Pfeiffer ATH 500 M
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Vous trouverez ci-dessous de brèves informations pour ATH 500 M, ATH 500 MT. Ces pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques actifs sont conçues pour les procédés de dépôt et de gravure plasma, les dépôts sur verre et d'autres applications de recherche. Elles se distinguent par leur résistance à la corrosion, leur robustesse et leur grande capacité de pompage de gaz à haute pression.
Fonctionnalités clés
- Paliers magnétiques actifs (PMA)
- Résistance à la corrosion (modèles nickelés)
- Adaptée aux procédés de dépôt et de gravure plasma
- Version MT avec régulation de la température pour éviter la condensation
Des pages: 84 Pfeiffer ATH 500 M Mode d'emploi
Marque: Pfeiffer Taille: 7 MB
La langue(s): Français
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