MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original MVP 015–2 Pompe à diaphragme Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe à membrane vous aidera pour votre application spécifique grâce à ses performances et à sonbon fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/44 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 7 7 7 7 7 7 7 7 8 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations non conformes prévisibles 2.7 Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 10 10 10 12 13 13 13 14 14 15 15 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.1.1 Entraînement 3.1.2 Système de pompage 3.1.3 Refroidissement 3.1.4 Lest d’air 3.2 Raccordements 3.3 Identification du produit 3.4 Contenu de la livraison 16 16 16 17 17 17 17 17 17 4 Transport et stockage 4.1 Transport de la pompe à vide 4.2 Stockage de la pompe à vide 18 18 18 5 Installation 5.1 Installation de la pompe à vide 5.2 Raccordement côté vide 5.3 Raccordement du côté d’échappement 5.4 Raccordement de l’alimentation électrique 19 19 19 19 20 6 Utilisation 6.1 Mise en service de la pompe à vide 6.2 Activation de la pompe à vide 6.3 Fonctionnement de la pompe à vide avec le lest d’air 6.4 Mise hors tension de la pompe à vide 22 22 23 23 24 7 Maintenance 7.1 Consignes de maintenance 7.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien 7.3 Remplacement des membranes et des vannes 7.3.1 Démontage de la tête de diaphragme et des vannes 7.3.2 Nettoyage et remplacement des diaphragmes et des vannes 7.3.3 Montage de la tête de diaphragme et des vannes 7.4 Nettoyage de la soupape de lest d’air 25 25 26 27 27 28 28 29 3/44 Table des matières 7.5 4/44 Remplacement des fusibles d'appareil 30 8 Démantèlement 31 9 Recyclage et mise au rebut 9.1 Informations générales sur la mise au rebut 9.2 Mise au rebut des pompes à diaphragme 32 32 32 10 Anomalies 33 11 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 35 12 Lots de pièces de rechange 37 13 ACCESSOIRES 13.1 Informations sur les accessoires 13.2 Commande d’accessoires 38 38 38 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités 14.2 Fiche technique 14.3 Substances en contact avec la substance à pomper 14.4 Dimensions 39 39 39 40 41 Déclaration de conformité CE 42 Déclaration de Conformité UK 43 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Autocollants sur le produit Abréviations utilisées dans ce document Conditions ambiantes autorisées Description du raccordement de la pompe à diaphragme Gamme de tension admissible pour le moteur monophasé réversible Durée de vie typique dans le cadre d’une utilisation normale Intervalles de maintenance Dépannage sur les pompes à membrane Pièces de rechange Accessoires MVP 015-2 Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Fiche technique, MVP 015-2 Matières entrant en contact avec la substance du procédé 8 9 13 17 21 25 27 34 37 38 39 39 40 40 5/44 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: 6/44 Position des autocollants sur le produit Construction de la pompe à diaphragme Sélecteur de tension sur la boîte à bornes Soupape de lest d’air Tête de diaphragme et vannes Soupape de lest d’air Fusibles d'appareil Pièces de rechange Dimensions MVP 015-2 | PK T05 100 Dimensions MVP 015-2 | PK T05 103 8 16 21 24 27 29 30 37 41 41 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.1.1 1.1.2 Documents applicables Désignation Document Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Variantes Ces instructions s’appliquent aux pompes à membrane de la série CA : ● MVP 015-2 comme version standard 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. 7/44 A propos de ce manuel Remarque Conseil 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. D-35614 Asslar Mod. P/N S/N Plaque signalétique Plaque signalétique de la pompe à diaphragme Berliner Strasse 43 MVP 015-2 PK T05 10x xxxxxxxxx S (N 2) 0.7m 3/h Mass 6.5 kg n 1500/1800 1/min 100–115 V 50/60Hz 1.1A 208–236 V 50/60Hz 1.1 A NRTL UL/CSA 61010-1 Type 1 / IP20 UK Authorized Representative: Pfeiffer Vacuum Ltd. 16 Plover Close, Newport Pagnell MK 169 PS Made in Germany 2023/05 Vor Inbetriebnahme: Vorhandene Netzspannung am Spannungswahlschalter der Pumpe einstellen (siehe Betriebsanleitung). Electrical connection: Set supply voltage on voltage selection switch (see operating instructions). Sceau de garantie Le produit est scellé, départ d’usine. L’endommagement ou le retrait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie caduque. warranty seal Tab. 1: Informations sur le sélecteur de tension Cet autocollant indique qu’il est nécessaire de sélectionner la tension secteur appropriée. Autocollants sur le produit 1 2 3 3 Fig. 1: Position des autocollants sur le produit 1 Plaque signalétique 2 Informations sur le sélecteur de tension 8/44 3 Sceau de garantie A propos de ce manuel 1.3.4 Abréviations Abréviation Signification dans ce document CA Courant alternatif DN Diamètre nominal EPDM Caoutchouc éthylène-propylène-diène monomère MVP Pompe à vide à membrane NN Niveau moyen de la mer PA Polyamide PE Polyéthylène Conducteur de terre (terre de protection) PVC Polychlorure de vinyle (PVC) WAF Largeur sur pans Tab. 2: Abréviations utilisées dans ce document 9/44 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la norme EN ISO 12100 Section 5. Dans toute la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. Risques lors du transport AVERTISSEMENT Danger de blessures graves en cas de chute d’objets La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses. ► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit. ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. 10/44 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc électrique potentiellement mortel. ► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension. ► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur. ► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique. ► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010 et CEI 60950. ► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre). ► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre. ► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres. ATTENTION Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels. ► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture. ► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter. ► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement. Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de processus toxiques. ► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus toxiques. ► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement. ► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques. AVERTISSEMENT Risque de brûlure sur les surfaces chaudes Pendant le fonctionnement de la pompe à vide, les surfaces exposées atteignent des températures élevées. Il existe un risque de brûlure. ► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’effectuer tout travail. ► Portez des gants de protection conformément aux directives EN ISO 21420. 11/44 Sécurité Risques pendant la maintenance, la mise hors service et en cas de dysfonctionnement AVERTISSEMENT Risque de brûlure sur les surfaces chaudes Pendant le fonctionnement de la pompe à vide, les surfaces exposées atteignent des températures élevées. Il existe un risque de brûlure. ► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’effectuer tout travail. ► Portez des gants de protection conformément aux directives EN ISO 21420. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Précautions de sécurité générales pour le travail avec une pompe à vide ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. 12/44 Sécurité ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► Ne remplissez jamais ou ne faites jamais fonctionner l'appareil avec des produits de nettoyage ou leurs résidus. ► N'effectuez pas vous-même des conversions ou modifications d'unité. ► Consultez la classe de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Observez les règlements statutaires et locaux concernant la manipulation de solvants. ► Ne faites jamais fonctionner une unité ouverte ou défectueuse. ► Avant la maintenance, laissez l’unité refroidir et déconnectez-la de l'appareil à vide. ► Avant chaque intervention, déconnectez la pompe à vide du secteur et attendrez cinq secondes supplémentaires pour la décharge des condensateurs. ► Prenez des précautions de sécurité appropriées lorsque la mise à l’air imprévue d’une pompe à vide représente un danger. – Une panne de courant peut causer une mise à l'air accidentelle. 2.4 Limites d’utilisation du produit Lieu de mise en place À l’intérieur, avec protection contre l’accumulation de poussière et les effets liés au climat, dans un environnement non-explosif et sec Altitude de l’installation 2 000 m max. au-dessus du niveau de la mer 1) Humidité relative de l’air 80 % à T ≤ 31 °C, jusqu’à 50 % à T ≤ 40 °C Degré de protection IP 20 selon la spécification IEC 60529 Type 1 conformément à UL 50E Catégorie de surtension II Degré de pollution 2 Température ambiante +5 ℃ à +40 ℃ Tab. 3: 2.5 Conditions ambiantes autorisées Utilisation conforme ► Utilisez la pompe à vide uniquement pour la production de vide. ► Respectez les instructions d’installation, de mise en service, de fonctionnement et de maintenance. ► Utilisez uniquement les accessoires recommandés par Pfeiffer Vacuum. 2.6 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● ● ● ● ● ● ● ● ● 1) Pompage de substances corrosives Pompage de substances explosives Pomper des substances radioactives ou volatiles Pompage de gaz contenant des contamination telles que particules, poussières ou condensats Pompage de fluides Pomper des substances désagrégeant le FKM Pomper des vapeurs de liquides combustibles Pomper des substances sous pression (> pression atmosphérique) Pomper des substances susceptibles de se condenser ou de former des dépôts adhérents dans la chambre d’aspiration au-delà de 1 000 m au-dessus du niveau de la mer, risque de refroidissement insuffisant. Si nécessaire, prendre les mesures stipulées dans la Directive DIN EN 61010. 13/44 Sécurité ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 2.7 Utilisation de la pompe à vide en dehors du domaine d’application spécifique Utiliser la pompe à vide en dessous du niveau du sol Utilisation de la pompe à vide pour produire une pression Utilisation de la pompe à vide dans les circuits où des charges et des vibrations ponctuelles ou des forces périodiques agissent sur celle-ci Utilisation de la pompe à vide dans des champs électriques, magnétiques forts Raccordement sur des pompes à vide et des unités non conçues dans ce but selon leur manuel de l’utilisateur Raccordement sur des unités avec des pièces nues sous tension Raccorder à des prises sans borne de terre Utiliser des tubes pour lever la pompe à vide Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non répertoriés dans ces instructions Utilisation de la pompe à vide comme moyen élévateur Utiliser les conduites de raccordement entre les têtes de membrane comme poignées de transport Utiliser la pompe dans des conditions ambiantes en dehors des limites de degré de protection IP spécifiées Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 2.7.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 14/44 Sécurité 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 15/44 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction Les pompes à diaphragme sont des pompes volumétriques de type compression à sec. Le mouvement des diaphragmes génère un changement périodique du volume de la chambre d’aspiration. La circulation de gaz provoque l’ouverture et la fermeture automatiques des vannes. L’unité de pompage est directement accouplée au moteur d’entraînement. Scannez ce code QR ou cliquez ici pour voir comment les pompes à diaphragme Pfeiffer Vacuum fonctionnent. 1 2 3 4 5 6 13 7 12 8 11 10 Fig. 2: 3.1.1 9 Construction de la pompe à diaphragme 1 Sélecteur de tension 2 Interrupteur secteur 8 9 3 Soupape de lest d’air 4 Raccordement entre les têtes avec pièces d’assemblage enfichables 5 Alimentation avec tôle de sûreté 6 Amplification entrée 7 Raccord à vide 10 11 Tête de diaphragme 1 Raccord d’échappement avec silencieux Tête de diaphragme 2 Raccord de tuyau 12 13 Plaque de base Pied en caoutchouc (4x) Entraînement Le moteur d'entraînement est un moteur à courant alternatif avec ● ● ● ● une gamme de tension réversible sur le sélecteur de tension, un interrupteur de protection thermique, un interrupteur secteur et un raccordement en caoutchouc En cas de température excessive (> 95 °C), l’interrupteur de protection thermique interrompt le courant du moteur, mais n’offre pas de mise hors service permanente du moteur. Une fois le moteur refroidi, la pompe à vide redémarre automatiquement. 16/44 Description du produit 3.1.2 Système de pompage La pompe à diaphragme présente 2 têtes de diaphragme et 2 étages de pompage. 3.1.3 Refroidissement La pompe à diaphragme est refroidie par convection. Le moteur d'entraînement a son propre ventilateur. 3.1.4 Lest d’air Un système intégré de lest d'air sert d'alimentation contrôlée de l’air ambiant ou du gaz inerte dans la chambre d'aspiration. Le lest d'air contribue à la réduction de la condensation dans le système de pompage. 3.2 Raccordements Raccordement Description Alimentation électrique secteur Raccordement C14 pour l’alimentation de tension Tab. 4: 3.3 Description du raccordement de la pompe à diaphragme Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.tuev-sued.de. 3.4 Contenu de la livraison ● ● ● ● Pompe à vide avec moteur Alimentation (réversible) Silencieux Raccord à vis coudé G 1/8" DN avec tuyau flexible blinder DN 6 x 1000 mm avec un raccord droit G 1/4" à l’extrémité ● Obturateur sur le raccord vide ● Manuel de l’utilisateur 17/44 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport de la pompe à vide AVERTISSEMENT Danger de blessures graves en cas de chute d’objets La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses. ► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit. ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transport en toute sécurité du produit ► Observez le poids spécifié sur l’emballage. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine. ► Le produit doit toujours être placé sur une surface plane aux dimensions adéquates. Transport de la pompe à vide sans son emballage 1. Déballez la pompe à vide. 2. Pour protéger l’intérieur de la pompe, conservez les bouchons obturateurs sur le raccord à vide pendant le transport. 3. Soulevez la pompe à vide au niveau des deux faces avant. 4. Sortez la pompe à vide de son emballage de transport. 5. Vérifier qu’aucune contrainte mécanique n’est appliquée sur la tuyauterie. 6. La pompe à vide doit toujours être placée sur une surface plane aux dimensions adéquates. 4.2 Stockage de la pompe à vide Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Stockage sécurisé de la pompe à vide ► Boucher le raccord à vide avec l’obturateur. ► Stockez la pompe à vide seulement dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées. ► Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez la pompe à vide et un agent de séchage dans un sac en plastique hermétique. 18/44 Installation 5 Installation 5.1 Installation de la pompe à vide Procédure ► Placez la pompe à vide sur une surface horizontale plane. ► Dans le cas d’une installation fixe, vissez la pompe à vide directement sur la surface de montage. ► Dans le cas d’une installation dans une enveloppe fermée, veillez à une circulation d’air adéquate autour de la pompe. ► Placez la pompe de telle sorte que la plaque signalétique du moteur reste visible et accessible. ► La soupape de lest d'air doit rester visible et aisément accessible. 5.2 Raccordement côté vide AVIS Dégâts matériels occasionnés par des gaz contaminés Pomper du gaz contaminé endommage la pompe à vide. ► Utilisez des filtres et des séparateurs adéquats, disponibles dans la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum, pour protéger la pompe à vide. Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses pompes à membrane. ● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés se trouvent en ligne. ● Les accessoires décrits ne sont pas compris dans la livraison. Prévention des pertes d’étranglement Pour éviter les pertes de pression, les conduites de raccordement côté vide doivent être aussi courtes que possible et de grand diamètre nominal. Séparateur des condensats Pfeiffer Vacuum recommande l’installation d’un séparateur de condensats au cas où de la vapeur se formerait pendant l'évacuation. Procédure 1. Enlever le bouchon obturateur du raccord à vide. 2. Établir le raccordement le plus court possible entre la pompe à vide et l’enceinte à vide. 3. Choisir une conduite de vide de diamètre au moins égal au diamètre nominal du raccord à vide. 4. En fonction du type de pompe, utiliser des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum. 5. Raccorder la pompe à vide au circuit de vide par l’intermédiaire du raccord à vide. 5.3 Raccordement du côté d’échappement AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de gaz de procédé toxiques, en l'absence de conduite de refoulement En fonctionnement normal, la pompe à vide libère des gaz et des vapeurs dans l'air. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort. ► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement de substances toxiques. ► Évacuez les gaz de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement. 19/44 Installation ATTENTION Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels. ► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture. ► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter. ► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement. ATTENTION Risque pour la santé lié à l’accroissement des émissions de bruit Le fonctionnement sans silencieux entraîne des émissions de bruit plus importantes. Évitez de vous tenir longtemps à côté de la pompe à vide sous peine d’altération de l’ouïe. ► Installez une conduite d’échappement appropriée. ► Port obligatoire d’une protection acoustique adéquate. Séparateur des condensats Pfeiffer Vacuum recommande l'installation d'un séparateur de condensat avec écoulement de condensat placé au point le plus bas de la conduite de refoulement. Procédure 1. Vérifier le libre passage du silencieux installé. 2. Choisir une conduite d’échappement de diamètre au moins égal au diamètre nominal de la bride de raccordement. 3. En fonction du type de pompe, utiliser des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum. 4. Option : En présence de débits de gaz plus élevés, montez une conduite d'échappement. 5. Installez la tuyauterie vers le bas à partir de la pompe à vide pour éviter le retour des condensats. 6. Fixez ou accrochez la tuyauterie de la pompe à vide pour éviter toute contrainte mécanique sur la pompe à vide. 5.4 Raccordement de l’alimentation électrique DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Choc électrique en cas de contact avec des éléments à nu et sous tension. Le raccordement incorrect de l’alimentation secteur entraîne un risque de contact avec des pièces du carter sous tension. Il existe dès lors un danger de mort. ► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension. ► Assurez-vous que les installations électriques soient réalisées par des électriciens qualifiés. ► Établissez une mise à la terre correcte de l’appareil. ► Après l’opération de raccordement, contrôlez le conducteur de terre. AVIS Risque de dommage matériel dû aux surtensions Une tension secteur incorrecte ou excessive peut détruire le moteur. ► Toujours respecter les informations de la plaque signalétique du moteur. ► Acheminer le câble de raccordement secteur conformément aux dispositions locales en vigueur. ► Toujours prévoir un disjoncteur secteur convenable pour protéger le moteur et le câble d’alimentation en cas de défaillance. 20/44 Installation AVIS Risque de dégâts matériels si la gamme de tension est incorrecte La remise en service après un arrêt prolongé de la pompe à vide ou après remplacement du fluide d’exploitation nécessite de contrôler les réglages en vigueur. ► Avant chaque mise sous tension de la pompe, contrôler la gamme de tension sur laquelle elle est réglée. ► Changez la gamme de tension uniquement après avoir débranché la pompe à vide du secteur. 115 230 115 230 115 Fig. 3: 230 Sélecteur de tension sur la boîte à bornes Position du sélecteur : « 115 » « 230 » Gamme de tension 90 – 127 V, 50/60 Hz 187 – 259 V, 50/60 Hz Tab. 5: Gamme de tension admissible pour le moteur monophasé réversible Outillage nécessaire ● Tournevis Modification de la plage de tension 1. La tension du secteur doit être déterminée sur site à chaque installation ou changement d’emplacement de la pompe à vide. 2. Débranchez la pompe à vide du secteur. 3. Réglez la gamme de tension requise sur le sélecteur de tension, à l’aide d'un tournevis adapté. Établir l’alimentation secteur 1. Commandez un câble de raccordement au réseau électrique correspondant dans la gamme des accessoires Pfeiffer Vacuum. 2. Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). 3. Connectez le câble d'alimentation dans le connecteur de la pompe à vide. 21/44 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Mise en service de la pompe à vide AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de processus toxiques. ► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus toxiques. ► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement. ► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. Si l’accès à la pompe à vide est non restreint, il y un risque de brûlures en cas de contact avec une surface chaude. ► Installez une protection contre les contacts appropriée si la pompe à vide est accessible sans restriction. ► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’effectuer tout travail. ► Contactez Pfeiffer Vacuum pour une protection qui convient contre le contact dans les solutions système. AVIS Dégâts à la pompe à vide provoqués par une surpression La permutation des raccordements peut causer une surpression. La pression différentielle entre entrée et sortie doit être de 1 bar max. pour pouvoir démarrer la pompe à vide, sans quoi le moteur s’arrête et subit des dégâts. ► Vérifier que le distributeur est installé correctement sur les têtes de la membrane avant de raccorder la pompe à vide et l’appareil à vide. ► Avant la mise en service, vérifier impérativement que la pression côté échappement est inférieure à la limite admissible. Procédure 1. Comparer les spécifications de fréquence sur la plaque signalétique à la tension d’alimentation disponible. 2. Vérifiez que le raccord d'échappement n'est pas obturé (pression max. admissible : 1100 hPa absolus). 3. Actionnez les appareils de fermeture pour qu’ils s’ouvrent avant ou pendant le démarrage de la pompe à vide. 22/44 Utilisation 6.2 Activation de la pompe à vide ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. Si l’accès à la pompe à vide est non restreint, il y un risque de brûlures en cas de contact avec une surface chaude. ► Installez une protection contre les contacts appropriée si la pompe à vide est accessible sans restriction. ► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’effectuer tout travail. ► Contactez Pfeiffer Vacuum pour une protection qui convient contre le contact dans les solutions système. Durée nécessaire pour atteindre la température de fonctionnement de la pompe à vide En fonction de la température ambiante, la durée nécessaire pour atteindre la température de fonctionnement de la pompe à vide est d’au moins 30 minutes. Lors du pompage de gaz secs, aucune précaution particulière n’est nécessaire. Condition préalable ● Alimentation requise établie Mettre en marche la pompe à vide 1. Si nécessaire, mettez en circuit la pompe à vide dans chaque domaine de pression sur l’interrupteur secteur. 2. Laissez la pompe à vide monter en température avant de démarrer le procédé, raccord à vide fermé. La pompe à vide atteint les valeurs spécifiques de débit et de pression finale dès que la température de fonctionnement a été atteinte. 6.3 Fonctionnement de la pompe à vide avec le lest d’air AVIS Risque de dommages dus à la condensation dans la pompe à vide Lors du fonctionnement sans lest d’air, de la condensation peut se former en cas de dépassement des caractéristiques de compatibilité à l’état gazeux dans la pompe à vide. ► Pompez les gaz condensables uniquement lorsque la pompe à vide est à température de fonctionnement et la soupape à lest d’air ouverte. ► Pour protéger la pompe à vide contre la corrosion, laissez la pompe à vide tourner pendant 30 minutes de plus avec la soupape à lest d’air ouverte. Aucun réglage intermédiaire possible sur la soupape de lest d’air Un réglage intermédiaire entre la position « ouvert » et la position « fermé » n’est pas possible. La soupape de lest d’air fournit de l’air à la chambre de travail de la pompe à vide de façon périodique au début de la phase de compression. Cet air empêche la formation de condensation, dans certaines limites, dans la pompe à vide lors du pompage des vapeurs. 23/44 Utilisation 1 Fig. 4: "I" "0" Soupape de lest d’air 1 Douille sur la soupape de lest d’air Position "0" Soupape de lest d’air fermée Position "I" Soupape de lest d’air ouverte Comportement avec les gaz de processus et des vapeurs condensables ► Utiliser la pompe à vide avec un lest d’air, p. ex. soupape de lest d’air ouverte. Ouvrir la soupape de lest d’air ► Pour ouvrir la soupape de lest d'air, poussez la douille sur la soupape sur « I ». Fermer la soupape de lest d’air ► Pour fermer la soupape de lest d’air, poussez la douille sur la soupape sur « 0 ». 6.4 Mise hors tension de la pompe à vide Procédure 1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide. 2. Si nécessaire, mettez hors circuit la pompe à vide dans chaque domaine de pression sur l’interrupteur secteur. 24/44 Maintenance 7 Maintenance 7.1 Consignes de maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. ATTENTION Risque de blessures dues aux pièces mobiles Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation. ► Pour intervenir en toute sécurité, débrancher le moteur du secteur. ► Prendre des mesures pour éviter la remise en marche du moteur. ► Démonter la pompe à vide pour révision, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage les pièces de la pompe. ► Utilisez uniquement des agents nettoyants autorisés pour nettoyer les pièces de la pompe. ► Utilisez uniquement un chiffon sec propre pour nettoyer les membranes et les vannes. ► Ne pas utiliser d’alcool ou d’autres produits de nettoyage pour nettoyer les membranes et les vannes. AVIS Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité. ► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance. ► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique. Les tâches relatives au nettoyage et à l’entretien de la pompe à vide sont résumées ci-dessous. Les clapets et les membranes sont des pièces d’usure. Composant Heures de fonctionnement Membranes 17 500 Vannes 17 500 Tab. 6: Durée de vie typique dans le cadre d’une utilisation normale Conditions préalables ● Pompe à vide mise hors service ● Pompe à vide mise à l’air à la pression atmosphérique ● Pompe à vide refroidie 25/44 Maintenance Équipement nécessaire ● Chiffon (propre, non pelucheux) ● Eau ou solution à base de savon doux Maintenance de la pompe à vide 1. Débranchez l’alimentation électrique de la pompe. 2. Prenez des mesures pour éviter la remise en marche du moteur. 3. Éliminez toute contamination externe sur la pompe à vide avec un chiffon légèrement humidifié avec de l’eau ou une solution à base de savon doux. 4. Laissez bien sécher les pièces après le nettoyage. 5. Concernant le travail de maintenance, démontez uniquement ce qui est nécessaire sur la pompe à vide. 6. Avec un chiffon sec, nettoyez la chambre d’aspiration, les diaphragmes et les vannes. 7. Contrôlez les fissures sur les membranes et les vannes au plus tard lorsque les valeurs de pression atteintes baissent. 7.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien Périodicité de maintenance et durées utiles La périodicité de maintenance et les durées utiles dépendent du processus. Les valeurs indicatives recommandées sont réduites en cas de contamination ou de charges chimiques et thermiques. ● Déterminer les durées utiles pendant le premier intervalle de fonctionnement. ● Consultez Pfeiffer Vacuum Service si vous souhaitez réduire la périodicité de maintenance. Maintenance par Pfeiffer Vacuum Service Nous recommandons que Pfeiffer Vacuum Service prenne en charge les opérations de maintenance. Si les intervalles spécifiés sont dépassés ou si l’opération de maintenance est mal réalisée, aucune réclamation de garantie ou de responsabilité ne sera acceptée de la part de Pfeiffer Vacuum. Cela concerne également les pièces autres que les pièces de rechange d’origine. Action Inspection Maintenance Intervalle comme nécessaire ; au moins tous les six mois comme nécessaire ; au moins tous les 2 ans Contrôler le silencieux à la recherche d’une contamination éventuelle 2) ■ Tester la pompe à vide de façon optique et acoustique ■ Équipement nécessaire Lire et analyser les données de la pompe 3) ■ Nettoyer la pompe à vide ■ Remplacer les diaphragmes et les vannes ■ Kit de révision Remplacer le silencieux 4) ■ Silencieux Réalisation du test de fonctionnement ■ Exécution de l’inspection à venir ■ Nettoyer complètement la pompe à vide ■ 26/44 2) si présent 3) Pompes DC uniquement 4) si présent Maintenance Action Inspection Maintenance Intervalle comme nécessaire ; au moins tous les six mois comme nécessaire ; au moins tous les 2 ans Équipement nécessaire Changer le filtre de lest d’air 5) ■ Filtre Remplacer les pièces d’usure ■ Diaphragmes, vannes, soupapes, joints annulaires, silencieux Tab. 7: 7.3 Intervalles de maintenance Remplacement des membranes et des vannes AVIS Risque de dégâts matériels dus à une installation incorrecte Si les disques d’écartement d’origine sont mal installés, le volume mort peut varier, ce qui affecte le vide final ou endommager les paliers. ► Lors du démontage, les disques d’écartement doivent être séparés selon le lieu de mise en place. ► Réinstallez le même nombre de disques d’écartement d’origine par tête de membrane. 7.3.1 Démontage de la tête de diaphragme et des vannes Outils nécessaires ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 4 1 9 10 11 2 3 4 5 6 7 8 Fig. 5: 1 2 3 4 5 6 5) Tête de diaphragme et vannes Vis à six pans creux intérieurs (4×) Couvercle de tête de diaphragme Joint côté aspiration Plaque de vanne (2x) Joint annulaire côté aspiration Plaque d’écartement 7 8 9 10 11 Diaphragme Disques d’écartement Raccord de tuyau Soupape de lest d’air Interconnexion avec pièces d’assemblage enfichables si présent 27/44 Maintenance Procédure 1. Déconnectez le raccord de tuyau des pièces d’assemblage enfichables. 2. Tournez la pompe à diaphragme de manière à ce que la tête de diaphragme à démonter soit dirigée vers le haut. 3. Dévissez les vis à six pans creux intérieures du couvercle de la tête de pompage. 4. Enlevez la tête à diaphragme. – Observez les joints annulaires et le joint côté aspiration. 5. Enlevez la plaque d’écartement. 6. Débloquez les vannes et les joints annulaires sur la plaque d’écartement. 7. Soulevez légèrement le diaphragme sur le côté. 8. Dévissez et enlevez manuellement le diaphragme de la bielle. – Le diaphragme possède un filetage à droite. – Faites attention aux disques d’écartement. 7.3.2 Nettoyage et remplacement des diaphragmes et des vannes Condition préalable ● Le diaphragme et les vannes sont enlevés Pièces de rechange requises ● Kit de remise en état Produits consommables requis ● Chiffon sec propre ● Isopropanol Procédure 1. Nettoyez les diaphragmes et les vannes avec un chiffon sec et propre. – N’utilisez pas d’isopropanol ou un autre détergent pour nettoyer les diaphragmes et les vannes. 2. Nettoyez les sièges de vanne, la plaque intermédiaire et le couvercle de chapeau avec l’isopropanol. 3. Vérifiez les sièges de vanne, la plaque intermédiaire et le couvercle de chapeau à la recherche de signes d'usure. 4. Remplacez toutes les pièces d’usure conformément aux ensembles de contrôle. 7.3.3 Montage de la tête de diaphragme et des vannes Disques d’écartement Les disques d’écartement sont disponibles en 3 tailles : ● 13,0 × 6,4 × 0,5 mm ● 13,0 × 6,4 × 0,1 mm ● 16,0 × 6,4 × 0,05 mm Le nombre et la taille des disques d’écartement varie entre les têtes de diaphragme. Installez le même nombre de disques d’écartement avec la même taille sur chaque tête de diaphragme. Outils nécessaires ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 4 Procédure 1. Tournez la pompe à diaphragme de manière à ce que la tête de diaphragme à monter soit dirigée vers le haut. 2. Vissez à la main le diaphragme sur la bielle. – Le diaphragme possède un filetage à droite. – Faites attention aux disques d’écartement. 3. Installez les vannes et les joints annulaires dans la plaque d’écartement. 4. Positionnez la plaque d’écartement. 5. Montez la couverture de tête de diaphragme. – Observez les joints annulaires et le joint côté aspiration. 28/44 Maintenance 6. Vissez les vis à six pans creux intérieures dans le couvercle de la tête de pompage. 7. Montez le raccord de tuyau en utilisant les pièces d’assemblage enfichables. 7.4 Nettoyage de la soupape de lest d’air Le filtre du lest d’air est contaminé si la pompe à vide aspire de l’air ambiant contenant de la poussière pendant le fonctionnement du lest d’air. Le débit du filtre de lest d’air diminue avec l’accroissement de la contamination. Le risque de condensation et de corrosion dans la pompe à vide augmente. Outils nécessaires ● Boulon, max. Ø 3,5 mm ● Tournevis Consommables requis ● Air comprimé ● Chiffon sec propre 1 Fig. 6: 1 2 3 4 3 2 4 5 6 7 8 Soupape de lest d’air Corps de vanne Joints toriques (2x) Douille Joint en usit 5 6 7 8 Ressort annulaire Filtre de lest d’air Pièce de réduction Joint torique Dégager la soupape de lest d’air 1. Dévissez et retirez la soupape de lest d’air. – Manipulez avec précaution le joint torique. 2. Poussez le boulon dans le trou latéral sur le corps de soupape. 3. Vissez le corps de soupape avec le boulon en dehors de la pièce de réduction. 4. Enlevez la douille du corps de soupape. 5. Faites doucement levier sur le ressort annulaire pour le sortir de la pièce de réduction. 6. Enlevez le ressort annulaire et le filtre de la pièce de réduction. Nettoyage de la soupape de lest d’air 1. Nettoyez le filtre de lest d’air avec de l’air comprimé. 2. Contrôlez l’usure de toutes les pièces. 3. Remplacez la soupape de lest d’air en cas de contamination ou de détérioration importante. Installation de la soupape de lest d’air 1. Insérez le filtre dans la pièce de réduction. 2. Sécurisez le ressort annulaire dans la pièce de réduction. 3. Poussez la douille sur le corps de soupape. – Observez la position du perçage dans la douille. 4. Poussez le boulon dans le trou latéral sur le corps de soupape. 5. Vissez le corps de soupape avec le boulon dans la pièce de réduction. 6. Vissez la soupape de lest d’air. – Manipulez avec précaution le joint torique. 29/44 Maintenance 7.5 Remplacement des fusibles d'appareil AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien La pompe à vide est complètement hors tension seulement lorsque le connecteur de réseau a été déconnecté. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Avant de travailler, mettez hors circuit l’interrupteur secteur. ► Déconnectez le câble d'alimentation de la prise secteur. ► Attendez 2 minutes pour la décharge des condensateurs. ► Sécurisez la pompe à vide contre tout redémarrage non intentionnel. Outillage nécessaire ● Tournevis plat Pièces détachées requises ● 2× microfusibles 5 × 20 (3,15 A T) 1 2 3 4 Fig. 7: Fusibles d'appareil 1 Fusibles d'appareil dans le porte-fusibles 2 Boîte à bornes 3 4 Vis à tête cylindrique (4x) Condensateurs Remplacement des fusibles d’appareil défectueux 1. Desserrez les 4 vis à tête cylindrique. 2. Enlevez la couverture de la boîte à bornes. 3. Ouvrez le porte-fusibles. 4. Remplacez les fusibles défectueux. 5. Fermez le porte-fusibles. 6. Placez le couvercle de la boîte à bornes sur la pompe à vide. 7. Serrez les 4 vis à tête cylindrique. 30/44 Démantèlement 8 Démantèlement Avant d’arrêter la pompe à vide, respectez les instructions suivantes pour protéger de manière adéquate l’intérieur de la pompe à vide (chambre d’aspiration) contre la corrosion : Procédure pour les arrêts temporaires de la pompe à vide 1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide. 2. Si une substance susceptible de détériorer des matériaux ou de former des dépôts a pénétré dans la pompe à vide, nettoyer l’intérieur des têtes de pompe. Procédure pour les arrêts prolongés de la pompe à vide 1. Débrancher la pompe à vide du circuit de vide. 2. Si nécessaire, retirez la pompe à vide du circuit de vide. 3. Bouchez le raccord à vide avec les bouchons d’obturation d’origine. 4. Stockez la pompe à vide dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées. 5. Si la pompe à vide doit être stockée dans un local à l’atmosphère humide ou corrosive, emballezla dans un sac en plastique, avec un produit dessiccateur. 31/44 Recyclage et mise au rebut 9 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 9.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mise au rebut des pompes à diaphragme Les pompes à diaphragme Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. 1. Déconnectez l’unité de commande électronique. 2. Démantelez le moteur. 3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 4. Séparez les composants en matériaux recyclables. 5. Recyclez les composants non contaminés. 6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 32/44 Anomalies 10 Anomalies ATTENTION Risque de blessures dues aux pièces mobiles Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation. ► Pour intervenir en toute sécurité, débrancher le moteur du secteur. ► Prendre des mesures pour éviter la remise en marche du moteur. ► Démonter la pompe à vide pour révision, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 105 °C. ► Laisser refroidir la pompe à vide avant d’intervenir dessus. ► Porter si nécessaire des équipements de protection individuelle. AVIS Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité. ► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance. ► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique. En cas d’anomalies, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponibles ici : Problème Causes possibles Action corrective La pompe à vide ne démarre pas ● Absence d’alimentation électrique ou tension non conforme aux spécifications du moteur ● Contrôlez la tension d’alimentation. ● Température de la pompe trop faible ● Chauffez la pompe à vide à une température > 5 °C. ● Le dispositif de protection thermique du moteur s’est déclenché ● Identifiez et éliminez la cause du problème et laissez la pompe à vide refroidir si nécessaire. ● Défaut de phase ● Contrôlez les fusibles intégrés dans l’appareil. ● Remplacez les fusibles d’appareil défectueux. ● Membranes ou vannes encrassées ● Nettoyez la pompe à vide. ● Surpression dans la conduite d’échappement ● Vérifiez la conduite d’échappement et nettoyez-la si nécessaire. ● Défaut de fusible ● Contrôlez les fusibles intégrés dans l’appareil. ● Remplacez les fusibles d’appareil défectueux. 33/44 Anomalies Problème Causes possibles Action corrective La pompe à vide s’arrête peu de temps après son démarrage ● Le dispositif de protection thermique du moteur s’est déclenché ● Identifiez et éliminez la cause du problème et laissez la pompe à vide refroidir si nécessaire. ● Déclenchement du fusible d’appareil suite à une surcharge (p. ex. démarrage à froid) ● Chauffez la pompe à vide. ● Pression d’échappement trop élevée ● Contrôlez l’ouverture de la sortie de la canalisation de refoulement ainsi que les accessoires côté d’échappement. ● Condensats dans la pompe à vide ● Faites fonctionner la pompe à vide pendant une période prolongée à la pression atmosphérique et si nécessaire avec la soupape de lest d’air ouverte. ● Soupape de lest d’air ouverte ● Fermez la soupape de lest d’air. ● Contamination des vannes ou des membranes ● Nettoyez les vannes et les membranes ou remplacez-les si nécessaire. ● Fuite dans le système ● Localisez et éliminez la fuite. ● La conduite d’aspiration n’est pas convenablement dimensionnée ● Vérifiez que les raccordements sont aussi courts que possible et que les sections droites des conduites sont correctement dimensionnées. ● Pression d’échappement trop élevée ● Vérification de l’ouverture de la sortie de la canalisation de refoulement ainsi que les accessoires côté d’échappement. ● Vannes ou membranes défectueuses ● Nettoyez les vannes et les membranes ou remplacez-les si nécessaire. ● Chambre d’aspiration encrassée ● Nettoyez la chambre d’aspiration. ● Silencieux desserré ou manquant ● Vérifiez le silencieux et remplacez-le si nécessaire. ● Vannes sales ou défectueuses ● Nettoyez les vannes et les membranes ou remplacez-les si nécessaire. ● Ventilateur moteur défectueux ● Remplacez le ventilateur moteur. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Bielle ou paliers du moteur défectueux ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. La pompe à vide n’atteint pas la pression limite spécifique Débit de pompage de la pompe à vide trop faible Bruits de fonctionnement inhabituels Tab. 8: 34/44 Dépannage sur les pompes à membrane Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 11 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 35/44 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 36/44 Lots de pièces de rechange 12 Lots de pièces de rechange Commande de lots de pièces de rechange ► Si nécessaire, conservez à portée de main la référence de pièce de la pompe à vide ainsi que tous les détails nécessaires de la plaque signalétique. ► Installez uniquement des pièces détachées d’origine. ► Pour commander le kit de révision, observez la référence de pièce correspondant de la pompe à membrane. 1 2 3 4 5 6 7 9 8 10 Fig. 8: 1 2 3 4 5 Pièces de rechange Raccord de tuyau Soupape de lest d’air, complète Joint de soupape de lest d’air Raccord à vis enfichable Joint côté aspiration 6 7 8 9 10 Plaque de vanne (2x) Joint annulaire côté aspiration Diaphragme Tuyau d’aspiration Silencieux Pièces de rechange Numéro de commande comprenant les articles Description Kit de révision PU E22 001 -T 3, 5 , 6, 7, 8 Plaques de vanne, joints annulaires, diaphragmes Silencieux P 0920 567 E 10 - Raccordement entre les têtes PK 050 327 1, 4 (2×) Raccordement entre les têtes de diaphragme Tuyau d’aspiration P 0991 939 9 Ø 6/8 mm, 1 m de long, PE Soupape de lest d’air, complète PK 050 148 -U 2 - Fusible d’appareil P 0920 109 E - Fusible à fil fin 5 × 20 mm, 250 V, 3,15 A, à action retardée Ventilateur PU E22 026 -T - Ventilateur du moteur et capot de ventilateur Tab. 9: Pièces de rechange 37/44 ACCESSOIRES 13 ACCESSOIRES 13.1 Informations sur les accessoires Boîtiers de relais Les boîtiers de relais sont utilisés pour commander les pompes primaires en relation avec l’unité de commande électronique TC de la pompe turbomoléculaire. Câble de secteur Les câbles de secteur fournissent un raccordement sécurisé et approprié. 13.2 Commande d’accessoires Champ de sélection Numéro de commande Boîtier de relais, blindé, pour pompe à vide primaire, moteur monophasé 7 A pour TC 110/120 et TCP 350, connecteur M8 PM 071 282 -X Boîtier de relais, blindé, pour pompes à vide primaire, moteur monophasé 7 A pour TC 400/1200, TM 700 et TCP 350, M12 PM 071 284 -X Câble de secteur 230 VAC, CEE 7/7 à C13, 3 m P 4564 309 ZA Câble de secteur 115 VAC, NEMA 5-15 à C13, 3 m P 4564 309 ZE Câble de secteur 115/230 V sans connecteur, prise CEI (droite), 3 m P 4564 309 ZH Bride mâle filetée DN 16 ISO-KF/filetage 1/8 po, joint inclus PK 050 108 -T Raccord à vis enfichable en T 1/8", y compris joint d’étanchéité de raccord de tuyau (8/6 mm) P 4131 030 E Raccord rapide filetage 1/8 po. joint pour raccord de tuyau (8/6 mm) inclus P 4131 026 C Raccord à vis G 1/8" avec joint pour raccord de tuyau (8/6 mm) P 4131 029 G Tuyau DN 6 ; (ø 8/6 mm) polyéthylène P 0991 939 Tab. 10: 38/44 Accessoires MVP 015-2 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Fondement des données techniques des pompes à membrane Pfeiffer Vacuum : ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ● ISO 21360:2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes à vide - Description générale » Les normes harmonisées suivantes sont respectées : ● CEI 61010-1 ● UL 61010-1 ● CSA 61010-1 mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 0,75 mbar 1 1 · 10 100 1 0,1 bar 1,000 1 1 · 105 1,000 100 Pa 0,01 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 hPa 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 133,32 1,33 0,133 1 -3 -5 -3 1,33 · 10 1 Pa = 1 N/m Tab. 11: 750 -3 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s mbar l/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 Pa m3/s 10 1 592 7,5 sccm Torr l/s 3 atm cm /s Tab. 12: 9,87 1.69 · 10 1.69 · 10 1 1,27 · 10 1.67 · 10-2 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 -3 -2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 14.2 Fiche technique Désignation du type MVP 015-2 MVP 015-2 Numéro de commande PK T05 100 PK T05 103 Bride de raccordement (entrée) G 1/8" G 1/8" avec raccord à vis de tube Swagelock, diamètre extérieur de tube 1/4" x 1/8" filet extérieur Bride de raccordement (sortie) Filetage 1/8 po. avec silencieux Filetage 1/8 po. avec silencieux Vitesse de pompage, 60 Hz 0,7 m³/h 0,7 m³/h Vitesse de pompage, 50 Hz 0,5 m³/h 0,5 m³/h Pression limite 3,5 hPa 3,5 hPa Pression limite avec lest d'air 4,5 hPa 4,5 hPa Lest d’air Oui Oui Pression d'entrée 1100 hPa 1100 hPa Pression d'échappement, max. 1100 hPa 1100 hPa Taux de fuite intégral ≤ 5 · 10-4 Pa m³/s 5 · 10-4 Pa m³/s Type de moteur Moteur monophasé Moteur monophasé 39/44 Caractéristiques techniques et dimensions Désignation du type MVP 015-2 MVP 015-2 Protection du moteur Dispositif de protection thermique du bobinage Dispositif de protection thermique du bobinage Tensions d’entrée 100 – 115 / 208 – 236 V CA (±10 %), 50/60 Hz 100 – 115 / 208 – 236 V CA (±10 %), 50/60 Hz Consommation de courant nominale 1,1 A 1,1 A Courant, max. 2.8 2.8 Vitesse à 50 Hz 1500 rpm 1500 rpm Vitesse à 60 Hz 1800 rpm 1800 rpm Niveau de la pression acoustique 52 dB(A) 52 dB(A) Type de refroidissement Air (Convection forcée) Air (Convection forcée) Altitude de fonctionnement, max. 2000 m 2000 m Type de protection IP20, Type 1 IP20, Type 1 Température ambiante 5 – 40 °C 5 – 40 °C Température : stockage 5 – 40 °C 5 – 40 °C Température : transport -10 – 60 °C -10 – 60 °C Poids 6,5 kg 6,5 kg Tab. 13: Fiche technique, MVP 015-2 14.3 Substances en contact avec la substance à pomper Pièces de la pompe Substances en contact avec la substance à pomper Diaphragme EPDM Vannes EPDM Couvercle de chapeau Aluminium Raccord de tuyau PVC Raccord à vis enfichable Nickelé CuZn Raccord à vis droit sur le tuyau flexible d’aspiration Nickelé CuZn Tuyau d’aspiration PE Échappement, silencieux PA Tab. 14: 40/44 Matières entrant en contact avec la substance du procédé Caractéristiques techniques et dimensions 14.4 Dimensions 163 110 54 116 263 EX - silencer G 1/8" 10 47 154 146.5 208 IN - G 1/8" 286.5 Fig. 9: Dimensions MVP 015-2 | PK T05 100 Dimensions en mm 208 110 54 116 EX - silencer 263 IN - Swagelok screw pipe connection SS-400-1-2RS 292 Fig. 10: 10 47 146,5 153,5 163 Dimensions MVP 015-2 | PK T05 103 Dimensions en mm 41/44 Déclaration de conformité CE Déclaration pour produit(s) du type : Pompe à diaphragme MVP 015-2 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : EN ISO 12100:2010 EN IEC 55014-2:2021 EN 1012-2:1996+A1:2009 EN IEC 61000-3-2:2019 EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019; EN 61000-3-3:2013 + A1:2019 + Correction 2 A2:2021 + A2:2021/AC:2022 EN IEC 55014-1:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant habilité à constituer la documentation technique est le Dr. Adrian Wirth, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Allemagne. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2022-01-06 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompe à membrane MVP 015-2 Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Standards et spécifications appliqués : EN ISO 12100:2010 EN 1012-2:1996+A1:2009 EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019; Correction 2 EN IEC 55014-1:2021 EN IEC 55014-2:2021 EN IEC 61000-3-2:2019 EN 61000-3-3:2013 + A1:2019 + A2:2021 + A2:2021/AC:2022 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-05-15 *PU0101* ed. B - Date 2308 - P/N:PU0101BFR ">
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