Pfeiffer ATH 500 M
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Vous trouverez ci-dessous de brèves informations pour ATH 500 M, ATH 500 MT. Ces pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques actifs sont conçues pour les procédés de dépôt et de gravure plasma, les dépôts sur verre et d'autres applications de recherche. Elles se distinguent par leur résistance à la corrosion, leur robustesse et leur grande capacité de pompage de gaz à haute pression.
Principais recursos
- Paliers magnétiques actifs (PMA)
- Résistance à la corrosion (modèles nickelés)
- Adaptée aux procédés de dépôt et de gravure plasma
- Version MT avec régulation de la température pour éviter la condensation
Páginas: 84 Pfeiffer ATH 500 M Mode d'emploi
Marca: Pfeiffer Tamanho: 7 MB
Línguas: Français
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Respostas e perguntas frequentes
Quelle est l'utilisation conforme de la pompe ?
La pompe à vide est utilisée uniquement pour générer du vide en pompant des gaz. La pompe turbomoléculaire doit être associée à une pompe primaire appropriée.
La pompe version MT peut-elle pomper des fluides à risque de condensables ?
Oui, la pompe Version MT peut être utilisée pour le pompage de fluides à risque de condensables sous réserve que les gaz ne se condensent pas dans la pompe.
Quels sont les risques liés à une fixation incorrecte de la pompe ?
En cas de fixation incorrecte de la pompe, lors d’un blocage inopiné du rotor, la pompe turbomoléculaire se désolidarise de l’équipement : l'énergie libérée projette la pompe ou des fragments de pompe dans le local, provoquant des blessures très graves voire mortelles.
Quelles sont les consignes de sécurité concernant les gaz pyrophoriques/inflammables ?
Il faut absolument éviter le mélange de gaz oxydant (air, autre…) avec les gaz pyrophoriques/inflammables. Assurer l’étanchéité sur l’installation complète.