MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original MVP 010-3 DC NEO Pompe à diaphragme Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe à membrane vous aidera pour votre application spécifique grâce à ses performances et à sonbon fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel de l’utilisateur décrit l’ensemble des modèles et variantes de votre produit. Veuillez noter qu’il est possible que votre produit ne dispose pas de toutes les caractéristiques d’équipement décrites dans ce document. Pfeiffer Vacuum adapte en permanence et sans avis préalable ses produits afin qu’ils soient à la fine pointe de la technologie. Veuillez prendre en compte qu’il y avoir des divergences entre le manuel de l’utilisateur en ligne et la manuel de l’utilisateur imprimé fourni avec votre produit. En outre, Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité ou obligation pour tout dommage résultant de l’utilisation du produit en contradiction avec son utilisation conforme à l’usage prévu ou en cas d’utilisation explicitement définie comme étant une mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/62 Table des matières Table des matières 1 Au sujet de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Étiquettes sur le produit 1.3.4 Abréviations 8 8 8 8 8 8 8 9 9 10 2 Sécurité 2.1 Information générale sur la sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme à l’usage prévu 2.6 Utilisations non conformes prévisibles 2.7 Qualification personnelle 2.7.1 Garantissez la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 11 11 11 14 15 15 15 16 16 17 17 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.1.1 Actionneur 3.1.2 Système de pompage 3.1.3 Refroidissement 3.1.4 Lest d’air 3.1.5 Capteur de pression 3.2 Raccordements 3.3 Identification du produit 3.4 Étendue de la livraison 18 18 18 18 18 18 19 19 19 19 4 Transport et stockage 4.1 Transport de la pompe à vide 4.2 Stockage de la pompe à vide 20 20 20 5 Installation 5.1 Installation de la pompe à vide 5.2 Raccordement côté vide 5.3 Raccordement du côté d’échappement 5.4 Raccordement électrique 5.4.1 Mise à la terre de la pompe à vide 5.4.2 Raccordement électrique 21 21 21 21 22 23 23 6 Interfaces 6.1 Interface « remote » 6.1.1 Alimentation de tension 6.1.2 Entrées 6.1.3 Sorties 6.1.4 RS-485 6.2 Interface RS-485 6.3 Interconnexion via raccordement RS-485 6.4 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 6.4.1 Cadre télégramme 6.4.2 Description du télégramme 25 25 26 26 26 27 27 28 28 28 29 3/62 Table des matières 6.4.3 Télégramme exemple 1 6.4.4 Télégramme exemple 2 6.4.5 Data types 4/62 29 29 29 7 Ensemble de paramètres 7.1 Généralités 7.2 Instructions de réglage 7.3 Requêtes d’état 7.4 Entrées des valeurs de référence 31 31 31 32 33 8 Fonctionnement 8.1 Mise en service de la pompe à vide 8.2 Mettre en marche la pompe à vide 8.3 Fonctionnement de la pompe à membrane avec le lest d'air 8.4 Configuration des connexions avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum 8.4.1 Configuration des sorties numériques 8.4.2 Sélection des interfaces 8.4.3 Configuration des accessoires 8.5 Modes de fonctionnement 8.5.1 Fonctionnement normal 8.5.2 Mode standby 8.5.3 Mode de réglage de la vitesse de rotation 8.5.4 Commande de soupape de lest d’air 8.6 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction 8.7 Surveillance des opérations 8.7.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes 8.7.2 Surveillance de la température 8.8 Mise hors tension de la pompe à vide 35 35 35 36 36 37 37 37 38 38 39 39 39 40 41 41 42 42 9 Maintenance 9.1 Consignes de maintenance 9.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien 9.3 Remplacement des membranes et des vannes 9.3.1 Montage/démontage du tuyau flexible d’interconnexion 9.3.2 Démontage du chapeau de diaphragme et des vannes 9.3.3 Nettoyage et remplacement des diaphragmes et des vannes 9.3.4 Montage du chapeau de diaphragme et des vannes 43 43 44 45 45 46 46 47 10 Mise hors service 48 11 Recyclage et mise au rebut 11.1 Informations générales sur la mise au rebut 11.2 Mise au rebut des pompes à diaphragme 49 49 49 12 Dysfonctionnements 12.1 Généralités 12.2 Codes d’erreur 50 50 51 13 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 53 14 Lots de pièces de rechange 55 15 Accessoires 15.1 Informations sur l’accessoire 15.2 Commande d’accessoires 56 56 56 16 Caractéristiques techniques et dimensions 16.1 Généralités 16.2 Fiche technique 16.3 Substances en contact avec la substance à pomper 16.4 Dimensions 57 57 57 58 59 Table des matières Déclaration de conformité CE 60 Déclaration de Conformité UK 61 5/62 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Tab. 22: Tab. 23: Tab. 24: Tab. 25: Tab. 26: Tab. 27: Tab. 28: Tab. 29: 6/62 Variantes Étiquettes sur le produit Abréviations utilisées dans ce document Conditions ambiantes autorisées Description du raccordement de l’unité de commande électronique Affectation des broches de la prise D-Sub à 15 connecteurs Sortie DO1/broche 8 Sortie DO2/broche 9 Caractéristiques de l’interface RS-485 Explication et signification des paramètres Jeu de paramètres | Instructions de réglage Jeu de paramètres | Requêtes d’état Jeu de paramètres | Entrées des valeurs indicatives Réglages d’usine de l’unité de commande électronique des pompes à membrane livrées Configurer les paramètres [P:019] et [P:024] Paramètres [P:060] et [P:061] Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa Réaction et signification des DEL de l’unité de commande électronique Durée de vie typique dans le cadre d’une utilisation normale Intervalles de maintenance Dépannage sur les pompes à membrane Messages d’erreur pour la pompe à vide Messages d’avertissement pour la pompe à vide Pièces de rechange Accessoires MVP 010-3 DC Neo Tableau de conversion : Unités de pression Tableau de conversion : Unités de débit du gaz Fiche technique MVP 010-3 DC Neo Matières entrant en contact avec la substance du procédé 8 9 10 15 19 26 26 27 27 31 32 33 34 35 37 37 40 42 43 45 51 52 52 55 56 57 57 58 58 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: Position des étiquettes sur le produit Construction de la pompe à membrane Raccordement du câble de terre Raccordement à la pompe turbomoléculaire, à l’unité de courant et au contrôleur Raccordement à l’appareil de commande avec unité de courant intégrée Broches de la prise D-Sub, 15 broches Interconnexion de via l’interface RS-485 Affectation du raccord d’accessoire Diagramme de commande de soupape de lest d’air Pression affichée Montage/démontage du tuyau flexible d’interconnexion Chapeau de diaphragme et vannes Pièces de rechange Dimensions MVP 010-3 DC Neo 9 18 23 24 24 25 28 38 39 41 45 46 55 59 7/62 Au sujet de ce manuel 1 Au sujet de ce manuel IMPORTANT À lire attentivement avant utilisation. Gardez le manuel pour pouvoir le consulter ultérieurement. 1.1 Validité Ce manuel de l’utilisateur est un document Pfeiffer Vacuum destiné au client. Le manuel de l’utilisateur décrit les fonctions du produit mentionné et fournit les informations les plus importantes pour une utilisation en toute sécurité du dispositif. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations dans ce manuel de l’utilisateur se réfèrent à l’état de développement actuel du produit. Le document reste valide tant que le client n’apporte aucun changement au produit. 1.1.1 1.1.2 Documents applicables Désignation Document Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Variantes Ces instructions s’appliquent aux pompes à membrane MVP 010-3 DC Neo. Référence Désignation PK T05 074 Version avec soupape de lest d’air PK T05 079 Version sans soupape de lest d’air PK T05 085 Version pour un ensemble salle blanche PK T05 086 Version pour GSD 350 Tab. 1: 1.2 Variantes Groupe cible Ce manuel de l’utilisateur cible toutes les personnes effectuant les activités suivantes sur le produit : ● ● ● ● ● ● Transport Configuration (installation) Utilisation et fonctionnement Mise hors service Maintenance et nettoyage Stockage ou mise au rebut Seules les personnes avec les qualifications techniques appropriées (personnel expert) ou ayant reçu la formation pertinente de Pfeiffer Vacuum sont autorisées à effectuer le travail décrit dans ce document. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. 8/62 Au sujet de ce manuel Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. Remarque Conseil 1.3.3 Étiquettes sur le produit Ce paragraphe décrit toutes les étiquettes sur le produit ainsi que leur signification. D-35614 Asslar Mod. P/N S/N Berliner Strasse 43 MVP 010-3 DC Neo SAP xxx / PK T05 xxx xxxxxxxxx S (N 2) 0.6 m3 /h max. 3000 1/min n Mass 2 kg 24 V DC +/- 10% 1.4 A Plaque signalétique (exemple) La plaque signalétique se trouve sur le couvercle des circuits électroniques. NRTL UL/CSA 61010-1 IP20 / Type 1 Made in Germany 2024/09 warranty seal Sceau de garantie Le produit est étanché, départ d’usine. L’endommagement ou le retrait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie caduque. Alerte ! Surface brûlante ! Cette étiquette met en garde contre les risques de blessure liés aux hautes températures à la suite d’un contact sans protection pendant le fonctionnement. Remarque concernant le manuel de l’utilisateur Cette étiquette indique que ce manuel de l’utilisateur doit être lu avant d’exécuter une tâche. Tab. 2: Étiquettes sur le produit 1 4 3 2 Fig. 1: Position des étiquettes sur le produit 1 Plaque signalétique de la pompe à membrane 2 Sceau de garantie (4×) 3 4 Alerte ! Surface brûlante ! Remarque concernant le manuel de l’utilisateur 9/62 Au sujet de ce manuel 1.3.4 Abréviations Abréviation Signification dans ce document DC Courant continu DN Diamètre nominal f Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz) DEL Diode électroluminescente MVP Pompe à vide à membrane MSL Niveau moyen de la mer [P:xxx] Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous la forme d’un nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte description. Exemple : [P:312] version logicielle PE Terre de protection (conducteur de protection) T Température en °C TC Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de pompe turbomoléculaire) TPS Alimentation de tension (alimentation électrique turbo) Tab. 3: 10/62 Abréviations utilisées dans ce document Sécurité 2 Sécurité 2.1 Information générale sur la sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger immédiat Indique un danger imminent causant la mort ou de graves blessures s’il est ignoré. ► Instructions pour éviter la situation dangereuse AVERTISSEMENT Danger potentiel Indique un danger pouvant causer la mort ou de graves blessures s’il est ignoré. ► Instructions pour éviter la situation dangereuse ATTENTION Danger potentiel Indique un danger pouvant causer des blessures bénignes s’il est ignoré. ► Instructions pour éviter la situation dangereuse AVIS Risque de dommages matériels Est utilisé pour signaler des actions qui ne sont pas associées à des blessures. ► Instructions pour éviter les dommages matériels Les notes, les conseils ou les exemples correspondent à des remarques importantes sur le produit ou sur ce document. 2.2 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la norme EN ISO 12100 Section 5. Dans toute la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. Risques lors du transport AVERTISSEMENT Danger de blessures graves en cas de chute d’objets La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses. ► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit. ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. 11/62 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas d'installation inappropriée Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. ATTENTION Danger de brûlure sur les surfaces chaudes En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. Si l’accès à la pompe à vide est non restreint, il y un risque de brûlures en cas de contact avec une surface chaude. ► Installez une protection contre les contacts appropriée si la pompe à vide est accessible sans restriction. ► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’effectuer tout travail. ► Contactez Pfeiffer Vacuum pour une protection qui convient contre le contact dans les solutions système. ATTENTION Danger de blessure lié à l’éclatement de la conduite d’échappement en cas de pression excessive Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement. Risque de blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels. ► Installez la conduite d’échappement sans appareil de fermeture. ► Respectez les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter. ► Vérifiez régulièrement le fonctionnement de la conduite d’échappement. 12/62 Sécurité Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Danger d’intoxication lié au fluide de procédé toxique s’échappant de la tubulure d’échappement Lorsque la pompe à vide fonctionne sans conduite d’échappement, les gaz d’échappement et les vapeurs peuvent s’échapper librement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’intoxication par les fluides de procédé toxiques. ► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement des fluides de procédé toxiques. ► Purgez les fluides de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite d’échappement. ► Employez des moyens de filtration appropriés pour séparer les fluides de procédé toxiques. AVERTISSEMENT Risque d’explosion lié aux mélanges gaz/air réactifs, potentiellement explosifs ou dangereux L’entrée incontrôlée de gaz par la soupape de lest d'air peut former des étincelles d’origine mécanique après rupture de la membrane, ou provoquer l’échauffement des surfaces ou encore la formation de mélanges gaz/air potentiellement explosifs dans le circuit de vide formés par l’électricité statique. ► Si nécessaire, utilisez un gaz inerte comme gaz de balayage pour éviter toute inflammation potentielle. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz de procédé toxiques Pour les pressions d’entrée > 500 hPa, le gaz de procédé peut s’échapper de la soupape de lest d’air ouverte. Risque de blessure et de mort dû à l’intoxication par les fluides de procédé toxiques. ► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte pour éviter une contamination potentielle. ► Si nécessaire, utilisez une conduite d’évacuation. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. ► Porter des équipements de protection adaptés. Risques lors de la maintenance, de la mise hors service et en cas d’anomalies AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 13/62 Sécurité ATTENTION Danger de blessures dues aux pièces mobiles Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans le domaine de travail des pièces en rotation. ► Pour intervenir en toute sécurité, débranchez le moteur du secteur. ► Prenez des mesures pour éviter la remise en marche du moteur. ► Démontez la pompe à vide pour inspection, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire. ATTENTION Danger de brûlure sur les surfaces chaudes En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 105 °C. ► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’effectuer tout travail. ► Si nécessaire, portez des équipements de protection individuelle. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. 14/62 Sécurité Mesures de sécurité générales ► Empêcher les gaz de procédé et leurs réactions et les sous-produits nocifs pour la santé et l’environnement de s’échapper dans l’atmosphère ou les éliminer conformément aux réglementations en vigueur. ► Éviter tout contact avec les gaz de procédé présentant un risque pour la santé et porter des équipements de protection personnelle si nécessaire. ► Vérifier la compatibilité entre la substance à pomper et les pièces en contact avec elle. ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Ne remplissez jamais ou ne faites jamais fonctionner l'appareil avec des produits de nettoyage ou leurs résidus. ► N'effectuez pas vous-même des conversions ou modifications d'unité. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70°C. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes. ► Avant de renvoyer une pompe à vide, consultez les remarques du chapitre Solutions de service. 2.4 Limites d’utilisation du produit Emplacement de l’installation À l’intérieur, avec protection contre l’accumulation de poussière et les effets liés au climat, dans un environnement non-explosif et sec Degré de protection IEC 60529 IP 20 Degré de protection UL 50E NEMA type 1 Altitude de l’installation 2 000 m max. au-dessus du niveau de la mer 1) Température ambiante +5 °C à +40 °C Température admissible d’entrée de la substance à pomper +5 °C à +40 °C Humidité relative de l’air 80 % à T ≤ 31 °C, jusqu’à 50 % à T ≤ 40 °C Niveau de contamination 2 Tab. 4: 2.5 Conditions ambiantes autorisées Utilisation conforme à l’usage prévu ► Utilisez la pompe à vide uniquement pour la production de vide. ► Respectez les instructions d’installation, de mise en service, de fonctionnement et de maintenance. ► Utilisez uniquement les accessoires recommandés par Pfeiffer Vacuum. 2.6 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● ● ● ● ● ● 1) Pompage de substances corrosives Pompage de substances explosives Pomper des substances radioactives ou volatiles Pompage de gaz contenant des contamination telles que particules, poussières ou condensats Pompage de fluides Pomper des substances désagrégeant le FKM Au-delà de 1 000 m d’altitude, risque de refroidissement insuffisant. Si nécessaire, prendre les mesures stipulées dans la Directive DIN EN 61010. 15/62 Sécurité ● Pomper des vapeurs de liquides combustibles ● Pomper des substances sous pression (> pression atmosphérique) ● Pomper des substances susceptibles de se condenser ou de former des dépôts adhérents dans la chambre d’aspiration ● Utilisation de la pompe à vide en dehors du domaine d’application spécifique ● Utiliser la pompe à vide en dessous du niveau du sol ● Utilisation de la pompe à vide pour produire une pression ● Utilisation de la pompe à vide dans les circuits où des charges et des vibrations ponctuelles ou des forces périodiques agissent sur celle-ci ● Utilisation de la pompe à vide dans des champs électriques, magnétiques forts ● Raccordement sur des pompes à vide et des unités non conçues dans ce but selon leur manuel de l’utilisateur ● Raccordement sur des unités avec des pièces nues sous tension ● Raccorder à des prises sans borne de terre ● Utiliser des tubes pour lever la pompe à vide ● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non répertoriés dans ces instructions ● Utilisation de la pompe à vide comme moyen élévateur ● Utiliser les conduites de raccordement entre les têtes de membrane comme poignées de transport ● Utiliser la pompe dans des conditions ambiantes en dehors des limites de degré de protection IP spécifiées 2.7 Qualification personnelle L’utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l’expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Formez le personnel technique sur le produit. 2. Ne laissez le personnel à former opérer avec et sur le produit que sous la supervision d’un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, assurez-vous que le personnel engagé a lu et compris ce manuel de l’utilisateur et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l’entretien et à la réparation. 2.7.1 Garantissez la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l’installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialiste des travaux électrotechniques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d’ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l’installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l’ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir reçu explicitement l’autorisation d’utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les dispositifs, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. 16/62 Sécurité Personnes qualifiées Seules les personnes avec la formation qui convient peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l’entreposage, à l’utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d’exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum offre des formations avancées pour les maintenances niveaux 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance niveau 3 ─ Client avec formation à l’entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contactez le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 17/62 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction Les pompes à membrane sont des pompes volumétriques de type compression à sec. Le mouvement des membranes génère un changement périodique du volume de la chambre d’aspiration. La circulation de gaz provoque l’ouverture et la fermeture automatiques des vannes. L’unité de pompage est directement accouplée au moteur d’entraînement. 17 18 1 2 3 4 5 16 15 14 13 12 6 11 Fig. 2: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 3.1.1 10 9 8 7 Construction de la pompe à membrane Raccordement entre têtes avec raccord de tuyau Tête de membrane 3 Soupape de lest d’air (vanne magnétique) Raccord de lest d’air avec filtre Tête de membrane 2 Plaque de base Raccordement entre têtes avec raccord de tuyau Borne de connexion de masse Micro-bouton 10 11 12 13 14 15 16 17 18 Tête de membrane 1 Raccord de vide, filetage 1/8’’ Tête de membrane 4 Échappement avec silencieux Raccordement « Remote » 3 DEL d’affichage du mode de travail Raccordement accessoire C Unité de commande électronique Raccordement accessoire D Actionneur La pompe à membrane forme une unité compacte avec l’unité de commande électronique. L’unité de commande électronique intégrée permet de commander et de surveiller les fonctions de pompage via l’interface « remote » en utilisant un appareil de commande Pfeiffer Vacuum. 3.1.2 Système de pompage La pompe à membrane présente 4 têtes de membrane et 3 étages de pompage. 3.1.3 Refroidissement La pompe à membrane est refroidie par convexion et ne dispose pas de son propre ventilateur. 3.1.4 Lest d’air Un système intégré ou optionnel de lest d’air est utilisé pour assurer une alimentation contrôlée de l’air ambiant ou de gaz inerte dans la chambre d’aspiration. Le lest d’air contribue à la réduction de la condensation dans le système de pompage. 18/62 Description du produit 3.1.5 Capteur de pression Le capteur de pression numérique RPT 010 de type retrofit à capteur Piezo/Pirani mesure la pression d’entrée et offre une fonctionnalité étendue pour la pompe à vide. 3.2 Raccordements Raccordement Description remote Prise D-sub à 15 broches pour le raccordement et la configuration d’une commande à distance Raccordement des accessoires 2 connecteurs avec AccessLink pour le fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum qui conviennent Tab. 5: 3.3 Description du raccordement de l’unité de commande électronique Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.tuev-sued.de. 3.4 Étendue de la livraison ● ● ● ● Pompe à vide avec unité de commande électronique intégrée Silencieux Manuel de l’utilisateur Connecteur plein sur le raccord à vide 19/62 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport de la pompe à vide AVERTISSEMENT Danger de blessures graves en cas de chute d’objets La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses. ► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit. ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transport en toute sécurité du produit ► Observez le poids spécifié sur l’emballage. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine. ► Le produit doit toujours être placé sur une surface plane aux dimensions adéquates. Transport de la pompe à vide sans son emballage 1. Déballez la pompe à vide. 2. Pour protéger l’intérieur de la pompe, conservez les bouchons obturateurs sur le raccord à vide pendant le transport. 3. Soulevez la pompe à vide au niveau des deux faces avant. 4. Sortez la pompe à vide de son emballage de transport. 5. Vérifier qu’aucune contrainte mécanique n’est appliquée sur la tuyauterie. 6. La pompe à vide doit toujours être placée sur une surface plane aux dimensions adéquates. 4.2 Stockage de la pompe à vide Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d’origine. Stockage sécurisé de la pompe à vide ► Boucher le raccord à vide avec l’obturateur. ► Stockez la pompe à vide uniquement dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées. ► Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez la pompe à vide et un agent de séchage dans un sac en plastique hermétique. 20/62 Installation 5 Installation 5.1 Installation de la pompe à vide Procédure ► Placer la pompe à vide sur une surface horizontale plane. ► Dans le cas d’une installation fixe, vissez la pompe à vide directement sur la surface de montage. – Démonter la plaque de base pour cela. ► Dans le cas d’une installation dans une enveloppe fermée, veillez à une circulation d’air adéquate autour de la pompe. ► Placer la pompe de telle sorte que la plaque signalétique du moteur reste visible et accessible. 5.2 Raccordement côté vide AVIS Dégâts matériels occasionnés par des gaz contaminés Pomper du gaz contaminé endommage la pompe à vide. ► Utilisez des filtres et des séparateurs adéquats, disponibles dans la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum, pour protéger la pompe à vide. Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses pompes à membrane. ● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés se trouvent en ligne. ● Les accessoires décrits ne sont pas compris dans la livraison. Prévention des pertes d’étranglement Pour éviter des pertes d’étranglement, utilisez des conduites à vide de faible longueur avec un grande diamètre nominal. Séparateur de condensat Pfeiffer Vacuum recommande l’installation d’un séparateur de condensats au cas où de la vapeur se formerait pendant l'évacuation. Procédure 1. Enlever le bouchon obturateur du raccord à vide. 2. Établissez le raccordement le plus court possible entre la pompe à vide et l’enceinte à vide. 3. Choisir une conduite de vide de diamètre au moins égal au diamètre nominal du raccord à vide. 4. En fonction du type de pompe, utilisez des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum. 5. Raccordez la pompe à vide au système de vide par l’intermédiaire du raccord de vide. 5.3 Raccordement du côté d’échappement AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de gaz de procédé toxiques, en l’absence de conduite d’échappement Au cours du fonctionnement normal, la pompe à vide libère des gaz et des vapeurs dans l’air. Dans les procédés impliquant des substances toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort. ► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement de substances toxiques. ► Purgez les gaz de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite d’échappement. 21/62 Installation ATTENTION Danger de blessure lié à l’éclatement de la conduite d’échappement en cas de pression excessive Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement. Risque de blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels. ► Installez la conduite d’échappement sans appareil de fermeture. ► Respectez les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter. ► Vérifiez régulièrement le fonctionnement de la conduite d’échappement. ATTENTION Risque pour la santé lié à l’accroissement des émissions de bruit Le fonctionnement sans silencieux entraîne des émissions de bruit plus importantes. Évitez de vous tenir longtemps à côté de la pompe à vide sous peine d’altération de l’ouïe. ► Installez une conduite d’échappement appropriée. ► Portez une protection acoustique. Séparateur de condensat Pfeiffer Vacuum recommande l'installation d'un séparateur de condensat avec écoulement de condensat placé au point le plus bas de la conduite de refoulement. Procédure 1. Vérifier le libre passage du silencieux installé. 2. Choisissez une canalisation de refoulement de diamètre au moins égal au diamètre nominal de la bride de raccordement. 3. En fonction du type de pompe, utilisez des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum. 4. Option : En présence de débits de gaz plus élevés, montez une conduite d’échappement. 5. Installez la tuyauterie vers le bas à partir de la pompe à vide pour éviter le retour des condensats. 6. Fixez ou accrochez la tuyauterie de la pompe à vide pour éviter toute contrainte mécanique sur la pompe à vide. 5.4 Raccordement électrique AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas d'installation inappropriée Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. 22/62 Installation 5.4.1 Mise à la terre de la pompe à vide Fig. 3: Raccordement du câble de terre Procédure 1. Utilisez un câble de terre approprié pour faire diverger les interférences applicatives. 2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur. 3. Utilisez la prise de terre indiquée sur le couvercle (filetage intérieur M4) sur la pompe à vide. 5.4.2 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. Des unités de courant d’origine (par exemple TPS 110) et des câbles de raccordement sont disponibles pour l’alimentation électrique de l’unité de commande électronique. 23/62 Installation 5 4 6 1 3 7 2 PE S1 AC in DC out Fig. 4: Raccordement à la pompe turbomoléculaire, à l’unité de courant et au contrôleur 1 Raccordement « Remote » à l’unité de commande électronique MVP 5 2 Câble de raccordement de l’unité de courant avec interface RS-485 ou Câble de raccordement de l’unité de courant et de la pompe turbomoléculaire 3 Unité de commande électronique (TC) de la pompe turbomoléculaire 4 Distributeur Y M12 pour interface RS-485 6 1 Unité de courant 4 2 Fig. 5: 7 Câble d’extension M12 Appareil de commande 3 Raccordement à l’appareil de commande avec unité de courant intégrée 1 Raccordement « Remote » à l’unité de commande électronique MVP 2 Câble de raccordement de l’appareil de commande avec interface RS-485 3 Câble d’extension M12 4 Appareil de commande avec unité de courant Raccordement de l’unité de commande électronique MVP ► Assurez-vous que la tension d’alimentation est correcte. ► Vérifier que l’interrupteur secteur du pack d’alimentation électrique est coupé avant de procéder au raccordement. ► Utilisez un câble de raccordement adapté de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum. ► Connectez le câble de raccordement à 15 broches dans la connexion « remote » sur l’unité de commande électronique MVP et sécurisez-le. ► Insérez le câble de raccordement dans la connexion « DC out » sur l’unité de courant et fermez le blocage à baïonnette. ► Si vous utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum : raccordez le raccord « RS-485 » à l’appareil de commande en utilisant un câble d’extension qui convient. 24/62 Interfaces 6 Interfaces Interface « remote » AVIS Risque de dégâts aux circuits électroniques Le débranchement des connecteurs mâle-femelle du système de bus alors que l’équipement est sous tension peut provoquer la destruction de composants électroniques. ► Toujours couper l’alimentation électrique avant de retirer la fiche de connexion. ► Après avoir éteint le bloc d’alimentation, attendre la dispersion complète de la charge résiduelle avant de débrancher le connecteur mâle-femelle. AVIS Défaillance des branchements électriques causée par des influences perturbatrices externes Les interférences externes générées par des ondes électromagnétiques sont la causes de dysfonctionnements. ► Un câble blindé doit être utilisé pour la comptabilité électromagnétique (CEM). ► Raccordez le blindage au boîtier de raccordement des deux côtés. Le raccordement D-sub à 15 broches avec la désignation « remote » offre la possibilité de faire fonctionner l’unité de commande électronique via une commande à distance. Les spécifications suivantes sont les réglages usine de l’unité de commande électronique. Configuration de l’interface « Remote » ► Utilisez le connecteur et le câble blindés. ► Configurez les entrées et les sorties via l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum. 15 1 → 8 → 6.1 9 Fig. 6: Broches de la prise D-Sub, 15 broches Broche Fonction Description et réglage d’usine 1 Entrée +24 VCC Tension d’alimentation de l’entraînement et de l’interface 2 Demande d’accès d’entrée numérique V+ : Commande par entrées numériques --> GND/ouverte : Commande débloquée 3 DI1 V+ : Mode de réglage de la vitesse de rotation --> GND/ouverte : pas de mode de réglage de la vitesse de rotation 4 DI2 Ne concerne que les pompes à vide avec électrovanne ; dans ce cas, les points suivants s’appliquent : V+ : Vanne libérée, --> GND/ouverte : Vanne fermée 5 Entrée numérique du groupe de pompage V+ : Pompe à vide en marche --> GND/ouverte : Pompe à vide à l’arrêt 6 Entrée numérique mode veille V+ : Mode veille--> GND/ouverte : Pas de mode veille 7 V+ Sortie 24 V 8 DO1 GND : Erreur. V+ : Pas d’erreur 9 DO2 GND : Pompe à vide à l’arrêt. V+ : Pompe à vide en marche 10, 11, 12 n.c. - 13 RS-485 D+ 25/62 Interfaces 6.1.1 Broche Fonction Description et réglage d’usine 14 RS-485 D- 15 Masse (GND) Raccordement à la terre de la tension d’alimentation ; terre de référence pour toutes les entrées et sorties numériques Tab. 6: Affectation des broches de la prise D-Sub à 15 connecteurs Alimentation de tension Entrée/broche 1 La connexion électrique est assurée par un câble de raccordement de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum, ou par le client, au niveau des broches 1 et 15. Sortie +24 V DC* / broche 7 Une connexion avec +24 V DC à la broche 7 (actif haut) active les entrées 2 à 6. Alternativement, elles peuvent être activées par un PLC externe. « Niveau haut PLC » active et « Niveau bas PLC » désactive les fonctions. ● ● ● ● 6.1.2 Niveau haut PLC : +13 V à +33 V Niveau Bas PLC : -33 V à +7 V Ri : 7 kΩ Imax < 200 mA (avec RS-485, si disponible) Entrées Les entrées numériques commutent diverses fonctions de l’unité de commande électronique. Les entrées sont affectées avec des fonctions en départ d’usine. Vous pouvez les configurer via l’interface RS-485 et l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum. Entrée DI priorité à distance/broche 2 V+ : Le raccordement « remote » a la priorité de commande sur toutes les autres sources de commande. ouvert :Priorité à distance « inactive » Entrée DI1 mode de réglage de la vitesse de rotation/broche 3 V+ : ouvert : Mode de réglage de la vitesse de rotation « actif » Mode de réglage de la vitesse de rotation « inactif » Entrée DI groupe de pompage/broche 5 V+ : Pompe à vide en marche Commande de tous les composants raccordés et acquittement d’anomalie. ouvert : Pompe à vide à l’arrêt Entrée DI stand-by/broche 6 6.1.3 V+ : Stand-by activé La vitesse de standby est réglable entre 30 et 100 % de la vitesse nominale. GND/open : Standby désactivé Sorties Les sorties numériques présentent une limite de charge maximale de 24 V/50 mA par sortie. V+ : Pas d’erreur Lorsque la tension est appliquée, la sortie numérique DO1 est en permanence au potentiel V +, qui signifie l’absence d’erreur « no error ». GND Erreur « Active low » signifie la présence d’une erreur (message d’erreur courant). Tab. 7: 26/62 Sortie DO1/broche 8 Interfaces V+ : Pompe à vide en marche « Actif haut » signifie « Pompe à vide en marche » et en rotation à la vitesse de rotation réglée. Exemple : utilisez ce signal pour le message pompe à vide « prête à fonctionner » GND Pompe à vide à l’arrêt Tab. 8: 6.1.4 Sortie DO2/broche 9 RS-485 Raccordement du RS-485 via D-Sub ► Raccordez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC externe via la broche 13 et la broche 14 sur le raccord Sub D de l’unité de commande électronique. 6.2 Interface RS-485 DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. L’interface avec la désignation « RS-485 » est destinée au raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique. Désignation Valeur Interface série RS-485 Vitesse de transmission en baud 9 600 Baud Longueur de mot 8 bit Parité aucune (pas de parité) Bits de départ 1 Bits d’arrêt 1 Tab. 9: Caractéristiques de l’interface RS-485 Raccordement des appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC ► Utilisez le câble de raccordement fourni à la livraison avec l’appareil de commande ou disponible en option dans le programme des accessoires Pfeiffer Vacuum. ► Raccordez un appareil de commande à l’interface RS-485. ► Raccordez un PC via le transformateur USB/RS-485. Mise en réseau en tant que bus RS-485 L’adresse de groupe de l’unité de commande électronique est 902. 1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485. 2. Veillez à ce que tous les appareils connectés au bus disposent d’une adresse d’appareil RS-485 différente [P:797]. 3. Raccordez au bus tous les appareils avec RS-485 D+ et RS-485 D-. 27/62 Interfaces 6.3 Interconnexion via raccordement RS-485 DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. 1 3 2 4 PC MVP MVP MVP Fig. 7: Interconnexion de via l’interface RS-485 1 Convertisseur USB RS-485 2 Câble d’extension M12 à M12 3 4 Connecteur en Y pour RS-485 Câble de raccordement avec RS-485 6.4 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 6.4.1 Cadre télégramme Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vacuum contient uniquement des caractères ASCII [32; 127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un hôte (par ex. un PC) envoie un télégramme, auquel un appareil (par ex. unité de commande électronique ou jauge) va répondre. a2 28/62 a1 a0 * 0 n2 n1 n0 l1 l0 dn … d0 c2 c1 c0 a2 – a0 Adresse d’appareil ● Adresse individuelle de l’unité ["001";"255"] ● Adresse groupée « 9xx » pour toutes les unités identiques (pas de réponse) ● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse) * Action selon la description du télégramme n2 – n0 Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum I1 – I0 Longueur de données dn à d0 CR dn – d0 Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Data types », page 29). c2 – c0 Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) modulo 256 CR Retour à la ligne (ASCII 13) Interfaces 6.4.2 Description du télégramme Interrogation des données --> ? a2 n2 n1 a1 a0 0 0 Instruction de réglage a2 a1 a0 1 --> ! n2 n1 0 n0 0 2 = l1 l0 dn … n0 Réponse des données / instruction de réglage comprise a2 a1 a0 1 0 Message d’erreur a2 a1 a0 1 0 n2 NO_DEF _RANGE _LOGIC 6.4.3 ? c2 c1 c0 cR d0 c2 c1 c0 cR c2 c1 c0 cR c1 c0 cR --> n2 n1 n0 l1 l0 dn … d0 0 6 N O _ D E F _ R A N G E _ L O G I C --> n1 n0 c2 Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée Erreur d'accès logique Télégramme exemple 1 Demande de données Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 ») --> ? ASCII 1 2 3 0 0 3 0 9 0 2 = ? 1 1 2 cR 49 50 51 48 48 51 48 57 48 50 61 63 49 49 50 13 Réponse des données : 633 Hz Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 ») --> 1 2 3 1 0 3 0 9 0 6 0 0 0 6 3 3 0 3 7 cR ASCII 49 50 51 49 48 51 48 57 48 54 48 48 48 54 51 51 48 51 55 13 6.4.4 Télégramme exemple 2 Commande de contrôle Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 » --> ! ASCII 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 cR 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 Commande de contrôle comprise Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 » --> 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 cR ASCII 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 6.4.5 Data types Nº Type de donnée Description Longueur l1 – l0 Exemple 0 boolean_old Valeur logique (faux / vrai) 06 000000 est équivalent à faux 111111 est équivalent à vrai 1 u_integer Nombre entier positif 06 000000 à 999999 29/62 Interfaces 30/62 Nº Type de donnée Description Longueur l1 – l0 Exemple 2 u_real Nombre à virgule fixe (non signé) 06 001571 correspond à 15.71 4 string Chaîne de 6 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 06 TC_110, TM_700 6 boolean_new Valeur logique (faux / vrai) 01 0 est équivalent à faux 1 est équivalent à vrai 7 u_short_int Nombre entier positif 03 000 à 999 10 u_expo_new Nombre exponentiel positif. Les deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de 20. 06 100023 est équivalent à 1,0 · 103 100000 est équivalent à 1,0 · 10-20 11 string16 Chaîne de 16 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 16 BrezelBier&Wurst 12 string8 Chaîne de 8 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 08 Exemple Ensemble de paramètres 7 Ensemble de paramètres 7.1 Généralités Des réglages et des caractéristiques propres aux fonctions importantes sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité d’entraînement électronique. Chaque paramètre a un nombre à trois chiffres et une description. Le paramètre est accessible via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou de manière externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum. L’unité de commande électronique est préprogrammée en usine. La pompe à vide est ainsi utilisable directement et en toute sécurité sans configuration supplémentaire. Les paramètres suivants peuvent être configurés pour les procédés spécifiques : ● [P:026] : mode de réglage de la vitesse de rotation actif/inactif. ● [P:707] : spécification du mode de réglage de la vitesse de rotation entre 30 et 170 % du régime nominal. ● [P:002] : mode standby actif/inactif. # Nombre à trois chiffres du paramètre Indicateur Affichage de la description des paramètres Description Brève description des paramètres Fonctions Description de la fonction des paramètres Type de donnée Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum Type d’accès R (lecture) : accès en lecture ; W (écriture) : accès en écriture Unité Unité physique de la variable décrite min./max. Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur par défaut Pré-réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la pompe) Le paramètre peut être sauvegardé de manière permanente sur l’unité de commande électronique Tab. 10: Explication et signification des paramètres 7.2 Instructions de réglage # Indicateur Désignations Fonctions Type de donnée Type d’accès 002 Veille Veille 0 = arrêt 1 = marche 0 009 ErrorAckn Acquittement d’anomalie - 010 PumpgStatn Pompe 019 Cfg DO2 024 026 Unité min. max. par défaut RW 0 1 0 0 W 1 1 - 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 Configuration sortie DO2 1 = Pas d’erreur 2 = Erreur 5 = Régime nominal atteint 6 = Pompe en marche 9=«0» 10 = « 1 » 11 = Priorité commande à distance active 7 RW 0 20 5 Cfg DO1 Configuration sortie DO1 Réglages, voir [P:019] 7 RW 0 20 1 SpdSetMode Mode de réglage de la vitesse de rotation 0 = arrêt 1 = marche 7 RW 0 1 0 31/62 Ensemble de paramètres # Indicateur Désignations Fonctions Type de donnée Type d’accès 030 Mode valve Configuration du gaz de balayage 0 = auto 1 = fermé 2 = ouvert 7 2) Unité min. max. par défaut RW 0 2 0 050 PurgeGas Gaz de balayage 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 1 060 CtrlViaInt Utiliser via l’interface 1 = à distance 2 = RS-485 4 = PV.can 255 = sélection de l’interface 7 RW 1 255 1 061 IntSelLckd Sélection de l’interface verrouillée 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 068 Cfg acc C Configuration du raccordement de l’accessoire C 4) 5 = soupape de lest d’air 6 = Quantité de refoulement toujours « 0 » 7 = Quantité de refoulement toujours « 1 » 17= capteur de pression 18 = Soupape de sécurité de vide 7 RW 1 7 1 069 Cfg acc D Configuration du raccordement de l’accessoire D 5) 5 = soupape de lest d’air 6 = Quantité de refoulement toujours « 0 » 7 = Quantité de refoulement toujours « 1 » 17= capteur de pression 18 = Soupape de sécurité de vide 7 RW 1 7 1 095 FactoryReset Réglages usine 0 = non 1 = oui, uniquement possible en stationnaire 0 RW 0 1 0 min. max. 3) Tab. 11: Jeu de paramètres | Instructions de réglage 7.3 Requêtes d’état # Indicateur Désignations 303 Code d’erreur 309 ActualSpd 310 DrvCurrent Courant d’alimentation 32/62 - Type de donnée Type d’accès Code d’erreur 4 R Vitesse de rotation réelle (Hz) 1 R Hz 2 R A 2) si disponible 3) si disponible 4) Détection via interface 5) Détection via interface Fonctions Courant d’alimentation en A Unité par défaut - 0 9999,99 - Ensemble de paramètres # Indicateur Désignations 311 OpHrsPump 312 Type de donnée Type d’accès Unité Heures de fonctionnement de la pompe 1 R h Fw version Version logicielle de la platine d’interface 4 R 313 DrvVoltage Tension d’alimentation 2 R V 314 OpHrsElec Heures de service électronique d’entraînement 1 R h 315 Nominal Spd Vitesse de rotation nominale (Hz) 1 R Hz - 316 DrvPower Puissance d’entraînement 1 R W - 326 TempElec Température électronique 1 R °C 0 9999 - 330 TempPump Température pompe 1 R °C 0 999999 - 349 ElecName Désignation du nom de l’appareil 4 R - 354 HW Version Version matérielle de la platine d’interface 4 R - 355 Numéro de série Exemple : 12345678 11 R - 388 Référence de commande Exemple : PK T05 1xx 11 R - 398 ActualSpd Vitesse de rotation réelle (tr/ min) 1 R tr/min -- 399 NominalSpd Vitesse de rotation nominale (tr/min) 1 R tr/min - Tab. 12: Fonctions Tension en V Sortie en W min. max. par défaut - Jeu de paramètres | Requêtes d’état 7.4 Entrées des valeurs de référence # Indicateur Désignations Fonctions Type de donnée Type d’accès Unité min. max. par défaut 707 SpdSVal Régler la valeur en mode de réglage de la vitesse de rotation Consigne de vitesse de rotation en % de la vitesse de rotation nominale 2 RW % 30 170 75 717 StdbySVal Valeur fixée de la vitesse de rotation en mode stand-by 2 RW % 30 100 66,7 721 SlgVlvTime Spécification du gaz de balayage active 1 RW s 5 255 60 739 PrsSn1Name Nom du capteur 1 4 R 740 Pression 1 Valeur de pression 1 10 R 742 PrsCorrPi 1 Facteur de correction 1 2 RW 749 PrsSn2Name Nom du capteur 2 4 R 750 Pression 2 Valeur de pression 2 10 R hPa 1 · 10 1200,0 0,1 8,0 -5 - hPa 1 · 10 -5 1200,0 33/62 Ensemble de paramètres # Indicateur Désignations 752 PrsCorrPi 2 797 RS485Adr Type de donnée Type d’accès Facteur de correction 2 2 Adresse interface RS-485 1 Tab. 13: 34/62 Fonctions Unité min. max. par défaut RW 0,1 8,0 - RW 1 255 2 Jeu de paramètres | Entrées des valeurs indicatives Fonctionnement 8 Fonctionnement 8.1 Mise en service de la pompe à vide AVERTISSEMENT Danger d’intoxication lié au fluide de procédé toxique s’échappant de la tubulure d’échappement Lorsque la pompe à vide fonctionne sans conduite d’échappement, les gaz d’échappement et les vapeurs peuvent s’échapper librement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’intoxication par les fluides de procédé toxiques. ► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement des fluides de procédé toxiques. ► Purgez les fluides de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite d’échappement. ► Employez des moyens de filtration appropriés pour séparer les fluides de procédé toxiques. AVIS La surpression endommage la pompe à vide La permutation des raccordements peut causer une surpression. La pression différentielle entre entrée et sortie doit être de 1 bar max. pour pouvoir démarrer la pompe à vide, sans quoi le moteur s’arrête et subit des dégâts. ► Vérifiez que le distributeur est installé correctement sur les têtes du diaphragme avant de raccorder la pompe à vide et l’appareil à vide. ► Avant la mise en service, vérifiez impérativement que la pression côté échappement est inférieure à la limite admissible. Paramètre Nom Désignation Réglage ou valeur [P:707] SpdSVal Spécification de fonctionnement en mode de contrôle de vitesse 75 % Tab. 14: Réglages d’usine de l’unité de commande électronique des pompes à membrane livrées Procédure 1. Comparez les spécifications de fréquence sur la plaque signalétique à la tension d’alimentation disponible. 2. Vérifiez que le raccord d’échappement n’est pas obturé (pression max. admissible : 1100 hPa absolus). 3. Actionnez les appareils de fermeture pour qu’ils s’ouvrent avant ou pendant le démarrage de la pompe à vide. 8.2 Mettre en marche la pompe à vide Lors du pompage de gaz secs, aucune précaution particulière n’est nécessaire. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. ► Porter des équipements de protection adaptés. Durée nécessaire pour atteindre la température de fonctionnement de la pompe à vide En fonction de la température ambiante, la durée nécessaire pour atteindre la température de fonctionnement de la pompe à vide est d’au moins 30 minutes. 35/62 Fonctionnement Condition préalable ● les raccordements par câble nécessaires doivent être établis Activation de la pompe à vide 1. Au besoin, activer la pompe à vide dans chaque domaine de pression en utilisant l’une des 3 méthodes possibles : – Par l’interrupteur du bloc d’alimentation, avec les liaisons de broches correctes en place sur la prise D-Sub à 15 broches – via un appareil de commande, par exemple OmniControl ou PC – en utilisant l’appareil de commande API sur la prise D-Sub à 15 broches 2. Laissez la pompe à vide monter en température avant de démarrer le procédé, raccord à vide fermé. La pompe à vide atteint les valeurs spécifiques de débit et de pression finale dès que la température de fonctionnement a été atteinte. 8.3 Fonctionnement de la pompe à membrane avec le lest d'air AVERTISSEMENT Risque d’explosion lié aux mélanges gaz/air réactifs, potentiellement explosifs ou dangereux L’entrée incontrôlée de gaz par la soupape de lest d'air peut former des étincelles d’origine mécanique après rupture de la membrane, ou provoquer l’échauffement des surfaces ou encore la formation de mélanges gaz/air potentiellement explosifs dans le circuit de vide formés par l’électricité statique. ► Si nécessaire, utilisez un gaz inerte comme gaz de balayage pour éviter toute inflammation potentielle. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz de procédé toxiques Pour les pressions d’entrée > 500 hPa, le gaz de procédé peut s’échapper de la soupape de lest d’air ouverte. Risque de blessure et de mort dû à l’intoxication par les fluides de procédé toxiques. ► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte pour éviter une contamination potentielle. ► Si nécessaire, utilisez une conduite d’évacuation. AVIS Risque de dommages dus à la condensation dans la pompe à vide Lors du fonctionnement sans lest d’air, de la condensation peut se former en cas de dépassement des caractéristiques de compatibilité à l’état gazeux dans la pompe à vide. ► Pompez les gaz condensables uniquement lorsque la pompe à vide est à température de fonctionnement et la soupape à lest d’air ouverte. ► Pour protéger la pompe à vide contre la corrosion, laissez la pompe à vide tourner pendant 30 minutes de plus avec la soupape à lest d’air ouverte. Les vapeurs et l’humidité de la substance pompée nuisent au débit après condensation dans la pompe à vide. Comportement avec les gaz de processus et des vapeurs condensables ► Utilisez la pompe à vide avec un lest d’air, p. ex. soupape de lest d’air ouverte. 8.4 Configuration des connexions avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et prête à l’emploi. Pour des exigences individuelles, la plupart des connexions de l’unité de commande électronique peut être configurée avec le jeu de paramètres. 36/62 Fonctionnement 8.4.1 Configuration des sorties numériques Option Description 1 = pas d’erreur État actif, fonctionnement normal 2 = erreur État actif si le message d’erreur est actif 5 = vitesse de rotation réglée atteinte État actif une fois la consigne de vitesse de rotation atteinte 6 = pompe en marche État actif si la pompe et le moteur sont en marche et en l’absence d’erreur 9 = toujours 0 GND pour la commande d’un appareil externe 10 = toujours 1 V+ pour la commande d’un appareil externe 11 = à distance État actif si la priorité à distance est active Tab. 15: Configurer les paramètres [P:019] et [P:024] Procédure ► Effectuer la configuration conformément au tableau. 8.4.2 Sélection des interfaces Option [P:060] Description 1 = à distance Fonctionnement via connexion « à distance » 2 = RS-485 Fonctionnement via la connexion « RS-485 » 4 = PV.can À des fins de maintenance uniquement Option [P:061] 0 = arrêt La sélection de l’interface peut être définie avec [P:060]. 1 = marche Sélection de l’interface verrouillée Tab. 16: Paramètres [P:060] et [P:061] Procédure ► Sélectionnez l’interface conformément au tableau. 8.4.3 Configuration des accessoires AVIS Dommages matériels dus aux dispositifs électroniques d’autres constructeurs Les raccordements des accessoires sur la pompe à vide ne sont pas conformes aux exigences standards USB. L’affectation des raccordements n’est pas conforme aux standards. En fonction de leur configuration, la tension d’alimentation 24 V DC peut endommager ou détruire les dispositifs électroniques d’autres constructeurs, par exemple un ordinateur-tablette. ► Ne raccordez pas de dispositifs électroniques d’autres constructeurs sur les raccordements des accessoires. ► Utilisez seulement les connecteurs pour les accessoires spécifiques à la pompe. Les raccords d’accessoires avec AccessLink sont respectivement utilisés pour le raccordement d’un accessoire. Le logiciel de l’unité de commande électronique détecte automatiquement les accessoires raccordés aux interfaces. Accessoires approuvés ● Capteur de pression ● Vanne magnétique pour lest d’air 37/62 Fonctionnement 5 3 4 Fig. 8: 1 2 Affectation du raccord d’accessoire 1 + 5 V (bleu) 2 Capteur RxD / TxD hôte (blanc) 3 Capteur TxD / RxD hôte (vert) 4 5 + 24 V (selon la configuration du logiciel) GND (noir) Configuration des accessoires ► Configurez les accessoires raccordés avec les paramètres [P:068] et [P:069], si nécessaire. – La configuration manuelle écrase la valeur automatiquement détectée. 8.5 Modes de fonctionnement ● Utilisation sans appareil de commande ● Fonctionnement via un appareil de commande externe ● Fonctionnement via RS-485 et appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou PC Grâce à la connexion d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum, la pompe à vide peut être contrôlée par l’intermédiaire des paramètres fixés dans l’unité de commande électronique. Démarrage automatique Après liaison des contacts des broches 2, 7, 5 sur la fiche de connexion ou à l’aide d’un câble de raccordement comportant ces liaisons, la pompe à vide démarre immédiatement quand la tension d’alimentation est appliquée. Pfeiffer Vacuum recommande d’activer l’alimentation de tension immédiatement avant le fonctionnement. Fonctionnement de la pompe à vide sans contrôleur 1. Raccordez le câble de raccordement correspondant avec des ponts sur ka connexion « Remote » de l’unité de commande électronique. 2. Branchez l’alimentation en courant sur l’unité de courant. 3. Activez l’alimentation en courant sur l’unité de courant. Après application de la tension de service, la pompe à vide effectue un auto-test pour vérifier la tension d’alimentation. En l’absence d’erreur au test automatique, la pompe à vide démarre. Fonctionnement de la pompe à vide avec le contrôleur externe 1. Raccordez une commande à distance via la prise Sub D « Remote » à 15 broches. 2. Contrôlez la pompe à vide à l’aide du niveau API « PLC level ». Fonctionnement de la pompe à vide avec appareil de commande 1. Observez le mode d’emploi de l’appareil de commande. 2. Raccordez l’appareil de commande correspondant sur le raccordement « Remote ». 3. Activez l’alimentation en courant sur l’unité de courant ou l’appareil de commande. 4. Effectuez les réglages souhaités via RS-485 et en utilisant l’appareil de commande. 8.5.1 Fonctionnement normal Si la soupape de lest d’air est ouverte ou fermée en permanence ([P:050] = 0 ou [P:030] = 1 ou 2), la pompe à vide démarre en mode augmenter pendant 5 min. max. à la vitesse maximale. La valeur de l’intensité est suivie en parallèle. Si le courant baisse en-deçà d’un certain seuil, la vitesse est contrôlée pour être abaissée à la vitesse de rotation nominale. Si la puissance d’entrée augmente de nouveau, la vitesse n’augmente pas automatiquement. La vitesse augmente de nouveau après l’arrêt/démarrage de la pompe à vide. En mode automatique de la soupape de lest d’air ([P:050] = 1 et [P:030] = 0), la pompe à vide démarre en mode augmenter pendant 15 minutes de façon constante, puis fonctionne à nouveau automatiquement à la vitesse nominale. 38/62 Fonctionnement Réglage des paramètres associés 1. Réglez le paramètre [P:002] sur « 0 ». 2. Réglez le paramètre [P:026] sur « 0 ». 3. Réglez le paramètre [P:050] sur la valeur souhaitée. 4. Réglez le paramètre [P:030] sur la valeur souhaitée. 5. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:309] ou [P:398]). 8.5.2 Mode standby Pfeiffer Vacuum recommande le mode standby pour la pompe à vide lors des pauses de processus ou de production. ● Le réglage d’usine est 66,7 % de la vitesse nominale. ● Le mode standby est prioritaire sur le mode de réglage de la vitesse de rotation. ● Lorsque le mode standby est actif, l’unité de commande électronique réduit la vitesse de la pompe à vide dans une proportion de 30 à 100 % de la vitesse nominale. Activer la vitesse de rotation en mode standby 1. Régler le paramètre [P:717] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:026] sur « 0 ». 3. Régler le paramètre [P:002] sur « 1 ». 4. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:309] ou [P:398]). 8.5.3 Mode de réglage de la vitesse de rotation Plage de vitesses de rotation admissibles de la pompe à vide Le paramétrage dans le mode de réglage de la vitesse de rotation dépend de la plage de vitesses de rotation admissibles de la pompe à vide concernée. L’unité de commande électronique régule automatiquement la vitesse à la valeur valide la plus proche. Le régime nominal est sélectionné via le paramètre [P:707] dans la plage de 30 à 170 % du régime nominal. Si la vitesse est supérieure au régime nominal (> 100 %), l’usure de la pompe risque d’être plus rapide. Le mode de réglage de la vitesse de rotation est prioritaire sur le mode standby. Réglage du mode de réglage de la vitesse de rotation 1. Réglez le paramètre [P:707] à la valeur requise en %. 2. Réglez le paramètre [P:026] sur « 1 ». 3. Recherchez la vitesse nominale via le paramètre [P:309] ou [P:398]. 8.5.4 Commande de soupape de lest d’air RS-485 [P050] valve enabled RS-485 [P030] valve mode RS-485 [P010] pump on/off valve behaviour 0 [disabled] 1 [enabled] always closed 0 [auto] 0 [off] closed cyclical [P721] (default 60 s) * open 1 [on] Fig. 9: closed 15 min pump start 1 [closed] always closed 2 [open] always open Diagramme de commande de soupape de lest d’air 39/62 Fonctionnement Si la commande de soupape de lest d’air est ouverte, [P:030] définit le mode de soupape. En mode automatique (réglage par défaut départ d’usine), la vanne s’ouvre seulement pendant 15 min au démarrage de la pompe ; ensuite, elle s’ouvre de façon cyclique pendant 5 à 225 s toutes les 15 minutes (réglage avec [P:721]). La soupape de lest d’air s’ouvre aussi lorsque vous arrêtez le mode stand-by ou le mode de réglage de la vitesse. 8.6 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction Mélanges de gaz et de vapeurs Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole. Le signal de mesure du capteur de pression dépend du type de gaz dans la gamme Pirani. Le facteur de correction pré-réglé = 1 s’applique à l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO). Type de gaz Facteur de correction (C) Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2) 1,0 Hydrogène (H2) 0,5 Dioxyde de carbone (CO2) 0,9 Vapeur d’eau 0,5 Hélium (He) 0,8 Néon (Ne) 1,4 Argon (Ar) 1,7 Krypton (Kr) 2,4 Xénon (Xe) 3,0 Dichlorodifluorométhane (CCl2F2, R12) 0,7 Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes. Tab. 17: 40/62 Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa Fonctionnement p [hPa] 102 H2 8 6 He Ne Air O2 CO N2 4 2 CO2 101 Ar 8 6 Freon 12 Kr 4 2 Xe 100 8 6 4 2 10–1 8 6 4 2 Water vapor 10–2 8 6 4 2 10–3 10–3 2 4 6 10–2 2 4 6 10–1 2 4 6 100 2 4 6 101 2 4 6 102 peff [hPa] Fig. 10: Pression affichée Dans le domaine de pression < 1 hPa, l’affichage est linéaire. Réglage du facteur de correction sur l’unité de commande électronique ► Utilisez [P:742] pour entrer le facteur de correction et la valeur mesurée affichée correcte. Alternativement : Calcul de la pression de gaz autres que l’air 1. Réglez le facteur de correction dans l’unité de commande électronique sur 1 2. Calculez la pression efficace avec la formule suivante : Peff = C × p ● Peff = Pression efficace ● C = facteur de correction du gaz à mesurer ● p = pression affichée (jauge ajustée pour l’air) 8.7 Surveillance des opérations 8.7.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes Les LED sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionnement avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. 41/62 Fonctionnement LED Symbole Verte Jaune Rouge Tab. 18: 8.7.2 État LED Affichage Signification Désactivée sans courant Allumée, clignotante « Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min Allumée, clignotement « Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation > 60 tr/min Allumée, clignotement inverse « Groupe de pompage MARCHE », régime nominal non atteint Allumée, en continu « Groupe de pompage MARCHE », régime nominal atteint Veille activée Allumée, clignote inversement deux fois Vitesse sélectionnée temporairement écrasée par un mode de vitesse automatique Désactivée pas d’avertissement Allumée, clignotement de courte durée Remarque6) Allumée, en continu Avertissement Allumée, illumination 1 s Confirmation, acceptation de la commande Désactivée Pas d’erreur Allumée, en continu Erreur Réaction et signification des DEL de l’unité de commande électronique Surveillance de la température Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent d’amener les pompes à vide dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température pour les messages d’alerte et d’anomalie sont mémorisés systématiquement dans l’unité d’entraînement électronique. À titre d’information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de paramètres. ● Avec une température de pompe T > 75 °C, l’unité de commande électronique réduit le moteur à la vitesse de rotation nominale afin d’éviter tout surchauffe de la pompe à vide. ─ « Alerte » est affiché. ─ Après refroidissement (< 72 °C), la pompe à vide se remet à tourner à la vitesse de consigne. ● Si la valeur seuil d’erreur de température supérieure à la normale, T > 85 °C est dépassée, la pompe à vide s’arrête immédiatement. ─ Un « message d’anomalie » est affiché. Accusé de réception d’une erreur 1. Éliminez la cause de l’anomalie. 2. Désactiver et réactiver la pompe à vide. Accusé de réception d’une erreur alternativement via l’appareil de commande ► Réglez le paramètre [P:010] sur la valeur « 0/1 ». ► Remettez à zéro le message d’erreur avec le paramètre [P:009] ou l’appareil de commande. ► Désactivez la pompe à vide et réactivez-la via l’appareil de commande. 8.8 Mise hors tension de la pompe à vide Procédure 1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide. 2. Au besoin, désactivez la pompe à vide dans chaque domaine de pression. 3. Débrancher le bloc d’alimentation. 6) 42/62 Contrôlez régulièrement les données de performance de la pompe à vide. Maintenance 9 Maintenance 9.1 Consignes de maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. ATTENTION Danger de blessures dues aux pièces mobiles Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans le domaine de travail des pièces en rotation. ► Pour intervenir en toute sécurité, débranchez le moteur du secteur. ► Prenez des mesures pour éviter la remise en marche du moteur. ► Démontez la pompe à vide pour inspection, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire. AVIS Dommages causés par des détergents inappropriés Des détergents inappropriés endommagent les pièces de la pompe. ► Utilisez uniquement des détergents autorisés pour nettoyer les pièces de la pompe. ► Utilisez uniquement un chiffon sec propre pour nettoyer les membranes et les clapets. ► N’utilisez pas d’alcool ou d’autres produits de nettoyage pour nettoyer les membranes et les clapets. AVIS Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages pour lesquels Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité. ► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance. ► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique. Les tâches relatives au nettoyage et à l’entretien de la pompe à vide sont résumées ci-dessous. Les clapets et les membranes sont des pièces d’usure. Composant Heures de fonctionnement Membranes 17 500 Vannes 17 500 Tab. 19: Durée de vie typique dans le cadre d’une utilisation normale Conditions préalables ● Pompe à vide mise hors service ● Pompe à vide mise à l’air à la pression atmosphérique ● Pompe à vide refroidie 43/62 Maintenance Équipement nécessaire ● Chiffon (propre, non pelucheux) ● Eau ou solution à base de savon doux Maintenance de la pompe à vide 1. Débranchez l’alimentation électrique de la pompe. 2. Prenez des mesures pour éviter la remise en marche du moteur. 3. Éliminez toute contamination externe sur la pompe à vide avec un chiffon légèrement humidifié avec de l’eau ou une solution à base de savon doux. 4. Laissez bien sécher les pièces après le nettoyage. 5. Concernant le travail de maintenance, démontez uniquement ce qui est nécessaire sur la pompe à vide. 6. Avec un chiffon sec, nettoyez la chambre d’aspiration, les diaphragmes et les vannes. 7. Contrôlez les fissures sur les membranes et les vannes au plus tard lorsque les valeurs de pression atteintes baissent. 9.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien Périodicité de maintenance et durées utiles La périodicité de maintenance et les durées utiles dépendent du processus. Les valeurs indicatives recommandées sont réduites en cas de contamination ou de charges chimiques et thermiques. ● Déterminer les durées utiles pendant le premier intervalle de fonctionnement. ● Consultez Pfeiffer Vacuum Service si vous souhaitez réduire la périodicité de maintenance. La DEL jaune clignote : Contrôle des données de performance Lorsque la DEL jaune clignote, cela indique qu’une maintenance peut être nécessaire. L’usure et la durée de vie dépendent surtout de l’application. Si la capacité de pompage n’est plus adéquate, nous recommandons d’effectuer une maintenance. ● Respectez régulièrement les données de performance de la pompe à vide. ● Appuyez sur le microbouton pour remettre à zéro le message. Maintenance par Pfeiffer Vacuum Service Nous recommandons que Pfeiffer Vacuum Service prenne en charge les opérations de maintenance. Si les intervalles spécifiés sont dépassés ou si l’opération de maintenance est mal réalisée, aucune réclamation de garantie ou de responsabilité ne sera acceptée de la part de Pfeiffer Vacuum. Cela concerne également les pièces autres que les pièces de rechange d’origine. Action Inspection Maintenance Intervalle comme nécessaire ; au moins tous les six mois comme nécessaire ; au moins tous les 2 ans Contrôler le silencieux à la recherche d’une contamination éventuelle 7) ■ Tester la pompe à vide de façon optique et acoustique ■ Équipement nécessaire Lire et analyser les données de la pompe 8) ■ Nettoyer la pompe à vide ■ Remplacer les diaphragmes et les vannes ■ Kit de révision Remplacer le silencieux 9) ■ Silencieux 44/62 7) si présent 8) Pompes DC uniquement Maintenance Action Inspection Maintenance Intervalle comme nécessaire ; au moins tous les six mois comme nécessaire ; au moins tous les 2 ans Équipement nécessaire Réalisation du test de fonctionnement ■ Exécution de l’inspection à venir ■ Nettoyer complètement la pompe à vide ■ Changer le filtre de lest d’air 10) ■ Filtre Remplacer les pièces d’usure ■ Diaphragmes, vannes, soupapes, joints annulaires, silencieux Tab. 20: 9.3 Intervalles de maintenance Remplacement des membranes et des vannes AVIS Risque de dégâts matériels dus à une installation incorrecte Si les disques d’écartement d’origine sont mal installés, le volume mort peut varier, ce qui affecte le vide final ou endommager les paliers. ► Lors du démontage, les disques d’écartement doivent être séparés selon le lieu de mise en place. ► Réinstallez le même nombre de disques d’écartement d’origine par tête de membrane. 9.3.1 Montage/démontage du tuyau flexible d’interconnexion Connecteurs mâle-femelle IQS Les connecteurs mâle-femelle IQS ont 2 points de pression : Griffe de maintien et joint. Le tuyau flexible est correctement raccordé lorsque les deux points de pression sont passés. Conditions préalables ● ● ● ● Pompe à membrane désactivée Alimentation de tension déconnectée Pompe à membrane ventilée à la pression atmosphérique Pompe à membrane refroidie 2 1 Fig. 11: Montage/démontage du tuyau flexible d’interconnexion 1 Bague de déblocage 9) si présent 10) si présent 2 Tuyau flexible 45/62 Maintenance Dépose du tuyau flexible 1. Appuyez fermement des deux côtés sur la bague de déblocage pour ouvrir les mâchoires de maintien uniformément et éviter de rayer le tuyau flexible. 2. Retirez tout droit le tuyau flexible et sortez-le du connecteur mâle-femelle IQS. Montage du tuyau flexible 1. Insérez le tuyau flexible directement dans le connecteur mâle-femelle IQS pour éviter de rayer le tuyau flexible. 2. Enfoncez le tuyau flexible dans le connecteur mâle-femelle IQS jusqu’à ce que les deux points de pression aient été franchis. 9.3.2 Démontage du chapeau de diaphragme et des vannes Condition préalable ● Le tuyau flexible d’interconnexion a été retiré Outils requis ● Clé à écrou Torx, T 4 1 2 3 4 5 6 7 Fig. 12: 1 2 3 4 Chapeau de diaphragme et vannes Vis à tête cylindrique Couvercle de chapeau de diaphragme Plaque de vanne Joint annulaire (sur la tête de diaphragme 1 uniquement) 5 6 7 Plaque d’écartement Diaphragme Disques d’écartement Procédure 1. Placez la pompe à membrane sur la tête de membrane opposée. 2. Dévissez les vis à tête cylindrique de la tête de membrane. 3. Enlevez la tête de membrane. – Observez le joint annulaire côté aspiration. 4. Enlevez la plaque d’écartement. 5. Libérez les soupapes et le joint annulaire de la plaque d’écartement. 6. Soulevez légèrement la membrane sur le côté. 7. Dévissez et enlevez manuellement la membrane de la bielle. – La membrane possède un filetage à droite. – Faites attention aux disques d’écartement. 9.3.3 Nettoyage et remplacement des diaphragmes et des vannes Condition préalable ● Le diaphragme et les vannes sont enlevés Pièces de rechange requises ● Kit de remise en état Produits consommables requis ● Chiffon sec propre ● Isopropanol 46/62 Maintenance Procédure 1. Nettoyez les diaphragmes et les vannes avec un chiffon sec et propre. – N’utilisez pas d’isopropanol ou un autre détergent pour nettoyer les diaphragmes et les vannes. 2. Nettoyez les sièges de vanne, la plaque intermédiaire et le couvercle de chapeau avec l’isopropanol. 3. Vérifiez les sièges de vanne, la plaque intermédiaire et le couvercle de chapeau à la recherche de signes d'usure. 4. Remplacez toutes les pièces d’usure conformément aux ensembles de contrôle. 9.3.4 Montage du chapeau de diaphragme et des vannes Disques d’écartement Les disques d’écartement sont disponibles en 3 tailles : ● 8,0× 4,0 × 0,5 mm ● 8,0× 4,0 × 0,1 mm ● 8,0× 4,0 × 0,05 mm Le nombre et la taille des disques d’écartement varie entre les chapeaux de diaphragmes. Installez le même nombre de disques d’écartement avec la même taille sur chaque chapeau de diaphragme. Outils requis ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 4 Procédure 1. Tournez la pompe à membrane de manière à ce que la tête de membrane à monter soit dirigée vers le haut. 2. Vissez à la main le diaphragme sur la bielle. – La membrane possède un filetage à droite. – Faites attention aux disques d’écartement. 3. Installer les vannes et le joint annulaire dans la plaque d’écartement. 4. Positionnez la plaque d’écartement. 5. Montez la couverture de tête de membrane. – Observez le joint annulaire côté aspiration. 6. Vissez les vis sur le couvercle de tête de membrane. 7. Montez le tuyau flexible d’interconnexion. 47/62 Mise hors service 10 Mise hors service Avant d’arrêter la pompe à vide, respectez les instructions suivantes pour protéger de manière adéquate l’intérieur de la pompe à vide (chambre d’aspiration) contre la corrosion : Procédure pour les arrêts temporaires de la pompe à vide 1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide. 2. Si une substance susceptible de détériorer des matériaux ou de former des dépôts a pénétré dans la pompe à vide, nettoyer l’intérieur des têtes de pompe. Procédure pour les arrêts prolongés de la pompe à vide 1. Débrancher la pompe à vide du circuit de vide. 2. Si nécessaire, retirez la pompe à vide du circuit de vide. 3. Bouchez le raccord à vide avec les bouchons d’obturation d’origine. 4. Stockez la pompe à vide dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées. 5. Si la pompe à vide doit être stockée dans un local à l’atmosphère humide ou corrosive, emballezla dans un sac en plastique, avec un produit dessiccateur. 48/62 Recyclage et mise au rebut 11 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 11.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 11.2 Mise au rebut des pompes à diaphragme Les pompes à diaphragme Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. 1. Déconnectez l’unité de commande électronique. 2. Démantelez le moteur. 3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 4. Séparez les composants en matériaux recyclables. 5. Recyclez les composants non contaminés. 6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 49/62 Dysfonctionnements 12 Dysfonctionnements 12.1 Généralités ATTENTION Danger de blessures dues aux pièces mobiles Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans le domaine de travail des pièces en rotation. ► Pour intervenir en toute sécurité, débranchez le moteur du secteur. ► Prenez des mesures pour éviter la remise en marche du moteur. ► Démontez la pompe à vide pour inspection, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. ► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’intervenir dessus. ► Portez si nécessaire des équipements de protection individuelle. AVIS Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages pour lesquels Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité. ► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance. ► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique. Toute anomalie de la pompe à vide et de l’unité de commande électronique entraîne systématiquement l’affichage d’un message d’alerte ou d’erreur. Dans les deux cas, un code d’erreur est émis, ce dernier peut être lu via les interfaces de l’unité d’entraînement électronique. En cas d’erreur, la pompe à vide s’arrête. En cas d’anomalie, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponibles ici. Outils nécessaires ● Stylet fin pour appuyer sur le micro-bouton Remise à zéro de l’erreur 1. Déterminez la cause potentielle de l’erreur. 2. Éliminez l’erreur. 3. Remettez à zéro l’erreur sur l’appareil de commande ou sur le micro-bouton de la pompe à vide. 50/62 Problème Causes possibles Action corrective La pompe à vide ne démarre pas ● Absence d’alimentation électrique ou tension non conforme aux spécifications du moteur ● Contrôlez la tension d’alimentation. ● Température de la pompe trop faible ● Chauffez la pompe à vide à une température > 5 °C. ● Le dispositif de protection thermique du moteur s’est déclenché ● Déterminez et éliminez la cause. ● Laissez la pompe à vide refroidir à température ambiante. ● Membranes ou vannes encrassées ● Nettoyez la pompe à vide. ● Surpression dans la conduite d’échappement ● Vérifiez la conduite d’échappement et nettoyez-la si nécessaire. Dysfonctionnements Problème Causes possibles Action corrective La pompe à vide s’arrête peu de temps après son démarrage ● Le dispositif de protection thermique du moteur s’est déclenché ● Déterminez et éliminez la cause. ● Laissez la pompe à vide refroidir à température ambiante. ● Pression d’échappement trop élevée ● Contrôlez l’ouverture de la sortie de la canalisation de refoulement ainsi que les accessoires côté d’échappement. ● Condensats dans la pompe à vide ● Faites fonctionner la pompe à vide pendant une période prolongée à la pression atmosphérique et si nécessaire avec la soupape de lest d’air ouverte. ● Soupape de lest d’air ouverte ● Fermez la soupape de lest d’air. ● Contamination des vannes ou des membranes ● Nettoyez les vannes et les membranes ou remplacez-les si nécessaire. ● Fuite dans le système ● Localisez et éliminez la fuite. ● Conduite d’aspiration mal dimensionnée ● Vérifiez que les raccordements sont aussi courts que possible et que les sections droites des conduites sont correctement dimensionnées. ● Pression d’échappement trop élevée ● Vérification de l’ouverture de la sortie de la canalisation de refoulement ainsi que les accessoires côté d’échappement. ● Vannes ou membranes défectueuses ● Nettoyez les vannes et les membranes ou remplacez-les si nécessaire. ● Chambre d’aspiration encrassée ● Nettoyez la chambre d’aspiration. ● Silencieux mal fixé ou manquant. ● Vérifiez le silencieux et remplacez-le si nécessaire. ● Vannes sales ou défectueuses ● Nettoyez les vannes et les membranes ou remplacez-les si nécessaire. ● Bielle ou paliers du moteur défectueux ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. La pompe à vide n’atteint pas la pression limite spécifique Débit de pompage de la pompe à vide trop faible Bruits de fonctionnement inhabituels Tab. 21: 12.2 Dépannage sur les pompes à membrane Codes d’erreur Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours la mise hors circuit de la pompe à vide. Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la mise hors circuit de la pompe à vide. Traitement des messages d’anomalie 1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. 2. Éliminez la cause de l’anomalie. 3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009]. – Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d’écran sur les appareils de commande Pfeiffer Vacuum. Code d’erreur Problème Causes possibles Remède Err021 Pompe à vide inconnue Erreur logicielle ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service Err042 Logiciel incompatible Erreurs de somme de contrôle ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service Err044 Température supérieure à la normale de l’électronique (≥ 80 ℃) Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err091 Équipement inconnu - ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service Err094 Température de l’électronique inadmissible Température < 25 °C ou > 125 °C ● Vérifiez les conditions de fonctionnement 51/62 Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Remède Err098 Erreur interne de communication entre l’unité de procédé MVP et l’entraînement - ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service Err117 Température supérieure à la normale de la pompe à vide (> 85 °C) Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err173 Courant trop fort pompe à vide - ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service Err174 Pompe à vide bloquée - ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service Err698 Erreur de communication de l’unité de procédé MVP - ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service Tab. 22: Messages d’erreur pour la pompe à vide Code d’erreur Problème Causes possibles Remède Wrn042 Maintenance - ● Effectuez la maintenance de la pompe à vide. ● Remettez à zéro l’erreur sur le micro-bouton de la pompe à vide. Wrn044 Température élevée de l’électronique (≥ 70 ℃) ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn117 Température élevée de la pompe à vide (≥ 75 °C) ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Tab. 23: 52/62 Messages d’avertissement pour la pompe à vide Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 13 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 53/62 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 54/62 Lots de pièces de rechange 14 Lots de pièces de rechange Commande de lots de pièces de rechange ► Si nécessaire, conservez à portée de main la référence de pièce de la pompe à vide ainsi que tous les détails nécessaires de la plaque signalétique. ► Installez uniquement des pièces de rechange d’origine. ► Pour commander le kit de révision, observez la référence de pièce correspondant de la pompe à membrane. 1 2 3 4 11 5 6 7 8 10 Fig. 13: 1 2 3 4 9 Pièces de rechange Raccordement entre les têtes, sur angle Soupape de lest d’air Filtre pour lest d’air Couvercle de chapeau 5 Plaque de vanne 12) 6 Joint annulaire (uniquement sur la tête de diaphragme 1) 13) 7 8 9 10 11 Plaque d’écartement Diaphragme 11) Disques d’écartement Raccordement entre les têtes, construction droite (3×) Silencieux Numéro de commande Champ de sélection PK 050 368 Silencieux pour MVP Neo R 1/8 po. PU E22 030 -T Lot de révision pour MVP 010-3 DC PU E22 043 -T Lot de pièces de rechange : plaque d’écartement pour MVP 010-3 DC Neo PU E22 044 -T Lot de pièces de rechange : couvercle de chapeau (avec lest d’air) pour MVP 010-3 DC Neo PU E22 045 -T Lot de pièces de rechange : couvercle de chapeau (sans lest d’air) pour MVP 010-3 DC Neo PU E22 046 -T Lot de pièces de rechange : raccordement entre les têtes (angle) pour MVP 010-3 DC Neo PU E22 047 -T Lot de pièces de rechange : raccordement entre les têtes (droit) pour MVP 010-3 DC Neo P 4131 026 Raccord rapide filetage 1/8 po. joint pour raccord de tuyau (8/6 mm) inclus P 4131 029 Raccord à vis G 1/8" avec joint pour raccord de tuyau (8/6 mm) P 4131 030 Raccord à vis enfichable en T 1/8", y compris joint d’étanchéité de raccord de tuyau (8/6 mm) Tab. 24: Pièces de rechange 11) Inclus dans le kit de révision 12) Inclus dans le kit de révision 13) Inclus dans le kit de révision 55/62 Accessoires 15 Accessoires 15.1 Informations sur l’accessoire Appareil de commande Appareil de commande universel pour tous les produits avec le protocole RS-485 Pfeiffer Vacuum. Unités de courant L’alimentation de tension est fournie par les unités de courant pour une fixation murale et sur rails standards ou pour un montage sur cadre. Câbles et adaptateurs Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres longueurs disponibles sur demande Raccords de tuyau Raccords de tuyau avec adaptateurs pour le raccordement à une pompe turbomoléculaire Bride mâle filetée Bride mâle filetée, avec joint pour le côté aspiration de la pompe à vide 15.2 Commande d’accessoires Variantes OmniControl Pour les autres variantes OmniControl, reportez-vous au site Web Pfeiffer Vacuum. Numéro de commande Champ de sélection PK 050 108 -T Bride mâle filetée DN 16 ISO-KF/filetage 1/8 po, joint inclus PK 050 368 Silencieux pour MVP Neo R 1/8 po. P 4131 026 Raccord rapide filetage 1/8 po. joint pour raccord de tuyau (8/6 mm) inclus P 4131 030 Raccord à vis enfichable en T 1/8", y compris joint d’étanchéité de raccord de tuyau (8/6 mm) P 4131 029 Raccord à vis G 1/8" avec joint pour raccord de tuyau (8/6 mm) PM 061 340 -T TPS 110, unité de courant pour installation murale/sur rail standard PM 061 344 -T TPS 111, unité de courant 19", unité enfichable 3HU PE D40 000 0 OmniControl 001, unité châssis sans unité de courant intégrée, 24 V DC PE D50 000 0 OmniControl 200, unité châssis avec unité de courant intégrée, pas de data, pas d’option jauge/IO PT 440 950 -T OmniControl 200 avec TPR 270 P 4723 010 Raccord en Y M12 pour RS-485 PE 100 013 -T Câble de raccordement MVP-TC-TPS, 3 m PM 061 283 -T Câble d’interface, M12 m droit/M12 m droit, 3 m PM 061 350 -T Câble de raccordement de l’unité de courant 24V / 48V vers l’unité de commande électronique. Avec une interface RS-485 PM 061 543 -T Câble de raccordement pour HiPace avec TC 110/120 Tab. 25: 56/62 Accessoires MVP 010-3 DC Neo Caractéristiques techniques et dimensions 16 Caractéristiques techniques et dimensions 16.1 Généralités Fondement des données techniques des pompes à membrane Pfeiffer Vacuum : ● Spécifications conformément au comité PNEUROP PN5 ● ISO 21360:2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes à vide - Description générale » Les normes harmonisées suivantes sont respectées : ● CEI 61010-1 ● UL 61010-1 ● CSA 61010-1 mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 0,75 mbar 1 1 · 10 100 1 0,1 bar 1000 1 1 · 105 1000 100 Pa 0,01 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7,5 · 10-3 hPa 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 133,32 1,33 0,133 1 -3 -5 -3 1,33 · 10 1 Pa = 1 N/m Tab. 26: 2 Tableau de conversion : Unités de pression mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s mbar l/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 Pa m3/s 10 1 592 7,5 sccm 3 atm cm /s Tab. 27: 9,87 1,69 · 10 1,69 · 10 1 1,27 · 10 1,67 · 10-2 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 Torr l/s 16.2 750 -3 -3 -2 Tableau de conversion : Unités de débit du gaz Fiche technique Désignation du type MVP 010-3 MVP 010-3 MVP 010-3 MVP 010-3 Numéro de commande PK T05 074 PK T05 079 PK T05 085 PK T05 086 Nombre d’étages de pompage À trois étages À trois étages À trois étages À trois étages Bride de raccordement (entrée) G 1/8" G 1/8" G 1/8" G 1/8" Bride de raccordement (sortie) Filetage 1/8 po. avec silencieux (ensemble séparé) Filetage 1/8 po. avec silencieux (ensemble séparé) G 1/8'' Filetage 1/8 po. avec silencieux (ensemble séparé) Vitesse de pompage 0,6 m³/h 0,6 m³/h 0,6 m³/h 0,6 m³/h Lest d’air Oui Non Non Non Pression limite 1 hPa 1 hPa 1 hPa 1 hPa Pression d'entrée 1100 hPa 1100 hPa 1100 hPa 1100 hPa Pression d'échappement, max. 1300 hPa 1300 hPa 1300 hPa 1300 hPa Taux de fuite intégral 5 · 10-4 Pa m³/s 5 · 10-4 Pa m³/s 5 · 10-4 Pa m³/s 5 · 10-4 Pa m³/s Interfaces I/O RS485 RS485 RS485 RS485 57/62 Caractéristiques techniques et dimensions Désignation du type MVP 010-3 MVP 010-3 MVP 010-3 MVP 010-3 Tension(s) d’entrée 24 V CC (±10 %) 24 V CC (±10 %) 24 V CC (±10 %) 24 V CC (±10 %) Consommation de courant nominale 1,3 A 1,3 A 1,3 A 1,3 A Courant, max. 2,5 A 2,5 A 2,5 A 2,5 A Courant de court-circuit de la source, max. 45 A 45 A 45 A 45 A Vitesse de rotation nominale 1800 rpm 1800 rpm 1800 rpm 1800 rpm Vitesse de rotation 540 – 3000 rpm 540 – 3000 rpm 540 – 3000 rpm 540 – 3000 rpm Type de refroidissement Convection naturelle Convection naturelle Convection naturelle Convection naturelle Protection du moteur Électroniquement Électroniquement Électroniquement Électroniquement Altitude de fonctionnement, max. 2000 m 2000 m 2000 m 2000 m Type de protection IP20 IP20 IP20 IP20 Température ambiante 5 – 40 °C 5 – 40 °C 5 – 40 °C 5 – 40 °C Température : stockage 5 – 40 °C 5 – 40 °C 5 – 40 °C 5 – 40 °C Température : transport -10 – 60 °C -10 – 60 °C -10 – 60 °C -10 – 60 °C Niveau de la pression acoustique 50 dB(A) 50 dB(A) 50 dB(A) 50 dB(A) Interrupteur Non Non Non Non Câble d'alimentation fourni Non Non Non Non Poids 2 kg 2 kg 2 kg 2 kg Certification Certifié cTUVus selon UL / CSA 61010-1 Certifié cTUVus selon UL / CSA 61010-1 Certifié cTUVus selon UL / CSA 61010-1 Certifié cTUVus selon UL / CSA 61010-1 Tab. 28: 16.3 Substances en contact avec la substance à pomper Pièces de la pompe Substances en contact avec la substance à pomper Diaphragme EPDM Vannes EPDM Couvercle de chapeau Aluminium Raccord de tuyau PVC Raccord à vis enfichable Nickelé CuZn Raccord à vis droit sur le tuyau flexible d’aspiration Nickelé CuZn Tuyau d’aspiration PE Échappement, silencieux PA Tab. 29: 58/62 Fiche technique MVP 010-3 DC Neo Matières entrant en contact avec la substance du procédé Caractéristiques techniques et dimensions 16.4 Dimensions 35 68.5 173 195 105 45 45 5 24 44 102.5 Silencer G 1/8" 75 Inlet G 1/8" Fig. 14: Dimensions MVP 010-3 DC Neo Dimensions en mm 59/62 Déclaration de conformité CE Déclaration pour produit(s) du type : Pompe à diaphragme MVP 010-3 DC Neo Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, nº 1 A) Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Standards harmonisés et standards et spécifications nationaux appliqués : EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 EN IEC 61000-6-2:2019 EN 1012-2:1996 + A1:2009 EN IEC 61000-6-3:2021 EN ISO 12100:2010 EN IEC 63000:2018 EN IEC 61326-1:2021 classe A Le représentant habilité à constituer la documentation technique est Dr. Adrian Wirth, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Allemagne. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2024-09-01 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompe à diaphragme MVP 010-3 DC Neo Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Standards et spécifications appliqués : EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 EN 1012-2:1996 + A1:2009 EN ISO 12100:2010 EN IEC 61326-1:2021 classe A EN IEC 61000-6-2:2019 EN IEC 61000-6-3:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2024-09-01 *PU0121* ed. A - Date 2502 - P/N:PU0121BFR ">
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