminé
aux frais du client.
En absence d'un "Questionnaire de sécurité" dûment rempli,
le produit est renvoyé à l'expéditeur à ses frais.
Tri des composants
Après le démontage du produit, trier ses composants selon
les critères suivants :
BN 846 240-T
(10)
(10b)
(11)
(12)
(10a)
Air
O2
CO
Ar N2 H2 Ne He
4
4
BN 846 241-T
(11)
(12)
(10a)
(10b)
p (hPa)
8
6
• Composants contaminés
Décontaminer les composants contaminés (par des
substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale,
les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer.
• Composants non contaminés
Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les
récupérer.
Table de conversion des unités de
pression
l'outil de montage.
 Enfoncer avec précaution l'anode (nettoyée ou
Dépendance du type de gaz
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants
contaminés.
• toutes les indications figurant sur la plaque signalétique
 Rincer la chambre de mesure et l'embout polaire avec
 Sécher ces deux éléments.
Les commandes de pièces de rechange doivent toujours
comprendre :
Annexe
DANGER
AVERTISSEMENT
Figure 1 :
Nettoyer la chambre de mesure et l'embout polaire :
Recyclage
mbar
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
1
1×103
0.01
1
10
bar
-3
1×10
1
1×10-5
1×10-3
0.01
Pa
hPa
kPa
100
1×105
1
100
1×103
1
0.1
0.75
1×103 100
750
-3
0.01 1×10 7.5×10-3
1
0.1
0.75
10
1
7.5
1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332
1 Pa = 1 N/m
Torr
mm HG
8
6
4
2
10–6
8
6
4
2
10–7
10–7 2
4
6
10–6 2
4
6
10–5 2
4
6
10–4 2
4
6
10–3 2
4
6
10–2
peff (hPa)
Dans la gamme au-dessous de 10-5 hPa l'indication est
linéaire. Pour d'autres gaz que l'air, la pression peut être
déterminée par une simple conversion :
peff = C × pression indiquée
où
Type de gaz
C
Air (N2, O2, CO)
Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He
1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9
Les facteurs de conversion indiqués sont des valeurs
moyennes.
On rencontre souvent des mélanges de gaz et de
vapeurs. Une mesure précise est alors uniquement
possible à l'aide d'un instrument de mesure à
pression partielle, p. ex. à l'aide d'un spectromètre
de masse quadripolaire Pfeiffer Vacuum.
1
2
Marche à suivre
 Insérer le joint métallique neuf (11) avec l'anneau de
centrage (12) dans la chambre de mesure (7) en
veillant à bien les centrer. La surface d'étanchéité, le
joint et la céramique doivent être propres (→ Figure 1).
 Insérer avec précaution l'anode (10), y compris le
dispositif d'allumage (10a), à l'intérieur de la chambre
de mesure.
 Installer avec précaution l'élément de serrage (9), avec
la rondelle (10b), sur la chambre de mesure (7) puis le
serrer à fond de manière homogène à l'aide des vis (8),
y compris les rondelles d'arrêt (8a).
 Positionnement du dispositif d'allumage (10a) :
Emboîter l'outil de montage pour le dispositif
d'allumage sur la broche de l'anode puis l'insérer à
fond.
 Souffler les particules à l'intérieur de la chambre de
mesure (7) à l'aide d'azote sec (et en tenant le raccord
de vide de la chambre de mesure vers le bas).
 Insérer l'embout polaire (6) jusqu'à la butée mécanique
dans la chambre de mesure (→ Figure 1).
 Mettre en place le circlip (5) sur l'embout polaire.
Réaliser un contrôle visuel afin de s'assurer
que la broche de l'anode soit centrée par
rapport au trou de l'embout polaire
(excentricité admissible ≤0.5 mm).
 Si possible, réaliser un test d'étanchéité (taux de fuite
<10–9 hPa l/s).
Berliner Straße 43
D–35614 Asslar
Allemagne
Tel +49 (0) 6441 802-0
Fax +49 (0) 6441 802-1202
[email protected]
www.pfeiffer-vacuum.com
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