MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original TTR 101 ∣ TTR 101 S2 Points de mesure Pirani / jauge de capacitance Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/46 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque 5 5 5 5 5 6 6 6 6 6 7 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations non conformes prévisibles 2.7 Responsabilité et garantie 2.8 Conditions propriétaire 2.9 Qualification personnelle 2.9.1 Garantir la qualification du personnel 2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 2.10 Conditions opérateur 8 8 8 10 11 11 11 11 12 12 12 13 13 13 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.2 Affichage de l’état 3.3 Fonctions de commutation 3.4 Identification du produit 3.5 Contenu de la livraison 14 14 14 14 15 15 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 16 16 16 5 Installation 5.1 Raccord à vide 5.2 Raccordement électrique 17 17 19 6 Fonctionnement 6.1 Conversion du signal de mesure et de la pression 6.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction 6.3 Réglage des valeurs seuil 22 22 23 24 7 Démontage 26 8 Maintenance 8.1 Calibrage de la jauge 8.2 Nettoyage des composants 8.3 Démontage de la jauge 8.4 Assemblage de la jauge 28 28 29 30 31 9 Dysfonctionnements 9.1 Dépannage 32 32 3/46 Table des matières 9.2 4/46 Détection des erreurs sur le système de mesure 32 10 Expédition 34 11 Recyclage et mise au rebut 11.1 Informations générales sur la mise au rebut 11.2 Mise au rebut des jauges 35 35 35 12 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 36 13 Pièces de rechange 38 14 Accessoires 14.1 Informations sur les accessoires 14.2 Commande d'accessoires 39 39 39 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités 15.2 Fiche technique 15.3 Dimensions 40 40 40 42 Certification ETL 43 Déclaration de conformité UE 44 Déclaration de Conformité UK 45 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document CenterOne | CenterTwo | CenterThree « Unité de commande et de mesure de la pression totale » BG 5044 Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes : Référence Désignation Fonctions logiques PT T11 138 310 TTR 101, DN 16 ISO-KF Aucune PT T11 138 320 TTR 101 S2, DN 16 ISO-KF 2 Tab. 2: Variantes Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les figures sans légende correspondent au produit avec les fonctions de commutation, toutefois elles s’appliquent également de manière identique à ces variantes sans fonctions de commutation. Les dimensions sont en mm, sauf avis contraire. 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 5/46 A propos de ce manuel 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles. Remarque Conseil Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. D-35614 Asslar Mod. P/N S/N Input 1.3.4 6/46 TTR 101 PT T11 138 3x0 3103457 Made in Liechtenstein 2023/09 xxxxxxxxx 15...30 V DC 2.5 W Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve à l’arrière de l’appareil. Abréviations Abréviation Explication CA Courant alternatif (CA) ADJ Ajuster ATM Atmosphère c Constante de conversion du signal de mesure et de la pression C Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air CF Bride : raccord à fermeture métallique conforme à la norme ISO 3669 A propos de ce manuel Abréviation Explication DC Courant continu FCC Federal Communications Commission (USA) FKM Caoutchouc fluoré HV Vide élevé KF Petite bride LPS Source de puissance limitée MSL Niveau moyen de la mer p Pression PE Terre de protection (conducteur de protection) TBTP Très basse tension de protection RJ-45 Connecteur mâle-femelle normalisé pour le câblage de télécommunication (jack normalisé) SP Point de commutation ST État WAF Largeur sur pans U Signal de mesure [V] (tension de sortie) W Tungstène VCR Marque déposée de Swagelok Company Tab. 3: 1.4 Abréviations utilisées Justificatif de marque ● CenterLine® est une marque de Pfeiffer Vacuum GmbH. 7/46 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. 8/46 Sécurité DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. ► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. ► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. ► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. 9/46 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. 10/46 Sécurité ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 2.4 Limites d’utilisation du produit Paramètre Humidité relative de l’air Moyenne annuelle ≤ 65 % (sans condensation) à 60 jours ≤ 85 % (sans condensation) Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2 000 m MSL Degré de pollution 2 Degré de protection IP40 Tab. 4: 2.5 Valeur Conditions ambiantes autorisées Utilisation conforme La jauge fournit une mesure du vide de gaz dans le domaine 5 × 10-5 jusqu’à 1500 hPa. Utilisation du produit conformément à son usage prévu ► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client. ► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur. ► Observez les limites d’utilisation indiquées dans la fiche technique. ► Observer la fiche technique. 2.6 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation ● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée ● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives ● Utilisation en extérieur ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 2.7 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu 11/46 Sécurité ● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante ● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit correspondante L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé. 2.8 Conditions propriétaire Travailler en toute sécurité 1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique. 2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers qu'il implique. 3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies : – Utilisation conforme – Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents – Normes et directives applicables au niveau local, national et international – Directives et régulations supplémentaires relatives au produit 4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum. 5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit. 6. Garantir la qualification du personnel. 2.9 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 2.9.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. 12/46 Sécurité Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 2.10 Conditions opérateur Analyse des documents et données concernés 1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements. 2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur. 3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents. 4. Se conformer aux limites d’utilisation. 5. Observer la fiche technique. 6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center. – Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum. 13/46 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction La jauge dispose d'un capteur Pirani et d’un capteur à membrane capacitif. Les deux capteurs sont toujours actifs. Pour les basses pressions, l’unité utilise uniquement le signal du capteur Pirani pour la mesure de la pression. Pour les hautes pressions, l’unité utilise uniquement le signal du capteur à membrane capacitif. Dans une plage mixte, l’unité pèse les deux signaux proportionnellement à la pression et détermine le signal de sortie sur cette base. 3.2 Affichage de l’état 1 2 ST 3 SP2 SP1 ADJ 4 Fig. 1: Diodes électroluminescentes 1 LED « point de commutation 2 » (SP2) 2 LED « point de commutation 1 » (SP1) LED « état » (ST) Pour réglage d'usine seulement Aspect Signification Éteinte Pas d'alimentation électrique S'éclaire en vert Mode Mesure S’allume ou clignote en rouge Erreur Tab. 5: LED « état » Aspect Signification Éteinte Relais ouvert S'éclaire en vert Relais fermé Tab. 6: 3.3 3 4 LED « SP1 » et « SP2 » Fonctions de commutation Vous pouvez ajuster les deux points de commutation SP1 et SP2 sur toute pression comprise dans la plage de mesure complète de la jauge. Un contact de relais sans potentiel est disponible pour chaque point de commutation. Les deux points de commutation sont réglés en départ d'usine sur la limite de plage de mesure inférieure afin qu’ils ne commutent pas. Si la pression dans le système de vide tombe au-dessous de la valeur seuil réglée, la LED s’allume et le relais se ferme. 14/46 Description du produit p 4 2 1 3 2 t Off On Off p 4 2 3 1 2 t Off Fig. 2: On Contacts de relais dépendants des points de commutation p Pression t Temps 1 Point de réglage 3.4 Off 2 3 4 Valeur seuil Hystérésis Valeur mesurée Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. 3.5 Contenu de la livraison Pièces incluses dans la fourniture : ● Jauge ● Stylet (Ø 1,1 mm) ● Manuel de l’utilisateur Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée. 15/46 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transporter le produit en toute sécurité ► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant l’installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Stocker le produit en toute sécurité ► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine. ► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenez la température d’entreposage admissible. ► Évitez les fortes variations de températures ambiantes. ► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air. ► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles). 16/46 Installation 5 Installation 5.1 Raccord à vide DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. ► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. ► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. ► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. 17/46 Installation AVIS Dégâts causés par les vibrations Les vibrations et les impacts détruisent le capteur céramique qui est sensible aux chocs. ► Manipulez la jauge avec précaution. ► Évitez les vibrations et les impacts. ► Ne faites pas tomber la jauge. Conditions préalables ● Conditions ambiantes appropriées ● Température de fonctionnement dans la plage permissible ● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles) 2 1 3 5 Fig. 3: 4 Raccord à vide 1 Pièce de serrage 2 Joint avec anneau de centrage 3 Unité électronique 4 5 Obturateur de protection Joint avec anneau de centrage et filtre Recommandations ► Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le fonctionnement. Ces vibrations entraînent des déviations dans les valeurs mesurées. ► Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le bas). – Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure. ► Une fois le bouton de la jauge monté, vérifiez qu’il soit aisément accessible avec le stylet. ► Montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour protéger les applications et le système de mesure contre tout risque de contamination. Procédure 1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr. 2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum. 18/46 Installation 5.2 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. AVIS Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va endommager la jauge. ► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 2) à la terre de l’unité d'alimentation. Équipement nécessaire ● Câble de mesure pour appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum de la gamme des accessoires CenterLine. ● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client ● Fiche RJ-45 Raccordement électrique ► Raccordez le câble de mesure à la jauge. ► Raccordez la jauge à un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou à un appareil d'évaluation fournie par le client. 19/46 Installation Switching functions SP2 SP1 A B 4.7Ω 4.7Ω 10k +24V 18V Fig. 4: Schéma de raccordement 4 6 8 7 3 5 Ident 1 2 + – A Masse de l’alimentation B Signal de mesure 1 Alimentation 4 5 6, 8 2 Masse de l’alimentation (GND) 7, 8 3 Signal de mesure ou valeurs seuil SP1 et SP2 + – Identification Signal masse Relais SP2, contact N.O. Contact commun (com) Relais SP1, contact N.O. Contact commun (com) 1 ↑ 8 Fig. 5: Câble de mesure FCC-68, 8 broches Fabrication du câble de mesure Pour de plus amples informations sur le type de câble de mesure et les coupes transversales de raccordement, voir la fiche technique. 1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure. 2. Utilisez un câble avec un blindage tressé et un boîtier métallique de raccordement. 3. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection pour le bloc d’alimentation. 4. Utilisez une entrée de mesure différentielle avec prise de terre séparée et terre l’alimentation. 5. Vérifiez que la différence de potentiel entre la terre d'alimentation et le boîtier pour la protection contre les surtensions est ≤ 6 V. 6. Montez le connecteur RJ-45. 20/46 Installation Montage du connecteur RJ-45 1. Préparez le connecteur RJ-45. 2. Fixez le câble de raccordement avec les connexions serties conformément au schéma de raccordement. 3. Montez le connecteur RJ-45. 21/46 Fonctionnement 6 Fonctionnement Dès que la tension d’alimentation a été établie, le signal de mesure est disponible sur le raccordement électrique entre les broches 3 et 5. Recommandations ► Respectez la période de stabilisation minimum de 10 minutes. ► Observez la relation entre le signal de mesure et la pression. ► La jauge doit toujours rester enclenchée, quelle que soit la pression. 6.1 Conversion du signal de mesure et de la pression p 1E+06 1E+05 1E+04 Pa 1E+03 hPa Torr 1E+01 1E+00 error 1E+02 O 1E–01 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5 0.61 U [V] Fig. 6: Relation entre le signal de mesure et la pression p Pression U Mesure des signaux [V] (tension de sortie) Signal de mesure (U) Pression (p) Constante (c) 1) [V] [hPa] 6,143 [mbar] Tab. 7: [Torr] 6,304 [micron] 2,448 [Pa] 3,572 Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression Conversion du signal de mesure et de la pression Gamme de validité : 5 × 10-5 hPa < p < 1500 hPa ► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression. ► Conversion du signal de mesure en pression : p = 100,778 × (U - c) ► Conversion de la pression en signal de mesure : U = c + 1,286 × log10 p 1) 22/46 En fonction de l’unité de pression Fonctionnement 6.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction p [hPa] 4 2 103 A 8 6 4 B C 2 102 8 6 4 2 101 8 6 4 2 100 8 6 4 2 1 2 3 10–1 8 6 4 2 10–2 8 6 4 2 10–3 8 6 4 2 10–4 10–4 2 4 6 10–3 2 4 6 10–2 2 4 6 10–1 2 4 6 100 2 4 6 101 2 4 6 102 2 4 6 103 2 peff [hPa] Fig. 7: Dépendance du type de gaz A Capteur Pirani B Gamme mixte C Capteur à diaphragme capacitif 1 2 3 Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2) Hélium (He) Argon (Ar) Plage de pression Principe de mesure Dépendance du type de gaz 10 à 1500 hPa Capteur à diaphragme capacitif indépendant du type de gaz, aucune correction requise 1 à 10 hPa Capteur à diaphragme capacitif et Capteur Pirani Gamme mixte 5 × 10-5 jusqu’à 1 hPa Capteur Pirani proportionnel à la pression 2) Tab. 8: Dépendance du type de gaz Facteurs de correction Type de gaz Facteur de correction (C) Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2) 1,0 Hydrogène (H2) 0,5 Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes. 2) La valeur mesurée affichée s’applique à l’air sec, à l’oxygène (O2), au monoxyde de carbone (CO) et à l’azote (N2). Pour les autres gaz, vous avez besoin des facteurs de correction pour convertir la valeur mesurée. 23/46 Fonctionnement Type de gaz Facteur de correction (C) Dioxyde de carbone (CO2) 0,9 Vapeur d’eau 0,5 Hélium (He) 0,8 Néon (Ne) 1,4 Argon (Ar) 1,7 Krypton (Kr) 2,4 Xénon (Xe) 3,0 Dichlorodifluorométhane (CCl2F2, R12) 0,7 Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes. Tab. 9: Facteurs de Correction pour la gamme de pression Pirani < 1 hPa Saisie du facteur de correction dans l’appareil de commande et de mesure de pression totale ► Saisissez le facteur de correction pour corriger la valeur mesurée qui est affichée. Calcul de la pression de gaz autres que l’air ► Calculez la pression efficace avec la formule suivante : Peff = C × p ● Peff = Pression efficace ● C = Facteur de correction ● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l’air) 6.3 Réglage des valeurs seuil AVIS Dysfonctionnement dû à l’interruption du signal de mesure Coupez le signal de mesure en appuyant sur un bouton (SP1 ou SP2). La jauge émet alors la valeur seuil correspondante à la place au niveau de la sortie de signal de mesure. Cela peut entraîner des dysfonctionnements si vous contrôlez les processus avec la sortie de signal. ► Appuyez sur les boutons uniquement si vous êtes sûrs qu’aucun dysfonctionnement ne sera causé ou que des dysfonctionnements éventuels n’entraîneront pas de dommage. État du relais et de la LED L’état du relais et de la LED reste inchangé même si vous appuyez sur le bouton. Valeur seuil supérieure (hystérésis) Le paramètre d'usine pour la valeur seuil supérieure est 10% plus élevé (hystérésis). Outillage nécessaire ● Stylet (max. Ø 1,1 mm) Accessoires requis ● Voltmètre 1 Fig. 8: 1 Stylet 24/46 Réglage des valeurs seuil Fonctionnement Procédure 1. Appuyez sur le bouton « SP1 » ou « SP2 » à l’aide d'un stylet et maintenez-le enfoncé. – La jauge bascule sur le mode de fonction de commutation et affiche la valeur seuil actuelle pendant 5 secondes au niveau de la sortie du signal de mesure. Au bout de 5 secondes, le réglage de la valeur seuil se déplace vers la limite de réglage supérieure. 2. Maintenez le bouton « SP1 » ou « SP2 » enfoncé jusqu’à ce que la limite de réglage soit atteinte. ou Relâchez à nouveau le bouton « SP1 » ou « SP2 » au moment requis. 3. Appuyez sur le bouton « SP1 » ou « SP2 » avec un stylet et maintenez-le enfoncé pendant 0 à 1 seconde pour le réglage précis. – La valeur seuil change d’une unité. 4. Appuyez sur le bouton « SP1 » ou « SP2 » avec un stylet et maintenez-le enfoncé pendant 2 à 3 secondes pour modifier la direction. – Le réglage de la valeur seuil change de direction. 5. Relâchez à nouveau le bouton « SP1 » ou « SP2 » au moment requis. 6. Mesurez la valeur seuil actuelle au niveau de la sortie du signal de mesure avec un voltmètre. 7. Veillez à ce que le bouton « SP1 » ou « SP2 » ne soit plus actionné pendant 5 secondes. La jauge enregistre la valeur seuil et retourne dans le mode de mesure. L'instrument de mesure connecté affiche à nouveau la valeur de pression actuelle mesurée. 25/46 Démontage 7 Démontage DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. 26/46 Démontage AVIS Dégâts causés par les vibrations Les vibrations et les impacts détruisent le capteur céramique qui est sensible aux chocs. ► Manipulez la jauge avec précaution. ► Évitez les vibrations et les impacts. ► Ne faites pas tomber la jauge. Conditions préalables ● Système de vide mis à l’air à la pression atmosphérique ● Tension d’alimentation mise hors circuit 2a 1 Fig. 9: 2b 3 2b 3 Joint avec anneau de centrage et filtre Capuchon de protection Démontage de la jauge 1 Pièce de tensionnement 2a Joint avec anneau de centrage Démontage de la jauge 1. Déconnectez le câble de mesure de la jauge. 2. Enlevez la jauge du système de vide. 3. Mettez l’obturateur de protection sur la bride de connexion. 27/46 Maintenance 8 Maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Demande de garantie Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. Commencer par lire intégralement les sections Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à travailler. D'autres conditions climatiques, un fonctionnement prolongé, des températures extrêmes, une orientation de montage différente, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du point zéro dans le système de mesure Pirani. Un décalage du zéro va nécessiter un nouveau calibrage ou un nettoyage. 8.1 Calibrage de la jauge Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge à l’usine sur les valeurs standards. Réglage de la jauge sur d'autres valeurs de pression Vous pouvez régler la jauge sur d'autres valeurs de pression. Cependant, pour cela, vous avez besoin d’une valeur de pression précise (mesure de référence). Outillage nécessaire ● Stylet (max. Ø 1,1 mm) 28/46 Maintenance Fig. 10: Calibrage de la jauge Préparation du calibrage 1. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation normale. 2. Vérifiez l'absence de toute contamination du filtre. 3. Remplacez le filtre s’il est très contaminé ou endommagé. 4. Mettez la jauge en fonctionnement. Calibrage HV 1. Réalisez la mise en service de la jauge. 2. Évacuez le système de vide jusqu’à p << 10-5 hPa. 3. Attendez au moins 2 minutes. 4. Appuyez sur le bouton « ADJ » avec un stylet. – La jauge se calibre sur 5 × 10-5 hPa (standard). 5. Répétez le calibrage si la jauge n’affiche pas une pression d’env. 4,86 × 10-5 hPa à la sortie du signal de mesure. – Le calibrage a échoué cette fois-ci. Calibrage ATM 1. Réalisez la mise en service de la jauge. 2. Laissez la jauge fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes. 3. Appuyez brièvement sur le bouton « ADJ » avec un stylet. – La jauge se calibre sur 1 000 hPa (standard). 8.2 Nettoyage des composants DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. 29/46 Maintenance AVIS Dégâts causés par la pénétration d’humidité La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité. ► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau. ► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface. ► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Produits consommables requis ● Alcool industriel ● Chiffon (doux, non pelucheux) Nettoyage externe de l’appareil 1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe. 2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage. 8.3 Démontage de la jauge AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Outillage nécessaire ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2 30/46 Maintenance 1 2 3 Fig. 11: Démontage de la jauge 1 Unité électronique 2 Système de mesure 3 Vis hexagonale (2 x) Procédure 1. Démontez la jauge du système de vide. 2. Dévissez les vis à six pans creux intérieures de l’unité électronique. 3. Retirez le système de mesure de l’unité électronique sans mouvement rotatif. 8.4 Assemblage de la jauge AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Outillage nécessaire ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2 Procédure 1. Insérez le système de mesure dans l’unité électronique sans mouvement rotatif. 2. Serrez les vis à six pans creux intérieures. 3. Raccordez la jauge au système de vide. 31/46 Dysfonctionnements 9 Dysfonctionnements Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. Rectification des dysfonctionnements (Reset) En cas de dysfonctionnement, Pfeiffer Vacuum recommande de débrancher la tension d'alimentation et de la rebrancher après 5 secondes. 9.1 Dépannage Anomalie Cause possible Remède Signal de mesure continu env. 0 V La LED « ST » s’allume en rouge Câble de mesure défectueux ou mal raccordé Vérifiez le câble de mesure. Pas d'alimentation Mettez en circuit l’alimentation. Erreur Éliminez l’erreur. Jauge dans un état non défini Désactivez la jauge, attendez 5 secondes puis réactivez-la (reset). Unité électronique pas fixée correctement au système de mesure Contrôlez le raccordement. Unité électronique et système de mesure incompatible Remplacez le système de mesure. Capteur Pirani défectueux Remplacez la jauge. Capteur à membrane défectueux Remplacez la jauge. Erreur EEPROM Désactivez la jauge, attendez 5 secondes puis réactivez-la (reset). La LED « ST » s’allume en rouge La LED « ST » clignote en rouge Remplacez la jauge. Tab. 10: 9.2 Dysfonctionnements Détection des erreurs sur le système de mesure Si vous êtes presque certain de la cause du dysfonctionnement du système de mesure, utilisez un ohmmètre pour un diagnostic approximatif. Il est inutile de remettre à l'air le système de vide. Condition préalable ● Unité électronique retirée Équipement requis ● Ohmmètre 32/46 Dysfonctionnements Ω Fig. 12: Broches de contact du système de mesure Gamme de point de consigne Raisons pour lesquelles les valeurs sont en dehors de la gamme de point de consigne 40 ±1 Ω >> 40 Ω : Pollution << 40 Ω : Pollution ∞: Filament défectueux Tab. 11: Mesure Test de résistance 1. Effectuez un test de résistance sur les broches de contact du système de mesure avec un ohmmètre. 2. Remplacez le système de mesure complet si la valeur mesurée est en dehors de la plage du point de consigne. 33/46 Expédition 10 Expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 34/46 Recyclage et mise au rebut 11 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 11.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 11.2 Mise au rebut des jauges Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démantelez l’unité électronique. 2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 3. Séparez les composants en matériaux recyclables. 4. Recyclez les composants non contaminés. 5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 35/46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 12 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 36/46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 37/46 Pièces de rechange 13 Pièces de rechange Commande de pièces de rechange ► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la plaque signalétique. ► Installez uniquement des pièces détachées d'origine. 38/46 Description Numéro de commande Système de mesure de remplacement DN 16 ISO-KF PT 120 041 -T Accessoires 14 Accessoires Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires CenterLine. 14.1 Informations sur les accessoires Câble de mesure Câble de mesure de différentes longueurs pour le raccordement à une unité de mesure et de contrôle de la pression totale Pfeiffer Vacuum Joints avec anneau de centrage et filtre Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination 14.2 Commande d'accessoires Description Numéro de commande Câble de mesure FCC/RJ-45, pour CenterOne, CenterTwo, CenterThree, 3m PT 448 450 -T Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,02 mm, FKM/acier inoxydable, DN 16 ISO-KF PF 117 216 -T Anneau de centrage avec filtre fin, grandeur de pores 0 004 mm, FKM/ acier inoxydable, DN 16 ISO-KF PT 120 132 -T 39/46 Caractéristiques techniques et dimensions 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 100 1 0,1 0,75 1 · 10 1,000 100 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 · 10-3 133,32 1,33 0,133 1 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 Pa 0,01 hPa -3 5 -5 1 Pa = 1 N/m Tab. 12: 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 592 7,5 10 3 Pa m /s sccm 1 3 atm cm /s 9,87 1.69 · 10 1.69 · 10 1 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 Torr l/s Tab. 13: 750 -3 -3 -2 1,27 · 10 1.67 · 10-2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 15.2 Fiche technique Paramètre Valeur Gamme de mesure 5 × 10-5 – 1500 hPa Pression maximum (absolue) ≤ 500 kPa Pression de rupture (absolue) 1 000 kPa Principe de mesure 10 hPa – 1 500 hPa Capteur à diaphragme capacitif 1 à 10 hPa Gamme mixte Amenée de chaleur selon la Pirani 5 × 10-5 – 1 hPa Précision (N2) Répétabilité (N2) -3 ± 50% de la valeur mesurée -3 1 × 10 – 100 hPa ± 15% de la valeur mesurée 100 à 950 hPa ± 5% de la valeur mesurée 950 à 1050 hPa ± 2,5% de la valeur mesurée 1 × 10-3 – 1100 hPa ± 2% de la valeur mesurée –4 5 × 10 – 1 × 10 hPa Calibrage de la jauge (HV) à < 10-5 hPa Calibrage de la jauge (ATM) à > 100 hPa Tab. 14: Valeurs de mesure et de pression Paramètre Signal de sortie (signal de mesure) 40/46 Valeur Gamme de tension 0 – +10,23 V Gamme de mesure +0,61 – +10,23 V Signal d'erreur 0 V (en départ d'usine) Rapport tension-pression 1,286 V/décade, logarithmique Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Impédance de sortie 2 × 4,7 Ω, résistant aux courts-circuits Impédance de charge (charge minimum) > 10 kΩ Temps de réponse < 30 ms Identification de la jauge 71,5 kΩ Tension d’alimentation Classe 2/LPS Sur la jauge +15 – +30 V DC Ondulation ≤ 1 Vpp Puissance absorbée ≤ 2,5 W Fusible (à raccorder en série) 3) 1 AT Raccordement (électrique) FCC-68/RJ-45, 8 broches Câble de mesure blindé, 0,14 mm2/conducteur Longueur de câble ≤ 100 m Concept de mise à la terre (voir chapitre « Raccordement électrique », page 19) Raccord vide et signal de masse Tab. 15: connecté avec 10 kΩ Données électriques Paramètre Valeur Relais semiconducteur Points de commutation SP1 et SP2 Plage de réglage (N2) 5 × 10-5 – 1500 hPa Hystérèse 10 % de la valeur seuil Pouvoir de coupure Point de déclenchement bas Charges de contact < 30 V CA/CC, ≤ 0,3 A ohmique Temps de commutation < 30 ms Tab. 16: Fonctions logiques Paramètre Valeur Volume interne 4,7 cm3 Poids 120 g Tab. 17: Volume interne et poids Paramètre Humidité relative de l’air Valeur Moyenne annuelle ≤ 65 % (sans condensation) à 60 jours ≤ 85 % (sans condensation) Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2 000 m MSL Degré de pollution 2 Degré de protection IP40 Tab. 18: Conditions ambiantes Paramètre Valeur Fonctionnement +10 – +50 °C Raccord à vide 4) ≤ 80 °C 3) Les unités de commande et de mesure Pfeiffer Vacuum sont conformes à cette exigence. 41/46 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Filament chauffé 5) ≤ 160 °C Stockage -20 – +65 °C Tab. 19: Températures Paramètre Valeur Raccord à vide Acier inoxydable 1.4435 Filament chauffé Tungstène (W) Passage du vide Verre Écran Acier inoxydable Diaphragme Céramique Autres substances Ni, NiFe, acier surfin 1.4301, SnAg Tab. 20: Dimensions »65 15.3 Substances en contact avec le fluide 28 79.5 14.5 VACUUM 45 DN 16 ISO-KF Fig. 13: Dimensions Dimensions en mm 42/46 4) Pour installation horizontale. La gamme de mesure, la précision et la répétabilité pour la mise sous contrainte thermique peuvent diverger sur la fiche technique. 5) Ne peut pas être influencé par l’opérateur ETL LISTED The products TTR 101 and TTR 101 S2 - conform to the UL standard UL 61010-1, issued 2004/07/12, Ed. 2, Rev. 2008/10/28. 3103457 - are certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1, issued 2004/07/12, Ed. 2, Rev. 2009. Déclaration de conformité UE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Points de mesure Pirani / jauge de capacitance TTR 101 TTR 101 S2 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN IEC 61000-6-2:2019 DIN EN IEC 61000-6-3:2022 DIN EN 61010-1:2020 DIN EN IEC 61326-1:2022 DIN EN IEC 63000:2019 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-02-20 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge capacitive/Pirani TTR 101 TTR 101 S2 Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Standards et spécifications appliqués : EN IEC 61000-6-2:2019 EN IEC 61000-6-3:2021 EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-02-20 *BG5038* ed. A - Date 2310 - P/N:BG5038BFR ">
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