Pfeiffer TPR 270/TPR 271 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
TPR 270 ∣ TPR 271
Jauge Pirani à impulsion
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a
été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception
rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de
techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits
de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience
pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à
une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse [email protected].
Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/40
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque de commerce
7
7
7
7
8
8
8
8
8
9
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations non conformes prévisibles
2.7 Responsabilité et garantie
10
10
10
12
13
13
13
13
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.2 Identification du produit
3.3 Étendue de la livraison
14
14
14
14
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
15
15
15
5
Installation
5.1 Raccord à vide
5.2 Raccordement électrique
16
16
17
6
Fonctionnement
6.1 Conversion du signal de mesure et de la pression
6.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
19
19
21
7
Démontage
23
8
Maintenance
8.1 Nettoyage de l’émetteur
8.2 Calibration de la jauge
25
25
27
9
Anomalies
28
10
Expédition
29
11
Recyclage et mise au rebut
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
11.2 Mise au rebut des transmetteurs
30
30
30
12
Accessoires
12.1 Informations sur les accessoires
12.2 Commande d'accessoires
31
31
31
13
Caractéristiques techniques et dimensions
13.1 Généralités
13.2 Fiche technique
32
32
32
3/40
Table des matières
4/40
13.2.1Fiche technique, TPR 270
13.2.2Fiche technique, TPR 271
13.3 Dimensions
32
34
35
Déclaration de conformité CE
37
Déclaration de Conformité UK
38
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Documents applicables
Variantes TPR 270
Variantes TPR 271
Abréviations utilisées
Conditions ambiantes autorisées
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
Tableau de transformation TPR 270
Tableau de transformation TPR 271
Facteurs de correction pour la plage de pression < 1 hPa
Anomalies
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Fiche technique, TPR 270
Fiche technique, TPR 270, suite
Fiche technique, TPR 271
7
7
7
9
13
20
20
20
22
28
32
32
33
33
34
5/40
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
6/40
Construction de l’émetteur
Raccord à vide
Câble de mesure et prise de câble Hirschmann
Relation entre le signal de mesure et la pression pour les jauges TPR 270
Relation entre le signal de mesure et la pression pour les jauges TPR 271
Pression affichée
Retrait de la jauge
Nettoyage de la chambre de mesure
Bouton de calibration
Boîtier standard pour température de dégazage de 80 °C sur la bride
Boîtier étendu pour température de dégazage de 250 °C sur la bride
14
17
18
19
19
21
24
26
27
35
36
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Manuel de l’utilisateur de « Appareil de commande » OmniControl
PT 0670
Manuel de l’utilisateur « Appareil de commande et de mesure de la
pression totale » TPG 366
BG 5501
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes :
Référence
Désignation
PT R26 770
TPR 270, DN 16 ISO-KF
PT R26 790
PT R26 780
TPR 270, DN 16 CF-F
PT R26 791
PT R26 781
TPR 270, NPT 1/8“
PT R26 782
TPR 270, 8 VCR
Tab. 2:
Variantes TPR 270
Référence
Désignation
PT R26 775
TPR 271, DN 16 ISO-KF
PT R26 795
PT R26 776
TPR 271, DN 16 CF-F
PT R26 796
Tab. 3:
Variantes TPR 271
Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis.
Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les figures représentent le produit avec un raccord vide DN 16 ISO-KF. Elles s'appliquent cependant
aussi aux autres raccords vides sous réserve de compatibilité.
Les dimensions sont fournies en mm, sauf avis contraire.
7/40
A propos de ce manuel
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles.
Remarque
Conseil
Portez des gants de laboratoire
Contrôlez visuellement
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
8/40
A propos de ce manuel
Plaque signalétique
La plaque signalétique est située sur le côté de la jauge.
D-35614 Asslar
Mod. TPR 27x
P/N
PT R26 7xx
S/N
xxxxxxxxx
Input 15...30 V DC 2 W
Output 0...10 V DC
1.3.4
Abréviations
Abréviation
Explication
ATM
Atmosphère
c
Constante de conversion du signal de mesure et de la pression
C
Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air
HT
Vide élevé
MSL
Niveau moyen de la mer
p
Pression
U
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
Tab. 4:
1.4
Made in Germany 2022/11
Abréviations utilisées
Justificatif de marque de commerce
● VCR® est une marque déposée de Swagelok Company.
● Hirschmann® est une marque déposée de Hirschmann Electronics GmbH.
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Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
10/40
Sécurité
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
11/40
Sécurité
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
12/40
Sécurité
2.4
Limites d’utilisation du produit
Paramètre
Valeur
Humidité relative de l’air
À des températures atteignant +30 °C, 80 % max.
À des températures atteignant +40 °C, 50 % max.
sans condensation
Température ambiante
+5 ℃ à +40 ℃
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
2 000 m MSL
Degré de protection
IP40
Tab. 5:
2.5
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme
La jauge fournit une mesure du vide de gaz dans la gamme 1 × 10-4 à 1 000 hPa.
La jauge TPR 271 convient aussi pour les gaz corrosifs et les mélanges de gaz en dehors de leurs limites d’explosion, en l’absence de corrosion des substances en contact avec ces gaz et les mélanges de
gaz.
Utilisation du produit conformément à son usage prévu
► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client.
► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur.
► Observez les limites d’utilisation prescrites dans la fiche technique.
► Observer la fiche technique.
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation
● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée
● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives
● Utilisation en extérieur
● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
2.7
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie
tierce :
● ignore ce document
● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu
● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante
● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit
correspondante
L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé.
13/40
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
Les jauges TPR 270 et TPR 271 ont un capteur à compensation de température Pirani. Le capteur Pirani utilise la conductivité thermique des gaz pour la mesure du vide. La jauge chauffe un fin câble de
tungstène ou de platine/rhodium pendant des cycles à une température spécifique. Le temps requis
pour le processus de chauffage est une mesure de la pression. La relation entre le signal de mesure et
la pression sur toute la gamme de mesure est de type logarithmique.
1
2
3
4
Fig. 1:
Construction de l’émetteur
1 Connecteur de câble Hirschmann
2 Bouton « ATM » avec connecteur de protection
3.2
3
4
Bouton « HV » avec connecteur de protection
Bride de raccordement
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
3.3
Étendue de la livraison
● Jauge
● Manuel de l’utilisateur
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballer le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée.
14/40
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transporter le produit en toute sécurité
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant
l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Stocker le produit en toute sécurité
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température d’entreposage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
15/40
Installation
5 Installation
5.1
Raccord à vide
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Conditions ambiantes appropriées
● Température de fonctionnement dans la plage permissible
● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles)
16/40
Installation
1
2
5
3
4
Fig. 2:
Raccord à vide
1 Joint avec anneau de centrage
2 Jauge
3 Obturateur de protection
4
5
Joint avec anneau de centrage et filtre
Pièce de serrage
Recommandations
► Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le
fonctionnement. Ces vibrations entraînent des déviations dans les valeurs mesurées.
► Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le
bas).
– Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure.
► Une fois le bouton de la jauge monté, vérifiez qu’il est aisément accessible avec le stylet.
► Montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour applications avec pollution et protéger le système de mesure contre la contamination.
Procédure
1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr.
2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum.
5.2
Raccordement électrique
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
AVIS
Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect
Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va
endommager la jauge.
► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 5) à la terre de l’unité d'alimentation.
► Raccordez toujours le blindage (broche 6) à la terre de l’unité d'alimentation.
Outils nécessaires
● Tournevis cruciforme
● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm)
17/40
Installation
Équipement nécessaire
● Câble de mesure pour appareil de commande et de mesure de la pression totale Pfeiffer Vacuum
disponible dans les accessoires ActiveLine
● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client
Longueur ≤35 m : Coupe transversale de conducteur 0,25 mm2
Longueur >35 m : Coupe transversale de conducteur 0,34 mm2
● Prise de câble Hirschmann
Raccordement électrique
1. Raccordez le câble de mesure au jauge.
2. Resserrez la vis d'arrêt sur la prise de câble Hirschmann.
– Couple de serrage : ≤ 0,2 Nm
3. Raccordez la jauge à une unité de mesure et de contrôle de la pression totale Pfeiffer Vacuum ou
à une unité d'évaluation fournie par le client.
3
2
1
6
4
Fig. 3:
5
Câble de mesure et prise de câble Hirschmann
1 Identification (3,0 kΩ sur GND)
2 Sortie analogique 0 à 10 V
3 Terre analogique
4
5
6
Tension d’alimentation 15 à 30 V
Masse (GND)
Blindage
Fabrication du câble de mesure
1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits
de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure.
2. Utilisez un câble avec un blindage tressé.
3. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection de l’unité de courant.
4. Utilisez une entrée de mesure différentielle avec prise de terre séparée et terre l’alimentation.
5. Assemblez la prise de câble Hirschmann.
Assemblage de la prise de câble Hirschmann
1. Préparez la prise de câble Hirschmann conformément au diagramme « Câble de mesure et prise
de câble Hirschmann ».
2. Soudez le câble de raccordement conformément au diagramme de raccordement de la borne de
connexion.
3. Assemblez la prise de câble Hirschmann.
18/40
Fonctionnement
6 Fonctionnement
Après l’activation de la tension d’alimentation, la jauge est prête pour l’utilisation.
Recommandations
► Respectez la période de stabilisation minimum de 10 minutes.
► Observez la relation entre le signal de mesure et la pression.
► La jauge doit toujours rester enclenchée, quelle que soit la pression.
Conversion du signal de mesure et de la pression
p 1E+05
Pa
1E+04
hPa
1E+02
Torr
1E–01
overrange
1E+00
underrange
1E+01
sensor error
1E+03
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0
10.3
U[V]
Fig. 4:
Relation entre le signal de mesure et la pression pour les jauges TPR 270
p Pression
U
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
p 1E+05
Pa
1E+04
1E+03
hPa
1E+02
Torr
1E–01
overrange
1E+00
underrange
1E+01
sensor error
6.1
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0
10.3
2.2
U [V]
Fig. 5:
Relation entre le signal de mesure et la pression pour les jauges TPR 271
p Pression
U
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
19/40
Fonctionnement
Signal de mesure (U)
Pression (p)
Constante (c) 1)
[V]
[hPa]
5,5
[mbar]
Tab. 6:
[Torr]
5,625
[micron]
2,625
[Pa]
3,5
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
Signal de mesure (U)
Pression (p)
[V]
[hPa]
< 0,5
Erreur de capteur
0,5 – 1,5
Plage dépassée vers le bas
1,5
1,0 × 10-4
2,5
1,0 × 10-3
3,5
1,0 × 10-2
4,5
0,1
5,5
1,0
6,5
10
7,5
1,0 × 102
8,5
1,0 × 103
8,5 – 10,3
Plage dépassée vers le haut
Tab. 7:
Tableau de transformation TPR 270
Signal de mesure (U)
Pression (p)
[V]
[hPa]
< 0,5
Erreur de capteur
0,5 – 2,2
Plage dépassée vers le bas
2,2
5,0 × 10-4
2,5
1,0 × 10-3
3,5
1,0 × 10-2
4,5
0,1
5,5
1,0
6,5
10
7,5
1,0 × 102
8,5
1,0 × 103
8,5 – 10,3
Plage dépassée vers le haut
Tab. 8:
Tableau de transformation TPR 271
Conversion du signal de mesure et de la pression
Gamme de validité
● 1 × 10-4 hPa < p < 1 000 hPa
● 7,5 × 10-5 Torr < p < 750 Torr
● 1 × 10-2 Pa < p < 1 × 105 Pa
1)
20/40
En fonction de l’unité de pression
Fonctionnement
► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression.
► Conversion du signal de mesure en pression :
p = 10(U-c)
► Conversion de la pression en signal de mesure :
U = c + log10 p
6.2
Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
Le signal de mesure dépend du type de gaz. Les caractéristiques s’appliquent pour l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO).
p [hPa]
102
H2
8
6
He
Ne
Air
O2
CO
N2
4
2
CO2
101
Ar
8
6
Freon 12
Kr
4
2
Xe
100
8
6
4
2
10–1
8
6
4
2
Water vapor
10–2
8
6
4
2
10–3
10–3 2
4
6
10–2 2
4
6
10–1 2
4
6
100
2
4
6
101
2
4
6
102
peff [hPa]
Fig. 6:
Pression affichée
Dans le domaine de pression < 1 hPa, l’affichage est linéaire.
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
Type de gaz
Facteur de calibrage (C)
Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2)
1,0
Hydrogène (H2)
0,5
Dioxyde de carbone (CO2)
0,9
Vapeur d’eau
0,5
Hélium (He)
0,8
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
21/40
Fonctionnement
Type de gaz
Facteur de calibrage (C)
Néon (Ne)
1,4
Argon (Ar)
1,7
Krypton (Kr)
2,4
Xénon (Xe)
3,0
Fréon 12
0,7
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
Tab. 9:
Facteurs de correction pour la plage de pression < 1 hPa
Saisie du facteur de correction dans l’appareil de commande et de mesure de pression totale
► Saisissez le facteur de correction pour corriger la valeur mesurée qui est affichée.
Calcul de la pression de gaz autres que l’air
► Calculez la pression efficace avec la formule suivante :
Peff = C × p
● Peff = Pression efficace
● C = Facteur de correction
● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l’air)
22/40
Démontage
7 Démontage
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Système à vide ventilé à la pression atmosphérique
● Tension d’alimentation désactivée
Outil nécessaire
● Tournevis cruciforme
23/40
Démontage
6
1
2
5
3
4
Fig. 7:
Retrait de la jauge
1 Joint avec anneau de centrage
2 Jauge
3 Obturateur de protection
4
5
6
Joint avec anneau de centrage et filtre
Pièce de serrage
Câble de mesure
Démontage de la jauge
1. Desserrez la vis d’arrêt sur la prise de câble Hirschmann de la jauge.
2. Déconnectez le câble de mesure de la jauge.
3. Démontez la jauge du système de vide.
4. Mettez l’obturateur de protection sur la bride de connexion.
24/40
Maintenance
8 Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Demande de garantie
Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
D'autres conditions climatiques, un fonctionnement prolongé, des températures extrêmes, une orientation de montage différente, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du
point zéro dans le système de mesure Pirani. Un décalage du zéro va nécessiter un nouveau calibrage
ou un nettoyage.
8.1
Nettoyage de l’émetteur
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
25/40
Maintenance
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d'humidité
La pénétration d'humidité, sous la forme de condensation ou d'égouttement, endommage l'appareil.
► Protéger l'appareil contre la pénétration de l'humidité.
► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement propre et sec.
► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d'égouttement d'eau.
► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface.
► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Consommables requis
● Alcool industriel
● Chiffon (doux, non pelucheux)
Nettoyage externe de l’appareil
1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
Fig. 8:
Nettoyage de la chambre de mesure
Nettoyage de la chambre de mesure
1. Retirez la jauge du système de vide.
2. Remplissez la chambre de mesure de la jauge avec de l’alcool industriel.
3. Patientez 5 minutes que l’alcool industriel fasse son effet.
26/40
Maintenance
4. Videz l’alcool industriel de la chambre de mesure.
5. Laissez bien sécher la chambre de mesure (au moins 10 minutes).
6. Raccordez à nouveau la jauge au système de vide.
8.2
Calibration de la jauge
Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge en usine sur les valeurs par défaut.
Condition préalable
● Connecteur de protection du bouton enlevé
Outil nécessaire
● Goupille (<2,5 mm)
ATM
Fig. 9:
HV
Bouton de calibration
Préparation du calibrage
1. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation
normale.
2. Vérifiez l'absence de toute contamination du filtre.
3. Remplacez le filtre s’il est très contaminé ou endommagé.
4. Mettez la jauge en fonctionnement.
Calibration HV
1. Évacuez le système de vide sur une pression ≤ 10-5 hPa.
2. Utilisez la jauge à cette pression pendant environ 5 à 10 minutes.
3. Appuyez brièvement sur le bouton« HV » en utilisant une goupille.
– La jauge est calibrée sur « ur » (gamme basse).
● TPR 270 : < 1,5V
● TPR 271 : < 2,2V
Calibration ATM
1. Laissez la jauge fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes.
2. Appuyez brièvement sur le bouton« ATM » en utilisant une goupille.
– La jauge se calibre sur 1 000 hPa (standard) (8,5 V CC).
27/40
Anomalies
9 Anomalies
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure (comme l’aide d'amorçage) n’est pas couvert par la garantie.
Anomalie
Cause possible
Action corrective
Signal de mesure continu < 0,5 V
« Erreur bas » ou « Erreur capteur »
Pas d’alimentation
électrique
● Contrôlez le raccordement pour la
mesure.
● Contrôlez l’appareil de commande.
● Établissez la tension d’alimentation.
Jauge mal calibrée
● Calibrez la jauge.
Jauge défectueuse
● Remplacez la jauge.
Dégazage important du capteur
● Nettoyez la jauge.
● Calibrez la jauge.
● Remplacez la jauge.
Capteur contaminé
● Nettoyez la jauge.
● Calibrez la jauge.
● Remplacez la jauge.
Valeur mesurée trop haute avec des
basses pressions
Tab. 10:
28/40
Anomalies
Expédition
10
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédier le produit en toute sécurité
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
29/40
Recyclage et mise au rebut
11
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
Protection de l'environnement
La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux
réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et
la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et
prévenir de la pollution.
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
11.2
Mise au rebut des transmetteurs
Les transmetteurs Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
2. Séparez les composants en matériaux recyclables.
3. Recyclez les composants non contaminés.
4. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
30/40
Accessoires
12
Accessoires
Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires ActiveLine.
12.1 Informations sur les accessoires
Câble de mesure
Câbles de mesure de différentes longueurs pour le raccordement à une unité de mesure et de contrôle
de la pression totale Pfeiffer Vacuum
Raccordement de ligne (connecteur Hirschmann)
Douille de câble pour la fabrication d’un câble de raccordement spécifique pour l’application
Joints avec anneau de centrage et filtre
Filtres disponibles avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre
toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination
12.2 Commande d'accessoires
Description
Numéro de commande
Câble de mesure, 3 m
PT 448 250 -T
Câble de mesure, 6 m
PT 448 251 -T
Câble de mesure, 10 m 2)
PT 448 252 -T
Connecteur-bouchon, 6 pôles
B4707283MA
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 20 μm,
FKM/acier inoxydable, DN 16 ISO-KF
PF 117 216 -T
Anneau de centrage avec filtre fin, grandeur de portes 4 μm, FKM/acier
inoxydable, DN 16 ISO-KF
PT 120 132 -T
2)
Autres longueurs de câbles disponibles jusqu’à 100 m.
31/40
Caractéristiques techniques et dimensions
13
Caractéristiques techniques et dimensions
13.1
Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
100
1
0,1
0,75
1 · 10
1,000
100
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
Pa
0,01
hPa
-3
5
-5
1 Pa = 1 N/m
Tab. 11:
750
-3
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
592
7,5
10
3
Pa m /s
sccm
1
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 12:
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
-3
-2
1,27 · 10
1.67 · 10-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
13.2 Fiche technique
13.2.1
Fiche technique, TPR 270
Numéro de commande
PT R26 770
PT R26 780
PT R26 781
Désignation du type
TPR 270
TPR 270
TPR 270
Diamètre nominal
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-F
1/8" NPT
Orientation de montage
Arbitraire
Arbitraire
Arbitraire
Méthode de mesure
Impulsion-Pirani
Impulsion-Pirani
Impulsion-Pirani
Filament chauffé
Tungstène
Tungstène
Tungstène
Gamme de mesure
1E-4 – 1E3 hPa
1E-4 – 1E3 hPa
1E-4 – 1E3 hPa
-3
-3
Précision
<2 · 10 hPa: <Factor
2
<2 · 10 hPa: <Factor 2
<2 · 10-3hPa: <Factor 2
Précision: 2 · 10-3 – 20 hPa
± 10 %
± 10 %
± 10 %
Précision: 20 – 1000 hPa
± 30 %
± 30 %
± 30 %
Répétabilité: 2 · 10 – 20 hPa
±2%
±2%
±2%
Altitude de fonctionnement,
max.
2000 m
2000 m
2000 m
Pression max.
4000 hPa
4000 hPa
4000 hPa
Lieu d’utilisation
Intérieur, étanche à
l’eau
Intérieur, étanche à
l’eau
Intérieur, étanche à
l’eau
Température ambiante
5 – 60 °C
5 – 60 °C
5 – 60 °C
Température : stockage
-40 – 70 °C
-40 – 70 °C
-40 – 70 °C
Vypékací teplota u příruby
80 °C
80 °C
80 °C
Messkabellänge
200 m
200 m
200 m
Tensions d’entrée
15 – 30 V CC
15 – 30 V CC
15 – 30 V CC
-3
32/40
Caractéristiques techniques et dimensions
Numéro de commande
PT R26 770
PT R26 780
PT R26 781
Výstupní signál: Rozsah
měření
1,5 – 8,5 V
1,5 – 8,5 V
1,5 – 8,5 V
Alimentation: Consommation
électrique max.
1W
1W
1W
Identifikace odporu
3 kΩ
3 kΩ
3 kΩ
Matériaux en contact avec le
fluide
Acier inoxydable
1.4307, Tungstène,
Nickel
Acier inoxydable
1.4307, Tungstène,
Nickel
Acier inoxydable
1.4307, Tungstène,
Nickel
Příruba, materiál
Acier inoxydable
Acier inoxydable
Acier inoxydable
Joint
Métal
Métal
Métal
Passage
Verre
Verre
Verre
Type de protection
IP40
IP40
IP40
Poids
105 g
135 g
95 g
Tab. 13:
Fiche technique, TPR 270
Numéro de commande
PT R26 782
PT R26 790
PT R26 791
Désignation du type
TPR 270
TPR 270
TPR 270
Diamètre nominal
8-VCR
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-F
Orientation de montage
Arbitraire
Arbitraire
Arbitraire
Méthode de mesure
Impulsion-Pirani
Impulsion-Pirani
Impulsion-Pirani
Filament chauffé
Tungstène
Tungstène
Tungstène
Gamme de mesure
1E-4 – 1E3 hPa
1E-4 – 1E3 hPa
1E-4 – 1E3 hPa
Précision
<2 · 10-3hPa: <Faktor 2
<2 · 10-3hPa: <Faktor 2
<2 · 10-3hPa: <Faktor 2
Précision: 2 · 10-3 – 20 hPa
± 10 %
± 10 %
± 10 %
Précision: 20 – 1000 hPa
± 30 %
± 30 %
± 30 %
Répétabilité: 2 · 10-3 – 20 hPa
±2%
±2%
±2%
Altitude de fonctionnement,
max.
2000 m
2000 m
2000 m
Pression max.
4000 hPa
4000 hPa
4000 hPa
Lieu d’utilisation
Intérieur, étanche à
l’eau
Intérieur, étanche à
l’eau
Intérieur, étanche à
l’eau
Température ambiante
5 – 60 °C
5 – 60 °C
5 – 60 °C
Température : stockage
-40 – 70 °C
-40 – 70 °C
-40 – 70 °C
Vypékací teplota u příruby
80 °C
250 °C
250 °C
Messkabellänge
200 m
200 m
200 m
Tensions d’entrée
15 – 30 V CC
15 – 30 V CC
15 – 30 V CC
Výstupní signál: Rozsah
měření
1,5 – 8,5 V
1,5 – 8,5 V
1,5 – 8,5 V
Alimentation: Consommation
électrique max.
1W
1W
1W
Identifikace odporu
3 kΩ
3 kΩ
3 kΩ
Matériaux en contact avec le
fluide
Acier inoxydable
1.4307, Tungstène,
Nickel
Acier inoxydable
1.4307, Tungstène,
Nickel
Acier inoxydable
1.4307, Tungstène,
Nickel
Příruba, materiál
Acier inoxydable
Acier inoxydable
Acier inoxydable
Joint
Métal
Métal
Métal
Passage
Verre
Verre
Verre
Type de protection
IP40
IP40
IP40
Poids
160 g
130 g
148 g
Tab. 14:
Fiche technique, TPR 270, suite
33/40
Caractéristiques techniques et dimensions
13.2.2
Fiche technique, TPR 271
Numéro de commande
PT R26 775
PT R26 776
PT R26 795
PT R26 796
Désignation du type
TPR 271
TPR 271
TPR 271
TPR 271
Diamètre nominal
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-F
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-F
Orientation de montage
Arbitraire
Arbitraire
Arbitraire
Arbitraire
Méthode de mesure
Impulsion-Pirani
Impulsion-Pirani
Impulsion-Pirani
Impulsion-Pirani
Filament chauffé
Platine/rhodium
Platine/rhodium
Platine/rhodium
Platine/rhodium
Gamme de mesure
5E-4 – 1E3 hPa
5E-4 – 1E3 hPa
5E-4 – 1E3 hPa
5E-4 – 1E3 hPa
-2
-2
-2
Précision
<1 · 10 hPa:
<Faktor 2
<1 · 10 hPa:
<Faktor 2
<1 · 10 hPa:
<Faktor 2
<1 · 10-2hPa:
<Faktor 2
Précision: 1 · 10-2 –
10 hPa
± 10 %
± 10 %
± 10 %
± 10 %
Précision: 10 – 1000
hPa
± 30 %
± 30 %
± 30 %
± 30 %
Répétabilité: 2 · 10-2 –
20 hPa
±2%
±2%
±2%
±2%
Altitude de fonctionnement, max.
2000 m
2000 m
2000 m
2000 m
Pression max.
4000 hPa
4000 hPa
4000 hPa
4000 hPa
Lieu d’utilisation
Intérieur, étanche
à l’eau
Intérieur, étanche à l’eau
Intérieur, étanche à l’eau
Intérieur, étanche à l’eau
Température ambiante
5 – 60 °C
5 – 60 °C
5 – 60 °C
5 – 60 °C
Température : stockage
-40 – 70 °C
-40 – 70 °C
-40 – 70 °C
-40 – 70 °C
Vypékací teplota u
příruby
80 °C
80 °C
250 °C
250 °C
Messkabellänge
200 m
200 m
200 m
200 m
Tensions d’entrée
15 – 30 V CC
15 – 30 V CC
15 – 30 V CC
15 – 30 V CC
Výstupní signál: Rozsah měření
2,2 – 8,5 V
2,2 – 8,5 V
2,2 – 8,5 V
2,2 – 8,5 V
Alimentation: Consommation électrique
max.
1W
1W
1W
1W
Identifikace odporu
3 kΩ
3 kΩ
3 kΩ
3 kΩ
Matériaux en contact
avec le fluide
Platine/rhodium,
Acier inoxydable
1.4307, Nickel
Platine/rhodium,
Acier inoxydable
1.4307, Nickel
Platine/rhodium,
Acier inoxydable
1.4307, Nickel
Platine/rhodium,
Acier inoxydable
1.4307, Nickel
Příruba, materiál
Acier inoxydable
Acier inoxydable
Acier inoxydable
Acier inoxydable
Joint
Métal
Métal
Métal
Métal
Passage
Verre
Verre
Verre
Verre
Type de protection
IP40
IP40
IP40
IP40
Poids
105 g
135 g
130 g
148 g
Tab. 15:
34/40
Fiche technique, TPR 271
Caractéristiques techniques et dimensions
13.3 Dimensions
Ø 32
32.3
20.5
74
62
20
20
Ø 32
Ø 30
DN 16 ISO-KF
Ø 34
DN 16 CF-F
Ø 32
10
35
39.4
81.4
77
20
20
Ø 32
Ø 14
1/8’’ NPT
Fig. 10:
8 VCR
Boîtier standard pour température de dégazage de 80 °C sur la bride
Dimensions en mm
35/40
Caractéristiques techniques et dimensions
20
124
124
166
166
Fig. 11:
Ø 30
Ø 34
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-F
Boîtier étendu pour température de dégazage de 250 °C sur la bride
Dimensions en mm
36/40
Ø 32
20
Ø 32
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge Pirani à impulsion
TPR 270
TPR 271
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN 61326-1:2013-07
DIN EN IEC 63000:2019-05
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN IEC 61326-1:2022
DIN EN IEC 63000:2019
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-10-01
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge Pirani à impulsion
TPR 270
TPR 271
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications appliquées
EN IEC 61326-1:2021
EN IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-11-01
39/40
*PG0014*
ed. E - Date 2212 - P/N:PG0014BFR
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