MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original VANNE DE REMISE À L'AIR Cher Client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvel accessoire Pfeiffer Vacuum vous donnera entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. En capitalisant sur notre expertise, nous avons développé une multitude de compétences qui contribuent à la sécurité et à l’efficacité de mise en œuvre de nos produits. Nous sommes convaincus que notre produit sera à la hauteur de vos attentes : une solution efficace et fonctionnelle pour votre application, sans perturber votre activité. Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Pour toute question ou suggestion, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/18 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Public visé 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 6 6 6 6 6 6 6 6 7 7 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Utilisation conforme 2.5 Utilisation abusive prévisible 2.6 Qualification personnelle 8 8 8 9 9 9 9 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.2 Contenu de la livraison 10 10 10 4 Installation 11 5 Fonctionnement 13 6 Accessoires 14 7 Caractéristiques techniques et dimensions 7.1 Fiche technique 7.2 Dimensions 15 15 16 Déclaration de conformité 17 3/18 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: 4/18 Documents applicables Autocollants sur le produit Abréviations utilisées dans ce document Réglages des paramètres dans l'unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire Paramètres d’usine pour la ventilation retardée dans les pompes turbomoléculaires Accessoires en option Fiche technique de la vanne de remise à l'air 6 7 7 13 13 14 15 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Position des autocollants sur le produit Aménagement de la vanne de remise à l'air Exemple : raccordement de la vanne de remise à l'air sur HiPace et TC 110 Exemple : raccordement de la vanne de remise à l'air sur HiPace et TC 400 Dimensions de la vanne de remise à l'air avec connecteur droit Dimensions de la vanne de remise à l'air M12 avec connecteur d'angle 7 10 11 12 16 16 5/18 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Déclaration de conformité (Composante de ces instructions) Tab. 1: 1.1.2 Variantes ● ● ● ● 1.2 Documents applicables Vanne de remise à l'air, blindée | M8 | raccord de vanne droit Vanne de remise à l'air, blindée | M12 | raccord de vanne droit Vanne de remise à l'air, blindée | M12 | raccord de vanne d'angle 90° Vanne de remise à l'air, non blindée | industrie C (micro) Public visé Ce manuel de l’utilisateur est destiné aux personnes qui ● installent, ● utilisent, Les actions présentées dans ce document s’adressent uniquement aux personnes ayant suivi une formation technique convenable (niveau expert) ou une formation équivalente de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. 6/18 A propos de ce manuel Remarque Conseil 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification. Plaque signalétique (exemple) La plaque signalétique est située sur le corps de vanne D-35641 Asslar Mod.: Venting valve Mod.-Nr.: PM Z01 290 -T Input: 24 V DC Made in Germany Tab. 2: 2020/05 Autocollants sur le produit 1 Fig. 1: 1.3.4 Position des autocollants sur le produit Abréviations DN Diamètre nominal (en tant que désignation de grandeur) Bride ISO : raccord conforme aux normes ISO 1609 et 2861 LED Diode électroluminescente M8 Connecteur à filetage M8 M12 Connecteur à filetage M12 TC Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) TCP Unité de commande électronique externe de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) avec alimentation en courant TM Entraînement et contrôleur de palier magnétique de la turbopompe WAF Largeur sur pans Tab. 3: Abréviations utilisées dans ce document 7/18 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur l’analyse des risques effectuée conformément à la Directive Basse Tension 2014/35/UE. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. Risques pendant le fonctionnement ATTENTION Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome. ► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air. ► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de mise à l'air. 8/18 Sécurité 2.3 Mesures de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► N’effectuez pas de modification ou de conversion arbitraire de l’unité. 2.4 Utilisation conforme ► Utilisez la vanne de remise à l'air seulement pour la ventilation contrôlée des pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum désignées. 2.5 Utilisation abusive prévisible Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● Raccordement à des pompes et des matériels non prévus à cette fin d’après leur mode d’emploi ● Raccordement à un équipement comportant des pièces nues sous tension 2.6 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 9/18 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction La vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum sert à la ventilation automatique d'une pompe turbomoléculaire après la mise hors circuit de cette dernière ou en cas de panne de courant. 2 1 10 9 Fig. 2: Aménagement de la vanne de remise à l'air 8 7 6 1 Témoin de contrôle à diode électroluminescente 2 Connecteur de vanne 3 Câble de commande 4 Connecteur d’alimentation électrique 5 Bouchon fileté 3.2 Contenu de la livraison Pièces incluses dans la livraison : ● Vanne de remise à l'air ● 1× joint annulaire ● Manuel de l’utilisateur 10/18 3 4 5 6 Admission de gaz, filet de vis intérieur G 1/8” 7 8 9 10 Vanne magnétique Sortie de gaz, filet de vis extérieur G 1/8” Joint annulaire Obturateur de protection Installation 4 Installation AVIS Risque de dégâts causés par des gaz pompés non filtrés La pénétration de gaz non filtrés à l’admission d’une pompe à vide peut provoquer une contamination particulaire. Il existe un risque de détérioration, voire de destruction de composants de la pompe à vide. ► Installer des filtres convenables de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum en amont de l’admission de gaz avant d’utiliser l’air ambiant ou tout autre gaz non purifié. Connexion des accessoires à TC 110 ● L'utilisation d'accessoires Pfeiffer Vacuum via l'unité d'entraînement électronique TC 110 n'est possible qu'avec un câble de raccordement et/ou un adaptateur correspondant sur la connexion multifonctions X3. ● Configurer la sortie d'accessoire requise par RS-485, à l'aide des équipements d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou d'un ordinateur. Unité d’entraînement électronique TC 400 connexion des accessoires L'unité d’entraînement électronique de la pompe turbo offre un espace suffisant pour raccorder jusqu'à 4 accessoires. Des prises M12 avec la désignation « Accessoires » sont disponibles à cet effet. ● Les connexions accessoires ont été préconfigurées en usine. ● Après la connexion des accessoires préconfigurés, ces derniers sont immédiatement prêts à l’emploi conformément aux paramètres d’usine. ● L’utilisation d’autres accessoires pour les pompes turbo est possible et nécessite des réglages dans la configuration de l’unité d’entraînement électronique. ● La sortie d'accessoire requise est configurée par RS-485, à l'aide des unités d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou d'un ordinateur. ● Pour de plus amples informations, voir le manuel de l’utilisateur « Unité de commande électronique TC 400 ». Conditions préalables ● Pompe turbomoléculaire mise hors circuit et ventilée Outils nécessaires ● Clé hexagonale, ouverture de clé 17 mm ● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6) 1 5 Fig. 3: 4 3 2 Exemple : raccordement de la vanne de remise à l'air sur HiPace et TC 110 1 Vanne de remise à l'air 2 Connecteur D Sub 15 broches sur connexion multifonctions « X3 » 3 Connecteur d'alimentation électrique du câble de commande 4 5 Vis de remise à l'air Joint annulaire 11/18 Installation 1 2 3 4 Fig. 4: Exemple : raccordement de la vanne de remise à l'air sur HiPace et TC 400 1 Joint annulaire 2 Vis de remise à l'air 3 4 Vanne de remise à l'air Connecteur d'alimentation électrique du câble de commande Raccordement de la vanne de remise à l'air 1. Sur la pompe turbomoléculaire, dévissez à la main la vis de remise à l'air avec le joint annulaire. 2. Vissez la vanne de remise à l'air avec le côté sortie dans le raccordement de remise à l'air de la pompe turbomoléculaire. – Couple de serrage : 5 Nm Raccordement de la vanne de remise à l'air sur l’unité de commande électronique Le raccordement électrique de la vanne de remise à l'air dépend de l’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire et de ses variantes de raccordement. ► Configurez la sortie d’accessoire de la vanne de remise à l'air via les interfaces sur votre unité de commande électronique. – La spécification dans la configuration est « accessoire B1 ». Alternative : – l’option « accessoire A1 »est aussi possible. ► TC 110, TC 120, TCP 1200 : Brancher la fiche de connexion du câble de commande à l’unité de commande électronique à l’aide d’un adaptateur ou câble de raccordement convenable. ► TC 400, TC 1200, TM 700 : Branchez la fiche de connexion du câble de commande directement à la prise d’accessoire de l’unité de commande électronique. Alimentation en gaz de remise à l'air Si vous voulez utiliser de l'air ambiant sec comme gaz de remise à l'air, la vanne de remise à l'air est immédiatement prête à être utilisée. Si vous souhaitez utiliser un autre gaz inerte (p ex. de l’azote N2) comme gaz de remise à l'air, veuillez suivre les étapes suivantes. 1. Fournissez une alimentation en gaz de remise à l'air externe avec une pression d'entrée maximum de 1 500 hPa absolue. 2. Raccordez l'alimentation de gaz de remise à l'air au côté entrée (G 1/8") de la vanne. 3. Si nécessaire, utilisez un adaptateur de raccordement, voir les accessoires de la vanne (non fournis à la livraison de la machine). 12/18 Fonctionnement 5 Fonctionnement ATTENTION Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome. ► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air. ► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de mise à l'air. AVIS Endommagement de la pompe turbo lié à une augmentation rapide et inadmissible de la pres­ sion pendant la mise à l'air L'augmentation rapide d'une pression élevée est inadmissible et soumet le rotor et le palier magnétique de la pompe turbo à une contrainte significative. Lors de la mise à l'air de très petits volumes dans la chambre de vide ou la pompe turbo, il existe un risque d'augmentation incontrôlable de la pression. La pompe turbo peut être endommagée mécaniquement ou détruite. ► La vitesse maximum d'augmentation de la pression de 15 hPa/s ne doit pas être dépassée. ► La mise à l'air manuelle et non contrôlée de très petits volumes est à éviter. ► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum si nécessaire. Les réglages et les variables de fonction importantes sont programmés au départ d’usine en tant que paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre dispose d’un nombre à trois chiffres et d’une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par ces paramètres sont assurés par les modules d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum, ou en externe via l’interface RS-485 avec le protocole Pfeiffer Vacuum. Paramètre Nom Désignation Réglage [P:036] CfgAccB1 Connexion des accessoires B1 1 = vanne de ventilation, normalement fermée [P:035] CfgAccA1 Connexion des accessoires A1 1 = vanne de ventilation, normalement fermée (Comme alternative au raccordement d'accessoire B1) [P:012] EnableVent Activer les ventilations 1 = marche [P:030] VentMode Mode de ventilation 0 = ventilation retardée 1 = ne pas ventiler 2 = ventilation directe Tab. 4: Réglages des paramètres dans l'unité de commande électronique de la pompe turbo­ moléculaire Vitesse de ventilation [P:720] Durée de ventila­ tion [P:721] Durée de ventilation en cas de pan­ ne de courant 50 % de la vitesse nominale 3 600 s 3 600 s Tab. 5: Paramètres d’usine pour la ventilation retardée dans les pompes turbomoléculaires 13/18 Accessoires 6 Accessoires Description Numéro de commande Bride à visser DN 16 ISO-KF, G 1/8" PM 016 780 -T Raccord rapide pour tube 6 mm, G 1/8" PM 016 781 -T Raccord rapide pour tube 8 mm, G 1/8" PM 016 782 -T Embout droit pour tuyau 9 mm, G 1/8" PM 016 783 -T TTV 001, sécheur pour la remise à l'air de pompes turbomoléculaire PM Z00 121 Tab. 6: 14/18 Accessoires en option Caractéristiques techniques et dimensions 7 Caractéristiques techniques et dimensions 7.1 Fiche technique Classification Vanne de remi­ se à l'air, blin­ dée Vanne de remi­ se à l'air, blin­ dée Vanne de remi­ se à l'air, blin­ dée Vanne de remi­ se à l'air Numéro de commande PM Z01 290 PM Z01 291 PM Z01 292 PM Z01 293 Bride de raccordement (entrée) G 1/8" G 1/8" G 1/8" G 1/8" Bride de raccordement (sortie) G 1/8" G 1/8" G 1/8" G 1/8" Poids 100 g 100 g 120 g 67 g Pression max. à l'aspiration 1500 hPa (absolue) 1500 hPa (absolue) 1500 hPa (absolue) 1500 hPa (absolue) Taux de fuite intégral < 1 · 10-9 Pa m³/s < 1 · 10-9 Pa m³/s < 1 · 10-9 Pa m³/s < 1 · 10-9 Pa m³/s Flux de gaz à pression atmosphérique min. 130 hPa l/s 130 hPa l/s 130 hPa l/s 130 hPa l/s Flux de gaz à pression atmosphérique max. 130 hPa l/s 130 hPa l/s 130 hPa l/s 130 hPa l/s Unité de commande électronique TC 110, TC 120, TCP 350 TC 400, TC 1200, TCP 350, TM 700 TC 400, TC 1200, TCP 350, TM 700 – Commande électrique M8 M12 M12 Industrie C (Micro) Mechanické připojení G 1/8" G 1/8" G 1/8" G 1/8" Tension de commande 24 V DC 24 V CC 24 V DC 24 V DC Ventilstecker Droit 0° Droit 0° Torsadé 270° – Tab. 7: Fiche technique de la vanne de remise à l'air 15/18 Caractéristiques techniques et dimensions 7.2 Dimensions M12 24.5 25.7 22.5 39.7 50.7 13.9 41 SW13 55.7 62.7 16.4 SW17 Fig. 5: Dimensions de la vanne de remise à l'air avec connecteur droit 53.2 16.4 42.2 G1/8" 55.7 62.7 31.7 SW17 SW13 G1/8" Fig. 6: Dimensions de la vanne de remise à l'air M12 avec connecteur d'angle Dimensions en mm 16/18 M12 Déclaration de conformité Déclaration pour produit(s) du type : Vanne de remise à l'air pour pompes turbomoléculaires Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen­ nes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Basse tension 2014/35/CE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN 61000-3-2 : 2014 DIN EN 61000-3-3 : 2013 DIN EN 61326-1 : 2013 DIN VDE 0580 : 2011 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 28-04-2020 Notizen / Notes: *PT0228* I - Date 2008 - P/N:PT0228BFR ">
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