Pfeiffer Venting valve Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
VANNE DE REMISE À L'AIR
Cher Client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvel accessoire
Pfeiffer Vacuum vous donnera entière satisfaction pour votre application, de par sa
conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme
de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de
produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. En capitalisant sur notre
expertise, nous avons développé une multitude de compétences qui contribuent à la sécurité
et à l’efficacité de mise en œuvre de nos produits.
Nous sommes convaincus que notre produit sera à la hauteur de vos attentes : une solution
efficace et fonctionnelle pour votre application, sans perturber votre activité.
Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois.
Pour toute question ou suggestion, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse
[email protected].
Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/18
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Public visé
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
6
6
6
6
6
6
6
6
7
7
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Utilisation conforme
2.5 Utilisation abusive prévisible
2.6 Qualification personnelle
8
8
8
9
9
9
9
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.2 Contenu de la livraison
10
10
10
4
Installation
11
5
Fonctionnement
13
6
Accessoires
14
7
Caractéristiques techniques et dimensions
7.1 Fiche technique
7.2 Dimensions
15
15
16
Déclaration de conformité
17
3/18
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
4/18
Documents applicables
Autocollants sur le produit
Abréviations utilisées dans ce document
Réglages des paramètres dans l'unité de commande électronique de la
pompe turbomoléculaire
Paramètres d’usine pour la ventilation retardée dans les pompes turbomoléculaires
Accessoires en option
Fiche technique de la vanne de remise à l'air
6
7
7
13
13
14
15
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Position des autocollants sur le produit
Aménagement de la vanne de remise à l'air
Exemple : raccordement de la vanne de remise à l'air sur HiPace et TC 110
Exemple : raccordement de la vanne de remise à l'air sur HiPace et TC 400
Dimensions de la vanne de remise à l'air avec connecteur droit
Dimensions de la vanne de remise à l'air M12 avec connecteur d'angle
7
10
11
12
16
16
5/18
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Déclaration de conformité
(Composante de ces instructions)
Tab. 1:
1.1.2
Variantes
●
●
●
●
1.2
Documents applicables
Vanne de remise à l'air, blindée | M8 | raccord de vanne droit
Vanne de remise à l'air, blindée | M12 | raccord de vanne droit
Vanne de remise à l'air, blindée | M12 | raccord de vanne d'angle 90°
Vanne de remise à l'air, non blindée | industrie C (micro)
Public visé
Ce manuel de l’utilisateur est destiné aux personnes qui
● installent,
● utilisent,
Les actions présentées dans ce document s’adressent uniquement aux personnes ayant suivi une formation technique convenable (niveau expert) ou une formation équivalente de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
6/18
A propos de ce manuel
Remarque
Conseil
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification.
Plaque signalétique (exemple)
La plaque signalétique est située sur le corps de vanne
D-35641 Asslar
Mod.:
Venting valve
Mod.-Nr.: PM Z01 290 -T
Input:
24 V DC
Made in Germany
Tab. 2:
2020/05
Autocollants sur le produit
1
Fig. 1:
1.3.4
Position des autocollants sur le produit
Abréviations
DN
Diamètre nominal (en tant que désignation de grandeur)
Bride
ISO : raccord conforme aux normes ISO 1609 et 2861
LED
Diode électroluminescente
M8
Connecteur à filetage M8
M12
Connecteur à filetage M12
TC
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine)
TCP
Unité de commande électronique externe de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) avec alimentation en courant
TM
Entraînement et contrôleur de palier magnétique de la turbopompe
WAF
Largeur sur pans
Tab. 3:
Abréviations utilisées dans ce document
7/18
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur l’analyse des risques
effectuée conformément à la Directive Basse Tension 2014/35/UE. Dans la mesure du possible, toutes
les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte.
Risques pendant le fonctionnement
ATTENTION
Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air
Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct
de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome.
► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air.
► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de
mise à l'air.
8/18
Sécurité
2.3
Mesures de sécurité
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► N’effectuez pas de modification ou de conversion arbitraire de l’unité.
2.4
Utilisation conforme
► Utilisez la vanne de remise à l'air seulement pour la ventilation contrôlée des pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum désignées.
2.5
Utilisation abusive prévisible
Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute
utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme
non réglementaire, en particulier :
● Raccordement à des pompes et des matériels non prévus à cette fin d’après leur mode d’emploi
● Raccordement à un équipement comportant des pièces nues sous tension
2.6
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
9/18
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
La vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum sert à la ventilation automatique d'une pompe turbomoléculaire après la mise hors circuit de cette dernière ou en cas de panne de courant.
2
1
10
9
Fig. 2:
Aménagement de la vanne de remise à l'air
8
7
6
1 Témoin de contrôle à diode électroluminescente
2 Connecteur de vanne
3 Câble de commande
4 Connecteur d’alimentation électrique
5 Bouchon fileté
3.2
Contenu de la livraison
Pièces incluses dans la livraison :
● Vanne de remise à l'air
● 1× joint annulaire
● Manuel de l’utilisateur
10/18
3
4
5
6
Admission de gaz, filet de vis intérieur G 1/8”
7
8
9
10
Vanne magnétique
Sortie de gaz, filet de vis extérieur G 1/8”
Joint annulaire
Obturateur de protection
Installation
4 Installation
AVIS
Risque de dégâts causés par des gaz pompés non filtrés
La pénétration de gaz non filtrés à l’admission d’une pompe à vide peut provoquer une contamination
particulaire. Il existe un risque de détérioration, voire de destruction de composants de la pompe à
vide.
► Installer des filtres convenables de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum en amont de l’admission de gaz avant d’utiliser l’air ambiant ou tout autre gaz non purifié.
Connexion des accessoires à TC 110
● L'utilisation d'accessoires Pfeiffer Vacuum via l'unité d'entraînement électronique TC
110 n'est possible qu'avec un câble de raccordement et/ou un adaptateur correspondant sur la connexion multifonctions X3.
● Configurer la sortie d'accessoire requise par RS-485, à l'aide des équipements d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou d'un ordinateur.
Unité d’entraînement électronique TC 400 connexion des accessoires
L'unité d’entraînement électronique de la pompe turbo offre un espace suffisant pour raccorder jusqu'à 4 accessoires. Des prises M12 avec la désignation « Accessoires » sont disponibles à cet effet.
● Les connexions accessoires ont été préconfigurées en usine.
● Après la connexion des accessoires préconfigurés, ces derniers sont immédiatement
prêts à l’emploi conformément aux paramètres d’usine.
● L’utilisation d’autres accessoires pour les pompes turbo est possible et nécessite des
réglages dans la configuration de l’unité d’entraînement électronique.
● La sortie d'accessoire requise est configurée par RS-485, à l'aide des unités d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou d'un ordinateur.
● Pour de plus amples informations, voir le manuel de l’utilisateur « Unité de commande
électronique TC 400 ».
Conditions préalables
● Pompe turbomoléculaire mise hors circuit et ventilée
Outils nécessaires
● Clé hexagonale, ouverture de clé 17 mm
● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6)
1
5
Fig. 3:
4
3
2
Exemple : raccordement de la vanne de remise à l'air sur HiPace et TC 110
1 Vanne de remise à l'air
2 Connecteur D Sub 15 broches sur connexion multifonctions « X3 »
3 Connecteur d'alimentation électrique du câble de commande
4
5
Vis de remise à l'air
Joint annulaire
11/18
Installation
1
2
3
4
Fig. 4:
Exemple : raccordement de la vanne de remise à l'air sur HiPace et TC 400
1 Joint annulaire
2 Vis de remise à l'air
3
4
Vanne de remise à l'air
Connecteur d'alimentation électrique du câble de commande
Raccordement de la vanne de remise à l'air
1. Sur la pompe turbomoléculaire, dévissez à la main la vis de remise à l'air avec le joint annulaire.
2. Vissez la vanne de remise à l'air avec le côté sortie dans le raccordement de remise à l'air de la
pompe turbomoléculaire.
– Couple de serrage : 5 Nm
Raccordement de la vanne de remise à l'air sur l’unité de commande électronique
Le raccordement électrique de la vanne de remise à l'air dépend de l’unité de commande électronique
de la pompe turbomoléculaire et de ses variantes de raccordement.
► Configurez la sortie d’accessoire de la vanne de remise à l'air via les interfaces sur votre unité de
commande électronique.
– La spécification dans la configuration est « accessoire B1 ». Alternative :
– l’option « accessoire A1 »est aussi possible.
► TC 110, TC 120, TCP 1200 : Brancher la fiche de connexion du câble de commande à l’unité de
commande électronique à l’aide d’un adaptateur ou câble de raccordement convenable.
► TC 400, TC 1200, TM 700 : Branchez la fiche de connexion du câble de commande directement à
la prise d’accessoire de l’unité de commande électronique.
Alimentation en gaz de remise à l'air
Si vous voulez utiliser de l'air ambiant sec comme gaz de remise à l'air, la vanne de remise à l'air est
immédiatement prête à être utilisée.
Si vous souhaitez utiliser un autre gaz inerte (p ex. de l’azote N2) comme gaz de remise à l'air, veuillez
suivre les étapes suivantes.
1. Fournissez une alimentation en gaz de remise à l'air externe avec une pression d'entrée maximum de 1 500 hPa absolue.
2. Raccordez l'alimentation de gaz de remise à l'air au côté entrée (G 1/8") de la vanne.
3. Si nécessaire, utilisez un adaptateur de raccordement, voir les accessoires de la vanne (non fournis à la livraison de la machine).
12/18
Fonctionnement
5 Fonctionnement
ATTENTION
Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air
Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct
de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome.
► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air.
► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de
mise à l'air.
AVIS
Endommagement de la pompe turbo lié à une augmentation rapide et inadmissible de la pres­
sion pendant la mise à l'air
L'augmentation rapide d'une pression élevée est inadmissible et soumet le rotor et le palier magnétique de la pompe turbo à une contrainte significative. Lors de la mise à l'air de très petits volumes
dans la chambre de vide ou la pompe turbo, il existe un risque d'augmentation incontrôlable de la
pression. La pompe turbo peut être endommagée mécaniquement ou détruite.
► La vitesse maximum d'augmentation de la pression de 15 hPa/s ne doit pas être dépassée.
► La mise à l'air manuelle et non contrôlée de très petits volumes est à éviter.
► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum si nécessaire.
Les réglages et les variables de fonction importantes sont programmés au départ d’usine en tant que
paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre dispose
d’un nombre à trois chiffres et d’une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par ces paramètres sont assurés par les modules d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum, ou en externe via
l’interface RS-485 avec le protocole Pfeiffer Vacuum.
Paramètre
Nom
Désignation
Réglage
[P:036]
CfgAccB1
Connexion des accessoires B1
1 = vanne de ventilation, normalement fermée
[P:035]
CfgAccA1
Connexion des accessoires A1
1 = vanne de ventilation, normalement fermée
(Comme alternative au raccordement d'accessoire B1)
[P:012]
EnableVent
Activer les ventilations
1 = marche
[P:030]
VentMode
Mode de ventilation
0 = ventilation retardée
1 = ne pas ventiler
2 = ventilation directe
Tab. 4:
Réglages des paramètres dans l'unité de commande électronique de la pompe turbo­
moléculaire
Vitesse de ventilation [P:720]
Durée de ventila­
tion [P:721]
Durée de ventilation en cas de pan­
ne de courant
50 % de la vitesse nominale
3 600 s
3 600 s
Tab. 5:
Paramètres d’usine pour la ventilation retardée dans les pompes turbomoléculaires
13/18
Accessoires
6 Accessoires
Description
Numéro de commande
Bride à visser DN 16 ISO-KF, G 1/8"
PM 016 780 -T
Raccord rapide pour tube 6 mm, G 1/8"
PM 016 781 -T
Raccord rapide pour tube 8 mm, G 1/8"
PM 016 782 -T
Embout droit pour tuyau 9 mm, G 1/8"
PM 016 783 -T
TTV 001, sécheur pour la remise à l'air de pompes turbomoléculaire
PM Z00 121
Tab. 6:
14/18
Accessoires en option
Caractéristiques techniques et dimensions
7 Caractéristiques techniques et dimensions
7.1
Fiche technique
Classification
Vanne de remi­
se à l'air, blin­
dée
Vanne de remi­
se à l'air, blin­
dée
Vanne de remi­
se à l'air, blin­
dée
Vanne de remi­
se à l'air
Numéro de commande
PM Z01 290
PM Z01 291
PM Z01 292
PM Z01 293
Bride de raccordement
(entrée)
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
Poids
100 g
100 g
120 g
67 g
Pression max. à l'aspiration
1500 hPa (absolue)
1500 hPa (absolue)
1500 hPa (absolue)
1500 hPa (absolue)
Taux de fuite intégral
< 1 · 10-9 Pa
m³/s
< 1 · 10-9 Pa m³/s
< 1 · 10-9 Pa m³/s
< 1 · 10-9 Pa
m³/s
Flux de gaz à pression
atmosphérique min.
130 hPa l/s
130 hPa l/s
130 hPa l/s
130 hPa l/s
Flux de gaz à pression
atmosphérique max.
130 hPa l/s
130 hPa l/s
130 hPa l/s
130 hPa l/s
Unité de commande
électronique
TC 110, TC 120,
TCP 350
TC 400,
TC 1200,
TCP 350,
TM 700
TC 400,
TC 1200,
TCP 350, TM 700
–
Commande électrique
M8
M12
M12
Industrie C (Micro)
Mechanické připojení
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
Tension de commande
24 V DC
24 V CC
24 V DC
24 V DC
Ventilstecker
Droit 0°
Droit 0°
Torsadé 270°
–
Tab. 7:
Fiche technique de la vanne de remise à l'air
15/18
Caractéristiques techniques et dimensions
7.2
Dimensions
M12
24.5
25.7
22.5
39.7
50.7
13.9
41
SW13
55.7
62.7
16.4
SW17
Fig. 5:
Dimensions de la vanne de remise à l'air avec connecteur droit
53.2
16.4
42.2
G1/8"
55.7
62.7
31.7
SW17
SW13
G1/8"
Fig. 6:
Dimensions de la vanne de remise à l'air M12 avec connecteur d'angle
Dimensions en mm
16/18
M12
Déclaration de conformité
Déclaration pour produit(s) du type :
Vanne de remise à l'air
pour pompes turbomoléculaires
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen­
nes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Basse tension 2014/35/CE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN 61000-3-2 : 2014
DIN EN 61000-3-3 : 2013
DIN EN 61326-1 : 2013
DIN VDE 0580 : 2011
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 28-04-2020
Notizen / Notes:
*PT0228*
I - Date 2008 - P/N:PT0228BFR
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