Pfeiffer TC 400 E74 Mode d'emploi

E7 4
43
MANUEL DE L’UTILISATEUR
FR
Traduction du manuel de l‘utilisateur
TC 400 E74
PT 0302 BFR/E (1711)
Unité de commande électronique
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1
1.2
2
Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.1
2.2
2.3
3
Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Conformité d’utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Non conformité d’utilisation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
3.1
3.2
3.3
3.4
Identification du produit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Domaine d'application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Description générale des connexions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
4
Schéma de raccordement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
5
Raccord "E74" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
5.1
6
Raccord « RS-485 » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
6.1
6.2
6.3
7
Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Vue d'ensemble des paramètres . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Configurer raccords . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Travail avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum. . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Mise en marche / mise hors circuit de la pompe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
8.1
8.2
8.3
9
Connexions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Raccorder les appareils d’affichage et de commande ou un PC . . . . . . . 11
Configuration en réseau via le port RS-485 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
7.1
7.2
7.3
7.4
7.5
8
Affectation des connecteurs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Cadre de télégramme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Télégrammes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Types de données utilisées. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Dysfonctionnements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
9.1
9.2
9.3
Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Affichage du mode d’utilisation par les diodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Codes d'erreur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
2
A propos de ce manuel
1
A propos de ce manuel
1.1
Validité
Ce manuel de l’utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le
fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les
informations fournies dans ce manuel de l’utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a
pas apporté de modifications au produit.
Les manuels de l’utilisateur valides sont également disponibles sur Internet sur
www.pfeiffer-vacuum.com.
1.2
Conventions
Consignes de sécurité
Les consignes de sécurité des manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum sont le résultat
d'évaluations et d'analyses de risques et sont inspirées des normes de certification UL,
CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO 3864 et DIN 4844. Le présent document détaille les
niveaux de danger et informations suivants :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant la mort ou des blessures graves.
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent pouvant entraîner la mort ou des blessures graves.
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent pouvant entraîner des blessures légères.
AVIS
Injonction ou indication
Invitation à procéder à une action ou information au sujet de points dont le non-respect
peut conduire à la détérioration du produit.
3
A propos de ce manuel
Pictogrammes
Interdiction d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de
cette interdiction peut générer des accidents graves
Avertissement contre le danger représenté par le symbole.
Obligation d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de
cette obligation peut générer des accidents graves.
Informations importantes concernant le produit ou le présent document
Instruction dans le
texte
 Instruction de travail : vous devez exécuter une opération à cet endroit.
Abréviations
DCU :
Display Control Unit
HPU :
Handheld Programming Unit
TC :
Commande électronique d'entraînement de la pompe turbomoléculaire
TPS :
Bloc d'alimentation
DI / DO:
Entrée numérique / Sortie numérique
AI / AO:
Entrée analogique / Sortie analogique
f:
Vitesse de rotation (dérivée de la fréquence en Hz)
[P:000]:
Paramètres de la commande électronique d'entraînement avec numéro
4
Sécurité
2
Sécurité
2.1
Consignes de sécurité
Obligation d'information
Toute personne intervenant dans l'installation ou l'exploitation de l'appareil doit lire et
respecter les passages relatifs à la sécurité de cette notice d'instructions.
 L'exploitant est tenu d'attirer l'attention de tout opérateur sur les risques inhérents à
l'appareil ou à l'ensemble de l'installation.
AVERTISSEMENT
Risque lié à une installation électrique non conforme
La sécurité du fonctionnement après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant.
 Ne procédez à aucune transformation ou modification du produit de votre propre initiative.
 Assurez une intégration correcte dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité.
 Pour toute demande spécifique, contacter Pfeiffer Vacuum.
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution
En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension.
 Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour
pouvoir défaire le branchement à tout moment.
● Alimentation électrique : L'alimentation électrique de la pompe turbomoléculaire
doit répondre aux exigences de double isolation entre la tension d'entrée du secteur
et la tension de fonctionnement selon CEI 61010 et CEI 60950. Pfeiffer Vacuum recommande à cet effet d'utiliser des blocs d’alimentation électrique et accessoires
d'origine. Dans ce cas uniquement, Pfeiffer Vacuum peut garantir la confomité aux
exigences des directives européennes et nord-américaines.
● Respectez toutes les prescriptions de sécurité et de prévention des risques.
● Un raccord avec le conducteur de protection (PE) est recommandé (classe de
protection III).
● Vérifiez régulièrement que toutes les mesures de précaution sont respectées.
● Avant toute opération, débranchez l'appareil et toutes les installations qui y sont reliées du secteur.
● Pendant le fonctionnement, ne pas desserrer ou retirer les connecteurs.
● L'appareil présente le type de protection IP 54. En cas d'incorporation dans des environnements exigeant d'autres types de protection, il faudra prendre des mesures correspondantes.
● Les conduites et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces
chaudes (> 70 °C).
● Ne débranchez la pompe de la commande électronique qu'après l'arrêt complet de la
pompe et avoir coupé la tension d'alimentation.
5
Sécurité
2.2
Conformité d’utilisation
AVIS
Conformité CE
La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par
l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires !
 Après incorporation dans une installation et avant la mise en service, l'exploitant
s’engage à vérifier la conformité de l'ensemble du système dans l'esprit des directives UE en vigueur, et de la réévaluer en conséquence.
● La commande électronique d'entraînement TC 400 E74 sert à l'exploitation des
pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum et de leurs accessoires.
2.3
Non conformité d’utilisation
En cas d'usage non conforme, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté.
Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui diffèrent de celles précitées,
dont notamment :
● l'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce
manuel
● l’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants
warranty seal
Sceau de fermeture
Le corps de produit est scellé en usine. Tout dommage ou arrachement d’un sceau de
fermeture conduit à la perte de la garantie.
 N'ouvrez pas le produit durant la période de garantie !
 Si les applications nécessitent des intervalles d'entretien plus courts que la période
de garantie, contacter le service après-vente Pfeiffer Vacuum.
6
Description du produit
3
Description du produit
3.1
Identification du produit
Ce produit a été testé conformément aux exigences de la directive CAN/CSA-C22.2 No.
61010-1, deuxième edition, y compris l’amendement 1 ou une version ultérieure de la
norme même avec le même degré d’exigences d’essai.
Le cas échéant regardez les informations sur des certifications supplémentaires sur le
cachet du produit ou :
● www.tuvdotcom.com
● TUVdotCOM-ID 0000021320
Caractéristiques du
produit
La commande électronique d'entraînement de type TC 400 E74 fait partie intégrante de
la pompe turbomoléculaire. Elle sert à l'entraînement, à la surveillance, ainsi qu'à la commande de la pompe dans son ensemble.
Désignation
TC 400
Tension de raccordement TC
Panneau de raccordement
Pompe turbomoléculaire HiPace
24 V CC ±10 %
Standard (RS-485)
300, 400, 700, 800
48 V CC ±10 %
Standard (RS-485)
300, 400, 700, 800
Pour identifier correctement le produit lors de toute communication avec Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la plaque
signalétique.
Mod.:
M.-No.:
TC 400
PM C01 800 A
Ser.-No.: 12345678
Input:
Output:
24 V / 48 V ±10% 15 A
0 - 48 V 12 A 0 - 1000 Hz
2017/08
Made in Germany
Fig. 1:
3.2
Exemple de plaque signalétique
Domaine d'application
Les commandes électroniques d’entraînement TC 400 E74 de Pfeiffer Vacuum doivent
être installées et utilisées dans les conditions ambiantes suivantes.
Lieu de mise en place
Type de protection admissible
Classification des protections
Température
Humidité relative
Pression de l’air
Hauteur d'implantation
Degré d'encrassement
Catégorie de surtension
à l'abri des intempéries (dans des locaux)
IP 54
III
de +5 °C à +40 °C (à +35 °C avec refroidissement à l’air)
80% max. avec T ≤ 31 °C, à 50% max. avec T ≤ 40 °C
750 hPa - 1060 hPa
5000 m maxi.
2
II
7
Description du produit
3.3
Fonction
b
d
e
a
PV.can
RS485
B
A
DC in
accessory
E74
i
Fig. 2:
a
b
d
3.4
Panneau de raccordement pour commande électronique d'entraînement TC 400 E74
Port «DC in»
Port «accessory A+B»
Port de service «PV.can»
e
i
Port "RS485"
Port "E74"
Description générale des connexions
DC in1
Fiche de carter avec verrouillage à baïonette pour l'alimentation en tension entre
les blocs d'alimentation Pfeiffer Vacuum et la commande électronique d'entraînement.
accessory
Connecteur femelle M12 avec verrouillage à vis pour le raccordement d'accessoires Pfeiffer Vacuum. L'utilisation d'un répartiteur en Y permet la double affectation d'un raccord.
PV.can
Connecteur M12 avec verrouillage à vis et LED pour raccordement d'une mesure
de pression intégrée et pour les besoins de maintenance par Pfeiffer Vacuum.
E74
Connecteur femelle Sub-D à 26 pôles pour le raccordement et la configuration
d'une télécommande en référence à SEMI E74.
RS-485
Prise M12 avec verrouillage à vis pour le raccordement d'appareils de commande
Pfeiffer Vacuum ou d'un PC. L'utilisation d'un répartiteur en Y permet le raccordement dans un système de bus.
Prise mobile de connecteur à l'arrière de la commande électronique d'entraînement
pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire.
1. «DC in» et «accessory» sont décrits dans le manuel de l’utilisateur de la pompe.
8
Schéma de raccordement
n.c.
2
Accessory B2
3
24 V DC**
4
Accessory B1
5
FE
1
1
CAN-H
AO1 (-)
2
2
24 V DC***
acceleration status (+)
3
3
GND***
normal status (+)
4
4
CAN-L
deceleration status (+)
5
5
FE
alarm staus (+)
6
remote / local status (+)
7
1
RS 485 D +
~ alarm status (+)
8
2
24 V DC* out
start / stop (-)
9
3
GND*
AO1 (+)
10
4
RS 485 D -
5
n.c.
A
+ UB (+24 / +48 VDC ± 10 %)
B
GND
C
FE
2
24 V DC**
3
Accessory A1
4
FE
5
start / stop (+)
acceleration status (-)
11
normal status (-)
12
deceleration status (-)
13
alarm staus (-)
14
remote / local status (-)
15
(+)
(-)
4 ... 27 V DC
Fig. 3:
2
3
1
4
5
PV.can
3
2
4
3
1
2
B
1
A
(+)
1
(-)
9
(+)
Pin 3 ... 8
(-)
Pin 11 ... 15
or
9
Imax = 100 mA
(+)
Pin 3 ... 8
(-)
Pin 11 ... 15
RS485
5
Accessory A2
accessory B
1
1
1
DC in
4
n.c.
Contact load for accessories:
-20 0 mA max., each connection
-450 mA max., all connections in sum
accessory A
Schéma de raccordement
E74
4
C
4 ... 27 V DC
or
Schéma de raccordement et affection de la TC 400 E74
9
Raccord "E74"
5
Raccord "E74"
8
1
15
9
Le raccord « E74 » sur la TC 400 E74 doté d'une prise de raccordement à 15 pôles comprend, outre les signaux définis dans la norme SEMI E74-0301, un signal d'alarme inversé et une sortie analogique .
Input signal
Output signal
signal (+)
signal (+)
signal (-)
signal (-)
Les lignes de signaux « alarm status (+) » et « ~alarm status (+) » sont rassemblées
pour former le signal "« alarm status (-) ».
5.1
Affectation des connecteurs
Broche
Affectation
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
start/stop (+)
AO1 (-)
acceleration status (+)
normal status (+)
deceleration status (+)
alarm status (+)
remote/local status (+)
~alarm status (+)
start/stop (-)
AO1 (+)
acceleration status (-)
normal status (-)
deceleration status (-)
alarm status (-)
remote/local status (-)
Description du signal
Signal
Broche (+) Broche (- Fonction à la fermeture
)
Fonction à l'ouverture
start / stop
1
– Annuler la priorité E74 (commande possible via
d'autres interfaces)
– Groupe de pompage ARRÊT (voir [P:010])
9
– Définir la priorité E74
– Acquittement de dérangement
– Moteur MARCHE (voir [P:023])
– Groupe de pompage MARCHE (voir [P:010])
Signal
Broche (+) Broche (- Signification si fermée
)
Signification si ouverte
acceleration status
normal status
deceleration status
alarm status
remote / local status
~alarm status
3
4
5
6
7
8
Pompe n'accélère pas
Point de commutation non atteint
Pompe non retardée
Défaut
Appareil non télécommandé
Aucun défaut
AO1 sortie analogique 0-10 V CC /
broche 2, 10
10
11
12
13
14
15
14
Pompe accélère
Point de commutation atteint
Pompe retardée
Aucun défaut
Appareil télécommandé
Défaut
La sortie analogique permet de piquer une tension proportionnelle à la vitesse (0-10 V
CC correspondant à 0 - 100% x fnominale) (charge R ≥ 10 kΩ). A la sortie analogique et
via DCU, HPU ou un PC, il est possible d'attribuer des fonctions supplémentaires (intensité/puissance au choix).
Raccord « RS-485 »
6
Raccord « RS-485 »
6.1
Connexions
Le port comportant la désignation « RS-485 » et situé contre la commande électronique
d'entraînement permet de raccorder un appareil d'affichage et de commande (DCU ou
HPU) ou un ordinateur externe. Par isolation galvanique, l'interface est séparée de façon
sûre de la tension d'alimentation maximale possible de la commande électronique d'entraînement. En interne, les liaisons électriques sont opto-découplées.
1
4
6.2
5
2
3
Désignation
Valeur
Interface série
Vitesse de transmission
Longueur d'un mot de données
Parité
Bits de départ
Bits d'arrêt
RS-485
9600 bauds
8 bits
aucune (no parity)
1
1
Broche
Affectation
1
2
3
4
5
RS-485 : D+
Sortie +24 V  210 mA de charge possible (avec broche 1 de « Remote »)
GND
RS-485 : Dpas raccordé
Raccorder les appareils d’affichage et de commande ou un PC
 Utilisez le câble de raccordement compris dans la livraison de l'appareil de commande ou issu de la gamme des accessoires.
 Sur l'interface RS-485, il est possible de raccorder respectivement un appareil de
commande externe.
 Le raccordement d'une interface USB (PC) est possible via le convertisseur USB/RS485.
USB/RS-485-converter
DCU 310 / 400
TC 400 / TM 700
DCU 002
RS-485
Fig. 4:
HPU 001
Possibilités de raccordement au choix à l’interface RS-485
11
Raccord « RS-485 »
6.3
Configuration en réseau via le port RS-485
USB/RS-485-converter
M12
TC/TM
D+
TC/TM
USB/RS-485-converter
D-
USB
PC
RS 485
RJ45
TC 600 / 750
ATTENTION
Risque d'électrocution
Les mesures d'isolation du système de bus n'ont été conçues que pour l'emploi de
basses tensions de sécurité.
 Au système de bus, ne raccordez que des appareils appropriés.
 Les liaisons devront être établies conformément aux caractéristiques techniques de
l'interface RS-485.
 Raccordez tous les appareils au bus à l'aide de RS-485 D+ et RS-485 D-.
● L'adresse de groupe de la commande électronique d'entraînement est 962.
● Tous les appareils connectés au bus doivent avoir des adresses d'interface RS-485
différentes [P:797].
12
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
7
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
7.1
Généralités
Toutes les grandeurs physiques intéressant le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire sont fixées dans la commande électronique d'entraînement sous forme de paramètres. Chaque paramètre possède un numéro de trois chiffres et une désignation. Les
paramètres peuvent être utilisés, via les appareils d'affichage et de commande Pfeiffer
Vacuum ou via RS-485, avec le protocole Pfeiffer Vacuum.
Paramètres supplémentaires dans l'appareil de commande
Pour commander des composants externes raccordés (p. ex. des dispositifs de mesure
de la pression du vide), des paramètres supplémentaires sont fixés dans les appareils
d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum correspondants.
 Veuillez respecter le manuel de l’utulisateur adéquat.
Les paramètres sont imprimés en gras sous forme de numéros à trois chiffres entre crochets. Le cas échéant, la désignation est indiquée en plus.
Conventions
Exemple: [P:312] Version logicielle
7.2
Vue d'ensemble des paramètres
Explication
#
Affichage
Désignation
Fonctions
Type de données
Type d'accès
Unité
min / max
default

Numéro à trois chiffres du paramètre
Affichage à l'écran de la désignation du paramètre
* signifie le cas échéant une représentation sous forme de symbole
Brève description du paramètre
Description fonctionnelle du paramètre
Type de formatage du paramètre pour l'utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum
R : accès en lecture, W : accès en écriture
Unité physique de la caractéristique décrite
Valeurs limites autorisées pour la saisie d'une valeur
Préréglage en usine (en partie spécifique à la pompe)
Le paramètre ne peut pas être enregistré de manière volatile dans la commande électronique d'entraînement et peut être utilisé après réenclenchement de l'alimentation
électrique.
Utilisation avec DCU
Le jeu de paramètres et l'appareil d'affichage et de commande de Pfeiffer Vacuum
Les appareils d'affichage et de commande de Pfeiffer Vacuum DCU affichent un jeu de
paramètres de base en usine. En outre, le DCU contient les paramètres, qu’ils ne sont
pas inscrit dans la commande électronique d’entraînement.
 Paramètre [P:794] = 1 (Affichage des toutes paramètres disponibles).
Désignation
Fonctions
Type
Affichage
Type de
#
340 Pressure
Valeur réelle de pression (ActiveLine)
7
R
350 Ctr Name
4
R
4
R
738 Gaugetype
794 Param set
Modèle de l’appareil d’affichage et de commande
Version logicielle de l’appareil de commande et
d’affichage
Type de jauge de pression
Jeu paramètres
4
7
RW
RW
795 Servicelin
Insérer la ligne de service
7
RW
351 Ctr Software
0 = Jeu de paramètres de base
1 = Jeu de paramètres avancé
Unité
min maxi
hPa
1E10
1E3
0
1
default 
0
795
13
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Affichage
Désignation
Fonctions
min maxi
default 
RW
0
1
0
x
RW
0
1
0
x
RW
0
1
1
x
W
RW
1
0
1
1
0
x
RW
0
1
0
x
RW
0
1
0
x
RW
0
1
0
x
RW
0
2
0
x
RW
0
1
0
x
RW
0
2
0
x
RW
0
2
0
x
RW
0
12
0
x
RW
0
12
1
x
Unité
Type
#
Type de
Ordres de réglage
001 Heating
Chauffage
002 Standby
Standby
004 RUTimeCtrl
Surveillance du temps d'accélération
009 ErrorAckn
010 PumpgStatn
Acquittement de dérangement
Groupe de pompage
012 EnableVent
Autorisation de remise à l'air
017 CfgSpdSwPt
Configuration point de commutation de la vitesse de rotation
019 Cfg DO2
023 MotorPump
Configuration sortie DO2
Pompe avec moteur
024 Cfg DO1
025 OpMode BKP
Configuration sortie DO1
Mode d'exploitation pompe primaire
026 SpdSetMode
Mode réglage de la vitesse
027 GasMode
Mode gaz
030 VentMode
Mode de remise à l'air
035 Cfg Acc A1
Configuration du raccord accessoires A1
036 Cfg Acc B1
Configuration du raccord accessoires B1
0 = off
0
1 = on
0 = off
0
1 = on
0 = off
0
1 = on
1 = acquittement de dérangement
0
0 = off
0
1 = on et acquittement de dérangement
0 = non
0
1 = oui
0 = point de commutation de la vitesse de 7
rotation 1
1 = point de commutation de la vitesse de
rotation 1 & 2
sans fonction
0 = off
0
1 = on
pas de fonction
7
0 = fonctionnement permanent
1 = mode intermittent
2 = enclenchement retardé
0 = off
7
1 = on
7
0 = gaz lourds
1 = gaz légers
2 = hélium
7
0 = remise à l'air retardée
1 = pas de remise à l'air
2 = remise à l'air directe
0 = ventilateur (fonctionnement perma- 7
nent)
1 = vanne de remise à l'air, fermée hors
tension
2 = chauffage
3 = pompe primaire
4 = ventilateur (à température contrôlée)
5 = purge de gaz neutre
6 = toujours 0
7 = toujours 1
8 = remise à l'air sur coupure de courant
12 = deuxième vanne de remise à l'air
Options, voir [P:035]
7
037 Cfg Acc A2
Configuration du raccord accessoires A2
Options, voir [P:035]
7
RW
0
12
3
x
038 Cfg Acc B2
Configuration du raccord accessoires B2
Options, voir [P:035]
7
RW
0
12
2
x
045
046
047
050
Configuration relais 1
Configuration relais 2
Configuration relais 3
Gaz de balayage
pas de fonction
pas de fonction
pas de fonction
0 = arrêt
1 = marche
0 = vitesse réelle
1 = puissance
2 = courant
3 = toujours 0 V
4 = toujours 10 V
5 = suit AI1
6 = valeur de pression 1
7 = valeur de pression 2
8 = pilotage vide primaire
pas de fonction
1 = mode distant
2 = RS-485
4 = PV.can
8 = bus de terrain
16 = E74
255 = déverrouiller la sélection d'interface
0 = off
1 = on
pas de fonction
pas de fonction
pas de fonction
0
RW
0
1
0
x
7
RW
0
8
0
x
7
RW
1
255
2
x
0
RW
0
1
0
x
Cfg Rel R1
Cfg Rel R2
Cfg Rel R3
SealingGas
055 Cfg AO1
Configuration de la sortie AO1
057 Cfg AI1
060 CtrlViaInt
Configuration entrée AI1
Commande via interface
061 IntSelLckd
Sélection d'interfaces verrouillée
062 Cfg DI1
063 Cfg DI2
064 Cfg DI3
Configuration entrée DI1
Configuration entrée DI2
Configuration entrée DI3
14
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Demandes d'état
Désignation
300
RemotePrio
Priorité à la télécommande
302
SpdSwPtAtt
303
304
Error code
OvTempElec
305
OvTempPump
Point de commutation de la vitesse de rotation
atteint
Code défaut
Surchauffe commande électronique d'entraînement
Température excessive de la pompe
306
SetSpdAtt
Vitesse de consigne atteinte
307
PumpAccel
Pompe accélère
308
309
310
311
312
SetRotSpd
ActualSpd
DrvCurrent
OpHrsPump
Fw version
313
314
DrvVoltage
OpHrsElec
315
316
319
324
326
330
336
342
346
349
Nominal Spd
DrvPower
PumpCycles
TempPwrStg
TempElec
TempPmpBot
AccelDecel
TempBearng
TempMotor
ElecName
354
HW Version
360
361
362
363
364
365
366
367
368
369
384
397
398
399
ErrHist1
ErrHist2
ErrHist3
ErrHist4
ErrHist5
ErrHist6
ErrHist7
ErrHist8
ErrHist9
ErrHist10
TempRotor
SetRotSpd
ActualSpd
NominalSpd
Vitesse de consigne (Hz)
Vitesse réelle (Hz)
Courant d'entraînement
Heures de fonctionnement pompe
Version logicielle de la commande électronique
d'entraînement
Tension d'entraînement
Heures de fonctionnement commande électronique d'entraînement
Vitesse nominale (Hz)
Puissance d'entraînement
Cycles de pompe
Amplificateur température
Commande électronique température
Température partie inférieure de pompe
Accélération / temporisation
Température palier
Température moteur
Désignation commande électronique d'entraînement
Version matérielle commande électronique
d'entraînement
Historique code erreur, emplacement 1
Historique code erreur, emplacement 2
Historique code erreur, emplacement 3
Historique code erreur, emplacement 4
Historique code erreur, emplacement 5
Historique code erreur, emplacement 6
Historique code erreur, emplacement 7
Historique code erreur, emplacement 8
Historique code erreur, emplacement 9
Historique code erreur, emplacement 10
Température rotor
Vitesse de consigne (1/min)
Vitesse réelle (1/min)
Vitesse nominale (1/min)
0 = non
1 = oui
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
0
R
0
1
4
0
R
R
0
1
0
R
0
1
0
R
0
1
0
R
0
1
1
1
2
1
4
R
R
R
R
R
Hz
Hz
A
h
0
0
0
0
999999
999999
9999.99
65535
x
2
1
R
R
V
h
0
0
9999.99
65535
x
1
1
1
1
1
1
1
1
1
4
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
Hz
W
0
0
0
0
0
0
0
0
0
999999
999999
65535
999999
999999
999999
999999
999999
999999
4
R
4
4
4
4
4
4
4
4
4
4
1
1
1
1
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
0 = non
1 = oui
0 = non
1 = oui
0 = non
1 = oui
0 = non
1 = oui
Unité
°C
°C
°C
rpm/s
°C
°C
min maxi
default 
Fonctions
Type
Affichage
Type de
#
x
x
x
x
x
x
x
x
x
x
x
°C
rpm
rpm
rpm
0
0
0
0
999999
999999
999999
999999
Unité
min maxi
default 
1
50
20
120
97
100
8
80
65
x
x
x
Valeurs de consigne
prédéfinies
Affichage
Désignation
700
701
707
RUTimeSVal
SpdSwPt1
SpdSVal
Valeur de consigne temps d'accélération
Point de commutation de vitesse de rotation 1
Valeur prédéfinie en mode d'exploitation à régime variable
Valeur prédéfinie puissance absorbée
1 RW min
1 RW %
2 RW %
7 RW %
10
100
Seuil d'interruption pompe primaire en mode intermittent
Seuil d'allumage pompe primaire en mode intermittent
Valeur prédéfinie vitesse en mode Standby
Point de commutation de vitesse de rotation 2
Vitesse de remise à l'air remise à l'air retardée
Temps de remise à l'air remise à l'air retardée
Confirmation vitesse nominale
Adresse d'appareil RS-485
1 RW W
0
1000
1001
0
x
1 RW W
0
1000
0
x
2
1
7
1
1
1
20
5
40
6
0
1
100
97
98
3600
1500
255
66.7
20
50
3600
0
1
x
x
x
x
x
x
708
PwrSVal
710
Swoff BKP
711
SwOn BKP
717
719
720
721
777
797
StdbySVal
SpdSwPt2
VentSpd
VentTime
NomSpdConf
RS485Adr
1. en fonction du type de pompe
Fonctions
Type de
Type
#
RW %
RW %
RW %
RW s
RW Hz
RW
x
15
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
7.3
Configurer raccords
La commande électronique est préconfigurée en usine. Ainsi, la pompe turbomoléculaire
est immédiatement prête à fonctionner avec les fonctions les plus nécessaires. En cas
d'exigences individuelles, la plupart des raccords de la commande électronique d'entraînement peuvent être configurés avec le jeu de paramètres.
Raccordement accessoires
 Configuration via paramètre [P:035], [P:036], [P:037] ou [P:038].
Option
Description
0 = ventilateur (fonctionnement continu)
1 = vanne de remise à l’air, fermée sans
courant
Commande via paramètres Groupe de pompage
Commande via paramètres Validation remise à l’air. En cas
d’utilisation d’une vanne de remise à l’air fermée sans courant
Commande via paramètres Chauffage et Point de commutation de la vitesse de rotation atteint
Commande via paramètres Groupe de pompage et Mode
de fonctionnement pompe préliminaire
Commande via paramètres Groupe de pompage et Valeurs
seuil de température
Commande via paramètres Groupe de pompage et Gaz de
protection
GND pour la commande d’un dispositif externe
+24 VDC pour la commande d’un dispositif externe
Commande via paramètres Validation remise à l’air. En cas
d’utilisation d’une vanne de remise à l’air en cas de panne
de courant
Commande via paramètres Validation remise à l’air et Dépassement négatif de 50 % de la vitesse nominale. En cas
d’utilisation d’une vanne de remise à l’air fermée sans courant.
Commande via paramètres Groupe de pompage et Gaz de
protection
2 = chauffage
3 = pompe préliminaire
4 = ventilateur (à température contrôlée)
5 = gaz de protection
6 = toujours 0
7 = toujours 1
8 = vanne de remise à l’air en cas de
panne de courant
12 = deuxième vanne de remise à l’air
13 = surveillance gaz de protection
Sortie analogique sur
« E74 »
 Configuration via paramètre [P:055].
Option
Description
0 = vitesse de rotation
1 = puissance
2 = courant
3 = toujours 0 V
4 = toujours 10 V
5 = suit AI1
6 = valeur de pression 1
Signal de vitesse de rotation ; 0-10 V CC = 0-100 % x fnominal
Signal de puissance ; 0-10 V CC = 0-100 % x Pmax
Signal de courant ; 0-10 V CC = 0-100 % x Imax
toujours GND
Valeur prédéfinie de 10 V CC durable
suit l'entrée analogique 1
Signal de valeur de pression ;
0 V : défaut
1 V : sous-passement
1,5 - 8,5 V pour capteur RPT p (hPa) = 10(U-5,5 V)
1,5 - 8,5 V pour capteur IKT p (hPa) = 10(U-10,5 V)
9 V : dépassement
Signal de vide primaire ; pilotage par Pfeiffer Vacuum
Groupes de pompage turbo
7 = valeur de pression 2
8 = pilotage vide primaire
16
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
7.4
Travail avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Réglages en usine
La commande électronique d'entraînement est préprogrammée en usine. Ainsi, le fonctionnement parfait et sécurisé de la pompe turbomoléculaire sans configuration supplémentaire est garantit.
Vérifier réglages
 Avant le fonctionnement avec les paramètres valeurs de consigne prédéfinies et
ordres de réglage, vérifiez s'ils sont adaptés au procédé de pompage.
 Retirer le cas échéant le connecteur de commande à distance de la commande électronique d'entraînement.
Exploitation en fonction du type de gaz
En présence d'une charge de gaz et d'une vitesse de rotation élevée, le rotor est fortement échauffé par le frottement. Pour éviter toute surchauffe, des courbes caractéristique de régime et de puissance ont été implémentée dans la commande électronique.
Elle permet d'exploiter la pompe à chaque vitesse de rotation avec la charge de gaz
maximale autorisée, sans risque d'endommagement. La puissance absorbée maximale
dépend du type de gaz. Pour exploiter pleinement la capacité de puissance de la pompe
pour chaque type de gaz, trois paramètres de courbe sont disponibles.
AVIS
Risque de détruire la pompe
En cas de mauvais mode Gaz sélectionné, le pompage des gaz avec masses moléculaires plus haute peut provoquer la destruction de la pompe.
 Veillez à ce que le mode Gaz soit correctement réglé.
 Avant d'utiliser des gaz présentant des masses molaires plus importantes (> 80),
contactez Pfeiffer Vacuum.
● Mode Gaz « 0 » pour les gaz présentant une masse molaire >39 , par ex. l'Argon.
● Mode Gaz « 1 » pour les gaz présentant une masse molaire  39.
● Mode Gaz « 2 » pour hélium.
● Courbes de puissance conformément aux caractéristiques techniques de la pompe
turbomoléculaire.
 Vérifiez et réglez mode gaz [P:027].
Pmax
B
F
Accélération
D
[P:708]
Puissance
E
A
C-D = Mode gaz "0"
A-B = Mode gaz "1"
E-F = Mode gaz "2"
Vitesse
Fig. 5:
C
fN
Principe des courbes de puissance en exploitation en fonction du type de gaz ; ex. Mode
gaz = 0
La pompe turbomoléculaire s'active avec une puissance absorbée maximale. Lorsque la
vitesse nominale ou de consigne est atteinte, une commutation automatique sur la
courbe de puissance du mode gaz sélectionné s'effectue. Une charge de gaz croissante
est tout d'abord compensée par une augmentation de la puissance absorbée, afin de
maintenir la vitesse constante. Toutefois, une friction de gaz croissante résulte en un
échauffement plus important de la pompe turbomoléculaire. En cas de dépassement de
17
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
la puissance maximale en fonction du type de gaz, la vitesse de la pompe turbomoléculaire diminue jusqu'à ce qu'un équilibre s'établisse entre la puissance admissible et la
friction du gaz.
 Pour éviter des variations de vitesse, Pfeiffer Vacuum recommande une fréquence légèrement inférieure en mode Réglage de la vitesse.
Valeur prédéfinie
puissance absorbée
Temps d'accélération
 Régler le paramètre [P:708] sur la valeur souhaitée en %.
En cas de réglage de la valeur prédéfinie de puissance absorbée en dessous de 100 %,
le temps d'accélération se prolonge. Afin d'éviter des messages d'erreur, le paramètre
[P:700] RUTimeSVal doit être adapté de manière adéquate.
Le temps d'accélération de la pompe turbomoléculaire est surveillé au niveau du temps
en usine. Des temps d'accélération prolongés peuvent indiquer diverses causes, p. ex.:
● Des charges de gaz trop élevées
● Fuites dans le système
● Valeur de consigne temps d'accélération trop basse
 Le cas échéant, éliminez les causes externes et conditionnées par les applications.
 Avec le paramètre [P:700], adaptez le temps d'accélération.
Réglez le point de
commutation de la vitesse de rotation
Le point de commutation de la vitesse de rotation peut être utilisé pour le message «
Pompe prête à fonctionner pour le processus ». Le dépassement ou le franchissement
par défaut du point actif de commutation de la vitesse de rotation active ou désactive un
signal au niveau de la sortie préconfigurée de la commande électronique d'entraînement
et le paramètre de statut [P:302].
Point de commutation de vitesse de rotation 1
 Régler le paramètre [P:701] sur la valeur souhaitée en %.
 Paramètre [P:017] = 0
L'émission de signaux et le paramètre de statut [P:302] s'orientent sur la valeur réglée
pour le point de commutation de la vitesse de rotation 1 [P:701].
f(%)
[P:017] = 0
[P:701]
t
[P:010]
[P:302]
Fig. 6:
1
t
0
1
0
t
Process
Exemple pour Configuration du point de commutation de la vitesse de rotation 1 active
Point de commutation de la vitesse de rotation 1 & 2
 Régler le paramètre [P:701] sur la valeur souhaitée en %.
 Régler le paramètre [P:719] sur la valeur souhaitée en %.
 Paramètre [P:017] = 1
18
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Lorsque le groupe de pompage [P:010] est enclenché, le point de commutation de la vitesse de rotation 1 fait office d'émetteur de signaux. Lorsque le groupe de pompage est
éteint, l'émission de signaux et les demandes d'état s'orientent sur le point de commutation de la vitesse de rotation 2. L'émission de signaux est soumise à l'hystérésis entre
les deux points de commutation.
f(%)
[P:017] = 1
[P:701]
[P:719]
t
[P:010]
[P:302]
Fig. 7:
1
t
0
1
0
t
Process
Exemple pour Configuration point de commutation de la vitesse de rotation 1+2 active ;
[P:701] > [P:719]
f(%)
[P:017] = 1
[P:719]
[P:701]
t
[P:010]
[P:302]
Fig. 8:
Mode Réglage de la
vitesse
1
t
0
1
0
t
Process
Exemple pour Configuration point de commutation de la vitesse de rotation 1+2 active ;
[P:701] < [P:719]
Le mode d'exploitation à régime variable sert à la réduction de la vitesse et par conséquent de la puissance d'aspiration de la pompe turbomoléculaire. La capacité d'aspiration de la pompe turbomoléculaire varie proportionnellement à la vitesse. En Mode d'exploitation à régime variable, le mode Standby est inopérant. La vitesse de consigne est
réglée via la valeur prédéfinie dans le Mode d'exploitation à régime variable [P:707]. Le
point de commutation de la vitesse de rotation varie avec la vitesse de consigne. Le dépassement ou le franchissement par défaut de la valeur prédéfinie dans le Mode d'exploitation à régime variable active ou désactive le signal de statut [P:306] SetSpdAtt.
 Régler le paramètre [P:707] sur la valeur souhaitée en %.
 Paramètre [P:026] = 1
 Demande d'état du paramètre [P:308]/[P:397].
Plage de vitesse admissible de la pompe turbomoléculaire
Paramètres dans le mode d’exploitation à regime variable ou en mode Standby sont assignés à la plage de vitesse permis de la pompe turbomoléculaire respectifs. Franchissement de la valeur minimale permis entraîne à l’avertissement Wrn100. La commande électronique d’entraînement règle la vitesse de consigne automatiquement sur
la prochaine valeur valide.
 Observez la plage de vitesse admissible (voir chapitre Caractéristiques techniques
de le manuel de l’utilisateur pour que la pompe turbomoléculaire).
19
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Standby
Pfeiffer Vacuum recommande le mode Standby de la pompe turbomoléculaire lors de
pauses de processus ou d'exploitation. Lorsque le mode Standby est activé, la commande électronique d'entraînement réduit la vitesse de la pompe turbomoléculaire. En
Mode d'exploitation à régime variable, le mode Standby est inopérant. Le réglage en
usine pour Standby représente 66,7 % de la vitesse nominale. Le dépassement ou le
franchissement par défaut de la valeur prédéfinie dans Standby active ou désactive le
signal de statut [P:306] SetSpdAtt.
 Régler le paramètre [P:717] sur la valeur souhaitée en %.
 Paramètre [P:002] = 1
 Demande d'état du paramètre [P:308]/[P:397].
Valeurs prédéfinies
de vitesse
La vitesse nominale caractéristique d'une pompe turbomoléculaire est réglée en usine
dans la commande électronique d'entraînement. Après un remplacement de la commande électronique d'entraînement, ou un changement pour un autre type de pompe, il
faut valider la valeur de consigne prédéfinie de la vitesse nominale. Cette procédure fait
partie intégrante du système de sécurité redondant permettant d’éviter les survitesses.
HiPace
Confirmation vitesse nominale [P:777]
300
400 / 700 / 800
1000 Hz
820 Hz
 Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe.
Après avoir atteint la vitesse nominale, la pompe turbomoléculaire fonctionne à vide
sans admission de charges de gaz supplémentaires. En fonction des exigences du procédé ou de l'application, la vitesse nominale peut être réduite en mode d'exploitation à
régime variable ou en mode Standby.
Mode d'exploitation
pompe primaire
L'exploitation d'une pompe primaire raccordée via la commande électronique d'entraînement dépend du type de pompe primaire.
Mode d'exploitation [P:025]
pompe primaire recommandée
« 0 » Fonctionnement permanent
« 1 » Mode intermittent
« 2 » Enclenchement retardé
toutes les pompes primaires
uniquement les pompes à membrane
toutes les pompes primaires
 Régler le paramètre [P:025] sur la valeur souhaitée.
Fonctionnement permanent
La commande électronique d'entraînement envoie, simultanément avec « Groupe de
pompage on », un signal au raccord accessoires configuré pour l'enclenchement de la
pompe primaire. Ce signal peut aussi être utilisé pour la commande d'une vanne de sécurité de vide primaire.
Mode intermittent (uniquement pompes à membrane)
Le mode intermittent peut allonger la durée de vie des membranes d'une pompe à membrane raccordée. Le mode intermittent requiert soit une pompe à membrane à relais
semi-conducteur intégré, soit une boîte à relais interconnectée à un relais semi-conducteur. En fonction de la puissance absorbée, la pompe primaire est enclenchée ou éteinte.
La puissance absorbée permet d'obtenir un rapport pour la pression de vide primaire
fournie. Les seuils d'interruption et d'enclenchement de la pompe primaire sont réglables. Des fluctuations de la puissance absorbée des pompes primaires à vide et différentes pressions de vide primaire des pompes primaires requièrent le réglage individuel du mode intermittent.
Pfeiffer Vacuum recommande le mode intermittent entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et
une vanne de dosage sont requis pour le réglage des seuils de commutation.
 Enclenchez le système sous vide avec la fonction « groupe de pompage » et attendez
le temps d'accélération.
20
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
 Créez une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide d'une admission de gaz via
une vanne de dosage.
 Lisez et notez le paramètre [P:316].
 Réglez le seuil de commutation de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement
déterminée pour une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide du paramètre
[P:711].
 Réduisez la pression de vide primaire à 5 hPa.
 Lisez et notez le paramètre [P:316].
 Réglez le seuil d'interruption de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement
déterminée pour une pression de vide primaire de 5 hPa à l'aide du paramètre
[P:710].
Enclenchement temporisé
Un enclenchement simultané de la pompe turbomoléculaire et de la pompe primaire peut
conduire à des flux de gaz indésirables. En fonction des exigences du processus ou de
l'application, la pompe primaire peut être enclenchée avec du retard. Le retard à l'enclenchement dépend de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire et il est fixé à
6 Hz dans la commande électronique d'entraînement.
Le signal peut également être utilisé pour la commutation d'une vanne de sécurité de
vide primaire.
Exploitation avec périphérique
Selon la configuration, plusieurs appareils accessoires peuvent être raccordés à la
pompe turbomoléculaire et être commandés via les paramètres de la commande électronique d'entraînement.
Chauffage
 Enclenchez ou éteignez le chauffage à l'aide du paramètre [P:001].
L'activation du chauffage du boîtier raccordé dépend du point de commutation de la vitesse de rotation 1 (réglage en usine 80 % x fNominal).
Ventilateur
Deux options dans la configuration des raccords permettent le fonctionnement permanent ou l'enclenchement et l'interruption à température contrôlée d'un refroidissement à
l'air raccordé (regardez à la p. 16, chap. 7.3) . Les valeurs seuils sont fixées de manière
propre à chaque type dans la commande électronique d'entraînement.
Vanne de la purge de gaz neutre
 Enclenchez ou éteignez une vanne de la purge de gaz neutre via la sortie préconfigurée, à l'aide du paramètre [P:050].
Modes de remise à
l’air
La remise à l'air de la pompe turbomoléculaire est possible après l'interruption de la fonction « Groupe de pompage ». L'émission de signaux au niveau des sorties configurées
s'effectue avec une temporisation fixée à 6 s. Trois modes d'exploitation peuvent être sélectionnés pour l'exploitation avec vanne de remise à l'air raccordée.
 Déclenchez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:012].
 Sélectionnez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:030].
Remise à l'air retardée
Le début et le temps de remise à l'air après « Groupe de pompage off » peuvent être
configurés et dépendent de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire.
 Paramètre [P:030] = 0
 Réglez la vitesse de remise à l'air en % de la vitesse nominale à l'aide du paramètre
[P:720].
21
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
 Réglez la vitesse de remise à l'air en s à l'aide du paramètre [P:721].
En cas de franchissement par défaut de la vitesse de remise à l'air, la vanne de remise
à l'air s'ouvre pour le temps de remise à l'air réglé. En cas de panne secteur, la remise
à l'air s'effectue après franchissement par défaut de la vitesse de remise à l'air réglée.
La durée de remise à l'air dépend dans ce cas de l'énergie disponible fournie par le rotor
en mouvement. Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt.
Aucune remise à l'air
Aucune remise à l'air n'a lieu dans ce mode d'exploitation.
 Paramètre [P:030] = 1
Remise à l'air directe
Le début et le temps de remise à l'air ne sont pas configurables. La remise à l'air débute
avec une temporisation de 6 s après « Groupe de pompage off ». Lors d'un nouvel enclenchement de la fonction Groupe de pompage, la vanne de remise à l'air se ferme automatiquement. En cas de panne secteur, la remise à l'air s'effectue après franchissement par défaut d'une vitesse de rotation fixe et propre à chaque type. Une fois le courant
revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt.
 Paramètre [P:030] = 2
Surveillance de la
charge thermique
7.5
Les signaux émis par les détecteurs de température permettent d'amener la pompe à un
état sûr en cas de franchissement par défaut des valeurs seuils. En fonction du type de
pompe, les valeurs seuils de température pour les avertissements et les messages d'erreur sont invariablement enregistrées dans la commande électronique d'entraînement .
Différentes demandes d'état sont prévues dans le jeu de paramètres à des fins d'information.
Mise en marche / mise hors circuit de la pompe
Mise en circuit
La fonction « Groupe de pompage » regroupe l'exploitation de la pompe turbomoléculaire et la commande de tous les appareils accessoires (p. ex. pompe primaire).
 Activez l'alimentation électrique par l'interrupteur S1 situé contre le bloc d'alimentation.
 Paramètre [P:023] = 1
 Paramètre [P:010] = 1
Les messages d'erreurs existants (et éliminés) ont été acquittés. Après un contrôle automatique réussi avec succès, la commande électronique d'entraînement met en service
le moteur de la pompe turbomoléculaire et tous les appareils accessoires raccordés en
fonction de leur configuration.
En cas de groupe de pompage activé, le moteur de la pompe turbomoléculaire peut être
allumée ou éteinte via la fonction [P:023].
Arrêt
 Paramètre [P:010] = 0
La commande électronique d'entraînement met la pompe turbomoléculaire hors circuit
et active les options d'accessoires préréglées (p. ex. remise à l'air « marche », pompe
primaire « arrêt »).
 Attendez l’arrêt complet de la pompe.
 Déconnectez l'alimentation électrique par l'interrupteur S1 situé contre le bloc d'alimentation.
22
Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 »
8
Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 »
8.1
Cadre de télégramme
Le cadre de télégramme du protocole Pfeiffer Vacuum contient uniquement des signes
de code ASCII [32; 127], à l'exception du signe de fin de télégramme CR. En principe, un
maître (p.ex. un PC) envoie  un télégramme, auquel répondre un esclave  (p. ex. la
commande électronique d'entraînement ou jauge).
a2
a1
a2 - a0
*
0
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
c2
c1
c0
C
R
Adresse d'appareil esclave 
– Adresse unique de l'appareil [« 001 » ; « 255 »]
– Adresse de groupe « 9xx » pour tous les appareils identiques (aucune réponse)
– Adresse globale « 000 » pour tous les appareils sur le bus (aucune réponse)
Action (regardez à la p. 23, chap. 8.2)
Numéro de paramètres Pfeiffer Vacuum
Longueur des données dn ... d0
Données sous forme de type de données respectif (regardez à la p. 24, chap. 8.3)
Total de contrôle (total des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) modulo 256
Carriage return (ASCII 13)
*
n2 - n0
l1 - l0
dn - d0
c2 - c0
CR
8.2
a0
Télégrammes
Demande de données ?
a2
a1
a0
0
0
n2
n1
n0
0
2
=
?
c2
c1
c0
C
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
c2
c1
c0
C
R
Control command !
a2
a1
a0
1
0
R
Réponse de données / ordre de réglage compris 
a2
a1
a0
1
0
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
c2
c1
c0
C
0
6
N
O
_
D
E
F
c2
c1
c0
C
_
R
A
N
G
E
_
L
O
G
I
C
R
Message d'erreur 
a2
a1
a0
1
0
NO_DEF
_RANGE
_LOGIC
Exemple 1
n2
n1
n0
R
Le numéro de paramètre n2 - n0 n'existe pas
Données dn - d0 en dehors de la plage autorisée
erreur d'accès logique
Demande de données
Vitesse réelle (paramètre [P:309], adresse d'appareil esclave : « 123 »)
?
1
2
3
0
0
3
0
9
0
2
=
?
1
1
2
C
ASCII
49
50
51
48
48
51
48
57
48
50
61
63
49
49
50
13
R
Réponse de données : 633 Hz
Vitesse réelle (paramètre [P:309], adresse d'appareil esclave : « 123 »)

1
2
3
1
0
3
0
9
0
6
0
0
0
6
3
3
0
3
7
C
ASCII
49
50
51
49
48
51
48
57
48
54
48
48
48
54
51
51
48
51
55
13
R
23
Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 »
Exemple 2
Ordre de réglage
Enclenchez groupe de pompe (paramètre [P:010], adresse d'appareil esclave : « 042 »)
!
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
C
ASCII
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
R
Ordre de réglage compris
Enclenchez groupe de pompe (paramètre [P:010], adresse d'appareil esclave : « 042 »)
8.3
24

0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
C
ASCII
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
R
Types de données utilisées
Datentyp
Beschreibung
Länge l1 - l0
Beispiel
0
1
2
4
7
10
11
falsch / wahr
pos. ganze Zahl
pos. Festkommazahl
Zeichenkette
pos. ganze Zahl
Exponentialwert
Zeichenkette
06
06
06
06
03
06
16
000000 / 111111
000000 bis 999999
001571 entspricht 15,71
TC_400
000 bis 999
100023 entspricht 1,0 · 103
BrezelBier&Wurst
Dysfonctionnements
9
Dysfonctionnements
9.1
Généralités
Des dysfonctionnements au niveau de la pompe turbomoléculaire et de la commande
électronique d'entraînement entraînent toujours un message d'avertissement ou d'erreur. Dans les deux cas, un code d'erreur est émis via la commande électronique d'entraînement. En général, les messages de service sont affichés via les DEL sur la commande électronique d'entraînement. La pompe turbomoléculaire et les appareils
raccordés s'éteignent en raison de défauts survenus. Le mode de remise à l'air sélectionné est à nouveau validé automatiquement après une temporisation prédéfinie.
AVERTISSEMENT
Démarrage automatique après une panne secteur ou de dépannage
Après une panne secteur ou en cas de défauts entraînant un arrêt de la pompe ou de
l'installation, la fonction « Groupe de pompage » de la commande électronique d'entraînement reste active. Une fois le courant revenu ou acquittement du dysfonctionnement,
la pompe turbomoléculaire s'active automatiquement.
 Le cas échéant, éteindre la fonction « Groupe de pompage ».
 Prendre les mesures de sécurité adaptées contre toute intervention dans la bride de
vide élevé lorsque la pompe turbomoléculaire est active.
9.2
Affichage du mode d’utilisation par les diodes
Les diodes sur la platine frontale de la commande électronique d’entraînement indiquent
des états de service de base de la pompe turbomoléculaire. Seules la DCU et la HPU
permettent un affichage différencié entre les erreurs et les avertissements.
DEL
Symbole État de la DEL
Verte
éteinte
allumée, clignotante
allumée, clignotante inverse
allumée, fixe
Jaune
Rouge
Fig. 9:
9.3
Codes d'erreur
Code
d'erreur
Problème
Err001
Survitesse
Err002
Surtension
Indication
Signification
allumée, clignotante
éteinte
allumée, fixe
Hors tension
« Groupe de pompage ARRÊT », vitesse
de rotation ≤ 60 min-1
« Groupe de pompage MARCHE », vitesse
de rotation de consigne non atteinte
« Groupe de pompage MARCHE », vitesse
de rotation de consigne atteinte
« Groupe de pompage ARRÊT », vitesse
de rotation > 60 min-1
Aucun avertissement
Avertissement
éteinte
allumée, fixe
Aucun défaut
Défaut
Comportement et signification des DEL sur la commande électronique d'entraînement
Causes possibles
– Unité de courant utilisée inadéquate
Dépannage
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Vérifier le type d'unité de courant
 Vérifier la tension de l'unité de courant
25
Dysfonctionnements
Code
d'erreur
Problème
Err006
 Adapter le temps d'accélération aux condi– Temps d'accélération réglé trop bas
tions du processus
– Fuite de gaz dans le récipient en raison
d'un défaut d'étanchéité ou de vannes  Vérifier l'étanchéité et la fermeture des
vannes du récipient
ouvertes
– Passage en dessous du point de com-  Adapter le point de commutation de la vitesse de rotation
mutation de la vitesse de rotation
après écoulement du temps d'accélération
Manque de fluide d'exploitation
– Manque de fluide d'exploitation
 Vérifier le fluide d'exploitation
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
Liaison commande électronique d'entraî- – Liaison à la pompe défectueuse
 Vérifier les liaisons
 Acquittement uniquement pour une vitesse
nement - pompe défectueuse
f=0
Défaut interne à l'appareil
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
La commande électronique d'entraîne Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
ment ne reconnaît pas la pompe
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
Erreur de configuration interne
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
Température excessive commande élec- – Refroidissement insuffisant
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
tronique
Err007
Err008
Err010
Err021
Err043
Err044
Causes possibles
Erreur de temps d'accélération
Err045
Température excessive moteur
Err046
Erreur d'initialisation interne
Err091
Défaut interne à l'appareil
Err092
Panneau de raccordement inconnu
Err093
Err098
Évaluation de température moteur défectueuse
Évaluation de température commande
électronique défectueuse
Erreur de communication interne
Err107
Erreur générale étage final
Err108
Mesure de la vitesse défectueuse
Err109
Logiciel non validé
Err110
Évaluation fluide d'exploitation défectueuse
Err111
Défaut de communication pompe de
fluide d'exploitation
Err112
Erreur générale pompe de fluide d'exploitation
Err114
Err118
Évaluation de température étage final défectueuse
Température excessive partie inférieure – Refroidissement insuffisant
de pompe
Température excessive étage final
– Refroidissement insuffisant
Err119
Température excessive palier
Err094
Err117
26
Dépannage
– Refroidissement insuffisant
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
– Refroidissement insuffisant
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
Dysfonctionnements
Code
d'erreur
Problème
Causes possibles
Err143
Température excessive pompe de fluide – Refroidissement insuffisant
d'exploitation
Dépannage
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
Err777 Vitesse nominale non confirmée
– Vitesse nominale non confirmée après  Confirmer la vitesse nominale avec [P:777]
remplacement de la commande élec-  Acquittement uniquement pour une vitesse
tronique d'entraînement
f=0
Wrn001 Temps de mise en température TMS ex- – Temporisation interne de surveillance  Vérifier les conditions d'utilisation
de mise en température expirée
piré
Wrn003 Capteur de température de circuit de
chauffage TMS
Wrn007 Sous-tension/panne secteur
Wrn018 Conflit de priorité
Wrn021 Signal de gaz de balayage non valide
Wrn034 Débit de gaz de balayage bas
Wrn045 Température moteur élevée
Wrn076 Température commande électronique
élevée
Wrn097 Information pompe non valide
Wrn098 Information pompe incomplète
Wrn100 Régime relevé à la valeur minimale
– Température TMS hors plage admissible entre +5 et 85 °C
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
– Panne secteur
 Vérifier l'alimentation sur secteur
– Groupe de pompage activé avec
 Activer le groupe de pompage via E74
[P:010] alors que l'entrée E74 « start/  Désactiver [P:010]
stop » est désactivée (ouverte)
– Signal de la surveillance du gaz de ba-  Vérifier les raccordements de la surlayage hors de la plage valide
veillance du gaz de balayage
 Vérifier les options de paramètres des sorties accessoires
– Signal de la surveillance du gaz de ba-  Vérifier et améliorer l'alimentation en gaz
layage valide mais inférieur au seuil
de balayage
programmé [P:791]
 Vérifier les conditions d'utilisation
– Refroidissement insuffisant
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
– Refroidissement insuffisant
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
– Données de la pompe erronées
– Liaison à la pompe défectueuse
 Réglage usine via acquittement
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
– Valeurs prédéfinies admissibles pour  Vérifier [P:707] ou [P:717]
le fonctionnement à régime variable ou  Voir la plage de régime valide dans les caen stand-by incorrectes
ractéristiques techniques de la pompe turbomoléculaire
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
Wrn115 Évaluation de température partie inférieure de pompe défectueuse
Wrn116 Évaluation de température palier défectueuse
Wrn117 Température partie inférieure de pompe – Refroidissement insuffisant
élevée
Wrn118 Température étage final élevée
– Refroidissement insuffisant
Wrn119 Température palier élevée
– Refroidissement insuffisant
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
 Améliorer le refroidissement
 Vérifier les conditions d'utilisation
Wrn143 Température pompe de fluide d'exploita- – Refroidissement insuffisant
tion élevée
Wrn168 Grand retard
– Vitesse de montée en pression trop
 Vérifier et adapter un débit de remise à l'air
élevée ; débit de remise à l'air trop élespécifique à la pompe
vé
27
Déclaration de conformité
Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous répond à toutes les
dispositions applicables des directives CE suivantes :
● Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
● Basse tension 2014/35/UE
● Limitation de l'utilisation de certaines substances dangereuses 2011/65/UE
TC 400 E74
Normes harmonisées et normes nationales appliquées :
DIN EN 61000-3-2 : 2014
DIN EN 61000-3-3 : 2013
DIN EN 61010-1 : 2010
DIN EN 61326-1 : 2013
DIN EN 62061 : 2013
Semi F47-0200
Semi S2-0706
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Dr. Ulrich von Hülsen)
Directeur
Asslar, 2017-11-01
Notizen / Notes:
Notizen / Notes:
Notizen / Notes:
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