Traduction du manuel de l‘utilisateur PT 0282 BFR/D (1209) HiPace 700 Pompe turbomoléculaire Manuel de l‘utilisateur FR Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 1.1 Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 1.2 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 2 Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 2.1 Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 2.2 Equipement de protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 2.3 Conformité d’utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 2.4 Non conformité d’utilisation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 3 Transport et stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 3.1 Transport. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 3.2 Stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 4 Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 4.1 Identification du produit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 4.2 Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 4.3 Domaine d'application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 5 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 5.1 Mise en place . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 5.2 Travaux préparatoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 5.3 Montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 5.4 Raccordements à la pompe turbo. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16 6 Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 6.1 Mise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 6.2 Modes d’exploitation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 6.3 Description fonctionelle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 6.4 Surveillance de l’état de fonctionnement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 6.5 Arrêt et remise à l’air. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24 7 Entretien / Remplacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 7.1 Intervalles de maintenance et compétences. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 7.2 Remplacer le bloc d’alimentation intégré . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 7.3 Remplacer le réservoir de fluide d’exploitation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 7.4 Remplacer la commande électronique d’entraînement . . . . . . . . . . . . . . 27 8 Mise hors service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29 8.1 Immobilisation prolongée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29 8.2 Remise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29 8.3 Mise au rebut . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 9 Dysfonctionnements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 9.1 Dépannage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 10 Service après-vente. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32 11 Pièces de rechange HiPace 700 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 12 Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34 13 Caractéristiques techniques et des dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 13.1 Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 13.2 Caractéristiques techniques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 13.3 Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38 Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39 2 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité Ce manuel de l’utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l’utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. Les manuels de l’utilisateur actuels sont également disponibles sur Internet sur www.pfeiffer-vacuum.com. Documents applicables 1.2 HiPace 700 Manuel de l’utilisateur Manuel de l’utilisateur "Commande électronique d’entraînement TC 400" Déclaration de conformité *également disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com PT 0203 BN* fournies avec ce manuel Conventions Consignes de sécurité Les consignes de sécurité des manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum sont le résultat d'évaluations et d'analyses de risques et sont inspirées des normes de certification UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO 3864 et DIN 4844. Le présent document détaille les niveaux de danger et informations suivants : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant la mort ou des blessures graves. AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent pouvant entraîner la mort ou des blessures graves. ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent pouvant entraîner des blessures légères. AVIS Injonction ou indication Invitation à procéder à une action ou information au sujet de points dont le non-respect peut conduire à la détérioration du produit. 3 A propos de ce manuel Définitions des pictogrammes Interdiction de procéder à une action pour des raisons de sécurité. Le non-respect de cette interdiction peut conduire à de graves accidents Avertissement contre le danger représenté par le symbole Interdiction de procéder à une action pour des raisons de sécurité. Le non-respect de cette interdiction peut conduire à de graves accidents Informations importantes concernant le produit ou le présent document Instruction dans le texte Instruction de travail : vous devez exécuter une opération à cet endroit. Abréviations utilisées DCU : Appareil d'affichage et de commande HPU : Appareil d'affichage et de commande TC : Commande électronique d'entraînement de la pompe turbo OPS : Bloc d’alimentation intégrée Symboles utilisés Les symboles suivants sont utilisés de façon récurrente dans les illustrations : Bride de vide élevé Bride de vide primaire V Bride de vide de la pompe primaire Bride d'échappement de la pompe primaire Raccordement électrique 4 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes de sécurité Obligation d'informer Toute personne chargée de l'installation, du fonctionnement ou de l'entretien de la pompe à vide doit avoir lu les consignes de sécurité de ce manuel de l’utilisateur et doit les respecter. Il incombe à l'exploitant de mettre en garde l'ensemble des opérateurs contre les dangers liés à la pompe à vide, aux substances pompées ou à l'installation dans sa totalité. Installation et utilisation des accessoires Il est possible d'équiper les pompes Pfeiffer Vacuum avec toute une série d'accessoires adaptés. L'installation, l'utilisation et la remise en état des appareils raccordés sont décrites en détails dans les manuels de l’utilisateur accompagnant les différents composants. Informations sur les numéros de référence des composants individuels : voir le chapitre "Accessoires" Uniquement utiliser des accessoires originales. AVIS Vérification du système de sécurité contre les survitesses Afin d'assurer le fonctionnement du système de sécurité intégré contre les survitesses, la pompe doit être totalement redémarrée au moins une fois par an. Désactivez la pompe et attendez l'arrêt complet (vitesse de rotation = 0 Hz). Mettez la pompe en marche conformément au manuel de l’utilisateur. AVERTISSEMENT Risque par d’installation électrique dangereuse Le fonctionnement sûr après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant. Ne procédez à aucune transformation ou modification de l'appareil de votre propre initiative. Assurez une intégration sûre dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité. Consultez Pfeiffer Vacuum si vous avez des exigences spéciales. AVERTISSEMENT Danger en cas d'absence de dispositif de sectionnement au sens de la norme SEMI-S2 La pompe et la commande électronique d'entraînement ne sont pas équipées d'un dispositif de sectionnement. L'installation d'un dispositif de sectionnement selon SEMI-S2 est à la charge de l'exploitant. Prévoir un disjoncteur ayant un pouvoir de coupure d'au moins 10,000 A. AVERTISSEMENT Risque d'électrocution En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension. Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour pouvoir défaire le branchement à tout moment. ● N'exposez aucune partie du corps au vide. ● Respectez toutes les prescriptions de sécurité et de prévention des accidents. ● Vérifiez régulièrement que toutes les mesures de précaution sont respectées. 5 Sécurité ● Une jonction sûre avec le fil de terre (PE) doit toujours être assurée (classe de protection I). ● Pendant le service, ne défaites pas les jonctions par connecteurs. ● Avant d'effectuer tous travaux sur la bride de vide poussé, attendez que le rotor se soit immobilisé. ● Les conduites et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces chaudes (> 70°C). ● Ne remplissez et ne faites jamais marcher la pompe turbo avec des détergents. ● L'appareil présente le type de protection IP30. En cas d'incorporation dans des environnements exigeant d'autres types de protection, il faudra prendre des mesures correspondantes. ● N'utilisez jamais la pompe turbo avec la bride de vide élevé ouverte. ● Ne pas procéder de sa propre initiative à une transformation ou à une modification de la pompe. ● En cas d'envoi de la pompe turbo, respectez les consignes d'expédition. 2.2 Equipement de protection Dans certaines situations, la manipulation de pompes à vide nécessite le port d'un équipement de protection individuel. Les exploitants ou les employeurs se doivent de mettre à disposition du personnel opérateur un équipement approprié. DANGER Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques lors des travaux de maintenance ou d'installation Les pompes à vide, les composants et les fluides d'exploitation peuvent être contaminés, en fonction du processus, par des substances toxiques, réactives ou radioactives. Porter un équipement de protection approprié lors des travaux de maintenance et de réparation ou lors de la réinstallation des pompes. AVERTISSEMENT kg Risque de blessures dues à des chutes d'objets Lors du transport manuel des pompes à vide, il existe un risque de blessures dû aux chutes et glissements de poids. Transporter à deux mains des pompes à vide petites et moyennes. Transporter avec un engin de levage approprié les pompes à vide d'un poids > 20 kg. Porter des chaussures de sécurité avec protection des orteils conformément à la norme EN 347. ATTENTION Risque de blessures au contact de surfaces brûlantes Les pompes à vide sont brûlantes en fonctionnement. Laisser refroidir la pompe avant d'effectuer des travaux de maintenance et de réparation. Le cas échéant, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420. ATTENTION Risque de blessures dues à des arêtes vives Les arêtes des disques du rotor et du stator des pompes turbo sont très tranchantes. Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d'effectuer tous les travaux. Ne pas accéder à la bride de vide élevé. Le cas échéant, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420. 6 Sécurité 2.3 Conformité d’utilisation AVIS Conformité CE La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires ! Après incorporation dans une installation, l'exploitant s'oblige, avant la mise en service, à vérifier la conformité de l'ensemble du système dans l'esprit des directives UE en vigueur, et de la réévaluer en conséquence. ● La pompe à vide ne pourra être utilisée que pour générer du vide. ● N'utilisez la pompe turbo qu'associée à une pompe primaire appropriée. 2.4 Non conformité d’utilisation En cas d'usage non conforme, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté. Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui différent de celles précitées, dont notamment : ● le pompage de fluides corrosifs ou explosifs ● le pompage de vapeurs condensables ● le pompage de liquides ● le pompage de poussières ● une utilisation avec débit de gaz élevé non admissible ● une utilisation sous une pression de vide primaire élevée non admissible ● une utilisation avec le mauvais mode Gaz ● une utilisation avec apport, par rayonnement, d'une puissance thermique excessive ● une remise à l'air avec des débits élevés non admissible ● l’exploitation de la pompe à vide pour générer de la pression ● une utilisation d'appareils dans des domaines concernés par les rayonnements ionisants ● l’exploitation dans des zones à risque d'explosion ● une mise en œuvre des appareils dans des installations qui soumettent la pompe à des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques ● l'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui n'ont pas été désignés dans ce manuel warranty seal Sceau de fermeture Le corps de produit est scellé en usine. Tout endommagement ou desceller d’un sceau de fermeture conduit à la perte de la garantie. N'ouvrez pas le produit durant le temps de garantie ! Si le procédé engendre des intervalles d'entretien plus courts, informez le service après-vente Pfeiffer Vacuum. 7 Transport et stockage 3 Transport et stockage 3.1 Transport Réutilisez le conteneur de transport des pompes à vide. Il faut transporter ou expédier les pompes à vide dans leur emballage d'origine. Il ne faut retirer les couvercles de protection du côté vide élevé et du côté vide primaire qu'au moment du raccordement. Conservez les couvercles de protection original. Transportez toujours la pompe turbo à la verticale. 3.2 Stockage Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine. Obturez les autres orifices avec les couvercles de protection correspondants. Ne stockez la pompe que dans des locaux fermés, à une température comprise entre -25 et +55°C. Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive: enfermez la pompe dans un sac en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet de produit de dessiccation. 8 Description du produit 4 Description du produit 4.1 Identification du produit Types de pompes La désignation-produit renseigne sur la famille (1) à laquelle appartient la pompe, sur sa taille (2), laquelle s'oriente sur la capacité d'aspiration de la pompe, et le cas échéant sur des caractéristiques additionelles (3) de cette dernière. HiPace(1) 700(2) (3) 1. Désignation de la famille 2. Désignation du modèle HiPace 3. Désignation des propriétés 700 = Désignation du modèle aucune = variante standard dans la classe afférente de débit U = Position montée inverse C = Pour gaz / fluide corrosif P = Processus M = Paliers magnétiques actives T = Système de management de la température Caractéristiques de la pompe Ce produit a été testé conformément aux exigences de la directive CAN/CSA-C22.2 No. 61010-1, deuxième edition, y compris l’amendement 1 ou une version ultérieure de la norme même avec le même degré d’exigences d’essai. Le cas échéant regardez les informations sur des certifications supplémentaires sur le cachet du produit ou: ● www.tuvdotcom.com ● TUVdotCOM-ID 0000021320 Caractéristiques Bride pour vide élevé Flange material HiPace 700 DN 160 ISO-K Aluminium DN 160 CF-F Acier inoxydable DN 160 ISO-F Aluminium Pour identifier le produit de manière sûre lors de toute communication avec Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la plaque signalétique. D-35614 Asslar HiPace 300 DN 100 ISO-K, 3P M.-No.: PM P03 900 Mod.: Ser. -No.: --Oil: S(N2): 260 l/s 60000 1/min, 1000 Hz n,f: Weight: 6.7 kg Made in Germany Fig. 1: Contenu de la livraison Exemple de plaque signalétique ● HiPace 700 avec TC 400 et unité de courant OPS 130 ● Connecteur pour la connexion "remote" à la TC 400 (dépendant du modèle) ● Couvercles de protection pour les brides de vide élevé et de vide primaire ● Manuel de l’utilisateur 9 Description du produit 4.2 Fonction Les pompes HiPace 700 forment une unité avec la commande électronique. L'alimentation en tension électrique est assurée par le bloc d'alimentation intégré. H 4 8 17 F 20 SG 3 10 Fig. 2: 8 4 3 Refroidissement 16 Vue HiPace 700 avec TC 400 et OPS 130 Commande électronique d'entraînement TC 400 Corps de pompe Partie inférieure de la pompe 20 16 17 10 Bride de vide primaire Raccord de gaz de balayage Raccord de remise à l'air Unité de courant OPS 130 ● Refroidissement à convection ● Refroidissement par air (optionnel) En cas de surchauffe, la commande électronique réduit automatiquement la puissance absorbée. Suivant le domaine de mise en œuvre et le type de HiPace, différentes variantes de refroidissement sont disponibles. Paliers de rotor Pompe turbo-drag avec palier hybride ● Côté vide élevé : Palier sans usure, à aimant permanent ● Côté vide primaire : Roulement à billes en céramiques Entraînement 10 Commande électronique d’entraînement TC 400 Description du produit 4.3 Domaine d'application Les pompes HiPace 700 doivent être installées et utilisées sous les conditions ambiantes suivantes: Lieu de mise en place Type de protection admissible Classification des protections Température Humidité relative Pression de l’air Hauteur d'implantation : Degré d'encrassement Champ magnétique environnant admissible Catégorie de surtension Tension de raccordement à l'abri des intempéries (dans des locaux) IP30 I de +5 °C à +30 °C avec refroidissement de convection de +5 °C à +35 °C avec refroidissement à air 80% max. avec T ≤ 31 °C, à 50% max. avec T ≤ 40 °C 77 kPa - 106 kPa 2000 m maxi. 2 ≤ 6 mT II 90 - 265 V CA Remarques relatives aux conditions ambiantes Les températures ambiantes autorisées indiquées sont applicables au fonctionnement de la pompe turbo à la pression de vide primaire maximale autorisée ou au débit de gaz maximal autorisé, en fonction du type de refroidissement. La pompe turbo est à sécurité intrinsèque grâce à une surveillance redondante de la température. ● Si la pression de vide primaire ou le débit de gaz est réduit, la pompe turbo peut également être utilisée à des températures ambiantes superieures. ● En cas de dépassement de la température de fonctionnement maximale autorisée de la pompe turbo, cette dernière réduit d’abord la puissance d’entraînement et se met ensuite hors circuit si nécessaire. 11 Installation 5 Installation AVERTISSEMENT Risque d'arrachage de la pompe turbo En cas de blocage inopiné du rotor, les couples peuvent atteindre 4200 Nm, ce qui peut entraîner la désolidarisation de la pompe turbo lorsque la fixation n'est pas correcte. L'énergie libérée peut projeter la pompe ou des composants qu'elle contient dans le local ce qui risque de provoquer des blessures très graves, voire la mort, ainsi que des dommages matériels considérables. Respectez scrupuleusement les instructions d'installation fournies dans le présent manuel de l’utilisateur. Utilisez exclusivement les pièces d'origine de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour l'installation. AVERTISSEMENT Risque par d’installation électrique dangereuse Le fonctionnement sûr après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant. Ne procédez à aucune transformation ou modification de l'appareil de votre propre initiative. Assurez une intégration sûre dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité. Consultez Pfeiffer Vacuum si vous avez des exigences spéciales. Installation et utilisation des accessoires Il est possible d'équiper les pompes Pfeiffer Vacuum avec toute une série d'accessoires adaptés. L'installation, l'utilisation et la remise en état des appareils raccordés sont décrites en détails dans les manuels de l’utilisateur accompagnant les différents composants. Informations sur les numéros de référence des composants individuels : voir le chapitre "Accessoires" Uniquement utiliser des accessoires originales. 5.1 Mise en place Pour mettre la pompe en place, il faut impérativement réunir les conditions suivantes : ● les conditions ambiantes indiquées pour le domaine d’application ● La fixation au sol de la pompe n'est admise qu'après concertation avec Pfeiffer Vacuum. ● Il est interdite installer les dispositifs dans des installations qui soumettent la pompe à des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques. 5.2 Travaux préparatoires Assurez-vous que le dispositif destiné à refroidir la pompe turbo est suffisant. En présence de champs magnétiques >6 mT, il faut prévoir un blindage antiparasite approprié. Vérifiez le lieu de mise en place et concertez-vous le cas échéant avec Pfeiffer Vacuum ! La température maximale admissible du rotor équipant la pompe turbo est de 90 °C. Si le procédé engendre des températures élevées, la puissance thermique irradiée ne doit pas dépasser 4.2 W. Installez le cas échéant des tôles de blindage appropriées (fourniture, sur demande, de consignes de conception). 12 Installation 5.3 Montage ● Lors du montage toutes les pièces soumises à un vide élevé, travaillez au plus haut niveau de propreté possible. Les composants sales augmentent le temps de pompage. ● Au moment de leur installation, tous les composants de bridage doivent être secs et dépourvus de graisse et de poussière. ● Sur la pompe turbo HiPace 700 figure déjà le réservoir du fluide d’exploitation monté et rempli. Protection antisismique Lors de tremblements de terre, les paliers de sécurité peuvent se toucher. Toutes les forces produites à cette occasion sont absorbées de manière fiable par les assemblages à bride installés. Sécurisez l'enceinte de vide côté client contre tout déplacement ou basculement. SC SC Vacuum chamber SC SC Fig. 3: Utilisez un pareéclats ou une grille de protection SC = Safety Connection SC Exemple : sécurité contre le déplacement et le basculement dus à des chocs externes L'installation d'un anneau de centrage Pfeiffer Vacuum avec pare-éclats ou grille de protection dans la bride de vide élevé protège la pompe turbo contre les corps étrangers provenant des récipients. Cette protection réduit le débit de la pompe. Réduction du débit, en % H2 He N2 Ar Pare-éclats DN 160 6 9 20 23 Grille de protection DN 160 1 2 6 7 Amortisseur de vibrations AVERTISSEMENT Risque dû à l'arrachage de la pompe turbo avec amortisseur En cas de blocage soudain du rotor, l'amortisseur utilisé ne peut compenser aucune des forces résultantes. Il existe un risque d'arrachage de la pompe pouvant entraîner des blessures graves et des dommages matériels considérables. Prenez des mesures de sécurité appropriées pour compenser les couples pouvant apparaître. Veuillez impérativement consulter Pfeiffer Vacuum. Il est interdit de dépasser la température maximum admissible (100 °C) au niveau de l'amortisseur. 13 Installation Positions montées Sous l’utilisation de pompes primaires sec les pompes HiPace de Pfeiffer Vacuum sont conçues pour le montage dans toutes les orientations. Étayez ou suspendez les conduites en amont de la pompe à vide. Le réseau de conduites ne doit communiquer aucune force à la pompe ancrée. Si utiliser des pompes primaires à huile, la bride de vide primaire de la pompe turbo doit toujours pointer vers le bas à la verticale (± 25°), pour éviter l'encrassement via la conduite de vide primaire. VV VV 25° max Fig. 4: Orientation du raccord de vide primaire recommandée pour l'installation La charge axiale maximale supportable par la bride de vide élevé s'élève à 1000 N (soit 100 kg). A ce titre, l'application d'une charge d'un seul côté de la bride de vide élevée n'est pas admise. Installer la bride de vide élevé En cas de blocage subit du rotor, il faut que l'installation et la bride de vide élevée absorbent les couples engendrés. Pour fixer les pompes turbo à la bride de vide élevé, vous devrez utiliser exclusivement les composants énoncés ci-après. Les composants destinés à l'installation des pompes turbo sont des versions spéciales propres à Pfeiffer Vacuum. Rappelez-vous que le matériau de bride doit présenter une solidité minimum de 170 N/mm2 . DANGER Danger de mort - Fixation non autorisée Lors de la fixation des pompes sur une enceinte dotée de brides différentes de celles de la pompe, celles-ci peuvent se plier ou rompre lors du blocage abrupte du rotor. La combination de différents types de brides est strictement interdit. Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité pour l'ensemble des dommages découlant par un fixation non autorisée. AVIS Respecter les tolérances de forme sur la contre-bride ! Des inégalités sur la contre-bride côté exploitant peuvent entraîner des gauchissements dans le boîtier de la pompe, et ce même lors d'une fixation réglementaire. Des défauts d'étanchéité ou des modifications négatives des propriétés de fonctionnement peuvent en être la conséquence. Ne pas dépasser des écarts de planéité de 0,05 mm max. sur toute la surface. Fixation de brides ISO Lors de la fixation de brides de vide élevé en version ISO-KF ou ISO-K, une torsion risque de se produire - même si l'installation a été correctement réalisée - en cas de blocage subit du rotor. ● L'étanchéité de la bride de vide élevé n'en est pas compromise. Installation d’une bride ISO-K avec une bride ISO-K 14 Pour installer la jonction par brides précédemment, les composants suivants sont disponibles : ● le kit de fixation valide issu du programme des accessoires de Pfeiffer Vacuum ● Une grille de protection ou un pare-éclats sont optionels. Installation Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. Montez les brides au schéma et aux composants du kit de fixation. Utiliser le nombre nécessaire du 10 boulons agrafes à tête bombée. Serrez les boulons agrafes chacun en 3 étapes, selon un ordre de serrage croisé. Couple de serrage : 5, 15, 25 ±2 Nm Installation d’une bride ISO-F avec une bride ISO-F Les assemblages possibles pour l'installation ISO-F avec bride ISO-F sont : "Boulon à six pans et trou borgne", "Goujon fileté et trou borgne" et "Goujon fileté et perçage traversant". Les éléments suivants sont nécessaires : ● le kit de fixation valide issu du programme des accessoires de Pfeiffer Vacuum ● Une grille de protection ou un pare-éclats sont optionels. 1.5d Boulon à six pans avec trou borgne Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. Montez les brides au schéma et aux composants du kit de fixation. Utilisez le nombre requis de 8 vis à six pans à rondelle intercalaire. Pour un matériel de bridage avec une résistance >270 N/mm2, visser la vis à six pans à raison de 1,5 d dans le trou borgne. Serrez les boulons à six pans chacun en 3 étapes, selon un ordre de serrage croisé. Couple de serrage DN 100 : 5, 12, 22 ± 2 Nm 2.5d Goujon fileté et trou borgne Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. Montez les brides au schéma et aux composants du kit de fixation. Utilisez le nombre requis de 8 goujons filetés et écrous. Pour un matériel de bridage avec une résistance de 170 - 270 N/mm2, visser la vis à six pans à raison de 2,5 d dans le trou borgne. Serrez les écrous chacun en 3 étapes, selon un ordre de serrage croisé. Couple de serrage DN 100 : 5, 12, 22 ± 2 Nm Goujon fileté et perçage traversant Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. Montez les brides au schéma et aux composants du kit de fixation. Utilisez le nombre requis de 8 goujons filetés et écrous. Serrez les écrous chacun en 3 étapes, selon un ordre de serrage croisé. Couple de serrage DN 100 : 5, 12, 22 ± 2 Nm Installation de brides CF AVIS Maintien de la capacité d'étanchéification Tenez compte des consignes suivantes pour conserver la capacité d'étanchéification : Ne saisissez le joint qu'avec des gants. Vérifiez que les lèvres d'étanchéité sont intactes. Les assemblages possibles pour l'installation CF- avec bride CF sont : "Goujon fileté et trou borgne" et "Boulon à six pans et perçage traversant". Les éléments suivants sont nécessaires : 15 Installation ● le kit de fixation valide issu du programme des accessoires de Pfeiffer Vacuum ● Un joint cuivre ● Une grille de protection ou un pare-éclats sont optionels. Goujon fileté et trou borgne Si vous les utilisez : introduisez le pare-éclats ou la grille de protection dans la bride de vide élevé de la pompe turbo avec les talons de serrage vers le bas. Posez le joint exactement dans l'orifice tourné. Reliez les brides au moyen de 20 boulons filetés (M8) avec rondelles intercalaires et écrous, et serrez à un couple de 22 ±2 Nm selon un ordre de serrage circonférentiel. Pour finir, contrôlez le couple car un resserrage des vis pourrait être nécessaire en cas de fluage du matériel d'étanchéité. Boulon à six pans et perçage traversant Si vous les utilisez : introduisez le pare-éclats ou la grille de protection dans la bride de vide élevé de la pompe turbo avec les talons de serrage vers le bas. Posez le joint exactement dans l'orifice tourné. Reliez les brides au moyen de 20 boulons hexagonaux filetés (M8) avec rondelles intercalaires et écrous, et serrez à un couple de 22 ±2 Nm selon un ordre de serrage circonférentiel. Pour finir, contrôlez le couple car un resserrage des vis pourrait être nécessaire en cas de fluage du matériel d'étanchéité. 5.4 Raccordements à la pompe turbo Commande électronique d’entraînement Les pompes turbo avec commande électronique d'entraînement sont conçues pour différents domaines d'application. Pour cela, divers panneaux de raccordement peuvent être sélectionnés. ● TC 400 en variante standard ● TC 400 PB pour raccordement à Profibus ● TC 400 E74 similaire à Semi E74 ● TC 400 DN pour raccordement à DeviceNet Des consignes détaillées concernant fonction, configuration et fonctionnement avec le panneau de raccordement sont disponibles dans le manuel de l’utilisateur spécifique de la commande électronique d'entraînement concernée. Connecteur "remote" Une contre-fiche est contenue dans la livraison pour le raccord à 26 broches. Elle porte la désignation « remote » au niveau de la TC 400. Dans la contre-fiche, les raccords suivants sont pontés avec la tension d'alimentation (broche 1) et permettent ainsi le fonctionnement de la pompe turbo sans unité de commande ou télécommande supplémentaire: ● broche 2, autorisation de remise à l'air « oui » ● broche 3, pompe à moteur « on » ● broche 4, groupe de pompage « on » ● broche 14, priorité à la commande à distance Enfichez la contre-fiche dans le raccord « remote » au niveau de la TC 400 et fixez-la. 16 Installation ATTENTION Démarrage automatique Après pontage de la broches des contacts 1, 3, 4, 14 avec le raccord « remote » ou l'utilisation de la contre-fiche fournie et application de la tension d'alimentation, la pompe turbo s'active immédiatement. Allumez l'alimentation secteur de la pompe turbo juste avant le fonctionnement. Raccord accessoires 11 Y-Connector for Accessories 22 Il est possible de raccorder jusqu'à 4 appareils accessoires au niveau de la commande électronique d'entraînement TC 400. Des prises pour appareils M12 portant la désignation « accessory » sont disponibles à cet effet. Les raccords pour accessoires sont préconfigurés en usine. Si les appareils énumérés ci-dessous sont raccordés à l'aide du raccord préconfiguré pour vous, ceux-ci sont immédiatement prêts à fonctionner conformément aux réglages effectués en usine. Le raccordement d'autres accessoires est possible et requiert des réglages au niveau de la commande électronique d'entraînement. Pour raccorder deux appareils à un raccord pour accessoires, utilisez le répartiteur en Y (connecteur en Y) concerné du programme d'accessoires Pfeiffer Vacuum. Raccordement de l'adaptateur au raccord coloré rouge au niveau de la TC 400. Des réglages sont possibles via les interfaces de la TC 400 (remote, RS-485, Profibus ou DeviceNet). Raccord périphérique Raccordement avec connecteur en Y appareil accessoire préréglé accessory A1 accessory A2 accessory B1 accessory B2 Acc. A sur Y-1 Acc. A sur Y-2 Acc. B sur Y-1 Acc. B sur Y-2 Refroidissement par air Pompe primaire Vanne de remise à l'air Chauffage Vue d'ensemble des raccords d'accessoires préréglés en usine sur la TC 400 Raccorder le coté de vide primaire Recommandation : Comme pompe primaire, utilisez une pompe sèche ou une pompe rotative à palettes puisées dans la gamme Pfeiffer Vacuum. La pompe primaire doit générer une dépression de ≤ 5 hPa. DANGER Éléments électroconducteurs Danger de mort par électrocution. Le raccordement électrique est une opération réservée à des électriciens spécialisés, formés et autorisés en conséquence. Créer un état sans tension et assurer contre une remise en marche. Veiller à ce que le système soit suffisamment relié à la terre. AVERTISSEMENT Risques sanitaires engendrés par des gaz toxiques Les gaz processuels peuvent être dangereux pour la santé et/ou pour l'environnement. Vous devez dériver l'échappement de gaz de la pompe primaire de façon fiable ! Respectez toutes les recommandations de sécurité publiées par le fabricant du gaz. 17 Installation 20a V 20 20.1 20.2 20b Fig. 5: Raccordement de la pompe primaire 20 Raccord de vide primaire 20a Pompe primaire 20b Boîte à relais 20.1 Anneau de centrage 20.2 Anneau de serrage AVIS Conception du raccordement du vide primaire en cas de torsion soudaine de la pompe Lors de la fixation de brides de vide élevé en version ISO-KF ou ISO-K, une torsion risque de se produire - même si l'installation a été correctement réalisée - en cas de blocage subit du rotor. Minimiser les masses à installer directement au niveau de la pompe. Le cas échéant, raccorder d'abord des éléments de conduite flexibles au niveau de la pompe turbo. En cas de jonctions rigides entre les conduites : Installez un soufflet dans la conduite de raccordement pour amortir les vibrations. Raccordez la conduite de vide primaire avec les composants de la petite bride ou avec les raccords de flexibles. Ne réduisez pas la section libre offerte par la bride de vide primaire ! Le raccordement électrique de la pompe primaire a lieu via une boîte à relais. Enfichez la ligne de commande de l'accessoire dans le raccord pour accessoires correspondant au niveau de la TC 400 et vissez-la. La valeur prédéfinie pour la pompe primaire est « accessory A2 ». Mettez en œuvre l'alimentation électrique pour la boîte à relais conformément au manuel de l’utilisateur de l'accessoire. – Veuillez assurer une tension d'alimentation valide de la pompe primaire ! 18 Installation Refroidissement par air Les pompes turbo avec la commande électronique d'entraînement TC 400 (24 V CC) peuvent être exploitées jusqu'à une température ambiante de +35 °C avec refroidissement par air. 3a 3b 3c 3 Fig. 6: 3 3a Raccordement du refroidissement par air Partie inférieure de la pompe Refroidissement par air 3b 3c Vis à six pants creux Vis à tête conique Fixez le refroidissement par air Pfeiffer Vacuum au niveau des perçages prévus sur la pompe turbo à l'aide de deux vis. Enfichez la ligne de commande de l'accessoire dans le raccord pour accessoires correspondant au niveau de la TC 400 et vissez-la. La valeur prédéfinie pour le refroidissement par air est « accessory A1 ». Vanne de remise à l'air La vanne de remise à l'air de Pfeiffer Vacuum sert à remettre automatiquement la pompe à l'air après une mise hors tension ou une panne de courant. La pression d'entrée max. autorisée est de 150 kPa absolus. 18 17 17a Fig. 7: 18 Raccordement de la vanne de remise à l'air Joint annulaire 17 Vis de remise à l’air 17a Vanne de remise à l'air Dévissez la vis de remise à l’air, avec son joint annulaire, hors du raccord de remise à l'air. Vissez la vanne de remise à l'air avec la bague d'étanchéité. Enfichez la ligne de commande de l'accessoire dans le raccord pour accessoires correspondant au niveau de la TC 400 et vissez-la. La valeur prédéfinie pour la vanne de remise à l'air est « accessory B1 ». Le cas échéant, installez l'alimentation en gaz de ventilation (p. ex. gaz inerte) côté admission (G 1/8") de la vanne magnétique. Raccordement de gaz de balayage Pour protéger la pompe turbo par exemple en présence de procédés comprenant de la poussière ou du débit de gaz élevé, il faut la faire marcher avec un gaz de balayage. L'alimentation s'effectue via une vanne de gaz de balayage ou au choix avec un étran19 Installation glement de gaz de balayage sans commande. La commande de la vanne de gaz de balayage pour le raccord du gaz de balayage n'est pas préconfigurée dans la commande électronique d'entraînement et doit être paramétrée via les interfaces de cette dernière. La pression d'entrée max. autorisée est de 150 kPa absolus. ● En cas d'utilisation de la pompe avec plus de 50% du débit de gaz admissible, il faudra utiliser du gaz de balayage pour garantir le refroidissement du rotor. ● Le débit de gaz de balayage s'élève à 12-15 sccm pour la HiPace 700. Alimentation en gaz de balayage sans vanne de commande 16b 18 Fig. 8: 16 16 Raccordement du limiteur de gaz de balayage Vis de fermeture 16b Limiteur de gaz de balayage 18 Joint annulaire Dévissez la vis, avec son joint annulaire, hors du raccord de gaz de balayage. Dans le raccord de gaz de balayage, vissez l’étranglement de gaz de balayage avec le joint annulaire. Alimentation en gaz de balayage avec vanne de commande 16a 18 Fig. 9: 18 16 Raccordement de la vanne de gaz de balayage Joint annulaire 16 Vis de fermeture 16a Vanne de gaz de balayage Dévissez la vis, avec son joint annulaire, hors du raccord de gaz de balayage. Dans le raccord de gaz de balayage, vissez la vanne de gaz de balayage avec le joint annulaire. Enfichez la ligne de commande de l'accessoire dans un raccord libre sur le câble de raccordement ou l'adaptateur de l'électronique d'entraînement et serrez. Effectuez des réglages et du pilotages par les interfaces de la commande électronique d’entraînement. Installez l'alimentation en gaz de balayage (p. ex. gaz inerte) via un adaptateur de raccordement ou côté admission (G 1/8") de la vanne de commande. 20 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Mise en service En usine, les préréglages importants suivants ont été programmés fixes dans la commande électronique d’entraînement. ● Paramètre [P:027] Mode gaz: 0 = gazes lourdes ● Paramètre [P:700] Valeur de consigne temps d'accélération: 8 min ● Paramètre [P:701] Point de commutation de la vitesse de rotation : 80% de la vitesse nominale ● Paramètre [P:707] Valeur prédéfinie mode réglage de la vitesse : 65 % de la vitesse nominale ● Paramètre [P:708] Valeur prédéfinie puissance absorbée 34 % (on peut réduire seulement) ● Paramètre [P:720] Vitesse de remise à l'air remise à l'air retardée: 50% de la vitesse nominale ● Paramètre [P:721] Temps de remise à l’air: 3600 s Pour l'alimentation en gaz de balayage: ouvrez l'arrivée du gaz de balayage et contrôlez le débit. Établissez l'alimentation électrique pour le bloc d'alimentation. AVIS Risque de détruire la pompe En cas le mauvais mode Gaz sélectionné, le pomper des gaz avec masses moléculaires plus haute peut provoquer la destruction de la pompe. Veillez à ce que le mode Gaz soit correctement réglé. Avant d'utiliser des gaz présentant des masses molaires plus importantes (> 80), prévenez Pfeiffer Vacuum. Raccorder le bloc d’alimentation Les pompes HiPace 700 forment une unité fixe avec la commande électronique d'entraînement et le bloc d'alimentation. Le bloc d'alimentation est monté sur la pompe en usine et raccordé à l'électronique d'entraînement. La tension d'alimentation valide du bloc d'alimentation s'élève à 90 - 265 VAC, 50/60 Hz. ATTENTION Démarrage automatique Après pontage de la broches des contacts 1, 3, 4, 14 avec le raccord « remote » ou l'utilisation de la contre-fiche fournie et application de la tension d'alimentation, la pompe turbo s'active immédiatement. Allumez l'alimentation secteur de la pompe turbo juste avant le fonctionnement. 8 10 Fig. 10: Activation de l'alimentation secteur 8 Commande électronique d'entraînement 10 Unité de courant OPS 130 21 Utilisation AVERTISSEMENT Risque d'électrocution En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension. Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour pouvoir défaire le branchement à tout moment. Commandez le câble de raccordement séparément (voir "Accessoires"). Branchez le câble de raccordement dans le branchement sur le secteur AC in. Fixez le câble de raccordement à l'aide de l'étrier de maintien. Branchez le câble de raccordement sur le secteur. Une jonction sûre avec le fil de terre (PE) doit toujours être assurée (classe de protection I). Après avoir appliqué la tension secteur, la commande électronique d’entraînement exécute un contrôle automatique pour vérifier la tension d'alimentation. La turbopompe est mise en marche. 6.2 Modes d’exploitation Les modes d'exploitation suivants sont possibles : ● Exploitation sans unité de commande ● Utilisation avec la connexion "remote" ● Exploitation via une interface RS-485 et des appareils d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC ● Exploitation via bus de terrain 6.3 Description fonctionelle AVERTISSEMENT Danger engendré par une bride de vide élevé ouverte Le rotor de la pompe turbo tourne à grande vitesse. Si la bride de vide élevée est ouverte, vous courez le risque de vous couper ; la chute d'objet entraîne un risque de destruction de la pompe. Ne mettez jamais la pompe en service avec la bride de vide élevé ouverte. Utilisation sans unité de commande ATTENTION Démarrage automatique Après pontage de la broches des contacts 1, 3, 4, 14 avec le raccord « remote » ou l'utilisation de la contre-fiche fournie et application de la tension d'alimentation, la pompe turbo s'active immédiatement. Allumez l'alimentation secteur de la pompe turbo juste avant le fonctionnement. Pour l'utilisation sans unité de commande, il faut que le connecteur D-Sub 26 pôles se trouve dans le raccordement "remote" de la TC 400. Activez l'alimentation électrique par l'interrupteur S1 situé contre le bloc d'alimentation. Après avoir appliqué la tension de service, la TC 400 exécute un contrôle automatique pour vérifier la tension d'alimentation. Après que la TC 400 a exécuté un contrôle automatique avec succès, la pompe turbo et la pompe primaire - si présente - entrent en service. 22 Utilisation Utilisation avec la connexion "remote" Une télécommande est possible, via le raccord D-Sub 26 pôles comportant la désignation "remote" sur la commande électronique. Tenez compte des documents suivants pour l'exploitation avec télécommande: ● manuel de l’utilisateur « commande électronique d'entraînement TC 400 » Utilisation avec DCU ou HPU En cas d'exploitation avec un appareil d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum, tenez compte des documents suivants : ● Manuel de l’utilisateur du « DCU » ● Manuel de l’utilisateur du « HPU » ● Manuel de l’utilisateur « commande électronique d'entraînement TC 400 » Enclenchez l'alimentation électrique par l'interrupteur S1 situé contre le bloc d'alimentation ou contre la DCU 400 . Réglages possibles via la connexion RS-485 avec DCU, HPU ou PC. Exploitation avec bus de terrain Le raccordement et l'exploitation de pompes turbo Pfeiffer Vacuum dans un système de bus de terrain mis à disposition par le client est possible pour les commandes électroniques d'entraînement avec panneau de bus de terrain correspondant. Tenez compte des documents suivants pour l'exploitation avec bus de terrain: ● Manuel de l’utilisateur pour la commande électronique d'entraînement avec panneau de raccordement correspondant 6.4 Surveillance de l’état de fonctionnement Affichage du mode d’utilisation par les diodes Diodes sur la platine frontale de la commande électronique d’entraînement indiquent des états de service fondamentaux de la pompe turbo. Seules la DCU et la HPU permettent un affichage différencié entre les erreurs et les avertissements. LED Vert Jaune Rouge Surveillance de la température Symbole Allumage Clignote Clignotement continu Off (1/12 s actif) (1/2 s actif) alimentation en ten- Groupe de pomsion insuffisante page "ARRÊT" Vitesse ≤ 1Hz aucun avertissement aucun défaut Groupe de pompage "ARRÊT" Vitesse > 1 Hz Allumage continu On Groupe de pompage "MARCHE" Avertissement Erreur Une réduction de la puissance d'entraînement a lieu si la température de cette dernière ou du carter est excessive. Cela peut provoquer le franchissement par défaut du point de commutation de la vitesse de rotation et, de ce fait, la coupure de la pompe turbomoléculaire. 23 Utilisation 6.5 Arrêt et remise à l’air Arrêt Après la mise hors circuit, il faut remettre la pompe à l'air pour éviter qu'elle ne soit salie par des particules refluant en provenance de la zone de vide primaire. Fermez le vide primaire : Éteignez la pompe primaire ou refermez la vanne de vide primaire. Éteignez la pompe turbo contre l'appareil de commande ou par télécommande. Mise à l'air (du possibilités, voir ci-après) Remise à l’air Remise à l'air manuelle Dans le raccord de remise à l'air équipant la pompe turbo, imprimez environ un tour à la vis de remise à l'air (comprise dans les fournitures). Remise à l'air avec vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum Autorisez la remise à l'air avec la vanne de remise à l'air via les fonctions de la commande électronique d'entraînement. Réglages possibles via la connexion RS-485 avec DCU, HPU ou PC. Vitesse de remise à l'air Coupure du groupe de pompage Panne de secteur1) 50% de la vitesse nominale La vanne de remise à l'air s'ouvre La vanne de remise à l'air s'ouvre pendant 3600 s (1 h, réglage-usine) pendant 3600 s (1 h, réglage-usine) 1)Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt. Consignes fondamentales pour la remise à l’air rapide Remise à l’air du récipient en deux étapes. Pour connaître les détails afférents aux solutions personnalisées, consultez Pfeiffer Vacuum. Remise à l'air avec une vitesse de montée en pression de max. 15 hPa/s pendant 20 secondes. – La section de passage de la vanne, permettant un débit de remise à l'air de 15 hPa/ s, doit être harmonisée avec la taille du récipient. – En présence de petits récipients, utilisez la vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum. Ensuite, remettez à l'air avec une vanne de remise supplémentaire d'une taille quelconque. 24 Entretien / Remplacement 7 Entretien / Remplacement AVERTISSEMENT Contamination de pièces et de moyens d'exploitation par les fluides pompés Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé. Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses. Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance. AVIS Exclusion de responsabilité Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité des dégâts, perturbations de service, dommages corporels et dégâts matériels imputables à une maintenance réalisée de façon inexperte. Les recours en responsabilité et en garantie deviennent irrecevables. 7.1 Intervalles de maintenance et compétences ● Nettoyez les surfaces extérieures de la pompe turbo avec un chiffon ne peluchant pas, additionné d'un peu d'alcool industriel. ● Remplacez vous-même le réservoir de fluide d’exploitation et la commande électronique d'entraînement. ● Changez le réservoir de fluide d’exploitation au moins tous les 4 ans. ● Changez les paliers de la pompe turbo au moins tous les 4 ans. – Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum. ● S'il faut raccourcir les intervalles de maintenance en présence de contraintes extrêmes ou de procédés non purs, déterminez-les avec Pfeiffer Vacuum. ● Concernant tous les autres travaux d'entretien et de réparation, veuillez vous adresser à votre service après-vente Pfeiffer Vacuum compétent. 7.2 Remplacer le bloc d’alimentation intégré Éteignez la pompe à vide, ramenez-la à la pression atmosphérique et laissez-lui le temps de refroidir. Séparez le cordon électrique du bloc d’alimentation intégré. Le cas échéant, déposez la pompe à vide de l'installation. Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine. 10e 10 10.1 8 Fig. 11: Démontage / Montage de l'unité de courant intégrée OPS 130 25 Entretien / Remplacement 8 Commande électronique d'entraînement TC 400 10.1 Fiche de raccordement 10 Unité de courant OPS 130 10e Vis à tête BTR Dévissez le connecteur 10.1 de l'électronique de commande et retirez-lui. Posez la pompe turbo sur la bride de vide élevé fermée. Dévissez la vis à six pans creux 10e de la fixation du bloc d'alimentation. Retirez le bloc d'alimentation de la pompe. Réalisez le montage du bloc d'alimentation intégré dans l'ordre inverse. 7.3 Remplacer le réservoir de fluide d’exploitation AVERTISSEMENT Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé. Le réservoir de fluide d’exploitation et certaines parties de la pompe peuvent contenir des substances toxiques provenant des fluides pompés. Éliminez les réservoirs de fluide d’exploitation en respectant la législation en vigueur. Fiche de données de sécurité sur demande ou à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.com Prenez des précautions de sécurité correspondantes pour empêcher de créer des risques sanitaires ou de polluer l'environnement en cas de contamination. Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance. Remplissage du fluide d’exploitation Le réservoir contient une quantité suffisante de fluide d’exploitation. Ne rajoutez pas de fluide d’exploitation supplémentaire. Éteignez la pompe à vide, ramenez-la à la pression atmosphérique et laissez-lui le temps de refroidir. Le cas échéant, déposez la pompe à vide de l'installation. Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine. Posez la pompe turbo sur la bride de vide élevé fermée. Démonter l'unité de courant intégrée selon le mode d'emploi. 55 7 6 73 7a Fig. 12: Montage / Démontage du réservoir du fluide d’exploitation 26 15 Entretien / Remplacement 6 7 Couvercle d’obturation Réservoir du fluide d’exploitation 7a 15 Bâtonnet Porex Point d’injection 55 73 Vis à six pans creux Joint torique Dévissez les vis à six pans creux (3x) du couvercle d'obturation situé sous la pompe turbo. Retirez le couvercle d'obturation. Attention au joint torique. Retirez le réservoir du fluide d'exploitation du châssis-support de palier. A l'aide d'une pincette, enlevez les bâtonnets Porex (9 bâtonnets). A l'aide d'un chiffon propre ne peluchant pas, enlevez les impuretés présentes contre la pompe turbo et le couvercle d'obturation. N'utilisez aucun liquide de nettoyage ! Mettez des bâtonnets Porex neufs (9 bâtonnets) à l'aide d'une pincette. Introduisez le nouveau réservoir du fluide d'exploitation avec la coté en feutre en direction d’ écrou de barbotage dans le châssis-support de palier de la pompe turbo. Pour pompes turbo HiPace™ en peut introduire le réservoir du fluide d’exploitation jusq’au l’arrêt dans le châssis-support de palier. Vissez le couvercle d'obturation avec le joint torique nouveaux. – Couple de serrage : 2.5 Nm. 7.4 Remplacer la commande électronique d’entraînement AVIS Détériorations au niveau de la pompe et de l'entraînement Même après extinction de l'alimentation secteur, la pompe qui continue de tourner à vide fournit de l'énergie électrique. Il existe un risque de court-circuit à la masse en cas de séparation prématurée de la pompe et de la commande électronique d'entraînement. Ne débranchez jamais la commande électronique d'entraînement de la pompe tandis qu'elle se trouve reliée au secteur ou que le rotor tourne. Paramètres d'exploitation de la commande électronique d’entrainement Les pièces de rechange livrées se trouvent toujours sur le paramétrage d'exploitation réglé en usine. L’utilisation d’un HPU offre la possibilité d’assurer et de réemployer une série de paramètre existante. Réglez à nouveau les paramètres d'application modifiés. Pour cela, respectez le manuel de l’utilisateur "Commande électronique d’entrainement". 8 57 8 57 Commande électronique d’entrainement Vis à 6 pans creux Fig. 13: Montage / Démontage de la TC 400 N'appliquez aucune contrainte mécanique á la commande électronique d'entraînement. Éteignez la pompe à vide, ramenez-la à la pression atmosphérique et laissez-lui le temps de refroidir. Ne débranchez la pompe de la commande électronique qu'après l'arrêt complet de la pompe et avoir coupé la tension d'alimentation. 27 Entretien / Remplacement Le cas échéant, déposez la pompe à vide de l'installation. Dévissez les vis à six pans creux (3x) de la commande électronique d'entraînement. Extrayez la commande électrique d’entrainement de la pompe. Vissez une nouvelle commande électronique d'entraînement contre la pompe turbo puis raccordez-la. – Couple de serrage: 2.5 Nm. Valeurs prédéfinies de vitesse La vitesse nominale caractéristique d'une pompe turbo est réglée en usine dans la commande électronique d'entraînement. Après un remplacement de la commande électronique d'entraînement, ou un changement pour un autre type de pompe, il faut valider la valeur de consigne prédéfinie de la vitesse nominale. Cette procédure fait partie intégrante du système de sécurité redondant permettant d’éviter les survitesses. HiPace Confirmation vitesse nominale [P:777] 300 400 / 700 / 800 1000 Hz 820 Hz Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe. Alternative : Si aucun appareil d'affichage et de commande n'est disponible, utiliser le " Speed Configurator " compris dans la livraison de pièces de rechange. 28 Mise hors service 8 Mise hors service 8.1 Immobilisation prolongée AVERTISSEMENT Contamination de pièces et de moyens d'exploitation par les fluides pompés Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé. Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses. Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance. Si la pompe turbo doit être immobilisée pour une durée supérieure à 1 an : Le cas échéant, déposez la pompe à vide de l'installation. Changez le réservoir de fluide d’exploitation. Obturez la bride de vide élevé équipant la pompe turbo. Faites le vide dans la pompe turbo par le biais de la bride de vide primaire. Via le raccord de remise à l'air, remettez la pompe turbo à l'air avec de l'air exempt d’huile et sec ou un gaz inerte. Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine. Obturez les autres orifices avec les couvercles de protection correspondants. Posez la pompe verticale sur ses pieds en caoutchouc. Ne stockez la pompe que dans des locaux fermés, à une température comprise entre -25 et +55°C. Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive: enfermez la pompe dans un sac en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet de produit de dessiccation. 8.2 Remise en service AVIS Remise en service Sur un matériel ne servant pas, le fluide d’exploitation de la pompe turbo est utilisable 4 ans maximum. Avant la remise en service consécutive à un remisage de 4 ans ou plus, effectuez les travaux suivants: Remplacez le réservoir de fluide d’exploitation Faites changer les roulements Tenez compte des consignes de maintenance puis prévenez Pfeiffer Vacuum Vérifiez si la pompe turbo présente des salissures et si elle est humide. Nettoyez les surfaces extérieures de la pompe turbo avec un chiffon ne peluchant pas, additionné d'un peu d'alcool industriel. Le cas échéant, confiez le nettoyage complet de la pompe turbo au SAV Pfeiffer Vacuum. Le cas échéant, faites changer les paliers. Tenez compte faisant du temps de marche total. Changez le réservoir de fluide d’exploitation. Installation et mise en service conformément au manuel de l’utilisateur. 29 Mise hors service 8.3 Mise au rebut Les produits et leurs composants internes (composants mécaniques ou électriques, fluides d’exploitation, etc...) peuvent polluer l’environnement. Veuillez prendre les précautions nécessaires, en conformité avec la réglementation locale, pour éliminer les risques sanitaires et éviter toute pollution de l’environnement. 30 Dysfonctionnements 9 Dysfonctionnements Si des dysfonctionnements se produisent au niveau de la pompe, vous trouverez dans le tableau des causes possibles et des instructions pour y remédier. 9.1 Dépannage Problème Causes possibles La pompe ne démarre pas, aucune des LED de la TC 400 ne s'allume ● Alimentation en courant interrompue Dépannage Vérifiez les contacts à fiches au niveau de l'unité de courant Vérifiez les fils d'arrivée de l'unité de courant Contrôlez la tension de sortie (24 / 48 VDC) au niveau du raccord « DC out » de l'unité de courant Contrôlez les contacts à fiches au niveau de la TC ● Tension de service incorrecte Appliquez une tension de service correcte Tenez compte de la plaque signalétique ● Aucune tension de service n'est appliquée Appliquez la tension de service ● TC 400 défectueuse TC 400 remplacer Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum ● Dysfonctionnement de l'unité de puissance Remplacer l'unité de courant intégrée La pompe ne démarre pas ; la LED ● En cas d'exploitation sans unité de Connectez les broches 1-3, 1-4 ou 1-14 au raccommande : cord distant verte sur la TC 400 clignote Broches 1-3, 1-4 ou 1-14 non connectées au Enfichez la contre-fiche comprise dans la livrairaccord distant son au niveau du raccord distant. ● En cas de fonctionnement via une interface Retirez le pont au niveau du raccord distant RS485 : Le pont au niveau de la broche 1-14 Retirez la contre-fiche du raccord distant. empêche les ordres de réglage ● Chute de tension dans le câble trop élevée Utilisez un câble approprié Vérifiez le fonctionnement et l'adéquation de la La pompe n'atteint pas la vitesse nomi- ● Pression de vide primaire trop élevée pompe primaire nale dans le temps de démarrage im● Fuite Recherchez la fuite parti Vérifiez les joints et les fixations des brides Éliminez les défauts d'étanchéité ● Charge de gaz trop élevée Réduisez l'arrivée de gaz processuel ● Résistance mécanique du rotor, paliers dé- Vérifiez si les paliers font du bruit fectueux Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum ● Temps de démarrage réglé trop court Réglez un temps de démarrage plus long via DCU, HPU ou le PC Réduisez la charge thermique ● Surcharge thermique : – aération insuffisante – Garantissez une arrivée d'air suffisante – pression de vide primaire trop élevée – Réduisez la pression de vide primaire – température ambiante trop élevée – Adaptez les conditions ambiantes La pompe n'atteint pas la pression fi- ● La pompe est encrassée Dégazer la pompe Nettoyage en cas de fort encrassement nale – Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum ● Le récipient, les conduites ou la pompe ne Recherchez la fuite en partant du récipient sont pas étanches Éliminez les défauts d'étanchéité Bruits de fonctionnement inhabituels ● Les roulements sont endommagés Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum ● Rotor endommagé Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum ● Pare-éclats ou une grille de protection mal Corrigez l'assise du pare-éclats ou de la grille de fixé(e) protection Respectez les consignes d'installation La diode rouge sur la TC 400 est allu- ● Défaut groupé Effectuez un Reset en coupant puis en rallumant le secteur. mée Reset via la broche 13 dans le raccordement « REMOTE » Affichage différencié des défauts possible via le raccord « RS 485 »1) Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum 1)Si aucun appareil de commande Pfeiffer Vacuum n'est disponible, informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum. 31 Service après-vente 10 Service après-vente Pfeiffer Vacuum vous propose un service après-vente haut de gamme ! ● Changement de fluide d’exploitation et de paliers sur place, grâce à notre SAV de terrain (FieldService) ● Maintenance / Réparation dans un ServiceCenter ou ServicePoint proche de chez vous ● Remplacement rapide par des produits d'échange standard pratiquement neufs ● Conseils sur la solution la plus avantageuse et la plus rapide Informations détaillées, adresses et formulaires à l'adresse suivante : www.pfeiffer-vacuum.com (Service). Maintenance et réparation au ServiceCenter Pfeiffer Vacuum Pour que le traitement soit rapide et sans accrocs, il faut suivre la procédure suivante : Téléchargez les formulaires "Service Request" et "Declaration on Contamination".1) Remplissez le formulaire "Service Request" et renvoyez-nous le par fax ou mail à l'adresse de votre Pfeiffer Vacuum service après-vente compétent. A cet envoi, joignez la confirmation "Service" donnée par Pfeiffer Vacuum. Remplissez la déclaration sur la contamination et joignez-la obligatoirement à l'envoi. Démontez tous les accessoires. Vidangez le fluide d’exploitation (vaut pour les pompes turbo d'une puissance d'aspiration > 800 l/s) Laissez la commande électronique d'entraînement contre la pompe. Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine. Envoyer la pompe ou l'appareil dans son emballage d'origine si possible. Envoi de pompes ou appareils contaminés Les appareils contaminés (microbiologiquement, substances explosives ou radioactives) sont systématiquement refusés. Les "substances toxiques” sont les substances et composés chimiques visés dans la version actuellement applicable de l'Ordonnance sur les matières dangereuses. Sur les pompes contaminées et en l'absence de déclaration sur la contamination, Pfeiffer Vacuum réalise une décontamination aux frais du client. Neutralisez la pompe en la rinçant avec de l'azote ou de l'air sec. Obturez toutes les ouvertures pour les rendre étanches à l'air. Conditionnez la pompe ou l'appareil sous une feuille de protection adaptée et scellée. Ne renvoyez la pompe / l'appareil qu'uniquement dans un conteneur de transport approprié et robuste, en respectant les conditions de transport applicables. Appareils de rechange Les appareils de rechange livrés se trouvent toujours sur le paramétrage d'exploitation standard réglé en usine. Si votre application fonctionne sur un paramétrage modifié, vous devrez régler à nouveau ces appareils sur ce paramétrage. Commandes de service après-vente Toutes les commandes de service après-vente sont exécutées exclusivement selon nos conditions de réparation applicables aux appareils et composants sous vide. 1) 32 Formulaires à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.com (en anglais) Pièces de rechange HiPace 700 11 Pièces de rechange HiPace 700 Pos. Désignation N° de référence Remarques Quantité Quantité commandée 7 8 PM 143 452 -T voir la plaque signalétique y compris bâtonnets Porex dépendant du panneau de raccordement y compris connecteur 10.1 1 1 10 Réservoir du fluide d'exploitation Commande électronique d'entraînement TC 400 Bloc d’alimentation OPS 130 PM 061 683 -X 1 7 8 10 10.1 Pour toute commande d'accessoires ou de pièces détachées, veuillez indiquer en plus le numéro de modèle de la plaque signalétique. 33 Accessoires 12 Accessoires Désignation DN 160 ISO-K DN 160 CF-F DN 160 ISO-F Display Control Unit, DCU 002 PM 061 348 -T HPU 001, Handheld Programming Unit PM 051 510 -T Ensemble d'accessoires pour HPU - Bloc d'alimentation, logiciel et câble PC PM 061 005 -T Câble de secteur et fiche à contact de protection, IEC prise de courant (droit), P 4564 309 ZA 230 V CA, 3 m Câble de secteur et fiche UL, IEC prise de courant (droit), 115 V CA, 3 m P 4564 309 ZE Câble de secteur et fiche UL, IEC prise de courant, 208 V CA, 3 m P 4564 309 ZF Vanne de remise à l'air blindée, 24 V CC, G 1/8" pour le raccord à TC 400/1200 PM Z01 291 et TM 700 TTV 001, cartouche siccative pour la remise à l'air de pompes turbo PM Z00 121 Bride de remise à l'air DN 10 KF-G1/8" PM 033 737 -T Raccord d'orientation G 1/8" PM 143 877 -T Boîte à relais pour pompe primaire, 1 phase 5 A pour TC 400/1200 et TM 3000 PM 061 374-T Boîte à relais pour pompe primaire, 1 phase 20 A pour TC 400/1200, TCP 350 PM 061 375 -T et TM 3000 TVV 001, vanne de sécurité de vide primaire, 230 V CA PM Z01 205 TVV 001, vanne de sécurité de vide primaire, 115 V CA PM Z01 206 Vanne de gaz de balayage, blindée, pour HiPace 300, 400 et 700 avec TC 400 PM Z01 312 Étranglement de gaz de balayage pour HiPace 300, 400 et 700 PM Z01 317 Anneau de centrage avec revêtement multifonctions, DN 160 ISO-K/-F PM 016 216 -U Anneau de centrage avec revêtement multifonctions et grille de protection in- PM 016 218 -U tégré, DN 160 ISO-K, DN 160 ISO-F Anneau de centrage avec revêtement multifonctions et pare-éclats intégré, DN PM 016 217 -U 160 ISO-K/-F Grille de protection pour pompes turbo, DN 160 CF-F Pare-éclats pour pompes turbo, DN 160 CF-F Amortisseur pour HiPace 700, DN 160 ISO-K PM 006 492 -X Amortisseur pour HiPace 700, DN 160 CF-F Convertisseur USB sur RS-485 PM 061 207 -T Câble d'interface, M12m/M12, 3 m PM 061 283 -T Câble d'interface, 3 m, M12, droite, 90° PM 061 791 -T Connecteur en Y, M12 pour RS-485 P 4723 010 Connecteur en Y M12 pour accessoires P 4723 012 Contre-fiche distante, TC 400/1200, avec ponts PM 061 378 -X Adaptateur de commande à distance pour RS-485 PM 061 649 -T Câble d'interface RJ 45 à M12 pour HiPace, 3 m PM 051 726 -T Câble de rallonge pour accessoires M12 sur M12 PM 061 747 -T Vanne de remise à l'air en cas de panne de courant, blindée, 24 V CC, G 1/8", PM Z01 331 pour raccordement à TC 400, TM 700 Câble adaptateur HiPace-ACP PM 071 142 -X Raccord d'orientation G 1/8" PM 016 787 -T Bride à vis, DN 16 ISO-KF, G 1/8'' PM 016 780 -T Raccord instantané à vis pour tuyau 6 mm, G 1/8" PM 016 781 -T Raccord instantané à vis pour tuyau 8 mm, G 1/8" PM 016 782 -T Embout cannelé pour 9 mm tuyau, G 1/8" PM 016 783 -T Kit de fixation pour HiPace 700, DN 160 ISO-K, avec anneau de centrage re- PM 016 375 -T couvert et boulons-agrafes à tête bombée Kit de fixation pour HiPace 700, DN 160 ISO-K, avec anneau de centrage re- PM 016 377 -T couvert, grille de protection et boulons-agrafes à tête bombée Kit de fixation pour HiPace 700, DN 160 ISO-K, avec anneau de centrage re- PM 016 376 -T couvert, pare-éclats et boulons-agrafes à tête bombée Kit de vis hexagonales pour brides avec perçage traversant, DN 160 CF-F Kit de goujons filetés pour brides avec trou fileté, DN 160 CF-F Kit de goujons filetés pour brides avec perçage traversant, DN 160 CF-F Kit de fixation pour HiPace 700, DN 160 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert et boulons à six pans Kit de fixation pour HiPace 700, DN 160 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, grille de protection et boulons à six pans Kit de fixation pour HiPace 700, DN 160 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, pare-éclats et boulons à six pans PM 061 348 -T PM 051 510 -T PM 061 005 -T P 4564 309 ZA PM 061 348 -T PM 051 510 -T PM 061 005 -T P 4564 309 ZA P 4564 309 ZE P 4564 309 ZF PM Z01 291 P 4564 309 ZE P 4564 309 ZF PM Z01 291 PM Z00 121 PM 033 737 -T PM 143 877 -T PM 061 374-T PM 061 375 -T PM Z00 121 PM 033 737 -T PM 143 877 -T PM 061 374-T PM 061 375 -T PM Z01 205 PM Z01 206 PM Z01 312 PM Z01 317 PM Z01 205 PM Z01 206 PM Z01 312 PM Z01 317 PM 016 216 -U PM 016 218 -U 34 PM 016 217 -U PM 016 339 PM 016 318 PM 006 493 -X PM 061 207 -T PM 061 283 -T PM 061 791 -T P 4723 010 P 4723 012 PM 061 378 -X PM 061 649 -T PM 051 726 -T PM 061 747 -T PM Z01 331 PM 061 207 -T PM 061 283 -T PM 061 791 -T P 4723 010 P 4723 012 PM 061 378 -X PM 061 649 -T PM 051 726 -T PM 061 747 -T PM Z01 331 PM 071 142 -X PM 016 787 -T PM 016 780 -T PM 016 781 -T PM 016 782 -T PM 016 783 -T PM 071 142 -X PM 016 787 -T PM 016 780 -T PM 016 781 -T PM 016 782 -T PM 016 783 -T PM 016 691-T PM 016 693-T PM 016 735-T PM 016 460 -T PM 016 462 -T PM 016 461 -T Accessoires Désignation Kit de fixation pour HiPace 700, DN 160 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert et goujons filetés Kit de fixation pour HiPace 700, DN 160 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, grille de protection et goujons filetés Kit de fixation pour HiPace 700, DN 160 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, pare-éclats et goujons filetés DN 160 ISO-K DN 160 CF-F DN 160 ISO-F PM 016 465 -T PM 016 467 -T PM 016 466 -T 35 Caractéristiques techniques et des dimensions 13 Caractéristiques techniques et des dimensions 13.1 Généralités Bases des caractéristiques techniques des pompes turbo de Pfeiffer Vacuum: ● Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5 ● ISO 21360; 2007: « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puissance de pompes à vide - Description générale » ● ISO 5302; 2003: « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesurage des caractéristiques fonctionnelles » ● Pression finale : avec dôme de prise de vapeur teste après 48 h d'étuvage ● Taux de fuite intégral: avec concentration de l'hélium à 100 %, durée de mesure de 10 s ● Niveau de pression acoustique: distance par rapport à la pompe 1 m 13.2 Caractéristiques techniques Paramètres HiPaceTM 700 Bride de raccordement (entrée) DN 160 ISO-K Bride de raccordement (sortie) DN 25 ISO-KF/ G 1/4" Débit pour Ar 665 l/s Débit pour H2 555 l/s Débit pour He 655 l/s 685 l/s Débit pour N2 Taux de compression pour Ar > 1 · 1011 Taux de compression pour H2 4 · 105 Taux de compression pour He 3 · 107 Taux de compression pour N2 > 1 · 1011 Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar 1 hPa l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour He 3 hPa l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour H2 5,5 hPa l/s 1,5 hPa l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2 Vide primaire max. pour Ar 9 hPa Vide primaire max. pour H2 5 hPa Vide primaire max. pour He 8 hPa 8 hPa Vide primaire max. pour N2 Temps d'accélération 5 min Pression limite avec OnTool DryPumpTM < 1 · 10-7 hPa Vitesse â± 2 % 49200 min-1 Vitesse variable 65-100 % Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point de re- 120/49200 W/min-1 père A Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point de re- 120/42000 W/min-1 père B Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point de re- 120/49200 W/min-1 père C Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point de re- 120/42000 W/min-1 père D Caractéristique puissance au mode de gaz 2, point de re- 120/49200 W/min-1 père E Caractéristique puissance au mode de gaz 2, point de re- 120/42000 W/min-1 père F Niveau de pression acoustique ≤ 50 dB (A) Humidité relative de l'air 5-85, sans condensation % Type de protection IP 30 Pression d'entrée max. pour vanne de remise à l'air/gaz 150 kPa de balayage Puissance d'entraînement max. 120 W 36 HiPaceTM 700 HiPaceTM 700 DN 160 CF-F DN 25 ISO-KF/ G 1/4" 665 l/s 555 l/s 655 l/s 685 l/s > 1 · 1011 4 · 105 3 · 107 > 1 · 1011 1 hPa l/s 3 hPa l/s 5,5 hPa l/s 1,5 hPa l/s 9 hPa 5 hPa 8 hPa 8 hPa 5 min < 5 · 10-10 hPa 49200 min-1 65-100 % 120/49200 W/min-1 DN 160 ISO-F DN 25 ISO-KF/ G 1/4" 665 l/s 555 l/s 655 l/s 685 l/s > 1 · 1011 4 · 105 3 · 107 > 1 · 1011 1 hPa l/s 3 hPa l/s 5,5 hPa l/s 1,5 hPa l/s 9 hPa 5 hPa 8 hPa 8 hPa 5 min < 1 · 10-7 hPa 49200 min-1 65-100 % 120/49200 W/min-1 120/42000 W/min-1 120/42000 W/min-1 120/49200 W/min-1 120/49200 W/min-1 120/42000 W/min-1 120/42000 W/min-1 120/49200 W/min-1 120/49200 W/min-1 120/42000 W/min-1 120/42000 W/min-1 ≤ 50 dB (A) 5-85, sans condensation % IP 30 150 kPa ≤ 50 dB (A) 5-85, sans condensation % IP 30 150 kPa 120 W 120 W Caractéristiques techniques et des dimensions Paramètres HiPaceTM 700 HiPaceTM 700 HiPaceTM 700 Tension de service Tension de service bloc d'alimentation Taux de fuite intégral Puissance absorbée maximale Consommation de courant maximale Orientation de montage Raccordement de remise à l'air Poids Type de refroidissement, standard Type de refroidissement, en option Champ magnétique environnant admissible Interfaces 48 (± 5 %) V CC 90-265 V CA < 1 · 10-7 hPa l/s 130 W 2,5 A en toute position G 1/8" 11,7 kg Convection Air 6 mT RS-485, Remote 48 (± 5 %) V CC 90-265 V CA < 1 · 10-7 hPa l/s 130 W 2,5 A en toute position G 1/8" 17,6 kg Convection Air 6 mT RS-485, Remote 48 ± 5 % V CC 90-265 V CA < 1 · 10-7 hPa l/s 130 W 2,5 A en toute position G 1/8" 12,3 kg Convection Air 6 mT RS-485, Remote 37 Caractéristiques techniques et des dimensions 13.3 Dimensions H DN 160 ISO-K 59 16.7° 93 Ø 208 212 275.5 117 130 148 181 F SG 179.5 30° 131 DN 25 ISO-KF F SG 145.5 201 Fig. 14: HiPace 700, DN 100 ISO-K DN 160 CF-F H 59 16.7° 93 224 287.5 131 F Ø 208 1 17 130 160 F SG 191.5 30° 193 DN 25 ISO-KF SG 145.5 201 Fig. 15: HiPace 700, DN 100 CF-F DN 160 ISO-F H 59 16.7° SG 145.5 201 Fig. 16: HiPace 700, DN 100 ISO-F 38 179.5 212 275.5 F Ø 208 93 1 17 130 F 131 SG 148 30° 181 DN 25 ISO-KF Déclaration de conformité à la directive CE: ● Machines 2006/42/CE (Annexe II, No. 1 A) Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous répond à toutes les dispositions applicables de la directive européenne sur les machines 2006/42/CE. En outre, ce produit répond à toutes les dispositions applicables de la directive européenne sur la « Compatibilité électromagnétique » 2004/108/CE. Le responsable de la compilation des documents techniques est M. Jörg Stanzel, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. HiPace 700 Directives appliquées, normes harmonisées et normes nationales appliquées: DIN EN ISO 12100 : 2011-03 DIN EN 1012-2 : 1996 DIN EN 61010-1 : 2002 Signatures: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (M.Bender) Directeur (Dr. M. Wiemer) Directeur CE/2011 Vacuum solutions from a single source Pfeiffer Vacuum stands for innovative and custom vacuum solutions worldwide, technological perfection, competent advice and reliable service. Complete range of products From a single component to complex systems: We are the only supplier of vacuum technology that provides a complete product portfolio. Competence in theory and practice Are you looking for a perfect vacuum solution? Please contact us Benefit from our know-how and our portfolio of training opportunities! We can support you with your plant layout and provide first-class on-site-service worldwide. Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters • Germany T +49 6441 802-0 [email protected] www.pfeiffer-vacuum.com ">
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